KR101149893B1 - 기판의 가공결합재 - Google Patents

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KR101149893B1
KR101149893B1 KR1020040082954A KR20040082954A KR101149893B1 KR 101149893 B1 KR101149893 B1 KR 101149893B1 KR 1020040082954 A KR1020040082954 A KR 1020040082954A KR 20040082954 A KR20040082954 A KR 20040082954A KR 101149893 B1 KR101149893 B1 KR 101149893B1
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마크반봄멜
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헬른닥터토마스제틀러
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티피오 홍콩 홀딩 리미티드
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Abstract

본 발명은 0.3mm 미만의 두께를 갖는 기판으로서 초박막 기판 및 운반체 기판을 구비하는 결합재에 관한 것으로, 상기 기판은 적어도 간접으로 상기 운반체 기판에 연결된다. 본 발명에 따른 결합재는 상기 기판과 상기 운반체 기판 사이에는 리세스(recess)를 구비한 간격층이 삽입되며, 상기 리세스는 상기 기판으로 향한 적어도 상기 간격층의 표면에 구비되는 것을 특징으로 한다.
초박막 기판, 운반체 기판, 결합재

Description

기판의 가공결합재 { A TREATMENT COMPOSITE FOR A SUBSTRATE}
도 1은 본 발명에 따라 형성된 결합재의 횡단면도이다.,
도 2는 본 발명의 실시예들에 따른 결합재가 구비한 간격층의 사시도이다.,
도 3은 본 발명의 실시예들에 따른 결합재가 구비한 간격층을 통과한 횡단면도이다.
도 4는 프레임으로 형성된 간격층을 구비한 결합재를 도시한 도면이다.
본 발명은 기판으로서 초박막 기판 및 운반체 기판(carrier substrate)을 포함하는 결합재에 관한 것이다. 이때, 상기 기판 및 상기 운반체 기판은 서로 연결되어 있으므로 안정적인 독립적 구조를 형성한다. 따라서, 예를 들어, 유리 또는 유리를 함유하는 물질로 이루어지고 0.3mm 미만의 두께를 갖는 특별한 기판은 초박막 기판으로 특징지워진다.
현재, 디스플레이산업에서 디스플레이를 제조하기 위해서 표준에 따라 0.3-2mm 두께의 유리가 사용된다. 특히, 이동전화 및 PDA의 디스플레이에서는 0.7mm 및 0.5mm (0.4mm) 두께의 유리가 사용된다. 이러한 유리는 견고하고 독립적이며, 디스 플레이 제조장치는 이러한 두께로 최적화된다.
예를 들어, 유리박층 또는 폴리머박층과 같은 0.3mm보다 작은 두께를 갖는 초박막 기판을 디지털 또는 아날로그 디스플레이에 사용하는 경우, 상기 초박막 기판은 예를 들어 구부릴 수 있으므로, 기판표면이 그 자체특성으로 인해 강하게 아래로 굽어지기 때문에 이러한 종류의 초박막 기판은 종래의 공정에서 더 이상 처리될 수 없는 장점을 갖는다. 또한, 상기 초박막 기판은 강한 기계적 부하에 대해 매우 민감하다. 이에 따라, 상기 유리기판은 서로 다른 공정단계에서 손상될 수 있다. 상기 유리기판은 예를 들어, 세척공정 또는 코팅공정에서 액상으로 인해 부러질 수 있다. 손상의 또 다른 원인으로는 기계적 경사 및 충돌이 있다. 상기 초박막 기판은 종래의 공정에서, 예를 들어, 서로 다른 완성단계사이의 자동 기판운반시 매달려 있을 수 있는 위험도 존재한다. 상기 초박막 기판을 구부림으로써, 공정의 공차요구사항, 예를 들어, 노광공정의 평탄화요구사항이 침해될 수 있으며, 이는 이미지화(imaging) 특성의 열화를 초래할 수 있다. 상기 노광공정은 예를 들어, 리소그래피공정 또는 마스크 노광공정일 수 있다. 또한, 얇은 가요성 기판은 외부에서 공간소리 및 신체소리를 수용하거나 자극함으로써 심하게 고유진동하는 경향이 있다.
다른 한편으로는, 얇고, 가볍고 구부러지거나 구부릴 수 있는 디스플레이를 사용하는 것이 바람직하다. 이는 0.3mm 미만의 두께를 갖는 초박막 기판을 사용함으로써 가능하다.
물론, 전술한 이유로 인해, 종래의 디스플레이 제조장치에서 초박막 기판을 조작하는 데에 문제가 발생한다.
독립적 구조를 형성하기 위해서 해당기판을 운반체 기판과 함께 연결하기 위해 서로 고정하는 것이 알려져 있다. 그러나, 상기 처리된 초박막 기판을 분리하기 위해서 상기 초박막 기판은 상기 운반체 기판에 의해 손상될 수 밖에 없는 문제가 남아있다.
본 발명은 종래기술의 단점을 극복하고, 기판으로서 초박막 기판의 조작, 가공, 및 운반을 용이하게 하며 특히, 상기 초박막 기판을 손상시키지 않고 분리할 수 있는 결합재를 제공하는 데에 목적이 있다.
상기 목적은 청구범위 1항에 따른 결합재에 의해 달성된다. 종속항들은 본 발명의 특히 바람직한 실시예를 설명한다.
청구범위 1항에 따르면, 본 발명에 따른 결합재는 기판으로서 초박막 기판 및 운반체 기판을 구비한다. 상기 기판은 상기 운반체 기판에 연결된다. 이때, 상기 연결은 직접 상기 기판과 상기 운반체 기판 사이에 수행될 수 있으며, 간접적인 연결도 고려할 수 있다. 상기 연결은 분리가능하게 수행되는 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면, 상기 기판과 상기 운반체 기판 사이에는 간격층이 삽입되며, 상기 간격층은 리세스(recess)(3.3)를 구비한다. 이때, 상기 리세스는 상기 기판으로서 0.3mm 미만의 두께를 갖는 초박막 기판으로 향한 적어도 상기 간격층의 표면에 구비된다.
본 발명에 따라 간격층을 기판과 운반체 기판 사이에 중간연결함으로써, 한편으로는 기판이 아래로 굽어지거나 손상되는 것을 효과적으로 방지한다. 다른 한편으로는, 소정의 두께를 갖는 간격층을 선택함으로써, 상기 결합재를 원하는 전체두께로 조정할 수 있다. 특히, 기판의 변하는 두께에도 불구하고 상기 간격층을 그에 상응하게 조정함으로써 상기 결합재의 전체두께를 일정하게 유지할 수 있다. 이는 특히, 본 발명에 따른 결합재의 바람직한 사용에서 LCD 제조, 특히, 프론트 엔드(front-end) LCD 처리에 있어 바람직하다. 이는, 변하는 두께에도 불구하고 표준두께를 요구하는 종래장치에서 상기 기판을 처리할 수 있기 때문이다. 매우 얇게 형성된 간격층을 선택하고, 상기 결합재의 전체두께를 대안적으로 또는 부가적으로 상기 운반체 기판의 두께를 가변함으로써 조정할 수 있음도 자명하다.
본 발명에 따라 리세스를 구비한 상기 간격층을 형성함으로써, 적어도 상기 기판으로 향한 상기 간격층의 표면 위에서 상기 기판을 처리후에 특히 상기 운반체 기판으로부터 용이하게 분리할 수 있다. 이는, 리세스를 구비한 간격층의 사용으로 인해 초박막 기판과 운반체 기판의 접착성 중력, 예를 들어, 반데어 발스(Van der Waals) 힘이 미약하기 때문이다. 이와는 반대로, 리세스를 구비하지 않은 간격층이 형성되는 초박막 기판과 운반체 기판으로 이루어진 결합재에서, 상기 결합재는 기판으로서 초박막 기판을 들어올릴 때 아래로 굽어지거나 허용불가하게도 변형되는 경향이 있다. 이는, 기판과 간격층 사이의 접착력이 매우 크기 때문이다.
본 발명에 따른 결합재의 사용은 LCD 제조에만 제한되는 것은 아니다. 본 발명에 따른 결합재는 예를 들어 하기 영역중 한 영역에서 사용된다.
- 디스플레이 산업
- 광전자부품의 제조
- 광전자
- 폴리머전자
- 사진
- 센서
- 생물공학
- 의학(의학응용)
특히 용이하게 제조할 수 있는 결합재의 실시예에 따르면, 상기 간격층에 통과개구부로서 구현되는 리세스를 포함한다. 다시 말해서, 상기 리세스는 상기 간격층의 제1 표면으로부터 상기 간격층의 제2 표면까지 신장된다. 상기 간격층의 제1 표면은 상기 기판으로 향한 표면이며, 상기 제2 표면은 상기 운반체 기판으로 향한 표면이다. 상기 리세스를 통과개구부로서 구현할 때, 처리 또는 운반후에 상기 기판을 상기 운반체 기판으로부터 들어 올릴 때의 접착력이 특히 쉽게 극복된다.
통과개구부를 구비한 간격층은, 예를 들어, 소정의 간격으로 서로 배치된 다수의 간격편(distance piece)으로 형성되도록 구현될 수 있다. 이때, 상기 간격에 대해 말하자면, 상기 간격은 상기 기판과 동일평면인 평면에서의 간격을 의미한다.
상기 간격층은 예를 들어, 격자망구조에 의해 형성되거나 다수의 통과개구부를 구비한 편평한 층으로도 형성될 수 있다. 물론, 임의적인 혼합형태도 생각할 수 있다.
간격층으로서, 소정의 간격으로 서로 평행하게 배치된 다수의 로드(rod)로 제조되는 것이 특히 바람직하다. 상기 로드는 원형, 타원형, 직사각형, 또는 정사각형 횡단면을 구비할 수 있다. 상기 간격층은 예를 들어, 소정의 간격으로 서로 배치된 다수의 구형으로도 형성될 수 있으며, 상기 구형은 특히 간격로드에 의해 서로 연결된다.
상기 기판을 상기 간격층으로부터 들어 올릴 때 극복할 접착력은 상기 초박막 기판으로 향한 상기 간격층의 표면과 전체표면과의 여백 표면의 비율에 의해 조정될 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 간격층의 통과개구부는 상기 기판으로 향한 상기 간격층의 표면으로부터 상기 운반체 기판으로 향한 상기 간격층의 표면까지 동일한 형태의 횡단면을 구비한다. 상기 해당하는 횡단면은 원추형으로도 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 횡단면은 상기 언급한 방향에서, 즉, 상기 기판으로 향한 상기 간격층의 표면에서 시작하여 원추형으로 확대되는 것을 생각할 수 있다. 이에 따라, 한편으로는, 상기 기판으로서 초박막 기판의 배치면은 아래로 굽어지는 것을 방지하기 위해서 상대적으로 크게 형성될 수 있다. 여기서, 동시에 상기 기판을 들어 올릴 때 발생하는 접착력은 미약하다. 이는, 이에 상응하여 공기가 원추형으로 확대된 횡단면을 통해 유입될 수 있기 때문이다.
상기 간격층은 플라스틱, 예를 들어, 폴리머 또는 플라스틱 또는 폴리머를 함유하는 물질로 제조될 수 있다.
상기 운반체 기판은 유리 또는 유리를 함유하는 물질로 제조되는 것이 특히 바람직하다.
상기 결합재는 예를 들어, 0.4mm 내지 1mm의 전체두께를 구비한다. 상기 결합재가 0.5mm의 전체두께를 구비하는 경우에 특히 바람직한데, 이 두께는 종래 LCD 제조라인의 상기 언급한 표준두께에 해당하기 때문이다.
본 발명에 따른 결합재의 간격층이 변하는 두께를 갖는 교체부로 형성되어, 변하는 기판두께에서 상기 간격층을 선택함으로써 상기 결합재의 전체두께가 변하지않는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 결합재의 개개층의 연결가능성은, 상기 기판으로서 초박막 기판을 분리가능하게 상기 간격층에 연결하고 상기 간격층을 분리가능하게 상기 운반체 기판에 연결하는 데에 있다. 그러나, 대안적으로 상기 간격층은 분리할 수 없게 상기 운반체 기판에 연결될 수 있다. 여기서, 특히 상기 간격층은 상기 운반체 기판과 함께, 상기 결합재의 변하지않는 전체두께를 조정하기 위한 상기 해당하는 교체부를 나타낸다.
또 다른 실시예에 따르거나 부가적으로, 상기 기판으로서 초박막 기판을 직접 상기 운반체 기판에 분리가능하게 연결할 수 있다.
본 발명에 따른 결합재를 형성함으로써, 상기 기판을 간접 또는 직접 상기 운반체 기판에 연결할 수 있다. 여기서, 상기 간격층은 중간에 연결되어 있다. 이어서, 상기 기판으로서 초박막 기판을 조작 및/또는 처리 및/또는 운반할 수 있다. 상기 조작/처리 또는 운반 종료후에 상기 기판을 다시 상기 운반체 기판으로부터 분리할 수 있다. 여기서, 도시한 바와 같이, 본 발명에 따라 리세스를 구비한 간격 층을 형성함으로써, 상기 접착력을 미약하게 할 수 있다.
접착방법 또는 열적 연결방법이 상기 결합재에 사용될 수 있다. 예를 들어, 상기 기판은 상기 운반체 기판 위에서 녹여서 칠해진다. 운반체 기판(또는 초박막 기판)의 에지(edge)에 얇은 줄무늬접착제를 투여하고, 상기 간격층을 삽입하고 이어서 상기 초박막 기판(또는 운반체 기판)을 접촉함으로써, 순환하는 접착은 상기 초박막 기판과 상기 운반체 기판 사이의 연결에 영향을 미칠 가능성이 존재한다. 대안적으로, 상기 순환하는 접착층은 코팅처리에 의해 상기 운반체 기판 또는 상기 초박막 기판의 에지에서 제조될 수도 있다. 이 경우, 접착제로서 예를 들어, 실온에서 경화되는 단순한 접착제, 보다 높은 온도(일반적으로, 200℃ 내지 600℃)에서 적용될 수 있는 열적경화가능한 접착제, UV경화할 접착제 또는 예를 들어, 용접용 유리를 고려할 수 있다.
또 다른 연결방법, 즉, 상기 운반체 기판을 구비한 초박막 기판을 예를 들어, 레이저방사에 의해 국부적으로 융해하고 상기 얻은 에나멜을 사용하여 서로 연결하는 방법이 존재한다. 여기서 국부적으로 수행되는 융해공정이 그에 따라 제어가능한 광학 또는 역학에 의해 보충되는 경우, 여기서 순환하는 연결 심(seam)이 제조될 수 있으며, 상기 연결 심으로 인해, 초박막 기판과 운반체 기판 사이의 연결이 수행된다.
처리후에 분리를 수행하기 위해서, 종래 LCD 분리기술이 사용될 수 있다. 특히, 상기 운반체 기판이 유리로 구현되는 경우, 이에 따라 상기 운반체 기판은 초박막 기판으로부터 이격될 수 있으므로, 상기 운반체 기판에 우선 선을 긋고 이어 서 상기 운반체 기판을 구부림으로써 상기 틈을 따라서 파열된다.
본 발명에 따른 결합재에 의해, 종래장치에서 변하는 두께를 갖는 기판을 특히 LCD제조를 위해 처리할 수 있다. 상기 간격층 및/또는 운반체 기판의 두께를 선택함으로써, 상기 결합재의 요구된 표준두께에 용이하게 도달할 수 있다. 생산라인을 새로운 두께로 변환할 필요는 없다. 상기 결합재는 실제적으로 모든 제조장치, 상기 결합재의 치수(형태 및 두께)에 따라 배치되는, 디스플레이 제조(특히, 수동 매트릭스(Passive Matrix; PM) 및 능동 매트릭스 (Active Matrix; AM) LCD 제조장치)에 사용될 수 있다.
특히 바람직한 실시예에 따르면, 상기 간격층은, 원하는 간격을 갖는 작은 구형이 해당 직경, 예를 들어, 6㎛의 직경을 가지며, 특히, LCD 산업에 사용된 스페이스 구형에 해당하며 간격지지체로서 상기 운반체 기판 또는 상기 (초박막)기판 위에서 분산되도록 제조된다. 상기 기판의 광학 및 기타 특성이 부정적인 영향을 미치지 않는 한, 상기 구형은 임의의 물질로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 유리 또는 폴리머 또는 유리 또는 폴리머를 함유하는 물질로 이루어지는 것이 특히 바람직하다. 이어서, 상기 (초박막)기판 및 상기 운반체 기판은 서로 연결될 수 있다. 분산된 구형으로 이루어진 간격층을 구비한 상기 결합재의 전체두께의 조정은 상기 운반체 기판의 두께를 조정함으로써 수행되는 것이 바람직하다.
이하, 본 발명의 실시예가 첨부된 도면을 참조로 하여 상세히 설명된다.
도 1을 참조하면, 운반체 기판(1)이 초박막 기판(2)에 연결되어 있다. 상기 초박막 기판(2)은 상기 운반체 기판(1)의 두께보다 현저히 작은 두께를 구비한다. 상기 초박막 기판(2)은 예를 들어, LCD 디스플레이 제조를 위한 가요성 기판일 수 있다. 본 발명에 따르면, 상기 초박막 기판(2)과 상기 운반체 기판(1) 사이에 간격층(3)이 구비되어 있다. 상기 간격층(3)은 개별 간격층(3.1)으로 이루어져 있다. 상기 간격층(3)은, 상기 개별 간격층(3.1) 사이에 중간 공간(5)이 남아 있어 상기 초박막 기판(2)을 상기 운반체 기판(1)으로부터 들어올릴 때 접착력을 감소하도록 소정의 간격으로 서로 인접하여 배치된다.
동시에, 상기 개별 간격층(3.1), 예를 들어, 상기 운반체 기판(1)의 두께(dA)를 선택함으로써 전체두께(d6) 또는 상기 간격층(3)이 일정한 치수로 고정된다. 상기 간격층(3)이 매우 작은 두께, 예를 들어, 마이크로미터(μm)의 영역에서 구현되는 경우, 상기 전체두께는 상기 운반체 기판(1)의 두께를 적절히 조정함으로써 조정하는 것이 바람직하다.
상기 초박막 기판(2) 및 상기 운반체 기판(1)은 그 외주영역에서 밀봉부재(4)에 의해 서로 밀폐된다. 도 2는 상기 간격층(3)의 서로 다른 실시예를 도시한다.
도 2a를 참조하면, 상기 개별 간격층(3.1)은 소정의 간격으로 서로 평행하게 배치된 로드(rod) 형태의 다수의 부재로 형성된다. 상기 다수의 부재는 부가적으로 횡단면 또는 간격부재에 의해 서로 연결될 수 있다. 상기 개별 부재를 연결하기 위한 외부 프레임을 생각할 수도 있다. 그러나, 상기 두 가지 방법은 도시되어 있지 않다. 도 2b에 도시된 간격편은 격자망 형태로 형성된다.
도 2c는 개별 간격층(3.1)을 도시한다. 상기 개별 간격층(3.1)은 구형이며, 간격편(3.2)에 의해 아래로 나란히 연결된다.
도 2d를 참조하면, 상기 도시된 간격층은 다수의 개별 간격층(3.1)으로 이루어진다. 상기 다수의 개별 간격층(3.1)은 불연속적 패턴에 배치되므로, 상기 간격편의 중간영역 내의 리세스(recess)는 에지영역에서보다 크다.
도 3a는 실린더 형태의 리세스(3.3)를 구비한 간격층(3)을 도시한 횡단면도이다. 도 3b는 리세스(3.3)를 구비한 간격층(3)을 도시한다. 상기 리세스(3.3)는 상기 초박막 기판의 측면에서 시작하여 상기 운반체 기판의 측면으로 원추형으로 확대된다. 도 3c는 상기 초박막 기판으로 향한 측면에 리세스(3.3)가 구비된 간격층을 통과한 횡단면도이다.
도 4는 초박막 기판(2)을 구비한 결합재를 도시한다. 상기 초박막 기판(2)은 0.3mm 미만의 두께를 가지며, 프레임 형태의 운반체 기판(1) 위에 배치된다. 직사각형의 프레임 또는 특히 정사각형의 프레임을 형성하는 캐리어(carrier) 형태의 프레임 기판과 상기 초박막 기판(2) 사이에는 간격층(3)이 삽입된다. 상기 간격층(3)은 마찬가지로 프레임 형태인데, 즉, 상기 간격층(3)은 상기 초박막 기판(2) 하부에서 간격층이 없는 공간을 에워싼다.
상기 간격층(3)은 동시에 밀봉재 기능을 수행할 수 있다. 즉, 상기 간격층(3)은 상기 초박막 기판(2)을 상기 외주를 따라서 상기 운반체 기판(10)에 대해 밀폐한다. 상기 간격층(3)은 프레임 형태의 밀봉재로도 특징지울 수 있다.
상기 초박막 기판(2)을 상기 프레임 형태의 운반체 기판(1) 위에 특히 양호하게 지지하기 위해서, 상기 초박막 기판(2)은 특히 개별적으로 상기 운반체 기판 (1)에 고정된다. 상기 개별적 고정은 예를 들어, 리벳(rivet), 솔더링(soldering) 및/또는 포인트 용접에 의해 제조될 수 있다. 물론, 분리가능한 연결기술도 사용가능하다.
상기 간격층(3)이 실질적으로 완전 편평하게 상기 기판과 상기 운반체 기판 사이에 삽입되고 상기 기판의 전체 배치영역을 지나 상기 운반체 기판 위에서 분할되어 배치되는 다수의 개구부를 구비하는 전술한 실시예와는 달리, 도 4에 도시된 상기 간격층(3)은 단일의 직사각형 개구부만을 구비한다. 상기 에지영역에는 마찬가지로, 상기 초박막 기판(2)이 상기 간격층(3)에 편평하게 배치된다. 물론, 상기 간격층(3)은, 대안적으로 또 다른 실시예에서 구비되는 바와 같이, 상기 전체 기판하측으로 신장되지 않는다.
도 4에 도시된 실시예에서, 전술한 설명과 달리, 상기 간격층(3)만이 프레임 형태로 구현되고 상기 운반체 기판(1)을 완전 편평하게, 즉, 예를 들어, 직사각형의 횡단면을 구비할 수 있다. 따라서, 상기 프레임 형태의 간격층(3)에 의해 상기 완전 편평한 초박막 기판(2)과 상기 완전 편평한 운반체 기판(1) 사이에는 공동(cavity)이 에워싸여 있다.
이어서, 본 발명에 따른 결합재는 하기와 같이 다시 요약할 수 있다:
- 표준 LCD 제조공정 및 장치는 제조, 예를 들어, 기판으로서 초박막 기판의 처리에 사용될 수 있다. 이때, 상대적으로 두꺼운 운반체 기판을 구비한 결합재를 사용함으로써, 일반적으로 LCD 제조에 사용된 유리두께와 비교하여 전체두께에 도달한 다. 이때, 예를 들어, 상기 결합재의 전체두께를 조정하기 위해서, 서로 다른 두께를 갖는 운반체 기판, 초박막 기판, 및 간격층이 사용될 수 있다.
- 초박막유리를 단독으로 사용하는 것과 비교하여 아래로 굽어짐이 현저히 감소된다.
- 예를 들어, 상기 초박막 기판의 에지는 상기 운반체 기판의 에지에 비해 약간 후퇴하는 경우, 예를 들어 1mm의 오프셋(offset)을 갖는 경우에, 파열위험은 마찬가지로 현저히 감소된다.
- 표준 LCD 분리공정은 상기 기판을 상기 운반체 기판으로부터 분리하기 위해 사용될 수 있다.
- 접착력은 상기 기판 및 상기 운반체 기판을 분리할 때 보다 용이하게 극복될 수 있다.
결합재를 두 개의(유리) 표면으로부터 분리할 때, 예를 들어, 마찬가지
로, 반 데어 발스(Van der Waals) 힘에 근거하지 않는 힘이 극복될 수 있다. 예를 들어, 많은 공정단계, 특히 진공공정(액체막이 이격되는) 또는/및 고온에서, 다시 분리해야만 하는 표면 사이에서 화학결합(수소 브리지(bridge) 결합 외에 예를 들어, Si-O-Si)이 발생할 수 있다. 이러한 분리공정도 본 발명의 실시예에 따른 결합재에 의해 보다 용이하게 수행된다.

Claims (26)

  1. 0.3mm 미만의 두께를 갖는 기판으로서 초박막 기판; 및
    운반체 기판을 구비하고,
    상기 기판은 적어도 간접으로 상기 운반체 기판에 연결되며,
    상기 기판과 상기 운반체 기판 사이에는 리세스(recess)를 구비한 간격층이 삽입되며, 상기 리세스는 상기 기판으로 향한 적어도 상기 간격층의 표면에 구비되고,
    상기 간격층은 격자망 구조에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 결합재.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 리세스는 통과 개구부로서, 상기 간격층을 상기 기판으로 향한 상기 간격층의 표면으로부터 상기 운반체 기판으로 향한 상기 간격층의 표면까지 관통하는 것을 특징으로 하는 결합재.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 간격층은 규칙적 또는 불규칙적 간격으로 서로 배치된 다수의 간격편(distance piece)으로 형성되는 것을 특징으로 하는 결합재.
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 간격층은 소정의 간격으로 서로 평행하게 배치된 다수의 로드(rod)로 형성되는 것을 특징으로 하는 결합재.
  6. 제5항에 있어서, 상기 로드는 원형, 타원형, 직사각형, 또는 정사각형 횡단면을 구비하는 것을 특징으로 하는 결합재.
  7. 제3항에 있어서,
    상기 간격편은 개개의 구형이며 간격 로드에 의해 서로 연결되는 것을 특징으로 하는 결합재.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 초박막 기판으로 향한 상기 간격층의 표면과 전체표면과의 여백 표면의 비율은 0.1과 0.9999 범위내에 있으며, 상기 비율은 0.99인 것을 특징으로 하는 결합재.
  9. 제2항에 있어서,
    상기 간격층은 상기 기판으로 향한 상기 간격층의 표면으로부터 상기 운반체 기판으로 향한 상기 간격층의 표면까지 동일한 형태의 횡단면을 구비하는 것을 특징으로 하는 결합재.
  10. 제2항에 있어서,
    상기 간격층은 상기 기판으로 향한 상기 간격층의 표면으로부터 상기 운반체 기판으로 향한 상기 간격층의 표면까지 원추형 횡단면을 구비하는 것을 특징으로 하는 결합재.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 기판으로 향한 상기 간격층의 표면에서 시작하여 상기 운반체 기판으로 향한 상기 간격층의 표면까지의 상기 리세스의 횡단면은 원추형으로 확대되는 것을 특징으로 하는 결합재.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 간격층은 플라스틱 또는 폴리머 또는 유리로 형성되거나 플라스틱을 함유하는 물질, 폴리머를 함유하는 물질, 또는 유리를 함유하는 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 결합재.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 결합재는 0.4mm 내지 1.1mm의 전체두께, 상기 결합재는 0.5mm의 전체두께를 가지는 것을 특징으로 하는 결합재.
  14. 제1항에 있어서,
    상기 간격층 및 상기 운반체 기판은 교체부로서 서로 다른 두께로 형성되며, 서로 다른 두께의 기판 및 운반체 기판은 상기 결합재의 전체두께가 항상 소정의 일정한 치수를 구비하도록 보상하는 것을 특징으로 하는 결합재.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 간격층을 구비한 상기 기판 및 상기 간격층은 상기 운반체 기판에 분리가능하게 연결되는 것을 특징으로 하는 결합재.
  16. 제14항에 있어서,
    상기 기판은 상기 간격층에 분리가능하게 연결되고 상기 간격층은 상기 운반체 기판에 분리할 수 없게 일체로 연결되며, 상기 간격층 및 상기 운반체 기판은 공동으로 상기 교체부를 형성하는 것을 특징으로 하는 결합재.
  17. 제1항에 있어서,
    상기 기판은 직접 상기 운반체 기판에 분리가능하게 연결되는 것을 특징으로 하는 결합재.
  18. 제1항에 있어서,
    상기 운반체 기판은 유리 또는 유리를 함유하는 물질로 제조되는 것을 특징으로 하는 결합재.
  19. 제1항에 있어서,
    상기 기판 및 상기 운반체 기판은 그 외주영역에서 서로 연결되는 것을 특징으로 하는 결합재.
  20. 제1항에 있어서,
    상기 간격층 및 상기 운반체 기판은 프레임 형태로 형성되고 상기 리세스를 에워싸는 것을 특징으로 하는 결합재.
  21. 제20항에 있어서, 상기 간격층은 상기 기판과 상기 운반체 기판 사이에 밀봉부재를 형성하는 것을 특징으로 하는 결합재.
  22. 제20항에 있어서, 상기 기판 및 상기 운반체 기판은 리벳(rivet), 솔더링(soldering) 또는 포인트 용접에 의해 개별적으로 나란히 고정되는 것을 특징으로 하는 결합재.
  23. 0.3mm 미만의 두께를 갖는 기판으로서 초박막 기판을 처리하는 방법에 있어서,
    상기 기판을 적어도 간접으로 상기 운반체 기판에 분리가능하게 연결하는 단계;
    간격층이 상기 기판과 상기 운반체 기판 사이에 삽입됨으로써 제1항에 따른 결합재가 형성되고;
    상기 결합재를 처리하는 단계; 및
    상기 처리가 완료된 후에 상기 기판을 상기 운반체 기판으로부터 분리하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판을 처리하는 방법.
  24. 제23항에 있어서,
    상기 연결단계는 융해에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 기판을 처리하는 방법.
  25. 제23항에 있어서,
    상기 분리단계는 상기 운반체 기판을 파열함으로써, 후속공정으로서, 상기 운반체 기판을 구부려서 표면에 약간 선을 그음으로써 수행되며, 상기 운반체 기판은 유리로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판을 처리하는 방법.
  26. 제23항에 있어서,
    상기 분리단계는 상기 초박막 기판에 선을 긋거나 파열함으로써 수행되는 것을 특징으로 하는 기판을 처리하는 방법.
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