KR100760200B1 - Robot for conveyance - Google Patents

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KR100760200B1
KR100760200B1 KR1020060039965A KR20060039965A KR100760200B1 KR 100760200 B1 KR100760200 B1 KR 100760200B1 KR 1020060039965 A KR1020060039965 A KR 1020060039965A KR 20060039965 A KR20060039965 A KR 20060039965A KR 100760200 B1 KR100760200 B1 KR 100760200B1
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KR1020060039965A
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최용원
황재철
하동수
서종휘
강경원
이성환
곽명남
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삼성전자주식회사
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Abstract

A conveyance robot is provided to withdraw and supply a product to be returned simultaneously by forming a plurality of robot arms capable of being controlled independently, thereby reducing work time and improving productivity. A conveyance robot comprises a base(20), at least one column(40), at least two robot arms(50), a slider(51), and at least two linear moving units. At least one column is rotatably installed at the base. At least two robot arms are installed at the column. The robot arms are linearly moved along the column to withdraw and supply a product to be returned. The slider is formed at the robot arms and is linearly moved moving along the column. At least two linear moving units are installed between the column and the robot arm to allow the robot arm to be rectilinearly moved. At least two robot arms are independently and are linearly moved on at least on column through the linear moving units, thereby a plurality of robot arms working synchronously. The linear moving unit has a rack, a pinion, and a motor. The pinion is tooth-engaged with the rack. The motor is connected with the pinion.

Description

반송로봇{ROBOT FOR CONVEYANCE}Return Robot {ROBOT FOR CONVEYANCE}

도 1은 본 발명에 따른 반송로봇을 나타낸 사시도이다.1 is a perspective view showing a transport robot according to the present invention.

도 2는 본 발명에 따른 반송로봇의 측면을 나타낸 측면도이다.Figure 2 is a side view showing the side of the transport robot according to the present invention.

도 3은 본 발명에 따른 반송로봇의 칼럼과 로봇암과 직선이동수단의 한 예를 도시한 도면이다.3 is a view showing an example of a column, a robot arm, and a linear movement means of the carrier robot according to the present invention.

도 4는 본 발명에 따른 반송로봇의 또 다른 실시예를 나타낸 사시도이다.Figure 4 is a perspective view showing another embodiment of the transport robot according to the present invention.

도 5는 도 4에 도시된 반송로봇의 정면을 나타낸 정면도이다.5 is a front view showing the front of the carrier robot shown in FIG.

*도면의 주요부분에 대한 부호 설명** Description of symbols on the main parts of the drawings *

10 : 주행축 20 : 베이스10: driving shaft 20: base

30 : 회전프레임 40 : 칼럼30: rotation frame 40: column

50 : 로봇암 51 : 슬라이더50: robot arm 51: slider

52 : 제1암 53 : 제2암52: first arm 53: second arm

54 : 핸드부 55 : 관절부54: hand portion 55: joint portion

61 : 모터 62 : 랙61: motor 62: rack

63 : 피니언 64 : 안내홈63: Pinion 64: Guide Home

65 : 안내돌기65: guide protrusion

본 발명은 반송로봇에 관한 것으로 더욱 상세하게는 피반송물의 취출 및 공급의 효율을 높이고 작업시간을 감소시킬 수 있는 수단을 구비하는 반송로봇에 관한 것이다.The present invention relates to a transport robot, and more particularly, to a transport robot having a means for increasing the efficiency of taking out and supplying the transported object and reduce the working time.

로봇은 여러 산업 분야에서 다양한 목적으로 이용되고 있는데, 반도체 제조 분야에서 기판을 반송하기 위해 로봇을 이용하는 것을 예로 들 수 있다. 기판은 반도체 웨이퍼나 액정 디스플레이 패널, 디스크 드라이브의 단위 디스크 등을 지칭한다. 이와 같은 기판은 일반적으로 카세트라고 불리는 반송 용기에 적재된 상태로 생산 라인의 각 작업영역에 배송된다. 생산 라인의 일부 단위 공정에서, 카세트에 적재된 기판을 꺼내어 해당 공정의 처리 과정을 거친 후 다시 카세트에 적재하기 위해 기판 반송 로봇이 사용된다.Robots are used for various purposes in various industries, for example, the use of robots to transport substrates in the semiconductor manufacturing field. The substrate refers to a semiconductor wafer, a liquid crystal display panel, a unit disk of a disk drive, or the like. Such substrates are delivered to each working area of the production line in a state of being loaded into a conveying container, commonly called a cassette. In some unit processes of the production line, a substrate transfer robot is used to take out the substrate loaded in the cassette, process it in the process, and then load it back into the cassette.

종래의 반송로봇은 한국등록특허공보 제10-0425364호에 개시된 것과 같이 2개의 로봇암이 피반송물의 반송 작업을 담당하는 더블암형 로봇에 있어서, 2개의 로봇암이 상하이동축에 의해 이동하는 하나의 슬라이더에 고정되어 동시에 동일 위치로 이동을 하게 된다. The conventional transport robot is a double-armed robot in which two robot arms are responsible for conveying a conveyed object as disclosed in Korean Patent Publication No. 10-0425364, wherein one robot arm moves by Shanghai coaxial. It is fixed to the slider and moves to the same position at the same time.

즉 주어진 상하수직 위치에서 2개의 로봇암 중 1개만이 X방향으로 직선이동하여 기판의 취출/공급을 담당하게 되고, 나머지 1개 로봇암은 취출/공급 작업을 동시에 수행할 수 없다. That is, only one of the two robot arms is linearly moved in the X direction at the given vertical position to take out / supply of the substrate, and the other robot arm cannot simultaneously perform the take-out / supply operation.

예컨대 기판이 각각 다른 포트에 위치한 경우 그 각 포트에 있는 기판을 각각 취출 해야 한다면, 종래의 반송로봇은 어느 하나의 로봇암이 그 기판이 위치한 포트로 수직이동하여 기판을 로딩하고, 그 로봇암이 후퇴한 후에, 다른 로봇암이 다시 다른 기판이 위치한 곳으로 수직이동하여 기판을 로딩하는 순서로 작업이 진행된다. For example, if the substrates are located in different ports, and each substrate in each port has to be taken out, the conventional transport robot loads the substrate by moving one robot arm vertically to the port where the substrate is located. After retreating, the operation proceeds in the order of loading the substrate by moving another robot arm vertically to another substrate location.

그러나, 상기와 같이 2개의 로봇암 중 1개만이 동일시간에 작업이 가능한 구성은 그에 따른 작업시간의 증가와 생산성 저하의 요인이 되는 문제점을 야기하게 된다.However, as described above, only one of the two robot arms can work at the same time, thereby causing a problem that increases work time and decreases productivity.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 다수의 로봇암이 동시에 작업을 수행 할 수 있도록 하여 작업시간의 감소와 생산성을 향상시킬 수 있는 반송로봇을 제공하는 것이다.The present invention is to solve the above problems, an object of the present invention is to provide a transport robot that can reduce the working time and productivity by allowing a plurality of robot arms to perform the work at the same time.

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반송로봇은, 베이스; 상기 베이스에 회전 가능하도록 설치되는 적어도 하나의 칼럼; 상기 칼럼에 설치되어 상기 칼럼을 따라 직선이동 하며 피반송물을 취출 및 공급하는 적어도 두 개의 로봇암; 및 상기 각 칼럼과 상기 각 로봇암 사이에 설치되어 상기 각 로봇암을 직선이동 가능하게 하는 적어도 두 개의 직선이동수단을 포함하여, 상기 적어도 하나의 칼럼에 상기 적어도 두 개의 로봇암이 각각 상기 직선이동수단에 의하여 독립적으로 직선이동이 가능하도록 함으로써 복수개의 로봇암이 동시에 작업을 할 수 있도 록 하는 것을 특징으로 한다.Carrying robot according to the present invention for achieving the above object, the base; At least one column rotatably installed on the base; At least two robot arms installed in the column to linearly move along the column to take out and supply the conveyed object; And at least two linear movement means installed between each column and each robot arm to enable linear movement of each robot arm, wherein the at least two robot arms are respectively moved in the at least one column. It is characterized by allowing a plurality of robot arms to work simultaneously by enabling linear movement independently by means.

또한, 상기 직선이동수단은 랙과, 상기 랙과 치합하는 피니언과, 상기 피니언과 연결된 모터를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the linear movement means is characterized in that it comprises a rack, a pinion to mesh with the rack, and a motor connected to the pinion.

또한, 상기 직선이동수단은 리니어 모터를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the linear movement means is characterized in that it comprises a linear motor.

또한, 상기 직선이동수단은 상기 로봇암이 상기 칼럼을 따라 슬라이딩 가능하도록 안내하는 안내홈과, 상기 안내홈에 치합하는 안내돌기를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.The linear movement means may further include a guide groove for guiding the robot arm to slide along the column, and a guide protrusion engaged with the guide groove.

또한, 상기 로봇암은 상기 칼럼을 따라 직선이동 하는 슬라이더와, 상기 슬라이더에 연결되어 관절부에 의해 회전가능하도록 설치되는 적어도 하나의 암과, 상기 암과 연결되어 피반송물을 취출하는 핸드부를 포함하고, 상기 랙은 상기 칼럼의 길이 방향으로 마련되고, 상기 피니언은 상기 슬라이더의 일측면에 마련되며, 상기 모터는 상기 슬라이더의 내부에 설치되는 것을 특징으로 한다.The robot arm may further include a slider linearly moving along the column, at least one arm connected to the slider and rotatably installed by a joint part, and a hand part connected to the arm to take out a transported object. The rack is provided in the longitudinal direction of the column, the pinion is provided on one side of the slider, the motor is characterized in that installed in the slider.

이하 본 발명에 따른 반송로봇의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 설명하기로 한다.Hereinafter, a preferred embodiment of a transport robot according to the present invention will be described with reference to the drawings.

도 1은 본 발명에 따른 반송로봇을 나타낸 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 반송로봇의 측면을 나타낸 측면도이며, 도 3은 본 발명에 따른 반송로봇의 칼럼과 로봇암과 직선이동수단의 한 예를 도시한 도면이다.1 is a perspective view showing a transport robot according to the present invention, Figure 2 is a side view showing a side of the transport robot according to the present invention, Figure 3 is a column of the transport robot according to the invention and one of the robot arm and linear movement means An example is shown.

한편, 도 4는 본 발명에 따른 반송로봇의 또 다른 실시예를 나타낸 사시도이고, 도 5는 도 4에 도시된 반송로봇의 정면을 나타낸 정면도이다.On the other hand, Figure 4 is a perspective view showing another embodiment of the transport robot according to the present invention, Figure 5 is a front view showing the front of the transport robot shown in FIG.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 반송로봇은 상기 반송로봇 의 각종 부품들이 설치되어 이를 지지하는 기저를 이루는 베이스(20)와, 상기 베이스(20) 상에 회전 가능하도록 설치되는 회전프레임(30)과, 상기 회전프레임(30)의 일측에 설치되는 칼럼(40)과, 상기 칼럼(40)의 일측면에 두 개 이상이 설치되어 대상물을 반송하기 위해 취출 또는 공급하는 로봇암(50)을 포함한다.As shown in FIG. 1 and FIG. 2, the transport robot according to the present invention has a base 20, which is a base for supporting various components of the transport robot, and is rotatably installed on the base 20. Rotating frame 30, the column 40 is installed on one side of the rotating frame 30, and two or more are installed on one side of the column 40, the robot arm to take out or supply to transport the object And 50.

상기 베이스(20)는 그 하부에 마련된 주행축(10) 상에 설치되는데, 상기 베이스(20)는 상기 주행축(10) 상을 슬라이딩 이동하며 Y축 방향으로 직선왕복이동이 가능하여 상기 로봇암(50)이 필요한 위치에서 작업을 수행하도록 이동할 수 있도록 한다. The base 20 is installed on the travel shaft 10 provided at the lower portion of the base 20, the base 20 is a sliding movement on the travel shaft 10 and linear reciprocating movement in the Y-axis direction is the robot arm Allow 50 to move to perform work in the required position.

상기 칼럼(40)은 상기 베이스(20) 상에 설치된 회전프레임(30)의 일측에 설치되며 그 스스로도 회전이 가능하며 상기 회전프레임(30)이 상기 베이스(20) 상에서 회전함으로써 같이 회전할 수도 있어, 상기 로봇암(50)이 취출 또는 공급하는 피반송물이 요구되는 위치로부터 또는 요구되는 위치에 취출 또는 공급되도록 한다. 또한 상기 칼럼(40)은 도면에 도시된 바와 같이 2단으로 구성되어 수직방향으로 연장될 수 있는 구성을 취한다.The column 40 is installed on one side of the rotation frame 30 installed on the base 20 and can be rotated by itself, and the rotation frame 30 may rotate together by rotating on the base 20. The object to be taken out or supplied by the robot arm 50 is to be taken out or supplied to or from a required position. In addition, the column 40 has a configuration that can extend in the vertical direction is composed of two stages as shown in the figure.

상기 칼럼(40)은 상기 베이스(20) 상에 하나 이상 설치될 수 있는데, 칼럼(40)이 두 개 이상 설치된 반송로봇에 관한 구성은 도 4 및 도 5에서 도시하였고 이에 관하여는 후술하기로 한다. One or more columns 40 may be installed on the base 20. A configuration of a carrier robot in which two or more columns 40 are installed is illustrated in FIGS. 4 and 5, which will be described later. .

한편, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 하나의 칼럼(40)에는 두 개 이상의 로봇암(50)이 설치된다.Meanwhile, as illustrated in FIGS. 1 and 2, two or more robot arms 50 are installed in one column 40.

상기 두 개 이상의 로봇암(50)은 상기 칼럼(40)의 일측에 설치되어 상기 칼 럼(40)의 길이 방향을 따라 각각 독립적으로 직선이동 할 수 있도록 마련된다.The two or more robot arms 50 are installed at one side of the column 40 so as to be independently linearly moved along the longitudinal direction of the column 40.

상기 각각의 로봇암(50)은 상기 칼럼(40)의 일측에 설치되어 직선이동 하는 슬라이더(51)와, 상기 슬라이더(51)의 단부에 회전 가능하도록 설치되는 제1암(52), 그리고 상기 제1암(52)의 단부에 회전 가능하도록 설치되는 제2암(53)을 구비하고, 상기 제2암(53)의 단부에는 피반송물(56)을 파지 또는 로딩하는 핸드부(54)가 회전 가능하도록 설치된다.Each robot arm 50 is provided on one side of the column 40, the slider 51 to move linearly, the first arm 52 is rotatably installed at the end of the slider 51, and the A second arm 53 is rotatably installed at an end of the first arm 52, and a hand portion 54 for holding or loading the conveyed object 56 is provided at the end of the second arm 53. It is installed to be rotatable.

상기 슬라이더(51)와 제1암(52), 상기 제1암(52)과 제2암(53), 그리고 상기 제2암(53)과 핸드부(54)의 각각의 연결부위에는 관절부(55)가 구비되어 XY평면 상을 회전 할 수 있도록 구성된다.Joint portions are formed at the connection portions of the slider 51 and the first arm 52, the first arm 52 and the second arm 53, and the second arm 53 and the hand part 54. 55) is configured to rotate on the XY plane.

한편, 상기 각 로봇암(50), 좀 더 정확하게는 상기 각 슬라이더(51)와 상기 칼럼(40) 사이에는 상기 각 슬라이더(51)가 독립적으로 직선이동 가능하도록 하는 직선이동수단을 각각 구비한다. 상기 직선이동수단은 도 3에서 자세하게 도시하였다.On the other hand, each of the robot arm 50, more precisely between each slider 51 and the column 40 is provided with a linear movement means for allowing each of the slider 51 can be independently linearly moved. The linear movement means is shown in detail in FIG.

도 3에서는 칼럼(40)과 슬라이더(51) 사이에 구비된 직선이동수단의 한 예를 도시하였는데, 상기 직선이동수단의 한 예로서 후술할 랙(62)과 피니언(63)과 상기 피니언(63)을 구동하는 모터(61)를 포함하여 구성된다.In FIG. 3, an example of a linear movement means provided between the column 40 and the slider 51 is illustrated. As an example of the linear movement means, the rack 62 and the pinion 63 and the pinion 63 to be described later will be described. It is configured to include a motor 61 for driving.

도 3에 도시된 바와 같이 칼럼(40)의 일측면에 칼럼(40)의 길이 방향으로 랙(62)이 형성되고, 상기 랙(62)이 형성된 면과 대면하는 슬라이더(51)의 일측면에는 상기 랙(62)에 치합되는 피니언(63)이 회전 가능하도록 설치된다. 상기 피니언(63)은 상기 슬라이더(51) 내부에 설치된 모터(61)와 연결되어, 상기 모터(61)가 도시되지 않은 전원부로부터 공급되는 전원의 인가로 작동하면 상기 모터(61)와 함께 회전하여 상기 랙(62)을 따라 이동하고, 결국 각 로봇암(50)이 칼럼(40)을 따라 직선이동 하게 된다. As shown in FIG. 3, a rack 62 is formed on one side of the column 40 in the longitudinal direction of the column 40, and on one side of the slider 51 facing the surface on which the rack 62 is formed. The pinion 63 meshed with the rack 62 is rotatably installed. The pinion 63 is connected to the motor 61 installed inside the slider 51, and when the motor 61 is operated by the application of power supplied from a power supply unit (not shown), the pinion 63 rotates together with the motor 61. Moving along the rack 62, each robot arm 50 is linearly moved along the column 40.

이 때 상기 슬라이더(51)와 상기 칼럼(40) 사이에는 상기 슬라이더(51)가 상기 칼럼(40)을 따라 안정적으로 직선이동 할 수 있도록 상기 슬라이더(51)를 지지하고 상기 슬라이더(51)의 직선이동을 안내하는 안내홈(64)과 안내돌기(65)가 구비된다. 상기 안내홈(64)과 안내돌기(65)는 상기 칼럼(40)이든 상기 슬라이더(51)이든 어느 곳에나 구비될 수 있고 서로 대응되도록 구비된다.At this time, the slider 51 is supported between the slider 51 and the column 40 so that the slider 51 can be stably linearly moved along the column 40 and the straight line of the slider 51 is supported. Guide grooves 64 and guide protrusions 65 for guiding movement are provided. The guide groove 64 and the guide protrusion 65 may be provided anywhere in the column 40 or the slider 51 and are provided to correspond to each other.

따라서, 상기와 같은 직선이동수단이 둘 이상의 로봇암 각각에 설치되어 상기 직선이동수단을 각각 독립적으로 제어함으로써 상기 각각의 로봇암을 독립적으로 제어하여 동시에 각 로봇암이 피반송물을 취출 및 공급할 수 있게 한다.Therefore, the linear movement means as described above is installed on each of the two or more robot arms to independently control each robot arm by independently controlling the linear movement means so that each robot arm can simultaneously take out and supply the transported object. do.

한편, 상기 직선이동수단을 도 1 내지 도 3에서는 랙과 피니언을 그 한 예로서 설명하였으나, 직선이동수단으로서, 도면상으로 도시하지는 아니하였으나, 리니어 모터를 채용하는 것도 가능하다.Meanwhile, although the rack and pinion are described as an example of the linear movement means in FIGS. 1 to 3, although the linear movement means is not illustrated in the drawings, a linear motor may be employed.

한편, 도 4 및 도 5는 본 발명에 따른 반송로봇의 또 다른 실시예를 나타내고 있는데, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 본 발명의 또 다른 실시예는 칼럼(40, 40')이 복수개가 설치된 구성이다.Meanwhile, FIGS. 4 and 5 show another embodiment of the transport robot according to the present invention. As shown in FIGS. 4 and 5, another embodiment of the present invention includes a plurality of columns 40 and 40 '. Is installed configuration.

즉 베이스(20)상에 설치된 회전프레임(30)에 두 개 이상(도면상으로는 두 개의 칼럼을 도시하였으나 그 보다 더 많은 수의 칼럼을 설치하는 것도 가능하다)의 칼럼(40, 40')을 설치하고, 상기 각 칼럼(40, 40')에는 각각 두 개 이상(도면상으 로는 각 칼럼에 하나씩의 로봇암을 설치한 것으로 도시하였으나 각 칼럼에는 두 개 이상의 로봇암을 설치하는 것이 가능하다)의 로봇암(50, 50')이 설치된다.That is, two or more columns 40 and 40 'are installed in the rotating frame 30 installed on the base 20, although two columns are shown in the drawing, but a larger number of columns may be installed. In each of the columns 40 and 40 ', at least two robots (in the drawing, one robot arm is shown in each column but two or more robot arms can be installed in each column) are provided. Arms 50 and 50 'are installed.

각 칼럼(40, 40')에 설치된 각 로봇암(50, 50')은 도 1 내지 도 3에 도시된 로봇암 및 직선이동수단과 동일한 구성을 갖는다. 즉 한 쪽 칼럼(40)에 설치된 로봇암(50)과 직선이동수단의 구성은 상기 도 1 내지 도 3에 도시된 것과 동일한 구성이고, 다른 쪽 칼럼(40')에 설치된 로봇암(50')도 슬라이더(51')와 제1암(52'), 제2암(53'), 핸드부(54'), 그리고 각 관절부(55')를 동일하게 포함하고 직선이동수단도 랙(62')과 피니언(63')과 모터(61')의 구성이 동일하다. 또한 각 칼럼(40, 40')에 설치된 각각의 로봇암들은 모두 독립적으로 제어되는 특징이 있다.Each robot arm 50, 50 'provided in each column 40, 40' has the same configuration as the robot arm and the linear movement means shown in Figs. That is, the configuration of the robot arm 50 and the linear movement means installed in one column 40 is the same as that shown in Figs. 1 to 3, and the robot arm 50 'installed in the other column 40'. The slider 51 'includes a first arm 52', a second arm 53 ', a hand part 54', and each joint part 55 'in the same manner, and the linear movement means also includes a rack 62'. ), The pinion 63 'and the motor 61' have the same configuration. In addition, each of the robot arms installed in each column (40, 40 ') is characterized in that all are independently controlled.

따라서, 상기와 같은 구성을 갖는, 도 4 및 도 5에 도시된 반송로봇은 도 1 내지 도 3에 도시된 반송로봇 보다 훨씬 더 향상된 작업속도를 나타낼 수 있다.Therefore, the transport robot shown in FIGS. 4 and 5 having such a configuration can exhibit a much improved working speed than the transport robots shown in FIGS. 1 to 3.

이하 본 발명에 따른 반송로봇의 동작을 설명한다.Hereinafter will be described the operation of the carrier robot according to the present invention.

도 1(또는 도 4에 도시된 본 발명의 또 다른 실시예의 경우에도 마찬가지이다)에 도시된 본 발명에 따른 반송로봇은 피반송물을 취출할 때, 베이스(20)의 주행축(10)을 따른 Y방향 이동과 칼럼(40)의 Z방향 이동, 그리고 슬라이더(51)의 Z방향 직선이동에 의해 로봇암(50)의 핸드부(54)가 요구되는 위치에 오도록 제어할 수 있고, 각 로봇암(50)의 제1암(52), 제2암(53) 및 핸드부(54)의 각 관절부(55)에 의한 XY평면상의 이동으로 핸드부(54)가 피반송물(56)을 로딩할 수 있도록 하며, 다시 상기 베이스(20)나 회전프레임(30), 또는 칼럼(40)의 직선이동이나 회전에 의해 상기 피반송물(56)을 요구되는 위치로 공급되도록 한다. The conveying robot according to the present invention shown in FIG. 1 (or in the case of another embodiment of the present invention shown in FIG. 4), along with the travel shaft 10 of the base 20, takes out the conveyed object. By moving the Y direction, moving the Z direction in the column 40, and moving the linear direction in the Z direction of the slider 51, it is possible to control the hand portion 54 of the robot arm 50 to be in the required position. Movement of the first arm 52, the second arm 53, and the joint 55 of the hand 54 to the XY plane by the hand 54 allows the hand 54 to load the object to be transported 56. In addition, the conveyed object 56 is supplied to the required position by linear movement or rotation of the base 20, the rotation frame 30, or the column 40.

상기와 같은 특징을 갖는 본 발명에 따른 반송로봇은, 독립적으로 제어할 수 있는 로봇암을 다수개 구비하여 피반송물을 동시에 취출 및 공급할 수 있어 작업시간의 경감과 생산성 향상을 도모할 수 있다는 특장점이 있다.The transport robot according to the present invention having the above-mentioned features is provided with a plurality of robot arms that can be independently controlled to simultaneously take out and supply the transported object, thereby reducing work time and improving productivity. have.

Claims (5)

베이스; 상기 베이스에 회전 가능하도록 설치되는 적어도 하나의 칼럼; 상기 칼럼에 설치되어 상기 칼럼을 따라 직선이동 하며 피반송물을 취출 및 공급하는 적어도 두 개의 로봇암; 상기 로봇암에 마련되어 상기 칼럼을 따라 직선이동하는 슬라이더; 및 상기 칼럼과 상기 로봇암 사이에 설치되어 상기 로봇암을 직선이동 가능하게 하는 적어도 두 개의 직선이동수단을 포함하여,Base; At least one column rotatably installed on the base; At least two robot arms installed in the column to linearly move along the column to take out and supply the conveyed object; A slider provided on the robot arm to linearly move along the column; And at least two linear moving means installed between the column and the robot arm to linearly move the robot arm. 상기 적어도 하나의 칼럼에 상기 적어도 두 개의 로봇암이 각각 상기 직선이동수단에 의하여 독립적으로 직선이동이 가능하도록 함으로써 복수개의 로봇암이 동시에 작업을 할 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 반송로봇.And at least one robot arm in the at least one column, each of which allows the plurality of robot arms to work simultaneously by allowing linear movement independently by the linear movement means. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 직선이동수단은 랙과, 상기 랙과 치합하는 피니언과, 상기 피니언과 연결된 모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송로봇.The linear movement means includes a rack, a pinion engaged with the rack, and a motor connected to the pinion. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 직선이동수단은 리니어 모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송로봇.The linear movement means is a transport robot, characterized in that it comprises a linear motor. 제2항 또는 제3항에 있어서,The method according to claim 2 or 3, 상기 직선이동수단은 상기 로봇암이 상기 칼럼을 따라 슬라이딩 가능하도록 안내하는 안내홈과, 상기 안내홈에 치합하는 안내돌기를 더 포함하는 것을 특징으 로 하는 반송로봇.The linear movement means further comprises a guide groove for guiding the robot arm to slide along the column, and a guide robot for engaging the guide groove. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 로봇암은 상기 슬라이더에 연결되어 관절부에 의해 회전가능하도록 설치되는 적어도 하나의 암과, 상기 암과 연결되어 피반송물을 취출하는 핸드부를 포함하고, The robot arm includes at least one arm connected to the slider and rotatably installed by a joint part, and a hand part connected to the arm to take out the object to be conveyed, 상기 랙은 상기 칼럼의 길이 방향으로 마련되고, 상기 피니언은 상기 슬라이더의 일측면에 마련되며, 상기 모터는 상기 슬라이더의 내부에 설치되는 것을 특징으로 하는 반송로봇.The rack is provided in the longitudinal direction of the column, the pinion is provided on one side of the slider, the motor is characterized in that the transport robot is installed inside the slider.
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