JP2005150575A - Double arm type robot - Google Patents

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JP2005150575A
JP2005150575A JP2003388777A JP2003388777A JP2005150575A JP 2005150575 A JP2005150575 A JP 2005150575A JP 2003388777 A JP2003388777 A JP 2003388777A JP 2003388777 A JP2003388777 A JP 2003388777A JP 2005150575 A JP2005150575 A JP 2005150575A
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JP2003388777A
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Japanese (ja)
Inventor
Atsushi Saika
Yasuo Torigoe
康夫 鳥越
敦史 齋加
Original Assignee
Nachi Fujikoshi Corp
株式会社不二越
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a double arm type robot which can carry out the movement of two horizontal multi-joint arms mutually independently including vertical movement.
SOLUTION: In the double arm type robot having two multi-joint arms 5A, 5B in upper and lower parts which are connected rotatively by a joint part, transmit rotation forces by a rotation driving source and carry out desired movement, two arm supporting structures 4A, 4B supporting two multi-joint arms 5A, 5B, respectively, are connected to movement mechanisms 1A, 1B for enabling the two arm supporting structures 4A, 4B to move up and down mutually independently. By such a constitution, the two multi-joint arms 5A, 5B can carry out not only the unique joint movement of each multi-joint arm but also its vertical movement mutually independently.
COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、ガラス基板等の薄板状のワークを搬送するロボットに関し、特に、二つのアームによりワークの搬入出を行うダブルアーム型ロボットに関する。 The present invention relates to a robot for transporting a thin plate-like workpiece such as a glass substrate, in particular, it relates to a double-arm robot that performs loading and unloading of the workpiece by the two arms.

液晶用のガラス基板や半導体ウエハ等の薄板状ワークの搬送には、従来、ワークを把持・搬送するための多関節アームを二つ備えた所謂ダブルアーム型ロボットが採用されている。 The conveyance of the thin plate-shaped work such as a glass substrate or a semiconductor wafer for liquid crystal, a conventional, so-called double-arm robot having two articulated arms for gripping and conveying the workpiece is employed. 係る二つの多関節アームは、それぞれ、関節部により回転可能に連結されて、モータ等の回転駆動源による回転力を伝達し、所望の動作が行われるようにされている。 Two articulated arms according, respectively, are rotatably connected by the joint, to transmit the rotational force generated by the rotation drive source such as a motor, is adapted desired operation is performed. このようにワークを把持・搬送するためのアームを二つ装備するようにすれば、例えば、ワークをストッカへ搬入したりストッカから搬出したりする際には、一方のアームを搬入用とし、他方のアームを搬出用とすることにより、ワークの搬入動作と搬出動作とを1台のダブルアーム型ロボットにより同時に行うことができるといった効果があり、省スペース化およびサイクルタイムの短縮を図ることができる。 Thus the arm for gripping and conveying the workpiece to two equipped, for example, when or unloaded from the stocker or carries the work to the stocker, and the one arm and for carrying, the other by the arm and for unloading, there are effects such can be carried out simultaneously by the work of the loading operation and the unloading operation and a double-arm robot, it is possible to shorten the space saving and cycle time .

ダブルアーム型ロボットにおける二つの多関節アームの構成としては、当初のものは特許文献1の従来技術としての図5〜図7に開示されているように、二つの水平多関節アームの基端部の回転軸を互いに異なるように配置していた。 The configuration of the two articulated arms in the double-arm robot, as the original ones disclosed in FIGS. 5 to 7 of the prior art of Patent Document 1, the base end portion of the two horizontal articulated arm It was arranged axis of rotation to be different from each other. しかし、特許文献1に開示されている発明では、二つの水平多関節アームの基端部の回転軸を同軸に配置し、その結果、二つの水平多関節アームを互いに上下に配置し、これによりダブルアーム型ロボットの小型化、省スペース化を図るようにしていた。 However, in the invention disclosed in Patent Document 1 that the rotational axis of the base end portion of the two horizontal articulated arms coaxially, as a result, placed one above the other two horizontal articulated arms, thereby miniaturization of the double-arm robot, has been to space saving.
特開2001−274218号公報 JP 2001-274218 JP

しかし、前述した特許文献1に係る発明では、以下の問題点がある。 However, in the invention according to Patent Document 1 described above, the following problems. 特許文献1に係る発明では、二つの水平多関節アームの基端部は上下方向に移動可能な移動部材に連結され、これにより二つの水平多関節アームの上下方向の移動を可能にしている。 In the invention according to Patent Document 1, the base end portion of the two horizontal articulated arm is connected to the moving member movable in the vertical direction, thereby to permit vertical movement of the two horizontal articulated arm. しかし、特許文献1に係る発明では、二つの水平多関節アームの上下方向の間隔は一定であり、かつ、二つの水平多関節アームの上下移動は同時に行われる機構となっているので、上下動作を含む水平多関節アームの動作を互いに独立して行うことができないという問題がある。 However, in the invention according to Patent Document 1, the vertical spacing between two horizontal articulated arm is constant, and since the vertical movement of the two horizontal articulated arm has a mechanism that takes place at the same time, the vertical operation it is impossible to perform the operation of the horizontal articulated arm independently of each other, including a. 例えば、多段収納棚を有するストッカからのワークの搬出作業にダブルアーム型ロボットを使用する場合、ワークを搬出する任意の2つの収納棚のピッチ(間隔)は二つの水平多関節アームの上下方向の間隔とは必ずしも一致しない。 For example, when using a double-arm robot to carry-out work of the workpiece from the stocker having a multi-stage storage rack, of any two storage shelves for unloading a workpiece pitch (interval) in the vertical direction of the two horizontal articulated arms It does not necessarily coincide with the interval. そのため、この場合は、二つの水平多関節アームの一方で1つ目の収納棚に収納されているワークの搬出を行った後、二つの水平多関節アームを移動部材により上下方向に移動させ、しかる後、他方の水平多関節アームで2つ目の収納棚に収納されているワークの搬出を行うことになる。 Therefore, in this case, after the unloading of workpieces housed in first storage bin on one of the two horizontal articulated arm is moved vertically by a moving member two horizontal articulated arms, Thereafter, it will perform unloading of workpieces housed in the second storage bin on the other horizontal articulated arm. したがって、水平多関節アームを二つ有しながらも、任意の2つの収納棚から同時にワークを搬出することができず、サイクルタイムが長くなってしまうという問題がある。 Therefore, while having two horizontal articulated arms, it is not possible to unload the workpiece simultaneously from any two storage shelves, there is a problem that the cycle time becomes long.

ところで、最近の液晶モニタの需要の拡大および大型化に伴って、生産ラインにおける半製品の液晶基板も大型化する傾向にある。 However, with the expansion and enlargement of the recent LCD monitor demand tends to increase in size even crystal substrate of semi-products in the production line. ダブルアーム型ロボットを液晶基板の大型化に対処させるためには、高い機械剛性を有することが必要になってくる。 The double arm type robot in order to cope with the enlargement of the liquid crystal substrate, it becomes necessary to have a high mechanical rigidity. しかし、特許文献1に係る発明では、1つの移動部材の側部において二つの水平多関節アームを連結する構造すなわち片持ちする構造となっているので、液晶基板が大型化し水平多関節アームの先端にかかる荷重が大きくなると、片持ちで、かつ、1つの移動部材で二つの水平多関節アームを連結する構造では剛性上問題がある。 However, in the invention according to Patent Document 1, since it at the sides of the one moving member structured to have structure or piece connecting two horizontal articulated arms, the liquid crystal substrate becomes large horizontal articulated arm tip When the load applied to increase, in a cantilever, and there is a rigid problems in construction for connecting the two horizontal articulated arm on one of the moving member.

本発明は、前述した従来技術の問題点を解決するためになされたものであり、二つの水平多関節アームの動作をその上下動作も含めて互いに独立して行うことが可能なダブルアーム型ロボットを提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve the problems of the prior art described above, two horizontal articulated arms operated including its vertical movement can be performed independently of each other a double arm type robot of an object of the present invention is to provide a. また、本発明は、高い機械剛性を有するダブルアーム型ロボットを提供することを目的とする。 The present invention also aims to provide a double-arm robot having a high mechanical rigidity.

前述した目的を達成するために、請求項1に係る発明では、関節部により回転可能に連結されて、回転駆動源による回転力を伝達し、所望の動作が行われるようにされている多関節アームを上下に二つ備えたダブルアーム型ロボットにおいて、二つの多関節アームをそれぞれ支持する二つのアーム支持用構造体は、この二つのアーム支持用構造体を互いに独立して上下方向に移動可能にさせるための移動機構に連結されていることを特徴とするダブルアーム型ロボットを提供した。 To achieve the above object, the invention according to claim 1, are rotatably connected by the joint, to transmit the rotational force generated by the rotation drive source, articulated which is as desired operations are performed in the double-arm robot having two arms up and down, two arms supporting structure supporting two articulated arms respectively, can move the two arm supporting structure independently of each other in the vertical direction that is coupled to the moving mechanism for the provided a double-arm robot according to claim. 係る構成としたことにより、二つの多関節アームの動作に関しては、各多関節アーム独自の関節動作は勿論のこと、その上下動作についても互いに独立して行うことが可能となる。 By configuration and the related, with respect to the operation of the two articulated arms, each articulated arm own articulation of course, it is possible to carry out also independently of each other about the vertical operation.

また、請求項2に係る発明では、請求項1に係る発明において、前記移動機構は、2本の支柱と、この2本の支柱のそれぞれに設けられた、連結された部材を上下方向に摺動可能にするための直動案内と、この直動案内に連結された部材を直動案内に沿って移動させるためのアクチュエータから構成されるものとした。 Further, in the invention according to claim 2, in the invention according to claim 1, wherein the moving mechanism includes a two columns were provided in each of the two posts, sliding the linked member vertically and rotatably to linear guide for, and the linked member to the linear guide and it shall be composed of an actuator for moving along the linear guide. 係る構成としたことにより、二つの多関節アームをそれぞれ支持する二つのアーム支持用構造体は、2本の支柱のそれぞれに設けられた直動案内により、所謂両持ちされながら上下に移動することになる。 By configuration and the related, two arms supporting structure supporting two articulated arms, respectively, due linear guide provided in each of the two posts, to move up and down while being having a so-called both become.

また、請求項3に係る発明では、請求項2に係る発明において、前記2本の支柱からなる移動機構は台座に載置され、この台座は前記2本の支柱をその水平方向中間位置を中心とする垂直軸回りに回転可能にするための旋回機構を有するものとした。 Further, in the invention according to claim 3, the center in the invention according to claim 2, a moving mechanism consisting of the two posts is mounted on a pedestal, the pedestal its horizontal middle position the two posts It was assumed to have a turning mechanism for allowing rotation about a vertical axis to. 係る構成としたことにより、ダブルアーム型ロボットの動作範囲が広がることになる。 By configuration and the related, so that the widened working range of a double-arm robot.

また、請求項4に係る発明では、請求項3に係る発明において、前記台座は基台に載置され、台座はこの基台上を水平方向に移動可能にされるものとした。 Further, in the invention according to claim 4, in the invention according to claim 3, wherein the pedestal is placed on the base, the base is assumed to be movable on the base in a horizontal direction. 係る構成としたことにより、ダブルアーム型ロボット本体を移動させることが可能になる。 By configuration and the related, it is possible to move the double-arm robot.

また、請求項5に係る発明では、請求項1乃至4のいずれかに係る発明において、前記多関節アームにおける前記アーム支持用構造体に連結される関節軸の回転軸は、前記二つの多関節アームにおいて互いに同軸であるようにした。 Further, in the invention according to claim 5, in the invention according to any one of claims 1 to 4, wherein the rotation axis of the joint shaft connected to the arm supporting structure in articulated arm, said two articulated and so is coaxial to each other in the arm. 係る構成としたことにより、台座の回転により二つの多関節アームが旋回した場合でも、二つの多関節アームにおけるアーム支持用構造体に連結される関節軸の回転軸が互いに同軸のため、ダブルアーム型ロボット全体としては小さい旋回半径にて旋回させることが可能になる。 By configuration and the related, even if the two articulated arms are pivoted by rotation of the pedestal, since the rotation axis is coaxial with each other in the joint shaft connected to the arm supporting structure in the two articulated arms, double arm it is possible to pivot by a small turning radius as a whole type robot.

さらに、請求項6に係る発明では、請求項1乃至5のいずれかに係る発明において、前記二つの多関節アームは互いに対面するようにして前記二つのアーム支持用構造体のそれぞれに支持されるものとした。 Furthermore, in the invention according to claim 6, in the invention according to any one of claims 1 to 5, wherein two articulated arms are supported on the respectively so as to face the two arms supporting structure together It was the thing. 係る構成としたことにより、二つの多関節アーム間の上下方向の最小接近間隔を小さくすることが可能になる。 By configuration and the related, it is possible to reduce the minimum approach distance between the upper and lower direction between the two articulated arms.

また、請求項7に係る発明では、請求項1乃至6のいずれかに係る発明において、前記二つの多関節アームは垂直軸回りに回転可能にされた複数の関節軸からなる水平多関節アームとした。 Further, in the invention according to claim 7, in the invention according to any one of claims 1 to 6, wherein the two articulated arms and the horizontal articulated arm comprising a plurality of joint axes which is rotatable about a vertical axis did. 一般に、水平多関節アームでは、各関節軸を構成する構造体の垂直方向高さが、垂直多関節アームに比して小さい。 In general, in the horizontal articulated arm, the vertical height of the structure constituting each joint axis is smaller than the vertical articulated arm. したがって、係る構成としたことにより、二つの多関節アーム間の上下方向の最小接近間隔を小さくすることが可能になる。 Therefore, with the construction of, it is possible to reduce the minimum approach distance between the upper and lower direction between the two articulated arms.

請求項1に係るダブルアーム型ロボットによれば、二つの多関節アームの動作に関しては、各多関節アーム独自の関節動作は勿論のこと、その上下動作についても互いに独立して行うことが可能となった。 According to the double-arm robot according to claim 1, for the operation of the two articulated arms, each articulated arm own articulation of course, can be performed even independently from each other about the vertical operation became. そのため、二つの多関節アームにより作業を並行して行うことが可能となるので、作業を効率的に行うことができるものとなった。 Therefore, it becomes possible to perform in parallel tasks by two articulated arms, was presumed to be capable of performing the work efficiently.

請求項2に係るダブルアーム型ロボットによれば、二つの多関節アームをそれぞれ支持する二つのアーム支持用構造体は、2本の支柱のそれぞれに設けられた直動案内により、所謂両持ちされながら上下に移動することになったので、片持ちの機構である従来技術のものより高い機械剛性を有するものとなった。 According to the double-arm robot according to claim 2, the two arms supporting structure supporting two articulated arms, respectively, due linear guide provided in each of the two posts, is having a so-called both since now be moved down while, was to have a high mechanical rigidity than those of the prior art is a mechanism cantilevered.

請求項3に係るダブルアーム型ロボットによれば、ダブルアーム型ロボットの動作範囲が広がることになったので、多関節アームが搬送するワークの搬送範囲が拡大するものとなった。 According to the double-arm robot according to claim 3, since now the operating range of the double-arm robot spreads, articulated arm becomes and expands the conveying range of the workpiece to be transported. また、多関節アーム自体を大型化せずとも、ダブルアーム型ロボットの動作範囲を拡大することが可能になった。 Furthermore, the articulated arm itself without large, it has become possible to enlarge the operating range of the double-arm robot.

請求項4に係るダブルアーム型ロボットによれば、ダブルアーム型ロボット本体を移動させることが可能になったので、多関節アームが搬送するワークの搬送範囲が著しく拡大するものとなった。 According to the double-arm robot according to claim 4, since it became possible to move the double-arm robot, the transport range of work articulated arm conveys has become a significantly enlarged.

請求項5に係るダブルアーム型ロボットによれば、台座の回転により二つの多関節アームが旋回した場合でも、ダブルアームロボット全体としては小さい旋回半径にて旋回させることが可能になったので、二つの多関節アームが共にワークを把持した状態で旋回する場合でも、小さい旋回半径にて旋回させることが可能になった。 According to the double-arm robot according to claim 5, even if the two articulated arm by the rotation of the base is pivoted, since it became possible to pivot by a small turning radius as a whole a double-arm robot, the two even if the One of the articulated arm pivots together while gripping the workpiece, it has become possible to pivot by a small turning radius.

請求項6に係るダブルアーム型ロボットによれば、二つの多関節アーム間の上下方向の最小接近間隔を小さくすることが可能になったので、例えば基板保管用に上下に複数の収納棚を有するストッカへのワークの搬入出作業においては、ストッカに収納されている2つのワークの上下方向の間隔が接近している場合でも、二つの水平多関節アームが同時に各ワークの搬入出を行うことができるものとなった。 According to the double-arm robot according to claim 6, since it has become possible to reduce the minimum approach distance between the upper and lower direction between the two articulated arms, having a plurality of storage shelves in the vertical motion example substrate storage in carrying out the work of the workpiece to the stocker, even when the vertical distance between the two work housed in the stocker is approaching, that two horizontal articulated arm makes loading and unloading of the workpiece at the same time It has become a thing that can be.

請求項7に係るダブルアーム型ロボットによれば、二つの多関節アーム間の上下方向の最小接近間隔を小さくすることが可能になったので、前述した請求項6に係るダブルアーム型ロボットと同様な効果が得られるものとなった。 According to the double-arm robot according to claim 7, since it has become possible to reduce the minimum approach distance between the upper and lower direction between the two articulated arms, similar to the double-arm robot according to claim 6 described above such effect was made to those obtained.

以下、本発明を実施するための最良の形態について、図面を参照して説明する。 Hereinafter, the best mode for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings. 図1は、本発明の一実施形態に係るダブルアーム型ロボットの全体構造を示す斜視図である。 Figure 1 is a perspective view showing an overall structure of a double-arm robot according to an embodiment of the present invention. また、図2は、本発明の一実施形態に係るダブルアーム型ロボットの門型構造部分の水平断面図である。 2 is a horizontal sectional view of the portal structure part of the double-arm robot according to an embodiment of the present invention.

図1において、10は設置面に固定設置された台座である。 1, 10 is fixedly installed pedestal to the installation surface. この台座10には略矩形平板形状の下側締結板11が連結されている。 Lower fastening plate 11 of a substantially rectangular plate shape is connected to the pedestal 10. 台座10は図示しない旋回機構を有しており、これにより下側締結板11は設置面に対して垂直軸回りに旋回することになる。 Pedestal 10 has a pivot mechanism (not shown), which causes the lower fastening plate 11 will pivot about a vertical axis relative to the installation surface. また、略長方形平板形状の下側締結板11の長手方向両端には、それぞれ、移動機構を構成する略矩形形状の左側支柱1Aおよび右側支柱1Bが、その長手方向が設置面に対して垂直となるように取り付けられている。 Further, the longitudinal ends of the lower fastening plate 11 of a substantially rectangular plate shape, respectively, the left pillar 1A and right struts 1B substantially rectangular constituting the moving mechanism, the vertical longitudinal direction thereof with respect to the installation surface It is mounted in such a way that. さらに、この左側支柱1Aおよび右側支柱1Bの上端には、全体として略矩形平板形状ながらもメッシュ構造を有する上側締結板12が取り付けられている。 Furthermore, this upper end of the left strut 1A and right struts 1B, the upper fastening plate 12 having the mesh structure while substantially rectangular plate shape is mounted as a whole.

このように、下側締結板11、左側支柱1A、右側支柱1B、および上側締結板12からなる門型構造体が、設置面に載置された台座10に対して垂直軸回りに回転する構造となっている。 Structure Thus, the lower fastening plate 11, the left pillar 1A, right struts 1B, and portal structure consisting of an upper fastening plate 12, which rotates about a vertical axis with respect to the base 10 placed on the installation surface It has become. なお、前述した上側締結板12をメッシュ構造としている理由は、本実施形態に係るダブルアーム型ロボットが半導体製造工場等のクリーンルームに設置された際に、クリーンルーム内を循環する空気の流れを遮らないためであり、係るメッシュ構造自体は本実施形態の要旨ではない。 The reason that the upper fastening plate 12 described above with mesh structure, when a double-arm robot according to the present embodiment is installed in a clean room of a semiconductor manufacturing plant, not block the flow of air circulating in the clean room , and the mesh structure itself according not a gist of the present embodiment for.

図2に示すように、移動機構としての前述した左側支柱1Aには上下方向(垂直方向)運動用の直動案内2A、2Bが設けられている。 As shown in FIG. 2, the vertical direction (vertical direction) linear guide 2A for movement, 2B is provided on the left side pillar 1A described above as a moving mechanism. 同様に、移動機構としての前述した右側支柱1Bには上下方向(垂直方向)運動用の直動案内3A、3Bが設けられている。 Similarly, the right post 1B described above as a moving mechanism up and down direction (vertical direction) linear guide 3A for movement, 3B are provided. そして、左側支柱1Aの直動案内2Aおよび右側支柱1Bの直動案内3Aには、その両端部以外は略矩形平板形状の下アーム支持用構造体4Aが連結されている。 Then, the linear guide 3A of the linear guide 2A and the right pillar 1B of the left strut 1A, the lower arm supporting structure 4A substantially rectangular flat plate shape except its both end portions are connected. 同様に、左側支柱1Aの直動案内2Bおよび右側支柱1Bの直動案内3Bには、その両端部以外は略矩形平板形状の上アーム支持用構造体4Bが連結されている。 Similarly, the linear guide 3B of the linear guide 2B and right struts 1B of the left strut 1A, the arm supporting structure 4B on the substantially rectangular plate shape is connected except both ends thereof. さらに、左側支柱1Aにはアクチュエータとしての図示しないモータに直結されたボールネジ6Bが設けられており、このボールネジ6Bには締結物7Bによって前述した直動案内2Bが締結されている。 Furthermore, the left pillar 1A and directly coupled ball screw 6B is provided in the motor (not shown) as an actuator, a linear guide 2B is fastened as described above by the fastening material 7B to the ball screw 6B. 同様に、右側支柱1Bには前述したボールネジ6Bを駆動するモータとは別のアクチュエータとしての図示しないモータに直結されたボールネジ6Aが設けられており、このボールネジ6Aには締結物7Aによって前述した直動案内3Aが締結されている。 Similarly, and ball screw 6A is provided which is directly connected to a motor (not shown) as another actuator motor for driving the ball screw 6B described above on the right side pillar 1B, which have established above by the fastening material 7A in this ball screw 6A dynamic guide 3A is fastened.

これにより、左側支柱1Aと右側支柱1Bとの間に設けられた下アーム支持用構造体4Aは、ボールネジ6Aの駆動により上下方向に移動することになる。 Thus, the lower arm supporting structure 4A provided between the left pillar 1A and right strut 1B will move up and down by driving the ball screw 6A. 同様に、左側支柱1Aと右側支柱1Bとの間に設けられた上アーム支持用構造体4Bは、ボールネジ6Bの駆動により上下方向に移動することになる。 Similarly, the arm supporting structure 4B on which is provided between the left pillar 1A and right strut 1B will move up and down by driving the ball screw 6B. このように、下アーム支持用構造体4Aおよび上アーム支持用構造体4Bは、それぞれ別のボールネジ6A、6Bにより、互いに独立して上下動作することになる。 Thus, the lower arm supporting structure 4A and the upper arm supporting structure 4B is separate ball screw 6A, the 6B, will vertically operate independently of one another.

図1に示すように、下アーム支持用構造体4Aの上面には水平多関節アーム5Aが設けられ、一方、上アーム支持用構造体4Bの下面には水平多関節アーム5Bが設けられている。 As shown in FIG. 1, it is provided a horizontal articulated arm 5A on the upper surface of the lower arm supporting structure 4A, whereas, the lower surface of the upper arm supporting structure 4B is provided with a horizontal articulated arm 5B . このように、本実施形態においては、両水平多関節アーム5A、5Bは、互いに対面するようにして二つのアーム支持用構造体4A、4Bのそれぞれに支持されている。 Thus, in the present embodiment, both horizontal articulated arm 5A, 5B is supported on each of the two arms supporting structure 4A, 4B so as to face each other. これらの水平多関節アーム5A、5Bのそれぞれの先端部には、ワークとしてのガラス基板を載置可能にされたフォーク状のワーク保持用ハンド8A、8Bが取り付けられている。 These horizontal articulated arm 5A, the respective distal end of 5B, forked work holding hand 8A which is a glass substrate as a workpiece can be placed, 8B is attached. なお、水平多関節アーム5A、5Bは、2つの腕が3つの関節部により回転可能に連結されて、図示しないモータ等の回転駆動源による回転力を伝達する構造となっている。 Incidentally, the horizontal articulated arm 5A, 5B, the two arms is rotatably connected by three joints, it has a structure for transmitting rotational force generated by the rotation drive source such as a motor (not shown).

そのため、水平多関節アーム5A、5Bにおいて図示しない駆動源によって各関節を一定の比率で駆動させることにより、前述したフォーク状のワーク保持用ハンド8A、8Bは前後方向すなわち左右の支柱1A、1Bを結ぶ線に直交する方向に直線運動が行われることになる。 Therefore, the horizontal articulated arm 5A, by driving the joints at a constant rate by a driving source not shown in 5B, forked work holding hand 8A described above, 8B is the front-rear direction, i.e. left and right posts 1A, and 1B so that the linear movement takes place in a direction perpendicular to the line connecting. なお、水平多関節アーム5A、5Bにおける前述した回転力の伝達機構としては、例えば、各関節部にタイミングプーリを備えて、これらタイミングプーリ間をタイミングベルトで連結するように構成する周知の技術を利用することができる。 Incidentally, the horizontal articulated arm 5A, as the rotational force transmission mechanism described above in 5B, for example, a timing pulley to the respective joint portions, the known techniques for constituting between the timing pulleys so as to link the timing belt it can be used.

以上の構成としたことにより、本実施形態に係るダブルアーム型ロボットでは、ワーク保持用ハンド8A、8Bに載置されたガラス基板等のワークは、水平多関節アーム5A、5Bの動作により前後方向に移動し、下アーム支持用構造体4Aおよび上アーム支持用構造体4Bの動作により上下方向に移動し、さらに台座10の動作により設置面に対して垂直軸回りに旋回することになる。 By the above configuration, the double-arm robot according to the present embodiment, the workpiece holding hand 8A, workpiece placed such as a glass substrate to 8B, the front-rear direction by the operation of the horizontal articulated arm 5A, 5B Go to, by the operation of the lower arm supporting structure 4A and the upper arm supporting structure 4B move in the vertical direction, to pivot about a vertical axis relative to the installation surface by further operation of the pedestal 10. これにより、本実施形態に係るダブルアーム型ロボットは、その動作範囲内に配置された図示しない加工機、ストッカ、その他の搬送装置との間で、非搬送物の搬送を行うことができる。 Thus, a double-arm robot according to the present embodiment, processing machine (not shown) disposed within its operating range, the stocker, with the other transport device, can be conveyed non-conveyed object.

なお、前述した下アーム支持用構造体4Aおよび上アーム支持用構造体4Bは、図3に示すように、互い違いに突出した側部を有する形状を呈している。 The lower arm supporting structure 4A and the upper arm supporting structure 4B described above, as shown in FIG. 3, it has a shape having alternately projecting side. これにより、高い機械剛性を保ちつつも、両アーム支持用構造体4A、4B間の距離、すなわち水平多関節アーム5A、5B間の上下方向距離を最小限に設定できるようにしている。 Thus, even while maintaining a high mechanical rigidity, the arms supporting structure 4A, the distance between 4B, that is to be set horizontally articulated arm 5A, the vertical distance between 5B to a minimum.

また、水平多関節アーム5Aの下アーム支持用構造体4Aに連結される関節軸の回転軸と、水平多関節アーム5Bの上アーム支持用構造体4Bに連結される関節軸の回転軸とを、互いに同軸とすることにより、台座10の回転により下側締結板11、左側支柱1A、右側支柱1B、および上側締結板12からなる門型構造体が旋回した場合でも、ダブルアーム型ロボット全体としては小さい旋回半径にてこれを旋回させることが可能になる。 Further, the rotation axis of the joint shaft connected to the lower arm supporting structure 4A of the horizontal articulated arm 5A, the axis of rotation of the joint shaft connected to the arm supporting structure 4B on a horizontal articulated arm 5B , by a coaxially, the lower fastening plate 11 by the rotation of the pedestal 10, the left pillar 1A, right struts 1B, and even when the portal structure consisting of an upper fastening plate 12 is pivoted, the entire double arm type robot it is possible to pivot this in a small turning radius. そのため、二つの水平多関節アーム5A、5Bがそのハンド8A、8Bと共にワークを把持した状態で旋回する場合でも、小さい旋回半径にて旋回させることが可能になる。 Therefore, even when turning in a state where two horizontal articulated arms 5A, 5B grips the workpiece that hand 8A, with 8B, it is possible to pivot by a small turning radius.

次に、本実施形態に係るダブルアーム型ロボットの作用(動作)および効果について、前述した特許文献1に係る従来技術のものと対比させながら説明する。 Next, the operation (operation) and the effects of the double-arm robot according to the present embodiment will be described while comparing with the conventional art according to Patent Document 1 described above. ここでは、上下方向にワークを収納するための複数の収納棚を有するストッカから、各収納棚に収納されているガラス基板等の薄板状ワークを搬出する作業について、両者を比較する。 Here, from the stocker having a plurality of storage shelves for storing the workpiece in the vertical direction, the work of unloading the thin plate-shaped work such as a glass substrate which is accommodated in the storage rack, which compares the two.

まず、前述した特許文献1に係る従来技術におけるダブルアーム型ロボットを使用した場合について、図4および図5を参照して説明する。 First, the case of using a double arm type robot of the prior art according to Patent Document 1 described above, will be described with reference to FIGS. ここで、図4は、特許文献1に係る従来技術におけるダブルアーム型ロボットを使用して、ストッカ30内の別々の収納棚に収納されているワーク31、32を搬出する場合の動作について説明するための説明図である。 Here, FIG. 4, using a double-arm robot of the prior art according to Patent Document 1, the operation will be described in the case of carrying out the work 31, 32 are housed in separate storage rack in the stocker 30 it is an explanatory diagram for. この図4は、二つの水平多関節アーム22A、22Bやストッカ30などを横から見たときの垂直断面図として描いたものである。 The 4 and illustrates as a vertical sectional view when viewed two horizontal articulated arms 22A, 22B and the stocker 30 and the like from the side. また、図5は、図4の説明図に係る動作における前後移動および上下移動について示したサイクル図である。 Further, FIG. 5 is a cycle diagram showing the movement and vertical movement back and forth in the operation according to the illustration of FIG.

図4に示すように、特許文献1に係る従来技術におけるダブルアーム型ロボットでは、下側の水平多関節アーム22Aおよび上側の水平多関節アーム22Bは、いずれも同一の締結構造体21に取り付けられている。 As shown in FIG. 4, the double-arm robot of the prior art according to Patent Document 1, the lower side of the horizontal articulated arms 22A and upper horizontal articulated arm 22B are both attached to the same fastening structure 21 ing. そのため、下側の水平多関節アーム22Aと上側の水平多関節アーム22Bとの上下方向の間隔を変更することができないのは勿論のこと、これら二つの水平多関節アーム22A、22Bの上下移動は同時に行われることになる。 Therefore, of course not possible to change the vertical distance between the lower side of the horizontal articulated arms 22A and an upper horizontal articulated arm 22B, these two horizontal articulated arms 22A, the vertical movement of 22B It will be performed at the same time.

この特許文献1に係る従来技術におけるダブルアーム型ロボットを使用して、図4に示したストッカ30内の別々の収納棚に収納されているワーク31、32を搬出する場合、この従来技術におけるダブルアーム型ロボットは以下に説明する動作を行うことになる。 If this using a double-arm robot of the prior art according to Patent Document 1, carries out the workpiece 31, 32 are housed in separate storage rack in the stocker 30 shown in FIG. 4, double in the prior art arm type robot will perform the operations discussed below.

まず、下側の水平多関節アーム22Aの先端に取り付けられたワーク保持用ハンド23Aがストッカ30に挿入されていない状態において、図示しない上下移動機構を動作させることにより、下側の水平多関節アーム22Aをストッカ30に収納されているワーク31の高さまで上下移動させる(図5の101)。 First, in a state where the lower horizontal articulated arm 22A workpiece holding hand 23A attached to the tip of is not inserted into the stocker 30, by operating the vertical movement mechanism (not shown), the lower side of the horizontal articulated arm the 22A to the height of the workpiece 31 is accommodated in the stocker 30 move up and down (101 of FIG. 5). 次いで、下側の水平多関節アーム22Aの各関節軸を動作させることにより、ワーク保持用ハンド23Aをストッカ30内に前進させる(図5の102)。 Then, by operating the respective joint axes of the lower horizontal articulated arm 22A, to advance the work holding hand 23A in the stocker 30 (102 in FIG. 5). この前進が完了した時点では、ワーク保持用ハンド23Aはストッカ30内に収納されているワーク31の直下に位置することになる。 At this point the forward has been completed, the workpiece holding hand 23A will be located directly under the workpiece 31 is accommodated in the stocker 30. 次いで、図示しない上下移動機構を動作させることにより、ワーク保持用ハンド23A上にワーク31を載置させる(図5の103)。 Then, by operating the vertical movement mechanism (not shown), thereby placing the workpiece 31 on the workpiece holding hand 23A (103 in FIG. 5). 次いで、下側の水平多関節アーム22Aの各関節軸を動作させることにより、ワーク保持用ハンド23Aをストッカ30外に後退させる(図5の104)。 Then, by operating the respective joint axes of the lower horizontal articulated arm 22A, retracting the workpiece holding hand 23A outside the stocker 30 (104 in FIG. 5). これにより、ストッカ30内の収納棚の一つに収納されていたワーク31の搬出が完了する。 Thus, out of the workpiece 31 is completed, which is housed in one of the storage rack in the stocker 30.

次いで、上側の水平多関節アーム22Bの先端に取り付けられたワーク保持用ハンド23Bがストッカ30に挿入されていない状態において、図示しない上下移動機構を動作させることにより、上側の水平多関節アーム22Bをストッカ30に収納されているワーク32の高さまで上下移動させる(図5の105)。 Then, in a state where the upper horizontal articulated arm 22B work holding hand 23B which is attached to the tip of not inserted into the stocker 30, by operating the vertical movement mechanism (not shown), the upper horizontal articulated arm 22B It is housed in the stocker 30 move up and down to the height of the workpiece 32 (105 in FIG. 5). 次いで、上側の水平多関節アーム22Bの各関節軸を動作させることにより、ワーク保持用ハンド23Bをストッカ30内に前進させる(図5の106)。 Then, by operating the respective joint axes of the upper horizontal articulated arm 22B, to advance the work holding hand 23B in the stocker 30 (106 in FIG. 5). この前進が完了した時点では、ワーク保持用ハンド23Bはストッカ30内に収納されているワーク32の直下に位置することになる。 At this point the forward has been completed, the workpiece holding hand 23B will be located directly under the workpiece 32 that is housed in the stocker 30. 次いで、図示しない上下移動機構を動作させることにより、ワーク保持用ハンド23B上にワーク32を載置させる(図5の107)。 Then, by operating the vertical movement mechanism (not shown), thereby placing the workpiece 32 on the workpiece holding hand 23B (107 in FIG. 5). 次いで、上側の水平多関節アーム22Bの各関節軸を動作させることにより、ワーク保持用ハンド23Bをストッカ30外に後退させる(図5の108)。 Then, by operating the respective joint axes of the upper horizontal articulated arm 22B, to retract the workpiece holding hand 23B outside the stocker 30 (108 in FIG. 5). これにより、ストッカ30内の収納棚の一つに収納されていたワーク32の搬出が完了する。 Thus, out of the workpiece 32 is completed, which is housed in one of the storage rack in the stocker 30.

以上説明したように、特許文献1に係る従来技術におけるダブルアーム型ロボットを使用して、ストッカ内の別々の収納棚に収納されている2つのワークを搬出する場合は、図5の101〜108に示すように、8つのサイクル(ステップ)が必要となる。 As described above, when using a double arm type robot of the prior art according to Patent Document 1, carries out the two workpieces are accommodated in separate storage rack in stocker, 101-108 in FIG. 5 as shown in, it is necessary to eight cycles (steps). これは、前述したように、特許文献1に係る従来技術におけるダブルアーム型ロボットでは、下側の水平多関節アーム22Aと上側の水平多関節アーム22Bとの上下方向の間隔を変更することができず、さらにこれら二つの水平多関節アーム22A、22Bの上下移動は同時に行われるため、2つのワークの搬出作業を並行して行うことができないことによるものである。 This is because, as described above, in the double-arm robot of the prior art according to Patent Document 1, it is possible to change the vertical distance between the lower side of the horizontal articulated arms 22A and an upper horizontal articulated arm 22B without further these two horizontal articulated arms 22A, since the vertical movement of 22B are performed at the same time, it is due can not be performed in parallel unloading work of two work.

次に、本実施形態におけるダブルアーム型ロボットを使用した場合について、図6および図7を参照して説明する。 Next, the case of using the double-arm robot according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. ここで、図6は、本実施形態におけるダブルアーム型ロボットを使用して、ストッカ34内の別々の収納棚に収納されているワーク35、36を搬出する場合の動作について説明するための説明図である。 Here, FIG. 6, using a double-arm robot of the present embodiment, explanatory view for explaining operation when unloading the workpiece 35, 36 are housed in separate storage rack in the stocker 34 it is. この図6は、二つの水平多関節アーム5A、5Bやストッカ34などを横から見たときの垂直断面図として描いたものである。 The 6 and illustrates a vertical sectional view when viewed two horizontal articulated arms 5A, 5B and stocker 34 and from the side. また、図7は、図6の説明図に係る動作における前後移動および上下移動について示したサイクル図である。 7 is a cycle diagram showing the movement and vertical movement back and forth in the operation according to the illustration of FIG.

図6に示すように、本実施形態におけるダブルアーム型ロボットでは、下側の水平多関節アーム5Aおよび上側の水平多関節アーム5Bは、それぞれ別の構造体である下アーム支持用構造体4Aおよび上アーム支持用構造体4Bに取り付けられており、さらにこれら下アーム支持用構造体4Aおよび上アーム支持用構造体4Bは、それぞれ別のアクチュエータ(モータおよびボールネジ)により動作可能にされている。 As shown in FIG. 6, the double-arm robot of the present embodiment, the lower side of the horizontal articulated arms 5A and upper horizontal articulated arm 5B are structure 4A and the lower arm supporting a separate structure is attached to the upper arm supporting structure 4B, further these lower arm supporting structure 4A and the upper arm supporting structure 4B is operable by separate actuator (motor and a ball screw). そのため、下側の水平多関節アーム5Aと上側の水平多関節アーム5Bとの上下方向の間隔を変更することができるのは勿論のこと、これら二つの水平多関節アーム5A、5Bの上下移動は互いに独立して行われることになる。 Therefore, the lower side of the horizontal articulated arm 5A and the upper horizontal articulated arm 5B and the vertical spacing can be changed in the course, the two horizontal articulated arms 5A, the vertical movement of 5B It will be done independently of each other.

この本実施形態におけるダブルアーム型ロボットを使用して、図6に示したストッカ34内の別々の収納棚に収納されているワーク35、36を搬出する場合、この本実施形態におけるダブルアーム型ロボットは以下に説明する動作を行うことになる。 Using a double-arm robot in this embodiment, when unloading the workpiece 35, 36 are housed in separate storage rack in the stocker 34 shown in FIG. 6, the double-arm robot in this embodiment It would perform the operations described below.

まず、下側の水平多関節アーム5Aの先端に取り付けられたワーク保持用ハンド8Aがストッカ34に挿入されていない状態において、図2に示した前述したボールネジ6Aを動作させることにより、下側の水平多関節アーム5Aをストッカ34内に収納されているワーク35の高さまで上下移動させる。 First, in a state where the lower horizontal articulated arm 5A workpiece holding hand 8A attached to the tip of is not inserted into the stocker 34, by operating the ball screw 6A described above shown in FIG. 2, the lower vertically moving to the height of the workpiece 35 which is housed a horizontal articulated arm 5A in the stocker 34. この下側の水平多関節アーム5Aの上下動作と並行して、上側の水平多関節アーム5Bの上下動作も行わせることにする。 In parallel with the vertical operation of the lower horizontal articulated arm 5A, will be vertical movement of the upper horizontal articulated arm 5B also causes. すなわち、上側の水平多関節アーム5Bの先端に取り付けられたワーク保持用ハンド8Bがストッカ34に挿入されていない状態において、図2に示した前述したボールネジ6Bを動作させることにより、上側の水平多関節アーム5Bをストッカ34内に収納されているワーク36の高さまで上下移動させる。 That is, in the upper side of the horizontal articulated arm 5B work holding hand 8B attached to the tip of is not inserted into the stocker 34, by operating the ball screw 6B described above shown in FIG. 2, the upper horizontal multi vertically moving to the height of the workpiece 36 which is housed the articulated arm 5B to stocker 34. (図7の201)。 (201 in FIG. 7).

次いで、下側の水平多関節アーム5Aの各関節軸を動作させることにより、ワーク保持用ハンド8Aをストッカ34内に前進させる。 Then, by operating the respective joint axes of the lower horizontal articulated arm 5A, to advance the work holding hand 8A to stocker 34. この下側の水平多関節アーム5Aの前進動作と並行して、上側の水平多関節アーム5Bの前進動作も行わせることにする。 In parallel with the forward movement of the lower side of the horizontal articulated arm 5A, will be forward movement of the upper horizontal articulated arm 5B also causes. すなわち、上側の水平多関節アーム5Bの各関節軸を動作させることにより、ワーク保持用ハンド8Bをストッカ34内に前進させる。 That is, by operating the respective joint axes of the upper horizontal articulated arm 5B, to advance the work holding hand 8B into stocker 34. (図7の202)。 (202 in FIG. 7). この両水平多関節アーム5A、5Bの前進が完了した時点では、ワーク保持用ハンド8Aはストッカ34内に収納されているワーク35の直下に位置し、ワーク保持用ハンド8Bはストッカ34内に収納されているワーク36の直下に位置することになる。 Both horizontal articulated arm 5A, at the time when 5B advance is complete, the workpiece holding hand 8A is located directly below the workpiece 35, which is accommodated in the stocker 34, the workpiece holding hand 8B are accommodated in the stocker 34 It will be located directly under the workpiece 36 being.

次いで、図2に示した前述したボールネジ6Aを動作させることにより、ワーク保持用ハンド8A上にワーク35を載置させる。 Then, by operating the ball screw 6A described above shown in FIG. 2, thereby placing the workpiece 35 on the workpiece holding hand 8A. このボールネジ6Aの動作と並行して、ボールネジ6Bの動作も行わせることにする。 In parallel with the operation of the ball screw 6A, to be carried out also operation of the ball screw 6B. すなわち、図2に示した前述したボールネジ6Bを動作させることにより、ワーク保持用ハンド8B上にワーク36を載置させる。 That is, by operating the ball screw 6B described above shown in FIG. 2, thereby placing the workpiece 36 on the workpiece holding hand 8B. (図7の203)。 (203 in FIG. 7).

次いで、下側の水平多関節アーム5Aの各関節軸を動作させることにより、ワーク保持用ハンド8Aをストッカ34外に後退させる。 Then, by operating the respective joint axes of the lower horizontal articulated arm 5A, retracting the workpiece holding hand 8A outside the stocker 34. この下側の水平多関節アーム5Aの後退動作と並行して、上側の水平多関節アーム5Bの後退動作も行わせることにする。 In parallel with retraction of the lower side of the horizontal articulated arm 5A, will be retraction of the upper horizontal articulated arm 5B also causes. すなわち、上側の水平多関節アーム5Bの各関節軸を動作させることにより、ワーク保持用ハンド8Bをストッカ34外に後退させる。 That is, by operating the respective joint axes of the upper horizontal articulated arm 5B, retracts the workpiece holding hand 8B outside the stocker 34. (図7の204)。 (204 in FIG. 7). これにより、ストッカ34内の別々の収納棚に収納されていた2つのワーク35,36の同時搬出が完了する。 Thus, simultaneous unloading of the two work 35, 36 is housed in a separate storage rack in the stocker 34 is completed.

以上説明したように、本実施形態におけるダブルアーム型ロボットを使用して、ストッカ内の別々の収納棚に収納されている2つのワークを搬出する場合は、図7の201〜204に示すように、4つのサイクル(ステップ)で済むことになる。 As described above, using a double-arm robot of the present embodiment, when unloading the two workpieces are accommodated in separate storage rack in the stocker, as shown in 201 to 204 in FIG. 7 , so that requires only four cycles (steps). これは、前述したように、本実施形態におけるダブルアーム型ロボットでは、下側の水平多関節アーム5Aおよび上側の水平多関節アーム5Bは、それぞれ別の構造体である下アーム支持用構造体4Aおよび上アーム支持用構造体4Bに取り付けられ、さらにこれら下アーム支持用構造体4Aおよび上アーム支持用構造体4Bは、それぞれ別のアクチュエータ(ボールネジ6A、6B)により互いに独立して動作可能にされているからである。 This is because, as described above, in the double-arm robot of the present embodiment, the lower side of the horizontal articulated arms 5A and upper horizontal articulated arm 5B is a lower arm supporting structure 4A is a separate structure and attached to the upper arm support structure for 4B, further these lower arm supporting structure 4A and the upper arm supporting structure 4B is separate actuator (ball screw 6A, 6B) is operable independently of one another by is is because.

したがって、本実施形態に係るダブルアーム型ロボットを前述した特許文献1に係る従来技術のものと対比させると、特許文献1に係る従来技術のものではサイクル数が8サイクルであったが、本実施形態のものではサイクル数が4サイクルとなり、その結果、本実施形態に係るダブルアーム型ロボットは、特許文献1に係る従来技術のものに比して、サイクルタイムが短いことになる。 Therefore, when the double-arm robot according to the present embodiment is compared with those of the prior art according to Patent Document 1 described above, but the ones of the prior art according to Patent Document 1 the number of cycles was 8 cycles, this embodiment intended form cycles becomes four cycles, as a result, the double-arm robot according to this embodiment, as compared with those of the prior art according to Patent Document 1, so that the cycle time is short.

以上説明したように、本実施形態に係るダブルアーム型ロボットによれば、二つの水平多関節アーム5A、5Bの動作を上下動作も含めて互いに独立して行うことが可能となったので、上下方向に複数の収納棚を有するストッカへのワークの搬入出作業において、効率よく作業を行うことができる。 As described above, according to the double-arm robot according to the present embodiment, two horizontal articulated arm 5A, so it becomes possible to perform independently of each other the operation of 5B are vertical operation, including the upper and lower in carrying out the work of the workpiece to the stocker having a plurality of storage shelves in the direction, it is possible to efficiently perform the work. また、本実施形態に係るダブルアーム型ロボットによれば、二つの多関節アーム5A、5Bのそれぞれを支持する下アーム支持用構造体4Aおよび上アーム支持用構造体4Bは、2本の柱状構造物(左側支柱1Aおよび右側支柱1B)を有する移動機構に連結されているので、所謂両持ちの機構となり、片持ちの機構である従来技術の特許文献1のものよりも高い機械剛性を有するものとなる。 Further, according to the double-arm robot according to the present embodiment, the two articulated arms 5A, the lower arm supporting structure 4A for supporting the respective 5B and the upper arm supporting structure. 4B, two columnar structure because it is connected to a moving mechanism having an object (left posts 1A and right strut 1B), becomes the mechanism have a so-called both, to have high mechanical rigidity than that of Patent Document 1 of the prior art is a mechanism cantilevered to become.

以上、本発明に係る一実施形態について説明した。 It has been described an embodiment of the present invention. なお、前述した実施形態においては、台座10は設置面に固定設置されるものであったが、これに代えて、台座10を設置面に対して水平方向に移動させるための移動機構を有する図示しない基台上に台座10を載置するようにしてもよい。 Although not shown in the embodiment described above, although the base 10 was intended to be fixedly installed on the installation surface, which alternatively, has a moving mechanism for moving horizontally the pedestal 10 to the installation surface on the base which is not may be placed on the pedestal 10. 係る構成とすれば、ダブルアーム型ロボット本体が基台上を移動することになるので、水平多関節アーム5A、5B自体の動作範囲を拡大しなくとも、ワークを広範囲に移動させることが可能になる。 If configuration and according, the double-arm robot is to move on the base, a horizontal articulated arm 5A, without having to expand the operating range of 5B itself, to be capable of moving the workpiece in a wide range Become. これにより、例えば、互いに離れた位置に配置されたストッカの間でも、ワークの搬送を行うことが可能になる。 Thus, for example, even while the stocker disposed in positions away from each other, it is possible to perform the conveyance of the workpiece.

また、前述した実施形態においては、アーム支持用構造体4A、4Bはアクチュエータとしての図示しないモータに連結されたボールネジ6A、6Bの駆動によりそれぞれ上下方向に移動するようにされていた。 In the embodiment described above, the arm supporting structure 4A, 4B has been designed to move in the upper and lower directions by unillustrated motor linked ball screw 6A, 6B of the drive as an actuator. しかし、本発明は係る形態に限定されるものではなく、アーム支持用構造体4A、4Bを上下方向に移動させるためのアクチュエータの形態としては、例えば、モータに連結されたベルトであったり、油圧シリンダであったりしてもよい。 However, the present invention is not limited to the embodiments according as the form of an actuator for moving the arm supporting structure 4A, and 4B in the vertical direction, for example, or a belt connected to the motor, hydraulic it may be or a cylinder.

また、前述した実施形態においては、台座10は旋回機構を有し、これにより下側締結板11、左側支柱1A、右側支柱1B、および上側締結板12からなる門型構造体が、設置面に対して垂直軸回りに旋回するものとなっていた。 In the embodiment described above, the pedestal 10 has a pivot mechanism, which causes the lower fastening plate 11, the left pillar 1A, right struts 1B, and portal structure consisting of an upper fastening plate 12, the installation surface It had been intended to pivot about a vertical axis for. しかし、ワークを上下方向に搬送するのみでよい場合、例えば、下段に設けられたストッカから上段に設けられたストッカへワークを垂直移動させる場合などにおいては、前述の門型構造体を旋回させる機構は不要となるので、この場合は、台座10には旋回機構を設ける必要はない。 However, if it is only to convey the workpiece in the vertical direction, for example, in a case where the stocker provided in the lower to the stocker provided in the upper stage is vertically moving the work, a mechanism for pivoting the gantry structure described above since unnecessary, in this case, it is not necessary to provide the turning mechanism to the pedestal 10.

また、前述した実施形態においては、水平多関節アーム5Aの下アーム支持用構造体4Aに連結される関節軸の回転軸と、水平多関節アーム5Bの上アーム支持用構造体4Bに連結される関節軸の回転軸とを、互いに同軸とするようにしていた。 In the embodiment described above, is coupled with the rotating shaft of the joint shaft connected to the lower arm supporting structure 4A of the horizontal articulated arm 5A, the arm supporting structure 4B on a horizontal articulated arm 5B and a rotating shaft of the joint axis, had to be coaxial with each other. しかし、本発明はこれに限定されるものではなく、前述した両回転軸を同軸としなくてもよい。 However, the present invention is not limited thereto, may not be coaxial with the rotating shafts as described above. ただし、両回転軸を同軸とすることにより、前述したように、二つの水平多関節アーム5A、5Bがそのハンド8A、8Bと共にワークを把持した状態で旋回する場合でも、小さい旋回半径にて旋回させることが可能になる。 However, by the two rotating shafts coaxially, as described above, even when turning in a state where two horizontal articulated arms 5A, 5B grips the workpiece that hand 8A, with 8B, turning at small turning radius it is possible to.

また、前述した実施形態においては、下アーム支持用構造体4Aの上面に多関節アーム5Aが設けられ、上アーム支持用構造体4Bの下面に多関節アーム5Bが設けられるようにしていた。 In the embodiment described above, the articulated arm 5A is provided on the upper surface of the lower arm supporting structure 4A, articulated arm 5B had to be provided on the lower surface of the upper arm supporting structure 4B. すなわち、両多関節アーム5A、5Bは互いに対面するようにして二つのアーム支持用構造体4A、4Bのそれぞれに支持されるようにしていた。 That is, both articulated arms 5A, 5B had to be supported in each of the two arms supporting structure 4A, 4B so as to face each other. しかし、本発明はこれに限定されるものではなく、下アーム支持用構造体4Aの下面に多関節アーム5Aが設けられるようにしてもよいし、上アーム支持用構造体4Bの上面に多関節アーム5Bが設けられるようにしてもよい。 However, the present invention is not limited thereto, and may be articulated arm 5A is provided on the lower surface of the lower arm supporting structure 4A, articulated on the upper surface of the upper arm supporting structure 4B it may be the arm 5B is provided. ただし、前述した実施形態のように、両多関節アーム5A、5Bが互いに対面するようにして二つのアーム支持用構造体4A、4Bのそれぞれに支持されるようにすれば、二つの多関節アーム5A、5B間の上下方向の最小接近間隔を小さくすることが可能になる。 However, as in the embodiment described above, both articulated arms 5A, 5B so as to face each other two arms supporting structure 4A, if such is supported by the respective 4B, two articulated arms 5A, it is possible to reduce the minimum approach distance between the upper and lower directions between 5B. そして、これにより、例えば基板保管用に上下に複数の収納棚を有するストッカへのワークの搬入出作業においては、ストッカに収納されている2つのワークの上下方向の間隔が接近している場合でも、二つの多関節アーム5A、5Bを同時に、上下方向の間隔が接近している2つの収納棚に前進(挿入)させることができるものとなる。 And, thereby, for example in loading and unloading work of the workpiece to the stocker having a plurality of storage shelves vertically for substrate storage, even if the vertical distance between the two work housed in the stocker is approaching , it becomes two articulated arms 5A, 5B at the same time, which can be advanced (inserted) into two storage shelves spacing in the vertical direction is approaching.

さらに、前述した実施形態においては、下アーム支持用構造体4Aおよび上アーム支持用構造体4Bに設けられる多関節アームは水平多関節型としていたが、本発明はこれに限定されるものではない。 Further, in the embodiment described above, although the multi-joint arm provided in the lower arm supporting structure 4A and the upper arm supporting structure 4B was a horizontal articulated, the present invention is not limited thereto . 前述したストッカからのワークの搬出作業においては、ワークが前後方向に移動すればよいわけであるから、この移動を実現可能であれば、多関節アームは水平多関節型に限定されず垂直多関節型であってもよい。 In carrying out the work of the work from the above-described stocker, because the work is not may be moved in the longitudinal direction, this movement if feasible, articulated arm is not limited to horizontal articulated vertical articulated it may be a type. ただし、一般に、水平多関節アームでは各関節軸を構成する構造体の垂直方向高さが垂直多関節アームに比して小さいことを考慮すると、前述した実施形態のように多関節アームを水平多関節型とすれば、例えば基板保管用に上下に複数の収納棚を有するストッカへのワークの搬入出作業においては、ストッカに収納されている2つのワークの上下方向の間隔が接近している場合でも、二つの水平多関節アームが同時に各ワークの搬入出を行うことができるものとなる。 However, in general, when a horizontal articulated arm considering that vertical height of the structure constituting the respective joint axes is smaller than the vertical articulated arm, the horizontal multi-articulated arm as in the embodiment described above if articulated, for example in loading and unloading work of the workpiece to the stocker having a plurality of storage shelves vertically for substrate storage, if the vertical distance between the two work housed in the stocker is approaching But, it is assumed that two horizontal articulated arm can perform loading and unloading of the workpiece simultaneously.

本発明の一実施形態に係るダブルアーム型ロボットの全体構造を示す斜視図である。 Is a perspective view showing the overall structure of a double-arm robot according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態に係るダブルアーム型ロボットの門型構造部分の水平断面図である。 It is a horizontal sectional view of the portal structure part of the double-arm robot according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態に係るダブルアーム型ロボットの下アーム支持用構造体4Aおよび上アーム支持用構造体4Bの構造について示した斜視図である。 It is a perspective view showing the structure of the lower arm supporting structure 4A and the upper arm supporting structure 4B double-arm robot according to an embodiment of the present invention. 特許文献1に係る従来技術におけるダブルアーム型ロボットを使用して、ストッカ30内の別々の収納棚に収納されているワーク31、32を搬出する場合の動作について説明するための説明図である。 Using a double-arm robot of the prior art according to Patent Document 1 is an explanatory diagram for describing operation when unloading the workpiece 31, 32 are housed in separate storage rack in the stocker 30. 図4の説明図に係る動作における前後移動および上下移動について示したサイクル図である。 Is a cycle diagram showing the movement and vertical movement back and forth in the operation according to the illustration of FIG. 本実施形態におけるダブルアーム型ロボットを使用して、ストッカ34内の別々の収納棚に収納されているワーク35、36を搬出する場合の動作について説明するための説明図である。 Using a double-arm robot of the present embodiment is an explanatory diagram for describing operation when unloading the workpiece 35, 36 are housed in separate storage rack in the stocker 34. 図6の説明図に係る動作における前後移動および上下移動について示したサイクル図である。 Is a cycle diagram showing the movement and vertical movement back and forth in the operation according to the illustration of FIG.

符号の説明 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1A 左側支柱(移動機構) 1A left strut (moving mechanism)
1B 右側支柱(移動機構) 1B right strut (moving mechanism)
2A 下側の水平多関節アーム5A用直動案内(直動案内) 2A under side of the linear guide for horizontal articulated arm 5A (linear guide)
2B 上側の水平多関節アーム5B用直動案内(直動案内) 2B upper linear guide for horizontal articulated arm 5B (linear guide)
3A 下側の水平多関節アーム5A用直動案内(直動案内) 3A under side of the linear guide for horizontal articulated arm 5A (linear guide)
3B 上側の水平多関節アーム5B用直動案内(直動案内) 3B the upper side of the linear guide for horizontal articulated arm 5B (linear motion guide)
4A 下アーム支持用構造体(アーム支持用構造体) 4A lower arm supporting structure (arm supporting structure)
4B 上アーム支持用構造体(アーム支持用構造体) 4B on the arm supporting structure (arm supporting structure)
5A 下側の水平多関節アーム(多関節アーム) 5A under side of the horizontal articulated arm (articulated arm)
5B 上側の水平多関節アーム(多関節アーム) 5B upper horizontal articulated arm (articulated arm)
6A 下側の水平多関節アーム5A駆動用のボールネジ(アクチュエータ) 6A under side of the horizontal articulated arm 5A for driving the ball screw (actuator)
6B 上側の水平多関節アーム5B駆動用のボールネジ(アクチュエータ) 6B upper horizontal articulated arm 5B driving the ball screw (actuator)
7A 締結部品 7B 締結部品 8A 下側の水平多関節アーム5A用のワーク保持用ハンド 8B 上側の水平多関節アーム5B用のワーク保持用ハンド 10 台座 11 下側締結板 12 上側締結板 34 ストッカ 35 ワーク 36 ワーク 7A fastening part 7B fastening part 8A under side of the horizontal articulated arm 5A for the workpiece holding hand 8B upper horizontal articulated arm 5B for the work holding hand 10 base 11 below the fastening plate 12 the upper fastening plate 34 stocker 35 work 36 work

Claims (7)

  1. 関節部により回転可能に連結されて、回転駆動源による回転力を伝達し、所望の動作が行われるようにされている多関節アームを上下に二つ備えたダブルアーム型ロボットにおいて、 Are rotatably connected by joint, to transmit the rotational force generated by the rotation drive source, in the double-arm robot having two articulated arms which are as desired operations are performed in the vertical,
    前記二つの多関節アームをそれぞれ支持する二つのアーム支持用構造体は、該二つのアーム支持用構造体を互いに独立して上下方向に移動可能にさせるための移動機構に連結されていることを特徴とするダブルアーム型ロボット。 Two arms supporting structure for supporting the two articulated arms each, that are connected to a moving mechanism for causing the movable said two arms supporting structure to one another independently of the vertical direction double-arm robot which is characterized.
  2. 前記移動機構は、 The moving mechanism,
    2本の支柱と、 And the two posts,
    該2本の支柱のそれぞれに設けられた、連結された部材を上下方向に摺動可能にするための直動案内と、 And linear guide for slidably provided on each of the two posts, a linked member in the vertical direction,
    該直動案内に連結された部材を直動案内に沿って移動させるためのアクチュエータから構成されていることを特徴とする請求項1に記載のダブルアーム型ロボット。 Double arm type robot according to claim 1, characterized in that the member connected to the linear motion guide consists actuator for moving along the linear guide.
  3. 前記2本の支柱からなる移動機構は台座に載置され、 Moving mechanism consisting of the two posts is mounted on the base,
    該台座は前記2本の支柱をその水平方向中間位置を中心とする垂直軸回りに回転可能にするための旋回機構を有していることを特徴とする請求項2に記載のダブルアーム型ロボット。 Double arm type robot according to claim 2 pedestal is characterized in that it has a turning mechanism for allowing rotation about a vertical axis centered on its horizontal middle position the two posts .
  4. 前記台座は基台に載置され、 The pedestal is mounted on the base,
    前記台座は前記基台上を水平方向に移動可能にされていることを特徴とする請求項3に記載のダブルアーム型ロボット。 The pedestal double arm type robot according to claim 3, characterized in that it is movable on the base in a horizontal direction.
  5. 前記多関節アームにおける前記アーム支持用構造体に連結される関節軸の回転軸は、前記二つの多関節アームにおいて互いに同軸であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のダブルアーム型ロボット。 The axis of rotation of the joint shaft connected to the arm supporting structure in articulated arm, double set forth in any one of claims 1 to 4, characterized in that coaxial to each other in the two articulated arms arm-type robot.
  6. 前記二つの多関節アームは互いに対面するようにして前記二つのアーム支持用構造体のそれぞれに支持されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載のダブルアーム型ロボット。 It said two articulated arms double arm type robot according to any one of claims 1 to 5, characterized in that it is supported on the respectively so as to face the two arms supporting structure together.
  7. 前記二つの多関節アームは垂直軸回りに回転可能にされた複数の関節軸からなる水平多関節アームであることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載のダブルアーム型ロボット。 Said two articulated arms double arm type robot according to any one of claims 1 to 6, characterized in that a horizontal articulated arm comprising a plurality of joint axes which is rotatable about a vertical axis.
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