KR20180077734A - Apparatus for Transferring Substrate - Google Patents

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KR20180077734A
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Abstract

The present invention relates to a substrate transfer device, comprising: a hand part including a fork for supporting a substrate; an arm part coupled to the hand part and moving the hand part; a rotation part for rotating the arm part; a lifting part for lifting the rotation part; a support for supporting the lifting part; and a traveling part mounted on the floor and moving the support, wherein the lifting part includes: one pair of lifting shafts coupled in the vertical direction perpendicular to the support; a lifting gate movably coupled to the lifting shafts; and a lifting link coupled to each of the lifting gate and the rotation part and lifting the rotation part from the lifting gate by being folded or unfolded.

Description

기판이송장치{Apparatus for Transferring Substrate}[0001] Apparatus for Transferring Substrate [

본 발명은 전자부품을 제조하는 과정에서 기판을 이송하기 위한 기판이송장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate transfer apparatus for transferring a substrate in the course of manufacturing an electronic part.

디스플레이 장치, 태양전지, 반도체 소자 등(이하, '전자부품'이라 함)은 여러 가지 공정을 거쳐 제조된다. 이러한 제조 공정은 상기 전자부품을 제조하기 위한 기판(Substrate)을 이용하여 이루어진다. 예컨대, 상기 제조 공정은 기판 상에 도전체, 반도체, 유전체 등의 박막을 증착하기 위한 증착공정, 증착된 박막을 소정 패턴으로 형성하기 위한 식각공정 등을 포함할 수 있다. 이러한 제조 공정들은 해당 공정을 수행하는 공정챔버에서 이루어진다. 기판이송장치는 상기 공정챔버와 기판이 적재되는 카세트 간에 기판을 이송하기 위한 것이다.Display devices, solar cells, semiconductor devices, etc. (hereinafter referred to as "electronic components") are manufactured through various processes. Such a manufacturing process is performed using a substrate for manufacturing the electronic component. For example, the manufacturing process may include a deposition process for depositing a thin film of a conductor, a semiconductor, a dielectric material or the like on a substrate, an etching process for forming a deposited thin film in a predetermined pattern, and the like. These manufacturing processes are performed in a process chamber that performs the process. The substrate transfer apparatus is for transferring the substrate between the process chamber and a cassette on which the substrate is loaded.

최근에는 상기 공정챔버 및 카세트와 같은 장비들이 설치되는 설치공간의 효율성을 높이기 위해 장비들을 세로 방향으로 배치하는 추세이다. 이에 따라, 상기 장비의 설치위치가 점점 높아짐으로써, 기판을 이송하기 위한 이송위치도 점점 높아진다.In recent years, there has been a tendency to arrange the equipment in the longitudinal direction to increase the efficiency of the installation space where the equipment such as the process chamber and the cassette are installed. As a result, the installation position of the equipment is gradually increased, and the transfer position for transferring the substrate also becomes higher.

한편, 종래 기술에 따른 기판이송장치는 기판을 지지하는 포크를 승강시키기 위한 승강부가, 복수개의 프레임을 접었다 펼치도록 링크(Link) 형태로 구현되는 링크형과 세로방향으로 설치된 복수개의 승강축을 따라 게이트(Gate)가 승강하는 게이트형이 있다.The substrate transfer apparatus according to the related art includes a lifting unit for lifting and lowering the fork supporting the substrate, a link type that is implemented in a link form to expand and collapse the plurality of frames, And a gate type in which the gate is raised and lowered.

링크(Link)형 기판이송장치를 이용하여 높은 위치까지 포크를 승강시키는 고승강을 구현하기 위해서는, 링크를 구성하는 프레임. 즉, 링크를 길게 만들어야 한다. 링크가 길면 포크를 지지하는 지지력이 약해지므로 흔들림이 커지게 된다. 또한, 링크가 길면 링크를 접기 위한 넓은 공간이 필요하므로 좁은 공간에는 링크형 기판이송장치를 설치할 수 없는 문제가 있다.In order to realize a high-strength steel fork that lifts the fork to a high position by using a link-type substrate transfer device, the frame constituting the link. That is, the link must be made longer. If the link is long, the supporting force for supporting the fork is weakened, so that the shaking becomes large. Further, if the link is long, a large space is required for folding the link, so that there is a problem that the link-type substrate transfer device can not be installed in a narrow space.

게이트(Gate)형 기판이송장치를 이용하여 고승강을 구현하기 위해서는, 승강축을 길게 만들어야 한다. 게이트형 기판이송장치는 포크를 회전시키기 위한 선회축이 승강축의 아래에 배치되어 있으므로, 승강축이 길면 선회축에 부하가 클 뿐만 아니라 포크를 회전시킨 후의 잔류 진동이 심한 문제가 있다. 또한, 승강축이 길면 조립하거나 운반하기가 어려운 문제가 있다.In order to realize a high-strength steel by using a gate-type substrate transfer device, the elevating shaft must be made long. In the gate-type substrate transfer apparatus, since the pivot for rotating the fork is disposed below the elevating shaft, if the elevating shaft is long, there is a problem that the load on the pivot shaft is large and the residual vibration after the fork is rotated. In addition, there is a problem that it is difficult to assemble or transport if the elevating shaft is long.

따라서, 고승강을 구현하면서 좁은 공간에도 설치할 수 있고, 흔들림과 진동이 적은 기판이송장치의 개발이 절실히 필요하다.Therefore, it is urgently required to develop a substrate transfer device which can be installed in a narrow space while realizing high-strength steel, and which has less vibration and less vibration.

본 발명은 상술한 바와 같은 문제를 해결하고자 안출된 것으로, 높은 곳에 위치한 장비들로부터 기판을 안전하게 이송할 수 있는 기판이송장치를 제공하기 위한 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and it is an object of the present invention to provide a substrate transfer apparatus capable of safely transferring a substrate from equipment located at a high position.

상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 하기와 같은 구성을 포함할 수 있다.In order to solve the above-described problems, the present invention can include the following configuration.

본 발명에 따른 기판이송장치는 기판을 지지하기 위한 포크를 포함하는 핸드부; 상기 핸드부에 결합되고 상기 핸드부를 이동시키기 위한 암부; 상기 암부를 회전시키기 위한 선회부; 상기 선회부를 승강시키기 위한 승강부; 상기 승강부를 지지하기 위한 지지부; 및 바닥에 설치되고 상기 지지부를 이동시키기 위한 주행부를 포함할 수 있다. 상기 승강부는 상기 지지부에 대해 수직한 수직방향으로 결합되는 한쌍의 승강축, 상기 승강축에 이동 가능하게 결합되는 승강게이트, 및 상기 승강게이트와 상기 선회부에 각각 결합되고 접히거나 펼쳐져서 상기 선회부를 상기 승강게이트로부터 승강시키는 승강링크를 포함할 수 있다.A substrate transfer apparatus according to the present invention includes: a hand portion including a fork for supporting a substrate; An arm portion coupled to the hand portion and configured to move the hand portion; A swivel portion for rotating the arm portion; An elevating portion for elevating and lowering the turning portion; A supporting portion for supporting the elevating portion; And a traveling part installed on the floor and moving the supporting part. The elevating portion includes a pair of elevating shafts vertically coupled to the supporting portion, an elevating gate movably coupled to the elevating shaft, and an elevating gate coupled to the elevating gate and the swivel portion and folded or unfolded, And a lift link that is lifted from the lift gate.

본 발명에 따른 기판이송장치에 있어서, 상기 승강링크는 상기 승강게이트에 일측이 회전 가능하게 결합되는 제1승강링크부재, 및 상기 제1승강링크부재의 타측에 회전 가능하게 결합되는 제2승강링크부재를 포함할 수 있다. 상기 제1승강링크부재는 상기 제1승강링크부재와 상기 제2승강링크부재가 접히거나 펼쳐지는 승강경로가 상기 지지부가 이동하는 이동경로와 수직이 되도록 상기 승강게이트에 결합될 수 있다.In the substrate transfer apparatus according to the present invention, the elevating link may include a first elevating link member rotatably coupled to the elevating gate at one side thereof, and a second elevating link member rotatably coupled to the other side of the first elevating link member, Member. The first elevating link member may be coupled to the elevating gate such that the elevating path, in which the first elevating link member and the second elevating link member are folded or unfolded, is perpendicular to the moving path through which the supporting portion moves.

본 발명에 따른 기판이송장치에 있어서, 상기 승강축은 상기 지지부의 일측에 결합되는 제1승강축부재, 및 상기 지지부의 타측에 결합되는 제2승강축부재를 포함하고, 상기 지지부는 사각판형으로 형성될 수 있다. 상기 제1승강축부재 및 상기 제2승강축부재는 상기 지지부의 대각선에 위치하는 꼭지점에 각각 위치하도록 상기 지지부에 결합될 수 있다.In the substrate transfer apparatus according to the present invention, the elevating shaft includes a first elevating shaft member coupled to one side of the supporting portion, and a second elevating shaft member coupled to the other side of the supporting portion, wherein the supporting portion is formed into a rectangular plate shape . The first lifting shaft member and the second lifting shaft member may be coupled to the support portion such that they are respectively located at vertexes located on diagonal lines of the support portion.

본 발명에 따른 기판이송장치에 있어서, 상기 승강링크는 상기 제1승강링크부재의 일측에 결합되고 상기 제1승강링크부재를 회전시키기 위한 제1승강링크구동부, 및 상기 제2승강링크부재의 일측에 결합되고 상기 제2승강링크부재를 회전시키기 위한 제2승강링크구동부를 포함할 수 있다. 상기 제1승강링크구동부는 상기 제2승강링크부재의 타측이 상기 이동경로로부터 돌출되도록 상기 제1승강링크부재를 회전시킬 수 있다.In the substrate transfer apparatus according to the present invention, the elevating link is coupled to one side of the first elevating link member and includes a first elevating link driver for rotating the first elevating link member, And a second lift link driver coupled to the second lift link member for rotating the second lift link member. The first lift link driving unit may rotate the first lift link member such that the other side of the second lift link member protrudes from the movement path.

본 발명에 따르면, 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.According to the present invention, the following effects can be obtained.

본 발명은 높은 곳에 위치한 장비들로부터 기판을 안전하게 이송하도록 구현됨으로써, 기판 이송에 대한 사용성을 증대시킬 수 있을 뿐만 아니라 좁은 공간에도 설치가 가능하므로 공간 활용도를 증대시킬 수 있다.The present invention is embodied to safely transport a substrate from equipment located at a high level, so that it can not only increase usability for substrate transfer but also can be installed in a narrow space, so that space utilization can be increased.

도 1은 본 발명에 따른 기판이송장치의 개략적인 사시도
도 2는 본 발명에 따른 기판이송장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도
도 3은 본 발명에 따른 기판이송장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도
도 4는 본 발명에 따른 기판이송장치에서 선회부가 핸드부를 회전시키는 것을 설명하기 위한 개략적인 평면도
도 5는 본 발명에 따른 기판이송장치에서 승강부를 설명하기 위한 개략적인 측면도
도 6은 본 발명에 따른 기판이송장치에 있어서 선회부가 이동경로에서 핸드부를 이동시키는 것을 설명하기 위한 개략적인 작동상태도
도 7은 본 발명에 따른 기판이송장치에 있어서 선회부가 이격위치에서 핸드부를 이동시키는 것을 설명하기 위한 개략적인 평면도1 is a schematic perspective view of a substrate transfer apparatus according to the present invention;
2 is a schematic side view for explaining a substrate transfer apparatus according to the present invention;
3 is a schematic plan view for explaining a substrate transfer apparatus according to the present invention.
4 is a schematic plan view for explaining rotation of the hand unit in the substrate transfer apparatus according to the present invention;
5 is a schematic side view for explaining a lift portion in the substrate transfer apparatus according to the present invention
Fig. 6 is a schematic operating state diagram for explaining the movement of the hand portion in the movement path of the swivel portion in the substrate transfer apparatus according to the present invention
FIG. 7 is a schematic plan view for explaining the movement of the hand portion at the position where the pivot portion is separated in the substrate transfer apparatus according to the present invention

본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. It should be noted that, in the specification of the present invention, the same reference numerals as in the drawings denote the same elements, but they are numbered as much as possible even if they are shown in different drawings.

한편, 본 명세서에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다. Meanwhile, the meaning of the terms described in the present specification should be understood as follows.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 정의하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "제1", "제2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다.The word " first, "" second," and the like, used to distinguish one element from another, are to be understood to include plural representations unless the context clearly dictates otherwise. The scope of the right should not be limited by these terms.

"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.It should be understood that the terms "comprises" or "having" does not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof.

"적어도 하나"의 용어는 하나 이상의 관련 항목으로부터 제시 가능한 모든 조합을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, "제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 적어도 하나"의 의미는 제1항목, 제2항목 또는 제3항목 각각 뿐만 아니라 제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 2개 이상으로부터 제시될 수 있는 모든 항목의 조합을 의미한다.It should be understood that the term "at least one" includes all possible combinations from one or more related items. For example, the meaning of "at least one of the first item, the second item and the third item" means not only the first item, the second item or the third item, but also the second item and the second item among the first item, Means any combination of items that can be presented from more than one.

이하에서는 본 발명에 따른 기판이송장치에 관해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.Hereinafter, a substrate transfer apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 기판이송장치의 개략적인 사시도, 도 2는 본 발명에 따른 기판이송장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도, 도 3은 본 발명에 따른 기판이송장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도, 도 4는 본 발명에 따른 기판이송장치에서 선회부가 핸드부를 회전시키는 것을 설명하기 위한 개략적인 평면도, 도 5는 본 발명에 따른 기판이송장치에서 승강부를 설명하기 위한 개략적인 측면도, 도 6은 본 발명에 따른 기판이송장치에 있어서 선회부가 이동경로에서 핸드부를 이동시키는 것을 설명하기 위한 개략적인 작동상태도, 도 7은 본 발명에 따른 기판이송장치에 있어서 선회부가 이격위치에서 핸드부를 이동시키는 것을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.FIG. 1 is a schematic perspective view of a substrate transfer apparatus according to the present invention, FIG. 2 is a schematic side view for explaining a substrate transfer apparatus according to the present invention, and FIG. 3 is a schematic plan view for explaining a substrate transfer apparatus according to the present invention FIG. 5 is a schematic side view for explaining the elevating portion in the substrate transferring apparatus according to the present invention, and FIG. 6 is a schematic side view of the substrate transferring apparatus according to the present invention. 7 is a schematic explanatory view illustrating a movement of the hand portion in the movement path of the substrate transfer apparatus according to the invention, and Fig. 7 is a schematic explanatory view of the movement of the hand portion in the substrate transfer apparatus according to the present invention, Fig.

도 1 내지 도 7을 참고하면, 본 발명에 따른 기판이송장치(1)는 좁은 공간에 용이하게 설치될 수 있을 뿐만 아니라 높은 곳에 위치한 기판(S)을 안전하게 지지하여 이송하기 위한 것이다. 특히, 본 발명에 따른 기판이송장치(1)는 승강게이트와 승강링크를 조합시킴으로써 고승강(高乘降)을 구현할 수 있고, 승강링크를 승강게이트의 상측에 배치시켜 승강링크의 길이를 최소화시킴으로써 승강링크가 접혔을 때 이동경로로부터 돌출되는 것을 방지하여 전체적인 크기를 줄일 수 있다.1 to 7, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention is not only easily installed in a narrow space, but also for safely supporting and transferring a substrate S located at a high position. Particularly, the substrate transfer device 1 according to the present invention can realize high elevation by combining the elevating gate and the elevating link, and by minimizing the length of the elevating link by disposing the elevating link on the elevating gate It is possible to prevent the elevating link from protruding from the moving path when the elevating link is folded, thereby reducing the overall size.

이를 위해, 본 발명에 따른 기판이송장치(1)는 크게 주행부(2), 지지부(3), 핸드부(4), 암부(5), 선회부(6) 및 승강부(7)를 포함한다.To this end, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention mainly includes a traveling part 2, a supporting part 3, a hand part 4, an arm part 5, a pivot part 6 and a lift part 7 do.

도 1 내지 도 7을 참고하면, 상기 주행부(2)는 바닥에 설치된다. 예컨대, 상기 주행부(2)는 X축 방향(도 1에 도시됨)으로 설치될 수 있다. 상기 X축 방향은 기판(S)에 대한 공정이 이루어지는 공정챔버를 향하는 방향 또는 기판(S)을 적재하는 카세트를 향하는 방향일 수 있다. 상기 주행부(2)는 기판(S)에 대한 공정이 이루어지는 공정챔버와 공정챔버 사이, 기판(S)을 적재하는 카세트와 카세트 사이, 공정챔버와 카세트 사이 등 기판(S)을 이송하기 위한 이동경로에 설치될 수 있다. 상기 주행부(2)의 일단과 타단에는 공정챔버 또는 카세트가 위치될 수 있다. 상기 공정챔버 또는 상기 카세트는 상기 주행부(2)를 기준으로 상기 주행부(2)의 측면에 위치하도록 설치될 수도 있다. 이 경우, 상기 공정챔버 또는 상기 카세트는 이동경로의 외측에 위치될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판이송장치(1)는 상기 주행부(2)를 따라 이동하면서 상기 공정챔버 또는 카세트에 기판(S)을 이송할 수 있다. 상기 주행부(2)에는 지지부(3)가 이동 가능하게 결합될 수 있다.1 to 7, the running section 2 is installed on the floor. For example, the traveling section 2 may be installed in the X-axis direction (shown in FIG. 1). The X-axis direction may be a direction toward the process chamber in which the process for the substrate S is performed, or a direction toward the cassette for loading the substrate S. The traveling unit 2 is provided between the process chamber and the process chamber in which the substrate S is processed, between the cassette and the cassette for loading the substrate S, between the process chamber and the cassette, Can be installed in the path. A process chamber or a cassette may be positioned at one end and the other end of the travel section 2. [ The process chamber or the cassette may be installed on a side surface of the traveling unit 2 with respect to the traveling unit 2. [ In this case, the process chamber or the cassette may be located outside the movement path. Accordingly, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention can transfer the substrate S to the process chamber or the cassette while moving along the running section 2. [ The support portion 3 may be movably coupled to the travel portion 2. [

상기 지지부(3)는 핸드부(4)를 승강시키기 위한 승강부(7)를 지지하기 위한 것이다. 상기 지지부(3)는 사각판형으로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 주행부(2)에 지지되어 상기 승강부(7)를 지지할 수 있으면 다른 형태로 형성될 수도 있다. 상기 주행부(2)는 상기 지지부(3)가 평기어 형태의 랙기어를 포함할 경우, 피니언기어를 포함하는 모터를 포함할 수 있다. 상기 주행부(2)는 엘엠가이드레일(Lm Guide Rail)을 따라 이동하는 엘엠블록(Lm Block)을 포함할 수도 있다. 이에 따라, 상기 지지부(3)는 상기 주행부(2) 상에서 이동경로(R1, 도 1에 도시됨)를 따라 이동할 수 있다. 상기 지지부(3)가 사각판형으로 형성될 경우, 상기 지지부(3)는 일변이 상기 이동경로(R1)와 평행하게 위치하도록 상기 주행부(2)에 결합될 수 있다. 상기 지지부(3)는 상기 이동경로(R1) 상에서 전진방향(FD, 도 1에 도시됨) 또는 후진방향(BD, 도 1에 도시됨)으로 이동할 수 있다. 상기 승강부(7)의 상측에는 선회부(6), 암부(5) 및 핸드부(4)가 순차적으로 결합될 수 있다. 상기 승강부(7)는 상기 지지부(3)에 대해 수직한 수직방향(Z축 방향)으로 결합되는 승강축(71), 상기 승강축(71)을 따라 상하 방향으로 이동하는 승강게이트(72), 및 상기 승강게이트(72)의 상측에 위치하도록 상기 승강게이트(72)에 결합되고 상하 방향(Z축 방향)으로 펼쳐지거나 접혀짐으로써 상기 선회부(6), 상기 암부(5) 및 상기 핸드부(4)를 승강시키는 승강링크(73)를 포함할 수 있다. 상기 승강링크(73)는 복수개의 프레임이 링크형 구조로 형성될 수 있다. 상기 승강부(7)와 상기 암부(5) 사이에는 상기 암부(5)를 회전시키기 위한 선회부(6)가 결합될 수 있다. 상기 암부(5)에는 상기 핸드부(4)가 회전 가능하게 결합될 수 있다.The support portion 3 is for supporting the elevation portion 7 for elevating and lowering the hand portion 4. [ The supporting part 3 may be formed in a rectangular plate shape but is not limited thereto and may be formed in any other shape as long as it can be supported by the traveling part 2 to support the elevating part 7. The running portion 2 may include a motor including a pinion gear when the supporting portion 3 includes a rack gear in the form of a flat gear. The traveling unit 2 may include an Lm block that moves along an Lm guide rail. Accordingly, the support portion 3 can move along the movement route R1 (shown in Fig. 1) on the travel portion 2. [ When the support portion 3 is formed in a rectangular plate shape, the support portion 3 may be coupled to the travel portion 2 such that one side of the support portion 3 is parallel to the movement path R1. The support portion 3 can move in the advancing direction (FD, shown in Fig. 1) or the backward direction (BD, shown in Fig. 1) on the movement path R1. The swivel unit 6, the arm unit 5, and the hand unit 4 may be sequentially coupled to the upper portion of the lifting unit 7. The elevating portion 7 includes an elevating shaft 71 coupled in the vertical direction (Z-axis direction) perpendicular to the supporting portion 3, an elevating gate 72 moving up and down along the elevating shaft 71, And the upper portion of the arm portion 5 and the upper portion of the arm portion 5 are connected to the lift gate 72 so as to be positioned on the upper side of the lift gate 72 and expanded or folded in the vertical direction And a lifting link 73 for lifting and lowering the part 4. The elevating link 73 may have a plurality of frames formed in a link structure. A swivel part 6 for rotating the arm part 5 may be coupled between the elevating part 7 and the arm part 5. [ The hand portion 4 may be rotatably coupled to the arm portion 5.

상기 핸드부(4)는 기판(S)을 지지하기 위한 것이다. 상기 핸드부(4)에는 포크(41)가 결합될 수 있다. 상기 포크(41)는 직방체의 막대형태로 형성되어 상기 핸드부(4)에 1개 이상 결합될 수 있다. 상기 포크(41)가 복수개일 경우, 상기 포크(41)들은 상기 핸드부(4)에 서로 이격되게 결합될 수 있다. 상기 핸드부(4)가 기판(S)을 지지할 경우, 상기 기판(S)은 상기 포크(41)의 상측에 위치될 수 있다. 상기 포크(41)에는 흡착공(미도시)이 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 포크(41)는 기판(S)을 흡착하여 지지할 수 있다. 상기 흡착공이 기판(S)을 흡착함으로써, 상기 포크(41)는 이송 간에 기판(S)이 떨어지는 것을 방지할 수 있다. 상기 흡착공은 상기 포크(41)에 복수개 형성될 수 있다. 상기 핸드부(4)는 상기 암부(5)에 회전 가능하게 결합될 수 있다.The hand portion 4 is for supporting the substrate S. A fork 41 may be coupled to the hand unit 4. The fork 41 may be formed in the shape of a bar of a rectangular parallelepiped, and may be coupled to the hand unit 4 or more. When the fork 41 is a plurality of forks 41, the forks 41 may be separated from each other by the hand 4. When the hand 4 supports the substrate S, the substrate S may be positioned above the fork 41. [ A suction hole (not shown) may be formed in the fork 41. Accordingly, the fork 41 can hold the substrate S by suction. By adsorbing the substrate S, the fork 41 can prevent the substrate S from falling off between the transports. A plurality of the adsorption holes may be formed in the fork 41. The hand portion 4 may be rotatably coupled to the arm portion 5.

상기 암부(5)는 상기 핸드부(4)에 결합될 수 있다. 상기 암부(5)는 상기 핸드부(4)를 이동시키기 위한 것이다. 예컨대, 상기 암부(5)는 다관절로 이루어져, 상기 관절들을 서로 다른 회전축을 중심으로 서로 다른 방향으로 회전시켜 신장되거나 수축됨으로써, 상기 핸드부(4)를 이동시킬 수 있다. 상기 암부(5)는 제1암기구(51)과 제2암기구(52)을 포함할 수 있다.The arm portion 5 may be coupled to the hand portion 4. The arm portion 5 is for moving the hand portion 4. For example, the arm portion 5 is made of polygonal joints, and the hands 4 can be moved by being elongated or contracted by rotating the joints in different directions about different rotational axes. The arm portion 5 may include a first arm mechanism 51 and a second arm mechanism 52.

상기 제1암기구(51)는 일측이 상기 핸드부(4)에 결합될 수 있다. 상기 제1암기구(51)는 타측이 상기 제2암기구(52)에 결합될 수 있다. 상기 제1암기구(51)는 상기 제2암기구(52)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 상기 핸드부(4)는 상기 제1암기구(51)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 상기 제1암기구(51)는 구동모터에 직접결합되어 상기 제2암기구(52)에 대해 회전할 수 있으나, 벨트, 기어 등에 의해 구동모터에 간접결합되어 상기 제2암기구(52)에 대해 회전할 수도 있다. 상기 제1암기구(51)는 상기 구동모터가 제공하는 구동력에 의해 시계방향 또는 반시계방향으로 회전할 수 있다. 상기 구동모터는 상기 제1암기구(51)의 내부 또는 외부에 설치될 수 있다. 상기 제1암기구(51)는 직방체의 막대형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 제2암기구(52)에 결합되어 상기 핸드부(4)를 지지할 수 있으면 다른 형태로 형성될 수도 있다. 상기 제1암기구(51)는 상기 제2암기구(52)에 결합되는 일측이 시계방향으로 회전되면, 상기 핸드부(4)에 결합되는 타측이 이동경로(R1)으로부터 돌출되는 제1돌출방향(D1, 도 3에 도시됨)으로 이동될 수 있다. 이에 따라, 상기 핸드부(4)도 제1돌출방향(D1)으로 이동될 수 있다. 상기 제1암기구(51)는 일측이 반시계방향으로 회전되면, 타측이 제1후퇴방향(D2, 도 3에 도시됨)으로 이동될 수 있다. 이에 따라, 상기 핸드부(4)도 제1후퇴방향(D2)으로 이동될 수 있다. 상기 제1후퇴방향(D2)은 상기 제1돌출방향(D1)에 반대되는 방향일 수 있다. 즉, 상기 제1후퇴방향(D2)은 상기 이동경로(R1)의 내부를 향하는 방향일 수 있다. 상기 제1후퇴방향(D2)과 상기 제1돌출방향(D1)은 Y축 방향과 평행한 방향일 수 있다. 상기 제1암기구(51)는 상기 핸드부(4)가 상기 이동경로(R1)에 대해 수직한 방향으로 직선운동하도록 회전할 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 핸드부(4)가 상기 이동경로(R1)와 평행한 방향으로 직선운동하도록 회전할 수도 있다.One side of the first arm mechanism (51) can be coupled to the hand unit (4). And the other side of the first arm mechanism 51 may be coupled to the second arm mechanism 52. [ The first arm mechanism (51) can be rotatably coupled to the second arm mechanism (52). The hand unit 4 may be rotatably coupled to the first arm mechanism 51. The first arm mechanism 51 is directly coupled to the driving motor so as to be rotatable with respect to the second arm mechanism 52. The first arm mechanism 51 is indirectly coupled to the driving motor by a belt, . The first arm mechanism 51 can be rotated clockwise or counterclockwise by a driving force provided by the driving motor. The driving motor may be installed inside or outside the first arm mechanism (51). The first arm mechanism 51 may be formed in the form of a rectangular parallelepiped rod, but is not limited thereto. The first arm mechanism 51 may be formed in a different shape as long as the second arm mechanism 52 can support the hand unit 4 It is possible. When the first arm mechanism 51 is coupled to the second arm mechanism 52 and is rotated clockwise, the other side of the first arm mechanism 51 coupled to the hand unit 4 is protruded from the movement path R1, Direction (D1, shown in Figure 3). Accordingly, the hand portion 4 can also be moved in the first protruding direction D1. When one side of the first arm mechanism 51 is rotated in the counterclockwise direction, the other side can be moved in the first retracting direction D2 (shown in FIG. 3). Accordingly, the hand portion 4 can also be moved in the first retracting direction D2. The first retracting direction D2 may be a direction opposite to the first protruding direction D1. That is, the first retraction direction D2 may be a direction toward the inside of the movement path R1. The first retracting direction D2 and the first protruding direction D1 may be parallel to the Y-axis direction. The first arm mechanism 51 may be rotated such that the hand unit 4 linearly moves in a direction perpendicular to the movement path R1 but the present invention is not limited thereto and the hand unit 4 may be rotated And may be rotated so as to linearly move in a direction parallel to the rotation axis R1.

상기 제2암기구(52)는 일측이 상기 제1암기구(51)의 타측에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 상기 제2암기구(52)는 타측이 상기 선회부(6)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 상기 제2암기구(52)는 직방체의 막대형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 선회부(6)에 결합되어 상기 제1암기구(51) 및 상기 핸드부(4)를 지지할 수 있으면 다른 형태로 형성될 수도 있다. 상기 제2암기구(52)는 상기 선회부(6)에 결합되는 타측이 회전하는 방향에 따라 상기 제1암기구(51)에 결합되는 일측이 제1돌출방향(D1) 또는 제1후퇴방향(D2)으로 이동할 수 있다. 상기 제2암기구(52)의 일측이 이동함에 따라 상기 제1암기구(51) 및 상기 핸드부(4)도 제1돌출방향(D1) 또는 제1후퇴방향(D2)으로 이동할 수 있다. 상기 제2암기구(52)는 상기 선회부(6)에 의해 회전할 수 있다. 상기 제2암기구(52)는 상기 제1암기구(51)와 반대 방향으로 회전할 수 있다. 예컨대, 상기 제2암기구(52)가 타측을 기준으로 시계방향으로 회전하면, 상기 제1암기구(51)는 타측을 기준으로 반시계방향으로 회전할 수 있다. 이 경우, 상기 암부(5)가 제1돌출방향(D1)으로 신장됨에 따라 상기 핸드부(4)는 상기 제1돌출방향(D1)으로 이동할 수 있다. 예컨대, 상기 제2암기구(52)가 타측을 기준으로 반시계방향으로 회전하면, 상기 제1암기구(51)는 타측을 기준으로 시계방향으로 회전할 수 있다. 이 경우, 상기 암부(5)가 제1후퇴방향(D2)으로 수축됨에 따라 상기 핸드부(4)는 상기 제1후퇴방향(D2)으로 이동할 수 있다.One side of the second arm mechanism (52) can be rotatably coupled to the other side of the first arm mechanism (51). The other side of the second arm mechanism (52) can be rotatably coupled to the swivel part (6). The second arm mechanism 52 may be formed in the form of a rectangular parallelepiped rod, but is not limited thereto. The second arm mechanism 52 may be coupled to the pivot portion 6 to support the first arm mechanism 51 and the hand portion 4 If possible, it may be formed in another form. One side of the second arm mechanism (52) coupled to the first arm mechanism (51) along the direction of rotation of the other side coupled to the swinging section (6) (D2). The first arm mechanism 51 and the hand unit 4 can also be moved in the first protruding direction D1 or the first retracting direction D2 as one side of the second arm mechanism 52 moves. The second arm mechanism (52) can be rotated by the swivel part (6). The second arm mechanism (52) can rotate in a direction opposite to the first arm mechanism (51). For example, when the second arm mechanism 52 rotates clockwise with respect to the other side, the first arm mechanism 51 may rotate counterclockwise with respect to the other side. In this case, as the arm portion 5 extends in the first protruding direction D1, the hand portion 4 can move in the first protruding direction D1. For example, when the second arm mechanism 52 rotates counterclockwise with respect to the other side, the first arm mechanism 51 can rotate clockwise with respect to the other side. In this case, as the arm portion 5 contracts in the first retracting direction D2, the hand portion 4 can move in the first retracting direction D2.

상기 선회부(6)는 상기 암부(5)를 회전시키기 위한 것이다. 상기 선회부(6)는 Z축 방향을 기준으로 일측이 상기 제2암기구(52)에 결합되고, 타측이 상기 승강부(7)에 결합될 수 있다. 상기 선회부(6)는 상기 제2암기구(52)를 회전시키기 위한 구동력을 발생시키는 구동모터를 포함할 수 있다. 상기 선회부(6)가 상기 제2암기구(52)를 회전시킴에 따라 상기 제1암기구(51) 및 상기 핸드부(4)는 제1돌출방향(D1) 또는 제1후퇴방향(D2)으로 이동할 수 있다. 이 경우, 상기 제1암기구(51)는 상기 제2암기구(52)에 대해 회전할 수 있다. 상기 선회부(6)는 상기 제2암기구(52)를 회전시킴으로써, 상기 핸드부(4)가 향하는 방향을 변경시킬 수 있다. 예컨대, 상기 제1암기구(51)가 상기 제2암기구(52)에 대해 회전하지 않고, 상기 선회부(6)가 상기 제2암기구(52)를 시계방향으로 회전시키면 상기 핸드부(4)는 시계방향으로 이동할 수 있다. 상기 제1암기구(51)가 상기 제2암기구(52)에 대해 회전하지 않고, 상기 선회부(6)가 상기 제2암기구(52)를 반시계방향으로 회전시키면 상기 핸드부(4)는 반시계방향으로 이동할 수 있다. 상기 선회부(6)는 상기 핸드부(4)가 향하는 방향이 상기 전진방향(FD) 또는 상기 후진방향(BD)을 향하도록 상기 핸드부(4)를 회전시킬 수 있다. 상기 선회부(6)는 상기 핸드부(4)가 향하는 방향이 상기 이동경로(R1)에 대해 수직한 수직방향을 향하도록 상기 핸드부(4)를 회전시킬 수도 있다. 이에 따라, 상기 핸드부(4)는 상기 암부(5)와 상기 선회부(6)에 의해 상기 전진방향(FD), 상기 후진방향(BD), 상기 제1돌출방향(D1) 및 상기 제1후퇴방향(D2) 중 적어도 한 방향으로 기판(S)을 이송할 수 있다. 상기 선회부(6)는 상기 핸드부(4)가 향하는 방향이 상기 전진방향(FD), 상기 후진방향(BD), 상기 제1돌출방향(D1) 및 상기 제1후퇴방향(D2)을 제외한 다른 방향을 향하도록 상기 제2암기구(52)를 회전시킬 수도 있다.The swivel part (6) is for rotating the arm part (5). One side of the pivotal portion 6 may be coupled to the second arm mechanism 52 and the other side thereof may be coupled to the elevating portion 7 with respect to the Z-axis direction. The swivel unit 6 may include a driving motor for generating a driving force for rotating the second arm mechanism 52. [ The first arm mechanism 51 and the hand unit 4 are rotated in the first protruding direction D1 or the first retracting direction D2 ). In this case, the first arm mechanism 51 is rotatable with respect to the second arm mechanism 52. The swivel unit 6 can change the direction in which the hand unit 4 is oriented by rotating the second arm mechanism 52. [ For example, when the first arm mechanism 51 does not rotate with respect to the second arm mechanism 52 and the swing unit 6 rotates the second arm mechanism 52 clockwise, 4) can move clockwise. When the first arm mechanism 51 does not rotate with respect to the second arm mechanism 52 and the swing unit 6 rotates the second arm mechanism 52 in the counterclockwise direction, Can be moved counterclockwise. The swivel part 6 can rotate the hand part 4 so that the direction of the hand part 4 is in the forward direction FD or the backward direction BD. The swivel part 6 may rotate the hand part 4 such that the direction of the hand part 4 is directed in a direction perpendicular to the movement path R1. The hand portion 4 is moved in the advancing direction FD, the backward direction BD, the first projecting direction D1 and the first projecting direction D1 by the arm portion 5 and the pivotal portion 6, The substrate S can be transferred in at least one of the retreat direction D2. The swivel unit 6 is configured such that the direction in which the hand unit 4 is oriented in the forward direction FD, the backward direction BD, the first projecting direction D1, and the first retracting direction D2 The second arm mechanism 52 may be rotated so as to face the other direction.

상기 승강부(7)는 상기 선회부(6)를 승강시키기 위한 것이다. 상기 승강부(7)는 상기 선회부(6)를 상하 방향(Z축 방향)으로 승강시킬 수 있다. 상기 선회부(6)가 승강됨에 따라 상기 선회부(6)에 결합되는 암부(5) 및 핸드부(4)도 상하 방향으로 승강될 수 있다. 상기 승강부(7)는 승강축(71), 승강게이트(72) 및 승강링크(73)를 포함할 수 있다.The elevating portion 7 is for elevating and lowering the swivel portion 6. [ The elevating portion 7 can elevate the swinging portion 6 in the vertical direction (Z-axis direction). The arm portion 5 and the hand portion 4 which are coupled to the swivel portion 6 as the swivel portion 6 is raised and lowered can also be raised and lowered in the vertical direction. The elevating portion 7 may include an elevating shaft 71, an elevating gate 72, and a lifting link 73.

상기 승강축(71)은 상기 지지부(3)에 결합될 수 있다. 상기 승강축(71)은 상기 승강게이트(72)가 상하 방향으로 승강하도록 상기 승강게이트(72)를 지지하기 위한 것이다. 상기 승강축(71)의 길이가 길수록 상기 승강게이트(72)는 상기 승강축(71)을 따라 더 높은 위치까지 올라갈 수 있다. 상기 승강축(71)은 상기 지지부(3)의 상면에 결합될 수 있다. 이 경우, 상기 승강축(71)은 상기 지지부(3)에 대해 수직한 수직방향으로 결합될 수 있다. 예컨대, 상기 승강축(71)은 Z축 방향과 평행한 방향으로 상기 지지부(3)에 결합될 수 있다. 상기 승강축(71)은 한 쌍으로 이루어질 수 있다. 상기 승강축(71)은 제1승강축부재(711) 및 제2승강축부재(712)를 포함할 수 있다.The lifting shaft 71 may be coupled to the supporting part 3. [ The elevating shaft 71 is for supporting the elevating gate 72 so that the elevating gate 72 moves up and down. As the length of the lifting shaft 71 is longer, the lifting gate 72 can be lifted up to a higher position along the lifting shaft 71. The lifting shaft 71 may be coupled to the upper surface of the supporting part 3. [ In this case, the lifting shaft 71 can be coupled in a vertical direction perpendicular to the supporting part 3. [ For example, the elevation shaft 71 may be coupled to the support portion 3 in a direction parallel to the Z-axis direction. The elevating shafts 71 may be formed as a pair. The elevating shaft 71 may include a first elevating shaft member 711 and a second elevating shaft member 712.

상기 제1승강축부재(711)는 상기 지지부(3)의 일측에 위치하도록 상기 지지부(3)에 결합될 수 있다. 상기 지지부(3)의 일측은 사각판형으로 형성되는 지지부(3)의 상면에서 대각선에 위치하는 꼭지점 중 하나일 수 있다. 이에 따라, 상기 제1승강축부재(711)는 상기 지지부(3)의 일측에서 상측을 향하는 방향으로 상기 지지부(3)에 결합될 수 있다. 상기 제1승강축부재(711)는 오각기둥 형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 승강게이트(72)를 지지할 수 있으면 다른 형태로 형성될 수도 있다. 상기 제1승강축부재(711)는 나사결합 및 용접결합 중 적어도 하나의 방법으로 상기 지지부(3)에 결합될 수 있다.The first elevating shaft member 711 may be coupled to the supporting part 3 so as to be positioned at one side of the supporting part 3. One side of the support part 3 may be one of vertexes located on a diagonal line from the upper surface of the support part 3 formed in a rectangular plate shape. Accordingly, the first elevation shaft member 711 can be coupled to the support portion 3 in a direction toward the upper side of the support portion 3. The first elevating shaft member 711 may be formed in the shape of a pentagonal prism. However, the first elevating shaft member 711 may be formed in any other shape as long as it can support the elevating gate 72. The first lifting shaft member 711 may be coupled to the support portion 3 by at least one of screwing and welding.

상기 제2승강축부재(712)는 상기 지지부(3)의 일측과 이격된 타측에 위치하도록 상기 지지부(3)에 결합될 수 있다. 상기 지지부(3)의 타측은 사각판형으로 형성되는 지지부(3)의 상면에서 대각선에 위치하는 꼭지점 중 상기 제1승강축부재(711)가 설치된 꼭지점을 제외한 나머지 꼭지점일 수 있다. 이에 따라, 상기 제2승강축부재(712)는 상기 제1승강축부재(711)와 이격된 위치에서 상측을 향하는 방향으로 상기 지지부(3)에 결합될 수 있다. 따라서, 상기 제1승강축부재(711)와 상기 제2승강축부재(712)는 상기 지지부(3)의 상면 대각선 위치에서 서로 마주보게 위치될 수 있다. 상기 제2승강축부재(712)는 오각기둥 형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 승강게이트(72)를 지지할 수 있으면 다른 형태로 형성될 수도 있다. 상기 제2승강축부재(712)는 나사결합 및 용접결합 중 적어도 하나의 방법으로 상기 지지부(3)에 결합될 수 있다. 상기 제1승강축부재(711)와 상기 제2승강축부재(712)에는 상기 승강게이트(72)를 상하 방향으로 승강시키기 위한 높이조절기구(미도시)가 설치될 수 있다.The second lifting shaft member 712 may be coupled to the support 3 such that the second lifting shaft 712 is positioned on the other side of the support 3. The other side of the support part 3 may be a vertex other than a vertex point where the first elevation shaft member 711 is installed, among the vertexes located diagonally from the upper surface of the support part 3 formed in a rectangular plate shape. Accordingly, the second elevation shaft member 712 can be coupled to the support portion 3 in a direction facing upward from a position spaced apart from the first elevation shaft member 711. Therefore, the first elevation shaft member 711 and the second elevation shaft member 712 can be positioned opposite to each other at the diagonal positions of the upper surface of the supporting unit 3. [ The second lift shaft member 712 may be formed in the shape of a pentagonal prism. However, the second lift shaft member 712 may be formed in another shape as long as it can support the lift gate 72. The second lifting shaft member 712 can be coupled to the support portion 3 by at least one of screwing and welding. The first elevating shaft member 711 and the second elevating shaft member 712 may be provided with height adjusting mechanisms (not shown) for elevating and lowering the elevating gate 72 in the vertical direction.

상기 승강게이트(72)는 상기 제1승강축부재(711)와 상기 제2승강축부재(712)의 사이에 위치하도록 상기 제1승강축부재(711)와 상기 제2승강축부재(712)에 일측과 타측이 각각 결합될 수 있다. 상기 승강게이트(72)는 직방체 형태로 형성될 수 있으며, Z축 방향에서 바라보았을 때 상기 지지부(3)의 대각선 방향과 대략 일치되도록 설치될 수 있다. 이에 따라, 상기 승강게이트(72)는 상기 지지부(3)와 같은 사각판형으로 형성되는 경우에 비해 무게를 감소시킬 수 있으므로, 상기 승강게이트(72)를 이동시키기 위한 높이조절기구의 부하를 감소시킬 수 있다. 상기 승강게이트(72)는 상기 제1승강축부재(711)와 상기 제2승강축부재(712)에 결합된 상태에서 상기 높이조절기구에 의해 상하 방향으로 승강될 수 있다. 상기 높이조절기구는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터 등을 이용하여 상기 승강게이트(72)를 상하 방향으로 승강시킬 수 있다. 상기 승강게이트(72)의 상면에는 상기 승강링크(73)가 결합될 수 있다.The lift gate 72 is disposed between the first lift shaft member 711 and the second lift shaft member 712 so as to be positioned between the first lift shaft member 711 and the second lift shaft member 712. [ One side and the other side can be coupled to each other. The elevating gate 72 may be formed in a rectangular parallelepiped shape and may be provided so as to substantially coincide with the diagonal direction of the supporting portion 3 when viewed from the Z-axis direction. Accordingly, the weight of the lifting gate 72 can be reduced compared with a case of forming the lifting gate 72 in a rectangular plate shape such as the supporting portion 3, thereby reducing the load of the height adjusting mechanism for moving the lifting gate 72 . The elevating gate 72 may be vertically moved up and down by the height adjusting mechanism in a state of being coupled to the first elevating shaft member 711 and the second elevating shaft member 712. The height adjusting mechanism may be a cylinder type using a hydraulic cylinder or a pneumatic cylinder, a ball screw type using a motor and a ball screw, a gear type using a motor, a rack gear and a pinion gear, a belt type using a motor, a pulley, The lifting gate 72 can be lifted up and down using a coil, a linear motor using a permanent magnet, or the like. The lift link 73 may be coupled to the upper surface of the lift gate 72.

상기 승강링크(73)는 상기 승강게이트(72)로부터 상기 선회부(6)를 승강시키기 위한 것이다. 상기 승강링크(73)는 일측이 상기 승강게이트(72)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 상기 승강링크(73)의 일측은 사각판형으로 형성되는 승강게이트(72)의 중심에 위치하도록 상기 승강게이트(72)에 결합될 수 있다. 상기 승강링크(73)는 타측이 상기 선회부(6)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 상기 승강링크(73)는 복수개의 링크로 구성되어 접히거나 펼쳐짐으로써 상기 선회부(6)를 상측 방향으로 이동시키거나 상기 선회부(6)를 하측 방향으로 이동시킬 수 있다. 이 경우, 상기 복수개의 링크가 접히거나 펼쳐지는 승강경로(E1, 도 5에 도시됨)는 상기 지지부(3)가 이동하는 이동경로(R1)에 대해 수직한 방향일 수 있다. 상기 승강경로(E1)는 Z축 방향과 평행한 방향일 수 있다. 상기 복수개의 링크는 서로 다른 회전축을 중심으로 서로 다른 방향으로 회전할 수 있다. 상기 승강링크(73)는 제1승강링크부재(731), 제2승강링크부재(732), 제1승강링크구동부(733) 및 제2승강링크구동부(734)를 포함할 수 있다.The elevating link 73 is for elevating the elevating gate 6 from the elevating gate 72. One side of the lift link 73 may be rotatably coupled to the lift gate 72. One side of the lifting link 73 may be coupled to the lifting gate 72 so as to be located at the center of the lifting gate 72 formed in a rectangular plate shape. The other side of the lift link 73 may be rotatably coupled to the swivel unit 6. [ The elevating link 73 is formed of a plurality of links and can be folded or unfolded to move the swivel unit 6 upward or to move the swivel unit 6 downward. In this case, the elevation path E1 (shown in Fig. 5) in which the plurality of links are folded or unfolded may be a direction perpendicular to the movement path R1 in which the support portion 3 moves. The elevating path E1 may be parallel to the Z-axis direction. The plurality of links may rotate in different directions about different rotational axes. The lift link 73 may include a first lift link member 731, a second lift link member 732, a first lift link drive unit 733, and a second lift link drive unit 734.

상기 제1승강링크부재(731)는 일측이 상기 승강게이트(72)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 이 경우, 상기 제1승강링크부재(731)는 승강경로(E1)가 상기 이동경로(R1)에 대해 수직방향이 되도록 상기 승강게이트(72)에 결합될 수 있다. 상기 제1승강링크부재(731)의 타측에는 상기 제2승강링크부재(732)가 회전 가능하게 결합될 수 있다. 상기 제1승강링크부재(731)는 직방체의 막대형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 승강게이트(72)에 결합되어 상기 제2승강링크부재(732)를 지지할 수 있으면 다른 형태로 형성될 수도 있다. 상기 제1승강링크부재(731)는 상기 제1승강링크구동부(733)에 의해 시계방향 또는 반시계방향으로 회전할 수 있다. 상기 제1승강링크부재(731)는 일측이 시계방향으로 회전하면, 타측이 상기 승강게이트(72)를 향하는 하측 방향으로 이동할 수 있다. 상기 제1승강링크부재(731)는 일측이 반시계방향으로 회전하면, 타측이 상기 승강게이트(72)로부터 이격되는 상측 방향으로 이동할 수 있다. 이에 따라, 상기 제1승강링크부재(731)가 회전하면 상기 제2승강링크부재(732), 상기 선회부(6), 상기 암부(5) 및 상기 핸드부(4)는 상기 승강게이트(72)로부터 멀어지는 상측 방향 또는 상기 승강게이트(72)에 가까워지는 하측 방향으로 이동할 수 있다.One side of the first lift link member 731 may be rotatably coupled to the lift gate 72. In this case, the first lift link member 731 may be coupled to the lift gate 72 such that the lift path E1 is perpendicular to the movement path R1. The second lift link member 732 may be rotatably coupled to the other side of the first lift link member 731. The first lift link member 731 may be formed in the form of a rectangular parallelepiped rod, but is not limited thereto. The first lift link member 731 may be formed in a different shape as long as it can be coupled to the lift gate 72 to support the second lift link member 732 . The first lift link member 731 may be rotated clockwise or counterclockwise by the first lift link drive unit 733. [ When the first lift link member 731 is rotated in the clockwise direction, the other side of the first lift link member 731 can move downward toward the lift gate 72. When the first lift link member 731 rotates counterclockwise on one side, the other side of the first lift link member 731 can move upward from the lift gate 72. Accordingly, when the first lift link member 731 is rotated, the second lift link member 732, the swivel portion 6, the arm portion 5, and the hand portion 4 are lifted up by the lift gate 72 Or in a downward direction approaching to the lift gate 72. [0064]

상기 제2승강링크부재(732)는 일측이 상기 제1승강링크부재(731)의 타측에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 상기 제2승강링크부재(732)의 타측에는 상기 선회부(6)가 회전 가능하게 결합될 수 있다. 상기 제2승강링크부재(732)는 상기 제2승강링크구동부(734)에 의해 시계방향 또는 반시계방향으로 회전할 수 있다. 상기 제2승강링크부재(732)는 직방체의 막대형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 제1승강링크부재(532)에 결합되어 상기 선회부(6)를 지지할 수 있으면 다른 형태로 형성될 수도 있다. 상기 제2승강링크부재(732)는 일측이 시계방향으로 회전하면, 타측이 상기 승강게이트(72)로부터 이격되는 상측 방향으로 이동할 수 있다. 상기 제2승강링크부재(732)는 일측이 반시계방향으로 회전하면, 타측이 상기 승강게이트(72)를 향하는 하측 방향으로 이동할 수 있다. 도시되지 않았으나, 상기 제1승강링크부재(731) 및 상기 제2승강링크부재(732) 중 적어도 하나는 상기 선회부(6)를 바닥과 수평이 되도록 하는 자세링크를 포함할 수 있다.One side of the second lift link member 732 may be rotatably coupled to the other side of the first lift link member 731. The swivel portion 6 may be rotatably coupled to the other side of the second lift link member 732. The second lift link member 732 may be rotated clockwise or counterclockwise by the second lift link drive unit 734. [ The second lift link member 732 may be formed in the shape of a bar of a rectangular parallelepiped, but is not limited thereto. The second lift link member 732 may be formed in a different shape as long as it can be coupled to the first lift link member 532, . When the second lift link member 732 rotates clockwise, the other side of the second lift link member 732 can move upward from the lift gate 72. When the first lift link member 732 rotates counterclockwise on one side, the second lift link member 732 can move downward toward the lift gate 72. Although not shown, at least one of the first lift link member 731 and the second lift link member 732 may include a posture link that makes the swivel unit 6 horizontal with the floor.

상기 제1승강링크구동부(733)는 상기 제1승강링크부재(731)를 회전시키기 위한 것이다. 상기 제1승강링크구동부(733)는 상기 승강게이트(72)와 상기 제1승강링크부재(731)에 직접결합되어 구동력을 발생시킴으로써, 상기 승강게이트(72)에 대해 상기 제1승강링크부재(731)를 회전시킬 수 있다. 상기 제1승강링크구동부(733)는 상기 승강게이트(72)에 결합된 상태에서 벨트, 기어 등을 통해 상기 제1승강링크부재(731)에 간접결합되어 구동력을 발생시킴으로써, 상기 제1승강링크부재(731)를 회전시킬 수도 있다. 상기 제1승강링크구동부(733)는 상기 제1승강링크부재(731)의 내부에 설치될 수도 있다. 상기 제1승강링크구동부(733)는 구동력을 발생시키는 모터일 수 있다.The first lift link drive unit 733 is for rotating the first lift link member 731. The first lift link drive unit 733 is coupled directly to the lift gate 72 and the first lift link member 731 to generate a driving force so that the first lift link member 731). The first lift link drive unit 733 is indirectly coupled to the first lift link member 731 through a belt or gear in a state of being coupled to the lift gate 72 to generate a driving force, The member 731 may be rotated. The first lift link drive unit 733 may be installed inside the first lift link member 731. The first lift link drive unit 733 may be a motor that generates a driving force.

상기 제2승강링크구동부(734)는 상기 제2승강링크부재(732)를 회전시키기 위한 것이다. 상기 제2승강링크구동부(734)는 상기 제1승강링크부재(731)과 상기 제2승강링크부재(732)에 직접결합되어 구동력을 발생시킴으로써, 상기 제1승강링크부재(731)에 대해 상기 제2승강링크부재(732)를 회전시킬 수 있다. 상기 제2승강링크구동부(734)는 상기 승강게이트(72)에 결합된 상태에서 벨트, 기어 등을 통해 상기 제2승강링크부재(732)에 간접결합되어 구동력을 발생시킴으로써, 상기 제2승강링크부재(732)를 회전시킬 수도 있다. 상기 제2승강링크구동부(734)는 상기 제1승강링크부재(31) 및 상기 제2승강링크부재(732)의 내부 중 적어도 하나에 설치될 수도 있다. 상기 제2승강링크구동부(734)는 구동력을 발생시키는 모터일 수 있다.The second lift link drive unit 734 rotates the second lift link member 732. The second lift link drive unit 734 is directly coupled to the first lift link member 731 and the second lift link member 732 to generate a driving force, The second lift link member 732 can be rotated. The second lift link drive unit 734 is indirectly coupled to the second lift link member 732 via a belt or gear in a state of being coupled to the lift gate 72 to generate a driving force, The member 732 may be rotated. The second lift link drive unit 734 may be installed in at least one of the first lift link member 31 and the second lift link member 732. [ The second lift link drive unit 734 may be a motor that generates a driving force.

상기 제1승강링크부재(731)와 상기 제2승강링크부재(732)는 서로 다른 회전축을 중심으로 서로 다른 방향으로 회전함으로써, 상기 선회부(6)를 상기 승강게이트(72)로부터 승강시킬 수 있다. 예컨대, 상기 제1승강링크부재(731)의 일측이 반시계방향으로 회전하고 상기 제2승강링크부재(732)의 일측이 시계방향으로 회전하면, 상기 선회부(6)는 상기 승강게이트(72)로부터 이격되는 상측 방향으로 이동할 수 있다. 이에 따라, 상기 선회부(6)에 결합되는 암부(5) 및 상기 핸드부(4)도 상측으로 이동할 수 있다. 예컨대, 상기 제1승강링크부재(731)의 일측이 시계방향으로 회전하고 상기 제2승강링크부재(732)의 일측이 반시계방향으로 회전하면, 상기 선회부(6)는 상기 승강게이트(72)에 가까워지는 하측 방향으로 이동할 수 있다. 이에 따라, 상기 선회부(6)에 결합되는 암부(5) 및 상기 핸드부(4)도 하측으로 이동할 수 있다. 여기서, 상기 제1승강링크부재(731)와 상기 제2승강링크부재(732)가 최대로 접히면, 상기 선회부(6)는 상기 제1승강축부재(711)와 상기 제2승강축부재(712)의 중심에 위치될 수 있다. 상기 제1승강축부재(711)와 상기 제2승강축부재(712)의 중심은 상기 제1승강축부재(711)와 상기 제2승강축부재(712)가 이격된 이격거리의 절반이 되는 위치일 수 있다. 이 상태에서 상기 선회부(6)가 상기 제2암기구(52)를 회전시키면, 기판(S)을 지지하는 핸드부(4)가 회전될 수 있다. 이 때, 상기 핸드부(4)는 상기 제1승강축부재(711)와 상기 제2승강축부재(712)의 중심에 위치된 선회부(6)의 회전축을 중심으로 회전됨으로써, 상기 제1승강축부재(711)와 상기 제2승강축부재(712)에 충돌되지 않고 회전할 수 있다. 즉, 상기 핸드부(4)는 상기 선회부(6)에 의해 상기 제1승강축부재(711)와 상기 제2승강축부재(712)에 충돌되지 않도록 선회반경(R2, 도 4에 도시됨)의 이내에서 회전할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판이송장치(1)는 핸드부(4) 회전 시 상기 핸드부(4) 및 상기 기판(S)이 상기 제1승강축부재(711)와 상기 제2승강축부재(712)에 충돌되는 것을 방지함으로써, 상기 핸드부(4) 및 기판(S) 중 적어도 하나가 손상 내지 파손되는 것을 방지할 수 있다.The first lift link member 731 and the second lift link member 732 are rotated in different directions about different rotational axes so that the swing section 6 can be lifted from the lift gate 72 have. For example, when one side of the first lift link member 731 rotates counterclockwise and one side of the second lift link member 732 rotates in a clockwise direction, the swing section 6 rotates the lift gate 72 As shown in Fig. Accordingly, the arm portion 5 coupled to the swivel portion 6 and the hand portion 4 can also be moved upward. For example, when one side of the first lift link member 731 rotates in a clockwise direction and one side of the second lift link member 732 rotates in a counterclockwise direction, the swivel unit 6 is rotated by the lift gate 72 As shown in Fig. Accordingly, the arm portion 5 coupled to the swivel portion 6 and the hand portion 4 can also be moved downward. When the first lift link member 731 and the second lift link member 732 are folded to the maximum degree, the swivel portion 6 is moved in a direction in which the first lift shaft member 711, Lt; RTI ID = 0.0 > 712 < / RTI > The center of the first elevating shaft member 711 and the second elevating shaft member 712 is half the distance between the first elevating shaft member 711 and the second elevating shaft member 712 Position. In this state, when the swivel part 6 rotates the second arm mechanism 52, the hand part 4 supporting the substrate S can be rotated. At this time, the hand portion 4 is rotated around the rotation axis of the swivel portion 6 positioned at the center of the first elevation shaft member 711 and the second elevation shaft member 712, It can rotate without colliding with the elevating shaft member 711 and the second elevating shaft member 712. That is, the hand portion 4 is rotated by the turning portion 6 so as to prevent the first elevating shaft member 711 from colliding with the second elevating shaft member 712, ). ≪ / RTI > Accordingly, the substrate transfer device 1 according to the present invention is configured such that when the hand 4 rotates, the hand 4 and the substrate S are moved in the first and second elevation shaft members 711 and 711, It is possible to prevent at least one of the hand unit 4 and the substrate S from being damaged or broken.

본 발명에 따른 기판이송장치(1)는 상기 제1승강링크부재(731)와 상기 제2승강링크부재(732)를 서로 다른 방향으로 회전시킴으로써, 상기 핸드부(4)를 승강경로(E1)를 따라 이동시킬 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 기판이송장치(1)는 상기 승강축(71)을 따라 상기 승강게이트(72)를 상하 방향으로 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판이송장치(1)는 다음과 같은 작용 효과를 도모할 수 있다.The substrate conveying apparatus 1 according to the present invention can rotate the first lift link member 731 and the second lift link member 732 in different directions to move the hand portion 4 to the elevation path E1, As shown in FIG. Further, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention can move the lift gate 72 in the vertical direction along the lift shaft 71. Accordingly, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention can achieve the following operational effects.

첫째, 본 발명에 따른 기판이송장치(1)는 상기 승강게이트(72)를 상측 방향으로 이동시킨 후에 상기 제1승강링크부재(731) 및 상기 제2승강링크부재(732)를 펼침으로써 상기 핸드부(4)를 높은 위치로 이동시킬 수 있다. 본 발명에 따른 기판이송장치(1)는 상기 승강게이트(72), 상기 제1승강링크부재(731) 및 상기 제2승강링크부재(732)를 동시에 승강경로(E1)를 따라 이동시킴으로써, 상기 핸드부(4)를 높은 위치로 이동시킬 수도 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판이송장치(1)는 종래 링크형 기판이송장치와 게이트형 기판이송장치에 비해 더 높은 곳에 위치된 기판(S)을 이송할 수 있다.First, the substrate conveying apparatus 1 according to the present invention is configured such that the first lift link member 731 and the second lift link member 732 are spread by moving the lift gate 72 upward, The portion 4 can be moved to a higher position. The substrate transfer apparatus 1 according to the present invention can move the elevating gate 72, the first elevating link member 731 and the second elevating link member 732 along the elevating path E1 simultaneously, The hand portion 4 may be moved to a higher position. Therefore, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention can transfer the substrate S positioned at a higher position than the conventional link-type substrate transfer apparatus and the gate-type substrate transfer apparatus.

둘째, 본 발명에 따른 기판이송장치(1)는 상기 승강게이트(72)의 상측에 상기 승강링크(73)가 위치하도록 상기 승강링크(73)를 상기 승강게이트(72)의 상면에 결합시킴으로써, 상기 제1승강링크부재(731) 및 상기 제2승강링크부재(732)의 길이를 최소화시켜 상기 제1승강링크부재(731) 및 상기 제2승강링크부재(732)가 접혀지더라도 상기 이동경로(R1)의 외측으로 상기 제1승강링크부재(731) 및 상기 제2승강링크부재(732)가 돌출되는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판이송장치(1)는 전체적인 크기를 최소화시킴으로써, 좁은 공간에도 설치할 수 있도록 하여 공간 활용도를 증대시킬 수 있을 뿐만 아니라 상기 이동경로(R1)의 외측에 설치되는 주변 장치들과 간섭되는 것을 방지하여 기판(S) 이송 간에 주변 장치와의 충돌로 인한 손상 내지 파손을 방지할 수 있다.Second, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention is characterized in that the elevating link 73 is coupled to the upper surface of the elevating gate 72 so that the elevating link 73 is positioned above the elevating gate 72, The lengths of the first lift link member 731 and the second lift link member 732 are minimized so that even if the first lift link member 731 and the second lift link member 732 are folded, It is possible to prevent the first lift link member 731 and the second lift link member 732 from protruding outside the first guide rails R1. Accordingly, the substrate transferring apparatus 1 according to the present invention can be installed in a narrow space by minimizing the overall size, thereby increasing the space utilization. Further, since the peripheral devices installed outside the movement route R1 It is possible to prevent the substrate S from being damaged or damaged due to collision with the peripheral device.

셋째, 본 발명에 따른 기판이송장치(1)는 상기 선회부(6)를 상기 암부(5)와 상기 승강부(7) 사이에 위치하도록 설치함으로써, 선회부가 지지부와 주행부 사이에 위치되는 경우에 비해 상기 선회부(6)가 받는 부하를 감소시킬 수 있으므로 상기 선회부(6)의 사용 수명을 연장시킬 수 있을 뿐만 아니라 기판(S)을 회전시킨 후의 잔류진동 발생을 감소시켜 기판(S)이 흔들림 및 진동으로 인해 손상 내지 파손되는 것을 방지할 수 있다.Third, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention is provided with the swivel part 6 so as to be positioned between the arm part 5 and the elevation part 7, so that when the swivel part is positioned between the supporting part and the traveling part The load applied to the swivel portion 6 can be reduced as compared with the case where the substrate S is used, so that the service life of the swivel portion 6 can be extended, It is possible to prevent damage or breakage due to vibration and vibration.

넷째, 본 발명에 따른 기판이송장치(1)는 상기 제1승강축부재(711) 및 상기 제2승강축부재(712)를 상기 지지부(3)의 대각선 상에 위치하도록 배치함으로써, 상기 핸드부(4)를 전진방향(FD), 후진방향(BD), 제1돌출방향(D1) 및 제1후퇴방향(D2)으로 이동시키는데 있어서 상기 제1승강축부재(711) 및 상기 제2승강축부재(712)가 간섭되는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판이송장치(1)는 충돌로 인해 기판(S)이 손상 내지 파손되는 것을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 기판(S)을 이송하는데 걸리는 이송시간을 단축시킬 수 있다.Fourthly, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention is configured such that the first elevation shaft member 711 and the second elevation shaft member 712 are disposed on the diagonal line of the support portion 3, The first elevating shaft member 711 and the second elevating shaft member 711 are moved in the advancing direction FD, the backward direction BD, the first projecting direction D1 and the first retracting direction D2, It is possible to prevent the member 712 from being interfered. Accordingly, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention can prevent the substrate S from being damaged or broken due to the collision, and shorten the transfer time for transferring the substrate S.

도 7을 참고하면, 상기 제1승강링크구동부(733)는 상기 제2승강링크부재(732)의 타측이 상기 이동경로(R1)로부터 돌출되도록 상기 제1승강링크부재(731)를 회전시킬 수 있다. 예컨대, 상기 제2승강링크부재(732)를 회전시키지 않고 상기 제1승강링크구동부(733)가 상기 제1승강링크부재(731)를 반시계방향으로 회전시키면, 상기 제2승강링크부재(732)의 타측은 상기 제1돌출방향(D1)으로 이동됨으로써 상기 이동경로(R1)로부터 이격된 이격위치에 위치될 수 있다. 이 경우, 상기 이격위치는 상기 승강경로(E1)로부터 이격된 위치일 수도 있다. 이에 따라, 상기 제2승강링크부재(732)의 타측에 결합되는 선회부(6)는 상기 이격위치에 위치될 수 있다. 상기 선회부(6)가 이격위치에 위치됨에 따라 상기 선회부(6)에 결합되는 암부(5) 및 상기 핸드부(4)도 이격위치에 위치될 수 있다. 이 상태에서 상기 선회부(6)는 상기 암부(5)를 회전시키고 상기 암부(5)는 전진방향(FD) 또는 후진방향(BD)으로 신장되거나 수축됨으로써, 이격위치에 설치된 공정챔버 또는 카세트로 기판(S)을 이송하여 안착시키거나 이격위치에 설치된 공정챔버 또는 카세트로부터 기판(S)을 로딩하여 다른 위치로 이송할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판이송장치(1)는 이동경로(R1) 상에 위치된 공정챔버 또는 카세트에 위치된 기판(S)을 이송할 수 있을 뿐만 아니라, 이동경로(R1)가 아닌 이격위치에 설치된 공정챔버 또는 카세트에 상기 핸드부(4)를 용이하게 정렬(Align)시킬 수 있으므로 이격위치에 설치된 공정챔버 또는 카세트로부터 기판(S)을 로딩하여 다른 위치로 이송하거나 이격위치에 설치된 공정챔버 또는 카세트에 기판(S)을 안착시키기 위해 기판(S)을 이송할 수 있다.7, the first lift link drive unit 733 may rotate the first lift link member 731 such that the other side of the second lift link member 732 protrudes from the movement route R1 have. For example, when the first lift linkage drive unit 733 rotates the first lift link member 731 in the counterclockwise direction without rotating the second lift link member 732, the second lift link member 732 May be located at a spaced apart position from the movement path R1 by moving in the first projecting direction D1. In this case, the spacing position may be a position spaced apart from the elevating path E1. Accordingly, the swivel portion 6 coupled to the other side of the second lift link member 732 may be located at the separated position. The arm portion 5 and the hand portion 4 that are coupled to the swivel portion 6 may be positioned at a spaced position as the swivel portion 6 is located at the separated position. In this state, the swivel part 6 rotates the arm part 5 and the arm part 5 is elongated or contracted in the forward direction FD or the backward direction BD, The substrate S can be transported and settled, or the substrate S can be loaded from a process chamber or a cassette installed at a spaced position and transferred to another position. Therefore, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention can not only transfer the substrate S placed in the process chamber or the cassette located on the movement path R1, The hand unit 4 can be easily aligned with the process chamber or the cassette provided in the process chamber or cassette. Therefore, the substrate S is loaded from the process chamber or the cassette installed at the separated position and transferred to another position, Or to transfer the substrate S to seat the substrate S in a cassette.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Will be clear to those who have knowledge of.

1 : 기판이송장치
2 : 주행부 3 : 지지부
4 : 핸드부 5 : 암부
6 : 선회부 7 : 승강부
41 : 포크 51 : 제1암기구
52 : 제2암기구 71 : 승강축
72 : 승강게이트 73 : 승강링크
711 : 제1승강축부재 712 : 제2승강축부재
731 : 제1승강링크부재 732 : 제2승강링크부재
733 : 제1승강링크구동부 734 : 제2승강링크구동부1: substrate transfer device
2: running part 3: supporting part
4: hand part 5: dark part
6: turning part 7:
41: fork 51: first arm mechanism
52: second arm mechanism 71:
72: lift gate 73: lift link
711: first lift shaft member 712: second lift shaft member
731: first lift link member 732: second lift link member
733: first lift link drive part 734: second lift link drive part

Claims (4)

기판을 지지하기 위한 포크를 포함하는 핸드부;
상기 핸드부에 결합되고, 상기 핸드부를 이동시키기 위한 암부;
상기 암부를 회전시키기 위한 선회부;
상기 선회부를 승강시키기 위한 승강부;
상기 승강부를 지지하기 위한 지지부; 및
바닥에 설치되고 상기 지지부를 이동시키기 위한 주행부를 포함하고,
상기 승강부는,
상기 지지부에 대해 수직한 수직방향으로 결합되는 한쌍의 승강축;
상기 승강축에 이동 가능하게 결합되는 승강게이트; 및
상기 승강게이트와 상기 선회부에 각각 결합되고, 접히거나 펼쳐져서 상기 선회부를 상기 승강게이트로부터 승강시키는 승강링크를 포함하는 기판이송장치.A hand portion including a fork for supporting a substrate;
An arm portion coupled to the hand portion and configured to move the hand portion;
A swivel portion for rotating the arm portion;
An elevating portion for elevating and lowering the turning portion;
A supporting portion for supporting the elevating portion; And
And a traveling part installed on the floor and for moving the supporting part,
The elevating unit includes:
A pair of lifting shafts coupled in a vertical direction perpendicular to the support portion;
A lifting gate movably coupled to the lifting shaft; And
And a lift link coupled to the lift gate and the pivot portion and folded or unfolded to lift the pivot portion from the lift gate. 제1항에 있어서,
상기 승강링크는 상기 승강게이트에 일측이 회전 가능하게 결합되는 제1승강링크부재, 및 상기 제1승강링크부재의 타측에 회전 가능하게 결합되는 제2승강링크부재를 포함하고,
상기 제1승강링크부재는 상기 제1승강링크부재와 상기 제2승강링크부재가 접히거나 펼쳐지는 승강경로가 상기 지지부가 이동하는 이동경로와 수직이 되도록 상기 승강게이트에 결합되는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.The method according to claim 1,
Wherein the lift link includes a first lift link member having one side rotatably coupled to the lift gate and a second lift link member rotatably coupled to the other side of the first lift link member,
Wherein the first elevating link member is coupled to the elevating gate such that the elevating path along which the first elevating link member and the second elevating link member are folded or unfolded is perpendicular to a moving path through which the supporting section moves. Conveying device. 제1항에 있어서,
상기 승강축은 상기 지지부의 일측에 결합되는 제1승강축부재, 및 상기 지지부의 타측에 결합되는 제2승강축부재를 포함하고,
상기 지지부는 사각판형으로 형성되며,
상기 제1승강축부재 및 상기 제2승강축부재는 상기 지지부의 대각선에 위치하는 꼭지점에 각각 위치하도록 상기 지지부에 결합되는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.The method according to claim 1,
Wherein the elevating shaft includes a first elevating shaft member coupled to one side of the supporting portion and a second elevating shaft member coupled to the other side of the supporting portion,
The support portion is formed in a rectangular plate shape,
Wherein the first elevation shaft member and the second elevation shaft member are coupled to the support unit so as to be located at apexes of the support unit, respectively. 제2항에 있어서,
상기 승강링크는 상기 제1승강링크부재의 일측에 결합되고 상기 제1승강링크부재를 회전시키기 위한 제1승강링크구동부, 및 상기 제2승강링크부재의 일측에 결합되고 상기 제2승강링크부재를 회전시키기 위한 제2승강링크구동부를 포함하고,
상기 제1승강링크구동부는 상기 제2승강링크부재의 타측이 상기 이동경로로부터 돌출되도록 상기 제1승강링크부재를 회전시키는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.3. The method of claim 2,
Wherein the lifting link includes a first lifting link driving part coupled to one side of the first lifting link member and rotating the first lifting link member and a second lifting link driving part coupled to one side of the second lifting link member, And a second lift link driver for rotating the second lift link,
Wherein the first lift link drive unit rotates the first lift link member such that the other side of the second lift link member protrudes from the movement path.
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