KR20160007946A - Carriage for stocker conveyor - Google Patents

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KR20160007946A
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김진헌
정광구
최환규
장용배
심용섭
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주식회사 신성에프에이
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Abstract

According to the present invention, a vehicle for a stocker conveyor comprises: a lifting table; a turn table rotated with respect to the lifting table; a lifting unit lifting the lifting table; and a rotation unit rotating the turn table. Therefore, according to the present invention, the vehicle is easily controlled and of which left and right balance is easily adjusted since synchronization control of an existing technique is unnecessary.

Description

스토커 컨베이어용 대차{CARRIAGE FOR STOCKER CONVEYOR}CARRIAGE FOR STOCKER CONVEYOR}

본 발명은 스토커 컨베이어용 대차에 관한 것으로, 주행, 승강 및 회전이 이루어지는 스토커 컨베이어용 대차에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a stocker for a stocker conveyor, and more particularly to a stocker for a stocker conveyor in which traveling, elevation and rotation are performed.

정보화 사회의 발전에 부응하여 액정 표시장치(Liquid Crystal Display: LCD) 및 유기전계 발광소자(Organic Light Emitting Diodes: OLED) 등과 같은 평판 표시장치(Flat Panel Display: FPD)의 사용이 증가하고 있다.2. Description of the Related Art In response to the development of an information society, the use of flat panel display (FPD) such as a liquid crystal display (LCD) and an organic light emitting diode (OLED) has been increasing.

이러한 평판 표시장치 중 이하에서는 액정 표시장치를 예로 들어 설명한다.Of these flat panel display devices, a liquid crystal display device will be described below as an example.

액정 표시장치는 액정 분자들의 전기 광학 특성을 이용하여 화상을 표시하는 장치이다. 이를 위해, 액정 표시장치는 액정 패널, 백라이트 유닛 및 구동회로 유닛을 포함한다.A liquid crystal display device is an apparatus that displays an image using the electro-optical characteristics of liquid crystal molecules. To this end, the liquid crystal display device includes a liquid crystal panel, a backlight unit, and a drive circuit unit.

상기의 구성을 가지는 액정 표시장치는 크게 기판 제조 공정, 셀 제조 공정 및 모듈 제조 공정을 통해 제조된다. The liquid crystal display device having the above structure is largely manufactured through a substrate manufacturing process, a cell manufacturing process, and a module manufacturing process.

여기서, 기판 제조 공정이란 세정된 기판을 이용한 컬러 필터 기판을 제조하는 공정 및 세정된 다른 기판을 이용한 박막 트랜지스터 기판을 제조하는 공정을 말하며, 셀 제조 공정이란 컬러 필터 기판 및 박막 트랜지스터 기판 사이에 액정층을 형성한 후, 상기 두 기판을 합착시켜 액정 패널을 제조하는 공정을 말하며, 모듈 제조 공정이란 액정 패널의 패드부에 구동회로 유닛을 부착한 후, 구동회로 유닛이 부착된 액정 패널을 백라이트 유닛과 조립하는 공정을 말한다.Here, the substrate manufacturing process refers to a process for manufacturing a color filter substrate using a cleaned substrate and a process for manufacturing a thin film transistor substrate using another cleaned substrate. In the cell manufacturing process, a liquid crystal layer A module manufacturing process is a process of attaching a driving circuit unit to a pad portion of a liquid crystal panel and then attaching a liquid crystal panel with a driving circuit unit to a backlight unit Assembly process.

전술한 기판 제조 공정을 위해 기판은 각 제조 장비로 낱장 또는 그룹 형태로 반송되어야 한다. 이 때문에, 다수의 기판을 낱장으로 적재할 수 있으며 이 낱장의 기판을 그룹 형태로 반송할 수 있는 카세트(cassette)가 기판 반송을 위해 사용된다.For the substrate manufacturing process described above, the substrate must be transported in sheet or group form to each manufacturing equipment. Therefore, a plurality of substrates can be stacked on a single sheet, and a cassette capable of transporting the single sheet of substrates in a group form is used for substrate transport.

즉, 기판은 카세트에 적재된 상태로 제조 장비로 반송된다.That is, the substrate is transported to the manufacturing equipment while being loaded on the cassette.

또한, 기판 제조 공정을 수행하는 제조 장비들은 각각 기판 처리 능력 및 처리 시간이 다르다. 이로인해, 카세트를 임시로 보관하는 스토커(stocker)가 사용되며, 스토커는 선반(shelf), 포트(port) 및 랙 마스터(rack master)를 포함하며, 선반은 기판이 적재된 카세트를 실제적으로 보관하는 설비이다.In addition, the manufacturing equipment that performs the substrate manufacturing process has different substrate processing capability and processing time, respectively. As a result, a stocker for temporarily storing the cassette is used, and the stocker includes a shelf, a port and a rack master, and the shelf actually holds the cassette on which the substrate is loaded .

또한, 액정 표시장치 제조공정에는 작업 효율을 높이기 위하여 다수의 기판이 수납된 카세트를 스토커와 스토커 사이 또는 스토커와 각 공정이 수행되는 장비 사이에서 반송하는 컨베이어(CONVEYOR)가 더 구비된다.In addition, in the liquid crystal display manufacturing process, a conveyor for conveying a cassette containing a plurality of substrates between a stocker and a stocker or between a stocker and equipment in which each process is performed is further provided.

따라서, 컨베이어는 카세트가 임시로 저장된 스토커와 스토커 사이 또는 스토커와 일련의 공정이 수행되는 장비 사이를 왕복하면서, 카세트를 스토커에서 스토커로 또는 스토커에서 각 장비들로 그리고 각 장비들에서 스토커로 각각 반송하게 된다.Therefore, the conveyor returns the cassette from the stocker to the stocker, or from the stocker to each equipment, and from each equipment to the stocker, between the stocker and the stocker where the cassette is temporarily stored or between the stocker and the equipment in which a series of processes are performed .

이러한 스토커 컨베이어는 정해진 경로를 따라 카세트를 반송할 수 있도록 생산 라인에 설치된 레일 및 상기 레일을 따라 이동하며 카세트가 수납되는 대차로 구성된다.The stocker conveyor is composed of a rail provided on a production line and a carriage which moves along the rail and accommodates a cassette so that the cassette can be transported along a predetermined path.

또한, 대차는 X축 주행, Z축 승강 및 T축 회전이 이루어지는 3축 대차 또는 Y축 주행, Z축 승강이 이루어지는 2축 대차가 적용된다.The bogie is a biaxial bogie consisting of a three-axis bogie running on the X-axis running, Z-axis running and T-axis running, or a Y-axis running and Z-axis running.

이 중, 3축 대차의 T축 회전은 카세트의 반송시에도 방향성을 유지하기 위함이며, 카세트는 일방향으로 기판이 인출입되는 투입구가 형성되어 있어 카세트가 반송된 스토커 또는 제조 공정을 수행하는 제조 장비들에서 해당 투입구를 통해 기판을 인출입하도록 방향성을 유지해야 하기 때문이다.Among them, the T-axis rotation of the triaxial carriage is intended to maintain the directionality even when the cassette is conveyed. The cassette is provided with a loading port through which the substrate is drawn in and out in one direction, The substrate must be oriented so as to draw the substrate through the corresponding inlet.

이와 같은 스토커 컨베이어용 대차에 관한 대표적인 예가 도 1(이하, '종래기술'이라 한다)에 개시되어 있다.A typical example of such a stocker for a stocker conveyor is disclosed in FIG. 1 (hereinafter referred to as "prior art").

그러나, 종래기술의 대차(10)는 2개의 모터가 동일한 회전수로 동작하도록 동기제어가 이루어저야 하는 문제점이 있게 된다.However, the bogie 10 of the prior art has a problem that synchronous control is required so that the two motors operate at the same number of revolutions.

즉, 2세트의 승강부(11)가 동일한 높이로 승강되도록 동기제어가 필요하다.That is, synchronous control is required so that the two sets of elevation portions 11 are raised and lowered to the same height.

더욱이, 2세트의 승강부(11)가 대차의 측면에 배치되는 구조에 의해 회전부(12)는 대차의 중앙에 배치된다.Further, the rotating portion 12 is disposed at the center of the truck by the structure in which the two sets of elevating portions 11 are disposed on the sides of the truck.

따라서, 승강부를 1세트로 구성하여 동기제어가 필요없는 개선된 형태의 스토커 컨베이어용 대차의 개발이 요구되고 있는 실정이다.
Therefore, there is a demand for development of an improved straddle-type conveyor truck which does not require synchronous control by constituting one set of elevator units.

KR 10-2014-0075060, 2014.06.19KR 10-2014-0075060, 2014.06.19 KR 10-2008-0056049, 2008.06.20KR 10-2008-0056049, 2008.06.20

본 발명은 전술한 종래의 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 승강모터를 1개로 구성하여 제어와 대차의 승강시에 좌우 밸런스를 맞추기가 쉬워지는 스토커 컨베이어용 대차를 제공하는데 있다.
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a truck for a stocker conveyor in which a single elevating motor is used to control the balance between left and right when the elevator is raised or lowered have.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 스토커 컨베이어용 대차는, 승강테이블; 상기 승강테이블에 대해 회전하는 턴테이블; 상기 승강테이블을 승강시키는 승강부; 및 상기 턴테이블을 회전시키는 회전부로 구성된 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a stocker for a stocker conveyor including: a lifting table; A turntable rotating with respect to the lifting table; A lifting unit for lifting the lifting table; And a rotating part for rotating the turntable.

또한, 상기 승강부는, 승강모터와, 상기 승강모터의 회전수를 조절하는 감속기와, 상기 감속기와 연결된 리드 스크류 및 리드 스크류의 회전에 의해 승강테이블을 승강시키는 링크로 구성된 것을 특징으로 한다.The elevating unit may include a lifting motor, a speed reducer for adjusting the speed of the lifting motor, and a link for lifting the lifting table by rotation of the lead screw and the lead screw connected to the speed reducer.

또한, 상기 리드 스크류에는 너트가 구비되며, 상기 너트와 링크는 구동플레이트에 의해 연결된 것을 특징으로 한다.Further, the lead screw is provided with a nut, and the nut and the link are connected by a driving plate.

또한, 상기 링크는 구동플레이트와 연결된 제1링크와, 상기 승강 테이블과 제1링크를 연결하는 제2링크 및 고정힌지부와 제1링크를 연결하는 제3링크로 구성된 것을 특징으로 한다.The link may include a first link connected to the driving plate, a second link connecting the elevation table and the first link, and a third link connecting the first link and the fixed hinge.

또한, 상기 구동플레이트에는 LM가이드에 더 구비된 것을 특징으로 한다.Further, the driving plate is further provided with an LM guide.

또한, 상기 승강테이블에는 회전 지지구가 구비되며, 상기 턴테이블에는 회전구가 구비되고, 상기 회전 지지구와 회전구의 사이에는 베어링이 개재된 것을 특징으로 한다.In addition, the elevating table is provided with a rotation support, and the turntable is provided with a rotation shaft, and a bearing is interposed between the rotation support shaft and the rotation shaft.

또한, 상기 회전부는, 회전모터와, 상기 회전모터의 회전수를 조절하는 감속기와, 상기 감속기에 연결된 피니언 및 상기 회전구 내측에 형성된 내접기어로 구성된 것을 특징으로 한다.
The rotation unit may include a rotation motor, a speed reducer for adjusting the rotation speed of the rotation motor, a pinion connected to the speed reducer, and an internal gear formed inside the rotation hole.

본 발명에 따른 스토커 컨베이어용 대차에 따르면, 모터, 감속기 및 리드 스크류가 1세트로 구성하여 종래기술의 동기제어가 필요없어짐에 따라 제어가 쉬워지고 대차의 좌우 발란스를 맞추기가 쉬운 효과가 있다.According to the stoker conveyor truck according to the present invention, since the motor, the speed reducer, and the lead screw are constituted by one set, the synchronous control of the prior art is not required, so that the control is facilitated and the left and right balance of the truck can be easily adjusted.

이에 따라, 기구/제어적으로 간단해지며 원가가 절감이 된다. 즉, 조립, AS측면에서 유리하다.
This simplifies mechanism / control and reduces cost. That is, it is advantageous in terms of assembly and AS.

도 1은 종래기술에 따른 스토커 컨베이어용 대차를 도시한 도면이다.
도 2는 일반적인 스토커 컨베이어를 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명에 따른 스토커 컨베이어용 대차를 분해 도시한 사시도이다.
도 4는 본 발명에 따른 스토커 컨베이어용 대차의 테이블을 분해 도시한 사시도이다.
도 5는 도 4의 결합상태를 도시한 사시도이다.
도 6은 도 5의 저면 사시도이다.1 is a view showing a bogie for a stocker conveyor according to the prior art.
2 is a view showing a general stocker conveyor.
3 is a perspective view explaining a stacker conveyor for a stocker according to the present invention.
4 is a perspective view explaining a table of a stocker for a stocker conveyor according to the present invention.
FIG. 5 is a perspective view showing the engaged state of FIG. 4;
Fig. 6 is a bottom perspective view of Fig. 5. Fig.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 일반적인 스토커 컨베이어를 도시한 도면이다.2 is a view showing a general stocker conveyor.

본 발명에 따른 스토커 컨베이어용 대차를 설명하기에 앞서, 먼저 본 발명에 대한 이해에 도움이 될 수 있도록 스토커 컨베이어를 설명하고자 한다.Before describing a stocker for a stocker conveyor according to the present invention, a stocker conveyor will be described in order to facilitate understanding of the present invention.

도 2에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 스토커 컨베이어(A)는, 정해진 경로를 따라 카세트(C)를 반송할 수 있도록 생산 라인에 설치된 레일(100) 및 상기 레일(100)을 따라 이동하며 카세트(C)가 수납되는 대차(200)로 구성된다.2, the stocker conveyor A according to the present invention moves along a rail 100 installed on a production line and the rail 100 so that the cassette C can be transported along a predetermined route And a carriage 200 in which the cassette C is housed.

또한, 상기 레일(100)은 'ㄱ'자로 90°절곡되어 X축에서 Y축으로 카세트(C)의 반송 경로가 변경된다.In addition, the rail 100 is bent at 90 degrees to the 'a', and the conveying path of the cassette C is changed from the X axis to the Y axis.

그리고, 상기 대차(200)는 X,Y축 주행, Z축 승강, T축 회전이 이루어지는 3축 대차 또는 Y축 주행, Z축 승강이 이루어지는 2축 대차가 적용된다.The bogie 200 is a biaxial bogie which is a three-axis bogie that travels in X, Y axis, Z axis lift, T axis rotation, or Y axis travel, and Z axis lift.

한편, 상기 레일(100)의 입구 및 출구에는 카세트(C)의 대기 장소인 버퍼(300)가 구비되며, 상기 버퍼(300)는 스토커의 랙 마스터에서 대차(200)로의 카세트(C) 반송 전 대기장소, 상기 대차(200)에서 다른 스토커 또는 제조 공정을 수행하는 제조 장비로의 카세트(C) 반송 전 대기장소이다.
The buffer 300 is provided at the entrance and the exit of the rail 100 and serves as a standby place for the cassette C and the buffer 300 is provided before the cassette C is transported from the rack master of the stocker to the carriage 200 A waiting place, a waiting place before the cassette C is transported from the carriage 200 to another stocker or to the manufacturing equipment performing the manufacturing process.

도 3은 본 발명에 따른 스토커 컨베이어용 대차를 분해 도시한 사시도이고, 도 4는 본 발명에 따른 스토커 컨베이어용 대차의 테이블을 분해 도시한 사시도이며, 도 5는 도 4의 결합상태를 도시한 사시도이고, 도 6은 도 5의 저면 사시도이다.FIG. 3 is a perspective view explaining a bogie for a stocker conveyor according to the present invention in an exploded manner, FIG. 4 is a perspective view explaining a table of a bogie for a stocker conveyor according to the present invention, and FIG. 5 is a perspective view And Fig. 6 is a bottom perspective view of Fig.

본 발명에 따른 스토커 컨베이어용 대차(200)의 구성은 레일(100)을 따라 이동하는 주행본체(미도시)에 설치된 것으로 레일(100)을 따라 이동하는 주행본체는 공지의 기술이므로 설명을 생략한다. 즉 후술하는 본 발명의 구성은 주행본체에 설치된다.The configuration of the stocker conveyor for a stocker 200 according to the present invention is installed in a traveling body (not shown) that moves along the rail 100, and a traveling body that moves along the rail 100 is a well-known technology, . That is, the structure of the present invention to be described later is installed in the traveling main body.

도 3 내지 도 6에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 스토커 컨베이어용 대차(200)는, 중행본체에 대해 승강이 이루어지는 승강테이블(210)과, 상기 승강테이블(210)에 대해 회전하는 턴테이블(220)과, 상기 승강테이블(210)을 승강시키는 승강부(230) 및 상기 턴테이블을 회전시키는 회전부(240)로 구성된다.3 to 6, a stocker 200 for a stocker conveyor according to the present invention includes a lifting table 210 on which a lifting and lowering is carried out with respect to a main body, a turntable 220 A lifting unit 230 for lifting the lifting table 210, and a rotation unit 240 for rotating the turntable.

또한, 상기 승강부(230)는 구동력을 발생시키는 승강모터(231)와, 상기 승강모터(231)의 회전수를 조절하여 원하는 회전수 및 토크로 변환시키는 감속기(232)와, 상기 감속기(232)와 연결되어 회전하는 리드 스크류(233) 및 리드 스크류(233)의 회전에 의해 승강테이블(210)의 양측을 지지하여 승강시키는 한 쌍의 링크(250)로 구성된다.The lifting unit 230 includes a lifting motor 231 for generating a driving force, a speed reducer 232 for adjusting the speed of the lifting motor 231 to convert the speed into a desired speed and torque, And a pair of links 250 for supporting and lifting both sides of the lift table 210 by rotation of the lead screw 233 and the lead screw 233 which are connected to and rotate.

그리고, 상기 리드 스크류(233)에는 리드스크류(233)의 회전에 따라 리드 스크류(233)의 길이방향으로 이동하는 너트(234)가 구비되며, 상기 너트(234)와 링크(250)는 구동플레이트(235)에 의해 연결된다.The lead screw 233 is provided with a nut 234 moving in the longitudinal direction of the lead screw 233 in accordance with the rotation of the lead screw 233, (235).

상기 너트(234)는 한 쌍으로 구비되어 리드 스크류(233)의 회전에 의해 서로 반대 방향으로 이동한다.The nuts 234 are provided as a pair and move in opposite directions by the rotation of the lead screw 233.

상기 구동플레이트(235) 또한 상기 너트(234)와 같이 한 쌍으로 구비된다.The driving plate 235 is also provided as a pair like the nut 234.

한편, 상기 링크(250)는 구동플레이트(235)와 연결된 제1링크(251)와, 상기 승강 테이블(210)과 제1링크(251)를 연결하는 제2링크(252) 및 구동본체(미도시)에 고정된 고정힌지부(253)와 제1링크(251)를 연결하는 제3링크(254)로 구성된다.The link 250 includes a first link 251 connected to the driving plate 235, a second link 252 connecting the elevation table 210 and the first link 251, And a third link 254 connecting the first link 251 with the fixed hinge part 253 fixed to the second hinge part 253.

상기 제1링크(251), 고정힌지부(253), 제3링크(254)는 제2링크(252)의 양측으로 각각 1개씩 한 쌍으로 구성된다.The first link 251, the fixed hinge part 253 and the third link 254 are formed on both sides of the second link 252, one by one.

또한, 상기 구동플레이트(235)에는 구동본체(미도시)에 대해 슬라이딩 이동시에 이동방향을 안내 또는 지지하도록 LM가이드(236)가 더 구비된다.The driving plate 235 is further provided with an LM guide 236 for guiding or supporting the moving direction of the driving body (not shown) when sliding.

그리고, 상기 승강테이블(210)에는 회전 지지구(211)가 구비되며, 상기 턴테이블(220)에는 회전구(221)가 구비되고, 상기 회전 지지구(211)와 회전구(221)의 사이에는 베어링(201)이 개재된다.The turntable 220 is provided with a rotation hole 221 and is disposed between the rotation support 211 and the rotation hole 221. The rotation support 221 is provided on the turntable 220, The bearing 201 is interposed.

한편, 상기 회전부(240)는 구동력을 발생시키는 회전모터(241)와, 상기 회전모터(241)의 회전수를 조절하는 감속기(242)와, 상기 감속기(242)에 연결된 피니언(243) 및 상기 회전구(241) 내측에 형성된 내접기어(244)로 구성된다.The rotation unit 240 includes a rotation motor 241 for generating a driving force, a speed reducer 242 for adjusting the rotation speed of the rotation motor 241, a pinion 243 connected to the speed reducer 242, And an internal gear 244 formed inside the rotary tool 241.

또한, 상기 승강테이블(210)에는 피니언(243)이 가로지르는 관통공(212)이 형성된다.A through hole 212 through which the pinion 243 is passed is formed on the lifting table 210.

마지막으로, 상기 회전부(240)는 승강테이블(210)의 하면에 고정장착된다.Finally, the rotation unit 240 is fixedly mounted on the lower surface of the lifting table 210.

본 발명에 따르면, 승강모터(231), 감속기(232) 및 리드 스크류(233)가 1세트로 구성하여 종래기술의 동기제어가 필요없어짐에 따라 제어가 쉬워지고 대차의 좌우 발란스를 맞추기가 쉬워진다.According to the present invention, since the elevation motor 231, the speed reducer 232, and the lead screw 233 are constituted as one set, the synchronous control of the prior art is not necessary, so that the control is facilitated and the left and right balances of the truck are easily adjusted .

이에 따라, 기구/제어적으로 간단해지며 원가가 절감이 된다. 즉, 조립, AS측면에서 유리하다.
This simplifies mechanism / control and reduces cost. That is, it is advantageous in terms of assembly and AS.

이상, 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 기술적 범위는 전술한 실시 예에 한정되지 않고 특허청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 이때, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 고려해야 할 것이다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described in detail, the technical scope of the present invention is not limited to the above-described embodiments, but should be construed according to the claims. It will be understood by those skilled in the art that many modifications and variations are possible without departing from the scope of the present invention.

예를 들어, 도면 및 전술한 설명에서는 3축 대차를 예로 하여 설명하였지만, 이를 특별히 한정하는 것은 아니며 회전부를 제외하면 2축 대차에도 동일하게 적용할 수 있음은 물론이다.
For example, although the three-axis bogie has been described as an example in the drawings and the foregoing description, the present invention is not limited thereto. It goes without saying that the same applies to the biaxial bogie except for the rotating portion.

A - 스토커 컨베이어 100 - 레일
200 - 대차 210 - 승강테이블
220 - 회전테이블 230 - 승강부
240 - 회전부 250 - 링크A - Stocker Conveyor 100 - Rail
200 - Balance 210 - Lift table
220 - Rotary table 230 - Lift part
240 - rotation part 250 - link

Claims (7)

승강테이블;
상기 승강테이블에 대해 회전하는 턴테이블;
상기 승강테이블을 승강시키는 승강부; 및
상기 턴테이블을 회전시키는 회전부로 구성된 것을 특징으로 하는 스토커 컨베이어용 대차.
A lifting table;
A turntable rotating with respect to the lifting table;
A lifting unit for lifting the lifting table; And
And a rotating part for rotating the turntable.
제 1항에 있어서,
상기 승강부는,
승강모터와, 상기 승강모터의 회전수를 조절하는 감속기와, 상기 감속기와 연결된 리드 스크류 및 리드 스크류의 회전에 의해 승강테이블을 승강시키는 링크로 구성된 것을 특징으로 하는 스토커 컨베이어용 대차.
The method according to claim 1,
The elevating unit includes:
And a link for raising and lowering the lifting table by rotation of a lead screw and a lead screw connected to the speed reducer, and a link for raising and lowering the lifting table.
제 2항에 있어서,
상기 리드 스크류에는 너트가 구비되며, 상기 너트와 링크는 구동플레이트에 의해 연결된 것을 특징으로 하는 스토커 컨베이어용 대차.
3. The method of claim 2,
Wherein the lead screw is provided with a nut, and the nut and the link are connected by a drive plate.
제 3항에 있어서,
상기 링크는 구동플레이트와 연결된 제1링크와, 상기 승강 테이블과 제1링크를 연결하는 제2링크 및 고정힌지부와 제1링크를 연결하는 제3링크로 구성된 것을 특징으로 하는 스토커 컨베이어용 대차.
The method of claim 3,
Wherein the link comprises a first link connected to the driving plate, a second link connecting the elevation table and the first link, and a third link connecting the first link and the fixed hinge.
제 3항에 있어서,
상기 구동플레이트에는 LM가이드에 더 구비된 것을 특징으로 하는 스토커 컨베이어용 대차.
The method of claim 3,
Wherein the drive plate is further provided with an LM guide.
제 1항에 있어서,
상기 승강테이블에는 회전 지지구가 구비되며, 상기 턴테이블에는 회전구가 구비되고, 상기 회전 지지구와 회전구의 사이에는 베어링이 개재된 것을 특징으로 하는 스토커 컨베이어용 대차.
The method according to claim 1,
Wherein the elevating table is provided with a rotary support, and the turntable is provided with a rotary shaft, and a bearing is interposed between the rotary support and the rotary shaft.
제 6항에 있어서,
상기 회전부는,
회전모터와, 상기 회전모터의 회전수를 조절하는 감속기와, 상기 감속기에 연결된 피니언 및 상기 회전구 내측에 형성된 내접기어로 구성된 것을 특징으로 하는 스토커 컨베이어용 대차.
The method according to claim 6,
The rotation unit includes:
A rotary motor, a speed reducer for adjusting the rotational speed of the rotary motor, a pinion connected to the speed reducer, and an internal gear formed inside the rotary shaft.
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109533764A (en) * 2019-01-11 2019-03-29 合肥飞企互联科技有限公司 A kind of intelligent track movement system
CN109809129A (en) * 2019-03-21 2019-05-28 东风汽车集团有限公司 A kind of kit truck rotation retinue carrying system
KR102210063B1 (en) * 2020-06-24 2021-02-01 한성웰텍 (주) Unmanned transport vehicle for parts supply for assembly lines with practical lifting system
KR20210065690A (en) * 2019-11-27 2021-06-04 한국도로공사 The multipurpose transferring apparatus for snow removal equipment
KR102266966B1 (en) 2019-12-27 2021-06-17 시너스텍 주식회사 Carriage for stocker conveyor
KR20220132821A (en) * 2021-03-24 2022-10-04 시너스텍 주식회사 Vehicle for over head conveyor

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105966818B (en) * 2016-07-06 2017-12-22 天津市山石机器人有限责任公司 It is a kind of it is shallow enter formula automatical pilot transportation vehicle
TWI765936B (en) 2016-11-29 2022-06-01 美商東京威力科創Ｆｓｉ股份有限公司 Translating and rotating chuck for processing microelectronic substrates in a process chamber
JP7177069B2 (en) 2017-01-27 2022-11-22 ティーイーエル マニュファクチュアリング アンド エンジニアリング オブ アメリカ，インコーポレイテッド Systems and methods for rotating and translating a substrate within a process chamber
CN110319316B (en) * 2018-03-30 2021-10-22 比亚迪股份有限公司 Rotating mechanism for display terminal and vehicle with same
US11545387B2 (en) 2018-07-13 2023-01-03 Tel Manufacturing And Engineering Of America, Inc. Magnetic integrated lift pin system for a chemical processing chamber
CN109607199A (en) * 2019-01-23 2019-04-12 广东北玻电子玻璃有限公司 Glass revolution trolley automatic handing system
KR102173607B1 (en) * 2019-05-10 2020-11-03 시너스텍 주식회사 Stocker conveyor
CN113291813B (en) * 2020-02-21 2022-05-27 长鑫存储技术有限公司 Wafer processing system, semiconductor machine automatic leveling device and leveling method thereof

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20080056049A (en) 2006-12-15 2008-06-20 엘지디스플레이 주식회사 Stocker and method for transfering substrate using the same
KR20140075060A (en) 2012-12-10 2014-06-19 주식회사 에스에프에이 Overhead hoist system and carrier thereof

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000211895A (en) * 1999-01-21 2000-08-02 Murata Mach Ltd Elevating table device
JP2001206537A (en) * 2000-01-28 2001-07-31 Osaka Taiyuu:Kk Power driven turntable
KR101192128B1 (en) * 2005-06-30 2012-10-16 엘지디스플레이 주식회사 Cassette Transfer Apperatus
CN201212247Y (en) * 2008-06-18 2009-03-25 腾达建设集团股份有限公司 Liftable scaffolding
JP5324211B2 (en) * 2008-12-26 2013-10-23 株式会社ダイヘン Work transfer device
CN201882856U (en) * 2010-05-14 2011-06-29 赵诗怡 Bracket type lifter
CN202063523U (en) * 2011-04-19 2011-12-07 中电电气(上海)太阳能科技有限公司 Z-shaped curing assembly line device for solar cell modules
CN103466307B (en) * 2013-01-10 2016-08-03 东莞市伟创东洋自动化设备有限公司 Big stroke lifting body

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20080056049A (en) 2006-12-15 2008-06-20 엘지디스플레이 주식회사 Stocker and method for transfering substrate using the same
KR20140075060A (en) 2012-12-10 2014-06-19 주식회사 에스에프에이 Overhead hoist system and carrier thereof

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109533764A (en) * 2019-01-11 2019-03-29 合肥飞企互联科技有限公司 A kind of intelligent track movement system
CN109533764B (en) * 2019-01-11 2020-10-27 合肥飞企互联科技有限公司 Intelligent track transfer system
CN109809129A (en) * 2019-03-21 2019-05-28 东风汽车集团有限公司 A kind of kit truck rotation retinue carrying system
KR20210065690A (en) * 2019-11-27 2021-06-04 한국도로공사 The multipurpose transferring apparatus for snow removal equipment
KR102266966B1 (en) 2019-12-27 2021-06-17 시너스텍 주식회사 Carriage for stocker conveyor
KR102210063B1 (en) * 2020-06-24 2021-02-01 한성웰텍 (주) Unmanned transport vehicle for parts supply for assembly lines with practical lifting system
KR20220132821A (en) * 2021-03-24 2022-10-04 시너스텍 주식회사 Vehicle for over head conveyor

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