KR20190061216A - 패턴형성방법 및 패턴형성장치 - Google Patents

패턴형성방법 및 패턴형성장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 패턴형성에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 글라스와 같은 표면에 미리 설정된 패턴을 형성하는 패턴형성방법 및 패턴형성장치에 관한 것이다.
미세패턴(20)이 형성될 하나 이상의 기판(10)을 준비하는 기판준비단계(S10)와; 기판준비단계(S10) 후에 기판(10)의 표면에 자외선에 의하여 경화되는 액상의 레진을 도포하는 레진도포단계(S20)와; 레진도포단계(S20) 후에 기판(10)의 상측에 미세패턴(20)에 대응되는 개구패턴(31)이 형성된 패턴마스크 필름(30)을 위치시키는 마스킹단계(S30)와; 마스킹단계(S30) 후에 패턴마스크 필름(30)이 위치된 기판(10)의 표면에 자외선을 조사하여 개구패턴(31)을 통하여 노출된 부분을 경화시키는 경화단계(S40)와; 경화단계(S40) 후에 경화된 레진을 제외한 나머지 레진을 기판(10)으로부터 제거하는 레진제거단계(S50)를 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴형성방법을 개시한다.
또한, 미세패턴(20)이 형성될 하나 이상의 기판(10)이 적재되는 트레이부(40)와; 상기 트레이부(40)에 적재된 기판(10)의 표면에 자외선에 의하여 경화되는 액상의 레진이 도포된 후 상기 기판(10)의 상면에 위치되며 상기 미세패턴(20)에 대응되는 개구패턴(31)이 형성된 패턴마스크 필름(30)과; 레진이 도포된 상기 기판(10)의 표면 중 상기 개구패턴(31)을 통하여 노출된 부분을 경화되도록 상기 패턴마스크 필름(30)이 위치된 상기 기판(10)의 표면에 자외선을 조사하는 자외선조사부(50)를 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴형성장치를 개시한다.

Description

패턴형성방법 및 패턴형성장치 {Patterning method and patterning apparatus}
본 발명은 패턴형성에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 글라스와 같은 표면에 미리 설정된 패턴을 형성하는 패턴형성방법 및 패턴형성장치에 관한 것이다.
IT기술의 발전에 따라서 스마트폰, 스마트패드 등의 모바일 기기는, 필수품에 이르고 있다.
그리고 상기 모바일 기기는, 디스플레이, 케이스, 카메라 등을 구비하며, 디스플레이, 케이스, 카메라 등의 표면에는 표면보호 등을 위하여 글라스 등의 부재가 결합됨이 일반적이다.
한편 상기 디스플레이, 케이스, 카메라 등의 표면에는 표면보호 등에 결합되는 부재의 표면에는, 시각적 효과 등의 부여를 위하여 UV레진에 의한 패터닝 처리가 될 수 있다.
여기서 종래의 패터닝 처리는, 포토 리소그래피를 이용하여 수행됨이 일반적이다.
구체적으로, 종래의 패터닝 처리는, 나노금형을 가공한 후, 나노금형을 이용하여 열플레스 공정을 통하여 슬레이브 금형 (필름형태)을 제작하여 레진 도포 후 슬레이브 금형을 가압하고 자외선을 조사하여 레진을 경화함으로써 기판 표면에 패턴을 형성하는 방식을 사용하고 있다.
그러나, 종래의 패터닝 처리는, 고가의 나노금형를 사용하여 포토 리소그래피 공정을 거쳐 수행되는바, 그 제조비용이 매우 높은 문제점이 있다.
(특허문헌 1) KR10-1389048 B
본 발명의 목적은, 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 미세 패턴이 형성된 패턴마스크 필름을 이용하여 기판의 표면에 미세 패턴을 형성함으로써 제조공정이 간단하며 제조비용을 현저히 절감할 수 있는 패턴형성방법 및 패턴형성장치를 제공하는데 있다.
본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은, 미세패턴(20)이 형성될 하나 이상의 기판(10)을 준비하는 기판준비단계(S10)와; 상기 기판준비단계(S10) 후에 상기 기판(10)의 표면에 자외선에 의하여 경화되는 액상의 레진을 도포하는 레진도포단계(S20)와; 상기 레진도포단계(S20) 후에 상기 기판(10)의 상측에 미세패턴(20)에 대응되는 개구패턴(31)이 형성된 패턴마스크 필름(30)을 위치시키는 마스킹단계(S30)와; 상기 마스킹단계(S30) 후에 상기 패턴마스크 필름(30)이 위치된 상기 기판(10)의 표면에 자외선을 조사하여 상기 개구패턴(31)을 통하여 노출된 부분을 경화시키는 경화단계(S40)와; 상기 경화단계(S40) 후에 경화된 레진을 제외한 나머지 레진을 상기 기판(10)으로부터 제거하는 레진제거단계(S50)를 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴형성방법을 개시한다.
상기 기판준비단계(S10)는, 하나 이상의 기판(10)이 안착되는 트레이부(40) 상에 적재되어 준비될 수 있다.
상기 트레이부(40)는, 상기 기판(10)의 저면이 부착되는 접착필름(41)과; 상기 접착필름(41)의 상면에 부착되어 상기 기판(10)의 적재부분을 제외한 나머지 부분에 부착되어 상기 기판(10)의 적재를 가이드하는 가이드필름(42)을 포함할 수 있다.
상기 기판(10)은, 평면형상이 원형 및 다각형 중 어느 하나의 형상을 가지며, 상기 미세패턴(20)이 형성된 영역은 상기 기판(10)의 기하학적 중심을 기준으로 원형 및 다각형 중 어느 하나의 형상의 폐곡선을 이룰 수 있다.
상기 기판(10)은, 모바일 기기에 설치되는 카메라의 표면에 결합되는 보호글래스가 될 수 있다.
본 발명은 또한, 미세패턴(20)이 형성될 하나 이상의 기판(10)이 적재되는 트레이부(40)와; 상기 트레이부(40)에 적재된 기판(10)의 표면에 자외선에 의하여 경화되는 액상의 레진이 도포된 후 상기 기판(10)의 상면에 위치되며 상기 미세패턴(20)에 대응되는 개구패턴(31)이 형성된 패턴마스크 필름(30)과; 레진이 도포된 상기 기판(10)의 표면 중 상기 개구패턴(31)을 통하여 노출된 부분을 경화되도록 상기 패턴마스크 필름(30)이 위치된 상기 기판(10)의 표면에 자외선을 조사하는 자외선조사부(50)를 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴형성장치를 개시한다.
상기 트레이부(40)는, 상기 기판(10)의 저면이 부착되는 접착필름(41)과; 상기 접착필름(41)의 상면에 부착되어 상기 기판(10)의 적재부분을 제외한 나머지 부분에 부착되어 상기 기판(10)의 적재를 가이드하는 가이드필름(42)을 포함할 수 있다.
상기 기판(10)은, 평면형상이 원형 및 다각형 중 어느 하나의 형상을 가지며, 상기 미세패턴(20)이 형성된 영역은 상기 기판(10)의 기하학적 중심을 기준으로 원형 및 다각형 중 어느 하나의 형상의 폐곡선을 이룰 수 있다.
상기 기판(10)은, 모바일 기기에 설치되는 카메라의 표면에 결합되는 보호글래스가 사용될 수 있다.
본 발명에 따른 패턴형성방법 및 패턴형성장치는, 액상의 레진의 도포 후 미세패턴에 대응되는 미세패턴의 개구가 형성된 패턴마스크 필름을 상측에 위치시킨 후 자외선을 조사하여 경화시킨 후 경화되지 않은 나머지 액상의 레진을 제거함으로써 제조공정이 간단하며 제조비용을 현저히 절감할 수 있는 이점이 있다.
특히 모바일 기기 등에 설치되는 카메라에 결합되는 투명 글래스와 같이 유리기판의 표면에 미세패턴을 형성하는 경우 카메라 촬영을 위한 광이 투과되는 부분에서 레진이 코팅되지 않아 카메라 촬영시 광학계의 왜곡을 방지할 수 있는 이점이 있다.
도 1은, 본 발명에 따른 패턴형성방법 및 패턴형성장치에 의하여 미세패턴이 형성된 글라스 기판의 일예를 보여주는 평면도이다.
도 2는, 도 1의 패턴형성방법 및 패턴형성장치에 의하여 미세패턴이 형성된 글라스 기판의 미세패턴부분의 확대도이다.
도 3은, 도 1에서 Ⅲ-Ⅲ방향의 단면도이다.
도 4는, 도 1의 패턴형성방법을 나타내는 순서도이다.
도 5는, 도 1의 패턴형성방법 중 글라스 기판이 트레이부에 적재된 모습을 보여주는 평면도이다.
도 6은, 도 5의 글라스 기판을 확대한 Ⅴ-Ⅴ방향의 확대 단면도이다.
도 7a 내지 도 7d는, 도 3의 패턴형성방법에 따른 패턴형성과정을 나타내는 확대 단면도들이다.
도 8은, 도 7c의 패턴형성방법 중 마스킹단계와 경화단계를 보여주는 확대도이다.
이하 본 발명에 따른 패턴형성방법 및 패턴형성장치에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다. 도면 중 본 발명의 요지를 설명하기 위하여 일부분은 과장하여 표현하였다.
본 발명에 따른 패턴형성방법 및 패턴형성장치는, 글래스, PEC 시트 등의 표면에 미리 설정된 미세패턴을 형성하는 것을 내용으로 하며, 포토리소그래피에 의하여 제조되는 미세금형을 이용하는 종래기술과는 달리 마스크를 이용하여 미세패턴을 형성함을 기술적 요지로 한다.
여기서 본 발명에 따른 패턴형성방법 및 패턴형성장치에 의하여 미세패턴(20)이 형성되는 기판(10)은, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 표면에 미세패턴(20)의 형성을 요하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 기판(10)은, 각종 광학계에 설치되는 글래스, 카메라 보호글래스, 각종 케이스 등 미세패턴이 형성될 필요가 있는 다양한 종류의 글래스일 수 있으며, 특히 디스플레이 또는 휴대폰 카메라 등의 보호 글래스로 사용될 수 있다.
이 경우, 상기 기판(10)은, 표면에 각종 광학계 등의 구성 또는 기능에 따라, 미세패턴(20)의 형성이 요구될 수 있는바, 본 발명에 따른 패턴형성방법에 따라 미세패턴(20)이 형성될 수 있다.
구체적으로, 상기 기판(10)은, 모바일 기기에 설치되는 카메라의 표면에 결합되는 보호글래스이며, 모바일 기기에 설치되는 카메라의 표면 모양에 따라 평면형상이 원형 및 다각형 중 어느 하나의 형상을 가질 수 있다.
상기 보호글래스의 모양은, 모바일 기기에 설치되는 카메라에 따라, 평면형상이 정사각형, 직사각형, 원형등 다양한 형상이 가능하다.
상기 미세패턴(20)은, 기판(10)의 표면에 형성되어 시각적 효과 등을 부여하기 위한 구성으로서, 다양한 패턴이 가능하다.
예로서, 상기 미세패턴(20)은, 기판(10)의 표면 중 기판(10)의 기하학적 중심을 기준으로 원형 및 다각형 중 어느 하나의 형상의 폐곡선을 이룰 수 있다.
아울러, 상기 미세패턴(20)은, 기판(10)의 표면에서 레진이 자외선에 의하여 경화된 복수의 돌기부(22)들에 의하여 형성될 수 있다.
이하 본 발명에 따른 본 발명에 따른 패턴형성방법에 관하여 설명한다.
본 발명에 따른 패턴형성방법은, 도 3에 도시된 바와 같이, 미세패턴(20)이 형성될 하나 이상의 기판(10)을 준비하는 기판준비단계(S10)와; 기판준비단계(S10) 후에 기판(10)의 표면에 자외선에 의하여 경화되는 액상의 레진을 도포하는 레진도포단계(S20)와; 레진도포단계(S20) 후에 기판(10)의 상측에 미세패턴(20)에 대응되는 개구패턴(31)이 형성된 패턴마스크 필름(30)을 위치시키는 마스킹단계(S30)와; 마스킹단계(S30) 후에 패턴마스크 필름(30)이 위치된 기판(10)의 표면에 자외선을 조사하여 개구패턴(31)을 통하여 노출된 부분을 경화시키는 경화단계(S40)와; 경화단계(S40) 후에 경화된 레진을 제외한 나머지 레진을 기판(10)으로부터 제거하는 레진제거단계(S50)를 포함한다.
상기 기판준비단계(S10)는, 미세패턴(20)이 형성될 하나 이상의 기판(10)을 준비하는 단계로서 다양한 방법에 의하여 수행될 수 있다.
구체적으로, 상기 기판준비단계(S10)는, 준비되는 기판(10)의 수, 안착방식 등에 따라서 다양한 방법이 가능하다.
예로서, 상기 기판준비단계(S10)는, 하나 이상의 기판(10)이 안착되는 트레이부(40) 상에 하나 이상의 기판(10)이 적재되어 준비될 수 있다.
상기 트레이부(40)에 안착된 상태로 기판(10)이 준비됨으로써 안정적 기판처리가 가능하며, 복수의 기판(10)을 한꺼번에 처리할 수 있는 이점이 있다.
더 나아가 상기 트레이부(40)의 사용에 의하여 기판(10)이 공정 중 미세흔들림이나 진동 등의 외부환경 변화에도 정밀한 공정이 가능하다.
한편 상기 트레이부(40)는, 기판(10)의 표면에 미세패턴 형성을 위하여 하나 이상, 바람직하게는 복수의 기판(10)들이 안착되는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 트레이부(40)는, 기판(10)의 저면이 부착되는 접착필름(41)과, 접착필름(41)의 상면 중 기판(10)의 적재부분을 제외한 나머지 부분에 부착되어 기판(10)의 적재를 가이드하는 가이드필름(42)을 포함할 수 있다.
상기 접착필름(41)은, 기판(10)이 안정적으로 안착될 수 있도록 기판(10)의 저면이 부착되는 구성으로서, 기판(10)을 부착되어 고정될 수 있다.
상기 접착필름(41)은, 표면에 접착물질이 도포된 필름으로 구성되는 등 다양한 구성이 가능하다.
상기 가이드필름(42)은, 접착필름(41)의 상면 중 기판(10)의 적재부분을 제외한 나머지 부분에 부착되어, 기판(10)의 적재를 가이드하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.
상기 가이드필름(42)은, 기판(10)을 가이드하기 위해, 기판(10)의 두께에 대응되는 두께-예를 들면 기판(10)의 두께보다 얇거나 같은 두께-를 가질 수 있다.
상기 레진도포단계(S20)는, 기판준비단계(S10) 후에 기판(10)의 표면에 자외선에 의하여 경화되는 액상의 레진을 도포하는 단계로서, 다양한 방법에 의하여 수행될 수 있다.
예로서, 상기 레진도포단계(S20)는, 디스펜서를 이용하여 기판(10)의 표면에 액상레진을 도포할 수 있다.
상기 레진은, 천연으로 산출되는 수지 일반으로서, 발삼, 고무수지 등이 이용될 수 있으며, 보다 구체적으로는 자외선에 의하여 경화되는 액상레진이 사용된다.
상기 마스킹단계(S30)는, 레진도포단계(S20) 후에 기판(10)의 상측에 미세패턴(20)에 대응되는 개구패턴(31)이 형성된 패턴마스크 필름(30)을 위치시키는 단계로서, 다양한 방법에 의하여 수행될 수 있다.
상기 마스킹단계(S30)는, 미세패턴(20)의 형성을 위하여 도포된 액상의 레진에 선택적으로 자외선을 노출시키는 단계로서, 패턴마스크 필름(30)을 액상의 레진이 도포되어 있는 기판(10)에 위치시킨다.
상기 패턴마스크 필름(30)은, 후술하는 경화단계(S40)를 통하여 기판(10) 표면에 미세패턴(20)이 형성되는 영역에서 자외선을 투과시키고, 나머지 영역에서는 자외선을 차단하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
구체적으로, 상기 패턴마스크 필름(30)은, 기판(10) 표면에 레진의 경화에 의하여 미세패턴(20)을 형성하는 부분에 대응되는 부분에서만 자외선이 투과되며 나머지 부분은 자외선을 차단하도록 구성된다.
이때 상기 패턴마스크 필름(30)은, 자외선 투과가 가능한 석영 등의 재질을 가질 수 있으며, 미세패턴(20)을 형성하는 부분에 대응되는 부분에서만 자외선이 투과되며 나머지 부분은 자외선을 차단하도록 미세패턴(20)을 형성하는 부분에 대응되는 부분에서 표면에 차단막, 즉 개구패턴(31)이 형성될 수 있다.
즉, 상기 패턴마스크 필름(30)은, 자외선을 차단하여 액상의 레진에 자외선이 노출되지 않도록 할 수 있으며, 미세패턴(20)에 대응되는 개구패턴(31)이 형성될 수 있다.
한편 상기 패턴마스크 필름(30)은, 자외선을 차단하여 액상의 레진에 자외선이 노출되지 않도록 마스킹(32)이 상기 개구패턴(31)을 제외하는 부분에 형성될 수 있다.
상기 개구패턴(31)은, 미세패턴(20)을 기판(10)에 형성하기 위해 액상의 레진에 자외선이 노출되도록 하는 개구부로서, 패턴마스크 필름(30)에 형성된다.
상기 개구패턴(31)은, 미세패턴(20)과 비교하여 액상의 레진에 자외선이 노출되도록 해야 하는 구성인바, 개구패턴(31)에 따른 개구모양대로 미세패턴(20)이 형성됨을 고려하여 형성될 수 있다.
한편 상기 개구패턴(31)은, 패턴마스크 필름(30)에 다양한 방식의 공정에 의하여 형성될 수 있으며, 구체적으로 잉크젯 방식 등에 의하여 형성될 수 있다.
상기 경화단계(S40)는, 마스킹단계(S30) 후에 패턴마스크 필름(30)이 위치된 기판(10)의 표면에 자외선을 조사하여 개구패턴(31)을 통하여 노출된 부분을 경화시키는 단계로서, 다양한 방법에 의하여 수행될 수 있다.
상기 경화단계(S40)는. 액상의 레진을 경화시키는 단계로서, 미세패턴(20)에 대응되어 형성되는 개구패턴(31)을 통하여 액상의 레진에 자외선을 조사된다.
이에 패턴마스크 필름(30)에 형성된 개구패턴(31)을 통하여 자외선에 노출된 액상레진을 경화되며 나머지 부분의 레진은 액상의 상태를 유지하게 된다.
여기서 상기 자외선은, 자외선 발생장치에 의해 발생될 수 있으며, 액상의 레진을 경화시키기 위해 조사될 수 있다.
상기 레진제거단계(S50)는, 경화단계(S40) 후에 경화된 레진을 제외한 나머지 레진을 기판(10)으로부터 제거하는 단계로서, 다양한 방법에 의해 수행될 수 있다.
상기 레진제거단계(S50)는, 경화단계(S40)를 거친 후, 기판(10)에 도포되어있는 레진 중, 액상의 레진을 제거하기 위한 단계로서, 액상의 레진을 기판(10)으로부터 제거하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 레진제거단계(S50)는, 액상의 레진을 제거하기 위해, 레진제거제를 사용할 수 있으며, 레진제거제는 알코올, 에테르 등에 레진이 녹는 성질을 이용하여 구성될 수 있다.
상기 레진제거단계(S50)는, 액상의 레진을 알코올 등을 이용하여 제거하고, 경화된 레진만을 기판(10)에 남김으로써, 기판(10)에 상기 미세패턴(20)이 형성될 수 있도록 할 수 있다.
한편 앞서 설명한 패턴형성방법을 원활하게 수행하기 위해서는, 상기 패턴형성방법을 수행하기 위한 패턴형성장치가 필수적으로 요구된다.
따라서, 이하 본 발명에 따른 패턴형성방법을 수행하는 패턴형성장치에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
본 발명에 따른 패턴형성장치는, 도 4에 도시된 바와 같이, 미세패턴(20)이 형성될 하나 이상의 기판(10)이 적재되는 트레이부(40)와; 트레이부(40)에 적재된 기판(10)의 표면에 자외선에 의하여 경화되는 액상의 레진이 도포된 후 기판(10)의 상면에 위치되며 미세패턴(20)에 대응되는 개구패턴(31)이 형성된 패턴마스크 필름(30)과; 레진이 도포된 기판(10)의 표면 중 개구패턴(31)을 통하여 노출된 부분이 경화되도록 패턴마스크 필름(30)이 위치된 기판(10)의 표면에 자외선을 조사하는 자외선조사부(50)를 포함한다.
상기 트레이부(40) 및 패턴마스크 필름(30)은, 앞서 설명한 바 자세한 설명은 생략한다.
상기 자외선조사부(50)는, 기판(10)에 자외선을 조사하기위한 장치로서, 다양한 구성이 가능하다.
예를들면, 상기 자외선조사부(50)는, 트레이부(40) 상단에 이격되어 위치하고, 패턴마스크필름(30)이 위치된 기판(10)을 향해 자외선을 조사함으로써, 개구패턴(31)이 형성되어 자외선에 노출되는 액상의 레진을 경화시킬 수 있다.
이때, 상기 자외선조사부(50)는, 자외선에 노출되는 액상의 레진의 일정수준 경화를 만족하기위한 적절한 세기로 자외선을 조사할수 있으며, 복수의 기판(10)들에 레진의 경화정도의 차이를 최소화하기 위하여, 복수의 기판들에 수직하게 자외선을 조사하도록 설치됨이 바람직하다.
또한 상기 자외선조사부(50)는, 자외선을 발생시키는 광원으로서 선형광을 형성하고 선형광이 트레이부(40) 상에서 상대이동에 의하여 트레이부(40)에 안착된 기판(10)에 자외선을 조사할 수 있다.
이때 상기 트레이부(40)가 고정된 상태에서 자외선조사부(50)이 선형이동되거나, 자외선조사부(50)가 고정된 상태에서 트레이부(40)가 선형이동되거나, 트레이부(40) 및 자외선조사부(50)가 모두 함께 선형이동될 수 있다.
상기와 같은 본 발명에 따른 패턴형성방법 및 패턴형성장치에 의하여 미세패턴(20)이 형성되는 경우 다음과 같은 효과를 가질 수 있다.
모바일 기기 등에 설치되는 카메라에 결합되는 투명 글래스와 같이 유리 기판(10)의 표면에 미세패턴(20)을 형성하는 경우 카메라 촬영을 위한 광이 투과되는 부분(21)에서 레진이 코팅되지 않아 카메라 촬영시 광학계의 왜곡을 방지할 수 있는 이점이 있다.
이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.
10 : 기판 20 : 미세 패턴
30 : 패턴마스크필름 40 : 트레이부

Claims (9)

  1. 미세패턴(20)이 형성될 하나 이상의 기판(10)을 준비하는 기판준비단계(S10)와;
    상기 기판준비단계(S10) 후에 상기 기판(10)의 표면에 자외선에 의하여 경화되는 액상의 레진을 도포하는 레진도포단계(S20)와;
    상기 레진도포단계(S20) 후에 상기 기판(10)의 상측에 미세패턴(20)에 대응되는 개구패턴(31)이 형성된 패턴마스크 필름(30)을 위치시키는 마스킹단계(S30)와;
    상기 마스킹단계(S30) 후에 상기 패턴마스크 필름(30)이 위치된 상기 기판(10)의 표면에 자외선을 조사하여 상기 개구패턴(31)을 통하여 노출된 부분을 경화시키는 경화단계(S40)와;
    상기 경화단계(S40) 후에 경화된 레진을 제외한 나머지 레진을 상기 기판(10)으로부터 제거하는 레진제거단계(S50)를 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴형성방법.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 기판준비단계(S10)는, 하나 이상의 기판(10)이 안착되는 트레이부(40) 에 상기 기판(10)이 적재되어 준비되는 것을 특징으로 하는 패턴형성방법.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 트레이부(40)는,
    상기 기판(10)의 저면이 부착되는 접착필름(41)과;
    상기 접착필름(41)의 상면 중 상기 기판(10)의 적재부분을 제외한 나머지 부분에 부착되어 상기 기판(10)의 적재를 가이드하는 가이드필름(42)을 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴형성방법.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 기판(10)은, 평면형상이 원형 및 다각형 중 어느 하나의 형상을 가지며, 상기 미세패턴(20)이 형성된 영역은 상기 기판(10)의 기하학적 중심을 기준으로 원형 및 다각형 중 어느 하나의 형상의 폐곡선을 이루는 것을 특징으로 하는 패턴형성방법.
  5. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 기판(10)은, 모바일 기기에 설치되는 카메라의 표면에 결합되는 보호글래스인 것을 특징으로 하는 패턴형성방법.
  6. 미세패턴(20)이 형성될 하나 이상의 기판(10)이 적재되는 트레이부(40)와;
    상기 트레이부(40)에 적재된 기판(10)의 표면에 자외선에 의하여 경화되는 액상의 레진이 도포된 후 상기 기판(10)의 상면에 위치되며 상기 미세패턴(20)에 대응되는 개구패턴(31)이 형성된 패턴마스크 필름(30)과;
    레진이 도포된 상기 기판(10)의 표면 중 상기 개구패턴(31)을 통하여 노출된 부분이 경화되도록 상기 패턴마스크 필름(30)이 위치된 상기 기판(10)의 표면에 자외선을 조사하는 자외선조사부(50)를 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴형성장치.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 트레이부(40)는,
    상기 기판(10)의 저면이 부착되는 접착필름(41)과;
    상기 접착필름(41)의 상면 중 상기 기판(10)의 적재부분을 제외한 나머지 부분에 부착되어 상기 기판(10)의 적재를 가이드하는 가이드필름(42)을 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴형성장치.
  8. 청구항 6에 있어서,
    상기 기판(10)은, 평면형상이 원형 및 다각형 중 어느 하나의 형상을 가지며, 상기 미세패턴(20)이 형성된 영역은 상기 기판(10)의 기하학적 중심을 기준으로 원형 및 다각형 중 어느 하나의 형상의 폐곡선을 이루는 것을 특징으로 하는 패턴형성장치.
  9. 청구항 6 내지 청구항 8 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 기판(10)은, 모바일 기기에 설치되는 카메라의 표면에 결합되는 보호글래스인 것을 특징으로 하는 패턴형성장치.
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