【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はペリクル枠の上縁にペリクル膜が接着剤を介して貼着されて形成されたペリクルを収納し得るペリクルの収納方法に係り、特に、ＩＣ（集積回路）、ＬＳＩ（大規模集積回路）、ＴＦＴＬＣＤ（薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ）等の半導体装置を製造する際のリソグラフィー工程で使用されるフォトマスクやレティクル（以下、「マスク」という）に固着して使用されるサイズの異なる多種類のペリクルを安定した状態で保管したり、搬送したりすることが出来るペリクルの収納方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ペリクルは、所定幅を有するペリクル枠に透明薄膜からなるペリクル膜を接着剤等を用いて張着されたものであり、ペリクル膜はマスクとは所定の距離（ペリクル枠高さ）をおいてマスク上に位置させ、マスク上に塵埃等の異物等が付着するのを防止するものである。
【０００３】
フォトリソグラフィ工程において、異物等がペリクル上に付着したとしても、それ等の像はフォトレジストが塗布された半導体ウェハ上には結像しない。従って、マスクをペリクルで保護することにより、異物等の像による半導体集積回路の短絡や断線等、また液晶ディスプレイ（以下、「ＬＣＤ」という）の欠陥を防止することが出来、フォトリソグラフィ工程での製造歩留りが向上する。
【０００４】
更にマスクのクリーニング回数が減少して、その寿命を延ばす等の効果がペリクルにより得られる。
【０００５】
半導体用ペリクル及びＬＣＤ用ペリクルにおいては、共に露光工程におけるスループット向上のために露光する光の透過率が高いことが要求される。そのために、透明薄膜の片面或いは両面に反射防止層が設けられるようになってきている。反射防止層は単層或いは２層以上の層で構成されることもある。
【０００６】
最外層に用いる反射防止層の材料としては、後述の特許文献１に開示されたテトラフルオロエチレン−ビニリデンフルオライド−ヘキサフルオロプロピレンポリマー、或いは特許文献２に開示されたポリフルオロアクリレート、或いは特許文献３に開示された主鎖に環状構造を有するフッ素ポリマーであるデュポン社製のテフロンＡＦ（商品名）、或いは旭硝子社製のサイトップ（商品名）等が提案されている。
【０００７】
最外層の反射防止層の材料の多くは、フッ素含有ポリマーや、フッ化カルシウムやフッ化マグネシウム等の無機フッ素系材料が用いられている。透明薄膜層（中心層）材料の多くはニトロセルロースやセルロースアセテートプロピオネート、カーボネート化アセチルセルロース等のセルロース誘導体及びこれらの混合物が用いられている。
【０００８】
ＬＣＤではＴＦＴ（薄膜トランジスタ）の実用化により大画面化、高精細化、大容量化等が達成されつつあるが、ＴＦＴ−ＬＣＤ製造で使用されるペリクルもこれに対応して大型化及び面内の光透過性の均一性が求められ、また半導体製造用のペリクルにおいても均一な高光線透過率を持つペリクル膜が求められているが、更にペリクル自身及びその周辺からミクロンオーダーの塵埃等の異物の発生も許されないペリクルが求められている。
【０００９】
このようなマスク保護装置としてのペリクルは、ペリクル枠と、該ペリクル枠の一側面に接着剤を介して張着されたペリクル膜とから構成されるものである。
【００１０】
特に、ペリクルに関わるペリクル容器の収納形態は、ペリクル収納容器一個に一種類のペリクルを収納しており、コスト、製品保管スペースの有効活用、ケース洗浄等の生産性に悪影響を及ぼす虞があった。
【００１１】
【特許文献１】
特開昭６１−２０９４４９号公報
【特許文献２】
特開平１−１００５４９号公報
【特許文献３】
特開平３−３９９６３号公報
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
然るに、前述の従来例のペリクル収納方法は、一個のペリクル収納容器に一種類のペリクルしか収納できないので、極めて多種類の形状の異なるペリクルを収納する場合には、それに対応する数の収納容器を用意しなければならなかった。
【００１３】
従って、従来は多種類のペリクル収納容器を必要とするために、コスト高になると共にかつペリクルを収納する前の収納容器或はペリクルを収納した後の収納容器を保管したりする広いスペースを必要とし、さらにはペリクル収納容器の洗浄効率を低下させる等の多くの問題があった。
【００１４】
本発明に関わるペリクルの収納方法は、前述の従来の多くの問題点に鑑み開発された全く新しい技術である。特に、本発明の収納方法を使用することによって、一個の収納容器にペリクル枠に取付けられる保護フィルムサイズ以下のペリクルを全て収納することが可能となり、これによってコストが大幅に改善され、かつ製品保管スペースを有効に活用することが出来る。さらに、収納容器の洗浄作業効率を著しく向上させることが出来る等の多大な効果を有する全く新しい技術を提供するものである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、前記目的を達成するために鋭意研究を行った結果、ペリクルをペリクル収納容器に収納して保管する過程をよく観察すると、一個のペリクル収納容器に一種類のペリクルを収納しており、コストを悪化させたり、ペリクル製品を保管する広いスペースを必要としたり、さらにペリクル収納容器の洗浄作業効率を低下させる虞があることを見出し、本発明を成すに至ったものである。
【００１６】
本発明のペリクルの収納方法の第１発明の要旨は、トレーとこのトレーに被蓋される蓋とよりなる収納容器内にペリクルを保管、搬送するために収納する方法に於て、ペリクル枠の下面に貼着された保護フィルムの外周縁を該ペリクル枠より突出させて突出部を形成し、前記ペリクルの収納に際して、前記トレー及び蓋で該保護フィルムの突出部を挟持することを特徴としたペリクルの収納方法である。
【００１７】
前述の第１発明のペリクルの収納方法に於ては、ペリクル枠の下面に貼着された保護フィルムの外周縁をペリクル枠より突出させて突出部を形成し、ペリクルを収納容器に収納する際に、該突出部をトレーと蓋とで挟持するようにしたので、前記収納容器には、トレー内に収納し得る所定サイズの保護フィルムより小さい寸法を持ったペリクルは全て収納することが出来る。
【００１８】
従って、大きなサイズを持った収納容器を一種類用意すれば、サイズの異なる多種類のペリクルを収納することが出来、これによって収納容器の種類を著しく少なくすることが出来る。さらに、収納容器のコストを大幅に安価にし、かつ収納容器の洗浄作業効率を著しく向上させ、収納容器の保管スペースを小さくして場所を有効に活用することが出来る。
【００１９】
本発明のペリクルの収納方法の第２発明の要旨は、前記収納容器の蓋の天井内周面所定位置にペリクル挟持部を突設し、前記トレーに蓋を被蓋した際に前記保護フィルムの突出部をペリクル挟持部で押圧して挟持することを特徴とした第１発明のペリクルの収納方法である。
【００２０】
前述の第２発明に於ては、ペリクル収納容器の蓋の天井内周面所定位置にペリクル挟持部を突設し、トレーに蓋を被蓋した際に、該ペリクル挟持部で保護フィルムの突出部を挟持するようにしたので、ペリクル収納容器内に収納したペリクルを安定した状態で確実に保持することが出来る。
【００２１】
【発明の実施の形態】
図により本発明に係るペリクルの収納方法の一実施例を具体的に説明すると、図１はトレーと蓋とよりなるペリクル収納容器内にペリクルを収納する状態の斜視説明図、図２は前記図１のトレーに蓋を被蓋した状態の断面説明図である。
【００２２】
Ａはペリクルであって、ペリクル枠１の上縁には接着剤２を介してペリクル膜３が張着されている。ペリクル枠１の下縁（下面）にはペリクルＡをフォトマスクやレティクル（以下、単にマスクという）に貼り付ける時に使用される粘着剤４が塗着されると共に、この粘着材４にはペリクルＡの貼り着け時に簡単に剥離し得る保護フィルム５が貼り着けされている。また、この保護フィルム５の側縁所定位置には耳部５ａと所定の間隔を保って複数の押さえ代５ｂよりなる突出部が一体的に突設されている。
【００２３】
ペリクル枠１としては、ペリクル膜３を支持し得る枠であればどのような材質であっても良いが、表面をアルマイト処理したアルミフレームやクロムメッキ等を施した金属枠等の支持枠、更にはエンジニアリングプラスチック等で製造した樹脂支持枠等が用いられ、その形状も方形、円形等、他の種々の形状であっても良い。通常は、製造の容易さ、強度等の点から金属枠が用いられる。
【００２４】
ペリクル膜３の透明薄膜層（中心層）材料としては、ニトロセルロース、セルロースアセテート、セルロースアセテートブチレート、セルロースアセテートプロピオネート、エチルセルロース、カーボネート化アセチルセルロース等のセルロース誘導体が使用出来る。
【００２５】
これらのセルロース誘導体は、夫々単独で用いても良いが、２種以上のセルロース誘導体との混合物を用いても良い。使用するセルロース誘導体は、高分子量のもの程、薄膜の形状保持性が良いため好ましい。
【００２６】
即ち、数平均分子量が３万以上、好ましくは５万以上である。このような材料のうち、ニトロセルロースは旭化成株式会社製、セルロースアセテート、セルロースアセテートブチレート、セルロースアセテートプロピオネートはイーストマン・コダック社製のものが夫々市販されており、容易に入手することが出来る。
【００２７】
セルロース誘導体の溶媒としては、２−ブタノン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、酢酸ブチル、酢酸イソブチル、乳酸エチル、酢酸セロソルブ、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等、及びこれ等の溶媒の混合系が使用される。
【００２８】
セルロース誘導体等の溶液は、予め異物除去のための濾過をしてから、スピンコートする。透明薄膜（中心層）の膜厚は、溶液粘度や基板の回転速度を変化させることにより適宜変化させることが出来る。基板上に形成された薄膜に含まれている溶媒はホットプレート、オーブン等で揮発させる。
【００２９】
ペリクル膜３の反射防止層は単層或いは２層以上の層で構成されるが、単層の場合（表裏に反射防止層を形成すると、ペリクル膜３の層数は３層）は、反射防止層の屈折率ｎ１が透明薄膜（中心層）の屈折率ｎＣに対してｎ１＝（ｎＣ）１／２の時に反射防止効果は最大となり、この値に近い反射防止層材料を選択する程、反射防止効果は大きくなる。反射防止層の厚みｄは、反射防止すべき波長をλとするとｎ１×ｄ＝λ／４とすれば良い。
【００３０】
また、反射防止層が２層の場合（前述と同様に表裏に反射防止層を形成するとペリクル膜３の層数は５層）は、透明薄膜層に接する層を高屈折率反射防止層にし、最外層を低屈折率反射防止層とするが、最外層の反射防止層から順に屈折率と厚みをｎ１、ｄ１及びｎ２、ｄ２とすると、ｎ２／ｎ１＝（ｎＣ）１／２の時に反射防止効果は最大となり、この値に近いｎ２／ｎ１の反射防止層材料を選択する程、反射防止効果は大きくなる。
【００３１】
反射防止層の厚みｄ１、ｄ２は、反射防止すべき波長をλとすると、ｎ１×ｄ１＝ｎ２×ｄ２＝λ／４とすれば良い。中心層にはセルロース誘導体、ポリビニルブチラール、ポリビニルプロピオナール等を使用することが出来、その場合にはこれらの屈折率は１．５前後であるから、（ｎＣ）１／２が約１．２２となる。従って、反射防止層材料の屈折率としては、反射防止層が単層の場合、ｎ２／ｎ１が１．２２に近い程、反射防止効果が大きくなり、好ましい。
【００３２】
最外層として用いる低屈折率反射防止層の材料としては、テトラフルオロエチレン−ビニリデンフルオライド−ヘキサフルオロプロピレンポリマー、ポリフルオロアクリレート、主鎖に環状構造を有するフッ素ポリマーであるデュポン社製のテフロンＡＦ（商品名）、旭硝子社製のサイトップ（商品名）等のフッ素系材料が使用出来る。
【００３３】
テフロンＡＦは、γ線、電子線、α線等の放射線や遠紫外線等の光を照射することにより、濾過性、制電性、ペリクル膜３とペリクル枠１との接着性が向上する。
【００３４】
次に前述のペリクル膜３の具体的な一実施例を説明する。先ず、セルロースアセテートプロピオネート（イーストマン・コダック社製、「ＣＡＰ４８２−２０」、以下「ＣＡＰ」という）を、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートに溶解し、ＣＡＰ溶液を作製する。
【００３５】
かつ、反射防止層としての含フッ素樹脂を溶媒に溶解した溶液を作製する。先ず、塗布用基板をスピンコーターにセットして、調整したＣＡＰ溶液を、フィルターで濾過し、その濾過液の適当量を上記塗布用基板上に滴下し、その後、塗布用基板を１０００ｒｐｍで４５秒間回転させ、次に、ホットプレートで溶媒を蒸発せしめ、シリコンウェーハ上にＣＡＰからなる厚さ１〜２μｍの透明薄膜層（中心層）を形成した。
【００３６】
次いで、上記で調整した含フッ素樹脂溶液を、フィルターで濾過し、その濾過液を上記中心層の上に数ｃｃ滴下し、６００ｒｐｍで３０秒間回転させた後、風乾し、更にホットプレート上で乾燥し、反射防止層を形成した。
【００３７】
さらに、２３℃、相対湿度５０％の条件下で塗布用基板により剥離し、更に含フッ素樹脂溶液数ｃｃを上記基板から剥離した２層膜の中心層露出面に滴下し、６００ｒｐｍで３０秒間回転させた後、風乾して反射防止層を形成し、３層膜を得た。続いて、上面に紫外線硬化型接着剤を用いて、表面をアルマイト処理をしたアルミニウム製の金属で出来ているペリクル枠１に、３層のペリクル膜３を接着した。
【００３８】
次に、前述のような構成を有するペリクルＡを安定した状態で収納することが出来る本発明のペリクルの収納方法について、図１及び図２に於てその具体例を詳述する。
【００３９】
本発明に係るペリクルの収納方法を実施するに当っては、前記ペリクルＡの保護フィルム５のサイズ以下のものを収納し得るトレー６と、このトレー６に被蓋し得る蓋７とよりなるペリクル収納容器Ｂが用いられる。
【００４０】
該ペリクル収納容器Ｂのトレー６及び蓋７は各々アクリル樹脂、ＰＥＴ樹脂、ＡＢＳ樹脂等の材料が一般的に使用されており、かつこれ等のトレー６及び蓋７の成形に当っては、射出成形法、真空成形法等の成形法が用いられる。
【００４１】
前述のトレー６及び蓋７は、次の理由によって導電性を有していることが好ましい。即ち、トレー６及び蓋７が導電性を有していると、帯電による塵埃が付着しにくくなり、トレー６及び蓋７の異物除去作業が軽減されるためである。このようにトレー６及び蓋７に導電性を持たせるためには、トレー６及び蓋７を成形する際の副資材として導電物質、例えば導電性カーボンブラック、金属粉等を成形資材となる樹脂の中に混入すれば良い。
【００４２】
前述のペリクル収納容器Ｂの蓋７の天井内周面の所定位置には、所定の間隔を保って複数のペリクル挟持部８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ、８ｅ、８ｆが夫々突設されている。従って、該蓋７を前記トレー６に被蓋した際には、これ等のペリクル挟持部８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ、８ｅ、８ｆが、トレー６内に収納されたペリクルＡの保護フィルム５の周辺縁に設けられた複数の突出部の押さえ代５ｂに当接されるように構成されている。
【００４３】
本発明のペリクルの収納方法に於ては、前述のようにペリクルＡの保護フィルム５の周辺縁に押さえ代５ｂよりなる突出部を突設し、かつペリクルＡをペリクル収納容器Ｂ内に収納した際に、前記突出部をペリクル挟持部８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ、８ｅ、８ｆで押圧することによって、保護フィルム５を蓋７とトレー６とで挟持するようにしたので、ペリクルＡをペリクル収納容器Ｂ内で正確かつ安定した状態で保持することが出来る。
【００４４】
従って、本発明の方法に於ては、蓋７とトレー６との一部で保護フィルム５の突出部を挟持するようにしたので、一個のペリクル収納容器Ｂの中には、保護フィルムのサイズ以下のサイズを持った種々のペリクルＡを安定した状態で収納することが出来る。
【００４５】
前述の実施例に於ては、保護フィルム５の外周縁に複数の突起状の押さえ代５ｂよりなる突出部を設けたが、該突出部は必ずしも突起状でなくても良く、所定の巾を持った帯状のものでも良い。また、蓋７に設けるペリクル挟持部８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ、８ｅ、８ｆも突起状に形成せずに、例えばリブ状に形成して構成することも可能である。
【００４６】
従って、本発明のペリクル収納方法を実施することによって、ペリクル収納容器の種類を少なくしてコストを大幅に低減させることが出来、かつペリクル収納容器ＢにペリクルＡを収納する作業、ペリクルＡを取り出す作業、或いはペリクル収納容器Ｂを洗浄する作業等を各々極めて効率良くすることが出来る。また、ペリクルＡを保管したり或いは搬送するに当ってのスペースを著しく有効的に活用することが出来る。
【００４７】
【発明の効果】
本発明に係るペリクルの収納方法に於ては、ペリクル枠の下面に貼着された保護フィルムの外周縁をペリクル枠より突出させて突出部を形成し、ペリクルを収納容器に収納する際に、該突出部をトレーと蓋とで挟持するようにしたので、前記収納容器には、トレー内に収納し得る所定サイズの保護フィルムより小さい寸法を持ったペリクルは全て収納することが出来る効果を有している。
【００４８】
従って、大きなサイズを持った収納容器を一種類用意すれば、サイズの異なる多種類のペリクルを収納することが出来、これによって収納容器の種類を著しく少なくすることが出来る効果がある。さらに、収納容器のコストを大幅に安価にし、かつ収納容器の洗浄作業効率を著しく向上させ、収納容器の保管スペースを小さくして場所を有効に活用することが出来る効果も有している。
【００４９】
また本発明に於いて、ペリクル収納容器の蓋の天井内周面所定位置にペリクル挟持部を突設し、トレーに蓋を被蓋した際に、該ペリクル挟持部で保護フィルムの突出部を挟持するようにした場合には、ペリクル収納容器内に収納したペリクルを安定した状態で確実に保持することが出来る効果を有している。
【図面の簡単な説明】
【図１】トレーと蓋とよりなるペリクル収納容器内にペリクルを収納する状態の斜視説明図である。
【図２】前記図１のトレーに蓋を被蓋した状態の断面説明図である。
【符号の説明】
１ …ペリクル枠
２ …接着剤
３ …ペリクル膜
４ …粘着材
５ …保護フィルム
５ａ …耳部
５ｂ …押さえ代
６ …トレー
７ …蓋
８ａ …ペリクル挟持部
８ｂ …ペリクル挟持部
８ｃ …ペリクル挟持部
８ｄ …ペリクル挟持部
８ｅ …ペリクル挟持部
８ｆ …ペリクル挟持部
Ａ …ペリクル
Ｂ …ペリクル収納容器[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a pellicle storage method capable of storing a pellicle formed by attaching a pellicle film to an upper edge of a pellicle frame via an adhesive, and particularly relates to an IC (integrated circuit), an LSI (large-scale integrated circuit). ), A variety of pellicles having different sizes used by being fixed to a photomask or a reticle (hereinafter, referred to as a “mask”) used in a lithography process in manufacturing a semiconductor device such as a TFTLCD (thin film transistor liquid crystal display). The present invention relates to a method for storing a pellicle that can be stored and transported in a stable state.
[0002]
[Prior art]
The pellicle is formed by attaching a pellicle film made of a transparent thin film to a pellicle frame having a predetermined width using an adhesive or the like, and the pellicle film is separated from the mask by a predetermined distance (pellicle frame height). It is positioned on the upper side to prevent foreign matter such as dust from adhering to the mask.
[0003]
In the photolithography process, even if foreign matter or the like adheres to the pellicle, the image does not form on the semiconductor wafer coated with the photoresist. Therefore, by protecting the mask with a pellicle, it is possible to prevent a short circuit or disconnection of a semiconductor integrated circuit due to an image of a foreign substance or the like and a defect of a liquid crystal display (hereinafter, referred to as an “LCD”). The production yield is improved.
[0004]
Further, the pellicle has effects such as a reduction in the number of times of cleaning of the mask and an extension of the life thereof.
[0005]
The pellicle for semiconductor and the pellicle for LCD are both required to have high transmittance of light to be exposed in order to improve throughput in an exposure process. For this reason, an antireflection layer has been provided on one or both sides of a transparent thin film. The antireflection layer may be composed of a single layer or two or more layers.
[0006]
As the material of the antireflection layer used for the outermost layer, a tetrafluoroethylene-vinylidene fluoride-hexafluoropropylene polymer disclosed in Patent Document 1 described later, a polyfluoroacrylate disclosed in Patent Document 2, or Patent Document 3 And Teflon AF (trade name) manufactured by DuPont, which is a fluoropolymer having a cyclic structure in the main chain, or Cytop (trade name) manufactured by Asahi Glass Co., Ltd. is disclosed.
[0007]
Many of the materials of the outermost antireflection layer use a fluorine-containing polymer or an inorganic fluorine-based material such as calcium fluoride or magnesium fluoride. As a material of the transparent thin film layer (center layer), cellulose derivatives such as nitrocellulose, cellulose acetate propionate, and carbonated acetyl cellulose, and mixtures thereof are used.
[0008]
In LCDs, large screens, high definition, large capacity, etc. are being achieved by the practical use of TFTs (thin film transistors), but pellicles used in the manufacture of TFT-LCDs are correspondingly increased in size and in-plane. The uniformity of light transmittance is required, and the pellicle for manufacturing semiconductors is also required to have a pellicle film having a uniform high light transmittance. Pellicles that are not allowed to occur are required.
[0009]
A pellicle as such a mask protection device includes a pellicle frame and a pellicle film adhered to one side surface of the pellicle frame via an adhesive.
[0010]
In particular, in the storage form of the pellicle container related to the pellicle, one type of pellicle is stored in each pellicle storage container, which may adversely affect productivity such as cost, effective use of product storage space, and case cleaning. .
[0011]
[Patent Document 1]
JP-A-61-209449 [Patent Document 2]
Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 1-1005449 [Patent Document 3]
JP-A-3-39963
[Problems to be solved by the invention]
However, the conventional pellicle storage method described above can store only one type of pellicle in one pellicle storage container, so when storing pellicles of extremely many different shapes, a corresponding number of storage containers are required. I had to prepare.
[0013]
Therefore, conventionally, since various types of pellicle storage containers are required, the cost is high and a large space for storing the storage container before storing the pellicle or the storage container after storing the pellicle is required. In addition, there are many problems such as lowering the cleaning efficiency of the pellicle storage container.
[0014]
The method of storing a pellicle according to the present invention is a completely new technique developed in view of the above-mentioned many conventional problems. In particular, by using the storage method of the present invention, it is possible to store all pellicles having a size equal to or smaller than the size of the protective film attached to the pellicle frame in one storage container, thereby greatly improving cost and product storage. The space can be used effectively. Further, the present invention provides a completely new technique having a great effect, such as a remarkable improvement in the efficiency of cleaning the storage container.
[0015]
[Means for Solving the Problems]
The present inventor has conducted intensive studies to achieve the above object, and as a result of carefully observing the process of storing and storing pellicles in a pellicle storage container, one type of pellicle is stored in one pellicle storage container. The inventors have found that there is a possibility that the cost may be deteriorated, a large space for storing the pellicle product may be required, and the efficiency of cleaning the pellicle storage container may be reduced, and the present invention has been achieved.
[0016]
The gist of the first invention of the method for storing a pellicle according to the present invention is a method for storing a pellicle for storing and transporting the pellicle in a storage container including a tray and a lid covered by the tray. The outer peripheral edge of the protective film attached to the lower surface is protruded from the pellicle frame to form a protruding portion, and when storing the pellicle, the protruding portion of the protective film is sandwiched between the tray and the lid. This is how the pellicle is stored.
[0017]
In the pellicle storage method according to the first aspect of the present invention, when the outer periphery of the protective film attached to the lower surface of the pellicle frame is protruded from the pellicle frame to form a projection, and the pellicle is stored in the storage container. Since the protruding portion is sandwiched between the tray and the lid, the storage container can store all pellicles having a smaller size than a protective film of a predetermined size that can be stored in the tray.
[0018]
Therefore, if one type of storage container having a large size is prepared, various types of pellicles having different sizes can be stored, and thus the types of storage containers can be significantly reduced. Further, the cost of the storage container can be significantly reduced, the efficiency of the cleaning operation of the storage container can be significantly improved, and the storage space of the storage container can be reduced to effectively use the place.
[0019]
The gist of the second invention of the method for storing a pellicle of the present invention is that a pellicle holding portion is protruded at a predetermined position on the inner peripheral surface of the ceiling of the lid of the storage container, and the lid is covered with the tray. A pellicle storage method according to a first aspect of the present invention, wherein the protruding portion is pressed and held by the pellicle holding portion.
[0020]
In the above second invention, the pellicle holding portion is protruded at a predetermined position on the inner peripheral surface of the ceiling of the lid of the pellicle storage container, and when the lid is covered on the tray, the protection film protrudes at the pellicle holding portion. Since the portion is sandwiched, the pellicle stored in the pellicle storage container can be reliably held in a stable state.
[0021]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
One embodiment of the method for storing a pellicle according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing a state where a pellicle is stored in a pellicle storage container including a tray and a lid, and FIG. It is sectional explanatory drawing of the state which covered the lid to one tray.
[0022]
A is a pellicle, and a pellicle film 3 is adhered to the upper edge of the pellicle frame 1 via an adhesive 2. The lower edge (lower surface) of the pellicle frame 1 is coated with an adhesive 4 used when attaching the pellicle A to a photomask or a reticle (hereinafter, simply referred to as a mask). A protective film 5 that can be easily peeled off when the device is attached is attached. Further, at a predetermined position on the side edge of the protective film 5, a protruding portion composed of a plurality of press allowances 5b is integrally provided at a predetermined distance from the ear portion 5a.
[0023]
The pellicle frame 1 may be made of any material as long as it can support the pellicle film 3, but may be a support frame such as an alumite-treated aluminum frame or a chrome-plated metal frame. A resin support frame made of engineering plastic or the like is used, and the shape thereof may be a square, a circle, or other various shapes. Usually, a metal frame is used in terms of ease of manufacture, strength, and the like.
[0024]
As the material of the transparent thin film layer (center layer) of the pellicle film 3, cellulose derivatives such as nitrocellulose, cellulose acetate, cellulose acetate butyrate, cellulose acetate propionate, ethyl cellulose, and carbonated acetyl cellulose can be used.
[0025]
Each of these cellulose derivatives may be used alone, or a mixture with two or more cellulose derivatives may be used. The higher the molecular weight of the cellulose derivative to be used, the better the shape retention of the thin film.
[0026]
That is, the number average molecular weight is 30,000 or more, preferably 50,000 or more. Among such materials, nitrocellulose manufactured by Asahi Kasei Corporation, cellulose acetate, cellulose acetate butyrate, and cellulose acetate propionate manufactured by Eastman Kodak Co., Ltd. are each commercially available and can be easily obtained. I can do it.
[0027]
As a solvent for the cellulose derivative, 2-butanone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, butyl acetate, isobutyl acetate, ethyl lactate, cellosolve, propylene glycol monomethyl ether acetate, and the like, and a mixture of these solvents are used.
[0028]
The solution of the cellulose derivative or the like is subjected to filtration for removing foreign substances in advance, and then spin-coated. The thickness of the transparent thin film (center layer) can be appropriately changed by changing the solution viscosity or the rotation speed of the substrate. The solvent contained in the thin film formed on the substrate is volatilized on a hot plate, an oven, or the like.
[0029]
The anti-reflection layer of the pellicle film 3 is composed of a single layer or two or more layers. In the case of a single layer (when the anti-reflection layer is formed on the front and back, the number of layers of the pellicle film 3 is three), the anti-reflection layer is formed. When the refractive index n1 of the layer is n1 = (nC) 1/2 with respect to the refractive index nC of the transparent thin film (center layer), the antireflection effect is maximized. The prevention effect increases. The thickness d of the antireflection layer may be n1 × d = λ / 4, where λ is the wavelength to be antireflection.
[0030]
When the number of antireflection layers is two (when the antireflection layers are formed on the front and back surfaces in the same manner as described above, the number of pellicle films 3 is five), the layer in contact with the transparent thin film layer is a high refractive index antireflection layer, The outermost layer is a low-refractive-index antireflection layer. If the refractive index and the thickness are n1, d1, n2, and d2, respectively, from the outermost antireflection layer, antireflection occurs when n2 / n1 = (nC) 1/2. The effect is maximized, and the antireflection effect increases as the n2 / n1 antireflection layer material closer to this value is selected.
[0031]
The thicknesses d1 and d2 of the antireflection layer may be n1 × d1 = n2 × d2 = λ / 4, where λ is the wavelength to be antireflection. In the center layer, a cellulose derivative, polyvinyl butyral, polyvinyl propional, or the like can be used. In this case, since the refractive index of these is around 1.5, (nC) 1/2 is about 1.22. Become. Therefore, as the refractive index of the antireflection layer material, when the antireflection layer is a single layer, the antireflection effect increases as n2 / n1 approaches 1.22, which is preferable.
[0032]
Examples of the material of the low refractive index antireflection layer used as the outermost layer include tetrafluoroethylene-vinylidene fluoride-hexafluoropropylene polymer, polyfluoroacrylate, and Teflon AF (manufactured by DuPont, which is a fluoropolymer having a cyclic structure in the main chain). Fluorine-based materials such as (trade name) and Cytop (trade name) manufactured by Asahi Glass Co., Ltd. can be used.
[0033]
Teflon AF improves the filterability, the antistatic property, and the adhesiveness between the pellicle film 3 and the pellicle frame 1 by irradiating radiation such as γ-ray, electron beam, α-ray, or light such as far ultraviolet rays.
[0034]
Next, a specific example of the pellicle film 3 will be described. First, cellulose acetate propionate ("CAP482-20", manufactured by Eastman Kodak Company, hereinafter referred to as "CAP") is dissolved in propylene glycol monomethyl ether acetate to prepare a CAP solution.
[0035]
In addition, a solution is prepared by dissolving a fluorine-containing resin as an antireflection layer in a solvent. First, the coating substrate is set on a spin coater, and the prepared CAP solution is filtered with a filter, and an appropriate amount of the filtrate is dropped on the coating substrate. Thereafter, the coating substrate is set at 1000 rpm for 45 seconds. Then, the solvent was evaporated on a hot plate to form a transparent thin film layer (center layer) of CAP having a thickness of 1 to 2 μm on the silicon wafer.
[0036]
Next, the above-prepared fluorinated resin solution is filtered with a filter, the filtrate is dropped on the center layer by a few cc, rotated at 600 rpm for 30 seconds, air-dried, and further dried on a hot plate. Then, an antireflection layer was formed.
[0037]
Further, the film was peeled off from the coating substrate at 23 ° C. and a relative humidity of 50%, and a few cc of the fluororesin solution was dropped on the exposed surface of the center layer of the two-layered film peeled from the substrate, and rotated at 600 rpm for 30 seconds. After that, the resultant was air-dried to form an antireflection layer, thereby obtaining a three-layer film. Subsequently, a three-layer pellicle film 3 was adhered to a pellicle frame 1 made of aluminum metal whose surface was anodized by using an ultraviolet curable adhesive on the upper surface.
[0038]
Next, a specific example of the pellicle storing method of the present invention which can store the pellicle A having the above-described configuration in a stable state will be described in detail with reference to FIGS.
[0039]
In carrying out the method for accommodating a pellicle according to the present invention, a pellicle comprising a tray 6 capable of accommodating the pellicle A having a size equal to or less than the size of the protective film 5 and a lid 7 capable of covering the tray 6. A storage container B is used.
[0040]
The tray 6 and the lid 7 of the pellicle storage container B are generally made of a material such as an acrylic resin, a PET resin, an ABS resin, and the like. A molding method such as a molding method and a vacuum molding method is used.
[0041]
It is preferable that the tray 6 and the lid 7 have conductivity for the following reasons. That is, when the tray 6 and the lid 7 are conductive, dust due to charging becomes difficult to adhere, and the work of removing foreign matter from the tray 6 and the lid 7 is reduced. In order to make the tray 6 and the lid 7 conductive as described above, a conductive material, for example, conductive carbon black, metal powder, or the like is used as a sub-material when the tray 6 and the lid 7 are molded. What is necessary is just to mix in.
[0042]
A plurality of pellicle holding portions 8a, 8b, 8c, 8d, 8e, 8f are provided at predetermined positions on the inner peripheral surface of the ceiling of the lid 7 of the pellicle storage container B at predetermined intervals. Therefore, when the lid 7 is covered with the tray 6, these pellicle holding portions 8 a, 8 b, 8 c, 8 d, 8 e, 8 f are attached to the protective film 5 of the pellicle A stored in the tray 6. It is configured to be in contact with the pressing margin 5b of the plurality of protrusions provided on the peripheral edge.
[0043]
In the method for storing a pellicle of the present invention, as described above, a protruding portion consisting of a pressing margin 5b is protruded from the peripheral edge of the protective film 5 of the pellicle A, and the pellicle A is stored in the pellicle storage container B. At this time, the protruding portion is pressed by the pellicle holding portions 8a, 8b, 8c, 8d, 8e, 8f so that the protective film 5 is held between the lid 7 and the tray 6, so that the pellicle A is stored in the pellicle. It can be held accurately and stably in the container B.
[0044]
Therefore, in the method of the present invention, the projection of the protective film 5 is sandwiched between a part of the lid 7 and the tray 6, so that the size of the protective film is contained in one pellicle storage container B. Various pellicles A having the following sizes can be stored in a stable state.
[0045]
In the above-described embodiment, the protruding portion formed of the plurality of protruding pressing margins 5b is provided on the outer peripheral edge of the protective film 5. However, the protruding portion does not necessarily have to be protruding, and a predetermined width is required. It may be a belt-like one that you have. Also, the pellicle holding portions 8a, 8b, 8c, 8d, 8e, 8f provided on the lid 7 may be formed, for example, in a rib shape, instead of being formed in a protruding shape.
[0046]
Therefore, by implementing the pellicle storage method of the present invention, the number of types of pellicle storage containers can be reduced and the cost can be significantly reduced, and the operation of storing the pellicle A in the pellicle storage container B and taking out the pellicle A are performed. The operation or the operation of cleaning the pellicle storage container B can be made extremely efficient. Further, the space for storing or transporting the pellicle A can be significantly and effectively utilized.
[0047]
【The invention's effect】
In the method for storing a pellicle according to the present invention, the outer peripheral edge of the protective film attached to the lower surface of the pellicle frame is formed to protrude from the pellicle frame to form a protruding portion, and when the pellicle is stored in the storage container, Since the protruding portion is sandwiched between the tray and the lid, the storage container has an effect that all pellicles having a size smaller than a predetermined-size protective film that can be stored in the tray can be stored. are doing.
[0048]
Therefore, if one type of storage container having a large size is prepared, various types of pellicles having different sizes can be stored, and thereby the type of storage container can be significantly reduced. Further, the cost of the storage container is significantly reduced, the efficiency of cleaning the storage container is remarkably improved, and the storage space of the storage container is reduced so that the space can be effectively used.
[0049]
Further, in the present invention, a pellicle holding portion is protruded at a predetermined position on the inner peripheral surface of the ceiling of the lid of the pellicle storage container, and when the lid is covered on the tray, the pellicle holding portion holds the projecting portion of the protective film. In this case, the pellicle stored in the pellicle storage container can be reliably held in a stable state.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an explanatory perspective view of a state where a pellicle is stored in a pellicle storage container including a tray and a lid.
FIG. 2 is a cross-sectional explanatory view of a state where a lid is covered on the tray of FIG. 1;
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Pellicle frame 2 ... Adhesive 3 ... Pellicle film 4 ... Adhesive material 5 ... Protective film 5a ... Ear portion 5b ... Pressing allowance 6 ... Tray 7 ... Lid 8a ... Pellicle clamping portion 8b ... Pellicle clamping portion 8c ... Pellicle clamping portion 8d ... Pellicle holding section 8e ... Pellicle holding section 8f ... Pellicle holding section A ... Pellicle B ... Pellicle storage container
