KR102340633B1 - Apparatus for Transferring Substrate - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판을 지지하기 위한 포크를 포함하는 핸드부, 상기 핸드부의 일측에 결합되고, 상기 핸드부의 일측을 이동시키기 위한 제1암유닛, 상기 핸드부의 타측에 결합되고, 상기 핸드부의 타측을 이동시키기 위한 제2암유닛, 및 상기 제1암유닛과 상기 제2암유닛이 회전 가능하게 결합되는 암베이스를 포함하고, 상기 암베이스는 상기 핸드부가 고하중을 가진 기판을 지지하도록 상기 제1암유닛과 상기 제2암유닛을 지지하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치에 관한 것이다.The present invention provides a hand unit including a fork for supporting a substrate, coupled to one side of the hand unit, a first arm unit for moving one side of the hand unit, coupled to the other side of the hand unit, and moving the other side of the hand unit a second arm unit for moving the device, and an arm base to which the first arm unit and the second arm unit are rotatably coupled, wherein the arm base includes the first arm so that the hand part supports a substrate having a high load. It relates to a substrate transport apparatus, characterized in that it supports the unit and the second arm unit.

Description

기판이송장치{Apparatus for Transferring Substrate}Substrate transfer device {Apparatus for Transferring Substrate}

본 발명은 전자부품을 제조하는 과정에서 기판을 이송하기 위한 기판이송장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate transfer device for transferring a substrate in the process of manufacturing an electronic component.

디스플레이 장치, 태양전지, 반도체 소자 등(이하, '전자부품'이라 함)은 여러 가지 공정을 거쳐 제조된다. 이러한 제조 공정은 상기 전자부품을 제조하기 위한 기판(Substrate)을 이용하여 이루어진다. 예컨대, 상기 제조 공정은 기판 상에 도전체, 반도체, 유전체 등의 박막을 증착하기 위한 증착공정, 증착된 박막을 소정 패턴으로 형성하기 위한 식각공정 등을 포함할 수 있다. 이러한 제조 공정들은 해당 공정을 수행하는 공정챔버에서 이루어진다. 기판이송장치는 상기 공정챔버들 간에 기판을 이송하기 위한 것이다.Display devices, solar cells, semiconductor devices, etc. (hereinafter referred to as 'electronic components') are manufactured through various processes. Such a manufacturing process is performed using a substrate for manufacturing the electronic component. For example, the manufacturing process may include a deposition process for depositing a thin film such as a conductor, a semiconductor, or a dielectric on a substrate, an etching process for forming the deposited thin film in a predetermined pattern, and the like. These manufacturing processes are performed in a process chamber that performs the corresponding process. The substrate transfer apparatus is for transferring the substrate between the process chambers.

종래 기술에 따른 기판이송장치는 오픈 링크(Open Link) 구조를 사용한다. 상기 오픈 링크(Open Link) 구조는 기판을 지지하는 포크를 포함하는 핸드, 상기 핸드에 결합되고 다관절로 이루어져 상기 핸드를 이동시키는 암부, 상기 암부를 지지하는 암베이스가 각각 1개씩 구성된다. 이에 따라, 종래 기술에 따른 기판이송장치는 13㎏ 정도의 하중을 가진 기판을 이송하는데 큰 무리가 없었다.The substrate transfer apparatus according to the prior art uses an open link structure. The open link structure includes a hand including a fork for supporting a substrate, an arm coupled to the hand and formed of multiple joints to move the hand, and one arm base supporting the arm. Accordingly, the substrate transfer apparatus according to the prior art did not have a great deal of difficulty in transferring the substrate having a load of about 13 kg.

그러나, 최근에는 공법의 변화에 따라 기판이송장치가 이송해야 하는 기판의 하중이 약 130㎏ 정도로 급증하고 있다. 이에 따라, 종래 기술에 따른 기판이송장치는 다음과 같은 문제가 있다.However, in recent years, the load of the substrate to be transferred by the substrate transfer device is rapidly increasing to about 130 kg according to the change of the construction method. Accordingly, the substrate transfer apparatus according to the prior art has the following problems.

첫째, 종래 기술에 따른 기판이송장치는 오픈 링크(Open Link) 구조로 구성되어 있으므로, 고하중을 가진 기판을 이송할 경우 상기 핸드부의 처짐이 크게 발생한다. 이에 따라, 종래 기술에 따른 기판이송장치는 기판을 공정챔버나 카세트에 삽입시키기 어려우므로, 기판을 삽입시키는 시간이 오래 걸리는 문제가 있다.First, since the substrate transfer apparatus according to the prior art has an open link structure, when a substrate having a high load is transferred, the hand portion sags significantly. Accordingly, since it is difficult to insert the substrate into the process chamber or the cassette in the substrate transfer apparatus according to the prior art, there is a problem that it takes a long time to insert the substrate.

둘째, 종래 기술에 따른 기판이송장치는 고하중을 가진 기판을 이송할 경우 고속 동작시 진동과 흔들림이 크게 발생하므로, 기판이 손상 내지 파손되는 문제가 있다. 이에 따라, 종래 기술에 따른 기판이송장치는 기판에 대한 불량률이 증가하는 문제가 있다.Second, the substrate transfer apparatus according to the prior art has a problem in that the substrate is damaged or damaged because vibration and shaking occur greatly during high-speed operation when transferring a substrate having a high load. Accordingly, the substrate transfer apparatus according to the prior art has a problem in that the defect rate with respect to the substrate increases.

본 발명은 상술한 바와 같은 문제를 해결하고자 안출된 것으로, 고하중을 가진 기판을 안전하게 이송할 수 있는 기판이송장치를 제공하기 위한 것이다.The present invention has been devised to solve the above-described problems, and to provide a substrate transfer apparatus capable of safely transferring a substrate having a high load.

상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 하기와 같은 구성을 포함할 수 있다.In order to solve the problems as described above, the present invention may include the following configuration.

본 발명에 따른 기판이송장치는 기판을 지지하기 위한 포크를 포함하는 핸드부; 상기 핸드부의 일측에 결합되고 상기 핸드부의 일측을 이동시키기 위한 제1암유닛; 상기 핸드부의 타측에 결합되고 상기 핸드부의 타측을 이동시키기 위한 제2암유닛; 및 상기 제1암유닛과 상기 제2암유닛이 회전 가능하게 결합되는 암베이스를 포함할 수 있다. 상기 암베이스는 상기 핸드부가 고하중을 가진 기판을 지지하도록 상기 제1암유닛과 상기 제2암유닛을 지지할 수 있다.A substrate transfer apparatus according to the present invention includes a hand unit including a fork for supporting a substrate; a first arm unit coupled to one side of the hand unit and configured to move one side of the hand unit; a second arm unit coupled to the other side of the hand unit and configured to move the other side of the hand unit; and an arm base to which the first arm unit and the second arm unit are rotatably coupled. The arm base may support the first arm unit and the second arm unit so that the hand part supports a substrate having a high load.

본 발명에 따른 기판이송장치에 있어서, 상기 핸드부, 상기 제1암유닛, 상기 제2암유닛 및 상기 암베이스는 폐쇄된(Closed) 링크 구조로 형성될 수 있다.In the substrate transfer apparatus according to the present invention, the hand unit, the first arm unit, the second arm unit, and the arm base may be formed in a closed link structure.

본 발명에 따른 기판이송장치는 상기 제1암유닛을 회전시키기 위한 제1구동부, 상기 제2암유닛을 회전시키기 위한 제2구동부, 및 상기 제1구동부와 상기 제2구동부를 제어하는 제어부를 포함할 수 있다. 상기 제어부는 상기 제1구동부와 상기 제2구동부가 상기 제1암유닛과 상기 제2암유닛을 각각 독립적으로 회전시키도록 상기 제1구동부와 상기 제2구동부를 각각 제어할 수 있다.A substrate transfer apparatus according to the present invention includes a first driving unit for rotating the first arm unit, a second driving unit for rotating the second arm unit, and a control unit for controlling the first driving unit and the second driving unit. can do. The controller may control the first driving unit and the second driving unit, respectively, so that the first driving unit and the second driving unit rotate the first arm unit and the second arm unit independently, respectively.

본 발명에 따른 기판이송장치에 있어서, 상기 제어부는 상기 암베이스가 이동하는 이동경로 상에서 상기 핸드부가 직선운동하도록 상기 제1암유닛을 회전시키는 제1회전속도와 상기 제2암유닛을 회전시키는 제2회전속도가 동일하게 상기 제1구동부 및 상기 제2구동부를 제어할 수 있다.In the substrate transfer apparatus according to the present invention, the control unit includes a first rotational speed for rotating the first arm unit and a first rotational speed for rotating the second arm unit so that the hand part moves linearly on a movement path of the arm base. The first driving unit and the second driving unit may be controlled at the same two rotational speeds.

본 발명에 따른 기판이송장치에 있어서, 상기 제어부는 상기 암베이스가 이동하는 이동경로와 불일치한 이격위치 상에서 상기 핸드부가 직선운동하도록 상기 제1암유닛을 회전시키는 제1회전속도와 상기 제2암유닛을 회전시키는 제2회전속도가 상이하게 상기 제1구동부 및 상기 제2구동부를 제어할 수 있다.In the substrate transport apparatus according to the present invention, the control unit includes a first rotational speed for rotating the first arm unit and the second arm so that the hand unit moves linearly on a spaced position that does not match the movement path of the arm base. The first driving unit and the second driving unit may be controlled with different second rotational speeds for rotating the unit.

본 발명에 따른 기판이송장치에 있어서, 상기 제어부는 상기 핸드부가 직선운동 및 곡선운동 중 적어도 하나로 운동하도록 상기 제1암유닛을 회전시키는 제1회전속도와 상기 제2암유닛을 회전시키는 제2회전속도가 동일하거나 상이하게 상기 제1구동부 및 상기 제2구동부를 제어할 수 있다.In the substrate transfer apparatus according to the present invention, the control unit includes a first rotational speed for rotating the first arm unit and a second rotational speed for rotating the second arm unit so that the hand part moves in at least one of a linear motion and a curved motion. The first driving unit and the second driving unit may be controlled at the same or different speeds.

본 발명에 따른 기판이송장치는 상기 제1암유닛을 회전시키기 위한 제1구동부, 및 상기 제2암유닛을 회전시키기 위한 제2구동부를 포함할 수 있다. 상기 제1구동부와 상기 제2구동부는 상기 핸드부가 처지는 것을 방지하도록 상기 암베이스에 설치될 수 있다.The substrate transfer apparatus according to the present invention may include a first driving part for rotating the first arm unit, and a second driving part for rotating the second arm unit. The first driving part and the second driving part may be installed on the arm base to prevent the hand part from sagging.

본 발명에 따른 기판이송장치에 있어서, 상기 제1암유닛은 상기 암베이스에 회전 가능하게 결합되는 제1암기구, 및 일측이 상기 제1암기구에 회전 가능하게 결합되고 타측이 상기 핸드부에 회전 가능하게 결합되는 제1서브암기구를 포함할 수 있다.In the substrate transfer apparatus according to the present invention, the first arm unit includes a first arm mechanism rotatably coupled to the arm base, and one side is rotatably coupled to the first arm mechanism and the other side is rotatably coupled to the hand unit. It may include a first sub-arm mechanism that is rotatably coupled.

본 발명에 따른 기판이송장치에 있어서, 상기 제2암유닛은 상기 암베이스에 회전 가능하게 결합되는 제2암기구, 및 일측이 상기 제2암기구에 회전 가능하게 결합되고 타측이 상기 핸드부에 회전 가능하게 결합되는 제2서브암기구를 포함할 수 있다.In the substrate transfer apparatus according to the present invention, the second arm unit includes a second arm mechanism rotatably coupled to the arm base, and one side is rotatably coupled to the second arm mechanism and the other side is rotatably coupled to the hand unit. It may include a second sub-arm mechanism that is rotatably coupled.

본 발명에 따르면, 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.According to the present invention, the following effects can be obtained.

본 발명은 고하중을 가진 기판을 안전하게 이송하도록 구현됨으로써, 기판의 불량률을 감소시킬 수 있을 뿐만 아니라 기판 제조에 걸리는 시간이 지연되는 것을 방지하여 기판 수율을 향상시킬 수 있다.Since the present invention is implemented to safely transport a substrate having a high load, it is possible to not only reduce the defect rate of the substrate, but also prevent a delay in manufacturing the substrate, thereby improving the substrate yield.

도 1은 본 발명에 따른 기판이송장치의 개략적인 사시도
도 2는 본 발명에 따른 기판이송장치를 설명하기 위한 개략적인 도면
도 3은 본 발명에 따른 기판이송장치가 이동경로 상에서 핸드부를 이동시키는 것을 설명하기 위한 개략적인 작동상태도
도 4 및 도 5는 본 발명에 따른 기판이송장치가 이격위치 상에서 핸드부를 이동시키는 것을 설명하기 위한 개략적인 평면도
도 6은 본 발명에 따른 기판이송장치가 핸드부를 다양한 이동경로로 이동시키는 것을 설명하기 위한 개략적인 평면도1 is a schematic perspective view of a substrate transfer apparatus according to the present invention;
2 is a schematic view for explaining a substrate transfer apparatus according to the present invention;
3 is a schematic operation state diagram for explaining that the substrate transfer apparatus according to the present invention moves the hand part on the movement path
4 and 5 are schematic plan views for explaining that the substrate transfer apparatus according to the present invention moves the hand part on the spaced position.
6 is a schematic plan view for explaining that the substrate transfer apparatus according to the present invention moves the hand unit in various moving paths;

본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. In the present specification, it should be noted that, in adding reference numbers to the components of each drawing, the same numbers are provided to the same components as possible even though they are indicated on different drawings.

한편, 본 명세서에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다. On the other hand, the meaning of the terms described in this specification should be understood as follows.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 정의하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "제1", "제2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다.The singular expression is to be understood as including the plural expression unless the context clearly defines otherwise, and the terms "first", "second", etc. are used to distinguish one element from another, The scope of rights should not be limited by these terms.

"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.It should be understood that terms such as “comprise” or “have” do not preclude the possibility of addition or existence of one or more other features or numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

"적어도 하나"의 용어는 하나 이상의 관련 항목으로부터 제시 가능한 모든 조합을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, "제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 적어도 하나"의 의미는 제1항목, 제2항목 또는 제3항목 각각 뿐만 아니라 제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 2개 이상으로부터 제시될 수 있는 모든 항목의 조합을 의미한다.The term “at least one” should be understood to include all possible combinations from one or more related items. For example, the meaning of "at least one of the first, second, and third items" means 2 of the first, second, and third items as well as each of the first, second, or third items. It means a combination of all items that can be presented from more than one.

이하에서는 본 발명에 따른 기판이송장치에 관해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.Hereinafter, a substrate transfer apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 기판이송장치의 개략적인 사시도, 도 2는 본 발명에 따른 기판이송장치를 설명하기 위한 개략적인 도면, 도 3은 본 발명에 따른 기판이송장치가 이동경로 상에서 핸드부를 이동시키는 것을 설명하기 위한 개략적인 작동상태도, 도 4 및 도 5는 본 발명에 따른 기판이송장치가 이격위치 상에서 핸드부를 이동시키는 것을 설명하기 위한 개략적인 평면도, 도 6은 본 발명에 따른 기판이송장치가 핸드부를 다양한 이동경로로 이동시키는 것을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.Figure 1 is a schematic perspective view of a substrate transfer apparatus according to the present invention, Figure 2 is a schematic view for explaining the substrate transfer apparatus according to the present invention, Figure 3 is a substrate transfer apparatus according to the present invention moves the hand part on the movement path 4 and 5 are schematic plan views for explaining that the substrate transfer device according to the present invention moves the hand part on a spaced position It is a schematic plan view for explaining how to move the hand part in various moving paths.

도 1 내지 도 6을 참고하면, 본 발명에 따른 기판이송장치(1)는 저하중을 가진 기판(S) 뿐만 아니라 고하중을 가진 기판(S)을 안전하게 지지하여 이송하기 위한 것이다. 예컨대, 상기 고하중을 가진 기판(S)은 100㎏ 이상의 마스크(Mask)일 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 기판이송장치(1)는 직선운동 및 곡선운동을 통해 다양한 경로로 상기 고하중을 가진 기판(S)을 이송할 수 있다.1 to 6 , the substrate transport apparatus 1 according to the present invention is for safely supporting and transporting a substrate S having a high load as well as a substrate S having a low load. For example, the substrate S having the high load may be a mask of 100 kg or more. In addition, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention can transfer the substrate S having the high load in various paths through linear and curved movements.

이를 위해, 본 발명에 따른 기판이송장치(1)는 크게 핸드부(2), 제1암유닛(3), 제2암유닛(4) 및 암베이스(5)를 포함한다.To this end, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention largely includes a hand part 2 , a first arm unit 3 , a second arm unit 4 , and an arm base 5 .

본 발명에 따른 기판이송장치(1)는 바닥에 설치되는 레일부(100)에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 예컨대, 상기 레일부(100)는 X축 방향으로 설치될 수 있다. 상기 레일부(100)는 기판(S)에 대한 공정이 이루어지는 공정챔버와 공정챔버 사이, 기판(S)을 적재하는 카세트와 카세트 사이, 공정챔버와 카세트 사이 등 기판(S)을 이송하기 위한 이동경로에 설치될 수 있다. 주행부(200)는 상기 레일부(100) 상에서 상기 기판이송장치(1)를 이동시키기 위한 구동력을 발생시킨다. 이에 따라, 상기 기판이송장치(1)는 상기 레일부(100) 상에서 이동경로(R1, 도 3에 도시됨)를 따라 이동할 수 있다. 예컨대, 상기 기판이송장치(1)는 이동경로(R1) 상에서 전진방향(FD, 도 1에 도시됨) 또는 후진방향(BD, 도 1에 도시됨)으로 이동할 수 있다. 상기 주행부(200)에는 상기 레일부(100)가 평기어 형태의 랙기어로 구성될 경우, 피니언기어를 포함하는 모터가 설치될 수 있다. 상기 주행부(200)는 엘엠가이드레일(Lm Guide Rail)을 따라 이동하는 엘엠블록(Lm Block)을 포함할 수도 있다. 상기 주행부(200)에 의해 기판이송장치(1)가 이동경로(R1)를 따라 이동함으로써, 상기 암베이스(5)도 이동경로(R1)를 따라 이동할 수 있다. 상기 주행부(200)에는 상기 암베이스(5)를 승강시키기 위한 승강부(300)가 결합될 수 있다. 상기 승강부(300)에는 상기 암베이스(5)가 결합될 수 있다. 상기 승강부(300)는 복수개의 프레임이 링크형 구조로 결합되고, 구동모터에 의해 상하 방향(Z축 방향)으로 펼쳐지거나 접혀짐으로써 상기 암베이스(5)를 승강시킬 수 있다. 상기 승강부(300)와 상기 암베이스(5) 사이에는 상기 암베이스(5)를 회전시키기 위한 선회부(400)가 결합될 수 있다. 상기 선회부(400)는 상기 암베이스(5)를 회전시킬 수 있으면 상기 승강부(300)와 상기 주행부(200) 사이 등 다른 위치에 설치될 수도 있다.The substrate transfer apparatus 1 according to the present invention may be movably coupled to the rail unit 100 installed on the floor. For example, the rail unit 100 may be installed in the X-axis direction. The rail unit 100 is a movement for transferring the substrate S, such as between the process chamber and the process chamber in which the process for the substrate S is performed, between the cassette and the cassette for loading the substrate S, and between the process chamber and the cassette It can be installed in the path. The traveling unit 200 generates a driving force for moving the substrate transfer device 1 on the rail unit 100 . Accordingly, the substrate transfer apparatus 1 may move along a movement path R1 (shown in FIG. 3 ) on the rail unit 100 . For example, the substrate transfer apparatus 1 may move in a forward direction (FD, illustrated in FIG. 1 ) or a backward direction (BD, illustrated in FIG. 1 ) on the movement path R1 . When the rail unit 100 is configured as a rack gear in the form of a spur gear, a motor including a pinion gear may be installed in the traveling unit 200 . The driving unit 200 may include an Lm block that moves along an Lm guide rail. As the substrate transfer apparatus 1 moves along the movement path R1 by the traveling unit 200 , the arm base 5 may also move along the movement path R1 . An elevating unit 300 for elevating the arm base 5 may be coupled to the traveling unit 200 . The arm base 5 may be coupled to the lifting unit 300 . The lifting unit 300 may raise and lower the arm base 5 by being coupled to a plurality of frames in a link-type structure and being expanded or folded in the vertical direction (Z-axis direction) by a driving motor. A pivot 400 for rotating the arm base 5 may be coupled between the lifting unit 300 and the arm base 5 . The turning unit 400 may be installed at another location, such as between the lifting unit 300 and the traveling unit 200 , as long as the arm base 5 can be rotated.

이하에서는, 상기 핸드부(2), 상기 제1암유닛(3), 상기 제2암유닛(4) 및 상기 암베이스(5)에 관해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다. 상기 핸드부(2), 상기 제1암유닛(3), 상기 제2암유닛(4) 및 상기 암베이스(5)는 서로 연결되도록 설치됨으로써, 폐쇄된(Closed) 링크 구조를 형성할 수 있다.Hereinafter, the hand part 2, the first arm unit 3, the second arm unit 4, and the arm base 5 will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The hand part 2, the first arm unit 3, the second arm unit 4, and the arm base 5 are installed to be connected to each other, thereby forming a closed link structure. .

도 1 내지 도 6을 참고하면, 상기 핸드부(2)에는 기판(S)을 지지하기 위한 포크(21)가 결합될 수 있다. 상기 포크(21)는 직방체의 막대형태로 형성되어 상기 핸드부(2)에 1개 이상 결합될 수 있다. 상기 포크(21)가 복수개일 경우, 상기 포크(21)는 상기 핸드부(2)에 서로 이격되게 배치될 수 있다. 상기 기판(S)은 상기 포크(21)의 상측에 위치될 수 있다. 이에 따라, 상기 핸드부(2)는 상기 기판(S)을 지지할 수 있다. 상기 포크(21)에는 흡착공(미도시)이 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 포크(21)는 기판(S)을 흡착하여 지지할 수 있다. 상기 흡착공이 기판(S)을 흡착함으로써, 상기 포크(21)는 이송 간에 기판(S)이 떨어지는 것을 방지할 수 있다. 상기 흡착공은 상기 포크(21)에 복수개 형성될 수도 있다.1 to 6 , a fork 21 for supporting the substrate S may be coupled to the hand part 2 . One or more forks 21 may be formed in a rectangular bar shape and coupled to the hand part 2 . When there are a plurality of forks 21 , the forks 21 may be disposed on the hand part 2 to be spaced apart from each other. The substrate S may be positioned above the fork 21 . Accordingly, the hand part 2 may support the substrate S. A suction hole (not shown) may be formed in the fork 21 . Accordingly, the fork 21 may adsorb and support the substrate S. As the suction hole adsorbs the substrate S, the fork 21 may prevent the substrate S from falling between transfers. A plurality of suction holes may be formed in the fork 21 .

상기 핸드부(2)는 상기 제1암유닛(3)과 상기 제2암유닛(4)에 결합될 수 있다. 예컨대, 상기 핸드부(2)의 일측에는 상기 제1암유닛(3)이 결합되고, 상기 핸드부(2)의 타측에는 상기 제2암유닛(4)이 결합될 수 있다. 상기 제1암유닛(3)과 상기 제2암유닛(4)은 상기 핸드부(2)에 Y축 방향으로 서로 이격되게 위치하도록 결합될 수 있다. 상기 제1암유닛(3)과 상기 제2암유닛(4)은 상기 핸드부(2)를 기준으로 상기 포크(21)가 결합된 위치와 반대되는 위치에 위치하도록 상기 핸드부(2)에 결합될 수 있다. 상기 제1암유닛(3)과 상기 제2암유닛(4)은 상기 핸드부(2)에 각각 회전 가능하도록 결합될 수 있다. 상기 핸드부(2)는 상기 제1암유닛(3)과 상기 제2암유닛(4)에 의해 기판(S)을 이송하는 방향이 달라질 수 있다. 또한, 상기 핸드부(2)는 상기 제1암유닛(3)과 상기 제2암유닛(4)에 의해 직선운동 및 곡선운동 중 적어도 하나로 운동할 수 있다. 이에 따라, 상기 핸드부(2)에 지지되는 기판(S)도 상기 핸드부(2)의 이송방향과 운동형태에 따라 이송방향 및 운동형태가 달라질 수 있다.The hand part 2 may be coupled to the first arm unit 3 and the second arm unit 4 . For example, the first arm unit 3 may be coupled to one side of the hand unit 2 , and the second arm unit 4 may be coupled to the other side of the hand unit 2 . The first arm unit 3 and the second arm unit 4 may be coupled to the hand part 2 to be spaced apart from each other in the Y-axis direction. The first arm unit 3 and the second arm unit 4 are attached to the hand part 2 so as to be positioned opposite to the position where the fork 21 is coupled with respect to the hand part 2 . can be combined. The first arm unit 3 and the second arm unit 4 may be rotatably coupled to the hand part 2 , respectively. The hand part 2 may have different directions for transferring the substrate S by the first arm unit 3 and the second arm unit 4 . In addition, the hand part 2 can be moved by at least one of a linear motion and a curved motion by the first arm unit 3 and the second arm unit 4 . Accordingly, the transfer direction and movement form of the substrate S supported by the hand part 2 may also vary according to the transfer direction and movement form of the hand part 2 .

상기 제1암유닛(3)은 Y축 방향을 기준으로 상기 핸드부(2)의 일측을 이동시키기 위한 것이다. 예컨대, 상기 제1암유닛(3)은 상기 핸드부(2)의 일측을 전진방향(FD) 또는 후진방향(BD)으로 이동시킬 수 있다. 상기 제1암유닛(3)은 이동경로(R1) 상에서 상기 핸드부(2)의 일측을 이동시킬 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 이동경로(R1)와 일치하지 않는 이격위치(R2, 도 4에 도시됨) 상에서 상기 핸드부(2)의 일측을 이동시킬 수도 있다. 상기 제1암유닛(3)은 제1암기구(31) 및 제1서브암기구(32)를 포함할 수 있다.The first arm unit 3 is for moving one side of the hand part 2 based on the Y-axis direction. For example, the first arm unit 3 may move one side of the hand part 2 in the forward direction FD or the backward direction BD. The first arm unit 3 may move one side of the hand part 2 on the movement path R1, but is not limited thereto, and a spaced position R2 that does not coincide with the movement path R1 (R2, FIG. 4) It is also possible to move one side of the hand part 2 on the (shown in ). The first arm unit 3 may include a first arm mechanism 31 and a first sub-arm mechanism 32 .

상기 제1암기구(31)는 일측이 상기 암베이스(5)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 상기 제1암기구(31)의 타측에는 상기 제1서브암기구(32)가 회전 가능하게 결합될 수 있다. 상기 제1암기구(31)는 후술할 제1구동부에 의해 회전할 수 있다. 상기 제1암기구(31)는 상기 제1구동부가 제공하는 구동력의 크기에 따라 제1회전속도(V1, 도 3에 도시됨)로 회전할 수 있다. 상기 제1암기구(31)는 직방체의 막대형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 암베이스(5)에 결합되어 상기 제1서브암기구(32)를 지지할 수 있으면 다른 형태로 형성될 수도 있다. 상기 제1암기구(31)는 일측이 시계방향으로 회전되면, 타측이 전진방향(FD)으로 이동될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1서브암기구(32)도 전진방향(FD)으로 이동될 수 있다. 상기 제1암기구(31)는 일측이 반시계방향으로 회전되면, 타측이 후진방향(BD)으로 이동될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1서브암기구(32)도 후진방향(BD)으로 이동될 수 있다. 상기 제1암기구(31)는 상기 핸드부(2)가 상기 이동경로(R1) 상에서 직선운동하도록 최초에 설치될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 핸드부(2)가 상기 이격위치(R2) 상에서 직선운동하도록 설치될 수도 있다. 상기 제1암기구(31)는 상기 최초 설치위치에서 시계방향 또는 반시계방향으로 회전함으로써, 상기 핸드부(2)가 상기 이격위치(R2) 상에 위치되도록 할 수 있다.One side of the first arm mechanism 31 may be rotatably coupled to the arm base 5 . The first sub-arm mechanism 32 may be rotatably coupled to the other side of the first arm mechanism 31 . The first arm mechanism 31 may be rotated by a first driving unit to be described later. The first arm mechanism 31 may rotate at a first rotational speed V1 (shown in FIG. 3 ) according to the magnitude of the driving force provided by the first driving unit. The first arm mechanism 31 may be formed in a rectangular bar shape, but is not limited thereto, and may be formed in a different shape as long as it is coupled to the arm base 5 to support the first sub-arm mechanism 32 . it might be When one side of the first arm mechanism 31 is rotated clockwise, the other side may be moved in the forward direction FD. Accordingly, the first sub-arm mechanism 32 may also be moved in the forward direction FD. When one side of the first arm mechanism 31 is rotated counterclockwise, the other side may be moved in the backward direction BD. Accordingly, the first sub-arm mechanism 32 may also be moved in the backward direction BD. The first arm mechanism 31 may be initially installed so that the hand part 2 moves linearly on the movement path R1, but is not limited thereto, and the hand part 2 moves to the spaced position R2. It may be installed so as to move in a straight line on the top. The first arm mechanism 31 rotates clockwise or counterclockwise from the initial installation position, so that the hand part 2 is positioned on the spaced position R2.

상기 제1서브암기구(32)는 일측이 상기 제1암기구(31)의 타측에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 상기 제1서브암기구(32)는 타측이 상기 핸드부(2)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 이 경우, 상기 제1서브암기구(32)는 Y축 방향을 기준으로 상기 핸드부(2)의 일측에 결합될 수 있다. 상기 제1서브암기구(32)는 직방체의 막대형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 제1암기구(31)에 결합되어 상기 핸드부(2)를 지지할 수 있으면 다른 형태로 형성될 수도 있다. 상기 제1서브암기구(32)는 상기 제1암기구(31)의 일측이 회전하는 방향에 따라 전진방향(FD) 또는 후진방향(BD)으로 이동할 수 있다. 상기 제1서브암기구(32)가 이동함에 따라 상기 핸드부(2)의 일측도 전진방향(FD) 또는 후진방향(BD)으로 이동할 수 있다. 상기 제1서브암기구(32)는 상기 제1암기구(31)와 반대방향으로 회전할 수 있다. 예컨대, 상기 제1암기구(31)가 일측을 기준으로 시계방향으로 회전하면, 상기 제1서브암기구(32)는 일측을 기준으로 반시계방향으로 회전할 수 있다. 이 경우, 상기 제1암유닛(3)이 신장됨에 따라 상기 핸드부(2)의 일측은 전진방향(FD)으로 이동할 수 있다. 예컨대, 상기 제1암기구(31)가 일측을 기준으로 반시계방향으로 회전하면, 상기 제1서브암기구(32)는 일측을 기준으로 시계방향으로 회전할 수 있다. 이 경우, 상기 제1암유닛(3)이 수축됨에 따라 상기 핸드부(2)의 일측은 후진방향(BD)으로 이동할 수 있다.One side of the first sub-arm mechanism 32 may be rotatably coupled to the other side of the first arm mechanism 31 . The other side of the first sub-arm mechanism 32 may be rotatably coupled to the hand part 2 . In this case, the first sub-arm mechanism 32 may be coupled to one side of the hand part 2 in the Y-axis direction. The first sub-arm mechanism 32 may be formed in a rectangular bar shape, but is not limited thereto, and may be formed in another shape if it is coupled to the first arm mechanism 31 to support the hand part 2 . it might be The first sub-arm mechanism 32 may move in a forward direction (FD) or a backward direction (BD) according to a direction in which one side of the first arm mechanism 31 rotates. As the first sub-arm mechanism 32 moves, one side of the hand part 2 may also move in the forward direction FD or the backward direction BD. The first sub-arm mechanism 32 may rotate in a direction opposite to that of the first arm mechanism 31 . For example, when the first arm mechanism 31 rotates in a clockwise direction with respect to one side, the first sub-arm mechanism 32 may rotate in a counterclockwise direction with respect to one side. In this case, as the first arm unit 3 is extended, one side of the hand part 2 may move in the forward direction FD. For example, when the first arm mechanism 31 rotates counterclockwise with respect to one side, the first sub-arm mechanism 32 may rotate clockwise with respect to one side. In this case, as the first arm unit 3 contracts, one side of the hand part 2 may move in the reverse direction BD.

상기 제2암유닛(4)은 Y축 방향을 기준으로 상기 핸드부(2)의 타측을 이동시키기 위한 것이다. 예컨대, 상기 제2암유닛(4)은 상기 핸드부(2)의 타측을 전진방향(FD) 또는 후진방향(BD)으로 이동시킬 수 있다. 상기 제2암유닛(4)은 이동경로(R1) 상에서 상기 핸드부(2)의 타측을 이동시킬 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 이동경로(R1)와 일치하지 않는 이격위치(R2) 상에서 상기 핸드부(2)의 타측을 이동시킬 수도 있다. 상기 제2암유닛(4)은 제2암기구(41) 및 제2서브암기구(42)를 포함할 수 있다.The second arm unit 4 is for moving the other side of the hand part 2 in the Y-axis direction. For example, the second arm unit 4 may move the other side of the hand part 2 in the forward direction FD or the backward direction BD. The second arm unit 4 may move the other side of the hand part 2 on the movement path R1, but is not limited thereto, and the second arm unit 4 may move the other side of the hand unit 2 on the separation position R2 that does not coincide with the movement path R1. The other side of the hand part 2 may be moved. The second arm unit 4 may include a second arm mechanism 41 and a second sub-arm mechanism 42 .

상기 제2암기구(41)는 일측이 상기 암베이스(5)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 이 경우, 상기 제2암기구(41)는 Y축 방향을 기준으로 상기 제1암기구(31)와 이격된 위치에 위치하도록 상기 암베이스(5)에 결합될 수 있다. 이에 따라, 상기 암베이스(5)가 일측 또는 타측으로 무게중심이 쏠리는 것을 방지할 수 있다. 상기 제2암기구(41)의 타측에는 상기 제2서브암기구(42)가 회전 가능하게 결합될 수 있다. 상기 제2암기구(41)는 후술할 제2구동부에 의해 회전할 수 있다. 상기 제2암기구(41)는 상기 제2구동부가 제공하는 구동력의 크기에 따라 제2회전속도(V2, 도 3에 도시됨)로 회전할 수 있다. 상기 제2암기구(41)는 직방체의 막대형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 암베이스(5)에 결합되어 상기 제2서브암기구(42)를 지지할 수 있으면 다른 형태로 형성될 수도 있다. 상기 제2암기구(41)는 상기 제1암기구(31)가 회전하는 방향과 반대되는 방향으로 회전할 수 있다. 예컨대, 상기 제1암기구(31)의 일측이 시계방향으로 회전하면, 상기 제2암기구(41)의 일측은 반시계방향으로 회전할 수 있다. 이 경우, 상기 핸드부(2)는 전진방향(FD)으로 이동할 수 있다. 예컨대, 상기 제1암기구(31)의 일측이 반시계방향으로 회전하면, 상기 제2암기구(41)의 일측은 시계방향으로 회전할 수 있다. 이 경우, 상기 핸드부(2)는 후진방향(BD)으로 이동할 수 있다.One side of the second arm mechanism 41 may be rotatably coupled to the arm base 5 . In this case, the second arm mechanism 41 may be coupled to the arm base 5 so as to be spaced apart from the first arm mechanism 31 in the Y-axis direction. Accordingly, it is possible to prevent the center of gravity of the arm base 5 from being tilted to one side or the other side. The second sub-arm mechanism 42 may be rotatably coupled to the other side of the second arm mechanism 41 . The second arm mechanism 41 may be rotated by a second driving unit to be described later. The second arm mechanism 41 may rotate at a second rotation speed V2 (shown in FIG. 3 ) according to the magnitude of the driving force provided by the second driving unit. The second arm mechanism 41 may be formed in a rectangular bar shape, but is not limited thereto, and may be formed in a different shape if it is coupled to the arm base 5 to support the second sub-arm mechanism 42 . it might be The second arm mechanism 41 may rotate in a direction opposite to the direction in which the first arm mechanism 31 rotates. For example, when one side of the first arm mechanism 31 rotates clockwise, one side of the second arm mechanism 41 may rotate counterclockwise. In this case, the hand part 2 may move in the forward direction FD. For example, when one side of the first arm mechanism 31 rotates counterclockwise, one side of the second arm mechanism 41 may rotate clockwise. In this case, the hand part 2 may move in the backward direction BD.

상기 제2암기구(41)는 일측이 시계방향으로 회전되면, 타측이 후진방향(BD)으로 이동될 수 있다. 이에 따라, 상기 제2서브암기구(42)도 후진방향(BD)으로 이동될 수 있다. 상기 제2암기구(41)는 일측이 반시계방향으로 회전되면, 타측이 전진방향(FD)으로 이동될 수 있다. 이에 따라, 상기 제2서브암기구(42)도 전진방향(FD)으로 이동될 수 있다. 상기 제2암기구(41)는 상기 핸드부(2)가 상기 이동경로(R1) 상에서 직선운동하도록 최초에 설치될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 핸드부(2)가 상기 이격위치(R2) 상에서 직선운동하도록 설치될 수도 있다. 상기 제2암기구(41)는 상기 최초 설치위치에서 시계방향 또는 반시계방향으로 회전함으로써, 상기 핸드부(2)가 상기 이격위치(R2) 상에 위치되도록 할 수 있다.When one side of the second arm mechanism 41 is rotated clockwise, the other side may be moved in the backward direction BD. Accordingly, the second sub-arm mechanism 42 may also be moved in the backward direction BD. When one side of the second arm mechanism 41 is rotated counterclockwise, the other side may be moved in the forward direction FD. Accordingly, the second sub-arm mechanism 42 may also be moved in the forward direction FD. The second arm mechanism 41 may be initially installed so that the hand part 2 moves linearly on the movement path R1, but is not limited thereto, and the hand part 2 moves to the spaced position R2. It may be installed so as to move in a straight line on the top. The second arm mechanism 41 rotates clockwise or counterclockwise from the initial installation position, so that the hand part 2 is positioned on the spaced position R2.

상기 제2서브암기구(42)는 일측이 상기 제2암기구(41)의 타측에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 상기 제2서브암기구(42)는 타측이 상기 핸드부(2)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 이 경우, 상기 제2서브암기구(42)는 Y축 방향을 기준으로 상기 핸드부(2)의 타측에 결합될 수 있다. 상기 제2서브암기구(42)는 직방체의 막대형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 제2암기구(41)에 결합되어 상기 핸드부(2)를 지지할 수 있으면 다른 형태로 형성될 수도 있다. 상기 제2서브암기구(42)는 상기 제2암기구(41)의 일측이 회전하는 방향에 따라 전진방향(FD) 또는 후진방향(BD)으로 이동할 수 있다. 상기 제2서브암기구(42)가 이동함에 따라 상기 핸드부(2)의 타측도 전진방향(FD) 또는 후진방향(BD)으로 이동할 수 있다. 상기 제2서브암기구(42)는 상기 제2암기구(41)와 반대방향으로 회전할 수 있다. 예컨대, 상기 제2암기구(41)가 일측을 기준으로 시계방향으로 회전하면, 상기 제2서브암기구(42)는 일측을 기준으로 반시계방향으로 회전할 수 있다. 이 경우, 상기 제2암유닛(4)이 수축됨에 따라 상기 핸드부(2)의 타측은 후진방향(BD)으로 이동할 수 있다. 예컨대, 상기 제2암기구(41)가 일측을 기준으로 반시계방향으로 회전하면, 상기 제2서브암기구(42)는 일측을 기준으로 시계방향으로 회전할 수 있다. 이 경우, 상기 제2암유닛(4)이 신장됨에 따라 상기 핸드부(2)의 타측은 전진방향(FD)으로 이동할 수 있다. 상기 제1회전속도(V1)와 상기 제2회전속도(V2)가 증가할수록 상기 핸드부(2)의 이동속도는 빨라질 수 있다.One side of the second sub-arm mechanism 42 may be rotatably coupled to the other side of the second arm mechanism 41 . The other side of the second sub-arm mechanism 42 may be rotatably coupled to the hand part 2 . In this case, the second sub-arm mechanism 42 may be coupled to the other side of the hand part 2 in the Y-axis direction. The second sub-arm mechanism 42 may be formed in a rectangular bar shape, but is not limited thereto, and may be formed in a different shape if it is coupled to the second arm mechanism 41 to support the hand part 2 . it might be The second sub-arm mechanism 42 may move in a forward direction (FD) or a backward direction (BD) according to a direction in which one side of the second arm mechanism 41 rotates. As the second sub-arm mechanism 42 moves, the other side of the hand part 2 may also move in the forward direction FD or the backward direction BD. The second sub-arm mechanism 42 may rotate in a direction opposite to that of the second arm mechanism 41 . For example, when the second arm mechanism 41 rotates in a clockwise direction with respect to one side, the second sub-arm mechanism 42 may rotate in a counterclockwise direction with respect to one side. In this case, as the second arm unit 4 contracts, the other side of the hand part 2 may move in the backward direction BD. For example, when the second arm mechanism 41 rotates counterclockwise with respect to one side, the second sub-arm mechanism 42 may rotate clockwise with respect to one side. In this case, as the second arm unit 4 is extended, the other side of the hand part 2 may move in the forward direction FD. As the first rotational speed V1 and the second rotational speed V2 increase, the moving speed of the hand part 2 may increase.

상기 암베이스(5)에는 상기 제1암기구(31) 및 상기 제2암기구(41)가 각각 회전 가능하게 결합될 수 있다. 이 경우, Y축 방향을 기준으로 상기 제1암기구(31)는 상기 암베이스(5)의 일측에 결합되고, 상기 제2암기구(41)는 상기 암베이스(5)의 타측에 결합될 수 있다. 상기 암베이스(5)는 직방체 형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 제1암기구(31) 및 상기 제2암기구(41)를 지지할 수 있으면 다른 형태로 형성될 수도 있다. 상기 암베이스(5)는 상기 승강부(300)에 결합될 수 있다. 이에 따라, 상기 암베이스(5)는 상기 승강부(300)에 지지되어 상기 제1암기구(31) 및 상기 제2암기구(41)를 지지할 수 있다. 상기 암베이스(5)는 상기 승강부(300)에 의해 상하 방향으로 이동될 수 있다. 상기 암베이스(5)가 승강함에 따라 상기 제1암유닛(3), 상기 제2암유닛(4) 및 상기 핸드부(2)도 함께 승강될 수 있다. 상기 암베이스(5)와 상기 승강부(300) 사이에는 상기 암베이스(5)를 회전시키기 위한 선회부(400)가 결합될 수도 있다. 상기 선회부(400)가 상기 암베이스(5)를 회전시킴으로써, 상기 제1암유닛(3), 상기 제2암유닛(4) 및 상기 핸드부(2)도 함께 회전될 수 있다. 상기 암베이스(5)는 상기 승강부(300)가 상기 주행부(2)에 의해 상기 레일부(100)를 따라 이동함으로써, 상기 레일부(100) 상에서 이동할 수 있다. 상기 레일부(100) 상에서 상기 암베이스(5)가 이동하는 경로가 이동경로(R1)일 수 있다. 이에 따라, 상기 이동경로(R1)는 상기 레일부(100)가 설치된 방향과 일치할 수 있다.The first arm mechanism 31 and the second arm mechanism 41 may be rotatably coupled to the arm base 5 , respectively. In this case, the first arm mechanism 31 is coupled to one side of the arm base 5 with respect to the Y-axis direction, and the second arm mechanism 41 is coupled to the other side of the arm base 5 . can The arm base 5 may be formed in a rectangular parallelepiped shape, but is not limited thereto, and may be formed in another shape as long as it can support the first arm mechanism 31 and the second arm mechanism 41 . The arm base 5 may be coupled to the lifting unit 300 . Accordingly, the arm base 5 may be supported by the lifting unit 300 to support the first arm mechanism 31 and the second arm mechanism 41 . The arm base 5 may be moved in the vertical direction by the lifting unit 300 . As the arm base 5 moves up and down, the first arm unit 3 , the second arm unit 4 , and the hand part 2 may also move up and down. A pivot 400 for rotating the arm base 5 may be coupled between the arm base 5 and the elevating part 300 . When the turning part 400 rotates the arm base 5 , the first arm unit 3 , the second arm unit 4 , and the hand part 2 may also be rotated. The arm base 5 may move on the rail unit 100 by moving the lifting unit 300 along the rail unit 100 by the traveling unit 2 . A path on which the arm base 5 moves on the rail part 100 may be a movement path R1 . Accordingly, the movement path R1 may coincide with the direction in which the rail unit 100 is installed.

본 발명에 따른 기판이송장치(1)는 상기 암베이스(5)가 상기 제1암기구(31) 및 상기 제2암기구(41)를 지지하고, 상기 제1암기구(31) 및 상기 제2암기구(41)가 각각 상기 제1서브암기구(32) 및 상기 제2서브암기구(42)를 지지하며, 상기 제1서브암기구(32) 및 상기 제2서브암기구(42)가 각각 상기 핸드부(2)의 일측과 타측을 지지할 수 있다. 즉, 본 발명에 따른 기판이송장치(1)는 상기 암베이스(5)가 상기 제1암유닛(3) 및 상기 제2암유닛(4)을 통해 상기 핸드부(2)를 지지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판이송장치(1)는 암부가 1개였던 종래에 비해 상기 암베이스(5)가 상기 핸드부(2)를 지지하는 지지력을 향상시킴으로써, 상기 핸드부(2)가 고하중을 가진 기판(S)을 안전하게 지지하도록 할 수 있을 뿐만 아니라 상기 핸드부(2)가 고하중을 가진 기판(S)을 지지하더라도 아래로 처지는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판이송장치(1)는 처짐으로 인해 상기 핸드부(2)로부터 기판(S)이 떨어지거나 기판(S)이 공정챔버 또는 카세트에 충돌하여 손상 내지 파손되는 것을 감소시킬 수 있다.In the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention, the arm base 5 supports the first arm mechanism 31 and the second arm mechanism 41, and the first arm mechanism 31 and the second arm mechanism 41 A two-arm mechanism (41) supports the first sub-arm mechanism (32) and the second sub-arm mechanism (42), respectively, and the first sub-arm mechanism (32) and the second sub-arm mechanism (42) may support one side and the other side of the hand part 2, respectively. That is, in the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention, the arm base 5 may support the hand part 2 through the first arm unit 3 and the second arm unit 4 . . Accordingly, in the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention, the arm base 5 improves the supporting force for supporting the hand part 2 compared to the conventional one in which the arm part is one, so that the hand part 2 is It is possible to safely support the substrate S having a high load, and to prevent the hand part 2 from sagging downward even when the hand unit 2 supports the substrate S having a high load. Therefore, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention can reduce the damage or damage caused by the substrate S falling from the hand part 2 or the substrate S collided with the process chamber or the cassette due to sagging. have.

본 발명에 따른 기판이송장치(1)에 있어서, 상기 핸드부(2), 상기 제1암유닛(3), 상기 제2암유닛(4) 및 상기 암베이스(5)는 서로 연결되게 설치됨으로써, 폐쇄된(Closed) 링크 구조를 형성할 수 있다. 이에 따라, 상기 핸드부(2)는 상기 암베이스(5)를 기준으로 상기 제1암유닛(3)과 상기 제2암유닛(4)에 의해 상기 기판(S)을 이송하는 방향이 다양하게 변할 수 있다. 예컨대, 상기 제1암유닛(3)이 신장되고 상기 제2암유닛(4)이 수축되면, 상기 핸드부(2)는 상기 이동경로(R1)의 우측방향을 향할 수 있다. 예컨대, 상기 제1암유닛(3)이 수축되고 상기 제2암유닛(4)이 신장되면, 상기 핸드부(2)는 상기 이동경로(R1)의 좌측방향을 향할 수 있다. 예컨대, 상기 제1암유닛(3)과 상기 제2암유닛(4)이 동시에 신장되면, 상기 핸드부(2)는 이동경로(R1) 상에서 전진방향(FD)으로 이동할 수 있다. 예컨대, 상기 제1암유닛(3)과 상기 제2암유닛(4)이 동시에 수축되면, 상기 핸드부(2)는 이동경로(R1) 상에서 후진방향(BD)으로 이동할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판이송장치(1)는 상기 핸드부(2), 상기 제1암유닛(3), 상기 제2암유닛(4) 및 상기 암베이스(5)가 폐쇄된 링크 구조로 형성됨으로써, 상기 핸드부(2)의 방향을 다양하게 변화시켜 상기 기판(S)을 다양한 방향으로 이동시키거나 상기 기판(S)을 다양한 방향에서 지지할 수 있다.In the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention, the hand part 2, the first arm unit 3, the second arm unit 4 and the arm base 5 are installed to be connected to each other. , it is possible to form a closed link structure. Accordingly, the hand part 2 has various directions in which the substrate S is transported by the first arm unit 3 and the second arm unit 4 with respect to the arm base 5 . can change For example, when the first arm unit 3 is extended and the second arm unit 4 is contracted, the hand part 2 may face the right direction of the movement path R1. For example, when the first arm unit 3 is contracted and the second arm unit 4 is extended, the hand part 2 may face the left side of the movement path R1. For example, when the first arm unit 3 and the second arm unit 4 are simultaneously extended, the hand part 2 may move in the forward direction FD on the movement path R1. For example, when the first arm unit 3 and the second arm unit 4 are contracted at the same time, the hand part 2 may move in the reverse direction BD on the movement path R1. Accordingly, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention has a closed link structure in which the hand part 2, the first arm unit 3, the second arm unit 4 and the arm base 5 are closed. By being formed, it is possible to change the direction of the hand part 2 in various ways to move the substrate S in various directions or to support the substrate S in various directions.

본 발명에 따른 기판이송장치(1)는 제1구동부(6), 제2구동부(7) 및 제어부(8)를 더 포함할 수 있다.The substrate transfer apparatus 1 according to the present invention may further include a first driving unit 6 , a second driving unit 7 , and a control unit 8 .

상기 제1구동부(6)는 상기 제1암유닛(3)을 회전시키기 위한 것이다. 상기 제1구동부(6)는 상기 제1암유닛(3)에 연결되게 설치될 수 있다. 상기 제1구동부(6)는 상기 제1암유닛(3)에 직접 연결될 수 있으나, 풀리와 벨트, 기어 등을 통해 상기 제1암유닛(3)에 간접 연결될 수도 있다. 상기 제1구동부(6)는 상기 제1암유닛(3)을 회전시키기 위한 구동력을 발생시키는 모터(Motor)일 수 있다. 상기 제1구동부(6)는 상기 핸드부(2)에 설치될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 제1암유닛(3)을 회전시킬 수 있으면 상기 제1암기구(31), 상기 제1서브암기구(32), 상기 암베이스(5) 중 적어도 한 곳에 설치될 수 있다. 여기서, 상기 제1구동부(6)는 상기 암베이스(5)에만 설치될 수 있다. 상기 제1구동부(6)가 상기 핸드부(2), 상기 제1암기구(31) 및 상기 제1서브암기구(32)에 설치되면, 상기 암베이스(5)가 부담해야 하는 하중이 커지므로 상기 암베이스(5)가 쉽게 손상 내지 파손될 수 있기 때문이다. 또한, 상기 제1구동부(6)가 상기 암베이스(5)에만 설치되어도 폐쇄된 링크 구조로 인해 상기 제1암유닛(3)을 회전시켜 상기 핸드부(2)의 방향을 변경시킬 수 있다. 상기 제1구동부(6)는 먼지와 같은 이물질에 노출되는 것을 방지하도록 상기 암베이스(5)의 내부에 설치될 수 있다. 상기 제1구동부(6)는 상기 암베이스(5)에 설치되고, 상기 제1암기구(31)의 일측에 연결되게 설치될 수 있다. 상기 제1구동부(6)는 상기 제1암기구(31)의 일측을 시계방향 또는 반시계방향으로 회전시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 제1암유닛(3)은 신장되거나 수축될 수 있다. 상기 제1구동부(6)가 상기 제1암기구(31)를 회전시킴에 따라 상기 제1암기구(31)는 제1회전속도(V1)로 회전할 수 있다. 상기 제1구동부(6)가 구동력의 크기를 증가시키면, 상기 제1회전속도(V1)는 증가할 수 있다. 이 경우, 상기 제1암유닛(3)은 신장되거나 수축되는 속도가 빨라질 수 있다. 상기 제1구동부(6)가 구동력의 크기를 감소시키면, 상기 제1회전속도(V1)는 감소할 수 있다. 이 경우, 상기 제1암유닛(3)은 신장되거나 수축되는 속도가 느려질 수 있다. 상기 제1구동부(6)는 유선통신 및 무선통신 중 적어도 하나의 방법으로 상기 제어부(8)에 연결될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1구동부(6)는 상기 제어부(8)에 의해 제어될 수 있다.The first driving unit 6 is for rotating the first arm unit 3 . The first driving unit 6 may be installed to be connected to the first arm unit 3 . The first driving unit 6 may be directly connected to the first arm unit 3 , but may also be indirectly connected to the first arm unit 3 through a pulley, a belt, a gear, or the like. The first driving unit 6 may be a motor that generates a driving force for rotating the first arm unit 3 . The first driving part 6 may be installed on the hand part 2, but is not limited thereto. If the first arm unit 3 can be rotated, the first arm mechanism 31 and the first sub It may be installed in at least one of the arm mechanism 32 and the arm base 5 . Here, the first driving unit 6 may be installed only in the arm base 5 . When the first driving part 6 is installed on the hand part 2 , the first arm mechanism 31 , and the first sub-arm mechanism 32 , the load that the arm base 5 must bear increases. This is because the arm base 5 may be easily damaged or damaged. In addition, even when the first driving part 6 is installed only on the arm base 5 , the direction of the hand part 2 can be changed by rotating the first arm unit 3 due to the closed link structure. The first driving part 6 may be installed inside the arm base 5 to prevent exposure to foreign substances such as dust. The first driving unit 6 may be installed on the arm base 5 and connected to one side of the first arm mechanism 31 . The first driving unit 6 may rotate one side of the first arm mechanism 31 clockwise or counterclockwise. Accordingly, the first arm unit 3 may be extended or contracted. As the first driving unit 6 rotates the first arm mechanism 31 , the first arm mechanism 31 may rotate at a first rotation speed V1 . When the first driving unit 6 increases the magnitude of the driving force, the first rotational speed V1 may increase. In this case, the speed at which the first arm unit 3 is extended or contracted may be increased. When the first driving unit 6 decreases the magnitude of the driving force, the first rotation speed V1 may decrease. In this case, the speed at which the first arm unit 3 is extended or contracted may be slow. The first driving unit 6 may be connected to the control unit 8 by at least one of wired communication and wireless communication. Accordingly, the first driving unit 6 may be controlled by the control unit 8 .

상기 제2구동부(7)는 상기 제2암유닛(4)을 회전시키기 위한 것이다. 상기 제2구동부(7)는 상기 제2암유닛(4)에 연결되게 설치될 수 있다. 상기 제2구동부(7)는 상기 제2암유닛(4)에 직접 연결되거나 간접 연결될 수 있다. 상기 제2구동부(7)는 상기 제2암유닛(4)을 회전시키기 위한 구동력을 발생시키는 모터(Motor)일 수 있다. 상기 제2구동부(7)는 상기 핸드부(2)에 설치될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 제2암유닛(4)을 회전시킬 수 있으면 상기 제2암기구(41), 상기 제2서브암기구(42), 상기 암베이스(5) 중 적어도 한 곳에 설치될 수 있다. 여기서, 상기 제2구동부(7)는 상기 암베이스(5)에만 설치될 수 있다. 상기 제2구동부(7)가 상기 핸드부(2), 상기 제2암기구(41) 및 상기 제2서브암기구(42)에 설치되면, 상기 암베이스(5)가 부담해야 하는 하중이 커지므로 상기 암베이스(5)가 쉽게 손상 내지 파손될 수 있기 때문이다. 또한, 상기 제2구동부(7)가 상기 암베이스(5)에만 설치되어도 폐쇄된 링크 구조로 인해 상기 제2암유닛(4)을 회전시켜 상기 핸드부(2)의 방향을 변경시킬 수 있다. 상기 제2구동부(7)는 먼지와 같은 이물질에 노출되는 것을 방지하도록 상기 암베이스(5)의 내부에 설치될 수 있다. 상기 제2구동부(7)는 Y축 방향을 기준으로 상기 제1구동부(6)와 이격된 위치에 위치하도록 상기 암베이스(5)에 설치될 수 있다. 이에 따라, 상기 암베이스(5)가 한쪽으로 무게중심이 쏠리는 것을 방지할 수 있다. 상기 제2구동부(7)는 상기 암베이스(5)에 설치되고, 상기 제2암기구(41)의 일측에 연결되게 설치될 수 있다. 상기 제2구동부(7)는 상기 제2암기구(41)의 일측을 시계방향 또는 반시계방향으로 회전시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 제2암유닛(4)은 신장되거나 수축될 수 있다. 상기 제2구동부(7)가 상기 제2암기구(41)를 회전시킴에 따라 상기 제2암기구(41)는 제2회전속도(V2)로 회전할 수 있다. 상기 제2구동부(7)가 구동력의 크기를 증가시키면, 상기 제2회전속도(V2)는 증가할 수 있다. 이 경우, 상기 제2암유닛(4)은 신장되거나 수축되는 속도가 빨라질 수 있다. 상기 제2구동부(7)가 구동력의 크기를 감소시키면, 상기 제2회전속도(V2)는 감소할 수 있다. 이 경우, 상기 제2암유닛(4)은 신장되거나 수축되는 속도가 느려질 수 있다. 상기 제2구동부(7)는 유선통신 및 무선통신 중 적어도 하나의 방법으로 상기 제어부(8)에 연결될 수 있다. 이에 따라, 상기 제2구동부(7)는 상기 제어부(8)에 의해 제어될 수 있다.The second driving part 7 is for rotating the second arm unit 4 . The second driving unit 7 may be installed to be connected to the second arm unit 4 . The second driving unit 7 may be directly connected to or indirectly connected to the second arm unit 4 . The second driving unit 7 may be a motor that generates a driving force for rotating the second arm unit 4 . The second driving part 7 may be installed on the hand part 2, but is not limited thereto. If the second arm unit 4 can be rotated, the second arm mechanism 41 and the second sub It may be installed in at least one of the arm mechanism 42 and the arm base 5 . Here, the second driving part 7 may be installed only on the arm base 5 . When the second driving part 7 is installed on the hand part 2 , the second arm mechanism 41 , and the second sub-arm mechanism 42 , the load that the arm base 5 must bear increases. This is because the arm base 5 may be easily damaged or damaged. In addition, even when the second driving part 7 is installed only on the arm base 5 , the direction of the hand part 2 can be changed by rotating the second arm unit 4 due to the closed link structure. The second driving part 7 may be installed inside the arm base 5 to prevent exposure to foreign substances such as dust. The second driving part 7 may be installed on the arm base 5 to be positioned at a position spaced apart from the first driving part 6 in the Y-axis direction. Accordingly, it is possible to prevent the center of gravity of the arm base 5 from being tilted to one side. The second driving unit 7 may be installed on the arm base 5 and connected to one side of the second arm mechanism 41 . The second driving unit 7 may rotate one side of the second arm mechanism 41 clockwise or counterclockwise. Accordingly, the second arm unit 4 may be extended or contracted. As the second driving unit 7 rotates the second arm mechanism 41 , the second arm mechanism 41 may rotate at a second rotation speed V2 . When the second driving unit 7 increases the magnitude of the driving force, the second rotation speed V2 may increase. In this case, the speed at which the second arm unit 4 is extended or contracted may be increased. When the second driving unit 7 decreases the magnitude of the driving force, the second rotation speed V2 may decrease. In this case, the speed at which the second arm unit 4 is extended or contracted may be slow. The second driving unit 7 may be connected to the control unit 8 by at least one of wired communication and wireless communication. Accordingly, the second driving unit 7 may be controlled by the control unit 8 .

상기 제어부(8)는 상기 제1구동부(6)와 상기 제2구동부(7)를 제어할 수 있다. 상기 제어부(8)는 상기 제1구동부(6)와 상기 제2구동부(7)에 각각 공급되는 전압의 크기를 조절함으로써, 상기 제1구동부(6)와 상기 제2구동부(7)를 제어할 수 있다. 이에 따라, 상기 제1암유닛(3)과 상기 제2암유닛(4)은 상기 제1구동부(6)와 상기 제2구동부(7)에 의해 각각 회전될 수 있다. 상기 제어부(8)는 상기 제1구동부(6)가 상기 제1암유닛(3)을 회전시킬 수 있고 상기 제2구동부(7)가 상기 제2암유닛(4)을 회전시킬 수 있으면, 다른 방식으로 상기 제1구동부(6)와 상기 제2구동부(7)를 제어할 수도 있다. 상기 제어부(8)는 상기 제1구동부(6)와 상기 제2구동부(7)가 상기 제1암유닛(3)과 상기 제2암유닛(4)을 각각 독립적으로 회전시키도록 상기 제1구동부(6)와 상기 제2구동부(7)를 각각 제어할 수 있다. 예컨대, 상기 제어부(8)는 상기 제1구동부(6)를 제어함으로써, 상기 제1암유닛(3)을 회전시킬 수 있다. 이 경우, 상기 제1암유닛(3)은 신장되거나 축소됨으로써, 상기 핸드부(2)가 상기 이동경로(R1)를 기준으로 우측방향 또는 좌측방향을 향하도록 위치시킬 수 있다. 예컨대, 상기 제어부(8)는 상기 제2구동부(7)를 제어함으로써, 상기 제2암유닛(4)을 회전시킬 수 있다. 이 경우, 상기 제2암유닛(4)은 신장되거나 축소됨으로써, 상기 핸드부(2)가 상기 이동경로(R1)를 기준으로 좌측방향 또는 우측방향을 향하도록 위치시킬 수 있다.The control unit 8 may control the first driving unit 6 and the second driving unit 7 . The control unit 8 controls the first driving unit 6 and the second driving unit 7 by adjusting the magnitude of the voltage supplied to the first driving unit 6 and the second driving unit 7, respectively. can Accordingly, the first arm unit 3 and the second arm unit 4 may be rotated by the first driving unit 6 and the second driving unit 7 , respectively. The control unit (8) is configured to operate if the first driving unit (6) is capable of rotating the first arm unit (3) and the second driving unit (7) is capable of rotating the second arm unit (4). In this way, the first driving unit 6 and the second driving unit 7 may be controlled. The control unit 8 is configured such that the first driving unit 6 and the second driving unit 7 rotate the first arm unit 3 and the second arm unit 4 independently, respectively. (6) and the second driving unit 7 can be controlled, respectively. For example, the control unit 8 may rotate the first arm unit 3 by controlling the first driving unit 6 . In this case, the first arm unit 3 may be extended or contracted so that the hand part 2 may be positioned to face the right or left direction with respect to the movement path R1. For example, the control unit 8 may rotate the second arm unit 4 by controlling the second driving unit 7 . In this case, the second arm unit 4 may be extended or contracted so that the hand part 2 may be positioned to face the left or right direction with respect to the movement path R1.

상기 제어부(8)는 상기 이동경로(R1) 상에서 상기 핸드부(2)가 직선운동하도록 할 수 있다. 이러한 제어방법은 상기 공정챔버 또는 카세트가 상기 레일부(100)와 동일한 선 상에 위치한 경우에 이루어질 수 있다. 상기 제어부(8)는 상기 레일부(100) 상에서 상기 핸드부(2)가 이동하도록 설치된 최초 설치상태에서, 상기 제1회전속도(V1)와 상기 제2회전속도(V2)가 동일하도록 상기 제1구동부(6)와 상기 제2구동부(7)를 제어함으로써, 상기 이동경로(R1) 상에서 상기 핸드부(2)가 직선운동하도록 할 수 있다. 상기 레일부(100) 상에서 상기 핸드부(2)가 이동하도록 설치된 최초 설치상태는, 상기 제1암기구(31)와 상기 제1서브암기구(32)가 이루는 각도와, 상기 제2암기구(41)와 상기 제2서브암기구(42)가 이루는 각도가 같은 경우일 수 있다. 상기 최초 설치상태에서 상기 제1회전속도(V1)와 상기 제2회전속도(V2)가 동일하면, 상기 제1암유닛(3)과 상기 제2암유닛(4)이 각각 신장하거나 수축하는 속도가 동일하므로 상기 핸드부(2)는 상기 이동경로(R1) 상에서 전진방향(FD) 또는 후진방향(BD)으로 이동할 수 있다. 이에 따라, 상기 핸드부(2)는 상기 공정챔버 또는 카세트에 기판(S)을 안착시키거나 상기 공정챔버 또는 카세트에 수납된 기판(S)을 지지하여 반출할 수 있다.The control unit 8 may cause the hand unit 2 to move linearly on the movement path R1. This control method may be performed when the process chamber or the cassette is located on the same line as the rail unit 100 . In an initial installation state where the hand part 2 is installed on the rail part 100 to move, the control unit 8 controls the second rotation speed V1 to be the same as the second rotation speed V2. By controlling the first driving unit 6 and the second driving unit 7 , the hand unit 2 can be linearly moved on the movement path R1 . The initial installation state in which the hand part 2 is installed to move on the rail part 100 is the angle between the first arm mechanism 31 and the first sub-arm mechanism 32 and the second arm mechanism The angle between (41) and the second sub-arm mechanism (42) may be the same. When the first rotation speed V1 and the second rotation speed V2 are the same in the initial installation state, the speed at which the first arm unit 3 and the second arm unit 4 extend or contract, respectively Since is the same, the hand part 2 can move in the forward direction FD or the backward direction BD on the movement path R1. Accordingly, the hand part 2 may seat the substrate S in the process chamber or cassette or support the substrate S accommodated in the process chamber or cassette to carry it out.

상기 제어부(8)는 상기 이격위치(R2) 상에서 상기 핸드부(2)가 직선운동하도록 할 수 있다. 이러한 제어방법은 상기 공정챔버 또는 카세트가 상기 레일부(100)와 동일한 선 상에 위치되지 않는 경우에 이루어질 수 있다. 상기 제어부(8)는 상기 이격위치(R2)에 상기 핸드부(2)가 위치하도록 상기 제1구동부(6)와 상기 제2구동부(7)를 제어할 수 있다. 예컨대, 상기 제어부(8)는 상기 최초 설치상태에서 상기 제1암기구(31)와 상기 제2암기구(41)가 반시계방향으로 회전되도록 상기 제1구동부(6)와 상기 제2구동부(7)를 제어할 수 있다. 이에 따라, 상기 핸드부(2)는 상기 이동경로(R1)에서 좌측방향으로 이동되어 위치될 수 있다. 이 상태에서 상기 제어부(8)는 상기 제1회전속도(V1)를 상기 제2회전속도(V2)보다 빠르도록 제어함으로써, 상기 핸드부(2)가 좌측방향으로 이동된 이격위치(R2) 상에서 직선운동하도록 할 수 있다. 예컨대, 상기 제어부(8)는 상기 최초 설치상태에서 상기 제1암기구(31)와 상기 제2암기구(41)가 시계방향으로 회전되도록 상기 제1구동부(6)와 상기 제2구동부(7)를 제어할 수 있다. 이에 따라, 상기 핸드부(2)는 상기 이동경로(R1)에서 우측방향으로 이동되어 위치될 수 있다. 이 상태에서 상기 제어부(8)는 상기 제2회전속도(V2)를 상기 제1회전속도(V1)보다 빠르도록 제어함으로써, 상기 핸드부(2)가 우측방향으로 이동된 이격위치(R2) 상에서 직선운동하도록 할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판이송장치(1)는 상기 이동경로(R1)와 동일한 선 상에 위치하지 않는 공정챔버 또는 카세트에 수납된 기판(S)을 용이하게 지지하여 반출하거나, 상기 이동경로(R1)와 동일한 선 상에 위치하지 않는 공정챔버 또는 카세트에 기판(S)을 용이하게 안착시킬 수 있다.The control unit 8 may allow the hand unit 2 to move linearly on the spaced position R2. This control method may be performed when the process chamber or the cassette is not located on the same line as the rail unit 100 . The control unit 8 may control the first driving unit 6 and the second driving unit 7 so that the hand unit 2 is positioned at the spaced position R2 . For example, the control unit 8 may include the first and second driving units 6 and 4 so that the first arm mechanism 31 and the second arm mechanism 41 rotate counterclockwise in the initial installation state 7) can be controlled. Accordingly, the hand part 2 may be positioned to be moved in the left direction on the movement path R1. In this state, the control unit 8 controls the first rotation speed V1 to be faster than the second rotation speed V2, so that the hand part 2 is moved to the left at the spaced position R2. It can be made to move in a straight line. For example, the control unit 8 controls the first and second actuators 6 and 7 so that the first arm mechanism 31 and the second arm mechanism 41 rotate clockwise in the initial installation state. ) can be controlled. Accordingly, the hand part 2 may be positioned to be moved in the right direction on the movement path R1. In this state, the control unit 8 controls the second rotation speed V2 to be faster than the first rotation speed V1, so that the hand part 2 is moved to the right at the spaced position R2. It can be made to move in a straight line. Accordingly, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention easily supports and transports the substrate S accommodated in the process chamber or cassette not located on the same line as the movement path R1, or the movement path The substrate S can be easily seated in a process chamber or cassette that is not located on the same line as (R1).

도 6을 참고하면, 상기 제어부(8)는 상기 핸드부(2)가 직선운동 및 곡선운동 중 적어도 하나로 운동하도록 상기 제1회전속도(V1)와 상기 제2회전속도(V2)를 동일하거나 상이하게 조절할 수 있다.Referring to FIG. 6 , the control unit 8 sets the first rotation speed V1 and the second rotation speed V2 to be the same or different so that the hand unit 2 moves in at least one of a linear motion and a curved motion. can be adjusted to

예컨대, 상기 제어부(8)는 상기 최초 설치상태에서 상기 제1회전속도(V1)와 상기 제2회전속도(V2)가 동일하고 상기 제1암기구(31)와 상기 제2암기구(41)가 서로 다른 방향으로 회전하도록 상기 제1구동부(6)와 상기 제2구동부(7)를 제어하면, 상기 핸드부(2)를 상기 이동경로(R1) 상에서 전진방향(FD) 또는 후진방향(BD)으로 이동시킬 수 있다.For example, in the initial installation state, the control unit 8 is configured such that the first rotation speed V1 and the second rotation speed V2 are the same, and the first arm mechanism 31 and the second arm mechanism 41 are When the first driving unit 6 and the second driving unit 7 are controlled to rotate in different directions, the hand unit 2 moves in the forward direction FD or the backward direction BD on the movement path R1. ) can be moved to

예컨대, 상기 제어부(8)는 상기 제1회전속도(V1)와 상기 제2회전속도(V2)가 동일하고 상기 제1암기구(31)와 상기 제2암기구(41)가 같은 반시계방향으로 회전하도록 상기 제1구동부(6)와 상기 제2구동부(7)를 제어하면, 상기 핸드부(2)를 상기 이동경로(R1) 상에서 좌측방향으로 벗어난 위치에 위치시킬 수 있다. 이 경우, 상기 제1회전속도(V1)보다 상기 제2회전속도(V2)를 점점 더 빠르게 하면, 상기 핸드부(2)는 좌측방향으로 곡선운동하면서 상기 위치로 이동할 수 있다. 이러한 상태에서 상기 제어부(8)가 상기 제1회전속도(V1)가 상기 제2회전속도(V2)보다 빠르도록 상기 제1구동부(6)와 상기 제2구동부(7)를 각각 제어하면, 상기 핸드부(2)는 상기 좌측방향으로 벗어난 위치에서 직선운동할 수 있다.For example, in the control unit 8 , the first rotation speed V1 and the second rotation speed V2 are the same, and the first arm mechanism 31 and the second arm mechanism 41 are the same counterclockwise direction. By controlling the first driving unit 6 and the second driving unit 7 to rotate to In this case, if the second rotation speed V2 is gradually faster than the first rotation speed V1, the hand part 2 may move to the above position while curvedly moving in the left direction. In this state, when the control unit 8 controls the first driving unit 6 and the second driving unit 7 so that the first rotation speed V1 is faster than the second rotation speed V2, respectively, the The hand part 2 can move linearly at a position deviated from the left direction.

예컨대, 상기 제어부(8)는 상기 제1회전속도(V1)와 상기 제2회전속도(V2)가 동일하고 상기 제1암기구(31)와 상기 제2암기구(41)가 같은 시계방향으로 회전하도록 상기 제1구동부(6)와 상기 제2구동부(7)를 제어하면, 상기 핸드부(2)를 상기 이동경로(R1) 상에서 우측방향으로 벗어난 위치에 위치시킬 수 있다. 이 경우, 상기 제2회전속도(V2)보다 상기 제1회전속도(V1)를 점점 더 빠르게 하면, 상기 핸드부(2)는 우측방향으로 곡선운동하면서 상기 위치로 이동할 수 있다. 이러한 상태에서 상기 제어부(8)가 상기 제2회전속도(V2)가 상기 제1회전속도(V1)보다 빠르도록 상기 제1구동부(6)와 상기 제2구동부(7)를 각각 제어하면, 상기 핸드부(2)는 상기 우측방향으로 벗어난 위치에서 직선운동할 수 있다.For example, in the control unit 8, the first rotation speed V1 and the second rotation speed V2 are the same, and the first arm mechanism 31 and the second arm mechanism 41 rotate in the same clockwise direction. By controlling the first driving unit 6 and the second driving unit 7 to rotate, the hand unit 2 can be positioned at a position deviated to the right on the movement path R1. In this case, if the first rotation speed V1 is increased more and more than the second rotation speed V2, the hand part 2 may move to the above position while curved in the right direction. In this state, when the control unit 8 controls the first driving unit 6 and the second driving unit 7 so that the second rotation speed V2 is faster than the first rotation speed V1, respectively, the The hand part 2 can move linearly at a position deviated from the rightward direction.

이에 따라, 본 발명에 따른 기판이송장치(1)는 다음과 같은 작용 효과를 도모할 수 있다.Accordingly, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention can achieve the following operational effects.

첫째, 본 발명에 따른 기판이송장치(1)는 상기 암베이스(5)가 일측과 타측에 각각 설치된 상기 제1암유닛(3)과 상기 제2암유닛(4)을 지지함으로써, 저하중을 가진 기판(S) 뿐만 아니라 고하중을 가진 기판(S)도 용이하게 이송할 수 있다.First, in the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention, the arm base 5 supports the first arm unit 3 and the second arm unit 4 respectively installed on one side and the other side, thereby reducing a low load. The substrate S having a high load as well as the substrate S having a high load can be easily transferred.

둘째, 본 발명에 따른 기판이송장치(1)는 상기 핸드부(2), 상기 제1암유닛(3), 상기 제2암유닛(4) 및 상기 암베이스(5)가 폐쇄된 링크 구조로 형성됨으로써, 상기 핸드부(2)의 방향을 용이하게 변경시킬 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판이송장치(1)는 공정챔버 또는 카세트에 기판(S)이 비뚤어지게 놓여있을 경우에도 상기 기판(S)을 상기 포크(21)에 용이하게 정렬시켜 이송할 수 있다. 또는, 본 발명에 따른 기판이송장치(1)는 공정챔버 또는 카세트에 비뚤어지게 놓여진 기판(S)을 비뚤어진 상태로 지지하여 다른 공정챔버 또는 다른 카세트에 방향을 바꿔 정렬된 상태로 안착시킬 수도 있다.Second, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention has a closed link structure in which the hand part 2, the first arm unit 3, the second arm unit 4 and the arm base 5 are closed. By being formed, the direction of the hand part 2 can be easily changed. Accordingly, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention can transport the substrate S by easily aligning the substrate S with the fork 21 even when the substrate S is skewed in the process chamber or cassette. . Alternatively, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention may support the substrate S placed crookedly in the process chamber or cassette in a crooked state, and may be seated in an aligned state by changing the direction in another process chamber or another cassette.

셋째, 본 발명에 따른 기판이송장치(1)는 상기 제1회전속도(V1)와 상기 제2회전속도(V2) 중 적어도 하나의 속도를 조절하여 상기 핸드부(2)를 직선운동, 곡선운동, 직선과 곡선이 조합된 운동 등 다양한 경로로 이동시킬 수 있으므로, 상기 암베이스(5)의 이동경로(R1)와 동일선 상에 공정챔버 또는 카세트가 위치하는 경우 뿐만 아니라 이동경로(R1)와 일치하지 않는 이격위치(R2)에 공정챔버 또는 카세트가 위치하는 경우에도 기판(S)을 용이하게 지지하여 이송할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판이송장치(1)는 다양한 위치에 위치된 공정챔버 또는 카세트가 설치된 곳에서도 신속하게 기판(S)을 이송할 수 있으므로, 기판(S) 제조에 걸리는 시간을 단축시켜 기판(S)의 수율을 향상시킬 수 있다.Third, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention adjusts at least one of the first rotational speed V1 and the second rotational speed V2 to move the hand part 2 in a linear motion or a curved motion. , it can be moved in various paths such as movement in which straight lines and curves are combined, so it coincides with the movement path R1 as well as when the process chamber or cassette is located on the same line as the movement path R1 of the arm base 5 Even when the process chamber or the cassette is located in the not-spaced position R2, the substrate S can be easily supported and transported. Accordingly, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention can quickly transfer the substrate S even where the process chambers or cassettes located at various positions are installed, thereby reducing the time required for manufacturing the substrate S. It is possible to improve the yield of the substrate (S).

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.The present invention described above is not limited to the above-described embodiments and the accompanying drawings, and it is common in the technical field to which the present invention pertains that various substitutions, modifications and changes can be made without departing from the technical spirit of the present invention. It will be clear to those who have the knowledge of

1 : 기판이송장치
2 : 핸드부 3 : 제1암유닛
31 : 제1암기구 32 : 제1서브암기구
4 : 제2암유닛 41 : 제2암기구
42 : 제2서브암기구 5 : 암베이스
6 : 제1구동부 7 : 제2구동부
8 : 제어부1: substrate transfer device
2: hand part 3: first arm unit
31: first arm mechanism 32: first sub-arm mechanism
4: second arm unit 41: second arm mechanism
42: second sub-arm mechanism 5: arm base
6: first driving unit 7: second driving unit
8: control unit

Claims (9)

기판을 지지하기 위한 포크를 포함하는 핸드부;
상기 핸드부의 일측에 결합되고, 상기 핸드부의 일측을 이동시키기 위한 제1암유닛;
상기 핸드부의 타측에 결합되고, 상기 핸드부의 타측을 이동시키기 위한 제2암유닛;
상기 제1암유닛과 상기 제2암유닛이 회전 가능하게 결합되고 상기 제1암유닛과 상기 제2암유닛을 지지하는 암베이스;
상기 제1암유닛을 회전시키기 위한 제1구동부;
상기 제2암유닛을 회전시키기 위한 제2구동부; 및
상기 제1구동부와 상기 제2구동부를 제어하는 제어부를 포함하고,
상기 제어부는 상기 암베이스가 이동하는 이동경로와 불일치한 이격위치 상에서 상기 핸드부가 직선운동하도록 상기 제1암유닛을 회전시키는 제1회전속도와 상기 제2암유닛을 회전시키는 제2회전속도가 상이하게 상기 제1구동부 및 상기 제2구동부를 제어하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.a hand unit including a fork for supporting the substrate;
a first arm unit coupled to one side of the hand unit and configured to move one side of the hand unit;
a second arm unit coupled to the other side of the hand unit and configured to move the other side of the hand unit;
an arm base to which the first arm unit and the second arm unit are rotatably coupled and for supporting the first arm unit and the second arm unit;
a first driving unit for rotating the first arm unit;
a second driving unit for rotating the second arm unit; and
a control unit for controlling the first driving unit and the second driving unit;
The control unit has a different first rotational speed for rotating the first arm unit and a second rotational speed for rotating the second arm unit so that the hand part moves linearly on a spaced position that does not coincide with the movement path of the arm base. to control the first driving unit and the second driving unit. 제1항에 있어서,
상기 핸드부, 상기 제1암유닛, 상기 제2암유닛 및 상기 암베이스는 폐쇄된(Closed) 링크 구조로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.According to claim 1,
The hand part, the first arm unit, the second arm unit and the arm base are formed in a closed link structure. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 제어부는 상기 암베이스가 이동하는 이동경로 상에서 상기 핸드부가 직선운동하도록 상기 제1암유닛을 회전시키는 제1회전속도와 상기 제2암유닛을 회전시키는 제2회전속도가 동일하게 상기 제1구동부 및 상기 제2구동부를 제어하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.According to claim 1,
The control unit includes the first driving unit so that the first rotational speed of rotating the first arm unit and the second rotational speed of rotating the second arm unit are the same so that the hand part moves linearly on the movement path of the arm base. and controlling the second driving unit. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 제어부는 상기 핸드부가 직선운동 및 곡선운동 중 적어도 하나로 운동하도록 상기 제1암유닛을 회전시키는 제1회전속도와 상기 제2암유닛을 회전시키는 제2회전속도가 동일하거나 상이하게 상기 제1구동부 및 상기 제2구동부를 제어하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.According to claim 1,
The control unit may include the first driving unit at a first rotation speed for rotating the first arm unit and a second rotation speed for rotating the second arm unit so that the hand unit moves in at least one of a linear motion and a curved motion. and controlling the second driving unit. 제1항에 있어서,
상기 제1구동부와 상기 제2구동부는 상기 핸드부가 처지는 것을 방지하도록 상기 암베이스에 설치되는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.According to claim 1,
The substrate transfer apparatus according to claim 1, wherein the first driving part and the second driving part are installed on the arm base to prevent the hand part from sagging. 제1항에 있어서,
상기 제1암유닛은 상기 암베이스에 회전 가능하게 결합되는 제1암기구, 및 일측이 상기 제1암기구에 회전 가능하게 결합되고 타측이 상기 핸드부에 회전 가능하게 결합되는 제1서브암기구를 포함하는 기판이송장치.According to claim 1,
The first arm unit includes a first arm mechanism rotatably coupled to the arm base, and a first sub-arm mechanism having one end rotatably coupled to the first arm mechanism and the other end rotatably coupled to the hand unit. A substrate transfer device comprising a. 제1항에 있어서,
상기 제2암유닛은 상기 암베이스에 회전 가능하게 결합되는 제2암기구, 및 일측이 상기 제2암기구에 회전 가능하게 결합되고 타측이 상기 핸드부에 회전 가능하게 결합되는 제2서브암기구를 포함하는 기판이송장치.According to claim 1,
The second arm unit includes a second arm mechanism rotatably coupled to the arm base, and a second sub-arm mechanism having one end rotatably coupled to the second arm mechanism and the other end rotatably coupled to the hand unit. A substrate transfer device comprising a.
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