KR101267643B1 - 기판 처리 장치, 기판 처리 방법 및 기억 매체 - Google Patents

기판 처리 장치, 기판 처리 방법 및 기억 매체 Download PDF

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Abstract

본 발명은 처리액 공급 유닛(13) 내의 처리액 감소에 기인한 기판 처리 장치의 강제 정지의 빈도를 감소시키고, 처리액을 유효하게 사용하여 수율이 양호한 기판 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
이러한 기판 처리 장치는, 기판에 액처리를 행하는 복수의 액처리 유닛(12)과, 복수의 액처리 유닛(12)에 대한 기판의 반입·반출을 행하는 기판 반송 수단과, 복수의 액처리 유닛(12)으로 처리액을 공급하는 처리액 공급 유닛(13)과, 상기 처리액 공급 유닛(13)의 처리액 저류조(16) 내의 처리액의 잔량을 검출하는 레벨 게이지(161)를 구비하고, 레벨 게이지(161)가 검출하는 처리액 저류조(16) 내의 처리액의 잔량이 소정량을 하회하는 경우에, 액처리 유닛(12)으로의 기판의 반입을 정지시킨다.

Description

기판 처리 장치, 기판 처리 방법 및 기억 매체{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS, SUBSTRATE PROCESSING METHOD AND STORAGE MEDIUM}
본 발명은, 반도체 웨이퍼나 액정 패널의 유리판 등의 여러 가지 기판에 필요한 액처리를 행하는 기판 처리 장치, 특히 공통의 처리액 공급 유닛으로부터 복수의 처리 유닛으로 처리액을 분배 공급하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
반도체나 액정 패널 등의 제조 공정에는, 세정이나 에칭 등과 같이, 처리액을 피처리체에 토출(吐出)시키거나 또는 피처리체를 처리액에 침지하는 액처리 공정이 있다. 이러한 처리 공정을 자동화하기 위해, 기판에 액처리를 행하는 복수의 액처리 유닛과 상기 복수의 액처리 유닛으로 처리액을 공급하는 처리액 공급 유닛을 공통의 케이스에 수납하고, 상기 케이스에 연결되는 카세트와 상기 복수의 액처리 유닛 사이에서 처리 대상 기판의 반입·반출을 행하는 기판 반송 수단을 구비한 기판 처리 장치가 사용된다.
이러한 기판 처리 장치는 공통의 처리액 공급 유닛으로부터 복수 개의 액처리 유닛으로 처리액을 공급하고 있다. 또한, 처리액 공급 유닛은, 복수의 원액 공급원으로부터 공급되는 원액을 조합(調合)하여 처리액을 생성하는 처리액 조합조를 구비하고 있다. 또한, 상기 처리액 조합조로부터 이송되는 처리액을 저류하는 처리액 저류조를 구비하여 상기 처리액 저류조로부터 복수 개의 액처리 유닛으로 처리액을 분배 공급하는 경우도 있다. 또한, 액처리 유닛에서 사용되지 않은 (잉여의) 처리액을 처리액 저류조로 환류시키는 환류로를 설치하는 경우도 있다(예컨대, 특허 문헌 1).
또한, 기판 처리 장치에서는, 처리액 공급 유닛에 처리액의 잔량을 검출하는 센서를 구비하여, 처리액 공급 유닛 내의 처리액의 잔량이 0이 되면, 기판 처리 장치를 강제 정지시키고 있었다.
[특허 문헌 1] 일본 특허 공개 제2007-109738호 공보
그러나, 처리액 공급 유닛 내의 처리액의 잔량이 0이 되고 나서, 기판 처리 장치를 강제 정지시키면, 처리액 공급 유닛에 처리액이 보충될 때까지, 기판의 액처리가 정지되기 때문에, 기판 처리 장치의 스루풋이 저하된다고 하는 문제가 있었다.
또한, 기판 처리 장치를 강제 정지시키면, 복수 개의 액처리 유닛 내에 있는 모든 기판이 불량품이 되기 때문에, 수율이 나빠진다고 하는 문제가 있었다.
한편, 처리액 공급 유닛 내의 처리액의 잔량이 0이 되었다고 해도, 처리액 공급 유닛과 액처리 유닛 사이의 배관에 남아 있는 처리액을 사용하여 액처리 유닛 내의 기판의 처리를 완료시킬 수 있는 경우도 있다. 또한, 환류로를 통해 액처리 유닛으로부터 처리액 저류조로 되돌아오는 처리액으로, 운전중인 액처리 유닛에서 필요로 하는 처리액을 조달할 수 있는 경우도 있다.
본 발명은, 상기한 실정을 감안하여 이루어진 것으로, 처리액 공급 유닛 내의 처리액의 감소에 기인한 기판 처리 장치의 강제 정지의 빈도를 감소시키고, 처리액을 유효하게 사용하여 수율이 양호한 기판 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 따른 기판 처리 장치는, 기판에 액처리를 행하는 복수의 액처리 유닛과, 상기 복수의 액처리 유닛에 대한 기판의 반입·반출을 행하는 기판 반송 수단과, 상기 복수의 액처리 유닛으로 처리액을 공급하는 처리액 공급 유닛과, 상기 처리액 공급 유닛 내의 처리액의 잔량을 검출하는 처리액 잔량 검출 수단을 구비하는 기판 처리 장치에 있어서, 상기 처리액 잔량 검출 수단이 검출하는 상기 처리액 공급 유닛 내의 처리액의 잔량이 소정량을 하회하는 경우에, 상기 기판 반송 수단에 의한 상기 액처리 유닛으로의 기판의 반입을 정지시키는 제어 수단을 구비하는 것이다.
또한, 상기 처리액 공급 유닛은, 복수의 원액 공급원으로부터 공급되는 원액을 조합하여 처리액을 생성하는 처리액 조합조와, 처리액을 저류하는 처리액 저류조와, 상기 처리액 조합조로부터 상기 처리액 저류조로 처리액을 이송하는 처리액 이송 수단과, 상기 처리액 저류조로부터 상기 복수의 액처리 유닛으로 처리액을 .하는 처리액 배송 수단을 구비하는 것이다.
또한, 상기 처리액 잔량 검출 수단을 상기 처리액 저류조 내의 처리액의 잔량을 검출하는 저류조내 처리액 잔량 검출 수단으로 하여도 좋다.
또는, 상기 처리액 잔량 검출 수단을 상기 처리액 조합조 내의 처리액의 잔량을 검출하는 조합조내 처리액 잔량 검출 수단으로 하여도 좋다.
또한, 본 발명에 따른 기판 처리 장치는, 상기 구성에 추가하여, 상기 처리액 이송 수단의 이상을 검지하는 이송 이상 검지 수단을 구비하고, 상기 제어 수단은, 상기 이송 이상 검지 수단이 상기 처리액 이송 수단의 이상을 검지한 경우에, 상기 기판 반송 수단에 의한 기판의 반입을 정지시키도록 하여도 좋다.
또한, 본 발명에 따른 기판 처리 장치는, 상기 구성에 추가하여, 상기 원액 공급원의 이상을 검지하는 공급원 이상 검지 수단을 구비하고, 상기 제어 수단은, 상기 공급원 이상 검지 수단이 상기 원액 공급원의 이상을 검지한 경우에, 상기 기판 반송 수단에 의한 기판의 반입을 정지시키도록 하여도 좋다.
또한, 본 발명에 따른 기판 처리 장치는, 상기 구성에 추가하여, 상기 복수의 액처리 유닛에 공급되는 처리액의 유량을 액처리 유닛마다 검출하는 공급량 검출 수단을 구비하고, 상기 제어 수단은, 상기 공급량 검출 수단이 액처리 유닛으로의 처리액의 공급량이 소정량을 하회한 것을 검출한 경우에, 상기 액처리 유닛으로의 처리액의 공급을 정지시키며, 상기 액처리 유닛 내의 기판의 액처리가 미(未)완료되었다는 취지를 기록하도록 하여도 좋다.
또한, 상기 제어 수단은, 상기 공급량 검출 수단이 액처리 유닛으로의 처리액의 공급량이 소정량을 하회한 것을 검출한 경우에, 상기 액처리 유닛으로의 처리액의 공급을 정지시키고, 상기 액처리 유닛이 순수에 의한 기판의 세정과 건조를 행하게 하도록 하여도 좋다.
또한, 본 발명에 따른 기판 처리 장치는, 상기 구성에 추가하여, 상기 복수의 액처리 유닛에서 사용되지 않은 처리액을 상기 처리액 공급 유닛으로 일괄적으로 환류시키는 처리액 환류 수단과, 상기 처리액 환류 수단 내에서 흐르는 처리액의 유량을 검출하는 환류량 검출 수단을 구비하고, 상기 제어 수단은, 상기 환류량 검출 수단이 검출하는 처리액의 유량이 소정량을 하회한 경우에, 처리액에 의한 액처리가 종료되지 않은 액처리 유닛 내의 기판의 액처리가 미완료되었다는 취지를 기록하도록 하여도 좋다.
또한, 상기 제어 수단은, 상기 환류량 검출 수단이 검출하는 처리액의 유량이 소정량을 하회한 경우에, 처리액에 의한 액처리가 종료되지 않은 액처리 유닛이 순수에 의한 기판의 세정과 건조를 행하게 하도록 하여도 좋다.
본 발명에 따른 기판 처리 방법은, 복수의 액처리 유닛에 기판을 순차적으로 반입하고, 처리액 공급 유닛으로부터 상기 복수의 액처리 유닛으로 처리액을 공급하여 기판에 액처리를 행하며, 상기 액처리가 완료된 후에, 상기 복수의 액처리 유닛으로부터 기판을 순차적으로 반출하는 기판 처리 방법에 있어서, 상기 처리액 공급 유닛 내의 처리액의 잔량이 소정량을 하회하는 경우에, 상기 액처리 유닛으로의 기판의 반입을 정지시키는 것이다.
또한, 상기 처리액 공급 유닛은, 처리액 조합조, 처리액 저류조, 처리액 이송 수단 및 처리액 배송 수단을 구비하며, 복수의 원액 공급원으로부터 공급되는 원액을 상기 처리액 조합조에서 조합하여 처리액을 생성하고, 상기 처리액 조합조에서 생성된 처리액을 처리액 이송 수단에 의해 상기 처리액 저류조로 이송하여 저류하며, 상기 처리액 저류조에 저류된 처리액을 상기 처리액 배송 수단에 의해 상기 복수의 액처리 유닛으로 배송하는 것이다.
또한, 상기 처리액 저류조 내의 처리액의 잔량이 소정량을 하회하는 경우에, 상기 액처리 유닛으로의 기판의 반입을 정지시키는 것이다.
또는, 상기 처리액 조합조 내의 처리액의 잔량이 소정량을 하회하는 경우에, 상기 액처리 유닛으로의 기판의 반입을 정지시키는 것이다.
또한, 본 발명에 따른 기판 처리 방법은, 상기 구성에 추가하여, 상기 처리 액 이송 수단의 이상을 검지한 경우에, 상기 액처리 유닛으로의 기판의 반입을 정지시키도록 하여도 좋다.
또한, 본 발명에 따른 기판 처리 방법은, 상기 구성에 추가하여, 상기 원액 공급원의 이상을 검지한 경우에, 상기 액처리 유닛으로의 기판의 반입을 정지시키도록 하여도 좋다.
또한, 본 발명에 따른 기판 처리 방법은, 상기 구성에 추가하여, 상기 복수의 액처리 유닛에 공급되는 처리액의 유량을 액처리 유닛마다 검출하고, 액처리 유닛으로의 처리액의 공급 정지를 검출한 경우에, 상기 액처리 유닛의 운전을 정지시키며, 상기 액처리 유닛 내의 기판의 액처리가 미완료되었다는 취지를 기록하도록 하여도 좋다.
또한, 본 발명에 따른 기판 처리 방법은, 상기 구성에 추가하여, 액처리 유닛으로의 처리액의 공급 정지를 검출한 경우에, 상기 액처리 유닛이 순수에 의한 기판의 세정과 건조를 행하게 하도록 하여도 좋다.
또한, 상기 복수의 액처리 유닛에서 사용되지 않은 처리액을 상기 처리액 공급 유닛으로 일괄적으로 환류시키고, 상기 처리액 공급 유닛으로 환류되는 처리액의 유량이 소정량을 하회한 경우에, 기판 처리를 정지시키며, 운전중인 모든 액처리 유닛 내의 기판의 액처리가 미완료되었다는 취지를 기록하도록 하여도 좋다.
또한, 상기 구성에 추가하여, 상기 처리액 공급 유닛으로 환류되는 처리액의 유량이 소정량을 하회한 경우에, 운전중인 모든 액처리 유닛이 순수에 의한 기판의 세정과 건조를 행하게 하도록 하여도 좋다.
또한, 본 발명에 따른 기억 매체는, 기판에 액처리를 행하는 복수의 액처리 유닛과, 상기 복수의 액처리 유닛에 대한 기판의 반입·반출을 행하는 기판 반송 수단과, 상기 복수의 액처리 유닛으로 처리액을 공급하는 처리액 공급 유닛과, 상기 처리액 공급 유닛 내의 처리액의 잔량을 검출하는 처리액 잔량 검출 수단을 구비하는 기판 처리 장치를 제어하는 컴퓨터로 실행되는 프로그램을 저장한 기억 매체에 있어서, 상기 프로그램은, 상기 처리액 공급 유닛 내의 처리액의 잔량이 소정량을 하회하는 경우에, 상기 액처리 유닛으로의 기판의 반입을 정지시키는 단계를 포함하는 것이다.
본 발명에 따른 기판 처리 장치는, 처리액 저류조내 또는 처리액 조합조 내의 처리액이 부족하거나 또는 처리액 조합조로부터 처리액 저류조로 처리액을 이송하는 처리액 이송 수단에 이상이 생겼을 경우에, 신규의 (소재) 기판의 액처리 유닛으로의 반입을 정지시키고, 현재 처리중인 기판의 처리는 속행되기 때문에, 처리액을 유효하게 사용할 수 있어 기판의 보호와 수율이 향상된다.
이하, 본 발명을 실시하기에 가장 바람직한 형태에 대해서 도면을 참조하면서 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 기판 처리 장치의 기본적인 구성을 도시한 개념적인 평면도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 기판 처리 장치(1)는 기판 반입·반출부(2)와 액 처리부(3)로 구성된다.
기판 반입·반출부(2)는 카세트 적재부(4)와, 부(副)반송부(5)로 구성된다. 카세트 적재부(4)는 카세트(6)를 얹어 놓고 기밀하게 연결하는 인터페이스이다. 카세트(6)는 카세트 적재부(4)에 기밀하게 연결되기 때문에, 카세트(6) 내의 기판(7)을 외부의 분위기에 노출시키지 않고 부반송부(5)로 반입할 수 있다. 또한, 부반송부(5)에는 제1 반송 아암(8)과 전달대(9)가 구비된다. 제1 반송 아암(8)은 카세트 적재부(4)에 연결된 카세트(6)로부터 기판(7)을 꺼내고 넣는 로봇 아암이다. 또한, 전달대(9)는 부반송부(5)와 액처리부(3) 사이에서 기판(7)의 전달을 행하기 위한 임시 적재대이다. 또한, 카세트(6)는 복수의 기판(7)을 수평 상태에서 수용하는 운반 용기이다.
액처리부(3)는, 제2 반송 아암(10)을 갖는 주(主)반송부(11)와, 주반송부(11)의 양측에 배열된 8대의 기판 처리 유닛(12)을 구비한다. 또한, 제2 반송 아암(10)은 전달대(9)와 기판 처리 유닛(12) 사이에서 기판(7)의 반송을 행한다. 즉, 제1 반송 아암(8)이 처리전의 기판(7)을 카세트(6)로부터 꺼내어 전달대(9)에 얹어 놓으면, 제2 반송 아암(10)이 그것을 수취하여 기판 처리 유닛(12)으로 반송한다. 또한, 기판 처리 유닛(12)에서의 처리가 끝나면, 제2 반송 아암(10)은 처리된 기판(7)을 기판 처리 유닛(12)으로부터 꺼내어 전달대(9)로 반송한다.
기판 처리 유닛(12)은, 기판(7)에 처리액을 도포하여 에칭을 행하고, 증류수로 세정하며, 마지막으로 기판(7)을 건조시키는 에칭 장치이다. 또한, 기판 처리 장치(1)에는, 컴퓨터(20)와, 다음에 설명하는 처리액 공급 유닛(13)이 구비되고, 제1 반송 아암(8), 제2 반송 아암(10), 기판 처리 유닛(12) 및 처리액 공급 유닛(13)은, 컴퓨터(20)의 지배를 받아 자동 운전된다.
도 2는 처리액 공급 유닛(13)의 개념적인 구성을 도시한 배관 계통도이다. 여기서는, 본 발명의 설명에 필요한 장치만을 도시하고 있다. 이하, 도 2를 참조하면서, 처리액 공급 유닛(13)의 구성과 기능을 설명한다.
도 2에 도시된 바와 같이, 처리액 공급 유닛(13)은 기판 처리 유닛(12)에 소정의 처리액(부식액)을 공급하는 유닛으로서, 처리액 조합조(14, 15)와 처리액 저류조(16)를 구비한다.
처리액 조합조(14, 15)는 순수 공급원(17)(예컨대, 플랜트에 배치되는 순수 공급관)으로부터 공급되는 순수와, 약액 공급원(18)(예컨대, 플랜트에 배치되는 원액 공급관)으로부터 공급되는 약액(원액)을 혼합하여, 소정 농도의 처리액을 생성하는 용기이다. 이 때문에, 순수 공급원(17)과 처리액 조합조(14, 15) 사이에는 유량 조정 밸브(141, 151)가 설치되고, 약액 공급원(18)과 처리액 조합조(14, 15)의 사이에는 유량 조정 밸브(142, 152)가 설치되며, 순수와 약액(원액)이 소정의 비율로 처리액 조합조(14, 15)로 유입되도록 하고 있다. 또한, 처리액 조합조(14, 15)에는 레벨 게이지(143, 153)가 구비되어, 처리액 조합조(14, 15) 내의 처리액의 잔량을 검출할 수 있도록 하고 있다. 또한, 처리액 조합조(14, 15)와 처리액 저류조(16)는 배관으로 연결되어, 처리액 조합조(14, 15)에서 생성된 처리액은 처리액 저류조(16)로 이송된다. 이 때문에, 처리액 조합조(14, 15)와 처리액 저류조(16) 사이의 배관에는 개폐 밸브(144, 154)와 펌프(145, 155)가 구비되어 있다.
또한, 처리액 조합조(14, 15)를 2개 구비하는 것은, 처리액의 생성과 이송을 교대로 행하기 위함이다. 예컨대, 개폐 밸브(144)를 폐쇄하고 펌프(145)를 정지시켜, 처리액 조합조(14) 내에서 처리액의 생성과 농도의 조정을 행하고 있는 동안에, 개폐 밸브(154)를 개방하고 펌프(155)를 운전하여, 처리액 조합조(15) 내의 처리액을 처리액 저류조(16)로 이송한다. 처리액의 이송이 끝나 처리액 조합조(15) 내의 처리액이 없어질 즈음에는, 처리액 조합조(14) 내에서의 처리액의 생성이 끝나기 때문에, 처리액 조합조(14) 내의 처리액이 처리액 저류조(16)로 이송하기 시작하고, 처리액 조합조(15) 내에서의 처리액의 생성이 시작된다.
이와 같이, 처리액 조합조(14, 15)를 교대로 사용하기 때문에, 처리액을 연속하여 처리액 저류조(16)로 이송할 수 있다. 또한, 처리액 조합조(14, 15)에서는, 처리액 저류조(16)로의 이송을 정지한 상태에서 처리액의 생성을 행하기 때문에, 처리액의 농도를 정확히 조정할 수 있다.
처리액 저류조(16)는 처리액 조합조(14, 15)로부터 이송된 처리액을 일시 저류하고, 배송관(19)을 통해 8대의 기판 처리 유닛(12)으로 분배·급송한다. 또한, 처리액 저류조(16)는 레벨 게이지(161)를 구비하여 처리액 저류조(16) 내의 처리액의 잔량을 검출할 수 있도록 하고 있다.
배송관(19)은 처리액 저류조(16) 내의 처리액을 8대의 기판 처리 유닛(12)으로 분배·급송하는 관 시스템이며, 처리액 저류조(16)에서 출발하여 처리액 저류조(16)로 되돌아가는 순환로를 형성하고 있다. 또한, 배송관(19)의 중간에는 펌프(191)와 유량계(192)가 구비되어 있다.
배송관(19)과 기판 처리 유닛(12) 사이는 다음과 같이 접속되어 있다. 배송관(19)으로부터는 지관(支管; 121)이 분기되고, 지관(121)을 통해 처리액이 전환 밸브(122)로 흐른다. 전환 밸브(122)는 지관(121)으로부터 공급되는 처리액과 순수 공급원(17)으로부터 공급되는 순수를 전환하여 기판 처리 유닛(12)으로 급송한다. 또한, 전환 밸브(122)와 기판 처리 유닛(12) 사이에는 유량계(123)가 구비되어 있다. 또한, 전환 밸브(122)와 배송관(19) 사이에는 복귀관(124)이 설치되고, 전환 밸브(122)가 처리액을 선택하지 않을 경우에 지관(121)으로부터 전환 밸브(122)로 유입되는 처리액을 배송관(19)으로 복귀시키도록 하고 있다.
기판 처리 장치(1)는, 카세트 적재부(4)에 연결된 카세트(6)로부터 빼낸 기판(7)을 순차적으로 기판 처리 유닛(12)으로 반입하여 액처리를 행하고, 처리를 마친 기판(7)은 카세트(6)로 복귀되며, 새로운 (미처리) 기판(7)을 순차적으로 기판 처리 유닛(12)으로 반입한다. 또한, 기판 처리 유닛(12)에서의 액처리가 반복됨에 따라 처리액 저류조(16) 내의 처리액은 소모되지만, 소모된 처리액은 처리액 조합조(14, 15)로부터 이송·보충된다. 또한, 처리액 조합조(14, 15) 내의 처리액이 없어지면, 처리액 조합조(14, 15)는 처리액을 생성한다.
그런데, 기판 처리 장치(1)의 운전중에 처리액 공급 유닛(13)에 어떠한 이상이 생겨 처리액이 공급되지 않게 되면, 기판 처리 유닛(12) 내에 있는 기판(7)의 처리액에 의한 처리가 중단되고, 방치해 두면, 처리가 완료되지 않은 기판(7)이 다음 공정으로 유출된다. 그래서, 처리액 공급 유닛(13)에 어떠한 이상이 생겼을 경우에, 기판 처리 장치(1)는 다음과 같은 처리를 실행한다. 또한, 이하의 설명에 있어서는, 특별한 언급이 않는 한, 「판단」 「명령」을 행하는 것은, 기판 처리 장치(1)를 제어하는 컴퓨터(20)이다.
(1) 처리액 저류조(16) 내의 처리액량이 저하한 경우
레벨 게이지(161)가 검출하는 처리액 저류조(16) 내의 처리액의 잔량이 소정치를 하회한 경우에, 컴퓨터(20)는 새로운 (미처리) 기판(7)을 기판 처리 장치(1) 내로 반입하지 않도록 부반송부(5)에 명령을 내린다. 단, 현재 기판 처리 유닛(12) 내에 있는 기판(7)에 대해서는 처리액에 의한 처리를 계속한다. (미처리) 기판(7)을 기판 처리 장치(1) 내로 반입하여 처리액에 의한 처리를 반복하면, 기판 처리 장치(1) 내의 처리액은 완전히 부족해지고 처리액에 의한 처리를 할 수 없게 되지만, 현재 기판 처리 유닛(12) 내에 있는 기판(7)에 대해서는 처리액 저류조(16)와 배송관(19) 내에 남아 있는 처리액으로 처리가 가능하기 때문이다. 또한, 이때 컴퓨터(20)는 처리액 저류조(16) 내의 처리액의 잔량이 소정치를 하회하였다는 취지의 경보를 외부에 출력한다. 이 경보를 받아 조작원이 이상의 제거[처리액 공급 유닛(13)의 수리 또는 처리액 저류조(16)로의 처리액의 보충]를 행하여 처리액 저류조(16) 내의 처리액의 잔량이 상기 소정치를 회복하면, 컴퓨터(20)는 새로운 (미처리) 기판(7)의 기판 처리 장치(1)로의 반입을 허가하고, 통상의 운전으로 되돌아간다.
(2) 처리액 조합조(14, 15)의 처리액량이 저하한 경우
처리액 조합조(14, 15)의 처리액량이 비정상적으로 저하되어 회복되지 않으면, 얼마 안 있어 처리액 저류조(16) 내의 처리액이 부족해진다. 그래서, 레벨 게 이지(143, 153)가 검출하는 처리액 조합조(14, 15)가 동시[처리액 조합조(14, 15)는 처리액의 생성과 처리액 저류조(16)로의 이송을 교대로 행하기 때문에, 어느 한쪽이 비게 되는 것은 정상적인 현상임]에, 소정치를 하회한 경우에, 컴퓨터(20)는 새로운 (미처리) 기판(7)을 기판 처리 장치(1) 내로 반입하지 않도록 부반송부(5)에 명령을 내린다. 단, 이 경우도, 현재 기판 처리 유닛(12) 내에 있는 기판(7)에 대해서는 처리액에 의한 처리를 계속한다. 또한, 이때 컴퓨터(20)는 처리액 조합조(14, 15) 내의 처리액의 잔량이 동시에 소정치를 하회하였다는 취지의 경보를 외부에 출력한다. 이 경보를 받아 조작원이 처리액 조합조(14, 15)의 수리 등을 행하여 처리액 조합조(14, 15)가 상기 소정치를 회복하면, 컴퓨터(20)는 새로운 (미처리) 기판(7)의 기판 처리 장치(1)로의 반입을 허가하고, 통상의 운전으로 되돌아간다.
(3) 처리액 이송 수단에 이상이 생겼을 경우
처리액 이송 수단, 즉 처리액 조합조(14, 15)와 처리액 저류조(16)를 연결하는 관로 및 이 관로에 구비된 기기에 이상이 생기면, 처리액 조합조(14, 15)로부터 처리액 저류조(16)로의 처리액의 이송이 정지되기 때문에, 얼마 안 있어 처리액 저류조(16) 내의 처리액이 부족해진다. 그래서, 개폐 밸브(144, 154) 또는 펌프(145, 155)가 컴퓨터(20)의 명령에 응답하지 않는 경우에는, 처리액 이송 수단에 이상이 생겼다고 판단하고, 컴퓨터(20)는 새로운 (미처리) 기판(7)을 기판 처리 장치(1) 내로 반입하지 않도록 부반송부(5)에 명령을 내린다. 단, 이 경우도, 현재 기판 처리 유닛(12) 내에 있는 기판(7)에 대해서는 처리액에 의한 처리를 계속한 다. 또한, 이때 컴퓨터(20)는 처리액 이송 수단에 이상이 생겼다는 취지의 경보를 외부에 출력한다. 이 경보를 받아 조작원이 개폐 밸브(144, 154) 또는 펌프(145, 155)의 수리 등을 행하여 처리액 이송 수단의 이상이 해소되면, 컴퓨터(20)는 새로운 (미처리) 기판(7)의 기판 처리 장치(1)로의 반입을 허가하고, 통상의 운전으로 되돌아간다.
(4) 원액 공급원에 이상이 생겼을 경우
원액 공급원, 즉 순수 공급원(17) 또는 약액 공급원(18)에 이상이 생기면, 처리액 조합조(14, 15)에 있어서의 처리액의 생성이 정지되기 때문에, 얼마 안 있어 처리액 저류조(16) 내의 처리액이 부족해진다. 그래서, 상위 시스템으로부터 원액 공급원의 이상이 통보되면, 컴퓨터(20)는 새로운 (미처리) 기판(7)을 기판 처리 장치(1) 내로 반입하지 않도록 부반송부(5)에 명령을 내린다. 단, 이 경우도, 현재 기판 처리 유닛(12) 내에 있는 기판(7)에 대해서는 처리를 계속한다. 또한, 이때 컴퓨터(20)는 원액 공급원에 이상이 생겼다는 취지의 경보를 외부에 출력한다. 이 경보를 받아 조작원이 순수 공급원(17) 또는 약액 공급원(18) 수리 등을 행하여 원액 공급원의 이상이 해소되면, 컴퓨터(20)는 새로운 (미처리) 기판(7)의 기판 처리 장치(1)로의 반입을 허가하고, 통상의 운전으로 되돌아간다.
이와 같이, 상기 (1) 내지 (4)의 경우에, 컴퓨터(20)는, 새로운 (미처리) 기판(7)을 기판 처리 장치(1) 내로 반입하지 않도록 명령하지만, 현재 기판 처리 유닛(12) 내에 있는 기판(7)에 대해서는 에칭 처리를 계속한다. 따라서, 처리액 공급 유닛(13)에 이상이 검출된 경우에, 기판 처리 장치(1) 전체를 즉시 강제 정지시 키는 경우에 비하여, 액처리가 중단되어 불량품이 되는 기판(7)의 수량이 감소된다.
(5) 각 기판 처리 유닛(12)에 처리액이 공급되지 않는 경우
상기 (1) 내지 (4)의 경우는, 현재 기판 처리 유닛(12) 내에 있는 기판(7)에 대해서는 처리액에 의한 처리를 계속하지만, 처리액의 보충이나 처리액 공급 유닛(13)의 수리 등이 실행되지 않으면, 얼마 안 있어 기판 처리 유닛(12)에 처리액이 공급되지 않게 되는 경우가 있다. 또한, 배송관(19)이나 기판 처리 유닛(12) 자체의 이상에 의해, 기판 처리 유닛(12)에 처리액이 공급되지 않게 되는 경우도 있다.
그래서, 컴퓨터(20)는 기판 처리 유닛(12)에 공급되는 처리액의 유량을 유량계(123)로 모니터하여, 기판 처리 유닛(12)으로의 처리액 공급량이 소정량을 하회한 것을 검출하면, 이 기판 처리 유닛(12)에 다음과 같은 처리를 행한다. 즉, 처리액을 공급하고 있던 전환 밸브(122)를 순수로 전환하여 순수를 기판 처리 유닛(12)으로 공급하고, 기판 처리 유닛(12) 내의 기판(7)을 순수로 세정한다. 세정이 끝나면, 기판(7)을 건조시킨다. 건조가 끝나면, 기판 처리 유닛(12)으로부터 기판(7)을 빼내고, 기판(7)을 주반송부(11) 및 부반송부(5)를 거쳐 기판 처리 장치(1) 밖으로 반출한다. 또한, 이때 컴퓨터(20)는 상기 기판(7)이 처리액에 의한 처리를 정상적으로 종료되지 않았다는 취지를 기록한다. 또는 이러한 취지를 상위 시스템[예컨대, 기판 처리 장치(1)를 포함한 플랜트 전체를 관리하는 시스템]에 보고한다. 또한, 처리액에 의한 처리를 중단한 기판(7)을 세정 및 건조시키는 것은, 처리액으로 젖은 상태의 기판(7)을 기판 처리 유닛(12)으로부터 빼내면, 처리액에 의해 주반송부(11) 및 부반송부(5)가 오염되기 때문이다.
이와 같이, 기판 처리 유닛(12)에 처리액이 공급되지 않게 되었을 경우에, 기판 처리 유닛(12)을 개별적으로 정지시키기 때문에, 액처리가 중단되어 불량품이 되는 기판(7)의 수량을 최소로 막을 수 있다. 또한, 상기 기판(7)의 액처리가 미완성으로 끝났다는 취지를 기록하고, 상위 시스템으로 통보하기 때문에, 불량품이 다음 공정으로 유출되는 것을 막을 수 있다.
(6) 배송관(19)에 처리액이 흐르지 않는 경우
유량계(192)가 배송관(19) 내의 처리액의 유량이 소정량을 하회한 것을 검출하면, 컴퓨터(20)는 펌프(191)를 포함한 기판 처리 장치(1) 전체의 운전을 정지시킨다. 단, 이 경우도, 처리액에 의한 액처리가 종료되지 않은 모든 기판 처리 유닛(12)에 대해서는 상기 (5)에서 설명한 바와 같은 처리, 즉 상기 기판 처리 유닛(12) 내의 기판(7)의 세정 및 건조를 행한 후에, 상기 기판(7)을 기판 처리 장치(1)로부터 반출하고, 상기 기판(7)의 에칭 처리가 완료되지 않았다는 취지를 기록하거나 또는 그 취지를 상위 시스템에 보고한다.
이와 같이, 배송관(19)에 처리액이 흐르지 않는 경우에, 큰 손상을 받는 것을 피할 수 있다.
처리액 공급 유닛(13)에 어떠한 이상이 생긴 경우에, 상기 (1) 내지 (6)의 처리가 행해지지만, 이들 처리는 기판 처리 장치(1) 내의 컴퓨터(20)에 의해 자동적으로 실행된다. 이하, 이들 처리를 행하기 위한 프로그램에 대해서 간단히 설명 한다. 또한, 상기 프로그램은 컴퓨터(20)에 장치된 기억 매체(201)(메모리, 하드디스크, 디스크형 메모리 등)에 저장된다.
도 3은 기판 처리 장치(1)의 제어 프로그램의 개략을 도시한 흐름도이다. 이하, 도 3에 붙인 단계 번호를 인용하면서, 기판 처리 장치(1)의 제어 프로그램을 설명한다.
(단계 1) 카세트(6)로부터 기판(7)을 빼내어 액처리 유닛(12)으로 반입한다.
(단계 2) 액처리 유닛(12)으로 반입된 기판(7)에 대하여 액처리를 행한다.
(단계 3) 액처리가 완료된 액처리 유닛(12)으로부터 기판(7)을 반출한다.
(단계 4) 카세트(6) 내에 미처리 기판(7)이 남아 있으면, 단계 5로 진행하고, 남아 있지 않으면 종료한다.
(단계 5) 레벨 게이지(161)를 판독하여 처리액 저류조(16) 내의 처리액의 잔량이 소정량 이상 있으면, 단계 6으로 진행하고, 소정량을 하회하고 있으면, 알람을 출력하고, 단계 2로 되돌아간다.
(단계 6) 레벨 게이지(143, 153)를 판독하여 처리액 조합조(14, 15) 중 적어도 어느 한쪽의 처리액의 잔량이 소정량 이상 있으면, 단계 7로 진행하고, 양쪽 모두가 소정량을 하회하고 있으면, 알람을 출력하고, 단계 2로 되돌아간다.
(단계 7) 펌프(145, 155)에 이상이 없으면, 단계 8로 진행하고, 이상이 있으면, 알람을 출력하고, 단계 2로 되돌아간다.
(단계 8) 순수 공급원(17) 및 약액 공급원(18)에 이상이 없으면, 단계 1로 되돌아가고, 어느 하나에 이상이 있으면, 알람을 출력하고, 단계 2로 되돌아간다.
이와 같이, 처리액 저류조(16) 내의 처리액의 잔량, 처리액 조합조(14, 15) 내의 처리액의 잔량, 펌프(145, 155), 순수 공급원(17) 및 약액 공급원(18) 모두가 정상의 범위에 있으면, 카세트(6) 내의 모든 기판(7)에 대한 처리가 끝날 때까지 액처리 유닛(12)으로의 기판(7)의 반입과 반출을 반복하고, 어느 하나에 이상이 있는 경우는, 액처리 유닛(12)으로의 새로운 기판(7)의 반입을 정지하고, 현재 처리중인 기판(7)에 대해서 액처리를 계속한다.
도 4는 액처리 유닛(12)을 개별적으로 비상 정지시키는 비상 정지 프로그램의 개략을 도시한 흐름도이다. 비상 정지 프로그램은, 유량계(123)에 의해 검출되는 액처리 유닛(12)으로의 처리액의 유량이 소정량을 하회했을 때에 기동된다. 이하, 도 4에 붙인 단계 번호를 인용하면서, 비상 정지 프로그램을 설명한다.
(단계 11) 상기 액처리 유닛(12)에 있어서의 액처리를 중지한다.
(단계 12) 전환 밸브(122)를 전환하고, 순수를 상기 액처리 유닛(12)으로 도입하여 상기 액처리 유닛(12) 내의 기판(7)을 세정한다.
(단계 13) 세정이 끝나면, 상기 기판(7)을 건조시킨다.
(단계 14) 상기 기판(7)에 대한 액처리가 미완료되었다는 취지를 컴퓨터(20)에 기록하고, 상위 시스템에 통보한다.
도 5는 기판 처리 장치(1)를 강제 정지시키는 강제 정지 프로그램의 개략을 도시한 흐름도이다. 강제 정지 프로그램은, 유량계(192)에 의해 검출되는 처리액 저류조(16)로 환류되는 처리액의 유량이 소정량을 하회했을 때에 기동된다. 이하, 도 5에 붙인 단계 번호를 인용하면서, 강제 정지 프로그램을 설명한다.
(단계 21) 운전중인 모든 액처리 유닛(12)에 있어서의 액처리를 중지한다.
(단계 22) 전환 밸브(122)를 전환하고, 순수를 액처리 유닛(12)에 도입하여 액처리 유닛(12) 내의 기판(7)을 세정한다.
(단계 23) 세정이 끝나면, 기판(7)을 건조시킨다.
(단계 24) 상기 기판(7)에 대한 액처리가 미완료되었다는 취지를 컴퓨터(20)에 기록하고, 상위 시스템에 통보한다.
(단계 25) 기판 처리 장치(1)를 정지시킨다.
도 1은 본 발명에 따른 기판 처리 장치의 기본적인 구성을 도시한 개념적인 평면도이다.
도 2는 처리액 공급 유닛의 개념적인 구성을 도시한 배관 계통도이다.
도 3은 기판 처리 장치의 제어 프로그램의 개략을 도시한 흐름도이다.
도 4는 액처리 유닛을 개별적으로 비상 정지시키는 비상 정지 프로그램의 개략을 도시한 흐름도이다.
도 5는 기판 처리 장치를 강제 정지시키는 강제 정지 프로그램의 개략을 도시한 흐름도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1 : 기판 처리 장치
2 : 기판 반입·반출부
3 : 액처리부
4 : 카세트 적재부
5 : 부반송부
6 : 카세트
7 : 기판
8 : 제1 반송 아암
9 : 전달대
10 : 제2 반송 아암
11 : 주반송부
12 : 기판 처리 유닛
121 : 지관
122 : 전환 밸브
123 : 유량계
124 : 복귀관
13 : 처리액 공급 유닛
14, 15 : 처리액 조합조
141, 142, 151, 152 : 유량 조정 밸브
143, 153 : 레벨 게이지
144, 154 : 개폐 밸브
145, 155 : 펌프
16 : 처리액 저류조
161 : 레벨 게이지
17 : 순수 공급원
18 : 약액 공급원
19 : 배송관
191 : 펌프
192 : 유량계
20 : 컴퓨터
201 : 기억 매체

Claims (21)

  1. 기판에 액처리를 행하는 복수의 액처리 유닛과,
    상기 복수의 액처리 유닛에 대한 기판의 반입·반출을 행하는 기판 반송 수단과,
    상기 복수의 액처리 유닛으로 처리액을 공급하는 처리액 공급 유닛과,
    상기 처리액 공급 유닛 내의 처리액의 잔량을 검출하는 처리액 잔량 검출 수단을 구비하는 기판 처리 장치에 있어서,
    상기 액처리 유닛에 반입된 기판에 액처리를 행하는 사이에, 상기 처리액 잔량 검출 수단이 검출하는 상기 처리액 공급 유닛 내의 처리액의 잔량이 정해진 양을 하회하는 경우에, 상기 기판 반송 수단에 의한 상기 액처리 유닛으로의 기판의 반입을 정지시키고, 상기 복수의 액처리 유닛에 있어서의 기판에 액처리를 속행하는 제어 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 처리액 공급 유닛은,
    복수의 원액 공급원으로부터 공급되는 원액을 조합(調合)하여 처리액을 생성하는 처리액 조합조와,
    처리액을 저류하는 처리액 저류조와,
    상기 처리액 조합조로부터 상기 처리액 저류조로 처리액을 이송하는 처리액 이송 수단과,
    상기 처리액 저류조로부터 상기 복수의 액처리 유닛으로 처리액을 배송하는 처리액 배송 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 처리액 잔량 검출 수단은, 상기 처리액 저류조 내의 처리액의 잔량을 검출하는 저류조내 처리액 잔량 검출 수단인 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 처리액 잔량 검출 수단은, 상기 처리액 조합조 내의 처리액의 잔량을 검출하는 조합조내 처리액 잔량 검출 수단인 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  5. 제2항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 처리액 이송 수단의 이상을 검지하는 이송 이상 검지 수단을 구비하고,
    상기 제어 수단은, 상기 액처리 유닛에 반입된 기판에 액처리를 행하는 사이에, 상기 이송 이상 검지 수단이 상기 처리액 이송 수단의 이상을 검지한 경우에, 상기 기판 반송 수단에 의한 기판의 반입을 정지시키고, 상기 복수의 액처리 유닛에 있어서의 기판에 액처리를 속행하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  6. 제2항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 원액 공급원의 이상을 검지하는 공급원 이상 검지 수단을 구비하고,
    상기 제어 수단은, 상기 액처리 유닛에 반입된 기판에 액처리를 행하는 사이에, 상기 공급원 이상 검지 수단이 상기 원액 공급원의 이상을 검지한 경우에, 상기 기판 반송 수단에 의한 기판의 반입을 정지시키고, 상기 복수의 액처리 유닛에 있어서의 기판에 액처리를 속행하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  7. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 복수의 액처리 유닛으로 공급되는 처리액의 유량을 액처리 유닛마다 검출하는 공급량 검출 수단을 구비하고,
    상기 제어 수단은, 상기 액처리 유닛에 반입된 기판에 액처리를 행하는 사이에, 상기 공급량 검출 수단이 액처리 유닛으로의 처리액의 공급량이 정해진 양을 하회한 것을 검출한 경우에, 상기 액처리 유닛으로의 처리액의 공급을 정지시키며, 상기 액처리 유닛 내의 기판의 액처리가 미(未)완료되었다는 취지를 기록하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 제어 수단은, 상기 액처리 유닛에 반입된 기판에 액처리를 행하는 사이에, 상기 공급량 검출 수단이 액처리 유닛으로의 처리액의 공급량이 정해진 양을 하회한 것을 검출한 경우에, 상기 액처리 유닛으로의 처리액의 공급을 정지시키며, 상기 액처리 유닛이 순수에 의한 기판의 세정과 건조를 행하게 하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  9. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 복수의 액처리 유닛에서 사용되지 않은 처리액을 상기 처리액 공급 유닛으로 일괄적으로 환류시키는 처리액 환류 수단과,
    상기 처리액 환류 수단 내에서 흐르는 처리액의 유량을 검출하는 환류량 검출 수단을 구비하고,
    상기 제어 수단은, 상기 액처리 유닛에 반입된 기판에 액처리를 행하는 사이에, 상기 환류량 검출 수단이 검출하는 처리액의 유량이 정해진 양을 하회한 경우에, 처리액에 의한 액처리가 종료되지 않은 액처리 유닛 내의 기판의 액처리가 미완료되었다는 취지를 기록하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 제어 수단은, 상기 액처리 유닛에 반입된 기판에 액처리를 행하는 사이에, 상기 환류량 검출 수단이 검출하는 처리액의 유량이 정해진 양을 하회한 경우에, 처리액에 의한 액처리가 종료되지 않은 액처리 유닛이 순수에 의한 기판의 세정과 건조를 행하게 하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  11. 복수의 액처리 유닛으로 기판을 순차적으로 반입하고, 처리액 공급 유닛으로부터 상기 복수의 액처리 유닛으로 처리액을 공급하여 기판에 액처리를 행하며, 상기 액처리가 완료된 후에, 상기 복수의 액처리 유닛으로부터 기판을 순차적으로 반출하는 기판 처리 방법에 있어서,
    상기 액처리 유닛에 반입된 기판에 액처리를 행하는 사이에, 상기 처리액 공급 유닛 내의 처리액의 잔량이 정해진 양을 하회하는 경우에, 상기 액처리 유닛으로의 기판의 반입을 정지시키고, 상기 복수의 액처리 유닛에 있어서의 기판에 액처리를 속행하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
  12. 제11항에 있어서, 상기 처리액 공급 유닛은, 처리액 조합조, 처리액 저류조, 처리액 이송 수단 및 처리액 배송 수단을 구비하며,
    복수의 원액 공급원으로부터 공급되는 원액을 상기 처리액 조합조에서 조합 하여 처리액을 생성하고,
    상기 처리액 조합조에서 생성된 처리액을 처리액 이송 수단에 의해 상기 처리액 저류조로 이송하여 저류하며,
    상기 처리액 저류조에 저류된 처리액을 상기 처리액 배송 수단에 의해 상기 복수의 액처리 유닛으로 배송하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
  13. 제12항에 있어서, 상기 액처리 유닛에 반입된 기판에 액처리를 행하는 사이에, 상기 처리액 저류조 내의 처리액의 잔량이 정해진 양을 하회하는 경우에, 상기 액처리 유닛으로의 기판의 반입을 정지시키고, 상기 복수의 액처리 유닛에 있어서의 기판에 액처리를 속행하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
  14. 제12항에 있어서, 상기 액처리 유닛에 반입된 기판에 액처리를 행하는 사이에, 상기 처리액 조합조 내의 처리액의 잔량이 정해진 양을 하회하는 경우에, 상기 액처리 유닛으로의 기판의 반입을 정지시키고, 상기 복수의 액처리 유닛에 있어서의 기판에 액처리를 속행하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
  15. 제12항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 액처리 유닛에 반입된 기판에 액처리를 행하는 사이에, 상기 처리액 이송 수단의 이상을 검지한 경우에, 상기 액처리 유닛으로의 기판의 반입을 정지시키고, 상기 복수의 액처리 유닛에 있어서의 기판에 액처리를 속행하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
  16. 제12항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 액처리 유닛에 반입된 기판에 액처리를 행하는 사이에, 상기 원액 공급원의 이상을 검지한 경우에, 상기 액처리 유닛으로의 기판의 반입을 정지시키고, 상기 복수의 액처리 유닛에 있어서의 기판에 액처리를 속행하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
  17. 제11항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 복수의 액처리 유닛으로 공급되는 처리액의 유량을 액처리 유닛마다 검출하고,
    상기 액처리 유닛에 반입된 기판에 액처리를 행하는 사이에, 액처리 유닛으로의 처리액의 공급 정지를 검출한 경우에, 상기 액처리 유닛의 운전을 정지시키며, 상기 액처리 유닛 내의 기판의 액처리가 미완료되었다는 취지를 기록하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
  18. 제17항에 있어서, 상기 액처리 유닛에 반입된 기판에 액처리를 행하는 사이에, 액처리 유닛으로의 처리액의 공급 정지를 검출한 경우에, 상기 액처리 유닛이 순수에 의한 기판의 세정과 건조를 행하게 하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
  19. 제11항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 복수의 액처리 유닛에서 사용되지 않은 처리액을 상기 처리액 공급 유닛으로 일괄적으로 환류시키고,
    상기 액처리 유닛에 반입된 기판에 액처리를 행하는 사이에, 상기 처리액 공급 유닛으로 환류되는 처리액의 유량이 정해진 양을 하회한 경우에, 기판 처리를 정지시키며, 운전중인 모든 액처리 유닛 내의 기판의 액처리가 미완료되었다는 취지를 기록하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
  20. 제19항에 있어서, 상기 액처리 유닛에 반입된 기판에 액처리를 행하는 사이에, 상기 처리액 공급 유닛으로 환류되는 처리액의 유량이 정해진 양을 하회한 경우에, 운전중인 모든 액처리 유닛이 순수에 의한 기판의 세정과 건조를 행하게 하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
  21. 기판에 액처리를 행하는 복수의 액처리 유닛과,
    상기 복수의 액처리 유닛에 대한 기판의 반입·반출을 행하는 기판 반송 수단과,
    상기 복수의 액처리 유닛으로 처리액을 공급하는 처리액 공급 유닛과,
    상기 처리액 공급 유닛 내의 처리액의 잔량을 검출하는 처리액 잔량 검출 수단을 구비하는 기판 처리 장치를 제어하는 컴퓨터로 실행되는 프로그램을 저장한 기억 매체에 있어서,
    상기 프로그램은, 상기 액처리 유닛에 반입된 기판에 액처리를 행하는 사이에, 상기 처리액 공급 유닛 내의 처리액의 잔량이 정해진 양을 하회하는 경우에, 상기 액처리 유닛으로의 기판의 반입을 정지시키고, 상기 복수의 액처리 유닛에 있어서의 기판에 액처리를 속행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 컴퓨터로 실행되는 프로그램을 저장한 기억 매체.
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