JP5393219B2 - ステージの姿勢調整装置 - Google Patents
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この傾斜ステージ100は、図4に示すように、略球面状或いは略円錐状をした受座101aを有するベース101と、裏面に受座101aに当接する略球面状或いは略円錐状の凸部102aを有するプレート102とから構成され、更に、このベース101には、第1の揺動手段103(当該第1の揺動手段103の軸心がプレート102のX軸と重なる態様をなす。)と第2の揺動手段104(当該第2の揺動手段104の軸心がプレート102のY軸と重なる態様をなす。)が水平面上から視て直交する態様で支持されている(図4(A)参照)。これら揺動手段103及び揺動手段104は構造的には同一であるので、ここでは、第1の揺動手段103について具体的に説明すると、第1の揺動手段103は、ベース101に取り付けられ、X軸方向に進退可能な第1の移動部材103aと、ベース101に回動自在に支持された第1の回動部材103bとから構成される。このうちの第1の移動部材103aは、シンブル103a1を回転させることによりスピンドル103a2を進退させる。また、第1の回動部材103bは、第1の移動部材103aのスピンドル103a2の先端部位で当接し、プレート102の裏面の第1の部位102bで当接している。尚、符号103b1は、第1の回動部材103bの回転軸である。
このような第1の揺動手段103においては、図5(A)に示すように、シンブル103a1を時計方向に回転させると、スピンドル103a2は矢印方向に進んで第1の回動部材103bを時計方向に揺動させる。すると、プレート102は当該プレート102の第1の部位102bを支点として適宜な角Q゜傾斜する。逆に、図5(B)に示すように、シンブル103a1を反時計方向に回転させると、スピンドル103a2は矢印方向に進んで第1の回動部材103bを反時計方向に揺動させる。すると、プレート102は当該プレート102の第1の部位102bを支点として適宜な角R゜傾斜する。尚、第2の揺動手段104についても、第1の揺動手段103と同様に、第2の移動部材のシンブルを回転させると、その回転方向に応じてそのスピンドルが進退し、その進退方向に応じて第2の回動部材が揺動する結果、プレート102は第2の回動部材(図示せず)の揺動方向に応じて当該プレート102の第2の部位(図示せず)を支点として適宜な角度だけ傾斜する。
ところで、この傾斜ステージ100には、ベース101とプレート102との間の3箇所に弾性部材(図示せず)が取り付けられており、この弾性部材の一端がプレート102の貫通孔102cに設けられた支持部材(図示せず)に、また、その他端がベース101の貫通孔(図示せず)に設けられた支持部材(図示せず)にそれぞれ取り付けられている。
また、上述した従来の傾斜ステージは、ベース101とプレート102との間の3箇所に弾性部材を取り付ける構造となっており、このため、ベース101及びプレート102に弾性部材を支持する支持部材のための加工を施し、当該支持部材を配置しなければならないなど構造的に見ても煩雑である、という問題がある。
本発明では、操作レバーに対して、旋回(公転に相当)操作と回転(自転に相当)操作とに区別されている。
尚、同様に、操作レバーを当該操作レバーの軸心回りに回転させること(自転に相当)を回転操作と称し、操作レバーをステージ軸の軸心回りに回転させること(公転に相当)を旋回操作と称して区別する。
本ステージの姿勢調整装置1は、図1に示すような簡便な構造で、ステージ2の傾斜(姿勢)を、対象物が載せられる当該ステージ2の試料台(上面)2aでの全方位位置で適宜な傾斜角に調整することを可能とするものである。
まず、本姿勢調整装置1の構造について説明する。
本姿勢調整装置1において、上記ステージ2は、その上面に測定や検査の対象物が載せられる比較的薄い略円板状の試料台2aと、この略円板状部材の下面中央部に固着される段差付きで、比較的長寸な円筒状のステージ軸2bとで構成され、このステージ軸2bには、当該ステージ軸2bの上端寄りに設けられた第1段差の径小部に第1球面軸受3の第1凸部3aが固着され、更に、当該ステージ軸2bの中央よりやや下端寄りに設けられた第2段差の、上記径小部より更に径小の径小部近傍に第2球面軸受4の第2凸部4aが固着されている。
そして、第1球面軸受3の第1凸部3aと係合する当該第1球面軸受3の第1凹部3bは、ハウジング5の上部に配設された上プレート板5aの、突条部5a1のところに設けられた凹溝(ステージ軸の外周に配設されるところ)5a2に、例えば圧入されている。
一方、第2球面軸受4の第2凸部4aと係合する当該第2球面軸受4の第2凹部4bは、ハウジング5内の後述する可動節11の一方端寄りのところに設けられた凹溝(ステージ軸の外周に配設されるところ)11aに、例えば圧入されている。
そして、このプレート板5a,5bの外周寄りのところで互いに対向する面側には、対をなす横断面視凹状の嵌合溝がそれぞれ設けられており、これら嵌合溝に、例えば黄銅製のリング6がそれぞれ嵌め込まれていて、このリング6上を摺動回転する、後述の操作レバー8を支持してなる可動支持部材7が配設されている。
また、操作レバー8は、軸部8cの、突条部8bに接続するところから切欠き溝8c1近傍に至るところの外周にネジ溝が螺刻され、このネジ溝にロックツマミ10が螺合されるようになっており、後述するように、ロックツマミ(ロック手段)10を可動支持部材7に当接させることで操作レバー8の回転が阻止される、換言すれば、後述する可動節11の、当該操作レバー8の軸心方向の進退が阻止される。尚、この当接に際して、ロックツマミ10がスナップリング9に当接しないように、当該ロックツマミ10には逃げ溝が施されている。
また、操作レバー8には、その他端部から小鍔部8c2に至るところの外周にもネジ溝が螺刻されており(ネジ軸部)、このネジ溝が可動節11のネジ孔部11bに螺合するようになっている。
本姿勢調整装置1においては、対象物が載せられたステージ2の試料台2aにおけるある位置(以下、A位置とする。但し、A位置は、上記中央位置から時計回り又は反時計回りに90゜の範囲内に存する適宜な位置である。)で、当該試料台2aをある角度(以下、φ゜とする。但し、φ゜は、左傾斜したとき、及び右傾斜したときのいずれの場合においても10゜以内の適宜な角度である。)だけ傾斜させる調整を行う場合には、まず、例えば中央位置にある操作レバー8を把持して当該操作レバー8をA位置まで旋回させる。このとき、操作レバー8の旋回に伴って可動支持部材7が摺動回転する(この回転に際して台座12も同時に回転する。)とともに、第2球面軸受4の介在により可動節11が旋回するからである。この可動節11の旋回に対してステージ2は静止状態にあることは言うまでもない。図3はこの様子を模式的に示したもので、同図では、操作レバー8が中央位置にあるとき(同図(A))に、操作レバー8を反時計回りに90゜旋回させたとき(同図(B))、及び操作レバー8を時計回りに90゜旋回させたとき(同図(C))を示し、ステージ2の試料台2aに載せられた対象物(矢印を正方形で囲んで表示したもの)が、換言すればステージ2が、操作レバー8を旋回させても静止状態にあることを示している。
本姿勢調整装置1においては、このようなことが可能なために、180゜のレバー操作範囲で全方位でのステージ2の傾斜、即ち、当該ステージ2の試料台2aの傾斜が実質的に可能になる。
2 ステージ
2a 試料台
2b ステージ軸
3 第1球面軸受
3a 第1凸部
3b 第1凹部
4 第2球面軸受
4a 第2凸部
4b 第2凹部
8 操作レバー
10 ロックツマミ(ロック手段)
11 可動節
11b ネジ孔部
13 ストッパ
14a ロックネジ(ロック手段)
14b ブラケット(ロック手段)
Claims (4)
- ステージの上面に対象物を載せて当該対象物を測定したり検査したりするときの前記ステージの傾斜を、前記対象物が載せられる当該ステージでの全方位位置で適宜な角度に姿勢調整する装置において、手動で操作レバーを前記ステージの円周方向に沿って当該ステージの、前記対象物が載せられた位置まで旋回し、この位置で前記操作レバーを当該操作レバーの軸心方向に進退するように回転させることにより当該位置での前記ステージの前記姿勢調整をしてなることを特徴とするステージの姿勢調整装置。
- 前記ステージの下面中央部に固着されたステージ軸と、
このステージ軸の上方寄りのところに固着される第1凸部、及び当該ステージ軸の外周に配設される第1凹部で構成される第1球面軸受と、
このステージ軸の下方寄りのところに固着される第2凸部、及び当該ステージ軸の外周に配設される第2凹部で構成される第2球面軸受と、
前記第2球面軸受の第2凹部が配設され、且つ、前記操作レバーのネジ軸部に螺合するネジ孔部が設けられた可動節とを備え、
前記可動節は、前記操作レバーの回転操作によって当該操作レバーの軸心方向に進退するとともに、前記操作レバーの旋回操作により前記第2球面軸受を介して前記円周方向に旋回することを特徴とする請求項1に記載のステージの姿勢調整装置。 - 前記操作レバーの旋回操作による旋回が略180゜を越えて操作されるのを防止するためのストッパが設けられてなることを特徴とする請求項1又は2に記載のステージの姿勢調整装置。
- 前記操作レバーの回転や旋回を阻止するためのロック手段がそれぞれ設けられてなることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のステージの姿勢調整装置。
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