JP5767730B2 - How to remove a large pellicle from a storage container - Google Patents
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Description
本発明は、ＬＳＩ、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）を構成する薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）やカラーフィルター（ＣＦ）等を製造する際のリソグラフィー工程で使用されるフォトマスクやレティクルに異物が付着することを防止するために用いられる大型ペリクルの収納容器からの取出し方法に関する。 The present invention prevents foreign matter from adhering to a photomask or a reticle used in a lithography process when manufacturing a thin film transistor (TFT), a color filter (CF), or the like constituting an LSI or a liquid crystal display (LCD). The present invention relates to a method for taking out a large pellicle used in a storage container .
本発明はペリクル構造体及びその収納構造体に関する技術であるが、先ず、収納すべきペリクルについて説明する。
従来、半導体回路パターン等の製造に於いては、一般にペリクルと呼ばれる防塵手段を用いて、フォトマスクやレティクルへの異物の付着を防止することが行われている。ペリクルはフォトマスク或いはレティクルの形状に合わせた形状を有する厚さ数ミリ程度の枠体の上縁面に、厚さ１０μｍ以下のニトロセルロース或いはセルロース誘導体或いはフッ素ポリマーなどの透明な高分子膜（以下、「ペリクル膜」という）を展張して接着し、かつ該枠体の下縁面に粘着材を塗着したものであり、ペリクル構造体とは該ペリクルの粘着材からなる粘着材層上に所定の接着力で保護フィルムを粘着させたものである。
前記粘着材は、ペリクルをフォトマスク或いはレティクルに固着するためのものであり、また、保護フィルムは該粘着材がその用に供するまで該粘着材の接着力を維持するために、粘着材層の表面を保護するものである。
一般的には、ペリクルを製造するメーカーと最終的にペリクルをマスク等に貼付するマスク等のメーカー（以下「マスク製造者」ともいう。）とが地理的に離れている場合が多く、ペリクルメーカーからマスク製造者への運搬作業が必須となっている。その為、ペリクル構造体の運搬作業では、ペリクル膜等に異物が付着するのを防ぎ、或いは該ペリクル構造体が損傷するのを防ぐために、該ペリクル構造体をトレイと蓋とからなる収納容器に収納したペリクル収納構造体とし、更に防塵袋等に収納して梱包し、運搬するのが一般的である。
以上のような収納容器は、ペリクル構造体に塵埃を付着させないための密封性と、ペリクル膜に非接触な状態で確実に保持しうる保持性とが要求されることはもちろん、当然に、収納容器内でペリクル構造体が確実に固定されていることが要求される。
The present invention relates to a pellicle structure and a technology related to the storage structure. First, a pellicle to be stored will be described.
2. Description of the Related Art Conventionally, in the manufacture of semiconductor circuit patterns and the like, it has been practiced to prevent foreign matter from adhering to a photomask or a reticle using a dustproof means generally called a pellicle. The pellicle has a shape matching the shape of the photomask or reticle, and a transparent polymer film (hereinafter referred to as nitrocellulose, cellulose derivative or fluoropolymer) having a thickness of 10 μm or less on the upper edge surface of a frame having a thickness of several millimeters. The pellicle film) is spread and bonded, and an adhesive is applied to the lower edge surface of the frame, and the pellicle structure is formed on the adhesive layer made of the pellicle adhesive. A protective film is adhered with a predetermined adhesive force.
The pressure-sensitive adhesive material is for fixing the pellicle to a photomask or a reticle, and the protective film is used to maintain the adhesive force of the pressure-sensitive adhesive material until the pressure-sensitive adhesive material is used for that purpose. It protects the surface.
In general, the manufacturer of a pellicle and the manufacturer of a mask that ultimately attaches the pellicle to a mask (hereinafter also referred to as “mask manufacturer”) are often geographically separated. It is essential to carry the product to the mask manufacturer. Therefore, in carrying the pellicle structure, in order to prevent foreign matter from adhering to the pellicle film or the like, or to prevent damage to the pellicle structure, the pellicle structure is placed in a storage container composed of a tray and a lid. In general, the pellicle storage structure is stored and then stored in a dust-proof bag or the like, packed, and transported.
The storage container as described above is required to have a sealing property for preventing dust from adhering to the pellicle structure and a holding property capable of securely holding the pellicle film in a non-contact state, as a matter of course. It is required that the pellicle structure is securely fixed in the container.
このような要求に対して、トレイと蓋とからなる収納容器の該トレイの中央部に、大型ペリクルの枠体に接着し、かつ、枠体の四隅を除く外周縁の一部又は枠体の外周縁の全部を外側に突出させて押さえ代とした保護フィルムの該押さえ代を、該トレイに大型ペリクル構造体を搭載した際に、粘着テープを用いて該押さえ代を該トレイに粘着することによって、該大型ペリクル構造体を該トレイの中央部に保持固定した後、蓋をかぶせた大型ペリクル収納構造体とすることが提案されている（例えば、特許文献１を参照。）。
特に、近年は、マスク製造者においては、大型ペリクル構造体を収納容器から取り出す方法に替えて、収納容器から取り出したら直接マスクに取り付けられるよう、保護フィルムをトレイに貼着させた状態で、該保護フィルムと粘着材層の界面から剥離させることによって該大型ペリクルを収納容器から取り出す方法が採用されており、取り出しの際に該大型ペリクルに歪み撓みを生じさせることなく取り出す方法が要求されている（例えば、特許文献２を参照。）。
In response to such a demand, a part of the outer periphery excluding the four corners of the frame body or a part of the frame body is adhered to the frame of the large pellicle at the center of the tray of the storage container including the tray and the lid. When the large pellicle structure is mounted on the tray, the press margin of the protective film that has the entire outer peripheral edge protruding outwards is adhered to the tray using an adhesive tape. Thus, it has been proposed to hold and fix the large pellicle structure to the center of the tray and then to cover the large pellicle storage structure with a lid (see, for example, Patent Document 1).
In particular, in recent years, mask manufacturers have replaced the method of taking out the large pellicle structure from the storage container, with the protective film attached to the tray so that it can be directly attached to the mask once taken out from the storage container. A method of taking out the large pellicle from the storage container by peeling it from the interface between the protective film and the adhesive material layer is employed, and a method of taking out the large pellicle without causing distortion in the large pellicle is required. (For example, see Patent Document 2).
特許文献１の方法は、大型ペリクルをトレイに搭載した際にペリクルを安定して確実にトレイに保持固定できる点では出願時の技術水準に対して優れた技術といえる。しかし、今後、大型ペリクルが普及するにつれて表面化すると考えられる課題、すなわちマスク製造者が大型ペリクルを収納容器から取り出す際の取り出し易さについては改善する余地がある。
ペリクル収納構造体からのペリクルの取り出し方法については、例えば、矩形の枠体の辺の中央部近傍に配置された保護フィルムに相当するタブ（押さえ代）を接着テープでペリクル収納容器に固定したペリクル構造体をペリクル保持具によって保持しながら、かつ、該ペリクル保持具にかかる荷重を検出しながら該ペリクル保持具と収納容器との距離を離してペリクルを剥離させる方法も提案されている（例えば特許文献２）。しかし、この方法では、大型ペリクルの場合、辺の中央部に配置されたタブ（押さえ代）が接着テープで収納容器に保持されているため、たとえ、荷重を検出しながら剥離させたとしても、枠体のたわみを避けることができないと考えられる（特許文献２の図９を参照。）。
また、大型ペリクルにおいては、ペリクルの大きさの増加に対して、剛性が充分得られる程度にまでは枠体の幅や厚みを大きく出来ない為、枠体のたわみ量は大きくなる傾向にある。即ち、大型ペリクル構造体の収納・運搬・保管に際しては、トレイへの確実な保持固定に加えて、その後の収納容器からのペリクルの取り出しに際し、枠体にたわみやねじれを生じさせることなく、取り出すことができる方法が要求されているのである。そして、特に、面積１００００ｃｍ２以上の大型ペリクルにおいては、大型ペリクル自体の重さが大きくなり、ハンドリングも困難となるため、収納・運搬・保管に際しては、確実な保持固定はもちろん、収納容器からの取り出しの際、取り出し後直接マスク等に貼り付けられるよう、保護フィルムと粘着材の界面から該大型ペリクルの歪み撓みを生じさせることなく取り出す方法が要求されている。
しかしながら、本発明者らが検討した結果、上述した大型ペリクル構造体をトレイに粘着テープで貼り付けた保護フィルムから剥離させて取り出すときに、保護フィルムの四隅の押さえ代の形状によっては該保護フィルムが粘着テープによる固定からはずれてしまうことが判明した。
即ち、本発明は、収納・移送・保管時にはトレイに確実な保持固定が可能であり、かつ、フォトマスク等に貼り付ける際には簡単に歪みやたわみを発生させることなく収納容器から大型ペリクルを取り出すことを可能とせしめる大型ペリクル構造体を提供するものである。また、該大型ペリクル構造体を収納容器に固定した大型ペリクルの収納構造体を提供する。
The method of Patent Document 1 can be said to be an excellent technique with respect to the technical level at the time of filing in that the pellicle can be stably held and fixed on the tray when a large pellicle is mounted on the tray. However, in the future, there is room for improvement with respect to the problems that are likely to be brought to the surface as large pellicles become widespread, that is, the ease with which the mask manufacturer can remove the large pellicles from the storage container.
As for the method of taking out the pellicle from the pellicle storage structure, for example, a pellicle in which a tab (pressing margin) corresponding to a protective film disposed near the center of the side of the rectangular frame is fixed to the pellicle storage container with an adhesive tape There has also been proposed a method in which the pellicle is peeled off while the structure is held by the pellicle holder and the distance between the pellicle holder and the storage container is separated while detecting the load applied to the pellicle holder (for example, a patent) Reference 2). However, in this method, in the case of a large pellicle, the tab (pressing allowance) arranged at the center of the side is held in the storage container with an adhesive tape, so even if it is peeled off while detecting the load, It is considered that the deflection of the frame cannot be avoided (see FIG. 9 of Patent Document 2).
Further, in the case of a large pellicle, as the size of the pellicle increases, the width and thickness of the frame cannot be increased to the extent that sufficient rigidity is obtained, and therefore the amount of deflection of the frame tends to increase. That is, when storing, transporting, and storing a large pellicle structure, in addition to securely holding and fixing the pellicle structure, when removing the pellicle from the storage container, take out the frame without causing deflection or twisting. There is a need for a method that can do this. In particular, in the case of a large pellicle with an area of 10000 cm 2 or more, the large pellicle itself becomes heavy and difficult to handle. At the time of taking out, a method of taking out the large pellicle from the interface between the protective film and the adhesive without causing distortion of the large pellicle is required so that it can be directly attached to a mask or the like after taking out.
However, as a result of the study by the present inventors, when the large pellicle structure described above is peeled off from the protective film attached to the tray with the adhesive tape and taken out, the protective film depends on the shape of the pressing margins at the four corners of the protective film. Was found to be out of fixing with adhesive tape.
That is, according to the present invention, the large pellicle can be securely held and fixed to the tray at the time of storage, transfer, and storage, and the large pellicle can be easily removed from the storage container without causing distortion or deflection when being attached to a photomask or the like. The present invention provides a large pellicle structure that can be taken out. A large pellicle storage structure in which the large pellicle structure is fixed to a storage container is also provided.
本発明者らは、前記課題を解決するために鋭意検討した結果、収納容器に大型ペリクル構造体を保持固定するために利用する保護フィルムの第一の押さえ代の位置と形状を特定することで、前記課題を解決せしめた。すなわち、本発明は、以下の収納容器からの大型ペリクルの取出し方法である。
１．枠体と、該枠体の上縁面に接着されたペリクル膜と、該枠体の下縁面に塗着された粘着材からなる粘着材層と、該粘着材層に粘着された保護フィルムからなり、該ペリクル膜が面積１００００ｃｍ ２ 以上の大型ペリクル構造体であって、枠体が矩形の形状を有し、保護フィルムが該枠体より外側に突出した第一の押さえ代を有しており、該第一の押さえ代は該枠体の一頂点を含む二辺上に位置するとともに該枠体の形状に沿ったＬ字形状を有していることを特徴とする大型ペリクル構造体を、
トレイと蓋とからなるペリクル収納容器に収納した大型ペリクル収納構造体であって、少なくとも前記第一のＬ字形状を有する押さえ代のそれぞれ２辺に沿って粘着テープでトレイに固定されている大型ペリクル収納構造体から、
前記保護フィルムをトレイに固定したまま粘着材層と保護フィルムとの界面で剥離させる工程を含む、
収納容器からの大型ペリクルの取出し方法。
２．第一の押さえ代が有するＬ字形状の最も長い辺が２０ｍｍ以上であり、枠体の辺に対して垂直または鈍角に突出していることを特徴とする上記１に記載の方法。
３．保護フィルムが、枠体より外側に突出した第二の押さえ代を有しており、該第二の押さえ代は該枠体の頂点を含まない一辺上に位置するとともに該枠体の形状に沿った矩形状を有していることを特徴とする上記１または２のいずれかに記載の方法。
４．第一の押さえ代が枠体の四隅のそれぞれに存在すると共に、第二の押さえ代が枠体の４辺のそれぞれに１つ以上ずつ存在することを特徴とする上記３に記載の方法。
５．第二の押さえ代が枠体の４辺の中央部には存在しないことを特徴とする上記３または４に記載の方法。
６．第一の押さえ代と第二の押さえ代の両方がトレイに固定されていることを特徴とする上記１〜５のいずれかに記載の方法。
As a result of intensive studies to solve the above problems, the present inventors have identified the position and shape of the first pressing margin of the protective film used for holding and fixing the large pellicle structure to the storage container. The problem has been solved. That is, the present invention is a method for taking out a large pellicle from the following storage container .
1. A frame, a pellicle film bonded to the upper edge of the frame, an adhesive layer made of an adhesive applied to the lower edge of the frame, and a protective film adhered to the adhesive layer The pellicle membrane is a large pellicle structure having an area of 10000 cm 2 or more, the frame has a rectangular shape, and the protective film has a first pressing margin protruding outward from the frame. A large pellicle structure characterized in that the first holding allowance is located on two sides including one vertex of the frame body and has an L-shape along the shape of the frame body. ,
A large pellicle storage structure housed in a pellicle storage container comprising a tray and a lid, wherein the large pellicle storage structure is fixed to the tray with an adhesive tape along at least two sides of the press margin having the first L-shape. From the pellicle storage structure,
Including a step of peeling at the interface between the adhesive layer and the protective film while fixing the protective film to the tray,
How to remove a large pellicle from the storage container .
2. 2. The method according to 1 above, wherein the longest side of the L-shape of the first pressing margin is 20 mm or more and protrudes perpendicularly or obtusely to the side of the frame.
3. The protective film has a second pressing margin protruding outward from the frame, and the second pressing margin is located on one side not including the apex of the frame and follows the shape of the frame. 3. The method according to any one of the above 1 or 2, wherein the method has a rectangular shape.
4). 4. The method according to 3 above, wherein the first pressing margin exists at each of the four corners of the frame body, and one or more second pressing margin exists at each of the four sides of the frame body.
5. 5. The method according to 3 or 4 above, wherein the second pressing margin does not exist at the center of the four sides of the frame.
6). 6. The method according to any one of the above 1 to 5, wherein both the first pressing margin and the second pressing margin are fixed to the tray.
本発明の収納容器からの大型ペリクルの取出し方法によって、収納・移送・保管時には収納容器を構成するトレイに大型ペリクルの確実な保持固定が可能である。また、本発明の大型ペリクル収納構造体によって、ペリクルをフォトマスク等に貼り付ける際には簡単に、かつ、大型ペリクルに歪み撓みを生じさせることなく収納容器から取り出すことが可能となった。 By the method for taking out the large pellicle from the storage container of the present invention, the large pellicle can be securely held and fixed to the tray constituting the storage container during storage, transfer and storage. The large pellicle storage structure of the present invention enables the pellicle to be easily removed from the storage container when the pellicle is attached to a photomask or the like without causing distortion of the large pellicle.
添付の図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。以下に説明する実施の形態は本発明の構成の例であり、本発明は、以下の実施の形態に制限されるものではない。
図１は本発明に係る大型ペリクル構造体を収納容器に固定した大型ペリクル収納構造体が表されており、実際に大型ペリクルが収納容器に収納された状態の縦断面説明図である。図２は、図１の大型ペリクル構造体が収納されている要部の拡大説明図である。図３〜図７は、図１の大型ペリクルに用いられる本発明に係る保護フィルムの形態例を示す平面図である。
図１及び図２において、大型ペリクルＡは、ペリクル膜３の面積が１００００ｃｍ２以上の大型ペリクルである。本発明は、ペリクル膜３の面積が大きければ大きいほど顕著な効果があらわれ、特に１５０００ｃｍ２以上であるとより顕著な効果が現れる。
大型ペリクルＡは、枠体１と、枠体１の上縁面に接着されたペリクル膜３と、枠体１の下縁面に塗着された粘着材層４とからなる。ここでペリクル膜３は枠体１の上縁面に接着剤層２を介して接着されている。大型ペリクル構造体とは、大型ペリクルＡの枠体１の下縁面に、粘着材層４を介して保護フィルム５が粘着された構造体のことを意味する。なお、ペリクル膜３の面積は、枠体１の外形面積に相当する。
ここでいう粘着材としては、公知のものを用いることが可能である。一般的には、粘着材として、スチレンエチレンブチレンスチレン系、スチレンエチレンプロピレンスチレン系、もしくはオレフィン系等のホットメルト粘着材、シリコーン系粘着材、アクリル系粘着材、または発泡フィルム等の基材からなる両面粘着テープを用いることが可能である。ホットメルト粘着材に関しては、通常のシリンジ等を用いる押出し塗布によって枠体１に配置することができる。さらに、押出し塗布後、熱、圧力をかけながら平面板のような成型盤でプレス等を行っても良い。
本発明では、保護フィルム５は、枠体１より外側に突出させた、該枠体の一頂点を含む二辺上に位置するとともに該枠体の形状に沿ったＬ字形状を有していることを特徴とする第一の押さえ代５ｂを有する。また、該第一の押さえ代に加えて、枠体１より外側に突出させた、該枠体の頂点を含まない一辺上に位置するとともに該枠体の形状に沿った矩形状を有していることを特徴とする第二の押さえ代５ａを有することがより好ましい。
該押さえ代は、大型ペリクル構造体をトレイ６に固定するのに使用される。固定方法としては、例えば、押さえ代とトレイに孔をあけてネジ止めにより固定する方法、トレイと押さえ代の間を両面粘着テープで固定する方法、または図１及び図２に記載のように押さえ代の上から粘着テープ９でトレイに固定する方法が考えられるが、押さえ代の上から粘着テープ９でトレイに固定する方法が最も容易であり好ましい。
大型ペリクル構造体には、前述したように収納・移送・保管に際し、収納容器Ｂに確実に保持固定されており、かつ、収納容器から大型ペリクルＡを取り出す時に大型ペリクルＡに変形・歪が生じることなく取り出しやすいことが要求される。これらの点を満足するには、保護フィルム５の枠体１より外側に突出させた押さえ代５ａ、５ｂを利用して粘着テープ９を介して収納容器Ｂのトレイ６上に固定した時の第一の押さえ代５ｂがL字形状を有していることにより取り出し時の保護フィルムの脱落が防止される。そしてこのような条件を満足する大型ペリクル構造体は、これまで本発明者らが試行した収納・移送・保管の工程においてペリクルが脱落することがなく、自動取り出し機による大型ペリクルＡの取り出しの際に保護フィルムが粘着テープによるトレイへの固定から外れることなく容易に取り出すことが達成できた。
特に第一の押さえ代５ｂが有するＬ字形状の最も長い辺が２０ｍｍ以上であり、かつ該矩形の辺に対して垂直（図３（ａ）、３（ｃ）等）または鈍角（図３（ｂ）等）に突出していると粘着テープで固定された保護フィルムがずれたり固定から外れることが少なく、より効果的に大型ペリクルＡを取り出すことが可能となる。第一の押さえ代５ｂが有するＬ字形状の最も長い辺の長さが２０ｍｍ未満であったり、該矩形の辺に対して鋭角に突出していたりする場合は、大型ペリクルＡを取り出す際に保護フィルムにかかる荷重により粘着テープによる固定からずれたり外れたりするために効率的に取り出すことが出来なかったり、自動取り出し機による大型ペリクルＡの取り出し自体が出来なくなってしまう場合もある。なお、第一の押さえ代５ｂが有するＬ字形状の最も長い辺の長さとは、該Ｌ字形状部分を６辺形とみなした時の最も長い辺の長さのことをいい、図２（ｃ）及び図２（ｄ）のＬで表される長さをいう。
Embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. The embodiment described below is an example of the configuration of the present invention, and the present invention is not limited to the following embodiment.
FIG. 1 shows a large pellicle storage structure in which a large pellicle structure according to the present invention is fixed to a storage container. FIG. 1 is a longitudinal cross-sectional explanatory view showing a state where the large pellicle is actually stored in the storage container. FIG. 2 is an enlarged explanatory view of a main part in which the large pellicle structure of FIG. 1 is accommodated. 3-7 is a top view which shows the form example of the protective film based on this invention used for the large pellicle of FIG.
1 and 2, a large pellicle A is a large pellicle having a pellicle film 3 with an area of 10,000 cm 2 or more. In the present invention, the larger the area of the pellicle film 3, the more remarkable the effect. In particular, when the area is 15000 cm 2 or more, the more remarkable effect appears.
The large pellicle A includes a frame 1, a pellicle film 3 bonded to the upper edge surface of the frame body 1, and an adhesive material layer 4 applied to the lower edge surface of the frame body 1. Here, the pellicle film 3 is bonded to the upper edge surface of the frame 1 via the adhesive layer 2. The large pellicle structure means a structure in which the protective film 5 is adhered to the lower edge surface of the frame 1 of the large pellicle A via the adhesive material layer 4. The area of the pellicle film 3 corresponds to the outer area of the frame 1.
A well-known thing can be used as an adhesive material here. Generally, the adhesive is made of a base material such as a hot-melt adhesive such as styrene ethylene butylene styrene, styrene ethylene propylene styrene, or olefin, a silicone adhesive, an acrylic adhesive, or a foam film. Double-sided adhesive tape can be used. The hot melt adhesive material can be disposed on the frame 1 by extrusion coating using a normal syringe or the like. Further, after extrusion coating, pressing or the like may be performed with a molding machine such as a flat plate while applying heat and pressure.
In the present invention, the protective film 5 has an L-shape that projects outward from the frame body 1 and is positioned on two sides including one apex of the frame body and conforms to the shape of the frame body. The first presser allowance 5b is characterized. Further, in addition to the first pressing allowance, it has a rectangular shape that protrudes outward from the frame body 1 and that is located on one side not including the vertex of the frame body and that conforms to the shape of the frame body. It is more preferable to have the second press-down allowance 5a characterized by being.
The press margin is used to fix the large pellicle structure to the tray 6. As a fixing method, for example, a method of fixing a press margin and a tray with a hole and fixing with screws, a method of fixing between the tray and the press margin with a double-sided adhesive tape, or a press as shown in FIG. 1 and FIG. Although the method of fixing to a tray with the adhesive tape 9 from the top is considered, the method of fixing to a tray with the adhesive tape 9 from the top of a holding | maintenance is the easiest and preferable.
As described above, the large pellicle structure is securely held and fixed to the storage container B during storage, transfer, and storage, and deformation and distortion occur in the large pellicle A when the large pellicle A is removed from the storage container. It is required to be easily taken out without any problems. In order to satisfy these points, the first time when the protective film 5 is fixed on the tray 6 of the storage container B via the adhesive tape 9 by using the pressing margins 5a and 5b protruding outward from the frame 1 is used. Since the presser allowance 5b has an L shape, the protective film is prevented from falling off during removal. The large pellicle structure satisfying such conditions does not drop out in the storage, transfer, and storage processes that the inventors have tried so far, and the large pellicle A is taken out by the automatic take-out machine. In addition, it was possible to easily remove the protective film without detaching from the fixing to the tray with the adhesive tape.
In particular, the longest side of the L-shape of the first presser allowance 5b is 20 mm or more, and is perpendicular (FIG. 3 (a), 3 (c), etc.) or obtuse angle (FIG. 3 ( When protruding in b) or the like), the protective film fixed with the adhesive tape is less likely to be displaced or unfixed, and the large pellicle A can be taken out more effectively. When the length of the longest side of the L-shape of the first presser allowance 5b is less than 20 mm or protrudes at an acute angle with respect to the side of the rectangle, the protective film is taken out when the large pellicle A is taken out. In some cases, it may not be possible to take out efficiently because it is displaced from or fixed to the adhesive tape due to the load applied thereto, or the large pellicle A may not be taken out by the automatic takeout machine. The length of the longest side of the L-shape of the first press margin 5b refers to the length of the longest side when the L-shaped portion is regarded as a hexagon, as shown in FIG. c) and the length represented by L in FIG.
本発明は、ペリクルの枠体１の形状（例えば、矩形以外に円、楕円、多角形といったマスク等の形状に対応した様々な形状）、材質に影響されることなく、品質の安定したペリクルをマスク製造者に供給せしめることを可能にする点において特徴を有するものである。そして、収納する収納容器Ｂの形態に適応させて、枠体１の特定の箇所に保護フィルム５に特定の形状を有する押さえ代を突出させることも可能である。
上記のように、大型ペリクル構造体の保護フィルム５の形状はマスク等の様々な形状、収納容器の様々な態様に対応することは可能であるが、本発明では、矩形の枠体を用いた場合、以下に説明する条件を満足すると、より効果を奏するので、以下に説明する。
本発明では、大型ペリクル構造体の枠体１に矩形の枠体を用いた場合、押さえ代５ｂが、該枠体の形状に沿ったＬ字形状を有することによって、保持固定に関して効果を奏する。
The present invention provides a pellicle having a stable quality without being affected by the shape of the frame 1 of the pellicle (for example, various shapes corresponding to the shape of a mask such as a circle, an ellipse, or a polygon in addition to a rectangle). It is characterized in that it can be supplied to a mask manufacturer. And it is also possible to make the press margin which has a specific shape protrude in the protective film 5 in the specific location of the frame 1 according to the form of the storage container B to store.
As described above, the shape of the protective film 5 of the large pellicle structure can correspond to various shapes such as a mask and various aspects of the storage container, but in the present invention, a rectangular frame is used. In this case, if the conditions described below are satisfied, the effect is further improved.
In the present invention, when a rectangular frame is used for the frame 1 of the large pellicle structure, the holding allowance 5b has an L-shape along the shape of the frame, thereby providing an effect with respect to holding and fixing.
ここで上記効果の差異について、説明の便宜上、本実施形態に含まれない保護フィルムの形態例を示して説明する。図７は、本実施形態に含まれない保護フィルムの形態例を示す平面図であり、図７（ａ）は、第一の押さえ代５ｂが枠体の形状に沿ったＬ字形状を有していず、単に枠体の矩形の辺に対して鋭角に突出している形態例である。
図７（ａ）に示すように、矩形の四隅にある第一の押さえ代５ｂが枠体の形状に沿ったＬ字形状をしていずに矩形の辺に対して鋭角に突出していると、該第一の押さえ代でトレイに固定した大型ペリクルＡを取り出す際に、保護フィルムのトレイに固定されている面積が少なくかつ枠体の四隅に集中的にかかる荷重の方向に対して引っかかりが無くなるために、該保護フィルムがトレイ固定からずれたり外れて大型ペリクルＡに粘着したまま取り出されたりしやすくなる。
一方、図３〜６に示すように、第一の押さえ代５ｂが枠体の形状に沿ったＬ字形状を有する場合は、四隅において保護フィルムをトレイに固定する面積を大きくできるため、大型ペリクル収納構造体より大型ペリクルＡを取り出す時に枠体の四隅にかかる荷重に耐えることが可能になる。さらに、第一の押さえ代が、枠体の辺に対して直角または鈍角に突出している場合、大型ペリクルＡ取り出し時に枠体の四隅に集中的にかかる荷重方向に対して該第一の押さえ代のエッジが引っかかるためにトレイ固定からずれたり外れたりすることが少なくなる。更に、第一の押さえ代の矩形頂点からの長さが長いほどトレイに固定できる第一の押さえ代の面積が大きくなるために効果的である。しかしながら、第一の押さえ代の長さが極端に長すぎる場合や第二の押さえ代と一体化してしまうと自動取り出し機による大型ペリクルＡ取り出しの際に保護フィルムのうねりが無くなるために荷重を緩衝することが出来なくなり、剥離荷重に達した瞬間に一気に大型ペリクルＡが外れてしまうために大型ペリクルＡに大きな衝撃が加わり膜当たりや発塵が生じることがある。従って、第一の押さえ代の長さは２０ｍｍ以上６０ｍｍ以下であることがより好ましい。
以上のことから、本発明の大型ペリクル構造体では、矩形の枠体１を用いた場合には十分な大型ペリクル構造体の保持・固定を達成するには、第二の押さえ代５ａは、四辺中少なくとも一辺に配置されている押さえ代が、矩形を構成する四隅の頂点Ｃから３０ｍｍ以上７０ｍｍ以内の位置を始点Ｘとして配置されていることが好ましい。さらに四隅の頂点Ｃから、いずれの辺においても３０ｍｍ以上７０ｍｍ以下の位置が始点Ｘになることが好ましい。
Here, for the convenience of explanation, the difference in the above effects will be described by showing an example of a protective film that is not included in the present embodiment. FIG. 7 is a plan view showing an example of a protective film that is not included in the present embodiment, and FIG. 7A has an L-shape in which the first press margin 5b follows the shape of the frame. It is a form example which protrudes at an acute angle with respect to the rectangular side of the frame.
As shown in FIG. 7 (a), when the first holding allowance 5b at the four corners of the rectangle does not have an L shape along the shape of the frame and protrudes at an acute angle with respect to the side of the rectangle, When taking out the large pellicle A fixed to the tray with the first press margin, the area of the protective film fixed to the tray is small and there is no catch in the direction of the load that is concentrated on the four corners of the frame. For this reason, the protective film is easily removed from the tray fixing or removed while sticking to the large pellicle A.
On the other hand, as shown in FIGS. 3 to 6, when the first press margin 5b has an L shape along the shape of the frame, the area for fixing the protective film to the tray at the four corners can be increased. When taking out the large pellicle A from the storage structure, it becomes possible to withstand the load applied to the four corners of the frame. Further, when the first pressing margin protrudes at a right angle or an obtuse angle with respect to the side of the frame body, the first pressing margin with respect to the load direction concentrated on the four corners of the frame body when the large pellicle A is taken out. Since the edge of the sheet is caught, it is less likely that the tray is displaced or disengaged. Further, the longer the length of the first presser foot from the rectangular vertex, the more effective the area of the first presser foot that can be fixed to the tray. However, if the length of the first presser foot is too long, or if it is integrated with the second presser foot, the protective film swells when the large pellicle A is taken out by the automatic take-out machine, so the load is buffered. When the peel load is reached, the large pellicle A is detached at a stroke, so that a large impact is applied to the large pellicle A, and there is a case where a film hit or dust generation occurs. Therefore, the length of the first pressing margin is more preferably 20 mm or more and 60 mm or less.
From the above, in the large pellicle structure of the present invention, when the rectangular frame 1 is used, in order to achieve sufficient holding and fixing of the large pellicle structure, the second press margin 5a has four sides. It is preferable that the pressing allowances arranged on at least one side are arranged with the starting point X being a position within 30 mm to 70 mm from the apexes C of the four corners constituting the rectangle. Furthermore, it is preferable that the position of 30 mm or more and 70 mm or less is the starting point X on any side from the vertex C of the four corners.
さらに、保護フィルム５の第二の押さえ代５ａの終点Ｙが辺部１１の中央部Ｚまでの間に配置されていると、より大型ペリクルＡの取り出しやすさに関して効果を奏する。ここに、第二の押さえ代５ａの終点Ｙは、図２（ｅ）に示すように、四隅の頂点Ｃを基点として辺の中央部Ｚに向かう方向に沿って、押さえ代５ａが終わる境界で表される。換言すると、矩形の枠体の辺の中央付近に第二の押さえ代が存在しないことがより好ましい。これは、発明者らが様々な態様で試行錯誤した結果、第二の押さえ代５ａが、辺部１１の中央付近に位置する場合と、位置しない場合とでは、効果が異なるという知見を得たことに基づく。
一方、図４に示すように、辺部１１の中央付近に第二の押さえ代が存在せず、辺部１１の中央付近ではなく四隅と中央付近の間に存在する（例えば頂点から３０ｍｍ以上７０ｍｍ以下離れた箇所）第二の押さえ代５ａを、粘着テープを介して収納容器のトレイの表面に粘着固定している場合を考える。保護フィルム５をトレイに貼着させた状態で保護フィルム５と粘着材の界面から大型ペリクルＡを取り出す際、枠体の辺の四隅付近は中央部付近よりも剛性が高いため、保護フィルム５と粘着材層の界面を剥離させるための力により、剥離が開始される前に、枠体の辺の四隅付近の歪み撓みは生じにくい。このような保護フィルム５として、例えば、図４の長辺及び短辺、図５の長辺、並びに図６の短辺は辺部１１の中央付近に押さえ代が存在しないより好ましい形態例である。
ここで本実施形態に係る保護フィルムは、四辺中少なくとも一辺の押さえ代の終点が始点と辺の中央部までの間に配置されている形態を含むが、四辺全ての押さえ代の終点が始点と辺の中央部までの間に配置されている形態、すなわち、全ての辺において中央付近に押さえ代が存在しない形態（例えば図４示される形態）がより好ましい。大型ペリクル構造体の保持・固定具合及び、大型ペリクル収納構造体からの大型ペリクルの取り外し性について方向依存性が少なくなり、取り扱い性が向上する。
即ち、本発明では、矩形のペリクルの場合、保護フィルムの第一の押さえ代が枠体の形状に沿ったＬ字形状であり、かつ矩形の辺に対して直角または鈍角に突出している場合にはペリクルの取り出しやすさに抗力を示し、第二の押さえ代の始点が頂点以外にあり、特に、頂点近傍（頂点から３０ｍｍ以上７０ｍｍ以下）にある場合には、保持・固定に効力を示すので最も好ましい。
Furthermore, when the end point Y of the second pressing margin 5a of the protective film 5 is arranged up to the center part Z of the side part 11, there is an effect regarding the ease of taking out the larger pellicle A. Here, the end point Y of the second presser allowance 5a is a boundary where the presser allowance 5a ends along the direction toward the center Z of the side with the apexes C at the four corners as base points, as shown in FIG. 2 (e). expressed. In other words, it is more preferable that the second pressing margin does not exist near the center of the side of the rectangular frame. As a result of the trial and error by the inventors in various aspects, the inventors have found that the effect of the second presser allowance 5a is different between the case where it is located near the center of the side portion 11 and the case where it is not located. Based on that.
On the other hand, as shown in FIG. 4, there is no second press margin near the center of the side portion 11, and it is not between the center of the side portion 11 but between the four corners and the vicinity of the center (for example, 30 mm to 70 mm from the apex). Consider the case where the second pressing margin 5a is adhesively fixed to the surface of the tray of the storage container via an adhesive tape. When the large pellicle A is taken out from the interface between the protective film 5 and the adhesive material with the protective film 5 adhered to the tray, the vicinity of the four corners of the side of the frame body is higher in rigidity than the vicinity of the central portion. Due to the force for peeling the interface of the adhesive material layer, distortion and bending near the four corners of the side of the frame body hardly occur before the peeling is started. As such a protective film 5, for example, the long side and the short side in FIG. 4, the long side in FIG. 5, and the short side in FIG. 6 are more preferable embodiments in which there is no pressing margin near the center of the side portion 11. .
Here, the protective film according to the present embodiment includes a form in which the end point of the pressing allowance of at least one side among the four sides is arranged between the start point and the central portion of the side, but the end points of the press allowances of all four sides are the start point. A form arranged between the sides of the side, that is, a form in which there is no pressing margin near the center in all sides (for example, a form shown in FIG. 4) is more preferable. The direction dependency of the holding and fixing of the large pellicle structure and the detachability of the large pellicle from the large pellicle storage structure are reduced, and the handling is improved.
That is, in the present invention, in the case of a rectangular pellicle, when the first pressing margin of the protective film is L-shaped along the shape of the frame and protrudes at a right angle or an obtuse angle with respect to the side of the rectangle. Shows drag against the ease of taking out the pellicle, and the second presser foot has a starting point other than the apex, especially when it is in the vicinity of the apex (30 mm or more and 70 mm or less from the apex). Most preferred.
本発明で用いる枠体の材質、ペリクル膜の材質は、従来一般的に用いられているものを使用することができる。例えば、枠体の材質については、アルミニウムやその合金、例えばジュラルミン、或いは、鉄や鉄系合金、例えばステンレスといったペリクルに用いられる物であれば構わないが、大型化による自重の増加を考慮すれば、軽量で、かつ、剛性を有するものを用いることが好ましく、例えば、アルミニウムやその合金が好ましい。 As the material of the frame and the material of the pellicle film used in the present invention, those generally used conventionally can be used. For example, the material of the frame may be any material used for a pellicle such as aluminum or an alloy thereof, such as duralumin, or iron or an iron-based alloy, such as stainless steel. It is preferable to use a lightweight and rigid material, for example, aluminum or an alloy thereof.
次に、大型ペリクル構造体を収納容器へ収納して大型ペリクル収納構造体を得る方法、及び、該大型ペリクル収納構造体から大型ペリクルを取り出す方法について、図を参照して説明する。
図１及び図２（ａ）及び（ｂ）においては、大型ペリクルＡは、既に詳述したようにペリクル膜３の面積が１００００ｃｍ２以上、特に１５０００ｃｍ２以上の大型ペリクルであり、枠体１と、枠体１の上縁面に接着剤層２を会して接着されたペリクル膜３と、枠体１の下縁面に塗着された粘着材層４と、粘着材層４を保護するために粘着材層４に粘着された保護フィルム５から構成されている。
上述の態様においては、枠体１の下縁面に粘着材４を塗着したが、予め粘着材４と保護フィルム５が層状に形成された層状粘着材を使用する場合には、単に枠体１の下縁面に該層状粘着材を積層して粘着するのみでよい。しかし、本明細書においては、このような場合も含めて単に「塗着する」と称する。次に、前述のように構成された大型ペリクルＡは、トレイ６と蓋７とからなる収納容器Ｂに収納されている。蓋７とトレイ６との嵌合面は全周にわたり、テープ８でシールするか、または、トレイ６と蓋７とのコーナー部にクリップを取り付けることで固定してもよい。
大型ペリクルＡの保護フィルム５の外周縁の外側には粘着テープ９によってトレイ６の表面に粘着固定される第一の押さえ代５ｂが突設されている。この押さえ代５ｂの寸法は、本発明者等が種々の実験を重ねた結果、長さＬが２０ｍｍ以上でであることが好ましく、さらに、図２（ｃ）で示す幅ｗが６ｍｍ以上であることが好ましく、１０ｍｍ以上であることがより好ましいことが明らかになった。このような寸法を持った押さえ代５ｂは粘着テープ９を介してトレイ６の表面に安定した状態で容易に粘着固定することができた。
また、大型ペリクルＡの保護フィルム５の外周縁の外側には粘着テープ９によってトレイ６の表面に粘着固定される第二の押さえ代５ａが突設されている。この押さえ代５ａの寸法は、本発明者等が種々の実験を重ねた結果、長さＬ＝２０〜６０ｍｍで、さらに、図２（ｂ）で示す幅ｗが６ｍｍ以上であることが好ましく、１０ｍｍ以上であることがより好ましいことが明らかになった。このような寸法を持った押さえ代５ａは粘着テープ９を介してトレイ６の表面に安定した状態で容易に粘着固定することができた。
Next, a method for obtaining a large pellicle storage structure by storing the large pellicle structure in a storage container and a method for taking out the large pellicle from the large pellicle storage structure will be described with reference to the drawings.
In FIGS. 1 and 2A and 2B, the large pellicle A is a large pellicle having an area of the pellicle film 3 of 10,000 cm 2 or more, particularly 15000 cm 2 or more, as already described in detail. The pellicle film 3 bonded to the upper edge surface of the frame body 1 with the adhesive layer 2 bonded thereto, the adhesive material layer 4 applied to the lower edge surface of the frame body 1, and the adhesive material layer 4 are protected. Therefore, the protective film 5 is adhered to the adhesive layer 4.
In the above-described embodiment, the adhesive material 4 is applied to the lower edge surface of the frame body 1. However, when a layered adhesive material in which the adhesive material 4 and the protective film 5 are formed in advance is used, the frame body is simply used. It is only necessary to laminate and adhere the laminar adhesive material to the lower edge surface of 1. However, in this specification, including such a case, it is simply referred to as “coating”. Next, the large pellicle A configured as described above is stored in a storage container B including a tray 6 and a lid 7. The fitting surface between the lid 7 and the tray 6 may be sealed by tape 8 over the entire circumference, or may be fixed by attaching a clip to a corner portion between the tray 6 and the lid 7.
On the outside of the outer peripheral edge of the protective film 5 of the large pellicle A, a first pressing margin 5b that sticks and is fixed to the surface of the tray 6 by an adhesive tape 9 is projected. As a result of the present inventors conducting various experiments, the length L of the presser allowance 5b is preferably 20 mm or more, and the width w shown in FIG. 2 (c) is 6 mm or more. It is preferable that the thickness is 10 mm or more. The holding allowance 5b having such dimensions could be easily adhesively fixed to the surface of the tray 6 via the adhesive tape 9 in a stable state.
Further, a second pressing margin 5 a that is adhesively fixed to the surface of the tray 6 with an adhesive tape 9 is provided on the outer side of the outer peripheral edge of the protective film 5 of the large pellicle A. As a result of the present inventors repeating various experiments, the dimension of the press margin 5a is preferably a length L = 20 to 60 mm, and the width w shown in FIG. 2 (b) is preferably 6 mm or more. It became clear that it is more preferable that it is 10 mm or more. The presser allowance 5a having such dimensions could be easily fixed to the surface of the tray 6 with an adhesive tape 9 in a stable state.
本発明の大型ペリクル構造体及び大型ペリクル収納構造体を実施するに当っては、前述の図１及び図２に示すごとく、収納容器Ｂのトレイ６の中央部に大型ペリクル構造体を搭載し、かつ、大型ペリクル構造体の枠体１の外方に突出している保護フィルム５の押さえ代５ａ、５ｂを、所定の巾の粘着テープ９を用いてトレイ６の表面に粘着することによって、極めて安定した状態で簡単かつ確実に保持固定することができる。ここに、粘着テープの巾は、５ｍｍ以上が好ましく、より好ましくは１０ｍｍ以上である。
上述した態様の大型ペリクル収納構造体においては、大型ペリクルＡの枠体１の外方に突出する保護フィルム５の柔軟性を有する押さえ代５ａ，５ｂを、柔軟性に富む粘着テープ９を介して収納容器Ｂのトレイ６の表面に粘着固定するので、仮に、収納容器Ｂのトレイ６の成形精度が十分でなく、或いは、トレイ６に反りが生じていても、これらの問題に関係なく、大型ペリクル構造体をトレイ６に安定した状態で簡単に固定することができる。
尚、粘着テープ９は押さえ代５ａ、５ｂ全面を覆うように貼着されることが好ましいが、粘着固定の効果が得られるなら、押さえ代５ａの幅方向あるいは長さ方向に対し部分的に覆う態様でもよい。
大型ペリクルＡの第１の取り出し方法は、特許文献２に記載の方法、つまり、粘着材層と保護フィルムとの界面で剥離させる方法である。保護フィルムは、トレイに固定されたままとなるので、後で必要に応じてトレイから除去する。
本発明に用いられる保護フィルム５の材質としては、好ましくは、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリエチレン樹脂等が使用される。また、保護フィルムの厚みとしては、好ましくは３０μｍ〜５００μｍのものが使用される。
本発明に用いられる収納容器Ｂの材質は、ポリエチレンテレフタレート樹脂や、アクリロニトリルブタジエンスチレン樹脂、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂等の樹脂が使用できる。また、帯電防止タイプの樹脂を用いてもよい。さらに、アルミニウムやその合金、例えばジュラルミン、または鉄やその合金、例えばステンレス等のペリクル収納容器に用いられているものであれば金属材料も使用できる。これら金属材料を用いた収納容器の場合は、塗装等の表面処理されたものであってもかまわない。特に、アウトガスの発生量が少ないものを使用することが好ましい。
また、本発明に用いられる粘着テープ９の基材としては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリ塩化ビニルや不織布などが使用できる。また、粘着テープの糊としては、例えば、アクリル系のものやポリビニルアルコール等を使用することができる。さらに、粘着テープ９としては、アウトガスの発生量が少ないものが好ましい。また、帯電防止処理を施したものでもよい。
In carrying out the large pellicle structure and the large pellicle storage structure of the present invention, as shown in FIG. 1 and FIG. 2 described above, the large pellicle structure is mounted on the central portion of the tray 6 of the storage container B. In addition, the pressing margins 5a and 5b of the protective film 5 projecting outward from the frame 1 of the large pellicle structure are adhered to the surface of the tray 6 with an adhesive tape 9 having a predetermined width, thereby being extremely stable. Can be held and fixed easily and reliably. Here, the width of the adhesive tape is preferably 5 mm or more, more preferably 10 mm or more.
In the large pellicle storage structure of the above-described aspect, the press margins 5a and 5b having the flexibility of the protective film 5 projecting outward from the frame 1 of the large pellicle A are interposed via the adhesive tape 9 rich in flexibility. Since it is adhesively fixed to the surface of the tray 6 of the storage container B, even if the molding accuracy of the tray 6 of the storage container B is not sufficient or the tray 6 is warped, the large size is not concerned regardless of these problems. The pellicle structure can be easily fixed to the tray 6 in a stable state.
The adhesive tape 9 is preferably attached so as to cover the entire surface of the press margins 5a and 5b. However, if the effect of adhesive fixing is obtained, the adhesive tape 9 partially covers the width direction or the length direction of the press margin 5a. An aspect may be sufficient.
The first method of taking out the large pellicle A is the method described in Patent Document 2, that is, the method of peeling at the interface between the adhesive layer and the protective film. Since the protective film remains fixed to the tray, it is later removed from the tray as necessary.
As a material of the protective film 5 used in the present invention, polyethylene terephthalate resin, polyethylene resin, or the like is preferably used. Moreover, as a thickness of a protective film, the thing of 30 micrometers-500 micrometers is used preferably.
As the material of the storage container B used in the present invention, a resin such as a polyethylene terephthalate resin, an acrylonitrile butadiene styrene resin, an acrylic resin, a polycarbonate resin, or a polyvinyl chloride resin can be used. Further, an antistatic type resin may be used. Further, a metal material may be used as long as it is used for a pellicle storage container such as aluminum or an alloy thereof such as duralumin, or iron or an alloy thereof such as stainless steel. In the case of a storage container using these metal materials, it may be a surface-treated one such as paint. In particular, it is preferable to use one that generates a small amount of outgas.
Moreover, as a base material of the adhesive tape 9 used for this invention, polyethylene, a polypropylene, a polyethylene terephthalate, a polyvinyl chloride, a nonwoven fabric etc. can be used, for example. Moreover, as an adhesive tape paste, for example, acrylic or polyvinyl alcohol can be used. Furthermore, the adhesive tape 9 is preferably one that generates less outgas. Further, it may be subjected to antistatic treatment.
本発明者らは、前述のような構成を有する保護フィルム、本発明の大型ペリクル構造体、及び大型ペリクル収納構造体を用いて実験をした結果、以下に示すような結果が得られた。 As a result of experiments using the protective film having the above-described configuration, the large pellicle structure of the present invention, and the large pellicle storage structure, the present inventors have obtained the following results.
[参考例１]
図８（ａ）に示すように辺に対して垂直に突出した形状の第一の押さえ代をもつ保護フィルムのサンプルを作成し、該第一の押さえ代を完全に覆うようにＡＢＳ樹脂製の平板上に幅１５ｍｍの粘着テープで固定して、引き抜き強度を測定した。
[Reference Example 1]
As shown in FIG. 8 (a), a sample of a protective film having a first pressing allowance projecting perpendicularly to the side is prepared, and an ABS resin made so as to completely cover the first pressing allowance. The sheet was fixed on a flat plate with an adhesive tape having a width of 15 mm, and the pullout strength was measured.
［参考例２］
図８（ｂ）に示すように辺に対して鈍角に突出した形状の第一の押さえ代をもつ保護フィルムのサンプルを作成し、該第一の押さえ代を完全に覆うようにＡＢＳ樹脂製の平板上に幅１５ｍｍの粘着テープで固定して、引き抜き強度を測定した。
[Reference Example 2]
As shown in FIG. 8 (b), a sample of a protective film having a first pressing allowance protruding in an obtuse angle with respect to the side is prepared, and an ABS resin made so as to completely cover the first pressing allowance. The sheet was fixed on a flat plate with an adhesive tape having a width of 15 mm, and the pullout strength was measured.
［参考例３］
図８（ｃ）に示すように辺に対して鋭角に突出した形状の押さえ代をもつ保護フィルムのサンプルを作成し、該押さえ代を完全に覆うように同様にＡＢＳ樹脂製の平板上に幅１５ｍｍの粘着テープで固定して、引き抜き強度を測定した。
以下表１に参考例１−３の引き抜き強度の測定結果を示す。引き抜き強度測定は、島津製作所製オートグラフＡＧ−５０００Ｂを用いて０．５ｍｍ／ｍｉｎの速度で図中矢印方向への引き抜きながら測定した。
[Reference Example 3]
As shown in FIG. 8 (c), a protective film sample having a pressing allowance protruding in an acute angle with respect to the side is prepared, and a width is similarly formed on an ABS resin flat plate so as to completely cover the pressing allowance. The sheet was fixed with a 15 mm adhesive tape, and the pullout strength was measured.
Table 1 below shows the measurement results of the pullout strength of Reference Example 1-3. The pullout strength was measured using an autograph AG-5000B manufactured by Shimadzu Corporation while pulling out in the direction of the arrow in the figure at a speed of 0.5 mm / min.
［実施例１］
外形寸法が１３９２ｍｍ×１１７７ｍｍの矩形で、幅１２ｍｍのアルミニウム合金製の枠体の、上縁面にセルロースからなるペリクル膜を接着し、下縁面に粘着材を塗布した大型ペリクルを準備した。
上記枠体と同じ外形寸法であり、該枠体の四隅に幅１０ｍｍ×長さ４０ｍｍのＬ字形状で辺に対して垂直に突出させた第一の押さえ代を有し、枠体の各辺の四隅から６０ｍｍの位置を始点として、寸法が幅１０ｍｍ×長さ４５０ｍｍの矩形で辺に対し垂直に突出させた第二の押さえ代を２箇所ずつ（4辺あわせて８箇所）設けた保護フィルム５（図４（ａ）に類似する形状）を準備して、上記大型ペリクルの粘着材層に貼り付けて、大型ペリクル構造体を得た。
上記大型ペリクル構造体を、ＡＢＳ樹脂材で真空成形された収納容器Ｂのトレイ６の上に搭載し、前記押さえ代５ａと５ｂを粘着テープ９（テープサイズ：長辺１５ｍｍ×９４０ｍｍ、短辺１５ｍｍ×７９０ｍｍ、四隅１５ｍｍ×６０ｍｍ）を介してトレイ６に粘着固定した後で、該トレイ６上に蓋７を被蓋し大型ペリクル収納構造体を得た。さらに、トレイ６と蓋７との外周部にテープ８を取り付けて両者を固定した。
[Example 1]
A large pellicle was prepared, in which a pellicle film made of cellulose was bonded to the upper edge surface of an aluminum alloy frame body having an outer dimension of 1392 mm × 1177 mm and a width of 12 mm, and an adhesive was applied to the lower edge surface.
It has the same outer dimensions as the frame body, and has a first pressing margin that protrudes perpendicularly to the side in an L-shape with a width of 10 mm and a length of 40 mm at the four corners of the frame body. Protective film provided with 2 second press margins (8 places in total including 4 sides) that are a rectangle with dimensions of 10 mm width x 450 mm length starting from the 60 mm position from the four corners. 5 (a shape similar to FIG. 4A) was prepared and affixed to the adhesive layer of the large pellicle to obtain a large pellicle structure.
The large pellicle structure is mounted on the tray 6 of the storage container B vacuum-formed with an ABS resin material, and the press margins 5a and 5b are attached to an adhesive tape 9 (tape size: long side 15 mm × 940 mm, short side 15 mm). After being fixed to the tray 6 by adhesive via a x790 mm and four corners 15 mm x 60 mm), a lid 7 was covered on the tray 6 to obtain a large pellicle storage structure. Furthermore, the tape 8 was attached to the outer peripheral part of the tray 6 and the lid | cover 7, and both were fixed.
[実施例２]
外形寸法が１３９２ｍｍ×１１７７ｍｍであり、両四隅から６０ｍｍの位置を始点として、寸法がＷ１０ｍｍ×Ｌ４５０ｍｍの押さえ代５ｂを２箇所にし、保護フィルム５の四隅の頂点にＬ字形状の第一の押さえ代５ａを頂点からＷ１０ｍｍ×Ｌ４０ｍｍの辺に対して１２０°に突出させた保護フィルム５（例えば図４（ｂ）に類似する形状）を粘着させた大型ペリクルＡを、ＡＢＳ樹脂材で真空成形された収納容器Ｂのトレイ６の上に搭載し、前記押さえ代５ａと５ｂを粘着テープ９（テープサイズ：長辺１５ｍｍ×９４０ｍｍ、短辺１５ｍｍ×７９０ｍｍ、四隅１５ｍｍ×６０ｍｍ）を介してトレイ６に粘着固定した後で、該トレイ６上に蓋７を被蓋し、これらのトレイ６と蓋７との外周部にテープ８を取り付けて両者を固定した。
[Example 2]
The outer dimensions are 1392 mm x 1177 mm, the positions 60 mm from both corners are the starting points, and there are two pressing margins 5b with dimensions of W10 mm x L450 mm, and the first L-shaped pressing margin at the top of the four corners of the protective film 5 A large pellicle A to which a protective film 5 (for example, a shape similar to FIG. 4B), in which 5a protrudes from the apex to a side of W 10 mm × L 40 mm at 120 °, was adhered was vacuum-molded with an ABS resin material. It is mounted on the tray 6 of the storage container B, and the press margins 5a and 5b are adhered to the tray 6 through adhesive tape 9 (tape size: long side 15 mm × 940 mm, short side 15 mm × 790 mm, four corners 15 mm × 60 mm). After fixing, the lid 7 was covered on the tray 6, and the tape 8 was attached to the outer peripheral part of these trays 6 and the lid 7, and both were fixed.
［比較例１］
外形寸法が１３９２ｍｍ×１１７７ｍｍであり、両四隅から６０ｍｍの位置を始点として、寸法がＷ１０ｍｍ×Ｌ４５０ｍｍの押さえ代５ｂを２箇所にし、保護フィルム５の四隅の頂点に第一の押さえ代５ａ（Ｗ１０ｍｍ×Ｌ２０ｍｍ）を突出させた保護フィルム５（例えば図４に類似する形状で第一の押さえ代５ａが図８（ｃ）に類似する構造）を粘着させた大型ペリクルＡを、ＡＢＳ樹脂材で真空成形された収納容器Ｂのトレイ６の上に搭載し、前記押さえ代５ａと５ｂを粘着テープ９（テープサイズ：長辺１５ｍｍ×９４０ｍｍ、短辺１５ｍｍ×７９０ｍｍ、四隅１５ｍｍ×６０ｍｍ）を介してトレイ６に粘着固定した後で、該トレイ６上に蓋７を被蓋し、これらのトレイ６と蓋７との外周部にテープ８を取り付けて両者を固定した。
以下の表２に上記実施例と、比較例についての評価結果を示す。取り出し試験では、レーザーテック株式会社製のペリクル検査・貼り付けシステム（製品名：５１ＰＡ）を用いた。取り出し易さでは、第一の押さえ代５ｂが粘着テープから抜け落ちることなく、取り出し動作開始から３秒未満に保護フィルムと粘着材の界面が剥がれ始め、その後、剥がれが進行する場合を「○」、取り出しの際、第一の押さえ代５ａがずれたり脱落してしまい実用上問題である場合を「×」で示す。
[Comparative Example 1]
The outer dimensions are 1392 mm × 1177 mm, the positions of 60 mm from both corners are the starting points, the press margin 5b with dimensions of W10 mm × L450 mm is made into two locations, and the first press margin 5a (W10 mm × W at the top of the four corners of the protective film 5) Large pellicle A with a protective film 5 (L 20 mm) protruding (for example, a structure similar to FIG. 4 and having a first pressing allowance 5a similar to FIG. 8C) is vacuum-formed with an ABS resin material The holding allowances 5a and 5b are mounted on the tray 6 of the storage container B, and the tray 6 is connected via an adhesive tape 9 (tape size: long side 15 mm × 940 mm, short side 15 mm × 790 mm, four corners 15 mm × 60 mm). Then, the lid 7 was covered on the tray 6, and the tape 8 was attached to the outer periphery of the tray 6 and the lid 7 to fix them.
Table 2 below shows the evaluation results for the above examples and comparative examples. In the take-out test, a pellicle inspection / paste system (product name: 51PA) manufactured by Lasertec Corporation was used. In terms of easy removal, the first pressing allowance 5b does not fall off from the adhesive tape, and the interface between the protective film and the adhesive material begins to peel off in less than 3 seconds from the start of the removal operation, and then the peeling progresses to “◯”, In the case of taking out, the case where the first pressing margin 5a is displaced or dropped and is a practical problem is indicated by “x”.
Ａ 大型ペリクル
Ｂ 収納容器
１ 枠体
２ 接着剤層
３ ペリクル膜
４ 粘着材層
５ 保護フィルム
５ａ 第二の押さえ代
５ｂ 第一の押さえ代
６ トレイ
７ 蓋
８ テープ
９ 粘着テープ
１０ 剥がし代
１１ 辺部
Ｘ 始点
Ｙ 終点
Ｚ 辺の中央部
Ｗ 押さえ代の幅
Ｌ 押さえ代の長さ
Ｃ 四隅の頂点
A Large pellicle B Storage container 1 Frame body 2 Adhesive layer 3 Pellicle film 4 Adhesive material layer 5 Protective film 5a Second press margin 5b First press margin 6 Tray 7 Lid 8 Tape 9 Adhesive tape 10 Stripping margin 11 Side X Start point Y End point Z Center of the side W Presser width L Presser allowance length C Four corners
Claims (4)
トレイと蓋とからなるペリクル収納容器に収納した大型ペリクル収納構造体であって、少なくとも前記第一のＬ字形状を有する押さえ代のそれぞれ２辺に沿って粘着テープでトレイに固定されている大型ペリクル収納構造体から、
前記保護フィルムをトレイに固定したまま粘着材層と保護フィルムとの界面で剥離させる工程を含む、
収納容器からの大型ペリクルの取出し方法であって、
保護フィルムが、枠体より外側に突出した第二の押さえ代を有しており、該第二の押さえ代は該枠体の頂点を含まない一辺上に位置するとともに該枠体の形状に沿った矩形状を有していることを特徴とし、
該第二の押さえ代が枠体の４辺の中央部には存在しないことを特徴とする、前記方法。 A frame, a pellicle film bonded to the upper edge of the frame, an adhesive layer made of an adhesive applied to the lower edge of the frame, and a protective film adhered to the adhesive layer The pellicle membrane is a large pellicle structure having an area of 10000 cm 2 or more, the frame has a rectangular shape, and the protective film has a first pressing margin protruding outward from the frame. A large pellicle structure characterized in that the first holding allowance is located on two sides including one vertex of the frame body and has an L-shape along the shape of the frame body. ,
A large pellicle storage structure housed in a pellicle storage container comprising a tray and a lid, wherein the large pellicle storage structure is fixed to the tray with an adhesive tape along at least two sides of the press margin having the first L-shape. From the pellicle storage structure,
Including a step of peeling at the interface between the adhesive layer and the protective film while fixing the protective film to the tray,
A method for removing a large pellicle from a storage container ,
The protective film has a second pressing margin protruding outward from the frame, and the second pressing margin is located on one side not including the apex of the frame and follows the shape of the frame. Characterized by having a rectangular shape,
The method according to claim 1, wherein the second pressing margin does not exist in the center of the four sides of the frame.
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