KR101356031B1 - 기판의 반송용 컨베이어 - Google Patents

기판의 반송용 컨베이어 Download PDF

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KR101356031B1 KR1020120088279A KR20120088279A KR101356031B1 KR 101356031 B1 KR101356031 B1 KR 101356031B1 KR 1020120088279 A KR1020120088279 A KR 1020120088279A KR 20120088279 A KR20120088279 A KR 20120088279A KR 101356031 B1 KR101356031 B1 KR 101356031B1
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Abstract

본 발명은 기판의 반송용 컨베이어에 관한 것으로, 특히 기판의 안착과 파지가 용이할 뿐만 아니라, 안착된 기판을 상부와 하부에서 세척수가 분사되어 세척을 하면서 이송시 기판의 파손이 일어나지 않도록 된 기판의 반송용 컨베이어에 관한 것이다.
본 발명의 기판의 반송용 컨베이어(1100)는, 양측면프레임(1110,1120)과, 이 양측면프레임을 일정한 간격을 두고 수직으로 세워서 설치할 수 있도록 된 고정다리블록(1130)을 갖춘 프레임수단(1100)과; 상기 프레임중의 어느 하나의 측면에 연결설치되어 동력을 공급하도록 된 구동수단(1200)과; 상기 구동수단의 회전력을 전달가능하게 프레임에 설치된 벨트기어와 아이들기어 및 아이들롤러로 이루어진 회전력전달수단(1300)과; 상기 프레임의 내측면 양단에 각각 설치된 자석부재(1400)와, 상기 회전력전달수단에 의해 프레임의 내측면에서 일정한 궤도를 그리면서 회전 이송하도록 일정한 간격을 두고 설치된 한쌍의 반송벨트(1500)와, 상기 반송벨트의 외주면에 일정한 간격을 두고 고정됨과 더불어 상기 자석부재와 근접하면 자석부재쪽으로 기판홀더가 이동하고, 자석부재와 멀어지면 내부에 수용된 탄성부재에 의해 자석의 반대쪽으로 일정길이 기판홀더가 이동하여 기판(T)을 파지하여 이송하고 파지력을 해제 할 수 있도록 된 기판반송수단(1600)을 포함한다.

Description

기판의 반송용 컨베이어{SUBSTRATE TRANSFER CONVEYOR APPARATUS}
본 발명은 기판의 반송용 컨베이어에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 기판의 안착과 파지가 용이할 뿐만 아니라, 안착된 기판을 상부와 하부에서 세척수가 분사되어 세척을 하면서 이송시 기판의 파손이 일어나지 않도록 된 기판의 반송용 컨베이어에 관한 것이다.
일반적으로 기판은 그 일면에 컴퓨터용 중앙처리장치 등의 반도체 칩을 부착하도록 되고, 또 다른 일면에는 중앙처리장치와 또 다른 기판 등과의 정보통신을 위한 다수의 전극 단자가 형성된다.
여기서, 상기 기판은 수지재질의 판재에 다수의 입/출력 단자가 형성된 것으로, 통상 인쇄회로기판(PCB:printed circuit board; 이하 "기판"이라 함)으로 통용되고, 다양한 형태와 재질로 개발되어 제조되고 있다.
또, 상기 기판의 일면에 형성되는 다수의 입/출력 단자의 납땜 또는 용접을 위해 산화방지층을 형성하도록 된 플럭스(flux)가 사용되는 것이 보편적이며, 상기 플럭스는 상기 기판의 단자가 형성된 일면에 도포되어 납땜과 용접 시에 기판에 형성된 단자의 용접면이 산화되는 것을 방지하는 작용을 하게된다.
그러나 상기와 같이, 기판에 단자의 형성을 위해 사용된 플럭스는 단자의 용접이 완료된 후에도 상기 단자 및 기판의 표면에 위치되어 상기 단자 및 기판을 지속적으로 산화 및 부식시키게 되어 상기 단자가 형성된 기판은 상기 플럭스 또는 다른 이물질의 제거를 위해 세척공정을 거치게 된다.
또한 평판 표시 패널을 제작하는 기판처리장치의 경우에는 대형의 글래스 기판을 복수 개의 단위 기판으로 절단하는 면취 공정을 처리한다. 이와 같은 기판처리장치는 글래스 기판을 스크라이빙(scribing), 브레이킹 (breaking) 및, 연마 등 일련의 공정들을 처리한다. 스크라이빙 공정은 레이저나 스크라이빙 휠 등을 이용하여 절단 예정인 기판 표면에 스크라이브 라인(scribe line)을 형성한다. 브레이킹 공정은 스크라이빙 선이 형성된 글래스 기판에 전기적 또는 물리적인 충격을 가하여 단위 기판으로 절단한다.
또 연마 공정은 기판의 절단면을 연마하여 라운딩 처리한다. 면취 공정이 완료되면, 글래스 기판에는 면취 공정에 의해 발생되는 유리 가루 등의 파티클이 잔존하게 되는데, 기판처리장치는 파티클을 제거하기 위하여 면취 후 세정 공정을 처리한다.
이러한 각각의 기판과 같이 카메라모듈이 다수개 구비된 세라믹 기판을 세척하기 위한 컨베이어는 기판을 이송시키면서 상부와 하부에서 세척하게 되는바, 기판을 세척하면서 이송할 때 세척수에 의해 움직이지 않도록 상부와 하부에서 롤러가 기판을 파지하여 이송하도록 되어 있었으나, 롤러의 가공정도와 조립공차에 의해 카메라모듈과 같은 세라믹재질로 된 기판에 가해지는 압력이 달라서 무리한 힘을 가하게 되므로 기판이 파손되는 문제점이 있다.
참조문헌: 대한민국 공개특허 제10-2011-0081545호 기판 반송 컨베이어장치 및 기판처리장치.
본 발명은 상기와 같은 제반 문제점들을 해소하기 위해 안출된 것으로, 기판의 안착과 파지가 용이할 뿐만 아니라, 안착된 기판을 상부와 하부에서 세척수가 분사되어 세척을 하면서 이송시 기판의 파손이 일어나지 않도록 된 기판의 반송용 컨베이어를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 기판의 반송용 컨베이어는, 양측면프레임과, 이 양측면프레임을 일정한 간격을 두고 수직으로 세워서 설치할 수 있도록 된 고정다리블록을 갖춘 프레임수단과; 상기 프레임중의 어느 하나의 측면에 설치된 구동수단과; 상기 구동수단의 회전력을 전달가능하게 프레임에 설치된 회전력전달수단과; 상기 프레임의 기판 배출부쪽에 설치된 기판건조부를 포함하되, 상기 프레임의 내측면 양단에 각각 설치된 자석부재와, 상기 회전력전달수단에 의해 프레임의 내측면에서 일정한 궤도를 그리면서 회전 이송하도록 일정한 간격을 두고 설치된 한쌍의 반송벨트와, 상기 반송벨트의 외주면에 일정한 간격을 두고 고정됨과 더불어 상기 자석부재와 근접하면 자석부재쪽으로 기판홀더가 이동하고, 자석부재와 멀어지면 내부에 수용된 탄성부재에 의해 자석의 반대쪽으로 일정길이 기판홀더가 이동하여 기판을 파지하여 이송하고 파지력을 해제 할 수 있도록 된 기판반송수단을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기서 상기 자석부재는, ㄱ자 형상으로 이루어지지되, 꺽인 부분은 반송벨트의 이송경로를 따라 일정한 곡률을 갖는 곡면으로 이루어지면서, 상기 프레임의 내측면에 고정된 하우징과, 상기 프레임과 밀착되는 하우징의 안쪽면에는 하우징의 길이방향으로 수용된 자석을 포함하는 것을 특징으로 한다.
그리고 상기 기판반송수단은, 상기 반송벨트의 외주면에 일정한 간격으로 고정설치된 복수개의 견인블록과, 상기 견인블록에 일측면이 고정됨과 더불어 상기 자석부재와 근접하면 자석부재쪽으로 기판홀더가 이동하고, 자석부재와 멀어지면 내부에 수용된 탄성부재에 의해 자석의 반대쪽으로 일정길이 기판홀더가 이동하여 기판을 파지하도록 된 반송홀더를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한 상기 반송홀더는, 상기 견인블록에 양측면이 고정가능하도록 체결나사홈이 형성된 바디와, 상기 바디의 하부에 관통형성된 구멍으로 끼워지는 스터드볼트와, 상기 바디의 일측면으로 돌출된 스터드볼트와 체결되는 체결너트부재와, 상기 체결너트부재가 체결되지 않는 반대쪽의 스터드볼트로 끼워져 바디의 스프링안착홈에 안착되는 압축스프링과, 상기 스프링안착홈에 끼워짐과 더불어 스터드볼트와 체결되되, 상기 압축스프링에 의해 체결너트부재의 반대쪽으로 밀려나도록 끼워진 스터드볼트체결부와, 상기 바디에 형성된 스프링안착홈의 상부에 스프링안착홈과 평행하게 일정깊이로 형성된 홀더가이드홈으로 끼워진 기판홀더가이드부를 갖춘 기판홀더를 포함하는 것을 특징으로 한다.
한편 상기 기판홀더는, 상기 기판이 안착되어 밀착되는 측면에는 상부로 갈수록 기판쪽으로 단면적이 커지도록 경사진 기판이동방지고정부가 더 형성된 것을 특징으로 한다.
상술한 바와 같이 본 발명의 기판의 반송용 컨베이어에 의하면, 안착된 기판을 상부와 하부에서 세척수가 분사되어 세척을 하면서 이송시 기판의 파손이 일어나지 않게 되는 효과가 있다.
본 발명의 기판의 반송용 컨베이어에 의하면, 기판의 안착과 파지가 용이함은 물론, 배출도 용이하게 되는 효과가 있다.
본 발명의 기판의 반송용 컨베이어에 의하면, 웨이퍼와 같이 원형 기판도 세척하면서 이송이 가능하게 된다.
본 발명의 기판의 반송용 컨베이어에 의하면, 기판이 안착되고 세척수가 기판에 분사되어도 기판이동방지고정부가 기판의 상하유동을 방지하여 기판의 파손 없이 안전하게 세척이 이루어지게 되는 효과가 있다.
도 1과 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판의 반송용 컨베이어를 나타내는 사시도이고,
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판의 반송용 컨베이어를 나타내는 평면도,
도 4는 도 3의 A - A선 단면도,
도 5는 도 1의 G부 상세도,
도 6은 도 4의 B - B선 단면도,
도 7은 본 발명의 기판 양단이 기판홀더에 안착된 상태를 나타내는 설명도,
도 8은 도 6의 H부의 상세도,
도 9는 도 7의 I부 상세도,
도 10은 도 4의 J부 상세도,
도 11은 본 발명의 실시예에 따른 기판홀더를 나타내는 사시도,
도 12는 도 11의 평면도,
도 13은 도 12의 C - C선 단면도,
도 14는 본 발명의 실시예에 따른 자력부재를 나타내는 사시도,
도 15는 도 14의 배면 사시도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 기판의 반송용 컨베이어를 상세히 설명한다.
상기 도면의 구성 요소들에 인용부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 동일한 부호를 가지도록 하고 있으며, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다. 또한, '상부', '하부', '앞', '뒤', '선단', '전방', '후단' 등과 같은 방향성 용어는 개시된 도면(들)의 배향과 관련하여 사용된다. 본 발명의 실시 예의 구성요소는 다양한 배향으로 위치설정될 수 있기 때문에 방향성 용어는 예시를 목적으로 사용되는 것이지 이를 제한하는 것은 아니다.
본 발명에 따른 기판의 반송용 컨베이어(1000)는 도 1 내지 도 15에 도시된 것과 같이, 양측면프레임(1110,1120)과, 이 양측면프레임을 일정한 간격을 두고 수직으로 세워서 설치할 수 있도록 된 고정다리블록(1130)을 갖춘 프레임수단(1100)과; 상기 프레임중의 어느 하나의 측면에 연결설치되어 동력을 공급하도록 된 구동수단(1200)과; 상기 구동수단의 회전력을 전달가능하게 프레임에 설치된 벨트기어와 아이들기어 및 아이들롤러로 이루어진 회전력전달수단(1300)과; 상기 프레임의 내측면 양단에 각각 설치된 자석부재(1400)와, 상기 회전력전달수단에 의해 프레임의 내측면에서 일정한 궤도를 그리면서 회전 이송하도록 일정한 간격을 두고 설치된 한쌍의 반송벨트(1500)와, 상기 반송벨트의 외주면에 일정한 간격을 두고 고정됨과 더불어 상기 자석부재와 근접하면 자석부재쪽으로 기판홀더가 이동하고, 자석부재와 멀어지면 내부에 수용된 탄성부재에 의해 자석의 반대쪽으로 일정길이 기판홀더가 이동하여 기판(T)을 파지하여 이송하고 파지력을 해제 할 수 있도록 된 기판반송수단(1600)을 포함한다.
여기서 상기 프레임수단(1100)의 기판 배출부쪽에 기판건조부(1700)가 일체로 설치될 수 있고, 별도로 설치될 수 있다. 또 도 3 및 도 4에 도시된 도면부호 1800은 세척수분사부로 기판의 반송용 컨베이어(1000)와 일체로 설치될 수 있고 별도로 설치될 수 있다.
따라서 안착된 기판(T)을 상부와 하부에 설치된 세척수분사부(1800)에 의해서 세척수가 분사되어 세척을 하면서 이송시 기판(T)의 측면을 반송벨트(1500)에 고정된 다수개의 기판반송수단(1600)으로 파지하여 이송하므로 기판의 파손이 일어나지 않게 된다.
또 상기 기판반송수단(1600)이 기판이 유입 또는 배출될 때에는 자력에 의해 자유로이 유입되거나 배출되도록 하고, 세척하면서 이동할 때에만 기판을 확실하게 측면에서 파지하여 기판의 안정적인 이송과 배출 및 유입이 가능하게 된다.
또한 상기 기판반송수단(1600)의 간격을 조정하게 되면 원형의 웨이퍼도 세척하면서 반송이 용이하게 된다.
여기서 상기 자석부재(1400)는 도 1 내지 도 5 및 도 14와 도 15에 도시된 것과 같이, ㄱ자 형상으로 이루어지지되, 꺽인 부분은 반송벨트(1500)의 이송궤도를 따라 일정한 곡률을 갖는 곡면으로 이루어지면서, 상기 프레임(1110,1120)의 내측면에 고정된 하우징(1410)과, 상기 프레임(1110,1120)과 밀착되는 하우징(1410)의 안쪽면에는 하우징의 길이방향으로 수용된 자석(1420)을 포함한다.
물론 상기 하우징(1410)은 프레임(1110,1120)의 내측면에 고정하기 위해 고정부(1411)가 형성되고, 또 자석(1420)을 수용할 수 있도록 수용홈(1412)이 형성된다.
상기 자석(1420)은 도 15에서와 같이 원형으로 복수개 사용될 수 있고 하나의 막대자석을 이용할 수 있다.
따라서 상기 기판반송수단(1600)의 기판홀더(1625)가 자석에 근접하면 기판을 기판반송수단에 안착하기 용이하게 벌어지게 되고, 자석과 멀어지게 되면 기판반송수단에서 기판을 분리하기 용이하게 된다.
한편 상기 반송벨트(1500)는 후술하는 복수개의 견인블록(1610)이 외주면에 일정한 간격으로 세워져 고정설치되어 있다. 여기서 견인블록(1610)은 상기 자석(1420)에 의해 회전시 영향이 없도록 비금속이나 플라스틱으로 만들어져 있다.
또한 상기 기판반송수단(1600)은 도 1 내지 도 5 및 도 10 내지 도 13에 도시된 것과 같이, 상기 반송벨트(1500)의 외주면에 일정한 간격으로 고정설치된 복수개의 견인블록(1610)과, 상기 견인블록에 일측면이 고정됨과 더불어 상기 자석부재(1400)와 근접하면 자석부재쪽으로 기판홀더(1625)가 이동하고, 자석부재와 멀어지면 내부에 수용된 탄성부재(1624)에 의해 자석의 반대쪽으로 일정길이 기판홀더(1625)가 이동하여 기판(T)을 파지하도록 된 반송홀더(1620)를 포함한다.
여기서 상기 반송홀더(1620)는, 상기 견인블록(1610)에 양측면이 고정가능하도록 체결나사홈(1621a)이 형성된 바디(1621)와, 상기 바디의 하부에 관통형성된 구멍(1621b)으로 끼워지는 스터드볼트(1622)와, 상기 바디의 일측면으로 돌출된 스터드볼트와 체결되는 체결너트부재(1623)와, 상기 체결너트부재가 체결되지 않는 반대쪽의 스터드볼트로 끼워져 바디의 스프링안착홈(1621c)에 안착되는 압축스프링(1624)과, 상기 스프링안착홈에 끼워짐과 더불어 스터드볼트와 체결되되, 상기 압축스프링에 의해 체결너트부재의 반대쪽으로 밀려나도록 끼워진 스터드볼트체결부(1625a)와, 상기 바디에 형성된 스프링안착홈의 상부에 스프링안착홈과 평행하게 일정깊이로 형성된 홀더가이드홈(1621d)으로 끼워진 기판홀더가이드부(1625b) 및 기판안착부(1625c)를 갖춘 기판홀더(1625)를 포함한다.
상기 바디(1621)는 비금속으로 만들어져 상기 자석(1420)에 부착되지 않아 반송벨트(1500)에 고정된 견인블록(1610)에 고정하여 반송시 원활한 이송이 이루어지도록 되어 있다. 본 실시예에서는 알루미늄으로 만들어진다.
그리고 상기 스터드볼트(1622)는 세척시 녹이 발생하는 것을 방지하기 위해 SUS재질로 제작됨과 더불어, 또 금속재로 이루어져 상기 자석(1420)에 잘 부착되도록 구성된 상기 체결너트부재(1623)와는 체결시 접착재를 바르고 체결하여 풀리지 않도록 한다.
또한 상기 기판홀더(1625)는, 상기 바디(1621)에서 이동이 가능하게 설치됨과 더불어 물에 녹슬지 않고 자석의 자력에 영향이 없도록 플라스틱으로 제조하는 것이 바람직하다.
여기서 상기 기판홀더(1625)는, 상기 기판이 안착되어 밀착되는 기판안착부(1625c)의 측면에는 상부로 갈수록 기판쪽으로 단면적이 커지도록 경사진 기판이동방지고정부(1625d)가 더 형성된다.
따라서 도 1과 도 2의 좌측으로 상기 기판(T)이 상기 반송벨트(1500)로 공급될 때 ㄱ자 형상으로 절곡된 상기 자석부재(1400)에 의해 미리 체결너트부재(1623)가 자석부재(1400)쪽으로 당겨지게 되므로 상기 기판홀더(1625)가 자석부재(1400)쪽으로 이동하여 유입되는 기판(T)의 공급이 원활하게 함은 물론, 도 1과 도 2의 우측단에서는 기판(T)이 배출되기 용이하도록 된다.
또 상기 기판이동방지고정부(1625d)에 기판이 끼워진 상태로 반송되므로 세척과 동시에 이송시 안정되게 이송되게 된다.
앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 실시 예들은 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 경우에는 본 발명의 보호범위에 속하게 될 것이다.
1000 : 기판의 반송용 컨베이어 1100 : 프레임수단
1110,1120 : 양측면프레임 1130 : 고정다리블록
1200 : 구동수단 1300 : 회전력전달수단
1400 : 자석부재 1410: 하우징
1420 : 자석 1500 : 반송벨트
1600 : 기판반송수단 1610 : 견인블록
1620 : 반송홀더 1621 : 바디
1622 : 스터드볼트 1623 : 체결너트부재
1624 : 압축스프링 1625 ; 기판홀더
1700 : 기판건조부 1800 : 세척수분사부

Claims (5)

  1. 양측면프레임과, 이 양측면프레임을 일정한 간격을 두고 수직으로 세워서 설치할 수 있도록 된 고정다리블록을 갖춘 프레임수단과; 상기 프레임중의 어느 하나의 측면에 설치된 구동수단과; 상기 구동수단의 회전력을 전달가능하게 프레임에 설치된 회전력전달수단을 포함하는 기판의 반송용 컨베이어에 있어서,
    상기 프레임의 내측면 양단에 각각 설치된 자석부재와,
    상기 회전력전달수단에 의해 프레임의 내측면에서 일정한 궤도를 그리면서 회전 이송하도록 일정한 간격을 두고 설치된 한쌍의 반송벨트와,
    상기 반송벨트의 외주면에 일정한 간격을 두고 고정됨과 더불어 상기 자석부재와 근접하면 자석부재쪽으로 기판홀더가 이동하고, 자석부재와 멀어지면 내부에 수용된 탄성부재에 의해 자석의 반대쪽으로 일정길이 기판홀더가 이동하여 기판을 파지하여 이송하고 파지력을 해제 할 수 있도록 된 기판반송수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 반송용 컨베이어.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 자석부재는, ㄱ자 형상으로 이루어지지되, 꺽인 부분은 반송벨트의 이송경로를 따라 일정한 곡률을 갖는 곡면으로 이루어지면서, 상기 프레임의 내측면에 고정된 하우징과,
    상기 프레임과 밀착되는 하우징의 안쪽면에는 하우징의 길이방향으로 수용된 자석을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 반송용 컨베이어.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 기판반송수단은,
    상기 반송벨트의 외주면에 일정한 간격으로 고정설치된 복수개의 견인블록과,
    상기 견인블록에 일측면이 고정됨과 더불어 상기 자석부재와 근접하면 자석부재쪽으로 기판홀더가 이동하고, 자석부재와 멀어지면 내부에 수용된 탄성부재에 의해 자석의 반대쪽으로 일정길이 기판홀더가 이동하여 기판을 파지하도록 된 반송홀더를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 반송용 컨베이어.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 반송홀더는,
    상기 견인블록에 양측면이 고정가능하도록 체결나사홈이 형성된 바디와,
    상기 바디의 하부에 관통형성된 구멍으로 끼워지는 스터드볼트와,
    상기 바디의 일측면으로 돌출된 스터드볼트와 체결되는 체결너트부재와,
    상기 체결너트부재가 체결되지 않는 반대쪽의 스터드볼트로 끼워져 바디의 스프링안착홈에 안착되는 압축스프링과,
    상기 스프링안착홈에 끼워짐과 더불어 스터드볼트와 체결되되, 상기 압축스프링에 의해 체결너트부재의 반대쪽으로 밀려나도록 끼워진 스터드볼트체결부와, 상기 바디에 형성된 스프링안착홈의 상부에 스프링안착홈과 평행하게 일정깊이로 형성된 홀더가이드홈으로 끼워진 기판홀더가이드부 및 기판안착부를 갖춘 기판홀더로 이루어진 것을 특징으로 하는 기판의 반송용 컨베이어.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 기판홀더는,
    상기 기판이 안착되어 밀착되는 측면에는 상부로 갈수록 기판쪽으로 단면적이 커지도록 경사진 기판이동방지고정부가 더 형성된 것을 특징으로 하는 기판의 반송용 컨베이어.
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