KR100924398B1

KR100924398B1 - 각도 조정 장치

Info

Publication number: KR100924398B1
Application number: KR1020030013893A
Authority: KR
Inventors: 이시까와히로까즈; 나까자또요이찌
Original assignee: 티에치케이 가부시끼가이샤; 티에이치케이 인텍스 가부시키가이샤
Priority date: 2002-03-06
Filing date: 2003-03-06
Publication date: 2009-10-29
Also published as: CN100489442C; CN1442667A; US7201073B2; JP2003329096A; JP4180875B2; US20030167865A1; DE10309859A1; KR20030074247A

Abstract

각도 조정 장치는 받침부, 아치형 궤도를 구비하는 한쌍의 안내 부재들, 안내 부재들의 궤도를 따라 이동되는 요동체 및 요동축 주위에서 요동체의 각도 위치를 조정하도록 요동체를 이동시키는 이동 부재를 포함한다. 이동 부재는 받침부에 제공되는 모터, 요동체에 제공되는 연결 샤프트 및 모터와 연결 샤프트 사이에 개재되는 연결 기구를 구비한다. 연결 기구의 주 연결 부재는 요동축에 평행한 축 주위에서 회전가능하게 출력축의 상부 단부에 연결되고, 그 축방향으로 선형적으로 이동가능하게 연결 샤프트에 연결된다. 안내 부재들은 2개의 편평한 기준면들을 구비하고, 이러한 기준면들이 받침부의 2개의 편평한 설정면들과 접촉하는 상태로 고정된다.

각도 조정 장치, 받침부, 안내 부재, 궤도, 주행 블록, 출력 샤프트, 연결 샤프트, 요동 테이블

Description

각도 조정 장치{ANGLE ADJUSTING DEVICE}

도1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 각도 조정 장치의 종방향 단면도.

도2는 각도 조정 장치의 평면도.

도3은 부분 단면으로 받침부와 이동 수단을 도시하는 각도 조정 장치의 평면도.

도4는 우측에서 본 각도 조정 장치의 도면.

도5는 장치의 받침부, 안내 부재, 주행 블록 및 요동 테이블이 분해된, 우측에서 본 각도 조정 장치의 도면.

도6은 받침부, 안내 부재 및 주행 블록이 조립된 각도 조정 장치의 측면도.

도7은 분해된 받침부 및 안내 부재를 도시하는 측면도.

도8은 각도 조정 장치에 대한 각도 위치 검출 수단을 도시하는 부분 측면도.

도9는 각도 위치 검출 수단의 유리판을 도시하는 측면도.

도10a 내지 도10c는 본 발명의 제2 실시예에 따른 각도 조정 장치를 각각 다른 자세로 도시하는 종방향 부분 단면도.

도11은 본 발명의 제3 실시예에 따른 각도 조정 장치를 부분적으로 도시하는 종방향 단면도.

도12는 본 발명의 제4 실시예에 따른 각도 조정 장치를 부분적으로 도시하는 종방향 단면도.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

10: 받침부

12: 돌출부

15: 제1 설정면

16: 제2 설정면

20: 안내 부재

22: 궤도 형성부

25: 제1 기준면

26: 제2 기준면

30: 요동체

31: 요동 테이블

40: 이동 부재

42: 출력 샤프트

본 발명은 소위 변각 스테이지 또는 회전식 스테이지인 각도 조정 장치에 관한 것이다.

본 발명의 각도 조정 장치에 관한 종래 기술들 중 하나는 JP-A-2000-230548( 도1 및 도10 참조)이다. 이 공개물은 2축 각도 조정 장치를 개시한다. 본 장치의 제1 실시예에서, 하부 스테이지 구조와 상부 스테이지 구조는 실질적으로 동일하다. 각각의 스테이지에서, 장치는 하부벽 및 2개의 측벽들을 구비하는 U형 단면의 받침부를 구비한다. 이러한 받침부에 대한 2개의 측벽들의 상부 에지는 원호와 같이 형성되고, 아치형인 안내 부재는 그 상부 에지를 따라 수직으로 편평한 외측면(설정면) 상에 고정된다. 이러한 안내 부재는 외측으로부터 나사에 의해 측벽에 고정된다. 아치형 홈(궤도)은 안내 부재의 상부 및 하부면들 상에 형성된다.

게다가, 장치는 각각의 스테이지에서 요동체를 포함한다. 이러한 요동체는 상부벽 및 2개의 측벽들을 구비하는 U형 단면의 요동 테이블과 이 요동 테이블에 대한 2개의 측벽들의 내부면에 고정되는 주행 블록을 포함한다. 각각의 주행 블록은 무단의 순환 통로를 구비하고, 볼들은 이 무단의 순환 통로에 배치된다. 이러한 무단의 순환 통로의 일부는 안내 부재의 궤도와 대면하고, 이들 사이에 위치된 볼들은 주행 블록의 궤도를 따르는 동안 구른다.

장치는 추가적으로 이동 수단을 구비한다. 이러한 이동 수단은 요동축(궤도에 대한 곡률 반경의 중심을 통과하는 축) 주위에서 요동체의 각도 위치를 조정하도록 아치형 궤도를 따라 요동체를 이동시킨다. 이러한 이동 수단은 도1에 도시된 바와 같이, 요동 테이블에 제공되는 모터와 상기 공개물의 제1 실시예의 피니언과 맞물리는 아치형 랙을 포함한다. 이러한 랙은 받침부에 대한 2개의 측벽들의 내부면의 상부 에지 근방에 고정된다. 모터의 회전과 함께, 요동체는 피니언과 랙의 결합에 의하여 궤도를 따라 이동된다.

도10에 도시된 바와 같이 공개물의 제4 실시예에서, 하부 스테이지의 이동 수단은 제1 실시예의 이동 수단과 상이하다. 하부 스테이지의 이동 수단은 받침부에 제공된 모터와, 이 모터와 연결된 볼 나사 기구와, 볼 나사 기구에 의해 수평으로 선형 이동되는 제1 이동체 및 제1 이동체 상에서 수직으로 활주가능하게 제공되는 제2 이동체를 포함한다. 요동 테이블은 제2 이동체에 회전가능하게 연결된다. 본 실시예에서, 제1 이동체는 모터의 회전과 함께 볼 나사 기구를 통하여 수평으로 이동되고, 이러한 수평 이동은 제2 이동체를 통하여, 궤도를 따라 요동 테이블의 이동으로 절환된다.

상기 설명된 공개물과 같이 JP-A-2001-99150호의 장치(도2 및 도4 참조)는 받침부, 이 받침부에 고정된 한쌍의 아치형 안내 부재들, 안내 부재의 궤도를 따라 이동되는 요동체 및 요동축(아치형 궤도에 대한 곡률 반경의 중심을 통과하는 축) 주위에서 요동체의 각도 위치를 조정하도록 요동체를 이동시키는 이동 수단을 포함한다. 볼록부는 받침부의 중심에 형성되고 이 볼록부의 2개의 측면들이 수직하게 되는 제1 설정면으로서의 기능을 한다. 또한, 볼록부에 인접한 상부면은 제2 설정면으로서 기능을 수행하는 아치형면이다. 그러나, 안내 부재의 일측면은 편평한 제1 기준면이고, 궤도로서의 기능을 수행하는 아치형 홈은 다른 측면상에 형성된다. 더구나, 안내 부재의 하부면은 아치형면으로서 기능을 수행하는 제2 기준면이다. 안내 부재의 편평한 제1 기준면이 받침부에 대한 제1 설정면과 접촉하고 아치형면의 제2 기준면은 제2 설정면과 접촉하는 상태에서 안내 부재는 제2 설정면을 향하여 나사에 의해 받침부에 고정된다.

JP-A-2001-99150호의 장치의 이동 수단은 받침부에 제공되는 모터, 이 모터에 의해 회전되는 웜 및 요동체 상에 형성되고 웜과 맞물리는 기어부를 포함한다. 모터의 회전과 함께, 요동체는 웜 및 기어부의 결합을 통하여 회전된다.

최근에는, 높은 정확도로 미세한 각도 조정을 하는 것이 요구된다. 하지만, 상기 공개물의 장치를 포함하는 종래의 각도 조정 장치로는 이러한 요구가 만족되지 않는다. 이유는 다음과 같다.

JP-A-2000-230548호의 장치에서, 아치형 편평한 기준면이 받침부의 편평한 설정면과 접촉하는 상태에서 안내 부재가 나사에 의해 고정되므로, 아치형 안내 부재는 나사를 조일때 비틀려져서 안내 부재에 대한 궤도의 진원도가 떨어지게 된다. 또한, JP-A-2001-99150호의 장치에서, 안내 부재의 제2 기준면은 받침부의 제2 설정면의 원형면과 정렬되므로, 제2 설정면의 원호의 진원도가 낮거나 또는 제2 설정 면과 제2 기준면이 원호에 대한 다소 상이한 곡률 반경을 가지면, 안내 부재는 비틀리게 되고 안내 부재에 대한 궤도의 진원도는 떨어지게 되어 각도 위치 조정의 정확도는 떨어지게 된다.

JP-A-2000-230548의 제1 실시예에서, 랙과 피니언은 각각의 요동체와 받침부에 제공된다. 제4 실시예에서, 주문 생산된 볼 나사 기구가 받침부내로 내장된다. 또한, JP-A-2001-99150호의 장치에서, 웜과 기어부는 받침부 및 요동체에 제공된다. 이러한 구조들에서, 각도 위치 조정은 외부에 노출된 결합부의 느슨함으로 인해 높은 정확도를 갖지 않았다.

본 발명은 높은 정확도로 미세 각도 조정을 하는 문제를 해결하도록 이루어졌으며, 서로 교차하는 제1 및 제2 설정면을 구비하는 받침부와, 궤도 형성부, 궤도 형성부 상에 형성된 아치형 궤도 및 제1 및 제2 기준면들을 구비하는 베이스부를 포함하고 받침부에 고정되는 안내 부재와, 궤도의 곡률 반경의 중심을 통과하는 요동축 둘레로 요동체의 각도 위치를 조정하도록 요동체를 이동시키는 이동 부재를 포함하는 각도 조정 장치를 제공하며, 궤도 형성부 및 베이스부는 일체로 형성되고, 안내 부재는 제1 및 제2 기준면이 받침부의 제1 및 제2 설정면과 접촉하는 상태로 받침부에 고정된다.

상기 구성으로, 안내 부재의 베이스부의 제1 및 제2 편평한 기준면이 받침부의 제1 및 제2 편평한 설정면들과 정렬되게 안내 부재는 받침부에 고정되고, 아치형 궤도는 비틀리지 않고 궤도의 더 낮은 진원도는 피해진다. 따라서, 요동체의 각도 조정은 높은 정확도로 실시된다.

양호하게는, 안내 부재는 제1 기준면이 제1 설정면과 제1 기준면을 관통하는 제1 나사에 의해 제1 설정면에 대해 가압되도록 받침부에 고정되고, 제2 기준면이 제2 설정면과 제2 기준면을 관통하는 제2 나사에 의해 제2 설정면에 대해 가압되도록 받침부에 고정된다. 이에 따라, 안내 부재의 위치설정은 더 신뢰성있게 행해진다.

양호하게는, 받침부는 요동축에 평행한 방향으로 이격되고 제1 및 제2 설정 면으로 형성되는 한쌍의 설정부를 구비하고, 안내 부재는 서로 대면하는 한쌍의 설정부에 고정되는 한쌍의 안내 부재들을 포함하고, 각각의 한쌍의 안내 부재들의 궤 도 형성부는 베이스부로부터 외향으로 돌출되고, 요동체는 한쌍의 안내 부재들을 가로질러 활주하도록 배치되고, 각각의 궤도 형성부는 상이한 곡률을 갖고 한쌍의 안내 부재가 서로 대면하는 방향에 수직하는 방향으로 이격되는 한쌍의 궤도로 형성되고, 이동 부재의 적어도 일부는 받침부, 요동체 및 한쌍의 안내 부재에 의해 한정된 공간내에 수납된다.

이에 따라, 이동 부재는 큰 공간을 차지하지 않고, 장치의 크기가 감소된다. 그리고, 요동기는 전체 4개의 궤도에 의해 안정적으로 안내된다.

양호하게는, 궤도는 요소들을 구르게 하도록 구름 접촉면을 구비하고, 요동체는 궤도의 구름 접촉면과 대면하는 요소들을 구르게 하기 위한 구름 접촉면을 포함하는 무단의 순환 통로로 형성되고, 요동체의 이동과 함께 순환하는 복수의 구름 요소는 무단의 순환 통로에 배치되고, 구름 요소들은 궤도에 대한 구름 요소의 구름 접촉면과 구름 접촉면들 사이의 예하중된 상태로 배치된다. 이에 따라, 요동체는 안내 부재에 대해 증가된 강성을 갖는다. 본문에서 사용될 때 강성은 힘 또는 모멘트 하중이 부품 상에 또는 부품들 사이에 인가되고 정적 강성 및 동적 강성으로서 주어질 때 변위 또는 변형의 탄성을 나타내는 계수이다.

상기 설명된 문제를 해결하기 위하여, 본 발명의 다른 태양은 받침부, 받침부에 고정되고 아치형 궤도를 포함하는 안내 부재와, 안내 부재의 궤도를 따라 이동되는 요동체 및 궤도의 곡률 반경의 중심을 통과하는 요동축 주위에서 요동체의 각도 위치를 조정하도록 요동체를 이동시키는 이동 부재를 포함하는 각도 조정 장치가 제공되며, 이동 부재는 요동축에 수직한 방향으로 연장되고 조정가능한 돌출 량을 갖고 받침부 및 요동체 중 하나에 제공되는 출력 샤프트를 구비하는 구동부와, 받침부와 요동체 중 다른 하나에 제공되는 연결 샤프트와, 궤도를 따라 요동체의 이동으로 출력 샤프트의 축방향 이동을 절환하기 위하여 출력 샤프트의 상부 단부와 연결 샤프트 사이에 개재되는 연결 기구를 포함하며, 연결 기구는 요동축에 평행한 회전축 주위에서 출력 샤프트의 상부 단부에 회전가능하게 연결되고 연결 샤프트의 축방향으로 선형적으로 이동가능하도록 연결 샤프트에 연결되는 주 연결 부재를 포함한다.

상기 구성으로, 연결 기구는 나사와 같은 어떠한 결합부도 구비하지 않아서, 느슨함에 의해 기인되는 각도 조정의 낮은 정확도를 피할 수 있다. 또한, 느슨함 및 높은 내구성을 해결하도록 인장 스프링에 대한 필요성이 없다.

양호하게는, 주 연결 부재는 선형적으로 이동가능하게 되는 방식으로 볼 스플라인을 통하여 연결 샤프트에 연결된다. 이에 따라, 주 연결 부재는 연결 샤프트를 따라 안정적으로 이동된다.

출력 샤프트가 회전으로 전진하거나 후퇴할 때, 연결 기구는 출력 샤프트의 상부 단부와 주 연결 부재 사이에 개재되고 그 축 코어 주위에서 상대적으로 회전가능하게 출력 샤프트의 상부 단부에 연결되는 부 연결 부재를 포함하고, 주 연결 부재와 부 연결 부재는 요동축에 평행한 회전축 주위에서 회전가능하게 연결된다.

양호하게는, 안내 부재는 요동축에 평행한 방향으로 개별적으로 받침부 상에 제공되는 한쌍의 안내 부재들을 포함하고, 요동체는 한쌍의 안내 부재를 가로질러 활주하도록 배치되고, 출력 샤프트의 상부 단부, 연결 샤프트 및 연결 기구는 받침 부, 요동체 및 한쌍의 안내 부재에 의해 한정된 공간내에 배치된다. 이에 따라, 출력 샤프트가 전진하거나 또는 후퇴할 때, 요동체의 좌우측부들은 핀치가 좌우측 궤도에서 발생하는 것을 방지하면서 동기식으로 이동된다.

양호하게는, 각도 조정 장치는 받침부 및 요동체 중 하나에 제공되는 스케일 기록 부재를 구비하는 각도 위치 검출기 및 받침부 및 요동체 중 다른 하나에 제공되고 스케일 기록 부재의 스케일을 검출하기 위한 검출기를 추가적으로 포함한다. 이에 따라, 감지된 출력과 요동체의 각도 위치 사이의 관계는 선형적이며, 각도 위치는 직접 검출되어서 높은 정확도로 각도 위치 검출을 하게 된다.

상기 설명된 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명의 추가적인 실시예는 받침부와, 받침부에 고정되고 아치형 궤도를 포함하는 안내 부재와, 안내 부재의 궤도를 따라 이동되는 요동체 및 궤도의 곡률 반경의 중심을 통과하는 요동축 주위에서 요동체의 각도 위치를 조정하기 위하여 요동체를 이동시키는 이동 부재를 포함하는 각도 조정 장치가 제공되며, 이동 부재는 요동축에 수직인 방향으로 연장되고 조정가능한 돌출량을 구비하며 받침부에 제공되는 출력 샤프트를 갖는 구동부와, 궤도를 따라 요동체의 이동으로 출력 샤프트의 축방향 이동을 절환하도록 구동부의 출력 샤프트의 상부 단부 및 요동체 사이에 개재된 연결 기구를 포함하고, 연결 기구는 판 스프링을 포함하고, 판 스프링의 곡률 정도는 요동체가 요동체에 대한 판 스프링의 고정 위치와 출력 샤프트의 축 코어 사이의 거리를 변화시키도록 궤도를 따라 이동될 때 변화된다.

상기 구성으로, 연결 기구는 판 스프링을 포함하고, 판 스프링을 통하여 출 력 샤프트의 축방향 이동은 궤도를 따라 요동체의 이동으로 절환된다. 따라서, 연결 기구는 나사와 같은 어떠한 결합부도 구비하지 않아서, 느슨함에 의해 기인되는 각도 조정의 낮은 정확도를 피할 수 있다. 또한, 판 스프링을 사용하면서, 구조는 더 적은 비용으로 단순화된다.

출력 샤프트가 회전으로 전진하거나 또는 후퇴할 때, 판 스프링의 일단부가 연결 부재에 고정되면서, 연결 기구는 그 축 코어 주위에서 상대적으로 회전가능하게 출력 샤프트의 상부 단부에 연결되는 연결 부재를 추가적으로 포함한다.

양호하게는 안내 부재는 요동축에 평행한 방향으로 개별적으로 받침부 상에 제공되는 한쌍의 안내 부재들을 포함하고, 요동체는 한쌍의 안내 부재들을 가로질러 활주하도록 배치되며, 출력 샤프트의 상부 단부와 연결 기구는 받침부, 요동체 및 한쌍의 안내 부재에 의해 형성된 공간내에 배치된다. 이에 따라, 출력 샤프트가 전진되거나 또는 후퇴할 때, 요동체의 좌우측부들은 핀치가 좌우측 궤도들에서 발생하는 것을 방지하면서 동기식으로 이동된다.

도1 내지 도9를 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 각도 조정 장치가 이하에 설명될 것이다. 도1 내지 도4에 도시된 바와 같이, 각도 조정 장치는 받침부(10), 받침부(10)에 고정된 한쌍의 안내 부재(20)들, 안내 부재(20)를 따라 안내되는 요동체(30), 요동체(30)를 이동시키는 이동 부재(40) 및 요동체(30)의 각도 위치를 검출하기 위한 검출기(50)를 포함한다.

요동체(30)는 이후에 설명되는 바와 같이, 원호 궤적을 따라 이동되며, 요동 축(0x)은 도1 및 도4의 원호 궤적의 중심축으로서 도시된다. 요동축(0x)은 도1의 용지면에 수직이지만, 도4에서 좌측에서 우측으로 연장된다. 부품들은 이후에 상세하게 설명될 것이다. 부품들의 배치들은 요동축(0x)을 참조하여 설명된다.

받침부(10)는 수평판형의 베이스부(11) 및 베이스부(11)의 상부면으로부터 돌출되는 돌출부(12)를 구비한다. 이 돌출부(12)는 요동축(0x)에 수직인 방향으로 수평으로 연장되고, 돌출부(12)의 종방향으로 연장되는 오목부(13)는 그 상부면 상에 형성된다. 관통 구멍(14)은 관통 구멍(14)을 통과하는 나사(도시 안됨)들에 의해 그라운드 테이블(도시 안됨)에 장치를 고정하도록 베이스부(11)의 4개의 모서리에 형성된다. 용어 "받침부"는 이러한 그라운드 테이블을 포함한다.

도3 내지 도7에 도시된 바와 같이, 받침부(10)의 돌출부(12)의 2개의 측면들은 편평하고 수직한 한쌍의 설정면으로서 제공되고 이후에 설명되는 바와 같이 작용을 한다. 또한, 받침부(10)의 베이스부(11)의 돌출부(12) 근방의 상부면은 편평하고 수평인 한쌍의 제2 설정면(16)들로서 제공된다. 제1 설정면(15)과 제2 설정면(16)은 서로 수직으로 교차한다. 제1 설정면(15)의 법선은 요동축(0x)에 평행하고 수평으로 연장되며, 제2 설정면(16)의 법선은 요동축(0x)에 수직이고 수직으로 연장된다. 설정면(15, 16)을 구비하는 [돌출부(12)의 2개의 측면 근방의]한쌍의 설정부는 요동축(0x)에 평행한 방향으로 이격된다.

도4 내지 도7에 도시된 바와 같이, 한쌍의 안내 부재(20)는 각각 한쌍의 설정부들에 고정되고, 요동축(0x)에 평행한 방향으로 이격되며 서로 대향한다. 각각의 안내 부재(20)는 베이스부(21) 및 궤도 형성부(22)를 구비한다. 베이스부(21) 는 편평하고 수직한 제1 기준면(25)으로서 제공되는 일측면과 편평하고 수평한 제2 기준면(26)으로서 제공되는 하부면을 구비한다. 제1 기준면(25)은 받침부(10)의 제1 설정면(15)과 접촉하고, 제2 기준면(26)은 받침부(10)의 제2 설정면(16)과 접촉하여서 안내 부재(20)가 위치설정된다. 이러한 상태에서, 안내 부재(20)는 받침부(10)에 고정된다.

더 상세하게, 안내 부재(20)는 제1 기준면(25)에 개방된 일단부를 갖춘 횡방향 관통 구멍(25a)을 구비한다. 받침부(10)는 설정면(15)에 개방된 일단부를 갖춘 탭 구멍(15a)을 구비한다. 외부로부터 이러한 관통 구멍(25a)를 통해 나사(61)[제1 나사]를 삽입하고 나사를 탭 구멍(15a)내로 나사 결합함으로써, 안내 부재(20)는 제1 기준면(25)이 제1 설정면(15)에 대해 가압되는 방식으로 고정된다. 또한, 받침부(10)는 제2 설정면(16)에 개방된 일단부를 갖춘 수직 관통 구멍(16a)을 구비하고, 안내 부재(20)는 제2 기준면(26)에 개방된 일단부를 갖춘 탭 구멍(26a)을 구비한다. 하부로부터 이러한 관통 구멍(16a)을 통해 나사(62)[제2 나사]를 삽입하고 나사를 탭 구멍(26a)내로 삽입함으로써, 안내 부재(20)는 제2 기준면(26)이 제2 설정면(16)에 대해 가압되는 방식으로 고정된다. 각각의 안내 부재(20)는 2개의 (복수의) 나사(61)들과 2개의 나사(62)들에 의해 고정된다.

안내 부재(20)의 궤도 형성부(22)는 [받침부(10)의 돌출부(12)의 대향면 및 안내 부재(20)와 마주보는 면의 대향면 상의]외측을 향하는 베이스부(21)의 상부 단부로부터 돌출되는 원호 형상을 구비한다. 원호 형상의 홈으로 구성된 궤도(23a 및 도23b)는 이러한 궤도 형성부(22)의 상부 및 하부면들 상에 형성된다. 궤도(23a 및 도23b)의 홈면들은 구름 요소들의 구름 접촉면으로 구성된다. 이러한 한쌍의 궤도(23a 및 도23b)들은 상이한 곡률 반경을 갖지만, 동일한 곡률 반경 중심을 갖는다. 이러한 한쌍의 궤도(23a 및 도23b)들은 한쌍의 안내 부재(20)가 서로 대면하는 방향에 수직인 방향으로 이격된다.

도1, 도2 및 도4 내지 도6에 도시된 바와 같이, 요동체(30)는 요동 테이블(31)과 주행 블록(주행체)[35]을 구비한다. 요동 테이블(31)은 직각의 평면인 상부벽(32) 및 상부벽(32)의 2개의 측면 에지들로부터 하향으로 수직 연장되는 한쌍의 측벽(33)들을 구비한다. 이러한 상부벽(32)의 상부면의 중심에서의 법선은 도1에서 Lx로 표시된다. 이러한 법선(Lx)은 요동축(Ox)과 교차된다. 2개의 주행 블록(35)들은 각각의 측벽(33)의 내부 측면에 볼트들에 의해 고정된다. 각각의 주행 블록(35)은 [안내 부재(20)들의 궤도(23a 및 23b)과 대면하면서 요소들을 구르게 하는 구름 접촉면을 포함하는]상부 및 하부 무단의 순환 통로(36)를 구비한다.

복수의 볼(37)[구름 요소]들은 주행 블록(35)의 이동과 함께 무단의 순환 통로(36)를 통해 순환되는 무단의 순환 통로(36)에 배치되고, 안내 부재(20)와 주행 블록(35) 사이의 구름 접촉면들 상에서 구른다. 볼(37)의 직경은 구름 접촉면들 사이의 간극보다 약간 크다. 구름 접촉면들과 볼(37)들은 구름 접촉면들 내로 볼들을 들어감으로써 탄성적으로 변형되고, 이에 따라 볼(37)은 예하중된다.

이동 부재(40)가 이하에 설명될 것이다. 이동 부재(40)는 도1 및 도3에 도시된 바와 같이, 브래킷(41)을 통하여 받침부(10)에 고정된 구동 유닛(42)[구동부]을 포함한다. 구동 유닛(42)의 출력 샤프트(42a)는 요동축(Ox)에 수직인 방향으로 수평으로 연장되고, 그 상부 단부는 받침부(10), 요동 테이블(31) 및 한쌍의 안내 부재(20)에 의해 한정된 공간내로 들어간다. 본 실시예에서, 출력 샤프트(42a)의 베이스 단부는 구동 유닛(42)의 케이싱(42x) 내에서 너트(도시 안됨)와 정합되는 볼 나사이다. 구동 유닛(42)의 케이싱(42x) 내에 내장된 펄스 모터(도시 안됨)는 너트를 회전하도록 구동되어서, 출력 샤프트(42a)는 그 돌출량이 조정됨으로써 전진하거나 또는 후퇴한다.

또한, 이동 부재(40)는 요동체(30)에 제공되는 연결 샤프트(43)를 포함한다. 연결 샤프트(43)는 요동 테이블(31)의 중심에 고정되고, 요동 테이블(31)의 상부벽(32)에 수직이며 하향 연장된다. 이러한 연결 샤프트(43)는 받침부(10), 요동 테이블(31) 및 한쌍의 안내 부재(20)에 의해 한정된 공간 내에 수납되고, 그 상부 단부는 받침부(10)의 오목부(13) 내로 들어간다.

도1 및 도3에 도시된 바와 같이, 연결 기구(45)는 구동 유닛(42)의 출력 샤프트(42a)와 연결 샤프트(43) 사이에 개재된다. 이러한 연결 기구(45)는 2개의 연결 부재(45 및 46)를 구비한다. 연결 부재(45)의 베이스 단부는 출력 샤프트(42a)의 상부 단부에 고정된다.

연결 부재(45)는 그 상부 단부에서 회전 샤프트(48)가 베어링(47)을 통하여 회전가능하게 지지되는 한쌍의 판형 편들을 구비한다. 연결 부재(주 연결 부재)[46]는 회전 샤프트(48)가 삽입되어 고정되는 관통 구멍(45x)을 구비한다. 결과적으로, 연결 부재(46)는 회전 샤프트(48)[요동축(Ox)에 평행한 회전축] 주위에서 회전가능하게 출력 샤프트(42)의 상부 단부에 연결된다. 게다가, 연결 부재(46)는 연결 샤프트(43)를 포함하는 원통형 볼 스프라인(49)을 통하여 연결 샤프트의 축방향으로 이동가능하게 연결 샤프트(43)에 연결된다.

구동 유닛(42)의 펄스 모터가 구동될 때, 출력 샤프트(42a)는 그 돌출량을 변경하도록 축방향으로 이동된다. 연결 부재(46)는 상대적인 축방향 이동을 불가능하지만 상대적인 회전을 할 수 있게 연결 부재(45)를 통하여 연결되므로, 출력 샤프트(42a)의 축방향 이동과 함께 연결 샤프트(43)를 가압하는 동일한 방향으로 이동된다. 결과적으로, 연결 샤프트(43)는 경사진다. 주행 블록(35)은 이러한 연결 샤프트(43)의 경사에 따라 안내 부재(20)들의 궤도(23a 및 23b)를 따라 이동하여서, 요동 테이블(31)은 요동축(Ox) 주위에서 각도 위치를 변경하도록 경사진다. 연결 부재(46)는 출력 샤프트(42a)에 대해 회전가능하고, 연결 샤프트(43)에 대하여 축방향으로 이동가능하여서, 출력 샤프트(42a)의 축방향 이동과 함께 연결 샤프트(43)의 경사가 허용된다.

주행 블록(35)은 구르고 순환하는 볼(37)로 궤도(23)에서 안내되고 원호 궤적을 그리는 동안 이동되며, 요동 테이블(31)은 원호 궤적을 그리는 동안 경사진다. 이러한 원호 궤적의 중심은 요동축(Ox)으로서 형성된다.

도2 및 도4에 도시된 바와 같이, 요동 테이블(31)의 각도 위치를 검출하기 위한 각도 위치 검출기(50)는 받침부(10) 상의 브래킷(51)을 통하여 제공되는 광 방사 유닛(52) 및 광 수신 유닛(53)[스케일 검출 부재]와, 요동 테이블(31)의 측벽(33) 상의 브래킷(55)을 통하여 제공되는 유리판(56)[스케일 기록 부재]를 구비한다. 광 방사 유닛(52)과 광 수신 유닛(53)은 요동축(Ox)에 평행한 방향으로 이격된다. 도8에 도시된 바와 같이, 광 방사 유닛(52)은 4개의 광 방사부(52a)들, 즉 상부, 하부, 좌측 및 우측부로 분할되고, 광 수신 유닛(53)은 4개의 광 수신부(도시 안됨), 즉 상부, 하부, 좌측 및 우측부로 또한 분할된다.

유리판(56)은 광 방사 유닛(52)과 광 수신 유닛(53) 사이에 배치된 원호 형상의 스케일부(56a)를 구비한다. 스케일부(56a)는 스케일 격자를 구비한다. 검출 신호는 요동 테이블(31)의 각도 위치의 변화에 따른 모든 미세 각도 단위(스케일)에 대해 광 수신 유닛(53)으로부터 출력된다. 그 원리는 공지되어 있고, 상세한 설명은 생략된다. 이러한 각도 위치 검출 신호는 요동 테이블(31)의 각도 조정을 하도록 이러한 검출 신호에 기초하여 구동 유닛(42)의 펄스 모터를 제어하는 마이크로컴퓨터(도시 안됨)로 피드백된다.

상기 구성의 장치에서, 안내 부재(20)의 베이스부(21)의 제1 기준 편평면(25)은 받침부(10)의 편평한 제1 설정면(15)과 정렬되고, 안내 부재(20)는 가압하에서 제1 나사(61)들에 의해 제1 설정면(15)에 고정되고, 제2 기준 편평면(26)은 제2 설정면(16)과 정렬되며, 안내 부재(20)는 가압하에서 제2 나사(62)에 의해 제2 설정면(16)에 고정된다. 따라서, 원호 형상의 궤도(23a 및 23b)들은 비틀리지 않아서, 궤도(23)의 진원도의 저하를 방지하고 높은 정확도로 요동체의 각도 조정을 할 수 있게 된다.

이동 부재(40)에 대하여, 상업적으로 입수가능한 구동 유닛(42)은 모터와 볼 나사 기구가 케이싱(42x)내에 내장되는 곳에서 이용될 수 있다. 따라서, 받침부(10) 및 요동체(30)에 나사부를 형성할 필요가 없어서, 느슨함으로 인한 각 도 조정 정확도를 저하시키는 것을 피할 수 있다.

이동 부재(40)의 출력 샤프트(42a)의 상부 단부, 연결 샤프트(43) 및 연결 기구(45)는 받침부(10), 한쌍의 안내 부재(20)들 및 요동체(30)에 의해 형성된 공간내에 수납되므로, 이동 부재(40)를 위한 큰 배치 공간을 필요하지 않게 되어 장치가 소형화된다. 중간에 위치된 출력 샤프트(42a)가 전진하거나 또는 후퇴할 때, 요동체(30)의 좌우측부는 좌우측 궤도(23a 및 23b)에 안내되는 동안 동기식으로 이동되어서 좌우측 궤도(23a 및 23b)는 핀치되는 것이 방지된다. 게다가, 요동체(30)는 전체적으로 4개의 궤도들에 의해 안정적으로 안내된다. 볼(37)들은 예하중되므로, 안내 부재(20)에 대한 요동체(30)의 강성은 증가된다.

또한, 요동체(30)의 각도 위치 검출은 요동체(30) 상에 제공되는 유리판(56)의 스케일을 갖추고 받침부(10) 상에 제공되는 광 수신 유닛(53)을 사용하면서 행해지고, 이에 따라 검출된 출력과 요동체(30)의 각도 위치 사이의 관계는 선형이고, 각도 위치는 직접 검출될 수 있다[즉, 각도 위치는 구동 유닛(42)에 대한 펄스 모터의 출력 펄스의 수로부터 간접적으로 계산되지 않는다]. 그리고, 영점 조정이 가능하다.

도10 내지 도12를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예들이 아래에 설명될 것이다. 이러한 실시예들은 제1 실시예와 동일한 기본 구성을 가지며, 다른 부분들만이 아래에 설명될 것이다. 대응하는 부분들은 동일한 도면 부호로 지정되며 설명되지는 않는다.

도10은 본 발명의 제2 실시예를 도시한다. 본 실시예에서, 받침부(10)의 돌 출부(12)에 형성된 오목부(13)는 구동 유닛(42)의 측면에 이른다. 제1 실시예의 것과 상이한 연결 기구(80)는 구동 유닛(42)의 출력 샤프트(42a)의 상부 단부와 요동 테이블(31)의 사이에 개재된다.

연결 기구(80)는 아래에 설명될 것이다. 연결 부재(81)는 출력 샤프트(42a)의 상부 단부에 고정되고, 브래킷(82)은 연결 부재(81)에 고정된다. 이러한 브래킷(82)의 상부면은 출력 샤프트(42a)의 축 코어에 수평 및 평행한 부착면(82a)이다. 이러한 부착면(82a) 상에서, 출력 샤프트(42a)의 종방향으로 연장되는 넓은 판 스프링(83)의 일단부가 고정된다. 반면에, 볼록부(84)는 요동 테이블(31)의 상부벽(42)의 하부면 상에 형성된다. 볼록부(84)의 하부면은 판 스프링(83)의 타 단부가 부착되는 경사 부착면(84a)이다. 판 스프링(83)의 일 판면은 요동 테이블(31)과 대면하고, 판 스프링(83)의 타 판면은 받침부(10)와 대면한다.

판 스프링(83)은 도10a에 도시된 바와 같이 요동 테이블(31)이 받침부(10)에 평행한 상태(수평한 상태)로 만곡된 형상이다. 출력 샤프트(42a)가 구동 유닛(42)의 펄스 모터를 구동함으로써 축방향으로 이동될 때, 요동 유닛은 판 스프링(83)을 통하여 원호 궤도(30)를 따라 이동된다. 판 스프링(83)이 SUS 강판으로 제조되므로, 충분한 강성을 가지며, 이에 따라 이동의 변환이 가능하게 된다.

출력 샤프트(42a)가 도10b에 도시된 바와 같이 돌출량을 증가시키도록 전진될 때, 요동 테이블(31)은 우측으로 경사지도록 이동되어서 요동 테이블(31) 상의 판 스프링(83)의 고정부는 상향으로 변위되고, 이에 따라 출력 샤프트(42a)의 축 코어의 연장선로부터의 거리가 증가된다. 판 스프링(83)의 고정부의 상향 변위는 판 스프링(83)의 곡률 정도에서의 증가로 인해 허용된다.

도10c에 도시된 바와 같이 출력 샤프트(42a)가 돌출량을 감소시키도록 후퇴할 때, 요동 테이블(31)은 좌측으로 경사지게 이동되어, 요동 테이블(31)상의 판 스프링(83)의 고정부는 하향으로 변위되고, 이에 따라 출력 샤프트(42a)의 축 코어의 연장선으로부터의 거리가 감소된다. 판 스프링(83)의 고정부의 하향 변위는 판 스프링(83)의 곡률 정도에서의 감소로 인해 허용된다. 이러한 제2 실시예에서, 판 스프링(83)은 요동 테이블(31)의 각도 조정 범위 내에서 만곡 상태로 유지된다. 즉, 판 스프링(83)은 출력 샤프트(42)의 돌출량이 최소일 때조차도 약간은 만곡된다.

제2 실시예에서, 받침부(10) 및 요동체(30)에 나사부를 형성할 필요가 없어서, 느슨함으로 인한 각도 조정 정확도의 저하를 피할 수 있다. 판 스프링(83)을 사용하면서, 제1 실시예의 베어링(47)과 볼 스플라인(49)은 단순하고 저렴한 구조를 생산하도록 생략될 수 있다.

도11에 도시된 바와 같이 본 발명의 제3 실시예에서, 수동 작동되는 미동 나사(70)가 구동부로서 이용된다. 미동 나사(70)의 출력 샤프트(70a)는 출력 샤프트(70a)와 동축으로 고정되는 연결 부재(45a)를 구비한다. 소형 직경을 갖는 이러한 연결 부재(45a)의 상부 단부에서, 원통형 베이스 단부를 구비하는 연결 부재(45b)[부 연결 부재]는 베어링(90)을 통하여 회전가능하게 연결된다. 연결 부재(45b)의 회전 중심은 출력 샤프트(70a)의 축 코어(Sx)와 일치한다. 연결 부재(45a 및 45b)들은 출력 샤프트(70a)의 축방향으로 상대적으로 이동불가능하다. 연결 부재(45b)의 상부 단부에서, 연결 부재(46)는 제1 실시예와 동일하게 베어링(47) 및 회전 샤프트(48)를 통하여 연결된다.

연결 부재(45b)는 상대적인 축 이동은 불가능하지만 상대적인 회전은 가능하게 연결 부재(45a)를 통하여 출력 샤프트(70a)에 연결되므로, 회전으로 출력 샤프트(70a)의 축방향 이동을 뒤따르면서, 연결 부재(46) 및 연결 샤프트(43)를 통하여 요동 테이블(31)을 경사지도록 축방향으로 이동된다.

도12에 도시된 바와 같이 제4 실시예에서는, 제2 실시예에서 사용되는 판 스프링(83) 및 수동 작동되는 미동 나사(70)가 이용된다. 미동 나사(70)의 출력 샤프트(70a)의 상부 단부는 연결 부재(45a 및 45b)들 및 베어링(90)을 통하여 브래킷(82)에 연결된다. 다른 구성 및 작동은 제3 실시예와 동일하다.

샤프트(70a)으로의 판 스프링(83)의 고정부는 제2 실시예와 동일하게 샤프트(70a)의 거의 축 코어의 연장선 상이나 또는 그 위에 위치되는 것이 바람직하다. 이러한 방식으로, 판 스프링(83)이 더 작은 탄성 변형량 및 구동부에 의해 수신된 더 작은 탄성 복귀력의 양을 갖는 것이 만족된다.

본 발명은 상기 실시예들에 제한되지 않고 다양한 변형예 및 수정예들이 이용될 수 있다. 예를 들어, 출력 샤프트는 회전으로 전진되거나 또는 후퇴하는 모터의 구동부일 수 있고, 또는 수동으로 작동되고 회전하지 않고 전진되거나 후퇴하는 미동 나사일 수 있다. 상기 실시예들과 대조적으로, 구동부는 요동 테이블 상에 제공될 수 있고, 연결 샤프트는 받침부 상에 제공될 수 있다.

각도 위치 검출기는 광학 검출기에 한정되지 않고 자기 검출기일 수 있다.

본 발명은 2축 각도 조정 장치에 적용될 수 있다. 이러한 경우에, 상부 스테이지 및 하부 스테이지는 상기 실시예들과 동일한 방식으로 구성되며, 이에 따라 상부 스테이지의 받침부(10)는 하부 스테이지의 요동 테이블(31) 상에 고정된다. 하부 스테이지의 요동 테이블과 상부 스테이지의 받침부는 일체형으로 형성될 수 있다.

상기 설명된 바와 같이, 본 발명에 따라 미세 각도 위치 조정은 고정밀도로 행해질 수 있다.

본 발명의 각도 조정 장치는 높은 정확도로 미세 각도 조정을 할 수 있는 효과가 있다.

Claims

서로 교차하는 제1 설정면과 제2 설정면을 구비하는 받침부와,

상기 받침부에 고정되고, 궤도 형성부, 상기 궤도 형성부에 형성된 아치형 궤도 및 제1 기준면과 제2 기준면을 구비하는 베이스부를 포함하는 안내 부재와,

상기 안내 부재의 궤도를 따라 이동되는 요동체와,

상기 궤도의 곡률 반경의 중심을 통과하는 요동축을 중심으로 상기 요동체의 각도 위치를 조정하도록 상기 요동체를 이동시키는 이동 부재를 포함하고,

상기 궤도 형성부와 상기 베이스부는 일체로 형성되고,

상기 안내 부재는 상기 제1 기준면과 상기 제2 기준면이 상기 받침부의 상기 제1 설정면 및 상기 제2 설정면과 접촉하는 상태로 상기 받침부에 고정되는 각도 조정 장치.
제1항에 있어서, 상기 안내 부재는, 상기 제1 설정면과 상기 제1 기준면을 관통하는 제1 나사에 의해 상기 제1 기준면이 상기 제1 설정면에 대해 가압되도록 상기 받침부에 고정되고, 상기 제2 설정면과 상기 제2 기준면을 관통하는 제2 나사에 의해 상기 제2 기준면이 상기 제2 설정면에 대해 가압되도록 상기 받침부에 고정되는 각도 조정 장치.
제1항에 있어서, 상기 받침부는, 상기 요동축에 평행한 방향으로 이격되고 상기 제1 설정면과 상기 제2 설정면이 각각 형성되는 한 쌍의 설정부를 구비하고,

상기 안내 부재는 서로 대면하도록 한 쌍의 설정부에 고정되는 한 쌍의 안내 부재를 포함하고,

상기 한 쌍의 안내 부재 각각의 궤도 형성부는 상기 베이스부로부터 외향으로 돌출되고,

상기 요동체는 상기 한 쌍의 안내 부재를 걸치도록 배치되고,

상기 각각의 궤도 형성부에는 상이한 곡률을 갖는 한 쌍의 궤도가 형성되고,상기 한 쌍의 궤도는 상기 한 쌍의 안내 부재가 서로 대면하는 방향에 직각인 방향으로 이격되며, 상기 안내 부재의 적어도 일부는 상기 받침부, 상기 요동체 및 상기 한 쌍의 안내 부재에 의해 형성된 공간 내에 수용되는 각도 조정 장치.
제1항에 있어서, 상기 궤도는 구름 요소에 대한 구름 접촉면을 구비하고, 상기 요동체에는 상기 궤도의 상기 구름 접촉면과 대면하는 구름 요소에 대한 구름 접촉면을 포함하는 무단의 순환 통로가 형성되고,

상기 무단의 순환 통로에는 상기 요동체의 이동과 함께 순환하는 복수의 구름 요소가 배치되고,

상기 구름 요소는 상기 구름 접촉면과 상기 궤도에 대한 구름 요소의 구름 접촉면 사이에서 예하중 상태로 배치되는 각도 조정 장치.
받침부와,

상기 받침부에 고정되고 아치형 궤도를 포함하는 안내 부재와,

상기 안내 부재의 궤도를 따라 이동되는 요동체와,

상기 궤도의 곡률 반경의 중심을 통과하는 요동축을 중심으로 상기 요동체의 각도 위치를 조정하도록 상기 요동체를 이동시키는 이동 부재를 포함하고,

상기 이동 부재는,

상기 요동축에 직각인 방향으로 연장되고 돌출량을 조정가능한 출력 샤프트를 갖고, 상기 받침부 및 상기 요동체 중 하나에 제공되는 구동부와,

상기 받침부와 상기 요동체 중 다른 하나에 제공되는 연결 샤프트와,

상기 출력 샤프트의 축방향 이동을 상기 궤도를 따르는 상기 요동체의 이동으로 절환하도록 출력 샤프트의 상부 단부와 상기 연결 샤프트 사이에 개재된 연결 기구를 포함하고,

상기 연결 기구는 상기 요동축에 평행한 회전 샤프트를 중심으로 회전가능하게 상기 출력 샤프트의 상부 단부에 연결되고, 상기 연결 샤프트의 축방향으로 선형적으로 이동가능하게 상기 연결 샤프트에 연결되는 주 연결 부재를 포함하고,

상기 주 연결 부재는 볼 스플라인을 통하여 상기 연결 샤프트에 직선 이동가능하게 연결되는 각도 조정 장치. 각도 조정 장치.
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제5항에 있어서, 상기 받침부와 상기 요동체 중 하나에 제공되는 스케일 기록 부재와, 상기 받침부와 상기 요동체 중 다른 하나에 제공되고 상기 스케일 기록 부재의 스케일을 검출하기 위한 검출기를 구비하는 각도 위치 검출기를 추가로 포함하는 각도 조정 장치.
받침부와,

상기 받침부에 고정되고 아치형 궤도를 포함하는 안내 부재와,

상기 안내 부재의 궤도를 따라 이동되는 요동체와,

궤도의 곡률 반경의 중심을 통과하는 요동축을 중심으로 상기 요동체의 각도 위치를 조정하도록 상기 요동체를 이동시키는 이동 부재를 포함하고,

상기 이동 부재는,

상기 요동축에 직각인 방향으로 연장되고 돌출량을 조정가능한 출력 샤프트를 갖고, 상기 받침부에 제공되는 구동부와,

상기 출력 샤프트의 축방향 이동을 궤도를 따르는 상기 요동체의 이동으로 절환하도록 상기 구동부의 상기 출력 샤프트의 상부 단부와 상기 요동체 사이에 개재된 연결 기구를 포함하고,

상기 연결 기구는 판 스프링을 포함하고, 상기 요동체가 궤도를 따라 이동될 때 상기 요동체로의 상기 판 스프링의 고정 위치와 상기 출력 샤프트의 축 코어의 사이의 거리를 변화시키도록 상기 판 스프링의 곡률 정도가 변화되는 각도 조정 장치.
제10항에 있어서, 상기 출력 샤프트는 회전에 따라 전진되거나 또는 후퇴하고,

상기 연결 기구는 상기 축 코어를 중심으로 상대적으로 회전가능하게 상기 출력 샤프트의 상부 단부에 연결되는 연결 부재를 추가적으로 포함하고, 상기 판 스프링의 일단부가 상기 연결 부재에 고정되는 각도 조정 장치.
제10항에 있어서, 상기 안내 부재는 상기 요동축에 평행한 방향으로 이격되어 상기 받침부 상에 제공되는 한 쌍의 안내 부재를 포함하고,

상기 요동체는 상기 한 쌍의 안내 부재를 걸치도록 배치되고,

상기 출력 샤프트의 상부 단부와 상기 연결 기구는 상기 받침부, 상기 요동체 및 상기 한 쌍의 안내 부재에 의해 형성된 공간에 배치되는 각도 조정 장치.
받침부와,

상기 받침부에 고정되고 아치형 궤도를 포함하는 안내 부재와,

상기 안내 부재의 궤도를 따라 이동되는 요동체와,

상기 궤도의 곡률 반경의 중심을 통과하는 요동축을 중심으로 상기 요동체의 각도 위치를 조정하도록 상기 요동체를 이동시키는 이동 부재를 포함하고,

상기 이동 부재는,

상기 요동축에 직각인 방향으로 연장되고 돌출량을 조정가능한 출력 샤프트를 갖고, 상기 받침부 및 상기 요동체 중 하나에 제공되는 구동부와,

상기 받침부와 상기 요동체 중 다른 하나에 제공되는 연결 샤프트와,

상기 출력 샤프트의 축방향 이동을 상기 궤도를 따르는 상기 요동체의 이동으로 절환하도록 출력 샤프트의 상부 단부와 상기 연결 샤프트 사이에 개재된 연결 기구를 포함하고,

상기 연결 기구는 상기 요동축에 평행한 회전 샤프트를 중심으로 회전가능하게 상기 출력 샤프트의 상부 단부에 연결되고, 상기 연결 샤프트의 축방향으로 선형적으로 이동가능하게 상기 연결 샤프트에 연결되는 주 연결 부재를 포함하고,

상기 출력 샤프트는 회전에 따라 전진하거나 또는 후퇴하고,

상기 연결 기구는 상기 출력 샤프트의 축 코어를 중심으로 상대적으로 회전가능하게 상기 출력 샤프트의 상부 단부에 연결되고 상기 출력 샤프트의 상부 단부와 상기 주 연결 부재 사이에 개재되는 부 연결 부재를 포함하고,

상기 주 연결 부재와 상기 부 연결 부재는 상기 요동축에 평행한 회전축을 중심으로 회전가능하게 연결되는 각도 조정 장치.
받침부와,

상기 받침부에 고정되고 아치형 궤도를 포함하는 안내 부재와,

상기 안내 부재의 궤도를 따라 이동되는 요동체와,

상기 궤도의 곡률 반경의 중심을 통과하는 요동축을 중심으로 상기 요동체의 각도 위치를 조정하도록 상기 요동체를 이동시키는 이동 부재를 포함하고,

상기 이동 부재는,

상기 요동축에 직각인 방향으로 연장되고 돌출량을 조정가능한 출력 샤프트를 갖고, 상기 받침부 및 상기 요동체 중 하나에 제공되는 구동부와,

상기 받침부와 상기 요동체 중 다른 하나에 제공되는 연결 샤프트와,

상기 출력 샤프트의 축방향 이동을 상기 궤도를 따르는 상기 요동체의 이동으로 절환하도록 출력 샤프트의 상부 단부와 상기 연결 샤프트 사이에 개재된 연결 기구를 포함하고,

상기 연결 기구는 상기 요동축에 평행한 회전 샤프트를 중심으로 회전가능하게 상기 출력 샤프트의 상부 단부에 연결되고, 상기 연결 샤프트의 축방향으로 선형적으로 이동가능하게 상기 연결 샤프트에 연결되는 주 연결 부재를 포함하고,

상기 안내 부재는 상기 요동축에 평행한 방향으로 이격하여 상기 받침부 상에 제공되는 한 쌍의 안내 부재를 포함하고,

상기 요동체는 상기 한 쌍의 안내 부재를 걸치도록 배치되고,

상기 출력 샤프트의 상부 단부, 상기 연결 샤프트 및 상기 연결 기구는 상기 받침부, 상기 요동체 및 상기 한 쌍의 안내 부재에 의해 형성된 공간에 배치되는 각도 조정 장치.
제13항 또는 제14항에 있어서, 상기 받침부와 상기 요동체 중 하나에 제공되는 스케일 기록 부재와, 상기 받침부와 상기 요동체 중 다른 하나에 제공되고 상기 스케일 기록 부재의 스케일을 검출하기 위한 검출기를 구비하는 각도 위치 검출기를 추가로 포함하는 각도 조정 장치.