KR101854044B1 - Tower lift having a tension roller - Google Patents

Tower lift having a tension roller Download PDF

Info

Publication number
KR101854044B1
KR101854044B1 KR1020160142788A KR20160142788A KR101854044B1 KR 101854044 B1 KR101854044 B1 KR 101854044B1 KR 1020160142788 A KR1020160142788 A KR 1020160142788A KR 20160142788 A KR20160142788 A KR 20160142788A KR 101854044 B1 KR101854044 B1 KR 101854044B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
guide
disposed
guide rails
roller
guide rail
Prior art date
Application number
KR1020160142788A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
윤태열
김인철
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020160142788A priority Critical patent/KR101854044B1/en
Priority to CN201711049284.3A priority patent/CN108002285B/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101854044B1 publication Critical patent/KR101854044B1/en

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B66HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66FHOISTING, LIFTING, HAULING OR PUSHING, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, e.g. DEVICES WHICH APPLY A LIFTING OR PUSHING FORCE DIRECTLY TO THE SURFACE OF A LOAD
    • B66F7/00Lifting frames, e.g. for lifting vehicles; Platform lifts
    • B66F7/02Lifting frames, e.g. for lifting vehicles; Platform lifts with platforms suspended from ropes, cables, or chains or screws and movable along pillars
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67712Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations the substrate being handled substantially vertically
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B66HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66FHOISTING, LIFTING, HAULING OR PUSHING, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, e.g. DEVICES WHICH APPLY A LIFTING OR PUSHING FORCE DIRECTLY TO THE SURFACE OF A LOAD
    • B66F7/00Lifting frames, e.g. for lifting vehicles; Platform lifts
    • B66F7/28Constructional details, e.g. end stops, pivoting supporting members, sliding runners adjustable to load dimensions
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16HGEARING
    • F16H7/00Gearings for conveying rotary motion by endless flexible members
    • F16H7/08Means for varying tension of belts, ropes, or chains
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706Mechanical details, e.g. roller, belt
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67718Changing orientation of the substrate, e.g. from a horizontal position to a vertical position
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67751Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber vertical transfer of a single workpiece
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67757Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber vertical transfer of a batch of workpieces
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67793Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations with orientating and positioning by means of a vibratory bowl or track
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02Articles
    • B65G2201/0297Wafer cassette

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geology (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Carriers, Traveling Bodies, And Overhead Traveling Cranes (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

A tower lift is disclosed. The tower lift comprises: a guide rail extending in a vertical direction; a carriage module formed to move in a vertical direction along the guide rail; and upper and lower guide units mounted in the carriage module, and guiding the carriage module in a vertical direction along the guide rail. More specifically, the upper guide unit comprises an upper fixing roller arranged on a rear surface of the guide rail, and an upper tension roller applied with a predetermined pressurization force to adhere to a front surface of the guide rail. The lower guide unit comprises a lower fixing roller arranged on the front surface of the guide rail, and a lower tension roller applied with a predetermined pressurization force to adhere to the rear surface of the guide rail.

Description

텐션 롤러를 갖는 타워 리프트{TOWER LIFT HAVING A TENSION ROLLER}TOWER LIFT HAVING A TENSION ROLLER WITH TENSION ROLLER

본 발명의 실시예들은 텐션 롤러(Tension Roller)를 갖는 타워 리프트(Tower Lift)에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 이송 대상물의 승강을 위한 캐리지 모듈(Carriage Module)의 안정적인 수직 방향 이동을 위해 가이드 레일에 밀착되는 텐션 롤러를 구비하는 타워 리프트에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to a tower lift having a tension roller. And more particularly to a tower lift having a tension roller which is closely attached to a guide rail for stable vertical movement of a carriage module for lifting and lowering a conveying object.

일반적으로 반도체 또는 디스플레이 제조 공장의 제조 라인은 복층으로 구성되며 각 층들에는 증착, 노광, 식각, 이온 주입, 세정 등의 공정 수행을 위한 설비들이 배치될 수 있으며, 반도체 기판으로서 사용되는 반도체 웨이퍼 또는 디스플레이 기판으로서 사용되는 유리 기판에 대하여 일련의 단위 공정들을 반복적으로 수행함으로써 반도체 장치 또는 디스플레이 장치가 제조될 수 있다.Generally, a manufacturing line of a semiconductor or display manufacturing factory is composed of a plurality of layers, and each layer may be provided with facilities for performing processes such as deposition, exposure, etching, ion implantation, cleaning, etc., and a semiconductor wafer or a display A semiconductor device or a display device can be manufactured by repeatedly performing a series of unit processes on a glass substrate used as a substrate.

한편, 상기 각 층들 사이에서의 자재 이송 즉 반도체 웨이퍼 또는 유리 기판과 같은 자재들의 이송은 상기 각 층들을 통해 수직 방향으로 설치되는 타워 리프트에 의해 이루어질 수 있다.Meanwhile, the transfer of the material between the layers, that is, the transfer of the materials such as the semiconductor wafer or the glass substrate, can be performed by the tower lift installed vertically through the respective layers.

상기 타워 리프트는 자재 이송을 위한 캐리지 모듈과 상기 캐리지 모듈을 수직 방향으로 안내하기 위한 가이드 레일들이 설치되는 메인 프레임과 타이밍 벨트와 같은 구동 벨트를 이용하여 상기 캐리지 모듈을 수직 방향으로 이동시키기 위한 구동 모듈 등을 포함할 수 있다. 그러나, 상기 캐리지 모듈이 상기 가이드 레일들을 따라 수직 방향으로 이동하는 동안 소음과 진동 등의 문제점들이 발생될 수 있다.The tower lift includes a driving module for moving the carriage module in a vertical direction by using a driving belt such as a main frame and a timing belt, in which a carriage module for conveying a material, guide rails for guiding the carriage module in a vertical direction are installed, And the like. However, problems such as noise and vibration may occur while the carriage module moves in the vertical direction along the guide rails.

대한민국 등록특허공보 제10-0877117호 (등록일자: 2008년 12월 26일)Korean Registered Patent No. 10-0877117 (Registered Date: December 26, 2008) 대한민국 공개특허공보 제10-2010-0073670호 (공개일자: 2010년 07월 01일)Korean Patent Publication No. 10-2010-0073670 (Published Date: July 01, 2010)

본원발명의 실시예들은 캐리지 모듈의 소음과 진동을 감소시킬 수 있는 타워 리프트를 제공하는데 그 목적이 있다.Embodiments of the present invention are directed to providing a tower lift capable of reducing noise and vibration of a carriage module.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 타워 리프트는, 수직 방향으로 연장하는 가이드 레일과, 상기 가이드 레일을 따라 수직 방향으로 이동 가능하게 구성된 캐리지 모듈과, 상기 캐리지 모듈에 장착되며 상기 가이드 레일을 따라 상기 캐리지 모듈을 수직 방향으로 안내하는 상부 및 하부 가이드 유닛들을 포함할 수 있다. 특히, 상기 상부 가이드 유닛은 상기 가이드 레일의 후면 상에 배치되는 상부 고정 롤러와 상기 가이드 레일의 전면 상에 밀착되도록 소정의 가압력이 인가되는 상부 텐션 롤러를 포함하며, 상기 하부 가이드 유닛은 상기 가이드 레일의 전면 상에 배치되는 하부 고정 롤러와 상기 가이드 레일의 후면 상에 밀착되도록 소정의 가압력이 인가되는 하부 텐션 롤러를 포함할 수 있다.According to one aspect of the present invention, there is provided a tower lift including a guide rail extending in a vertical direction, a carriage module configured to be movable in a vertical direction along the guide rail, And upper and lower guide units for vertically guiding the carriage module along the rails. In particular, the upper guide unit includes an upper fixing roller disposed on a rear surface of the guide rail, and an upper tension roller to which a predetermined pressing force is applied so as to closely contact the front surface of the guide rail, And a lower tension roller to which a predetermined pressing force is applied to be in close contact with the rear surface of the guide rail.

본 발명의 실시예들에 따르면, 제1항에 있어서, 상기 상부 및 하부 텐션 롤러들은, 회전축이 중심축으로부터 소정 거리 이격된 편심축과, 상기 편심축에 회전 가능하도록 장착된 롤러와, 상기 롤러가 상기 가이드 레일에 밀착되도록 소정의 가압력을 인가하기 위하여 상기 편심축에 장착된 토션 스프링을 각각 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the upper and lower tension rollers may include an eccentric shaft having a rotation axis spaced from the central axis by a predetermined distance, a roller mounted to be rotatable on the eccentric shaft, And a torsion spring mounted on the eccentric shaft to apply a predetermined urging force to the guide rail so as to be in close contact with the guide rail.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 상부 가이드 유닛은 상기 상부 고정 롤러와 상부 텐션 롤러가 설치되는 상부 브래킷을 더 포함하며, 상기 하부 가이드 유닛은 상기 하부 고정 롤러와 하부 텐션 롤러가 설치되는 하부 브래킷을 더 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the upper guide unit further includes an upper bracket on which the upper fixing roller and the upper tension roller are installed, and the lower guide unit includes a lower bracket on which the lower fixing roller and the lower tension roller are installed, As shown in FIG.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 상부 및 하부 가이드 유닛들은 상기 가이드 레일의 측면 상에 배치되는 상부 및 하부 측면 고정 롤러들을 각각 더 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the upper and lower guide units may further include upper and lower side fixing rollers respectively disposed on the side surfaces of the guide rails.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따른 타워 리프트는, 수직 방향으로 연장하는 메인 프레임과, 상기 메인 프레임을 따라 수직 방향으로 서로 평행하게 연장하는 가이드 레일들과, 상기 메인 프레임의 전방에 배치되며 상기 가이드 레일들을 따라 수직 방향으로 이동 가능하게 구성된 캐리지 모듈과, 상기 캐리지 모듈에 장착되며 상기 가이드 레일들을 따라 상기 캐리지 모듈을 수직 방향으로 안내하는 상부 가이드 유닛들과 하부 가이드 유닛들을 포함할 수 있다. 특히, 상기 상부 가이드 유닛들은 상기 가이드 레일들의 후면 상에 배치되는 상부 고정 롤러와 상기 가이드 레일들의 전면 상에 밀착되도록 소정의 가압력이 인가되는 상부 텐션 롤러를 각각 포함하며, 상기 하부 가이드 유닛들은 상기 가이드 레일들의 전면 상에 배치되는 하부 고정 롤러와 상기 가이드 레일들의 후면 상에 밀착되도록 소정의 가압력이 인가되는 하부 텐션 롤러를 각각 포함할 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a tower lift including a main frame extending in a vertical direction, guide rails extending parallel to each other in a direction perpendicular to the main frame, A carriage module arranged to be movable in the vertical direction along the guide rails and upper guide units and lower guide units mounted on the carriage module and guiding the carriage module in a vertical direction along the guide rails have. In particular, the upper guide units each include an upper fixing roller disposed on a rear surface of the guide rails, and an upper tension roller to which a predetermined pressing force is applied so as to closely contact the front surfaces of the guide rails, A lower fixing roller disposed on a front surface of the rails, and a lower tension roller having a predetermined pressing force applied to the rear surfaces of the guide rails.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 타워 리프트는, 상기 메인 프레임의 상부에 배치되며 구동 벨트를 이용하여 상기 캐리지 모듈을 수직 방향으로 이동시키는 구동 모듈과, 상기 캐리지 모듈의 후방에 배치되며 상기 구동 벨트와 연결된 웨이트 모듈과, 상기 캐리지 모듈 및 상기 웨이트 모듈과 연결된 균형 벨트와, 상기 균형 벨트에 소정의 인장력을 인가하기 위한 오토 텐셔너를 더 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the tower lift includes a drive module disposed on the main frame and moving the carriage module in a vertical direction using a drive belt, A weight module connected to the belt, a balance belt connected to the carriage module and the weight module, and an auto tensioner for applying a predetermined tensile force to the balance belt.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 캐리지 모듈은, 상기 상부 및 하부 가이드 유닛들이 장착되는 후면을 갖는 승강 프레임과, 상기 승강 프레임에 장착되며 이송 대상물을 핸들링하기 위한 캐리지 로봇을 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the carriage module may include a lift frame having a rear surface on which the upper and lower guide units are mounted, and a carriage robot mounted on the lift frame and handling the conveyed object.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 메인 프레임의 양쪽 측면들 상에는 한 쌍의 가이드 레일들이 각각 배치될 수 있으며, 상기 승강 프레임의 후면 상에는 상기 가이드 레일들 상에 각각 배치되는 한 쌍의 상부 가이드 유닛들과 한 쌍의 하부 가이드 유닛들이 배치될 수 있다.According to embodiments of the present invention, a pair of guide rails may be disposed on both sides of the main frame, and a pair of upper guide units, which are respectively disposed on the guide rails, And a pair of lower guide units can be disposed.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 상부 및 하부 텐션 롤러들은, 회전축이 중심축으로부터 소정 거리 이격된 편심축과, 상기 편심축에 회전 가능하도록 장착된 롤러와, 상기 롤러가 상기 가이드 레일에 밀착되도록 소정의 가압력을 인가하기 위하여 상기 편심축에 장착된 토션 스프링을 각각 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the upper and lower tension rollers may include an eccentric shaft having a rotation axis spaced a predetermined distance from the central axis, a roller mounted to be rotatable on the eccentric shaft, And a torsion spring mounted on the eccentric shaft for applying a predetermined urging force to the eccentric shaft.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 상부 가이드 유닛들은 상기 상부 고정 롤러와 상부 텐션 롤러가 설치되는 상부 브래킷을 각각 더 포함하며, 상기 하부 가이드 유닛들은 상기 하부 고정 롤러와 하부 텐션 롤러가 설치되는 하부 브래킷을 각각 더 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the upper guide units further include upper brackets on which the upper fixing roller and the upper tension roller are installed, respectively, and the lower guide units include lower brackets And brackets, respectively.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 상부 및 하부 가이드 유닛들은 상기 가이드 레일들의 측면 상에 배치되는 상부 및 하부 측면 고정 롤러들을 각각 더 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the upper and lower guide units may further include upper and lower side fixing rollers respectively disposed on the side surfaces of the guide rails.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 캐리지 모듈은 수직 방향으로 연장하는 메인 프레임과 가이드 레일들의 전방에 배치되며 상기 가이드 레일들을 따라 이동될 수 있다. 상기 캐리지 모듈에는 상기 가이드 레일들과 결합되는 상부 가이드 유닛들과 하부 가이드 유닛들이 장착될 수 있으며, 상기 상부 가이드 유닛들은 상기 가이드 레일들의 후면 상에 배치되는 상부 고정 롤러와 상기 가이드 레일들의 전면 상에 밀착되도록 소정의 가압력이 인가되는 상부 텐션 롤러를 각각 포함하고, 상기 하부 가이드 유닛들은 상기 가이드 레일들의 전면 상에 배치되는 하부 고정 롤러와 상기 가이드 레일들의 후면 상에 밀착되도록 소정의 가압력이 인가되는 하부 텐션 롤러를 각각 포함할 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, the carriage module is disposed in front of the main frame and the guide rails extending in the vertical direction and can be moved along the guide rails. The upper guide units and the lower guide units may be mounted on the carriage module. The upper guide units may include upper fixing rollers disposed on a rear surface of the guide rails, And the lower guide units include a lower fixing roller disposed on the front surface of the guide rails and a lower fixing roller disposed on the lower surface of the lower guide roller so as to be in close contact with the rear surface of the guide rails, And tension rollers, respectively.

특히, 상기 상부 및 하부 고정 롤러들은 상기 캐리지 모듈에 작용되는 회전 모멘트에 의해 상기 가이드 레일들의 후면 및 전면 상에 각각 밀착될 수 있으며, 아울러 상기 상부 및 하부 텐션 롤러들이 상기 가이드 레일들의 전면 및 후면에 각각 밀착될 수 있도록 소정의 가압력, 예를 들면, 토션 스프링의 탄성 복원력이 인가될 수 있다.In particular, the upper and lower fixing rollers may be respectively in close contact with the rear surface and the front surface of the guide rails due to the rotational moment applied to the carriage module, and the upper and lower tension rollers may be disposed on the front and rear surfaces of the guide rails, A predetermined pressing force, for example, an elastic restoring force of the torsion spring may be applied so as to be in close contact with each other.

결과적으로, 상기 상부 및 하부 고정 롤러들과 상기 상부 및 하부 텐션 롤러들이 상기 가이드 레일들에 충분히 밀착될 수 있으며, 이에 따라 상기 캐리지 모듈의 수직 방향 이동시 소음과 진동이 크게 감소될 수 있다. 또한, 상기 상부 및 하부 고정 롤러들과 상기 상부 및 하부 텐션 롤러들의 수명이 크게 연장될 수 있으며, 상기 진동에 의해 발생될 수 있는 상기 캐리지 모듈의 위치 제어 불량이 충분히 감소될 수 있다.As a result, the upper and lower fixing rollers and the upper and lower tension rollers can be sufficiently brought into close contact with the guide rails, thereby greatly reducing noise and vibration when moving the carriage module in the vertical direction. Also, the lifetime of the upper and lower fixing rollers and the upper and lower tension rollers can be greatly extended, and the position control defects of the carriage module that can be generated by the vibration can be sufficiently reduced.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 타워 리프트를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 캐리지 모듈을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 3은 도 1에 도시된 메인 프레임과 가이드 레일들을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 4는 도 2에 도시된 승강 프레임의 후면에 장착된 상부 및 하부 가이드 유닛들을 설명하기 위한 개략적인 배면도이다.
도 5는 도 4에 도시된 상부 및 하부 가이드 유닛들을 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a tower lift according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG.
FIG. 2 is a schematic diagram for explaining the carriage module shown in FIG. 1. FIG.
FIG. 3 is a schematic plan view for explaining the main frame and guide rails shown in FIG. 1. FIG.
4 is a schematic rear view for explaining the upper and lower guide units mounted on the rear surface of the lift frame shown in FIG.
5 is a schematic side view for explaining the upper and lower guide units shown in Fig.

이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention should not be construed as limited to the embodiments described below, but may be embodied in various other forms. The following examples are provided so that those skilled in the art can fully understand the scope of the present invention, rather than being provided so as to enable the present invention to be fully completed.

본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.In the embodiments of the present invention, when one element is described as being placed on or connected to another element, the element may be disposed or connected directly to the other element, . Alternatively, if one element is described as being placed directly on another element or connected, there can be no other element between them. The terms first, second, third, etc. may be used to describe various items such as various elements, compositions, regions, layers and / or portions, but the items are not limited by these terms .

본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.The terminology used in the embodiments of the present invention is used for the purpose of describing specific embodiments only, and is not intended to be limiting of the present invention. Furthermore, all terms including technical and scientific terms have the same meaning as will be understood by those skilled in the art having ordinary skill in the art, unless otherwise specified. These terms, such as those defined in conventional dictionaries, shall be construed to have meanings consistent with their meanings in the context of the related art and the description of the present invention, and are to be interpreted as being ideally or externally grossly intuitive It will not be interpreted.

본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.Embodiments of the present invention are described with reference to schematic illustrations of ideal embodiments of the present invention. Accordingly, changes from the shapes of the illustrations, e.g., changes in manufacturing methods and / or tolerances, are those that can be reasonably expected. Accordingly, the embodiments of the present invention should not be construed as being limited to the specific shapes of the regions described in the drawings, but include deviations in the shapes, and the elements described in the drawings are entirely schematic and their shapes Is not intended to describe the exact shape of the elements and is not intended to limit the scope of the invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 타워 리프트를 설명하기 위한 개략적인 구성도이며, 도 2는 도 1에 도시된 캐리지 모듈을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.FIG. 1 is a schematic diagram for explaining a tower lift according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic diagram for explaining a carriage module shown in FIG.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 타워 리프트(100)는 수직 방향으로 물건을 이송하기 위해 사용될 수 있다. 예를 들면, 반도체 또는 디스플레이 제조 설비들이 배치된 복층의 제조 공장에서 각 층들로의 자재 이송을 위해 사용될 수 있다.Referring to FIGS. 1 and 2, a tower lift 100 according to an embodiment of the present invention can be used to transport objects in a vertical direction. For example, semiconductor or display manufacturing facilities can be used for material transfer to the respective layers in a multi-layer manufacturing plant in which they are located.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 타워 리프트(100)는, 수직 방향으로 연장하는 메인 프레임(102)과, 상기 메인 프레임(102)을 따라 수직 방향으로 서로 평행하게 연장하는 가이드 레일들(104)과, 상기 메인 프레임(102)의 전방에 배치되며 상기 가이드 레일들(104)을 따라 수직 방향으로 이동 가능하게 구성된 캐리지 모듈(110)과, 상기 캐리지 모듈(110)에 장착되며 상기 가이드 레일들(104)을 따라 상기 캐리지 모듈(110)을 수직 방향으로 안내하는 상부 가이드 유닛들(120)과 하부 가이드 유닛들(130)을 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the tower lift 100 includes a main frame 102 extending in the vertical direction, guide rails 104 extending in parallel to each other in the vertical direction along the main frame 102, A carriage module 110 disposed in front of the main frame 102 and movable in a vertical direction along the guide rails 104; a carriage module 110 mounted on the carriage module 110, And upper guide units 120 and lower guide units 130 for vertically guiding the carriage module 110 along the guide rails 104.

상기 메인 프레임(102)의 상부에는 상기 캐리지 모듈(110)을 수직 방향으로 이동시키기 위한 구동 모듈(140)이 배치될 수 있다. 예를 들면, 상기 구동 모듈(140)은 모터와 풀리 및 구동 벨트(142)를 이용하여 구성될 수 있으며, 상기 구동 벨트(142)의 일단부가 상기 캐리지 모듈(110)과 연결될 수 있다. 특히, 상기 캐리지 모듈(110)의 정확한 위치 제어를 위하여 상기 구동 벨트(142)로서 타이밍 벨트(Timing Belt)가 사용될 수 있으며, 상기 구동 벨트(142)의 타단부에는 안정적인 수직 이송을 위한 웨이트 모듈(144; Weight Module)이 연결될 수 있다. 또한, 상기 캐리지 모듈(110)과 웨이트 모듈(144)에는 균형 벨트(146)가 연결될 수 있으며, 상기 메인 프레임(102)의 하부에는 상기 균형 벨트(146)에 소정의 인장력을 인가하기 위한 오토 텐셔너(148; Auto Tensioner)가 배치될 수 있다.A drive module 140 for vertically moving the carriage module 110 may be disposed on the main frame 102. For example, the driving module 140 may be constructed using a motor, a pulley, and a driving belt 142, and one end of the driving belt 142 may be connected to the carriage module 110. A timing belt may be used as the driving belt 142 to precisely control the position of the carriage module 110. A weight module for stable vertical transfer may be mounted on the other end of the driving belt 142 144; Weight Module) can be connected. A balance belt 146 may be connected to the carriage module 110 and the weight module 144. An auto tensioner for applying a predetermined tensile force to the balance belt 146 may be installed at a lower portion of the main frame 102. [ (Auto Tensioner) 148 may be disposed.

상기 캐리지 모듈(110)은 상기 상부 및 하부 가이드 유닛들(120, 130)이 장착되는 후면을 갖는 승강 프레임(112) 및 상기 승강 프레임(112)에 장착되며 이송 대상물, 예를 들면, 반도체 웨이퍼 또는 유리 기판과 같은 자재(10)를 핸들링하기 위한 캐리지 로봇(118)을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 승강 프레임(112)은 상기 후면을 갖는 승강 플레이트(114)와 상기 캐리지 로봇(118)이 설치되는 서포트 플레이트(116; Support Plate)를 포함할 수 있으며, 상기 캐리지 로봇(118)은, 예를 들면, 도시된 바와 같이 복수의 기판들이 수납되는 풉(FOUP)과 같은 수납 용기를 핸들링할 수 있다. 추가적으로, 도시된 바와 같이, 상기 승강 프레임(112)에는 상기 캐리지 로봇(116)에 의해 운반된 수납 용기를 파지하기 위한 홀딩 유닛(119)이 구비될 수 있다.The carriage module 110 includes a lifting frame 112 having a rear surface on which the upper and lower guide units 120 and 130 are mounted and a lifting frame 112 mounted on the lifting frame 112, And a carriage robot 118 for handling a material 10 such as a glass substrate. For example, the lifting frame 112 may include a lifting plate 114 having the rear surface and a support plate 116 on which the carriage robot 118 is installed. For example, a storage container, such as a FOUP, in which a plurality of substrates are housed, as shown. In addition, as shown, the lifting frame 112 may be provided with a holding unit 119 for gripping the storage container carried by the carriage robot 116.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 상부 가이드 유닛들(120)은 상기 가이드 레일들(104)의 후면 상에 배치되는 상부 고정 롤러(122)와 상기 가이드 레일들(104)의 전면 상에 밀착되도록 소정의 가압력이 인가되는 상부 텐션 롤러(124)를 각각 포함할 수 있으며, 상기 하부 가이드 유닛들(130)은 상기 가이드 레일들(104)의 전면 상에 배치되는 하부 고정 롤러(132)와 상기 가이드 레일들(104)의 후면 상에 밀착되도록 소정의 가압력이 인가되는 하부 텐션 롤러(134)를 각각 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the upper guide units 120 include an upper fixing roller 122 disposed on the rear surface of the guide rails 104, and an upper fixing roller 122 disposed on the front surfaces of the guide rails 104 The lower guide units 130 may include a lower fixing roller 132 disposed on a front surface of the guide rails 104, And a lower tension roller 134 to which a predetermined pressing force is applied so as to be in close contact with the rear surface of the guide rails 104.

도 3은 도 1에 도시된 메인 프레임과 가이드 레일들을 설명하기 위한 개략적인 평면도이고, 도 4는 도 2에 도시된 승강 프레임의 후면에 장착된 상부 및 하부 가이드 유닛들을 설명하기 위한 개략적인 배면도이며, 도 5는 도 4에 도시된 상부 및 하부 가이드 유닛들을 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.FIG. 3 is a schematic plan view for explaining main frames and guide rails shown in FIG. 1, FIG. 4 is a schematic rear view for explaining upper and lower guide units mounted on the rear surface of the lift frame shown in FIG. And FIG. 5 is a schematic side view for explaining the upper and lower guide units shown in FIG.

도 3 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 메인 프레임(102)의 양쪽 측면들 상에는 한 쌍의 가이드 레일들(104)이 각각 배치될 수 있으며, 상기 승강 프레임(112)의 후면 상에는 상기 가이드 레일들(104) 상에 각각 배치되는 한 쌍의 상부 가이드 유닛들(120)과 한 쌍의 하부 가이드 유닛들(130)이 배치될 수 있다. 예를 들면, 도시된 바와 같이 상부 가이드 유닛들(120)은 상기 승강 프레임(112)의 후면 상부의 양측에 각각 배치될 수 있으며, 하부 가이드 유닛들(130)은 상기 승강 프레임(112)의 후면 하부의 양측에 각각 배치될 수 있다.3 to 5, according to an embodiment of the present invention, a pair of guide rails 104 may be disposed on both sides of the main frame 102, and the elevating frame 112 A pair of upper guide units 120 and a pair of lower guide units 130 disposed on the guide rails 104 may be disposed on the rear surface of the guide rails 104. For example, as shown in the figure, the upper guide units 120 may be disposed on both sides of the upper portion of the rear surface of the lifting frame 112, and the lower guide units 130 may be disposed on the rear surface of the lifting frame 112 And can be disposed on both sides of the lower portion.

한편, 상기 캐리지 모듈(110)의 무게 중심은 도시된 바와 같이 상기 승강 플레이트(114)의 전방측에 위치될 수 있으므로, 상기 캐리지 모듈(110)에는 도 2의 경우 시계 방향으로 회전 모멘트가 인가될 수 있다. 결과적으로, 상기 회전 모멘트에 의해 상기 상부 고정 롤러들(122)은 상기 가이드 레일들(104)의 후면에 밀착될 수 있으며, 상기 하부 고정 롤러들(132)은 상기 가이드 레일들(104)의 전면에 밀착될 수 있다.2, since the center of gravity of the carriage module 110 can be positioned on the front side of the lifting plate 114 as shown in FIG. 2, a rotational moment is applied to the carriage module 110 in the clockwise direction . As a result, the upper fixing rollers 122 can be brought into close contact with the rear surface of the guide rails 104 by the rotation moment, and the lower fixing rollers 132 are fixed to the front surfaces of the guide rails 104 As shown in Fig.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 상부 텐션 롤러들(124)이 상기 가이드 레일들(104)의 전면 상에 밀착되도록 소정의 가압력이 인가될 수 있으며, 아울러 상기 하부 텐션 롤러들(134)이 상기 가이드 레일들(104)의 후면 상에 밀착되도록 소정의 가압력이 인가될 수 있다. 결과적으로, 상기 상부 및 하부 고정 롤러들(122, 132)과 상기 상부 및 하부 텐션 롤러들(124, 134)이 상기 회전 모멘트와 상기 가압력에 의해 상기 가이드 레일들(104)의 전면 및 후면 상에 밀착된 상태가 안정적으로 유지될 수 있으므로 상기 캐리지 모듈(110)의 수직 방향 이송시 진동과 소음이 크게 감소될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, a predetermined pressing force may be applied so that the upper tension rollers 124 are brought into close contact with the front surface of the guide rails 104, and the lower tension rollers 134 A predetermined pressing force may be applied to the rear surface of the guide rails 104 so as to be closely contacted. As a result, the upper and lower fixing rollers 122 and 132 and the upper and lower tension rollers 124 and 134 are pressed against the front and rear surfaces of the guide rails 104 by the rotational moment and the pressing force, Vibration and noise can be greatly reduced when the carriage module 110 is transported in the vertical direction since the contact state can be stably maintained.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 상부 가이드 유닛들(120)은 상기 상부 고정 롤러(122)와 상부 텐션 롤러(124)가 설치되는 상부 브래킷(126)을 각각 포함할 수 있으며, 상기 하부 가이드 유닛들(130)은 상기 하부 고정 롤러(132)와 하부 텐션 롤러(134)가 설치되는 하부 브래킷(136)을 각각 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the upper guide units 120 may each include an upper bracket 126 on which the upper fixing roller 122 and the upper tension roller 124 are installed, The units 130 may each include a lower bracket 136 on which the lower fixing roller 132 and the lower tension roller 134 are installed.

상기 상부 및 하부 텐션 롤러들(124, 134)은, 회전축이 중심축으로부터 소정 거리 이격된 편심축(124A, 134A)과, 상기 편심축(124A, 134A)에 회전 가능하도록 장착된, 예를 들면, 베어링을 이용하여 회전 가능하도록 장착된 롤러(124B, 134B)와, 상기 롤러(124B, 134B)가 상기 가이드 레일(104)에 밀착되도록 소정의 가압력을 인가하기 위하여 상기 편심축(124A, 134A)에 장착된 토션 스프링(124C, 134C)을 각각 포함할 수 있다.The upper and lower tension rollers 124 and 134 include eccentric shafts 124A and 134A whose rotation axes are spaced apart from the central axis by a predetermined distance and eccentric shafts 124A and 134A mounted on the eccentric shafts 124A and 134A so as to be rotatable, And rollers 124B and 134B mounted to be rotatable using bearings and eccentric shafts 124A and 134A for applying a predetermined urging force such that the rollers 124B and 134B are brought into close contact with the guide rails 104. [ Respectively, of the torsion springs 124C and 134C.

예를 들면, 도 5에 도시된 바와 같이, 상부 텐션 롤러(124)의 경우 상기 토션 스프링(124C)에 의해 반시계 방향으로 소정의 가압력이 상기 편심축(124A)에 인가될 수 있으며, 이에 의해 상기 롤러(124B)가 상기 가이드 레일(104)의 전면에 밀착될 수 있다. 또한, 도 5에 도시된 바와 같이, 하부 텐션 롤러(134)의 경우 상기 토션 스프링(134C)에 의해 시계 방향으로 소정의 가압력이 상기 편심축(134A)에 인가될 수 있으며, 이에 의해 상기 롤러(134B)가 상기 가이드 레일(104)의 후면에 밀착될 수 있다.For example, as shown in FIG. 5, in the case of the upper tension roller 124, a predetermined pressing force can be applied to the eccentric shaft 124A in the counterclockwise direction by the torsion spring 124C, The roller 124B may be in close contact with the front surface of the guide rail 104. [ 5, a predetermined urging force can be applied to the eccentric shaft 134A in the clockwise direction by the torsion spring 134C in the case of the lower tension roller 134, 134B can be brought into close contact with the rear surface of the guide rail 104.

상기한 바에 따르면, 상기 상부 및 하부 텐션 롤러들(124, 134)에 가압력을 인가하기 위하여 편심축(124A, 134A)과 토션 스프링(124C, 134C)이 사용되고 있으나, 본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태로서 기재된 것으로 상기한 바와 같은 구조에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다. 한편, 상기 상부 및 하부 가이드 유닛들(120, 130)은 상기 가이드 레일들(104)의 측면들 상에 배치되는 상부 및 하부 측면 고정 롤러들(128, 138)을 각각 포함할 수 있다. 상기 상부 및 하부 측면 고정 롤러들(128, 138)은 상기 캐리지 모듈(110)이 상기 가이드 레일들(104)로부터 이탈되는 것을 방지하기 위해 사용될 수 있다.Although the eccentric shafts 124A and 134A and the torsion springs 124C and 134C are used to apply a pressing force to the upper and lower tension rollers 124 and 134, And the scope of the present invention is not limited by the structure as described above. The upper and lower guide units 120 and 130 may include upper and lower side fixing rollers 128 and 138 disposed on the side surfaces of the guide rails 104, respectively. The upper and lower side fixing rollers 128 and 138 may be used to prevent the carriage module 110 from being detached from the guide rails 104.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 캐리지 모듈(110)은 수직 방향으로 연장하는 메인 프레임(102)과 가이드 레일들(104)의 전방에 배치되며 상기 가이드 레일들(104)을 따라 이동될 수 있다. 상기 캐리지 모듈(110)에는 상기 가이드 레일들(104)과 결합되는 상부 가이드 유닛들(120)과 하부 가이드 유닛들(130)이 장착될 수 있으며, 상기 상부 가이드 유닛들(120)은 상기 가이드 레일들(104)의 후면 상에 배치되는 상부 고정 롤러(122)와 상기 가이드 레일들(104)의 전면 상에 밀착되도록 소정의 가압력이 인가되는 상부 텐션 롤러(124)를 각각 포함하고, 상기 하부 가이드 유닛들(130)은 상기 가이드 레일들(104)의 전면 상에 배치되는 하부 고정 롤러(132)와 상기 가이드 레일들(104)의 후면 상에 밀착되도록 소정의 가압력이 인가되는 하부 텐션 롤러(134)를 각각 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention as described above, the carriage module 110 is disposed in front of the main frame 102 and the guide rails 104 extending in the vertical direction and is disposed along the guide rails 104 Can be moved. Upper guide units 120 and lower guide units 130 coupled to the guide rails 104 may be mounted on the carriage module 110. The upper guide units 120 may be mounted on the guide rails 104, An upper fixing roller 122 disposed on the rear surface of the guide rails 104 and an upper tension roller 124 applying a predetermined pressing force to be in close contact with the front surface of the guide rails 104, The units 130 include a lower fixing roller 132 disposed on the front surface of the guide rails 104 and a lower tension roller 134 having a predetermined pressing force applied to the rear surfaces of the guide rails 104 Respectively.

특히, 상기 상부 및 하부 고정 롤러들(122, 132)은 상기 캐리지 모듈(110)에 작용되는 회전 모멘트에 의해 상기 가이드 레일들(104)의 후면 및 전면 상에 각각 밀착될 수 있으며, 아울러 상기 상부 및 하부 텐션 롤러들(124, 134)이 상기 가이드 레일들(104)의 전면 및 후면에 각각 밀착될 수 있도록 소정의 가압력, 예를 들면, 토션 스프링(124C, 134C)의 탄성 복원력이 인가될 수 있다.Particularly, the upper and lower fixing rollers 122 and 132 can be closely attached to the rear surface and the front surface of the guide rails 104 by a rotational moment applied to the carriage module 110, The elastic restoring force of the torsion springs 124C and 134C can be applied so that the lower tension rollers 124 and 134 can be in close contact with the front and rear surfaces of the guide rails 104, have.

결과적으로, 상기 상부 및 하부 고정 롤러들(122, 132)과 상기 상부 및 하부 텐션 롤러들(124, 134)이 상기 가이드 레일들(104)에 충분히 밀착될 수 있으며, 이에 따라 상기 캐리지 모듈(110)의 수직 방향 이동시 소음과 진동이 크게 감소될 수 있다. 또한, 상기 상부 및 하부 고정 롤러들(122, 132)과 상기 상부 및 하부 텐션 롤러들(124, 134)의 수명이 크게 연장될 수 있으며, 상기 진동에 의해 발생될 수 있는 상기 캐리지 모듈(110)의 위치 제어 불량이 충분히 감소될 수 있다.As a result, the upper and lower fixing rollers 122 and 132 and the upper and lower tension rollers 124 and 134 can be brought into close contact with the guide rails 104, The noise and the vibration can be greatly reduced in the vertical direction. The life of the upper and lower fixing rollers 122 and 132 and the upper and lower tension rollers 124 and 134 can be greatly extended and the life of the carriage module 110, It is possible to sufficiently reduce the position control defects of the motor.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as defined in the following claims. It can be understood that.

10 : 자재 100 : 타워 리프트
102 : 메인 프레임 104 : 가이드 레일
110 : 캐리지 모듈 112 : 승강 프레임
114 : 승강 플레이트 116 : 서포트 플레이트
118 : 캐리지 로봇 120 : 상부 가이드 유닛
122 : 상부 고정 롤러 124 : 상부 텐션 롤러
124A : 편심축 124B : 롤러
124C : 토션 스프링 126 : 상부 브래킷
128 : 상부 측면 고정 롤러 130 : 하부 가이드 유닛
132 : 하부 고정 롤러 134 : 하부 텐션 롤러
134A : 편심축 134B : 롤러
134C : 토션 스프링 136 : 하부 브래킷
138 : 하부 측면 고정 롤러 140 : 구동 모듈
142 : 구동 벨트 144 : 웨이트 모듈
146 : 균형 벨트 148 : 오토 텐셔너
10: Material 100: Tower lift
102: main frame 104: guide rail
110: carriage module 112: lift frame
114: lift plate 116: support plate
118: carriage robot 120: upper guide unit
122: upper fixing roller 124: upper tension roller
124A: eccentric shaft 124B: roller
124C: Torsion spring 126: Upper bracket
128: upper side fixing roller 130: lower guide unit
132: lower fixing roller 134: lower tension roller
134A: eccentric shaft 134B: roller
134C: Torsion spring 136: Lower bracket
138: lower side fixing roller 140: driving module
142: drive belt 144: weight module
146: Balance belt 148: Auto tensioner

Claims (11)

수직 방향으로 연장하는 가이드 레일;
상기 가이드 레일을 따라 수직 방향으로 이동 가능하게 구성된 캐리지 모듈; 및
상기 캐리지 모듈에 장착되며 상기 가이드 레일을 따라 상기 캐리지 모듈을 수직 방향으로 안내하는 상부 및 하부 가이드 유닛들을 포함하되,
상기 상부 가이드 유닛은 상기 가이드 레일의 후면 상에 배치되는 상부 고정 롤러와 상기 가이드 레일의 전면 상에 밀착되도록 소정의 가압력이 인가되는 상부 텐션 롤러를 포함하며,
상기 하부 가이드 유닛은 상기 가이드 레일의 전면 상에 배치되는 하부 고정 롤러와 상기 가이드 레일의 후면 상에 밀착되도록 소정의 가압력이 인가되는 하부 텐션 롤러를 포함하고,
상기 상부 및 하부 텐션 롤러들은,
회전축이 중심축으로부터 소정 거리 이격된 편심축;
상기 편심축에 회전 가능하도록 장착된 롤러; 및
상기 롤러가 상기 가이드 레일에 밀착되도록 소정의 가압력을 인가하기 위하여 상기 편심축에 장착된 토션 스프링을 각각 포함하는 것을 특징으로 하는 타워 리프트.
A guide rail extending in a vertical direction;
A carriage module configured to be movable in a vertical direction along the guide rail; And
And upper and lower guide units mounted on the carriage module and vertically guiding the carriage module along the guide rails,
The upper guide unit includes an upper fixing roller disposed on a rear surface of the guide rail and an upper tension roller to which a predetermined pressing force is applied so as to be closely contacted on a front surface of the guide rail,
Wherein the lower guide unit includes a lower fixing roller disposed on a front surface of the guide rail and a lower tension roller to which a predetermined pressing force is applied so as to closely contact the rear surface of the guide rail,
The upper and lower tension rollers,
An eccentric shaft having a rotation axis spaced from the central axis by a predetermined distance;
A roller rotatably mounted on the eccentric shaft; And
And a torsion spring mounted on the eccentric shaft for applying a predetermined urging force so that the roller closely contacts the guide rail.
삭제delete 제1항에 있어서, 상기 상부 가이드 유닛은 상기 상부 고정 롤러와 상부 텐션 롤러가 설치되는 상부 브래킷을 더 포함하며,
상기 하부 가이드 유닛은 상기 하부 고정 롤러와 하부 텐션 롤러가 설치되는 하부 브래킷을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 타워 리프트.
The apparatus of claim 1, wherein the upper guide unit further comprises an upper bracket on which the upper fixing roller and the upper tension roller are installed,
Wherein the lower guide unit further comprises a lower bracket on which the lower fixing roller and the lower tension roller are installed.
제1항에 있어서, 상기 상부 및 하부 가이드 유닛들은 상기 가이드 레일의 측면 상에 배치되는 상부 및 하부 측면 고정 롤러들을 각각 더 포함하는 것을 특징으로 하는 타워 리프트.The tower lift of claim 1, wherein the upper and lower guide units further comprise upper and lower side fixation rollers, respectively, disposed on a side of the guide rail. 수직 방향으로 연장하는 메인 프레임;
상기 메인 프레임을 따라 수직 방향으로 서로 평행하게 연장하는 가이드 레일들;
상기 메인 프레임의 전방에 배치되며 상기 가이드 레일들을 따라 수직 방향으로 이동 가능하게 구성된 캐리지 모듈; 및
상기 캐리지 모듈에 장착되며 상기 가이드 레일들을 따라 상기 캐리지 모듈을 수직 방향으로 안내하는 상부 가이드 유닛들과 하부 가이드 유닛들을 포함하되,
상기 상부 가이드 유닛들은 상기 가이드 레일들의 후면 상에 배치되는 상부 고정 롤러와 상기 가이드 레일들의 전면 상에 밀착되도록 소정의 가압력이 인가되는 상부 텐션 롤러를 각각 포함하며,
상기 하부 가이드 유닛들은 상기 가이드 레일들의 전면 상에 배치되는 하부 고정 롤러와 상기 가이드 레일들의 후면 상에 밀착되도록 소정의 가압력이 인가되는 하부 텐션 롤러를 각각 포함하고,
상기 상부 및 하부 텐션 롤러들은,
회전축이 중심축으로부터 소정 거리 이격된 편심축;
상기 편심축에 회전 가능하도록 장착된 롤러; 및
상기 롤러가 상기 가이드 레일에 밀착되도록 소정의 가압력을 인가하기 위하여 상기 편심축에 장착된 토션 스프링을 각각 포함하는 것을 특징으로 하는 타워 리프트.
A main frame extending in a vertical direction;
Guide rails extending parallel to each other in the vertical direction along the main frame;
A carriage module disposed in front of the main frame and configured to be movable in a vertical direction along the guide rails; And
Upper guide units mounted on the carriage module and guiding the carriage module along the guide rails in a vertical direction, and lower guide units,
Wherein the upper guide units comprise an upper fixing roller disposed on a rear surface of the guide rails and an upper tension roller to which a predetermined pressing force is applied so as to closely contact the front surfaces of the guide rails,
Wherein the lower guide units include a lower fixing roller disposed on a front surface of the guide rails and a lower tension roller having a predetermined pressing force applied to the rear surfaces of the guide rails,
The upper and lower tension rollers,
An eccentric shaft having a rotation axis spaced from the central axis by a predetermined distance;
A roller rotatably mounted on the eccentric shaft; And
And a torsion spring mounted on the eccentric shaft for applying a predetermined urging force so that the roller closely contacts the guide rail.
제5항에 있어서, 상기 메인 프레임의 상부에 배치되며 구동 벨트를 이용하여 상기 캐리지 모듈을 수직 방향으로 이동시키는 구동 모듈;
상기 캐리지 모듈의 후방에 배치되며 상기 구동 벨트와 연결된 웨이트 모듈;
상기 캐리지 모듈 및 상기 웨이트 모듈과 연결된 균형 벨트; 및
상기 균형 벨트에 소정의 인장력을 인가하기 위한 오토 텐셔너를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 타워 리프트.
[6] The apparatus of claim 5, further comprising: a drive module disposed on the main frame and moving the carriage module in a vertical direction using a drive belt;
A weight module disposed behind the carriage module and connected to the drive belt;
A balance belt connected to the carriage module and the weight module; And
Further comprising an auto tensioner for applying a predetermined tensile force to the balance belt.
제5항에 있어서, 상기 캐리지 모듈은,
상기 상부 및 하부 가이드 유닛들이 장착되는 후면을 갖는 승강 프레임; 및
상기 승강 프레임에 장착되며 이송 대상물을 핸들링하기 위한 캐리지 로봇을 포함하는 것을 특징으로 하는 타워 리프트.
6. The apparatus of claim 5, wherein the carriage module comprises:
A lifting frame having a rear surface on which the upper and lower guide units are mounted; And
And a carriage robot mounted on the lifting frame for handling the object to be transported.
제7항에 있어서, 상기 메인 프레임의 양쪽 측면들 상에 한 쌍의 가이드 레일들이 각각 배치되며,
상기 승강 프레임의 후면 상에는 상기 가이드 레일들 상에 각각 배치되는 한 쌍의 상부 가이드 유닛들과 한 쌍의 하부 가이드 유닛들이 배치되는 것을 특징으로 하는 타워 리프트.
8. The apparatus of claim 7, wherein a pair of guide rails are disposed on both sides of the main frame,
And a pair of upper guide units and a pair of lower guide units, which are respectively disposed on the guide rails, are disposed on a rear surface of the lift frame.
삭제delete 제5항에 있어서, 상기 상부 가이드 유닛들은 상기 상부 고정 롤러와 상부 텐션 롤러가 설치되는 상부 브래킷을 각각 더 포함하며,
상기 하부 가이드 유닛들은 상기 하부 고정 롤러와 하부 텐션 롤러가 설치되는 하부 브래킷을 각각 더 포함하는 것을 특징으로 하는 타워 리프트.
[6] The apparatus of claim 5, wherein the upper guide units further include upper brackets on which the upper fixing roller and the upper tension roller are installed,
Wherein the lower guide units further include lower brackets on which the lower fixing roller and the lower tension roller are installed.
제5항에 있어서, 상기 상부 및 하부 가이드 유닛들은 상기 가이드 레일들의 측면 상에 배치되는 상부 및 하부 측면 고정 롤러들을 각각 더 포함하는 것을 특징으로 하는 타워 리프트.6. The tower lift of claim 5, wherein the upper and lower guide units further comprise upper and lower side fixation rollers each disposed on a side of the guide rails.
KR1020160142788A 2016-10-31 2016-10-31 Tower lift having a tension roller KR101854044B1 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160142788A KR101854044B1 (en) 2016-10-31 2016-10-31 Tower lift having a tension roller
CN201711049284.3A CN108002285B (en) 2016-10-31 2017-10-31 Tower hoist with idler roller

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160142788A KR101854044B1 (en) 2016-10-31 2016-10-31 Tower lift having a tension roller

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101854044B1 true KR101854044B1 (en) 2018-05-02

Family

ID=62052104

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020160142788A KR101854044B1 (en) 2016-10-31 2016-10-31 Tower lift having a tension roller

Country Status (2)

Country Link
KR (1) KR101854044B1 (en)
CN (1) CN108002285B (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110451165A (en) * 2018-05-08 2019-11-15 细美事有限公司 Tower hoist
KR102170663B1 (en) * 2020-04-09 2020-10-27 (주)썬패치테크노 Floor lift
KR20220029977A (en) 2020-09-02 2022-03-10 세메스 주식회사 Article transport apparatus
KR20230093882A (en) 2021-12-20 2023-06-27 주식회사 에스에프에이 Lifter with pneumatic fall arrester

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109437043A (en) * 2018-12-19 2019-03-08 广东新兴铸管有限公司 A kind of iron pipe vertical conveyance device
CN110775863A (en) * 2019-09-17 2020-02-11 苏州晶洲装备科技有限公司 Lifting system for OLED panel display cleaning equipment
CN110775864A (en) * 2019-12-02 2020-02-11 无锡市通达输送设备有限公司 Heavy six-column elevator
CN111852044B (en) * 2020-07-29 2022-01-25 凯盛浩丰(德州)智慧农业有限公司 Intelligent construction system for glass heat-insulation greenhouse
KR20220028846A (en) * 2020-08-31 2022-03-08 세메스 주식회사 Chamber module and test handler including the same

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20060216137A1 (en) 2004-07-02 2006-09-28 Katsunori Sakata Carrying apparatus and carrying control method for sheet-like substrate
JP4679846B2 (en) * 2004-07-07 2011-05-11 三菱電機株式会社 Man conveyor moving handrail drive device

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2039304U (en) * 1988-11-23 1989-06-14 铁道部株洲电力机车工厂 Electrically-lifted gang board
JP4333720B2 (en) * 2006-09-21 2009-09-16 村田機械株式会社 Mounting structure of lifting platform in transfer equipment
KR101271654B1 (en) * 2011-08-08 2013-06-11 주식회사 태성기연 Lift type apparatus for transferring of glass panel
CN103539035B (en) * 2013-11-08 2016-08-17 无锡中鼎物流设备有限公司 A kind of cantilever type lifter structure

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20060216137A1 (en) 2004-07-02 2006-09-28 Katsunori Sakata Carrying apparatus and carrying control method for sheet-like substrate
JP4679846B2 (en) * 2004-07-07 2011-05-11 三菱電機株式会社 Man conveyor moving handrail drive device

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110451165A (en) * 2018-05-08 2019-11-15 细美事有限公司 Tower hoist
KR20190128438A (en) * 2018-05-08 2019-11-18 세메스 주식회사 Tower lift
CN110451165B (en) * 2018-05-08 2021-06-01 细美事有限公司 Tower type elevator
KR102503286B1 (en) * 2018-05-08 2023-02-23 세메스 주식회사 Tower lift
US11591167B2 (en) 2018-05-08 2023-02-28 Semes Co., Ltd Tower lift
KR102170663B1 (en) * 2020-04-09 2020-10-27 (주)썬패치테크노 Floor lift
KR20220029977A (en) 2020-09-02 2022-03-10 세메스 주식회사 Article transport apparatus
KR20230093882A (en) 2021-12-20 2023-06-27 주식회사 에스에프에이 Lifter with pneumatic fall arrester

Also Published As

Publication number Publication date
CN108002285A (en) 2018-05-08
CN108002285B (en) 2019-09-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101854044B1 (en) Tower lift having a tension roller
JP5068738B2 (en) Substrate processing apparatus and method
KR101885434B1 (en) Driving module and tower lift including the same
US9087865B2 (en) Substrate transferring system and substrate transferring method
KR101384477B1 (en) Substrate inverting apparatus, substrate handling method, and substrate processing apparatus
KR102503286B1 (en) Tower lift
JP5028919B2 (en) Substrate transport apparatus and substrate transport method
JP4957133B2 (en) Substrate transport apparatus and substrate transport method
KR102616683B1 (en) Auto tensioner and tower lift including the same
KR20180035661A (en) Posture changing device
KR101209654B1 (en) Tilt apparatus for a tray
KR101227722B1 (en) Apparatus for picking up semiconductor devices
KR101864947B1 (en) Tower lift including a brake module
KR102141200B1 (en) Transfer robot and transfer apparatus including the same
KR102185264B1 (en) Transfer apparatus
KR102189275B1 (en) Transfer robot and transfer apparatus including the same
KR101587337B1 (en) Lifting apparatus and apparatus for transferring substrate comprising the same
KR102353206B1 (en) Scribing apparatus
KR20220125581A (en) Cleaning device for substrate transfer device and cleaning method for substrate transfer method
KR102557804B1 (en) Tower lift including weight module
CN109928188B (en) Transfer facility and transfer method
KR20140003717A (en) Substrate buffer devices that it is a line, and election possible and drive way
TWM612607U (en) Scribing apparatus
US20080050208A1 (en) High speed transporter including horizontal belt
KR20130088383A (en) Substrate processing apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant