KR100914387B1 - Multijoint robot - Google Patents

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KR100914387B1
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사토시 스에요시
켄타로 타나카
토모히로 마츠오
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가부시키가이샤 야스카와덴키
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Abstract

본 발명은 상하 이동축으로부터의 발진에 의한 기판의 오염을 방지함과 아울러, 생산성을 향상시킨 액정용의 유리 기판이나 반도체 웨이퍼 등의 얇은 판 형상의 피작업물(work)을 스토커(stocker)에 출납하는 다관절 로봇을 제공하는 것으로, 반송물을 재치하는 핸드부(8)와, 상기 핸드부(8)와 연결되고, 적어도 2개 이상의 회전 관절(3, 4, 5)을 구비하고, 상기 핸드부(8)를 한 방향으로 이동하도록 신축하고, 축방향에 대향하도록 배치된 다관절 암(arm)(1)과, 상기 다관절 암(1)과 상하로 이동하는 이동 기구(11)를 연결하는 지지 부재(10)와, 상기 이동 기구(11)에 구비된 선회 기능을 가지는 대좌(13)로 이루어지는 다관절 로봇(1)에 있어서, 상기 이동 기구(11)는 상기 핸드부(8)의 이동 방향과 같은 방향으로 칼럼(12)이 배치되고, 상기 이동 기구(11)에 배치된 지지 부재(10)는 상기 핸드부(8)의 이동 방향에 직교하는 방향으로 돌출하고, 상기 다관절 암(2)과 연결된 것이다.The present invention prevents contamination of the substrate due to oscillation from the vertical axis, and improves the productivity of thin plate-shaped workpieces such as glass substrates and semiconductor wafers for liquid crystals to the stocker. An articulated robot for putting in and out is provided, comprising: a hand portion (8) for placing a conveyed article, and connected to the hand portion (8), and having at least two rotary joints (3, 4, 5); The joint 8 is expanded and moved to move in one direction, and the articulated arm 1 arranged to face the axial direction is connected to the articulated arm 1 and the movable mechanism 11 moving up and down. In the articulated robot (1) consisting of a support member (10) and a pedestal (13) having a pivoting function provided in the moving mechanism (11), the moving mechanism (11) is formed of the hand portion (8). The column 12 is disposed in the same direction as the movement direction, and the supporting member 10 disposed in the movement mechanism 11. ) Projects in the direction orthogonal to the moving direction of the hand part 8, and is connected to the articulated arm 2.

이동축, 발진, 기판, 웨이퍼, 다관절, 로봇, 핸드부, 관절, 암, 이동 기구, 지지 부재 Moving shaft, oscillation, substrate, wafer, articulated joint, robot, hand part, joint, arm, moving mechanism, support member

Description

다관절 로봇{MULTIJOINT ROBOT}Articulated Robot {MULTIJOINT ROBOT}

본 발명은 액정용의 유리 기판이나 반도체 웨이퍼 등의 얇은 판 형상의 피작업물(work)을 스토커(stocker)에 출납하는 다관절 로봇에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a multi-joint robot for depositing thin plate-shaped workpieces such as glass substrates and semiconductor wafers for liquid crystal into stockers.

종래의 다관절 로봇으로는 견관절부의 회전 중심과 대좌의 회전 중심을 오프셋(offset)함으로써 대좌를 회동시킬 때에 다관절 로봇의 선회 반경을 작게 하는 것이 제안되어 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조).As a conventional articulated robot, it is proposed to reduce the turning radius of the articulated robot when the pedestal is rotated by offsetting the center of rotation of the shoulder and the center of rotation of the pedestal (see Patent Document 1, for example). .

종래의 다관절 로봇(1)은, 도 5에 나타내듯이 관절부(3, 4, 5)에 의해 회전 가능하게 연결되어 회전 구동원에 의한 회전력을 전달하여 소망의 동작을 시키는 암(arm)(2)을 2조 구비하여 이루어지는 것으로, 2조의 암(2)에 설치되는 기단의 관절부(3)의 회전 중심축을 상하(또는 축방향)에 배치하도록 구성되어 있다.The conventional articulated robot 1 is rotatably connected by the joints 3, 4, and 5 as shown in FIG. 5, and transmits a rotational force by a rotational drive source to perform a desired operation. It consists of two sets, It is comprised so that the rotation center axis of the joint part 3 of the base end provided in the two sets of arms 2 may be arrange | positioned up and down (or axial direction).

다관절 로봇(1)은 2조의 암(2)을 구비하고 한쪽의 암 구동형 장치(2)를 공급용, 다른 한쪽을 취출용으로 하고, 피작업물(9)의 공급 동작과 다른 피작업물(9)의 취출 동작을 동시에 행하는 것을 가능하게 하고 있다.The articulated robot (1) has two sets of arms (2), one arm-driven device (2) for supply and the other for taking out, and the work to be different from the supply operation of the workpiece (9). It is possible to carry out the extraction operation of the water 9 at the same time.

또, 종래의 다관절 로봇(1)은 암(2)에 의해 피작업물(9)을 보유하는 핸드부(8)는 도면 중 화살표 X로 나타내는 피작업물(9)의 취출·공급 방향으로 직선 이 동 가능하도록 구성된다.In the conventional articulated robot 1, the arm 8 holds the workpiece 9 by the arm 2 in the direction of taking out and supplying the workpiece 9 indicated by an arrow X in the drawing. It is configured to be able to move linearly.

또, 종래의 다관절 로봇(1)은 암(2)이 설치되어 있는 지지 부재(10)를 상하로 이동시키는 이동 부재(11)(이하, 상하 이동 기구(11)라고 함)를 구비하여 암(2)의 상하 위치를 조정 가능하게 하고 있다. 또, 상하 이동 기구(11)의 대좌(13)는 회동 가능하게 설치되고, 다관절 로봇(1)을 선회하여 방향을 바꿀 수 있도록 하고 있다.In addition, the conventional articulated robot 1 includes a moving member 11 (hereinafter referred to as an up and down moving mechanism 11) for moving the support member 10 on which the arm 2 is installed up and down. The vertical position of (2) is made adjustable. Moreover, the pedestal 13 of the up-and-down movement mechanism 11 is provided so that rotation is possible, and it can turn the articulated robot 1 to change direction.

또한, 종래의 다관절 로봇(1)에서는, 도면 중 화살표 Y로 나타내는 방향, 즉 핸드부(8)의 이동 방향과 지지 부재(10)의 상하 이동 방향의 각각에 직교하는 방향으로, 대좌(13)를 기대(基臺)(14)에 대해서 이동 가능하게 설치하여 상하 이동 기구(11)의 위치를 조정 가능하게 하고 있다.In addition, in the conventional articulated robot 1, the pedestal 13 is disposed in a direction orthogonal to the direction indicated by the arrow Y in the drawing, that is, the direction perpendicular to each of the movement direction of the hand part 8 and the vertical movement direction of the support member 10. ) Is movable to the base 14 so that the position of the vertical movement mechanism 11 can be adjusted.

또, 종래의 다관절 로봇(1)에 구비된 2조의 암(2)은, 예를 들면 복수의 관절부를 가지는 것으로, 즉 다관절 로봇(1)은 수평 다관절형 로봇으로서 구성된다. 본 실시 형태에서의 암(2)은, 제1 암(6)(이하, 상완(6)이라고 함)과, 상완(6)과 연결되는 제２ 암(7)(이하, 전완(7)이라고 함)과, 전완(7)과 연결되고 피작업물(9)을 보유하는 핸드부(8)를 구비한다.In addition, the two sets of arms 2 provided in the conventional articulated robot 1 have a plurality of joint portions, that is, the articulated robot 1 is configured as a horizontal articulated robot. The arm 2 in the present embodiment is referred to as the first arm 6 (hereinafter referred to as the upper arm 6) and the second arm 7 (hereinafter referred to as the forearm 7) connected to the upper arm 6. And a hand portion 8 which is connected to the forearm 7 and holds the workpiece 9.

상완(6)의 기단은 지지 부재(10)에 구동축을 통해 연결되어 회동 가능한 관절부(3)(이하, 견관절부(3)라고 함)를 구성한다. 이 견관절부(3)가 암(2)의 기단의 관절부(3)로 된다. 또, 상완(6)의 선단과 전완(7)의 기단이 구동축을 통해 연결되어 회동 가능한 관절부(4)(이하, 팔의 관절부(4)라고 함)를 구성한다. 또, 전완(7)의 선단과 핸드부(8)가 구동축을 통해 연결되어 회동 가능한 관절부(5)(이하, 핸드 관절부(5)라고 함)를 구성한다. 견관절부(3)의 회전 중심축이 동축 상이도록 상하 방향으로 대면하도록 배치한다.The proximal end of the upper arm 6 is connected to the support member 10 via a drive shaft to constitute a rotatable joint 3 (hereinafter referred to as shoulder joint 3). This shoulder part 3 becomes the joint part 3 of the base of the arm 2. Further, the distal end of the upper arm 6 and the proximal end of the forearm 7 are connected via a drive shaft to constitute a rotatable joint part 4 (hereinafter referred to as an arm joint part 4). Moreover, the front end of the forearm 7 and the hand part 8 are connected via the drive shaft, and comprise the rotatable joint part 5 (henceforth a hand joint part 5). It is arrange | positioned so that the rotation center axis | shaft of the shoulder joint part 3 may face up-down direction coaxially.

암(2)은 도시하지 않는 회전 구동원에 의해 견관절부(3)와 팔의 관절부(4)와 핸드 관절부(5)를 회동시켜 핸드부(8)를 피작업물 취출·공급 방향으로 이동시킨다. 이때 암(2)에서는 그 기구상 핸드부(8)가 한 방향을 향해 상완(6)과 전완(7)을 다 펼친 신장 위치와 상완(6)과 전완(7)을 접은 상태로 한 오므린 위치의 사이를 직선 이동하도록 신축 동작을 한다.The arm 2 rotates the shoulder part 3, the joint part 4 of the arm, and the hand joint part 5 by the rotation drive source which is not shown in figure, and moves the hand part 8 to a workpiece take-out and supply direction. At this time, in the arm (2), the hand portion (8) on the mechanism is a stretched position in which the upper arm (6) and the forearm (7) are stretched in one direction, and the upper arm (6) and the forearm (7) are folded. Stretching operation is performed to move linearly between the positions.

여기서, 종래의 다관절 로봇(1)에서는, 도 6에 나타내는 암(2)의 오므린 위치에 있어서, 핸드부(8)에 의해 보유되는 피작업물(9)의 중심이 대좌(13)의 회전 중심과 일치되도록 설계되어 있다. 또한, 견관절부(4)의 회전 중심과 대좌(13)의 회전 중심을 핸드부(8)의 이동 방향에 대해서 직교 방향으로 오프셋함으로써 대좌(13)를 회동시킬 때에 다관절 로봇(1)의 주위에 필요로 하는 최소영역 원(15)으로부터 팔의 관절부(4)나 핸드부(8)가 돌출하는 일이 없도록 하여, 다관절 로봇(1)의 선회 반경을 작게 할 수가 있다. Here, in the conventional articulated robot 1, in the retracted position of the arm 2 shown in FIG. 6, the center of the workpiece 9 held by the hand part 8 is the center of the pedestal 13. It is designed to coincide with the center of rotation. In addition, by rotating the center of rotation of the shoulder joint 4 and the center of rotation of the pedestal 13 in the orthogonal direction with respect to the direction of movement of the hand 8, the periphery of the articulated robot 1 is rotated. It is possible to reduce the turning radius of the articulated robot 1 by preventing the arm joint portion 4 and the hand portion 8 from protruding from the minimum region circle 15 required.

특허 문헌 1: 일본국 특허공개공보 2001－274218(제4페이지∼5페이지, 도 1, 도 2)Patent Document 1: Japanese Patent Laid-Open No. 2001-274218 (Pages 4 to 5, Figs. 1 and 2)

액정용의 유리 기판이나 반도체 웨이퍼 등의 얇은 판 형상의 피작업물을 스토커에 출납하는 다관절 로봇은 대형화가 진행되고, 처리하는 기판의 매수도 증가 함과 아울러 단시간에 처리하는 것이 요구되고, 또 기판의 제품 수율을 올리기 위해서 로봇으로부터의 발진을 매우 억제하는 것이 요구되고 있다. 이 때문에 로봇에는 기판을 배치하는 스토커가 천정에 닿을 정도의 높이로 될 때까지 설비 자체가 대형화함에도 불구하고, 고속, 고정밀도, 저발진을 실현하는 것이 큰 과제로 되고 있다. 한편, 대형화하는 설비는 주위의 깨끗한 정도를 청정하게 유지하기 위해서 고액의 설비투자가 필요하게 되고, 그 때문에 스토커에는 보다 많은 기판을 배치시켜 처리하는 것이 바람직하다. 또, 다관절 로봇에는 풋프린트(footprint)를 작게 하여 공장에 배치하는 장치와의 간섭이 없도록 선회 반경을 작게 하는 것도 바람직하다.The articulated robot that deposits thin-plate shaped workpieces such as glass substrates and semiconductor wafers for liquid crystal into the stocker is required to be enlarged, to increase the number of substrates to be processed, and to be processed in a short time. In order to raise the product yield of a board | substrate, it is calculated | required to suppress the oscillation from a robot very much. For this reason, it is a big problem for robots to realize high speed, high accuracy, and low oscillation even though the equipment itself is enlarged until the stocker on which the substrate is placed reaches a height that reaches the ceiling. On the other hand, large-scale equipment requires a large amount of equipment investment in order to keep the cleanliness of the surroundings clean. Therefore, it is preferable to arrange and process more substrates in the stocker. It is also preferable that the articulated robot has a small footprint so that the turning radius is small so as not to interfere with the apparatus placed in the factory.

또, 액정 기판이나 반도체 웨이퍼의 생산 매수는 해마다 많아지고 있고, 생산성을 올리기 위해서 로봇에는 반송 스루풋(throughput)이 요구되고 있다. 그렇지만, 로봇은 기계 부품을 포함하고 있기 때문에 유지보수가 필요하고, 유지보수 시간도 스루풋(throughput)과 관련되는 큰 팩터(factor)로 되고 있고, 용이하게 유지보수 할 수 있는 것이 바람직하다.Moreover, the number of production of a liquid crystal substrate and a semiconductor wafer is increasing year by year, and conveyance throughput is calculated | required by a robot in order to raise productivity. However, since the robot includes mechanical parts, maintenance is required, and maintenance time is also a large factor related to throughput, and it is desirable that the robot can be easily maintained.

그렇지만, 종래의 다관절 로봇은 암 기단이 이동 면으로부터 돌출하여 반송 기판에 대향하도록 배치된 구조이기 때문에, 상하 이동 기구로부터의 발진을 방지하지 못하기 때문에 미세한 먼지가 기판 상에 퇴적하는 등의 문제가 생기고 있었다.However, the conventional articulated robot has a structure in which the arm base protrudes from the moving surface to face the conveying substrate, and thus, since the oscillation from the vertical movement mechanism cannot be prevented, fine dust accumulates on the substrate. Was happening.

또, 암이 상하 이동 기구에 의해 하부로 이동하는 경우, 암의 지지 부재는, 대좌와 충돌하기 때문에 상하 이동 기구의 최하 면까지 이동할 수가 없고, 가동 범 위가 좁아진다는 문제가 발생하고, 액정 기판이나 반도체 웨이퍼를 출납하는 스토커의 높이가 높아진다는 문제가 발생하고 있었다. 한층 더 말하면, 스토커의 높이는 공장 건물의 높이로 제한되기 때문에, 배치되는 패널이나 기판의 매수는 상하 이동 기구의 가동 범위가 좁아짐으로써 적게 되어 생산성을 저하시키는 문제가 발생하게 되어 있다.In addition, when the arm moves downward by the vertical movement mechanism, since the support member of the arm collides with the pedestal, it cannot move to the lowest surface of the vertical movement mechanism, resulting in a problem that the movable range is narrowed. In addition, there has been a problem that the height of the stocker to which the semiconductor wafer is placed in and out is increased. In addition, since the height of the stocker is limited to the height of the factory building, the number of panels and substrates to be arranged is reduced by narrowing the movable range of the vertical movement mechanism, which causes a problem of lowering productivity.

또, 암 기단에는 모터나 풀리(pulley) 등이 있기 때문에 상하 방향으로 두꺼운 구조로 되어 있다. 이 때문에 스토커 내의 액정 기판이나 반도체 기판을 배치하는 간격을 넓게 취하지 않을 수 없게 되는 문제가 발생하고 있었다. 즉, 스토커 내에 배치할 수 있는 패널이나 기판의 매수가 적게 되기 때문에 생산성이 저하한다는 문제가 발생하고 있었다. 이것을 회피하기 위해서 상하 이동 기구로 출납할 때에 암의 높이를 바꾸는 것이 생각되지만, 이 경우는 암을 상하로 이동시키는 순서를 반복하기 때문에 시간이 걸려 작업시간이 길어지는 등의 문제가 발생하고 있었다.Moreover, since there are a motor, a pulley, etc. in an arm base, it has a thick structure in an up-down direction. For this reason, the problem that the space | interval which arrange | positions the liquid crystal substrate and a semiconductor substrate in a stocker has to be made wide has arisen. That is, since the number of panels and board | substrates which can be arrange | positioned in a stocker becomes small, there existed a problem that productivity fell. In order to avoid this, it is conceivable to change the height of the arm when dispensing with the up / down moving mechanism. In this case, however, the procedure of moving the arm up and down is repeated.

또, 종래의 다관절 로봇은, 암 기단이 상하에 동축에 배치된 구조로 되어 있다. 이 때문에 암 기단에 배치된 기구 부품인 모터나 풀리(pulley)의 교환을 하기 위해서는 한쪽의 암을 떼어낸 후에 교환하는 등의 방법을 취하지 않을 수 없기 때문에, 유지보수 시간의 팽대와 관계되어 생산성이 저하한다는 문제가 발생하고 있었다.Moreover, the conventional articulated robot has a structure in which the arm base is coaxially arranged up and down. For this reason, in order to replace a motor or a pulley, which is a mechanical part arranged at the base of the arm, it is inevitable to take a method such as removing and replacing one arm, so productivity is increased in relation to the expansion of maintenance time. There was a problem of deterioration.

또, 종래의 다관절 로봇은, 하나의 칼럼(column) 상을 이동 기구에 의해 지지 부재가 이동하기 때문에, 스토커가 천정에 닿을 만큼 높아지면, 필연적으로 칼럼 길이를 길게 할 필요가 있어 강성이 저하함과 아울러, 내부에 배치된 이동 기구 의 안내 기구도 칼럼 길이에 맞춘 길이로 할 필요가 있다. 그렇지만, 안내 기구를 길게 하는 경우, 안내 정밀도가 길게 함으로써 저하하기 때문에 이동 기구로 이동되는 지지 부재의 이동 정밀도가 저하하고, 암 선단의 핸드부(8)에 재치된 액정 기판이나 반도체 웨이퍼의 위치 결정 정밀도가 저하하게 되어, 스토커에 기판이나 웨이퍼가 충돌하는 일이 일어나기 때문에 제품 수율의 저하를 초래한다는 문제가 발생하고 있었다.In addition, in the conventional articulated robot, since the support member moves on one column by a moving mechanism, if the stalker becomes high enough to touch the ceiling, it is necessary to lengthen the column length and the rigidity is lowered. In addition, it is necessary to make the guide mechanism of the movement mechanism arrange | positioned inside into the length according to the column length. However, when the guide mechanism is lengthened, the guide accuracy is decreased by increasing the guide accuracy. Therefore, the accuracy of movement of the support member moved to the moving mechanism is lowered, and positioning of the liquid crystal substrate or the semiconductor wafer placed on the hand portion 8 at the tip of the arm. Since the precision falls and the board | substrate and wafer collide with a stocker, the problem of causing the fall of a product yield arises.

본 발명은 이러한 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 상하 이동축으로부터의 발진에 의한 기판의 오염을 방지함과 아울러, 생산성을 향상시킨 액정용의 유리 기판이나 반도체 웨이퍼 등의 얇은 판 형상의 피작업물을 스토커에 출납하는 다관절 로봇을 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and prevents contamination of the substrate due to oscillation from the up and down moving shaft and improves the productivity of thin plate-shaped workpieces such as glass substrates and semiconductor wafers for liquid crystals. An object of the present invention is to provide an articulated robot that puts in and out of a stocker.

상기 문제를 해결하기 위해 본 발명은 다음과 같이 구성한 것이다.In order to solve the above problems, the present invention is configured as follows.

청구항 1에 기재의 발명은, 반송물을 재치하는 핸드부와, 다관절 암을 연결하는 지지 부재와, 상기 핸드부와 연결되고 적어도 2개 이상의 회전 관절을 구비하고 상기 핸드부를 한 방향으로 이동하도록 신축하고 상하 방향에 대향하도록 배치된 상기 다관절 암과, 상하로 이동하도록 칼럼에 장착된 상하 방향으로 이동하는 이동 기구와, 상기 칼럼의 하단부에 연결되고 상기 칼럼에 장착된 상기 다관절 암을 선회하는 대좌로 이루어지는 다관절 로봇에 있어서, 상기 이동 기구는 상기 핸드부의 상완과 전완을 다 펼친 신장 방향과 같은 방향으로 상기 칼럼에 배치되고, 상기 이동 기구에 배치된 지지 부재는 상기 핸드부의 상기 상완과 상기 전완을 다 펼친 신장 방향에 직교하는 방향과 상기 핸드부의 이동 방향으로 오프셋하고, 상기 핸드부는 상기 칼럼에의 상기 대좌의 장착면과 평행하도록 또한 상기 이동 기구의 이동 방향과 직교하도록 이동하고, 상기 지지 부재에 배치된 견관절의 회전 중심과 상기 핸드부의 회전 중심과 상기 대좌의 회전 중심과의 위치 관계가, 상기 핸드부를 상기 상완과 상기 전완을 접은 상태로 한 오므린 위치로 이동시켰을 때에, 상기 핸드부의 상기 상완과 상기 전완을 다 펼친 신장 방향 및 상기 상완과 상기 전완을 접은 상태로 한 오므린 방향의 축선 상에 일치하도록 상기 신장 방향 전방으로부터 상기 견관절의 회전 중심, 상기 대좌의 회전 중심, 상기 핸드부의 회전 중심의 순서로 배치되도록 형성되고, 상기 이동 기구는 상기 핸드부의 상기 상완과 상기 전완을 다 펼친 신장 방향과 같은 방향으로 칼럼에 배치되고, 상기 이동 기구에 배치된 지지 부재는 상기 핸드부의 상기 상완과 상기 전완을 다 펼친 신장 방향에 직교하는 방향으로 돌출하고, 상기 다관절 암과 연결된 것이다.The invention described in claim 1 includes a hand part on which a conveyed object is placed, a support member for connecting the articulated arm, and at least two or more rotational joints connected to the hand part to move the hand part in one direction. And pivoting the articulated arm disposed so as to face the vertical direction, a vertical movement device mounted on the column to move up and down, and pivoting the articulated arm connected to the lower end of the column and mounted on the column. In the articulated robot consisting of a pedestal, the moving mechanism is disposed in the column in the same direction as the extending direction in which the upper arm and the forearm of the hand are extended, and the support member disposed in the moving mechanism is the upper arm and the upper arm of the hand. Offset in the direction orthogonal to the extending direction in which the forearm is fully extended and the moving direction of the hand portion, wherein the hand portion Moving in parallel with the mounting surface of the pedestal and perpendicular to the moving direction of the moving mechanism, and the positional relationship between the rotation center of the shoulder disposed on the support member, the rotation center of the hand part and the rotation center of the pedestal, When the hand portion is moved to a retracted position in which the upper arm and the forearm are folded, an extension direction in which the upper arm and the forearm are extended, and an upper axis in the retracted direction in which the upper arm and the forearm are folded. It is formed so as to be arranged in the order of the center of rotation of the shoulder joint, the center of rotation of the pedestal, the center of rotation of the hand portion from the front in the direction of the elongation direction so that the movement mechanism is extended direction in which the upper arm and the forearm of the hand portion are spread out. The support member disposed in the column in the same direction as that of the hand mechanism is disposed on the hand portion. Protruding in a direction orthogonal to the extending direction is open to the upper arm and the forearm, and is associated with the multi-joint arm.

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청구항 3에 기재의 발명은, 상기 이동 기구에 의해 상기 칼럼의 최하 위치로 이동되었을 때에 상기 대좌를 간섭하지 않도록 상기 핸드부의 상기 상완과 상기 전완을 다 펼친 신장 방향으로 오프셋한 위치에 배치된 것이다.The invention described in claim 3 is arranged at a position offset in the extending direction in which the upper arm and the forearm of the hand part are both unfolded so as not to interfere with the pedestal when moved to the lowest position of the column by the moving mechanism.

청구항 4에 기재의 발명은, 상하에 배치된 상기 지지 부재의 상기 다관절 암의 기단의 상기 회전 관절의 위치가 오프셋한 위치에 배치된 것이다.Invention of Claim 4 is arrange | positioned in the position which the position of the said rotary joint of the base end of the said articulated arm of the said support member arrange | positioned up and down offset.

청구항 5에 기재의 발명은, 상하에 배치된 상기 지지 부재의 상기 다관절 암의 기단의 상기 회전 관절의 위치 중 어느 한쪽의 상기 회전 관절의 상기 위치가 다른 한쪽의 상기 회전 관절의 위치에 대해서, 상기 핸드부의 상기 상완과 상기 전완을 다 펼친 신장 방향으로 오프셋한 위치에 배치된 것이다.According to the invention of claim 5, the position of the rotary joint of any one of the positions of the rotary joint of the base end of the articulated arm of the support member disposed above and below is different from the position of the rotary joint of the other. The upper arm and the forearm of the hand portion are arranged in a position offset in the extended direction.

청구항 6에 기재의 발명은, 상하에 배치된 상기 지지 부재의 상기 다관절 암의 기단의 상기 회전 관절의 위치 중 하측에 배치된 상기 회전 관절의 위치가, 상측에 배치된 상기 회전 관절의 위치에 대해서 상기 핸드부의 상기 상완과 상기 전완을 다 펼친 신장 방향으로 오프셋한 위치에 배치된 것이다.According to the sixth aspect of the present invention, the position of the rotary joint disposed below the position of the rotary joint of the base end of the articulated arm of the support member disposed above and below is positioned at the position of the rotary joint disposed above. The upper arm and the forearm of the hand portion are disposed at positions offset in the extended direction.

청구항 7에 기재의 발명은, 상기 이동 기구가 보호 커버로 덮혀져 상기 칼럼으로부터의 발진을 억제하는 쉴드 기능을 가지는 것이다.The invention according to claim 7, wherein the moving mechanism is covered with a protective cover and has a shield function of suppressing oscillation from the column.

청구항 8에 기재의 발명은, 상기 칼럼이 복수 개의 블록이 연결된 구조로 된 것이다.In the invention described in claim 8, the column has a structure in which a plurality of blocks are connected.

청구항 9에 기재의 발명은, 상기 칼럼의 블록은 상기 이동 기구를 상하 방향으로 이동할 때에 안내하는 안내 기구의 배치를 조정하는 개구부를 구비한 것이다.In the invention described in claim 9, the block of the column includes an opening for adjusting the arrangement of the guide mechanism for guiding the moving mechanism in the vertical direction.

청구항 10에 기재의 발명은, 상기 칼럼의 블록의 연결부에는 감합 구조가 형성된 것이다. In the invention described in claim 10, a fitting structure is formed at the connecting portion of the block of the column.

청구항 1에 기재의 발명에 의하면, 상기 지지 부재에 배치된 상기 회전 관절의 회전 중심과, 핸드부의 회전 중심과, 대좌의 회전 중심이 핸드부의 이동 방향의 축선 상에 일치하도록 오프셋하도록 형성됨으로써, 핸드(hand)가 액정 기판이나 반도체 웨이퍼를 인입한 위치에 오는 경우, 대좌의 회전 기능에 의해 선회해도 기판이나 웨이퍼의 선회 반경으로부터 돌출하는 일 없이 선회할 수 있으므로, 풋프린트를 작게 하여 공장에 배치하는 장치와의 간섭이 없도록 로봇을 배치할 수 있다. According to the invention of claim 1, the center of rotation of the rotary joint disposed on the support member, the center of rotation of the hand portion, and the center of rotation of the pedestal are formed so as to be offset so as to coincide on the axis of the moving direction of the hand, thereby When the hand comes to the position where the liquid crystal substrate or the semiconductor wafer is drawn in, it is possible to turn without protruding from the turning radius of the substrate or the wafer even when turning by the rotational function of the pedestal. The robot can be positioned so that there is no interference with the device.

청구항 3 내지 8에 기재의 발명에 의하면, 이동 기구가 핸드부의 이동 방향과 같은 방향으로 칼럼에 배치되고, 이동 기구에 배치된 지지 부재는, 핸드부의 이동 방향에 직교하는 방향으로 돌출하고, 상기 다관절 암과 연결된 구조이기 때문에, 미끄러져 움직임부가 액정 기판이나 반도체 웨이퍼에 대면하는 일이 없도록 배치되어 있고, 미끄러져 움직임부로부터의 발진은 직접 액정 기판이나 반도체 웨이퍼에 퇴적하는 일이 없기 때문에, 액정 기판이나 반도체 웨이퍼의 오염을 저감할 수 있음과 아울러, 기판이나 웨이퍼의 생산상의 제품 수율을 향상시킬 수가 있다.According to the invention described in claims 3 to 8, the moving mechanism is arranged in the column in the same direction as the moving direction of the hand portion, and the supporting member disposed on the moving mechanism protrudes in the direction orthogonal to the moving direction of the hand portion. Because the structure is connected to the joint arm, the sliding parts are arranged so that the sliding parts do not face the liquid crystal substrate or the semiconductor wafer, and the oscillation from the sliding parts does not directly deposit on the liquid crystal substrate or the semiconductor wafer. Contamination of the substrate and the semiconductor wafer can be reduced, and the product yield in the production of the substrate and the wafer can be improved.

청구항 4에 기재의 발명에 의하면, 지지 부재는, 상기 이동 기구에 의해 상기 칼럼의 최하 위치로 이동되었을 때에 상기 대좌를 간섭하지 않도록 상기 핸드부의 이동 방향으로 오프셋한 형상으로 형성됨으로써, 지지 부재는 대좌와 충돌하는 일이 없이 상하 이동 기구의 최하면까지 이동할 수가 있어 가동 범위를 넓게 할 수가 있다. 이 때문에 액정 기판이나 반도체 웨이퍼를 출납하는 스토커의 높이가 높게 되지 않아도 스토커 하부에도 액정 기판이나 반도체 웨이퍼를 배치할 수 있게 되고, 기판이나 웨이퍼의 매수는, 상하 이동 기구의 가동 범위를 넓게 할 수 있기 때문에, 많이 배치할 수 있게 된다. 이러한 것으로부터 공장 전체의 생산성은 높아지게 된다.According to the invention of claim 4, the support member is formed in a shape offset in the moving direction of the hand so that the support member does not interfere with the pedestal when moved to the lowest position of the column by the moving mechanism, thereby supporting the pedestal. It can move up to the bottom of the up-and-down movement mechanism without colliding with, thereby increasing the operating range. Therefore, the liquid crystal substrate or the semiconductor wafer can be arranged under the stocker even if the height of the stocker to withdraw the liquid crystal substrate or the semiconductor wafer is not high, and the number of substrates and wafers can widen the movable range of the vertical movement mechanism. Therefore, a lot can be arranged. As a result, productivity of the entire factory is increased.

청구항 5 내지 청구항 8에 기재의 발명에 의하면, 상하에 배치된 상기 지지 부재의 상기 회전 관절이 상대적으로 오프셋한 위치에 배치됨으로써,　기계 부품의 유지보수가 용이하게 되기 때문에 유지보수의 시간이 단축되고, 스루풋(throughput)이 향상된다.
청구항 9 내지 청구항 10에 기재의 발명에 의하면, 상기 칼럼은 복수 개의 블록이 연결된 구조로 한 것이기 때문에, 공장의 천정에 닿을 정도로 높은 스토커에도 블록의 칼럼을 연결함으로써 대응할 수 있음과 아울러, 길어지는 이동 기구의 안내 기구에 대해서도 안내 정밀도를 저하하는 일이 없기 때문에, 이동 기구로 이동되는 지지 부재의 이동 정밀도도 저하하는 일이 없다. 이 때문에 핸드에 재치된 액정 기판이나 반도체 웨이퍼의 위치 결정 정밀도도 저하하는 일 없이 반송되고, 스토커에 기판이나 웨이퍼의 충돌에 의한 제품 수율의 저하를 초래하는 일이 없다.According to the invention of Claims 5 to 8, since the rotational joints of the support members disposed above and below are disposed at a relatively offset position, maintenance of the mechanical parts is facilitated, and thus the maintenance time is shortened. As a result, throughput is improved.
According to the invention of Claims 9 to 10, since the column has a structure in which a plurality of blocks are connected, it is possible to cope with a stocker that is high enough to reach the ceiling of the factory by connecting the columns of the blocks, and also to increase the movement. Since the guide accuracy of the mechanism is not deteriorated, the movement accuracy of the support member moved by the moving mechanism is also not reduced. Therefore, the positioning accuracy of the liquid crystal substrate and the semiconductor wafer placed on the hand is also conveyed without deterioration, and the stocker does not cause a decrease in product yield due to the collision of the substrate or the wafer.

이하, 본 발명의 실시의 형태에 대해서 도면을 참조하여 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described with reference to drawings.

도 1은 본 발명의 다관절 로봇의 사시도이다. 도 2는 본 발명의 다관절 로봇의 상면도이다. 도 3은 본 발명의 다관절 로봇의 정면도이다.1 is a perspective view of the articulated robot of the present invention. 2 is a top view of the articulated robot of the present invention. 3 is a front view of the articulated robot of the present invention.

본 발명의 다관절 로봇(1)은 도시하지 않는 스토커의 고층화에 대응하기 위해서 복수 블록으로 나누어진 칼럼(12)이 연결된 구조로 되어 있다. 이와 같이 각 칼럼 블록(column block)(16)을 순차 연결함으로써 고층에 대응한 높이를 가지는 다관절 로봇(1)을 형성하고 있다. 본 실시예에서는, 4개의 칼럼 블록(16)이 연결된 구조로 되어 있다. 각 칼럼 블록(16)의 양단면은 칼럼 블록(16) 간이 연결되도록 감합 구조로 되어 있고, 또한 리니어 가이드(linear guide)로　이루어지는 안내 기구를 정밀도 좋게 배치하기 위해서 도시하지 않는 위치 결정 구멍을 가지고, 위치 결정 치구를 이용하여 조정함으로써 조립할 수 있다.The articulated robot 1 of the present invention has a structure in which columns 12 divided into a plurality of blocks are connected in order to cope with the increase in stocker not shown. As described above, the articulated robot 1 having a height corresponding to a high floor is formed by sequentially connecting the column blocks 16. In this embodiment, four column blocks 16 are connected. Both end faces of each column block 16 have a fitting structure such that the column blocks 16 are connected to each other, and also have a positioning hole (not shown) for precisely arranging a guide mechanism formed by a linear guide. It can assemble by adjusting using a positioning fixture.

또, 본 발명의 다관절 로봇(1)은, 관절부(3, 4, 5)에 의해 회전 가능하게 연 결되어 회전 구동원에 의한 회전력을 전달하여 소망의 동작을 시키는 암(2)을 2조 구비하고 있다. 또, 암(2)에 의해 피작업물(9)을 보유하는 핸드부(8)는 도면 중 화살표 X로 나타내는 피작업물(9)의 취출·공급 방향으로 직선 이동 가능하도록 구성된다. 또, 2조의 암(2)에 설치되는 기단의 관절부(3)의 회전 중심축의 관계는, 도 2에 나타내듯이, 상암(upper arm)(21)의 기단의 관절부(3)에 대해서 핸드부(8)의 이동 방향으로 어긋나도록 하암(lower arm)(22)의 기단의 관절부(3)가 배치하도록 구성되어 있다.In addition, the articulated robot (1) of the present invention is provided with two sets of arms (2) which are rotatably connected by the joint parts (3, 4, 5) and transmit the rotational force by the rotation drive source to perform a desired operation. Doing. Moreover, the hand part 8 which hold | maintains the workpiece | work 9 by the arm 2 is comprised so that a linear movement can be carried out to the take-out / supply direction of the workpiece | work 9 shown by the arrow X in a figure. Moreover, as shown in FIG. 2, the relationship of the rotation center axis of the joint part 3 of the base end provided in the two sets of arms 2 is a hand part with respect to the joint part 3 of the base end of the upper arm 21, as shown in FIG. It is comprised so that the joint part 3 of the base end of the lower arm 22 may be arrange | positioned so that it may shift in the moving direction of 8).

또, 암(2)이 설치되어 있는 지지 부재(10)를 상하로 이동시키는 상하 이동 부재(11)를 구비하고, 암(2)의 상하 위치를 조정이 가능하게 하고 있다. 또, 상하 이동 기구(11)의 대좌(13)는 회동 가능하게 설치되고, 다관절 로봇(1)을 선회하여 방향을 바꿀 수 있도록 하고 있다. 여기서, 상하 이동 기구(11)는 핸드부(8)의 이동 방향과 같은 방향으로 배치되고, 지지 부재(10)는 상하 구동 기구(11)로부터 핸드부(8)의 이동 방향에 대해서 직교하는 방향으로 돌출하고, 암(2)의 기단의 관절부(3)에 연결되어 있다. 또, 하암(22)에 연결하는 지지 부재(10)는 암(2)이 상하 이동 기구(11)에 의해 하방으로 이동했을 때에, 대좌(13)를 간섭하지 않도록 도 2에 나타내듯이 핸드부(8)의 이동 방향으로 오프셋한 형상을 형성하고 있다. 또, 상하 이동 기구(11)는, 도시하지 않는 쉴드(shield) 기능을 가지는 보호 커버(cover)로 덮혀져 칼럼(12) 내부로부터의 발진을 억제하고 있다.Moreover, the vertical movement member 11 which moves the support member 10 in which the arm 2 is provided up and down is provided, and the vertical position of the arm 2 is adjustable. Moreover, the pedestal 13 of the up-and-down movement mechanism 11 is provided so that rotation is possible, and it can turn the articulated robot 1 to change direction. Here, the vertical movement mechanism 11 is disposed in the same direction as the movement direction of the hand portion 8, and the support member 10 is a direction perpendicular to the movement direction of the hand portion 8 from the vertical drive mechanism 11. It protrudes and is connected to the joint part 3 of the base of the arm 2. As shown in FIG. In addition, the support member 10 connected to the lower arm 22 has a hand part (not shown) in FIG. 2 so as not to interfere with the pedestal 13 when the arm 2 moves downward by the vertical movement mechanism 11. The shape offset in the movement direction of 8) is formed. Moreover, the vertical movement mechanism 11 is covered with the protective cover which has a shield function which is not shown in figure, and suppresses oscillation from the inside of the column 12. As shown in FIG.

본 발명이 특허 문헌 1과 다른 부분은, 상하 이동 기구(11)가 핸드부(8)의 이동 방향과 같은 방향으로 배치되고, 상하 이동 기구(11)와 암(2)의 기단의 관절부를 연결하는 지지 부재(10)가 핸드부(8)의 이동 방향에 직교하도록 돌출하고, 한편 하암(22)과 연결하는 지지 부재(10)가 대좌(13)를 간섭하지 않도록 핸드부(8)의 이동 방향으로 오프셋한 것처럼 형성된 부분이다.In the part which this invention differs from patent document 1, the vertical movement mechanism 11 is arrange | positioned in the same direction as the moving direction of the hand part 8, and connects the joint part of the base movement of the vertical movement mechanism 11 and the arm 2 with the vertical movement mechanism 11. The hand member 8 moves so that the supporting member 10 protrudes perpendicularly to the moving direction of the hand portion 8, while the supporting member 10 connecting with the lower arm 22 does not interfere with the pedestal 13. The part is formed as if it is offset in the direction.

다음에, 동작에 대해서 설명한다. 본 발명의 다관절 로봇(1)에 구비되어 있는 2조의 암(2)은, 예를 들면 복수의 관절부를 가지는 것으로, 즉 다관절 로봇(1)은, 수평 다관절형 로봇으로서 구성된다. 본 실시 형태에서의 암(2)은 종래의 암(2)의 구조와 마찬가지의 구조를 구비하고 있다.Next, the operation will be described. The two sets of arms 2 provided in the articulated robot 1 of the present invention have a plurality of joint portions, that is, the articulated robot 1 is configured as a horizontal articulated robot. The arm 2 in this embodiment has a structure similar to the structure of the conventional arm 2.

상완(6)의 기단은 지지 부재(10)에 구동축을 통해 연결되어 회동 가능한 견관절부(3)를 구성한다. 이 견관절부(3)가 암(2)의 기단의 관절부(3)로 된다. 또, 상완(6)의 선단과 전완(7)의 기단이 구동축을 통해 연결되어 회동 가능한 팔의 관절부(4)를 구성한다. 또, 전완(7)의 선단과 핸드부(8)가 구동축을 통해 연결되어 회동 가능한 핸드 관절부(5)를 구성한다.The proximal end of the upper arm 6 is connected to the support member 10 via a drive shaft to constitute a rotatable shoulder 3. This shoulder part 3 becomes the joint part 3 of the base of the arm 2. Further, the distal end of the upper arm 6 and the proximal end of the forearm 7 are connected via a drive shaft to form a joint 4 of the arm that can rotate. Further, the tip of the forearm 7 and the hand 8 are connected via a drive shaft to form a rotatable hand joint 5.

암(2)은 도시하지 않는 회전 구동원에 의해 견관절부(3)와 팔의 관절부(4)와 핸드 관절부(5)를 회동시켜 핸드부(8)를 피작업물 취출·공급 방향으로 이동시킨다. 이때 암(2)에서는 그 기구상 핸드부(8)가 한 방향을 향해 상완(6)과 전완(7)을 다 펼친 신장 위치와 상완(6)과 전완(7)을 접은 상태로 한 오므린 위치와의 사이를 직선 이동하도록 신축 동작을 한다.The arm 2 rotates the shoulder part 3, the joint part 4 of the arm, and the hand joint part 5 by the rotation drive source which is not shown in figure, and moves the hand part 8 to a workpiece take-out and supply direction. At this time, in the arm (2), the hand portion (8) on the mechanism is a stretched position in which the upper arm (6) and the forearm (7) are stretched in one direction, and the upper arm (6) and the forearm (7) are folded. Stretching operation is performed to move linearly between the positions.

여기서, 본 실시예의 다관절 로봇(1)의 선회 반경에 대해서 하암(22)을 이용하여 설명한다. 도 4에 나타내는 암(2)의 오므린 위치에 있어서, 핸드부(8)에 의해 보유되는 피작업물(9)의 중심이 대좌(13)의 회전 중심과 일치하도록 설계되어 있다. 또한, 견관절부(3)의 회전 중심과, 핸드 관절부(5)의 회전 중심과, 대좌(13)의 회전 중심이 핸드부(8)의 이동 방향의 축선 상에 일치하도록 오프셋함으로써 대좌(13)를 회동시킬 때에 다관절 로봇(1)의 주위에 필요로 하는 최소영역 원(15)으로부터 팔의 관절부(4)나 핸드부(8)가 돌출하는 일이 없도록 하여 다관절 로봇(1)의 선회 반경을 작게 할 수가 있다.Here, the turning radius of the articulated robot 1 of the present embodiment will be described using the lower arm 22. In the retracted position of the arm 2 shown in FIG. 4, the center of the workpiece 9 held by the hand portion 8 is designed to coincide with the rotation center of the pedestal 13. The pedestal 13 is offset by offsetting the center of rotation of the shoulder joint 3, the center of rotation of the hand joint 5, and the center of rotation of the pedestal 13 to coincide on the axis of the movement direction of the hand 8. Rotation of the articulated robot 1 so that the arm joint part 4 or the hand part 8 of the arm does not protrude from the minimum area circle 15 required around the articulated robot 1 when the robot is rotated. The radius can be made small.

여기에서는 도면이 번잡하게 되는 것을 피하기 위해서 하암을 이용하여 설명하였지만, 상암(21)에 대해서도 마찬가지로 피작업물(9)의 중심은 대좌(13)의 회전 중심과 일치하도록 설계되어 있고, 견관절부(3), 핸드 관절부(5)와 대좌(13)의 회전 중심의 위치 관계도 하암과 같은 구성이다.Here, the lower arm is used to prevent the drawing from being complicated, but the center of the workpiece 9 is designed to coincide with the center of rotation of the pedestal 13 in the same way as for the upper arm 21. 3) The positional relationship of the rotation center of the hand joint part 5 and the pedestal 13 also has a structure like a lower arm.

다음에 상하 방향의 동작에 대해서 설명한다. 암(2)은 지지 부재(10)에 장착되고, 상하 이동 기구(11)로 상하 방향으로 도시하지 않는 콘트롤러(controller)의 지령에 의해 이동한다. 도 3에 나타내듯이 하방으로 이동할 때에는, 지지 부재(10)가 대좌(13)에 충돌하지 않도록 핸드부(8)의 이동 방향으로 오프셋한 형상을 형성하고 있기 때문에 지지 부재(10)는 상하 이동 기구(11)의 최하점의 이동 위치까지 하강하는 것이 가능하다.Next, the operation in the vertical direction will be described. The arm 2 is attached to the support member 10, and moves to the up-and-down movement mechanism 11 by the command of the controller which is not shown in the up-down direction. As shown in FIG. 3, when moving downward, since the support member 10 forms the shape offset in the moving direction of the hand part 8 so that the support member 10 may not collide with the pedestal 13, the support member 10 is a vertical movement mechanism. It is possible to descend to the movement position of the lowest point of (11).

또, 본 발명에서는 상암과 하암을 가지는 다관절 로봇에 대해서 서술하였지만, 상하 어느 한쪽의 암으로 이루어지는 다관절 로봇에서도 좋은 것은 자명하다. 또, 견관절, 팔의 관절과 핸드 관절의 회전 관절을 가지는 다관절 로봇에 대해서 서술하였지만, 핸드 관절부가 고정된 다관절 로봇에 대해서도 동일한 작용 및 효과를 가지는 것은 당연하다.Moreover, although the articulated robot which has upper arm and lower arm was described in this invention, it is obvious that the articulated robot which consists of either upper and lower arms is also good. Moreover, although the articulated robot which has the shoulder joint, the arm joint, and the rotation joint of the hand joint was described, it is natural to have the same effect | action and effect also to the articulated robot with a fixed hand joint part.

이러한 핸드부에 물품을 재치해 반송함으로써 물품의 교체 작업을 할 수가 있으므로 두꺼운 판이나 상자 모양의 물품의 반송 작업의 용도에도 적용할 수 있다.Since the article can be replaced by placing the article on the hand, the article can be applied to the use of a thick plate or a box-shaped article.

도 1은 본 발명의 실시예를 나타내는 다관절 로봇의 사시도이다.1 is a perspective view of an articulated robot showing an embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 실시예를 나타내는 다관절 로봇의 상면도이다.2 is a top view of an articulated robot showing an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 실시예를 나타내는 다관절 로봇의 정면도이다.3 is a front view of an articulated robot showing an embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 실시예를 나타내는 다관절 로봇의 선회 반경을 나타내는 도이다. 4 is a view showing a turning radius of the articulated robot according to the embodiment of the present invention.

도 5는 종래의 다관절 로봇의 사시도이다. 5 is a perspective view of a conventional articulated robot.

도 6은 종래의 다관절 로봇의 선회 반경을 나타내는 도이다.6 is a diagram illustrating a turning radius of a conventional articulated robot.

<부호의 설명>  <Code description>

1　: 다관절 로봇 2　: 암(arm)1 ': Articulated Robot 2': Arm

21　: 상암(upper arm) 22　: 하암(lower arm)21 ': Upper arm 22': Lower arm

3　: 견관절부 4　: 팔의 관절부3 ': Shoulder joint 4': Joint of arm

5　: 핸드 관절부 6　: 상완5: Hand joint 6: Upper arm

7　: 전완 8　: 핸드부7 ': Forearm 8': Hand part

9　: 피작업물(work) 10　: 지지 부재9: work 10 지지: support member

11　: 상하 이동 기구 12　: 칼럼(column)11 ': Up and down moving mechanism 12': Column

13　: 대좌 14　: 기대13 ': Base 14': Expectation

15　: 최소영역 원 16　: 칼럼 블록(column block)15 ': Minimum area circle 16': Column block

Claims (10)

반송물을 재치하는 핸드부(8)와, 다관절 암(21,22)을 연결하는 지지 부재(10)와, 상기 핸드부(8)와 연결되고 적어도 2개 이상의 회전 관절(3,4,5)을 구비하고 상기 핸드부(8)를 한 방향으로 이동하도록 신축하고 상기 지지 부재(10)의 사이에 상하 방향으로 대향하도록 배치된 상기 다관절 암(21,22)과, 상하로 이동하도록 칼럼(12)에 장착된 상하 방향으로 이동하는 이동 기구(11)와, 상기 칼럼(12)의 하단부에 연결되고 상기 칼럼(12)에 장착된 상기 다관절 암(21,22)을 선회하는 대좌(13)로 이루어지는 다관절 로봇에 있어서,A hand part 8 on which a conveyed object is placed, a support member 10 connecting the articulated arms 21, 22, and at least two or more rotary joints 3, 4, 5 connected to the hand part 8; And articulated arms (21, 22) arranged to stretch and move the hand part (8) in one direction and face each other in the vertical direction between the support members (10) and the column to move up and down. A pedestal for pivoting the movable mechanism 11 moving up and down mounted to the 12 and the articulated arms 21 and 22 connected to the lower end of the column 12 and mounted to the column 12; In the articulated robot consisting of 13), 상기 이동 기구(11)는 상기 핸드부(8)의 상완(6)과 전완(7)을 다 펼친 신장 방향과 같은 방향으로 상기 칼럼(12)에 배치되고, 상기 이동 기구(11)에 배치된 지지 부재(10)는 상기 핸드부(8)의 상기 상완(6)과 상기 전완(7)을 다 펼친 신장 방향에 직교하는 방향과 상기 핸드부(8)의 이동 방향으로 오프셋하고, 상기 핸드부(8)는 상기 칼럼(12)에의 상기 대좌(13)의 장착면과 평행하도록 또한 상기 이동 기구(11)의 이동 방향과 직교하도록 이동하고, 상기 지지 부재(10)에 배치된 견관절(3)의 회전 중심과 상기 핸드부(8)의 회전 중심과 상기 대좌의 회전 중심과의 위치 관계가, 상기 핸드부(8)를 상기 상완(6)과 상기 전완(7)을 접은 상태로 한 오므린 위치로 이동시켰을 때에, 상기 핸드부(8)의 상기 상완(6)과 상기 전완(7)을 다 펼친 신장 방향 및 상기 상완(6)과 상기 전완(7)을 접은 상태로 한 오므린 방향의 축선 상에 일치하도록 상기 신장 방향 전방으로부터 상기 견관절(3)의 회전 중심, 상기 대좌의 회전 중심, 상기 핸드부(8)의 회전 중심의 순서로 배치되도록 형성되고, The moving mechanism 11 is arranged in the column 12 in the same direction as the extending direction in which the upper arm 6 and the forearm 7 of the hand part 8 are spread out, and the moving mechanism 11 is disposed in the moving mechanism 11. The support member 10 is offset in the direction orthogonal to the extending direction in which the upper arm 6 and the forearm 7 of the hand part 8 are unfolded and the moving direction of the hand part 8, and the hand part (8) is moved to be parallel to the mounting surface of the pedestal 13 to the column 12 and orthogonal to the direction of movement of the moving mechanism 11, shoulder joint (3) disposed on the support member 10 Positional relationship between the center of rotation of the hand part and the center of rotation of the hand part 8 and the center of rotation of the pedestal, the hemlin with the hand part 8 in the folded state of the upper arm 6 and the forearm 7 When moving to the position, the extension direction in which the upper arm 6 and the forearm 7 of the hand part 8 were extended, and the upper arm 6 and the forearm 7 Is formed so as to be arranged in the order of the rotational center of the rotational center, the center of rotation of the pedestal, the hand section (8) of the shoulder (3) from the front the height direction to match the phase of a bunched lean direction in a state the axis, 상기 이동 기구(11)는 상기 핸드부(8)의 상기 상완(6)과 상기 전완(7)을 다 펼친 신장 방향과 같은 방향으로 칼럼에 배치되고, 상기 이동 기구(11)에 배치된 지지 부재(10)는 상기 핸드부(8)의 상기 상완(6)과 상기 전완(7)을 다 펼친 신장 방향에 직교하는 방향으로 돌출하고, 상기 다관절 암(21, 22)과 연결된 것을 특징으로 하는 다관절 로봇.The moving mechanism 11 is arranged in a column in the same direction as the extending direction in which the upper arm 6 and the forearm 7 of the hand portion 8 are unfolded, and a supporting member disposed on the moving mechanism 11. 10 is projected in a direction orthogonal to the extending direction in which the upper arm 6 and the forearm 7 of the hand part 8 are extended, and are connected to the articulated arms 21 and 22. Articulated robot. 삭제delete 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 이동 기구에 의해 상기 칼럼의 최하 위치로 이동되었을 때에 상기 대좌를 간섭하지 않도록 상기 핸드부의 상기 상완과 상기 전완을 다 펼친 신장 방향으로 오프셋한 위치에 배치된 것을 특징으로 하는 다관절 로봇.The articulated robot characterized in that it is disposed at a position offset in the extending direction in which the upper arm and the forearm of the hand part are both unfolded so as not to interfere with the pedestal when moved to the lowest position of the column by the moving mechanism. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상하에 배치된 상기 지지 부재의 상기 다관절 암의 기단의 상기 회전 관절의 위치가 오프셋한 위치에 배치된 것을 특징으로 하는 다관절 로봇.And a position of the rotary joint at the base of the articulated arm of the support member disposed above and below. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상하에 배치된 상기 지지 부재의 상기 다관절 암의 기단의 상기 회전 관절의 위치 중 어느 한쪽의 상기 회전 관절의 상기 위치가 다른 한쪽의 상기 회전 관절의 위치에 대해서, 상기 핸드부의 상기 상완과 상기 전완을 다 펼친 신장 방향으로 오프셋한 위치에 배치된 것을 특징으로 하는 다관절 로봇.The upper arm and the forearm of the hand portion with respect to the position of the rotary joint of the other of the position of the rotary joint of any one of the positions of the rotary joint of the base of the articulated arm of the support member disposed above and below The articulated robot, characterized in that arranged in a position offset in the extended direction. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상하에 배치된 상기 지지 부재의 상기 다관절 암의 기단의 하측에 배치된 상기 회전 관절의 위치가, 상측에 배치된 상기 회전 관절의 위치에 대해서, The position of the said rotary joint arrange | positioned below the base end of the said articulated arm of the said support member arrange | positioned up and down with respect to the position of the said rotary joint arrange | positioned at the upper side, 상기 핸드부의 상기 상완과 상기 전완을 다 펼친 신장 방향으로 오프셋한 위치에 배치된 것을 특징으로 하는 다관절 로봇.And a joint of the upper arm and the forearm of the hand part, the position of which is arranged in a position offset in the extending direction. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 이동 기구는 보호 커버로 덮혀져 상기 칼럼으로부터의 발진을 억제하는 쉴드(shield) 기능을 가지는 것을 특징으로 하는 다관절 로봇.And the moving mechanism is covered with a protective cover and has a shield function to suppress oscillation from the column. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 칼럼은 복수 개의 블록이 연결된 구조로 된 것을 특징으로 하는 다관절 로봇.And said column has a structure in which a plurality of blocks are connected to each other. 제8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 칼럼의 블록은 상기 이동 기구를 상하 방향으로 이동할 때에 안내하는 안내 기구의 배치를 조정하는 개구부를 구비한 것을 특징으로 하는 다관절 로봇.The block of the said column is an articulated robot provided with the opening part which adjusts the arrangement | positioning of the guide mechanism which guides when the said movement mechanism is moved to an up-down direction. 제8항에 있어서,　The method of claim 8, 상기 칼럼의 블록의 연결부에는 감합 구조가 형성된 것을 특징으로 하는 다관절 로봇.The joint of the block of the column is a joint robot, characterized in that the fitting structure is formed.
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