KR100966907B1

KR100966907B1 - 콘택트 프로브

Info

Publication number: KR100966907B1
Application number: KR20077022330A
Authority: KR
Inventors: 고지 이시카와; 준 도미나가
Original assignee: 니혼 하츠쵸 가부시키가이샤
Priority date: 2005-03-31
Filing date: 2006-03-27
Publication date: 2010-06-30
Also published as: CN101151541A; JP2006284362A; WO2006106618A1; KR20070108561A

Abstract

본 발명은 아주 좁은 피치를 유지하면서 수명이 길고 정밀도가 높은 콘택트 프로브를 제공하는 것이다.

검사 대상물을 전기적으로 검사할 때에 상기 검사 대상물에 직접 접속하는 복수의 빔형상의 캔틸레버(2)를 가진 콘택트 프로브(10)로서, 캔틸레버(2)를 미소 진동시키는 압전소자(4)를 구비하고, 이 압전소자(4)를 구동함으로써 캔틸레버(2)의 선단이 상하 이동하여 검사 대상물의 전극상의 산화피막 등을 용이하게 돌파하여 전극과의 접촉을 확실하게 취할 수 있다.

Description

콘택트 프로브{CONTACT PROBE}

본 발명은 액정 패널이나 집적회로 등의 전자부품의 전극 또는 단자부에 접속하여 이 전자부품에서의 도통상태 검사나 동작시험에 사용하는 콘택트 프로브에 관한 것이다.

종래부터 LCD 패널 등의 전자부품인 검사 대상물을 검사하는 경우, LCD 패널의 접속단자에 콘택트 프로브를 거쳐 전기적으로 접촉시키고, 또한 각 콘택트 프로브의 다른쪽 끝에 전기적으로 접속하는 콘택트 블럭을 거쳐 플랫 케이블 등에 접속하고, 이 플랫 케이블에 접속된 검사장치로부터 각종 테스트 신호 등을 주어 LCD 패널의 검사를 행하고 있었다.

이 콘택트 프로브는, 반도체 제조방법의 리소그래피기술을 이용하여 복수의 검사용 전극에 대응한 복수의 빔(beam)형상의 프로브를 기판 표면상에 일괄 형성하는 것이 있다(특허문헌 1∼4 참조). 또한 플렉시블 기판 등의 도전박을 리소그래피에 의하여 아주 좁은피치로 패턴 에칭하고, 이 패턴 위에 프로브 헤드로서 범프를 형성하는 것이 있다(특허문헌 5 참조). 이들 콘택트 프로브는, 리소그래피기술을 이용하기 때문에 최근에 있어서의 전극 좁은 피치화에 대응할 수 있다.

[특허문헌 1]

일본국 특개평8-50146호 공보

[특허문헌 2]

일본국 특허제3123483호 공보

[특허문헌 3]

일본국 특개2003-215161호 공보

[특허문헌 4]

일본국 특표2004-503785호 공보

[특허문헌 5]

일본국 특개2003-98189호 공보

그러나, 상기한 종래의 콘택트 프로브에서는, 40㎛ 정도의 아주 좁은 피치를 유지하면서 큰 가중을 부가하면 프로브나 프로브 헤드가 파괴되기 쉬워 수명이 짧음과 동시에 검사 대상의 전극을 덮는 산화 피막이나 오염이 있는 경우에 정밀도가 높은 검사를 행할 수 없다는 문제점이 있었다.

또한 캔틸레버형의 콘택트 프로브는 일반적으로 프로브 헤드에 인가하는 가중을 크게 할 수 없기 때문에 상기한 검사시에 검사 대상의 전극을 덮는 산화피막이나 오염이 있는 경우, 이들을 돌파할 수 없어, 최종적인 과대한 가중을 프로브 헤드에 인가하여 손상되어, 콘택트 프로브의 수명이 짧아지는 경향이 있었다.

본 발명은 상기를 감안하여 이루어진 것으로, 아주 좁은소 피치를 유지하면서 수명이 길고 정밀도가 높은 콘택트 프로브를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기한 과제를 해결하고, 목적을 달성하기 위하여 청구항 1에 관한 콘택트 프로브는 검사 대상물을 전기적으로 검사할 때에 상기 검사 대상물에 직접 접속하는 프로브를 가진 콘택트 프로브로서, 상기 프로브를 미소 진동시키는 진동수단을 구비한 것을 특징으로 한다.

또, 청구항 2에 관한 콘택트 프로브는, 상기 발명에서 상기 진동수단은 상기프로브상에 설치된 압전소자이고, 상기 압전소자를 구동함으로써 상기 프로브를 미소 진동시키는 것을 특징으로 한다.

또, 청구항 3에 관한 콘택트 프로브는, 상기 발명에서 상기 진동수단은 상기프로브상에 설치된 코일이고, 자장이 형성되는 영역에서 상기 코일에 인가하는 전류를 변화시킴으로써 상기 프로브를 미소 진동시키는 것을 특징으로 한다.

또, 청구항 4에 관한 콘택트 프로브는, 상기 발명에서 상기 진동수단은 복수의 빔형상의 프로브 사이에 설치된 복수의 고정 프로브를 더 설치하여 형성된 빗살 전극이고, 각 프로브와 각 고정 프로브의 사이에 인가되는 전압을 변화시킴으로써 상기 프로브를 미소 진동시키는 것을 특징으로 한다.

또, 청구항 5에 관한 콘택트 프로브는, 상기 발명에서 상기 프로브는 빔형상의 프로브인 것을 특징으로 한다.

또, 청구항 6에 관한 콘택트 프로브는, 상기 발명에서 상기 프로브는 접촉면에 대하여 대략 수직하게 형성된 홀더 내에 도전성 바늘형상 부재와 도전성 스프링부재가 접속하여 넣어지고, 도전성 바늘형상 부재의 선단이 상기 홀더의 개구부에서 신축 가능하게 돌출한 프로브인 것을 특징으로 한다.

또, 청구항 7에 관한 콘택트 프로브는, 상기 발명에서 상기 진동수단은 상기 홀더의 개구부를 형성하는 지지부재 위에 설치하는 것을 특징으로 한다.

또, 청구항 8에 관한 콘택트 프로브는, 상기 발명에서 상기 프로브는 바늘 프로브인 것을 특징으로 한다.

또, 청구항 9에 관한 콘택트 프로브는, 상기 발명에서 상기 프로브는 지지부재 위에 형성된 범프인 것을 특징으로 한다.

또, 청구항 10에 관한 콘택트 프로브는, 상기 발명에서 상기 프로브는 얇은 판형상 부재이고, 판면방향이 가압방향이며, 상기 판형상부재는 Ni이고, 두께에 대한 폭의 비가 5 이상인 것을 특징으로 한다.

또, 청구항 11에 관한 콘택트 프로브는, 상기 발명에서 상기 진동수단은 프로브 선단을 접촉면에 대하여 대략 수직방향으로 진동시키는 것을 특징으로 한다.

또, 청구항 12에 관한 콘택트 프로브는, 상기 발명에서 상기 진동수단은 프로브 선단을 접촉면에 대하여 대략 평행하게 진동시키는 것을 특징으로 한다.

또, 청구항 13에 관한 콘택트 프로브는, 상기 발명에서 복수의 프로브를 가지고, 상기 복수의 프로브는 각 프로브의 피치를 유지하는 유지부재에 의하여 덮여져 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 관한 콘택트 프로브는, 진동수단이 복수의 프로브를 미소 진동시키도록 하고, 이 미소 진동에 의하여 검사 대상 전극상의 오염을 없애어 산화피막 등을 돌파하도록 하고, 이것에 의하여 콘택트 표면을 노출시켜 낮은 콘택트 가중으로 원하는 접촉 저항을 확보할 수 있기 때문에, 콘택트 프로브에 인가되는 부하가 경감되고, 아주 좁은 피치를 유지한 소형화를 실현하면서 수명이 길고 정밀도가 높은 콘택트 프로브를 실현할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시형태 1인 콘택트 프로브의 개요 구성을 나타내는 사시도,

도 2는 캔틸레버의 선단부분을 나타내는 사시도,

도 3은 플렉시블 케이블을 부가한 콘택트 프로브의 구성을 나타내는 사시도,

도 4는 프로브 블럭에 접속된 상태를 나타내는 도,

도 5는 프로브 헤드의 변형예를 나타내는 도,

도 6a는 도 1에 나타낸 콘택트 프로브의 제조공정 중, 프로브 헤드가 형성되는 면을 개구하고, 이방성 에칭에 의하여 단면이 삼각형상의 구멍을 형성한 상태를 나타내는 도,

도 6b는 도 1에 나타낸 콘택트 프로브의 제조공정 중, 일렉트로 포밍용 시드층과, 캔틸레버의 판 두께에 상당하는 레지스트를 형성한 상태를 나타내는 도,

도 6c는 도 1에 나타낸 콘택트 프로브의 제조공정 중, 캔틸레버에 대응하는 영역의 레지스트를 제거한 상태를 나타내는 도,

도 6d는 도 1에 나타낸 콘택트 프로브의 제조공정 중, 캔틸레버를 형성한 상태를 나타내는 도,

도 6e는 도 1에 나타낸 콘택트 프로브의 제조공정 중, 홀드 필름 및 지지부재를 형성한 상태를 나타내는 도,

도 6f는 도 1에 나타낸 콘택트 프로브의 제조공정 중, 지지부재 위에 압전소자를 형성한 상태를 나타내는 도,

도 7은 본 발명의 실시형태 1의 변형예를 나타내는 도,

도 8은 본 발명의 실시형태 1의 변형예를 나타내는 도,

도 9는 본 발명의 실시형태 1의 변형예를 나타내는 도,

도 10은 본 발명의 실시형태 1의 변형예를 나타내는 도,

도 11은 본 발명의 실시형태 2인 콘택트 프로브의 개요구성을 나타내는 사시도,

도 12는 본 발명의 실시형태 3인 콘택트 프로브의 개요구성을 나타내는 사시도,

도 13은 본 발명의 실시형태 4인 콘택트 프로브의 개요구성을 나타내는 단면도,

도 14는 도 13에 나타낸 콘택트 프로브의 이면을 나타내는 도,

도 15는 본 발명의 실시형태 5인 콘택트 프로브의 개요구성을 나타내는 사시도,

도 16은 본 발명의 실시형태 6인 콘택트 프로브의 개요구성을 나타내는 사시도,

도 17은 도 16에 나타낸 콘택트 프로브의 상면도이다.

※ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1, 31 : 프로브 헤드 2 : 캔틸레버

3 : 홀드 필름 3a : BCB 시트

4, 51, 52, 53, 85, 85a∼85d, 93, 104 : 압전소자

4a, 92, 101 : 지지부재 5 : 이방성 도전필름

10, 30, 60, 70, 80, 90, 100 : 콘택트 프로브

11 : 가동부 12 : 고정부

13 : FPC 14 : 프로브 블럭

20 : 계측장치 21 : 계측부

22 : 발진부 23 : 제어부

41 : 웨이퍼 기판 43 : 시드층

55 : 검사 전극 단자부 61 : 박막 코일

72 : 대향 빗살 전극 81, 82 : 바늘형상 부재

83 : 스프링부재 84 : 홀더

86 : 리드선 91 : 바늘형상 부재

102 : 배선 패턴 103 : 범프

105 : 간극

이하, 본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태인 콘택트 프로브에 대하여 설명한다. 또한 여기서는 LCD 패널의 검사에 사용하는 콘택트 프로브에 대하여 설명한다.

(실시형태 1)

도 1은 본 발명의 실시형태 1인 콘택트 프로브의 구성을 나타내는 사시도이다. 도 1에서 콘택트 프로브(10)는 액정 패널 등의 전자부품의 전극에 프로브 헤드(1)를 하강시켜, 전극과 프로브 헤드(1)를 접촉시킴으로써 전기적인 검사를 행한다. 이 콘택트 프로브(10)는 캔틸레버 빔구조인 복수의 캔틸레버(2)를 병렬 배치한 것으로, 캔틸레버(2)의 선단부에는 삼각판형상으로 선단이 뾰족한 프로브 헤드(1)가 수직하게 설치되어 있다. 콘택트 프로브(10)는 크게 나누어 프로브 헤드(1)측의 가동부(11)와 기초부측의 고정부(12)로 이루어진다. 가동부(11) 및 고정부(12)의 길이는 각각 2 mm 정도이다.

캔틸레버(2)는 Ni로 형성되고, 표면이 Au-Co 합금에 의하여 1㎛의 도금이 실시되어 있다. 이 캔틸레버(2)는, 400개가 병렬 배치되어 도 2에 나타내는 바와 같이 40㎛ 피치로 배열된다. 캔틸레버(2)는 판형상으로 형성되고, 두께가 20㎛, 폭이 100㎛, 프로브 헤드의 높이가 100㎛ 이고, 인접하는 캔틸레버(2)의 간극은 20㎛이다.

캔틸레버(2)의 가동부(11)측의 상면에는 각 캔틸레버(2)를 덮도록 각 캔틸레버(2)를 접속하여 유지하는 홀드 필름(3)이 설치된다. 홀드 필름(3)은 두께가 5∼10㎛ 이고, 캔틸레버(2)에 비하여 저탄성체로 형성되어 있다. 예를 들면 BCB(벤조사이클로부텐)수지에 의하여 형성되어 있다.

고정부(12)의 프로브 헤드(1)측에는, 홀드 필름(3)과 동일한 재질에 의하여 각 캔틸레버(2)를 덮어 접속하는 지지부재(4a)가 설치되고, 그 상면에 압전소자(4)가 설치된다. 이 압전소자(4)는 캔틸레버(2)의 길이방향으로 분극하여 신축한다. 이 때문에 압전소자(4)가 압전효과에 의하여 신축하면, 각 캔틸레버(2)의 상면측이 신축하고, 각 캔틸레버(2)의 선단측이 상하로 진동하게 된다. 압전소자(4)는 PZT에 의하여 형성되고, 두께 10㎛ 이며, 전극은 Pt가 패턴 형성되고, 이 전극의 두께는 0.5㎛ 이다.

고정부(12)의 기초부측에는 이방성 도전 필름(5)이 캔틸레버(2)의 상면에 형성되고, 각 캔틸레버(2)를 전기적으로 접속하고 있다. 즉, 이방성 도전 필름(5)은 캔틸레버(2)와 이방성 도전 필름(5)이 접하는 면에 수직한 방향으로 도전성을 가지고, 상면에 대한 인출 전극으로서의 기능을 하고 있다.

압전소자(4)의 전극 및 이방성 도전 필름의 인출단은 계측장치(20)측에 전기적으로 접속되고, 압전소자(4)의 전극은 발진부(22)에 접속되고, 이방성 도전 필름의 인출단은 계측부(21)에 접속된다. 제어부(23)는 계측부(21) 및 발진부(22)를 제어한다. 특히, 프로브 헤드(1)가 검사 대상의 전극에 접촉하였을 때에 제어부(23)는 발진부(22)로부터 소정 주파수의 신호를 출력하여 압전소자(4)를 구동함으로써, 프로브 헤드(1)와 검사 대상 전극과의 사이의 산화피막이나 오염을 확실하게 제거하여 확실한 접촉을 행하게 한다.

도 3에 나타내는 바와 같이 이 콘택트 프로브(10)와 계측장치(20)와의 전기적인 접속은, 플렉시블 케이블(FPC)(13)을 사용할 수 있다. 도 4에 나타내는 바와 같이 이 FPC(13)는 프로브 블럭(14)에 대한 설치에도 사용된다. 또한 콘택트 프로브(10)는 프로브 블럭(14)의 수평면에 대하여 아래쪽으로 경사져 설치된다. 따라서 도 5에 나타내는 바와 같이 프로브 헤드(1)의 형상은, 프로브 헤드(31)와 같이 삼각판형상이 아니고, 직사각형판 형상이어도 좋다. 중요한 것은 하부방향으로 뾰족한 부분을 가지면 좋다.

여기서 콘택트 프로브(10)의 제조방법의 개요를, 도 6a∼도 6f를 참조하여 설명한다. 먼저 Si 웨이퍼 기판(41) 위에 형성된 SiO₂를 레지스트에 의하여 프로브 헤드(1)가 형성되는 면을 개구하고, 이방성 에칭에 의하여 단면이 삼각형상의 구멍을 형성한다(도 6a). 그 후, 일렉트로 포밍용 시드층(43)과, 캔틸레버(2)의 판 두께, 즉 100㎛에 상당하는 레지스트를 형성한다(도 6b). 그 후 리엑티브 이온 에칭에 의하여 캔틸레버(2)에 대응하는 영역의 레지스트를 제거한다(도 6c). 또한 이 제거한 영역에 선형상의 Ni를 일렉트로 포밍하여 캔틸레버(2)를 형성한다(도 6d). 그 후, 이 캔틸레버의 상면을 덮도록 BCB를 적층하여 홀드 필름(3) 및 지지부재(4a)를 형성한다(도 6e). 또한 지지부재(4a) 위에 압전소자(4)를 형성한다. 즉, PZT와 이것에 전압을 인가하는 전극인 패턴을 Pt에 의하여 형성한다(도 6f). 그 후, Si 웨이퍼 기판(41)이 제거되고, 이방성 도전 필름을 접속함으로써 콘택트 프로브(10)가 형성되게 된다.

그런데, 도 1에 나타낸 콘택트 프로브(10)의 압전소자(4)는 캔틸레버(2)의 길이방향으로 신축 구동하는 것이었으나, 도 7에 나타내는 압전소자(51)와 같이 캔틸레버(2)의 길이방향에 수직한 방향으로 신축 구동하게 하여도 좋다. 도 1에서는 캔틸레버(2)가 길이방향으로 신축 구동함으로써 프로브 헤드(1)가 상하로 미소 진동하여 상기한 바와 같이 산화피막 등을 용이하게 돌파할 수 있으나, 도 7에서는 캔틸레버(2)의 길이방향에 수직한 방향으로 신축 구동함으로써, 캔틸레버(2)의 피치를 가변 설정할 수 있다. 캔틸레버(2)의 피치는 온도 등의 환경조건에 의하여 변화하기 때문에, 이 수직한 방향으로의 신축운동에 의하여 피치를 조정할 수 있다.

또한 캔틸레버(2)를 길이방향으로 신축시켜 프로브 헤드(1)를 접촉면에 대하여 대략 수직한 방향으로 진동하도록 하여도 좋고, 프로브 헤드(1)를 접촉면에 대하여 대략 수평인 방향, 예를 들면 좌우 전후로 진동시키도록 하여도 좋다. 또한 이것들의 진동방향을 적절하게 조합시키도록 하여도 좋다.

또, 도 8에 나타내는 바와 같이 캔틸레버(2)의 길이방향으로 신축 구동하는 압전소자(52)를 각 캔틸레버(2)마다 설치하도록 하여도 좋다. 이것에 의하여 원하는 캔틸레버(2)에 대해서만 미소 진동을 일으키게 하여 전기적인 접촉을 확실하게 행할 수 있다. 즉, 각 캔틸레버(2)의 미소 진동에 의하여 검사 대상 전극상의 오염을 제거하여 산화피막 등을 돌파하도록 하고, 이것에 의하여 콘택트 표면을 노출시켜 낮은 콘택트 가중으로 원하는 접촉저항을 확보할 수 있기 때문에, 콘택트 프로브에 인가되는 부하가 경감되어 아주 좁은 피치를 유지한 소형화를 실현하면서 수명이 길고 정밀도가 높은 콘택트 프로브를 실현할 수 있다.

또한 도 9에 나타내는 바와 같이 캔틸레버(2)의 길이방향에 수직한 방향으로 신축 구동하는 압전소자(53)를 인접하는 캔틸레버(2) 사이에 각각 설치하도록 하여도 좋다. 이것에 의하여 피치를 한층 더 미세하고 또한 유연하게 조정할 수 있다.

또, 상기한 콘택트 프로브(10)는, 캔틸레버 빔구조이었으나, 이것에 한정하 지 않고 양쪽 끝에서 지지하는 구조이어도 좋다.

또한, 도 10에 나타내는 바와 같이 2개의 콘택트 프로브(10)를 대향시켜 각 캔틸레버(2)의 선단을 지그재그 배치하는 구성으로 하여도 좋다. 이 경우, 각 프로브 헤드의 피치는 하나의 프로브 헤드의 경우에 비하여 반감되어, 한층 좁은 피치의 전극검사에도 대응할 수 있다.

또 상기한 홀드 필름(3)은, 캔틸레버(2)의 상면에 형성하도록 하고 있으나, 이것에 한정하지 않고, 캔틸레버(2)의 하면을 덮도록 형성하여도 좋고, 캔틸레버(2) 사이를 메우도록 형성하여도 좋다.

또한 상기한 압전소자의 구성 등은 임의로 조합 가능하다.

또한, 캔틸레버(2)의 모재는 Ni로 형성하고 있었으나, 이것에 한정하지 않고, Fe계 합금, Ni계 합금, Cu계 합금, 알루미늄, 텅스텐, 실리콘, 카본 등의 금속, 폴리이미드 등의 수지, 알루미나(Al₂O₃)나 실리카(SiO₂) 등의 세라믹스이어도 좋다. 또 캔틸레버(2)의 도금은, Au, Rd, Pt 등의 고도전성 금속이 바람직하다. 또한 홀드 필름(3)이나 지지부재(4a)는, BCB에 한정하지 않고, 폴리이미드 등으로 실현하여도 좋다. 또, 압전소자(4)는 그 밖의 압전재료에 의하여 형성하여도 좋고, 예를 들면 LiNbO₃에 의하여 실현하여도 좋다.

(실시형태 2)

다음에 본 발명의 실시형태 2에 대하여 설명한다. 상기한 실시형태 1에서는 압전소자(4)를 이용하여 캔틸레버(2)의 선단을 미소 진동시키도록 하고 있었으나, 이 실시형태 2에서는 박막 코일(61)을 설치하여 자장 내에서 통전함으로써 캔틸레버(2)의 선단을 미소 진동시키도록 하고 있다.

도 11은 본 발명의 실시형태 2인 콘택트 프로브의 개요구성을 나타내는 사시도이다. 도 11에 나타내는 바와 같이 이 콘택트 프로브(60)는 압전소자(4) 대신에 박막 코일(61)을 홀드 필름(3) 위에 설치하고 있다. 그 밖의 구성은 실시형태 1과 동일하다.

이 박막 코일(61)은 Cu나 Ni 등의 도전성 재료에 의하여 실현되나, 도 11에서는 두께 2㎛, 폭 20㎛의 Cu를 30번 감은 코일에 의하여 실현하고 있다. 박막 코일(61)은 홀드 필름(3) 위에 형성된 BCB 시트(3a) 위에 형성되고, 박막 코일(61)의 중앙부는 이 BCB 시트(3a)의 이면에 접속되고, 홀드 필름(3) 위의 패드에 전기적으로 접속되어 있다.

박막 코일(61)이 자장 내에서 통전되면 이 통전량에 따라 변위하여 교류신호를 인가함으로써 캔틸레버(2)의 선단부분은 미소 진동한다.

(실시형태 3)

다음에 본 발명의 실시형태 3에 대하여 설명한다. 상기한 실시형태 1에서는 압전소자(4)를 이용하여 캔틸레버(2)의 선단부분을 미소 진동시키도록 하였으나, 이 실시형태 3에서는 캔틸레버(2)를 빗살 전극의 한쪽으로 함으로써, 미소 진동시키도록 하고 있다.

도 12는 본 발명의 실시형태 3인 콘택트 프로브의 개요구성을 나타내는 사시도이다. 도 12에 나타내는 바와 같이 이 콘택트 프로브(70)는 압전소자(4)나 박막 코일(61)을 설치하지 않고, 각 캔틸레버(2) 사이에 대향 빗살 전극(72)을 형성하고, 이 대향 빗살 전극(72)과 캔틸레버(2)로 빗살 전극을 형성하고 있다.

대향 빗살 전극(72)에 전압을 인가하면 대향 빗살 전극(72)과 캔틸레버(2)와의 사이의 정전력에 의하여 캔틸레버(2)가 상하로 변화된다. 따라서 대향 빗살 전극(72)에 인가하는 전압을 교류신호로 함으로써, 캔틸레버(2)의 선단부분이 미소 진동하게 된다.

(실시형태 4)

다음에 본 발명의 실시형태 4에 대하여 설명한다. 상기한 실시형태 1∼3에서는 모두 캔틸레버 구조이었으나, 이 실시형태 4에서는 바늘형상 부재와 스프링부재를 사용한 콘택트 프로브에 진동수단을 설치하도록 하고 있다.

도 13은 본 발명의 실시형태 4인 콘택트 프로브의 개요구성을 나타내는 단면도이다. 또 도 14는 도 13에 나타낸 콘택트 프로브의 이면을 나타내는 도면이다. 도 13 및 도 14에서 이 콘택트 프로브(80)는, 접촉면에 대하여 수직한 방향으로 연장되는 홀더(84)가 복수, 소정 피치로 배치되고, 각 홀더(84) 내에는 리드선(86)측과의 접촉을 취하는 바늘형상 부재(81)와, 스프링부재(83)와, 검사 대상 전극과의 접촉을 취하는 바늘형상 부재(82)가 각각 전기적으로 고착된 상태로 넣어지고, 바늘형상 부재(82)의 선단부분이 홀더(84)의 검사 대상 전극측의 개구부로부터 신축 자유롭게 돌출하여 검사 대상 전극에 콘택트 가중을 인가하여 접촉한다.

바늘형상 부재(82)의 선단부분이 돌출하는 개구부를 가지는 지지부재의 면에는 압전소자(85)가 배치된다. 이 압전소자(85)에 전압을 인가하여 미소 진동시킴 으로써 바늘형상 부재(82)를 지지부재의 면에 대하여 수평방향으로 미소 진동시킬 수 있고, 이것에 의하여 바늘형상 부재(82)의 선단부분과 검사 대상 전극과의 사이의 접촉을 확실하고, 또한 낮은 콘택트 가중으로 접촉시킬 수 있다. 또 바늘형상 부재(82) 사이의 피치를 가변으로 할 수 있다.

이 경우, 도 14에 나타내는 바와 같이 복수의 영역에 압전소자(85a∼85d)를 배치함으로써 정지상태의 바늘형상 부재(82)가 없어지고, 모든 바늘형상 부재(82)를 수평방향으로 미소 진동시킬 수 있다.

또한 압전소자(85)의 진동방향을 검사 대상 전극에 대하여 수직한 방향으로 하여 바늘형상 부재(82)를 상하 이동시킴으로써, 바늘형상 부재(82)의 선단부분과 검사 대상 전극과의 사이의 접촉을 확실하고, 또한 낮은 콘택트 가중으로 접촉시키도록 하여도 좋다.

(실시형태 5)

다음에 본 발명의 실시형태 5에 대하여 설명한다. 이 실시형태 5에서는 강성이 높은 복수의 바늘형상 부재를 가진 콘택트 프로브에 진동수단을 설치하도록 하고 있다.

도 15는 본 발명의 실시형태 5인 콘택트 프로브의 개요구성을 나타내는 사시도이다. 도 15에 나타내는 바와 같이 이 콘택트 프로브(90)는 선단부분이 원추형상이 된 원주부재가 병렬 배치되고, 이 선단부분이 약 90도로 구부러져 검사 대상 전극방향에 면한 복수의 바늘 프로브(91)를 가진다. 복수의 바늘 프로브(91)는 기초부측에서 지지부재(92)에 의하여 각 바늘 프로브(91) 사이의 피치가 유지되고, 이 지지부재(92)의 상면에는 압전소자(93)가 설치되어 있다.

압전소자(93)의 미소 진동에 의하여 바늘 프로브(91)의 선단부분이 미소 진동하고, 이것에 의하여 바늘 프로브(91)의 선단과 검사 대상 전극과의 사이의 접촉을 확실하고, 또한 낮은 콘택트 가중으로 접촉할 수 있다. 또한 상기한 실시형태 1∼4와 마찬가지로 압전소자(93)의 미소 진동방향은 검사 대상 전극의 면에 대하여 평행한 방향이어도 좋고, 수직한 방향이어도 좋다. 또 압전소자(93)에 인가하는 전압에 의하여 바늘 프로브(91)의 선단을 평행한 방향으로 넓혀 피치를 가변으로 설정할 수도 있다.

(실시형태 6)

다음에 본 발명의 실시형태 6에 대하여 설명한다. 이 실시형태 6에서는 지지부재의 면에 복수의 범프를 형성한 콘택트 프로브에 진동수단을 설치하도록 하고 있다.

도 16은 본 발명의 실시형태 6인 콘택트 프로브의 개요구성을 나타내는 사시도이다. 또 도 17은 도 16에 나타낸 콘택트 프로브의 상면도이다. 도 16 및 도 17에서 이 콘택트 프로브(100)는 폴리이미드 등에 의하여 실현되는 평판상의 지지부재(101)를 가지고, 이 지지부재(101)의 한쪽 면의 가장자리 근방에 Ni로 형성되는 복수의 범프(103)를 직선형상으로 배치된다. 이 범프(103)가 검사 대상 전극과 접촉하게 된다. 각 범프(103) 사이는 소정의 피치로 배치되고, 각각 Ni로 실현되는 배선 패턴(102)에 의하여 리드된다.

지지부재(101)의 다른쪽 면으로서 기초부측에는 압전소자(104)가 설치된다. 또한 범프(103)와 그 근방의 배선패턴에 대응하는 지지부재(101)의 부분은 다이싱소어 등에 의하여 간극(105)을 형성하여, 각 범프(103)부분의 진동이 하기 쉽도록 하고 있다.

이 실시형태 6에서는 상기한 실시형태 1∼5와 마찬가지로 압전소자(104)의 미소 진동에 의하여 범프(103)가 미소 진동하고, 이것에 의하여 범프(103)와 검사 대상 전극과의 사이의 접촉을 확실하고, 또한 낮은 콘택트 가중으로 접촉할 수 있다. 또한 상기한 실시형태 1∼5와 마찬가지로 압전소자(104)의 미소 진동방향은 검사 대상 전극의 면에 대하여 평행한 방향이어도 좋고, 수직한 방향이어도 좋다. 또 압전소자(104)에 인가하는 전압에 의하여 범프(103)를 평행한 방향으로 넓혀 피치를 가변으로 설정할 수도 있다.

또한 상기한 실시형태 1∼6에서는 복수의 프로브를 가진 콘택트 프로브에 대하여 설명하였으나, 이것에 한정하지 않고, 하나의 프로브로 구성된 콘택트 프로브이어도 좋다. 또 상기한 실시형태 1∼6에서는 압전소자 등의 진동수단이 프로브의 기초부측에 설치되어 있었으나, 이것에 한정하지 않고 프로브의 선단측에 배치하여도 좋다. 중요한 것은 프로브의 선단부분이 진동하면 좋다.

또한 상기한 실시형태 1∼6에 나타낸 구성요소는 적절하게 조합 가능하다.

이상과 같이 본 발명에 관한 콘택트 프로브는, 액정 패널이나 집적회로 등의 전자부품의 전극 또는 단자부에 접속하고, 이 전자부품에서의 도통상태 검사나 동작시험에 적합하다.

Claims

검사 대상물을 전기적으로 검사할 때에 해당 검사 대상물에 직접 접속하는 프로브를 가진 콘택트 프로브에 있어서,

상기 프로브를 미소 진동시키는 진동수단을 구비하고,

상기 프로브는, 박판형상 부재이고, 판면방향이 가압방향이며,

상기 판형상 부재는, Ni이고, 두께에 대한 폭의 비가 5 이상인 것을 특징으로 하는 콘택트 프로브.
검사 대상물을 전기적으로 검사할 때에 해당 검사 대상물에 직접 접속하는 프로브를 가진 콘택트 프로브에 있어서,

상기 프로브를 미소 진동시키는 진동수단을 구비하고,

복수의 프로브를 가지며, 상기 복수의 프로브는, 각 프로브의 피치를 유지하는 유지부재에 의하여 덮여져 있는 것을 특징으로 하는 콘택트 프로브.
제 1항 또는 제 2항에 있어서,

상기 진동수단은, 상기 프로브 위에 설치된 압전소자이고, 상기 압전소자를 구동함으로써 상기 프로브를 미소 진동시키는 것을 특징으로 하는 콘택트 프로브.
검사 대상물을 전기적으로 검사할 때에 해당 검사 대상물에 직접 접속하는 프로브를 가진 콘택트 프로브에 있어서,

상기 프로브를 미소 진동시키는 진동수단을 구비하고,

상기 진동수단은, 상기 프로브 위에 설치된 코일이고, 자장이 형성되는 영역에서 상기 코일에 인가하는 전류를 변화시킴으로써 상기 프로브를 미소 진동시키는 것을 특징으로 하는 콘택트 프로브.
검사 대상물을 전기적으로 검사할 때에 해당 검사 대상물에 직접 접속하는 프로브를 가진 콘택트 프로브에 있어서,

상기 프로브를 미소 진동시키는 진동수단을 구비하고,

상기 진동수단은, 복수의 빔(beam)형상의 프로브 사이에 설치된 복수의 고정 프로브를 더 설치하여 형성된 빗살 전극이고, 각 프로브와 각 고정 프로브와의 사이에 인가되는 전압을 변화시킴으로써, 상기 프로브를 미소 진동시키는 것을 특징으로 하는 콘택트 프로브.
제 1항, 제 2항 또는 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 프로브는, 빔 형상의 프로브인 것을 특징으로 하는 콘택트 프로브.
제 1항, 제 2항 또는 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 프로브는, 바늘 프로브인 것을 특징으로 하는 콘택트 프로브.
제 1항 또는 제 2항에 있어서,

상기 진동수단은, 프로브 선단을 접촉면에 대하여 수직방향으로 진동시키는 것을 특징으로 하는 콘택트 프로브.
제 1항 또는 제 2항에 있어서,

상기 진동수단은, 프로브 선단을 접촉면에 대하여 평행하게 진동시키는 것을 특징으로 하는 콘택트 프로브.
제 3항에 있어서,

상기 프로브는, 빔 형상의 프로브인 것을 특징으로 하는 콘택트 프로브.
제 3항에 있어서,

상기 프로브는, 바늘 프로브인 것을 특징으로 하는 콘택트 프로브.
제 3항에 있어서,

상기 진동수단은, 프로브 선단을 접촉면에 대하여 수직방향으로 진동시키는 것을 특징으로 하는 콘택트 프로브.
제 3항에 있어서,

상기 진동수단은, 프로브 선단을 접촉면에 대하여 평행하게 진동시키는 것을 특징으로 하는 콘택트 프로브.