JPH06313785A - 振動による実装部品の半田付け不良検出方法並びに加振装置及び加振、測定プローブユニット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 基板検査装置を用いて実装部品の電極の半田
付け不良を確実に検出できる方法と、その検出に使用す
るのに好適な装置等を提供する。 【構成】 基板検査装置を用い、１本の測定プローブ３
２を基板２２に実装した電子部品２４に接触し、他の１
本の測定プローブ３４を基板２２のパターン３０に接触
して、電子部品２４とパターン３０の間の電気的状態を
測定し、測定結果から電子部品２４の電極２８の半田付
け状態の良否を判定する。しかも、測定時に電子部品２
４の電極２８の半田付け箇所に振動を加える。そこで、
加振装置３８として、実装部品２４の電極２８に接触す
る加振プローブ４０と、その加振プローブ４０を駆動し
て振動させるアクチュエータ４２とを備えたものを用い
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はインサーキットテスタ等
の基板検査装置を用いて行うプリント基板に実装したＩ
Ｃ等の電子部品の半田付け不良検出方法並びにその検出
時に使用する加振装置及び加振、測定プローブユニット
に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、実装基板即ち多数の電子部品を半
田付けしたプリント基板はインサーキットテスタを用い
て、その基板の必要な各測定点に適宜プローブを接触さ
せ、それ等の各部品の電気的測定によって基板の良否の
判定を行っている。特に、被検査基板を載せる測定台上
にＸ−Ｙユニットを設置したものは、そのＸ軸方向に可
動するアームの上に、Ｙ軸方向に可動するＺ軸ユニット
を備え、そのＺ軸ユニットでプローブをＺ軸方向に可動
可能に支持しているので、そのＸ−Ｙユニットを制御す
ると、プローブを基板の上方からＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向
にそれぞれ適宜移動して、予め設定した各測定点に順次
接触できる。しかも、１部品毎に複数個の測定点を同時
に測定しなければならないので、通常インサーキットテ
スタには複数のＸ−Ｙユニットを備え付ける。

【０００３】このようなインサーキットテスタを用い
て、プリント基板に実装したＩＣ（集積回路）の半田付
け状態を検査する場合、図１７に示すように１本のプロ
ーブ１０をＩＣ１２の電極（リード）１４に接触させ、
他の１本のプローブ１６をプリント基板１８のパターン
２０に接触させた後、それ等の電極１４とパターン２０
の間の導通状態を知るため、抵抗値を測定して電極１４
の半田付け状態（接触状態）の良否の判定を行ってい
る。なお、これ等の測定プローブ１０、１６には通常軸
方向にスプリング性を有するものを用い、先端を測定点
に当て、静荷重を加えることによって電気的接触を得
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな測定プローブ１０、１６を用いると、そのスプリン
グ荷重により、本来不良品であるものを良品と判定し易
く問題がある。何故なら、図１８に示すようにＩＣ１２
の電極１４の先端部が半田付け不良のため、パターン２
０から離れていても（足浮き状態）、そこに測定プロー
ブ１０の先端が当ってスプリング荷重が加わると、図１
７に示すように電極１４の先端部がパターン２０と良好
に接触してしまうからである。

【０００５】本発明はこのような従来の問題点に着目し
てなされたものであり、基板検査装置を用いて実装部品
の半田付け不良を確実に検出し得る方法と、その検出に
使用するのに好適な装置等を提供することを目的とす
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明による実装部品の半田付け不良検出方法では
基板検査装置を用い、そこに備えられている１本の測定
プローブ３２をプリント基板２２に実装した電子部品２
４に接触し、他の１本の測定プローブ３４をプリント基
板２２のパターン３０に接触して、それ等の電子部品２
４とパターン３０の間の電気的状態を測定し、その測定
結果から電子部品２４の半田付け状態の良否の判定を行
う。しかも、その測定時に電子部品２４の電極２８の半
田付け箇所に振動を加える。

【０００７】そして、実装した電子部品の半田付け箇所
に振動を加える装置として、実装部品２４の電極２８に
接触する加振プローブ４０と、その加振プローブ４０を
駆動して振動させるアクチュエータ４２とを備えた加振
装置３８を用いる。又は、加振装置１００と１本又は２
本の測定プローブ１０２、１０４とを一体型にした加
振、測定プローブユニット８８を用いる。又は、実装部
品２４の電極２８に接触する測定兼用加振プローブ１３
４と、その測定兼用加振プローブ１３４を駆動して振動
させるアクチュエータ１３６とを備えた加振装置１３２
を用いる。

【０００８】又は、実装部品２４の本体２６に接触する
振動子１４４と、その振動子１４４を駆動して振動させ
るアクチュエータ１４６とを備えた加振装置１４２を用
いる。又は、実装基板２２に接触する振動子１５６と、
その振動子１５６を駆動して振動させるアクチュエータ
１５８とを備えた加振装置１５４を用いる。又は、実装
部品２４の電極２８に向けて音波を発射する音波発射ノ
ズル１８４と、その音波発射ノズル１８４の内部の空気
を振動させる空気振動器１８６とを備えた加振装置１８
２を用いる。

【０００９】

【作用】上記のように構成し、測定時に電子部品２４の
電極２８の半田付け箇所に振動を加えると、測定プロー
ブ３２等が電子部品２４の電極２８或いは本体２６に接
触し、そこにスプリング等の荷重が加わっていても、半
田付けが足浮き状態等で不十分な場合には振動に従って
電極２８がパターン３０と接触、断絶を繰り返すように
なる。そこで、電子部品２４とパターン３０の間の電気
的状態を測定すると、そのような接、断を明確に示す測
定結果が得られる。又、半田付け状態に幾分欠陥がある
場合でもその状態を示す測定結果が得られる。なお、振
動は連続的なものでなく、衝撃であってもよい。

【００１０】実装部品２４の電極２８に接触する加振プ
ローブ４０を備えた加振装置３８を用いると、検査の対
象となる電極２４に直接振動を加えることができる。
又、加振装置１００と１本又は２本の測定プローブ１０
２、１０４を一体型にした加振、測定プローブユニット
８８を用いると、加振装置１００と１本又は２本の測定
プローブ１０２、１０４を同時に操作できる。又、実装
部品２４の電極２８に接触する測定兼用加振プローブ１
３４を備えた加振装置１３２を用いると、そのプローブ
１３４で電極２８に直接振動を加えながら測定を行え
る。

【００１１】又、実装部品２４の本体２６に接触する振
動子１４４を備えた加振装置１４２を用いると、電子部
品２４の本体２６に振動を加えることにより、その部品
２４に備えられている全ての電極２８に振動を加えるこ
とができる。又、実装基板２２に接触する振動子１５６
を備えた加振装置１５４を用いると、プリント基板２２
に振動を加えることにより、そこに実装されている全て
の電子部品２４等に振動を加え、更に各部品２４等に備
えられている全ての電極２８等に振動を加えることがで
きる。又、実装部品２４の電極２８に向けて音波を発射
する音波発射ノズル１８４を備えた加振装置１８２を用
いると、そのノズル１８４を接触させずに電極２８に直
接振動を加えることができる。

【００１２】

【実施例】以下、添付図面に基づいて、本発明の実施例
を説明する。図１は本発明を適用した加振装置付きイン
サーキットテスタによる半田付け状態検査時のＩＣ電極
に対する加振プローブと測定プローブの設置状態を示す
概略図である。図中、２２はインサーキットテスタの測
定台上に設置した被検査基板、２４はその基板２２に実
装したＩＣ、２６はそのＩＣ２４の本体、２８はその本
体２６から突出する電極、３０は基板２２に設けたパタ
ーンである。又、３２、３４は測定台の上方にそれぞれ
設置した各Ｘ−Ｙユニットに備え付けた測定プローブ、
３６はそれ等の測定プローブ３２、３４に接続する計測
回路、３８はやはり測定台の上方に設置した他のＸ−Ｙ
ユニットに備え付けた加振装置、４０はその加振装置３
８の加振プローブ、４２はその加振プローブ４０を駆動
して振動させるアクチュエータである。

【００１３】このような加振装置のアクチュエータを可
動コイル型にする場合には、図２に示す構成にする。図
中、４４は加振装置、４６はその可動コイル型アクチュ
エータ、４８はその永久磁石、５０はその磁界中に設置
した可動コイル、５２はそのアクチュエータ４６で支持
する加振プローブ、５４は加振信号源、５６は静荷重設
定用電源、５８は電力増幅器である。この加振装置４４
を用い、ＩＣ２４に備えた電極２８の半田付け状態を検
査するには、先ず一方の測定プローブ３２を電極２８の
肩部に、加振プローブ５２を電極２８の半田付け箇所た
る先端部に、他方の測定プローブ３４をパターン３０に
それぞれ接触させる。そこで、加振信号源５４をオンに
すると、電力増幅器５８より可動コイル５０に加振電流
が流れ、加振プローブ５２が矢印方向に振動を開始す
る。しかも、電源５６の電圧を調節すると、加振プロー
ブ５２の先端が電極２８に作用する静荷重を設定でき
る。なお、測定プローブは半田付け箇所以外の箇所や半
田付け箇所にプローブの接触応力を伝えない箇所に接触
させるとよく、加振プローブは半田付け箇所に振動のみ
を伝達すればよいので、必ずしも半田付け箇所に接触さ
せず、半田付け箇所付近のパターン上やプリント基板上
に接触させてもよい。

【００１４】このようにして、例えば周波数５００Ｈ
ｚ、振幅０．２Ａの加振電流を可動コイル５０に流し、
加振プローブ５２の静荷重を５０ｇｆに設定し、計測回
路３６により電極２８とパターン３０の間の抵抗値を測
定すると、半田付け状態が良好な場合には、図３に示す
ように振動開始から時間が経過しても抵抗値がほぼ零で
一定の測定結果が得られる。

【００１５】しかし、足浮き状態等で半田付け状態が不
良の場合には測定プローブ３２のスプリング荷重が肩部
に加わっていても、加振プローブ５２の振動に従って電
極２８の先端部が矢印方向に振動を開始し、電極２８が
パターン３０と接触、断絶を繰り返すようになる。それ
故、図４に示すように抵抗値がほぼ零から測定オーバー
まで繰り返して変化し、電極２８とパターン３０の接、
断を明確に示す測定結果が得られる。又、半田付け状態
に幾分欠陥がある場合にも、電極２８をゆすることによ
り、抵抗値が欠陥に応じて零から変化し、その状態を示
す測定結果が得られる。従って、測定結果からＩＣ２４
の電極２８の半田付け状態の良否を確実に判定できる。
なお、振動は連続的なものでなく、衝撃であってもよ
く、半田付け状態の良否は電極２８とパターン３０の間
の静電容量等の電気的状態を測定しても判定できる。

【００１６】又、加振装置のアクチュエータを圧電型に
する場合には、図５に示す構成にする。図中、６０は加
振装置、６２はその圧電型アクチュエータ、６４はその
ＰＺＴ（チタンジルコン酸鉛）等からなる圧電振動子、
６６はそのアクチュエータ６２で支持する加振プロー
ブ、６８は加振信号源、７０は電圧増幅器である。この
加振装置６０を用いて、半田付け状態を検査する際に
も、同様に一方の測定プローブ３２を電極２８の肩部
に、加振プローブ６６を電極２８の先端部に、他方の測
定プローブ３４をパターン３０にそれぞれ接触させた
後、加振信号源６８をオンにする。すると、圧電振動子
６４の体積が信号の電圧に比例して変わり、加振プロー
ブ６６が振動を開始し、その振動が電極２８の先端部に
加わる。そこで、計測回路３６により電極２８とパター
ン３０の間の抵抗値等を測定すると、半田付け状態が不
良の場合には電極２８とパターン３０の接触、断絶等を
明確に示す測定結果が得られる。

【００１７】又、加振装置のアクチュエータをシリンダ
型にする場合には、図６に示す構成にする。図中、７２
は加振装置、７４はそのシリンダ型アクチュエータ、７
６はそのエアシリンダ、７８はそのピストンと一体の加
振プローブ、８０は圧縮空気源、８２は電磁弁である。
この加振装置７２を用いて、半田付け状態を検査する際
にも、同様に測定プローブ３２、３４、加振プローブ７
８等を電極２８、パターン３０の所定箇所にそれぞれ接
触させた後、圧縮空気源８０をオンにし、圧縮空気を電
磁弁８２を介してエアシリンダ７６に与える。その際、
圧縮空気を矢印方向に上側の配管８４から供給する時に
は下側の配管８６から抜き、下側の配管８６から供給す
る時には上側の配管８４から抜くと、加振プローブ７８
が振動を開始し、その振動が電極２８に加わる。それ
故、半田付け状態が不良の場合には電極２８とパターン
３０の接触、断絶等を明確に示す測定結果が得られる。

【００１８】図７は本発明を適用した加振装置付きイン
サーキットテスタによる半田付け状態検査時のＩＣ電極
に対する加振、測定プローブユニットに備えた加振プロ
ーブと測定プローブの設置状態を示す概略図である。図
中、８８は１組のＸ−Ｙユニットに備え付けた加振、測
定プローブユニット、９０は加振信号源、９２は増幅
器、９４は計測回路である。この加振、測定プローブユ
ニット８８は例えば圧電型のアクチュエータ９６と加振
プローブ９８とを備えた加振装置１００と、２本の測定
プローブ１０２、１０４を一体型にしたものである。そ
れ故、１組のＸ−Ｙユニットを用いるだけで、加振装置
１００と２本の測定プローブ１０２、１０４とを同時に
操作できる。なお、加振装置１００といずれか一方の測
定プローブ１０２又は１０４とを一体型にしてユニット
を構成することも可能である。

【００１９】図８は本発明を適用した加振装置付きイン
サーキットテスタによる半田付け状態検査時の一般電子
部品の電極に対する加振プローブと測定プローブの設置
状態を示す概略図である。図中、１０６は被検査基板、
１０８はその基板１０６に実装した抵抗等の一般電子部
品、１１０はその電子部品１０８の本体、１１２、１１
４はその本体１１０から左右にそれぞれ突出する電極、
１１６は基板１０６に設けたパターンである。又、１１
８、１２０は各Ｘ−Ｙユニットにそれぞれ備え付けた測
定プローブ、１２２はそれ等の測定プローブ１１８、１
２０に接続する計測回路、１２４はやはり他のＸ−Ｙユ
ニットに備え付けた加振装置、１２６はその加振装置１
２４の加振プローブ、１２８はその加振プローブ１２６
を駆動して振動させる可動コイル型、圧電型、シリンダ
型等のアクチュエータである。なお、加振プローブ１２
６の先端部１３０は少し拡大し、電極１１４の先端と良
好に接触するようにする。

【００２０】図９は本発明を適用した加振装置付きイン
サーキットテスタによる半田付け状態検査時のＩＣ電極
に対する測定兼用加振プローブの設置状態を示す概略図
である。図中、１３２は１組のＸ−Ｙユニットに備え付
けた加振装置、１３４はその加振装置１３２の測定兼用
加振プローブ、１３６はその測定兼用加振プローブ１３
４を駆動して振動させる可動コイル型、圧電型、シリン
ダ型等のアクチュエータ、１３８は他のＸ−Ｙユニット
に備え付けた測定プローブ、１４０はそれ等のプローブ
１３４、１３８に接続した計測回路である。このような
測定兼用加振プローブ１３４を備えた加振装置１３２を
用いると、そのプローブ１３４で電極２８に直接振動を
加えながら測定を行える。しかも、測定と加振のプロー
ブを兼用したので、電極２８が小さくても対応できる。

【００２１】そこで、アクチュエータ１３６として可動
コイル型のものを用い、その可動コイルに例えば周波数
４００Ｈｚ、振幅０．１Ａの加振電流を流し、測定兼用
加振プローブ１３４の静荷重を５０ｇｆに設定し、計測
回路１４０により電極２８とパターン３０の間の抵抗値
を測定すると、半田付け状態が良好な場合には、図１０
に示すような抵抗値がほぼ零で一定の測定結果が得られ
る。しかし、足浮き状態等で半田付け状態が不良の場合
には、図１１に示すように抵抗値がほぼ零から測定オー
バーまで繰り返して変化する等の電極２８とパターン３
０の接触、断続を明確に示す測定結果が得られる。

【００２２】図１２は本発明を適用した加振装置付きイ
ンサーキットテスタによる半田付け状態検査時のＩＣ本
体に対する振動子とＩＣ電極に対する測定プローブの設
置状態を示す概略図である。図中、１４２は１組のＸ−
Ｙユニットに備え付けた加振装置、１４４はその加振装
置１４２の振動子、１４６はその振動子１４４を駆動す
る可動コイル型、圧電型、シリンダ型等のアクチュエー
タ、１４８、１５０は他のＸ−Ｙユニットに備え付けた
測定プローブ、１５２はそれ等のプローブ１４８、１５
０に接続した計測回路である。このような振動子１４４
を備えた加振装置１４２を用いると、ＩＣ２４の本体２
６に振動を加えることにより、そのＩＣ２４に備えられ
ている全ての電極２８に振動を加えることができる。そ
れ故、ＩＣ２４が同一ならば、各電極２８の検査毎に加
振装置１４２を移動させる必要がなく、操作が簡単とな
り、電極２８が小さくても対応できる。なお、振動子１
４４の先端部１５３を拡大し、ＩＣ２４の本体２６と広
く接触させる。

【００２３】図１３は本発明を適用した加振装置付きイ
ンサーキットテスタによる半田付け状態検査時の被検査
基板に対する振動子とＩＣ電極に対する測定プローブの
設置状態を示す概略図である。図中、１５４は加振装
置、１５６はその加振装置１５４の振動子、１５８はそ
の振動子１５６を駆動して振動させる可動コイル型、圧
電型、シリンダ型等のアクチュエータ、１６０、１６２
は各Ｘ−Ｙユニットに備え付けた測定プローブ、１６４
はそれ等のプローブ１６０、１６２に接続した計測回
路、１６６は被検査基板２２を上下振動可能に支える支
持枠である。このような振動子１５６を備えた加振装置
１５４を用いると、基板２２に上下の振動を加えること
により、そこに実装されているＩＣ２４等の全ての電子
部品に同時に振動を加え、更に各部品に備えられている
全ての電極２８等に同時に振動を加えることができる。
それ故、加振装置１５４を移動させる必要がなく、各電
子部品２４の本体２６等や電極２８等が小さくても対応
できる。

【００２４】図１４は本発明を適用した加振装置付きイ
ンサーキットテスタによる半田付け状態検査時のＩＣ電
極に対する加振プローブとＩＣ本体に対する測定プロー
ブの設置状態を示す概略図である。図中、１６８は１組
のＸ−Ｙユニットに備え付けた加振装置、１７０はその
加振装置１６８の加振プローブ、１７２はその加振プロ
ーブ１７０を駆動して振動させる可動コイル型、圧電
型、シリンダ型等のアクチュエータ、１７４、１７６は
他の各Ｘ−Ｙユニットに備え付けた測定プローブ、１７
８はそれ等のプローブ１７４、１７６に接続した計測回
路である。なお、測定プローブ１７４は先端部１８０を
広く拡大し、ＩＣ本体２６の絶縁部と良好に接触させ
る。

【００２５】このようにして、いずれの測定プローブ１
７４、１７６も電極２８に接触させず、加振プローブ１
７０から電極２８に振動を加えて、ＩＣ本体２６の絶縁
部とパターン３０の間の静電容量を測定すると、電極２
８が小さくても測定と加振のプローブを兼用することな
く対応でき、半田付け状態が不良の場合には電極２８と
パターン３０の間の接触、断絶等を明確に示す測定結果
が得られる。なお、計測回路１７８に及ぼす高周波特性
の影響を改善するには、計測回路１７８の一部をプロー
ブ１７４、１７６等にそれぞれ内蔵し、或いはプローブ
１７４、１７６の近くにそれぞれ配置し、更には計測回
路１７８の全部を一体化してプローブ１７４又は１７６
の近くに配置するとよい。

【００２６】図１５は本発明を適用した非接触型加振装
置付きインサーキットテスタによる半田付け状態検査時
のＩＣ電極に対する音波発射ノズルと測定プローブの設
置状態を示す概略図である。図中、１８２は加振装置、
１８４はその加振装置１８２の音波発射ノズル、１８６
はその音波発射ノズル１８４の内部の空気を振動させる
空気振動器である。この空気振動器１８６は圧縮空気源
１８８、電磁弁１９０、配管１９２等からなるため、測
定時に電磁弁１９０を開閉制御すると、圧縮空気が音波
発射ノズル１８４の内部に矢印方向へ断続的に噴射す
る。すると、音波発射ノズル１８４の内部の空気が振動
し、ノズル口より音波が電極２８に向かって発射する。
それ故、音波発射ノズル１８４を接触させずに、電極２
８に振動を加えて測定を行える。なお、測定プローブ１
９４と音波発射ノズル１８４とを一体型にしてユニット
化し、或いは更に測定プローブ１９６も加えてユニット
化することができる。

【００２７】図１６は音波発射ノズルを備えた非接触型
加振装置の他の例を示す図である。図中、１９２は加振
装置、２００はその音波発射ノズル、２０２はそのノズ
ル内の上部に設置した圧電振動子である。この圧電振動
子２０２は空気振動器であり、その体積変化によりノズ
ル２００の内部の空気が振動し、ノズル口より音波が発
射する。

【００２８】

【発明の効果】以上説明した本発明によれば、請求項１
では電子部品の電極の半田付け箇所に振動を加えながら
電子部品とパターン間の電気的状態を測定するため、電
極の半田付け状態を明確に示す測定結果が得られる。そ
れ故、その測定結果より電極の半田付け不良を確実に検
出できる。

【００２９】請求項２では加振装置に、実装部品の電極
に接触する加振プローブを備えるため、電極に直接振動
を加えてその電極の半田付け状態の良否を判定できる。
請求項３では加振装置と１本又は２本の測定プローブと
を一体型にして加振、測定プローブユニットを構成する
ため、そのユニットを１組のＸ−Ｙユニットに装着等し
て、加振装置と１本又は２本の測定プローブを同時に操
作できるので、好都合となる。請求項４では加振装置
に、実装部品の電極に接触する測定兼用加振プローブを
備えるため電極が小さくても対応でき、電極に直接振動
を加えながら測定を行って、半田付け状態の良否を判定
できる。しかも、プローブを兼用することにより、支持
部材たるＸ−Ｙユニットの数等を減らすことができる。

【００３０】請求項５では加振装置に、実装部品の本体
に接触する振動子を備えるため、電子部品の本体に振動
を加えると、その部品に備えられている全ての電極に振
動を加えることができるので、各電極毎に振動を加える
必要がなく、操作が簡単となり、電極が小さくても対応
できる。請求項６では加振装置に、実装基板に接触する
振動子を備えるため、プリント基板に振動を加えると、
実装されている全ての電子部品に振動を加え、更に各部
品の全ての電極に振動を加えることができるので、各本
体、各電極毎に振動を加える必要がなく、一層操作が簡
単となり、各本体、各電極が小さくても対応できる。請
求項７では加振装置に、実装部品の電極に向けて音波を
発射する音波発射ノズルを備えるため、そのノズルを接
触させずに、電極に直接振動を加えることができるの
で、操作が簡単となり、電極が小さくても対応できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用した加振装置付きインサーキット
テスタによる半田付け状態検査時のＩＣ電極に対する加
振プローブと測定プローブの設置状態を示す概略図であ
る。

【図２】同加振装置のアクチュエータとして、可動コイ
ル型アクチュエータを採用した第１実施例を示す図であ
る。

【図３】同可動コイル型アクチュエータを備えた加振装
置付きインサーキットテスタによる電極の半田付け状態
が良好な場合の測定結果を示す図である。

【図４】同可動コイル型アクチュエータを備えた加振装
置付きインサーキットテスタによる電極の半田付け状態
が不良の場合の測定結果を示す図である。

【図５】同加振装置のアクチュエータとして、圧電型ア
クチュエータを採用した第２実施例を示す図である。

【図６】同加振装置のアクチュエータとして、シリンダ
型アクチュエータを採用した第３実施例を示す図であ
る。

【図７】本発明を適用した加振装置付きインサーキット
テスタによる半田付け状態検査時のＩＣ電極に対する加
振、測定プローブユニットに備えた加振プローブと測定
プローブの設置状態を示す概略図である。

【図８】本発明を適用した加振装置付きインサーキット
テスタによる半田付け状態検査時の一般電子部品の電極
に対する加振プローブと測定プローブの設置状態を示す
概略図である。

【図９】本発明を適用した加振装置付きインサーキット
テスタによる半田付け状態検査時のＩＣ電極に対する測
定用加振プローブの設置状態を示す概略図である。

【図１０】同測定用加振プローブを備えた加振装置付き
インサーキットテスタによる電極の半田付け状態が良好
な場合の測定結果を示す図である。

【図１１】同測定用加振プローブを備えた加振装置付き
インサーキットテスタによる電極の半田付け状態が不良
の場合の測定結果を示す図である。

【図１２】本発明を適用した加振装置付きインサーキッ
トテスタによる半田付け状態検査時のＩＣ本体に対する
振動子とＩＣ電極に対する測定プローブの設置状態を示
す図である。

【図１３】本発明を適用した加振装置付きインサーキッ
トテスタによる半田付け状態検査時の基板に対する振動
子とＩＣ電極に対する測定プローブの設置状態を示す図
である。

【図１４】本発明を適用した加振装置付きインサーキッ
トテスタによる半田付け状態検査時のＩＣ電極に対する
加振プローブとＩＣ本体に対する測定プローブの設置状
態を示す図である。

【図１５】本発明を適用した非接触型加振装置付きイン
サーキットテスタによる半田付け状態検査時のＩＣ電極
に対する音波発射ノズルと測定プローブの設置状態を示
す図である。

【図１６】音波発射ノズルを備えた非接触型加振装置の
他の例を示す図である。

【図１７】従来のインサーキットテスタによる半田付け
状態検査時のＩＣ電極に対する測定プローブの設置状態
を示す図である。

【図１８】同インサーキットテスタによる半田付け状態
検査前のＩＣ電極に対する測定プローブの設置状態を示
す図である。

【符号の説明】

２２、１０６…被検査基板 ２４…ＩＣ ２６、１１０
…本体 ２８、１１２、１１４…電極 ３０、１１６…
パターン ３２、３４、１０２、１０４、１１８、１２
０、１３８、１４８、１５０、１６０、１６２、１７
４、１７６…測定プローブ ３６、９４、１２２、１４
０、１５２、１６４、１７８…計測回路 ３８、４４、６０、７２、１００、１２４、１３２、１
４２、１５４、１６８、１８２、１９８…加振装置 ４
０、５２、６６、７８、９８、１２６、…加振プローブ
４２、４６、６２、７４、９６、１２８、１３２、１
４６、１５８、１７２…アクチュエータ ８８…加振、
測定プローブユニット １０８…一般電子部品 １３４
…測定兼用加振プローブ １４４、１５６…振動子 １
８４、２００…音波発射ノズル １８６、２０２…空気
振動器

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０１Ｒ 31/28 (72)発明者 奈雲 正通 長野県上田市大字小泉字桜町81番地 日置 電機株式会社内 (72)発明者 南 秀明 長野県上田市大字小泉字桜町81番地 日置 電機株式会社内

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板検査装置を用い、そこに備えられて
   いる１本の測定プローブをプリント基板に実装した電子
   部品に接触し、他の１本の測定プローブをプリント基板
   のパターンに接触して、それ等の電子部品とパターン間
   の電気的状態を測定し、その測定結果から電子部品の半
   田付け状態の良否を判定する実装部品の半田付け不良検
   出方法において、上記測定時に電子部品の半田付け箇所
   に振動を加えることを特徴とする振動による実装部品の
   半田付け不良検出方法。
2. 【請求項２】 実装部品の電極に接触する加振プローブ
   と、その加振プローブを駆動して振動させるアクチュエ
   ータとを備えることを特徴とする加振装置。
3. 【請求項３】 請求項２記載の加振装置と１本又は２本
   の測定プローブとを一体型にすることを特徴とする加
   振、測定プローブユニット。
4. 【請求項４】 実装部品の電極に接触する測定兼用加振
   プローブと、その測定兼用加振プローブを駆動して振動
   させるアクチュエータとを備えることを特徴とする加振
   装置。
5. 【請求項５】 実装部品の本体に接触する振動子と、そ
   の振動子を駆動して振動させるアクチュエータとを備え
   ることを特徴とする加振装置。
6. 【請求項６】 実装基板に接触する振動子と、その振動
   子を駆動して振動させるアクチュエータとを備えること
   を特徴とする加振装置。
7. 【請求項７】 実装部品の電極に向けて音波を発射する
   音波発射ノズルと、その音波発射ノズル内の空気を振動
   させる空気振動器とを備えることを特徴とする加振装
   置。