KR100882175B1 - Method of housing large pellicle - Google Patents

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KR100882175B1
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호즈마 구리야마
이치로 와키모토
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아사히 가세이 일렉트로닉스 가부시끼가이샤
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Abstract

프레임과, 그 프레임의 상부 가장자리면에 접착된 펠리클막과, 그 프레임의 하부 가장자리면에 도포 점착된 점착재와 그 점착재를 보호하기 위해서 프레임의 하면에 점착된 보호 필름으로 이루어지는, 면적이 1000㎠ 이상인 대형 펠리클을 트레이와 덮개로 이루어지는 케이스에 수납하는 것을 포함하는, 대형 펠리클의 수납 방법에 있어서, 상기 대형 펠리클의 보호 필름의 외주 가장자리의 일부 또는 전부를 외측으로 돌출시켜 누름 영역을 형성하고, 또한 그 누름 영역을 점착 테이프를 개재하여 그 트레이에 고정시켜 대형 펠리클을 케이스 내에 수납하는 것을 특징으로 하는 대형 펠리클의 수납 방법.

Figure R1020077012491

An area of 1000, consisting of a frame, a pellicle film adhered to the upper edge of the frame, an adhesive applied to the lower edge of the frame, and a protective film adhered to the bottom of the frame to protect the adhesive. In the storage method of a large sized pellicle which comprises storing the large sized pellicle which is 2 cm <2> or more in the case which consists of a tray and a cover, a part or all of the outer peripheral edges of the protective film of the said large sized pellicle are protruded outwardly, A method for storing a large pellicle, wherein the pressed area is fixed to the tray via an adhesive tape to accommodate the large pellicle in the case.

Figure R1020077012491

Description

대형 펠리클의 수납 방법{METHOD OF HOUSING LARGE PELLICLE} How to store large pellicles {METHOD OF HOUSING LARGE PELLICLE}

본 발명은, LSI, 액정 디스플레이 (LCD) 를 구성하는 박막 트랜지스터 (TFT) 나 컬러 필터 (CF) 등을 제조할 때의 리소그래피 공정에서 사용되는 포토마스크나 레티클에 이물질이 장착되는 것을 방지하기 위해서 사용되는, 페리클막의 면적이 1000㎠ 이상인 대형 펠리클을, 트레이와 덮개로 이루어지는 케이스에 안정된 상태에서 수납할 수 있는 대형 펠리클의 수납 방법 및 그 수납 구조체에 관한 것이다.INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention is used to prevent foreign matter from being attached to a photomask or reticle used in a lithography process when manufacturing a thin film transistor (TFT), a color filter (CF), or the like constituting an LSI, a liquid crystal display (LCD). The large-size pellicle which has an area of a pellicle film of 1000 cm <2> or more is related to the storage method of the large sized pellicle which can be accommodated in the case which consists of a tray and a cover, and its storage structure.

종래, 반도체 회로 패턴 등의 제조에 있어서는, 후술하는 특허 문헌 1 에 기재되어 있는 바와 같이, 일반적으로 펠리클로 불리는 방진 수단을 사용하여, 포토마스크나 레티클에 대한 이물질의 장착을 방지하는 것이 행해지고 있다. 펠리클은 포토마스크 혹은 레티클의 형상에 맞는 형상을 갖는 두께 수 밀리 정도의 프레임의 상부 가장자리면에, 두께 10㎛ 이하의 니트로셀룰로오스 또는 셀룰로오스 유도체 또는 불소 폴리머 등이 투명한 고분자막 (이하, 펠리클막이라고 한다) 을 전장 (展張) 하여 접착하고, 또한 그 프레임의 하부 가장자리면에 점착재를 도포 점착함과 함께, 이 점착재 상에 소정의 접착력으로 보호 필름을 점착시킨 것이다.Background Art Conventionally, in the manufacture of semiconductor circuit patterns and the like, as described in Patent Document 1 described later, it is generally performed to prevent the attachment of foreign matter to a photomask or a reticle by using dustproof means called pellicles. A pellicle is a polymer film transparent to nitrocellulose or cellulose derivatives or fluoropolymers having a thickness of 10 μm or less on the upper edge surface of a frame of several millimeters thick having a shape that matches the shape of a photomask or reticle (hereinafter referred to as a pellicle film). The adhesive is applied to the entire length of the frame, the adhesive is applied to the lower edge of the frame, and the protective film is adhered to the adhesive by a predetermined adhesive force.

상기 점착재는, 펠리클을 포토마스크 또는 레티클에 고착시키기 위한 것이며, 또, 보호 필름은 그 점착재가 그 용도에 사용할 때까지 그 점착재의 접착력을 유지하기 위해서, 그 점착재의 접착면을 보호하는 것이다. 이 펠리클을 제조자로부터 사용자에게 운반할 때에는, 펠리클막 등에 이물질이 장착되는 것을 막고, 혹은 펠리클이 손상되는 것을 막기 위해서, 그 펠리클을 트레이와 덮개로 이루어지는 케이스에 수납하고, 추가로 방진 팩 등에 수납하여 운반하는 것이 일반적이다.The said adhesive material is for fixing a pellicle to a photomask or a reticle, and a protective film protects the adhesive surface of the adhesive material in order to maintain the adhesive force of the adhesive material until the adhesive material is used for the use. When transporting the pellicle from the manufacturer to the user, in order to prevent foreign matter from being attached to the pellicle film or the like, or to prevent the pellicle from being damaged, the pellicle is stored in a case consisting of a tray and a lid, and further stored in a dustproof pack or the like. It is common to carry.

본 발명이 대상으로 하는 면적이 1000㎠ 이상인 대형 펠리클을 수납하는 트레이와 덮개로 이루어지는 케이스는, 통상적으로 진공 성형법에 의해 성형되어 있고, 또한 대형 펠리클은, 트레이에 설치된 후에 덮개를 씌워 덮음으로써 케이스에 수납되어 있었다. 그리고 상기 서술한 케이스의 제조에 있어서는, 케이스 내에 수납된 대형 펠리클의 프레임과 덮개의 간격을 0㎜ 이상이고 1㎜ 미만의 범위가 되도록 계획적으로 설계 제조하고, 이 부분에서 덮개가 대형 펠리클을 억제하여, 수송 중 등의 진동에 의해 대형 펠리클이 케이스 내에서 움직여 마찰되거나 하여 발진(發塵) 하는 것을 방지하고 있었다.The case consisting of a tray and a lid for storing a large pellicle having an area of 1000 cm 2 or more as the object of the present invention is usually molded by a vacuum molding method, and the large pellicle is placed on a tray and then covered with a lid to cover the case. It was stored. In the manufacturing of the case described above, the space between the frame and the lid of the large pellicle housed in the case is deliberately designed and manufactured so as to be in a range of 0 mm or more and less than 1 mm, and the lid is held in place to suppress the large pellicle. The large pellicle was prevented from moving and rubbing in the case due to vibration during transportation and the like.

그러나, 면적이 1000㎠ 이상인 펠리클을 수납하는 대형 케이스에서는, 다음과 같은 문제가 있었다. 즉, 대형 케이스에 있어서는, 펠리클과 케이스의 클리어런스 문제, 혹은 케이스가 평탄성의 요구를 만족시키는 것이 곤란하거나 하는 등의 문제가 있기 때문에, 대형 펠리클의 전체 둘레와 케이스 덮개의 간격을 0㎜ 이상 1㎜ 미만으로 정확하게 억제하지 못하고, 그 때문에 종래의 설계 사상을 만족시키는 성형 정밀도를 유지하면서 대형 케이스를 제조하기 곤란해지고 있었다.However, in the large case which accommodates the pellicle whose area is 1000 cm <2> or more, there existed the following problems. That is, in a large case, since there exists a problem of the clearance of a pellicle and a case, or it is difficult for a case to satisfy | require a flatness requirement, the whole circumference of a large pellicle and the space | interval of a case cover are 0 mm or more and 1 mm. It has become difficult to manufacture the large case while maintaining the molding precision which satisfies the conventional design idea, because it cannot suppress below.

따라서, 종래의 설계 사상으로 제조된 대형 케이스 중에 대형 펠리클을 수납 했을 경우에, 대형 펠리클과 덮개의 간격이 0㎜ 로 덮개가 대형 펠리클에 접하고 있을 때에는, 덮개가 대형 펠리클의 프레임을 가압하고 있기 때문에, 대형 펠리클의 수송시 등에 양자 사이에 마찰이 생겨 발진하고, 대형 펠리클에 이물질이 장착된다는 문제가 있었다.Therefore, when the large pellicle is accommodated in the large case manufactured according to the conventional design idea, when the lid is in contact with the large pellicle with the distance between the large pellicle and the lid being 0 mm, the lid presses the frame of the large pellicle. When the large pellicle is transported, friction occurs between them, and the oscillation occurs, and there is a problem that foreign matter is attached to the large pellicle.

또, 대형 펠리클과 덮개의 간격이 1㎜ 이상이 되었을 경우에는, 대형 펠리클을 덮개로 눌러 안정시키지 못하고, 수송시에 대형 펠리클이 케이스 내에서 이동 또는 진동하여, 케이스와 대형 펠리클 사이에 마찰이 생겨 발진하고, 대형 펠리클에 이물질이 장착된다는 문제가 있었다.In addition, when the distance between the large pellicle and the lid is 1 mm or more, the large pellicle cannot be stabilized by pressing the lid with the lid, and the large pellicle moves or vibrates in the case during transportation, causing friction between the case and the large pellicle. There was a problem that the oscillation and the foreign matter is attached to the large pellicle.

상기 서술한 많은 문제를 해결하기 위하여, 본건 특허 출원인은, 후술하는 특허 문헌 2, 특허 문헌 3 또는 특허 문헌 4 에 예시하는 바와 같은 발명을 완성하여, 이미 특허 출원을 하고 있다.In order to solve the many problems mentioned above, this patent applicant completed the invention as illustrated in patent document 2, patent document 3, or patent document 4 mentioned later, and has already applied for a patent application.

후기하는 특허 문헌 2 에 기재된 서술은, 펠리클 수납 케이스의 트레이 표면에 돌출부를 기립 돌출 형성함과 함께, 이 돌출부의 측면에 언더 컷부를 형성하고, 이 언더 컷부 중에 펠리클의 보호 필름을 삽입함으로써, 트레이 상에 탑재된 펠리클을 유지 고정시키는 기술이다. 또, 특허 문헌 3 에 기재된 기술은, 펠리클의 보호 필름의 하면에 소정의 점착력을 갖는 점착재를 도포 점착해 두고, 펠리클을 트레이 상에 탑재했을 때에, 보호 필름을 트레이에 점착함으로써, 펠리클을 트레이에 유지 고정시키는 기술이다. 또한, 특허 문헌 4 에 기재된 기술은, 케이스 덮개의 천장면으로부터 봉형상의 가압체를 매달아 그 덮개를 트레이에 씌워 덮었을 때에, 트레이 상에 탑재되어 있는 펠리클의 보호 필름을 그 가압체로 상방으로부터 가압하여, 펠리클을 트레이에 유지 고정시키는 기술이다.The description described in Patent Literature 2 described later stands on the surface of the tray of the pellicle storage case, while protruding the protrusions, forming an undercut on the side of the protrusion, and inserting a protective film of the pellicle into the undercut. It is a technique for holding and fixing a pellicle mounted on a bed. Moreover, the technique of patent document 3 apply | coats and sticks the adhesive material which has predetermined adhesive force to the lower surface of the protective film of a pellicle, and when a pellicle is mounted on a tray, it adhere | attaches a protective film to a tray, and a pellicle is trayed It is a technique to hold on to. Moreover, when the technique of patent document 4 suspends a rod-shaped press body from the ceiling surface of a case cover, and covers the cover with a tray, it pressurizes the protective film of the pellicle mounted on the tray from the upper side with the press body. It is a technique of holding and fixing a pellicle in a tray.

특허 문헌 1 : 일본 특허공보 소54-28718호 Patent Document 1: Japanese Patent Publication No. 54-28718

특허 문헌 2 : 일본 공개특허공보 평11-38597호 Patent Document 2: Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-38597

특허 문헌 3 : 일본 공개특허공보 평11-24238호 Patent Document 3: Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-24238

특허 문헌 4 : 일본 공개특허공보 평11-52553호 Patent Document 4: Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-52553

발명의 개시 Disclosure of the Invention

발명이 해결하고자 하는 과제Problems to be Solved by the Invention

상기 서술한 특허 문헌 2 내지 특허 문헌 4 에 기재된 발명은, 종래 일반적으로 사용되던 5 인치나 6 인치와 같은 반도체용 펠리클을 수납하는 케이스에는 매우 유효하지만, 이들의 발명을, 본 발명이 대상으로 되는 펠리클의 면적이 1000㎠ 이상인 대형 펠리클을 수납하는 케이스에 응용했을 경우에는, 후술하는 바와 같이, 약간의 문제점이 있었다.The inventions described in Patent Documents 2 to 4 described above are very effective for housing a semiconductor pellicle, such as 5 inches or 6 inches, which are generally used in the prior art, but these inventions are the subject of the present invention. When applied to the case which accommodates the large sized pellicle whose area of a pellicle is 1000 cm <2> or more, there exist some problems as mentioned later.

특허 문헌 2 의 기술에 있어서는, 비용이 저렴하고 제조가 용이한 진공 성형 방법을 사용하여, 트레이의 표면에 기립 돌출 형성된 돌출부의 측면에 비교적 깊은 언더 컷부를 형성하는 것은, 충분한 성형 정밀도를 얻는 것이 곤란하다는 문제가 있었다. 또, 사출 성형 방법을 사용하여 트레이를 성형하는 경우에는, 성형 정밀도가 양호하기 때문에, 성형은 가능하지만, 본 발명의 대상으로 되는 1000㎠ 이상인 대형 펠리클을 사출 성형 방법으로 성형하는 경우에는, 매우 대형인 성형기를 필요로 하므로 고비용이 되어 실용적이지 않음과 함께, 트레이의 치수가 매우 크기 때문에, 성형 변형이 발생하고, 돌출부의 측면에 좁고 깊은 언더 컷부를 양호한 정밀도로 형성하기가 곤란했다.In the technique of Patent Literature 2, it is difficult to obtain a sufficient molding precision to form a relatively deep undercut portion on the side surface of the protruding portion which stands up and protrudes on the surface of the tray using a vacuum molding method which is inexpensive and easy to manufacture. There was a problem. Moreover, when molding a tray using the injection molding method, since molding precision is favorable, molding is possible, but when forming a large size pellicle of 1000 cm2 or more, which is the object of the present invention, by injection molding method, it is very large Since it requires a phosphor molding machine, it becomes expensive and not practical, and since the tray size is very large, molding deformation occurs and it was difficult to form a narrow and deep undercut portion with good precision on the side surface of the protrusion.

특허 문헌 3 의 서술에 있어서는, 펠리클의 보호 필름의 하면에 점착재를 도포 점착하여 보호 필름을 트레이의 표면에 점착하는 방법은, 반도체용 펠리클의 케이스와 같이 작은 사이즈의 것에는 유효하지만, 본 발명과 같이 대형 펠리클을 수납하는 대형 케이스에 있어서는, 반드시 성형 정밀도가 완전하지 않기 때문에, 트레이의 펠리클 탑재 지점에 휨이 발생하는 경우가 있었다. 그 때문에 트레이의 휨에 의한 변형이 보호 필름에 전사되고, 점착재로부터 보호 필름의 일부가 박리되거나 하여 점착재의 점착력이 저하되며, 이들이 원인이 되어 펠리클을 포토마스크에 균일하게 장착하기 곤란해지는 문제가 있었다.In the description of Patent Literature 3, the method of applying an adhesive to the lower surface of the protective film of the pellicle and adhering the protective film to the surface of the tray is effective for a small size like a case of a semiconductor pellicle, but the present invention In the large case which accommodates a large sized pellicle as described above, since the molding precision is not necessarily perfect, warpage may generate | occur | produce in the pellicle mounting point of a tray. Therefore, the deformation due to the warpage of the tray is transferred to the protective film, and a part of the protective film is peeled off from the adhesive, resulting in a decrease in the adhesive force of the adhesive, which causes them to be difficult to uniformly attach the pellicle to the photomask. there was.

특허 문헌 4 의 서술에 있어서는, 케이스 덮개의 천장면으로부터 매달린 가압체로 트레이에 탑재된 펠리클의 보호 필름을 가압하여 펠리클을 유지 고정시키는 방법이다. 이 기술의 경우에도, 반도체 펠리클 수납 케이스와 같이, 5 ∼ 6 인치와 같은 작은 사이즈의 케이스의 경우에는 성형 정밀도를 유지할 수 있지만, 상기 서술한 바와 같이 본 발명의 대상으로 되는 대형 펠리클을 수납하는 대형 케이스에 있어서는, 성형 정밀도가 충분하지 않은 데다가, 성형된 케이스에 휨이 발생하므로, 케이스에 덮개를 씌워 덮을 경우에, 덮개 측에 형성된 가압체가 펠리클의 보호 필름을 정확하고 확실하게 가압하여 유지 고정시키는 것이 곤란하다는 문제가 있었다. In description of patent document 4, it is a method of pressurizing the protective film of the pellicle mounted in a tray with the press body suspended from the ceiling surface of a case cover, and holding and fixing a pellicle. Even in this technique, molding precision can be maintained in a case of a small size such as 5 to 6 inches, such as a semiconductor pellicle storage case, but as described above, a large size for storing a large pellicle to be the object of the present invention In the case, since the molding precision is not sufficient and warpage occurs in the molded case, when the cover is covered with the case, the press body formed on the cover side presses and fixes the protective film of the pellicle accurately and surely. There was a problem that it was difficult.

본 발명에 관련된 대형 펠리클의 수납 방법 및 그 수납 구조체는, 상기 서술한 많은 문제점을 감안하여 개발된 완전히 새로운 기술로서, 특히, 대형 펠리클의 보호 필름의 외주 가장자리의 일부 또는 전부를 외측으로 돌출시켜 누름 영역을 형성하고, 트레이 펠리클을 탑재했을 때에, 이 누름 영역을 점착 테이프로 트레이의 표면에 점착하여 펠리클을 트레이에 확실하게 유지 고정시키는 것을 특징으로 하는 것이다.The large-size pellicle storage method and its storage structure according to the present invention are all-new technologies developed in view of the above-mentioned problems, and in particular, protrude outwardly some or all of the outer peripheral edge of the protective film of the large pellicle When the area is formed and the tray pellicle is mounted, the pressed area is adhered to the surface of the tray with an adhesive tape to reliably hold and fix the pellicle to the tray.

과제를 해결하기 위한 수단Means to solve the problem

본 발명에 관련된 대형 펠리클의 수납 방법 및 그 수납 구조체는, 상기 서술한 문제점을 근본적으로 해결한 기술이다. 본 발명의 제 1 양태는, 프레임과, 그 프레임의 상부 가장자리면에 접착된 펠리클막과, 그 프레임의 하부 가장자리면에 도포 점착된 점착재와, 그 점착재를 보호하기 위해서 프레임의 하면에 점착된 보호 필름으로 이루어지는, 면적이 1000㎠ 이상인 대형 펠리클을 트레이와 덮개로 이루어지는 케이스에 수납하는 것을 포함하는, 대형 펠리클의 수납 방법에 있어서, 상기 대형 펠리클의 보호 필름의 외주 가장자리의 일부 또는 전부를 외측으로 돌출시켜 누름 영역을 형성하고, 또한 그 누름 영역을 점착 테이프를 개재하여 그 트레이에 고정시켜 대형 펠리클을 케이스 내에 수납하는 것을 특징으로 하는 상기 방법이다. 여기에서의 펠리클 면적은, 프레임의 외경 면적인 것이다.The storage method of the large sized pellicle concerning this invention, and its storage structure are the techniques which solved the problem mentioned above fundamentally. According to a first aspect of the present invention, a frame, a pellicle film adhered to an upper edge surface of the frame, an adhesive material applied and adhered to the lower edge surface of the frame, and an adhesive on the lower surface of the frame to protect the adhesive material A storage method of a large pellicle comprising storing a large pellicle having an area of 1000 cm 2 or more, the protective film of which is formed in a tray and a lid. The method is characterized in that the pressing area is formed to form a pressing area, and the pressing area is fixed to the tray via an adhesive tape to accommodate the large pellicle in the case. The pellicle area here is the outer diameter area of a frame.

상기 서술한 제 1 양태에 있어서는, 펠리클의 보호 필름의 외주 가장자리의 일부 또는 전부를 외측으로 돌출시켜 누름 영역을 형성했으므로, 펠리클을 트레이 상에 탑재했을 때에는, 펠리클의 외측선의 외측으로 돌출된 상기 누름 영역을 트레이의 표면 상에 겹칠 수 있다. 또한, 본 발명에 있어서는, 이 누름 영역을 점착 테이프를 개재하여 트레이에 점착시키므로, 매우 간단한 작업으로 펠리클을 트레이에 안정된 상태에서 확실하게 유지 고정시킬 수 있다. In the above-mentioned 1st aspect, since some or all of the outer peripheral edge of the protective film of a pellicle protruded outward and formed the pressing area | region, when the pellicle is mounted on a tray, the said press which protruded outward of the outer line of a pellicle The area may overlap on the surface of the tray. Moreover, in this invention, since this pressing area | region is adhere | attached on a tray via an adhesive tape, a pellicle can be reliably hold | maintained and fixed to a tray by a very simple operation.

또한, 본 발명에 있어서는, 대형 펠리클의 보호 필름을 유연성이 풍부한 점착 테이프를 개재하여 트레이에 점착하므로, 만일 트레이의 성형 정밀도가 충분하지 않은 경우나, 혹은 트레이에 휨이 발생된 경우에도, 아무런 영향을 받지 않고, 대형 펠리클을 트레이에 정확하고 확실하게 유지 고정시킬 수 있다.In addition, in the present invention, since the protective film of the large pellicle is adhered to the tray via a flexible adhesive tape having a high flexibility, even if the molding precision of the tray is not sufficient or if the bending occurs in the tray, there is no influence. The large pellicle can be accurately and securely fixed to the tray.

본 발명의 제 2 양태는, 상기 보호 필름이 누름 영역의 폭을 6㎜ 이상, 길이를 20㎜ 이상으로 형성한 본 발명의 제 1 양태의 대형 펠리클의 수납 방법이다.The 2nd aspect of this invention is a storage method of the large sized pellicle of the 1st aspect of this invention in which the said protective film formed the width | variety of the pressed area | region to 6 mm or more and 20 mm or more in length.

상기 서술한 제 2 양태에 있어서, 상기 보호 필름의 누름 영역 길이를 50㎜ 이상으로 형성하는 것은 보다 바람직한 실시형태이고, 길이를 300㎜ 이상으로 하는 것은 더욱 바람직한 실시형태이다. 또, 대형 펠리클의 면적이 4000㎠ 이상인 경우, 상기 보호 필름이 누름 영역의 길이를 300㎜ 이상으로 하는 것은, 본 발명에 있어서, 특히 유효하다.In 2nd aspect mentioned above, it is more preferable embodiment to form the pressing area length of the said protective film in 50 mm or more, and it is still more preferable embodiment to make length 300 mm or more. Moreover, when the area of a large sized pellicle is 4000 cm <2> or more, it is especially effective in this invention that the said protective film makes the length of a pressing area 300 mm or more.

상기 서술한 제 2 발명에 있어서는, 대형 펠리클의 보호 필름에 형성된 누름 영역의 치수를, 폭 6㎜ 이상, 길이 20㎜ 이상으로 형성했기 때문에, 대형 펠리클을 트레이에 탑재했을 때에, 이 누름 영역을 트레이의 표면에 폭 넓게 겹칠 수 있고, 또한 점착 테이프를 개재하여 누름 영역을 트레이의 표면에 안전하고 확실하게 유지 고정시킬 수 있다.In the above-mentioned 2nd invention, since the dimension of the pressing area | region formed in the protective film of a large sized pellicle was formed in width 6mm or more and length 20mm or more, when this large sized pellicle was mounted in a tray, this pressing area was trayed. It can be superimposed on the surface of the surface of the surface of the, and the pressing area can be safely and securely fixed to the surface of the tray via an adhesive tape.

본 발명의 제 3 양태는, 상기 케이스의 트레이에 탑재된 대형 펠리클의 프레임과 그 트레이에 씌워 덮은 덮개 사이에, 성형 정밀도를 고려하여 전체 둘레에 걸쳐 적어도 1㎜ 이상의 간격을 형성하여 수납하는 본 발명의 제 1 또는 제 2 양태의 대형 펠리클의 수납 방법이다.According to a third aspect of the present invention, there is provided a space between the frame of a large pellicle mounted on a tray of the case and a lid covered with the tray, in which a gap of at least 1 mm is formed over the entire circumference in consideration of molding accuracy. It is a storage method of a large sized pellicle of the first or second aspect.

상기 서술한 제 3 양태에 있어서는, 케이스의 트레이에 탑재된 대형 펠리클의 프레임과 이 트레이에 씌워 덮은 덮개 사이에, 적어도 1㎜ 이상의 간격을 형성하여 대형 펠리클을 수납하기 때문에, 대형 펠리클을 수송하는 경우에도, 진동 등에 의해 대형 펠리클이 덮개과 접촉하여 마찰되거나 할 우려가 없다. 또, 대형 펠리클은, 상기 서술한 바와 같이 점착 테이프를 개재하여 안정된 상태에서 트레이에 유지 고정되어 있으므로, 덮개로 대형 펠리클을 누를 필요가 없고, 따라서, 케이스의 설계를 용이하게 함과 함께, 케이스의 성형 정밀도나 변형의 문제도 모두 해결할 수 있다.In the above-mentioned 3rd aspect, when a large sized pellicle is accommodated because a large sized pellicle is accommodated by forming the space | interval of at least 1 mm or more between the frame of the large sized pellicle mounted on the tray of a case, and the lid | cover covered by this tray, Also, there is no fear that the large pellicle may rub against the lid due to vibration or the like. In addition, since the large sized pellicle is held and fixed to the tray in a stable state through the adhesive tape as described above, there is no need to press the large sized pellicle with the cover, thus facilitating the design of the case and Both molding precision and deformation problems can be solved.

본 발명의 제 4 양태는, 프레임과 그 프레임의 상부 가장자리면에 접착된 펠리클막과, 그 프레임의 하부 가장자리면에 도포 점착된 점착재와, 그 점착재를 보호하기 위해서 프레임의 하면에 점착된 보호 필름으로 이루어지는, 면적이 1000㎠ 이상인 대형 펠리클이 트레이와 덮개로 이루어지는 케이스에 수납된 대형 펠리클 수납 구조체에 있어서, 상기 대형 펠리클의 보호 필름의 외주 가장자리의 일부 또는 전부가 외측으로 돌출하는 누름 영역을 갖고, 또한 그 누름 영역가 점착 테이프를 개재하여 그 트레이에 고정되어 있는 상기 대형 펠리클 수납 구조체이다.According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a pellicle film adhered to a frame and an upper edge surface of the frame, an adhesive material applied and adhered to the lower edge surface of the frame, and a lower surface of the frame to protect the adhesive material. In a large pellicle storage structure in which a large pellicle having an area of 1000 cm 2 or more made of a protective film is housed in a case made of a tray and a lid, a pressing area in which part or all of the outer peripheral edge of the protective film of the large pellicle protrudes outwards. And the pressing area is the large pellicle storage structure which is fixed to the tray via an adhesive tape.

본 발명의 제 5 양태는, 상기 보호 필름이 누름 영역의 폭을 6㎜ 이상, 길이를 20㎜ 이상인, 본 발명의 제 4 양태의 대형 펠리클 수납 구조체이다.The 5th aspect of this invention is the large sized pellicle storage structure of the 4th aspect of this invention whose said protective film is 6 mm or more and 20 mm or more in width of a press area.

본 발명의 제 6 양태는, 상기 케이스의 트레이에 탑재된 대형 펠리클의 프레임과 그 트레이에 씌워 덮은 덮개 사이에 적어도 1㎜ 이상의 간격을 갖는, 본 발명의 제 4 또는 제 5 양태의 대형 펠리클 수납 구조체이다.A sixth aspect of the present invention is the large pellicle storage structure according to the fourth or fifth aspect of the present invention, having a gap of at least 1 mm or more between the frame of the large pellicle mounted on the tray of the case and the cover covered with the tray. to be.

발명의 효과Effects of the Invention

본 발명은, 액정 디스플레이 (LCD) 를 구성하는 박막 트랜지스터 (TFT) 나 컬러 필터 (CF) 등을 제조할 때의 리소그래피 공정에서 사용되는 포토마스크나 레티클에 이물질이 장착되는 것을 방지하기 위해서 사용되는 펠리클의 면적이 1000㎠ 이상인 대형 펠리클의 수납 방법 및 그 수납 구조체로서 유용한 효과를 발휘한다.The present invention relates to a pellicle used to prevent foreign matter from being attached to a photomask or reticle used in a lithography process for manufacturing a thin film transistor (TFT), a color filter (CF), or the like constituting a liquid crystal display (LCD). It has an effect useful as an accommodating method of the large pellicle having an area of 1000 cm 2 or more and the accommodating structure thereof.

본 발명에 관한 대형 펠리클의 수납 방법 및 그 수납 구조체에 있어서는, 펠리클의 보호 필름의 외주 가장자리의 일부 또는 전부를 외측으로 돌출시켜 누름 영역을 형성했으므로, 펠리클을 트레이 상에 탑재했을 때에는, 펠리클의 외측 프레임의 외측으로 돌출된 상기 누름 영역을 트레이의 표면 상에 겹칠 수 있는 효과를 가지고 있다. 또한, 본 발명에 있어서는, 이 누름 영역을 점착 테이프를 개재하여 트레이에 점착시키므로, 매우 간단한 작업으로 펠리클을 트레이에 안정된 상태에서 확실하게 유지 고정시킬 수 있는 효과도 가지고 있다. 또한, 펠리클의 보호 필름의 유연성을 갖는 누름 영역을 유연성이 풍부한 점착 테이프를 개재하여 트레이에 점착하므로, 만일 트레이의 성형 정밀도가 충분하지 않은 경우나, 혹은 트레이에 휨이 발생된 경우에도, 어떠한 영향을 받지 않고, 펠리클을 트레이에 정확하고 확실하게 유지 고정시킬 수 있다는 효과가 있다.In the large-size pellicle storage method and the storage structure according to the present invention, since a part or all of the outer peripheral edge of the protective film of the pellicle is protruded outward to form a pressing area, when the pellicle is mounted on a tray, the outer side of the pellicle The pressing area protruding out of the frame has the effect of overlapping on the surface of the tray. Moreover, in this invention, since this pressed area | region is adhere | attached on a tray via an adhesive tape, it has the effect which can reliably hold | maintain and fix a pellicle in a stable state by a very simple operation. In addition, since the pressing area having the flexibility of the protective film of the pellicle is adhered to the tray via a flexible adhesive tape, even if the molding precision of the tray is not sufficient or if the bending occurs in the tray, There is an effect that the pellicle can be accurately and reliably fixed to the tray without being subjected to.

또 본 발명에 있어서, 펠리클의 보호 필름에 형성하는 누름 영역의 치수를, 폭 6㎜ 이상, 길이 20㎜ 이상으로 형성했을 경우에는, 펠리클을 트레이에 탑재했을 때에, 이 누름 영역을 트레이의 표면에 폭 넓게 겹칠 수 있고, 점착 테이프를 개재하여 누름 영역을 트레이의 표면에 안전하고 확실하게 유지 고정시킬 수 있다는 효과도 가지고 있다.Moreover, in this invention, when the dimension of the pressing area | region formed in the protective film of a pellicle is formed in width 6mm or more and length 20mm or more, when this pellicle is mounted in a tray, this pressing area is made to the surface of a tray. It can overlap widely, and also has the effect of being able to hold | maintain and fix a pressed area to the surface of a tray safely and reliably through an adhesive tape.

또 본 발명에 있어서, 케이스의 트레이에 탑재된 대형 펠리클의 프레임과 이 트레이에 씌워 덮은 덮개 사이에, 적어도 1㎜ 이상의 간격을 형성하여 수납하는 경우에는, 대형 펠리클을 수송하는 경우에도, 진동 등에 의해 대형 펠리클이 덮개과 접촉하여 마찰되거나 하는 우려가 없다. 또, 대형 펠리클은, 상기 서술한 바와 같이 점착 테이프를 개재하여 안정된 상태에서 트레이에 유지 고정시킨 경우에는, 덮개로 대형 펠리클을 누를 필요가 없고, 따라서, 케이스의 설계를 용이하게 함과 함께, 케이스의 성형 정밀도나 변형 문제도 모두 해결할 수 있다는 효과를 가지고 있다.In the present invention, when the large pellicle is transported when the large pellicle is transported when the large pellicle is formed between the frame of the large pellicle mounted on the tray of the case and the lid covered by the tray, the gap is at least 1 mm. There is no fear that the large pellicle will rub against the lid. Moreover, when a large sized pellicle is hold | maintained and fixed to a tray in the stable state via the adhesive tape as mentioned above, it is not necessary to press a large sized pellicle with a cover, Therefore, while making a case design easy, It also has the effect that both molding precision and deformation problem can be solved.

도 1 은 본 발명에 관련된 대형 펠리클의 수납 방법 및 그 수납 구조체의 종단면 설명도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a longitudinal cross-sectional view of the accommodating method of the large sized pellicle concerning this invention, and its accommodating structure.

도 2 는 도 1 의 대형 펠리클의 수납 방법 및 그 수납 구조체의 요부의 확대 설명도이다.FIG. 2 is an enlarged explanatory view of the main part of the storage method of the large pellicle of FIG.

도 3 은 도 1 의 대형 펠리클의 수납 방법 및 그 수납 구조체에 사용되는 대형 펠리클용 보호 필름의 평면도이다.FIG. 3 is a plan view of the protective film for large pellicles used in the storage method and the storage structure of the large pellicle of FIG.

도 4 는 도 1 의 대형 펠리클의 수납 방법 및 그 수납 구조체에 사용되는 대형 펠리클용 보호 필름의 평면도이다.It is a top view of the protective film for large pellicles used for the storage method of the large pellicle of FIG. 1, and its storage structure.

도 5 는 보호 필름의 형상의 예를 나타내는 도면이다.It is a figure which shows the example of the shape of a protective film.

발명을 실시하기Implement the invention 위한 최선의 형태 Best form for

도면에 의해 본 발명에 관련된 대형 펠리클의 수납 방법 및 그 수납 구조체의 일 실시형태를 구체적으로 설명한다. 도 1 은 본 발명에 관련된 대형 펠리클의 수납 방법 및 그 수납 구조체의 종단면 설명도, 도 2 는 도 1 의 대형 펠리클의 수납 방법 및 그 수납 구조체의 요부의 확대 설명도, 도 3 은 도 1 의 대형 펠리클의 수납 방법 및 그 수납 구조체에 사용되는 대형 펠리클용 보호 필름의 평면도, 도 4 도 도 3 과 동일하게 도 1 의 대형 펠리클의 수납 방법 및 그 수납 구조체에 사용되는 대형 펠리클용 보호 필름의 평면도이다.DESCRIPTION OF EMBODIMENTS An embodiment of a storage method for a large pellicle and its storage structure according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a longitudinal sectional explanatory view of a storage method of a large pellicle and a storage structure thereof according to the present invention, Fig. 2 is an enlarged explanatory view of the storage method of a large pellicle of Fig. 1 and the main part of the storage structure thereof. It is a top view of the pellicle storage method and the protective film for large pellicles used for the accommodating structure, It is a top view of the large pellicle storage method of FIG. 1 and the protective film for the large pellicles used for the accommodating structure similarly to FIG. .

도 1 및 도 2 의 (a) 및 도 2 의 (b) 에 있어서, A 는 대형 펠리클로서, 이미 상세하게 서술한 바와 같이, 펠리클 면적이 1000㎠ 이상인 대형 펠리클로서, 프레임 (1) 과, 그 프레임 (1) 의 상부 가장자리면에 접착제 (2) 를 통하여 접착된 펠리클막 (3) 과, 상기 프레임의 하부 가장자리면에 도포 점착된 점착재 (4) 와, 그 점착재 (4) 를 보호하기 위해서 점착재 (4) 에 점착된 보호 필름 (5) 로부터 구성되어 있다.In FIGS. 1 and 2 (a) and 2 (b), A is a large pellicle. As described in detail above, A is a large pellicle having a pellicle area of 1000 cm 2 or more. To protect the pellicle film 3 adhered to the upper edge surface of the frame 1 through the adhesive 2, the pressure-sensitive adhesive material 4 applied to the lower edge surface of the frame, and the pressure-sensitive adhesive material 4; It is comprised from the protective film 5 adhering to the adhesive material 4 in order.

상기 실시 형태에 있어서는, 프레임 (1) 의 하부 가장자리면에 점착재 (4) 를 도포 점착했는데, 미리 점착재 (4) 와 보호 필름 (5) 이 층상으로 형성된 층상 점착재를 사용하는 경우에는, 간단하게 프레임 (1) 의 하부 가장자리면에 층상 점착재를 적층하여 점착하는 것만으로 충분하다. 그러나, 본 명세서에 있어서는, 이러한 경우도 포함하여 간단하게 「도포 점착함」으로 총칭한다. 다음으로, 상기 서술한 바와 같이 구성된 대형 펠리클 (A) 는, 트레이 (6) 와 덮개 (7) 으로 이루어지는 케이스 (B) 에 수납되어 있다. 덮개과 트레이와의 끼워 맞춤면은 전체 둘레에 걸쳐, 테이프로 시일하거나, 또는 트레이 (6) 와 덮개 (7) 의 코너 일부에 클립 (8) 을 장착해도 된다.In the said embodiment, although the adhesive material 4 was apply | coated and adhered to the lower edge surface of the frame 1, when using the layered adhesive material in which the adhesive material 4 and the protective film 5 were formed in layers previously, It is enough simply to laminate | stack and adhere | attach a layered adhesive material on the lower edge surface of the frame 1. However, in this specification, including such a case, it is generically called "coating adhesion." Next, the large sized pellicle A comprised as mentioned above is accommodated in the case B which consists of the tray 6 and the cover 7. As shown in FIG. The fitting surface between the lid and the tray may be sealed with a tape over the entire circumference, or the clip 8 may be attached to a part of the corner of the tray 6 and the lid 7.

상기 대형 펠리클 (A) 의 보호 필름 (5) 의 외주 가장자리의 외측에는 후술하는 점착 테이프에 의해 트레이 (6) 의 표면에 점착 고정되는 누름 영역 (5a) 이 돌출 형성되어 있다. 이 누름 영역 (5a) 의 치수는, 본 발명자들이 여러 가지의 실험을 거듭한 결과, 그 폭 (W) 이 6㎜ 이상이고, 길이 (L) 가 20㎜ 이상인 것이 바람직하다는 것이 분명해졌다. 이러한 치수를 가진 누름 영역 (5a) 은 점착 테이프 (9) 를 통하여 트레이 (6) 의 표면에 안정된 상태에서 용이하게 점착 고정시킬 수 있었다. 또, 본 발명에 있어서, 상기 길이 (L) 가 50㎜ 이상인 것이 보다 바람직하고, 상기 길이 (L) 가 300㎜ 이상인 것이 더욱 바람직하다. 또한, 펠리클 프레임 중 적어도 2 변에 있어서, 각 변의 길이의 5% 이상을 누름 영역의 길이로 하는 것이 바람직하고, 적어도 대향하는 2 변에 있어서, 각 변의 길이의 5% 이상을 누름 영역의 길이로 하는 것이 바람직하다. 또한, 상기의 누름 영역 (5a) 의 폭 (W) 및 길이 (L) 에 대해서는, 누름 영역이 트레이 단부에 닿는 경우를, 그 상한으로 한다.On the outer side of the outer peripheral edge of the protective film 5 of the said large sized pellicle A, the pressing area | region 5a adhesively fixed to the surface of the tray 6 is formed by the adhesive tape mentioned later. As for the dimension of this press area | region 5a, when the present inventors repeated various experiments, it became clear that the width W was 6 mm or more, and it was preferable that the length L was 20 mm or more. The pressing area 5a having such a dimension could easily be adhesively fixed in the stable state to the surface of the tray 6 via the adhesive tape 9. Moreover, in this invention, it is more preferable that the said length L is 50 mm or more, and it is still more preferable that the said length L is 300 mm or more. Moreover, in at least 2 sides of a pellicle frame, it is preferable to make 5% or more of the length of each side into the length of a pressing area, and at least 5% of the length of each side in the opposing 2 sides as the length of a pressing area. It is desirable to. In addition, about the width W and length L of said pressing area | region 5a, the case where a pressing area | region touches an edge part of a tray is made into the upper limit.

본 발명의 수납 방법 및 그 수납 구조체를 실시함에 있어서는, 상기 서술한 도 1 및 도 2 에 나타내는 바와 같이, 케이스 (B) 의 트레이 (6) 의 중앙부에 대형 펠리클 (A) 을 탑재하고, 또한 대형 펠리클 (A) 의 프레임 (1) 의 외방으로 돌출하고 있는 보호 필름 (5) 이 누름 영역 (5a) 을, 소정 폭 및 길이의 점착 테이프 (9) 를 사용하여 트레이 (6) 의 표면에 점착함으로써, 대형 펠리클 (A) 을 트레이 (6) 의 중앙부에 매우 안정된 상태에서 간단하고 확실하게 유지 고정시킬 수 있다. In implementing the storage method of this invention and its storage structure, as shown in FIG. 1 and FIG. 2 mentioned above, the large sized pellicle A is mounted in the center part of the tray 6 of the case B, and it is large in size. The protective film 5 which protrudes outward of the frame 1 of the pellicle A adhere | attaches the pressing area 5a to the surface of the tray 6 using the adhesive tape 9 of predetermined width and length. The large pellicle A can be simply and reliably fixed in the center of the tray 6 in a very stable state.

본 발명에 관련된 수납 방법 및 그 수납 구조체에 있어서는, 상기 서술한 바와 같이, 대형 펠리클 (A) 의 프레임 (1) 의 외방으로 돌출하는 보호 필름 (5) 의 유연성을 갖는 누름 영역 (5a) 을, 유연성이 풍부한 점착 테이프 (9) 를 통하여 케이스 (B) 의 트레이 (6) 의 표면에 점착 고정시키므로, 만일 케이스 (B) 의 트레이 (6) 의 성형 정밀도가 충분하지 않고, 혹은 트레이 (6) 에 휨이 발생해도, 이들의 문제에 상관없이, 대형 펠리클 (A) 을 트레이 (6) 에 안정된 상태에서 간단하게 고정시킬 수 있다. In the storage method which concerns on this invention, and its storage structure, as mentioned above, the pressed area | region 5a which has the flexibility of the protective film 5 which protrudes outward of the frame 1 of the large sized pellicle A, Since it is adhesively fixed to the surface of the tray 6 of the case B via the flexible adhesive tape 9, the molding precision of the tray 6 of the case B is not sufficient or is not provided to the tray 6. Even if warpage occurs, regardless of these problems, the large-size pellicle A can be easily fixed to the tray 6 in a stable state.

또한, 점착 테이프 (9) 는 누름 영역 (5a) 전면을 피복하도록 점착되는 것이 바람직하지만, 점착 고정의 효과가 얻어지는 것이라면 부분적으로 피복하는 양태이어도 된다. Moreover, although it is preferable to adhere | attach so that the adhesive tape 9 may coat | cover the whole pressing area 5a, the aspect which may partially cover may be sufficient as long as the effect of adhesive fixation is acquired.

또한, 본 발명의 수납 방법 및 그 수납 구조체에 있어서는, 케이스 (B) 의 트레이 (6) 에 대형 펠리클 (A) 을 안정된 상태에서 확실하게 유지 고정시킬 수 있기 때문에, 케이스 (B) 의 덮개 (7) 로 대형 펠리클 (A) 을 누를 필요가 없고, 그 때문에, 덮개 (7) 와 대형 펠리클 (A) 의 프레임 (1) 의 간격 (D) 을 1㎜ 이상으로 할 수 있다. 따라서, 대형 펠리클 (A) 과 덮개 (7) 는 충분한 간격을 가지고 있기 때문에, 수송시 등의 진동에 의해 대형 펠리클 (A) 과 덮개가 마찰이 생기지 않고, 발진 문제가 발생될 우려가 없다. 또, 상기 간격 (D) 은, 대형 펠리클 케이스의 보관성 및 세정성의 관점에서 300㎜ 이하가 바람직하다.Moreover, in the storage method of this invention and its storage structure, since the large sized pellicle A can be reliably hold | maintained and fixed to the tray 6 of the case B, the cover 7 of the case B is fixed. ), It is not necessary to press the large pellicle A, and therefore, the space | interval D of the cover 7 and the frame 1 of the large pellicle A can be 1 mm or more. Therefore, since the large sized pellicle A and the lid | cover 7 have sufficient space | interval, the large sized pellicle A and the lid | cover do not generate | occur | produce friction by vibration, etc. at the time of transport, and there is no possibility that a start-up problem may arise. Moreover, 300 mm or less is preferable for the said space | interval D from a viewpoint of the storage property and washability of a large sized pellicle case.

상기 서술한 대형 펠리클 (A) 의 보호 필름 (5) 에 누름 영역 (5a) 을 형성함에 있어서는, 예를 들어 도 3 의 (a)∼(d), 또는 도 4 의 (a)∼(d) 에 나타내는 바와 같이, 보호 필름 (5) 의 외측 프레임의 외측으로 폭 (W) 이 6㎜ 이상이고, 길이 (L) 가 20㎜ 이상인 누름 영역 (5a) 을 돌출 형성하여 구성할 수 있다. 즉, 도 3 의 (a) 의 경우에는, 대형 펠리클 (A) 의 중앙이 제거된 보호 필름 (5) 의 장변의 외측 중앙에 누름 영역 (5a) 을 형성한 구조로서, 도 3 의 (b) 의 경우에는, 중앙이 제거된 보호 필름 (5) 의 단변의 외측 중앙에 누름 영역 (5a) 을 형성한 구조이다. 도 3 의 (c) 의 경우에는, 중앙이 제거된 보호 필름 (5) 의 장변과 단변과의 각각의 외측 중앙에 누름 영역 (5a) 을 형성한 구조이고, 또한 도 3 의 (d) 의 경우에는, 중앙이 제거되지 않은 보호 필름 (5) 의 장변과 단변과의 각각의 외측 중앙에 누름 영역 (5a) 을 형성한 구조이다. In forming the pressing area | region 5a in the protective film 5 of the large sized pellicle (A) mentioned above, for example, (a)-(d) of FIG. 3, or (a)-(d) of FIG. As shown to the outer side of the outer frame of the protective film 5, the width | variety W is 6 mm or more, and the press area | region 5a whose length L is 20 mm or more can be formed so that it may be comprised. That is, in the case of FIG. 3 (a), as the structure in which the pressing area | region 5a was formed in the outer center of the long side of the protective film 5 from which the center of the large sized pellicle A was removed, FIG. In the case of, it is a structure in which the pressing area | region 5a was formed in the outer center of the short side of the protective film 5 from which the center was removed. In the case of FIG.3 (c), it is the structure which formed the pressing area | region 5a in each outer center of the long side and short side of the protective film 5 from which the center was removed, and also in the case of FIG. Is a structure in which the pressing area | region 5a was formed in each outer center of the long side and short side of the protective film 5 which the center was not removed.

도 4 의 (a) 의 경우에는, 중앙이 제거된 보호 필름 (5) 의 장변의 외측 중앙과 단변의 외측 전체 길이에 걸쳐 누름 영역 (5a) 을 형성한 구조로서, 도 4 의 (b) 의 경우에는, 중앙이 제거된 보호 필름 (5) 의 장변의 외측의 거의 전체 길이와 단변의 중앙에 각각 누름 영역 (5a) 을 형성한 구조이다. 또, 도 4 의 (c) 의 경우에는, 중앙이 제거된 보호 필름 (5) 의 장변 및 단변의 각각의 전체 길이에 걸쳐 누름 영역 (5a) 이 연속으로 형성되어 있다. 도 4 의 (d) 의 경우에는, 중앙이 제거되지 않은 보호 필름 (5) 의 장변 및 단변의 각각의 전체 길이에 걸쳐 누름 영역 (5a) 이 연속으로 형성된 구조이다. In the case of FIG. 4 (a), as the structure in which the pressing area | region 5a was formed over the outer center of the long side of the long side of the protective film 5 from which the center was removed, and the outer full length of the short side, as shown in FIG. In the case, it is the structure which formed the pressing area | region 5a in the substantially full length of the outer side of the long side of the protective film 5 from which the center was removed, and the center of the short side, respectively. Moreover, in the case of FIG.4 (c), the pressing area | region 5a is continuously formed over each full length of the long side and short side of the protective film 5 from which the center was removed. In the case of FIG.4 (d), it is a structure in which the pressing area | region 5a was continuously formed over the full length of each of the long side and short side of the protective film 5 in which the center was not removed.

또한, 보호 필름의 형상의 예를 도 5 에 나타낸다.Moreover, the example of the shape of a protective film is shown in FIG.

본 발명에 사용되는 보호 필름의 재질로는, 바람직하게는, 폴리에틸렌테레프탈레이트 수지, 폴리에틸렌 수지 등이 사용된다. 또, 보호 필름의 두께로는, 바람직하게는 30㎛∼500㎛ 인 것이 사용된다.As a material of the protective film used for this invention, Preferably, polyethylene terephthalate resin, a polyethylene resin, etc. are used. Moreover, as thickness of a protective film, the thing of 30 micrometers-500 micrometers preferably is used.

본 발명에 사용되는 케이스의 재질은, 폴리에틸렌테레프탈레이트 수지나 아크릴로니트릴부타디엔스티렌 수지, 아크릴 수지, 폴리카보네이트 수지, 폴리염화 비닐 수지 등의 수지를 사용할 수 있다. 또, 대전 방지 타입의 수지를 사용해도 된다. 특히, 아웃 가스의 발생량이 적은 것을 사용하는 것이 바람직하다.As a material of the case used for this invention, resin, such as a polyethylene terephthalate resin, an acrylonitrile butadiene styrene resin, an acrylic resin, a polycarbonate resin, a polyvinyl chloride resin, can be used. Moreover, you may use antistatic type resin. In particular, it is preferable to use a thing with little generation amount of outgas.

또, 본 발명에 사용되는 점착 테이프의 기재로는, 예를 들어, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리염화비닐이나 부직포 등이 사용될 수 있다. 또, 점착 테이프의 점착제로는, 예를 들어, 아크릴계의 것이나 폴리비닐알코올 등을 사용할 수 있다. 또한, 점착 테이프로는, 아웃 가스의 발생량이 적은 것이 바람직하다. 또, 대전 방지 처리를 실시한 것이어도 된다.Moreover, as a base material of the adhesive tape used for this invention, polyethylene, a polypropylene, polyethylene terephthalate, polyvinyl chloride, a nonwoven fabric, etc. can be used, for example. Moreover, as an adhesive of an adhesive tape, an acryl-type thing, polyvinyl alcohol, etc. can be used, for example. Moreover, as an adhesive tape, it is preferable that the generation amount of outgas is small. In addition, the antistatic treatment may be performed.

본 발명자는, 상기 서술한 바와 같은 구성을 갖는 본 발명의 대형 펠리클의 수납 방법 및 그 수납 구조체를 사용하여 실험한 결과, 다음과 같은 실시예에 나타내는 것과 같은 좋은 결과를 얻을 수 있었다.MEANS TO SOLVE THE PROBLEM As a result of experiment using the storage method of the large sized pellicle of this invention which has the structure mentioned above, and its storage structure, the present inventors were able to obtain the good result as shown in the following Example.

실시예 1 Example 1

외형 치수가 427㎜ × 294㎜ 이고, 보호 필름 (5) 의 장변 및 단변의 중앙부에 각각 치수 W 10㎜ × L 100㎜ 가 누름 영역 (5a) 을 형성한 대형 펠리클 (A) 을, ABS 수지재로 진공 성형된 케이스 (B) 의 트레이 (6) 상에 탑재하고, 상기 누름 영역 (5a) 을 점착 테이프 (9 ; 테이프 사이즈 : 15㎜ × 120㎜) 를 개재하여 트레이 (6) 에 점착 고정시킨 후에, 그 트레이 (6) 상에 덮개 (7) 를 씌워 덮고, 이들 트레이 (6) 와 덮개 (7) 의 코너부에 클립 (8) 을 장착하여 양자를 고정시켰다. 이 때, 대형 펠리클 (A) 의 프레임 (1) 과 덮개 (7) 의 간격 (D) 을 성형 정밀도를 고려하여 3.6㎜ 이상으로 유지하도록 했다. 이 상태에서 대형 펠리클 (A) 을 장거리 수송 테스트한 결과, 대형 펠리클 (A) 과 케이스 (B) 사이에는 마찰은 확인되지 않고, 대형 펠리클 (A) 의 펠리클막 (3) 에도, 프레임 (1) 의 둘레 어디에도 먼지가 장착되어 있는 것은 확인되지 않았다. 또, 대형 펠리클 (A) 은 최초로 탑재된 상태에서 유지 고정되어 있었다. 장거리 수송 테스트의 최대 충격치는 10cm/s2 이었다.The large sized pellicle A having an outer dimension of 427 mm × 294 mm and having dimensions W 10 mm × L 100 mm formed in the pressing area 5a respectively at the central portion of the long side and the short side of the protective film 5 is an ABS resin material. On the tray 6 of the case B vacuum-formed, and the pressing area 5a was adhesively fixed to the tray 6 via an adhesive tape 9 (tape size: 15 mm x 120 mm). Subsequently, the lid 7 was covered on the tray 6, and the clips 8 were attached to the corner portions of the tray 6 and the lid 7 to fix both. At this time, the space | interval D of the frame 1 and the lid | cover 7 of the large sized pellicle A was made into 3.6 mm or more in consideration of shaping | molding precision. As a result of the long-distance transport test of the large pellicle A in this state, no friction was confirmed between the large pellicle A and the case B, and the pellicle film 3 of the large pellicle A also had a frame 1. No dust was attached anywhere around the perimeter. Moreover, the large sized pellicle A was hold | maintained and fixed in the state mounted for the first time. The maximum impact value of the long distance transport test was 10 cm / s 2 .

실시예 2 Example 2

외형 치수가 905㎜ × 750㎜, 보호 필름 (5) 의 장변 및 단변의 중앙부에 각각 치수 W10㎜ × L100㎜ 의 누름 영역 (5a) 을 형성한 대형 펠리클 (A) 을, ABS 수지재로 진공 성형된 케이스 (B) 의 트레이 (6) 상에 탑재하고, 상기 누름 영역 (5a) 을 점착 테이프 (9 ; 테이프 사이즈 : 15㎜ × 120㎜) 를 통하여 트레이 (6) 에 점착 고정된 후에, 그 트레이 (6) 상에 덮개 (7) 를 씌워 덮고, 이들의 트레이 (6) 와 덮개 (7) 의 코너부에 클립 (8) 을 장착하여 양자를 고정시켰다. 이 때, 대형 펠리클 (A) 의 프레임 (1) 과 덮개 (7) 의 간격 (D) 을 성형 정밀도를 고 려하여 3.6㎜ 이상으로 유지하도록 했다. 상기 실시예 1 과 완전히 동일한 조건으로 수송 테스트를 실시한 결과, 대형 펠리클 (A) 과 케이스 (B) 사이에는 마찰은 확인되지 않고, 대형 펠리클 (A) 의 펠리클막 (3) 에도, 프레임 (1) 의 주위 중 어디에도 먼지가 장착되어 있는 것은 확인되지 않았다. 또, 대형 펠리클 (A) 은 최초의 탑재시와 동일하게, 트레이 (6) 상에 안정된 상태에서 유지 고정되어 있었다.Vacuum-molding the large sized pellicle A in which the pressing area 5a of dimensions W10mmxL100mm was formed in the center part of the 905 mm x 750 mm and the long side and short side of the protective film 5, respectively, in external dimension. After mounting on the tray 6 of the made case B, the said pressing area 5a was adhesively fixed to the tray 6 via the adhesive tape 9 (tape size: 15 mm x 120 mm), and that tray The lid 7 was covered on (6), and the clip 8 was attached to the corner of these tray 6 and the lid 7, and both were fixed. At this time, the space | interval D of the frame 1 and the lid | cover 7 of the large sized pellicle A was made into 3.6 mm or more in consideration of shaping | molding precision. As a result of carrying out the transport test under the same conditions as in Example 1, no friction was confirmed between the large pellicle A and the case B, and the frame 1 was also used for the pellicle film 3 of the large pellicle A. No dust was attached to any of the surroundings. Moreover, the large sized pellicle A was hold | maintained and fixed on the tray 6 similarly at the time of initial loading.

실시예 3∼6 Examples 3-6

펠리클의 외형 치수 및 보호 필름의 장변 및 단변의 중앙부에 형성된 누름 영역의 사이즈 (W × L) 를 하기 표 1 과 같이 한 대형 펠리클 (A) 을, ABS 수지재로 진공 성형된 케이스 (B) 의 트레이 (6) 상에 탑재하고, 상기 누름 영역 (5a) 를 점착 테이프 (9) 를 통하여 트레이 (6) 에 점착 고정시킨 후에, 그 트레이 (6) 상에 덮개 (7) 를 씌워 덮고, 이들의 트레이 (6) 와 덮개 (7) 의 끼워 맞춤부를 테이프로 전체 둘레를 시일하였다. 누름 테이프 사이즈 및 대형 펠리클 (A) 의 프레임 (1) 과 덮개 (7) 의 간격 (D) 은, 하기 표 1 과 같다. 이들의 펠리클케이스에 대해, 상기 실시예 1 과 완전히 동일한 조건으로 수송 테스트를 실시한 결과, 대형 펠리클 (A) 과 케이스 (B) 사이에는 마찰이 확인되지 않고, 또한 대형 펠리클 (A) 은 최초의 탑재시와 동일하게, 트레이 (6) 상에 안정된 상태에서 유지 고정되어 있었다.The size (W × L) of the pressing area formed at the center of the long side and the short side of the pellicle and the dimension of the pellicle as shown in Table 1 of the case (B) vacuum-molded with an ABS resin material After mounting on the tray 6 and adhesively fixing the pressing area 5a to the tray 6 through the adhesive tape 9, the lid 7 was covered on the tray 6, and these were covered. The fitting part of the tray 6 and the cover 7 was sealed around the whole with a tape. The pressing tape size and the space | interval D of the frame 1 and the lid | cover 7 of the large sized pellicle A are as Table 1 below. As a result of carrying out a transport test on these pellicle cases under the same conditions as in Example 1, no friction was confirmed between the large pellicle A and the case B, and the large pellicle A was initially mounted. In the same manner as in the case of the present invention, the sheet 6 was held and fixed in a stable state.

실시예Example 펠리클 사이즈Pellicle size 누름 영역 사이즈 (W × L)Press area size (W × L) 간격 DThickness D 누름 테이프 사이즈Press tape size 33 427 × 294427 × 294 10 × 7010 × 70 1515 15 × 9015 × 90 44 782 × 474782 × 474 10 × 7010 × 70 1515 15 × 9015 × 90 55 905 × 750905 × 750 10 × 50010 × 500 3030 15 × 60015 × 600 66 1136 × 7831136 × 783 10 × 50010 × 500 3030 15 × 60015 × 600

단위: ㎜Unit: mm

비교예 1 Comparative Example 1

외형 치수가 427㎜ × 294㎜ 인 대형 펠리클 (A) 을, ABS 수지재를 진공 성형으로 성형한 트레이 (6) 상에, 그대로 (점착 테이프 (9) 를 사용하지 않음) 탑재하고, 트레이 (6) 에 덮개 (7) 를 씌워 덮어 클립 (8) 으로 고정시키고, 덮개 (7) 와 대형 펠리클 (A) 의 프레임 (1) 의 간격 (D) 을 설계 치수로 0.5㎜ 로 유지한 상태에서 하고, 상기 실시예 1 과 동일한 조건으로 수송 테스트를 한 결과, 대형 펠리클 (A) 과 덮개 (7) 사이에 마찰의 흔적이 확인되고, 또한 대형 펠리클 (A) 의 펠리클막 (3) 의 일부에 미세한 먼지가 장착되어 있는 것이 확인되었다.The large sized pellicle A having an external dimension of 427 mm × 294 mm was mounted on the tray 6 in which the ABS resin material was formed by vacuum molding as it is (without using the adhesive tape 9), and the tray 6 ) Cover with a lid (7) and secure it with a clip (8), while keeping the distance (D) between the lid (7) and the frame (1) of the large pellicle (A) at a design dimension of 0.5 mm, As a result of the transport test under the same conditions as in Example 1, traces of friction were observed between the large pellicle A and the lid 7, and fine dust was formed on a part of the pellicle film 3 of the large pellicle A. Has been confirmed.

비교예 2 Comparative Example 2

외형 치수가 427㎜ × 294㎜ 인 대형 펠리클 (A) 을, 비교예 1 과 동일하게, 트레이 (6) 상에 그대로 탑재하고, 트레이 (6) 에 씌워 덮은 덮개 (7) 와 대형 펠리클 (A) 의 프레임 (1) 의 간격 (D) 을 성형 정밀도를 고려하여 3.6㎜ 이상으로 한 상태로, 실시예 1 과 동일한 조건으로 수송 테스트를 한 결과, 대형 펠리클 (A) 과 덮개 (7) 사이에 마찰이 생긴 흔적이 확인되었다. 또, 대형 펠리클 (A) 의 프레임 (1) 주위에 미세한 먼지가 장착되어 있는 것이 확인되었다.Large pellicle A having an external dimension of 427 mm × 294 mm is mounted on the tray 6 as it is in the same manner as in Comparative Example 1, and the lid 7 and the large pellicle A covered with the tray 6 are covered. As a result of the transport test under the same conditions as in Example 1, with the spacing D of the frame 1 in consideration of the molding precision being 3.6 mm or more, friction between the large pellicle A and the lid 7 was observed. This trace was confirmed. In addition, it was confirmed that fine dust was attached around the frame 1 of the large-size pellicle A. FIG.

본 발명의 대형 펠리클의 수납 방법 및 그 수납 구조체를 사용하면, 대형 펠리클을, 케이스의 성형 정밀도의 고저나 변형의 유무에 상관없이, 안정된 상태에서 케이스에 수납할 수 있어 대형 펠리클을 손상없이 안전하게 수송할 수 있다.By using the storage method and the storage structure of the large pellicle of the present invention, the large pellicle can be stored in the case in a stable state regardless of the height or deformation of the molding accuracy of the case, thereby safely transporting the large pellicle without damage. can do.

Claims (6)

프레임과, 그 프레임의 상부 가장자리면에 접착된 펠리클막과, 그 프레임의 하부 가장자리면에 도포 점착된 점착재와, 그 점착재를 보호하기 위해서 프레임의 하면에 점착된 보호 필름으로 이루어지는, 면적이 1000㎠ 이상인 대형 펠리클을 트레이와 덮개로 이루어지는 케이스에 수납하는 것을 포함하는, 대형 펠리클의 수납 방법에 있어서, 상기 대형 펠리클의 보호 필름의 외주 가장자리의 일부 또는 전부를 외측으로 돌출시켜 누름 영역을 형성하고, 또한 그 누름 영역을 위에서부터 점착 테이프를 이용하여 그 트레이에 고정시켜 그 대형 펠리클을 케이스 내에 수납하는 것을 특징으로 하는 대형 펠리클의 수납 방법.The area consists of a frame, a pellicle film adhered to the upper edge surface of the frame, an adhesive material applied to the lower edge surface of the frame, and a protective film adhered to the lower surface of the frame to protect the adhesive material. A method of storing a large pellicle, comprising storing a large pellicle of 1000 cm 2 or more in a case consisting of a tray and a lid, wherein a part or all of the outer peripheral edge of the protective film of the large pellicle is projected outward to form a pressing area And the pressing area is fixed to the tray using an adhesive tape from above to store the large pellicle in the case. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 보호 필름의 누름 영역의 폭을 6㎜ 이상, 길이를 20㎜ 이상으로 형성한 대형 펠리클의 수납 방법.The storage method of the large sized pellicle which formed the width | variety of the pressed area | region of the said protective film in 6 mm or more and length in 20 mm or more. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 케이스의 트레이에 탑재된 대형 펠리클의 프레임과 그 트레이에 씌워 덮은 덮개 사이에 적어도 1㎜ 이상의 간격을 형성하여 수납하는 대형 펠리클의 수납 방법.A method for storing a large pellicle, wherein a space of at least 1 mm is formed between the frame of the large pellicle mounted on a tray of the case and a cover covered with the tray. 프레임과, 그 프레임의 상부 가장자리면에 접착된 펠리클막과, 그 프레임의 하부 가장자리면에 도포 점착된 점착재와, 그 점착재를 보호하기 위해서 프레임의 하면에 점착된 보호 필름으로 이루어지는, 면적이 1000㎠ 이상인 대형 펠리클이 트레이와 덮개로 이루어지는 케이스에 수납된 대형 펠리클 수납 구조체에 있어서, 상기 대형 펠리클의 보호 필름의 외주 가장자리의 일부 또는 전부가 외측으로 돌출하는 누름 영역을 갖고, 또한 그 누름 영역이 위에서부터 점착 테이프를 이용하여 그 트레이에 고정되어 있는 대형 펠리클 수납 구조체.The area consists of a frame, a pellicle film adhered to the upper edge surface of the frame, an adhesive material applied to the lower edge surface of the frame, and a protective film adhered to the lower surface of the frame to protect the adhesive material. In a large pellicle storage structure in which a large pellicle of 1000 cm 2 or more is accommodated in a case consisting of a tray and a lid, a part or all of the outer peripheral edge of the protective film of the large pellicle has a pressing area protruding outward, and the pressing area is A large pellicle storage structure fixed to the tray by using an adhesive tape from above. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 보호 필름의 누름 영역의 폭이 6㎜ 이상, 길이가 20㎜ 이상인 대형 펠리클 수납 구조체.The large pellicle storage structure having a width of the pressing area of the protective film of 6 mm or more and a length of 20 mm or more. 제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,The method according to claim 4 or 5, 상기 케이스의 트레이에 탑재된 대형 펠리클의 프레임과 그 트레이에 씌워 덮은 덮개 사이에 적어도 1㎜ 이상의 간격을 갖는 대형 펠리클 수납 구조체.And a large pellicle storage structure having a distance of at least 1 mm between a frame of the large pellicle mounted on the tray of the case and a cover covered with the tray.
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