KR102327388B1 - Vacuum Robot - Google Patents

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KR102327388B1
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Abstract

본 발명은 기판 및 마스크 중 적어도 하나를 지지하기 위한 복수개의 핸드부, 상기 핸드부들이 이동 가능하게 결합되는 암튜브, 상기 암튜브를 지지하기 위한 지지부, 상기 지지부를 회전시키기 위한 선회부, 상기 선회부를 승강시키기 위한 승강부, 상기 선회부가 회전 가능하게 결합되는 베이스부, 및 상기 암튜브에 결합되고 상기 핸드부들을 상기 암튜브 상에서 이동시키기 위한 복수개의 구동부를 포함하고, 상기 핸드부는 상기 암튜브에 결합되는 핸드기구, 및 상기 핸드기구에 서로 이격되게 결합되는 복수개의 포크기구를 포함하며, 상기 포크기구는 상기 마스크를 지지하기 위한 복수개의 마스크지지부재, 및 상기 마스크지지부재들 사이에 위치하고 상기 기판을 지지하기 위한 복수개의 기판지지부재를 포함하는 진공로봇에 관한 것이다.A plurality of hand parts for supporting at least one of a substrate and a mask, an arm tube to which the hand parts are movably coupled, a support part for supporting the arm tube, a pivot part for rotating the support part, and the pivot a lifting unit for elevating the unit, a base unit to which the rotating unit is rotatably coupled, and a plurality of driving units coupled to the arm tube and configured to move the hand units on the arm tube, wherein the hand unit is mounted on the arm tube. a hand mechanism coupled to the hand mechanism, and a plurality of fork mechanisms coupled to the hand mechanism to be spaced apart from each other, wherein the fork mechanism includes a plurality of mask support members for supporting the mask, and a plurality of mask support members positioned between the mask support members and the substrate It relates to a vacuum robot comprising a plurality of substrate support members for supporting the.

Description

진공로봇{Vacuum Robot}Vacuum Robot

본 발명은 진공영역에서 기판을 이송하기 위한 진공로봇에 관한 것이다.The present invention relates to a vacuum robot for transferring a substrate in a vacuum area.

디스플레이 장치, 태양전지, 반도체 소자 등(이하, '전자부품'이라 함)은 여러 가지 공정을 거쳐 제조된다. 이러한 제조공정은 전자부품을 제조하기 위한 기판(Substrate)을 이용하여 이루어진다. 예컨대, 제조공정은 기판 상에 도전체, 반도체, 유전체 등의 박막을 증착하기 위한 증착공정, 증착된 박막을 소정 패턴으로 형성하기 위한 식각공정 등을 포함할 수 있다. 이러한 제조공정들은 해당 공정을 수행하는 공정챔버에서 이루어진다. 공정챔버는 복수개가 중앙에 위치한 진공로봇에 대해 정렬될 수 있다. 공정챔버들과 진공로봇의 일부는 기판이 이물질로 오염되는 것을 방지하도록 진공영역에 설치된다.Display devices, solar cells, semiconductor devices, etc. (hereinafter referred to as 'electronic components') are manufactured through various processes. Such a manufacturing process is performed using a substrate for manufacturing an electronic component. For example, the manufacturing process may include a deposition process for depositing a thin film such as a conductor, a semiconductor, a dielectric, etc. on a substrate, an etching process for forming the deposited thin film in a predetermined pattern, and the like. These manufacturing processes are performed in a process chamber for performing the corresponding process. A plurality of process chambers may be aligned with respect to the centrally located vacuum robot. The process chambers and a part of the vacuum robot are installed in the vacuum area to prevent the substrate from being contaminated with foreign substances.

종래 기술에 따른 진공로봇은 기판을 지지하는 포크를 포함하는 핸드, 핸드에 결합되고 다관절 또는 슬라이더로 이루어져 핸드를 이동시키는 암부, 암부를 지지하는 받침부, 받침부를 회전시키기 위한 선회부, 선회부가 회전 가능하게 결합되는 베이스부로 구성된다. 여기서, 선회부, 받침부, 암부 및 핸드는 진공영역에 설치된다. 이에 따라, 종래 기술에 따른 진공로봇은 기판을 이송하는데 큰 무리가 없었다.A vacuum robot according to the prior art includes a hand including a fork for supporting a substrate, an arm coupled to the hand and made of multiple joints or sliders to move the hand, a support for supporting the arm, a turning part for rotating the support, and a turning part It is composed of a base portion that is rotatably coupled. Here, the turning part, the support part, the arm part, and the hand are installed in the vacuum area. Accordingly, the vacuum robot according to the prior art did not have much difficulty in transferring the substrate.

그러나, 최근에는 공법의 변화에 따라 진공로봇이 기판 뿐만 아니라 3미터 이상의 크기를 갖는 마스크(Mask)를 이송하는 경우가 증가하는 추세이다. 종래 기술에 따른 진공로봇은 기판을 이송하기 위한 핸드와 마스크를 이송하기 위한 핸드를 별도로 구비하여, 기판 또는 마스크와 같은 대상물에 따라 핸드를 바꿔가면서 대상물을 이송한다. 이에 따라, 종래 기술에 따른 진공로봇은 대상물이 바뀔 때마다 핸드를 교체해 주어야 하므로, 대상물을 이송하는데 오랜 시간이 걸리므로 공정이 완료된 전자부품에 대한 생산성이 저하되는 문제가 있다.However, in recent years, there is an increasing trend that the vacuum robot transfers a mask having a size of 3 meters or more as well as a substrate according to a change in the method. The vacuum robot according to the prior art is separately provided with a hand for transferring a substrate and a hand for transferring a mask, and transfers the object while changing the hand according to the object such as a substrate or a mask. Accordingly, since the vacuum robot according to the prior art has to replace the hand whenever the object is changed, it takes a long time to transport the object, so there is a problem in that the productivity of the electronic component on which the process is completed is reduced.

본 발명은 상술한 바와 같은 문제를 해결하고자 안출된 것으로, 기판 또는 마스크와 같은 대상물에 대한 이송시간을 줄일 수 있는 진공로봇을 제공하기 위한 것이다.The present invention has been devised to solve the problems described above, and to provide a vacuum robot capable of reducing the transfer time for an object such as a substrate or a mask.

상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 하기와 같은 구성을 포함할 수 있다.In order to solve the problems as described above, the present invention may include the following configuration.

본 발명에 따른 진공로봇은 기판 및 마스크 중 적어도 하나를 지지하기 위한 복수개의 핸드부; 상기 핸드부들이 이동 가능하게 결합되는 암튜브; 상기 암튜브를 지지하기 위한 지지부; 상기 지지부를 회전시키기 위한 선회부; 상기 선회부를 승강시키기 위한 승강부; 상기 선회부가 회전 가능하게 결합되는 베이스부; 및 상기 암튜브에 결합되고, 상기 핸드부들을 상기 암튜브 상에서 이동시키기 위한 복수개의 구동부를 포함할 수 있다. 상기 핸드부는 상기 암튜브에 결합되는 핸드기구; 및 상기 핸드기구에 서로 이격되게 결합되는 복수개의 포크기구를 포함할 수 있다. 상기 포크기구는 상기 마스크를 지지하기 위한 복수개의 마스크지지부재; 및 상기 마스크지지부재들 사이에 위치하고, 상기 기판을 지지하기 위한 복수개의 기판지지부재를 포함할 수 있다.A vacuum robot according to the present invention includes a plurality of hand parts for supporting at least one of a substrate and a mask; an arm tube to which the hand parts are movably coupled; a support for supporting the arm tube; a pivot for rotating the support; a lifting unit for elevating the turning unit; a base portion to which the turning portion is rotatably coupled; and a plurality of driving units coupled to the arm tube and configured to move the hand units on the arm tube. The hand unit includes a hand mechanism coupled to the arm tube; and a plurality of fork mechanisms coupled to the hand mechanism to be spaced apart from each other. The fork mechanism includes a plurality of mask support members for supporting the mask; and a plurality of substrate support members positioned between the mask support members and configured to support the substrate.

본 발명에 따른 진공로봇에 있어서, 상기 마스크지지부재는 마스크가 기판보다 상측에 위치하도록 상기 기판지지부재에 비해 두께가 더 두껍게 형성될 수 있다.In the vacuum robot according to the present invention, the mask support member may be formed to be thicker than the substrate support member so that the mask is positioned above the substrate.

본 발명에 따른 진공로봇은 상기 포크기구를 상기 핸드기구에 결합시키기 위한 결합부를 포함할 수 있다. 상기 결합부는 상기 포크기구에 결합되는 커버기구, 및 상기 커버기구를 상기 핸드기구에 결합시키기 위한 복수개의 체결기구를 포함할 수 있다. 상기 체결기구들은 상기 포크기구가 상하 방향으로 이동하도록 시계방향 또는 반시계방향으로 회전하여 상기 커버기구를 상하 방향으로 이동시킬 수 있다.The vacuum robot according to the present invention may include a coupling part for coupling the fork mechanism to the hand mechanism. The coupling part may include a cover mechanism coupled to the fork mechanism, and a plurality of fastening mechanisms for coupling the cover mechanism to the hand mechanism. The fasteners may rotate clockwise or counterclockwise so that the fork mechanism moves in the vertical direction to move the cover mechanism in the vertical direction.

본 발명에 따른 진공로봇에 있어서, 상기 포크기구는 상기 핸드기구에 결합되는 제1포크부재, 및 상기 제1포크부재에 결합되는 제2포크부재를 포함할 수 있다. 상기 마스크지지부재와 상기 기판지지부재는 상기 제2포크부재에 결합되며, 상기 제2포크부재는 기판 또는 마스크에 대한 티칭마진이 크도록 상기 제1포크부재에 비해 두께가 더 얇게 형성될 수 있다.In the vacuum robot according to the present invention, the fork mechanism may include a first fork member coupled to the hand mechanism, and a second fork member coupled to the first fork member. The mask support member and the substrate support member may be coupled to the second fork member, and the second fork member may be formed to have a thickness thinner than that of the first fork member so that a teaching margin for the substrate or mask is large. .

본 발명에 따른 진공로봇에 있어서, 상기 커버기구는 상기 포크기구의 상측에 위치하도록 상기 포크기구에 결합되는 상측커버부재, 상기 포크기구의 하측에 위치하도록 상기 상측커버부재에 결합되는 하측커버부재, 및 상기 상측커버부재와 상기 하측커버부재 중 적어도 하나에 대해 상기 포크기구가 미끄러지는 것을 방지하도록 상기 상측커버부재와 상기 하측커버부재에 결합되는 슬립방지부재를 포함할 수 있다.In the vacuum robot according to the present invention, the cover mechanism includes an upper cover member coupled to the fork mechanism to be positioned above the fork mechanism, a lower cover member coupled to the upper cover member to be positioned below the fork mechanism; and a slip prevention member coupled to the upper cover member and the lower cover member to prevent the fork mechanism from sliding with respect to at least one of the upper cover member and the lower cover member.

본 발명에 따르면, 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.According to the present invention, the following effects can be obtained.

본 발명은 핸드가 기판과 마스크 중 적어도 하나를 지지하도록 구현됨으로써, 대상물에 따라 핸드를 교체할 필요가 없으므로 기판 및 마스크에 대한 이송시간을 줄여 공정이 완료된 전자부품에 대한 생산성이 저하되는 것을 방지할 수 있다.The present invention is implemented so that the hand supports at least one of the substrate and the mask, so that there is no need to replace the hand depending on the object, thereby reducing the transfer time for the substrate and the mask to prevent a decrease in productivity for the electronic component on which the process is completed can

도 1은 본 발명에 따른 진공로봇의 개략적인 사시도
도 2는 본 발명에 따른 진공로봇의 개략적인 블록도
도 3은 본 발명에 따른 진공로봇에서 핸드부의 개략적인 사시도
도 4는 본 발명에 따른 진공로봇에서 핸드부를 설명하기 위한 개략적인 평면도
도 5 및 도 6은 본 발명에 따른 진공로봇에서 제1포크부재 및 제2포크부재를 설명하기 위한 개략적인 측면도
도 7은 본 발명에 따른 진공로봇에서 마스크지지부재 및 기판지지부재를 설명하기 위한 도 5의 A부분의 개략적인 확대도
도 8은 본 발명에 따른 진공로봇에서 커버기구 및 체결기구를 설명하기 위한 도 4의 I-I선을 기준으로 한 단면도
도 9는 본 발명에 따른 진공로봇에서 슬립방지부재를 설명하기 위한 도 5의 B부분의 개략적인 분해사시도1 is a schematic perspective view of a vacuum robot according to the present invention;
2 is a schematic block diagram of a vacuum robot according to the present invention;
3 is a schematic perspective view of a hand part in a vacuum robot according to the present invention;
4 is a schematic plan view for explaining the hand part in the vacuum robot according to the present invention;
5 and 6 are schematic side views for explaining the first fork member and the second fork member in the vacuum robot according to the present invention;
7 is a schematic enlarged view of part A of FIG. 5 for explaining the mask support member and the substrate support member in the vacuum robot according to the present invention;
8 is a cross-sectional view taken along line II of FIG. 4 for explaining the cover mechanism and the fastening mechanism in the vacuum robot according to the present invention;
9 is a schematic exploded perspective view of part B of FIG. 5 for explaining the anti-slip member in the vacuum robot according to the present invention;

본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. It should be noted that in the present specification, in adding reference numbers to the components of each drawing, the same numbers are used for the same components, even if they are indicated on different drawings, as much as possible.

한편, 본 명세서에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다. On the other hand, the meaning of the terms described in this specification should be understood as follows.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 정의하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "제1", "제2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다.The singular expression is to be understood as including the plural expression unless the context clearly defines otherwise, and the terms "first", "second", etc. are used to distinguish one element from another, The scope of rights should not be limited by these terms.

"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.It should be understood that terms such as “comprise” or “have” do not preclude the possibility of addition or existence of one or more other features or numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

"적어도 하나"의 용어는 하나 이상의 관련 항목으로부터 제시 가능한 모든 조합을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, "제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 적어도 하나"의 의미는 제1항목, 제2항목 또는 제3항목 각각 뿐만 아니라 제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 2개 이상으로부터 제시될 수 있는 모든 항목의 조합을 의미한다.The term “at least one” should be understood to include all possible combinations from one or more related items. For example, the meaning of "at least one of the first, second, and third items" means 2 of the first, second, and third items as well as each of the first, second, or third items. It means a combination of all items that can be presented from more than one.

이하에서는 본 발명에 따른 진공로봇에 관해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.Hereinafter, a vacuum robot according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 진공로봇의 개략적인 사시도, 도 2는 본 발명에 따른 진공로봇의 개략적인 블록도, 도 3은 본 발명에 따른 진공로봇에서 핸드부의 개략적인 사시도, 도 4는 본 발명에 따른 진공로봇에서 핸드부를 설명하기 위한 개략적인 평면도, 도 5 및 도 6은 본 발명에 따른 진공로봇에서 제1포크부재 및 제2포크부재를 설명하기 위한 개략적인 측면도, 도 7은 본 발명에 따른 진공로봇에서 마스크지지부재 및 기판지지부재를 설명하기 위한 도 5의 A부분의 개략적인 확대도, 도 8은 본 발명에 따른 진공로봇에서 커버기구 및 체결기구를 설명하기 위한 도 4의 I-I선을 기준으로 한 단면도, 도 9는 본 발명에 따른 진공로봇에서 슬립방지부재를 설명하기 위한 도 5의 B부분의 개략적인 분해사시도이다.1 is a schematic perspective view of a vacuum robot according to the present invention, FIG. 2 is a schematic block diagram of a vacuum robot according to the present invention, FIG. 3 is a schematic perspective view of a hand part in a vacuum robot according to the present invention, and FIG. 4 is the present invention 5 and 6 are schematic side views for explaining the first fork member and the second fork member in the vacuum robot according to the present invention, and FIG. 7 is a schematic plan view for explaining the hand part in the vacuum robot according to the present invention. A schematic enlarged view of part A of FIG. 5 for explaining the mask support member and the substrate support member in the vacuum robot according to the present invention, FIG. 8 is a line II of FIG. 4 for explaining the cover mechanism and the fastening mechanism in the vacuum robot according to the present invention 9 is a schematic exploded perspective view of part B of FIG. 5 for explaining the anti-slip member in the vacuum robot according to the present invention.

도 1 내지 도 9를 참고하면, 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 증착공정, 식각공정 등 다양한 공정을 수행하는 복수개의 공정챔버로 기판 또는 마스크를 이송하는데 걸리는 이송시간을 줄이기 위한 것이다. 특히, 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 하나의 핸드부에 기판을 지지하는 기판지지부재와 마스크를 지지하는 마스크지지부재를 모두 설치하여 기판과 마스크 중 적어도 하나를 이송할 수 있으므로, 기판 및 마스크에 대한 전체적인 이송시간을 단축시킬 수 있다.1 to 9 , the vacuum robot 1 according to the present invention is to reduce the transfer time required to transfer a substrate or a mask to a plurality of process chambers performing various processes such as a deposition process and an etching process. In particular, in the vacuum robot 1 according to the present invention, both a substrate support member for supporting a substrate and a mask support member for supporting a mask are installed in one hand part to transfer at least one of the substrate and the mask, so that the substrate and The overall transport time for the mask can be shortened.

이를 위해, 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 크게 핸드부(2), 암튜브(3), 지지부(4), 선회부(5), 승강부(6), 베이스부(7) 및 구동부(8)를 포함한다.To this end, the vacuum robot 1 according to the present invention is largely a hand part 2 , an arm tube 3 , a support part 4 , a turning part 5 , a lifting part 6 , a base part 7 and a driving part. (8) is included.

본 발명에 따른 진공로봇(1)은 기판 또는 마스크가 먼지와 같은 이물질로 오염되는 것을 방지하기 위해 일부가 진공영역에 위치하도록 설치된다. 예컨대, 상기 핸드부(2), 상기 암튜브(3), 상기 지지부(4), 상기 선회부(5) 및 상기 구동부(8)는 상기 진공영역에 설치될 수 있다. 상기 진공영역은 공기(Air)가 제거된 챔버의 내부를 의미한다. 상기 진공영역에는 상기 챔버와 연결되게 설치되는 복수개의 공정챔버가 포함될 수 있다. 상기 승강부(6) 및 상기 베이스부(7)는 상기 진공영역이 아닌 대기영역에 설치될 수 있다. 상기 대기영역은 공기가 1기압으로 형성되는 대기압 영역을 의미한다. 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 진공영역에서 기판 또는 마스크를 이송함으로써, 기판 또는 마스크가 이물질로 오염되는 것을 방지할 수 있다.The vacuum robot 1 according to the present invention is installed so that a part of it is located in a vacuum area in order to prevent the substrate or mask from being contaminated with foreign substances such as dust. For example, the hand part 2 , the arm tube 3 , the support part 4 , the pivot part 5 , and the driving part 8 may be installed in the vacuum region. The vacuum region means the inside of the chamber from which air is removed. The vacuum region may include a plurality of process chambers installed to be connected to the chamber. The elevating part 6 and the base part 7 may be installed in the standby area, not the vacuum area. The atmospheric region means an atmospheric pressure region in which air is formed at 1 atmosphere. The vacuum robot 1 according to the present invention can prevent the substrate or mask from being contaminated with foreign substances by transferring the substrate or mask in a vacuum area.

이하에서는 상기 핸드부(2), 상기 암튜브(3), 상기 지지부(4), 상기 선회부(5), 상기 승강부(6), 상기 베이스부(7) 및 상기 구동부(8)에 관해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the hand part 2 , the arm tube 3 , the support part 4 , the pivot part 5 , the lifting part 6 , the base part 7 and the driving part 8 are described. It will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1 내지 도 9를 참고하면, 상기 핸드부(2)는 기판 및 마스크 중 적어도 하나를 지지하기 위한 것이다. 상기 기판 및 상기 마스크는 디스플레이 장치, 태양전지, 반도체 소자 등의 전자부품을 제조하기 위한 것이다. 상기 마스크(Mask)는 상기 기판에 비해 크기가 더 크고, 중량이 더 무거울 수 있다. 상기 마스크의 크기가 상기 기판의 크기보다 크므로, 후술할 기판지지부재는 마스크지지부재 보다 내측에 위치하도록 상기 핸드부(2)에 결합될 수 있다. 상기 핸드부(2)는 복수개가 상기 암튜브(3)에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 핸드부(2)들은 Z축 방향(도 1에 도시됨)을 기준으로 상측 및 하측에 각각 위치하도록 상기 암튜브(3)에 결합될 수 있다. 상기 핸드부(2)는 핸드기구(21) 및 포크기구(22)를 포함할 수 있다.1 to 9 , the hand part 2 is for supporting at least one of a substrate and a mask. The substrate and the mask are for manufacturing electronic components such as display devices, solar cells, and semiconductor devices. The mask may have a larger size and heavier weight than the substrate. Since the size of the mask is larger than the size of the substrate, a substrate support member, which will be described later, may be coupled to the hand part 2 so as to be located inside the mask support member. A plurality of the hand parts 2 may be movably coupled to the arm tube 3 . The hand parts 2 may be coupled to the arm tube 3 so as to be respectively located at the upper and lower sides in the Z-axis direction (shown in FIG. 1 ). The hand part 2 may include a hand mechanism 21 and a fork mechanism 22 .

상기 핸드기구(21)는 상기 암튜브(3)에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 예컨대, 상기 핸드기구(21)는 LM블록을 포함하고, 상기 LM블록이 상기 암튜브(3)의 상면에 결합되는 LM가이드레일을 따라 이동함으로써 상기 암튜브(3)에서 이동할 수 있다. 상기 LM가이드레일은 상기 암튜브(3)의 상면에 X축 방향(도 1에 도시됨)으로 결합될 수 있다. 이에 따라, 상기 핸드기구(21)는 X축 방향으로 이동할 수 있다. 상기 핸드기구(21)는 X축 방향을 따라 전진방향(FD, 도 1에 도시됨) 또는 후퇴방향(BD, 도 1에 도시됨)으로 이동할 수 있다. 상기 핸드기구(21)가 이동함에 따라 상기 핸드기구(21)에 결합되는 포크기구(22)도 이동할 수 있다. 상기 LM가이드레일은 복수개가 상기 암튜브(3)의 상면에서 Y축 방향(도 1에 도시됨)으로 서로 이격되게 결합될 수 있다. 이에 따라, 상기 핸드기구(21)는 Y축 방향을 기준으로 일측과 타측이 각각 상기 LM가이드레일에 결합될 수 있다. 상기 핸드기구(21)는 케이블을 통해 상기 구동부(8)에 연결될 수 있다. 상기 핸드기구(21)는 상기 구동부(8)가 구동력을 발생시킴에 따라 상기 케이블이 상기 구동부(8)에 설치되는 케이블드럼에 감기거나 풀림으로써 이동할 수 있다. 상기 핸드기구(21)는 상측에 위치하는 상측핸드부일 경우, 'П'형태로 형성될 수 있다. 상기 핸드기구(21)는 하측에 위치하는 하측핸드부일 경우, 'п'형태로 형성될 수 있다. 상기 하측핸드부는 상기 상측핸드부에 삽입될 수 있다.The hand mechanism 21 may be movably coupled to the arm tube 3 . For example, the hand mechanism 21 includes an LM block, and the LM block can move in the arm tube 3 by moving along the LM guide rail coupled to the upper surface of the arm tube 3 . The LM guide rail may be coupled to the upper surface of the arm tube 3 in the X-axis direction (shown in FIG. 1 ). Accordingly, the hand mechanism 21 can move in the X-axis direction. The hand mechanism 21 may move in a forward direction (FD, shown in FIG. 1) or a backward direction (BD, shown in FIG. 1) along the X-axis direction. As the hand mechanism 21 moves, the fork mechanism 22 coupled to the hand mechanism 21 may also move. A plurality of the LM guide rails may be coupled to be spaced apart from each other in the Y-axis direction (shown in FIG. 1 ) on the upper surface of the arm tube 3 . Accordingly, one side and the other side of the hand mechanism 21 may be respectively coupled to the LM guide rail in the Y-axis direction. The hand mechanism 21 may be connected to the driving unit 8 through a cable. The hand mechanism 21 may move by winding or unwinding the cable around a cable drum installed in the driving unit 8 as the driving unit 8 generates a driving force. When the hand mechanism 21 is an upper hand part located on the upper side, it may be formed in a 'П' shape. When the hand mechanism 21 is a lower hand part located on the lower side, it may be formed in a 'п' shape. The lower hand part may be inserted into the upper hand part.

상기 포크기구(22)는 기판 및 마스크 중 적어도 하나를 지지하기 위한 것이다. 상기 포크기구(22)는 직방체의 막대형태로 형성될 수 있다. 상기 포크기구(22)는 X축 방향을 향하도록 상기 핸드기구(21)에 결합될 수 있다. 상기 포크기구(22)가 기판 및 마스크 중 적어도 하나를 이송할 경우, 상기 기판 및 상기 마스크는 상기 포크기구(22)의 상면에 접촉될 수 있다. 이에 따라, 상기 포크기구(22)는 상기 기판 및 마스크 중 적어도 하나를 지지할 수 있다. 상기 포크기구(22)는 복수개가 상기 핸드기구(21)에 서로 이격되게 결합될 수 있다. 예컨대, 상기 포크기구(22)들은 Y축 방향을 기준으로 서로 이격되게 상기 핸드기구(21)에 결합될 수 있다. 이에 따라, 상기 포크기구(22)들은 Y축 방향을 기준으로 기판 및 마스크의 일측 및 타측을 각각 지지할 수 있다. 상기 포크기구(22)는 제1포크부재(221), 제2포크부재(222), 마스크지지부재(223) 및 기판지지부재(224)를 포함할 수 있다. 상기 제1포크부재(221), 상기 제2포크부재(222), 상기 마스크지지부재(223) 및 상기 기판지지부재(224)에 대한 설명은 상기 암튜브(3), 상기 지지부(4), 상기 선회부(5), 상기 승강부(6), 상기 베이스부(7) 및 상기 구동부(8)를 설명한 후에 설명하기로 한다.The fork mechanism 22 is for supporting at least one of a substrate and a mask. The fork mechanism 22 may be formed in the form of a rectangular parallelepiped rod. The fork mechanism 22 may be coupled to the hand mechanism 21 to face the X-axis direction. When the fork mechanism 22 transfers at least one of a substrate and a mask, the substrate and the mask may be in contact with an upper surface of the fork mechanism 22 . Accordingly, the fork mechanism 22 may support at least one of the substrate and the mask. A plurality of the fork mechanism 22 may be coupled to the hand mechanism 21 to be spaced apart from each other. For example, the fork mechanism 22 may be coupled to the hand mechanism 21 to be spaced apart from each other in the Y-axis direction. Accordingly, the fork mechanisms 22 may support one side and the other side of the substrate and the mask in the Y-axis direction, respectively. The fork mechanism 22 may include a first fork member 221 , a second fork member 222 , a mask support member 223 , and a substrate support member 224 . The description of the first fork member 221 , the second fork member 222 , the mask support member 223 and the substrate support member 224 includes the arm tube 3 , the support part 4 , The turning part 5, the elevating part 6, the base part 7, and the driving part 8 will be described after being described.

상기 암튜브(3)에는 상기 핸드부(2)들이 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 암튜브(3)는 X축 방향으로 길이가 긴 직방체 형태로 형성될 수 있다. 상기 암튜브(3)의 길이 방향을 따라 상기 핸드부(2)들이 각각 이동하므로, 상기 암튜브(3)의 길이가 길수록 진공로봇(1)은 기판 및 마스크를 더 멀리 위치된 공정챔버까지 이송할 수 있다. 상기 암튜브(3)는 경량화를 위해 내부가 비어 있는 밀폐된 형태로 형성될 수 있다. 또한, 상기 암튜브(3)는 경량화를 위해 알루미늄(AL) 재질로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 핸드부(2)들을 지지할 수 있으면 다른 재질로 형성될 수도 있다. 상기 암튜브(3)의 내부에는 상기 핸드부(2)를 이송시키기 위한 케이블과 상기 구동부(8)의 일부가 설치될 수 있다. 상기 구동부(8)의 일부는 상기 케이블을 감거나 풀기 위한 케이블드럼(미도시)일 수 있다. 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 상기 케이블과 케이블드럼을 상기 암튜브(3)의 내측에 위치하도록 설치함으로써, 상기 핸드부(2)들을 이송시킬 경우에 발생하는 비산(飛散) 물질들이 기판 및 마스크 쪽으로 이동하는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 기판 및 마스크가 비산물질들로 오염되는 것을 방지함으로써, 기판 및 마스크에 대한 불량률을 감소시킬 수 있다. 상기 암튜브(3)의 상면에는 상기 핸드부(2)들을 이동시키기 위한 LM가이드레일이 복수개 설치될 수 있다. 상기 복수개의 LM가이드레일은 X축 방향을 따라 상기 암튜브(3)의 상면에 결합될 수 있다. 예컨대, 상기 암튜브(3)의 상면에는 4개의 LM가이드레일이 Y축 방향으로 서로 이격되게 결합될 수 있다. 이 경우, 상기 상측핸드부는 상기 암튜브(3)의 상면에서 Y축 방향을 기준으로 바깥쪽에 위치한 2개의 LM가이드레일에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 하측핸드부는 Y축 방향을 기준으로 상기 상측핸드부가 결합되는 LM가이드레일을 제외한 나머지 2개의 LM가이드레일에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 LM가이드레일들은 강성을 높이기 위해 스틸(Steel) 재질로 형성될 수 있으나, 반드시 이에 한정되지는 않는다. 상기 LM가이드레일들은 볼트결합, 용접결합, 접착결합 중 적어도 하나의 방법으로 상기 암튜브(3)에 결합될 수 있다. 상기 암튜브(3)에는 지지부(4) 및 구동부(8)가 결합될 수 있다.The hand parts 2 may be movably coupled to the arm tube 3 . The arm tube 3 may be formed in a rectangular parallelepiped shape having a length in the X-axis direction. Since the hand parts 2 each move along the longitudinal direction of the arm tube 3, the longer the length of the arm tube 3, the more the vacuum robot 1 transports the substrate and the mask to the process chamber located further away. can do. The arm tube 3 may be formed in a closed form with an empty interior for weight reduction. In addition, the arm tube 3 may be formed of an aluminum (AL) material for weight reduction, but is not limited thereto, and may be formed of another material as long as it can support the hand parts 2 . A cable for transporting the hand part 2 and a part of the driving part 8 may be installed inside the arm tube 3 . A part of the driving unit 8 may be a cable drum (not shown) for winding or unwinding the cable. In the vacuum robot 1 according to the present invention, by installing the cable and the cable drum to be located inside the arm tube 3 , scattering materials generated when the hand parts 2 are transferred to the substrate and movement toward the mask. Accordingly, the vacuum robot 1 according to the present invention can reduce the defect rate for the substrate and the mask by preventing the substrate and the mask from being contaminated with scattering materials. A plurality of LM guide rails for moving the hand parts 2 may be installed on the upper surface of the arm tube 3 . The plurality of LM guide rails may be coupled to the upper surface of the arm tube 3 along the X-axis direction. For example, four LM guide rails may be coupled to the upper surface of the arm tube 3 to be spaced apart from each other in the Y-axis direction. In this case, the upper hand part may be movably coupled to the two LM guide rails located outside the upper surface of the arm tube 3 in the Y-axis direction. The lower hand part may be movably coupled to the remaining two LM guide rails except for the LM guide rail to which the upper hand part is coupled based on the Y-axis direction. The LM guide rails may be formed of a steel material to increase rigidity, but the present invention is not limited thereto. The LM guide rails may be coupled to the arm tube 3 by at least one of bolt coupling, welding coupling, and adhesive coupling. A support part 4 and a driving part 8 may be coupled to the arm tube 3 .

상기 지지부(4)는 상기 암튜브(3)를 지지하기 위한 것이다. 상기 지지부(4)는 사각판형으로 형성될 수 있다. 상기 지지부(4)는 상기 암튜브(3)에 비해 작은 크기로 형성될 수 있다. 상기 지지부(4)는 경량화를 위해 알루미늄(Al) 재질로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 강성을 높이기 위해 스틸(Steel) 재질로 형성될 수도 있다. 상기 지지부(4)는 상기 암튜브(3)와 상기 선회부(5) 사이에 위치하도록 상기 암튜브(3)와 상기 선회부(5)에 각각 결합될 수 있다. 상기 지지부(4)는 볼트결합, 용접결합, 접착결합 중 적어도 하나의 방법으로 상기 암튜브(3)와 상기 선회부(5)에 결합될 수 있다. 이에 따라, 상기 지지부(4)는 상기 선회부(5)에 지지되어 상기 암튜브(3)를 지지할 수 있다. 상기 지지부(4)는 X축 방향을 기준으로 상기 암튜브(3)의 가운데 위치하도록 상기 암튜브(3)에 결합될 수 있다. 상기 암튜브(3)의 가운데에서 Z축 방향을 기준으로 상기 지지부(4)의 아래에는 상기 선회부(5) 및 상기 베이스(7)가 순차적으로 위치하도록 설치될 수 있다. 상기 선회부(5)는 상기 지지부(4)의 하면에 결합되고, 상기 선회부(5)는 상기 베이스부(7)에 결합될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 상기 선회부(5)를 중심으로 무게중심이 형성될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 지지부(4)의 내부에는 전원을 공급하기 위한 전원케이블, 신호를 송수신하기 위한 신호케이블 등이 설치될 수 있다. 상기 지지부(4)는 내부의 이물질이 상기 지지부(4)의 외부로 유출되는 것을 방지하기 위해 밀폐된 구조로 형성될 수 있다.The support part 4 is for supporting the arm tube 3 . The support part 4 may be formed in a square plate shape. The support part 4 may be formed to have a smaller size than the arm tube 3 . The support part 4 may be formed of an aluminum (Al) material for weight reduction, but is not limited thereto, and may be formed of a steel material to increase rigidity. The support part 4 may be respectively coupled to the arm tube 3 and the pivot part 5 so as to be positioned between the arm tube 3 and the pivot part 5 . The support part 4 may be coupled to the arm tube 3 and the turning part 5 by at least one of bolt coupling, welding coupling, and adhesive coupling. Accordingly, the support part 4 may be supported by the pivot part 5 to support the arm tube 3 . The support part 4 may be coupled to the arm tube 3 so as to be positioned in the center of the arm tube 3 in the X-axis direction. In the center of the arm tube 3 , the pivot 5 and the base 7 may be installed under the support part 4 in the Z-axis direction to be sequentially positioned. The pivot 5 may be coupled to a lower surface of the support 4 , and the pivot 5 may be coupled to the base 7 . Accordingly, in the vacuum robot 1 according to the present invention, a center of gravity may be formed around the turning part 5 . Although not shown, a power cable for supplying power, a signal cable for transmitting and receiving signals, etc. may be installed inside the support part 4 . The support part 4 may be formed in a closed structure to prevent foreign substances from flowing out of the support part 4 .

상기 선회부(5)는 상기 지지부(4)를 회전시키기 위한 것이다. 상기 선회부(5)는 상기 핸드부(2)들이 향하는 방향이 변경되도록 상기 지지부(4)를 회전시킬 수 있다. 상기 선회부(5)는 원통형태로 형성될 수 있다. 상기 선회부(5)는 경량화를 위해 알루미늄(Al) 재질로 형성될 수 있으나, 강성을 높이기 위해 스틸(Steel) 재질로 형성될 수도 있다. 상기 선회부(5)는 Z축 방향을 기준으로 일측이 상기 지지부(4)에 결합되고, 타측이 상기 베이스부(7)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 상기 선회부(5)는 모터와 같은 구동장치에 의해 상기 베이스부(7) 상에서 선회축을 중심으로 시계방향 또는 반시계방향으로 회전될 수 있다. 이에 따라, 상기 선회부(5)에 결합되는 지지부(4), 상기 지지부(4)에 결합되는 암튜브(3), 상기 암튜브(3)에 결합되는 핸드부(2)가 선회축을 중심으로 시계방향 또는 반시계방향으로 회전할 수 있다.The turning part 5 is for rotating the support part 4 . The turning part 5 may rotate the support part 4 so that the direction in which the hand parts 2 face is changed. The turning part 5 may be formed in a cylindrical shape. The turning part 5 may be formed of an aluminum (Al) material for weight reduction, but may also be formed of a steel material to increase rigidity. One side of the turning part 5 may be coupled to the support part 4 based on the Z-axis direction, and the other side may be rotatably coupled to the base part 7 . The pivot 5 may be rotated clockwise or counterclockwise about the pivot on the base 7 by a driving device such as a motor. Accordingly, the support part 4 coupled to the turning part 5, the arm tube 3 coupled to the support part 4, and the hand part 2 coupled to the arm tube 3 are arranged around the pivot axis. It can be rotated clockwise or counterclockwise.

상기 승강부(6)는 상기 선회부(5)를 승강시키기 위한 것이다. 상기 승강부(6)는 상기 선회부(5)와 상기 베이스부(7) 사이에 위치하도록 설치될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 선회부(5)를 승강시킬 수 있으면 다른 위치에 설치될 수도 있다. 상기 승강부(6)가 상기 선회부(5)와 상기 베이스부(7) 사이에 설치될 경우, 상기 승강부(6)는 상기 베이스부(7)에 지지되어 상기 선회부(5)를 승강시킬 수 있다. 상기 승강부(6)는 Z축 방향을 기준으로 상기 선회부(5)를 상측방향 또는 하측방향으로 승강시킬 수 있다. 상기 승강부(6)는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터 등을 이용하여 상기 선회부(5)를 상하 방향으로 승강시킬 수 있다.The lifting unit 6 is for lifting and lowering the turning unit 5 . The elevating part 6 may be installed to be positioned between the turning part 5 and the base part 7, but is not limited thereto. have. When the elevating part 6 is installed between the turning part 5 and the base part 7 , the lifting part 6 is supported by the base part 7 to raise and lower the turning part 5 . can do it The lifting unit 6 may raise and lower the turning unit 5 in an upward direction or a downward direction with respect to the Z-axis direction. The lifting unit 6 is a cylinder method using a hydraulic cylinder or a pneumatic cylinder, a ball screw method using a motor and a ball screw, a gear method using a motor, a rack gear, a pinion gear, etc., a belt using a motor, a pulley, a belt, etc. The turning part 5 can be raised and lowered in the vertical direction by using a linear motor using a method, such as a coil and a permanent magnet.

상기 베이스부(7)에는 상기 선회부(5)가 회전 가능하게 결합된다. 상기 선회부(5)는 상기 베이스부(7) 상에서 선회축을 중심으로 회전할 수 있다. 상기 베이스부(7)는 바닥에 설치되어 고정될 수 있다. 상기 베이스부(7)는 바닥에 지지되어 상기 선회부(5), 상기 지지부(4), 상기 암튜브(3), 및 상기 핸드부(2)를 지지할 수 있다. 상기 베이스부(7)는 전체적으로 내부가 비어 있는 원통형태로 형성될 수 있다. 상기 선회부(5)를 회전시키기 위한 구동장치, 및 상기 승강부(6)는 상기 베이스부(7)의 내부에 설치될 수 있다. 상기 베이스부(7)의 내부에는 상기 핸드부(2)를 제어하기 위한 제어부, 상기 제어부에 연결되는 다양한 전선 등이 설치될 수도 있다. 상기 베이스부(7)는 상기 선회부(5)에 비해 큰 직경을 갖도록 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 선회부(5)가 상기 승강부(6)에 의해 상하 방향으로 승강하여도 상기 베이스부(7)는 상기 선회부(5)를 안정적으로 지지할 수 있다. 상기 선회부(5)가 상하 방향으로 승강하면, 상기 선회부(5)는 상기 베이스부(7)에 삽입되거나 돌출될 수 있다.The pivot part 5 is rotatably coupled to the base part 7 . The pivot 5 may rotate about a pivot axis on the base 7 . The base part 7 may be fixedly installed on the floor. The base part 7 may be supported on the floor to support the pivot part 5 , the support part 4 , the arm tube 3 , and the hand part 2 . The base part 7 may be formed in a cylindrical shape with an empty interior as a whole. A driving device for rotating the turning part 5 and the lifting part 6 may be installed inside the base part 7 . A control unit for controlling the hand unit 2 and various wires connected to the control unit may be installed inside the base unit 7 . The base part 7 may be formed to have a larger diameter than that of the turning part 5 . Accordingly, even when the turning part 5 is lifted up and down by the lifting part 6 , the base part 7 can stably support the turning part 5 . When the turning part 5 moves up and down, the turning part 5 may be inserted into or protruded from the base part 7 .

상기 구동부(8)는 상기 핸드부(2)들을 상기 암튜브(3) 상에서 이동시키기 위한 것이다. 상기 핸드부(2)가 복수개일 경우, 상기 구동부(8)는 복수개가 각각 하나의 핸드부(2)를 이동시킬 수 있다. 예컨대, 상기 핸드부(2)가 2개일 경우, 상기 구동부(8)는 2개일 수 있다. 상기 구동부(8)들은 상기 암튜브(3)에 결합될 수 있다. 상기 구동부(8)는 상기 암튜브(3)에 볼트결합, 용접결합, 접착결합 중 적어도 하나의 방법으로 결합될 수 있다. 상기 구동부(8)는 모터, 케이블드럼, 모터케이스를 포함할 수 있다. 상기 모터는 상기 케이블드럼을 회전시키기 위한 구동력을 발생시킨다. 상기 케이블드럼은 케이블을 통해 상기 핸드부(2)에 연결될 수 있다. 상기 모터가 상기 케이블드럼을 회전시키면, 상기 케이블드럼에 핸드부(2)에 연결된 케이블이 감기거나 풀림으로써 상기 핸드부(2)가 LM가이드레일을 따라 전진방향(FD) 또는 후퇴방향(BD)으로 이동할 수 있다. 상기 모터케이스는 상기 모터 회전시 발생되는 이물질이 기판 및 마스크 쪽으로 이동하는 것을 방지하기 위한 것이다. 상기 모터케이스는 상기 모터의 외측에서 상기 모터를 감싸도록 설치됨으로써, 외부로 이물질이 유출되는 것을 방지할 수 있다. 상기 구동부(8)는 상기 모터를 제어하기 위한 엔코더를 더 포함할 수 있다. 상기 엔코더에 전원을 공급하기 위한 배터리는 상기 베이스부(7)의 내부에 설치될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 상기 베이스부(7)가 진공영역이 아닌 대기영역에 설치되므로, 배터리 교체에 대한 용이성을 확보할 수 있다. 상기 구동부(8)가 2개일 경우, 상기 구동부(8)들은 Y축 방향을 기준으로 서로 마주보게 상기 암튜브(3)에 결합될 수 있다. 이 경우, 각각의 구동부(8)에 연결되는 케이블드럼은 상기 암튜브(3)의 내측에 위치될 수 있다. 상기 구동부(8)들은 X축 방향을 기준으로 상기 선회축 또는 상기 선회축에 근접한 근접위치에 위치하도록 상기 암튜브(3)에 결합될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 전체적인 무게중심을 상기 선회축 또는 상기 선회축에 근접한 위치에 형성시킴으로써, 상기 구동부(8)들이 상기 선회축으로부터 이격된 위치에 설치되는 경우에 비해 무게중심이 편심되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 기판 및 마스크 이송 시 편심된 무게중심으로 인해 상기 지지부(4), 상기 암튜브(3), 상기 핸드부(2) 중 적어도 하나가 기울어져 기판 및 마스크가 낙상하여 손상 내지 파손되는 것을 방지할 수 있다.The driving part 8 is for moving the hand parts 2 on the arm tube 3 . When there are a plurality of the hand parts 2 , the plurality of driving parts 8 may move one hand part 2 , respectively. For example, when the number of the hand parts 2 is two, the number of the driving parts 8 may be two. The driving units 8 may be coupled to the arm tube 3 . The driving unit 8 may be coupled to the arm tube 3 by at least one of bolt coupling, welding coupling, and adhesive coupling. The driving unit 8 may include a motor, a cable drum, and a motor case. The motor generates a driving force for rotating the cable drum. The cable drum may be connected to the hand unit 2 through a cable. When the motor rotates the cable drum, the cable connected to the hand part 2 is wound or unwound on the cable drum so that the hand part 2 moves along the LM guide rail in a forward direction (FD) or a backward direction (BD). can move to The motor case is to prevent foreign substances generated during rotation of the motor from moving toward the substrate and the mask. The motor case is installed so as to surround the motor from the outside of the motor, it is possible to prevent foreign matter from being leaked to the outside. The driving unit 8 may further include an encoder for controlling the motor. A battery for supplying power to the encoder may be installed inside the base part 7 . Accordingly, in the vacuum robot 1 according to the present invention, since the base part 7 is installed in the standby area, not the vacuum area, it is possible to secure the ease of battery replacement. When there are two driving units 8 , the driving units 8 may be coupled to the arm tube 3 to face each other in the Y-axis direction. In this case, the cable drum connected to each driving unit 8 may be located inside the arm tube 3 . The driving units 8 may be coupled to the arm tube 3 so as to be positioned at the pivot axis or a position close to the pivot axis in the X-axis direction. Accordingly, the vacuum robot 1 according to the present invention forms the overall center of gravity at the pivot or a position close to the pivot, compared to the case in which the driving units 8 are installed at positions spaced apart from the pivot. It is possible to prevent the center of gravity from being eccentric. Accordingly, in the vacuum robot 1 according to the present invention, at least one of the support part 4, the arm tube 3, and the hand part 2 is tilted due to the eccentric center of gravity when the substrate and the mask are transferred. It is possible to prevent the mask from being damaged or broken by falling.

이하에서는 상기 제1포크부재(221), 상기 제2포크부재(222), 상기 마스크지지부재(223) 및 상기 기판지지부재(224)에 관해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the first fork member 221 , the second fork member 222 , the mask support member 223 , and the substrate support member 224 will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3 내지 도 9를 참고하면, 상기 제1포크부재(221)는 상기 핸드기구(21)에 결합된다. 상기 제1포크부재(221)는 직방체의 막대형태로 형성될 수 있다. 상기 제1포크부재(221)는 일측이 후술할 결합부에 의해 상기 핸드기구(21)에 결합될 수 있다. 상기 제1포크부재(221)의 타측에는 상기 제2포크부재(222)가 결합될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1포크부재(221)는 상기 핸드기구(21)에 지지되어 상기 제2포크부재(222)를 지지할 수 있다. 상기 제1포크부재(221)는 길이가 상기 제2포크부재(222)의 길이와 동일하게 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 핸드기구(21)에 지지되어 상기 제2포크부재(222)에 대한 지지력을 높이기 위해 상기 제2포크부재(222)의 길이보다 짧게 형성될 수 있다. 상기 제1포크부재(221)는 두께(FH1, 도 6에 도시됨)가 상기 제2포크부재(222)의 두께(FH2, 도 6에 도시됨)에 비해 더 두껍게 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1포크부재(221)는 상기 제2포크부재(222)에 대한 지지력을 더 높일 수 있다. 상기 제2포크부재(222)에 결합되는 상기 제1포크부재(221)의 타측 부분은 상기 제2포크부재(222)에 결합되는 결합력이 급격하게 감소되는 것을 방지하기 위해 상기 제2포크부재(222) 쪽으로 갈수록 크기가 서서히 감소되게 형성될 수 있다.3 to 9 , the first fork member 221 is coupled to the hand mechanism 21 . The first fork member 221 may be formed in a rectangular bar shape. One side of the first fork member 221 may be coupled to the hand mechanism 21 by a coupling part to be described later. The second fork member 222 may be coupled to the other side of the first fork member 221 . Accordingly, the first fork member 221 may be supported by the hand mechanism 21 to support the second fork member 222 . The length of the first fork member 221 may be the same as that of the second fork member 222, but is not limited thereto. The length of the second fork member 222 may be shorter than that of the second fork member 222 in order to increase the supporting force. The thickness of the first fork member 221 (FH1, shown in FIG. 6) may be greater than that of the second fork member 222 (FH2, shown in FIG. 6). Accordingly, the first fork member 221 may further increase the supporting force of the second fork member 222 . The other portion of the first fork member 221 coupled to the second fork member 222 is formed with the second fork member ( 222) may be formed to gradually decrease in size toward the side.

상기 제2포크부재(222)는 상기 제1포크부재(221)에 결합된다. 상기 제2포크부재(222)는 상기 제1포크부재(221)에 용접결합, 접착결합, 볼트결합 중 적어도 하나의 방법으로 결합될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 제1포크부재(221)와 일체로 금형제작되거나 사출성형될 수도 있다. 상기 제2포크부재(222)는 두께(FH2)가 상기 제1포크부재(221)의 두께(FH1)에 비해 더 얇게 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 제2포크부재(222)가 기판 및 마스크 중 적어도 하나를 지지할 경우, 상기 기판 및 마스크의 지지높이가 상기 제1포크부재(221)가 지지하는 경우에 비해 낮아질 수 있다. 따라서, 상기 제2포크부재(222)가 공정챔버의 내부로 기판, 마스크를 삽입시킬 경우, 티칭마진이 커질 수 있다. 상기 티칭마진은 공정챔버로 기판, 마스크를 삽입시킬 경우, 상기 공정챔버 내부 공간의 높이에서 상기 제2포크부재(222)의 두께(FH2)와 상기 기판의 두께 또는 상기 마스크의 두께를 합한 길이를 뺀 나머지 길이를 의미한다. 따라서, 상기 티칭마진이 클수록 공정챔버의 내부에 여유 공간이 커지므로, 상기 제2포크부재(222), 상기 기판, 상기 마스크 중 적어도 하나가 상기 공정챔버에 충돌하는 것을 감소시킬 수 있다. 상기 제2포크부재(222)의 상면에는 마스크지지부재(223) 및 기판 지지부재(224)가 결합될 수 있다.The second fork member 222 is coupled to the first fork member 221 . The second fork member 222 may be coupled to the first fork member 221 by at least one of welding, adhesive, and bolting, but is not limited thereto. It may be molded integrally or may be injection molded. The thickness FH2 of the second fork member 222 may be thinner than the thickness FH1 of the first fork member 221 . Accordingly, when the second fork member 222 supports at least one of the substrate and the mask, the support height of the substrate and the mask may be lower than when the first fork member 221 supports it. Accordingly, when the second fork member 222 inserts the substrate and the mask into the process chamber, the teaching margin may increase. The teaching margin is the sum of the thickness FH2 of the second fork member 222 and the thickness of the substrate or the thickness of the mask at the height of the inner space of the process chamber when the substrate and the mask are inserted into the process chamber. minus the remaining length. Accordingly, as the teaching margin increases, the free space inside the process chamber increases, so that at least one of the second fork member 222 , the substrate, and the mask collides with the process chamber can be reduced. A mask support member 223 and a substrate support member 224 may be coupled to an upper surface of the second fork member 222 .

상기 마스크지지부재(223)는 마스크를 지지하기 위한 것이다. 상기 마스크지지부재(223)는 복수개가 X축 방향으로 서로 이격되게 상기 제2포크부재(222)에 결합될 수 있다. 예컨대, 상기 마스크지지부재(223)는 2개가 상기 제1포크부재(221)에 결합되는 상기 제2포크부재(222)의 일측, 및 상기 제2포크부재(222)의 일측과 반대되는 타측에 각각 위치하도록 상기 제2포크부재(222)에 결합될 수 있다. 예컨대, 상기 마스크지지부재(223)들은 마스크간격(SL1, 도 4에 도시됨)으로 이격되도록 상기 제2포크부재(222)에 결합될 수 있다. 상기 마스크간격(SL1)은 상기 제2포크부재(222)의 길이보다 짧게 형성될 수 있다. 상기 제2포크부재(222)의 일측에 결합되는 마스크지지부재(223)는 일측이 개방된 '┙'형태로 형성될 수 있다. 상기 제2포크부재(222)의 타측에 결합되는 마스크지지부재(223)는 일측이 개방된 '┕'형태로 형성될 수 있다. 상기 마스크지지부재(223)가 마스크를 지지할 경우, 상기 마스크는 일측과 타측이 각각 상기 마스크지지부재(223)에 삽입될 수 있다. 이에 따라, 상기 마스크지지부재(223)들은 마스크 이송 시 마스크가 X축 방향으로 이동하는 것을 방지할 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 마스크간격(SL1)은 마스크의 크기에 따라 변동될 수 있다.The mask support member 223 is for supporting the mask. A plurality of the mask support members 223 may be coupled to the second fork member 222 to be spaced apart from each other in the X-axis direction. For example, two of the mask support members 223 are provided on one side of the second fork member 222 coupled to the first fork member 221 , and on the other side opposite to one side of the second fork member 222 . It may be coupled to the second fork member 222 so as to be positioned respectively. For example, the mask support members 223 may be coupled to the second fork member 222 so as to be spaced apart by a mask interval SL1 (shown in FIG. 4 ). The mask interval SL1 may be formed to be shorter than the length of the second fork member 222 . The mask support member 223 coupled to one side of the second fork member 222 may be formed in a '┙' shape with one side open. The mask support member 223 coupled to the other side of the second fork member 222 may be formed in a '┕' shape with one side open. When the mask support member 223 supports the mask, one side and the other side of the mask may be inserted into the mask support member 223 , respectively. Accordingly, the mask support members 223 may prevent the mask from moving in the X-axis direction when the mask is transferred. Although not shown, the mask interval SL1 may vary depending on the size of the mask.

상기 기판지지부재(224)는 기판을 지지하기 위한 것이다. 상기 기판지지부재(224)는 복수개가 X축 방향으로 서로 이격되게 상기 제2포크부재(222)에 결합될 수 있다. 예컨대, 상기 기판지지부재(224)는 2개가 각각 상기 제1포크부재(221)에 결합되는 상기 제2포크부재(222)의 일측, 및 상기 제2포크부재(222)의 일측과 반대되는 타측에 위치하도록 상기 제2포크부재(222)에 결합될 수 있다. 상기 기판지지부재(224)들은 기판간격(SL2, 도 4에 도시됨)으로 이격되도록 상기 제2포크부재(222)에 결합될 수 있다. 이 경우, 상기 기판지지부재(224)들은 상기 마스크지지부재(223)들의 내측에 위치하도록 상기 제2포크부재(222)에 결합될 수 있다. 이에 따라, 상기 기판간격(SL2)은 상기 마스크간격(SL1)에 비해 좁은 간격일 수 있다. 기판의 크기가 마스크의 크기보다 작기 때문이다. 이에 따라, 상기 핸드부(2)가 기판과 마스크를 동시에 이송할 경우, 기판은 마스크의 내측에 위치되어 이송될 수 있다. 상기 제2포크부재(222)의 일측에 결합되는 기판지지부재(224)는 일측이 개방된 '┙'형태로 형성될 수 있다. 상기 제2포크부재(222)의 타측에 결합되는 기판지지부재(224)는 일측이 개방된 '┕'형태로 형성될 수 있다. 상기 기판지지부재(224)가 기판을 지지할 경우, 상기 기판은 일측과 타측이 각각 상기 기판지지부재(224)에 삽입될 수 있다. 이에 따라, 상기 기판지지부재(224)들은 기판 이송 시 기판이 X축 방향으로 이동하는 것을 방지할 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 기판간격(SL2)은 기판의 크기에 따라 변동될 수 있다.The substrate support member 224 is for supporting the substrate. A plurality of the substrate support members 224 may be coupled to the second fork member 222 to be spaced apart from each other in the X-axis direction. For example, two of the substrate support members 224 may include one side of the second fork member 222 coupled to the first fork member 221 , and the other side opposite to one side of the second fork member 222 , respectively. It may be coupled to the second fork member 222 so as to be positioned in the . The substrate support members 224 may be coupled to the second fork member 222 to be spaced apart from each other at a substrate interval SL2 (shown in FIG. 4 ). In this case, the substrate support members 224 may be coupled to the second fork member 222 to be positioned inside the mask support members 223 . Accordingly, the substrate spacing SL2 may be narrower than the mask spacing SL1 . This is because the size of the substrate is smaller than the size of the mask. Accordingly, when the hand unit 2 transports the substrate and the mask at the same time, the substrate may be transferred while being located inside the mask. The substrate support member 224 coupled to one side of the second fork member 222 may be formed in a '┙' shape with one side open. The substrate support member 224 coupled to the other side of the second fork member 222 may be formed in a '┕' shape with one side open. When the substrate supporting member 224 supports the substrate, one side and the other side of the substrate may be inserted into the substrate supporting member 224 , respectively. Accordingly, the substrate support members 224 may prevent the substrate from moving in the X-axis direction when the substrate is transferred. Although not shown, the substrate spacing SL2 may vary depending on the size of the substrate.

상기 마스크지지부재(223)의 두께(SH1, 도 7에 도시됨)는 상기 기판지지부재(224)의 두께(SH2, 도 7에 도시됨)에 비해 더 두껍게 형성될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 상기 핸드부(2)가 기판과 마스크를 동시에 이송할 경우 마스크를 기판보다 상측에 위치시킴으로써 서로 간섭되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 기판과 마스크 이송 시 진동과 흔들림으로 인해 기판과 마스크가 충돌하여 손상 내지 파손되는 것을 방지할 수 있다. 다만, 이 경우 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 기판을 먼저 로딩(Loading)한 후에 마스크를 로딩하여 이송하거나, 공정챔버에 기판보다 상측에 마스크가 위치된 경우 기판과 마스크를 동시에 로딩하여 이송할 수 있다. 마스크의 내부에 기판의 크기와 동일하거나 기판의 크기보다 크게 마스크를 관통하는 관통공이 형성된 경우, 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 마스크를 먼저 로딩한 후에 기판을 로딩할 수도 있다. 공정챔버에 기판과 마스크를 언로딩(Unloading)하는 순서는 상기 로딩하는 순서의 역순일 수 있다.The thickness of the mask support member 223 (SH1 shown in FIG. 7 ) may be thicker than the thickness SH2 (shown in FIG. 7 ) of the substrate support member 224 . Accordingly, the vacuum robot 1 according to the present invention can prevent the hand unit 2 from interfering with each other by positioning the mask above the substrate when the substrate and the mask are simultaneously transferred. Therefore, the vacuum robot 1 according to the present invention can prevent damage or damage to the substrate and the mask due to vibration and shaking when transferring the substrate and the mask. However, in this case, the vacuum robot 1 according to the present invention loads the substrate first and then loads and transports the mask, or if the mask is located above the substrate in the process chamber, the substrate and the mask are simultaneously loaded and transported can do. When a through hole passing through the mask is formed in the mask having the same size as the size of the substrate or larger than the size of the substrate, the vacuum robot 1 according to the present invention may load the substrate after loading the mask first. The order of unloading the substrate and the mask into the process chamber may be a reverse order of the loading order.

도 8 및 도 9를 참고하면, 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 결합부(9)를 더 포함할 수 있다.8 and 9 , the vacuum robot 1 according to the present invention may further include a coupling part 9 .

상기 결합부(9)는 상기 포크기구(22)를 상기 핸드기구(21)에 결합시키기 위한 것이다. 상기 핸드기구(21)는 상기 포크기구(22) 및 상기 결합부(9)가 삽입되기 위한 삽입홈을 포함할 수 있다. 상기 결합부(9)는 상기 포크기구(22)에 결합되어 상기 삽입홈에 삽입됨으로써, 상기 포크기구(22)를 상기 핸드기구(21)에 결합시킬 수 있다. 상기 결합부(9)는 상기 삽입홈으로부터 이격됨으로써, 상기 포크기구(22)를 상기 핸드기구(21)로부터 분리시킬 수 있다. 상기 결합부(9)는 커버기구(91) 및 체결기구(92)를 포함할 수 있다.The coupling part 9 is for coupling the fork mechanism 22 to the hand mechanism 21 . The hand mechanism 21 may include an insertion groove into which the fork mechanism 22 and the coupling part 9 are inserted. The coupling part 9 is coupled to the fork mechanism 22 and inserted into the insertion groove, thereby coupling the fork mechanism 22 to the hand mechanism 21 . The coupling part 9 may be spaced apart from the insertion groove, thereby separating the fork mechanism 22 from the hand mechanism 21 . The coupling part 9 may include a cover mechanism 91 and a fastening mechanism 92 .

상기 커버기구(91)는 상기 포크기구(22)에 결합될 수 있다. 구체적으로, 상기 커버기구(91)는 상기 제1포크부재(221)의 일측에 결합될 수 있다. 상기 커버기구(91)는 상측커버부재(911), 하측커버부재(912) 및 슬립방지부재(913)를 더 포함할 수 있다.The cover mechanism 91 may be coupled to the fork mechanism 22 . Specifically, the cover mechanism 91 may be coupled to one side of the first fork member 221 . The cover mechanism 91 may further include an upper cover member 911 , a lower cover member 912 , and a slip prevention member 913 .

상기 상측커버부재(911)는 Z축 방향을 기준으로 상기 제1포크부재(221)의 상측에 위치하도록 상기 제1포크부재(221)에 결합될 수 있다. 상기 상측커버부재(911)는 Y축 방향의 단면이 세워진 'ㄷ'자 형태일 수 있다. 상기 상측커버부재(911)는 전체적으로 세워진 'ㄷ'자 막대형태로 형성될 수 있다. 상기 상측커버부재(911)는 상기 제1포크부재(221)가 삽입되기 위한 제1포크삽입홈을 포함할 수 있다. 상기 상측커버부재(911)는 상기 제1포크부재(221)가 상기 제1포크삽입홈에 삽입되고 볼트에 의해 체결됨으로써, 상기 제1포크부재(221)에 결합될 수 있다. 이 경우, 상기 볼트는 Z축 방향을 기준으로 상기 상측커버부재(911)의 상측에서 하측을 향하는 방향으로 이동하여 상기 상측커버부재(911)를 상기 제1포크부재(221)에 결합시킬 수 있다. 상기 볼트는 상기 상측커버부재(911) 및 상기 제1포크부재(221)를 관통하여 상기 하측커버부재(912)에 결합될 수 있다. 상기 하측커버부재(912)에는 상기 볼트가 나사체결되기 위해 나사산이 있는 결합공이 형성될 수 있다.The upper cover member 911 may be coupled to the first fork member 221 so as to be positioned above the first fork member 221 in the Z-axis direction. The upper cover member 911 may have a 'C' shape in which the cross section in the Y-axis direction is erected. The upper cover member 911 may be formed in the form of a 'C'-shaped bar that is erected as a whole. The upper cover member 911 may include a first fork insertion groove into which the first fork member 221 is inserted. The upper cover member 911 may be coupled to the first fork member 221 by inserting the first fork member 221 into the first fork insertion groove and fastening with a bolt. In this case, the bolt may move from the upper side to the lower side of the upper cover member 911 based on the Z-axis direction to couple the upper cover member 911 to the first fork member 221 . . The bolt may pass through the upper cover member 911 and the first fork member 221 to be coupled to the lower cover member 912 . A coupling hole having a thread may be formed in the lower cover member 912 to be screwed with the bolt.

상기 하측커버부재(912)는 Z축 방향을 기준으로 상기 제1포크부재(221)의 하측에 위치하도록 상기 상측커버부재(911)에 결합될 수 있다. 상기 하측커버부재(912)는 Y축 방향의 단면이 눕혀진 'ㄷ'자 형태일 수 있다. 상기 하측커버부재(912)는 전체적으로 눕혀진 'ㄷ'자 막대형태로 형성될 수 있다. 상기 하측커버부재(912)는 상기 제1포크부재(221)가 삽입되기 위한 제2포크삽입홈을 포함할 수 있다. 상기 하측커버부재(912)는 상기 제1포크부재(221)가 상기 제2포크삽입홈에 삽입되고 볼트에 의해 상기 상측커버부재(911)에 결합됨으로써, 상기 제1포크부재(221)에 결합될 수 있다.The lower cover member 912 may be coupled to the upper cover member 911 so as to be positioned below the first fork member 221 in the Z-axis direction. The lower cover member 912 may have a 'C' shape in which the cross section in the Y-axis direction is laid down. The lower cover member 912 may be formed in the form of a 'C'-shaped bar that is laid down as a whole. The lower cover member 912 may include a second fork insertion groove into which the first fork member 221 is inserted. The lower cover member 912 is coupled to the first fork member 221 by the first fork member 221 being inserted into the second fork insertion groove and coupled to the upper cover member 911 by a bolt. can be

상기 슬립방지부재(913)는 상기 상측커버부재(911) 및 상기 하측커버부재(912) 중 적어도 하나에 대해 상기 제1포크부재(221)가 미끄러지는 것을 방지하기 위한 것이다. 상기 슬립방지부재(913)는 상기 상측커버부재(911)와 상기 제1포크부재(221) 사이에 위치하도록 상기 상측커버부재(911)와 상기 제1포크부재(221)에 결합될 수 있다. 상기 슬립방지부재(913)는 상기 하측커버부재(912)와 상기 제1포크부재(221) 사이에 위치하도록 상기 하측커버부재(912)와 상기 제1포크부재(221)에 결합될 수도 있다. 즉, 상기 슬립방지부재(913)는 상기 제1포크부재(221)를 기준으로 상측과 하측에 각각 위치될 수 있다. 상기 슬립방지부재(913)는 고무재질로 형성될 수 있다. 상기 슬립방지부재(913)는 상기 제1포크삽입홈 및 상기 제2포크삽입홈에 각각 삽입될 수 있는 크기로 형성될 수 있다. 상기 슬립방지부재(913)는 상기 상측커버부재(911)와 상기 하측커버부재(912)를 결합시키기 위한 볼트가 관통할 수 있는 관통홀을 포함할 수 있다. 상기 슬립방지부재(913)는 스텐레스강(SUS) 재질로 형성되는 상기 상측커버부재(911), 상기 제1포크부재(221) 및 상기 하측커버부재(912)의 사이에 각각 설치되어 마찰력을 높임으로써, 상기 상측커버부재(911), 상기 제1포크부재(221), 및 상기 하측커버부재(912)가 서로 미끄러지는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 상기 핸드기구(21)에 대해 상기 포크기구(22)가 미끄러지는 것을 방지함으로써, 상기 슬립방지부재(913)가 없는 경우에 비해 기판 및 마스크를 공정챔버로 더 안전하게 이송할 수 있다.The slip prevention member 913 is to prevent the first fork member 221 from sliding with respect to at least one of the upper cover member 911 and the lower cover member 912 . The slip prevention member 913 may be coupled to the upper cover member 911 and the first fork member 221 so as to be positioned between the upper cover member 911 and the first fork member 221 . The slip prevention member 913 may be coupled to the lower cover member 912 and the first fork member 221 so as to be positioned between the lower cover member 912 and the first fork member 221 . That is, the anti-slip member 913 may be positioned above and below the first fork member 221 , respectively. The slip prevention member 913 may be formed of a rubber material. The slip prevention member 913 may be formed to a size that can be respectively inserted into the first fork insertion groove and the second fork insertion groove. The slip prevention member 913 may include a through hole through which a bolt for coupling the upper cover member 911 and the lower cover member 912 can pass. The anti-slip member 913 is installed between the upper cover member 911, the first fork member 221, and the lower cover member 912 formed of a stainless steel (SUS) material, respectively, to increase friction. Accordingly, it is possible to prevent the upper cover member 911, the first fork member 221, and the lower cover member 912 from sliding with each other. Accordingly, the vacuum robot 1 according to the present invention prevents the fork mechanism 22 from sliding with respect to the hand mechanism 21, thereby reducing the substrate and mask compared to the case without the slip prevention member 913. It can be safely transported to the process chamber.

상기 체결기구(92)는 상기 커버기구(91)를 상기 핸드기구(21)에 결합시키기 위한 것이다. 상기 체결기구(92)는 복수개가 서로 이격된 위치에서 상기 하측커버부재(912)에 나사체결되고, 상기 핸드기구(21)에 형성된 체결홈에 나사체결될 수 있다. 상기 체결기구(92)가 상기 커버기구(91)를 상기 핸드기구(21)에 결합시키는 방법은 다음과 같다. 우선, 상기 체결기구(92)는 4개가 상기 하측커버부재(912)의 가장자리 모서리 쪽에 각각 분산배치되고, 상기 하측커버부재(912)에 형성되는 4개의 체결공에 시계방향으로 회전되어 나사체결될 수 있다. 다음, 상기 체결기구(92)는 일부가 상기 하측커버부재(912)의 하측으로 돌출되도록 시계방향으로 더 회전될 수 있다. 다음, 상기 체결기구(92)는 시계방향으로 회전되어 돌출된 부분이 상기 핸드기구(21)의 체결홈에 삽입되도록 나사체결될 수 있다. 상기와 같은 과정은 작업자에 의해 수행될 수 있다. 이에 따라, 상기 커버기구(91)는 상기 핸드기구(21)에 결합될 수 있다. 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 상기 체결기구(92)를 회전시킴으로써, 상기 커버기구(91)를 상하 방향으로 이동시킬 수 있다. 예컨대, 상기 체결기구(92)를 시계방향으로 회전시켜 상기 돌출된 부분을 상기 체결홈에 점점 삽입시킴으로써, 상기 커버기구(91)를 하측 방향으로 이동시킬 수 있다. 예컨대, 상기 체결기구(92)를 반시계방향으로 회전시켜 상기 돌출된 부분을 상기 체결홈으로부터 이격되는 상측 방향으로 이동시킴으로써, 상기 커버기구(91)를 상측 방향으로 이동시킬 수 있다. 상기 커버기구(91)는 상기 포크기구(22)에 결합되므로, 상기 커버기구(91)가 상하 방향으로 이동하면 상기 포크기구(22)도 상하 방향으로 이동할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 상기 체결기구(92)를 시계방향 또는 반시계방향으로 회전시킴으로써, 상기 커버기구(91)를 상하 방향으로 이동시켜 상기 커버기구(91)에 결합되는 상기 포크기구(22)를 용이하게 상하 방향으로 이동시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 진공로봇(1)은 상기 포크기구(22)의 높낮이를 조절하는 레벨링 작업에 걸리는 시간을 단축시킴으로써, 기판 및 마스크의 전체적인 이송시간을 단축시켜 공정이 완료된 전자부품에 대한 생산성이 저하되는 것을 방지할 수 있다.The fastening mechanism 92 is for coupling the cover mechanism 91 to the hand mechanism 21 . A plurality of the fastening mechanisms 92 may be screwed to the lower cover member 912 at positions spaced apart from each other, and screwed into the fastening grooves formed in the hand mechanism 21 . A method for the fastening mechanism 92 to couple the cover mechanism 91 to the hand mechanism 21 is as follows. First, four of the fastening mechanisms 92 are dispersedly disposed on the edge of the lower cover member 912, respectively, and are rotated clockwise to the four fastening holes formed in the lower cover member 912 to be screwed. can Next, the fastening mechanism 92 may be further rotated clockwise so that a portion thereof protrudes downward of the lower cover member 912 . Next, the fastening mechanism 92 may be screwed so that the protruding portion is rotated clockwise to be inserted into the fastening groove of the hand mechanism 21 . The above process may be performed by an operator. Accordingly, the cover mechanism 91 may be coupled to the hand mechanism 21 . The vacuum robot 1 according to the present invention can move the cover mechanism 91 in the vertical direction by rotating the fastening mechanism 92 . For example, by rotating the fastening mechanism 92 clockwise to gradually insert the protruding portion into the fastening groove, the cover mechanism 91 can be moved downward. For example, by rotating the fastening mechanism 92 counterclockwise to move the protruding portion in an upward direction spaced apart from the fastening groove, the cover mechanism 91 may be moved upwardly. Since the cover mechanism 91 is coupled to the fork mechanism 22, when the cover mechanism 91 moves in the vertical direction, the fork mechanism 22 can also move in the vertical direction. Accordingly, the vacuum robot 1 according to the present invention rotates the fastening mechanism 92 in a clockwise or counterclockwise direction, thereby moving the cover mechanism 91 in the vertical direction to be coupled to the cover mechanism 91 . The fork mechanism 22 can be easily moved in the vertical direction. Therefore, the vacuum robot 1 according to the present invention shortens the time taken for the leveling operation for adjusting the height of the fork mechanism 22, thereby shortening the overall transfer time of the substrate and the mask, thereby reducing the productivity of the electronic components in which the process is completed. This deterioration can be prevented.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.The present invention described above is not limited to the above-described embodiments and the accompanying drawings, and it is common in the technical field to which the present invention pertains that various substitutions, modifications, and changes are possible without departing from the technical spirit of the present invention. It will be clear to those who have the knowledge of

1 : 진공로봇
2 : 핸드부 3 : 암튜브
4 : 지지부 5 : 선회부
6 : 승강부 7 : 베이스부
8 : 구동부 9 : 결합부
21 : 핸드기구 22 : 포크기구
91 : 커버기구 92 : 체결기구
221 : 제1포크부재 222 : 제2포크부재
223 : 마스크지지부재 224 : 기판지지부재
911 : 상측커버부재 912 : 하측커버부재
913 : 슬립방지부재1: vacuum robot
2: hand part 3: arm tube
4: support part 5: turning part
6: elevating part 7: base part
8: driving unit 9: coupling unit
21: hand mechanism 22: fork mechanism
91: cover mechanism 92: fastening mechanism
221: first fork member 222: second fork member
223: mask support member 224: substrate support member
911: upper cover member 912: lower cover member
913: slip prevention member

Claims (5)

기판 및 마스크 중 적어도 하나를 지지하기 위한 복수개의 핸드부;
상기 핸드부들이 이동 가능하게 결합되는 암튜브;
상기 암튜브를 지지하기 위한 지지부;
상기 지지부를 회전시키기 위한 선회부;
상기 선회부를 승강시키기 위한 승강부;
상기 선회부가 회전 가능하게 결합되는 베이스부; 및
상기 암튜브에 결합되고, 상기 핸드부들을 상기 암튜브 상에서 이동시키기 위한 복수개의 구동부를 포함하고,
상기 핸드부는,
상기 암튜브에 결합되는 핸드기구; 및
상기 핸드기구에 서로 이격되게 결합되는 복수개의 포크기구를 포함하며,
상기 포크기구는,
상기 마스크를 지지하기 위한 복수개의 마스크지지부재; 및
상기 마스크지지부재들 사이에 위치하고, 상기 기판을 지지하기 위한 복수개의 기판지지부재를 포함하며,
상기 포크기구를 상기 핸드기구에 결합시키기 위한 결합부를 포함하고,
상기 결합부는,
상기 포크기구에 결합되는 커버기구; 및
상기 커버기구를 상기 핸드기구에 결합시키기 위한 복수개의 체결기구를 포함하고,
상기 체결기구들은 상기 포크기구가 상하 방향으로 이동하도록 시계방향 또는 반시계방향으로 회전하여 상기 커버기구를 상하 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 진공로봇.a plurality of hand parts for supporting at least one of the substrate and the mask;
an arm tube to which the hand parts are movably coupled;
a support for supporting the arm tube;
a pivot for rotating the support;
a lifting unit for elevating the turning unit;
a base portion to which the turning portion is rotatably coupled; and
A plurality of driving units coupled to the arm tube and configured to move the hand units on the arm tube,
The hand part,
a hand mechanism coupled to the arm tube; and
A plurality of fork mechanisms coupled to the hand mechanism to be spaced apart from each other,
The fork mechanism,
a plurality of mask support members for supporting the mask; and
It is located between the mask support members and includes a plurality of substrate support members for supporting the substrate,
and a coupling part for coupling the fork mechanism to the hand mechanism;
The coupling part,
a cover mechanism coupled to the fork mechanism; and
a plurality of fastening mechanisms for coupling the cover mechanism to the hand mechanism;
The fastening mechanism rotates clockwise or counterclockwise so that the fork mechanism moves in the vertical direction to move the cover mechanism in the vertical direction. 제1항에 있어서,
상기 마스크지지부재는 마스크가 기판보다 상측에 위치하도록 상기 기판지지부재에 비해 두께가 더 두껍게 형성되는 것을 특징으로 하는 진공로봇.According to claim 1,
The vacuum robot, characterized in that the mask support member is formed to be thicker than the substrate support member so that the mask is positioned above the substrate. 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 포크기구는
상기 핸드기구에 결합되는 제1포크부재; 및
상기 제1포크부재에 결합되는 제2포크부재를 포함하고,
상기 마스크지지부재와 상기 기판지지부재는 상기 제2포크부재에 결합되며,
상기 제2포크부재는 기판 또는 마스크에 대한 티칭마진이 크도록 상기 제1포크부재에 비해 두께가 더 얇게 형성되는 것을 특징으로 하는 진공로봇.The method of claim 1, wherein the fork mechanism
a first fork member coupled to the hand mechanism; and
a second fork member coupled to the first fork member;
The mask support member and the substrate support member are coupled to the second fork member,
The vacuum robot, characterized in that the second fork member is formed thinner than the first fork member so as to have a large teaching margin for the substrate or mask. 제1항에 있어서, 상기 커버기구는
상기 포크기구의 상측에 위치하도록 상기 포크기구에 결합되는 상측커버부재;
상기 포크기구의 하측에 위치하도록 상기 상측커버부재에 결합되는 하측커버부재; 및
상기 상측커버부재와 상기 하측커버부재 중 적어도 하나에 대해 상기 포크기구가 미끄러지는 것을 방지하도록 상기 상측커버부재와 상기 하측커버부재에 결합되는 슬립방지부재를 포함하는 진공로봇.The method of claim 1, wherein the cover mechanism
an upper cover member coupled to the fork mechanism so as to be positioned above the fork mechanism;
a lower cover member coupled to the upper cover member so as to be positioned below the fork mechanism; and
and a slip prevention member coupled to the upper cover member and the lower cover member to prevent the fork mechanism from sliding with respect to at least one of the upper cover member and the lower cover member.
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