JP5416154B2 - Substrate storage container, glass substrate storage body with film, mask blank storage body, and transfer mask storage body - Google Patents
Substrate storage container, glass substrate storage body with film, mask blank storage body, and transfer mask storage body Download PDFInfo
- Publication number
- JP5416154B2 JP5416154B2 JP2011061985A JP2011061985A JP5416154B2 JP 5416154 B2 JP5416154 B2 JP 5416154B2 JP 2011061985 A JP2011061985 A JP 2011061985A JP 2011061985 A JP2011061985 A JP 2011061985A JP 5416154 B2 JP5416154 B2 JP 5416154B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- glass substrate
- groove
- substrate
- holding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Description
本発明は、ガラス基板の表面に遮光膜およびレジスト膜が積層された構成のマスクブランク、パターニングされた遮光膜が積層されている転写マスクなどの膜付きガラス基板を搬送するために用いる基板収納容器に関するものである。 The present invention relates to a substrate storage container used for transporting a glass substrate with a film such as a mask blank having a structure in which a light shielding film and a resist film are laminated on the surface of a glass substrate, and a transfer mask in which a patterned light shielding film is laminated. It is about.
マスクブランク、転写マスクなどの基板は一般に機械的に脆弱であり、その用途上、微細な塵などが表面に付着しないように管理する必要がある。このような基板を出荷するに当たっては、埃などが侵入しないように密閉状態の容器に基板を収納する必要がある。また、表面を傷つけることの無いように、基板外周縁部分のみを保持した状態で基板を収納する必要がある。 Substrates such as mask blanks and transfer masks are generally mechanically fragile, and it is necessary to manage them so that fine dust or the like does not adhere to the surface. In shipping such a substrate, it is necessary to store the substrate in a sealed container so that dust and the like do not enter. Further, it is necessary to store the substrate in a state where only the outer peripheral edge portion of the substrate is held so as not to damage the surface.
特許文献1には、大型サイズの基板(大型精密シート状(半)製品)を縦置き状態で密閉収納するための縦型容器が提案されている。この縦型容器では、支持部材および一対の保持部材にそれぞれ形成されている支持用溝および一対の保持用溝によって、容器内において縦置き状態の基板の下側の外周端面部分および左右の外周端面部分を保持できるようになっている。また、基板を収納した本体部に蓋体部を被せると、これらの間に介在しているOリングによって内部が密閉状態に保持されるようになっている。
また、基板の外周端面を保持するための溝は、当該特許文献にも開示されているように、溝底面から溝開口側に向けて左右に広がった台形状の断面とされ、基板の外周端面部分を両側から把持でき、基板表面には当らないようになっている。 Further, as disclosed in the patent document, the groove for holding the outer peripheral end surface of the substrate has a trapezoidal cross section extending from the groove bottom surface to the groove opening side to the left and right, and the outer peripheral end surface of the substrate. The part can be gripped from both sides and does not hit the substrate surface.
ここで、基板の外周端面部分を把持するための溝の断面形状を適切に設定しないと、マスクブランク、転写マスクなどのように、ガラス基板の表面に薄膜が形成されているものにおいては、ガラス基板表面の薄膜の端が溝側面に干渉するおそれがある。これらが干渉すると、薄膜の一部が剥離して、薄膜表面に塵として付着するなどの弊害を引き起こすので好ましくない。 Here, in the case where a thin film is formed on the surface of a glass substrate, such as a mask blank or a transfer mask, if the cross-sectional shape of the groove for holding the outer peripheral end surface portion of the substrate is not set appropriately, There is a possibility that the end of the thin film on the substrate surface interferes with the groove side surface. If these interfere, a part of the thin film is peeled off and causes a bad effect such as adhering to the surface of the thin film as dust.
図5を参照して説明すると、膜付きガラス基板、例えばマスクブランク100においては、ガラス基板101として外周端面の両側の縁に面取りが施されたものが使用され、また、そのガラス基板101の表面102には遮光膜103およびレジスト膜104が積層されている。遮光膜103およびレジスト膜104の外周縁105は、それらの成膜後に、ガラス基板101の面取り面102aから外側にはみ出している部分が除去される。この構成のマスクブランク100を収納するために用いる容器110の溝120として、左右の側面121、122がガラス基板101の面取り面102aとほぼ同一の傾斜角度となっている場合には、マスクブランク100を当該溝120に挿入する際に、遮光膜およびレジスト膜の外周縁105が溝側面121に当たり、膜の一部が剥離するなどの弊害が発生する。また、挿入時に膜が剥離しなくとも、搬送中に加わる振動などによって、マスクブランク100の外周端面が溝から浮き上がる方向に振動すると、膜の外周縁105が溝側面121に繰り返し当たり、剥離などの弊害が発生してしまう。
Referring to FIG. 5, in a glass substrate with a film, for example, a mask blank 100, a
本発明の課題は、このような点に鑑みて、マスクブランク、転写マスクなどの膜付きガラス基板の外周端面が挿入保持される基板収納容器の溝の断面形状を改良して、基板表面に形成されている膜が溝側面に干渉して剥離するなどの弊害が発生しないようにした基板収納容器を提案することにある。 An object of the present invention, in view of the above problems, the mask blank, to improve the cross-sectional shape of the groove of a substrate storage container outer circumferential end face of the film-coated glass board, such as a transfer mask is inserted and held, the substrate surface An object of the present invention is to propose a substrate storage container in which the formed film does not cause adverse effects such as peeling off due to interference with the side surface of the groove.
上記の課題を解決するために、本発明は、表面に薄膜が形成され、当該表面と前記外周端面の出隅部分、および、裏面と外周端面の出隅部分がともに面取り面となっている膜付きガラス基板を収納するための基板収納容器であって、
前記膜付きガラス基板の前記外周端面を保持するための保持溝を有し、
当該保持溝は、溝底面と、対向する第1および第2溝側面とを備えており、
前記溝底面は、前記膜付きガラス基板の前記外周端面に当接し、
前記溝底面と前記第1溝側面の入り隅は、前記膜付きガラス基板の前記外周端面と前記表面側の面取り面との出隅に一致し、
前記第1溝側面と前記溝底面の入り隅の角度は、前記膜付きガラス基板の前記外周端面と前記表面側の面取り面のなす角度より大きく、
前記溝底面と前記第2溝側面の入り隅は、前記膜付きガラス基板の前記外周端面と前記裏面側の面取り面との出隅に一致し、
前記第2溝側面と前記溝底面の入り隅の角度は、前記膜付きガラス基板の前記外周端面と前記裏面側の面取り面のなす角度より大きいことを特徴としている。
In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a film in which a thin film is formed on the surface, and the surface and the protruding corner portion of the outer peripheral end surface, and the protruding corner portion of the back surface and the outer peripheral end surface are both chamfered surfaces. A substrate storage container for storing the attached glass substrate,
A holding groove for holding the outer peripheral end face of the film-coated glass substrate;
The holding groove includes a groove bottom surface and opposing first and second groove side surfaces,
The groove bottom surface is in contact with the outer peripheral end surface of the film-coated glass substrate,
The entering corners of the groove bottom surface and the first groove side surface coincide with the protruding corners of the outer peripheral end surface of the film-coated glass substrate and the chamfered surface on the surface side,
The angle of the corner of the first groove side surface and the groove bottom surface is larger than the angle formed by the outer peripheral end surface of the film-coated glass substrate and the chamfered surface on the surface side,
The entering corners of the groove bottom surface and the second groove side surface coincide with the protruding corners of the outer peripheral end surface of the film-coated glass substrate and the chamfered surface on the back surface side,
The angle between the corners of the second groove side surface and the groove bottom surface is larger than the angle formed by the outer peripheral end surface of the film-coated glass substrate and the chamfered surface on the back surface side .
本発明によれば、膜付きガラス基板の外周端面を保持溝の溝底面に当接させた状態において、膜付きガラス基板の膜の端が、基板外周端面を保持するための保持溝の溝側面に干渉することがない。よって、収納時あるいは搬送時において、かかる干渉により膜が剥離するなどの弊害が発生しないので、埃の発生しない好適な状態で膜付きガラス基板を収納保持できる。 According to the present invention, in the state where the outer peripheral end surface of the glass substrate with film is in contact with the groove bottom surface of the holding groove, the end of the film of the glass substrate with film is the groove side surface of the holding groove for holding the outer peripheral end surface of the substrate. There is no interference. Accordingly, since no adverse effect such as peeling of the film due to such interference occurs during storage or transportation, the glass substrate with film can be stored and held in a suitable state where dust is not generated.
ここで、本発明では、前記第1溝側面と前記溝底面の入り隅の角度は、135°よりも大きく180°よりも小さいことが望ましい。また、前記第2溝側面と前記溝底面の入り隅の角度は、135°よりも大きく180°よりも小さいことが望ましい。 Here, in the present invention, it is desirable that the angle of the corner between the first groove side surface and the groove bottom surface is larger than 135 ° and smaller than 180 ° . In addition, it is desirable that the angle of the corner between the second groove side surface and the groove bottom surface is larger than 135 ° and smaller than 180 ° .
また、この場合、前記溝底面の幅は、前記膜付きガラス基板の前記外周端面の幅と同一とすることが望ましい。このようにすると、膜付きガラス基板の外周端面を保持溝の溝底面に当接させたとき、膜付きガラス基板を保持溝の溝幅方向に確実に位置決めできる。 In this case, the width of the bottom surface of the groove is preferably the same as the width of the outer peripheral end surface of the glass substrate with a film . If it does in this way, when the outer peripheral end surface of the glass substrate with a film is brought into contact with the groove bottom surface of the holding groove, the film-coated glass substrate can be reliably positioned in the groove width direction of the holding groove.
さらに、本発明では、上端開口部、一対の側板部分、一対の端板部分および底板部分により構成される容器本体と、前記上端開口部を封鎖する着脱可能な容器蓋とを備え、前記容器本体における前記一対の端板部分および前記底板部分の各内側面には、基板保持板がそれぞれ着脱可能に取り付けられ、前記基板保持板は、前記膜付きガラス基板の外周端面を保持するための保持溝を有し、前記一対の端板部分および前記底板部分に取り付けられた各基板保持板の保持溝によって前記膜付きガラス基板の前記外周端面を保持することが望ましい。このようにすると、縦置き状態で矩形輪郭の膜付きガラス基板を収納する場合に、この膜付きガラス基板の左右および下側の外周端面を、これら三辺に沿って容器本体内に取り付けた基板保持板の保持溝によって確実に保持できる。そして、保持溝に汚れなどが付着した場合に、基板保持部材を取り外して洗浄することができる。よって、常に汚れの無い状態で膜付きガラス基板を収納できる。 Furthermore, in the present invention, the container main body includes a container main body configured by an upper end opening, a pair of side plate portions, a pair of end plate portions, and a bottom plate portion, and a detachable container lid that seals the upper end opening. A substrate holding plate is detachably attached to each inner side surface of the pair of end plate portions and the bottom plate portion, and the substrate holding plate is a holding groove for holding the outer peripheral end surface of the glass substrate with film It is preferable that the outer peripheral end surface of the glass substrate with a film is held by holding grooves of each substrate holding plate attached to the pair of end plate portions and the bottom plate portion . In this way, when storing a glass substrate with a film having a rectangular outline in a vertically placed state, the left and right and lower outer peripheral end surfaces of the film-coated glass substrate are mounted in the container body along these three sides. It can be securely held by the holding groove of the holding plate. When dirt or the like adheres to the holding groove, the substrate holding member can be removed and cleaned. Therefore, it is possible to store the glass substrate with a film in a state that is always free from dirt.
このとき、前記一対の端板部分の各内側面には、前記上端開口部側から前記底板部分側の方向に差込溝が形成されており、前記基板保持板は、前記差込溝に前記上端開口部側から差し込まれることによって前記端板部分に取り付けられることが望ましい。また、前記底板部分には、前記基板保持板が、その両端部を前記一対の端板部分の各差込溝に挿入した状態で取り付けられることが望ましい。 At this time, an insertion groove is formed in each inner side surface of the pair of end plate portions from the upper end opening side to the bottom plate portion side, and the substrate holding plate is inserted into the insertion groove. It is desirable to attach to the end plate portion by being inserted from the upper end opening side . Further, it is desirable that the substrate holding plate is attached to the bottom plate portion in a state where both end portions thereof are inserted into the respective insertion grooves of the pair of end plate portions .
また、この場合、前記容器蓋は、前記底板部分と対峙する天板部分を備え、当該天板部分の内側面に、当該天板部分の長辺方向に沿って複数の弾性体が設けられており、前記膜付きガラス基板の収納時は、前記一対の端板部分および前記底板部分に取り付けられた各基板保持板の保持溝と前記複数の弾性体によって膜付きガラス基板の外周端面を保持することが望ましい。このようにすると、膜付きガラス基板は、上側の外周端面が弾性体によって下方に押し付けられ、その左右および下側の外周端面が、容器本体内に取り付けられた基板保持板の保持溝によってがたつき無く保持された状態を形成できる。 Further, in this case, the container lid includes a top plate portion facing the bottom plate portion, and a plurality of elastic bodies are provided on the inner side surface of the top plate portion along the long side direction of the top plate portion. When the glass substrate with film is stored, the outer peripheral end face of the glass substrate with film is held by the holding grooves of the substrate holding plates attached to the pair of end plate portions and the bottom plate portion and the plurality of elastic bodies. It is desirable. In this manner, the glass substrate with film has the upper outer peripheral end surface pressed downward by the elastic body, and the left and right and lower outer peripheral end surfaces are rattled by the holding grooves of the substrate holding plate attached in the container body. It is possible to form a state that is held without any problem.
また、本発明において、前記容器蓋は赤色の半透明部分を備えており、前記容器本体に収納される膜付きガラス基板の裏面に前記半透明部分が対峙するように、前記容器蓋を前記容器本体に被せることが可能となっていることが望ましい。このようにすると、容器本体に膜付きガラス基板を収納した後に、膜付きガラス基板に容器蓋が当たることの無いように、半透明部分を通して膜付きガラス基板の位置を確認しながら、容器蓋を被せることができる。また、赤色の半透明部分は、収納される膜付き基板の裏面に対峙することになるので、当該半透明部分を透過した光が直接に基板表面の膜を照射することがないので、感光性のレジスト膜などが形成されている場合においても、当該膜が感光してしまうことがない。 In the present invention, the container lid includes a red translucent portion, and the container lid is disposed on the container so that the translucent portion faces the back surface of the film-coated glass substrate housed in the container body. It is desirable to be able to cover the main body. In this way, after the film-coated glass substrate is stored in the container body, the container lid is checked while confirming the position of the film-coated glass substrate through the translucent part so that the container cover does not hit the film-coated glass substrate. Can be covered. In addition, since the red translucent portion faces the back surface of the substrate with the film to be accommodated, the light transmitted through the translucent portion does not directly irradiate the film on the substrate surface. Even when a resist film or the like is formed, the film is not exposed to light.
次に、本発明は膜付きガラス基板収納体に関するものであり、上記構成の基板収納容器と、当該基板収納容器に収納されている前記膜付きガラス基板とを有することを特徴としている。また、本発明はマスクブランク収納体に関するものであり、上記構成の基板収納容器と、当該基板収納容器に収納されている前記膜付きガラス基板とを有し、当該膜付きガラス基板は、遮光膜およびレジスト膜が積層されたマスクブランクであることを特徴としている。 Next, the present invention relates to a glass substrate storage body with a film, and includes the substrate storage container having the above-described configuration and the glass substrate with a film stored in the substrate storage container. The present invention also relates to a mask blank storage body, comprising a substrate storage container having the above-described configuration and the glass substrate with a film stored in the substrate storage container, wherein the glass substrate with a film is a light shielding film And a mask blank in which a resist film is laminated.
また、本発明は転写マスク収納体に関するものであり、上記構成の基板収納容器と、当該基板収納容器の収納されている前記膜付きガラス基板とを有し、当該膜付きガラス基板は、パターニングされた遮光膜が形成されている転写マスクであることを特徴としている。 The present invention also relates to a transfer mask storage body, comprising a substrate storage container having the above-described configuration and the glass substrate with a film in which the substrate storage container is stored, and the glass substrate with a film is patterned. The transfer mask is provided with a light shielding film.
本発明の基板収納容器では、膜付きガラス基板の外周端面を保持溝の溝底面に当接させた状態において、膜付きガラス基板の膜の端が、基板外周端面を保持するための保持溝の溝側面(第1溝側面)に干渉することがない。よって、収納時あるいは搬送時において、かかる干渉により膜が剥離するなどの弊害が発生しないので、埃の発生しない好適な状態で膜付きガラス基板を収納保持できる。 In the substrate storage container of the present invention, in the state where the outer peripheral end surface of the glass substrate with film is in contact with the groove bottom surface of the holding groove, the end of the film of the glass substrate with film is the holding groove for holding the outer peripheral end surface of the substrate. There is no interference with the groove side surface (first groove side surface). Accordingly, since no adverse effect such as peeling of the film due to such interference occurs during storage or transportation, the glass substrate with film can be stored and held in a suitable state where dust is not generated.
以下に、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
図1は、本発明を適用したマスクブランク収納体を示す斜視図および蓋を外した状態を示す部分斜視図である。図2は図1のa−a線で切断した場合の断面図、b−b線およびc−c線で切断した場合の各断面図である。また、図3はマスクブランクを保持するための溝の断面形状を示す部分拡大断面図である。マスクブランク収納体1は、矩形の一枚のマスクブランク10と、このマスクブランク10を密閉状態で収納している収納容器20から構成されている。
FIG. 1 is a perspective view showing a mask blank housing body to which the present invention is applied and a partial perspective view showing a state where a lid is removed. 2 is a cross-sectional view taken along line aa in FIG. 1 and cross-sectional views taken along line bb and cc. FIG. 3 is a partially enlarged sectional view showing a sectional shape of a groove for holding a mask blank. The mask
まず、収納されているマスクブランク10は、図3から分かるように、一定の厚さの矩形のガラス基板11の表面11aに、遮光膜12およびレジスト膜13が積層された構成となっている。ガラス基板11は矩形形状のものであり、その外周端面11bの両側の縁部分は45度で面取りされた面取り面11c、11dとなっている。ガラス基板表面11aに積層されている遮光膜12およびレジスト膜13の端14は、ガラス基板表面11aと面取り面11cの出隅部分に位置している。例えば、ガラス基板11は厚さが8mmであり、遮光膜12の厚さは約100nm、レジスト膜13の厚さは約1ミクロンである。
First, as shown in FIG. 3, the mask blank 10 accommodated has a structure in which a
次に、収納容器20は、図1に示すように、縦置き型の偏平な直方体形状の容器であり、容器本体30と容器蓋50から構成されている。なお、容器蓋50を容器本体30に固定するための固定具(図示せず)を設けても良い。容器蓋50の下縁枠部分51は、容器本体30の上端開口部31を規定している上縁枠部分32よりも一回り大きく、当該下縁枠部分41の内側に上端縁枠部分32が丁度、嵌り込む大きさとされている。
Next, as shown in FIG. 1, the
容器蓋50を被せた状態では、その下縁枠部分51の下端面が、容器本体30の段面33に当接した状態になる。この状態で、固定具(図示せず)によって容器蓋50が容器本体30の側に締結固定され、容器蓋50と容器本体30の合わせ面が密閉され、収納容器20の内部が密閉状態に保持される。
In a state where the
図2および図3も参照して説明すると、容器本体30は、一対の側板部分35、36、一対の端板部分37、38、底板部分39、および上端が段面33となっている矩形枠状部分40を備えたプラスチック成形品からなる。また、一対の端板部分37、38の内側面には、それぞれ基板保持板42が着脱可能な状態で取り付けられており、これらの基板保持板42には、マスクブランク10の左右の外周端面11bをそれぞれ保持するための保持溝43が形成されている。底板部分39にも着脱可能な状態で基板保持板44が配置されており、当該保持板44にもマスクブランク10の下側の外周端面11bを保持するための保持溝45が形成されている。
2 and 3, the
本例では、端板部分37、38の内側面に上下方向に延びる差込溝37a、38aが形成されており、各基板保持板42を、それらの上端開口から垂直に差し込むことにより、端板部分37、38に取り付けることができ、上端開口から上方に引き抜くことにより取り外すことが可能となっている。また、底板部分39の基板保持板44は、その両端部が端板部分37、38に形成した差込溝37a、38aの下端部に挿入された状態で配置される。したがって、基板保持板44の両端部を差込溝37a、38aに入れた状態で底板部分39まで落とし込み、次に、左右の基板保持板42を差込溝37a、38aに上側から差し込むと、これらの基板保持板42の下端面によって底板部分39に配置した基板保持板44の両端部が押さえ付けられて固定される。差込溝37a、38aに差し込まれた左右の基板保持板42は、固定用のビス(不図示)によって、端板部分37、38に固定されるようになっている。
In this example,
左右の基板保持板42の保持溝43に沿って、上側からマスクブランク10を挿入すると、左右の保持溝43と、底板部分39の基板保持板44の保持溝45によって、マスクブランク10の左右および下側の外周端面の三辺が保持された状態で、容器本体30に収納された状態になる。
When the mask blank 10 is inserted along the holding
一方、容器蓋50は、一対の側板部分53、54と、一対の端板部分55、56と、天板部分57を備えたプラスチック製のものである。天板部分57には外周端面の長辺方向に沿って一定の間隔で複数の弾性体58が設けられている。容器本体30にマスクブランク10を収納した後に容器蓋50を被せた状態において、これらの弾性体58によってマスクブランク10の上側の外周端面が下方に押し付けられた状態が形成されるように、弾性体58の取り付け高さが設定されている。したがって、容器蓋50を被せ、締結具60によって容器蓋50を容器本体30に固定した状態では、その内部に収納されているマスクブランク10は、上側の外周端面が弾性体58によって下方に押し付けられ、その左右および下側の外周端面が、容器本体30の左右の保持溝43および底側の保持溝45によってがたつき無く保持された状態が形成される。
On the other hand, the
ここで、本例の容器蓋50においては、一方の側板部分53における下縁枠部分51より上側の部分が赤色の半透明板59によって形成されている。容器蓋50を容器本体30に着脱する際に、外側から当該半透明板59を通して、内部のマスクブランク10の上端部分を視認できるようになっている。
Here, in the
(保持溝の断面形状)
次に、図3を参照して、本例の保持溝43、45の断面形状について説明する。左右の基板保持板42および底側の基板保持板44に形成されている保持溝43、45の断面形状は同一であるので、底側の基板保持板44に形成されている保持溝45について説明し、左右の保持溝43については詳細な説明を省略する。
(Cross-sectional shape of holding groove)
Next, with reference to FIG. 3, the cross-sectional shape of the holding
本例の保持溝45は、溝底面45aと、一対の溝側面45b、45cとによって規定されており、溝開口側に向けて広がった台形状の断面形状をしている。溝底面45aと、一方の溝側面45bが交わる入り隅の角度θaは次の角度範囲とされ、本例では、150°に設定されている。
135°<θa<180°
The holding
135 ° <θa <180 °
これに対して、溝底面45aと、他方の溝側面45cが交わる入り隅の角度θbは次の角度範囲とされ、本例では100°に設定されている。
90°<θb<135°
On the other hand, the angle θb of the corner where the
90 ° <θb <135 °
先に説明したように、マスクブランク10の外周縁には面取り面11c、11dが形成されており、表面11aと面取り面11cのなす角度、裏面11eと面取り面11dのなす角度は45°となっている。したがって、図3に示すように、マスクブランク10の表面側(膜形成側)が溝側面45bの側となるように、マスクブランク10の外周端面11bを保持溝45に挿入すると、表面に形成されている遮光膜およびレジスト膜の端14に対して溝側面45bが干渉しないように離れ、反対側の溝側面45cには、ガラス基板の裏面11eと面取り面11dの出隅が当接した状態になる。
As described above, the chamfered surfaces 11c and 11d are formed on the outer peripheral edge of the mask blank 10, and the angle formed between the
左右の基板保持板42に形成されている保持溝43も同一断面となっており、溝底面43a、溝側面43b、43cを備え、溝底面43aと溝側面43bの入り隅の角度θaが上記のように設定され、溝底面43aと他方の溝側面43cの入り隅の角度θbも上記のように設定されている。
The holding
したがって、マスクブランク10の表面の遮光膜およびレジスト膜の端14に、溝側面43b、45bが干渉してしまうことを回避できる。また、マスクブランク10の裏面11eと面取り面11dの出隅が溝側面43c、45cに当たり、マスクブランク10の溝幅方向の位置決めもなされる。特に、図3に示すように、外周端面11bと表面側の面取り面11cの出隅が、保持溝43、45の溝底面43aと溝側面43bの入り隅、および、溝底面45aと溝側面45bの入り隅に一致するように、溝底面43a、45aの幅を設定しておけば、マスクブランク10の溝幅方向の位置決めが確実に行われ、保持溝43、45内においてマスクブランク10の外周端面11bが溝幅方向に移動することを確実に防止できる。
Therefore, it can be avoided that the groove side surfaces 43b and 45b interfere with the light shielding film on the surface of the mask blank 10 and the
なお、保持溝43(45)としては図4に示すように、溝底面43a(45a)と左右の溝側面43b、43c(45b、45c)の入り隅の角度θが、135°<θ<180°の範囲内の角度に設定されたものであってもよい。この場合においても、マスクブランク表面の遮光膜およびレジスト膜の端14と保持溝43(45)の溝側面との干渉を回避できる。また、溝底面の幅と、マスクブランクの外周端面の幅を同一幅としておけば、マスクブランクの溝幅方向の位置決めも行われる。
As shown in FIG. 4, as the holding groove 43 (45), the angle θ between the
また、図3に示す断面形状の保持溝と、図4に示す断面形状の保持溝を組み合わせて用いることもできる。例えば、左右の基板保持板42の保持溝43として図3に示す保持溝を採用し、底側の基板保持板44の保持溝45として図4に示す保持溝を採用することができる。逆に、左右の基板保持板の保持溝として図4に示すものを採用し、底側の基板保持板の保持溝として図4に示すものを採用することもできる。
Moreover, the cross-sectional holding groove shown in FIG. 3 and the cross-sectional holding groove shown in FIG. 4 can be used in combination. For example, the holding groove shown in FIG. 3 can be adopted as the holding
以上説明したように、本例のマスクブランク収納体1では、マスクブランク10の左右および下側の三辺の外周端面11bが、収納容器20の容器本体30の左右の保持溝43および底側の保持溝45によって保持され、この状態で、マスクブランク10は容器蓋50の弾性体58によってがたつかないように押さえ付けられている。また、容器蓋50と容器本体30の合わせ面はシール材により密閉され、マスクブランク10が収納されている内部が密閉状態となっている。さらに、各保持溝43、45の一方の溝側面43b、45bの傾斜角度を、マスクブランク10の表面に形成した遮光膜およびレジスト膜の端14に干渉しないように設定してある。
As described above, in the mask
したがって、本例のマスクブランク収納体1を用いれば、マスクブランク10を傷つけることなく、また、表面に塵、埃などが付着することなく、マスクブランク10の移動、輸送を行うことができる。特に、保持溝43、45の溝側面43b、45bがマスクブランク10の膜に干渉しないので、マスクブランク10を収納容器20に出し入れする作業時、あるいは、マスクブランク収納体1の搬送あるいは輸送時に、かかる干渉によって膜の端が剥離して、それによって発生した埃がマスクブランク表面に付着するという弊害を確実に防止できる。
Therefore, if the mask
また、本例のマスクブランク収納体1の収納容器20の容器蓋50は、その一方の側板部分に赤色の半透明板59が取り付けられている。容器蓋50は、この半透明板59が、収納されるマスクブランク10の裏面側に面するように、容器本体30に被せられる。半透明板59を通して、容器本体30に収納されたマスクブランク10の上端部分を視認できるので、容器蓋50を被せる際あるいは取り外す際に、容器蓋50をマスクブランク10に当たらないように扱うことができる。また、半透明板59はマスクブランク10の裏面に対峙する。半透明板59を通して外光の一部の光成分がマスクブランク10の裏面を照射しても、反対側の表面11aに形成されているレジスト膜13が感光してしまうなどといった弊害が発生することもない。
In addition, the
ここで、容器蓋50の半透明板59が、容器本体30に収納されたマスクブランク10の裏面側に面するように、容器本体30に、半透明板59を位置させる側を示す指標を設けておくことが望ましい。
Here, the
なお、上記の例は、マスクブランク収納体についてのものであるが、本発明は、遮光膜がパターニングされている転写マスクの収納体、収納容器としても用いることができる。さらには、表面に膜が形成されている膜付きガラス基板であれば、マスクブランクおよび転写マスク以外のものであっても、本発明を適用できる。 In addition, although said example is a thing about a mask blank storage body, this invention can be used also as a storage body and storage container of the transfer mask by which the light shielding film was patterned. Furthermore, the present invention can be applied to a glass substrate with a film having a film formed on the surface, even if it is other than a mask blank and a transfer mask.
1 マスクブランク収納体
10 マスクブランク
11 ガラス基板
11a 表面
11b 外周端面
11c、11d 面取り面
11e 裏面
12 遮光膜
13 レジスト膜
14 膜の端
20 収納容器
30 容器本体
35、36 側板部分
37、38 端板部分
37a、38a 差込溝
39 底板部分
42、44 基板保持板
43、45 保持溝
43a、45a 溝底面
43b、43c、45b、45c 溝側面
50 容器蓋
58 弾性体
59 半透明板
DESCRIPTION OF
Claims (12)
前記膜付きガラス基板の前記外周端面を保持するための保持溝を有し、
当該保持溝は、溝底面と、対向する第1および第2溝側面とを備えており、
前記溝底面は、前記膜付きガラス基板の前記外周端面に当接し、
前記溝底面と前記第1溝側面の入り隅は、前記膜付きガラス基板の前記外周端面と前記表面側の面取り面との出隅に一致し、
前記第1溝側面と前記溝底面の入り隅の角度は、前記膜付きガラス基板の前記外周端面と前記表面側の面取り面のなす角度より大きく、
前記溝底面と前記第2溝側面の入り隅は、前記膜付きガラス基板の前記外周端面と前記裏面側の面取り面との出隅に一致し、
前記第2溝側面と前記溝底面の入り隅の角度は、前記膜付きガラス基板の前記外周端面と前記裏面側の面取り面のなす角度より大きいことを特徴とする基板収納容器。 A substrate storage container for storing a glass substrate with a film , in which a thin film is formed on the surface, and the projected corner portion of the surface and the outer peripheral end surface, and the rear corner portion of the outer peripheral end surface are chamfered surfaces. And
A holding groove for holding the outer peripheral end face of the film-coated glass substrate;
The holding groove includes a groove bottom surface and opposing first and second groove side surfaces,
The groove bottom surface is in contact with the outer peripheral end surface of the film-coated glass substrate,
The entering corners of the groove bottom surface and the first groove side surface coincide with the protruding corners of the outer peripheral end surface of the film-coated glass substrate and the chamfered surface on the surface side,
The angle of the corner of the first groove side surface and the groove bottom surface is larger than the angle formed by the outer peripheral end surface of the film-coated glass substrate and the chamfered surface on the surface side,
The entering corners of the groove bottom surface and the second groove side surface coincide with the protruding corners of the outer peripheral end surface of the film-coated glass substrate and the chamfered surface on the back surface side,
The substrate storage container , wherein an angle of a corner between the second groove side surface and the groove bottom surface is larger than an angle formed by the outer peripheral end surface of the film-coated glass substrate and the chamfered surface on the back surface side .
前記第1溝側面と前記溝底面の入り隅の角度は、135°よりも大きく180°よりも小さいことを特徴とする基板収納容器。 In claim 1,
The substrate storage container , wherein an angle of a corner of the first groove side surface and the groove bottom surface is larger than 135 ° and smaller than 180 ° .
前記第2溝側面と前記溝底面の入り隅の角度は、135°よりも大きく180°よりも小さいことを特徴とする基板収納容器。 In claim 1 or 2,
The substrate storage container , wherein an angle of a corner of the second groove side surface and the groove bottom surface is larger than 135 ° and smaller than 180 ° .
前記溝底面の幅は、前記膜付きガラス基板の前記外周端面の幅と同一とすることを特徴とする基板収納容器。 In any one of claims 1 to 3,
The width of the groove bottom surface is the same as the width of the outer peripheral end surface of the film-coated glass substrate .
上端開口部、一対の側板部分、一対の端板部分および底板部分により構成される容器本体と、前記上端開口部を封鎖する着脱可能な容器蓋とを備え、
前記容器本体における前記一対の端板部分および前記底板部分の各内側面には、基板保持板がそれぞれ着脱可能に取り付けられ、
前記基板保持板は、前記膜付きガラス基板の外周端面を保持するための保持溝を有し、
前記一対の端板部分および前記底板部分に取り付けられた各基板保持板の保持溝によって前記膜付きガラス基板の前記外周端面を保持することを特徴とする基板収納容器。 In any one of claims 1 to 4,
A container body constituted by an upper end opening, a pair of side plate portions, a pair of end plate portions and a bottom plate portion, and a detachable container lid for sealing the upper end opening;
A substrate holding plate is detachably attached to each inner side surface of the pair of end plate portions and the bottom plate portion in the container body,
The substrate holding plate has a holding groove for holding the outer peripheral end surface of the film-coated glass substrate,
The substrate storage container , wherein the outer peripheral end surface of the glass substrate with a film is held by holding grooves of each substrate holding plate attached to the pair of end plate portions and the bottom plate portion .
前記一対の端板部分の各内側面には、前記上端開口部側から前記底板部分側の方向に差込溝が形成されており、
前記基板保持板は、前記差込溝に前記上端開口部側から差し込まれることによって前記端板部分に取り付けられることを特徴とする基板収納容器。 In claim 5,
On each inner surface of the pair of end plate portions, insertion grooves are formed in the direction from the upper end opening portion side to the bottom plate portion side,
The substrate holding container , wherein the substrate holding plate is attached to the end plate portion by being inserted into the insertion groove from the upper end opening side .
前記底板部分には、前記基板保持板が、その両端部を前記一対の端板部分の各差込溝に挿入した状態で取り付けられることを特徴とする基板収納容器。 In claim 6 ,
The substrate storage container , wherein the substrate holding plate is attached to the bottom plate portion in a state where both end portions thereof are inserted into the insertion grooves of the pair of end plate portions .
前記容器蓋は、前記底板部分と対峙する天板部分を備え、
当該天板部分の内側面に、当該天板部分の長辺方向に沿って複数の弾性体が設けられており、
前記膜付きガラス基板の収納時は、前記一対の端板部分および前記底板部分に取り付けられた各基板保持板の保持溝と前記複数の弾性体によって膜付きガラス基板の外周端面を保持することを特徴とする基板収納容器。 In any one of claims 5 to 7,
The container lid includes a top plate portion facing the bottom plate portion,
A plurality of elastic bodies are provided on the inner side surface of the top plate portion along the long side direction of the top plate portion,
When the glass substrate with film is stored, the outer peripheral end surface of the glass substrate with film is held by the holding grooves of the substrate holding plates attached to the pair of end plate portions and the bottom plate portion and the plurality of elastic bodies. A substrate storage container.
前記容器蓋は赤色の半透明部分を備えており、
前記容器本体に収納される膜付きガラス基板の裏面に前記半透明部分が対峙するように、前記容器蓋を前記容器本体に被せることが可能となっていることを特徴とする基板収納容器。 In any one of claims 5 to 8,
The container lid has a red translucent portion;
The substrate storage container, wherein the container body can be covered with the container lid so that the translucent portion faces the back surface of the glass substrate with a film stored in the container body.
当該基板収納容器に収納されている前記膜付きガラス基板とを有することを特徴とする膜付きガラス基板収納体。 The substrate storage container according to any one of claims 1 to 9,
A glass substrate storage body with a film, comprising the glass substrate with a film stored in the substrate storage container.
当該基板収納容器に収納されている前記膜付きガラス基板とを有し、
前記膜付きガラス基板は、遮光膜およびレジスト膜が積層されたマスクブランクであることを特徴とするマスクブランク収納体。 The substrate storage container according to any one of claims 1 to 9,
The glass substrate with the film stored in the substrate storage container,
The mask blank container, wherein the glass substrate with a film is a mask blank in which a light shielding film and a resist film are laminated.
当該基板収納容器に収納されている前記膜付きガラス基板とを有し、
前記膜付きガラス基板は、パターニングされた遮光膜が形成されている転写マスクであることを特徴とする転写マスク収納体。 The substrate storage container according to any one of claims 1 to 9,
The glass substrate with the film stored in the substrate storage container,
The transfer mask container, wherein the glass substrate with a film is a transfer mask on which a patterned light-shielding film is formed.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011061985A JP5416154B2 (en) | 2011-03-22 | 2011-03-22 | Substrate storage container, glass substrate storage body with film, mask blank storage body, and transfer mask storage body |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011061985A JP5416154B2 (en) | 2011-03-22 | 2011-03-22 | Substrate storage container, glass substrate storage body with film, mask blank storage body, and transfer mask storage body |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005345272A Division JP4801981B2 (en) | 2005-11-30 | 2005-11-30 | Substrate storage container, glass substrate storage body with film, mask blank storage body, and transfer mask storage body |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011131940A JP2011131940A (en) | 2011-07-07 |
JP5416154B2 true JP5416154B2 (en) | 2014-02-12 |
Family
ID=44345127
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011061985A Active JP5416154B2 (en) | 2011-03-22 | 2011-03-22 | Substrate storage container, glass substrate storage body with film, mask blank storage body, and transfer mask storage body |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5416154B2 (en) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6190726B2 (en) * | 2014-01-17 | 2017-08-30 | 信越ポリマー株式会社 | Substrate storage container |
EP3234991B1 (en) * | 2014-12-18 | 2021-07-07 | Entegris, Inc. | Wafer container with shock condition protection |
TW201709386A (en) * | 2015-03-25 | 2017-03-01 | 恩特葛瑞斯股份有限公司 | Wafer containers |
CN109825801A (en) * | 2019-03-29 | 2019-05-31 | 唐军 | Mask plate turnover device |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59113442A (en) * | 1982-12-18 | 1984-06-30 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | Storing method of photomask raw material |
JPH0135474Y2 (en) * | 1986-05-30 | 1989-10-30 | ||
JPH04116193U (en) * | 1991-03-28 | 1992-10-16 | ホーヤ株式会社 | Mounting stand for board storage case |
JP2001240179A (en) * | 2000-02-29 | 2001-09-04 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | Precision substrate storing container |
JP2003300583A (en) * | 2002-04-09 | 2003-10-21 | Sekisui Plastics Co Ltd | Carry box for platelike object |
JP2004059075A (en) * | 2002-07-29 | 2004-02-26 | Nissho Iwai Plastic Corp | Box for carrying glass base plate |
JP4363114B2 (en) * | 2003-07-25 | 2009-11-11 | 凸版印刷株式会社 | Plate processing rack |
JP4675601B2 (en) * | 2003-11-18 | 2011-04-27 | 株式会社 ネットプラスチック | Sealed container for large precision sheet products and semi-finished products |
JP4045233B2 (en) * | 2003-11-20 | 2008-02-13 | 今治造船株式会社 | Fin equipment |
-
2011
- 2011-03-22 JP JP2011061985A patent/JP5416154B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011131940A (en) | 2011-07-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5268142B2 (en) | Mask blank storage case, mask blank storage method, and mask blank storage body | |
KR101142957B1 (en) | Substrate containing case | |
TWI285179B (en) | Container for housing a large pellicle | |
JP5416154B2 (en) | Substrate storage container, glass substrate storage body with film, mask blank storage body, and transfer mask storage body | |
KR20230088663A (en) | Pellicle storage container | |
TW201346435A (en) | Storage container for pellicle | |
JP4801981B2 (en) | Substrate storage container, glass substrate storage body with film, mask blank storage body, and transfer mask storage body | |
JP2006124034A (en) | Member for supporting thin-film coated board, container for storing the thin-film coated board, mask blank storing body, transfer mask storing body and method for transporting the thin-film coated board | |
JP2007145397A5 (en) | ||
JP4773216B2 (en) | Substrate transport method | |
JP5393298B2 (en) | Mask case | |
JP2005321529A (en) | Mask case | |
KR20140142421A (en) | Packing assembly for display panel | |
JP4811008B2 (en) | Pallet, optical component manufacturing method using the pallet, optical component packaging body and container | |
CN210113201U (en) | Photomask box and holder thereof | |
TWI474957B (en) | Storage container for pellicle | |
JP2008087847A (en) | Substrate board storage case | |
KR102610556B1 (en) | Pellicle storage container and method for taking out pellicle | |
JP4688567B2 (en) | Fixed carrier | |
JP4567348B2 (en) | Optical component storage method | |
JP5175004B2 (en) | Mask blank storage case, mask blank storage method, and mask blank storage body | |
JP4334992B2 (en) | PCB storage case | |
JP2009102021A (en) | Mask blank storing case, mask blank storing method and mask blank storing body | |
JP2006182363A (en) | Carrying tray | |
JP5279372B2 (en) | Storage case for processing jig |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110420 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110420 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130226 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130423 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131112 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131114 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5416154 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |