KR101191827B1 - 피세정물의 세정 방법 및 그의 장치 - Google Patents

피세정물의 세정 방법 및 그의 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101191827B1
KR101191827B1 KR1020077025309A KR20077025309A KR101191827B1 KR 101191827 B1 KR101191827 B1 KR 101191827B1 KR 1020077025309 A KR1020077025309 A KR 1020077025309A KR 20077025309 A KR20077025309 A KR 20077025309A KR 101191827 B1 KR101191827 B1 KR 101191827B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
pressure
resistant
cleaning
steam
cleaned
Prior art date
Application number
KR1020077025309A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20080014965A (ko
Inventor
마사히데 우치노
Original Assignee
쟈판휘루도가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 쟈판휘루도가부시키가이샤 filed Critical 쟈판휘루도가부시키가이샤
Publication of KR20080014965A publication Critical patent/KR20080014965A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101191827B1 publication Critical patent/KR101191827B1/ko

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/08Cleaning involving contact with liquid the liquid having chemical or dissolving effect
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04Cleaning involving contact with liquid
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26DRYING
    • F26BDRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B5/00Drying solid materials or objects by processes not involving the application of heat
    • F26B5/04Drying solid materials or objects by processes not involving the application of heat by evaporation or sublimation of moisture under reduced pressure, e.g. in a vacuum
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B2230/00Other cleaning aspects applicable to all B08B range
    • B08B2230/01Cleaning with steam

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
  • Drying Of Solid Materials (AREA)

Abstract

과제
소형의 내압 통체를 사용하여 감압 침지 세정 및 감압 증기 세정 또는 감압 건조를 행하는 것을 가능하게 한다. 상하양단을 개구부로 한 소형의 내압 통체 내에 피세정물을 수납하여 세정작업을 행하는 것에 의해, 세정 완료 후에는 내압 통체를 상승시키는 것만으로 피세정물을 꺼내는 것이 가능하여, 세정완료 후의 피세정물의 후처리가 용이하게 된다.
해결수단
상하양단을 개구부(2), (3)로 하여 증기배관, 진공배관 등을 접속하지 않는 내압 통체(1)를, 상하양단의 개구부(2), (3)를 밀봉하여 내부에 수납한 피세정물(4)의 감압 침지 세정, 감압 증기 세정 또는 감압 건조를 행하는 경우의 감압에 견딜 수 있는 내압강도로 한다. 또한, 내압 통체(1)의 상하양단의 개구부(2), (3)는, 내압 뚜껑(11), (12)에서 개폐가능하게 밀폐가능으로 하여, 이 내압 뚜껑(11), (12)에 감압기구(114) 및 또는 증기 발생 기구(15)를 접속한다.
세정 방법

Description

피세정물의 세정 방법 및 그의 장치{METHOD FOR CLEANING OBJECT TO BE CLEANED AND ITS APPARATUS}
본발명은 피세정물의 세정 방법 및 그 방법에 사용하는 세정 장치에 관한 것으로서, 소형경량화한 세정 장치에 의해, 피세정물의 침지 세정 또는 건조를 행하는 것은 물론, 감압 침지 세정조, 감압 증기 세정조, 감압 건조조 등을 필요로 하지 않고, 내부에 수납한 피세정물을 감압 침지 세정 또는 감압 증기 세정하여 감압 건조를 하는 것을 가능하게 한 것이다.
특허문헌 1: 특개평5-123658호 공보
종래, 피세정물의 세정은, 피세정물을 세정액 중에 침지하거나 세정액을 세차게 불거나 해서 행하는 액세정 방법과, 세정 증기를 피세정물에 접촉해서 응축하는 것에 의해 행하는 증기 세정 방법이 존재한다. 액세정 방법으로서는 상압 상태에서 행하는 방법과 감압 침지 세정 방법이 알려져 있다. 이 감압 침지 세정 방법은, 대형의 내압제의 감압조 내에 세정액과 피세정물을 수납해서 행하는 것이어서, 세정액 중의 탈가스를 가능하게 하고, 이 탈가스의 결과 피세정물의 세부에까지 세정액이 침투하거나, 초음파 캐비테이션의 효과를 높이는 것이 가능해지는 이점을 갖고 있다.
또한 증기 세정 방법에는 감압 증기 세정 방법이 알려져 있다. 이 감압 증기 세정 방법은, 세정장치에 수납한 피세정물을 특허문헌 1에 나타나 있는 바와 같이, 대형의 내압제의 감압조에 삽입해서 행하는 것으로, 가연성의 고비점 용제를 낮은 온도로 비등시켜서 안전하게 세정 증기를 얻는 것을 가능하게 하는 이점을 소유하고 있다.
또한 세정을 완료한 피세정물을 건조하는 방법으로서는 자연건조나, 열풍을 세차게 불어서 행하는 열풍건조나, 피세정물을 감압 분위기 내에 배치해서 행하는 감압 건조 등의 방법이 알려져 있다. 이 감압 건조 방법은, 피세정물을 특허문헌 1에 나타나 있는 바와 같이, 대형의 내압제의 감압 조에 삽입해서 행하는 것으로, 피세정물에 부착된 가연성의 고비점 용제를 낮은 온도로 비등시켜서 안전하게 건조시키려고 하는 것이다. 이 감압 건조 방법은, 열풍건조 등에 비교해 인화의 위험이나, 용제의 확산을 감소할 수 있는 동시에 자연건조나 열풍건조 등에 있어서 생기기 쉬운 얼룩의 발생을 방지할 수 있는 이점을 갖고 있다.
그러나, 상기의 종래 기술로 감압 증기 세정이나 감압 건조를 행하기 위해서는, 세정 증기공급을 위한 배관, 감압 기구에 접속한 배관 등을 접속한 대형의 내압제의 진공조가 필요하게 된다. 그러나, 이 진공조는 고가인 것이어서 설비비가 고액으로 됨과 동시에 중량도 큰 것이고, 진공조에 세정 증기공급을 위한 배관, 감압 기구에 접속한 배관 등이 연결되어 있기 때문에, 간편하게 운반하여 사용하거나 할 수 없는 결점을 갖고 있다.
본 발명은, 상기와 같은 과제를 해결하려고 하는 것이며, 상하 양단을 개구하여 상기 배관을 접속하지 않는 소형의 내압 통체를 사용하여, 피세정물의 감압 침지 세정이나 감압 증기 세정, 혹은 감압 건조를 행하는 진공조로서도 사용하는 것을 가능하게 하는 동시에, 내압 통체를 간편하게 운반하여 손쉬운 감압 증기 세정이나 감압 건조를 행할 수 있게 하려고 하는 것이다.
본 발명은, 상기와 같은 과제를 해결하는 방법의 발명이며, 상하 양단을 개구부로 하여, 이 개구부를 내압 뚜껑에서 개방 가능하게 피복 밀폐해 증기공급 배관 및 감압 배관을 접속하지 않는 내압 통체 내에, 피세정물을 수납해 피세정물의 감압 침지 세정, 감압 증기 세정 또는 감압 건조를 행하는 것이다.
또한 상기방법을 실시하는 장치는, 상하 양단을 개구부로 하여 증기공급 배관 및 감압 배관을 접속하지 않는 내압 통체와, 이 내압 통체의 상하 양단의 개구부를 밀폐 가능하게 하는 내압 뚜껑으로 이루어지고, 내압 통체를, 내압 뚜껑에서 밀폐해 내부에 수납한 피세정물의 감압 침지 세정, 감압 증기 세정 또는 감압 건조를 행할 경우의 감압에 견딜 수 있는 내압강도로서 이루어지는 것이다.
또한 내압 뚜껑은, 감압 기구 및 또는 증기 발생 기구를 접속해서 이루어지는 것이어도 좋다.
또한 내압 통체는, 피세정물을 탑재가능해서 세정액의 유통이 가능한 탑재부를 내부에 설치해서 이루어지는 물건이어도 좋다.
본 발명은, 전술한 바와 같이 구성하였기 때문에, 감압 침지 세정이나 감압 증기 세정 혹은 감압 건조를 행할 경우에, 대형의 진공조를 필요로 하지 않고, 소형의 내압 통체를 써서 감압 침지 세정이나 감압 증기 세정 혹은 감압 건조를 행하는 것이 가능해진다. 그 때문에, 염가이면서 간편하게 감압 침지 세정이나 감압 증기 세정 혹은 감압 건조를 행할 수 있다. 또한 상하 양단을 개구부로 하여 증기공급 배관 및 감압 배관을 접속하지 않는 소형의 내압 통체 내에 피세정물을 수납해서 세정 작업을 행하는 것이기 때문에, 세정 완료 후에는 소형의 내압 통체를 상승시키는 것만으로 피세정물을 꺼내는 것이 가능해서, 세정 완료후의 피세정물의 뒤처리가 용이하게 된다. 또한 내압 통체 내에 세정액의 유통이 가능한 탑재부를 형성하면, 피세정물의 세정 바구니로서의 사용을 가능하게 할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예를 나타내는 단면도이다.
도 2는 내압 통체의 단면도이다.
도 3는 내압 통체의 사시도이다.
도 4는 본 발명의 제 2 실시예를 나타내는 단면도이다.
도 5는 본 발명의 제 3 실시예를 나타내는 단면도이다.
도 6는 본 발명의 제 4 실시예를 나타내는 단면도이다.
도 7는 본 발명의 제 5 실시예를 나타내는 단면도이다.
부호의 설명
1 내압 통체
2 개구부
3 개구부
4 피세정물
5 세정액
6 탑재부
11 내압 뚜껑
12 내압 뚜껑
14 감압 기구
15 증기발생기구
이하, 본 발명의 하나의 실시예를 도 1에 있어서 설명하면, (1)은 내압 통체이고, 상하 양단을 개구부(2)(3)로 하는 원통 모양, 각 통 모양 등의 통 모양으로 형성하는 동시에 증기공급 배관 및 감압 배관 등의 배관을 일체 접속하지 않는 구성을 하고 있다. 또한 내압 통체(1)의 내부의 저부방향에는, 피세정물(4)을 탑재가능해서 세정액(5)의 유통이 가능한 탑재부(6)을 스테인레스 망 등으로 설치하고 있다. 또한 이 내압 통체(1)는 스테인레스강 등에 의해 형성하고, 상하 양단의 개구부(2)(3)를 밀폐해서 내부에 수납한 피세정물(4)의 감압 증기 세정 또는 감압 건조를 행할 경우의, 감압에 견딜 수 있는 내압강도를 갖는 것이다. 또한 개구부(2)(3)의 외주에는 O-링 등의 기밀성 패킹(7)을 탑재하기 위한 플랜지(8)(9)을 돌출하고 있다. 또한 본 발명에 있어서 사용하는 세정액(5)은, 가연성 용제, 불연성 용제, 물, 그 밖의 액체를 세정 목적에 따라서 임의로 선택하는 것이 가능한 것이다.
또한 내압 통체(1)의 개구부(2)(3)는 내압 뚜껑(11)(12)에서 개폐 가능하게 밀폐할 수 있는 것으로 하고 있다. 이 내압 뚜껑(11)(12)은 O-링 등의 기밀성 패킹(7)을 거쳐서 내압 통체(1)의 개구부(2)(3)를 기밀적으로 피복하는 것이며, 이 기밀적인 피복에 의해 내압 통체(1) 안이 감압된 때에 파손되는 것 없이 내압성을 구비하는 것이다. 또한 이 내압 뚜껑(11)(12)은 내압성을 구비하여, 개구부(2)(3)를 밀폐할 수 있다면 좋고, 내압 통체(1)의 하단의 개구부(3)를 밀폐하는 내압 뚜껑(12)은, 도 5에 나타낸 바와 같이 일정한 작업을 행하는 탑재대(13)의 천판이어도 좋다.
또한 이 내압 뚜껑(11)(12)은 내압 통체(1)의 개구부(2)(3)를 밀폐할 수 있는 것이면 좋고, 직경이 다른 복수의 내압 통체(1)를 피복 밀폐할 수 있도록 큰 것이라도 좋다. 또한 이 내압 뚜껑(11)(12)은, 도 1에 나타낸 바와 같이 감압 기구(14), 증기 발생 기구(15)의 어느 하나 또는 그 쌍방을 접속해서 내압 통체(1) 안을 감압하거나, 세정 증기를 공급하는 것을 가능하게 하고 있다. 또한 하부의 내압 뚜껑(12)은 초음파 진동자(16)를 구비하고, 내압 통체(1) 안에 세정액(5)을 수납한 경우에는, 피세정물(4)의 초음파 액세정을 가능하게 하고 있다.
또한 히터(17)를 구비한 증기 발생 기구(15)를, 제 1 제어 밸브(18)를 거쳐서 증기공급 배관(10)에 의해 하부의 내압 뚜껑(12)에 접속하고, 상하의 내압 뚜껑(11)(12)으로 밀폐한 내압 통체(1) 안으로의 세정 증기의 공급을 가능하게 하고 있다. 또한 증기 발생 기구(15)의 제 1 제어 밸브(18)와 하부의 내압 뚜껑(12)과의 사이에는, 세정액(5)을 수납한 리저브 탱크(reserve tank)(20)를 제 2 제어 밸브(21)를 거쳐서 접속하고, 내압 통체(1) 안으로의 세정액(5)의 공급과, 증기 발생 기구(15)에의 세정액(5)의 보충을 가능하게 하고 있다. 또한 증기 발생 기구(15)와 제 1 제어 밸브(18)와의 사이에는 용제 회수 기능을 갖춘 감압 기구(14)를 제 3 제어 밸브(22)를 거쳐서 접속하고 있다. 또한 이 감압 기구(14)는 제 4 제어 밸브(23)를 거쳐서 진공배관(19)에 의해 상부의 내압 뚜껑(11)에 접속하고, 내압 통체(1) 안을 감압가능으로 하고 있다.
전술한 바와 같이 구성한 것에 있어서, 피세정물(4)의 감압 침지 세정, 감압 증기 세정, 감압 건조 등을 행하기 위해서는, 내압 통체(1)의 하단의 개구부(3)를 하부의 내압 뚜껑(12)에 기밀성 패킹(7)을 거쳐서 탑재하고, 하단의 개구부(3)를 밀폐한다. 다음에 통액성의 탑재부(6)에 피세정물(4)을 탑재하고, 상부의 내압 뚜껑(11)으로 상단의 개구부(2)를 밀폐하고, 제 4 제어 밸브(23)를 개방해서 감압 기구(14)를 작동한다. 이 감압 기구(14)의 작동에 의해, 내압 통체(1)를 감압한 후, 제 2 제어 밸브(21)를 개방하고, 내압 통체(1)의 마이너스 압을 이용해서 리저브 탱크(20)로부터 세정액(5)을 내압 통체(1) 안에 급격하게 도입한다.
이 도입 후에도 더욱 감압 기구(14)를 작동해서 세정액(5)의 탈가스를 행하고, 세정액(5)의 피세정물(4)에의 침투와 초음파 캐비테이션 효과를 높이고, 초음파 진동자(16)를 작동해 초음파 액세정을 행한다. 이 초음파 액세정의 완료 후에는, 세정액(5)을 리저브 탱크(20)로 되돌린 후, 제 2 제어 밸브(21)를 폐지한다. 다음에 제 1 제어 밸브(18)를 개방해 증기 발생 기구(15)로부터 내압 통체(1) 안에 세정 증기를 도입해서 증기 세정을 행한다. 이 증기 세정은 상압 분위기로 행해도 되지만, 본실시예에서는 내압 통체(1) 안을 감압 상태로 하여 감압 증기 세정을 행 한다.
이 감압 증기 세정은 제 1 제어 밸브(18)를 개방해서 감압 기구(14)를 작동하는 것에 의해 증기 발생 기구(15)안의 증기를 내압 통체(1) 안에 도입하는 것에 의해 행한다. 또한 감압 증기 세정의 완료 후에는 제 1 제어 밸브(18)를 폐지하고, 제 4 제어 밸브(23)를 개방해서 감압 기구(14)를 작동하는 것에 의해, 내압 통체(1) 안을 급속하게 감압하고, 피세정물(4)의 돌비 감압 건조를 행할 수 있다. 이 감압 건조 완료 후에는 진공해제밸브(24)를 개방하고, 상부의 내압 뚜껑(11)을 개방해서 건조 완료한 피세정물(4)을 내압 통체(1) 안으로부터 꺼내는 것이 가능해진다. 또한 증기 발생 기구(15)는 제 3 제어 밸브(22)를 개방하여, 증기를 용제 회수 기능을 갖춘 감압 기구(14)에 도입하는 것에 의해 세정액(5)의 감압증류재생을 가능하게 한다.
실시예 2
상기 실시예 1에서는 내압 뚜껑(11)(12)을 거쳐서 내압 통체(1)에 리저브 탱크(20), 증기 발생 기구(15) 등을 접속하고, 피세정물(4)의 초음파 액세정, 감압 증기 세정과 함께 감압 건조를 행하는 것으로 하고 있지만, 도 4에 나타낸 바와 같이, 하부의 내압 뚜껑(12)에 감압 기구(14)만을 접속하고, 이전 공정에서 액세정이나, 증기 세정을 완료한 피세정물(4)의 감압 건조만을 행하는 구성으로 하여도 좋다.
실시예 3
또한 상기의 실시예 1, 2에서는 내압 통체(1)를 각각 독립하여 감압 증기 세 정조, 감압 건조조로서 사용하고 있지만, 도 5에 나타낸 바와 같이, 피세정물(4)을 수납한 내압 통체(1)를 세정 바구니로서 사용하는 것도 가능하다. 이 경우에는, 피세정물(4)을 수납한 내압 통체(1)를 초음파 진동자(16)를 갖춘 제 1,제 2 액세정 조(25)(26)에 순차 수납해서 액세정을 행한 후, 이 세정 바구니로서의 내압 통체(1)를, 열풍, 적외선 등에 의해 가열한 열건조 조(27)에 수납해 1차 건조를 행한다. 이 열에 의한 1차 건조를 행한 후, 내압 통체(1)의 상하를 내압 뚜껑(11)(12)에서 밀봉한, 상기의 제 2 실시예와 동일구성의 진공 건조조에서, 감압 건조를 행하는 것이다. 이 제 3실시예에 있어서 내압 통체(1)의 하단을 밀봉하는 뚜껑(12)은, 탑재대(13)의 상부면을 사용하고 있다.
실시예 4
또한 상기의 각 실시예에서는, 내압 통체(1)에 피세정물(4)의 탑재부(6)를 형성하고, 이 탑재부(6)에 피세정물(4)을 탑재해서 내압 통체(1)를 세정 바구니로서 사용하고 있다. 그러나, 실시예 4에서는 내압 통체(1)에 탑재부(6)를 형성하지 않고 있다. 이와 같이, 탑재부(6)를 형성하지 않는 것에 의해, 내압 통체(1)를 세정 바구니로서 사용할 수는 없지만, 도 6에 나타낸 바와 같이, 하단의 개구부(3)를 내압 뚜껑(12)으로 밀폐한 내압 통체(1)의 내부에, 내압 통체(1)와는 별개로 형성한 삽입대(28)를 삽입하고, 이 삽입대(28)에 종래 공지의 수납 바구니(30)에 수납한 피세정물(4)을 탑재해서 피세정물(4)의 감압 증기 세정이나 감압 건조를 행하는 것이 가능해진다. 이 삽입대(28)에 탑재한 피세정물(4)의 작업 완료 후에는, 도 6에 나타낸 바와 같이, 내압 통체(1)를 상승시키는 것에 의해 피세정물(4)의 취출이 가능해지고, 삽입대(28)를 이동하는 것에 의해, 벨트 콘베이어(29) 등을 통한 다음 공정에의 피세정물(4)의 이송이 간편하게 된다. 이 벨트 콘베이어(29)에의 피세정물(4)의 이송은, 내압 통체(1)를 상승시킨 후에 행하여도 좋고, 내압 통체(1)와 함께 벨트 콘베이어(29)에 피세정물(4)을 이송한 후에 내압 통체(1)를 상승하는 것 이어도 좋다.
실시예 5
또한 상기의 실시예 4에서는 피세정물(4)을 삽입대(28)에 탑재하여 행했지만, 피세정물(4)이 비교적 큰 것일 경우에는, 반드시 삽입대(28)에 탑재할 필요는 없고,도 7에 나타낸 바와 같이 아래 쪽의 내압 뚜껑(12)에 직접 탑재하는 것이어도 된다. 이 경우도, 벨트 콘베이어(29)에의 피세정물(4)의 이송은, 내압 통체(1)를 상승시킨 후에 행하여도 좋고, 내압 통체(1)와 함께 벨트 콘베이어(29)에 피세정물(4)을 이송한 후에 내압 통체(1)를 상승하는 것이어도 좋다.
실시예 6
또한 상기의 실시예 4에서는 종래 공지의 수납 바구니(30)에 수납한 피세정물(4)을 삽입대(28)에 탑재해서 행하고, 실시예 5에서는 아래 쪽의 내압 뚜껑(12)에 피세정물(4)을 직접 탑재하고 있지만, 종래 공지의 수납 바구니(30)에 수납한 피세정물(4)을, 삽입대(28)를 통하지 않고 아래 쪽의 내압 뚜껑(12)에 탑재하는 것 이어도 좋다.

Claims (6)

  1. 상하 양단을 개구부로 하여, 증기공급 배관 및 감압 배관, 기타 배관을 접속하지 않고 단독으로 운반가능하고, 피세정물을 탑재가능해서 세정액의 유통이 가능한 탑재부를 내부에 설치한 내압 통체 내에 피세정물을 수납한 후, 상기 내압 통체의 상하 양단의 개구부를 상하 내압 뚜껑으로 개폐가능하게 피복밀폐하고, 상기 상하 내압 뚜껑의 적어도 하나에는 감압기구 또는 증기발생기구 또는 그 쌍방을 접속하며, 상기 내압 통체 내에서 피세정물의 감압 침지 세정, 감압 증기 세정 또는 감압 건조를 행하는 것을 특징으로 하는 피세정물의 세정 방법.
  2. 상하 양단을 개구부로 하여 증기공급 배관 및 감압 배관, 기타 배관을 접속하지 않는 동시에 피세정물을 탑재가능해서 세정액의 유통이 가능한 탑재부를 내부에 설치한 내압 통체와, 이 내압 통체의 상하 양단의 개구부를 밀폐 가능하고 감압기구 또는 증기발생기구 또는 그 쌍방을 적어도 상 또는 하의 한쪽에 접속하여 구성되는 상하 내압 뚜껑으로 이루어지고, 상기 내압 통체를, 상하 내압 뚜껑으로 밀폐하여 내부에 수납한 피세정물의 감압 침지 세정, 감압 증기세정 또는 감압 건조를 행할 경우의 감압에 견딜 수 있는 내압강도로 한 것을 특징으로 하는 피세정물의 세정장치.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
KR1020077025309A 2005-06-01 2006-02-21 피세정물의 세정 방법 및 그의 장치 KR101191827B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2005-00162007 2005-06-01
JP2005162007A JP4225985B2 (ja) 2005-06-01 2005-06-01 被洗浄物の洗浄方法及びその装置
PCT/JP2006/303039 WO2006129402A1 (ja) 2005-06-01 2006-02-21 被洗浄物の洗浄方法及びその装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20080014965A KR20080014965A (ko) 2008-02-15
KR101191827B1 true KR101191827B1 (ko) 2012-10-16

Family

ID=37481335

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020077025309A KR101191827B1 (ko) 2005-06-01 2006-02-21 피세정물의 세정 방법 및 그의 장치

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP4225985B2 (ko)
KR (1) KR101191827B1 (ko)
CN (1) CN101184559A (ko)
WO (1) WO2006129402A1 (ko)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4575513B1 (ja) * 2009-08-26 2010-11-04 ジャパン・フィールド株式会社 被乾燥物の乾燥方法及びその装置
AT509771B1 (de) * 2010-04-15 2012-03-15 Hubert Ing Knoth Einrichtung zum trocknen eines maschinenteils
JP5328719B2 (ja) * 2010-06-03 2013-10-30 アクトファイブ株式会社 蒸気洗浄装置
JP4846057B1 (ja) * 2011-03-17 2011-12-28 ジャパン・フィールド株式会社 被洗浄物の洗浄装置
CN103128074B (zh) * 2011-11-25 2016-06-22 株式会社Ihi 真空清洗装置以及真空清洗方法
JP2013202566A (ja) * 2012-03-29 2013-10-07 Sharp Corp 洗浄乾燥装置および洗浄乾燥方法
JP6161194B2 (ja) * 2013-03-28 2017-07-12 ジャパン・フィールド株式会社 被洗浄物の洗浄方法及びその装置
DK179189B1 (en) * 2016-07-06 2018-01-22 Techsave As Method for restoring damaged electronic devices by cleaning and apparatus
CN106238372B (zh) * 2016-08-26 2018-10-02 重庆新红旗缸盖制造有限公司 缸盖蒸汽清洗装置
JP6763030B2 (ja) * 2016-12-07 2020-09-30 株式会社Ihi 洗浄方法及び洗浄装置
JP6509315B1 (ja) * 2017-12-20 2019-05-08 アクトファイブ株式会社 蒸気洗浄後のワーク乾燥判定方法及び蒸気洗浄真空乾燥装置
JP7037206B2 (ja) * 2020-01-27 2022-03-16 アクトファイブ株式会社 蒸気洗浄減圧乾燥装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000160378A (ja) 1998-11-26 2000-06-13 Japan Field Kk 洗浄装置
JP2001208471A (ja) * 2000-01-25 2001-08-03 Japan Field Kk 被洗浄物の乾燥方法及びその装置
JP7023531B2 (ja) 2017-06-28 2022-02-22 国立大学法人横浜国立大学 多段直流チョッパ回路、及び電力変換装置

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2535466B2 (ja) * 1991-10-17 1996-09-18 ジャパン・フィールド株式会社 可燃性溶剤を用いた被洗浄物の洗浄装置
JP3272607B2 (ja) * 1996-07-19 2002-04-08 株式会社三社電機製作所 減圧洗浄乾燥装置
JPH1043702A (ja) * 1996-08-07 1998-02-17 Mitsubishi Kakoki Kaisha Ltd 超臨界洗浄装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000160378A (ja) 1998-11-26 2000-06-13 Japan Field Kk 洗浄装置
JP2001208471A (ja) * 2000-01-25 2001-08-03 Japan Field Kk 被洗浄物の乾燥方法及びその装置
JP7023531B2 (ja) 2017-06-28 2022-02-22 国立大学法人横浜国立大学 多段直流チョッパ回路、及び電力変換装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN101184559A (zh) 2008-05-21
JP4225985B2 (ja) 2009-02-18
KR20080014965A (ko) 2008-02-15
JP2006334504A (ja) 2006-12-14
WO2006129402A1 (ja) 2006-12-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101191827B1 (ko) 피세정물의 세정 방법 및 그의 장치
US5715612A (en) Method for precision drying surfaces
US5412958A (en) Liquid/supercritical carbon dioxide/dry cleaning system
KR930010232A (ko) 철제부품의 세정방법 및 세정장치
TW213873B (en) Cleaning apparatus
WO2011024402A1 (ja) 被乾燥物の乾燥方法及びその装置
JP2008142637A (ja) 洗浄乾燥装置
JP3307429B2 (ja) 真空洗浄・乾燥方法および装置
JP2006292261A (ja) 被洗浄物の乾燥装置及び蒸気洗浄装置
JP2013202566A (ja) 洗浄乾燥装置および洗浄乾燥方法
KR100530019B1 (ko) 용제 재생기가 장착된 세정장치
JP5111091B2 (ja) インライン洗浄装置
JP2012077350A (ja) 密閉型洗浄装置及び洗浄方法
JP6161194B2 (ja) 被洗浄物の洗浄方法及びその装置
JPH0543436B2 (ko)
JPH0576852A (ja) 水系洗浄乾燥処理法及び装置
JPS62279877A (ja) 洗浄装置
JPS60174889A (ja) 洗浄装置
JP2010240606A (ja) 密閉型洗浄装置
JP3111507U (ja) ワーク乾燥室の加熱装置
JP3017033B2 (ja) 半導体ウエハ等の蒸気乾燥方法及びその蒸気乾燥装置
JP3111506U (ja) ワーク乾燥室の加熱装置
JPH04326971A (ja) 凹部を有する物品の洗浄方法
JP4574083B2 (ja) 洗浄装置
JP2008264614A (ja) 洗浄方法、及び洗浄装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151002

Year of fee payment: 4

LAPS Lapse due to unpaid annual fee