JPH07113849A - 回路基板検査装置 - Google Patents
回路基板検査装置Info
- Publication number
- JPH07113849A JPH07113849A JP26081093A JP26081093A JPH07113849A JP H07113849 A JPH07113849 A JP H07113849A JP 26081093 A JP26081093 A JP 26081093A JP 26081093 A JP26081093 A JP 26081093A JP H07113849 A JPH07113849 A JP H07113849A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- circuit board
- inspection
- round
- magnet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＬＳＩ等を実装した回路基板を、プローブの
接触によって検査する回路基板検査装置において、プロ
ーブの接触不良を解決し、検査の信頼性、安定性を確保
することを目的とする。 【構成】 プローブニードル４と接合されたマグネット
５の周りに駆動コイル７を設けてあり振動ドライブ装置
８と接続されている。振動ドライブ装置８から駆動コイ
ル７へ駆動出力が出されたときマグネット５はプローブ
の軸方向に振動し、プローブニードル４が回路基板１の
検査用ラウンドに対して連続的なインパクトを与える。
この動作によりプローブとラウンド間の異物が排除さ
れ、安定した導通が確保される。
接触によって検査する回路基板検査装置において、プロ
ーブの接触不良を解決し、検査の信頼性、安定性を確保
することを目的とする。 【構成】 プローブニードル４と接合されたマグネット
５の周りに駆動コイル７を設けてあり振動ドライブ装置
８と接続されている。振動ドライブ装置８から駆動コイ
ル７へ駆動出力が出されたときマグネット５はプローブ
の軸方向に振動し、プローブニードル４が回路基板１の
検査用ラウンドに対して連続的なインパクトを与える。
この動作によりプローブとラウンド間の異物が排除さ
れ、安定した導通が確保される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は高密度に実装された回路
基板を信頼性高く検査するための検査技術に関するもの
である。
基板を信頼性高く検査するための検査技術に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】近年、電子機器の小型軽量化、高機能化
は著しいものがあり、それにともなう回路実装技術及び
集積回路の集積度も飛躍的に向上してきた。そのために
これらの回路の検査方法の開発も同時に進んできてい
る。検査において故障箇所を特定する場合においても、
回路規模が小さくまたアナログ中心である場合は回路全
体が実動作中に信号ラインを波形モニターするなどの方
法で特定できる場合が多かったが、ディジタル化が進み
さらに高機能化され回路規模も大きくなった近年におい
ては回路全体の検査での故障箇所の特定が非常に困難に
なってきた。そのため検査方法も回路全体を検査する方
法から個々の回路構成部品を検査する方法に移りつつあ
るのが現状である。そのためには個々の部品の大半のピ
ンに信号の入出力を行う必要があるため、回路基板上に
無数の検査用ラウンドを設け、無数のテスト用プローブ
によりテスト用信号を受け渡すことにより検査を行って
いる。
は著しいものがあり、それにともなう回路実装技術及び
集積回路の集積度も飛躍的に向上してきた。そのために
これらの回路の検査方法の開発も同時に進んできてい
る。検査において故障箇所を特定する場合においても、
回路規模が小さくまたアナログ中心である場合は回路全
体が実動作中に信号ラインを波形モニターするなどの方
法で特定できる場合が多かったが、ディジタル化が進み
さらに高機能化され回路規模も大きくなった近年におい
ては回路全体の検査での故障箇所の特定が非常に困難に
なってきた。そのため検査方法も回路全体を検査する方
法から個々の回路構成部品を検査する方法に移りつつあ
るのが現状である。そのためには個々の部品の大半のピ
ンに信号の入出力を行う必要があるため、回路基板上に
無数の検査用ラウンドを設け、無数のテスト用プローブ
によりテスト用信号を受け渡すことにより検査を行って
いる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら回路基板
上に検査用ラウンドが増加するにつれて、プローブとラ
ウンド間の接触不良も増加してきて検査の安定性、信頼
性を確保することが困難になってきている。接触不良の
原因としては、フラックス、プリフラックスがラウンド
の表面やプローブの先端に残留している場合、またラウ
ンドの表面が汚れていたり酸化している場合などが挙げ
られる。
上に検査用ラウンドが増加するにつれて、プローブとラ
ウンド間の接触不良も増加してきて検査の安定性、信頼
性を確保することが困難になってきている。接触不良の
原因としては、フラックス、プリフラックスがラウンド
の表面やプローブの先端に残留している場合、またラウ
ンドの表面が汚れていたり酸化している場合などが挙げ
られる。
【０００４】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、検査用ラウンド、プローブの数を増加しても接触不
良によって検査の安定性、信頼性が低下しない回路基板
検査装置を提供するものである。
で、検査用ラウンド、プローブの数を増加しても接触不
良によって検査の安定性、信頼性が低下しない回路基板
検査装置を提供するものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の回路基板検査装置は、プローブに振動させる
ための装置を設けている。
に本発明の回路基板検査装置は、プローブに振動させる
ための装置を設けている。
【０００６】
【作用】この構成によりプローブが振動し、検査用ラウ
ンドに繰り返しインパクトを与えることができるため、
検査用ラウンドとプローブ間の異物を排除することが可
能となり、接触不良による検査安定性、信頼性の低下を
防ぐことができる。
ンドに繰り返しインパクトを与えることができるため、
検査用ラウンドとプローブ間の異物を排除することが可
能となり、接触不良による検査安定性、信頼性の低下を
防ぐことができる。
【０００７】
（実施例１）以下本発明の実施例について、図面を参照
しながら説明する。
しながら説明する。
【０００８】図１は本発明の実施例の回路基板検査装置
の断面図である。図１において、１は検査対象の回路基
板、２はプローブを固定するベースプレート、３は非磁
性金属製のプローブハウジング、４は回路基板１の検査
用ラウンドと接触するプローブニードル、５はプローブ
ニードルと接合されたマグネット、６はスプリング、７
はマグネットを振動させる駆動コイル、８は振動ドライ
ブ装置、９は信号検査装置である。
の断面図である。図１において、１は検査対象の回路基
板、２はプローブを固定するベースプレート、３は非磁
性金属製のプローブハウジング、４は回路基板１の検査
用ラウンドと接触するプローブニードル、５はプローブ
ニードルと接合されたマグネット、６はスプリング、７
はマグネットを振動させる駆動コイル、８は振動ドライ
ブ装置、９は信号検査装置である。
【０００９】回路基板１はバキューム等でプローブニー
ドル４に押し当てられスプリング６によって一定の圧力
に保たれる。そしてプローブニードル４とプローブハウ
ジング３を介して回路基板１と信号検査装置９が電気的
に接続される。ここでマグネット５の周りに駆動コイル
７を設けてあり振動ドライブ装置８と接続されている。
振動ドライブ装置８から駆動コイル７へ駆動出力が出さ
れたときマグネット５はプローブの軸方向に振動し、プ
ローブニードル４が回路基板１の検査用ラウンドに対し
て連続的なインパクトを与える。この動作によりプロー
ブとラウンド間の異物が排除されて接触不良が解消され
る。この動作を効率的に行うために信号検査装置９から
接触不良の場所のデーターを振動ドライブ装置８に与え
るためのケーブルを設けてあり、プローブを個別に振動
させることを可能としている。
ドル４に押し当てられスプリング６によって一定の圧力
に保たれる。そしてプローブニードル４とプローブハウ
ジング３を介して回路基板１と信号検査装置９が電気的
に接続される。ここでマグネット５の周りに駆動コイル
７を設けてあり振動ドライブ装置８と接続されている。
振動ドライブ装置８から駆動コイル７へ駆動出力が出さ
れたときマグネット５はプローブの軸方向に振動し、プ
ローブニードル４が回路基板１の検査用ラウンドに対し
て連続的なインパクトを与える。この動作によりプロー
ブとラウンド間の異物が排除されて接触不良が解消され
る。この動作を効率的に行うために信号検査装置９から
接触不良の場所のデーターを振動ドライブ装置８に与え
るためのケーブルを設けてあり、プローブを個別に振動
させることを可能としている。
【００１０】そして振動ドライブ装置８の出力、周波数
を調整した後、本実施例を用いて検査ラウンド及びプロ
ーブ数１０００の回路基板を検査前に振動を付加しない
で５０枚検査した。その結果、平均３０箇所／１枚の接
触不良が発生したが、その後接触不良箇所に振動を数秒
付加したら接触不良は皆無になった。
を調整した後、本実施例を用いて検査ラウンド及びプロ
ーブ数１０００の回路基板を検査前に振動を付加しない
で５０枚検査した。その結果、平均３０箇所／１枚の接
触不良が発生したが、その後接触不良箇所に振動を数秒
付加したら接触不良は皆無になった。
【００１１】以上のように本実施例によれば、プローブ
ニードル４と接合したマグネット５の周りに駆動コイル
７を設けてあり振動ドライブ装置８と接続されているの
で、振動ドライブ装置８から駆動コイル７へ駆動出力が
出されたときマグネット５はプローブの軸方向に振動
し、プローブニードル４が回路基板１の検査用ラウンド
に対して連続的なインパクトを与えるため、プローブと
ラウンド間の異物が排除されて接触不良が解消される。
ニードル４と接合したマグネット５の周りに駆動コイル
７を設けてあり振動ドライブ装置８と接続されているの
で、振動ドライブ装置８から駆動コイル７へ駆動出力が
出されたときマグネット５はプローブの軸方向に振動
し、プローブニードル４が回路基板１の検査用ラウンド
に対して連続的なインパクトを与えるため、プローブと
ラウンド間の異物が排除されて接触不良が解消される。
【００１２】なお、実施例ではマグネットによって振動
を与えたが、結晶体系（クリスタル）振動素子を使用し
てもよいし、その他の振動素子においても本発明の主旨
に含まれる。
を与えたが、結晶体系（クリスタル）振動素子を使用し
てもよいし、その他の振動素子においても本発明の主旨
に含まれる。
【００１３】
【発明の効果】以上のように本発明の回路基板検査装置
は、プローブが振動することができるため、検査用ラウ
ンドとプローブ間の異物を排除し接触不良を防ぎ、高い
検査安定性、信頼性の確保することができる。
は、プローブが振動することができるため、検査用ラウ
ンドとプローブ間の異物を排除し接触不良を防ぎ、高い
検査安定性、信頼性の確保することができる。
【図１】本発明の実施例の回路基板検査装置の断面図
１ 回路基板 ２ ベースプレート ３ プローブハウジング ４ プローブニードル ５ マグネット ６ スプリング ７ 駆動コイル ８ 振動ドライブ装置 ９ 信号検査装置
Claims (2)
- 【請求項１】 ＬＳＩ等を実装した回路基板を検査する
ために、プローブにより信号検査装置と前記回路基板と
を接続する構成の回路基板検査装置において、プローブ
に振動させるための装置を設けたことを特徴とする回路
基板検査装置。 - 【請求項２】 プローブを個別に振動させるための装置
を配した請求項１の回路基板検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26081093A JPH07113849A (ja) | 1993-10-19 | 1993-10-19 | 回路基板検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26081093A JPH07113849A (ja) | 1993-10-19 | 1993-10-19 | 回路基板検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07113849A true JPH07113849A (ja) | 1995-05-02 |
Family
ID=17353074
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26081093A Pending JPH07113849A (ja) | 1993-10-19 | 1993-10-19 | 回路基板検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07113849A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010217085A (ja) * | 2009-03-18 | 2010-09-30 | Toppan Printing Co Ltd | 検査装置 |
-
1993
- 1993-10-19 JP JP26081093A patent/JPH07113849A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010217085A (ja) * | 2009-03-18 | 2010-09-30 | Toppan Printing Co Ltd | 検査装置 |
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