JP2514552B2 - 傾斜器 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、同一平面にある直交す
る２軸からの送りねじ操作で任意な方向にテーブルを傾
動させることができる傾斜器に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエハなどの精密部品の表面に斜
め方向からの穴明けを行ったり、斜め方向に明けられた
孔部を再度精密に検査する際、従来は図２に示すような
傾斜器３１を用いていた。すなわち、台部３３の上面に
円弧状の曲面を形成し、この台座３３上にテーブル３２
を移動自在に設け、検査もしくは加工しようとする部品
をテーブル３２に取り付け、送りねじ３４などによりテ
ーブル３２を台座３３上にて移動させて所望の角度を得
るようにして行っていた。

【０００３】しかし、この方法では、送りねじ３４の送
り方向に沿った方向にしか傾斜が得られず、孔部の傾斜
が２方向にわたる場合には、１の方向に傾動するテーブ
ル（第一のテーブルとする。）上に、この第一のテーブ
ルの傾動方向に対して直交する方向に傾動する第二のテ
ーブルを設け、それぞれのテーブルを操作してあらゆる
方向の角度に対応させていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来のように、１方向
に傾動する傾斜器をそれぞれ２段重ねた場合には、全体
の高さが高くなり、設置場所をとるという問題があり、
更に上段の傾斜器は下段の操作で移動することから上段
の駆動機構、例えばモータや送りねじ全体を下段の操作
で移動させなければならず下段の傾斜器の構造が大型化
してしまうという欠点があった。又上段の傾斜器の駆動
機構が手動の場所には、下段の操作により駆動機構の位
置が変化して一定せず、更に上段の操作時に手振れや振
動を生じさせると下段の設定位置が変化するので、操作
に注意と熟練を必要とするという問題があった。

【０００５】又、上下に２段傾斜器を重ねた場合には、
上段と下段の台座の曲率がそれぞれ異なることから、上
下の傾斜器間において同一の送り量での実際の角度変化
量が等しくなくなり、２方向への移動を同時に行うとき
の操作がしずらいという問題があった。

【０００６】そこで本発明は、球面上に載せたテーブル
を同一平面内に配置した送りねじにより操作することに
より、上記課題を解決することとしたのである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、台座の上面も
しくはテーブルの下面のいずれか一方に球面状の凸部を
設けるとともに他方に球面状の凹部を設けてこれら凸部
を凹部に遊嵌し、テーブルに向けてＸ−Ｙの２方向から
送りねじを水平に設け、これら送りねじによって前後動
される移動部材に連結部材を水平かつ横方向に移動可能
に設け、かつ移動部材とテーブルとを連結する連結部材
の両端部を上下方向に屈曲自在に形成するとともに連結
部材の中央部を回動自在として傾斜器を構成した。

【０００８】

【作用】一の方向、例えばＸ軸の送りねじを送り方向に
回転させるとＸ軸側の移動部材が前進し、連結部材がテ
ーブルを押す。するとテーブルは湾曲した台座上を移動
してＸ軸を含む面内にて傾斜する。その際、Ｙ軸側は連
結部材が移動部材に沿って移動し、かつ連結部材が屈曲
及び回転することによりテーブルの傾斜に追従する。

【０００９】更に、これにＹ軸方向の傾斜を加えるとき
には、かかる状態でＹ軸方向の送りねじを回転させ、Ｙ
軸側の移動部材を移動させてテーブルをＹ軸に沿って移
動させる。このときも、Ｘ軸側の移動部材は移動せず、
連結部材のみが水平移動及び屈曲回転してＹ軸方向の移
動に対応し、Ｘ軸およびＹ軸の両方向への傾斜ができ
る。

【００１０】

【実施例】以下、図面を用いて傾斜器の実施例を説明す
る。図１に傾斜器１を示す。傾斜器１は、台板３、台板
３に固定された台座４、台座４の上面に載せられたテー
ブル５、２方向に取り付けられたモータ１０等から構成
されている。テーブル５は下面が球面状に湾曲してお
り、一方台座４の上面はこのテーブル５の湾曲形状に一
致して凹状に掘り下げられ、テーブル５は自由にこの台
座４のくぼみの内部で傾斜できるようになっている。

【００１１】モータ１０は台板３に互いに直角な方向に
２台取り付けてあり、これら２台のモータ１０のそれぞ
れの駆動軸に取り付けられた送りねじ１１が移動部材１
２に噛み合っている。以下、Ｘ軸側（図中右側）の構成
部材について述べるが、Ｙ軸側の構成についてもＸ軸側
と同様な構成であり、Ｙ軸側の構成部材に関してはＸ軸
側の構成部材の符号の後にｙを付けて区別する。

【００１２】移動部材１２は、台板３上に設けられたレ
ール１４に移動可能に据え付けられ、送りねじ１１の回
動によって前後に移動する。移動部材１２の上部には、
移動部材１２に沿って水平方向に移動可能な連結部材１
５がテーブル５に向けて取り付けてある。連結部材１５
はコの字型の屈曲部１６が両端に設けられ、これら屈曲
部１６によって移動部材１２とテーブル５に上下方向に
屈曲可能に連結しており、更に、この連結部材１５の中
央部分には軸回りに回動する継手部１７が設けられ、屈
曲部１６同士は軸を中心に回動自在となっている。以上
はＸ軸側の構成であり、これと同様な構成がＹ軸側にも
設けられている。

【００１３】次に、作動について述べる。検査もしくは
加工しようとする半導体ウエハなどの部品（図示せず）
をテーブル５の上面に止めねじ（図示せず）等を用いて
固定する。Ｘ軸方向へは、Ｘ軸側のモータ１０をスイッ
チにより駆動して送りねじ１１を回転させ、移動部材１
２を所定量移動させてテーブル５を台座４上にて所望の
角度傾動させる。送りねじ１１の回転量と傾動する角度
との関係は、台材４の球面の半径によりあらかじめ求め
ておく。その移動の際、Ｙ軸側の移動部材６ｙは移動せ
ず、連結部材１５ｙが移動部材１２ｙに沿って移動し、
更に屈曲部１６ｙが屈曲し、かつ継手部１７ｙが回転し
て、テーブル５が球面状の台座４上を移動して通る湾曲
した軌跡に確実に追従する。これによりテーブル５は、
Ｙ軸方向への傾斜なしに、Ｘ軸を含んだ垂直面内での角
度変化が行われる。

【００１４】次に、Ｙ軸側のモータ１０ｙを駆動してＹ
軸の送りねじ１１ｙを回転させ、移動部材１２ｙを所定
量移動させてテーブル５を移動させる。すると、Ｙ軸の
場合と同様にＸ軸の移動部材１２は移動せず連結部材１
５が移動部材１２に沿って移動し、そして屈曲部１６の
屈曲及び継手部１７の回転により、それまでのＸ軸方向
の傾斜は変わることなく、Ｙ軸方向の角度を変更でき
る。

【００１５】これにより、Ｘ軸とＹ軸のそれぞれの方向
の傾動を、台板３上に設置した同一平面内の送りねじ１
１および送りねじ１１ｙで操作でき、かつ互いに干渉す
ることなく個別に操作できるので、Ｘ軸とＹ軸の両方向
へのテーブル５の傾動を容易にしかも精密に行える。
尚、上記実施例ではテーブル５の下面を凸状に形成した
が、本発明ではこれに限らず、逆の凹状にして台座４の
側を凸状にしたものでもよい。更に、テーブル５をはさ
んで送りねじ１１等の反対側にモータ１０等の駆動機構
を有さない移動部材及び連結部材を同様な構成で取り付
けてもよい。このようにするとテーブル５を両側で支持
することができ、テーブル５の動作をより円滑かつ正確
に行わせることができる。

【００１６】

【発明の効果】本発明によれば、球面状の台座上に載せ
たテーブルを同一平面内で直角に向き合わせた送りねじ
によりそれぞれ個別に操作するようにしたことにより、
Ｘ方向及びＹ方向への移動、すなわちそれらの方向への
傾動をＸ軸Ｙ軸共に同一の条件で行うことができ、しか
もＸ軸方向の送りねじとＹ軸方向の送りねじを同一の台
板上に設置できるので操作を容易にし、かつ操作上の誤
差を減少できる。したがってＸ方向とＹ方向への２方向
への傾動を容易にしかも精密に行わせることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかる傾斜器を示す斜視図。

【図２】従来の傾斜器を示す側面図。

【符号の説明】

１ 傾斜器 ４ 台座 ５ テーブル １０ モータ １１ 送りねじ １２ 移動部材 １４ レール １５ 連結部材 １６ 屈曲部 １７ 継手部

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 上面に球面状の凸部もしくは凹部を有す
   る台座と、 前記凸部もしくは凹部に遊嵌する凹部あるいは凸部を下
   面に有するテーブルと、 前記テーブルに向けてＸ−Ｙの２方向から水平に設けら
   れた送りねじと、 該送りねじによって前後動される移動部材と、 一端が前記送りねじと直角でかつ水平方向に移動自在に
   前記移動部材に保持され、他端が前記テーブルに連結
   し、かつ中央部分が回動自在に形成され、更に前記移動
   部材との接続部および前記テーブルとの接続部のそれぞ
   れにおいて上下方向に屈曲する屈曲部を備えて形成され
   た連結部材と、 から なることを特徴とする傾斜器。