CN1442667A - 角度调整设备 - Google Patents

Abstract

一种角度调整设备，它包括一基座、一对具有弧形轨道的引导件、一沿引导件的轨道移动的摆动体和一用于移动摆动体以围绕摆动轴线调整摆动体的角度位置的移动构件。移动构件具有一设置在基座中的电动机、一设置在摆动体中的联接轴和一位于电动机和联接轴之间的联接结构。联接结构的主联接构件可以围绕平行于摆动轴线的一轴线转动地连接到输出轴的一顶端部分，并且沿其轴线可线性移动地连接到联接轴。引导件具有两个平坦基准面，并且固定在所述基准面与基座的两个平坦设置面相接触的状态下。

Description

角度调整设备

技术领域

本发明涉及一种被称为角度段(gonio-stage)或旋转段的角度调整设备。

背景技术

涉及本发明的角度调整设备的现有技术文件之一是JP-A-2000-230548(图1、图10)。该公报揭示了一种双轴角度调整设备。在该设备的第一实施例中，一下段结构和一上段结构基本上是相同的。在每段中，设备具有截面呈U形的基座，该基座具有一底壁和两侧壁。用于该基座的两侧壁的上边缘形成圆弧状，一弧形引导件沿其上边缘固定在垂直的平坦外表面上(设置平面)。通过一螺钉从外部将该引导件固定到侧壁上。一弧形槽(轨道)形成在引导件的上、下表面上。

此外，设备在每段中包括一摆动体。该摆动体包括：一摆动台，该摆动台具有一顶壁和两侧壁，其截面呈U形；以及一过渡块(transit block)，该过渡块固定到用于该摆动台的两侧面的内表面。每个过渡块具有一无限运行通道，在该无限运行通道中设有诸球体。该无限运行通道的一部分面对引导件的轨道，位于其间的诸球体在沿过渡块的轨道移动的同时发生滚动。

设备还具有移动装置。该移动装置沿弧形轨道移动摆动体，以调整摆动体围绕摆动轴线的角度位置(该轴线通过用于轨道的曲率半径中心)。该移动装置包括一设置在摆动台中的电动机和一与上述公报的第一实施例中的小齿轮配合的弧形齿条，如图1所示。该齿条固定在基座的诸侧壁的内表面的上边缘附近。摆动体借助小齿轮和齿条的配合随电动机的旋转一起沿轨道移动。

在图10所示的公报的第四实施例中，下段中的移动装置与第一实施例不同。下段中的移动装置包括一设置在基座中的电动机、一与该电动机连接的滚珠螺杆机构、一由滚珠螺杆机构线性水平移动的第一移动体以及一可滑动地垂直设置在该第一移动体上的第二移动体。摆动台可转动地连接到第二移动体。在该实施例中，第一移动体借助滚珠螺杆机构随电动机的旋转一起水平移动，其中借助第二移动体将该水平移动转化为摆动台沿轨道的移动。

与以上公报相同，JP-A-2001-99150(图2、图4)的设备包括一基座；一对固定到该基座的弧形引导件；一摆动体，该摆动体沿引导件的轨道移动；以及移动装置，该移动装置用以移动摆动体来调整摆动体围绕摆动轴线的角度位置(该轴线通过用于弧形轨道的曲率半径中心)。一凸部形成在基座中心，并且用作一第一设置平面，该凸部的两侧面都是垂直的。同样，凸部附近的一顶面为弧形面，用作一第二设置平面。顺便提一句，引导件的一个侧面是一平坦的第一基准面，而用作轨道的弧形槽形成在另一侧面上。此外，引导件的下表面是一用作弧形面的第二基准面。在这样一种条件下通过螺钉将引导件朝第二设置平面固定到基座，此处引导件的平坦的第一基准面与用于基座的第一设置平面相接触，而弧形面的第二基准面与第二设置平面相接触。

JP-A-2001-99150的设备的移动装置包括一设置在基座中的电动机；一由该电动机旋转的蜗杆；以及一齿轮部分，该齿轮部分形成在摆动体上，并且与蜗杆配合。摆动体借助蜗杆和齿轮部分的配合随电动机的转动一起旋转。

近年来，存在一种以高精确度进行精细角度调整的需求。然而，采用包括以上公报的设备的传统型角度调整设备无法满足这种需求。下面将详细叙述理由。

在JP-A-2000-230548的设备中，由于引导件在这样一种条件下由螺钉固定，即弧形平坦基准面与基座的平坦设置平面相接触，弧形引导件在紧固螺钉时发生变形，以使用于引导件的轨道的圆度降低。同样，在JP-A-2001-99150的设备中，由于引导件的第二基准面对准基座中的第二设置平面的圆形表面，如果第二设置平面的圆弧度的圆度较低，或第二设置平面和第二基准面具有略微不同的圆弧曲率半径的话，引导件将会变形，用于引导件的轨道的圆度将会降低，以使角度位置调整的精度降低。

在JP-A-2000-230548的第一实施例中，齿条和小齿轮设置在每个摆动体和基座中。在第四实施例中，定制的滚珠螺杆机构构成在基座内。同样，在JP-A-2001-99150的设备中，蜗杆和齿轮部分设置在基座和摆动体中。在这些结构中，角度位置调整由于暴露于外部的配合的松动而具有较低的精度。

发明内容

本发明已经实现了解决高精度地进行微型角度调整的问题，并且提供了一种角度调整设备，它包括：一基座，该基座具有彼此交叉的第一和第二设置平面；一引导件，该引导件固定到基座，并且包括一轨道形成部分、一形成在该轨道形成部分上的弧形轨道和具有第一和第二基准面的基部；一摆动体，该摆动体沿引导件的轨道移动；以及一移动构件，该移动构件用于移动摆动体，以围绕通过轨道的曲率半径中心的一摆动轴线调整该摆动体的角度位置，其中，轨道形成部分和基部一体构成，并且引导件在这样一种状态下固定到基座，即第一和第二基准面与基座的第一和第二设置平面相接触。

采用以上结构，引导件固定到基座，以使引导件的基部的第一和第二基准平面对准基座的第一和第二设置平面，其中弧形轨道不会变形，并且避免了轨道圆度的下降。因此，可以高精度地进行摆动体的角度调整。

较佳的是，引导件固定到基座以使第一基准面通过贯穿第一设置平面和第一基准面的一第一螺钉施压于第一设置平面，并且固定到基座以使第二基准面通过贯穿第二设置平面和第二基准面的一第二螺钉施压于第二设置平面。因而，使引导件的定位更加可靠。

较佳的是，基座具有一对沿平行于摆动轴线的方向分离的设置部分，每个设置部分形成有第一和第二设置平面，该引导件包括一对固定到该对设置部分以使其彼此面对的引导件，每对引导件的轨道形成部分从基部向外突伸，摆动体被设置成跨过该对引导件，每个轨道形成部分形成有一对具有不同曲率的轨道，该对轨道沿着与该对引导件彼此面对的方向相垂直的方向分离，并且至少一部分移动构件被接纳在由基座、摆动体和该对引导件形成的空间中。

因而，移动构件不占据大量空间，设备的尺寸可以减小。摆动体可由总共四条轨道稳定引导。

较佳的是，轨道具有一用于滚动元件的滚动接触面，摆动体形成有一无限运行通道，该通道包括一用于滚动元件的滚动接触面，该滚动接触面面对轨道的滚动接触面，随摆动体的移动一起运行的多个滚动元件设置在无限运行通道中，并且滚动元件以预加载荷的状态设置在轨道用滚动元件的滚动接触面与诸滚动接触面之间。因而，摆动体具有抵靠引导件的加强的刚度。本文所用的刚度是在力或力矩载荷施加在一个构件上或两个构件之间时表示位移或变形的弹性的系数，并且作为静态刚性和动态刚性给出。

为了解决上述问题，本发明的另一方面提供了一种角度调整设备，它包括：一基座；一引导件，该引导件固定到基座，并且包括一弧形轨道；一摆动体，该摆动体沿引导件的轨道移动；以及一移动构件，该移动构件用于移动摆动体，以围绕通过该轨道的曲率半径中心的一摆动轴线调整摆动体的角度位置，其中，移动构件包括：一驱动部分，该驱动部分具有一输出轴，该输出轴沿垂直于摆动轴线的方向延伸并具有一可调整的突伸量，并且设置在基座和摆动体之一中；一联接轴，该联接轴设置在基座和摆动体的另一个中；以及一联接结构，该联接结构位于输出轴的一顶端部与联接轴之间，以将输出轴的轴向移动转变为摆动体沿轨道的移动，并且联接结构包括一主联接构件，该主联接构件围绕平行于摆动轴线的一旋转轴线可转动地连接到输出轴的顶端部，并且沿联接轴的轴向可线性移动地连接到联接轴。

采用以上结构，联接结构不具有诸如螺钉的配合部，藉此可以避免由于松动造成角度调整精度的降低。同样，不需要用拉簧来解决松动，并且具有高耐用性。

较佳的是，主要联接构件借助一滚珠花键以可线性移动的方式连接到联接轴。因而，主联接构件沿联接轴稳定地移动。

当输出轴旋转前进或后退时，联接结构包括一位于输出轴的顶端部与主联接构件之间的辅助联接构件，该辅助联接构件连接到输出轴的顶端部，以便可以围绕输出轴的轴向中心相对转动，并且主联接构件和辅助联接构件围绕平行于摆动轴线的旋转轴线可转动地连接。

较佳的是，引导件包括一对沿平行于摆动轴线的方向分别设置在基座上的引导件，摆动体被设置成跨过该对引导件，并且输出轴的顶端部、联接轴和联接结构被设置在由基座、摆动体和该对引导件形成的空间中。因而，当输出轴前进或后退时，摆动体的左、右部将同步移动，防止左、右轨道中发生夹紧。

较佳的是，角度调整设备还包括一角度位置检测器，其中，角度位置检测器具有一设置在基座和摆动体之一中的刻度记录构件，以及一用于检测刻度记录构件的刻度的检测器，该检测器设置在基座和摆动体的另一个中。因而，检测到的输出与摆动体的角度位置之间的关系是线性的，直接检测角度位置，导致高精度地进行角度位置检测。

为了解决以上问题，本发明的又一实施例提供了一种角度调整设备，它包括：一基座；一引导件，该引导件固定到基座，并且包括一弧形轨道；一摆动体，该摆动体沿引导件的轨道移动；以及一移动构件，该移动构件用于移动摆动体，以围绕通过该轨道的曲率半径中心的一摆动轴线调整摆动体的角度位置，其中，移动构件包括：一驱动部分，该驱动部分具有一输出轴，该输出轴沿垂直于摆动轴线的方向延伸并具有一可调整的突伸量，并且设置在基座中；以及一联接结构，该联接结构位于输出部分的输出轴的一顶端部与摆动体之间，以将输出轴的轴向移动转变为摆动体沿轨道的移动，并且联接结构包括一片簧，当摆动体沿轨道移动时，该片簧的弯曲度发生变化，以改变片簧对摆动体的固定位置与输出轴的轴向中心之间的距离。

采用以上结构，联接结构包括片簧，并且借助片簧将输出轴的轴向移动转化成摆动体沿轨道的移动。因此，联接结构不具有诸如螺钉的配合部分，藉此可以避免由于松动引起角度调整精度的降低。同样，使用片簧可以简化结构并降低成本。

当输出轴旋转前进或后退时，联接结构还包括一联接构件，该联接构件连接到输出轴的顶端部，以便可以围绕其轴向中心相对转动，而片簧的一端部被固定到联接构件。

较佳的是，引导件包括一对沿平行于摆动轴线的方向分别设置在基座上的引导件，摆动体被设置成跨过该对引导件，并且输出轴的顶端部和联接结构被设置在由基座、摆动体和该对引导件形成的空间中。因而，当输出轴前进或后退时，摆动体的左、右部同步移动，防止左、右轨道中发生夹紧。

附图说明

图1是本发明的第一实施例的角度调整设备的纵剖视图；

图2是角度调整设备的平面图；

图3是角度调整设备的平面图，该图示出了部分剖视的基座和移动装置；

图4是从右方看到的角度调整设备的示图；

图5是从右方看到的角度调整设备的示图，其中设备的基座、引导件、过渡块和摆动台被分解；

图6是角度调整设备的侧视图，其中基座、引导件和过渡块已被装配好；

图7是显示被分解的基座和引导件的侧视图；

图8是部分显示用于角度调整设备的角度位置检测装置的侧视图；

图9是显示角度位置检测装置的玻璃板的侧视图；

图10A至10C是部分显示本发明的第二实施例的角度调整设备的纵剖视图，图10A至图10C具有不同的方位；

图11是部分显示本发明的第三实施例的角度调整设备的纵剖视图；以及

图12是部分显示本发明的第四实施例的角度调整设备的纵剖视图。

具体实施方式

请参见图1至9，下面将叙述本发明的第一实施例的角度调整设备。角度调整设备包括一基座10、一对固定到基座10的引导件20、一沿引导件20被引导的摆动体30、一用于移动摆动体30的移动构件40以及一用于检测摆动体30的角度位置的检测器50，如图1至4所示。

摆动体30沿圆弧轨迹(后面将叙述)移动，其中摆动轴线Ox被显示成图1和4中的圆弧轨迹的中心轴线。摆动轴线Ox与图1的纸面垂直，但在图4中从左方延伸到右方。下面将详细叙述各构件。结合摆动轴线Ox叙述诸构件的设置。

基座10具有一水平板状基部11和一从基部10的顶面突伸的突起12。该突起12沿着与摆动轴线Ox垂直的方向水平延伸，沿突起12的纵向延伸的凹部13形成在其顶面上。通孔14形成在基部11的四个转角处，以借助通过通孔14的螺钉(图中未示出)将设备固定到基台(ground table)(图中未示出)。术语“基座”包括该基台。

如图3至7所示，基座10的突起12的两侧面被设置成一对设置平面15，所述设置平面是平坦且垂直的，并且进行后面将叙述的动作。同样，基座10的基部11中的突起12附近的顶面被设置成一对平坦且水平的第二设置平面16。第一设置平面15和第二设置平面16彼此垂直地交叉。第一设置平面15的法线平行于摆动轴线Ox并水平延伸，而第二设置平面16的法线垂直于摆动轴线Ox并垂直延伸。一对具有设置平面15和16的设置部分(在突起12两侧附近)沿平行于摆动轴线Ox的方向分离。

如图4至7所示，一对引导件20分别固定到一对设置部分，该对引导件沿平行于摆动轴线Ox的方向分离且彼此相对。每个引导件20具有一基部21和一轨道形成部分22。基部21具有一个设置成一第一基准面25的、平坦且垂直的侧面，以及一个设置成一第二基准面26的、平坦且水平的底面。使第一基准面25与基座10的第一设置平面15相接触，并且使第二基准面26与基座10的第二设置平面16相接触，以便定位引导件20。在该状态下，引导件20固定到基座10。

更具体地说，引导件20具有一水平通孔25a，其一端向第一基准面25敞开。基座10具有一攻丝孔15a，其一端向设置平面15敞开。通过将一螺钉61(第一螺钉)从外侧插过该通孔25a，并将其拧入攻丝孔15a，以该种方式固定引导件20可使第一基准面25施压于第一设置平面15。同样，基座10具有一垂直通孔16a，其一端向第二设置平面16敞开，引导件20具有一攻丝孔26a，其一端向第二基准面26敞开。通过将一螺钉62(第二螺钉)从底侧插过该通孔16a，并将其拧入攻丝孔26a，以该种方式固定引导件20可使第二基准面26施压于第二设置平面16。每个引导件20由两个(多于一个)螺钉61和两个螺钉62固定。

引导件20的轨道形成部分22具有一圆弧形状，从基部21的上端部朝外部突伸(在基座10的突起12的相对侧和引导件20的面对面侧的相对侧)。由槽状圆弧构成的轨道23a和23b形成在该轨道形成部分22的顶面和底面上。轨道23a和23b的槽面构成了滚动元件的滚动接触面。该对轨道23a和23b具有不同的曲率半径，但具有相同的曲率半径中心。该对轨道23a和23b沿着与该对引导件20彼此面对的方向的垂直方向分离。

如图1、2和4至6所示，摆动体30具有一摆动台31和一过渡块(转接体)35。摆动台31具有一平面呈正方形的顶壁32和一对从顶壁32的两侧边缘向下垂直延伸的侧壁33。该顶壁32的顶面中心的法线由图1中的Lx表示。该法线Lx与摆动轴线Ox相交。两个过渡块35由螺栓固定到每个侧壁33的内侧面。每个过渡块35具有上、下部无限运行通道36(包括一用于滚动元件的滚动接触面，面对引导件20的轨道23a和23b)。

多个球体37(滚动元件)设置在无限运行通道36中，这些球体通过无限运行通道36随过渡块35的移动一起运行，并且在引导件20和过渡块35之间的滚动接触面上滚动。球体37的直径略大于滚动接触面之间的间隙。通过使球体进入滚动接触面以使滚动接触面和球体37弹性变形，并藉此为球体37预加载荷。

下面将叙述移动构件40。移动构件40包括一借助一支架41固定到基座10的驱动单元42(驱动部分)，如图1和3所示。驱动单元42的一输出轴42a沿着垂直于摆动轴线Ox的方向水平延伸，其顶端部进入由基座10、摆动台31和一对引导件20形成的空间。在该实施例中，输出轴42a的底端部是一滚珠螺杆，其在驱动单元42的壳体42x内与一螺母(图中未示出)配合。驱动一容纳在驱动单元42的壳体42x内的脉冲电动机(图中未示出)以使螺母旋转，从而使输出轴42a前进或后退，藉此调整其突伸量。

此外，移动构件40包括一设置在摆动体30中的联接轴43。该联接轴43固定在摆动台31的中心，与摆动台31的顶壁32垂直，并向下延伸。该联接轴43接纳在由基座10、摆动台31和一对引导件20形成的空间内，其顶端部进入基座10的凹部13。

如图1和3所示，一联接结构45位于驱动单元42的输出轴42a与联接轴43之间。该联接结构45具有两个联接构件45和46。联接构件45的底端部固定到输出轴42a的顶端部。

联接构件45在其顶端部具有一对板状部分，其中借助一轴承47可转动地支承一旋转轴48。联接构件(主联接构件)46具有一通孔45x，旋转轴48插入并固定于其中。因此，联接构件46围绕旋转轴48(转动轴线与摆动轴线Ox平行)可转动地连接到输出轴42的顶端部。此外，联接构件46借助封闭联接轴43的圆筒形滚珠花键49沿联接轴的轴向可移动地连接到联接轴43。

在驱动单元42的脉冲电动机被驱动时，输出轴42a轴向移动以改变其突伸量。由于联接构件46借助联接构件45联接到输出轴42a，能够相对转动但不能相对轴向移动，因此其随输出轴42a的轴向移动一起沿相同方向移动，以加压联接轴43。由此使联接轴43倾斜。过渡块35根据该联接轴43的倾斜度沿引导件20的轨道23a和23b移动，以使摆动台31倾斜来改变围绕摆动轴线Ox的角度位置。联接构件46可相对于输出轴42a旋转，并且可相对于联接轴43轴向移动，藉此允许随输出轴42a的轴向移动一起使联接轴43倾斜。

在轨道23中用滚动和运行球37引导过渡块35，并且在拖出圆弧轨迹的同时进行移动，而摆动台31在拖出圆弧轨迹的同时发生倾斜。将该圆弧轨迹的中心限定为摆动轴线Ox。

如图2和4所示，用于检测摆动台31的角度位置的角度位置检测器50具有借助一支架51设置在基座10上的一光发射单元52和一光接收单元53(刻度检测构件)，以及借助一支架55设置在摆动台31的侧壁33上的一玻璃板56(刻度记录构件)。光发射单元52和光接收单元53沿平行于摆动轴线Ox的方向分离。如图8所示，光发射单元52被分成四个光发射部分52a，即上、下、左和右部分，而光接收单元53也被相应地分成四个光接收部分(图中未示出)，即上、下、左和右部分。

玻璃板56具有设置在光发射单元52和光接收单元53之间的圆弧形刻度部分56a。该刻度部分56a具有一刻度网格。随着摆动台31的角度位置的变化，对于每隔一个微小角单位(刻度)从光接收单元53输出一检测信号。其原理是众所周知的，因此省略其详细说明。将该角度位置检测信号反馈到微型计算机(图中未示出)，该微型计算机在该检测信号的基础上控制驱动单元42的脉冲电动机，以进行摆动台31的角度调整。

在上述结构的设备中，引导件20的基部21中的第一基准平面25对准基座10的第一设置平面15，引导件20通过第一螺钉61在压力下固定到第一设置平面15，而第二基准平面26对准第二设置平面16，引导件20通过第二螺钉52在压力下固定到第二设置平面16。因此，圆弧形的轨道23a和23b不会变形，藉此可以避免轨道23的圆度降低，并且高精度地进行摆动体30的角度调整。

对于移动构件40而言，可以采用可购得的驱动单元42，其中电动机和滚珠螺杆机构位于壳体42x内。因此，不需要在基座10和摆动体30中形成螺纹部分，藉此可以避免由于松动而降低角度调整精度。

由于移动构件40的输出轴42a的顶端部、联接轴43和联接结构45被接纳在由基座10、一对引导件20和摆动体30形成的空间中，因此不需要提供用于移动构件40的大型设置空间，藉此减少设备的尺寸。当位于中部的输出轴42a前进或后退时，当摆动体30的左、右部引导在左、右轨道23a和23b中时，它们将同步移动，藉此防止左、右轨道23a和23b被夹紧。此外，摆动体30总体上由四条轨道稳定地引导。由于球体37预先加有载荷，因此增加了摆动体30对引导件20的刚度。

同样，使用设置在基座10上的光接收单元53进行摆动体30的角度位置检测，该基座具有设置在摆动体30上的玻璃板56的刻度，因而检测到的输出与摆动体30的角度位置之间的关系可以是线性的，并且可以直接检测到角度位置(即，无需从用于驱动单元42的脉冲电动机的输出脉冲数间接计算角度位置)，以便高精度地检测角度位置。并且可以进行零位调整。

请参见图10至12，下面将叙述本发明的其它实施例。这些实施例具有与第一实施例相同的基本构造，下面将仅叙述不同部分。相应的部分由相同的标号表述，并且不再叙述。

图10示出了本发明的第二实施例。在该实施例中，形成在基座10的突起12中的凹部13通向驱动单元42侧。一与第一实施例不同的联接结构80位于驱动单元42的输出轴42a的顶端部与摆动台31之间。

下面将叙述联接结构80。一联接构件81固定在输出轴42a的顶端部，一支架82固定到该联接构件81。该支架82的顶面是一水平的连接面，并且平行于输出轴42a的轴向中心。在该连接面82a上，固定有沿输出轴42a的纵向延伸的宽型片簧的一端。另一方面，一凸部84形成在摆动台31的顶壁42的底面上。该凸部84的底面是一倾斜的连接面84a，片簧83的另一端固定到该连接面。片簧83的一板状面面对摆动台31，而片簧83的另一板状面面对基座10。

片簧83在这样一个状态下(水平状态)弯曲，摆动台31平行于基座10；如图10A所示。在通过驱动驱动单元42的脉冲电动机以使输出轴42a轴向移动时，摆动单元借助片簧83沿圆弧轨道30移动。由于片簧83由SUS钢板制成，并且较宽，因此其具有足够的刚度，藉此能够进行移动的转化。

当输出轴42a前进以增加突伸量时，如图10B所示，移动摆动台31以使其向右倾斜，以使摆动台31上的片簧83的固定部分向上移动，藉此增加延伸自输出轴42a的轴向中心的距离。由于片簧83的弯曲程度增加，因此可使片簧83的固定部分向上移动。

当输出轴42a后退以减少突伸量时，如图10C所示，移动摆动台31以使其向左倾斜，以使摆动台31上的片簧83的固定部分向下移动，藉此减少延伸自输出轴42a的轴向中心的距离。由于片簧83的弯曲程度减少，因此可使片簧83的固定部分向下移动。在该第二实施例中，片簧83在摆动台31的角度调整范围内保持弯曲状态。也就是说，片簧83即使在输出轴42的突伸量最小时也将略微弯曲。

在第二实施例中，不需要在基座10和摆动体30中形成螺纹部分，藉此可以避免由于松动而降低角度调整精度。使用片簧83可以省略第一实施例中的轴承47和滚珠花键49，以制造简单、廉价的结构。

在图11所示的本发明的第三实施例中，采用手工操作的微型螺钉70作为驱动部分。微型螺钉70的输出轴70a具有一与输出轴70a同轴线固定的联接构件45a。在该联接构件45a的具有较小直径的顶端部，借助一轴承90可转动地连接一具有圆筒形底端部的联接构件45b(辅助联接构件)。联接构件45b的转动中心与输出轴70a的轴向中心一致。联接构件45a和45b不能沿输出轴70a的轴向相对移动。与第一实施例相同，在联接构件45b的顶端部借助轴承47和旋转轴48连接联接构件46。

由于联接构件45b借助联接构件45a连接到输出轴70a，能够相对转动但不能相对轴向移动，因此它随输出轴70a的轴向移动和转动而轴向移动，以借助联接构件46和联接轴43使摆动台31倾斜。

在图12所示的第四实施例中，采用第二实施例中使用的片簧83和手工操作的微型螺钉70。微型螺钉70的输出轴70a的顶端部借助联接构件45a、45b和轴承90连接到支架82。其它结构和动作与第三实施例相同。

与第二实施例相同，最好将片簧83与轴70a的固定部分几乎定位在轴70a的轴向中心的延伸部上，或其上方(更靠近摆动台31)。以这种方式，足以使片簧83具有由驱动部分接纳的数量较小的弹性变形和数量较小的弹性恢复力。

本发明并不限于上述实施例，也可以采用多种修改和变型。例如，输出轴可以是一旋转前进或后退的电动机的驱动部分，或者可以是手工操作的、无需旋转前进或后退的微型螺钉。与上述实施例相反，可将驱动部分设置在摆动台上，并且可将联接轴设置在基座上。

角度位置检测器并不限于光学检测器，也可以是一磁性检测器。

可将本发明应用于双轴角度调整设备。在该情况下，上段和下段以与上述实施例相同方式构成，藉此将上段中的基座10固定在下段中的摆动台31上。下段中的摆动台和上段中的基座可一体构成。

如上所述，采用本发明，可以高精度地进行微型角度位置调整。

Claims (12)

1.一种角度调整设备，它包括：

一基座，所述基座具有彼此交叉的第一和第二设置平面；

一引导件，所述引导件固定到所述基座，并且包括一轨道形成部分、一形成在所述轨道形成部分上的弧形轨道和具有第一和第二基准面的基部；

一摆动体，所述摆动体沿所述引导件的轨道移动；以及

一移动构件，所述移动构件用于移动所述摆动体，以围绕通过所述轨道的曲率半径中心的一摆动轴线调整所述摆动体的角度位置，

其中，所述轨道形成部分和所述基部一体构成，并且

所述引导件在这样一种状态下固定到所述基座，即第一和第二基准面与所述基座的第一和第二设置平面相接触。

2.如权利要求1所述的角度调整设备，其特征在于，所述引导件固定到所述基座，以使第一基准面通过贯穿第一设置平面和第一基准面的一第一螺钉施压于第一设置平面，并且固定到所述基座，以使第二基准面通过贯穿第二设置平面和第二基准面的一第二螺钉施压于第二设置平面。

3.如权利要求1所述的角度调整设备，其特征在于，所述基座具有一对沿平行于摆动轴线的方向分离的设置部分，每个设置部分形成有第一和第二设置平面，

所述引导件包括一对固定到该对设置部分以使其彼此面对的引导件，

该对引导件的每一件的轨道形成部分从所述基部向外突伸，

所述摆动体被设置成跨过该对引导件，

每个轨道形成部分形成有一对具有不同曲率的轨道，该对轨道沿着与该对引导件彼此面对的方向相垂直的方向分离，并且

至少一部分移动构件被接纳在由所述基座、所述摆动体和该对引导件形成的空间中。

4.如权利要求1所述的角度调整设备，其特征在于，所述轨道具有一用于滚动元件的滚动接触面，

所述摆动体形成有一无限运行通道，该通道包括一用于滚动元件的滚动接触面，该滚动接触面面对所述轨道的滚动接触面，

随所述摆动体的移动一起运行的多个滚动元件设置在所述无限运行通道中，并且

滚动元件以预加载荷的状态设置在轨道用滚动元件的滚动接触面与诸滚动接触面之间。

5.一种角度调整设备，它包括：

一基座；

一引导件，所述引导件固定到所述基座，并且包括一弧形轨道；

一摆动体，所述摆动体沿所述引导件的轨道移动；以及

一移动构件，所述移动构件用于移动所述摆动体，以围绕通过所述轨道的曲率半径中心的一摆动轴线调整所述摆动体的角度位置，

其中，所述移动构件包括：

一驱动部分，所述驱动部分具有一输出轴，该输出轴沿垂直于摆动轴线的方向延伸并具有一可调整的突伸量，并且设置在所述基座和所述摆动体之一中；

一联接轴，所述联接轴设置在所述基座和所述摆动体的另一个中；以及

一联接结构，所述联接结构位于所述输出轴的一顶端部与所述联接轴之间，以将所述输出轴的轴向移动转变为所述摆动体沿轨道的移动，并且

所述联接结构包括一主联接构件，该主联接构件围绕平行于摆动轴线的一旋转轴线可转动地连接到所述输出轴的顶端部，并且沿所述联接轴的轴向可线性移动地连接到所述联接轴。

6.如权利要求5所述的角度调整设备，其特征在于，所述主联接构件借助一滚珠花键以可线性移动的方式连接到所述联接轴。

7.如权利要求5所述的角度调整设备，其特征在于，所述输出轴旋转前进或后退，

所述联接结构包括一位于所述输出轴的顶端部与主联接构件之间的辅助联接构件，该辅助联接构件连接到所述输出轴的顶端部，以便可以围绕所述输出轴的轴向中心相对转动，并且

主联接构件和辅助联接构件围绕平行于摆动轴线的旋转轴线可转动地连接。

8.如权利要求5所述的角度调整设备，其特征在于，所述引导件包括一对沿平行于摆动轴线的方向分别设置在所述基座上的引导件，

所述摆动体被设置成跨过该对引导件，并且

所述输出轴的顶端部、所述联接轴和所述联接结构被设置在由所述基座、所述摆动体和该对引导件形成的空间中。

9.如权利要求5所述的角度调整设备，其特征在于，它还包括一角度位置检测器，

其中，所述角度位置检测器具有一设置在所述基座和所述摆动体之一中的刻度记录构件，以及一用于检测刻度记录构件的刻度的检测器，该检测器设置在所述基座和所述摆动体的另一个中。

10.一种角度调整设备，它包括：

一基座；

一引导件，所述引导件固定到所述基座，并且包括一弧形轨道；

一摆动体，所述摆动体沿所述引导件的轨道移动；以及

一移动构件，所述移动构件用于移动所述摆动体，以围绕通过所述轨道的曲率半径中心的一摆动轴线调整所述摆动体的角度位置，

其中，所述移动构件包括：

一驱动部分，所述驱动部分具有一输出轴，该输出轴沿垂直于摆动轴线的方向延伸并具有一可调整的突伸量，并且设置在所述基座中；以及

一联接结构，所述联接结构位于所述驱动部分的所述输出轴的一顶端部与所述摆动体之间，以将所述输出轴的轴向移动转变为所述摆动体沿轨道的移动，并且

所述联接结构包括一片簧，当所述摆动体沿轨道移动时，该片簧的弯曲度发生变化，以改变片簧对所述摆动体的固定位置与所述输出轴的轴向中心之间的距离。

11.如权利要求10所述的角度调整设备，其特征在于，所述输出轴旋转前进或后退，

所述联接结构还包括一联接构件，该联接构件连接到所述输出轴的顶端部，以便可以围绕轴向中心相对转动，而片簧的一端部被固定到所述联接构件。

12.如权利要求10所述的角度调整设备，其特征在于，所述引导件包括一对沿平行于摆动轴线的方向分别设置在所述基座上的引导件，

所述摆动体被设置成跨过该对引导件，并且

所述输出轴的顶端部和所述联接结构被设置在由所述基座、所述摆动体和该对引导件形成的空间中。

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