JP7267589B2 - インプリント用モールドおよび当該インプリント用モールドの製造方法並びに撮像素子製造方法 - Google Patents
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Description
2 非パターン部
2a 凹部
3 遮光膜
6 レジストパターン
9 モールド
10 基板
11 薄膜
31 膜
32 マスク
50 基板
51 撮像素子
52 電極
55 光硬化性樹脂
91 反転パターン
100 インプリント用モールド
Claims (4)
- 撮像素子と電極が複数形成された基板上に所定波長の光によって硬化する樹脂であって硬化後の樹脂が前記撮像素子の使用帯域光に対して透明である光硬化性樹脂を塗布する塗布工程と、
複数のレンズを一括で形成するための成型面を有するインプリント用モールドであって、前記成型面に形成され前記レンズを形成するための複数のパターン部と、前記成型面に形成され、当該成型面に対して垂直でない表面によって前記パターン部ごとの外縁を形成する非パターン部と、前記非パターン部の表面を覆い、所定波長の光を透過しない材料からなる遮光膜と、を備えるインプリント用モールドを用い、当該インプリント用モールドの前記パターン部を前記撮像素子上に配置すると共に、前記非パターン部を前記電極上に配置する位置合わせ工程と、
前記インプリント用モールドを前記光硬化性樹脂に加圧し、当該インプリント用モールドを介して散乱光を照射して前記光硬化性樹脂を硬化させてレンズを形成するインプリント成形工程と、
現像により未硬化の前記光硬化性樹脂を除去する現像工程と、
を有することを特徴とする撮像素子用レンズ製造方法。 - 前記インプリント用モールドは、前記非パターン部に、前記成型面に垂直でない表面で構成された凹部を有し、
前記位置合わせ工程では、前記凹部を前記電極上に配置するものであることを特徴とする請求項1記載の撮像素子用レンズ製造方法。 - 前記インプリント用モールドは、前記非パターン部の前記外縁側に前記成型面と平行な表面を有することを特徴とする請求項1又は2記載の撮像素子用レンズ製造方法。
- 前記インプリント用モールドは、前記成型面に対する前記非パターン部の傾斜角が80度以下であることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の撮像素子用レンズ製造方法。
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JP2019014112A (ja) | 2017-07-05 | 2019-01-31 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 半導体装置の製造方法、および、金型 |
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