JP6883869B2 - 画像検査装置、画像検査方法、及び画像検査装置用部品 - Google Patents
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Description
前記検査するステップは、前記第1検査画像の第1解像度及び前記第2検査画像の第2解像度を測定し、前記第1焦点距離と前記第2焦点距離との差に対する前記第1解像度と前記第2解像度との差の比が所定範囲内かを検査する構成とすることができる。
12〜12b 集光レンズ
14、14a 被投影部
16 撮像部
18 制御部
20 画像変換部
22 検査部
24 表示部
30 画像投影装置
50 光線
52 ダミーアイ
54 収束点
58 中心点
60 検査画像
70 開口板
72 孔
80 ハーフミラー
82 偏光板
84 偏光ビームスプリッタ
86 1/4波長板
100〜700 画像検査装置
110 ディテクタ
Claims (21)
- ユーザの網膜に画像を直接投影する画像投影装置が搭載される搭載部と、
前記搭載部に搭載された前記画像投影装置から出射される光線を集光させる集光レンズと、
前記集光レンズで集光された前記光線が照射されて検査画像が投影される、平面形状をしている被投影部と、
前記被投影部に投影された前記検査画像を検査する検査部と、を備える画像検査装置。 - ユーザの網膜に画像を直接投影する画像投影装置が搭載される搭載部と、
前記搭載部に搭載された前記画像投影装置から出射される光線を集光させる集光レンズと、
前記集光レンズで集光された前記光線が照射されて検査画像が投影される被投影部と、
前記被投影部に投影された前記検査画像を検査する検査部と、
前記集光レンズ側に開口を有する略半球面の形状をした前記被投影部に投影された前記検査画像を撮像する撮像部と、
前記撮像部で撮像された前記検査画像に対して前記略半球面の中心点からの動径及び角度で表される極座標系を直交座標系に変換する画像変換部と、を備え、
前記検査部は、前記画像変換部で変換された後の前記検査画像を検査する、画像検査装置。 - 前記被投影部は、前記検査画像を透過し、
前記撮像部は、前記被投影部を透過した前記検査画像を撮像する、請求項2記載の画像検査装置。 - 前記集光レンズと前記被投影部との間の前記光線の光路上に設けられた反射系を備え、
前記撮像部は、前記被投影部と前記反射系とで反射された前記検査画像を撮像する、請求項2記載の画像検査装置。 - 前記反射系は、偏光板と偏光ビームスプリッタと1/4波長板とを含む、請求項4記載の画像検査装置。
- 前記検査部は、前記検査画像の歪、解像度、輝度、パターン形状、ガンマ特性、コントラスト比、アスペクト比、及び色合いの少なくとも1つを検査する、請求項1から5のいずれか一項記載の画像検査装置。
- 前記被投影部に投影された前記検査画像は、第1焦点距離の前記集光レンズで集光された前記光線によって投影された第1検査画像と、前記第1焦点距離とは異なる第2焦点距離の前記集光レンズで集光された前記光線によって投影された第2検査画像と、を含み、
前記検査部は、前記第1検査画像の第1解像度及び前記第2検査画像の第2解像度を測定し、前記第1焦点距離と前記第2焦点距離との差に対する前記第1解像度と前記第2解像度との差の比が所定範囲内かを検査する、請求項1から6のいずれか一項記載の画像検査装置。 - 前記被投影部に投影された前記検査画像は、空間周波数の異なる複数の前記第1検査画像と、空間周波数の異なる複数の前記第2検査画像と、を含み、
前記検査部は、前記複数の第1検査画像を用いてコントラスト比が0.5となる前記空間周波数を前記第1解像度として算出し、前記複数の第2検査画像を用いてコントラスト比が0.5となる前記空間周波数を前記第2解像度として算出し、前記第1焦点距離と前記第2焦点距離との差に対する前記第1解像度と前記第2解像度との差の比が所定範囲内かを検査する、請求項7記載の画像検査装置。 - 前記被投影部に投影された前記検査画像は輝度の異なるパターンを有する検査パターンを含み、
前記検査部は、前記検査パターンの輝度の変化に基づいて前記検査画像の解像度を検査する、請求項1から6のいずれか一項記載の画像検査装置。 - ユーザの網膜に画像を直接投影する画像投影装置が搭載される搭載部と、
前記搭載部に搭載された前記画像投影装置から出射される光線を集光させる集光レンズと、
前記集光レンズで集光された前記光線が照射されて検査画像が投影される被投影部と、
前記被投影部に投影された前記検査画像を検査する検査部と、
前記集光レンズの近傍に前記光線が通過する孔を有する前記集光レンズの光軸に垂直な面方向に移動可能な開口板と、を備え、
前記被投影部に投影された前記検査画像は、前記開口板が移動して前記孔が異なる位置にあるときに前記被投影部に投影された複数の前記検査画像を含み、
前記検査部は、前記複数の検査画像の平均輝度及び/又はパターン形状の差異が所定範囲内かを検査する、画像検査装置。 - 平面形状をした前記被投影部に画像を検出するディテクタを備え、
前記被投影部は、前記被投影部の平面の鉛直方向に移動可能であり、
前記検査部は、前記被投影部の移動に伴って、前記ディテクタの位置と、その位置で検出した前記検査画像の大きさを特定することによって、前記光線の収束領域の大きさを計測する、請求項1記載の画像検査装置。 - ユーザの網膜に画像を直接投影する画像投影装置から検査画像を形成する光線を出射させ、集光レンズを通過させて平面形状をしている被投影部に前記光線を照射させることで前記被投影部に前記検査画像を投影するステップと、
前記被投影部に投影された前記検査画像を検査するステップと、を備える画像検査方法。 - ユーザの網膜に画像を直接投影する画像投影装置から検査画像を形成する光線を出射させ、集光レンズを通過させて被投影部に前記光線を照射させることで前記被投影部に前記検査画像を投影するステップと、
前記被投影部に投影された前記検査画像を検査するステップと、
前記集光レンズ側に開口を有する略半球面の形状をした前記被投影部に投影された前記検査画像を撮像するステップと、
前記撮像するステップで撮像された前記検査画像に対して前記略半球面の中心点からの動径及び角度で表される極座標系を直交座標系に変換するステップと、を備え、
前記検査するステップは、前記変換するステップで変換された後の前記検査画像を検査する、画像検査方法。 - 前記検査するステップは、前記検査画像の歪、解像度、輝度、パターン形状、ガンマ特性、コントラスト比、アスペクト比、及び色合いの少なくとも1つを検査する、請求項12または13記載の画像検査方法。
- 前記投影するステップは、前記検査画像として、第1焦点距離の前記集光レンズを通過した前記光線による第1検査画像と、第2焦点距離の前記集光レンズを通過した前記光線による第2検査画像と、を投影し、
前記検査するステップは、前記第1検査画像の第1解像度及び前記第2検査画像の第2解像度を測定し、前記第1焦点距離と前記第2焦点距離との差に対する前記第1解像度と前記第2解像度との差の比が所定範囲内かを検査する、請求項12から14のいずれか一項記載の画像検査方法。 - 前記投影するステップは、空間周波数の異なる複数の前記第1検査画像と、空間周波数の異なる複数の前記第2検査画像と、を投影し、
前記検査するステップは、前記複数の第1検査画像を用いてコントラスト比が0.5となる前記空間周波数を前記第1解像度として算出し、前記複数の第2検査画像を用いてコントラスト比が0.5となる前記空間周波数を前記第2解像度として算出し、前記第1焦点距離と前記第2焦点距離との差に対する前記第1解像度と前記第2解像度との差の比が所定範囲内かを検査する、請求項15記載の画像検査方法。 - 前記投影するステップは、輝度の異なるパターンを有する検査パターンを含む前記検査画像を前記被投影部に投影し、
前記検査するステップは、前記検査パターンの輝度の変化に基づいて前記検査画像の解像度を検査する、請求項12から14のいずれか一項記載の画像検査方法。 - ユーザの網膜に画像を直接投影する画像投影装置から検査画像を形成する光線を出射させ、集光レンズを通過させて被投影部に前記光線を照射させることで前記被投影部に前記検査画像を投影するステップと、
前記被投影部に投影された前記検査画像を検査するステップと、を備え、
前記投影するステップは、前記集光レンズの近傍に前記光線が通過する孔を有する開口板が前記集光レンズの光軸に垂直な面方向に移動して前記孔が異なる位置にあるときに前記孔を通過する前記光線による複数の前記検査画像を投影し、
前記検査するステップは、前記複数の検査画像の平均輝度及び/又はパターン形状の差異が所定範囲内かを検査する、画像検査方法。 - 平面形状をした前記被投影部は前記被投影部の平面の鉛直方向に移動可能であり、前記被投影部の移動に伴って、前記被投影部に搭載されて画像を検出するディテクタの位置と、その位置で検出した前記検査画像の大きさと、を特定するステップと、
特定した前記ディテクタの位置と前記検査画像の大きさとによって、前記光線の収束領域の大きさを計測するステップと、を備える、請求項12記載の画像検査方法。 - 請求項1の画像検査装置に用いられる被投影部に用いられる画像検査装置用部品であって、
光拡散性が高く、波長分散がフラットである素材で構成された画像検査装置用部品。 - 前記素材は、光を透過させる材質のものに、石英および硫酸バリウムを混合させたもの、または光を透過させる材質の表面にナノダイヤモンドをコーティングしたものである、請求項20記載の画像検査装置用部品。
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