KR102189275B1 - Transfer robot and transfer apparatus including the same - Google Patents

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김윤회
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Abstract

Disclosed is a transfer apparatus capable of transferring materials between spaces spaced apart from each other. According to the present invention, the transfer apparatus comprises: a transfer robot for transferring a container for material storage in a first horizontal direction; and a second transfer robot spaced apart from the transfer robot by a predetermined distance in the first horizontal direction and receiving the container transferred by the transfer robot. The transfer robot includes: a robot arm extending in the first horizontal direction; a horizontal driving unit for moving the robot arm in the first horizontal direction; a stage disposed on the robot arm and for supporting the container for material storage; and a stage driving unit for moving the stage in the first horizontal direction on the robot arm.

Description

이송 로봇 및 이를 포함하는 이송 장치{Transfer robot and transfer apparatus including the same}Transfer robot and transfer apparatus including the same TECHNICAL FIELD

본 발명의 실시예들은 이송 로봇과 이를 포함하는 이송 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 자재 수납을 위한 용기를 이송하기 위한 이송 로봇과 이를 포함하는 이송 장치에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to a transfer robot and a transfer device including the same. More specifically, it relates to a transfer robot for transferring a container for material storage and a transfer device including the same.

일반적으로 반도체 또는 디스플레이 제조 공장의 제조 라인은 복층으로 구성되며 각 층들에는 증착, 노광, 식각, 이온 주입, 세정 등의 공정 수행을 위한 설비들이 배치될 수 있으며, 반도체 기판으로서 사용되는 반도체 웨이퍼 또는 디스플레이 기판으로서 사용되는 유리 기판에 대하여 일련의 단위 공정들을 반복적으로 수행함으로써 반도체 장치 또는 디스플레이 장치가 제조될 수 있다.In general, a manufacturing line of a semiconductor or display manufacturing plant is composed of multiple layers, and facilities for performing processes such as deposition, exposure, etching, ion implantation, cleaning, etc. can be arranged in each layer. A semiconductor device or a display device can be manufactured by repeatedly performing a series of unit processes on a glass substrate used as a substrate.

한편, 상기 각 층들 사이에서의 자재 이송 즉 반도체 웨이퍼 또는 유리 기판과 같은 자재들의 이송은 상기 각 층들을 통해 수직 방향으로 설치되는 타워 리프트에 의해 이루어질 수 있다.Meanwhile, the transfer of materials between the respective layers, that is, transfer of materials such as a semiconductor wafer or a glass substrate may be performed by a tower lift installed in a vertical direction through each of the layers.

상기 타워 리프트는 자재 이송을 위한 캐리지 모듈과, 상기 캐리지 모듈을 수직 방향으로 안내하기 위한 가이드 레일들이 설치되는 메인 프레임(Main frame)과, 상기 캐리지 모듈의 후방에 배치되는 웨이트 모듈(Weight module)과, 타이밍 벨트들(timing belt)을 이용하여 상기 캐리지 모듈과 상기 웨이트 모듈을 수직 방향으로 이동시키기 위한 구동 모듈 등을 포함할 수 있다. 상기 캐리지 모듈은 상기 자재들의 수납을 위한 용기를 이송하기 위한 캐리지 로봇을 포함할 수 있다.The tower lift includes a carriage module for transporting materials, a main frame in which guide rails for guiding the carriage module in a vertical direction are installed, a weight module disposed at the rear of the carriage module, and And a driving module for moving the carriage module and the weight module in a vertical direction using timing belts. The carriage module may include a carriage robot for transferring a container for storing the materials.

한편, 상기 캐리지 로봇에 상기 용기를 전달하거나 상기 캐리지 로봇으로부터 상기 용기를 전달받기 위한 이송 장치가 상기 타워 리프트에 인접하도록 배치될 수 있다. 상기 이송 장치는 상기 용기를 이송하기 위한 이송 로봇을 포함할 수 있다. 상기 타워 리프트와 상기 이송 장치가 각각 배치되는 제1 공간과 제2 공간 사이가 벽에 의해 구분되는 경우 상기 벽에는 상기 용기의 이송을 위한 개구가 구비될 수 있다. 그러나, 화재 발생시 상기 개구를 닫기 위한 방화 셔터가 상기 벽에 장착될 수 있으므로 상기 개구 내에 상기 이송 장치의 이송 레일 등을 설치하기 어려운 문제점이 있다. 또한, 클린룸들 사이에서 상기 용기를 이송하는 경우 상기 클린룸들 사이의 벽에는 상기 용기를 이송하기 위한 개구와 방화 셔터가 구비될 수 있으며, 이 경우에도 상기 용기의 이송을 위한 이송 장치의 설치가 어려운 문제점이 있다.Meanwhile, a transfer device for transferring the container to the carriage robot or receiving the container from the carriage robot may be disposed adjacent to the tower lift. The transfer device may include a transfer robot for transferring the container. When a first space and a second space in which the tower lift and the transfer device are respectively disposed are separated by a wall, an opening for transferring the container may be provided in the wall. However, since a fire shutter for closing the opening in the event of a fire may be mounted on the wall, there is a problem in that it is difficult to install a transport rail or the like of the transport device in the opening. In addition, when transferring the container between clean rooms, an opening for transferring the container and a fire shutter may be provided on the wall between the clean rooms, and in this case, installation of a transfer device for transferring the container There is a difficult problem.

대한민국 공개특허공보 제10-2010-0073670호 (공개일자 2010년 07월 01일)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2010-0073670 (published on July 1, 2010) 대한민국 공개특허공보 제10-2018-0047185호 (공개일자 2018년 05월 10일)Korean Patent Application Publication No. 10-2018-0047185 (Publication date May 10, 2018)

본 발명의 실시예들은 서로 이격된 공간들 사이에서 자재 이송이 가능한 이송 로봇과 이를 포함하는 이송 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.An object of the present invention is to provide a transfer robot capable of transferring materials between spaces spaced apart from each other, and a transfer device including the same.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 이송 로봇은, 제1 수평 방향으로 연장하는 로봇 암과, 상기 로봇 암을 상기 제1 수평 방향으로 이동시키기 위한 수평 구동부와, 상기 로봇 암 상에 배치되며 자재 수납을 위한 용기를 지지하기 위한 스테이지와, 상기 로봇 암 상에서 상기 제1 수평 방향으로 상기 스테이지를 이동시키기 위한 스테이지 구동부를 포함할 수 있다.A transfer robot according to an aspect of the present invention for achieving the above object includes a robot arm extending in a first horizontal direction, a horizontal driving part for moving the robot arm in the first horizontal direction, and on the robot arm It is disposed and may include a stage for supporting a container for storing materials, and a stage driving part for moving the stage in the first horizontal direction on the robot arm.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 이송 로봇은, 상기 스테이지 상에 배치되며 상기 용기의 정렬을 위한 정렬 핀들을 더 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the transfer robot may further include alignment pins disposed on the stage and for aligning the container.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 이송 로봇은, 상기 스테이지를 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부를 더 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the transfer robot may further include a vertical driving unit for moving the stage in a vertical direction.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 이송 로봇은, 상기 스테이지를 회전시키기 위한 회전 구동부를 더 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the transfer robot may further include a rotation driving unit for rotating the stage.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 이송 로봇은, 상기 제1 수평 방향으로 연장하며 상기 수평 구동부가 장착되는 프레임 조립체를 더 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the transfer robot may further include a frame assembly extending in the first horizontal direction and to which the horizontal driving part is mounted.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 이송 로봇은, 상기 프레임 조립체 상에 배치되며 상기 용기가 놓여지는 재치대를 더 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the transfer robot may further include a mounting table disposed on the frame assembly and on which the container is placed.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 프레임 조립체는, 상기 제1 수평 방향에 대하여 수직하는 제2 수평 방향으로 상기 로봇 암의 양측에 각각 배치되며 상기 로봇 암과 평행하게 연장하는 프레임들을 포함할 수 있으며, 상기 재치대는 상기 프레임들의 단부들 상에 배치되며 상기 스테이지에 대응하는 리세스를 가질 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the frame assembly includes frames disposed on both sides of the robot arm in a second horizontal direction perpendicular to the first horizontal direction and extending parallel to the robot arm. The mounting table may be disposed on end portions of the frames and may have recesses corresponding to the stage.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 재치대는 상기 용기의 정렬을 위한 재치대 정렬 핀들을 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the mounting table may include mounting pins for aligning the container.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따른 이송 장치는, 제1 수평 방향으로 자재 수납을 위한 용기를 이송하기 위한 이송 로봇과, 상기 이송 로봇으로부터 상기 제1 수평 방향으로 소정 거리 이격되며 상기 이송 로봇에 의해 이송되는 상기 용기를 전달받는 제2 이송 로봇을 포함할 수 있으며, 상기 이송 로봇은, 상기 제1 수평 방향으로 연장하는 로봇 암과, 상기 로봇 암을 상기 제1 수평 방향으로 이동시키기 위한 수평 구동부와, 상기 로봇 암 상에 배치되며 상기 용기를 지지하기 위한 스테이지와, 상기 로봇 암 상에서 상기 제1 수평 방향으로 상기 스테이지를 이동시키기 위한 스테이지 구동부를 포함할 수 있다.A transfer device according to another aspect of the present invention for achieving the above object includes a transfer robot for transferring a container for material storage in a first horizontal direction, and a predetermined distance apart from the transfer robot in the first horizontal direction, and the And a second transfer robot receiving the container transferred by the transfer robot, wherein the transfer robot includes a robot arm extending in the first horizontal direction, and moving the robot arm in the first horizontal direction. A horizontal driving unit for, a stage disposed on the robot arm and supporting the container, and a stage driving unit for moving the stage in the first horizontal direction on the robot arm.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 이송 로봇은, 상기 제1 수평 방향으로 연장하며 상기 수평 구동부가 장착되는 프레임 조립체와, 상기 프레임 조립체 상에 배치되며 상기 용기가 놓여지는 재치대를 더 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the transfer robot further includes a frame assembly extending in the first horizontal direction and on which the horizontal driving unit is mounted, and a mounting table disposed on the frame assembly and on which the container is placed. can do.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 프레임 조립체는, 상기 제1 수평 방향에 대하여 수직하는 제2 수평 방향으로 상기 로봇 암의 양측에 각각 배치되며 상기 로봇 암과 평행하게 연장하는 프레임들을 포함할 수 있으며, 상기 재치대는 상기 프레임들의 단부들 상에 배치되며 상기 스테이지에 대응하는 리세스를 가질 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the frame assembly includes frames disposed on both sides of the robot arm in a second horizontal direction perpendicular to the first horizontal direction and extending parallel to the robot arm. The mounting table may be disposed on end portions of the frames and may have recesses corresponding to the stage.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 재치대는 상기 용기를 지지하기 위한 서포트 플레이트들을 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the mounting table may include support plates for supporting the container.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 제2 이송 로봇은, 상기 용기를 지지하기 위한 제2 스테이지와, 상기 제2 스테이지를 상기 제1 수평 방향으로 이동시키기 위한 제2 수평 구동부를 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the second transfer robot may include a second stage for supporting the container and a second horizontal driving unit for moving the second stage in the first horizontal direction. have.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 제2 이송 로봇은, 상기 제1 수평 방향으로 연장하며 상기 제2 수평 구동부가 장착되는 제2 프레임 조립체와, 상기 제2 프레임 조립체 상에 배치되며 상기 이송 로봇에 의해 이송된 상기 용기가 놓여지는 제2 재치대를 더 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the second transfer robot includes a second frame assembly extending in the first horizontal direction and on which the second horizontal driving unit is mounted, and is disposed on the second frame assembly and the transfer It may further include a second mounting table on which the container transported by the robot is placed.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 이송 로봇은 상기 스테이지를 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부를 더 포함할 수 있으며, 상기 제2 이송 로봇은 상기 제2 스테이지를 수직 방향으로 이동시키기 위한 제2 수직 구동부를 더 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the transfer robot may further include a vertical driving unit for moving the stage in a vertical direction, and the second transfer robot is a second transfer robot for moving the second stage in a vertical direction. 2 It may further include a vertical driving unit.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 제2 프레임 조립체는, 상기 제1 수평 방향에 대하여 수직하는 제2 수평 방향으로 상기 제2 스테이지의 양측에 각각 배치되며 상기 제1 수평 방향으로 서로 평행하게 연장하는 제2 프레임들을 포함할 수 있으며, 상기 제2 재치대는 상기 제2 프레임들의 단부들 상에 배치되며 상기 용기를 지지하기 위한 제2 서포트 플레이트들을 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the second frame assembly is disposed on both sides of the second stage in a second horizontal direction perpendicular to the first horizontal direction, and parallel to each other in the first horizontal direction. It may include extending second frames, and the second mounting table may include second support plates disposed on ends of the second frames and supporting the container.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 제2 이송 로봇은, 상기 용기를 지지하기 위한 제2 스테이지와, 상기 제2 스테이지를 상기 제1 수평 방향에 대하여 수직하는 제2 수평 방향으로 이동시키기 위한 제2 수평 구동부를 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the second transfer robot includes a second stage for supporting the container, and for moving the second stage in a second horizontal direction perpendicular to the first horizontal direction. It may include a second horizontal driving unit.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 제2 이송 로봇은, 상기 제2 수평 방향으로 연장하며 상기 제2 수평 구동부가 장착되는 제2 프레임 조립체와, 상기 제2 프레임 조립체 상에 배치되며 상기 이송 로봇에 의해 이송된 상기 용기가 놓여지는 제2 재치대를 더 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the second transfer robot includes a second frame assembly extending in the second horizontal direction and on which the second horizontal driving unit is mounted, and is disposed on the second frame assembly and the transfer It may further include a second mounting table on which the container transported by the robot is placed.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 이송 로봇은, 상기 스테이지를 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부와, 상기 스테이지를 회전시키기 위한 회전 구동부를 더 포함할 수 있으며, 상기 제2 이송 로봇은, 상기 제2 스테이지를 수직 방향으로 이동시키기 위한 제2 수직 구동부를 더 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the transfer robot may further include a vertical drive unit for moving the stage in a vertical direction and a rotation drive unit for rotating the stage, and the second transfer robot, A second vertical driving unit for moving the second stage in a vertical direction may be further included.

제18항에 있어서, 상기 이송 로봇은, 상기 스테이지를 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부를 더 포함할 수 있으며, 상기 제2 이송 로봇은, 상기 제2 스테이지를 수직 방향으로 이동시키기 위한 제2 수직 구동부와, 상기 제2 스테이지를 회전시키기 위한 회전 구동부를 더 포함할 수 있다.The method of claim 18, wherein the transfer robot may further include a vertical driving unit for moving the stage in a vertical direction, and the second transfer robot includes a second vertical drive unit for moving the second stage in a vertical direction. It may further include a driving unit, and a rotation driving unit for rotating the second stage.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 제2 프레임 조립체는, 상기 제1 수평 방향으로 상기 제2 스테이지의 양측에 각각 배치되며 상기 제2 수평 방향으로 서로 평행하게 연장하는 제2 프레임들을 포함할 수 있으며, 상기 제2 재치대는 상기 제2 프레임들의 단부들 상에 배치되며 상기 용기를 지지하기 위한 제2 서포트 플레이트들을 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the second frame assembly may include second frames disposed on both sides of the second stage in the first horizontal direction and extending parallel to each other in the second horizontal direction. The second mounting table may be disposed on ends of the second frames and may include second support plates for supporting the container.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 제2 이송 로봇은, 상기 제2 프레임들의 다른 단부들 상에 배치되며 상기 용기를 지지하기 위한 제3 재치대를 더 포함할 수 있으며, 상기 제3 재치대는 상기 용기를 지지하기 위한 제3 서포트 플레이트들을 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the second transfer robot may further include a third mounting table disposed on the other ends of the second frames and supporting the container, and the third mounting The base may include third support plates for supporting the container.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 이송 로봇과 상기 제2 이송 로봇은 벽을 사이에 두고 상기 벽의 양측에 각각 배치될 수 있으며, 상기 벽에는 상기 용기의 이송을 위한 개구가 구비될 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the transfer robot and the second transfer robot may be disposed on both sides of the wall with a wall interposed therebetween, and an opening for transferring the container may be provided in the wall. have.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 이송 로봇은 상기 로봇 암과 상기 수평 구동부 그리고 상기 스테이지와 상기 스테이지 구동부를 이용하여 상기 용기를 상기 개구를 통해 이송할 수 있다. 따라서, 상기 벽에 의해 구분된 공간들 사이에서 상기 용기의 이송이 용이하게 이루어질 수 있으며, 이에 따라 상기 개구를 개폐하기 위한 방화 셔터와 상기 이송 장치 사이의 간섭이 충분히 방지될 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, the transfer robot may transfer the container through the opening using the robot arm, the horizontal driving unit, and the stage and the stage driving unit. Accordingly, the container can be easily transferred between the spaces separated by the wall, and thus interference between the fire shutter for opening and closing the opening and the transfer device can be sufficiently prevented.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 로봇과 이를 포함하는 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 3 내지 도 5는 도 1 및 도 2에 도시된 이송 장치를 이용하여 자재 수납을 위한 용기를 이송하는 방법을 설명하는 개략도들이다.
도 6 및 도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도들이다.
도 8은 도 6 및 도 7에 도시된 이송 로봇을 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.1 is a schematic configuration diagram illustrating a transfer robot and a transfer device including the same according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic plan view for explaining the transfer device shown in FIG. 1.
3 to 5 are schematic diagrams illustrating a method of transferring a container for material storage using the transfer device illustrated in FIGS. 1 and 2.
6 and 7 are schematic plan views for explaining a transfer device according to another embodiment of the present invention.
8 is a schematic front view for explaining the transfer robot shown in FIGS. 6 and 7.
9 is a schematic plan view illustrating a transfer device according to another embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention does not have to be configured as limited to the embodiments described below, and may be embodied in various other forms. The following examples are provided to sufficiently convey the scope of the present invention to those skilled in the art, rather than provided to enable the present invention to be completely completed.

본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.In the embodiments of the present invention, when one element is described as being disposed on or connected to another element, the element may be directly disposed on or connected to the other element, and other elements are interposed therebetween. It could be. Alternatively, if one element is described as being placed or connected directly on another element, there cannot be another element between them. Terms such as first, second, third, etc. may be used to describe various items such as various elements, compositions, regions, layers, and/or parts, but the above items are not limited by these terms. Won't.

본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.The terminology used in the embodiments of the present invention is used only for the purpose of describing specific embodiments, and is not intended to limit the present invention. In addition, unless otherwise limited, all terms including technical and scientific terms have the same meaning that can be understood by those of ordinary skill in the art of the present invention. The terms, such as those defined in conventional dictionaries, will be interpreted as having a meaning consistent with their meaning in the context of the description of the related art and the present invention, and ideally or excessively external intuition unless explicitly limited. It will not be interpreted.

본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.Embodiments of the invention are described with reference to schematic diagrams of ideal embodiments of the invention. Accordingly, changes from the shapes of the diagrams, for example changes in manufacturing methods and/or tolerances, are those that can be sufficiently anticipated. Accordingly, embodiments of the present invention are not described as limited to specific shapes of regions described as diagrams, but include variations in shapes, and elements described in the drawings are entirely schematic and their shapes Are not intended to describe the exact shape of the elements, nor are they intended to limit the scope of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 로봇과 이를 포함하는 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시된 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.1 is a schematic configuration diagram illustrating a transfer robot and a transfer device including the same according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic plan view illustrating the transfer device illustrated in FIG. 1.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치(10)는 반도체 또는 디스플레이 제조 공정에서 반도체 웨이퍼 또는 유리 기판과 같은 자재들을 이송하기 위해 사용될 수 있다. 예를 들면, 상기 이송 장치(10)는 타워 리프트가 설치된 제1 공간과 OHT(Overhead Hoist Transport) 장치, 무인 반송차, 등과 같은 반송 장치가 설치된 제2 공간 사이에서 상기 자재들이 수납된 용기(20)를 이송하기 위해 사용될 수 있다. 다른 예로서, 상기 이송 장치(10)는 클린룸들 사이에서 상기 용기(20)를 반송하기 위해 사용될 수도 있다.1 and 2, the transfer device 10 according to an embodiment of the present invention may be used to transfer materials such as a semiconductor wafer or a glass substrate in a semiconductor or display manufacturing process. For example, the transport device 10 is a container 20 in which the materials are stored between a first space in which a tower lift is installed and a second space in which a transport device such as an overhead hoist transport (OTT) device, an unmanned transport vehicle, etc. is installed. ) Can be used to transport. As another example, the conveying device 10 may be used to convey the vessel 20 between clean rooms.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 이송 장치(10)는 제1 수평 방향, 예를 들면, X축 방향으로 자재 수납을 위한 용기(20)를 이송하기 위한 이송 로봇(100)과, 상기 이송 로봇(100)으로부터 상기 제1 수평 방향으로 소정 거리 이격되며 상기 이송 로봇(100)에 의해 이송되는 상기 용기(20)를 전달받는 제2 이송 로봇(200)을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 이송 로봇(100)과 상기 제2 이송 로봇(200)은 벽(30)에 의해 서로 분리된 제1 및 제2 공간들 사이에서 상기 벽(30)에 형성된 개구(32)를 통해 상기 용기(20)를 이송할 수 있다. 다른 예로서, 상기 이송 로봇(100)과 상기 제2 이송 로봇(200)은 벽(30)에 의해 서로 분리된 클린룸들 사이에서 상기 벽(30)에 형성된 개구(32)를 통해 상기 용기(20)를 이송할 수도 있다.According to an embodiment of the present invention, the transfer device 10 includes a transfer robot 100 for transferring a container 20 for material storage in a first horizontal direction, for example, an X-axis direction, and the transfer It may include a second transfer robot 200 that is spaced apart from the robot 100 by a predetermined distance in the first horizontal direction and receives the container 20 transferred by the transfer robot 100. For example, the transfer robot 100 and the second transfer robot 200 have an opening 32 formed in the wall 30 between first and second spaces separated from each other by a wall 30. Through the container 20 can be transferred. As another example, the transfer robot 100 and the second transfer robot 200 are between the clean rooms separated from each other by the wall 30 through the opening 32 formed in the wall 30, the container ( 20) can also be transferred.

상기 이송 로봇(100)은, 상기 제1 수평 방향으로 연장하는 로봇 암(110)과, 상기 로봇 암(110)을 상기 제1 수평 방향으로 이동시키기 위한 수평 구동부(112)와, 상기 로봇 암(110) 상에 배치되며 상기 자재 수납을 위한 상기 용기(20)를 지지하기 위한 스테이지(120)와, 상기 로봇 암(110) 상에서 상기 제1 수평 방향으로 상기 스테이지(120)를 이동시키기 위한 스테이지 구동부(122)를 포함할 수 있다.The transfer robot 100 includes a robot arm 110 extending in the first horizontal direction, a horizontal driving unit 112 for moving the robot arm 110 in the first horizontal direction, and the robot arm ( A stage 120 disposed on 110 and supporting the container 20 for storing the material, and a stage driving unit for moving the stage 120 in the first horizontal direction on the robot arm 110 (122) may be included.

또한, 상기 이송 로봇(100)은, 상기 제1 수평 방향으로 연장하며 상기 수평 구동부(112)가 장착되는 프레임 조립체(130)와, 상기 프레임 조립체(130) 상에 배치되며 상기 용기(20)가 놓여지는 재치대(140)를 포함할 수 있다. 일 예로서, 상기 프레임 조립체(130)는 상기 제1 수평 방향에 대하여 수직하는 제2 수평 방향, 예를 들면, Y축 방향으로 상기 로봇 암(110)의 양측에 각각 배치되며 상기 로봇 암(110)과 평행하게 즉 상기 제1 수평 방향으로 연장하는 프레임들(132)을 포함할 수 있으며, 상기 재치대(140)는 상기 프레임들(132)의 일측 단부들 상에 배치될 수 있다.In addition, the transfer robot 100 includes a frame assembly 130 extending in the first horizontal direction and on which the horizontal driving part 112 is mounted, and the container 20 is disposed on the frame assembly 130. It may include a mounting table 140 to be placed. As an example, the frame assembly 130 is disposed on both sides of the robot arm 110 in a second horizontal direction perpendicular to the first horizontal direction, for example, a Y-axis direction, and the robot arm 110 ) May include frames 132 extending parallel to, that is, in the first horizontal direction, and the mounting table 140 may be disposed on one end of the frames 132.

상기 재치대(140) 상에는 상기 타워 리프트 또는 상기 OHT 장치에 의해 상기 용기(20)가 로드될 수 있으며, 상기 용기(20)의 정렬을 위한 재치대 정렬 핀들(142)이 구비될 수 있다. 상기 재치대(140)는 상기 스테이지(120)에 대응하는 리세스(144)를 가질 수 있으며, 상기 재치대 정렬 핀들(142)은 상기 리세스(144)에 인접하도록 배치될 수 있다. 예를 들면, 도시된 바와 같이 상기 재치대(140)는 상기 용기(20)를 지지하기 위한 서포트 플레이트들(146)을 포함할 수 있으며, 상기 재치대 정렬 핀들(142)은 상기 서포트 플레이트들(146) 상에 각각 배치될 수 있다. 그러나, 상기와 다르게 상기 재치대(140)는 하나의 서포트 플레이트를 이용하여 구성될 수도 있다.The container 20 may be loaded on the mounting table 140 by the tower lift or the OHT device, and mounting table alignment pins 142 for aligning the container 20 may be provided. The mounting table 140 may have a recess 144 corresponding to the stage 120, and the mounting table alignment pins 142 may be disposed adjacent to the recess 144. For example, as shown, the mounting table 140 may include support plates 146 for supporting the container 20, and the mounting table alignment pins 142 may include the support plates ( 146) may be disposed on each. However, differently from the above, the mounting table 140 may be configured using a single support plate.

상기 이송 로봇(100)은 상기 스테이지(120)를 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부(150)를 포함할 수 있다. 상기 스테이지(120)는 상기 리세스(144)를 통해 상승할 수 있으며 이를 통해 상기 재치대(140) 상에 놓여진 상기 용기(20)를 상기 재치대(140)로부터 언로드할 수 있다. 상기 스테이지(120) 상에는 상기 용기(20)를 정렬하기 위한 정렬 핀들(124)이 구비될 수 있으며, 상기 용기(20)의 하부면에는 상기 재치대 정렬 핀들(142)과 상기 정렬 핀들(124)이 삽입되는 정렬 슬롯들이 구비될 수 있다.The transfer robot 100 may include a vertical driving unit 150 for moving the stage 120 in a vertical direction. The stage 120 may rise through the recess 144 and the container 20 placed on the mounting table 140 may be unloaded from the mounting table 140 through this. Alignment pins 124 for aligning the container 20 may be provided on the stage 120, and the mounting table alignment pins 142 and the alignment pins 124 may be provided on a lower surface of the container 20. Alignment slots to be inserted may be provided.

상기 제2 이송 로봇(200)은, 상기 용기(20)를 지지하기 위한 제2 스테이지(210)와, 상기 제2 스테이지(210)를 상기 제1 수평 방향으로 이동시키기 위한 제2 수평 구동부(212)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 제2 이송 로봇(200)은, 상기 제1 수평 방향으로 연장하며 상기 제2 수평 구동부(212)가 장착되는 제2 프레임 조립체(220)와, 상기 제2 프레임 조립체(220) 상에 배치되며 상기 이송 로봇(100)에 의해 이송된 상기 용기(20)가 놓여지는 제2 재치대(230)를 포함할 수 있다.The second transfer robot 200 includes a second stage 210 for supporting the container 20 and a second horizontal driving unit 212 for moving the second stage 210 in the first horizontal direction. ) Can be included. In addition, the second transfer robot 200 extends in the first horizontal direction and is on the second frame assembly 220 to which the second horizontal driving unit 212 is mounted, and the second frame assembly 220 It is disposed and may include a second mounting table 230 on which the container 20 transferred by the transfer robot 100 is placed.

상기 이송 로봇(100)과 상기 제2 이송 로봇(200)은 상기 벽(30)을 사이에 두고 상기 벽(30)의 양측에 각각 배치될 수 있으며, 상기 벽(30)에 형성된 개구(32)를 통해 상기 용기(20)를 이송할 수 있다. 특히, 상기 프레임 조립체(130)의 타측 단부와 상기 제2 프레임 조립체(220)의 일측 단부가 서로 인접하게 배치될 수 있으며, 상기 제2 재치대(230)는 상기 제2 프레임 조립체(220)의 일측 단부 상에 배치될 수 있다.The transfer robot 100 and the second transfer robot 200 may be disposed on both sides of the wall 30 with the wall 30 interposed therebetween, and openings 32 formed in the wall 30 Through the container 20 can be transferred. In particular, the other end of the frame assembly 130 and one end of the second frame assembly 220 may be disposed adjacent to each other, and the second mounting table 230 may be formed of the second frame assembly 220. It may be disposed on one end.

예를 들면, 상기 제2 프레임 조립체(220)는, 상기 제2 수평 방향으로 상기 제2 스테이지(210)의 양측에 각각 배치되며 상기 제1 수평 방향으로 서로 평행하게 연장하는 제2 프레임들(222)을 포함할 수 있으며, 상기 제2 재치대(230)는 상기 제2 프레임들(222)의 일측 단부들 상에 배치되며 상기 용기(20)를 지지하기 위한 제2 서포트 플레이트들(232)을 포함할 수 있다.For example, the second frame assembly 220 may include second frames 222 disposed on both sides of the second stage 210 in the second horizontal direction and extending parallel to each other in the first horizontal direction. ), and the second mounting table 230 is disposed on one end of the second frames 222 and includes second support plates 232 for supporting the container 20. Can include.

상기 재치대(140) 상의 상기 용기(20)는 상기 수직 구동부(150)에 의해 상기 재치대(140)로부터 언로드된 후 상기 수평 구동부(112)와 상기 스테이지 구동부(122)에 의해 상기 개구(32)를 통해 상기 제2 재치대(230) 상부로 이송될 수 있으며, 상기 수직 구동부(150)에 의해 상기 제2 재치대(230) 상에 놓여질 수 있다. 이때, 상기 제2 서포트 플레이트들(232) 중 일부 상에는 상기 용기(20)의 정렬을 위한 제2 재치대 정렬 핀들(234)이 구비될 수 있다.The container 20 on the mounting table 140 is unloaded from the mounting table 140 by the vertical driving unit 150 and then the opening 32 by the horizontal driving unit 112 and the stage driving unit 122. ) May be transferred to the upper portion of the second mounting table 230, and placed on the second mounting table 230 by the vertical driving unit 150. In this case, second mounting table alignment pins 234 for aligning the container 20 may be provided on some of the second support plates 232.

상기 제2 이송 로봇(200)은 상기 제2 스테이지(210)를 수직 방향으로 이동시키기 위한 제2 수직 구동부(250)를 포함할 수 있으며, 상기 제2 수직 구동부(250)는 상기 제2 스테이지(210)를 상승시킴으로써 상기 제2 재치대(230) 상에 놓여진 상기 용기(20)를 상기 제2 재치대(230)로부터 언로드할 수 있다. 이때, 상기 제2 스테이지(210) 상에는 상기 용기(20)의 정렬을 위한 제2 정렬 핀들(214)이 구비될 수 있다.The second transfer robot 200 may include a second vertical driving unit 250 for moving the second stage 210 in a vertical direction, and the second vertical driving unit 250 may include the second stage ( By raising the 210, the container 20 placed on the second mounting table 230 may be unloaded from the second mounting table 230. In this case, second alignment pins 214 for aligning the container 20 may be provided on the second stage 210.

상기 제2 프레임들(222)의 타측 단부들 상에는 상기 용기(20)가 놓여지는 제3 재치대(240)가 구비될 수 있으며, 상기 용기(20)는 상기 제2 수평 구동부(212)와 제2 수직 구동부(250)에 의해 상기 제3 재치대(240) 상으로 이송될 수 있다. 상기 제3 재치대(240)는 상기 제2 프레임들(222)의 타측 단부들 상에 배치되는 제3 서포트 플레이트들(242)을 포함할 수 있으며, 상기 제3 서포트 플레이트들(242) 중 일부 상에는 상기 용기(20)의 정렬을 위한 제3 재치대 정렬 핀들(244)이 구비될 수 있다. 상기와 같이 제3 재치대(240) 상으로 이송된 상기 용기(20)는 상기 OHT 장치 또는 상기 타워 리프트에 의해 다른 목적하는 장소로 이송될 수 있다.A third mounting table 240 on which the container 20 is placed may be provided on the other end portions of the second frames 222, and the container 20 includes the second horizontal driving part 212 and the second 2 It may be transferred onto the third mounting table 240 by the vertical driving unit 250. The third mounting table 240 may include third support plates 242 disposed on the other end portions of the second frames 222, and some of the third support plates 242 Third mounting table alignment pins 244 for alignment of the container 20 may be provided on the top. The container 20 transferred onto the third mounting table 240 as described above may be transferred to another desired location by the OHT device or the tower lift.

도 3 내지 도 5는 도 1 및 도 2에 도시된 이송 장치를 이용하여 자재 수납을 위한 용기를 이송하는 방법을 설명하는 개략도들이다.3 to 5 are schematic diagrams illustrating a method of transferring a container for material storage using the transfer device illustrated in FIGS. 1 and 2.

도 3 내지 도 5를 참조하면, 상기 용기(20)가 상기 재치대(140) 상에 놓여진 후 상기 수평 구동부(112)와 상기 스테이지 구동부(122)는 상기 스테이지(120)가 상기 용기(20) 아래에 위치되도록 상기 스테이지(120)의 위치를 조절할 수 있다. 이어서, 상기 수직 구동부(150)는 상기 스테이지(120)를 상승시킴으로써 상기 용기(20)를 상기 재치대(140)로부터 언로드할 수 있으며, 상기 수평 구동부(112)와 상기 스테이지 구동부(122)는 상기 스테이지(120)를 상기 수평 방향으로 이동시킬 수 있다.3 to 5, the horizontal driving unit 112 and the stage driving unit 122 after the container 20 is placed on the mounting table 140, the stage 120 is the container 20 The position of the stage 120 may be adjusted to be positioned below. Subsequently, the vertical driving unit 150 may unload the container 20 from the mounting table 140 by raising the stage 120, and the horizontal driving unit 112 and the stage driving unit 122 The stage 120 may be moved in the horizontal direction.

상기 용기(20)는 상기 개구(32)를 통해 상기 제2 재치대(230)의 상부로 이송될 수 있으며, 상기 수직 구동부(150)는 상기 스테이지(120)를 하강시킴으로써 상기 용기(20)를 상기 제2 재치대(230) 상에 로드할 수 있다. 상기 스테이지(120)는 상기 수평 구동부(112)와 상기 스테이지 구동부(122)에 의해 초기 위치로 복귀할 수 있으며, 상기 제2 수평 구동부(212)는 상기 제2 스테이지(210)가 상기 제2 재치대(230) 아래에 위치되도록 상기 제2 스테이지(210)의 위치를 조절할 수 있다.The container 20 may be transferred to the upper portion of the second mounting table 230 through the opening 32, and the vertical driving unit 150 lowers the stage 120 to move the container 20 It may be loaded on the second mounting table 230. The stage 120 may be returned to an initial position by the horizontal driving unit 112 and the stage driving unit 122, and the second horizontal driving unit 212 is the second stage 210 is The position of the second stage 210 may be adjusted to be located under the base 230.

상기 제2 수직 구동부(250)는 상기 제2 스테이지(210)를 상승시킴으로써 상기 용기(20)를 상기 제2 재치대(230)로부터 언로드할 수 있으며, 상기 용기(20)는 상기 제2 수평 구동부(212)에 의해 상기 제3 재치대(240)의 상부에 위치되도록 상기 제1 수평 방향으로 이송될 수 있다. 계속해서, 상기 제2 수직 구동부(250)는 상기 제2 스테이지(210)를 하강시킴으로써 상기 용기(20)를 상기 제3 재치대(240) 상에 로드할 수 있으며, 상기 제3 재치대(240) 상에 놓여진 상기 용기(20)는 상기 OHT 장치 또는 타워 리프트 등에 의해 목적하는 제3의 장소로 이송될 수 있다.The second vertical driving unit 250 may unload the container 20 from the second mounting table 230 by raising the second stage 210, and the container 20 is the second horizontal driving unit It may be transferred in the first horizontal direction so as to be positioned above the third mounting table 240 by 212. Subsequently, the second vertical driving unit 250 may lower the second stage 210 to load the container 20 onto the third mounting table 240, and the third mounting table 240 ) The container 20 placed on it may be transferred to a third place of interest by the OHT device or a tower lift.

상술한 바와 같이 상기 용기(20)가 상기 수평 구동부(112)와 상기 스테이지 구동부(122)에 의해 상기 개구(32)를 통해 이송될 수 있으므로 상기 벽(30)에 장착되는 방화 셔터(미도시)의 동작과 상기 이송 장치(100)의 동작 사이에서의 간섭이 충분히 방지될 수 있다.As described above, since the container 20 can be transferred through the opening 32 by the horizontal driving part 112 and the stage driving part 122, a fire shutter (not shown) mounted on the wall 30 Interference between the operation of and the operation of the transfer device 100 can be sufficiently prevented.

도 6 및 도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도들이고, 도 8은 도 6 및 도 7에 도시된 이송 로봇을 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.6 and 7 are schematic plan views for describing a transfer device according to another embodiment of the present invention, and FIG. 8 is a schematic front view for explaining the transfer robot shown in FIGS. 6 and 7.

도 6 내지 도 7을 참조하면, 상기 이송 장치(10)는 상기 이송 로봇(100)으로부터 상기 제1 수평 방향 즉 X축 방향으로 소정 거리 이격되며 상기 이송 로봇(100)에 의해 상기 제1 수평 방향으로 이송되는 상기 용기(20)를 전달받는 제2 이송 로봇(300)을 포함할 수 있다.6 to 7, the transfer device 10 is spaced apart from the transfer robot 100 by a predetermined distance in the first horizontal direction, that is, the X-axis direction, and the first horizontal direction by the transfer robot 100. It may include a second transfer robot 300 to receive the container 20 is transferred to.

상기 제2 이송 로봇(300)은, 상기 용기(20)를 지지하기 위한 제2 스테이지(310)와, 상기 제2 스테이지(310)를 상기 제2 수평 방향 즉 Y축 방향으로 이동시키기 위한 제2 수평 구동부(312)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 제2 이송 로봇(300)은 상기 제2 수평 방향으로 연장하며 상기 제2 수평 구동부(312)가 장착되는 제2 프레임 조립체(320)와, 상기 제2 프레임 조립체(320) 상에 배치되며 상기 이송 로봇(100)에 의해 이송된 상기 용기(20)가 놓여지는 제2 재치대(330)를 포함할 수 있다.The second transfer robot 300 includes a second stage 310 for supporting the container 20 and a second stage 310 for moving the second stage 310 in the second horizontal direction, that is, in the Y-axis direction. It may include a horizontal driving unit 312. In addition, the second transfer robot 300 extends in the second horizontal direction and is disposed on the second frame assembly 320 to which the second horizontal driving unit 312 is mounted, and the second frame assembly 320 And it may include a second mounting table 330 on which the container 20 transferred by the transfer robot 100 is placed.

상기 제2 프레임 조립체(320)의 일측 단부는 상기 벽(30)의 개구(32)를 사이에 두고 상기 프레임 조립체(130)의 타측 단부와 인접하게 배치될 수 있으며, 상기 제2 재치대(330)는 상기 제2 프레임 조립체(320)의 일측 단부 상에 배치될 수 있다. 예를 들면, 상기 제2 프레임 조립체(320)는, 상기 제1 수평 방향으로 상기 제2 스테이지(310)의 양측에 각각 배치되며 상기 제2 수평 방향으로 서로 평행하게 연장하는 제2 프레임들(322)을 포함할 수 있으며, 상기 제2 재치대(330)는 상기 제2 프레임들(322)의 일측 단부들 상에 배치되며 상기 용기(20)를 지지하기 위한 제2 서포트 플레이트들(332)을 포함할 수 있다.One end of the second frame assembly 320 may be disposed adjacent to the other end of the frame assembly 130 with the opening 32 of the wall 30 therebetween, and the second mounting table 330 ) May be disposed on one end of the second frame assembly 320. For example, the second frame assembly 320 includes second frames 322 disposed on both sides of the second stage 310 in the first horizontal direction and extending parallel to each other in the second horizontal direction. ), and the second mounting table 330 is disposed on one end of the second frames 322 and includes second support plates 332 for supporting the container 20. Can include.

상기 재치대(140) 상의 상기 용기(20)는 상기 수직 구동부(150)에 의해 상기 재치대(140)로부터 언로드된 후 상기 수평 구동부(112)와 상기 스테이지 구동부(122)에 의해 상기 개구(32)를 통과하여 상기 제2 재치대(330) 상부로 이송될 수 있다. 이때, 상기 이송 로봇(100)은 상기 스테이지(120)를 회전시키기 위한 회전 구동부(160)를 포함할 수 있으며, 상기 회전 구동부(160)를 이용하여 도시된 바와 같이 상기 스테이지(120)를 90° 회전시킨 후 상기 용기(20)를 상기 제2 재치대(330) 상에 내려놓을 수 있다. 상기 제2 서포트 플레이트들(332) 중 일부 상에는 상기 90° 회전된 용기(20)의 정렬을 위한 제2 재치대 정렬 핀들(334)이 구비될 수 있다.The container 20 on the mounting table 140 is unloaded from the mounting table 140 by the vertical driving unit 150 and then the opening 32 by the horizontal driving unit 112 and the stage driving unit 122. ) May be transferred to the upper portion of the second mounting table 330. In this case, the transfer robot 100 may include a rotation driving unit 160 for rotating the stage 120, and the stage 120 is 90° as shown by using the rotation driving unit 160. After rotating, the container 20 may be put down on the second mounting table 330. Second mounting table alignment pins 334 for aligning the container 20 rotated by 90° may be provided on some of the second support plates 332.

상기 제2 이송 로봇(300)은 상기 제2 스테이지(310)를 수직 방향으로 이동시키기 위한 제2 수직 구동부(350)를 포함할 수 있으며, 상기 제2 수직 구동부(350)는 상기 제2 스테이지(310)를 상승시킴으로써 상기 제2 재치대(330) 상에 놓여진 상기 용기(20)를 상기 제2 재치대(330)로부터 언로드할 수 있다. 아울러, 상기 제2 프레임들(322)의 타측 단부들 상에는 상기 용기(20)가 놓여지는 제3 재치대(340)가 구비될 수 있으며, 상기 용기(20)는 상기 제2 수평 구동부(312)와 제2 수직 구동부(350)에 의해 상기 제3 재치대(340) 상으로 이송될 수 있다. 상기 제3 재치대(340)는 상기 프레임들(322)의 타측 단부들 상에 배치되는 제3 서포트 플레이트들(342)을 포함할 수 있으며, 상기 제3 서포트 플레이트들(342) 중 일부 상에는 상기 용기(20)의 정렬을 위한 제3 재치대 정렬 핀들(344)이 구비될 수 있다. 한편, 상기 스테이지(310) 상에는 상기 용기(20)의 정렬을 위한 제2 정렬 핀들(314)이 구비될 수 있다.The second transfer robot 300 may include a second vertical driving unit 350 for moving the second stage 310 in a vertical direction, and the second vertical driving unit 350 may include the second stage ( By raising 310), the container 20 placed on the second mounting table 330 may be unloaded from the second mounting table 330. In addition, a third mounting table 340 on which the container 20 is placed may be provided on the other end portions of the second frames 322, and the container 20 may be the second horizontal driving part 312 And the second vertical driving unit 350 may be transferred onto the third mounting table 340. The third mounting table 340 may include third support plates 342 disposed on the other end portions of the frames 322, and the third support plates 342 may be partially provided with the Third mounting table alignment pins 344 for aligning the container 20 may be provided. Meanwhile, second alignment pins 314 for aligning the container 20 may be provided on the stage 310.

도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.9 is a schematic plan view illustrating a transfer device according to another embodiment of the present invention.

도 9를 참조하면, 상기 제2 이송 로봇(300)은 상기 이송 로봇(100)에 의해 이송된 용기(20)가 직접 놓여지는 제2 재치대(360)를 구비할 수 있다. 상기 제2 재치대(360)는 상기 제2 프레임들(322)의 일측 단부들 상에 배치되는 제2 서포트 플레이트들(362)을 포함할 수 있으며, 상기 제2 서포트 플레이트들(362) 중 일부 상에는 상기 용기(20)를 정렬하기 위한 제2 재치대 정렬 핀들(364)이 구비될 수 있다.Referring to FIG. 9, the second transfer robot 300 may include a second mounting table 360 on which the container 20 transferred by the transfer robot 100 is directly placed. The second mounting table 360 may include second support plates 362 disposed on one end of the second frames 322, and some of the second support plates 362 Second mounting table alignment pins 364 for aligning the container 20 may be provided on the top.

특히, 상기 제2 이송 로봇(300)은 상기 제2 스테이지(310)를 회전시키기 위한 회전 구동부(370)를 포함할 수 있다. 상기 회전 구동부(370)는 상기 용기(20)가 상기 제2 수직 구동부(350)에 의해 상기 제2 재치대(360)로부터 언로드된 후 상기 제2 스테이지(310)를 90° 회전시키기 위해 사용될 수 있다. 즉, 상기 용기(20)는 상기 제2 재치대(360)로부터 언로드된 후 상기 회전 구동부(370)에 의해 회전될 수 있으며, 이어서 상기 제2 수평 구동부(312)와 상기 제2 수직 구동부(350)에 의해 상기 제3 재치대(340) 상으로 이송될 수 있다. 이 경우, 상기 이송 로봇(100)은 별도의 회전 구동부를 구비할 필요가 없다.In particular, the second transfer robot 300 may include a rotation driving unit 370 for rotating the second stage 310. The rotation driving unit 370 may be used to rotate the second stage 310 by 90° after the container 20 is unloaded from the second mounting table 360 by the second vertical driving unit 350. have. That is, the container 20 may be rotated by the rotation driving unit 370 after being unloaded from the second mounting table 360, and then the second horizontal driving unit 312 and the second vertical driving unit 350 ) Can be transferred onto the third mounting table 340. In this case, the transfer robot 100 does not need to have a separate rotation driving unit.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 이송 로봇(100)은 상기 로봇 암(110)과 상기 수평 구동부(112) 그리고 상기 스테이지(120)와 상기 스테이지 구동부(122)를 이용하여 상기 용기(20)를 상기 개구(32)를 통해 이송할 수 있다. 따라서, 상기 벽(30)에 의해 구분된 공간들 사이에서 상기 용기(20)의 이송이 용이하게 이루어질 수 있으며, 이에 따라 상기 개구(32)를 개폐하기 위한 방화 셔터와 상기 이송 장치(10) 사이의 간섭이 충분히 방지될 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, the transfer robot 100 uses the robot arm 110, the horizontal driving unit 112, and the stage 120 and the stage driving unit 122. The container 20 can be transferred through the opening 32. Therefore, the container 20 can be easily transferred between the spaces separated by the wall 30, and accordingly, between the fire shutter for opening and closing the opening 32 and the transfer device 10 Interference can be sufficiently prevented.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to the preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention described in the following claims. You will understand that there is.

10 : 이송 장치 20 : 용기
30 : 벽 32 : 개구
100 : 이송 로봇 110 : 로봇 암
112 : 수평 구동부 120 : 스테이지
122 : 스테이지 구동부 124 : 정렬 핀
130 : 프레임 조립체 132 : 프레임
140 : 재치대 142 : 재치대 정렬 핀
144 : 리세스 146 : 서포트 플레이트
150 : 수직 구동부 160 : 회전 구동부
200 : 제2 이송 로봇 210 : 제2 스테이지
212 : 제2 수평 구동부 220 : 제2 프레임 조립체
222 : 제2 프레임 230 : 제2 재치대
232 : 제2 서포트 플레이트 234 : 제2 재치대 정렬 핀
240 : 제3 재치대 242 : 제3 서포트 플레이트
244 : 제3 재치대 정렬 핀 250 : 제2 수직 구동부10: transfer device 20: container
30: wall 32: opening
100: transfer robot 110: robot arm
112: horizontal drive unit 120: stage
122: stage driving unit 124: alignment pin
130: frame assembly 132: frame
140: mounting table 142: mounting table alignment pin
144: recess 146: support plate
150: vertical drive unit 160: rotation drive unit
200: second transfer robot 210: second stage
212: second horizontal drive unit 220: second frame assembly
222: second frame 230: second mounting table
232: second support plate 234: second mounting table alignment pin
240: 3rd mounting table 242: 3rd support plate
244: third mounting table alignment pin 250: second vertical drive unit

Claims (23)

제1 수평 방향으로 연장하는 로봇 암;
상기 로봇 암을 상기 제1 수평 방향으로 이동시키기 위한 수평 구동부;
상기 로봇 암 상에 배치되며 자재 수납을 위한 용기를 지지하기 위한 스테이지;
상기 로봇 암 상에서 상기 제1 수평 방향으로 상기 스테이지를 이동시키기 위한 스테이지 구동부;
상기 제1 수평 방향으로 연장하며 상기 수평 구동부가 장착되는 프레임 조립체; 및
상기 프레임 조립체 상에 배치되며 상기 용기가 놓여지는 재치대를 포함하되,
상기 프레임 조립체는, 상기 제1 수평 방향에 대하여 수직하는 제2 수평 방향으로 상기 로봇 암의 양측에 각각 배치되며 상기 로봇 암과 평행하게 연장하는 프레임들을 포함하며, 상기 재치대는 상기 프레임들의 단부들 상에 배치되며 상기 스테이지에 대응하는 리세스를 갖는 것을 특징으로 하는 이송 로봇.A robot arm extending in a first horizontal direction;
A horizontal driving unit for moving the robot arm in the first horizontal direction;
A stage disposed on the robot arm and supporting a container for storing materials;
A stage driving unit for moving the stage on the robot arm in the first horizontal direction;
A frame assembly extending in the first horizontal direction and on which the horizontal driving part is mounted; And
It is disposed on the frame assembly and includes a mounting table on which the container is placed,
The frame assembly includes frames disposed on both sides of the robot arm in a second horizontal direction perpendicular to the first horizontal direction and extending parallel to the robot arm, and the mounting table is on the ends of the frames. And a recess corresponding to the stage. 제1항에 있어서, 상기 스테이지 상에 배치되며 상기 용기의 정렬을 위한 정렬 핀들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 로봇.The transfer robot according to claim 1, further comprising alignment pins disposed on the stage and for aligning the container. 제1항에 있어서, 상기 스테이지를 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 로봇.The transfer robot according to claim 1, further comprising a vertical driving unit for moving the stage in a vertical direction. 제1항에 있어서, 상기 스테이지를 회전시키기 위한 회전 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 로봇.The transfer robot according to claim 1, further comprising a rotation driving unit for rotating the stage. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 재치대는 상기 용기의 정렬을 위한 재치대 정렬 핀들을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 로봇.The transfer robot according to claim 1, wherein the placement table includes placement table alignment pins for aligning the container. 제1 수평 방향으로 자재 수납을 위한 용기를 이송하기 위한 이송 로봇; 및
상기 이송 로봇으로부터 상기 제1 수평 방향으로 소정 거리 이격되며 상기 이송 로봇에 의해 이송되는 상기 용기를 전달받는 제2 이송 로봇을 포함하며,
상기 이송 로봇은,
상기 제1 수평 방향으로 연장하는 로봇 암;
상기 로봇 암을 상기 제1 수평 방향으로 이동시키기 위한 수평 구동부;
상기 로봇 암 상에 배치되며 상기 용기를 지지하기 위한 스테이지; 및
상기 로봇 암 상에서 상기 제1 수평 방향으로 상기 스테이지를 이동시키기 위한 스테이지 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.A transfer robot for transferring a container for material storage in a first horizontal direction; And
And a second transfer robot spaced apart from the transfer robot by a predetermined distance in the first horizontal direction and receiving the container transferred by the transfer robot,
The transfer robot,
A robot arm extending in the first horizontal direction;
A horizontal driving unit for moving the robot arm in the first horizontal direction;
A stage disposed on the robot arm and configured to support the container; And
And a stage driving part for moving the stage on the robot arm in the first horizontal direction. 제9항에 있어서, 상기 이송 로봇은,
상기 제1 수평 방향으로 연장하며 상기 수평 구동부가 장착되는 프레임 조립체; 및
상기 프레임 조립체 상에 배치되며 상기 용기가 놓여지는 재치대를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The method of claim 9, wherein the transfer robot,
A frame assembly extending in the first horizontal direction and on which the horizontal driving part is mounted; And
It is disposed on the frame assembly, the transfer device, characterized in that further comprising a mounting table on which the container is placed. 제10항에 있어서, 상기 프레임 조립체는,
상기 제1 수평 방향에 대하여 수직하는 제2 수평 방향으로 상기 로봇 암의 양측에 각각 배치되며 상기 로봇 암과 평행하게 연장하는 프레임들을 포함하며,
상기 재치대는 상기 프레임들의 단부들 상에 배치되며 상기 스테이지에 대응하는 리세스를 갖는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The method of claim 10, wherein the frame assembly,
And frames disposed on both sides of the robot arm in a second horizontal direction perpendicular to the first horizontal direction and extending parallel to the robot arm,
The mounting table is disposed on the ends of the frames and has a recess corresponding to the stage. 제10항에 있어서, 상기 재치대는 상기 용기를 지지하기 위한 서포트 플레이트들을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The transfer device according to claim 10, wherein the mounting table includes support plates for supporting the container. 제9항에 있어서, 상기 제2 이송 로봇은,
상기 용기를 지지하기 위한 제2 스테이지; 및
상기 제2 스테이지를 상기 제1 수평 방향으로 이동시키기 위한 제2 수평 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The method of claim 9, wherein the second transfer robot,
A second stage for supporting the container; And
And a second horizontal driving unit for moving the second stage in the first horizontal direction. 제13항에 있어서, 상기 제2 이송 로봇은,
상기 제1 수평 방향으로 연장하며 상기 제2 수평 구동부가 장착되는 제2 프레임 조립체; 및
상기 제2 프레임 조립체 상에 배치되며 상기 이송 로봇에 의해 이송된 상기 용기가 놓여지는 제2 재치대를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The method of claim 13, wherein the second transfer robot,
A second frame assembly extending in the first horizontal direction and on which the second horizontal driving part is mounted; And
And a second mounting table disposed on the second frame assembly and on which the container transferred by the transfer robot is placed. 제14항에 있어서, 상기 이송 로봇은 상기 스테이지를 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부를 더 포함하며,
상기 제2 이송 로봇은 상기 제2 스테이지를 수직 방향으로 이동시키기 위한 제2 수직 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The method of claim 14, wherein the transfer robot further comprises a vertical driving unit for moving the stage in a vertical direction,
The second transfer robot further comprises a second vertical driving unit for moving the second stage in a vertical direction. 제14항에 있어서, 상기 제2 프레임 조립체는,
상기 제1 수평 방향에 대하여 수직하는 제2 수평 방향으로 상기 제2 스테이지의 양측에 각각 배치되며 상기 제1 수평 방향으로 서로 평행하게 연장하는 제2 프레임들을 포함하며,
상기 제2 재치대는 상기 제2 프레임들의 단부들 상에 배치되며 상기 용기를 지지하기 위한 제2 서포트 플레이트들을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The method of claim 14, wherein the second frame assembly,
And second frames disposed on both sides of the second stage in a second horizontal direction perpendicular to the first horizontal direction and extending parallel to each other in the first horizontal direction,
The second mounting table is disposed on the ends of the second frames and comprises second support plates for supporting the container. 제9항에 있어서, 상기 제2 이송 로봇은,
상기 용기를 지지하기 위한 제2 스테이지; 및
상기 제2 스테이지를 상기 제1 수평 방향에 대하여 수직하는 제2 수평 방향으로 이동시키기 위한 제2 수평 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The method of claim 9, wherein the second transfer robot,
A second stage for supporting the container; And
And a second horizontal driving unit configured to move the second stage in a second horizontal direction perpendicular to the first horizontal direction. 제17항에 있어서, 상기 제2 이송 로봇은,
상기 제2 수평 방향으로 연장하며 상기 제2 수평 구동부가 장착되는 제2 프레임 조립체; 및
상기 제2 프레임 조립체 상에 배치되며 상기 이송 로봇에 의해 이송된 상기 용기가 놓여지는 제2 재치대를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The method of claim 17, wherein the second transfer robot,
A second frame assembly extending in the second horizontal direction and on which the second horizontal driving part is mounted; And
And a second mounting table disposed on the second frame assembly and on which the container transferred by the transfer robot is placed. 제18항에 있어서, 상기 이송 로봇은,
상기 스테이지를 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부; 및
상기 스테이지를 회전시키기 위한 회전 구동부를 더 포함하며,
상기 제2 이송 로봇은,
상기 제2 스테이지를 수직 방향으로 이동시키기 위한 제2 수직 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The method of claim 18, wherein the transfer robot,
A vertical driving unit for moving the stage in a vertical direction; And
Further comprising a rotation driving unit for rotating the stage,
The second transfer robot,
And a second vertical driving unit for moving the second stage in a vertical direction. 제18항에 있어서, 상기 이송 로봇은,
상기 스테이지를 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부를 더 포함하며,
상기 제2 이송 로봇은,
상기 제2 스테이지를 수직 방향으로 이동시키기 위한 제2 수직 구동부; 및
상기 제2 스테이지를 회전시키기 위한 회전 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The method of claim 18, wherein the transfer robot,
Further comprising a vertical driving unit for moving the stage in the vertical direction,
The second transfer robot,
A second vertical driving unit for moving the second stage in a vertical direction; And
Transfer device, characterized in that it further comprises a rotation driving unit for rotating the second stage. 제18항에 있어서, 상기 제2 프레임 조립체는,
상기 제1 수평 방향으로 상기 제2 스테이지의 양측에 각각 배치되며 상기 제2 수평 방향으로 서로 평행하게 연장하는 제2 프레임들을 포함하며,
상기 제2 재치대는 상기 제2 프레임들의 단부들 상에 배치되며 상기 용기를 지지하기 위한 제2 서포트 플레이트들을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The method of claim 18, wherein the second frame assembly,
And second frames disposed on both sides of the second stage in the first horizontal direction and extending parallel to each other in the second horizontal direction,
The second mounting table is disposed on the ends of the second frames and comprises second support plates for supporting the container. 제16항 또는 제21항에 있어서, 상기 제2 이송 로봇은,
상기 제2 프레임들의 다른 단부들 상에 배치되며 상기 용기를 지지하기 위한 제3 재치대를 더 포함하며,
상기 제3 재치대는,
상기 제2 프레임들의 다른 단부들 상에 배치되며 상기 용기를 지지하기 위한 제3 서포트 플레이트들을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The method of claim 16 or 21, wherein the second transfer robot,
It is disposed on the other ends of the second frames and further comprises a third mounting table for supporting the container,
The third mounting table,
And third support plates disposed on the other ends of the second frames and for supporting the container. 제9항에 있어서, 상기 이송 로봇과 상기 제2 이송 로봇은 벽을 사이에 두고 상기 벽의 양측에 각각 배치되며,
상기 벽에는 상기 용기의 이송을 위한 개구가 구비되는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The method of claim 9, wherein the transfer robot and the second transfer robot are disposed on both sides of the wall with a wall therebetween,
Transfer device, characterized in that the wall is provided with an opening for transferring the container.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11156767A (en) * 1997-12-02 1999-06-15 Hitachi Ltd Carrier device
JP2007203434A (en) * 2006-02-06 2007-08-16 Nidec Sankyo Corp Robotic device
KR20100073670A (en) 2008-12-23 2010-07-01 황무성 Wafer transporting system, semiconductor fabrication plant structure using the same and wafer transporting method
KR20140033844A (en) * 2012-09-11 2014-03-19 (주)세미코아 Stage for loadport
JP2017212322A (en) * 2016-05-25 2017-11-30 信越ポリマー株式会社 Substrate housing container and management system therefor and management method for substrate housing container
KR20180047185A (en) 2016-10-31 2018-05-10 세메스 주식회사 Driving module and tower lift including the same

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11156767A (en) * 1997-12-02 1999-06-15 Hitachi Ltd Carrier device
JP2007203434A (en) * 2006-02-06 2007-08-16 Nidec Sankyo Corp Robotic device
KR20100073670A (en) 2008-12-23 2010-07-01 황무성 Wafer transporting system, semiconductor fabrication plant structure using the same and wafer transporting method
KR20140033844A (en) * 2012-09-11 2014-03-19 (주)세미코아 Stage for loadport
JP2017212322A (en) * 2016-05-25 2017-11-30 信越ポリマー株式会社 Substrate housing container and management system therefor and management method for substrate housing container
KR20180047185A (en) 2016-10-31 2018-05-10 세메스 주식회사 Driving module and tower lift including the same

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20220097144A (en) 2020-12-30 2022-07-07 세메스 주식회사 Transfer apparatus

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