JP4713102B2 - 傾き調整機能付きプレス装置、傾き調整機能付きパターン形成装置、型の傾き調整方法 - Google Patents
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Description
また、ピエゾ素子を用いる方法では、力が素子に直接加わるので、素子が壊れやすく耐久性が低いという問題があった。
本発明のパターン形成装置10は、装置本体15と、加工対象物200に転写するための所定のパターンが形成されている型100と、加工対象物200を保持するための対象物保持手段20と、型100を保持するための型保持手段40と、型100を加工対象物200に押圧するための押圧手段50と、型100と加工対象物200との相対的な傾きを調整する傾き調整手段60と、で主に構成される。また、型100と加工対象物200との相対的な傾きを検知する傾き検知手段と、傾き検知手段が検知した傾きに基づいて傾き調整手段60の変位を制御する制御手段と、を更に加えて傾きの調整を自動で行うように構成する場合もある。なお、型保持手段40と、押圧手段50と、傾き調整手段60と、でプレス装置を構成する。
この保持ステージ21には、保持面21aに多数のバキューム孔(図示無し)が形成されており、このバキューム孔に図示しない負圧源から負圧を作用させることで、保持面21a上に、加工対象物200を吸着保持できる構成となっている。
なお、X方向移動手段31の駆動には、リニアモータLM1を用いる場合について説明したが、型100をX方向に移動することができるものであれば、これに限られるものではなく、例えばXステージ31aを、上部ベース18に固定されたボールネジに連結し、ボールねじに連結された回転式モータの駆動によって移動するものを用いてもよい。
a2=a1・R/r
として計算すればよい。なお、式中、Rは型100のパターン面100aの中心点から凸球面46までの距離(凸球面46の半径)を表す。B方向の傾き調整幅b2もB方向における型100と加工対象物200との傾き調整幅b1から同様に計算すればよい。
具体的には、上述したように、A方向における型100と加工対象物200の傾き調整幅がa1である場合には、第1又は第2のマイクロゲージが調整する幅a2を、
a2=a1・R/r
として計算する。また、B方向における第3又は第4のマイクロゲージが調整する幅b2もB方向における型100と加工対象物200の傾き調整幅b1から同様に計算すればよい。このようにすることにより、型100と加工対象物200との相対的な傾きを自動で調整することができる。なお、凸球面46と凹球面55とを締結する締結手段はクランプ機構を用い、傾き調整する際に、制御手段の制御により凸球面46と凹球面55とを離隔するように構成することも可能である。
なお、凸球面46と凹球面55を逆にした場合にも、傾きの微調整を行うことができるが、型100の中心点が変位しないように形成できる点では、前者の方が好ましい。
この発明の別の実施形態のパターン形成装置は、図7、図8に示すように、第1実施例のパターン形成装置における型保持手段40、押圧手段50、傾き調整手段60の代わりに、型保持手段140、押圧手段150、第1の傾き調整手段160、第2の傾き調整手段170を用いたものである。なお、型保持手段140と、押圧手段150と、第1の傾き調整手段160と、第2の傾き調整手段170とでプレス装置を構成する。
なお、他の部分は第1実施例と同様であるので、同一部分には同一符号を付して説明を省略する。
まず、傾き検知手段により型100の傾きを検知する。そして、検知した傾き情報から第1の方向における型100と加工対象物200とのZ方向に対する誤差である傾き調整幅c1を計算して求める。次に、この調整幅c1から第1又は第2のマイクロゲージが型保持手段140の第1調節部142の側面を押圧して調整する幅c2を計算して求める。例えば、調整幅c1がパターン面100a上であってパターン面100aの第1中心線からr1離れた場所で計算されたものである場合には、
として計算すればよい。なお、式中、R1は型100のパターン面100aの中心線から第1凸円弧状面111までの距離(第1凸円弧状面111の半径)を表す。また、第3又は第4のマイクロゲージが型保持手段140の第2調節部143の側面を押圧して調整する幅d2は、第2の方向における型100と加工対象物200との傾き調整幅をd1、型100のパターン面100aの中心線から第2凸円弧状面113までの距離(第2凸円弧状面113の半径)をR2とすると、調整幅d1がパターン面100a上であってパターン面100aの第2中心線からr2離れた場所で計算されたものである場合には、
d2=d1・R2/r2
として計算すればよい。
c2=c1・R1/r1
として計算する。また、第2の方向における第3又は第4のマイクロゲージが調整する幅d2も第2の方向における型100と加工対象物200の傾き調整幅d1と、型100のパターン面100aの中心線から第2凸円弧状面113までの距離(第1凸円弧状面111の半径)R2とから、
d2=d1・R2/r2
として計算すればよい。
20 対象物保持手段
40 型保持手段
41 型保持部
46 凸球面
50 押圧手段
55 凹球面
60 傾き調整手段
61a 第1のマイクロゲージ(第1の調整具)
61b 第2のマイクロゲージ(第2の調整具)
61c 第3のマイクロゲージ(第3の調整具)
61d 第4のマイクロゲージ(第4の調整具)
100 型
100a パターン面
111 第1凸円弧状面
112 第1凹円弧状面112
113 第2凸円弧状面
114 第2凹円弧状面
140 型保持手段
142 第1調節部
143 第2調節部
150 押圧手段
160 第1の傾き調整手段
170 第2の傾き調整手段
200 基板(加工対象物)
Claims (14)
- 所定のパターンが形成されているパターン面を有する型を加工対象物に押圧するためのプレス装置であって、
前記型を保持するための型保持部を一端に有すると共に、前記パターン面の中心を中心点とする凸球面を有する型保持手段と、
前記凸球面と当接する前記凸球面と同径の凹球面を有し、前記型保持手段を介して前記型を加工対象物に押圧する押圧手段と、
互いに対向する方向に前記型保持手段の側面を押圧する第1の調整具及び第2の調整具と、前記第1の調整具及び第2の調整具の押圧方向と直交する方向であって、互いに対向する方向に前記型保持手段の側面を押圧する第3の調整具及び第4の調整具と、を有し、前記凸球面を前記凹球面に対して自由な方向に変位させるための傾き調整手段と、
を具備することを特徴とする傾き調整機能付きプレス装置。 - 前記凸球面および凹球面の少なくとも一方は、それらより硬度の高い表面処理層が形成されていることを特徴とする請求項1記載の傾き調整機能付きプレス装置。
- 前記凸球面および凹球面の少なくとも一方は、それらより摩擦係数の低い表面処理層が形成されていることを特徴とする請求項1記載の傾き調整機能付きプレス装置。
- 前記凸球面と凹球面の間に潤滑剤を塗布してなることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の傾き調整機能付きプレス装置。
- 加工対象物に転写するための所定のパターンが形成されているパターン面を有する型と、
前記加工対象物を保持するための対象物保持手段と、
前記型を保持するための型保持部を一端に有すると共に、前記パターン面の中心を中心点とする凸球面を有する型保持手段と、
前記凸球面と当接する前記凸球面と同径の凹球面を有し、前記型保持手段を介して前記型を加工対象物に押圧する押圧手段と、
互いに対向する方向に前記型保持手段の側面を押圧する第1の調整具及び第2の調整具と、前記第1の調整具及び第2の調整具の押圧方向と直交する方向であって、互いに対向する方向に前記型保持手段の側面を押圧する第3の調整具及び第4の調整具と、を有し、前記凸球面を前記凹球面に対して自由な方向に変位させるための傾き調整手段と、
を具備することを特徴とする傾き調整機能付きパターン形成装置。 - 加工対象物に転写するための所定のパターンが形成されているパターン面を有する型と、
前記加工対象物を保持するための対象物保持手段と、
前記型を保持するための型保持部を一端に有すると共に、前記パターン面の中心を中心点とする凸球面を有する型保持手段と、
前記凸球面と当接する前記凸球面と同径の凹球面を有し、前記型保持手段を介して前記型を加工対象物に押圧する押圧手段と、
前記凸球面を前記凹球面に対して自由な方向に変位させるための傾き調整手段と、
前記型と加工対象物との相対的な傾きを検知する傾き検知手段と、
前記傾き検知手段が検知した傾きに基づいて前記傾き調整手段の変位を制御する制御手段と、
を具備することを特徴とする傾き調整機能付きパターン形成装置。 - 前記凸球面および凹球面の少なくとも一方は、それらより硬度の高い表面処理層が形成されていることを特徴とする請求項5又は6記載の傾き調整機能付きパターン形成装置。
- 前記凸球面および凹球面の少なくとも一方は、それらより摩擦係数の低い表面処理層が形成されていることを特徴とする請求項5又は6記載の傾き調整機能付きパターン形成装置。
- 前記凸球面と凹球面の間に潤滑剤を塗布してなることを特徴とする請求項5ないし8のいずれかに記載の傾き調整機能付きパターン形成装置。
- 前記傾き調整手段は、互いに対向する方向に前記型保持手段の側面を押圧する第1の調整具及び第2の調整具と、前記第1の調整具及び第2の調整具の押圧方向と直交する方向であって、互いに対向する方向に前記型保持手段の側面を押圧する第3の調整具及び第4の調整具と、からなることを特徴とする請求項6ないし9のいずれかに記載の傾き調整機能付きパターン形成装置。
- 加工対象物に転写するための所定のパターンが形成されているパターン面を有する型と、
前記加工対象物を保持するための対象物保持手段と、
前記型を保持するための型保持部と、前記パターン面の中心を通る第1中心線を中心とする第1凸円弧状面を有する第1調節部と、前記第1凸円弧状面と当接する前記第1凸円弧状面と同径の第1凹円弧状面を有すると共に、前記パターン面の中心を通り前記第1中心線と直交する第2中心線を中心とする第2凸円弧状面を有する第2調節部と、を有する型保持手段と、
前記第2凸円弧状面と当接する前記第2凸円弧状面と同径の第2凹円弧状面を有し、前記型保持手段を介して前記型を加工対象物に押圧する押圧手段と、
前記第1凸円弧状面を前記第1凹円弧状面に対して所定の第1の方向に変位させるための第1傾き調整手段と、
前記第2凸円弧状面を前記第2凹円弧状面に対して第1の方向と直行する第2の方向に変位させるための第2傾き調整手段と、
前記型と加工対象物との相対的な傾きを検知する傾き検知手段と、
前記傾き検知手段が検知した傾きに基づいて前記傾き調整手段の変位を制御する制御手段と、
を具備することを特徴とする傾き調整機能付きパターン形成装置。 - 前記第1凸円弧状面、前記第1凹円弧状面、前記第2凸円弧状面、前記第2凹円弧状面の少なくとも1以上は、それらより硬度の高い表面処理層が形成されていることを特徴とする請求項11記載の傾き調整機能付きパターン形成装置。
- 前記第1凸円弧状面、前記第1凹円弧状面、前記第2凸円弧状面、前記第2凹円弧状面の少なくとも1以上は、それらより摩擦係数の低い表面処理層が形成されていることを特徴とする請求項11又は12記載の傾き調整機能付きパターン形成装置。
- 前記第1凸円弧状面及び前記第1凹円弧状面の間と、前記第2凸円弧状面及び前記第2凹円弧状面の間の少なくともいずれか一方に潤滑剤を塗布してなることを特徴とする請求項11ないし13のいずれかに記載の傾き調整機能付きパターン形成装置。
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RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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A521 | Written amendment |
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A521 | Written amendment |
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RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20101105 |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110324 |
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R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |