KR101117536B1 - 도포막용 건조로 - Google Patents

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테루유키 나카노
야스히로 코자와
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이시이 효키 가부시키가이샤
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Abstract

도포막을 도포된 유리 기판의 건조에 있어서 도포막의 저면을 장시간 지지하고 있으면 그 지지 흔적이 남아 유리 기판으로서의 품질이 저하된다고 하는 문제를 해결하기 위해서, 도포막이 도포된 유리 기판(6)의 저면을 항상 이동하는 공급 수단(10,18)으로 접촉하면서 가열 건조한다. 이에 따라, 핀(11,12,21)의 흔적이 발생하기 어려워진다.
도포막용 건조로

Description

도포막용 건조로{DRYING FURNACE FOR COATING FILM}
본 발명은 액정 디스플레이용 유리 기판이나 반도체 웨이퍼 등의 기판으로서, 그 표면에 도포막이 형성된 기판의 도포막용 건조로에 관한 것이다.
최근, 액정 디스플레이의 제조에 있어서는 대형화, 양산화, 및 박형화를 목적으로 기판으로서 보다 얇고 대형의 유리 기판이 사용될 수 있도록 되어 왔다. 또한, 유리 기판에 도포막으로서의 배향막을 잉크젯 프린터에 의해 도포하는 방법이 채용되기 시작했다.
그러나, 이 도포막의 건조에 있어서 도포막의 건조중 항상 유리 기판이 결정된 위치에 고정 핀으로 지지되어 있으면 유리 기판과 고정 핀의 접촉 주변의 온도 차이에 의해 도포막의 건조 불균형이 생김과 아울러 핀 흔적이 남아 품질상의 문제가 있었다.
이러한 건조 불균형, 핀의 흔적을 방지하기 위해서 유리 기판의 저면을 고정 핀과, 고정 핀의 근방에서 상하로 이동되는 리프트 핀으로 교대 지지해서 건조하는 건조로가 제안되어 있다(특허 문헌 1).
특허 문헌 1: 일본 특허 공개 평10-76211호 공보
그러나, 유리 기판의 저면의 다른 위치를 고정 핀과 리프트 핀으로 교대 지 지해서 건조한다고 하는 구성으로도 건조로에서의 도포액의 건조 시간에 관계없이 2점에서 교대로 지지하고 있을 뿐이므로 고정 핀, 리프트 핀 양쪽의 핀의 흔적이 남을 것이 우려되었다.
본 발명은 건조시에 유리 기판에 지지 핀의 흔적이 남기 어려운 도포막용 건조로를 제공하는 것이다.
상기 과제를 해결하기 위해서 본 발명의 도포막용 건조로는 측면에 형성된 기판의 반송구와, 상기 기판의 도포막을 가열 건조시키는 가열 수단과, 상기 도포막의 가열 건조시에 기판의 저면과 접촉하고 기판과의 접촉 위치를 이동시키는 공급 수단을 구비한 것이다.
이에 따라, 건조중에는 기판 저면의 접촉점을 변경하면서 가열 건조하는 것이다. 또한, 핫 플레이트 히터(hot plate heater), 기판, 핫 플레이트 히터의 순으로 기판을 상하로 끼우도록 핫 플레이트 히터를 순차 배치하고; 상하의 핫 플레이트 히터 간에 상기 기판의 반송구와, 상기 도포막의 가열 건조시에 기판의 저면과 접촉하고 기판과의 접촉 위치를 이동시키는 공급 수단을 마련한 것이다.
이에 따라, 기판은 상하의 핫 플레이트 히터에 의해 균일하게 가열 건조됨과 아울러, 초기 건조시에 완만한 온도상승으로 도포막의 레벨링(leveling) 효과를 촉진하고, 그 후 도포막에 충분히 열을 공급해서 건조시킬 수 있다. 핫 플레이트 히터를 상하에 복수 배치함으로써 적은 열원으로 가열할 수 있다. 더욱이, 건조중에는 기판 저면의 접촉점을 변경하면서 가열 건조할 수 있다.
또한, 공급 수단은 상기 반송구로부터 반입된 기판의 저면을 지지하는 지지 핀과, 구동 수단에 의해 지지 핀보다도 낮은 위치로부터 높은 위치로 수직 방향으로 이동함과 아울러 수평 방향으로 이동하는 이동 핀으로 구성했으므로 지지 핀 및 이동 핀과 기판의 저면의 접촉 위치가 항상 변경되고 있으므로 핀의 흔적이 남을 일이 없다.
더욱이, 공급 수단은 복수의 회전체와, 이 회전체로부터 방사 선상으로 돌출해서 기판 저면과 접촉하는 핀으로 이루어지고; 이 핀의 간격을 회전체가 회전할 때 기판의 저면에 항상 핀이 접촉하도록 배치한 것이기 때문에 기판 저면과의 접촉 위치가 항상 변경됨과 아울러 유리 기판을 수평으로 이동할 수 있으므로 핫 플레이트 히터의 열을 더욱 균일하게 전도할 수 있으므로 핀의 흔적이 남을 일이 없다.
[발명의 효과]
본 발명에 있어서의 도포막용 건조로는 건조중에는 기판 저면의 접촉 위치가 항상 변경되고 있으므로 종래와 같이 지지 핀의 흔적이 남을 일이 없고, 품질 불량을 방지할 수 있다. 또한, 가열 수단으로서 상하에 핫 플레이트 히터를 채용함으로써 균일 가열을 행할 수 있으므로 건조 불균형을 방지할 수 있음과 아울러 도포막의 레벨링, 건조를 확실하게 행할 수 있으므로 액적을 방지할 수 있는 것이다.
도 1은 실시 형태 1을 나타내는 도포막용 건조로의 개략도이다.
도 2는 도 1의 A부 확대도이다.
도 3은 도 2의 단면도이다.
도 4는 도 2의 수직 신축 기구의 동작 상태를 나타내는 설명도이다.
도 5(a)는 기판의 반입시에 고정 핀으로 기판을 지지한 상태를 나타내는 도면이고, 도 5(b)는 이동 핀이 상승한 상태를 나타내는 도면이며, 도 5(c)는 이동 핀을 수평으로 이동시킨 상태를 나타내는 도면이며, 도 5(d)는 이동 핀이 하강해서 고정 핀으로 기판을 지지한 상태를 나타내는 도면이며, 도 5(e)는 이동 핀이 대기 상태로 이동한 상태를 나타내는 도면이다.
도 6은 실시 형태 2를 나타내는 도포막용 건조로의 개요도이다.
도 7은 도 6의 B부 확대도이다.
도 8은 도 7의 정면도이다.
도 9(a)는 기판 반입시의 상태를 나타내는 도면이고, 도 9(b)는 유리 기판을 이동시키고 있는 상태를 나타내는 도면이다.
[도면의 주요부분에 대한 부호의 설명]
1: 도포막용 건조로 2: 핫 플레이트 히터(가열 수단)
3: 건조실 6: 유리 기판
10,18: 공급 수단 11: 지지 핀
12: 이동 핀 20: 회전체
21: 핀
[발명을 실시하기 위한 최선의 형태]
이하, 도 1 내지 도 5를 참고하여 본 발명의 실시 형태 1을 설명한다.
도 1은 실시 형태 1을 나타내는 도포막용 건조로의 개요도이다. 도 2는 도 1의 A부 확대도이다. 도 3은 도 2의 단면도이다. 도 4는 도 2의 수직 신축 기구의 동작 상태를 나타내는 설명도이다. 도 5(a)는 기판의 반입시에 고정핀으로 기판을 지지한 상태를 나타내는 도면이며, 도 5(b)는 이동 핀이 상승한 상태를 나타내는 도면이며, 도 5(c)는 이동 핀을 수평으로 이동시킨 상태를 나타내는 도면이며, 도 5(d)는 이동 핀이 하강해서 고정 핀으로 기판을 지지한 상태를 나타내는 도면이며, 도 5(e)는 이동 핀이 대기 상태로 이동한 상태를 나타내는 도면이다.
도면에 있어서, 도포막용 건조로(1)는 아래에서 위로 핫 플레이트 히터(2), 건조 실(3), 핫 플레이트 히터(2), 건조 실(3)을 순차 배치하고, 5단의 건조 실(3,3, ???)을 형성하고 있다. 그리고, 상기 건조 실(3)의 측면에는 반송구(4)가 마련되어 상면에 힌지(도시되지 않음)로 반송 도어(5)가 설치되어 있다.
상기 핫 플레이트 히터(2)는 가열 수단의 한 형태를 도시하는 것으로, 최상단과 최하단을 제외하고 상면과 저면에 패널(panel)형의 전기 히터(도시되지 않음)를 마련함과 아울러, 최상단의 핫 플레이트 히터(2)는 저면에, 최하단의 핫 플레이트 히터(2)는 상면에 패널형의 전기 히터(도시되지 않음)를 마련하고 있다. 각 패널형의 전기 히터는 동일 발열량의 것을 이용하고 있다. 그러나, 건조 실(3)의 상, 하 중앙 부근에서 균일한 온도가 얻어지기 어려울 경우는 상, 하 전기 히터의 발열량을 조정하여 균일한 온도가 되도록 설정하는 것이 바람직하다.
상기 건조 실(3)로의 유리 기판(6)의 출입은 도시되지 않은 전 공정으로부터 공급되어 오는 유리 기판(6)을 수취한 반송 로봇(7)에 의해 행하여진다. 이 반송 로봇(7)은 각 건조 실(3)의 반송구(4) 까지 상, 하로 이동됨과 아울러 반송구(4)로부터 건조 실(3)내로 연장되는 암(8)을 구비하고 있고, 암(8)상에 유리 기판(6)이 놓이게 되어 건조 실(3)로 반입된다.
상기 유리 기판(6)은 직사각형을 하고 있고, 상면(6a)을 위쪽으로 해서 표면에 잉크젯 프린터(도시되지 않음)에 의해 폴리이미드를 용제로 희석해서 점도를 대단히 낮게 한 배향막인 도포막(9)이 인쇄되어 있다.
공급 수단(10)은 최상단의 핫 플레이트 히터(2)를 제외한 핫 플레이트 히터(2)의 상면에 마련되어 있다. 즉, 건조 실(3)의 저면에 마련되어 있게 된다.
공급 수단(10)은 상기 반송구(4)로부터 반입된 유리 기판(6)의 저면과 접촉해 지지하는 지지 핀(11)과, 이동 핀(12)을 구비하고 있다. 이 이동 핀(12)은 이동 핀(12)의 선단(12a)을 지지 핀(11)의 선단(11a)보다도 낮은 위치와 높은 위치로 수직방향으로 이동하는 수직 신축 기구인 수직 에어 실린더(13)에 부착되어 있다. 또한, 수직 에어 실린더(13)는 수평 방향으로 이동하는 수평 신축 기구인 수평 에어 실린더(14)에 부착되어 있다.
상기 수직 에어 실린더(13)는 케이스(13a)의 내부에 상, 하 방향으로 이동하는 피스톤(13b)과, 이 피스톤(13b)으로부터 위쪽으로 돌출한 로드(13c)를 구비하고 있고, 피스톤(13b)의 아래쪽으로 피스톤(13b)을 가압해서 밀어 올리기 위한 실(室)(13d)이 형성되어 있다. 이 수직 에어 실린더(13)는 수평이동하기 위해서 저면에 롤러(13e)가 부착되어 있어 상기 핫 플레이트 히터(2)의 상면을 굴러가도록 하고 있다.
또한, 수평 에어 실린더(14)는 케이스(14a)의 내부를 좌, 우로 이동하는 피스톤(14b)과, 이 피스톤(14b)으로부터 돌출(도 3중 우측)된 로드(14c)를 구비하고 있고, 로드(14c)의 선단은 상기 수직 에어 실린더(13)의 케이스(13a)와 나사(도시되지 않음)로 고정되어 있다. 상기 피스톤(14b)을 상사점(도 3중 피스톤이 우측으로 이동한 상태)과 하사점(도 3중 피스톤이 좌측으로 이동한 상태)으로 이동하도록 각각 가압 에어가 공급되는 실(14d,14e)이 케이스(14a) 내에 구획되어 있다. 그리고, 피스톤(14b)이 통상 하사점 측에 위치하도록 스프링(14f)의 힘이 부여되어 있다.
또한, 상기 실(13c)로 에어를 공급하는 실(14g)이 실(14e)에 인접하여 형성되어 있다. 이 실(14g)은 컵상의 칸막이(14h)의 외주에 나사(14i)를 통해 나사결합되며, 케이스(14a)에 나사결합되어 고정되어 있다.
상기 실(14d,14e,14g)에는 핫 플레이트 히터(2) 내의 배관(15a,15b,15c)과 삼방 밸브(16a,16b,16c)를 통해 에어 공급 펌프(P)와 연결되어 있다.
그리고, 실(13d,14g)간에는 플렉셔블 관(17)의 개구(17a,17b)가 접속되어서 연결되어 있다. 상기 수직 에어 실린더(13), 수평 에어 실린더(14), 삼방 밸브(16a,16b,16c), 공급 펌프(P)에 의해 이동 핀(12)의 구동 수단이 형성되어 있다.
그리고, 이러한 공급 수단(10)은 지지 핀(11)과 이동 핀(12)을 1조로 해서 유리 기판(6)의 네 모서리 부근과 중간에서 접촉하도록 9조가 마련되어서 지지 핀(11) 또는 이동 핀(12)이 유리 기판(6)에 접촉해서 유지할 때 유리 기판(6)을 수평으로 유지하고 있다.
지지 핀(11)의 높이는 상, 하의 핫 플레이트 히터(2)에 의해 형성되는 건조 실(3)의 상, 하 치수의 중심보다도 약간 낮게 설정되어 있다. 이것은 이동 핀(12)에 의한 접촉 유지와 지지 핀(11)에 의한 접촉 유지의 높이가 크게 변경되지 않도록 하기 위함이다. 그 이유는 상기 반송 로봇(7)의 암(8)의 이동을 저해하지 않음과 아울러 건조 실(3)의 가열중에 유리 기판(6)의 높이가 크게 변경되는 것은 가열 온도가 균일하지 않게 되어 문제가 되기 때문이다.
상기 반송 로봇(7)과 지지 핀(11)의 관계를 설명하면 이하와 같이 되어 있다.
상기 반송 로봇(7)의 암(8)은 반송구(4)로부터 유리 기판(6)을 건조 실(3) 내에 모두 이동시킨 진입 위치에 이르면 일단 정지한다. 이어서, 암(8)이 아래쪽으로 이동해서 지지 핀(11) 상에 유리 기판(6)을 놓고, 더욱이 하강한 하강 위치까지 이동한다. 이 하강 위치에 이르면 반송구(4)로부터 암(8)이 완전히 후퇴하는 후퇴 위치로 이동한다.
이 암(8)의 일련의 움직임 중에서 지지 핀(11)이 유리 기판(6)의 저면과 접촉하여 유리 기판(6)을 건조 실(3)의 높이 방향의 중앙 부근에 유지시킨 것이다.
상기 이동 핀(12)은 지지 핀(11)의 높이보다 낮은 위치로부터 높은 위치로 이동하기 위해 수직 에어 실린더(13)에 의해 움직인다. 이동 핀(12)의 선단(12a)과 지지 핀(11)의 선단(11a)의 위치 관계(L)는 이동 핀의 후퇴시와 작동시에 각각 2.5mm이상 이간되어 있다. 바람직하게는 3mm이상 이간되어 있는 편이 좋다. 그 이유는 유리 기판(6)의 도포막(9)의 건조시에 핀의 열영향을 받지 않도록 하기 위함 이다.
더욱이, 유리 기판(6)의 저면에 있어서 지지 핀(11), 이동 핀(12)이 일정 간격으로 접촉하게 되지만 지지 핀(11)과 유리 기판(6)의 접촉점, 이동 핀(12)과 유리 기판(6)의 접촉점이 겹치지 않도록 하기 위해 지지 핀(11)과 이동 핀(12), 이동 핀(12)과 이동 핀(12)이 유리 기판(6)의 이동 방향에 대하여 겹치지 않도록 하고 있다.
상기 지지 핀(11)이나 이동 핀(12)은 열적 영향을 받기 어렵게 하기 위해서 열전도율이나 비열이 낮은 내열성 수지[예를 들면 PEEK(폴리에테르에테르케톤)는 열전도율 0.25 W/m?K, 비열 0.32Kca1/g?℃]로 형성되어 있고, 유리 기판(6)으로의 열 영향을 적게 할 수 있다.
상기 지지 핀(11), 이동 핀(12)과 유리 기판(6)의 접촉면의 관계는 매우 작은 쪽이 좋지만, 기계적 강도의 관계로부터 핀의 선단은 약 30도의 각도로 선단부 반경 0.5mm이 대략 양호하다.
이어서, 도포막의 건조시의 동작을 설명한다.
유리 기판(6)이 건조 실(3)로 반입되어 반송 도어(5)가 폐쇄된다[도 5(a)의 상태]. 또한, 핫 플레이트 히터(2)는 상시 통전되어 온도는 일정하게 제어되고 있다.
이 동작에 의해 상기 삼방 밸브(16a)가 동작되어 실(14g)에 에어가 공급되고, 플렉셔블 관(17)보다 실(13d)에 에어가 공급되어 피스톤(13b)이 상승한다.
피스톤(13b)이 상승하면 연결되어 있는 이동 핀(12)이 상승하게 되고, 지지 핀(11)으로부터 이동 핀(12)[도 5(b)의 상태]으로 유리 기판(6) 저면의 접촉이 변경된다. 이동 핀(12)의 이동 거리는 지지 핀(11)의 선단(11a)보다도 3mm 위쪽으로 유리 기판(6)을 들어올린 위치로 하고 있다.
상기 이동 핀(12)에 유리 기판(6)이 접촉한 상태로 삼방 밸브(16b)가 개방되어 수평 에어 실린더(14)의 실(14e)에 에어가 공급되어서 피스톤(14b)이 이동[도 5(c)의 오른쪽으로 이동한 상태]한다.
이 이동 핀(12)의 수직, 수평 이동이 종료되면 수직 에어 실린더(13)로의 에어 공급을 종료하기 위해서 삼방 밸브(16a)를 폐쇄하고, 실(13d,14g) 내의 에어를 삼방 밸브(16a)에 의해 외부로 개방해서 내보낸다. 이에 따라, 이동 핀(12)은 유리 기판(6)의 자중으로 하강[도 5(d)의 상태]한다.
이 하강의 도중에 유리 기판(6)은 지지 핀(11)에 의해 통과된다. 이 때의 지지 핀(11)과 유리 기판(6)의 접촉 위치는 유리 기판(6)이 이동하고 있으므로 상기 접촉위치와는 상이하다.
그리고, 수평 에어 실린더(14)의 실(14e)로의 에어 공급을 삼방 밸브(16b)를 스위칭하여 종료함과 아울러 실(14d)로 삼방 밸브(16c)를 스위칭하여 에어 공급한다. 이에 따라, 피스톤(14b)은 스프링(14f)과 에어의 압력으로 하사점까지 이동하고, 이동 핀(12)은 원 위치[도 5(e)의 상태]로 리턴된다.
에어 공급에 삼방 밸브(16a,16b,16c)를 채용하고 있는 것은 각 실(13d,14d,14e,14g)에 에어를 공급하지 않을 때에는 각 실(16a,16b,16c)의 에어를 자유롭게 하여 확실한 위치에 있도록 하기 위해서이다.
이 일련의 움직임을 1 사이클로 하여 건조 시간중 여러 회 이 사이클을 반복한다. 이동 핀(12)의 이동 속도가 빠를수록 핀의 흔적이 발생하기 어렵지만 이 1 사이클은 도포막의 두께에 따라서 대체로 4～8초 행하여진다.
이 사이클을 반복하면 유리 기판(6)이 수평으로 이동해서 핀(11,12)과의 접촉 위치가 움직이게 됨으로 건조 실(3)이 더욱 큰 것이 필요하게 될 가능성도 있다. 여러 번 이 사이클이 반복되면 이번에는 역 사이클[도 5(e)→도 5(d)→도 5(c) →도 5(b)→도 5(a)]을 행하여 서서히 원래의 위치로 리턴될 수 있다.
또한, 동일 접촉점을 취하지 않도록 하기 위해서는 이동 핀(12)이 수평 에어 실린더(14)에서 X축 방향으로의 이동뿐 아니라 Z축 방향으로의 이동을 가함으로써 동일 접촉점을 이동할 일이 없으므로 보다 핀의 흔적이 보다 생기기 어려워지는 것이다.
이렇게 리턴됨으로써 건조 실(3)의 소형화를 도모할 수 있다.
그리고, 건조를 개시하고 나서 시간이 지나면 상기 공급 수단(10)의 동작을 정지하고, 상기 반송 도어(5)를 개방하여 반송 로봇(7)의 암(8)을 건조 실(3)에 인입하고, 암(8)에 의해 유리 기판(6)을 건조 실(3)로부터 반출하게 된다.
따라서, 건조 실(3)에서 가열중에는 유리 기판(6)의 저면을 지지하는 지지 핀(11), 이동 핀(12)과 유리 기판(6) 저면의 접촉점이 항상 이동하고 있고, 유리 기판상에 핀의 흔적이 남기 어려워져 품질불량이 대폭 개선된다.
또한, 한 쌍의 핫 플레이트 히터(2)에 의해 건조 실(3)의 공기를 균일하게 따뜻하게 해서 유리 기판(6)을 가열하므로 도포막의 건조가 균일하게 이루어짐과 아울러, 유리 기판(6)을 반입한 초기 건조시에 급격히 유리 기판(6)의 온도가 상승하지 않고, 완만한 온도상승이 되므로 도포한 도포막의 점도가 저하되어 레벨링 효과가 촉진되어 도포막의 균일성이 향상된다.
더욱이, 도포막의 초기 건조에서의 레벨링이 종료된 후에는 상하의 핫 플레이트 히터(2)로부터 충분히 열을 공급할 수 있으므로 건조를 조기에 종료시킬 수 있고, 도포막 주변의 액적이 발생하지 않는 건조가 실현가능하다.
또한, 실시 형태 1에서는 반송구(4)를 유리 기판(6)의 입구와 출구를 겸용해서 이용했지만 각각 대향하는 반송구로해서 한 쪽을 입구, 다른 쪽을 출구로 해도 좋다.
더욱이, 공급 수단(10)의 재질이나 치수는 상기의 재질, 치수에 구애받지 않는다. 또한, 공급 수단(10)으로서 에어 실린더를 이용했지만 유체 실린더나 전자 솔레노이드 등의 신축기에 의해 이동 핀을 X축, Y축 또는 Z축으로 이동하는 것이면 좋다. 또한, 구동 수단도 에어로 한정되는 것이 아니고 전기, 유체여도 좋다.
이어서, 실시 형태 2에 대해서 설명하지만 실시 형태 1과 다른 점은 공급 수단(18)의 구조가 상이하다는 것이다. 도 6은 실시 형태 2를 나타내는 도포막용 건조로의 개요도이다. 도 7은 도 6의 B부 확대도이다. 도 8은 도 7의 정면도이다. 도 9(a)는 기판의 반입시의 상태를 나타내는 도면, 도 9(b)는 유리 기판을 이동시키고 있는 상태를 나타내는 도면이다.
공급 수단(18)은 최상단의 핫 플레이트 히터(2)를 제외한 핫 플레이트 히터(2)의 상면에 마련되어져 있다. 이 공급 수단(18)은 축(19)에 복수(3열, 도 6에 있어서의 좌, 우 방향)의 원반상의 회전체(20a,20b,20c)(총칭해서 말할 때는 20으로 나타냄)을 부착하고 있다. 이 회전체(20)의 외주에는 회전체(20)로부터 방사선상으로 유리 기판(6)과 접촉하는 핀(21)이 부착되어 있다. 이 핀(21)은 복수의 핀중 어느하나가 항상 유리 기판(6)의 저면에 접촉하고 있도록 마련되어 있다. 그리고, 축(19) 및 회전체(20)를 1조로 해서 깊이 방향(도 6의 정면으로부터 후방으로)으로 3조가 배치되어 있다.
회전체(20) 및 핀(21)은 내열성 수지재[PEEK(폴리에테르-에테르-케톤) 등의 열전도율이 0.25W/m?K, 비열이 0.32Kca1/g?℃]이며, 유리 기판(6)에 열 영향을 주기 어려운 재질이다. 또한, 핀(21)의 유리 기판(6)과 접촉하는 부분은 매우 작은 편이 좋으나, 기계적 강도의 관계에서는 선단 형상이 30도의 각도이며 선단 반경이 0.5mm가 대략 좋다. 또한, 핀(21)의 수도 많을 수록 좋지만 3～5mm의 피치로 배치하는 것이 좋으며, 이동 거리는 대략 30mm가 좋으며, 이동 속도는 막 두께에도 관계되지만 30mm이동하는데에 30～60초가 걸리는게 좋다. 따라서, 회전체(20)의 회전 방향은 정, 역회전할 수 있는 편이 좋다.
공급 수단(18)은 각각 건조 실(3)로부터 도포막용 건조로(1)의 외부로 축(19)이 돌출되고, 연결체(22)에 의해 연결되며, 기야드 모터(geared motor)(23)의 움직임에 동기해서 각각의 핫 플레이트 히터(2)의 공급 수단(18)을 회전시키고 있다. 이 각 축(19)의 연결은 외부에서 행하였으나 도포막용 건조로(1) 내부도 좋다.
이어서, 도포막의 건조시의 동작을 설명한다.
유리 기판(6)의 건조 실(3)로의 반입은 실시 형태 1과 같다. 유리 기판(6)이 건조 실(3)로 반입되면 회전체(20)의 핀(21)이 유리 기판(6)의 저면과 접촉하는 [도 9(a)의 상태]. 그리고, 반입 도어(5)가 폐쇄된다. 또한, 핫 플레이트 히터(2)는 상시 통전되고, 온도는 일정하게 제어되어 있다.
이 동작에 의해 기야드 모터(23)는 정회전을 시작으로 유리 기판(6)을 이동[도 9(b)의 상태에서 도면중 우측으로의 이동을 정회전으로 한다]시킨다. 이 이동에 의해 유리 기판(6)이 약 30mm이동하면 기야드 모터(23)는 반전되어 역회전을 한다. 이 동작에 의해 유리 기판(6)은 원 위치의 방향으로 이동한다. 그리고, 또한 약 30mm이동하면 기야드 모터(23)는 정회전하여 이 움직임을 반복한다.
그리고, 건조 시간이 지나면 상기 공급 수단(10)의 동작을 정지하여 상기 반송 도어(5)를 개방하여 반송 로봇(7)의 암(8)을 건조 실(3)로 넣고, 암(8)에 의해 유리 기판(6)을 건조 실(3)로부터 반출하게 된다.
따라서, 건조 실(3)에서 가열중에는 유리 기판(6)의 저면을 지지하는 핀(18)과 유리 기판(6)의 저면의 접촉점이 항상 이동하고 있고, 도포막에 핀 흔적이 남기 어려워져 품질불량이 대폭 개선된다.
또한, 한 쌍의 핫 플레이트 히터(2)에 의해 건조 실(3)의 공기를 균일하게 따뜻하게 해서 유리 기판(6)을 가열하므로 도포막의 건조가 균일하게 가능함과 아울러 유리 기판(6)을 반입한 초기 건조시에 급격히 유리 기판(6)의 온도가 상승하지 않고, 완만한 온도상승이 되므로 도포한 도포막의 점도가 저하되어 레벨링 효과가 촉진되어 도포막의 균일성이 향상된다.
또한, 유리 기판(6)은 수평으로 이동되어 있으므로 도포막의 액적이 발생하기 어려움과 아울러 유리 기판(6)이 상하로 이동하지 않으므로 상, 하의 핫 플레이트 히터(2)의 열이 균일하게 전도되기 쉬우므로 유리 기판(6)의 이동에 의한 건조불균형이 생기기 어렵다.
더욱이, 도포막의 초기 건조에서의 레벨링이 완료된 후에는 상, 하의 핫 플레이트 히터(2)로부터 충분히 열을 공급할 수 있으므로 건조를 조기에 완료시킬 수 있어 도포막 주변의 액적이 발생하지 않는 건조가 실현가능하다.
또한, 공급 수단(18)의 축(19)을 공통의 기야드 모터(23)로 구동했지만 각각에 기야드 모터(23)를 마련해도 좋다.
또한, 실시 형태 2에 있어서의 회전체(20)나 핀(21)의 재질은 실시 형태의 재료로 제한되지 않고, 내열성이 있으면 좋은 것이다.

Claims (9)

  1. 상면에 도포막이 도포된 기판을 가열해서 이 도포막을 건조시키는 도포막용 건조로로서:
    측면에 형성된 기판의 반송구;
    상기 기판의 도포막을 가열 건조시키는 가열 수단; 및
    상기 도포막의 가열 건조시에 기판의 저면과 접촉하고, 기판과의 접촉 위치를 이동시키는 공급 수단을 구비하고,
    상기 공급 수단은 상기 반송구로부터 반입된 기판의 저면을 지지하는 지지 핀과, 구동 수단에 의해 지지 핀보다도 낮은 위치로부터 높은 위치로 수직방향으로이동함과 아울러 수평방향으로 이동하는 이동 핀으로 구성된 것을 특징으로 하는 도포막용 건조로.
  2. 상면에 도포막이 도포된 기판을 가열해서 이 도포막을 건조시키는 도포막용 건조로로서:
    측면에 형성된 기판의 반송구;
    상기 기판의 도포막을 가열 건조시키는 가열 수단; 및
    상기 도포막의 가열 건조시에 기판의 저면과 접촉하고, 기판과의 접촉 위치를 이동시키는 공급 수단을 구비하고,
    상기 공급 수단은 복수의 회전체와, 이 회전체로부터 방사 선상으로 돌출해 기판의 저면과 접촉하는 핀으로 이루어지고; 이 핀의 간격을 회전체가 회전할 때 기판의 저면에 항상 핀이 접촉하도록 배치한 것을 특징으로 하는 도포막용 건조로.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 가열 수단은 기판을 사이에 둔 상하 한 쌍의 핫 플레이트 히터인 것을 특징으로 하는 도포막용 건조로.
  4. 상면에 도포막이 도포된 기판을 가열해서 이 도포막을 건조시키는 도포막용 건조로로서:
    핫 플레이트 히터, 기판, 핫 플레이트 히터의 순으로 기판을 상하로 끼우도록 핫 플레이트 히터를 순차 배치하고; 상, 하의 핫 플레이트 히터 간에 상기 기판의 반송구와, 상기 도포막의 가열 건조시에 유리 기판의 저면과 접촉하고 기판과의 접촉 위치를 이동시키는 공급 수단을 마련하고,
    상기 공급 수단은 상기 반송구로부터 반입된 기판의 저면을 지지하는 지지 핀과, 구동 수단에 의해 지지 핀보다도 낮은 위치로부터 높은 위치로 수직방향으로이동함과 아울러 수평방향으로 이동하는 이동 핀으로 구성된 것을 특징으로 하는 도포막용 건조로.
  5. 상면에 도포막이 도포된 기판을 가열해서 이 도포막을 건조시키는 도포막용 건조로로서:
    핫 플레이트 히터, 기판, 핫 플레이트 히터의 순으로 기판을 상하로 끼우도록 핫 플레이트 히터를 순차 배치하고; 상, 하의 핫 플레이트 히터 간에 상기 기판의 반송구와, 상기 도포막의 가열 건조시에 유리 기판의 저면과 접촉하고 기판과의 접촉 위치를 이동시키는 공급 수단을 마련하고,
    상기 공급 수단은 복수의 회전체와, 이 회전체로부터 방사 선상으로 돌출해 기판의 저면과 접촉하는 핀으로 이루어지고; 이 핀의 간격을 회전체가 회전할 때 기판의 저면에 항상 핀이 접촉하도록 배치한 것을 특징으로 하는 도포막용 건조로.
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