JP7060706B2 - シームのない大面積インプリントを生成するための方法および装置 - Google Patents
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Claims (12)
- インプリントリソグラフィ方法であって、該方法は、
スタンプを形成するために、バッキング板に接着された複数のマスタでスタンプ材料をインプリントすることであって、各マスタが、その上に複数の特徴を有し、前記複数のマスタの各対が、その間にシームを有する、スタンプ材料をインプリントすることと、
紫外線光源と前記スタンプ材料との間にマスクを配置することと、
前記スタンプ材料を、前記マスクを通じて方向付けられた前記紫外線光源からの紫外線に露光して、前記スタンプ材料の周辺部を含む前記スタンプ材料の硬化部分と、未硬化部分とを形成することと、
を含み、前記スタンプ材料を、前記マスクを通じて方向付けられた前記紫外線光源からの紫外線に露光して、前記スタンプ材料の周辺部を含む前記スタンプ材料の硬化部分と、未硬化部分とを形成することが、前記スタンプを形成するために、前記バッキング板に接着された前記複数のマスタで前記スタンプ材料をインプリントする前に行われる、インプリントリソグラフィ方法。 - 前記スタンプ材料の前記硬化部分が、前記複数のマスタの各対の間の前記シームに対応する、請求項1に記載の方法。
- インプリントリソグラフィ方法であって、該方法は、
スタンプを形成するために、バッキング板に接着された複数のマスタでスタンプ材料をインプリントすることであって、各マスタが、その上に複数の特徴を有し、前記複数のマスタの各対が、その間にシームを有する、スタンプ材料をインプリントすることと、
紫外線光源と前記スタンプ材料との間にマスクを配置することと、
前記スタンプ材料を、前記紫外線光源からの紫外線に露光して、前記スタンプ材料の硬化部分および未硬化部分を形成することと
を含み、
前記スタンプ材料の前記未硬化部分が、前記複数のマスタの各対の間の前記シームに対応する、方法。 - インプリントリソグラフィ方法であって、該方法は、
スタンプを形成するために、バッキング板に接着された複数のマスタでスタンプ材料をインプリントすることであって、各マスタが、その上に複数の特徴を有し、前記複数のマスタの各対が、その間にシームを有する、スタンプ材料をインプリントすることと、
紫外線光源と前記スタンプ材料との間にマスクを配置することと、
前記スタンプ材料を、前記紫外線光源からの紫外線に露光して、前記スタンプ材料の硬化部分および未硬化部分を形成することと
を含み、
前記スタンプ材料を、前記紫外線光源からの紫外線に露光して、前記スタンプ材料の硬化部分および未硬化部分を形成することが、前記スタンプを形成するために、前記バッキング板に接着された前記複数のマスタで前記スタンプ材料をインプリントした後に行われる、方法。 - さらに、
硬化部分および未硬化部分を有する前記スタンプ材料を、前記紫外線光源からの追加の紫外線に露光して、前記スタンプ材料の前記未硬化部分を硬化することを含む、請求項1記載の方法。 - インプリントリソグラフィ方法であって、該方法は、
スタンプを形成するために、バッキング板に接着された複数のマスタでスタンプ材料をインプリントすることであって、各マスタが、その上に複数の特徴を有し、前記複数のマスタの各対が、その間にシームを有する、スタンプ材料をインプリントすることと、
紫外線光源と前記スタンプ材料との間にマスクを配置することと、
前記スタンプ材料を、前記紫外線光源からの紫外線に露光して、前記スタンプ材料の硬化部分および未硬化部分を形成することと、
前記スタンプ材料の前記未硬化部分を洗い流すことと
を含む、方法。 - 更に、
前記スタンプを用いて別個の基板上にフォトレジスト材料をインプリントすることと、
インプリントされた前記フォトレジスト材料から前記スタンプを除去して、パターニングされた最終製品を形成することと
を含む、請求項1記載の方法。 - インプリントリソグラフィ方法であって、
スタンプを形成するために、バッキング板に接着された複数のマスタでスタンプ材料をインプリントすることであって、各マスタが、その上に複数の特徴を有し、前記複数のマスタの各対が、その間にシームを有する、スタンプ材料をインプリントすることと、
前記スタンプを用いて基板上へのフォトレジスト材料をインプリントすることと、
紫外線光源と前記フォトレジスト材料との間にマスクを配置することと、
前記フォトレジスト材料を前記紫外線光源からの紫外線に露光して、前記フォトレジスト材料の硬化部分と、前記シームに対応する未硬化部分とを形成することと
を含む、インプリントリソグラフィ方法。 - インプリントリソグラフィ方法であって、該方法は、
バッキング板に複数のマスタを接着することであって、各マスタが、その上に複数の特徴を有し、前記複数のマスタの各対が、それらの間にシームを有する、複数のマスタを接着することと、
複数のマスタの各対の間の前記シームを充填材料で充填することと、
前記複数のマスタでスタンプ材料をインプリントすることによって、スタンプを形成することと、
前記スタンプを用いて基板上にフォトレジスト材料をインプリントすることと、
前記フォトレジスト材料を紫外線光源からの紫外線に露光して、前記フォトレジスト材料の硬化部分と、前記シームに対応する未硬化部分と形成することと、
インプリントされた前記フォトレジスト材料から前記スタンプを除去して、前記複数の特徴および充填された前記シームのポジ画像を有する最終製品を形成することと、
を含む、インプリントリソグラフィ方法。 - 前記充填材料がポリマーである、請求項9に記載の方法。
- 前記シームが、前記スタンプに凹状領域を形成するために過剰充填される、請求項9に記載の方法。
- 前記シームが、前記スタンプに凸状領域を形成するために不足充填される、請求項9に記載の方法。
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