JP2006224193A - 電子装置及び電子装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】対向した一対の基板101、102と、基板101、102の領域ALに配置された静電デバイス106と、一対の基板101、102とを固定するための接着剤105とを有する電子装置100であって、接着剤105は静電デバイス106とは異なる領域AR、ALに設けられ、静電デバイス106を配置した領域ALにおける対向している基板101、102間の間隙dを保つために、接着剤105の近傍に設けられている少なくとも第1のスペーサ103と第2のスペーサ104とをさらに有し、第1のスペーサ103と第2のスペーサ104とは、一対の基板101、102の接着剤105近傍の変位量を拘束する位置に設けられている。
【選択図】 図2
Description
次に、電子装置100の製造方法を説明する。図3−1の(a)に示す静電デバイス配置工程において、基板101上の中央部分に半導体プロセスにより静電デバイス106を形成する。図3−1の(b)に示す塗布工程において、スピンコータ(不図示)により、ネガティブ型のフォトレジスト剤300を均一厚さに塗布する。スピンコータは、回転の遠心力により、粘性のある液体であるフォトレジスト剤を基板101上に均一に塗布することができる。本実施例では、露光した部分が現像後に残存するネガティブ型のフォトレジスト剤300を用いている。これに限られず、露光した部分が現像時に溶解するポジティブ型のフォトレジスト剤を用いることもできる。
また、本発明は、図8に示すように、静電デバイス106を挟んで対向する位置に接着部材605R、605L、第1のスペーサ603R、603L及び第2のスペーサ604R、604Lを配置することにより、実施例1、実施例2、実施例3と同様の効果を得ることができる。
101、102 基板
103 第1のスペーサ
104 第2のスペーサ
105 接着剤
106 静電デバイス
300 フォトレジスト剤
301 マスク
302 ディスペンサ
f0、f1、f2 作用力
M1、M2 曲げモーメント
A 接着代
B 接着代の中心位置
AL、AR、 AC 領域
d 間隙
400 電子装置
403 第1のスペーサ
500 電子装置
503 第1のスペーサ
h、h1、h2 高さ
w、w1、w2 幅
600 電子装置
606R、603L 第1のスペーサ
604R、604L 第2のスペーサ
605R、605L 接着剤
Claims (13)
- 対向した一対の部材と、
前記部材の所定部位に配置された機能要素と、
一対の前記部材を固定するための接着部材とを有する電子装置であって、
前記接着部材は前記機能要素とは異なる領域に設けられ、
前記機能要素を配置した前記所定部位における対向している前記部材間の間隙を保つために、前記接着部材の近傍に設けられている少なくとも第1のスペーサと第2のスペーサとをさらに有し、
前記第1のスペーサと前記第2のスペーサとは、一対の前記部材の前記接着部材近傍の変位量を拘束する位置に設けられていることを特徴とする電子装置。 - 前記部材において前記機能要素側から順に、前記第1のスペーサと、前記接着部材と、前記第2のスペーサとが配置されていることを特徴とする請求項1に記載の電子装置。
- 前記第1のスペーサと前記第2のスペーサとは弾性部材で構成され、それぞれ前記弾性部材の剛性と形状との少なくとも一方が異なる材料で形成されていることを特徴とする請求項1または2記載の電子装置。
- 前記弾性部材の剛性は、ヤング率であることを特徴とする請求項3に記載の電子装置。
- 前記第2のスペーサよりも前記機能要素から近い側に設けられている前記第1のスペーサの剛性は、前記第1のスペーサよりも前記機能要素から遠い側に設けられている前記第2のスペーサの剛性よりも小さいことを特徴とする請求項3または4に記載の電子装置。
- 前記第2のスペーサよりも前記機能要素から近い側に設けられている前記第1のスペーサの高さは、前記第1のスペーサよりも前記機能要素から遠い側に設けられている前記第2のスペーサの高さよりも小さいことを特徴とする請求項3または4に記載の電子装置。
- 前記第2のスペーサよりも前記機能要素から近い側に設けられている前記第1のスペーサの断面形状の幅は、前記第1のスペーサよりも前記機能要素から遠い側に設けられている前記第2のスペーサの断面形状の幅よりも小さいことを特徴とする請求項3または4に記載の電子装置。
- 一対の前記部材は基板であることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載の電子装置。
- 前記機能要素は、静電駆動デバイスと、撮像素子と、電磁駆動デバイスとの少なくともいずれか一つであることを特徴とする請求項1〜8のいずれか一項に記載の電子装置。
- 前記第1のスペーサの高さと前記第2のスペーサの高さとは、一対の前記部材の間隙よりも大きいことを特徴とする請求項1〜9のいずれか一項に記載の電子装置。
- 前記弾性部材は樹脂材料により構成されていることを特徴とする請求項3〜10のいずれか一項に記載の電子装置。
- 前記接着部材と前記第1のスペーサ、及び前記接着部材と前記第2のスペーサは、それぞれ密着または離間して配置されていることを特徴とする請求項1〜11のいずれか一項に記載の電子装置。
- 対向した一対の部材の所定位置に機能要素を配置する機能要素配置ステップと、
前記機能要素を配置した前記所定位置における一対の前記部材の間隙を保つための間隙保持ステップと、
一対の前記部材を固定するための接着ステップと、
前記接着ステップにおける一対の前記部材の前記接着部材近傍の変位量を拘束する変位量拘束ステップとを有することを特徴とする電子装置の製造方法。
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