JP4345881B2

JP4345881B2 - Large pellicle storage method

Info

Publication number: JP4345881B2
Application number: JP2003159738A
Authority: JP
Inventors: 芳真栗山; 一郎脇元
Original assignee: Asahi Kasei E Materials Corp
Current assignee: Asahi Kasei E Materials Corp
Priority date: 2003-06-04
Filing date: 2003-06-04
Publication date: 2009-10-14
Anticipated expiration: 2023-06-04
Also published as: JP2004361648A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＬＳＩ等を製造する際のリソグラフィー工程で使用されるフォトマスクやレティクルに異物が付着することを防止するために用いられるペリクルの面積が１０００ｃｍ^２以上の大型ペリクルを、トレイと蓋とよりなるケースに安定した状態で収納することが出来る大型ペリクルの収納方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体回路パターン等の製造に於ては、後述の特許文献１に記載されているように、一般にペリクルと呼ばれる防塵手段を用いて、フォトマスクやレティクルへの異物の付着を防止することが行われている。ペリクルはフォトマスク或はレティクルの形状に合わせた形状を有する厚さ数ミリ程度の枠体の上縁面に、厚さ１０μｍ内外以下のニトロセルロース或はセルロース誘導体などの透明な高分子膜（以下、ペリクル膜という）を展張して接着し、かつ該枠体の下縁面に粘着材を塗着すると共に、この粘着材上に所定の接着力で保護フィルムを粘着させたものである。
【０００３】
前記粘着材は、ペリクルをフォトマスク或はレティクルに固着するためのものであり、また、保護フィルムは該粘着材がその用に供するまで該粘着材の接着力を維持するために、該粘着材の接着面を保護するものである。このペリクルを製造者から使用者に運搬するに当たっては、ペリクル膜等に異物が付着するのを防ぎ、或はペリクルが損傷するのを防ぐために、該ペリクルをトレイと蓋とからなるケースに収納し、更に防塵袋等に収納して運搬するのが一般的である。
【０００４】
本発明のように、面積が１０００ｃｍ^２以上の大型ペリクルを収納するトレイと蓋とよりなるケースは、通常真空成形法によって成形されており、かつ大型ペリクルは、トレイに設置された後で蓋を被蓋することによってケースに収納されていた。そして前述のケースの製造に当たっては、ケース内に収納された大型ペリクルの枠体と蓋との間隔を０ｍｍより大きく１ｍｍ以下の範囲になるように計画的に設計製造し、この部分で蓋が大型ペリクルを抑え、輸送中等の振動によって大型ペリクルがケース内で動いて擦れたりして発塵することを防止していた。
【０００５】
しかし、面積が１０００ｃｍ^２以上のペリクルを収納する大型のケースでは、次のような問題があった。即ち、大型のケースを製造するに当たっては、ペリクルとケースのクリアランスの問題、或はケースの平坦性が要求を満たすことが困難である等の問題があるために、大型ペリクルの全周とケースの蓋との間隔を０ｍｍ以上１ｍｍ以下に正確に抑えることが出来ず、そのために従来の設計思想を満たすための成形精度を保ちながら製造することが困難となっていた。
【０００６】
従って、従来の設計思想で製造した大型ケースの中に大型ペリクルを収納した場合に、大型ペリクルと蓋との間隔が０ｍｍで蓋が大型ペリクルに接している時には、蓋が大型ペリクルの枠体を押圧しているので、大型ペリクルの輸送時等に両者間に擦れが生じて発塵して大型ペリクルに異物が付着する問題があった。
【０００７】
また、大型ペリクルと蓋との間隔が１ｍｍ以上になった場合には、大型ペリクルを蓋で押えて安定させることが出来ず、輸送時に大型ペリクルがケース内で移動或は振動し、ケースと大型ペリクルとの間に擦れが発生して発塵し、大型ペリクルに異物が付着する問題があった。
【０００８】
前述の多くの問題を解決すべく、本件特許出願人は、既に後述の特許文献２、特許文献３或は特許文献４に例示するような発明を完成し、特許出願している。
【０００９】
後記特許文献２に記載された技術は、ペリクル収納ケースのトレイ表面に突出部を起立突設すると共に、この突出部の側面にアンダーカット部を設け、このアンダーカット部の中にペリクルの保護フィルムを挿入することによって、トレイ上に載置したペリクルを保持固定する技術である。また、特許文献３に記載された技術は、ペリクルの保護フィルムの下面に所定の粘着力を有する粘着材を塗着しておき、ペリクルをトレイ上に搭載した際に、保護フィルムをトレイに粘着することによって、ペリクルをトレイに保持固定する技術である。
【００１０】
さらに、特許文献４に記載された技術は、ケースの蓋の天井面より棒状の押圧体を吊下げ、該蓋をトレイに被蓋した際に、トレイ上に搭載されているペリクルの保護フィルムを該押圧体で上方から押圧して、ペリクルをトレイに保持固定する技術である。
【００１１】
【特許文献１】
特公昭５４−２８７１８号公報
【特許文献２】
特開平１１−３８５９７号公報
【特許文献３】
特開平１１−２４２３８号公報
【特許文献４】
特開平１１−５２５５３号公報
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
前述の特許文献２乃至特許文献４に記載された発明は、従来一般的に使用されていた５インチ或は６インチサイズの半導体用ペリクルを収納するケースには極めて有効であるが、これ等の発明に本発明が対象とするペリクルの面積が１０００ｃｍ^２以上の大型ペリクルを収納するケースに応用した場合には、後述の通りの弱冠の問題があった。
【００１３】
特許文献２の技術に於ては、コストが安く製造が容易な真空成形方法を用いて、トレイの表面に起立突設した突出部の側面に比較的深いアンダーカット部を設けることは、充分な成形精度を得ることが困難である問題があった。また、射出成形方法を用いてトレイを成形する場合には、成形精度が良いので成形は可能であるが、本発明の対象とする１０００ｃｍ^２以上の大型ペリクルを射出成形方法で成形する場合には、極めて大型の成形桟を必要とするのでコスト高になり実用的でないと共に、トレイの寸法が非常に大きいので、成形歪みが発生し、突出部の側面に狭く深いアンダーカット部を精度良く設けることは困難であった。
【００１４】
特許文献３の技術に於ては、ペリクルの保護フィルムの下面に粘着材を塗着して保護フィルムをトレイの表面に貼着する方法は、半導体用ペリクルのケースのように小さなサイズのものは有効であるが、本発明のように大型ペリクルを収納する大型のケースに於ては、必ずしも成形精度が完全でないために、トレイのペリクル搭載個所に反りが生ずることがあった。そのためにトレイの反りによる歪みが保護フィルムに転写して保護フィルムの歪みとなったり、或は粘着材から保護フィルムの一部が剥離したりして粘着材の粘着力が低下し、これ等が原因となってペリクルをフォトマスクに均一に貼り付けることが困難となる問題があった。
【００１５】
特許文献４の技術に於ては、ケースの蓋の天井面より吊下げられた押圧体でトレイに搭載されたペリクルの保護フィルムを押圧してペリクルを保持固定する方法であるが、この技術の場合にも、半導体ペリクル収納ケースのように、５、６インチの小さいサイズのケースの場合には成形精度を維持することは出来るが、前述のように本発明の対象とする大型ペリクルを収納する大型ケースに於ては、成形精度が充分でない上に、成形したケースに反りが発生するので、ケースに蓋を被蓋した場合に、蓋側に設けた押圧体がペリクルの保護フィルムを正確かつ確実に押圧して保持固定することが困難である問題があった。
【００１６】
本発明に係る大型ペリクルの収納方法は、前述の多くの問題点に鑑み開発された全く新しい技術であって、特に、大型ペリクルの保護フィルムの外周縁の一部を外側に突出させて押え代を形成すると共に、該押え代にピン穴を設け、かつ該大型ペリクルを収納するトレイの表面に該ピン穴に挿通し得るピンを設け、これ等を組合せることによってトレイ上に搭載された大型ペリクルをトレイに安定した状態で保持固定するようにした技術を提供するものである。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る大型ペリクルの収納方法は前述の問題点を根本的に解決した技術であって、その第１発明の要旨は枠体と、該枠体の上縁面に接着されたペリクル膜と、該枠体の下縁面に塗着した粘着材と、該粘着材を保護するために該粘着材の下面に粘着された保護フィルムからなる大型ペリクルをトレイと蓋とよりなるケースに収納する方法に於て、前記大型ペリクルの保護フィルムの外周縁の一部を外側に突出させて押え代を形成すると共に、該押え代にピン穴を設け、かつ該ピン穴に挿通し得るピンを前記トレイの表面に起立突設し、前記ピン穴にピンを挿通してトレイ上に搭載された大型ペリクルをケース内に収納することを特徴とした大型ペリクルの収納方法である。
【００１８】
前述の第１発明に於ては、大型ペリクルの保護フィルムの外周縁の一部を外側に突出させて押え代を形成すると共に、該押え代にピン穴を設け、かつケースのトレイの表面所定位置に該ピン穴に挿通し得るピンを設けて構成したので、大型ペリクルをトレイに搭載する際に大型ペリクルの押え代のピン穴にピンを挿通することによって、ピンと押え代を介して大型ペリクルをトレイに極めて簡単な作業で安定した状態で確実に保持固定させることが出来る。
【００１９】
さらに、前述の収納方法に於ては、保護フィルムの押え代が柔軟性に富み、かつ該押え代に設けたピン穴にトレイ側に設けたピンを挿通して大型ペリクルをトレイに保持固定するので、仮にトレイの成形精度が充分でなかった場合や、或はトレイに反りが生じている場合にも、何ら影響されることなく、大型ペリクルをトレイに正確かつ確実に保持固定することが出来る。
【００２０】
本発明に係る大型ペリクルの収納方法の第２発明の要旨は、前記トレイの表面に起立突設したピンの高さを２ｍｍ以上に形成したことを特徴とした請求項１の大型ペリクルの収納方法である。
【００２１】
前述の第２発明に於ては、トレイの表面に起立したピンの高さを２ｍｍ以上に形成したので、このピンを大型ペリクルの押え代のピン穴に確実に挿通することが出来る。かつ、トレイの成形精度が良くなかったり、或はトレイに反りが生じた場合、または輸送時にトレイ上に搭載した大型ペリクルに振動が伝わった際にも、ピンから押え代が抜け落ちる心配がない。
【００２２】
本発明に係る大型ペリクルの収納方法の第３発明の要旨は、前記押え代に設けたピン穴の内径をピンの外径より１ｍｍ以上で５ｍｍ以下の大きさに形成したことを特徴とした請求項１の大型ペリクルの収納方法である。
【００２３】
前述の第３発明に於ては、大型ペリクルの押え代に設けるピン穴の内径をトレイに設けたピンの外径より０．５ｍｍ以上の大きさにしたので、大型ペリクルをトレイ上に搭載する際に、押え代のピン穴にトレイ側のピンを簡単に挿通することが出来る。また、一方でピン穴の内径をピンの外径の５ｍｍ以下にしたので、大型ペリクルをケース内に収納して輸送する際に、振動によって大型ペリクルが大きく動くことを規制し、これによってピンとピン穴との間に擦れが発生することを防止出来る。
【００２４】
本発明に係る大型ペリクルの収納方法の第４発明の要旨は、前記ケースのトレイに搭載された大型ペリクルの枠体と該トレイに被蓋された蓋との間に少なくとも１ｍｍ以上の間隔を設けて収納したことを特徴とした第１発明乃至第３発明の大型ペリクルの収納方法である。
【００２５】
前述の第４発明に於ては、ケースのトレイに搭載された大型ペリクルの枠体とこのトレイに被蓋された蓋との間に少なくとも１ｍｍ以上の間隔を設けて収納したので、大型ペリクルを輸送した場合にも、振動等によって大型ペリクルが蓋と接触して擦れたりする心配がない。また、大型ペリクルは、前述のようにピンを介して安定した状態でトレイに保持固定されているので、蓋で大型ペリクルを押える必要がなく、従って、ケースの設計を容易にすると共に、ケースの成形精度や歪みの問題も全て解決することが出来る。
【００２６】
【発明の実施の形態】
図により本発明に係る大型ペリクルの収納方法の一実施例を具体的に説明すると、図１は本発明に係る大型ペリクルの収納方法の縦断面説明図、図２は図１の大型ペリクルの収納方法の要部の拡大説明図、図３は押え代とピンとの関係を示す要部の拡大斜視図、図４は図１の大型ペリクルの収納方法に用いられる大型ペリクルの平面図、図５も図４と同様に図１の大型ペリクルの収納方法に用いられる大型ペリクルの平面図である。
【００２７】
図１乃至図３（ａ）、（ｂ）に於て、Ａは大型ペリクルであって、既に詳述したようにペリクル面積が１０００ｃｍ^２以上の大型ペリクルであり、枠体１と、該枠体１の上縁面に接着剤２を介して接着されたペリクル膜３と、前記枠体１の下縁面に塗着された粘着材４と、該粘着材４を保護するために粘着材４に粘着された保護フィルム５から構成されている。
【００２８】
前記実施例に於ては、枠体１の下縁面に粘着材４を塗着して形成したが、予め粘着材４と保護フィルム５が層状に形成された層状粘着材を使用する場合には、単に枠体１の下縁面に層状粘着材を積層して粘着するのみで良い（しかし、本明細書に於ては、このような場合も含めて単に「塗着する」と総称する）。次に、前述のように構成された大型ペリクルＡは、トレイ６と蓋７とよりなるケースＢに収納されている。また、トレイ６と蓋７とのコーナー部にはテープシール８が取付けられており、これ等のテープシール８によってトレイ６から蓋７が外れないように固定されている。
【００２９】
前記大型ペリクルＡの保護フィルム５の外周縁の外側にはトレイ６の表面に重ねられる押え代５ａが突設されている。この押え代５ａの寸法は、本発明者等が種々の実験を重ねた結果、その巾Ｗが６ｍｍ以上で、長さＬが２０ｍｍ以上であることが望ましいことが明らかとなった。
【００３０】
前記押え代５ａの所定位置には、後述のトレイ６に設けられたピンを挿通し得るピン穴９が設けられている。前述のように、トレイ６の表面には、押え代５ａのピン穴９に挿通し得るピン１０が該トレイ６と一体的に起立突設されている。しかし、ピン１０はトレイ６と別に作成し、後からトレイ６の表面に貼着して固定することも可能である。
【００３１】
このピン１０の外径寸法は１ｍｍ以上で１０ｍｍ以下が有効である。また、前記ピン穴９の内径は、ピン１０の外径寸法より１ｍｍ以上大きな寸法にした場合に、ピン１０をピン穴９に簡単に挿通することが出来る。また、ピン穴９の内径がピン１０の外径より５ｍｍ以上大きくなった場合には、ピン１０とピン穴９との間に大きな隙間が生ずるので、大型ペリクルＡを輸送する際に、大型ペリクルＡが振動で移動し、ピン１０とピン穴９との間に擦れが発生する恐れがある。
【００３２】
本発明の収納方法を実施するに当っては、前述の図１乃至図３に示す如く、ケースＢのトレイ６の中央部に大型ペリクルＡを搭載しながら、大型ペリクルＡの枠体１の外方に突出している保護フィルム５の押え代５ａに設けられたピン穴９の中に、トレイ６上に起立突設されたピン１０を挿通することによって、大型ペリクルＡをトレイ６の中央部に極めて安定した状態で簡単かつ確実に保持固定することが出来る。
【００３３】
本発明に係る収納方法に於ては、前述のように、大型ペリクルＡの枠体１の外方に突出する保護フィルム５の柔軟性に富む押え代５ａをピン１０を介してケースＢのトレイ６の表面に固定するので、仮にケースＢのトレイ６の成形精度が充分でなく、或はトレイ６に反りが生じていても、これ等の問題に関係なく、大型ペリクルＡをトレイ６に安定した状態で簡単に固定することが出来る。
【００３４】
さらに、本発明の収納方法に於ては、ケースＢのトレイ６に大型ペリクルＡを安定した状態で確実に保持固定することが出来るので、ケースＢの蓋７で大型ペリクルＡを押える必要がなく、そのために、図１に示す如く蓋７と大型ペリクルＡの枠体１との間隔Ｄを１ｍｍ以上にすることが出来る。従って、大型ペリクルＡと蓋７とは充分な間隔を有しているので、輸送時等の振動によって大型ペリクルＡと蓋７とが擦れることがなく、発塵の問題が発生する心配がない。
【００３５】
前述の大型ペリクルＡの保護フィルム５にピン穴９を設けた押え代５ａを設けるに当っては、例えば図４（ａ）〜（ｄ）、或は図５（ａ），（ｂ）に示す如く、保護フィルム５の外縁の外側に巾Ｗが６ｍｍ以上で、長さＬが２０ｍｍ以上の押え代５ａを突設して構成することが出来る。前記ピン穴９は、長さＬが比較的短い押え代５ａに於ては、その中央の１個所に設け、かつ長さＬが長い押え代５ａには複数個所に設けることが可能である。
【００３６】
即ち、図４（ａ）の場合には、大型ペリクルＡの中央抜きされた保護フィルム５の長辺の外側中央に１個のピン穴９を有する押え代５ａを設けた構造であり、同図（ｂ）の場合は、中央抜きされた保護フィルム５の短辺の外側中央に１個のピン穴９を有する押え代５ａを設けた構造である。同図（ｃ）の場合は、中央抜きされた保護フィルム５の長辺と短辺との夫々の外側中央に１個のピン穴９を有する押え代５ａを設けた構造であり、かつ同図（ｄ）の場合は、中央抜きされない保護フィルム５の長辺と短辺との夫々の外側中央に１個のピン穴９を有する押え代５ａを設けた構造である。
【００３７】
図５（ａ）の場合は、中央抜きされた保護フィルム５の長辺の外側中央と短辺の外側のほぼ全長に亘って１個または複数のピン穴９を有する押え代５ａを設けた構造であり、同図（ｂ）の場合は、中央抜きされた保護フィルム５の長辺の外側のほぼ全長と短辺の中央に夫々１個または複数のピン穴９を有する押え代５ａを設けた構造である。
【００３８】
本発明者は、前述のような構成を有する本発明の大型ペリクルの収納方法を用いて実験をした結果、次のような実施例に示すような好結果が得られた。
【００３９】
【実施例１】
外形寸法が４２７ｍｍ×２９４ｍｍであり、保護フィルム５の長辺及び短辺の中央部に夫々１個所にピン穴９を設けた寸法がＷ１０ｍｍ×Ｌ１００ｍｍの押え代５ａを設けた大型ペリクルＡを、ＡＢＳ樹脂材で真空成形されたケースＢのトレイ６の上に搭載し、前記押え代５ａに設けられたピン穴９の中にトレイ６の表面に突設されたピン１０を挿入して大型ペリクルＡを固定した後で、該トレイ６上に蓋７を被蓋し、これ等のトレイ６と蓋７とのコーナー部にクリップ８を取付けて両者を固定した。この際、大型ペリクルＡの枠体１と蓋７との間隔Ｄを３．６ｍｍに保つようにした。また、ピン１０の外径を２ｍｍとし、押え代５ａのピン穴９の内径を３ｍｍとした。この状態で大型ペリクルＡを長距離輸送テストした結果、大型ペリクルＡとケースＢとの間には擦れは認められなかった。また、大型ペリクルＡは最初に搭載されたままの状態で保持固定されていた。
【００４０】
【実施例２】
外形寸法が９０４．５ｍｍ×７５０ｍｍ、保護フィルム５の長辺及び短辺の中央部に夫々寸法がＷ１０ｍｍ×Ｌ１００ｍｍの押え代５ａを設け、かつ押え代５ａの中央部に内径が４ｍｍのピン穴９を設けた大型ペリクルＡの該ピン穴９内に、トレイ６上に起立された外径２．５ｍｍのピン１０を挿入して大型ペリクルＡをトレイ６に固定した後で、前記実施例１と全く同一の条件で輸送テストを行った結果、大型ペリクルＡとケースＢとの間には擦れは認められず、かつ大型ペリクルＡは最初の搭載時と同様に、トレイ６上に安定した状態で保持固定されていた。
【００４１】
【比較例１】
外形寸法が４２７ｍｍ×２９４ｍｍの大型ペリクルＡを、ＡＢＳ樹脂材を真空成形で成形したトレイ６上に、そのまま（押え代５ａとピン１０を使用せずに）搭載し、トレイ６に蓋７を被蓋してクリップ８で固定し、蓋７と大型ペリクルＡの枠体１との間隔Ｄを０．５ｍｍに保った状態にし、前記実施例１と同一の条件で輸送テストをした結果、大型ペリクルＡと蓋７との間に擦れの形跡が認められ、かつ大型ペリクルＡのペリクル膜３の一部に細かい塵が付着しているのが認められた。
【００４２】
【比較例２】
外形寸法が４２７ｍｍ×２９４ｍｍの大型ペリクルＡを、比較例１と同様に、トレイ６上にそのまま搭載し、トレイ６に被蓋した蓋７と大型ペリクルＡの枠体１との間隔Ｄを３．６ｍｍにした状態で、実施例１と同一の条件で輸送テストをした結果、大型ペリクルＡと蓋７との間に擦れが生じた形跡が認められた。また、大型ペリクルＡの枠体１の周りに細かい塵の付着が認められた。
【００４３】
【比較例３】
前記実施例１と同一の外形寸法と、押え代５ａの寸法を有する大型ペリクルＡの該押え代５ａの中央部に内径が８ｍｍのピン穴９を設け、かつトレイ６に起立されたピン１０の外径を１．５ｍｍにしたものを使用し、ピン穴９にピン１０を挿通してトレイ６に大型ペリクルＡを搭載した後で、実施例１と全く同一の条件で輸送テストをした結果、ピン１０とピン穴９との間に擦れの形跡が認められ、かつ大型ペリクルＡのペリクル膜３の一部に極めて微細な塵が付着しているのが認められた。
【００４４】
【発明の効果】
本発明に係る大型ペリクルの収納方法に於ては、大型ペリクルの保護フィルムの外周縁の一部を外側に突出させて押え代を形成すると共に、該押え代にピン穴を設け、かつケースのトレイの表面所定位置に該ピン穴に挿通し得るピンを設けて構成したので、大型ペリクルをトレイに搭載する際に大型ペリクルの押え代のピン穴にピンを挿通することによって、ピンと押え代を介して大型ペリクルをトレイに極めて簡単な作業で安定した状態で確実に保持固定させることが出来る効果を有している。
【００４５】
さらに、保護フィルムの押え代が柔軟性に富み、かつ該押え代に設けたピン穴にトレイ側に設けたピンを挿通して大型ペリクルをトレイに保持固定するので、仮にトレイの成形精度が充分でなかった場合や、或はトレイに反りが生じている場合にも、何ら影響されることなく、大型ペリクルをトレイに正確かつ確実に保持固定することが出来る効果も有している。
【００４６】
また本発明に於いて、トレイの表面に起立したピンの高さを２ｍｍ以上に形成した場合には、このピンを大型ペリクルの押え代のピン穴に確実に挿通することが出来る効果がある。かつ、トレイの成形精度が良くなかったり、或はトレイに反りが生じた場合、または輸送時にトレイ上に搭載した大型ペリクルに振動が伝わった際にも、ピンから押え代が抜け落ちる心配がない。
【００４７】
また本発明に於いて、大型ペリクルの押え代に設けるピン穴の内径をトレイに設けたピンの外径より１ｍｍ以上の大きさにした場合には、大型ペリクルをトレイ上に搭載する際に、押え代のピン穴にトレイ側のピンを簡単に挿通することが出来る効果を有している。また、一方でピン穴の内径をピンの外径の５ｍｍ以下にしたので、大型ペリクルをケース内に収納して輸送する際に、振動によって大型ペリクルが大きく動くことを規制し、これによってピンとピン穴との間に擦れが発生することを防止出来る効果も有している。
【００４８】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る大型ペリクルの収納方法の縦断面説明図である。
【図２】図１の大型ペリクルの収納方法の要部の拡大説明図である。
【図３】押え代とピンとの関係を示す要部の拡大斜視図である。
【図４】図１の大型ペリクルの収納方法に用いられる大型ペリクルの平面図である。
【図５】図１の大型ペリクルの収納方法に用いられる大型ペリクルの平面図である。
【符号の説明】
１ …枠体
２ …接着剤
３ …ペリクル膜
４ …粘着材
５ …保護フィルム
５ａ …押え代
６ …トレイ
７ …蓋
８ …テープシール
９ …ピン穴
１０ …ピン
Ａ …大型ペリクル
Ｂ …ケース
Ｄ …蓋と大型ペリクルの枠体との間隔
Ｌ …長さ
Ｗ …巾[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a large pellicle having a pellicle area of 1000 cm ² or more used for preventing foreign matter from adhering to a photomask or a reticle used in a lithography process when manufacturing an LSI or the like. The present invention relates to a method for storing a large pellicle that can be stored stably in a case.
[0002]
[Prior art]
2. Description of the Related Art Conventionally, in the manufacture of semiconductor circuit patterns and the like, as described in Patent Document 1 to be described later, it is possible to prevent adhesion of foreign matters to a photomask or a reticle by using a dustproof means generally called a pellicle. Has been done. The pellicle has a shape that matches the shape of the photomask or reticle, and a transparent polymer film (hereinafter referred to as nitrocellulose or cellulose derivative) having a thickness of about 10 μm or less on the upper edge of the frame having a thickness of about several millimeters. The pellicle film is spread and bonded, and an adhesive material is applied to the lower edge surface of the frame body, and a protective film is adhered to the adhesive material with a predetermined adhesive force.
[0003]
The pressure-sensitive adhesive is for fixing the pellicle to a photomask or reticle, and the protective film is used to maintain the adhesive force of the pressure-sensitive adhesive until the pressure-sensitive adhesive is used for that purpose. This protects the adhesive surface. When transporting this pellicle from the manufacturer to the user, in order to prevent foreign matter from adhering to the pellicle membrane, etc., or to prevent the pellicle from being damaged, the pellicle is stored in a case consisting of a tray and a lid. Further, it is generally carried in a dustproof bag or the like.
[0004]
As in the present invention, a case composed of a tray and a lid for storing a large pellicle having an area of 1000 cm ² or more is usually formed by a vacuum forming method, and the large pellicle has a lid after being placed on the tray. It was stored in the case by covering. In the manufacture of the case described above, the large pellicle housed in the case is systematically designed and manufactured so that the distance between the frame and the cover is greater than 0 mm and less than 1 mm. The pellicle was suppressed, and the large pellicle was prevented from moving and rubbing in the case due to vibration during transportation or the like to generate dust.
[0005]
However, a large case storing a pellicle with an area of 1000 cm ² or more has the following problems. That is, when manufacturing a large case, there are problems such as the clearance between the pellicle and the case, or the flatness of the case is difficult to meet the requirements. The distance between the lid and the lid cannot be accurately suppressed to 0 mm or more and 1 mm or less, and therefore, it has been difficult to manufacture while maintaining the molding accuracy to satisfy the conventional design concept.
[0006]
Therefore, when a large pellicle is housed in a large case manufactured according to the conventional design concept, when the distance between the large pellicle and the lid is 0 mm and the lid is in contact with the large pellicle, the lid is not attached to the frame of the large pellicle. Since they are pressed, there is a problem that the large pellicle is rubbed between the two when it is transported to generate dust and foreign matter adheres to the large pellicle.
[0007]
In addition, when the distance between the large pellicle and the lid becomes 1 mm or more, the large pellicle cannot be stabilized by being pushed by the lid, and the large pellicle moves or vibrates in the case during transportation. There is a problem that dust is generated due to rubbing with the pellicle, and foreign matter adheres to the large pellicle.
[0008]
In order to solve the above-mentioned many problems, the present applicant has already completed the invention as exemplified in Patent Document 2, Patent Document 3 or Patent Document 4 described later, and has filed a patent application.
[0009]
In the technique described in Patent Document 2 below, a protrusion is provided on the tray surface of the pellicle storage case, and an undercut is provided on the side of the protrusion, and a protective film for the pellicle is provided in the undercut. Is a technique for holding and fixing the pellicle placed on the tray by inserting In addition, the technique described in Patent Document 3 applies an adhesive material having a predetermined adhesive force on the lower surface of the protective film of the pellicle, and when the pellicle is mounted on the tray, the protective film is adhered to the tray. This is a technique for holding and fixing the pellicle to the tray.
[0010]
Furthermore, the technique described in Patent Literature 4 suspends a stick-shaped pressing body from the ceiling surface of the case lid, and when the lid is covered on the tray, the protective film for the pellicle mounted on the tray is removed. In this technique, the pellicle is held and fixed to the tray by pressing from above with the pressing body.
[0011]
[Patent Document 1]
Japanese Patent Publication No. 54-28718 [Patent Document 2]
JP 11-38597 A [Patent Document 3]
Japanese Patent Laid-Open No. 11-24238 [Patent Document 4]
Japanese Patent Laid-Open No. 11-52553
[Problems to be solved by the invention]
The inventions described in the above-mentioned Patent Documents 2 to 4 are extremely effective for a case for storing a 5-inch or 6-inch size semiconductor pellicle that has been generally used in the past. When the present invention is applied to a case that accommodates a large pellicle having a pellicle area of 1000 cm ² or more as a target of the present invention, there is a problem of a weak crown as described later.
[0013]
In the technique of Patent Document 2, it is sufficient to provide a relatively deep undercut portion on the side surface of the protruding portion that stands upright on the surface of the tray by using a vacuum forming method that is inexpensive and easy to manufacture. There was a problem that it was difficult to obtain molding accuracy. In addition, when the tray is molded using the injection molding method, molding is possible because the molding accuracy is good, but when a large pellicle of 1000 cm ² or more, which is the object of the present invention, is molded by the injection molding method. Because it requires an extremely large molding bar, it is expensive and impractical, and the size of the tray is very large, so molding distortion occurs, and a narrow and deep undercut part must be accurately provided on the side of the protruding part. Was difficult.
[0014]
In the technique of Patent Document 3, the method of applying an adhesive to the lower surface of the protective film of the pellicle and attaching the protective film to the surface of the tray is a small size like the case of a semiconductor pellicle. Although effective, in a large case that accommodates a large pellicle as in the present invention, the molding accuracy is not always perfect, and thus the pellicle mounting portion of the tray may be warped. For this reason, distortion caused by the warp of the tray is transferred to the protective film and becomes a distortion of the protective film, or a part of the protective film is peeled off from the adhesive material, and the adhesive force of the adhesive material is reduced. As a result, there is a problem that it is difficult to uniformly attach the pellicle to the photomask.
[0015]
The technique of Patent Document 4 is a method of holding and fixing the pellicle by pressing the protective film of the pellicle mounted on the tray with a pressing body suspended from the ceiling surface of the case lid. Even in the case of a case of a small size of 5 or 6 inches, such as a semiconductor pellicle storage case, the molding accuracy can be maintained, but the large pellicle targeted by the present invention is stored as described above. In a large case, the molding accuracy is not sufficient, and warping occurs in the molded case, so when the case is covered with a lid, the pressing body provided on the lid side accurately and securely protects the pellicle protective film. There was a problem that it was difficult to securely press and hold.
[0016]
The method of storing large pellicle according to the present invention is a completely new technology developed in view of the many problems mentioned above, in particular, pressing allowance by a part of the outer peripheral edge of the protective film of large pellicle protruding outside A large hole mounted on the tray by combining these with a pin hole provided on the surface of the tray for accommodating the large pellicle. A technique for holding and fixing a pellicle on a tray in a stable state is provided.
[0017]
[Means for Solving the Problems]
The large pellicle storage method according to the present invention is a technique that fundamentally solves the above-mentioned problems, and the gist of the first invention is a frame, a pellicle film bonded to the upper edge surface of the frame, A large pellicle composed of an adhesive material applied to the lower edge surface of the frame and a protective film adhered to the lower surface of the adhesive material to protect the adhesive material is housed in a case comprising a tray and a lid. the at a method, to form a presser margin to protrude outwardly a part of the outer peripheral edge of the protective film of the large pellicle, a pin hole provided on the presser margin, and a pin that can be inserted into the pin hole A method for storing a large pellicle, characterized in that a large pellicle mounted upright on a surface of the tray and inserted through the pin hole and stored on the tray is stored in a case.
[0018]
Te is at the first invention described above, together with a part of the outer peripheral edge of the protective film of large-sized pellicle protruding outwardly form the pressing allowance, the pin holes provided in the presser margin, and the case of the tray surface a predetermined Since the pin that can be inserted into the pin hole is provided at the position, when the large pellicle is mounted on the tray, the pin is inserted into the pin hole of the presser allowance of the large pellicle, so that the large pellicle is inserted through the pin and the presser allowance. Can be securely held and fixed to the tray in a stable state by an extremely simple operation.
[0019]
Further, in the above-described storage method, the presser allowance of the protective film is flexible, and a pin provided on the tray side is inserted into a pin hole provided in the presser allowance to hold and fix the large pellicle on the tray. Therefore, even if the molding accuracy of the tray is not sufficient, or even when the tray is warped, the large pellicle can be accurately and securely held and fixed to the tray without any influence. .
[0020]
2. The large pellicle storage method according to claim 1, wherein the second pellicle storage method according to the present invention is characterized in that the height of the pins protruding upright on the surface of the tray is 2 mm or more. It is.
[0021]
In the above-described second invention, the height of the pin standing on the surface of the tray is formed to be 2 mm or more, so that this pin can be surely inserted into the pin hole of the press margin of the large pellicle. In addition, there is no fear that the presser foot will come off from the pin even when the molding accuracy of the tray is not good or the tray is warped, or when vibration is transmitted to a large pellicle mounted on the tray during transportation.
[0022]
The gist of the third invention of the method for storing a large pellicle according to the present invention is that the inner diameter of the pin hole provided in the presser allowance is 1 mm or more and 5 mm or less from the outer diameter of the pin. The method for storing a large pellicle according to Item 1.
[0023]
In the above-mentioned third invention, the inner diameter of the pin hole provided for the press margin of the large pellicle is set to 0.5 mm or more than the outer diameter of the pin provided on the tray, so the large pellicle is mounted on the tray. At this time, the pin on the tray side can be easily inserted into the pin hole of the presser allowance. On the other hand, since the inner diameter of the pin hole is 5 mm or less of the outer diameter of the pin, when the large pellicle is housed in the case and transported, the large pellicle is restricted from moving greatly by vibration, and thereby the pin and pin It is possible to prevent rubbing from occurring between the holes.
[0024]
According to a fourth aspect of the method for storing a large pellicle according to the present invention, there is provided a space of at least 1 mm or more between the frame of the large pellicle mounted on the tray of the case and the lid covered by the tray. This is a method for storing a large pellicle according to the first to third aspects of the invention.
[0025]
In the fourth invention described above, the large pellicle is stored with a space of at least 1 mm between the frame of the large pellicle mounted on the tray of the case and the lid covered by the tray. Even when transported, there is no risk of the large pellicle coming into contact with the lid and rubbing due to vibration or the like. In addition, since the large pellicle is held and fixed to the tray in a stable state via the pins as described above, there is no need to press the large pellicle with the lid, and thus the case design is facilitated and the case All the problems of molding accuracy and distortion can be solved.
[0026]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
FIG. 1 is a longitudinal sectional view of a large pellicle storage method according to the present invention, and FIG. 2 is a large pellicle storage of FIG. FIG. 3 is an enlarged perspective view of the main part showing the relationship between the presser allowance and the pin, FIG. 4 is a plan view of the large pellicle used in the method for storing the large pellicle in FIG. 1, and FIG. FIG. 5 is a plan view of a large pellicle used in the large pellicle storage method of FIG. 1 as in FIG. 4.
[0027]
In FIGS. 1 to 3A and 3B, A is a large pellicle, and as already described in detail, the pellicle area is a large pellicle having a size of 1000 cm ² or more. A pellicle film 3 bonded to the upper edge surface of the frame 1 via an adhesive 2, an adhesive material 4 applied to the lower edge surface of the frame 1 , and an adhesive material 4 for protecting the adhesive material 4 It is comprised from the protective film 5 adhere | attached on.
[0028]
In the above embodiment, the adhesive material 4 is applied to the lower edge surface of the frame 1. However, when a layered adhesive material in which the adhesive material 4 and the protective film 5 are previously formed in layers is used. Is simply laminated with a laminar adhesive material on the lower edge surface of the frame 1 (however, in this specification, including such a case, it is simply referred to as “to be applied”). ). Next, the large pellicle A configured as described above is accommodated in a case B including a tray 6 and a lid 7. A tape seal 8 is attached to a corner portion between the tray 6 and the lid 7, and the lid 7 is fixed by the tape seal 8 so that the lid 7 does not come off.
[0029]
On the outside of the outer peripheral edge of the protective film 5 of the large pellicle A, a presser allowance 5a is provided so as to overlap the surface of the tray 6. As a result of various experiments conducted by the present inventors, the dimensions of the presser allowance 5a have become clear that the width W is preferably 6 mm or more and the length L is preferably 20 mm or more.
[0030]
A pin hole 9 through which a pin provided on a tray 6 described later can be inserted is provided at a predetermined position of the presser allowance 5a. As described above, the pins 10 that can be inserted into the pin holes 9 of the presser allowance 5 a are provided on the surface of the tray 6 so as to stand upright integrally with the tray 6. However, it is also possible to make the pins 10 separately from the tray 6 and stick and fix them on the surface of the tray 6 later.
[0031]
The outer diameter of the pin 10 is effectively 1 mm or more and 10 mm or less. Further, when the inner diameter of the pin hole 9 is larger than the outer diameter dimension of the pin 10 by 1 mm or more, the pin 10 can be easily inserted into the pin hole 9. When the inner diameter of the pin hole 9 is 5 mm or more larger than the outer diameter of the pin 10, a large gap is generated between the pin 10 and the pin hole 9, so that the large pellicle A is transported when the large pellicle A is transported. A moves by vibration, and there is a risk of rubbing between the pin 10 and the pin hole 9.
[0032]
In carrying out the storage method of the present invention, as shown in FIGS. 1 to 3, the large pellicle A is mounted on the center of the tray 6 of the case B and the outside of the frame 1 of the large pellicle A is removed. The large pellicle A is inserted into the center of the tray 6 by inserting the pin 10 erected on the tray 6 into the pin hole 9 provided in the presser allowance 5a of the protective film 5 protruding in the direction. It can be held and fixed easily and reliably in an extremely stable state.
[0033]
In the storage method according to the present invention, as described above, the flexible presser allowance 5a of the protective film 5 protruding outward of the frame 1 of the large pellicle A is inserted into the tray of the case B via the pins 10. Since the molding accuracy of the tray 6 of the case B is not sufficient or the tray 6 is warped, the large pellicle A is stably attached to the tray 6 regardless of these problems. Can be easily fixed in the state.
[0034]
Furthermore, in the storage method of the present invention, the large pellicle A can be securely held and fixed on the tray 6 of the case B in a stable state, so there is no need to hold the large pellicle A with the lid 7 of the case B. Therefore, as shown in FIG. 1, the distance D between the lid 7 and the frame 1 of the large pellicle A can be 1 mm or more. Therefore, since the large pellicle A and the lid 7 have a sufficient interval, the large pellicle A and the lid 7 are not rubbed due to vibration during transportation or the like, and there is no fear of generating a problem of dust generation.
[0035]
In providing the presser allowance 5a provided with the pin hole 9 in the protective film 5 of the above-described large pellicle A, for example, as shown in FIGS. 4 (a) to 4 (d) or FIGS. 5 (a) and 5 ( b ). In this manner, the presser allowance 5a having a width W of 6 mm or more and a length L of 20 mm or more can be provided on the outside of the outer edge of the protective film 5 in a protruding manner. The pin hole 9 can be provided at one center of the presser allowance 5a having a relatively short length L, and can be provided at a plurality of locations in the presser allowance 5a having a long length L.
[0036]
That is, in the case of FIG. 4 (a), the presser allowance 5a having one pin hole 9 is provided in the outer center of the long side of the protective film 5 from which the center of the large pellicle A is removed. In the case of (b), the presser allowance 5a having one pin hole 9 is provided at the center of the outer side of the short side of the protective film 5 that has been removed from the center. In the case of FIG. 5C, the presser allowance 5a having one pin hole 9 is provided at the outer center of each of the long side and the short side of the protective film 5 that has been removed from the center. In the case of (d), the presser allowance 5a having one pin hole 9 is provided at the outer center of each of the long side and the short side of the protective film 5 that is not centered.
[0037]
In the case of FIG. 5A, a structure in which a presser allowance 5a having one or a plurality of pin holes 9 is provided over substantially the entire length of the outer side of the long side and the outer side of the short side of the protective film 5 that has been punched in the center. In the case of FIG. 5B, a presser allowance 5a having one or a plurality of pin holes 9 is provided at substantially the entire outside of the long side of the protective film 5 that has been removed from the center and at the center of the short side. Structure .
[0038]
As a result of experiments using the large pellicle storage method of the present invention having the above-described configuration, the present inventors have obtained good results as shown in the following examples.
[0039]
[Example 1]
A large pellicle A having an outer dimension of 427 mm × 294 mm, a pin hole 9 provided at one central portion of each of the long side and the short side of the protective film 5 and a presser allowance 5a of W10 mm × L100 mm is used as an ABS. The large pellicle A is mounted on the tray 6 of the case B vacuum-formed with a resin material, and the pins 10 protruding from the surface of the tray 6 are inserted into the pin holes 9 provided in the presser allowance 5a. Then, the lid 7 was covered on the tray 6, and the clips 8 were attached to the corner portions of the tray 6 and the lid 7 to fix them. At this time, the distance D between the frame 1 of the large pellicle A and the lid 7 was maintained at 3.6 mm. The outer diameter of the pin 10 was 2 mm, and the inner diameter of the pin hole 9 of the presser allowance 5a was 3 mm. As a result of a long-distance transport test of the large pellicle A in this state, no rubbing was observed between the large pellicle A and the case B. Further, the large pellicle A was held and fixed as it was first mounted.
[0040]
[Example 2]
A pin hole 9 having an outer dimension of 904.5 mm × 750 mm, a presser allowance 5a having a dimension of W10 mm × L100 mm at the center of the long side and the short side of the protective film 5 and an inner diameter of 4 mm at the center of the presser allowance 5a. After inserting the pin 10 with an outer diameter of 2.5 mm standing on the tray 6 into the pin hole 9 of the large pellicle A provided with the large pellicle A and fixing the large pellicle A to the tray 6, As a result of the transportation test under exactly the same conditions, no rubbing was observed between the large pellicle A and the case B, and the large pellicle A was in a stable state on the tray 6 as in the first loading. The holding was fixed.
[0041]
[Comparative Example 1]
A large pellicle A having an outer dimension of 427 mm × 294 mm is mounted as it is (without using the presser allowance 5a and the pin 10) on the tray 6 in which an ABS resin material is formed by vacuum forming, and the lid 7 is covered with the tray 6. As a result of carrying out a transportation test under the same conditions as in Example 1 with the lid D being fixed with the clip 8 and the distance D between the lid 7 and the frame 1 of the large pellicle A being kept at 0.5 mm, a large pellicle was obtained. A trace of rubbing was observed between A and the lid 7, and fine dust adhered to a part of the pellicle film 3 of the large pellicle A.
[0042]
[Comparative Example 2]
A large pellicle A having an outer dimension of 427 mm × 294 mm is mounted on the tray 6 as it is in the same manner as in Comparative Example 1, and the distance D between the lid 7 covered on the tray 6 and the frame 1 of the large pellicle A is set to 3. As a result of carrying out a transportation test under the same conditions as in Example 1 with the thickness being 6 mm, there was evidence of rubbing between the large pellicle A and the lid 7. Further, fine dust was observed around the frame 1 of the large pellicle A.
[0043]
[Comparative Example 3]
A pin hole 9 having an inner diameter of 8 mm is provided at the center of the presser allowance 5a of the large pellicle A having the same outer dimensions as the first embodiment and the size of the presser allowance 5a. After using a pin having an outer diameter of 1.5 mm, inserting the pin 10 into the pin hole 9 and mounting the large pellicle A on the tray 6, the result of a transportation test under exactly the same conditions as in Example 1, A trace of rubbing was observed between the pin 10 and the pin hole 9, and it was recognized that very fine dust adhered to a part of the pellicle film 3 of the large pellicle A.
[0044]
【The invention's effect】
Te is at a method of storing large pellicle according to the present invention, a part of the outer peripheral edge of the protective film of large-sized pellicle protruding outwardly to form a pressing allowance, the pin holes provided in the presser margin, and the case Since a pin that can be inserted into the pin hole is provided at a predetermined position on the surface of the tray, when the large pellicle is mounted on the tray, the pin and the presser allowance are reduced by inserting the pin into the pin hole of the presser allowance of the large pellicle. Thus, the large pellicle can be securely held and fixed to the tray in a stable state by an extremely simple operation.
[0045]
Furthermore, the presser allowance of the protective film is flexible, and the pin provided on the tray is inserted into the pin hole provided on the presser allowance to hold and fix the large pellicle on the tray. If it is not, or even if the tray is warped, there is also an effect that the large pellicle can be accurately held and fixed to the tray without any influence.
[0046]
Further, in the present invention, when the height of the pin standing on the surface of the tray is formed to be 2 mm or more, there is an effect that the pin can be surely inserted into the pin hole of the press margin of the large pellicle. In addition, there is no fear that the presser foot will come off from the pin even when the molding accuracy of the tray is not good or the tray is warped, or when vibration is transmitted to a large pellicle mounted on the tray during transportation.
[0047]
Further, in the present invention, when the inner diameter of the pin hole provided in the press margin of the large pellicle is set to 1 mm or more than the outer diameter of the pin provided in the tray, when the large pellicle is mounted on the tray, This has the effect of allowing the pin on the tray side to be easily inserted into the pin hole of the presser allowance. On the other hand, since the inner diameter of the pin hole is 5 mm or less of the outer diameter of the pin, when the large pellicle is housed in the case and transported, the large pellicle is restricted from moving greatly by vibration, and thereby the pin and pin It also has the effect of preventing rubbing from occurring between the holes.
[0048]
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a longitudinal sectional view illustrating a method for storing a large pellicle according to the present invention.
FIG. 2 is an enlarged explanatory view of a main part of the large pellicle storage method of FIG. 1;
FIG. 3 is an enlarged perspective view of a main part showing a relationship between a presser foot allowance and a pin.
4 is a plan view of a large pellicle used in the large pellicle storage method of FIG. 1. FIG.
FIG. 5 is a plan view of a large pellicle used in the large pellicle storage method of FIG. 1;
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Frame 2 ... Adhesive 3 ... Pellicle film 4 ... Adhesive material 5 ... Protective film 5a ... Pressing allowance 6 ... Tray 7 ... Cover 8 ... Tape seal 9 ... Pin hole 10 ... Pin A ... Large pellicle B ... Case D ... Interval between the lid and the frame of the large pellicle L ... Length W ... Width

Claims

A frame, a pellicle film adhered to the upper edge of the frame, an adhesive applied to the lower edge of the frame, and an adhesive attached to the lower surface of the adhesive to protect the adhesive and the large pellicle consisting of a protective film at a method for storing more becomes case and tray and the lid, to form a presser margin to protrude outwardly a part of the outer peripheral edge of the protective film of the large pellicle, presser Instead, a pin hole is provided, and a pin that can be inserted into the pin hole is raised on the surface of the tray, and the large pellicle mounted on the tray is stored in the case by inserting the pin into the pin hole. A method for storing a large pellicle characterized by the above.

2. The method for storing a large pellicle according to claim 1, wherein the height of the pin protruding upright on the surface of the tray is 2 mm or more.

2. The method for storing a large pellicle according to claim 1, wherein an inner diameter of the pin hole provided in the presser allowance is formed to be larger than 1 mm and not larger than 5 mm from an outer diameter of the pin.

4. The large-size container according to claim 1, wherein a large pellicle frame body mounted on the tray of the case and a lid covered with the tray are stored with a gap of at least 1 mm. How to store the pellicle.