KR101018574B1 - 열처리 장치, 열처리 방법 및 기록 매체 - Google Patents
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Abstract
Description
열판 온도 | 60초 처리 | 90초 처리 | 평균치 |
100 ℃ | 56.8 | 59.5 | 58.2 |
120 ℃ | 67.0 | 70.2 | 68.6 |
140 ℃ | 76.3 | 80.7 | 78.5 |
열판 온도 | Tc 시간 |
100 ℃ | 24초 |
120 ℃ | 23초 |
140 ℃ | 20초 |
Claims (15)
- 열처리실 내에 열판이 설치되고, 덮개의 개폐 동작에 의해 상기 열처리실의 개폐를 행하는 것이 가능한 열처리 장치를 이용하여 피처리 기판에 열처리를 실시하는 열처리 방법이며,상기 덮개의 개폐 동작을 행함으로써 상기 열처리실 내의 온도를 소정의 온도로 유지하는 공정과,상기 열처리실로 상기 피처리 기판을 반입하는 공정과,상기 열처리실로 반입된 상기 피처리 기판에, 상기 열판에 의해 열처리를 실시하는 공정을 구비하고,상기 덮개의 개폐 동작에 있어서의 상기 덮개의 개방 시간 및 폐쇄 시간 중 적어도 한쪽의 시간은, 상기 덮개의 개방 시간과 폐쇄 시간의 비와 상기 열처리실 내의 온도와의 관계를 나타내는 곡선과, 상기 열처리의 처리 온도를 기초로 하여 설정되는 열처리 방법.
- 열처리실 내에 열판이 설치되고, 덮개의 개폐 동작에 의해 상기 열처리실의 개폐를 행하는 것이 가능한 열처리 장치를 이용하여 피처리 기판에 열처리를 실시하는 열처리 방법이며,상기 덮개의 개폐 동작을 행함으로써 상기 열처리실 내의 온도를 소정의 온도로 유지하는 공정과,상기 열처리실로 상기 피처리 기판을 반입하는 공정과,상기 열처리실로 반입된 상기 피처리 기판에, 상기 열판에 의해 열처리를 실시하는 공정을 구비하고,상기 덮개의 개폐 동작에 있어서의 상기 덮개의 개방 시간 및 폐쇄 시간 중 적어도 한쪽의 시간은 상기 덮개의 개방 시간과 폐쇄 시간의 비와 상기 열처리실 내의 온도와의 관계를 나타내는 곡선과, 상기 열처리의 처리 온도와, 상기 피처리 기판을 상기 열처리실로 반송하는 반송부의 상태를 기초로 하여 설정되는 열처리 방법.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 덮개의 개폐 동작은 상기 덮개를 복수회 개폐시키는 것을 포함하는 열처리 방법.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 소정의 온도는 상기 열처리의 처리 온도를 기초로 하여 설정되는 열처리 방법.
- 삭제
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 복수의 상기 피처리 기판에 열처리가 실시되고,복수의 상기 피처리 기판의 처리 온도가 변경되는 경우에, 당해 온도 변화 폭을 기초로 하여 상기 덮개의 개폐 동작을 개시할 때까지의 대기 시간이 설정되는 열처리 방법.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 열판의 온도를 검지하는 공정을 더 구비하고,검지된 상기 열판의 온도를 기초로 하여 상기 덮개의 개폐 동작이 제어되는 열처리 방법.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 열처리실의 온도를 검지하는 공정을 더 구비하고,검지된 상기 열처리실의 온도를 기초로 하여 상기 덮개의 개폐 동작이 제어되는 열처리 방법.
- 컴퓨터상에서 동작하는 프로그램이 기록된 기록 매체이며,제1항 또는 제2항에 기재된 열처리 방법이 행해지도록 상기 컴퓨터에 상기 덮개의 개폐 동작을 제어시키도록 구성된 프로그램이 기록된 기록 매체.
- 피처리 기판에 열처리를 실시하는 열처리 장치이며,상기 피처리 기판을 가열하는 열판과,상방 개구부를 갖고, 상기 열판의 외주 및 하부를 포위하는 케이스와,상기 상방 개구부를 덮고, 상기 케이스와 함께 상기 열판 및 상기 피처리 기판을 수납하는 열처리실을 구성하는 덮개와,상기 케이스에 대해 상기 덮개를 개폐하는 개폐 구동부와,상기 개폐 구동부에 의한 상기 덮개의 개폐 동작을 제어하는 제어부를 구비하고,상기 제어부는 상기 덮개의 개폐 동작에 의해 상기 열처리실 내의 온도를 소정의 온도로 유지하도록 상기 개폐 구동부를 제어하고, 상기 덮개의 개방 시간과 폐쇄 시간의 비와 상기 열처리실 내의 온도와의 관계를 나타내는 곡선과, 상기 열처리의 처리 온도를 기초로 하여 상기 덮개의 개폐 동작에 있어서의 상기 덮개의 개방 시간 및 폐쇄 시간 중 적어도 한쪽의 시간을 설정하는 열처리 장치.
- 피처리 기판에 열처리를 실시하는 열처리 장치이며,상기 피처리 기판을 가열하는 열판과,상방 개구부를 갖고, 상기 열판의 외주 및 하부를 포위하는 케이스와,상기 상방 개구부를 덮고, 상기 케이스와 함께 상기 열판 및 상기 피처리 기판을 수납하는 열처리실을 구성하는 덮개와,상기 케이스에 대해 상기 덮개를 개폐하는 개폐 구동부와,상기 개폐 구동부에 의한 상기 덮개의 개폐 동작을 제어하는 제어부를 구비하고,상기 제어부는 상기 덮개의 개폐 동작에 의해 상기 열처리실 내의 온도를 소정의 온도로 유지하도록 상기 개폐 구동부를 제어하고, 상기 덮개의 개방 시간과 폐쇄 시간의 비와 상기 열처리실 내의 온도와의 관계를 나타내는 곡선과, 상기 열처리의 처리 온도와, 상기 피처리 기판을 상기 열처리실로 반송하는 반송부의 상태를 기초로 하여 상기 덮개의 개폐 동작에 있어서의 상기 덮개의 개방 시간 및 폐쇄 시간 중 적어도 한쪽의 시간을 설정하는 열처리 장치.
- 제10항 또는 제11항에 있어서, 상기 제어부는 상기 덮개를 복수회 개폐시키도록 상기 개폐 구동부를 제어하는 열처리 장치.
- 제10항 또는 제11항에 있어서, 상기 제어부는 상기 열처리의 처리 온도를 기초로 하여 상기 소정의 온도를 설정하는 열처리 장치.
- 삭제
- 제10항 또는 제11항에 있어서, 상기 열판의 온도를 검지하는 온도 검지부를 더 구비하고,상기 제어부는 상기 온도 검지부에 의해 검지된 상기 열판의 온도를 기초로 하여 상기 개폐 구동부를 제어하는 열처리 장치.
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