KR101264571B1 - Frame of large pellicle and grasping method of frame - Google Patents

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아키히로 다니무라
다쿠로 마에다
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아사히 가세이 이-매터리얼즈 가부시키가이샤
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Abstract

복수의 변으로 이루어지는 다각형 형상을 갖는 프레임체와, 그 프레임체의 상부 가장자리면에 접착된 펠리클막과, 그 프레임체의 하부 가장자리면에 도포 점착된 점착재로 이루어지고, 상기 프레임체의 가장 긴 변의 길이가 1 m 이상인 대형 펠리클의 상기 프레임체를 파지하는 데 있어서, 상기 프레임체는, 모든 변부에 각각 파지용 볼록부 또는 오목부를 갖는 프레임체로서, 상기 프레임체의 각 변부에 있어서 각각 적어도 1 지점 이상의 파지용 볼록부 또는 오목부를 동시에 파지함으로써, 프레임체를 확실히 파지하고, 또한 포토마스트 등에 부착할 때에는 비뚤어짐이나 휨을 발생시키지 않고 수납 용기로부터 펠리클을 간단하게 취출할 수 있게 한다.A frame body having a polygonal shape consisting of a plurality of sides, a pellicle film adhered to the upper edge surface of the frame body, and a pressure-sensitive adhesive material applied to the lower edge surface of the frame body, and the longest of the frame body In holding the said frame body of the large sized pellicle whose side length is 1 m or more, The said frame body is a frame body which has a convex part or a recessed part for each edge part, respectively, At least 1 in each edge part of the said frame body, respectively. By simultaneously holding the convex portion or the concave portion for gripping at a point or more, the frame body is securely gripped, and the pellicle can be easily taken out from the storage container without causing any distortion or warping when attached to a photomast or the like.

Description

대형 펠리클 프레임체 및 그 프레임체의 파지 방법{FRAME OF LARGE PELLICLE AND GRASPING METHOD OF FRAME}Large pellicle frame and gripping method {FRAME OF LARGE PELLICLE AND GRASPING METHOD OF FRAME}

본 발명은, LSI, 액정 디스플레이 (LCD) 를 구성하는 박막 트랜지스터 (TFT)나 칼라 필터 (CF) 등을 제조할 때의 리소그래피 공정에서 사용되는 포토마스크나 레티클에 이물질이 부착되는 것을 방지하기 위해서 사용되는 펠리클의 구성 부재인 프레임체에 관한 것이다. 특히 액정용 대형 펠리클의 구성 부재로서 장변 길이가 1 m 이상인 대형 펠리클의 구성 부재인 프레임체에 관한 것이다.INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention is used to prevent foreign matter from adhering to a photomask or reticle used in a lithography process when manufacturing a thin film transistor (TFT), a color filter (CF), or the like constituting an LSI, a liquid crystal display (LCD). It is related with the frame body which is a structural member of a pellicle. In particular, it is related with the frame body which is a structural member of the large sized pellicle whose long side length is 1 m or more as a structural member of the large sized pellicle for liquid crystals.

본 발명은 펠리클의 구성 부재인 프레임체에 관한 기술인데, 먼저 펠리클에 대해 설명한다.The present invention relates to a frame body which is a constituent member of a pellicle. First, the pellicle will be described.

종래, 반도체 장치의 제조에 있어서는, 웨이퍼에 회로 패턴을 형성하는 리소그래피 공정에 있어서, 일반적으로 펠리클이라고 하는 방진(防塵) 수단을 이용하여 포토마스크나 레티클에 대한 이물질의 부착을 방지하는 것이 이루어지고 있다. 펠리클은 포토마스크 혹은 레티클의 형상에 맞춘 형상을 갖는 두께 수밀리 정도의 프레임체의 상부 가장자리면에, 두께 10 ㎛ 이하의 니트로셀룰로오스, 셀룰로오스 유도체, 또는 불소 폴리머 등의 투명한 고분자막 (이하,「펠리클막」이라고 한다) 을 전장 (展張) 하여 접착한 것이다. 일반적으로는, 펠리클은 그 프레임체의 하부 가장자리면에 점착재를 도포 점착과 함께, 이 점착재층에 보호 필름을 적층시킨 제품 형태로 출하되는 경우가 많다.Background Art Conventionally, in the manufacture of semiconductor devices, in the lithography step of forming a circuit pattern on a wafer, it is generally possible to prevent foreign matter from adhering to a photomask or reticle by using a dustproof means called a pellicle. . The pellicle is a transparent polymer film such as nitrocellulose, a cellulose derivative, or a fluoropolymer having a thickness of 10 μm or less on the upper edge surface of the frame body having a thickness of about several millimeters having a shape adapted to the shape of the photomask or reticle (hereinafter, referred to as “pellicle film” It is glued to the whole length. In general, the pellicle is often shipped in the form of a product in which a protective film is laminated on the pressure-sensitive adhesive layer together with the pressure-sensitive adhesive material applied to the lower edge surface of the frame body.

상기 점착재층은, 펠리클을 포토마스크 혹은 레티클에 고착시키기 위한 것이고, 또한 상기 보호 필름은 그 점착재층이 그 용도로 제공될 때까지 점착재의 접착력을 유지하기 위해서, 그 점착재층의 접착면을 보호하는 것이다.
The adhesive layer is for fixing the pellicle to a photomask or reticle, and the protective film protects the adhesive surface of the adhesive layer in order to maintain the adhesive force of the adhesive until the adhesive layer is provided for the purpose. will be.

*이와 같은 펠리클은, 일반적으로는 펠리클 제조자로부터, 포토마스크 혹은 레티클을 제조하는 메이커 (이하「마스크 제조자」라고 한다) 에게 공급된다. 마스크 제조자는, 펠리클로부터 상기 보호 필름을 박리하고, 펠리클을 점착재층에 의해 포토마스크 혹은 레티클에 부착한 후, 그 마스크 혹은 레티클을 리소그래피를 실시하는 메이커, 예를 들어 반도체 장치 제조자, 또는 액정 패널 제조자에게 공급한다.* Such a pellicle is generally supplied from a pellicle manufacturer to the manufacturer which manufactures a photomask or a reticle (henceforth a "mask manufacturer"). A mask manufacturer peels the said protective film from a pellicle, attaches a pellicle to a photomask or a reticle with an adhesive layer, and manufactures a lithography of the mask or a reticle, for example, a semiconductor device manufacturer or a liquid crystal panel manufacturer. Supply to

펠리클의 취급은, 펠리클이 방진 수단으로서 사용되는 성격상, 진애가 부착되지 않도록 취급할 필요가 있다. 통상적으로, 펠리클을 취급할 때에는, 프레임체의 외측면에 형성된 구멍에 핀 형상의 지그를 삽입함으로써 파지하고, 지그 본체를 가짐으로써, 펠리클에 직접 손이 닿지 않도록 하는 것이 일반적이다 (예를 들어 특허 문헌 1 을 참조). 또한, 회전 레버를 삽입하기 위한 홈을 프레임체의 외측면에 형성함으로써 회전 레버를 갖는 지그를 사용하여 파지하고, 그 지그의 본체를 가짐으로써, 펠리클에 직접 손이 닿지 않도록 하는 것도 제안되어 있다(예를 들어 특허 문헌 2 를 참조).The handling of the pellicle needs to be handled so that dust does not adhere due to the nature in which the pellicle is used as the dustproof means. Usually, when handling a pellicle, it is common to hold | grip by inserting a pin-shaped jig into the hole formed in the outer surface of a frame body, and to have a jig main body so that it may not directly touch a pellicle (for example, a patent See Document 1). In addition, it is also proposed to form a groove for inserting the rotation lever on the outer surface of the frame body to hold the jig having the rotation lever and to hold the main body of the jig so that the pellicle is not directly in contact with the pellicle ( See, eg, patent document 2).

또한, 펠리클 제조자로부터 마스크 제조자에게 펠리클을 운반할 때에는, 진애를 부착시키지 않도록, 밀봉성을 갖는 수납 용기에 펠리클을 넣어 운반하는 것이 일반적이다. 당연하게, 수납 용기 내에서 펠리클이 확실하게 고정되어 있을 것이 요구되므로, 프레임체의 외측면에 형성된 구멍에 핀 형상의 지그를 삽입함으로써 펠리클을 수납 용기에 고정시키는 방법도 제안되어 있다 (예를 들어 특허 문헌 3 을 참조).In addition, when transporting a pellicle from a pellicle manufacturer to a mask manufacturer, it is common to carry a pellicle in a sealing container with sealing property, so that dust may not adhere. Naturally, since the pellicle is required to be securely fixed in the storage container, a method of fixing the pellicle to the storage container has also been proposed by inserting a pin-shaped jig into a hole formed in the outer surface of the frame body (for example, See Patent Document 3).

또, 프레임체의 외측면에 형성된 수평 돌출부를 수납 용기를 구성하는 트레이와 뚜껑 사이에 끼움으로써 펠리클을 수납 용기에 고정시키는 방법도 제안되어 있다 (예를 들어 특허 문헌 4 또는 5 를 참조).Moreover, the method of fixing a pellicle to a storage container is also proposed by clamping the horizontal protrusion formed in the outer surface of a frame body between the tray and lid which comprise a storage container (for example, refer patent document 4 or 5).

또한, 프레임체의 외측면에 형성된 돌출부 또는 홈 혹은 구멍에 의한 펠리클의 파지·고정 기능에 머물지 않고, 펠리클 프레임체 형상은 여러가지 검토가 이루어지고 있다. 예를 들어, 펠리클의 내부와 외부의 통기성을 확보하기 위해서, 프레임체의 외측면에서 내측면으로 관통한 필터가 형성된 구멍을 형성하는 것이 제안되어 있다 (예를 들어 특허 문헌 6 참조).In addition, various studies have been made on the shape of the pellicle frame body without remaining in the gripping and fixing function of the pellicle due to the protrusions, grooves or holes formed on the outer surface of the frame body. For example, in order to ensure the air permeability of the inside and outside of a pellicle, it is proposed to form the hole in which the filter which penetrated from the outer surface of the frame body to the inner surface was formed (for example, refer patent document 6).

또한, 포토마스크의 패턴면에서 펠리클막까지의 거리 (스탠드 오프) 제어 (예를 들어 특허 문헌 7 ∼ 9 를 참조), 마스크 점착재의 비져나옴 제어 (예를 들어 특허 문헌 10 또는 11 을 참조), 마스크 점착재의 단차 형성 (예를 들어 특허 문헌 12 를 참조), 포토마스크에 대한 부착시의 가압 영역 확보 (예를 들어 특허 문헌 13 을 참조) 를 위해, 프레임체의 상부 가장자리면 또는 하부 가장자리면에 홈이나 돌기나 단차를 형성한 각종 형상이 제안되어 있다.Further, control of the distance from the pattern surface of the photomask to the pellicle film (standoff) (see, for example, Patent Documents 7 to 9), control of escaping of the mask adhesive (see, for example, Patent Documents 10 or 11), In order to form a step of the mask adhesive (see Patent Document 12, for example), and to secure a pressing area at the time of attachment to the photomask (see Patent Document 13, for example), the upper or lower edge surfaces of the frame body Various shapes in which grooves, protrusions and steps are formed have been proposed.

최근, LCD 의 대형화에 따라, 포토마스크 및 거기에 사용하는 펠리클도 대형화되어, 가장 긴 변의 길이가 1 m 를 초과하는 것이 출시되었다. 향후에도, 펠리클, 포토마스크의 대형화는 LCD 의 대형화·생산 효율 향상에는 필요 불가결할 것으로 생각된다.In recent years, with the increase in size of LCD, the photomask and the pellicle used therein also become large, and the thing with the longest side length exceeding 1 m was released. In the future, the increase in size of pellicles and photomasks is indispensable for the increase in size and production efficiency of LCDs.

대형 포토마스크의 경우, 소재가 합성 석영 기판인 경우가 많아, 재료비는 매우 고가이다. 그 때문에, 설정된 유효 노광 영역 사이즈에 대해, 포토마스크 사이즈는 최대한 작게 설계하는 것이 일반적이다.In the case of a large-scale photomask, the material is often a synthetic quartz substrate, and the material cost is very expensive. Therefore, the photomask size is generally designed to be as small as possible with respect to the set effective exposure area size.

대형 포토마스크에 부착되는 대형 펠리클의 경우, 포토마스크 사이즈의 제약때문에, 유효 노광 영역에서 포토마스크의 외주단 (端) 까지 사이에 부착되는 펠리클 프레임체의 폭에도 제약이 있어, 펠리클이 대형화되었다 하더라도 프레임체의 폭은 크게 할 수 없는 게 실정이다.In the case of a large pellicle attached to a large photomask, the width of the pellicle frame attached between the effective exposure area and the outer circumferential end of the photomask is limited due to the limitation of the photomask size, even if the pellicle is enlarged. It is a fact that the width of the frame body cannot be increased.

또한, 포토마스크의 패턴면에서 펠리클막까지의 거리 (스탠드 오프) 가 노광기의 광학계에 의해 제약되기 때문에, 프레임체의 높이에도 제약이 있어, 펠리클이 대형화되었다 하더라도, 프레임체의 높이도 크게 할 수 없는 게 실정이다.In addition, since the distance (standoff) from the pattern surface of the photomask to the pellicle film is limited by the optical system of the exposure machine, the height of the frame is also limited, and even if the pellicle is enlarged, the height of the frame can be increased. There is no real thing.

한편, 펠리클막의 면적이 1000 ㎠ 이상인 대형 펠리클 프레임체의 휨을 억제하는 방법으로는, 프레임체의 장변의 폭을 단변의 폭보다 크게 하는 것이 제안되어 있다 (특허 문헌 14 참조).On the other hand, as a method of suppressing warpage of a large pellicle frame body having an area of pellicle film of 1000 cm 2 or more, it is proposed to make the width of the long side of the frame larger than the width of the short side (see Patent Document 14).

또한, 최근에는, 마스크 등의 메이커가 펠리클을 수납 용기로부터 취출하면 직접 마스크에 부착되도록, 수납 용기로부터 펠리클을 취출할 때에 보호 필름을 트레이에 부착시킨 상태에서, 보호 필름과 점착재의 계면으로부터 펠리클을 취출하는 방법이 채용되고 있어, 취출시에 펠리클에 비뚤어짐 휨을 발생시키지 않고 취출하는 방법이 요구되고 있다 (예를 들어 특허 문헌 15 를 참조).In recent years, the pellicle is removed from the interface between the protective film and the pressure-sensitive adhesive in a state where the protective film is attached to the tray when the pellicle is taken out of the storage container so that the pellicle is directly attached to the mask when the manufacturer such as a mask takes out the pellicle from the storage container. The method of taking out is employ | adopted, and the method of taking out without generating a skewing curvature to a pellicle at the time of taking out is calculated | required (for example, refer patent document 15).

특허 문헌 1 : 일본 공개특허공보 평9-204039호Patent Document 1: Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-204039

특허 문헌 2 : 일본 공개특허공보 2005-326634호Patent Document 2: Japanese Unexamined Patent Publication No. 2005-326634

특허 문헌 3 : 일본 공개특허공보 2006-267179호Patent Document 3: Japanese Unexamined Patent Publication No. 2006-267179

특허 문헌 4 : 일본 공개특허공보 평10-48812호Patent Document 4: Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-48812

특허 문헌 5 : 일본 공개특허공보 평10-48811호Patent document 5: Unexamined-Japanese-Patent No. 10-48811

특허 문헌 6 : 일본 공개특허공보 2001-133960호Patent Document 6: Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-133960

특허 문헌 7 : 일본 공개특허공보 2002-182373호Patent Document 7: Japanese Unexamined Patent Publication No. 2002-182373

특허 문헌 8 : 일본 공개특허공보 2002-182371호Patent Document 8: Japanese Unexamined Patent Publication No. 2002-182371

특허 문헌 9 : 일본 공개특허공보 2000-298333호Patent Document 9: Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-298333

특허 문헌 10 : 일본 공개특허공보 2005-338722호Patent Document 10: Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-338722

특허 문헌 11 : 일본 공개특허공보 2000-292910호Patent Document 11: Japanese Unexamined Patent Publication No. 2000-292910

특허 문헌 12 : 일본 공개특허공보 2006-163035호, 도 6Patent Document 12: Japanese Patent Application Laid-Open No. 2006-163035, FIG. 6

특허 문헌 13 : 일본 공개특허공보 2005-308901호Patent Document 13: Japanese Unexamined Patent Publication No. 2005-308901

특허 문헌 14 : 일본 공개특허공보 2001-109135호Patent Document 14: Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-109135

특허 문헌 15 : 일본 공개특허공보 2007-017811호Patent Document 15: Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-017811

전술한 바와 같이, 대형 펠리클에 있어서는, 프레임체의 폭·높이의 제약 때문에, 프레임체 변부의 휨은 펠리클의 대형화에 따라 커졌다. 그리고, 본 발명자가 가장 긴 변의 크기가 1.4 m ∼ 2.0 m 인 대형 펠리클의 제작을 검토한 결과, 종래의 방법에서는 프레임체의 파지가 매우 곤란한 것을 발견하였다.As mentioned above, in the large sized pellicle, the curvature of the frame edge increased due to the size of the pellicle due to the limitation of the width and the height of the frame. And the present inventor examined the manufacture of the large sized pellicle whose length of the longest side is 1.4 m-2.0 m, and found that holding of a frame body is very difficult by the conventional method.

즉, 전술한 특허 문헌 1 ∼ 5 에 기재된 바와 같이, 프레임체의 대향하는 2 변의 외측면에 형성된 홈이나 구멍에 핀·슬라이드 등의 지그를 삽입함으로써 파지 또는 고정시키는 종래의 방법에서는, 프레임체 변부의 휨에 의해, 핀·슬라이드 등의 지그가 홈이나 구멍으로부터 빠지기 쉬워져, 이미 프레임체의 외측면 홈이나 구멍에서는 파지·고정이 불가능한 상황이다. 예를 들어, 구멍에 핀을 삽입하는 방법 (특허 문헌 1) 이나, 회전 레버를 홈에 끼워 넣는 방법 (특허 문헌 2) 의 경우, 프레임체의 각 변에서 거의 한 점에서의 지지가 되기 때문에, 하중이 집중되기 쉬워, 프레임체 변부의 휨에 의해 용이하게 빠져버리는 경우가 있다.That is, as described in Patent Documents 1 to 5 described above, in the conventional method of gripping or fixing by inserting a jig such as a pin slide into a groove or a hole formed in the outer surface of two opposite sides of the frame body, the frame body edge Negative deflection makes it easy for jig, such as a pin slide, to be pulled out from a groove or a hole, and it is already impossible to grasp and fix it in the outer side groove and a hole of a frame body. For example, in the method of inserting a pin into a hole (Patent Document 1) or the method of inserting a rotary lever into a groove (Patent Document 2), since it is supported at almost one point on each side of the frame body, The load tends to be concentrated and may easily come off due to the bending of the frame edge.

프레임체의 소재 변경에 의한 고강성화도 대책으로서 생각할 수 있는데, 펠리클에 요구되는 무발진(無發塵) 등의 품질을 감안한 경우, 용이하게 프레임체의 소재를 변경할 수 없는 게 실정이다.The high stiffness by changing the material of the frame can also be considered as a countermeasure. However, in view of the quality of dust-free and the like required for the pellicle, the material of the frame cannot be easily changed.

지금까지, 전술한 바와 같이 프레임체 형상에 대해서는, 다양한 것이 고안되었지만, 기본적으로는 제약 받고 있는 프레임체의 폭·높이 범위 내에서의 프레임체 형상의 연구이기 (예를 들어 특허 문헌 6 ∼ 12 를 참조) 때문에, 프레임체의 고강성화에는 충분히 기여하고 있지 않다.As described above, a variety of things have been devised for the shape of the frame, but basically, a study of the shape of the frame within the range of the width and height of the frame which is restricted (for example, Patent Documents 6 to 12). Therefore, it does not contribute sufficiently to the high rigidity of the frame body.

또한, 프레임체의 폭·높이의 범위 밖에서의 프레임체 형상의 연구도 검토되고 있다 (예를 들어 특허 문헌 4 또는 5 를 참조). 이것은, 출원 당시의 프레임체에 대한 제약에 대해서는 우수한 기술이라고 할 수 있다. 즉, 특허 문헌 4 또는 5 의 출원 당시에는, LSI 용도의 펠리클이 주류였기 때문에, LSI 용도의 포토마스크 사이즈는 일반적으로 한 변이 5 ∼ 7 인치 (127 ∼ 178 ㎜) 로, 액정 디스플레이 (LCD) 용도의 대형 포토마스크 사이즈 (한 변이 330 ∼ 1400 ㎜) 에 비하면 작은 것이기 때문에, 대형 포토마스크 사이즈에 비해, 펠리클 사이즈 보다 포토마스크 사이즈를 비교적 크게 할 수 있었다. 그 때문에, 프레임체의 폭·높이의 범위 밖에서의 프레임체 형상의 연구는 그다지 문제가 되지 않았다.Moreover, the study of the frame shape outside the range of the width and height of a frame body is also examined (for example, refer patent document 4 or 5). This can be said to be an excellent technique regarding the constraint on the frame at the time of filing. That is, at the time of filing of Patent Documents 4 or 5, since the pellicle for LSI use was the mainstream, the photomask size for LSI use is generally 5 to 7 inches (127 to 178 mm) on one side, for liquid crystal display (LCD) use. Since it is small compared with the large photomask size (one side is 330-1400 mm), the photomask size was comparatively larger than the pellicle size compared with the large photomask size. Therefore, the study of the shape of the frame outside the range of the width and height of the frame did not cause much problem.

그러나, 향후, 더 나은 대형 펠리클이 보급됨에 따라 표면화될 것으로 생각되는 과제, 즉 포토마스크 사이즈를 최대한 작게 하기 위해서, 펠리클의 대형화의 요망에 비해서는, 프레임체의 폭·높이는 필요 이상으로 크게 할 수 없다는 과제에 대해, 펠리클의 파지 방법을 개선할 필요가 있다.However, in the future, the width and height of the frame body can be made larger than necessary compared to the demand for larger size of the pellicle, in order to make the size of the photomask to be as small as possible. With respect to the problem, there is a need to improve the gripping method of the pellicle.

취출 방법에 대해서는, 예를 들어 직사각형 프레임체의 변의 중앙부 근방에 배치된 보호 필름에 상당하는 탭 (누름대 (代)) 을 접착 테이프에 의해 펠리클 수납 용기에 고정시킨 펠리클을 펠리클 유지구에 의해 유지하면서, 또한 펠리클 유지구에 가해지는 하중을 검출하면서, 유지구와 수납 용기의 거리를 떨어뜨려 펠리클을 박리시키는 방법도 있다 (예를 들어 특허 문헌 13). 그러나, 이 방법에서는, 대형 펠리클의 경우, 변의 중앙부에 배치된 탭 (누름대) 이 접착 테이프에 의해 수납 용기에 유지되어 있기 때문에, 비록 하중을 검출하면서 박리시켰다고 해도, 프레임체의 휨을 피할 수 없을 것으로 생각된다 (특허 문헌 13 의 도 9 를 참조).In the take-out method, for example, the pellicle holding the pellicle in which the tab (press) corresponding to the protective film disposed near the center of the side of the rectangular frame body is fixed to the pellicle storage container with an adhesive tape is held. While detecting the load applied to the pellicle holder, there is also a method in which the distance between the holder and the storage container is dropped to peel the pellicle (for example, Patent Document 13). However, in this method, in the case of a large sized pellicle, since the tab (pressing bar) disposed at the center of the edge is held in the storage container by the adhesive tape, even if peeling while detecting the load, the bending of the frame body cannot be avoided. (Refer FIG. 9 of patent document 13).

즉, 펠리클 프레임체는, 확실하게 파지할 수 있는 것에 추가로, 그 후의 수납 용기로부터의 펠리클의 취출시에 프레임체에 휨이나 비틀림을 발생시키지 않고, 취출할 수 있는 방법이 요구되고 있는 것이다. 그리고, 특히 펠리클 자체의 무게가 커져, 취급도 곤란해지는 대형 펠리클에 있어서는, 수납·운반·보관시에는, 확실한 파지는 물론, 수납 용기로부터의 취출시, 취출 후 직접 마스크 등에 부착되도록, 보호 필름과 점착재의 계면으로부터 펠리클의 비뚤어짐 휨을 발생시키지 않고 취출하는 방법이 요구되고 있다.That is, in addition to being able to reliably grip the pellicle frame body, there is a demand for a method in which the pellicle frame body can be taken out without causing warpage or torsion to the frame body when taking out the pellicle from the subsequent storage container. And especially in the large sized pellicle which becomes large and the handling of the pellicle itself becomes difficult to handle, when storing, carrying, and storing, as well as a reliable grip, when taking out from a storage container, it attaches directly to a mask etc. after taking out from a storage container, There is a demand for a method of taking out the pellicle without causing the warpage of the pellicle from the interface of the adhesive.

즉, 본 발명은 펠리클 프레임체의 취급시나, 수납·운반·보관시에 프레임체를 확실하게 파지할 수 있고, 또한 포토마스크 등에 부착할 때에는 비뚤어짐이나 휨을 발생시키지 않고 수납 용기로부터 펠리클을 간단하게 취출할 수 있게 하는 펠리클 프레임체를 제공하는 것이다. 또한, 펠리클 프레임체를 사용한 대형 펠리클의 파지 방법을 제공한다.That is, the present invention can reliably grip the frame during handling of the pellicle frame or during storage, transportation, and storage, and easily removes the pellicle from the storage container without causing any distortion or warping when attached to a photomask or the like. It is to provide a pellicle frame that can be taken out. Further, a method of holding a large pellicle using a pellicle frame is provided.

본 발명자들은, 상기 과제를 해결하기 위해서 예의 검토한 결과, 포토마스크로부터의 제약을 받지 않도록, 펠리클 프레임체의 모든 변부에 각각 파지용 볼록부 또는 오목부를 형성함으로써, 가장 긴 변의 길이가 1.4 m ∼ 2.0 m 인 대형 펠리클의 파지라는 상기 과제를 해결하게 하는 것을 상기하였다. 검토 결과, 그 수단은, 가장 긴 변의 길이가 1 m 이상인 대형 펠리클에도 유효하게 사용할 수 있는 것을 발견하고 본원 발명의 완성에 이르렀다. 즉, 본 발명은 이하의 것이다.MEANS TO SOLVE THE PROBLEM As a result of earnestly examining in order to solve the said subject, the longest side length is 1.4 m-by forming the convex part or recessed part in all edge parts of a pellicle frame body so that it may not be restrict | limited by a photomask. It has been recalled that phage of large pellicles of 2.0 m allows solving the above problems. As a result of the study, the means found that the longest side can be effectively used even for a large pellicle having a length of 1 m or more, and have completed the present invention. That is, the present invention is as follows.

1. 복수의 변으로 이루어지는 다각형 형상을 갖는 프레임체로서, 그 프레임체의 상부 가장자리면에 접착된 펠리클막과, 그 프레임체의 하부 가장자리면에 도포 점착된 점착재를 구비할 수 있는, 상기 프레임체의 가장 긴 변의 길이가 1 m 이상인 대형 펠리클의 상기 프레임체에 있어서, 상기 프레임체는, 모든 변부에 각각 파지용 볼록부 또는 오목부를 갖는 대형 펠리클 프레임체.1. A frame having a polygonal shape composed of a plurality of sides, wherein the frame can include a pellicle film adhered to an upper edge of the frame and a pressure-sensitive adhesive material applied to a lower edge of the frame. The said frame body of the large sized pellicle whose length of the longest side of a sieve is 1 m or more, WHEREIN: The said frame body is a large sized pellicle frame body which has a convex part or a recessed part, respectively, in every edge part.

2. 파지용 볼록부 또는 오목부가, 프레임체의 외측면 상에 있는 상기 1 에 기재된 대형 펠리클 프레임체.2. The large-scale pellicle frame body according to 1 above, wherein the convex portion or the concave portion for holding is on the outer surface of the frame body.

3. 파지용 볼록부 또는 오목부가, 프레임체의 외측면 상으로서 상부 가장자리면 및 하부 가장자리면에서 이간된 위치에 있는 상기 2 에 기재된 대형 펠리클 프레임체.3. The large sized pellicle frame body according to 2 above, wherein the holding convex portion or the concave portion is spaced apart from the upper edge surface and the lower edge surface on the outer surface of the frame body.

4. 파지용 볼록부 또는 오목부가, 홈 혹은 구멍인 상기 1 ∼ 3 중 어느 하나에 기재된 대형 펠리클 프레임체.4. The large-scale pellicle frame body according to any one of the above 1 to 3, wherein the convex portion or concave portion for gripping is a groove or a hole.

5. 파지용 볼록부 또는 오목부가, 안쪽으로 넓어진 공간부를 갖는 홈 또는 구멍인 상기 4 에 기재된 대형 펠리클 프레임체.5. The large sized pellicle frame body according to 4 above, wherein the holding convex portion or concave portion is a groove or a hole having an inwardly spaced portion.

6. 파지용 볼록부 또는 오목부가, 안쪽으로 좁아진 공간부를 갖는 홈 또는 구멍인 상기 4 에 기재된 대형 펠리클 프레임체.6. The large sized pellicle frame body according to 4, wherein the holding convex portion or the recessed portion is a groove or a hole having a space portion narrowed inward.

7. 파지용 볼록부 또는 오목부가, 프레임체의 각 변에 있어서, 그 파지용 볼록부 또는 오목부가 차지하는 길이가 각각 변의 길이에 대해 10 ％ 이상인 상기 1 ∼ 6 중 어느 하나에 기재된 대형 펠리클 프레임체.7. The large pellicle frame body according to any one of the above 1 to 6, wherein the convex portion or the concave portion for holding is 10% or more with respect to the length of the side, in each side of the frame. .

8. 파지용 볼록부 또는 오목부가, 프레임체의 모든 변부 전체 둘레에 걸쳐 형성되어 있는 홈인 상기 7 에 기재된 대형 펠리클 프레임체.8. The large-size pellicle frame body according to the above 7, wherein the convex portion or the concave portion for gripping is a groove formed over the entire circumference of all sides of the frame body.

9. 파지용 볼록부 또는 오목부가, 프레임체의 변부에 부분적으로 형성되어 있는 홈인 상기 7 에 기재된 대형 펠리클 프레임체.9. The large-scale pellicle frame body according to item 7, wherein the convex portion or the concave portion for gripping is a groove formed at the edge portion of the frame body.

10. 파지용 볼록부 또는 오목부가, 프레임체의 모든 변부에 복수 개씩 형성되어 있는 구멍인 상기 1 ∼ 6 중 어느 하나에 기재된 대형 펠리클 프레임체.10. The large sized pellicle frame body according to any one of the above 1 to 6, wherein the holding convex portion or the concave portion is a hole formed in a plurality of all the edge portions of the frame body.

11. 상기 1 ∼ 10 중 어느 하나에 기재된 대형 펠리클 프레임체와, 그 프레임체의 상부 가장자리면에 접착된 펠리클막과, 그 프레임체의 하부 가장자리면에 도포 점착된 점착재로 이루어지는 대형 펠리클.11. A large sized pellicle comprising the large sized pellicle frame body according to any one of 1 to 10, a pellicle film adhered to the upper edge surface of the frame body, and an adhesive material applied and adhered to the lower edge surface of the frame body.

12. 프레임체의 가장 긴 변의 길이가 1.4 m 이상 2.0 m 이하인 상기 11 에 기재된 대형 펠리클.12. The large sized pellicle according to 11, wherein the longest side of the frame has a length of 1.4 m or more and 2.0 m or less.

13. 프레임체의 높이에 대한 폭의 비가 1.5 ∼ 4.0 인 상기 11 ∼ 12 중 어느 하나에 기재된 대형 펠리클.13. The large sized pellicle according to any one of 11 to 12 above, wherein the ratio of the width to the height of the frame body is 1.5 to 4.0.

14. 상기 1 ∼ 10 중 어느 하나에 기재된 대형 펠리클 프레임체의 파지 방법으로서, 상기 대형 펠리클 프레임체의 모든 변부에 있어서 각각 적어도 1 지점 이상의 파지용 볼록부 또는 오목부를 파지하는 대형 펠리클 프레임체의 파지 방법.14. The method for holding a large pellicle frame body according to any one of the above 1 to 10, wherein the holding of the large pellicle frame body that grips at least one or more holding convex portions or concave portions at all sides of the large pellicle frame body. Way.

15. 대형 펠리클 프레임체의 모든 변부에 있어서 모든 파지용 볼록부 또는 오목부를 파지하는 상기 13 에 기재된 대형 펠리클 프레임체의 파지 방법.15. The method for holding a large pellicle frame body according to the above-mentioned 13, wherein all of the convex portions or concave portions for holding are held at all sides of the large pellicle frame body.

16. 상기 11 ∼ 13 중 어느 하나에 기재된 대형 펠리클의 프레임체 형상을 교정하는 방법으로서, 상기 대형 펠리클의 프레임체의 모든 변부에 있어서 각각 적어도 1 지점 이상의 파지용 볼록부 또는 오목부를 파지하고, 상기 대형 펠리클의 프레임체의 적어도 1 지점에 응력을 가함으로써 그 프레임체의 변형을 적게 하는 대형 펠리클의 프레임체 형상의 교정 방법.16. A method for correcting the frame shape of a large pellicle according to any one of 11 to 13, wherein at least one gripping convex portion or a recessed portion is held at all sides of the frame body of the large pellicle, A method for correcting a frame shape of a large pellicle in which deformation of the frame body is reduced by applying stress to at least one point of the frame of the large pellicle.

17. 파지용 볼록부 또는 오목부가, 프레임체의 변부에 자유롭게 탈착할 수 있게 고정되어 있는 돌출부인 상기 1 ∼ 3 중 어느 하나에 기재된 대형 펠리클 프레임체.17. The large-scale pellicle frame body according to any one of the above 1 to 3, wherein the holding convex portion or the concave portion is a protruding portion fixed to the edge of the frame so as to be freely detachable.

18. 파지용 볼록부 또는 오목부가, 판 형상의 돌출부 또는 막대 형상의 돌출부인 상기 1 ∼ 3 및 17 중 어느 하나에 기재된 대형 펠리클 프레임체.18. The large-scale pellicle frame body according to any one of the above 1 to 3 and 17, wherein the convex portion or concave portion for gripping is a plate-shaped protrusion or a rod-shaped protrusion.

19. 파지용 볼록부 또는 오목부가, 판 형상이고, 또한 프레임체의 네 귀퉁이부에서 변의 중앙부에 걸쳐 그 돌출부의 돌출량이 커진 돌출부인 상기 1 ∼ 3 및 17 중 어느 하나에 기재된 대형 펠리클 프레임체.19. The large-size pellicle frame body according to any one of the above 1 to 3 and 17, wherein the holding convex portion or the concave portion is a plate shape and is a protrusion portion in which the protrusion amount of the protrusion portion is increased from the four corner portions of the frame body to the center portion of the edge.

20. 파지용 볼록부 또는 오목부가, 선단이 갈고리 형상을 하고 있는 돌출부인 상기 1 ∼ 3 및 17 ∼ 19 중 어느 하나에 기재된 대형 펠리클 프레임체.20. The large-scale pellicle frame body according to any one of the above 1 to 3 and 17 to 19, wherein the convex portion or the concave portion for gripping is a protruding portion whose tip is hooked.

21. 파지용 볼록부 또는 오목부가, 펠리클을 포토마스크에 부착했을 때에 포토마스크의 외주 측면 및/또는 포토마스크에 형성된 홈에 접하도록 형성되어 있는 돌출부인 상기 1 ∼ 3 및 17 ∼ 20 중 어느 하나에 기재된 대형 펠리클 프레임체.21. Any one of the above 1 to 3 and 17 to 20, wherein the convex portion or concave portion for holding is a protrusion formed to contact the outer peripheral side surface of the photomask and / or the groove formed in the photomask when the pellicle is attached to the photomask. Large pellicle frame described in the above.

22. 파지용 볼록부 또는 오목부가, 펠리클을 포토마스크에 부착했을 때에 별도 부품과 조합함으로써, 그 포토마스크에 프레임체를 물리적으로 고정시킬 수 있도록 형성되어 있는 돌출부인 상기 1 ∼ 3 및 17 ∼ 21 중 어느 하나에 기재된 대형 펠리클 프레임체.22. The convex portions or concave portions for holding are the protrusions 1 to 3 and 17 to 21, which are formed to physically fix the frame body to the photomask by combining with a separate component when the pellicle is attached to the photomask. The large pellicle frame according to any one of the above.

23. 파지용 볼록부 또는 오목부가, 프레임체의 모든 변부 전체 둘레에 걸쳐 형성되어 있는 판 형상의 돌출부인 상기 7 에 기재된 대형 펠리클 프레임체.23. The large-scale pellicle frame body according to the above 7, wherein the holding convex portion or the concave portion is a plate-shaped protrusion formed over the entire circumference of all sides of the frame body.

24. 파지용 볼록부 또는 오목부가, 프레임체의 변부에 부분적으로 형성되어 있는 판 형상의 돌출부인 상기 7 에 기재된 대형 펠리클 프레임체.24. The large sized pellicle frame body according to item 7, wherein the convex portion or the recess portion for holding is a plate-shaped protrusion formed partially on the edge of the frame body.

25. 파지용 볼록부 또는 오목부가, 프레임체의 모든 변부에 복수 개씩 형성되어 있는 막대 형상의 돌출부인 상기 1 ∼ 3 및 17 ∼ 18 중 어느 하나에 기재된 대형 펠리클 프레임체.25. The large-scale pellicle frame body according to any one of the above 1 to 3 and 17 to 18, wherein the holding convex portion or the concave portion is a rod-shaped protrusion formed in plural numbers on all sides of the frame body.

26. 상기 17 ∼ 25 중 어느 하나에 기재된 대형 펠리클 프레임체와, 그 프레임체의 상부 가장자리면에 접착된 펠리클막과, 그 프레임체의 하부 가장자리면에 도포 점착된 점착재로 이루어지는 대형 펠리클.26. A large sized pellicle comprising the large sized pellicle frame body according to any one of 17 to 25, a pellicle film adhered to an upper edge surface of the frame body, and an adhesive material applied and adhered to the lower edge surface of the frame body.

27. 프레임체의 가장 긴 변의 길이가, 1.4 m 이상 2.0 m 이하인 상기 26 에 기재된 대형 펠리클.27. The large pellicle according to 26, wherein the longest side of the frame has a length of 1.4 m or more and 2.0 m or less.

28. 프레임체의 높이에 대한 폭의 비가 1.5 ∼ 4.0 인 상기 26 ∼ 27 중 어느 하나에 기재된 대형 펠리클.28. The large sized pellicle according to any one of 26 to 27, wherein the ratio of the width to the height of the frame body is 1.5 to 4.0.

29. 상기 17 ∼ 25 중 어느 하나에 기재된 대형 펠리클 프레임체의 파지 방법으로서, 상기 대형 펠리클 프레임체의 모든 변부에 있어서 각각 적어도 1 지점 이상의 파지용 볼록부 또는 오목부를 파지하는 대형 펠리클 프레임체의 파지 방법.29. The method for holding a large pellicle frame according to any one of 17 to 25, wherein the holding of the large pellicle frame that grips at least one or more gripping convex portions or recesses on all sides of the large pellicle frame body. Way.

30. 대형 펠리클 프레임체의 모든 변부에 있어서 모든 파지용 볼록부 또는 오목부를 파지하는 상기 29 에 기재된 대형 펠리클 프레임체의 파지 방법.30. The method for holding a large pellicle frame body according to 29 above, wherein all of the convex portions or concave portions for holding are held at all sides of the large pellicle frame body.

31. 상기 26 ∼ 28 중 어느 하나에 기재된 대형 펠리클의 프레임체 형상을 교정하는 방법으로서, 상기 대형 펠리클의 프레임체의 모든 변부에 있어서 각각 적어도 1 지점 이상의 파지용 볼록부 또는 오목부를 파지하고, 상기 대형 펠리클의 프레임체의 적어도 1 지점에 응력을 가함으로써 그 프레임체의 변형을 적게 하는 대형 펠리클의 프레임체 형상의 교정 방법.31. A method for correcting the frame shape of a large pellicle according to any one of 26 to 28, wherein all the edge portions of the frame of the large pellicle are held at least one convex portion or a recess for holding at least one point, A method for correcting a frame shape of a large pellicle in which deformation of the frame body is reduced by applying stress to at least one point of the frame of the large pellicle.

본 발명의 대형 펠리클 프레임체 및 그 프레임체의 파지 방법에 의해, 펠리클의 취급시나, 수납·운반·보관시에 프레임체를 확실하게 파지할 수 있고, 또한 포토마스크 등에 부착할 때에는 비뚤어짐이나 휨을 발생시키지 않고 수납 용기로부터 펠리클을 간단하게 취출할 수 있게 되었다.The large pellicle frame body and the gripping method of the frame body of the present invention can reliably grip the frame body during handling of the pellicle or during storage, transportation, and storage. The pellicle can be easily taken out from the storage container without being generated.

도 1A 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 일 형태 (파지용 오목부가 홈) 를 설명하기 위한 사시도로, 포토마스크에 접착된 대형 펠리클을 도시한다.
도 1B 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 일 형태 (파지용 오목부가 홈) 를 설명하는 도면으로, 프레임체를 포함하는 부분 확대 종단면도를 도시한다.
도 1C 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 일 형태 (파지용 오목부가 홈) 를 설명하는 도면으로, 대형 펠리클 프레임체를 도시한다.
도 1D 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 일 형태 (파지용 볼록부가 판 형상) 를 설명하기 위한 사시도로, 포토마스크에 접착된 대형 펠리클을 도시한다.
도 1E 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 일 형태 (파지용 볼록부가 판 형상) 를 설명하는 도면으로, 프레임체를 포함하는 부분 확대 종단면도를 도시한다.
도 1F 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 일 형태 (파지용 볼록부가 판 형상) 를 설명하는 도면으로, 대형 펠리클 프레임체를 도시한다.
도 2A 는 종래의 소형 펠리클 프레임체의 일 형태를 설명하기 위한 사시도로, 포토마스크에 접착된 펠리클을 도시한다.
도 2B 는 종래의 소형 펠리클 프레임체의 일 형태를 설명하기 위한 도면으로, 프레임체의 홈을 포함하는 부분 확대 종단면도를 도시한다.
*도 2C 는 종래의 소형 펠리클 프레임체의 일 형태를 설명하기 위한 도면으로, 펠리클 프레임체를 도시한다.
도 3A 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 외측면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태예이다.
도 3B 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 외측면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태예이다.
도 3C 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 외측면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태예이다.
도 3D 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 외측면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태예이다.
도 3E 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 외측면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태예이다.
도 3F 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 외측면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태예이다.
도 3G 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 외측면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태예이다.
도 4A 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 상부 가장자리면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태예이다.
도 4B 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 상부 가장자리면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태예이다.
도 5A 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 하부 가장자리면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태예이다.
도 5B 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 하부 가장자리면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태예이다.
도 6A 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 내측면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태예이다.
도 6B 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 내측면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태예이다.
도 6C 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 내측면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태예이다.
도 6D 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 내측면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태예이다.
도 6E 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 내측면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태예이다.
도 6F 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 내측면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태예이다.
도 6C 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 내측면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태예이다.
도 7A 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 파지용 홈 혹은 구멍이 복수 형성된 형태예이다.
도 7B 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 파지용 홈 혹은 구멍이 복수 형성된 형태예이다.
도 7C 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 파지용 홈 혹은 구멍이 복수 형성된 형태예이다.
도 8A 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 파지용 홈의 배치를 설명하기 위한 펠리클막을 보는 방향의 개략도이다.
도 8B 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 파지용 홈의 배치를 설명하기 위한 펠리클막을 보는 방향의 개략도이다.
도 8C 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 파지용 홈의 배치를 설명하기 위한 펠리클막을 보는 방향의 개략도이다.
도 8D 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 파지용 홈의 배치를 설명하기 위한 펠리클막을 보는 방향의 개략도이다.
도 9A 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 파지용 홈의 배치를 설명하기 위한 펠리클막을 보는 방향의 개략도이다.
도 9B 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 파지용 홈의 배치를 설명하기 위한 펠리클막을 보는 방향의 개략도이다.
도 9C 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 파지용 홈의 배치를 설명하기 위한 펠리클막을 보는 방향의 개략도이다.
도 10A 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 파지용 홈의 배치를 설명하기 위한 프레임체의 측면 방향에서 본 개략도이다.
도 10B 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 파지용 홈의 배치를 설명하기 위한 프레임체의 측면 방향에서 본 개략도이다.
도 11A 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체를 파지 부재로 파지·고정시킬 때의 일 형태예를 설명하기 위한 부분 확대 종단면도이다.
*도 11B 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체를 파지 부재로 파지·고정시킬 때의 일 형태예를 설명하기 위한 부분 확대 종단면도이다.
도 11C 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체를 파지 부재로 파지·고정시킬 때의 일 형태예를 설명하기 위한 부분 확대 종단면도이다.
도 11D 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체를 파지 부재로 파지·고정시킬 때의 일 형태예를 설명하기 위한 부분 확대 종단면도이다.
도 11E 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체를 파지 부재로 파지·고정시킬 때의 일 형태예를 설명하기 위한 부분 확대 종단면도이다.
도 12A 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 파지용 홈의 형태예를 설명하기 위한 도면으로, 프레임체의 외측면 방향에서 본 부분 개략도이다.
도 12B 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 파지용 홈의 형태예를 설명하기 위한 도면으로, 펠리클막을 보는 방향에서 본 부분 개략도이다.
도 12C 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 파지용 홈의 형태예를 설명하기 위한 도면으로, 펠리클막을 보는 방향에서 본 부분 개략도이다.
도 12D 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 파지용 홈의 형태예를 설명하기 위한 도면으로, 펠리클막을 보는 방향에서 본 부분 개략도이다.
도 13A 는 대형 펠리클 프레임체에 있어서 코너부에 형성된 구멍의 배치를 설명하기 위한 도면으로, 프레임체의 외측면 방향에서 본 부분 개략도이다.
도 13B 는 대형 펠리클 프레임체에 있어서 코너부에 형성된 구멍의 배치를 설명하기 위한 도면으로, 펠리클막을 보는 방향에서 본 부분 개략도이다.
도 14A 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 외측면에 돌출부가 형성된 형태예이다.
도 14B 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 외측면에 돌출부가 형성된 형태예이다.
도 14C 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 외측면에 돌출부가 형성된 형태예이다.
도 14D 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 외측면에 돌출부가 형성된 형태예이다.
도 14E 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 외측면에 돌출부가 형성된 형태예이다.
도 14F 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 외측면에 돌출부가 형성된 형태예이다.
도 14G 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 외측면에 돌출부가 형성된 형태예이다.
도 15A 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 상부 가장자리면에 돌출부가 형성된 형태예이다.
도 15B 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 상부 가장자리면에 돌출부가 형성된 형태예이다.
도 15C 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 상부 가장자리면에 돌출부가 형성된 형태예이다.
도 15D 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 상부 가장자리면에 돌출부가 형성된 형태예이다.
도 16A 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 하부 가장자리면에 돌출부가 형성된 형태예이다.
도 16B 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 하부 가장자리면에 돌출부가 형성된 형태예이다.
도 16C 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 하부 가장자리면에 돌출부가 형성된 형태예이다.
도 16D 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 하부 가장자리면에 돌출부가 형성된 형태예이다.
도 17A 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 내측면에 돌출부가 형성된 형태예이다.
도 17B 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 내측면에 돌출부가 형성된 형태예이다.
도 17C 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 내측면에 돌출부가 형성된 형태예이다.
도 17D 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 내측면에 돌출부가 형성된 형태예이다.
도 17E 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 내측면에 돌출부가 형성된 형태예이다.
도 17F 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 내측면에 돌출부가 형성된 형태예이다.
도 17G 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 내측면에 돌출부가 형성된 형태예이다.
도 18A 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 돌출부가 복수 형성된 형태예이다.
도 18B 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 돌출부가 복수 형성된 형태예이다.
도 18C 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 돌출부가 복수 형성된 형태예이다.
도 18D 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 돌출부가 복수 형성된 형태예이다.
도 18E 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 돌출부가 복수 형성된 형태예이다.
도 18F 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 돌출부가 복수 형성된 형태예이다.
도 18G 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 돌출부가 복수 형성된 형태예이다.
도 19A 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 돌출부의 배치를 설명하기 위한 펠리클막을 보는 방향의 개략도이다.
도 19B 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 돌출부의 배치를 설명하기 위한 펠리클막을 보는 방향의 개략도이다.
도 19C 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 돌출부의 배치를 설명하기 위한 펠리클막을 보는 방향의 개략도이다.
도 19D 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 돌출부의 배치를 설명하기 위한 펠리클막을 보는 방향의 개략도이다.
도 20A 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 돌출부의 배치를 설명하기 위한 펠리클막을 보는 방향의 개략도이다.
도 20B 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 돌출부의 배치를 설명하기 위한 펠리클막을 보는 방향의 개략도이다.
도 20C 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 돌출부의 배치를 설명하기 위한 펠리클막을 보는 방향의 개략도이다.
도 20D 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 돌출부의 배치를 설명하기 위한 펠리클막을 보는 방향의 개략도이다.
도 20E 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 돌출부의 배치를 설명하기 위한 펠리클막을 보는 방향의 개략도이다.
도 21A 는 대형 펠리클 프레임체에 형성된 돌출부가 프레임체 변부에 자유롭게 탈착할 수 있게 고정되어 있는 형태일 때의 부분 확대 종단면도로, 나사 고정을 도시하였다.
도 21B 는 대형 펠리클 프레임체에 형성된 돌출부가 프레임체 변부에 자유롭게 탈착할 수 있게 고정되어 있는 형태일 때의 부분 확대 종단면도로, 커플러에 의한 고정을 도시하였다.
도 21C 는 대형 펠리클 프레임체에 형성된 돌출부가 프레임체 변부에 자유롭게 탈착할 수 있게 고정되어 있는 형태일 때의 부분 확대 종단면도로, 탄성체에 의한 고정을 도시하였다.
도 21D 는 대형 펠리클 프레임체에 형성된 돌출부가 프레임체 변부에 자유롭게 탈착할 수 있게 고정되어 있는 형태일 때의 부분 확대 종단면도로, 끼움에 의한 고정을 도시하였다.
도 22A 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 다른 형태 (돌출부가 막대 형상) 를 설명하기 위한 사시도로, 포토마스크에 접착된 대형 펠리클을 도시한다.
도 22B 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 다른 형태 (돌출부가 막대 형상) 를 설명하기 위한 사시도로, 대형 펠리클 프레임체를 도시한다.
도 23A 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 막대 형상의 돌출부의 배치를 설명하기 위한 펠리클막을 보는 방향의 개략도로, 도 12 의 형태와 동일하며, 단변과 장변에 각각 3 개씩 돌출부를 형성한 경우이다.
도 23B 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 막대 형상의 돌출부의 배치를 설명하기 위한 펠리클막을 보는 방향의 개략도면으로, 도 12 의 형태와 동일하며, 단변과 장변에 각각 1 개씩 돌출부를 형성하고, 추가로 4 귀퉁이에 1 개씩 돌출부를 형성한 경우이다.
도 23C 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 막대 형상의 돌출부의 배치를 설명하기 위한 펠리클막을 보는 방향의 개략도로, 도 12 의 형태와 동일하며, 도 23A 에서 변마다 돌출부를 일체화시킨 경우이다.
도 24A 는 대형 펠리클 프레임체에 형성된 돌출부를 포함하는 부분 확대 종단면도로, 돌출부가 L 자 형상이고, 선단이 구부러져 있는 변부가 포토마스크에 접하는 형태를 도시하였다.
도 24B 는 대형 펠리클 프레임체에 형성된 돌출부를 포함하는 부분 확대 종단면도로, 돌출부가 L 자 형상이고, 선단이 포토마스크에 형성된 홈에 박혀 있는 형태를 도시하였다.
도 25 는 대형 펠리클 프레임체에 형성된 돌출부에 별도 부품을 조합하여 대형 펠리클을 고정시켰을 때의 부분 확대 종단면도이다.
도 26A 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체를 파지 부재로 파지·고정시킬 때의 모습을 설명하기 위한 부분 확대 종단면도로, 단면이 직사각형인 돌출부를 파지·고정시킨 형태를 도시하였다.
도 26B 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체를 파지 부재로 파지·고정시킬 때의 모습을 설명하기 위한 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 외측면에 형성된 돌출부로서, 단면이 L 자 형상인 돌출부를 파지·고정시킨 형태를 도시하였다.
도 26C 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체를 파지 부재로 파지·고정시킬 때의 모습을 설명하기 위한 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 상부 가장자리면에 형성된 돌출부로서, 단면이 L 자 형상인 돌출부를 파지·고정시킨 형태를 도시하였다.
도 26D 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체를 파지 부재로 파지·고정시킬 때의 모습을 설명하기 위한 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 내측면에 형성된 돌출부로서, 2 개의 직사각형 형상의 돌출부를 파지·고정시킨 형태를 도시하였다.
도 27 은 실시예 1 에서 사용한 보호 필름의 평면 형상을 도시하는 모식도이다.FIG. 1A is a perspective view for explaining one embodiment of the large pellicle frame body according to the present embodiment (groove recessed groove), and shows a large pellicle bonded to a photomask.
FIG. 1B is a view for explaining one embodiment of the large pellicle frame body according to the present embodiment (groove recessed groove), and shows a partially enlarged longitudinal sectional view including the frame body.
FIG. 1C is a view for explaining one embodiment of the large pellicle frame body according to the present embodiment (the recess for the gripping portion is a groove), and shows the large pellicle frame body.
1D is a perspective view for explaining one embodiment of the large pellicle frame body according to the present embodiment (the holding convex portion has a plate shape), and shows a large pellicle bonded to a photomask.
FIG. 1E is a view for explaining one embodiment of the large pellicle frame according to the present embodiment (the holding convex portion has a plate shape), and shows a partially enlarged longitudinal sectional view including the frame.
1F is a view for explaining one embodiment of the large pellicle frame body according to the present embodiment (the holding convex portion has a plate shape), and shows the large pellicle frame body.
Fig. 2A is a perspective view for explaining one form of a conventional small pellicle frame, showing a pellicle bonded to a photomask.
FIG. 2B is a diagram for explaining one embodiment of a conventional small pellicle frame, and shows a partially enlarged longitudinal sectional view including the groove of the frame. FIG.
2C is a view for explaining one embodiment of a conventional small pellicle frame, and shows a pellicle frame.
3A is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various aspects of the large pellicle frame according to the present embodiment, in which gripping grooves or holes are recessed in the outer surface of the frame.
3B is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various aspects of the large pellicle frame according to the present embodiment, in which gripping grooves or holes are recessed in the outer surface of the frame.
Fig. 3C is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various forms of the large pellicle frame according to the present embodiment, in which gripping grooves or holes are recessed in the outer surface of the frame.
3D is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various aspects of the large pellicle frame according to the present embodiment, in which gripping grooves or holes are recessed in the outer surface of the frame.
Fig. 3E is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various forms of the large pellicle frame according to the present embodiment, in which gripping grooves or holes are recessed in the outer surface of the frame.
3F is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various aspects of the large pellicle frame according to the present embodiment, in which gripping grooves or holes are recessed in the outer surface of the frame.
FIG. 3G is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various aspects of the large pellicle frame according to the present embodiment, in which gripping grooves or holes are recessed in the outer surface of the frame.
4A is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various forms of the large pellicle frame according to the present embodiment, in which gripping grooves or holes are recessed in the upper edge surface of the frame.
4B is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various aspects of the large pellicle frame according to the present embodiment, in which gripping grooves or holes are recessed in the upper edge surface of the frame.
FIG. 5A is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various forms of the large pellicle frame according to the present embodiment, in which gripping grooves or holes are recessed in the lower edge surface of the frame.
FIG. 5B is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various forms of the large pellicle frame according to the present embodiment, in which gripping grooves or holes are recessed in the lower edge of the frame.
Fig. 6A is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various forms of the large pellicle frame according to the present embodiment, in which gripping grooves or holes are recessed in the inner surface of the frame.
Fig. 6B is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various forms of the large pellicle frame according to the present embodiment, in which gripping grooves or holes are recessed in the inner surface of the frame.
Fig. 6C is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various forms of the large pellicle frame according to the present embodiment, in which gripping grooves or holes are recessed in the inner surface of the frame.
FIG. 6D is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various forms of the large pellicle frame according to the present embodiment, in which gripping grooves or holes are recessed in the inner surface of the frame.
Fig. 6E is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various forms of the large pellicle frame according to the present embodiment, in which gripping grooves or holes are recessed in the inner surface of the frame.
Fig. 6F is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various forms of the large pellicle frame according to the present embodiment, in which the gripping grooves or holes are recessed in the inner surface of the frame.
Fig. 6C is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various forms of the large pellicle frame according to the present embodiment, in which gripping grooves or holes are recessed in the inner surface of the frame.
FIG. 7A is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various aspects of the large pellicle frame according to the present embodiment, in which a plurality of gripping grooves or holes are formed. FIG.
7B is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various aspects of the large pellicle frame according to the present embodiment, in which a plurality of gripping grooves or holes are formed.
Fig. 7C is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various aspects of the large pellicle frame according to the present embodiment, in which a plurality of gripping grooves or holes are formed.
8A is a schematic view of a direction of viewing a pellicle film for explaining the arrangement of the gripping grooves in the large pellicle frame body according to the present embodiment.
8B is a schematic view of a direction of viewing a pellicle film for explaining the arrangement of the gripping grooves in the large pellicle frame body according to the present embodiment.
8C is a schematic view of a direction of viewing a pellicle film for explaining the arrangement of the gripping grooves in the large pellicle frame body according to the present embodiment.
8D is a schematic view of a direction of viewing a pellicle film for explaining the arrangement of the gripping grooves in the large pellicle frame according to the present embodiment.
9A is a schematic view of a direction of viewing a pellicle film for explaining the arrangement of the gripping grooves in the large pellicle frame body according to the present embodiment.
FIG. 9B is a schematic view of a direction of viewing a pellicle film for explaining the arrangement of gripping grooves in the large pellicle frame body according to the present embodiment. FIG.
9C is a schematic view of a direction of viewing a pellicle film for explaining the arrangement of the gripping grooves in the large pellicle frame body according to the present embodiment.
Fig. 10A is a schematic view of the frame body for explaining the arrangement of the gripping grooves in the large pellicle frame body according to the present embodiment.
10B is a schematic view of the frame body for explaining the arrangement of the gripping grooves in the large pellicle frame body according to the present embodiment.
FIG. 11A is a partially enlarged longitudinal sectional view for explaining an example of a mode when gripping and fixing a large pellicle frame body according to the present embodiment with a gripping member. FIG.
FIG. 11B is a partially enlarged longitudinal sectional view for explaining an embodiment when gripping and fixing a large pellicle frame body according to the present embodiment with a gripping member. FIG.
FIG. 11C is a partially enlarged longitudinal sectional view for explaining an example of the case where the large pellicle frame body according to the present embodiment is gripped and fixed with a gripping member. FIG.
FIG. 11D is a partially enlarged longitudinal sectional view for explaining an embodiment of the case where a large pellicle frame body according to the present embodiment is gripped and fixed with a gripping member. FIG.
FIG. 11E is a partially enlarged longitudinal sectional view for explaining an example of a mode when gripping and fixing the large pellicle frame body according to the present embodiment with a gripping member. FIG.
FIG. 12A is a view for explaining a form example of a gripping groove in the large pellicle frame according to the present embodiment, and is a schematic view of a portion seen from the outer surface direction of the frame. FIG.
FIG. 12B is a view for explaining a form example of a gripping groove in the large-size pellicle frame according to the present embodiment, and is a partial schematic view seen from the direction of viewing the pellicle film. FIG.
FIG. 12C is a view for explaining a form example of a gripping groove in the large pellicle frame according to the present embodiment, and is a schematic view of a portion seen from the direction of viewing the pellicle film. FIG.
FIG. 12D is a view for explaining a form example of a gripping groove in the large pellicle frame according to the present embodiment, and is a partial schematic view from the direction of viewing the pellicle film. FIG.
It is a figure for demonstrating arrangement | positioning of the hole formed in the corner part in a large sized pellicle frame body, It is a partial schematic diagram seen from the outer surface direction of a frame body.
It is a figure for demonstrating the arrangement | positioning of the hole formed in the corner part in a large sized pellicle frame body, It is a partial schematic diagram seen from the direction of seeing a pellicle film | membrane.
FIG. 14A is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various aspects of the large pellicle frame according to the present embodiment, in which protrusions are formed on the outer surface of the frame. FIG.
FIG. 14B is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various embodiments of the large pellicle frame according to the present embodiment, in which protrusions are formed on the outer surface of the frame. FIG.
14C is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various forms of the large pellicle frame according to the present embodiment, in which protrusions are formed on the outer surface of the frame.
14D is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various forms of the large pellicle frame according to the present embodiment, in which protrusions are formed on the outer surface of the frame.
FIG. 14E is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various aspects of the large pellicle frame according to the present embodiment, in which protrusions are formed on the outer surface of the frame.
14F is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various aspects of the large-scale pellicle frame body according to the present embodiment, wherein the protrusion is formed on the outer surface of the frame body.
FIG. 14G is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various aspects of the large pellicle frame according to the present embodiment, wherein the protrusion is formed on the outer surface of the frame. FIG.
Fig. 15A is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various forms of the large pellicle frame according to the present embodiment, in which protrusions are formed on the upper edge surface of the frame.
FIG. 15B is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various forms of the large pellicle frame according to the present embodiment, in which protrusions are formed on the upper edge surface of the frame. FIG.
FIG. 15C is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various aspects of the large pellicle frame according to the present embodiment, in which protrusions are formed on the upper edge surface of the frame. FIG.
Fig. 15D is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various forms of the large pellicle frame according to the present embodiment, in which protrusions are formed on the upper edge surface of the frame.
Fig. 16A is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various embodiments of the large sized pellicle frame according to the present embodiment, in which protrusions are formed on the lower edge surface of the frame.
Fig. 16B is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various aspects of the large-size pellicle frame according to the present embodiment, in which a protrusion is formed on the lower edge of the frame.
16C is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various forms of the large pellicle frame according to the present embodiment, in which protrusions are formed on the lower edge surface of the frame.
16D is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various forms of the large pellicle frame according to the present embodiment, in which protrusions are formed on the lower edge of the frame.
17A is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various forms of the large pellicle frame according to the present embodiment, in which protrusions are formed on the inner surface of the frame.
17B is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various forms of the large pellicle frame according to the present embodiment, in which protrusions are formed on the inner surface of the frame.
17C is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various forms of the large pellicle frame according to the present embodiment, in which protrusions are formed on the inner surface of the frame.
17D is a partially enlarged longitudinal sectional view illustrating various forms of the large pellicle frame according to the present embodiment, in which protrusions are formed on the inner surface of the frame.
17E is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various forms of the large pellicle frame according to the present embodiment, in which protrusions are formed on the inner surface of the frame.
17F is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various aspects of the large pellicle frame according to the present embodiment, in which protrusions are formed on the inner surface of the frame.
FIG. 17G is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various forms of the large pellicle frame according to the present embodiment, in which protrusions are formed on the inner surface of the frame. FIG.
18A is a partially enlarged longitudinal sectional view illustrating various forms of the large pellicle frame according to the present embodiment, in which a plurality of protrusions are formed.
18B is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various aspects of the large pellicle frame according to the present embodiment, in which a plurality of protrusions are formed.
18C is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various forms of the large pellicle frame according to the present embodiment, wherein a plurality of protrusions are formed.
18D is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various aspects of the large pellicle frame according to the present embodiment, wherein a plurality of protrusions are formed.
18E is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various forms of the large-scale pellicle frame according to the present embodiment, in which a plurality of protrusions are formed.
18F is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various aspects of the large pellicle frame according to the present embodiment, in which a plurality of protrusions are formed.
FIG. 18G is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various aspects of the large pellicle frame according to the present embodiment, in which a plurality of protrusions are formed.
19A is a schematic view of a direction of viewing a pellicle film for explaining the arrangement of protrusions in the large pellicle frame according to the present embodiment.
19B is a schematic view of a direction of viewing a pellicle film for explaining the arrangement of protrusions in the large pellicle frame body according to the present embodiment.
19C is a schematic view of a direction of viewing a pellicle film for explaining the arrangement of protrusions in the large pellicle frame body according to the present embodiment.
19D is a schematic view of a direction of viewing a pellicle film for explaining the arrangement of protrusions in the large pellicle frame according to the present embodiment.
20A is a schematic view of a direction of viewing a pellicle film for explaining the arrangement of protrusions in the large pellicle frame according to the present embodiment.
20B is a schematic view of a direction of viewing a pellicle film for explaining the arrangement of protrusions in the large pellicle frame body according to the present embodiment.
20C is a schematic view of a direction of viewing a pellicle film for explaining the arrangement of protrusions in the large pellicle frame according to the present embodiment.
20D is a schematic view of a direction of viewing a pellicle film for explaining the arrangement of protrusions in the large pellicle frame according to the present embodiment.
20E is a schematic view of a direction of viewing a pellicle film for explaining the arrangement of protrusions in the large pellicle frame body according to the present embodiment.
Fig. 21A is a partially enlarged longitudinal sectional view when the protrusion formed on the large pellicle frame is fixed to the frame edge so as to be freely detachable.
Fig. 21B is a partially enlarged longitudinal sectional view when the protrusion formed in the large pellicle frame body is fixed to the frame edge so as to be freely detachable, showing the fixing by the coupler.
Fig. 21C is a partially enlarged longitudinal sectional view when the protrusion formed in the large pellicle frame body is fixed to the frame edge so as to be freely detachable, showing the fixing by the elastic body.
Fig. 21D is a partially enlarged longitudinal sectional view when the protrusion formed on the large pellicle frame body is fixed to the frame edge so as to be freely detachable.
Fig. 22A is a perspective view for explaining another form (protrusions in the shape of a rod) of the large pellicle frame body according to the present embodiment, showing a large pellicle bonded to a photomask.
22B is a perspective view for explaining another form (protrusions in the shape of a rod) of the large pellicle frame body according to the present embodiment, showing the large pellicle frame body.
FIG. 23A is a schematic view of a pellicle film for explaining the arrangement of rod-shaped protrusions in the large pellicle frame according to the present embodiment, the same as that in FIG. 12, and three protrusions are formed on each of short and long sides; FIG. One case.
FIG. 23B is a schematic view of a direction of viewing a pellicle film for explaining the arrangement of a rod-shaped protrusion in the large pellicle frame according to the present embodiment, the same as that of FIG. 12, and one protrusion on each of the short side and the long side It is a case where the protrusions are formed one by one at four corners.
FIG. 23C is a schematic view of a direction of viewing a pellicle film for explaining the arrangement of rod-shaped protrusions in the large pellicle frame according to the present embodiment, which is the same as that shown in FIG. to be.
Fig. 24A is a partially enlarged longitudinal sectional view including a protrusion formed on a large pellicle frame, in which the protrusion is L-shaped and the edge portion of which the tip is bent is in contact with the photomask.
Fig. 24B is a partially enlarged longitudinal sectional view including a protrusion formed on a large pellicle frame, showing the shape in which the protrusion is L-shaped and the tip is embedded in a groove formed in the photomask.
Fig. 25 is a partially enlarged longitudinal sectional view when a large pellicle is fixed by combining separate parts in a protrusion formed on the large pellicle frame.
Fig. 26A is a partially enlarged longitudinal sectional view for explaining a state in which a large pellicle frame body according to the present embodiment is gripped and fixed by a gripping member, and shows a form in which a projection having a rectangular cross section is gripped and fixed.
Fig. 26B is a partially enlarged longitudinal sectional view for explaining a state where the large pellicle frame body according to the present embodiment is gripped and fixed by the gripping member, and is a protrusion formed on the outer surface of the frame body and having a L-shaped protrusion. The gripped and fixed form is shown.
Fig. 26C is a partially enlarged longitudinal sectional view for explaining the state when gripping and fixing the large pellicle frame body according to the present embodiment with the gripping member, and is a protrusion formed on the upper edge surface of the frame body and having a L-shaped cross section. Figure shows the form of holding and fixing.
Fig. 26D is a partially enlarged longitudinal sectional view for explaining the state where the large pellicle frame body according to the present embodiment is gripped and fixed by the gripping member. Fixed form is shown.
It is a schematic diagram which shows the planar shape of the protective film used in Example 1. FIG.

첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시형태를 설명한다. 이하에 설명하는 실시형태는 본 발명의 구성의 예로서, 본 발명은, 이하의 실시형태에 제한되는 것은 아니다. 본 발명의 효과를 발휘하는 한, 다양하게 형태를 변경해도 된다.Embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. Embodiment described below is an example of a structure of this invention, and this invention is not limited to the following embodiment. You may change a form in various ways as long as the effect of this invention is exhibited.

본 발명의 대형 펠리클 프레임체는, 복수의 변으로 이루어지는 다각형 형상을 갖는 프레임체로서, 그 프레임체의 상부 가장자리면에 접착된 펠리클막과, 그 프레임체의 하부 가장자리면에 도포 점착된 점착재를 구비할 수 있고, 상기 프레임체의 가장 긴 변의 길이가 1 m 이상인 대형 펠리클의 상기 프레임체에 있어서, 상기 프레임체가 모든 변부에 각각 파지용 볼록부 또는 오목부를 갖는 것이다. 여기서, 프레임체의 다각형 형상이란 통상적으로 대략 4 각형 형상인데, 모서리부에 절결이나 R 부를 가진 다각형 형상이어도 된다.The large pellicle frame body of the present invention is a frame body having a polygonal shape composed of a plurality of sides, and includes a pellicle film adhered to an upper edge surface of the frame body and an adhesive material applied and adhered to the lower edge surface of the frame body. The frame body of the large sized pellicle which can be provided and the longest side of the said frame body is 1 m or more WHEREIN: The said frame body has a convex part or a recessed part in all edge parts, respectively. Here, although the polygonal shape of a frame body is a substantially quadrangular shape, the polygonal shape which has a notch or an R part in a corner part may be sufficient as it.

도 1A 는, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 일 형태를 설명하기 위한 사시도로, 도 1A 및 도 1D 는 포토마스크에 접착된 대형 펠리클, 도 1B 및 도 1E 는 프레임체를 포함하는 부분 확대 종단면도, 도 1C 및 도 1F 는 대형 펠리클 프레임체를 도시한다. 도 2 는, 종래 소형 펠리클 프레임체의 일 형태 (예를 들어 특허 문헌 2 의 타입) 를 설명하기 위한 사시도로, 도 2A 는 포토마스크에 접착된 펠리클, 도 2B 는 프레임체의 홈을 포함하는 부분 확대 종단면도, 도 2C 는 펠리클 프레임체를 도시한다.1A is a perspective view illustrating one embodiment of a large pellicle frame body according to the present embodiment, in which FIGS. 1A and 1D are large pellicles bonded to a photomask, and FIGS. 1B and 1E are partial enlargements including a frame body 1C and 1F show a large pellicle frame body. FIG. 2 is a perspective view for explaining one form (for example, type of Patent Document 2) of a conventional small pellicle frame body, FIG. 2A is a pellicle bonded to a photomask, and FIG. 2B is a part including a groove of the frame body 2C shows a pellicle frame.

예를 들어 도 1 에 도시된 바와 같이, 대형 펠리클은 프레임체 (10) 와, 프레임체 (10) 의 상부 가장자리면 (3) 에 접착된 펠리클막 (1) 과, 프레임체 (10) 하부 가장자리면 (4) 에 도포 점착된 점착재 (2) 로 이루어진다. 여기서 펠리클막 (1) 은 프레임체 (10) 의 상부 가장자리면 (3) 에 접착제 (도시 생략) 를 개재하여 접착되어 있다. 또한, 도 1A 및 도 1B 에서는, 펠리클 프레임체 (10) 가 점착재 (2) 를 개재하여 포토마스크 (9) 에 접착되어 있다. 포토마스크 (9) 에 접착되기 전에는, 대형 펠리클은 프레임체 (10) 의 하부 가장자리면 (4) 에 점착재 (2) 를 개재하여 보호 필름 (도시 생략) 이 점착된 구조를 가지고 있다.For example, as shown in FIG. 1, the large pellicle includes the frame body 10, the pellicle film 1 adhered to the upper edge surface 3 of the frame body 10, and the lower edge of the frame body 10. It consists of the adhesive material 2 apply | coated and adhere | attached on the surface 4. The pellicle film 1 is adhered to the upper edge surface 3 of the frame 10 via an adhesive agent (not shown). In addition, in FIG. 1A and 1B, the pellicle frame 10 is adhere | attached to the photomask 9 through the adhesive material 2. In FIG. Before adhere | attaching to the photomask 9, the large sized pellicle has the structure which the protective film (not shown) adhere | attached on the lower edge surface 4 of the frame 10 via the adhesive material 2.

펠리클막 (1) 의 재질, 점착재 (2) 의 재질·형상, 접착제의 재질, 보호 필름의 재질·형상은, 종래 일반적으로 사용되고 있는 것을 사용할 수 있다.As the material of the pellicle film 1, the material and shape of the adhesive material 2, the material of the adhesive, and the material and shape of the protective film, those conventionally used can be used.

펠리클막으로는, 투명한 고분자막, 예를 들어 니트로셀룰로오스, 셀룰로오스 유도체, 또는 불소 폴리머를 사용할 수 있다. 펠리클막의 두께는 광선 투과율, 막강도를 고려하여 설정하는 것으로, 예를 들어 10 ㎛ 이하 0.1㎛ 이상이 바람직하다. 펠리클막을 프레임체의 상부 가장자리면에 접착하는 데에 있어서는 접착제, 예를 들어 아크릴 수지 접착제, 에폭시 수지 접착제, 실리콘 수지 접착제, 또는 함불소 실리콘 접착제 등의 불소계 폴리머가 사용된다.As the pellicle film, a transparent polymer film such as nitrocellulose, a cellulose derivative, or a fluoropolymer can be used. The thickness of the pellicle film is set in consideration of the light transmittance and the film strength. For example, the thickness of the pellicle film is preferably 10 µm or less and 0.1 µm or more. In adhering a pellicle film to the upper edge surface of a frame body, an adhesive, for example, a fluorine-type polymer, such as an acrylic resin adhesive, an epoxy resin adhesive, a silicone resin adhesive, or a fluorine-containing silicone adhesive, is used.

점착재로는, 스티렌에틸렌부틸렌스티렌, 스티렌에틸렌프로필렌스티렌, 혹은 올레핀계 등의 핫멜트 점착재, 실리콘계 점착재, 아크릴계 점착재, 또는 발포체를 기재로 한 점착 테이프를 사용할 수 있다. 점착재 층의 두께는 프레임체 두께와 점착재 두께의 합계가 규정된 막과 마스크의 거리를 초과하지 않는 범위로 설정하는 것으로, 예를 들어 10 ㎜ 이하 0.01 ㎜ 이상이 바람직하다.As the adhesive material, an adhesive tape based on a hot melt adhesive material such as styrene ethylene butylene styrene, styrene ethylene propylene styrene or an olefin, a silicone pressure sensitive adhesive, an acrylic pressure sensitive adhesive or a foam can be used. The thickness of the pressure-sensitive adhesive layer is set within a range in which the sum of the frame thickness and the thickness of the pressure-sensitive adhesive does not exceed the prescribed distance between the film and the mask. For example, 10 mm or less and 0.01 mm or more are preferable.

보호 필름으로는, 폴리에틸렌테레프탈레이트 수지, 또는 폴리에틸렌 수지로 이루어지는 필름을 사용할 수 있다. 또한, 점착재의 점착력에 따라 이형제, 예를 들어 실리콘계 이형제, 또는 불소계 이형제를 보호 필름의 표면에 도포해도 된다. 보호 필름의 두께는, 예를 들어 1 ㎜ 이하 0.01 ㎜ 이상이 바람직하다.As a protective film, the film which consists of polyethylene terephthalate resin or polyethylene resin can be used. Moreover, you may apply a mold release agent, for example, a silicone type mold release agent, or a fluorine type mold release agent to the surface of a protective film according to the adhesive force of an adhesive material. As for the thickness of a protective film, 1 mm or less and 0.01 mm or more are preferable, for example.

프레임체 (10) 의 재질은, 기계적 강도가 유지되는 것이면 특별히 한정은 하지 않는다. 예를 들어, 금속, 수지, 복합재를 들 수 있는데, 보다 상세하게 말하면, 알루미늄이나 그 합금, 예를 들어 두랄루민, 철이나 철계 합금, 예를 들어 스테인리스, 엔지니어링 플라스틱, 섬유 강화 플라스틱 (FRP) 및 탄소 섬유 강화 플라스틱 (CFRP) 을 들 수 있다. 또한, 대형화에 의한 자중 (自重) 의 증가를 고려하면, 경량이고, 또한 강성을 갖는 것을 사용하는 것이 바람직하고, 예를 들어 알루미늄이나 그 합금이 바람직하다.The material of the frame 10 is not particularly limited as long as mechanical strength is maintained. Examples include metals, resins, composites, and more specifically, aluminum or alloys thereof, such as duralumin, iron or iron-based alloys such as stainless steel, engineering plastics, fiber reinforced plastics (FRP) and carbon. Fiber-reinforced plastics (CFRP). In addition, in consideration of the increase in the self weight due to the increase in size, it is preferable to use a lightweight and rigid material, for example, aluminum or an alloy thereof.

프레임체 (10) 의 제법은, 종래 일반적으로 행해지고 있는 제법이면 된다. 예를 들어, 일체물의 판을 절단·절삭 가공하면 된다. 또한, 펠리클의 대형화에 따라 일체물의 판의 준비가 곤란한 경우에는, 절단·절삭 가공에 추가로 용접 가공이나, 성형 가공 (금속이면 다이캐스트 성형, 수지이면 사출 성형) 하는 것을 들 수 있다. 이 때에 파지용 볼록부 또는 오목부를 일체로 성형하는 것이 바람직하지만, 후술하는 바와 같이 볼록부의 경우에는 자유롭게 탈착할 수 있는 부품으로 성형하고, 나중에 부착하는 것도 바람직하다.The manufacturing method of the frame 10 should just be a manufacturing method generally performed conventionally. For example, what is necessary is just to cut and cut the board | substrate of an integrated body. Moreover, when it is difficult to prepare a board | substrate of an integrated body with enlargement of a pellicle, welding processing and shaping | molding processing (die casting molding if it is a metal, injection molding if it is a metal) are mentioned in addition to cutting and cutting process. At this time, it is preferable to integrally hold the convex portion or the concave portion for gripping, but in the case of the convex portion, as described later, it is also preferable to form the freely detachable part and attach it later.

또한, 프레임체의 표면에는, 반사 방지를 위해서 흑색 크롬 도금, 흑색 알루마이트, 흑색 도장 등의 흑색화 처리를 실시해도 된다. 또한, 프레임체의 내측면에는, 이물질을 포착하기 위해서 점착재를 도포해도 된다.The surface of the frame may be subjected to a blackening treatment such as black chromium plating, black alumite, black coating, or the like for preventing reflection. Moreover, you may apply an adhesive material to the inner surface of a frame body in order to capture a foreign material.

본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체 (10) 는, 프레임체 (10) 의 가장 긴 변 (이하「장변」이라고도 한다. 마찬가지로 프레임체의 가장 짧은 변을「단변」이라고도 한다) 의 길이가 1 m 이상인 대형 펠리클 프레임체를 대상으로 하고 있다. 이와 같은 프레임체, 프레임체의 변 (도 1A 및 도 1D 의 장변의 길이 (L), 단변의 길이 (S)) 의 길이에 비해서는, 프레임체의 폭 (도 1B 및 도 1E 의 w)·높이 (도 1B 및 도 1E 의 h) 가 작아, 소형 펠리클 프레임체와 비교하여 강성이 낮아질 수 밖에 없다.The large pellicle frame body 10 according to the present embodiment has a length of 1 m of the longest side of the frame body 10 (hereinafter also referred to as "long side". Similarly, the shortest side of the frame body is also referred to as "short side"). The above-described large pellicle frame is intended. The width of the frame (w in FIGS. 1B and 1E), as compared with the length of the frame and the sides of the frame (length L of the long side and length S of the short side of FIGS. 1A and 1D). The height (h in Figs. 1B and 1E) is small, so that the rigidity is inevitably lower than that of the small pellicle frame.

프레임체 (10) 의 장변의 길이 (L) 가 1 m 이상이 되면, 강성이 낮아지는 경향이 현저하게 보인다. 도 2 에 도시된 종래의 LSI 용의 소형 펠리클 프레임체 (30) 에서는, 장변의 길이 (L) 가 겨우 15 ㎝ 이하, 단변의 길이 (S) 가 겨우 13 ㎝ 이하이고, 또한 프레임체 (30) 의 폭 (w) 과 높이 (h) 의 비는 (w/h) = 0.3 ∼ 0.8 이었다. 그런데, 본 발명이 대상으로 하는 대형 펠리클 프레임체에서는, 장변의 길이 (L) 가 1 m 이상이고, 2 m 에 이르는 경우도 있어, 향후 더욱 대형화될 가능성도 있을 수 있다. 또한, 단변에 있어서도 단변의 길이 (S) 가 예를 들어 75 ㎝ 이상이다. 또한, 대형 펠리클 프레임체에 있어서의 프레임체의 폭 (w) 과 높이 (h) 의 비는, 예를 들어 (w/h) = 1.5 ∼ 4.0 으로 크기 때문에 강성의 저하가 크고, (w/h) = 2.3 ∼ 4.0 의 프레임체에서는 특히 강성의 저하가 크다. 또한, 추가적인 대형화에 의해 (w/h) 는 4 를 초과하는 경우도 있을 수 있다.When the length L of the long side of the frame 10 becomes 1 m or more, the tendency for rigidity to become low is remarkable. In the conventional small pellicle frame 30 for LSI shown in FIG. 2, the length L of the long side is only 15 cm or less, the length S of the short side is only 13 cm or less, and the frame 30 The ratio of the width w and the height h was (w / h) = 0.3 to 0.8. By the way, in the large sized pellicle frame body which this invention aims at, the length L of the long side may be 1 m or more and may reach 2 m, and there may be possibility of further enlargement in the future. Moreover, also in a short side, the length S of a short side is 75 cm or more, for example. In addition, since the ratio of the width (w) and the height (h) of the frame in the large pellicle frame is large, for example, (w / h) = 1.5 to 4.0, the rigidity is largely reduced (w / h ), Rigidity is especially large in the frame body of 2.3-4.0. In addition, (w / h) may exceed 4 by the further enlargement.

따라서, 본 발명이 대상으로 하는 대형 펠리클 프레임체에서는, 종래의 프레임체와 비교하여, 펠리클막의 표면의 법선 방향에 있어서의 휨량이 매우 크다. 이와 같이, 대형 펠리클 프레임체의 휨 방식은, 종래의 소형 펠리클의 휨 방식과는 완전히 상이하다. 또한, 프레임체의 폭 (w) 과 높이 (h) 의 비 (w/h) 가 종래의 프레임체의 그것과 비교하여 큰 데다, 프레임체의 변 자체가 길기 때문에, 펠리클막의 장력에 의해 펠리클막의 표면과 평행한 방향의 휨량도 커져 버린다. 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에서는, 파지용 볼록부 또는 오목부를 이용하여 펠리클막의 장력에 의한 프레임체의 변형을 교정할 수도 있다. 이 점에 대해서는 후술한다.Therefore, in the large sized pellicle frame object of the present invention, the amount of warpage in the normal direction of the surface of the pellicle film is very large as compared with the conventional frame body. As described above, the warping method of the large pellicle frame body is completely different from the warping method of the conventional small pellicle. In addition, since the ratio (w / h) of the width (w) to the height (h) of the frame body is larger than that of the conventional frame body, and the sides of the frame body are long, the pellicle film tension The amount of warpage in the direction parallel to the surface also increases. In the large sized pellicle frame body according to the present embodiment, the deformation of the frame body due to the tension of the pellicle film can also be corrected by using the holding convex portion or the concave portion. This point is mentioned later.

본 발명의 프레임체는, 마스크 형상과 유사한 직사각형이 일반적이지만, 마스크 등의 여러가지 형상에 대응하여, 다각 형상의 프레임체이면 특별히 한정하지 않는다. 또한, 본 발명에서는, 장변의 길이가 1 m 이상인 프레임체를 대상으로 하고 있는데, 프레임체의 형상이 (1) 직사각형인 경우에는 장변의 길이가 1 m 이상인 프레임체, (2) 정방형인 경우에는 한 변의 길이가 1 m 이상인 프레임체, (3) 다각형인 경우에는 가장 긴 변의 길이가 1 m 이상인 프레임체를 각각 대상으로 한다. 본 발명에서는, 이하에 설명하는 조건을 만족시키면, 보다 효과를 발휘하므로, 이하에 설명한다.Although the frame body of this invention is generally rectangular similar to a mask shape, it does not specifically limit if it is a polygonal frame body corresponding to various shapes, such as a mask. In addition, in this invention, although the length of a long side is 1 m or more frame object, when the shape of a frame body is (1) rectangle, when the length of a long side is 1 m or more, and (2) square shape, The frame body having a length of one side of 1 m or more, and the frame body having a length of 1 m or more of the longest side of each object in the case of a polygon. In this invention, when the conditions demonstrated below are satisfied, since an effect is exhibited more, it demonstrates below.

첫째로, 상기 프레임체가 모든 변부에 각각 파지용 오목부를 갖는 프레임체인 양태에 대해 설명한다. 그 오목부로는 홈 또는 구멍이 있다. 또한, 본원 발명에 있어서, 홈이란, 프레임체의 외측면, 내측면, 상부 가장자리면, 또는 하부 가장자리면에 형성된 오목부로서, 이들 면에 있어서의 그 오목부의 개구부 둘레 방향 길이가 그 개구부 높이 방향 길이의 1.5 배 이상인 것을 말하고, 구멍이란, 그 개구부 둘레 방향 길이가 그 개구부 높이 방향 길이의 1.5 배 미만인 것을 말한다.First, the aspect in which the said frame body is a frame body which has the recessed parts for holding | gripping in each edge part is demonstrated. The recess is a groove or a hole. In addition, in this invention, a groove | channel is a recessed part formed in the outer side surface, the inner side surface, the upper edge surface, or the lower edge surface of a frame body, The opening circumferential direction length of the recessed part in these surfaces is the opening height direction It means that it is 1.5 times or more of length, and a hole means that the length of the opening peripheral direction is less than 1.5 times the length of the opening height direction.

프레임체에 형성된 파지용 홈 혹은 구멍에 대해 설명한다. 도 3 은, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 도 3A ∼ 도 3G 는 프레임체의 외측면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태예이다. 도 4 는, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 도 4A ∼ 도 4B 는 프레임체의 상부 가장자리면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태예이다. 도 5 는, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 도 5A ∼ 도 5B 는 프레임체의 하부 가장자리면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태예이다. 도 6 은, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 도 6A ∼ 도 6G 가 프레임체의 내측면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태예이다.The gripping grooves or holes formed in the frame body will be described. Fig. 3 is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various forms of the large pellicle frame according to the present embodiment, and Figs. 3A to 3G are examples of the form in which gripping grooves or holes are recessed in the outer surface of the frame. Fig. 4 is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various aspects of the large pellicle frame according to the present embodiment, and Figs. 4A to 4B are examples of the shape in which gripping grooves or holes are recessed in the upper edge surface of the frame. Fig. 5 is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various forms of the large pellicle frame according to the present embodiment, and Figs. 5A to 5B are examples of the form in which gripping grooves or holes are recessed in the lower edge surface of the frame. FIG. 6 is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various embodiments of the large pellicle frame according to the present embodiment, wherein FIGS. 6A to 6G are examples in which gripping grooves or holes are recessed in the inner surface of the frame.

본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체 (10) 는, 도 3 에 도시된 바와 같이, 프레임체의 외측면 (5) 에서 내측 방향을 향한 파지용 홈 혹은 구멍 (7) 을 가지고 있다. 이하, 특별히 언급이 없는 경우에는, 홈과 구멍을 구별하지 않고, 파지용 홈 혹은 구멍 (7) 으로 설명한다.The large pellicle frame body 10 according to the present embodiment has a gripping groove or hole 7 facing inward from the outer surface 5 of the frame body, as shown in FIG. 3. Hereinafter, unless otherwise stated, the groove and the hole 7 will be described without distinguishing between the groove and the hole.

또한, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체 (10) 는, 도 4 에 도시된 바와 같이, 프레임체의 상부 가장자리면 (3) 에서 하방향을 향한 파지용 홈 혹은 구멍 (7) 을 가지고 있어도 된다. 또한, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체 (10) 는, 도 5 에 도시된 바와 같이, 프레임체의 하부 가장자리면 (4) 에서 상방향을 향한 파지용 홈 혹은 구멍 (7) 을 가지고 있어도 된다. 또한, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체 (10) 는, 도 6 에 도시된 바와 같이, 프레임체의 내측면 (6) 에서 외측 방향을 향한 파지용 홈 혹은 구멍 (7) 을 가지고 있어도 된다.In addition, the large sized pellicle frame body 10 which concerns on this embodiment may have the gripping groove or hole 7 facing downward in the upper edge surface 3 of a frame body. . In addition, the large-size pellicle frame body 10 which concerns on this embodiment may have the gripping groove or hole 7 facing upward in the lower edge surface 4 of a frame body. . In addition, the large-size pellicle frame body 10 which concerns on this embodiment may have the gripping groove or hole 7 toward an outer direction in the inner surface 6 of a frame body as shown in FIG.

파지용 홈 혹은 구멍을 프레임체의 어느 면에 형성할지는, 파지에 사용하는 지그 또는 장치의 설계에 따른 위치로 할 수 있지만, 외측면에 형성하는 것이 지그 또는 장치의 설계상 바람직하다. 또한, 파지용 홈 혹은 구멍을 프레임체의 외측면 또는 내측면에 형성하는 경우에는, 파지할 때에 펠리클막의 접착제층 또는 마스크와의 점착재층에 불필요한 힘이 작용하지 않도록, 상부 가장자리면 및 하부 가장자리면에서 이간된 위치에 형성하는 것이 바람직하다. 따라서, 파지용 홈 혹은 구멍은, 프레임체의 외측면 상으로서, 상부 가장자리면 및 하부 가장자리면에서 이간된 위치에 형성하는 것이 보다 바람직하다.On which side of the frame body the gripping groove or hole is to be formed according to the design of the jig or device to be used for gripping, but it is preferable in the design of the jig or the device to be formed on the outer surface. In the case where the gripping grooves or holes are formed on the outer surface or the inner surface of the frame body, the upper edge surface and the lower edge surface so that unnecessary force does not act on the adhesive layer of the pellicle film or the adhesive layer with the mask during gripping. It is preferable to form at a position separated from. Therefore, the gripping groove or hole is more preferably formed at a position separated from the upper edge surface and the lower edge surface on the outer surface of the frame body.

프레임체의 상부 가장자리면 (3) 에서 하방향을 향한 파지용 홈 혹은 구멍 (7) 은, 상부 가장자리면 (3) 의 법선 방향으로 패인 형태 외에, 법선 방향에 대해 경사 방향으로 패인 형태로 해도 된다. 프레임체의 하부 가장자리면 (4) 에서 상방향을 향한 파지용 홈 혹은 구멍 (7) 은, 하부 가장자리면 (4) 의 법선 방향으로 패인 형태 외에, 법선 방향에 대해 경사 방향으로 패인 형태여도 된다. 프레임체의 내측면 (6) 에서 외측 방향을 향한 파지용 홈 혹은 구멍 (7) 은, 내측면 (6) 의 법선 방향으로 패인 형태 외에, 법선 방향에 대해 경사 방향으로 패인 형태여도 된다. 파지용 홈 혹은 구멍 (7) 의 깊이는, 프레임체의 표면을 기준으로 외측면 또는 내측면에서 패인 홈 혹은 구멍 (7) 의 경우에는 프레임체 폭의 0.01 ∼ 0.9 배의 깊이가 바람직하고, 0.01 ∼ 0.5 배의 깊이가 보다 바람직하며, 0.01 ∼ 0.3 배의 깊이가 더욱 바람직하다. 또한, 상부 가장자리면 또는 하부 가장자리면에서 패인 홈 혹은 구멍 (7) 의 경우에는 프레임체 높이의 0.1 ∼ 1 배 (또한 1 배는 관통의 경우이다) 의 깊이가 바람직하고, 0.1 ∼ 0.5 배의 깊이가 보다 바람직하며, 0.1 ∼ 0.3 배의 깊이가 더욱 바람직하다.The gripping grooves or holes 7 facing downward from the upper edge face 3 of the frame body may be in a shape inclined with respect to the normal direction in addition to the shape recessed in the normal direction of the upper edge face 3. . The gripping grooves or holes 7 facing upward from the lower edge surface 4 of the frame body may be in a shape inclined with respect to the normal direction in addition to the shape recessed in the normal direction of the lower edge surface 4. The gripping grooves or holes 7 in the outward direction from the inner side surface 6 of the frame body may be in the inclined direction with respect to the normal direction, in addition to the form recessed in the normal direction of the inner side surface 6. The depth of the gripping grooves or holes 7 is preferably 0.01 to 0.9 times the width of the frame body, in the case of the grooves or holes 7 which are recessed in the outer side or the inner side with respect to the surface of the frame body. The depth of -0.5 times is more preferable, and the depth of 0.01-0.3 times is still more preferable. Moreover, in the case of the groove | hole or the hole 7 dug in the upper edge surface or the lower edge surface, the depth of 0.1-1 time (and 1 time is the case of penetration) of a frame body is preferable, and the depth of 0.1-0.5 times is preferable. Is more preferable, and the depth of 0.1-0.3 times is further more preferable.

또한 본 실시형태에 관한 대형 펠리클 프레임체 (10) 는, 도 7 에 도시된 바와 같이 프레임체의 각 변부에 복수의 파지용 홈 혹은 구멍 (7) 을 가지고 있어도 된다. 도 7 은, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 도 7A ∼ 도 7C 가 파지용 홈 혹은 구멍이 복수 형성된 형태예이다. 조합으로는, 프레임체의 상부 가장자리면에서 하방향을 향한 파지용 홈 혹은 구멍과 프레임체의 하부 가장자리면에서 상방향을 향한 파지용 홈 혹은 구멍을 두 개 갖는 경우, 프레임체의 상부 가장자리면에서 하방향을 향한 파지용 홈 혹은 구멍과 프레임체의 내측면에서 외측 방향을 향한 파지용 홈 혹은 구멍을 두 개 갖는 경우 (예를 들어 도 7A) 가 있다. 또한 프레임체의 하부 가장자리면에서 상방향을 향한 파지용 홈 혹은 구멍과 프레임체의 내측면에서 외측 방향을 향한 파지용 홈 혹은 구멍을 두 개 갖는 경우 (예를 들어 도 7C) 가 있다.In addition, the large sized pellicle frame body 10 according to the present embodiment may have a plurality of gripping grooves or holes 7 on each side of the frame body, as shown in FIG. 7. Fig. 7 is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various embodiments of the large-scale pellicle frame body according to the present embodiment, and Figs. 7A to 7C are examples of forms in which a plurality of gripping grooves or holes are formed. In combination, when the gripping grooves or holes are directed downward from the upper edge surface of the frame body and the gripping grooves or holes upwards from the lower edge surface of the frame body, There are cases where there are two gripping grooves or holes facing downward and two gripping grooves or holes facing outward from the inner surface of the frame (for example, Fig. 7A). In addition, there are cases where the gripping groove or hole facing upward in the lower edge surface of the frame body and the gripping groove or hole facing outward in the inner surface of the frame body (for example, Fig. 7C).

본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체 (10) 에서는, 프레임체의 상부 가장자리면에서 하방향을 향한 파지용 홈 혹은 구멍, 프레임체의 하부 가장자리면에서 상방향을 향한 파지용 홈 혹은 구멍, 또는, 프레임체의 내측면에서 외측 방향을 향한 파지용 홈 혹은 구멍의 각각에 대해, 추가로 프레임체의 외측면에서 내측 방향을 향한 파지용 홈 혹은 구멍도 가지고 있어도 된다. 예를 들어, 프레임체의 외측면에서 내측 방향을 향한 파지용 홈 혹은 구멍과 프레임체의 상부 가장자리면에서 하방향을 향한 파지용 홈 혹은 구멍을 두 개 갖는 경우 (예를 들어, 도 7B), 프레임체의 외측면에서 내측 방향을 향한 파지용 홈 혹은 구멍과 프레임체의 하부 가장자리면에서 상방향을 향한 파지용 홈 혹은 구멍을 두 개 갖는 경우, 프레임체의 외측면에서 내측 방향을 향한 파지용 홈 혹은 구멍과 프레임체의 내측면에서 외측 방향을 향한 파지용 홈 혹은 구멍을 두 개 갖는 경우가 있다.In the large-size pellicle frame body 10 according to the present embodiment, a gripping groove or hole facing downward from the upper edge surface of the frame body, a gripping groove or hole facing upward from the lower edge surface of the frame body, or For each of the gripping grooves or holes directed toward the outer side from the inner side of the frame, the gripping grooves or holes may be additionally held toward the inner side from the outer side of the frame. For example, in the case of having two gripping grooves or holes facing outward from the outer surface of the frame body and two gripping grooves or holes facing downward from the upper edge surface of the frame body (for example, FIG. 7B), For holding gripping grooves or holes facing outward from the outer surface of the frame body and two holding grooves or holes pointing upward from the lower edge surface of the frame body, There may be two grooves or holes and a gripping groove or hole facing outward from the inner surface of the frame body.

또한 프레임체의 4 개의 표면 중 3 개의 표면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태 또는 프레임체의 4 개 표면 모두로부터 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태도 있다. 프레임체의 복수의 표면에 파지용 홈 혹은 구멍을 형성함으로써, 파지·고정이 더욱 확실해진다. 또한, 프레임체의 상이한 표면을 파지하는 2 종 이상의 파지구에 대해서도, 동일한 하나의 프레임체로 대응할 수 있다는 장점도 있다.There may also be a form in which gripping grooves or holes are recessed in three of the four surfaces of the frame body, or gripping grooves or holes in all four surfaces of the frame body. By forming grooves or holes for gripping on a plurality of surfaces of the frame body, gripping and fixing are further ensured. In addition, there is an advantage in that two or more kinds of holding tools for holding different surfaces of the frame body can also correspond to the same one frame body.

또한, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체 (10) 는, 상기 서술한 파지용 홈 혹은 구멍 (7) 이외에, 통기용 구멍 (펠리클을 마스크에 장착했을 때 펠리클과 마스크로 갇힌 공간과 외부의 통기에 사용하는 구멍) 등의 별도 용도에 사용하는 구멍 또는 홈을 가지고 있어도 된다. 이와 같은 별도 용도에 사용하는 구멍 또는 홈을 형성하기 위해서는, 파지용 볼록부 또는 오목부가 프레임체의 변부에 부분적으로 형성되어 있는 홈 또는 구멍인 것이, 가공 자유도가 높아져 보다 바람직하다.In addition to the gripping grooves or holes 7 described above, the large-size pellicle frame 10 according to the present embodiment includes a ventilation hole (a space trapped by the pellicle and the mask and external ventilation when the pellicle is attached to the mask). You may have a hole or a groove | channel used for other uses, such as a hole used for the same). In order to form the hole or groove used for such a separate use, it is more preferable that the holding convex part or concave part is the groove or hole in which the edge part of a frame part is formed in part, and the freedom of processing becomes high.

파지용 홈 혹은 구멍 (7) 의 단면 형상은, 직사각형 (예를 들어 도 6A), 사다리꼴 (예를 들어 도 4A, 도 5A, 도 6E), 다각형, 원형·반원형 또는 타원형 (예를 들어 도 6B) 등, 특별히 상관 없다. 또한, 예를 들어 도 4A 에서 도시한 바와 같이, 홈 혹은 구멍이 깊어지는 방향을 따라 홈의 폭 혹은 구멍 내경이 작아지는 형태여도 된다. 필요에 따라 홈 혹은 구멍의 구석에 곡률 R 이나 C 면을 형성해도 된다.The cross-sectional shape of the gripping grooves or holes 7 can be rectangular (e.g., Figure 6A), trapezoidal (e.g., Figures 4A, 5A, 6E), polygonal, circular, semicircular or elliptical (e.g., Figure 6B). It does not matter in particular. For example, as shown in FIG. 4A, the width | variety of a groove | channel or the hole internal diameter may become small along a direction which a groove | hole or a hole deepens. As needed, you may provide the curvature R or C surface in the corner of a groove or a hole.

본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에서는, 파지용 홈 혹은 구멍 (7) 이 안쪽으로 넓어진 공간부 (7a) 를 갖는 것이 바람직하다. 예를 들어, L 자 형상 (예를 들어 도 3C, 도 4B, 도 5B, 도 6C 및 도 6G, 도 7C), T 자 형상 (예를 들어 도 3D, 도 6D) 이다. 안쪽으로 넓어진 공간부 (7a) 가 없는 경우와 비교하여, 파지 부재에 대해 걸 수 있으므로, 파지·고정이 더욱 확실해진다. 또한, 안쪽으로 넓어진 공간부의 형상으로는, 상기 서술한 바와 같이 프레임체의 폭방향의 단면 형상이 안쪽으로 넓어진 것이어도 되고, 프레임체의 높이 방향의 단면 형상이 안쪽으로 넓어진 것이어도 되며, 프레임체의 길이 방향의 단면 형상이 안쪽으로 넓어진 것이어도 된다.In the large pellicle frame body according to the present embodiment, it is preferable that the gripping grooves or holes 7 have a space portion 7a in which the gripping grooves or holes 7 extend inward. For example, it is L-shape (for example, FIG. 3C, FIG. 4B, FIG. 5B, FIG. 6C and FIG. 6G, FIG. 7C), and T-shape (for example, FIG. 3D, FIG. 6D). In comparison with the case where there is no space portion 7a that is widened inward, the gripping member can be hooked, so that gripping and fixing become more secure. As the shape of the space portion widened inward, the cross-sectional shape in the width direction of the frame body may be widened inward, or the cross-sectional shape in the height direction of the frame body may be widened inward, as described above. The cross-sectional shape in the longitudinal direction may be widened inward.

또한, 파지용 홈 혹은 구멍이 안쪽으로 좁아진 공간부를 갖는 것도 바람직하다. 이 경우, 홈 혹은 구멍의 입구보다 작은 파지 부재를 삽입했을 때, 그 파지 부재가 안쪽의 좁아진 부분과 접촉하여 위치 결정됨으로써, 홈 혹은 구멍에 대해 파지 부재의 빠짐을 방지하면서 파지할수 있다. 안쪽으로 좁아진 공간부의 형상으로는, 도 3B, 도 4A, 도 5A 와 같이 프레임체의 폭방향의 단면 형상이 안쪽으로 좁아진 것이어도 되고, 프레임체의 높이 방향의 단면 형상이 안쪽으로 좁아진 것이어도 되며, 프레임체의 길이 방향의 단면 형상이 안쪽으로 좁아진 것이어도 된다.It is also preferable that the gripping grooves or holes have a space portion narrowed inward. In this case, when the gripping member smaller than the inlet of the groove or the hole is inserted, the gripping member is positioned in contact with the narrowed portion inside, so that the gripping member can be gripped against the groove or the hole while preventing the gripping member from being pulled out. As the shape of the space portion narrowed inward, the cross-sectional shape in the width direction of the frame body may be narrowed inward as in FIGS. 3B, 4A, and 5A, or the cross-sectional shape in the height direction of the frame body may be narrowed inward. The cross-sectional shape in the longitudinal direction of the frame may be narrowed inward.

프레임체의 길이 방향의 단면 형상이 안쪽으로 좁아진 것의 예로는, 변부에 부분적으로 존재하는 둘레 방향 홈으로서, 그 홈의 개구부 둘레 방향의 길이가 그 홈의 깊이 (홈의 개구부와 홈의 최심부의 최단 거리를 말한다) 보다 큰 홈을 들 수 있다 (도 12 참조). 또한, 그 홈의 개구부 둘레 방향의 길이가 그 홈의 깊이보다 작은 경우도 들 수 있다. 이와 같은 형상의 파지부를 갖는 프레임체이면, 그 홈에 끝이 좁아진 판 형상의 파지구에 의해 위치 결정하면서 파지할 수 있게 된다. 또한, 홈의 깊이에 대한 홈의 개구부 둘레 방향의 길이의 비는 0.5 ∼ 30 배가 바람직하고, 2 ∼ 20 배가 보다 바람직하며, 3 ∼ 10 배가 가장 바람직하다. 그 비가 0.5 이상이면 파지 부재를 삽입하기 쉽고, 30 이하이면 파지구가 빠지기 어렵다.An example in which the cross-sectional shape in the longitudinal direction of the frame body is narrowed inwardly is a circumferential groove partially present at the edge portion, and the length of the groove circumferential direction of the groove is defined by the depth of the groove (the opening of the groove and the deepest portion of the groove). Larger grooves) (see FIG. 12). Moreover, the case where the length of the groove circumferential direction of the groove is smaller than the depth of the groove is also mentioned. If it is the frame body which has such a holding part of such a shape, it can be grasped | positioned by positioning by the plate-shaped holding | gripping tool whose edge was narrowed in the groove. Moreover, as for ratio of the length of the groove circumferential direction with respect to the depth of a groove | channel, 0.5-30 times is preferable, 2-20 times are more preferable, 3-10 times are the most preferable. If the ratio is 0.5 or more, it is easy to insert a holding member, and if it is 30 or less, a holding | gripping tool will not come out easily.

본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 다른 형태는, 도 3 에 도시된 바와 같이, 프레임체 (10) 의 외측면 (5) 에서 내측 방향을 향해, 또한 안쪽으로 넓어진 공간부 (7a) 를 갖는 파지용 홈 혹은 구멍 (7) 을 갖는 형태이다. 여기서, 프레임체의 외측면 (5) 에서 내측 방향을 향한 파지용 홈 혹은 구멍 (7) 은, 외측면 (5) 의 법선 방향으로 패인 형태 외에, 법선 방향에 대해 경사 방향으로 패인 형태로 해도 된다. 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 안쪽으로 넓어진 공간부 (7a) 의 형상은, 예를 들어 L 자 형상 (예를 들어 도 3C 및 도 3G), T 자 형상 (예를 들어 도 3D) 이다. 안쪽으로 넓어진 공간부 (7a) 가 없는 경우와 비교하여, 파지 부재에 대해 걸 수 있으므로, 파지가 더욱 확실해진다.Another form of the large sized pellicle frame body according to the present embodiment has a space portion 7a which is widened inwardly and inwardly from the outer side surface 5 of the frame body 10, as shown in FIG. 3. It has a form with the gripping groove or hole 7. As shown in FIG. Here, the gripping grooves or holes 7 in the inward direction from the outer surface 5 of the frame body may be in a shape inclined with respect to the normal direction in addition to the shape of the outer surface 5 in the normal direction. . The shape of the space part 7a which expanded inward of the large-size pellicle frame body which concerns on this embodiment is L shape (for example, FIG. 3C and FIG. 3G), T shape (for example, FIG. 3D). . In comparison with the case where there is no inwardly spaced portion 7a, the gripping member can be hooked, so that the gripping becomes more reliable.

도 8 내지 도 9 는, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 파지용 홈 또는 구멍 (7) 의 배치를 설명하기 위한 펠리클막을 보는 방향의 개략도이다. 도 8A, 도 8C 및 도 8D 와 도 9 에 도시된 바와 같이, 파지용 홈 또는 구멍 (7) 의 배치는, 4 변 모두에 파지용 오목부를 가지고 있으면 되고, 프레임체 (10) 의 변부 전체 둘레에 걸쳐 배치되어도 되고 (도 8A), 프레임체 (10) 의 변부에 부분적으로 배치되어도 된다 (도 8C ∼ 도 8D, 도 9A ∼ 도 9C). 부분적인 배치의 경우, 지그나 장치 등의 파지 부재의 위치에 맞추어 프레임체의 특정 지점에 파지용 홈 또는 구멍을 배치시킬 수도 있다. 부분적으로 파지용 홈을 배치하는 경우, 프레임체의 어느 변부에도 배치해 두는 것이 바람직하다. 펠리클 프레임체를 파지할 때에, 자중에 의한 하중의 편중을 균일 분산시킬 수 있어, 휨의 발생을 억제할 수 있다. 한편, 후술하는 비교예에서 도시하는 바와 같이, 대향하는 변 2 개에만 파지용 볼록부 또는 오목부를 갖는 양태 (도 8B) 에 있어서는, 휨의 발생을 충분히 억제할 수 없다.8 to 9 are schematic views in a direction of viewing a pellicle film for explaining the arrangement of the gripping grooves or holes 7 in the large pellicle frame body according to the present embodiment. As shown in FIGS. 8A, 8C, 8D, and 9, the arrangement of the gripping grooves or holes 7 only needs to have the gripping recesses on all four sides, and the entire perimeter of the edge of the frame 10. It may be arrange | positioned over (FIG. 8A), and may be partially arrange | positioned to the edge part of the frame body 10 (FIGS. 8C-8D, 9A-9C). In the case of partial arrangement, the gripping groove or hole may be arranged at a specific point of the frame body in accordance with the position of the gripping member such as a jig or a device. In the case where the gripping groove is partially disposed, it is preferable to arrange the gripping grooves on any side of the frame body. When holding the pellicle frame body, the bias of the load due to its own weight can be uniformly dispersed, and the occurrence of warpage can be suppressed. On the other hand, as shown in the comparative example mentioned later, in the aspect (FIG. 8B) which has the convex part or recessed parts for holding only two opposite sides, generation | occurrence | production of curvature cannot fully be suppressed.

본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 파지용 오목부가 홈인 경우에는, 각 변의 길이에 대해 그 파지용 오목부가 차지하는 길이가 각각 10 ％ 이상인 것이, 자중에 의한 하중의 편중을 균일 분산시킬 수 있어 보다 바람직하다. 더욱 바람직하게는 20 ％ 이상, 가장 바람직하게는 30 ％ 이상이다. 또한, 프레임체에 파지 이외의 기능을 갖는 부분을 가공으로 형성하는 여지를 남길 필요가 있는 경우에는, 각 변의 길이에 대해 그 파지용 오목부가 차지하는 길이가 각각 90 ％ 이하인 것이 바람직하다. 더욱 바람직하게는 80 ％ 이하, 가장 바람직하게는 70 ％ 이하이다. 그 파지용 오목부의 각 변부에 있어서의 배치는 각 변부의 각 중심에 대해 대칭인 것이 자중에 의한 하중의 편중을 균일 분산시킬 수 있어 바람직하다.In the large-size pellicle frame body according to the present embodiment, when the gripping recess is a groove, it is possible to uniformly disperse the bias of the load due to its own weight that the gripping recess occupies 10% or more with respect to the length of each side. More preferred. More preferably, it is 20% or more, Most preferably, it is 30% or more. Moreover, when it is necessary to leave room to form the part which has a function other than a grip by a process to a frame body, it is preferable that the length which the recessed part for a grip occupies for each length is 90% or less, respectively. More preferably, it is 80% or less, Most preferably, it is 70% or less. It is preferable that the arrangement in each edge portion of the gripping recess is symmetrical with respect to each center of each edge portion because it can uniformly disperse the bias of the load due to its own weight.

본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 파지용 오목부가 구멍인 경우, 그 배치는 프레임체의 어느 변부에도 복수 개씩 배치해 두는 것이 바람직하다. 펠리클 프레임체를 파지할 때에, 자중에 의한 하중의 편중을 균일 분산시킬 수 있어, 휨의 발생을 억제할 수 있다.In the large sized pellicle frame according to the present embodiment, when the holding recess is a hole, it is preferable that the arrangement be arranged in plural numbers on any side of the frame. When holding the pellicle frame body, the bias of the load due to its own weight can be uniformly dispersed, and the occurrence of warpage can be suppressed.

본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에서는, 파지용 홈 (7) 은, 홈의 측벽의 일방 측을 깎아낸 단 (段) 절삭 형상 홈이어도 된다. 또한, 파지용 구멍 (7) 은, 구멍의 측벽면의 일방 측을 깎아낸 세로 분할 통 형상의 구멍이어도 된다. 요컨대, 파지용 홈 혹은 구멍 (7) 은, 홈의 측벽면 혹은 구멍의 측벽면이 프레임체 (10) 의 표면의 일부를 구성하고 있어도 된다. 이와 같은 형태로는, 예를 들어 홈 혹은 구멍의 측벽면이 프레임체의 표면에 도달하여, 홈 혹은 구멍의 측벽면을 프레임체의 표면에서 판 형상 홈 혹은 구멍이 있다. 또한, 세로 분할 원통의 구멍에는, 주축을 통과하는 종단면으로 자른 횡단면이 반원의 구멍은 물론, 주축을 통과하지 않는 종단면으로 자른 구멍도 포함된다. 그 단면 형상의 예를 도시하면, 예를 들어 도 3F 및 도 3G, 도 6F 및 도 6G, 도 7B 이다. 특히, 홈의 측벽면 혹은 구멍의 측벽면이 프레임체 (10) 의 하부 가장자리면 일부를 구성하고 있는 형태 (예를 들어, 도 3F 및 도 3G, 도 6F 및 도 6G, 도 7B) 가 바람직하다. 프레임체 (10) 의 하부 가장자리면 (4) 에는, 점착재 (2) 가 부착되어 있지만, 하부 가장자리면 (4) 과 포토마스크 (9) 의 표면 사이의 거리는, 점착재 (2) 의 두께 만큼 넓어질 뿐, 파지 부재가 삽입되기 쉽고, 또한 홈 혹은 구멍의 직경을 작게 할 수 있기 때문에, 프레임체의 강도가 저하될 우려가 적다. 단, 상기 형태의 프레임체를 사용하는 경우에는, 파지시에는 점착재층이나 펠리클막의 접착부에 여분의 힘을 부여하지 않도록 유의할 필요가 있다.In the large sized pellicle frame body according to the present embodiment, the gripping groove 7 may be an end-cut groove in which one side of the side wall of the groove is scraped off. In addition, the gripping hole 7 may be a longitudinally divided cylinder-shaped hole obtained by scraping one side of the side wall surface of the hole. That is, in the gripping groove or hole 7, the side wall surface of the groove or the side wall surface of the hole may constitute a part of the surface of the frame 10. In such a form, for example, the side wall surface of the groove or hole reaches the surface of the frame body, and the side wall surface of the groove or hole is a plate-shaped groove or hole in the surface of the frame body. In addition, the hole of the vertically divided cylinder includes not only a semicircular hole whose cross section cut into the longitudinal section passing through the main axis but also a hole cut into the longitudinal section not passing through the main axis. An example of the cross-sectional shape is shown in Figs. 3F and 3G, 6F and 6G and 7B, for example. In particular, the form in which the side wall surface of the groove or the side wall surface of the hole constitutes a part of the lower edge surface of the frame body 10 (for example, FIGS. 3F and 3G, 6F and 6G, and 7B) is preferable. . Although the adhesive material 2 is attached to the lower edge surface 4 of the frame body 10, the distance between the lower edge surface 4 and the surface of the photomask 9 is only as thick as the thickness of the adhesive material 2. Since the holding member is wider and easier to insert, and the diameter of the grooves or holes can be made smaller, there is little possibility that the strength of the frame body is lowered. However, when using the frame body of the said aspect, it is necessary to be careful not to give an extra force to the adhesion part of an adhesive material layer or a pellicle film at the time of holding.

본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에서는, 발진 방지를 위해, 홈 혹은 구멍과 파지 부재의 접촉부는, 홈 혹은 구멍이나, 파지 부재의 적어도 일방에 어떠한 표면 처리를 실시해 두어도 된다. 예를 들어, 실리콘 고무 등의 쿠션재로 피복하는 것을 들 수 있다.In the large sized pellicle frame body according to the present embodiment, in order to prevent oscillation, the contact portion between the groove or the hole and the gripping member may be subjected to any surface treatment on at least one of the groove or the hole and the gripping member. For example, coating with cushioning materials, such as silicone rubber, is mentioned.

도 10 은, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 파지용 홈 (7) 의 배치를 설명하기 위한 프레임체의 측면 방향에서 본 개략도이다. 도 10A 에 도시된 바와 같이 파지용 홈 (7) 은, 프레임체의 측면 방향에서 보았을 때, 변 방향으로 상부 가장자리면측에서 하부 가장자리면측으로 비스듬하게 배치시킬 수도 있다. 또한 도 10B 에 도시된 바와 같이 프레임체의 측면 방향에서 보았을 때, 변 방향으로 상부 가장자리면측에서 하부 가장자리면측, 하부 가장자리면측에서 상부 가장자리면측으로 반복하여 배치시킬 수도 있다.FIG. 10: is a schematic view seen from the side direction of the frame body for demonstrating arrangement | positioning of the gripping groove 7 in the large sized pellicle frame body which concerns on this embodiment. As shown in Fig. 10A, the gripping grooves 7 may be arranged obliquely from the upper edge face side to the lower edge face side in the lateral direction when viewed in the lateral direction of the frame body. In addition, as shown in Fig. 10B, the frame body may be repeatedly arranged from the upper edge surface side to the lower edge surface side and the lower edge surface side to the upper edge surface side in the lateral direction.

또한, 프레임체의 외측면에 있어서, 4 개의 코너 부분에 도 13 에 기재된 바와 같은 경사 방향으로 관통된 구멍을 형성해도 된다. 이와 같은 관통 구멍을 형성함으로써, 그 관통 구멍 내에 막대 형상의 지그를 통과시켜 파지할 수도 있게 된다.Moreover, in the outer side surface of a frame body, you may form the hole which penetrated in the diagonal direction as shown in FIG. 13 at four corner parts. By forming such a through hole, the rod-shaped jig can be passed through and gripped in the through hole.

본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에서는, 개개의 홈 폭 또는 구멍 내경은, 그것을 형성하는 프레임체의 폭 (w) 혹은 높이 (h) 보다 작고, 예를 들어 상부 가장자리면 (3) 혹은 하부 가장자리면 (4) 에 형성하는 경우에는, 프레임체 폭의 0.01 ∼ 1 배 길이가 바람직하고, 0.01 ∼ 0.5 배 길이가 보다 바람직하며, 0.01 ∼ 0.2 배가 더욱 바람직하다. 예를 들어 외측면 (5) 혹은 내측면 (6) 에 형성하는 경우에는, 프레임체 높이의 0.01 ∼ 1 배 길이가 바람직하고, 0.01 ∼ 0.5 배 길이가 보다 바람직하며, 0.01 ∼ 0.2 배가 더욱 바람직하다. 또한, 홈 혹은 구멍의 깊이가 깊은 경우에는, 프레임체 강성의 저하를 피하기 위해서, 홈의 폭 혹은 구멍 내경은 작은 것이 바람직하다. 파지용 홈 혹은 구멍 (7) 의 안쪽으로 넓어진 공간 (7a) 을 형성하는 경우에는, 넓어진 공간 (7a) 의 폭 혹은 내경은, 프레임체의 폭 (W) 혹은 높이 (h) 보다 작게 한다.In the large pellicle frame body according to the present embodiment, the individual groove width or hole inner diameter is smaller than the width (w) or height (h) of the frame body which forms it, for example, the upper edge surface 3 or the lower edge. When forming in the surface 4, 0.01-1 time length of frame width is preferable, 0.01-0.5 times length is more preferable, 0.01-0.2 times is still more preferable. For example, when formed in the outer side surface 5 or the inner side surface 6, 0.01-1 time length of frame height is preferable, 0.01-0.5 times length is more preferable, 0.01-0.2 times is still more preferable. . In addition, when the depth of the groove or hole is deep, it is preferable that the width of the groove or the hole inner diameter is small in order to avoid deterioration of the frame rigidity. In the case of forming the space 7a widened inward of the gripping groove or hole 7, the width or inner diameter of the widened space 7a is made smaller than the width W or height h of the frame.

파지용 홈 혹은 구멍 (7) 은, 펠리클 프레임체의 파지 (펠리클막을 접착하기 전의 프레임체의 파지와, 펠리클막을 접착한 후의 프레임체의 파지의 쌍방을 포함한다) 에 이용되고, 펠리클을 취급할 때, 펠리클을 수납 용기에 수납할 때, 펠리클을 수납 용기로부터 취출할 때에 효과적으로 이용된다.The gripping groove or hole 7 is used for gripping the pellicle frame (including both the gripping of the frame before bonding the pellicle film and the gripping of the frame after bonding the pellicle film) to handle the pellicle. When the pellicle is stored in the storage container, the pellicle is effectively used when taking out the pellicle from the storage container.

파지용 홈 혹은 구멍을 파지 부재로 파지·고정시키는 방법을 설명한다. 도 11 은, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체를 파지 부재로 파지·고정시킬 때의 모습을 설명하기 위한 부분 확대 종단면도로, 도 11A 는 단면이 T 자 형상인 파지용 홈 혹은 구멍 (7) 에 플라스틱 등의 탄성체로 형성된 로크 기구를 갖는 파지 부재 (16) 를 삽입하여 파지·고정시킨 형태, 도 11B 는 프레임체의 상부 가장자리면에 형성된 단면이 L 자 형상인 파지용 홈 혹은 구멍 (7) 에 L 자 형상의 걸림부를 갖는 파지 부재 (16) 를 삽입하여 파지·고정시킨 형태, 도 11C 는 프레임체의 외측면에 형성된 단면이 L 자 형상으로, 측벽면이 프레임체 표면의 일부를 구성하는 파지용 홈 혹은 구멍 (7) 에 L 자 형상의 걸림부를 갖는 파지 부재 (16) 를 삽입하여 파지·고정시킨 형태, 도 11D 는 프레임체의 하부 가장자리면에 단면이 사다리꼴 형상의 파지용 홈 혹은 구멍 (7) 에 L 자 형상의 파지 부재 (16) 의 선단부를 삽입하여 파지·고정시킨 형태, 도 11E 는 프레임체의 내측면에 형성된 단면이 직사각형인 파지용 홈 혹은 구멍 (7) 에 파지 부재 (16) 를 삽입하여 파지·고정시킨 형태를 도시하였다. 도 11A ∼ 도 11E 에서는, 파지용 홈 혹은 구멍을 파지 부재 (16) 가 확실하게 파지·고정된다.A method of gripping and fixing a gripping groove or hole with a gripping member will be described. Fig. 11 is a partially enlarged longitudinal sectional view for explaining the state when gripping and fixing the large pellicle frame body according to the present embodiment with the gripping member, and Fig. 11A is a gripping groove or hole having a T-shaped cross section. The gripping member 16 having a locking mechanism formed of an elastic body such as plastic is inserted into the gripping member and fixed thereto. FIG. 11B shows a gripping groove or hole 7 having an L-shaped cross section formed on the upper edge surface of the frame body. 11G is a cross-sectional view formed on the outer surface of the frame body having an L shape, and the side wall surface forms part of the surface of the frame body. The gripping member 16 having an L-shaped locking portion is inserted into the gripping groove or the hole 7 for gripping and fixing. FIG. 11D shows a gripping groove having a trapezoidal cross section at the lower edge of the frame. In the form where the tip of the L-shaped gripping member 16 is inserted into the yoke 7 for gripping and fixing, FIG. 11E shows a gripping member in a gripping groove or hole 7 having a rectangular cross section formed on the inner surface of the frame body. The form in which (16) was inserted and held and fixed was shown. In FIGS. 11A-11E, the holding member 16 reliably grips and fixes the holding groove or hole.

본 발명에 있어서는, 전술한 대형 펠리클 프레임체를 프레임체의 각 변부에 있어서 각각 적어도 1 지점 이상의 파지용 볼록부 또는 오목부를 동시에 파지하는 것이 휨을 적게 하기 때문에 바람직하다. 보다 바람직하게는, 대형 펠리클 프레임체의 각 변부에 있어서 모든 파지용 볼록부 또는 오목부를 동시에 파지하는 것이다.In the present invention, it is preferable to simultaneously hold the above-described large pellicle frame body at least at one or more holding convex portions or concave portions at each side of the frame body to reduce warping. More preferably, all the convex parts or concave parts for holding | gripping are hold | gripped simultaneously in each edge part of a large sized pellicle frame body.

또한, 펠리클을 포토마스크로부터 박리할 때에는, 파지용 홈 혹은 구멍을 파지한 다음 박리할 수 있으므로, 박리시에 박리력을 확실하게 전달할 수 있다.In addition, when peeling a pellicle from a photomask, since it can peel after holding a gripping groove or a hole, peeling force can be reliably transmitted at the time of peeling.

둘째로, 상기 프레임체가 모든 변부에 각각 파지용 볼록부를 갖는 양태에 대해 설명한다. 그 볼록부로는, 판 형상인 것 또는 막대 형상인 것이 있다. 또한, 본원 발명에 있어서, 판 형상의 볼록부란, 프레임체의 외측면, 내측면, 상부 가장자리면, 또는 하부 가장자리면에 형성된 볼록부로서, 이들 면에 있어서의 그 볼록부의 둘레 방향 길이가 높이 방향 길이의 1.5 배 이상인 것을 말하고, 막대 형상의 볼록부란, 그 볼록부의 둘레 방향 길이가 그 볼록부의 높이 방향 길이의 1.5 배 미만인 것을 말한다.Second, a description will be given of an aspect in which the frame body has a convex portion for holding each of its edges. The convex portion may be a plate or a rod. In addition, in this invention, a plate-shaped convex part is a convex part formed in the outer surface, the inner surface, the upper edge surface, or the lower edge surface of a frame body, and the circumferential length of the convex part in these surfaces is a height direction. It means that it is 1.5 times or more of length, and a rod-shaped convex part means that the circumferential length of the convex part is less than 1.5 times the height direction length of the convex part.

먼저, 프레임체에 형성된 볼록부 (이하「돌출부」라고도 한다) 에 대해 설명한다. 도 14 는, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 도 14A ∼ 도 14G 는 프레임체의 외측면에 돌출부가 형성된 형태예이다. 도 15 는, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 도 15A ∼ 도 15D 는 프레임체의 상부 가장자리면에 돌출부가 형성된 형태예이다. 도 16 은, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 도 16A ∼ 도 16D 는 프레임체의 하부 가장자리면에 돌출부가 형성된 형태예이다. 도 17 은, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 도 17A ∼ 도 17G 가 프레임체의 내측면에 돌출부가 형성된 형태예이다.First, a convex portion (hereinafter also referred to as a “projection portion”) formed in the frame body will be described. Fig. 14 is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various aspects of the large pellicle frame according to the present embodiment, and Figs. 14A to 14G are examples of the form in which protrusions are formed on the outer surface of the frame. FIG. 15 is a partial enlarged longitudinal sectional view showing various forms of the large pellicle frame according to the present embodiment, and FIGS. 15A to 15D are examples of the shape in which protrusions are formed on the upper edge surface of the frame. Fig. 16 is a partially enlarged longitudinal sectional view showing various forms of the large pellicle frame according to the present embodiment, and Figs. 16A to 16D are examples of the form in which protrusions are formed on the lower edge surface of the frame. FIG. 17 is a partial enlarged longitudinal sectional view showing various embodiments of the large pellicle frame according to the present embodiment, and FIGS. 17A to 17G are examples of shapes in which protrusions are formed on the inner surface of the frame.

본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체 (10) 는, 도 14 에 도시된 바와 같이 프레임체의 외측면 (5) 에서 외측 방향을 향한 돌출부 (7) 를 갖는다. 또한, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체 (10) 는, 도 15 에 도시된 바와 같이 프레임체의 상부 가장자리면 (3) 에서 상방향을 향한 돌출부 (7) 를 가지고 있어도 된다. 또한, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체 (10) 는, 도 16 에 도시된 바와 같이 프레임체의 하부 가장자리면 (4) 에서 하방향을 향한 돌출부 (7) 를 가지고 있어도 된다. 또한, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체 (10) 는, 도 17 에 도시된 바와 같이 프레임체의 내측면 (6) 에서 내측 방향을 향한 돌출부 (7) 를 가지고 있어도 된다.The large-size pellicle frame body 10 which concerns on this embodiment has the protrusion part 7 toward an outer direction in the outer side surface 5 of a frame body, as shown in FIG. In addition, the large sized pellicle frame body 10 which concerns on this embodiment may have the protrusion part 7 facing upward from the upper edge surface 3 of a frame body, as shown in FIG. In addition, the large sized pellicle frame body 10 which concerns on this embodiment may have the protrusion part 7 facing downward from the lower edge surface 4 of a frame body as shown in FIG. In addition, the large sized pellicle frame body 10 which concerns on this embodiment may have the protrusion part 7 toward inner side in the inner surface 6 of a frame body, as shown in FIG.

여기서, 프레임체의 외측면 (5) 에서 외측 방향을 향한 돌출부 (7) 는, 외측면 (5) 의 법선 방향으로 돌출된 형태 외에, 법선 방향에 대해 경사 방향으로 돌출된 형태로 해도 된다. 프레임체의 상부 가장자리면 (3) 에서 상방향을 향한 돌출부는, 상부 가장자리면 (3) 의 법선 방향으로 돌출된 형태 외에, 법선 방향에 대해 경사 방향으로 돌출된 형태로 해도 된다. 프레임체의 하부 가장자리면 (4) 에서 하방향을 향한 돌출부 (7) 는, 하부 가장자리면 (4) 의 법선 방향으로 돌출된 형태 외에, 법선 방향에 대해 경사 방향으로 돌출된 형태로 해도 된다. 프레임체의 내측면 (6) 에서 내측 방향을 향한 돌출부 (7) 는, 내측면 (6) 의 법선 방향으로 돌출된 형태 외에, 법선 방향에 대해 경사 방향으로 돌출된 형태로 해도 된다. 프레임체의 외측면에서 외측 방향을 향한 돌출부 및 프레임체의 내측면에서 내측 방향을 향한 돌출부의 돌출량은, 돌출시키는 프레임체의 표면을 기준으로 프레임체 폭의 0.1 ∼ 10 배 길이, 바람직하게는 0.1 ∼ 5 배 길이, 보다 바람직하게는 0.1 ∼ 3 배 길이이다. 또한, 프레임체의 상부 가장자리면에서 상방향을 향한 돌출부 및 프레임체의 하부 가장자리면에서 하방향을 향한 돌출부의 돌출량은, 돌출시키는 프레임체의 표면을 기준으로 프레임체 폭의 0.1 ∼ 10 배 길이, 바람직하게는 0.1 ∼ 5 배 길이, 보다 바람직하게는 0.1 ∼ 3 배 길이이다.Here, the protruding portion 7 in the outward direction from the outer side surface 5 of the frame body may be in the form protruding in the oblique direction with respect to the normal direction, in addition to the form protruding in the normal direction of the outer surface 5. In addition to the shape which protruded in the normal direction of the upper edge surface 3, the protrusion part which faces upward from the upper edge surface 3 of a frame body may be a form which protruded in the inclination direction with respect to the normal direction. The protruding portion 7 facing downward from the lower edge surface 4 of the frame body may be in the form protruding in the oblique direction with respect to the normal direction, in addition to the shape protruding in the normal direction of the lower edge surface 4. The protruding portion 7 in the inward direction from the inner surface 6 of the frame body may have a shape protruding in the inclined direction with respect to the normal direction, in addition to the form protruding in the normal direction of the inner surface 6. The protrusion amount toward the outside from the outer surface of the frame and the protrusion from the inner side to the inner side of the frame is 0.1 to 10 times the length of the frame, preferably from the surface of the frame to be projected. 0.1-5 times length, More preferably, it is 0.1-3 times length. Further, the amount of protrusion of the protrusions directed upward from the upper edge surface of the frame body and the protrusions directed downward from the lower edge surface of the frame body is 0.1 to 10 times the length of the frame body width relative to the surface of the frame body to protrude. Preferably, it is 0.1 to 5 times length, More preferably, it is 0.1 to 3 times length.

프레임체의 상부 가장자리면 (3) 에서 상방향을 향한 돌출부 (7) 를 형성한 경우 및 프레임체의 하부 가장자리면 (4) 에서 하방향을 향한 돌출부 (7) 를 형성한 경우에는, 파지·고정을 확실화하는 것 이외에, 펠리클막 (1) 표면의 법선 방향의 휨에 대해 돌출부 (7) 가 보강 리브로서 작용한다.In the case where the upwardly projecting portion 7 is formed on the upper edge surface 3 of the frame body and the downwardly projecting portion 7 is formed on the lower edge surface 4 of the frame body, gripping and fixing In addition to assured, the protrusions 7 act as reinforcing ribs against the warp in the normal direction of the surface of the pellicle film 1.

한편, 프레임체의 외측면 (5) 에서 외측 방향을 향한 돌출부 (7) 를 형성한 경우, 및 프레임체의 내측면 (6) 에서 내측 방향을 향한 돌출부 (7) 를 형성한 경우에는, 파지·고정을 확실화하는 것 이외에, 펠리클막 (1) 을 당겼을 때에 펠리클막 (1) 의 표면과 평행 방향으로 가해지는 장력에 의해 프레임체가 중앙 방향으로 휘는 것에 대해 보강 리브로서 작용한다.On the other hand, when the protrusion part 7 facing outward is formed in the outer side surface 5 of the frame body, and the protrusion part 7 facing inward direction from the inner side surface 6 of a frame body, it is a holding | grip / In addition to ensuring the fixation, the frame body acts as a reinforcing rib against bending of the frame body in the center direction by the tension applied in the direction parallel to the surface of the pellicle film 1 when the pellicle film 1 is pulled out.

그리고 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체 (10) 는, 도 18 에 도시된 바와 같이 프레임체에 복수의 돌출부 (7) 를 가지고 있어도 된다. 도 18 은, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 도 18A ∼ 도 18G 는 돌출부가 복수 형성된 형태예이다. 조합으로는, 프레임체의 외측면에서 외측 방향을 향한 돌출부와 프레임체의 상부 가장자리면에서 상방향을 향한 돌출부를 두 개 갖는 경우, 프레임체의 외측면에서 외측 방향을 향한 돌출부와 프레임체의 하부 가장자리면에서 하방향을 향한 돌출부를 두 개 갖는 경우, 프레임체의 외측면에서 외측 방향을 향한 돌출부와 프레임체의 내측면에서 내측 방향을 향한 돌출부를 두 개 갖는 경우가 있다. 또한, 프레임체의 상부 가장자리면에서 상방향을 향한 돌출부와 프레임체의 하부 가장자리면에서 하방향을 향한 돌출부를 두 개 갖는 경우, 프레임체의 상부 가장자리면에서 상방향을 향한 돌출부와 프레임체의 내측면에서 내측 방향을 향한 돌출부를 두 개 갖는 경우가 있다. 또한 프레임체의 하부 가장자리면에서 하방향을 향한 돌출부와 프레임체의 내측면에서 내측 방향을 향한 돌출부를 두 개 갖는 경우가 있다. 또한 프레임체의 4 개의 표면 중 3 개의 표면에 돌출부를 형성하는 형태 또는 프레임체의 4 개 표면 모두에 돌출부를 형성하는 형태도 있다. 프레임체의 복수의 표면에 돌출부를 형성함으로써, 파지·고정이 더욱 확실해지고, 또한 프레임체의 보강 방향을 늘릴 수 있다. 또한, 프레임체의 상이한 표면을 파지하는 2 종 이상의 파지구에 대해서도, 동일한 하나의 프레임체로 대응할 수 있다는 장점도 있다.And the large sized pellicle frame body 10 which concerns on this embodiment may have some protrusion part 7 in a frame body, as shown in FIG. FIG. 18 is a partial enlarged longitudinal sectional view showing various forms of the large pellicle frame according to the present embodiment, and FIGS. 18A to 18G are examples of forms in which a plurality of protrusions are formed. In combination, when the projection has an outward direction from the outer surface of the frame body and two projections upwardly from the upper edge surface of the frame body, the projection and the lower part of the frame body facing outward from the outer surface of the frame body. In the case of having two projections facing downward from the edge surface, there may be a case of two projections facing outward from the outer surface of the frame and two projections facing inward from the inner surface of the frame. In addition, in the case of having two protrusions facing upward in the upper edge surface of the frame body and two protrusions facing downward in the lower edge surface of the frame body, the protrusions facing upward in the upper edge surface of the frame body and the inside of the frame body are There are cases where two protrusions are directed from the side toward the inner side. In addition, there may be a case where two projections are directed downward in the lower edge surface of the frame body and two projections are directed inwardly in the inner surface of the frame body. There may also be a form in which protrusions are formed on three of the four surfaces of the frame body, or a form in which protrusions are formed on all four surfaces of the frame body. By forming protrusions on a plurality of surfaces of the frame body, the gripping and fixing becomes more certain, and the reinforcing direction of the frame body can be increased. In addition, there is an advantage in that two or more kinds of holding tools for holding different surfaces of the frame body can also correspond to the same one frame body.

돌출부 (7) 의 단면 형상은, 직사각형 (예를 들어 도 14A 및 도 14B, 도 15A, 도 16A, 도 17A 및 도 17B), 사다리꼴 (예를 들어 도 14F, 도 15D, 도 16A, 도 17F), 다각형, 원형·반원형 (예를 들어 도 15B, 도 15C) 또는 타원형 (예를 들어 도 14G, 도 17G) 등, 특별히 상관하지 않는다. 필요에 따라 구석에 곡률 R 이나 C 면을 형성해도 된다.The cross-sectional shape of the protrusions 7 is rectangular (for example, FIGS. 14A and 14B, 15A, 16A, 17A, and 17B), trapezoidal (for example, FIGS. 14F, 15D, 16A, and 17F). , Polygonal, circular, semicircular (for example, FIGS. 15B, 15C) or elliptical (for example, FIG. 14G, FIG. 17G), and the like. You may provide curvature R or C surface in a corner as needed.

도 19 와 도 20 은, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 돌출부의 배치를 설명하기 위한 펠리클막을 보는 방향의 개략도이다. 도 19A, 도 19C 및 도 19D 와 도 20 에 도시된 바와 같이, 돌출부 (7) 의 배치는, 4 변 모두에 파지용 볼록부를 가지고 있으면, 프레임체 (10) 의 변부 전체 둘레에 걸쳐 배치되어도 되고 (도 19A), 프레임체 (10) 의 변부에 부분적으로 배치되어도 된다 (도 19C ∼ 도 19D, 도 20A ∼ 도 20E). 부분적인 배치의 경우, 부착되는 포토마스크 취급시의 파지·고정 위치, 포토마스크의 얼라이먼트 마크 위치, 포토마스크를 노광기에 세트할 때의 파지·고정 위치에 적응시켜, 프레임체의 특정 지점에 돌출부를 배치시킬 수도 있다. 부분적으로 돌출부에 배치하는 경우, 프레임체의 어느 변부에도 배치해 두는 것이 바람직하다. 프레임체의 휨에 대해 강도 보강이 된다.19 and 20 are schematic views of a direction in which a pellicle film for explaining the arrangement of protrusions in a large pellicle frame body according to the present embodiment is shown. 19A, 19C, and 19D and 20, the arrangement of the protrusions 7 may be arranged over the entire circumference of the edge of the frame 10, provided that all four sides have convex portions for gripping. (FIG. 19A) and you may be arrange | positioned at the edge part of the frame body 10 (FIGS. 19C-19D, 20A-20E). In the case of partial arrangement, the protrusions are fixed to specific positions of the frame by adapting the gripping / fixing position when handling the attached photomask, the alignment mark position of the photomask, and the gripping / fixing position when the photomask is placed on the exposure machine. You can also place it. When partially arrange | positioning to a protrusion part, it is preferable to arrange | position to any edge part of a frame body. Strength reinforcement is performed against the bending of the frame.

본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 파지용 볼록부가 판 형상인 경우에는, 각 변의 길이에 대해 그 파지용 볼록부가 차지하는 길이가 각각 10 ％ 이상인 것이 자중에 의한 하중의 편중을 균일 분산시킬 수 있어 보다 바람직하다. 더욱 바람직하게는 20 ％ 이상, 가장 바람직하게는 30 ％ 이상이다. 또한, 프레임체에 파지 이외의 기능을 갖는 부분을 가공으로 형성할 여지를 남길 필요가 있는 경우에는, 각 변의 길이에 대해 그 파지용 볼록부가 차지하는 길이가 각각 90 ％ 이하인 것이 바람직하다. 더욱 바람직하게는 80 ％ 이하, 가장 바람직하게는 70 ％ 이하이다. 그 파지용 볼록부의 각 변부에 있어서의 배치는 각 변부의 각 중심에 대해 대칭인 것이 자중에 의한 하중의 편중을 균일 분산시킬 수 있어 바람직하다.In the large pellicle frame according to the present embodiment, when the convex portions for holding are plate-shaped, the lengths of the holding convex portions occupy 10% or more with respect to the length of each side to uniformly distribute the bias of the load due to its own weight. It is more preferable. More preferably, it is 20% or more, Most preferably, it is 30% or more. Moreover, when it is necessary to leave room to form the part which has a function other than a grip by a process to a frame body, it is preferable that the length which the convex part for holding | gripping occupies with respect to the length of each edge | side is 90% or less, respectively. More preferably, it is 80% or less, Most preferably, it is 70% or less. It is preferable that arrangement | positioning in each edge part of the convex part for holding | gripping is symmetrical about each center of each edge part because it can uniformly disperse the bias of the load by self weight.

본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 파지용 볼록부가 막대 형상인 경우에는, 그 배치는, 프레임체의 어느 변부에도 복수 개씩 배치해 두는 것이 바람직하다. 펠리클 프레임체를 파지할 때에, 자중에 의한 하중의 편중을 균일 분산시킬 수 있어, 휨의 발생을 억제할 수 있다.In the large sized pellicle frame body according to the present embodiment, when the convex portion for holding is in the shape of a rod, it is preferable that the arrangement be arranged in plural numbers on any sides of the frame body. When holding the pellicle frame body, the bias of the load due to its own weight can be uniformly dispersed, and the occurrence of warpage can be suppressed.

도 10 은, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 돌출부의 배치를 설명하기 위한 프레임체의 측면 방향에서 본 개략도이다. 도 10A 에 도시된 바와 같이 돌출부는, 프레임체의 측면 방향에서 보았을 때, 변 방향으로 상부 가장자리면측에서 하부 가장자리면측으로 비스듬하게 배치시킬 수도 있다. 또한 도 10B 에 도시된 바와 같이 프레임체의 측면 방향에서 보았을 때, 변 방향으로, 상부 가장자리면측에서 하부 가장자리면측, 하부 가장자리면측에서 상부 가장자리면측으로 반복하여 배치시킬 수도 있다.10 is a schematic view seen from the side direction of the frame body for explaining the arrangement of the protrusions in the large pellicle frame body according to the present embodiment. As shown in Fig. 10A, the protrusions may be arranged obliquely from the upper edge face side to the lower edge face side in the lateral direction when viewed in the lateral direction of the frame body. In addition, as shown in FIG. 10B, when viewed in the lateral direction of the frame body, it may be repeatedly arranged in the side direction from the upper edge face side to the lower edge face side and the lower edge face side to the upper edge face side.

도 21 은 대형 펠리클 프레임체에 형성된 돌출부가 프레임체 변부에 자유롭게 탈착할 수 있게 고정되어 있는 형태일 때의 부분 확대 종단면도로, 도 21A 는 나사 고정, 도 21B 는 커플러에 의한 고정, 도 21C 는 탄성체에 의한 고정, 도 21D 는 끼움에 의한 고정을 도시하였다. 도 21 에 도시된 바와 같이 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에서는, 프레임체 (10) 의 돌출부 (7) 는, 프레임체 (10) 의 변부에 자유롭게 탈착할 수 있게 고정되어 있는 것이 바람직하다. 펠리클 프레임체보다 강성이 높은 포트마스크에 부착한 후에는, 펠리클 프레임체의 강성은 상관없어지기 때문에, 강성 향상이나, 고정·파지에 사용했던 돌출부는, 제거하도록 해도 된다. 이렇게 함으로써, 포토마스크 취급시의 파지·고정 위치, 포토마스크를 노광기에 세트할 때의 파지·고정 위치로부터의 제약을 회피할 수도 있게 된다.Fig. 21 is a partially enlarged longitudinal sectional view when the protrusion formed in the large pellicle frame body is fixed to the frame edge so as to be freely detachable. Fig. 21A is a screw, Fig. 21B is a coupler, Fig. 21C is an elastic body. Fixing by, FIG. 21D shows fixing by fitting. As shown in FIG. 21, in the large sized pellicle frame body which concerns on this embodiment, it is preferable that the protrusion part 7 of the frame body 10 is being fixed to the edge part of the frame body 10 so that attachment or detachment is possible. Since the rigidity of the pellicle frame is irrelevant after attaching it to a port mask having a rigidity higher than that of the pellicle frame, the protrusions used for rigidity improvement or fixing and gripping may be removed. By doing in this way, restrictions from the gripping / fixing position at the time of handling the photomask and the gripping / fixing position at the time of setting the photomask to the exposure apparatus can be avoided.

또한, 펠리클을 포토마스크로부터 박리할 때에는, 돌출부를 부착할 수 있게 해두어도 된다. 이렇게 함으로써, 펠리클 프레임체의 강성 향상을 도모할 수 있어, 돌출부를 파지·고정시킬 수 있으므로, 박리시에 박리력을 확실하게 전달할 수 있다.In addition, when peeling a pellicle from a photomask, you may make it possible to attach a protrusion part. By doing in this way, the rigidity of a pellicle frame body can be improved, and since a protrusion part can be gripped and fixed, the peeling force can be reliably transmitted at the time of peeling.

탈착 방법은, 탈착 가능한 기계적 고정 방법이면 어떤 것이어도 된다. 예를 들어, 도 21 에 도시된 바와 같이, 나사, 커플러, 탄성체의 삽입, 끼움 등을 들 수 있다. 바람직하게는, 발진 방지를 위해, 접촉부는 어떠한 표면 처리를 실시해 두어도 된다. 예를 들어, 실리콘 고무 등의 쿠션재로 피복하는 것을 들 수 있다. 돌출부가 탈착될 수 있는 경우, 돌출부는 프레임체보다 강성이 높은 소재로 형성하고 있어도 된다. 돌출부를 장착하기 위한 구멍 혹은 홈의 크기 (내경) 는, 프레임체의 외측면 혹은 내측면에 돌출부를 형성하는 경우에는, 프레임체 높이의 0.01 ∼ 1 배의 크기, 바람직하게는 0.01 ∼ 0.5 배의 크기, 보다 바람직하게는 0.01 ∼ 0.2 배의 크기이다. 또한, 프레임체의 상부 가장자리면 혹은 하부 가장자리면에 돌출부를 형성하는 경우에는, 프레임체 폭의 0.01 ∼ 1 배의 크기, 바람직하게는 0.01 ∼ 0.5 배의 크기, 보다 바람직하게는 0.01 ∼ 0.2 배의 크기이다. 프레임체의 강성 저하를 피하기 위해서, 구멍 혹은 홈은 작은 것이 바람직하다.The desorption method may be any type as long as it is a removable mechanical fixing method. For example, as shown in FIG. 21, a screw, a coupler, an insertion of an elastic body, a fitting, etc. are mentioned. Preferably, in order to prevent oscillation, the contact portion may be subjected to any surface treatment. For example, coating with cushioning materials, such as silicone rubber, is mentioned. When the protrusion can be detached, the protrusion may be formed of a material having a higher rigidity than the frame body. The size (inner diameter) of the hole or groove for mounting the protrusion is 0.01 to 1 times the height of the frame, preferably 0.01 to 0.5 times the height of the frame when the protrusion is formed on the outer or inner side of the frame. Size, more preferably 0.01 to 0.2 times. In addition, in the case of forming a protrusion on the upper edge surface or the lower edge surface of the frame body, the size of the frame body is 0.01 to 1 times the size, preferably 0.01 to 0.5 times the size, more preferably 0.01 to 0.2 times the size. Size. In order to avoid the rigid fall of a frame body, a hole or a groove is small.

본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에서는, 예를 들어 도 19 또는 도 20 에 도시된 바와 같이, 프레임체 (10) 의 돌출부 형상이 판 형상인 것이 바람직하다. 판의 두께는, 그것을 형성하는 프레임체의 폭 (W) 혹은 높이 (h) 보다 얇고, 예를 들어 돌출부 (7) 의 돌출량의 0.01 배 이상의 두께가 바람직하고, 0.1 배 이상의 두께가 보다 바람직하다. 돌출부 (7) 를 갈고리형으로 하는 경우에는, 갈고리 형상의 꺽여진 선단부 (7a) 는, 판을 형성하는 프레임체의 폭 (W) 혹은 높이 (h) 보다 크게 해도 된다. 여기서, 도 20(c) 에 도시된 바와 같이, 돌출부 (7) 가 판 형상인 경우, 프레임체의 네 귀퉁이부에서 변의 중앙부에 걸쳐, 돌출부의 돌출량을 연속적으로 크게 해도 된다. 이렇게 함으로써, 강성이 약한 변부 중앙 부근의 강성이 보강되게 되어, 프레임체의 네 구석부의 강성과 변부의 강성이 균일해진다.In the large sized pellicle frame body according to the present embodiment, as shown in FIG. 19 or FIG. 20, for example, the shape of the protrusion of the frame body 10 is preferably a plate shape. The thickness of the plate is thinner than the width (W) or height (h) of the frame body which forms it, for example, the thickness of 0.01 times or more of the protrusion amount of the protrusion part 7 is preferable, and the thickness of 0.1 times or more is more preferable. . In the case where the protruding portion 7 is hooked, the hooked bent tip portion 7a may be larger than the width W or the height h of the frame body forming the plate. Here, as shown in Fig. 20 (c), when the protrusions 7 are plate-shaped, the protrusion amount of the protrusions may be continuously increased from the four corners of the frame body to the center portion of the side. By doing in this way, the rigidity of the edge part vicinity of weak rigidity is reinforced, and the rigidity of the four corner parts of a frame body, and the edge part of a edge part become uniform.

본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에서는, 예를 들어 도 22 에 도시된 바와 같이, 프레임체 (20) 의 돌출부 (7) 형상을 막대 형상으로 해도 된다. 도 22 는, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 다른 형태 (돌출부가 막대 형상) 를 설명하기 위한 사시도로, 도 22A 는 포토마스크에 접착된 대형 펠리클, 도 22B 는 대형 펠리클 프레임체를 도시한다. 막대 형상의 돌출부 (7) 의 단면 형상은, 직사각형, 사다리꼴, 다각형, 원형, 타원형 등, 특별히 상관없다. 필요에 따라 구석에 곡률 R 이나 C 면을 형성해도 된다. 돌출부 (7) 는, 프레임체 (20) 의 상부 가장자리면, 하부 가장자리면, 외측면 또는 내측면 중 어느 것에 형성해도 된다. 도 22 는, 외측면에 돌출부를 형성한 형태예이다. 막대의 직경은, 예를 들어 상부 가장자리면 (3) 혹은 하부 가장자리면 (4) 에 형성하는 경우에는, 프레임체 폭의 0.1 ∼ 2 배 길이가 바람직하고, 0.1 ∼ 0.5 배 길이가 보다 바람직하다. 예를 들어 외측면 (5) 혹은 내측면 (6) 에 형성하는 경우에는, 프레임체 높이의 0.1 ∼ 3 배 길이가 바람직하고, 0.1 ∼ 1 배 길이가 보다 바람직하다. 도 23 은, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 막대 형상의 돌출부의 배치를 설명하기 위한 펠리클막을 보는 방향의 개략도로, 도 23A 는 도 22 의 형태와 동일하고, 단변과 장변에 각각 3 개씩 돌출부를 형성한 경우, 도 23B 는 단변과 장변에 각각 1 개씩 돌출부를 형성하고, 추가로 4 귀퉁이에 1 개씩 돌출부를 형성한 경우, 도 23C 는 도 23A 에서 변마다 돌출부를 일체화시킨 경우이다. 도 23C 에서는, 3 개의 막대 형상 돌출부 (7) 가 일체화되어 있기 때문에, 강도의 향상을 전망할 수 있는 것 외에 제거할 때에는 작업성이 좋다.In the large sized pellicle frame body according to the present embodiment, for example, as illustrated in FIG. 22, the shape of the protruding portion 7 of the frame body 20 may be a rod shape. Fig. 22 is a perspective view for explaining another form (protrusions in the shape of a rod) of the large pellicle frame body according to the present embodiment, Fig. 22A shows a large pellicle bonded to a photomask, and Fig. 22B shows a large pellicle frame body. . The cross-sectional shape of the rod-shaped protrusion 7 is not particularly limited, such as rectangular, trapezoidal, polygonal, circular, elliptical and the like. You may provide curvature R or C surface in a corner as needed. The protruding portion 7 may be formed on any one of an upper edge surface, a lower edge surface, an outer surface, or an inner surface of the frame body 20. It is an example of the form which provided the protrusion part in the outer side surface. When forming the diameter of the bar in the upper edge surface 3 or the lower edge surface 4, 0.1-2 times the length of frame width is preferable, and 0.1-0.5 times of length is more preferable, for example. For example, when forming in the outer side surface 5 or the inner side surface 6, 0.1-3 times length of frame height is preferable, and 0.1-1 times length is more preferable. FIG. 23 is a schematic view of a direction in which a pellicle film for explaining the arrangement of rod-shaped protrusions in the large pellicle frame according to the present embodiment is shown. FIG. 23A is the same as that in FIG. 22. In the case of forming the protrusions one by one, FIG. 23B shows one protrusion on each of the short side and the long side, and one protrusion on each of the four corners, and FIG. 23C shows the case where the protrusions are integrated on each side in FIG. 23A. In FIG. 23C, since the three rod-shaped protrusions 7 are integrated, workability is good when the removal can be expected except for the improvement in strength.

본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에서는, 돌출부는 선단이 갈고리 형상을 하고 있는 것이 바람직하다. 예를 들어, L 자 형상 (예를 들어 도 14C 및 도 14E, 도 15C, 도 16D, 도 17C 및 도 17E), T 자 형상 (예를 들어 도 14D, 도 17D) 이다. 갈고리가 없는 경우와 비교하여, 파지 부재에 대해 걸 수 있으므로, 파지·고정이 더욱 확실해진다.In the large sized pellicle frame body according to the present embodiment, it is preferable that the protruding portion has a hook shape. For example, it is L-shaped (for example, FIGS. 14C and 14E, 15C, 16D, 17C, and 17E) and T-shaped (for example, FIGS. 14D and 17D). In comparison with the case without the hook, the gripping member can be hooked, so that the gripping and fixing becomes more reliable.

본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에서는, 프레임체의 돌출부가, 펠리클을 포토마스크에 부착했을 때, 포토마스크의 외주 측면에 접하도록 형성되어 있어도 된다. 혹은, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에서는, 프레임체의 돌출부가, 펠리클을 포토마스크에 부착했을 때, 포토마스크에 형성된 홈에 접하도록 형성되어 있어도 된다. 도 24 는, 대형 펠리클 프레임체에 형성된 돌출부를 포함하는 부분 확대 종단면도로, 도 24A 는 돌출부가 L 자 형상이고, 선단이 구부러져 있는 변부가 포토마스크에 접하는 형태, 도 24B 는 돌출부가 L 자 형상이고, 선단이 포토마스크에 형성된 홈에 박혀 있는 형태를 도시하였다. 도 24A 에 도시된 바와 같이, 하부 가장자리면 (4) 에 대해 수직 방향인 L 자 형상 돌출부의 선단부 (7a) 가 점착재 (2) 의 하면보다 돌출된 경우, L 자 형상 돌출부의 선단부 (7a) 는 포토마스크 (9) 의 외측면에 거의 접하도록 배치한다. 혹은 도 24B 에 도시된 바와 같이, 포토마스크 (9) 의 외측면보다 내측에 하부 가장자리면 (4) 에 대해 수직 방향인 L 자 형상 돌출부의 선단부 (7a) 를 배치해야 하는 경우, 포토마스크 (9) 의 표면을 선단부 (7a) 와 동 형상으로 깎아도 된다. 도 24A 및 도 24B 의 어느 경우에도, 펠리클을 포토마스크에 부착할 때, 펠리클의 위치 맞춤 간이화나, 펠리클의 부착 위치 정밀도 향상의 효과를 발휘한다.In the large sized pellicle frame body according to the present embodiment, the protruding portion of the frame body may be formed to be in contact with the outer peripheral side of the photomask when the pellicle is attached to the photomask. Or in the large sized pellicle frame body which concerns on this embodiment, when the protrusion part of a frame body adheres a pellicle to a photomask, it may be formed so that it may contact the groove formed in the photomask. Fig. 24 is a partially enlarged longitudinal sectional view including a protrusion formed in a large pellicle frame, Fig. 24A is a shape in which the protrusion is L-shaped, and the edge portion of which the tip is bent is in contact with the photomask, and Fig. 24B is a L-shaped protrusion. , The tip is embedded in the groove formed in the photomask. As shown in Fig. 24A, when the tip portion 7a of the L-shaped protrusion perpendicular to the lower edge face 4 protrudes from the lower surface of the adhesive material 2, the tip portion 7a of the L-shaped protrusion is Is disposed so as to almost contact the outer surface of the photomask 9. Alternatively, as shown in FIG. 24B, when the tip portion 7a of the L-shaped projection perpendicular to the lower edge surface 4 is to be disposed inside the outer surface of the photomask 9, the photomask 9 ) May be cut into the same shape as the distal end portion 7a. In any case of FIGS. 24A and 24B, when the pellicle is attached to the photomask, the simplification of the alignment of the pellicle and the improvement of the attachment position accuracy of the pellicle are exhibited.

그리고 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에서는, 프레임체의 돌출부가 펠리클을 포토마스크에 부착했을 때, 포토마스크의 외주 측면 및 포토마스크에 형성된 홈에 접하도록 형성되어 있어도 된다. 예를 들어, 프레임체의 돌출부의 좌우 어느 일방을 포토마스크의 외주 측면에 접하도록 형성하고, 타방을 포토마스크에 형성된 홈에 접하도록 형성하는 형태이다. 혹은, 프레임체의 돌출부를 F 자 형상으로 하고, 선단측이 구부러져 있는 부분을 포토마스크의 외주 측면에 접하도록 형성하고, 앞측이 구부러져 있는 부분을 포토마스크에 형성된 홈에 접하도록 형성하는 형태이다. 이와 같이, 펠리클을 포토마스크에 부착할 때, 펠리클의 위치 맞춤의 간이화나, 펠리클의 부착 위치 정밀도 향상의 효과를 발휘하는 한, 형태를 변형시켜도 된다.And in the large sized pellicle frame body which concerns on this embodiment, when the protrusion part of a frame body adheres a pellicle to a photomask, it may be formed so that it may contact the outer peripheral side surface of the photomask and the groove | channel formed in the photomask. For example, one of the left and right sides of the protruding portion of the frame body is formed to be in contact with the outer peripheral side of the photomask, and the other is formed to be in contact with the groove formed in the photomask. Alternatively, the protruding portion of the frame body has an F shape, and a portion where the tip side is bent is formed to contact the outer peripheral side of the photomask, and a portion where the front side is bent is formed to be in contact with the groove formed in the photomask. In this manner, when the pellicle is attached to the photomask, the shape may be modified as long as the pellicle is simplified in alignment and the pellicle is improved in the attachment position accuracy.

도 25 는, 대형 펠리클 프레임체에 형성된 돌출부에 별도 부품을 조합하여 대형 펠리클을 고정시켰을 때의 부분 확대 종단면도이다. 도 25 에 나타내는 바와 같이 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에서는, 프레임체의 돌출부 (7) 가, 펠리클을 포토마스크 (9) 에 부착했을 때에, 별도 부품 (15) 과 조합함으로써, 포토마스크 (9) 에 프레임체 (10) 를 물리적으로 고정시킬 수 있도록 형성되어 있는 것이 바람직하다. 이렇게 함으로써, 펠리클을 포토마스크에 확실하게 부착시켜, 탈락 등을 방지할 수 있다. 프레임체의 돌출부 (7) 에 별도 부품 (15) 을 부착하는 방법으로는, 나사 고정, 커플러, 탄성체를 사용한 끼워맞춤, 끼움 등, 각종 고정 방법을 이용해도 된다.Fig. 25 is a partially enlarged longitudinal sectional view when a large pellicle is fixed by combining separate parts in a protrusion formed on the large pellicle frame. As shown in FIG. 25, in the large sized pellicle frame body which concerns on this embodiment, when the protrusion part 7 of a frame body adheres a pellicle to the photomask 9, it combines with the separate component 15, and the photomask ( 9) It is preferable that it is formed so that the frame body 10 can be physically fixed. By doing so, the pellicle can be reliably attached to the photomask, thereby preventing the pellicle from falling off. As a method of attaching the separate parts 15 to the protrusions 7 of the frame body, various fixing methods such as screwing, coupler, and fitting and fitting using an elastic body may be used.

돌출부는, 파지·고정에도 이용되고, 펠리클을 취급할 때, 수납 용기에 수납할 때, 펠리클을 수납 용기로부터 취출할 때에 효과적으로 이용된다. 돌출부를 파지 부재로 파지·고정시키는 방법을 설명한다. 도 26 은, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체를 파지 부재로 파지·고정시킬 때의 모습을 설명하기 위한 부분 확대 종단면도로, 도 26A 는 단면이 직사각형인 돌출부를 파지·고정시킨 형태, 도 26B 는 프레임체의 외측면에 형성된 돌출부로서, 단면이 L 자 형상인 돌출부를 파지·고정시킨 형태, 도 26C 는 프레임체의 상부 가장자리면에 형성된 돌출부로서, 단면이 L 자 형상인 돌출부를 파지·고정시킨 형태, 도 26D 는 프레임체의 내측면에 형성된 돌출부로서, 2 개의 직사각형 형상의 돌출부를 파지·고정시킨 형태를 도시하였다. 도 26A 및 도 26C 에서는, 돌출부를 파지 부재 (16) 가 확실하게 파지·고정시킨다. 도 26B 에서는, 돌출부의 L 자 선단부 (갈고리 부분) 가 파지 부재 (16) 에 걸려 더욱 확실하게 파지·고정된다. 또한, 도 26D 에서는, 2 개의 직사각형 형상의 돌출부 사이에 파지 부재 (16) 에 걸려 확실하게 파지·고정된다. 상기에 설명한, 프레임체가 모든 변부에 각각 파지용 오목부를 갖는 양태, 및 프레임체가 모든 변부에 각각 파지용 볼록부를 갖는 양태에 대해서는, 하나의 프레임체 내에서 파지용 오목부와 볼록부를 조합하여 사용해도 되는 것은 말할 필요도 없다. 스페이스 효율을 중시하는 경우에는 오목부가 바람직하고, 프레임체의 보강 효과를 중시하는 경우에는 볼록부가 바람직하지만, 전술한 여러가지 양태의 범위 내에서 파지구의 설계에 맞추어 설계할 수 있다.The protruding portion is also used for holding and fixing, and is effectively used when the pellicle is taken out of the storage container when the pellicle is handled and stored in the storage container. The method of holding and fixing a projection part with a holding member is demonstrated. Fig. 26 is a partially enlarged longitudinal sectional view for explaining a state in which a large pellicle frame body according to the present embodiment is held and fixed by a gripping member, and Fig. 26A is a form in which a projection having a rectangular cross section is gripped and fixed, and Fig. 26B. Is a projection formed on the outer surface of the frame body, in which the cross section is held and fixed in the form of an L-shaped cross section, and FIG. 26C is a projection formed on the upper edge surface of the frame body, and the projection is formed in an L-shaped cross section. Fig. 26D shows a form in which the protrusions formed on the inner side of the frame body are held and fixed with two rectangular protrusions. In FIGS. 26A and 26C, the gripping member 16 grips and fixes the projection part reliably. In Fig. 26B, the L-shaped tip portion (the hook portion) of the protruding portion is caught by the gripping member 16 and held and fixed more securely. In FIG. 26D, the gripping member 16 is caught and securely gripped and fixed between two rectangular protrusions. In the embodiment described above, the frame body has the gripping recesses in all the edge portions, and the frame body the gripping convex portions in all the edge portions, respectively, may be used in combination with the gripping recesses and the convex portions in one frame. Needless to say. A recess is preferable in the case of focusing on space efficiency, and a convex is preferable in the case of emphasizing the reinforcing effect of the frame, but it can be designed in accordance with the design of the gripper within the above-described various aspects.

본 발명의 대형 펠리클 프레임체를 파지하는 데에 있어서는, 프레임체의 각 변부에 있어서 각각 적어도 1 지점 이상의 파지용 볼록부 또는 오목부를 동시에 파지하는 것이 바람직하고, 프레임체의 각 변부에 있어서 각각 적어도 2 지점 이상의 파지용 볼록부 또는 오목부를 동시에 파지하는 것이 보다 바람직하며, 프레임체의 각 변부에 있어서 모든 파지용 볼록부 또는 오목부를 동시에 파지하는 것이 가장 바람직하다.In holding the large pellicle frame of the present invention, it is preferable to simultaneously hold at least one or more holding convex portions or concave portions at each side of the frame, and at least two at each side of the frame. It is more preferable to simultaneously hold a convex portion or a concave portion for holding at a point or more, and most preferably hold all convex portions or concave portions at each side of the frame body at the same time.

펠리클막을 접착한 프레임체에는, 펠리클막이 수축되고자 하는 장력에 의해 내측 방향으로 잡아당겨지는 응력이 가해진다. 본 실시형태에 있어서, 프레임체의 내측면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태의 경우, 파지용 홈 혹은 구멍에 삽입된 파지 부재를 개재하여 프레임체의 변부에 외측의 응력을 가할 수 있다. 이로써, 상기 응력에 의해 발생하는 프레임체의 약간의 변형을 교정할 수 있다. 그리고 프레임체의 상부 가장자리면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태, 프레임체의 하부 가장자리면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태, 또는 프레임체의 외측면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태 중 어느 것에 있어서도, 예를 들어 홈 혹은 구멍의 안쪽으로 넓어진 공간부를 형성하고, 파지 부재의 삽입의 선단부에 로크 기구를 형성함으로써, 프레임체가 펠리클막에 의한 내측에 대한 변형을 교정할 수 있다. 마찬가지로, 프레임체에 형성된 볼록부에 대해서도, 볼록부를 파지함으로써, 프레임체 펠리클막에 의한 내측 방향에 대한 변형을 교정할 수 있다. 또한, 상기 프레임체의 내측에 대한 변형을 교정하는 방법은, 펠리클막의 수축 장력에 의한 내측에 대한 변형을 교정하는 경우 이외에도, 프레임체의 자중이나, 막 장력 이외의 외력에 의해 변형을 교정하는 경우에도 적용할 수 있는 것은 말할 필요도 없다.To the frame body to which the pellicle film is adhered, a stress to be pulled inward is applied by the tension to which the pellicle film is to be contracted. In the present embodiment, when the gripping groove or the hole is recessed in the inner surface of the frame body, an external stress can be applied to the edge of the frame body via the gripping member inserted into the gripping groove or the hole. As a result, slight deformation of the frame body caused by the stress can be corrected. And a gripping groove or hole in the upper edge of the frame, a gripping groove or hole in the lower edge of the frame, or a gripping groove or hole in the outer side of the frame. Also in this case, for example, by forming a space portion widened inwardly of a groove or a hole, and forming a locking mechanism at the distal end of the insertion of the gripping member, the deformation of the frame body to the inside by the pellicle film can be corrected. Similarly, the convex portion formed in the frame body can also be corrected by holding the convex portion so as to correct the deformation in the inward direction caused by the frame pellicle film. The method for correcting the deformation of the inner side of the frame body may be performed by correcting the deformation by the self weight of the frame body or an external force other than the membrane tension, in addition to correcting the deformation of the inner side due to the shrinkage tension of the pellicle film. Needless to say, it is applicable to.

대형 펠리클의 프레임체 형상을 교정하는 데에 있어서는, 상기 대형 펠리클의 프레임체의 각 변부에 있어서 각각 적어도 1 지점 이상의 파지용 볼록부 또는 오목부를 동시에 파지하고, 상기 대형 펠리클의 프레임체의 적어도 1 지점에 응력을 가함으로써 그 프레임체의 변형을 적게 하는 것이 바람직하다.In correcting the shape of a frame of a large pellicle, at least one or more holding convex portions or recesses are simultaneously held at each side of the frame of the large pellicle, and at least one point of the frame of the large pellicle It is preferable to reduce the deformation of the frame body by applying stress to it.

실시예Example

본 발명자들은, 전술한 바와 같은 구성을 갖는 본 발명의 대형 펠리클 프레임체를 사용하여 실험한 결과, 다음과 같은 실시예에 나타내는 바와 같은 좋은 결과가 얻어졌다.The present inventors conducted experiments using the large-scale pellicle frame body of the present invention having the configuration as described above. As a result, good results as shown in the following examples were obtained.

[실시예 1]Example 1

장변의 길이가 1600 ㎜, 단변의 길이가 1400 ㎜, 폭이 14 ㎜, 높이가 6 ㎜ 인 사변형 알루미늄 합금제의 프레임체를 준비하였다. 각 변의 외측면의 높이 3 ㎜ 의 위치에, 각 변의 중앙, 및 각 변의 양 단으로부터 250 ㎜ 인 3 점을 중심으로 하여, 개구부 둘레 방향의 길이 200 ㎜, 개구부의 높이 1.5 ㎜, 홈의 깊이 3 ㎜ 홈을, 프레임체의 4 변 모두에 대해 각 변 3 지점씩 절삭 가공에 의해 형성하였다.A frame made of a quadrilateral aluminum alloy having a length of 1600 mm, a length of a short side of 1400 mm, a width of 14 mm, and a height of 6 mm was prepared. At the position of the height of 3 mm of the outer side of each side, centering on each side and three points which are 250 mm from both ends, the length of the opening circumferential direction is 200 mm, the height of the opening 1.5 mm, the depth of the groove 3 The mm groove was formed by cutting at each of three sides of all four sides of the frame body.

프레임체의 하부 가장자리면에, 표면에 아크릴계 점착제가 도포된 폴리에틸렌 발포체 기재 (두께 1 ㎜) 를 점착재층으로서 부착하였다. 다음으로, 상기 프레임체와 동일한 프레임 형상의 보호 필름으로서, 장변의 중앙부에 치수가 폭 10 ㎜ × 길이 900 ㎜ 의 누름대, 단변의 중앙부에 치수가 폭 10 ㎜ × 길이 750 ㎜ 의 누름대, 및 네 귀퉁이의 정점에 정점을 중심으로 반경 10 ㎜ 의 누름대를 각각 프레임체의 외측 방향으로 비져나오도록 형성하고 (도 27 참조), 실리콘계 이형제가 표면에 도포된 폴리에틸렌테레프탈레이트 수지제의 보호 필름을 그 점착재층 상에 적층시켰다.The polyethylene foam base material (thickness 1mm) in which the acrylic adhesive was apply | coated to the lower edge surface of the frame body was affixed as an adhesive material layer. Next, as a frame-shaped protective film similar to the said frame body, the press stand of width 10mm x length 900mm in the center part of a long side, the press stand of 10mm width x 750mm length in the center part of a short side, and At each of the four corners, a pressing bar having a radius of 10 mm was projected outwardly of the frame body, respectively (see Fig. 27), and a polyethylene terephthalate resin protective film coated on the surface of the silicone release agent was formed. It laminated | stacked on this adhesive material layer.

이와 같이 하여 얻은 보호 필름이 부착된 대형 펠리클 프레임체를, ABS 수지재로 진공 성형된 수납 용기의 트레이 위에 탑재하고, 상기 누름대 8 지점을 점착 테이프 (테이프 사이즈 : 장변 15 ㎜ × 940 ㎜, 단변 15 ㎜ × 790 ㎜, 네 귀퉁이 15 ㎜ × 60 ㎜) 를 개재하여 트레이에 점착 고정시켰다.The large pellicle frame body with the protective film thus obtained was mounted on a tray of a storage container vacuum-molded with ABS resin material, and the pressing stand 8 points were attached to an adhesive tape (tape size: long side 15 mm × 940 mm, short side). 15 mm x 790 mm and four corners 15 mm x 60 mm) to be adhesively fixed to the tray.

[실시예 2][Example 2]

장변의 길이가 1800 ㎜, 단변의 길이가 1600 ㎜, 폭이 16 ㎜ 인 것 이외에는, 상기 실시예 1 과 동일한 프레임체를 준비하여, 실시예 1 과 동일하게 트레이에 고정시켰다.
The same frame body as Example 1 was prepared except that the long side was 1800 mm, the short side was 1600 mm, and the width was 16 mm, and it was fixed to the tray similarly to Example 1.

*[실시예 3][Example 3]

장변의 길이가 2000 ㎜, 단변의 길이가 1800 ㎜, 폭이 18 ㎜ 인 것 이외에는, 상기 실시예 1 과 동일한 프레임체를 준비하여, 실시예 1 과 동일하게 트레이에 고정시켰다.The same frame body as Example 1 was prepared except that the long side was 2000 mm, the short side was 1800 mm, and the width was 18 mm, and it was fixed to a tray in the same manner as in Example 1.

[실시예 4]Example 4

각 변의 중앙 및 각 변의 양 단으로부터 150 ㎜ 인 3 점에, 프레임체의 외측면에 개구부의 직경 3 ㎜, 깊이 3 ㎜ 의 원형 구멍을 프레임체의 4 변 모두에 대해 각 변 3 지점씩 형성한 것 이외에는, 상기 실시예 2 와 동일한 프레임체를 준비하여, 실시예 1 과 동일하게 트레이에 고정시켰다.At the three points of 150 mm from the center of each side and each end of each side, a circular hole having a diameter of 3 mm and an opening of 3 mm in the outer surface of the frame was formed at each of three sides of all four sides of the frame. Except for the above, the same frame body as in Example 2 was prepared and fixed in a tray in the same manner as in Example 1.

[비교예 1]Comparative Example 1

단변의 외측면의 전체 둘레에 걸쳐, 개구부의 높이 1.5 ㎜, 홈의 깊이 3 ㎜ 홈을 형성하고, 장변에는 파지부를 형성하지 않았던 것 이외에는, 상기 실시예 2 와 동일한 프레임체를 준비하여, 실시예 1 과 동일하게 트레이에 고정시켰다.The same frame body as Example 2 was prepared and implemented, except that a groove height of 1.5 mm and a groove depth of 3 mm were formed over the entire circumference of the outer side of the short side, and the gripping portion was not formed on the long side. It fixed to the tray similarly to Example 1.

[실시예 5][Example 5]

장변의 중앙 및 양 단으로부터 150 ㎜ 인 위치에서, 프레임체의 외측면에 개구부의 직경 3 ㎜, 깊이 3 ㎜ 의 원형 구멍을 3 지점씩 형성하고, 단변의 중앙에 프레임체의 외측면에 개구부의 직경 3 ㎜, 깊이 3 ㎜ 의 원형 구멍을 1 지점씩 형성한 것 이외에는, 상기 실시예 2 와 동일한 프레임체를 준비하여, 실시예 1 과 동일하게 트레이에 고정시켰다.At a position 150 mm from the center and both ends of the long side, three holes each having a diameter of 3 mm and an opening of 3 mm in depth are formed on the outer side of the frame, and the opening of the opening on the outer side of the frame at the center of the short side. The same frame body as Example 2 was prepared except that the circular hole of diameter 3mm and depth 3mm was formed one by one, and it fixed to the tray like Example 1.

이하의 표 1 에 상기 실시예 1 ∼ 5 와 비교예 1 에 대한 평가 결과를 나타낸다.Table 1 shows the evaluation results for Examples 1 to 5 and Comparative Example 1.

펠리클 프레임체의 확실한 파지 평가는, 트레이에 점착 고정시키기 전의 프레임체로 실시하였다. 실시예 1 ∼ 3 의 경우에는, 파지 부재로서 강화 플라스틱으로 제작한 폭 100 ㎜, 두께 0.75 ㎜ 의 판 형상의 파지 부재를 갖는 지그를 12 조 준비하고, 그 파지 부재를 프레임체의 각 변에 있어서 모든 파지용 홈에 삽입하고 동시에 파지하여, 프레임체를 수평으로 들어 올렸다. 또한, 비교예 1 의 경우에는, 양 단변의 중앙 및 양 단변의 양 단으로부터 250 ㎜ 인 총 6 점을 중심으로 한 6 지점에 동일한 지그를 삽입하여 프레임체를 수평으로 들어 올렸다. 또한, 실시예 4 ∼ 5 의 경우에는, 파지 부재로서 강화 플라스틱으로 제작한 직경 2 ㎜ 의 막대를 준비하고, 그 파지 부재를 프레임체의 각 변에 있어서 모든 파지용 구멍에 삽입하고 동시에 파지하여, 프레임체를 수평으로 들어 올렸다. 수평으로 들어 올린 후, 수평 상태에서 1 초 동안 1 회의 비율로, 300 ㎜ 의 높이를 5 회 상하시켜, 모든 파지 부재가 모든 파지용 홈 또는 구멍으로부터 빠져 나오지 않은 경우를「○」, 일부의 파지 부재가 대응하는 일부의 파지용 홈 또는 구멍으로부터 빠져 나온 경우를「△」, 모든 파지 부재가 모든 파지용 홈 또는 구멍으로부터 빠져 나와 펠리클 프레임체가 낙하된 경우를「×」로 나타낸다.Reliable grip evaluation of the pellicle frame body was performed with the frame body before adhesively fixing to a tray. In the case of Examples 1-3, 12 sets of jig | tools which have a plate-shaped holding member of width 100mm and thickness 0.75mm made from reinforced plastics as holding | gripping tools are prepared, and the holding | gripping tool is prepared in each side of a frame body. The frame was lifted horizontally by inserting it into all the gripping grooves and gripping simultaneously. In addition, in the case of the comparative example 1, the same jig was inserted in 6 points centered on 6 points which are 250 mm from the center of both short sides, and both ends, and the frame body was lifted horizontally. In addition, in the case of Examples 4-5, the rod of 2 mm diameter made from reinforced plastics was prepared as a holding member, the holding member is inserted in all the holding holes in each side of a frame, and simultaneously gripped, The frame was lifted horizontally. After lifting horizontally, the height of 300 mm is raised and lowered five times at a rate of one second for one second in a horizontal state, where all the gripping members do not come out of all the gripping grooves or holes. A case where the member has escaped from a corresponding part of the gripping grooves or holes is indicated by "Δ" and a case where all the gripping members have escaped from all the gripping grooves or holes and the pellicle frame body is dropped by "x".

또한, 펠리클 프레임체의 휨 방지 평가는, 수평으로 놓인 트레이에 보호 필름을 개재하여 점착 고정시킨 프레임체로 실시하였다. 실시예 1 ∼ 3 의 경우에는, 파지 부재로서 강화 플라스틱으로 제작한 폭 100 ㎜, 두께 0.75 ㎜ 의 판 형상의 파지 부재를 갖는 지그를 12 조 준비하고, 그 파지 부재를 프레임체의 각 변에 있어서 모든 파지용 홈에 삽입하고 동시에 파지하여, 프레임체를 수평으로 들어 올렸다. 또한, 비교예 1 의 경우에는, 양 단변의 중앙 및 양 단변의 양 단으로부터 250 ㎜ 인 총 6 점을 중심으로 한 6 지점에 동일한 지그를 삽입하여 프레임체를 수평으로 들어 올렸다. 또한, 실시예 4 ∼ 5 의 경우에는, 파지 부재로서 강화 플라스틱으로 제작한 직경 2 ㎜ 의 막대를 준비하고, 그 파지 부재를 프레임체의 각 변에 있어서 모든 파지용 구멍에 삽입하고 동시에 파지하여, 프레임체를 수평으로 들어 올렸다. 들어 올리는 속도는 매초 1 ㎝ 로 하고, 보호 필름과 점착재의 계면이 완전히 박리되기 직전 펠리클 프레임체의 변의 휨량이 10 ㎜ 미만인 경우를「◎」, 10 ㎜ 이상 15 ㎜ 미만인 경우를「○」, 15 ㎜ 이상 20 ㎜ 미만인 경우를「△」(실용상 문제가 아닌 하한 레벨), 20 ㎜ 이상인 경우를 「×」 (실용상 문제인 레벨) 로 나타낸다.In addition, the curvature prevention evaluation of the pellicle frame body was performed by the frame body which carried out adhesive fixation to the tray placed horizontally through the protective film. In the case of Examples 1-3, 12 sets of jig | tools which have a plate-shaped holding member of width 100mm and thickness 0.75mm made from reinforced plastics as holding | gripping tools are prepared, and the holding | gripping tool is prepared in each side of a frame body. The frame was lifted horizontally by inserting it into all the gripping grooves and gripping simultaneously. In addition, in the case of the comparative example 1, the same jig was inserted in 6 points centered on 6 points which are 250 mm from the center of both short sides, and both ends, and the frame body was lifted horizontally. In addition, in the case of Examples 4-5, the rod of 2 mm diameter made from reinforced plastics was prepared as a holding member, the holding member is inserted in all the holding holes in each side of a frame, and simultaneously gripped, The frame was lifted horizontally. The lifting speed is 1 cm per second, and the case where the deflection amount of the side of the pellicle frame body is less than 10 mm immediately before the interface between the protective film and the adhesive material is completely peeled off is "o", 15 mm or more and less than 15 mm. The case where it is 20 mm or more is represented by "(triangle | delta)" (lower limit level which is not a problem for practical use), and the case where it is 20 mm or more as "x" (level which is a problem for practical use).

Figure 112012048171200-pat00001
Figure 112012048171200-pat00001

1 펠리클 프레임
2 마스크 점착재
3 프레임체의 상부 가장자리면
4 프레임체의 하부 가장자리면
5 프레임체의 외측면
6 프레임체의 내측면
7 파지용 홈 혹은 구멍 또는 돌출부
7a 파지용 홈 혹은 구멍의 안쪽으로 넓어진 내부 공간 또는 파지용 돌출부의 선단부
7b 파지용 홈의 개구부
7c 파지용 홈의 최심부
9 포토마스크
10, 20 프레임체
11 보호 필름
11a 누름대
11b 누름대
15 별도 부품
16 파지 부재
21 홈
30 프레임체 (종래품)1 pellicle frame
2 mask adhesive
3 upper edge of frame
4 Lower edge of frame
5 Outer side of frame
6 Inner side of frame
7 Gripping grooves or holes or protrusions
7a Inner space that extends inwardly of the gripping groove or hole or the tip of the gripping protrusion
7b opening of gripping groove
Deepest part of 7c gripping groove
9 Photomask
10, 20 frame
11 protective film
11a presser
11b presser
15 separate parts
16 gripping members
21 home
30 frame (previous)

Claims (2)

대형 펠리클의 프레임체의 파지 방법으로서, 그 대형 펠리클의 프레임체가, 복수의 변으로 이루어지는 다각형 형상을 갖고, 그 프레임체의 상부 가장자리면에 펠리클막을 접착하고, 그 프레임체의 하부 가장자리면에 점착재를 도포할 수 있고, 상기 프레임체의 가장 긴 변의 길이가 1 m 이상이고, 상기 프레임체는, 모든 변부에 각각 파지용 볼록부 또는 오목부를 갖고,
파지용 볼록부 또는 오목부가, 프레임체의 외표면 상이고, 프레임체의 각 변에 있어서, 그 파지용 볼록부 또는 오목부가 차지하는 길이가 각각 변의 길이에 대해 10 % 이상이고,
상기 프레임체의 모든 변부에 있어서 적어도 1 지점 이상의 파지용 볼록부 또는 오목부를 파지하여 운반하는 대형 펠리클의 프레임체의 파지 운반 방법.

A method of holding a frame of a large pellicle, wherein the frame of the large pellicle has a polygonal shape consisting of a plurality of sides, and adheres a pellicle film to the upper edge of the frame, and an adhesive material on the lower edge of the frame. The length of the longest side of the said frame body is 1 m or more, and the said frame body has the convex part or recessed parts for holding | gripping to each edge part, respectively,
The holding convex portion or the concave portion is on the outer surface of the frame body, and in each side of the frame body, the length of the holding convex portion or the concave portion occupies 10% or more with respect to the length of the side,
A holding and conveying method of a frame of a large pellicle, which grips and carries at least one or more holding convex portions or concave portions at all sides of the frame.

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