JP5445039B2 - 貼り合わせ装置及び貼り合わせ方法、並びに液晶表示パネルの製造方法 - Google Patents
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Description
よって前記貼り合わせ面同士の状態がメニスカス吸着状態にあると検知されているときに、前記第2の駆動機構を作動させて前記アライメント処理を実行する。
図1は、本実施例に係る液晶表示パネル1の部分平面図である。この例では、TFT(薄膜トランジスタ)をスイッチング素子として用いたアクティブマトリクス型の液晶表示パネルをカラーフィルタ基板(CF基板)側から見た上面の一部を示している。
F基板16との貼り合わせは、後述する基板貼り合わせ装置によって行われる。
、X軸方向、Y軸方向、及びθ方向に駆動させる水平駆動機構部35Bとを有する。鉛直駆動機構部35A及び水平駆動機構部35Bは、ボールねじ機構やリニアモータなど周知の機構やモータ等を適宜組み合わせて採用することができる。本実施例においては鉛直駆動機構部35Aが本件に係る第1の駆動機構に対応し、水平駆動機構部35Bが第2の駆動機構に対応している。符号37は、上定盤11の鉛直方向への駆動(昇降)を精度良く案内するガイド部材を表している。
の定盤、すなわち下定盤32を介して伝達される圧縮力に基づいて、プレス処理時における貼り合わせ面S2に作用する加圧力を検出する。そして、一般に、ロードセルの検出誤差は定格容量が大きいほど増大する。そのため、上記のように弾性支持機構39,39によって下定盤32を支持することで、ロードセル38の測定レンジを小さくすることが可能となる。すなわち、例えば定格容量のより小さなロードセルを採用することが可能となり、プレス処理に際して貼り合わせ面S2に作用する加圧力の計測精度を高めることができる。
時における下定盤32の鉛直上向きの駆動量(以下、単に「下定盤駆動量」という)Zdと、加圧力検出値VFpとの関係を例示した図である。(B)は、(A)の破線で囲まれた部分を拡大した図である。(C)は、(B)のa点に対応する各貼り合わせ面S1,S2及びシート接着剤19の接触状態を模式的に示した図である。(D)は、(B)のb点に対応する各貼り合わせ面S1,S2及びシート接着剤19の接触状態を模式的に示した図である。
1の貼り合わせ面S2に塗布されたシール接着剤19の厚さが厳密には一様ではないことに因るものと推測される。すなわち、下定盤32を鉛直上方に駆動させていった際に、シール接着剤19が厚い部分から順に、シール接着剤19が貼り合わせ面S1に接触することになる。このようにして、貼り合わせ面の面内方向において「完全非接触状態」から「メニスカス吸着状態」へと移行するタイミングにずれが生じ、メニスカス力の変動を招いているものと考えられる。
い場合(VFp<Fpb)には、ステップS108に戻ってプレス処理を継続する。一方、加圧力検出値VFpが規定加圧力Fpbに到達している場合(VFp≧Fpb)にはプレス処理を終了すべきと判断し、本ルーチンを一旦終了する。
次に、第2の実施例に係る基板貼り合わせ装置を用いた基板貼り合わせ制御、基板貼り合わせ方法、液晶表示パネルの製造方法について、実施例1と相違する点を中心に説明する。基板貼り合わせ装置のハード構成については実施例1と共通する。
カス吸着状態から完全接触状態に移行する直前)、すなわち加圧力検出値VFpが初期基準値VFpsから減少した後、該初期基準値VFpsに達する間際(直前)のタイミングでアライメント処理を実行することとした。
と、一つ前に取得した値(以下、「直前取得値」と称す)VFp(n)の大小関係を比較し
、最新取得値VFp(n+1)がVFp(n)以上であるか否かを判定する。本ステップで、最新取得値VFp(n+1)が直前取得値VFp(n)より小さいと判定された場合(VFp(n+1)<
VFp(n))、現在、メニスカス前期に該当すると判断され、所定の一定時間経過後、本
ステップの処理が再び実行される。なお、本ステップに係る処理を実行している間にも、下定盤駆動量Zdの増加ステップ及び加圧力検出値の取得ステップは継続して行われる。
圧力検出値VFpが判定基準値VFpaより小さいと判定された場合(VFp<VFpa)、所定の一定時間経過後、本ステップの処理が再び実行される。ここにおいても、下定盤駆動量Zdの増加ステップ及び加圧力検出値VFpの取得ステップは継続して行われる。そして、本ステップにおいて加圧力検出値VFpが判定基準値VFpa以上であると判定された場合(VFp≧VFpa)、制御装置40はアライメント処理を実行すべきと判
断し、ステップS107に進む。ステップS107ではアライメント処理が行われ、以降の各処理は図6において説明した通りであるため説明を省略する。
次に、第3の実施例に係る基板貼り合わせ装置を用いた基板貼り合わせ制御、基板貼り合わせ方法、液晶表示パネルの製造方法について、実施例1と相違する点を中心に説明する。本実施例では、基板貼り合わせ制御のプレス処理時におけるメニスカス吸着状態の検知方法が既述の実施例と相違する。具体的には、貼り合わせ面S2に塗布されたシール接着剤19と貼り合わせ面S1が接触し、貼り合わせ面S1,S2間にシール接着剤19の架橋が形成されたかどうかを、撮像カメラによる撮像結果に基づいて検知する。
次に、第4の実施例について説明する。本実施例においても、実施例3と同様、プレス処理実施時において貼り合わせ面S1,S2同士の状態がメニスカス吸着状態にあるか否かを、撮像カメラの撮像結果に基づいて検知する。図14は、実施例4に係る基板貼り合わせ装置30Bの主要部を模式的に示した図である。基板貼り合わせ装置30Bにおけるメニスカス吸着状態検知用カメラ43Aは、例えばフレームの梁部34Aに取り付けられており、TFT基板11の貼り合わせ面S2に塗布されたシール接着剤19を、鉛直上方から撮像するように設置されている。図14では、メニスカス吸着状態検知用カメラ43Aの光軸は鉛直方向と平行になっている。
と撮像用ドット接着剤とが接触すると、貼り合わせ面S1とS2との間に撮像用ドット接着剤の架橋が形成される。そうすると、図16に示すように、撮像用ドット接着剤の輪郭が二重円(図中、破線L1及び実線L2)となる。すなわち、上述した輪郭円L1の内側に、該輪郭円L1よりも鮮明(明瞭、シャープ)な輪郭円L2が形成される。輪郭円L2は、上定盤31に保持されているCF基板16の貼り合わせ面S1と撮像用ドット接着剤とが接触することで形成される輪郭円である。
線による十字模様で表す)が撮像される。なお、本変形例においては、撮像用ドット接着剤を透過した検知用マークを撮像するために該撮像用ドット接着剤は無色透明となっている。
11 TFT基板
16 カラーフィルタ基板
19 シール接着剤
S1,S2 貼り合わせ面
30 基板貼り合わせ装置
31 上定盤
32 下定盤
35 XYZθテーブル
35A 鉛直駆動機構部
35B 水平駆動機構部
38 ロードセル
39 弾性支持機構
40 制御装置
41 アライメント用カメラ
Claims (10)
- 第1及び第2の貼り合わせ対象物において互いに対向する一対の貼り合わせ面の少なくとも何れか一方に設けられた接着剤であって前記貼り合わせ面間に所定の封入対象を封入する封入空間が形成されるように該貼り合わせ面間を封止する接着剤を介して該貼り合わせ面同士を貼り合わせるための装置であって、
前記第1の貼り合わせ対象物を保持する上定盤と、
前記第2の貼り合わせ対象物を保持する下定盤と、
前記上定盤及び下定盤の少なくとも何れか一方を前記貼り合わせ面の面内方向と垂直な方向に駆動可能な第1の駆動機構と、
前記上定盤及び下定盤の少なくとも何れか一方を前記貼り合わせ面の面内方向に駆動可能な第2の駆動機構と、
前記第1及び第2の駆動機構を作動させて、前記貼り合わせ面同士を、面内方向における相対的な位置合わせであるアライメント処理を行いつつ貼り合わせる貼り合わせ制御を実施する制御手段と、
前記貼り合わせ制御における前記第1の駆動機構の作動時に、前記貼り合わせ面同士の状態が、前記接着剤が対向する貼り合わせ面に接触して発生するメニスカス力により該貼り合わせ面同士が互いに引きつけられるメニスカス吸着状態にあるか否かを検知する検知手段と、
を備え、
前記制御手段は、前記検知手段によって前記貼り合わせ面同士の状態がメニスカス吸着状態にあると検知されているときに、前記第2の駆動機構を作動させて前記アライメント処理を実行することを特徴とする貼り合わせ装置。 - 前記検知手段は、一方の貼り合わせ面に作用する加圧力に対応する検出信号を出力する検出センサを有し、且つ、前記貼り合わせ制御時における該検出センサの出力値が、前記第1の駆動機構の作動開始時における初期基準値から減少して再び該初期基準値に達するまでの間を推移するときに、前記貼り合わせ面同士の状態が前記メニスカス吸着状態にあると検知することを特徴とする請求項1に記載の貼り合わせ装置。
- 前記貼り合わせ面同士の状態が前記メニスカス吸着状態にある期間のうち、前記検出センサの出力値の推移が前記初期基準値から減少してゆくメニスカス前期を経た後、該出力値の推移が前記初期基準値に向かって増加するように推移するメニスカス後期へ移行した後のタイミングで、前記制御手段は前記アライメント処理を実行することを特徴とする請求項2に記載の貼り合わせ装置。
- 前記上定盤及び下定盤のうち、前記一方の貼り合わせ面を有する貼り合わせ対象物を保持する方の定盤は弾性支持機構によって支持されており、且つ、前記検出センサは該弾性支持機構によって支持されている方の定盤を介して伝達される加圧力を検出することを特徴とする請求項2又は3に記載の貼り合わせ装置。
- 第1及び第2の貼り合わせ対象物において互いに対向する一対の貼り合わせ面の少なくとも何れか一方に設けられた接着剤であって前記貼り合わせ面間に所定の封入対象を封入する封入空間が形成されるように該貼り合わせ面間を封止する接着剤を介して該貼り合わせ面同士を貼り合わせる方法であって、
前記貼り合わせ面同士を、面内方向における相対的な位置合わせであるアライメント処理を行いつつ、該面内方向と垂直な方向における該貼り合わせ面同士の間隔を狭めてゆくことで貼り合わせる貼り合わせ工程を有し、
前記貼り合わせ工程における前記アライメント処理は、前記貼り合わせ面同士の状態が、前記接着剤が対向する貼り合わせ面に接触して発生するメニスカス力により該貼り合わせ面同士が互いに引きつけられるメニスカス吸着状態にあるときに行われることを特徴とする貼り合わせ方法。 - 前記貼り合わせ工程において、一方の貼り合わせ面に作用する加圧力に対応する検出信号を出力する検出センサの出力値が、前記貼り合わせ面同士の間隔を狭め始めた時における初期基準値から減少して再び該初期基準値に達するまでの何れかのタイミングで前記アライメント処理が実行されることを特徴とする請求項5に記載の貼り合わせ方法。
- 前記貼り合わせ面同士の状態が前記メニスカス吸着状態にある期間のうち、前記検出センサの出力値の推移が前記初期基準値から減少してゆくメニスカス前期を経た後、該出力値の推移が前記初期基準値に向かって増加するように推移するメニスカス後期へ移行した後のタイミングで、前記アライメント処理が実行されることを特徴とする請求項6に記載の貼り合わせ方法。
- 第1及び第2の基板において互いに対向する一対の貼り合わせ面の少なくとも何れか一方に設けられた接着剤であって前記貼り合わせ面間に所定の封入対象を封入する封入空間が形成されるように該貼り合わせ面間を封止する接着剤を介して該貼り合わせ面同士を貼り合わせることにより液晶表示パネルを製造する液晶表示パネルの製造方法であって、
前記貼り合わせ面同士を、面内方向における相対的な位置合わせであるアライメント処理を行いつつ、該面内方向と垂直な方向における該貼り合わせ面同士の間隔を狭めてゆくことで貼り合わせる貼り合わせ工程を有し、
前記貼り合わせ工程における前記アライメント処理は、前記貼り合わせ面同士が、前記接着剤が対向する貼り合わせ面に接触して発生するメニスカス力により互いに引きつけられるメニスカス吸着状態にあるときに行われることを特徴とする液晶表示パネルの製造方法。 - 前記貼り合わせ工程において、一方の貼り合わせ面に作用する加圧力に対応する検出信号を出力する検出センサの出力値が、前記貼り合わせ面同士の間隔を狭め始めた時における初期基準値から減少して再び該初期基準値に達するまでの何れかのタイミングで前記アライメント処理が実行されることを特徴とする請求項8に記載の液晶表示パネルの製造方
法。 - 前記貼り合わせ面同士の状態が前記メニスカス吸着状態にある期間のうち、前記検出センサの出力値の推移が前記初期基準値から減少してゆくメニスカス前期を経た後、該出力値の推移が前記初期基準値に向かって増加するように推移するメニスカス後期へ移行した後のタイミングで、前記アライメント処理が実行されることを特徴とする請求項9に記載の液晶表示パネルの製造方法。
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