KR20140033844A - Stage for loadport - Google Patents

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KR20140033844A
KR20140033844A KR1020120100248A KR20120100248A KR20140033844A KR 20140033844 A KR20140033844 A KR 20140033844A KR 1020120100248 A KR1020120100248 A KR 1020120100248A KR 20120100248 A KR20120100248 A KR 20120100248A KR 20140033844 A KR20140033844 A KR 20140033844A
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Abstract

The present invention relates to a stage for a load port, which comprises a base plate; an extension plate extending from one rear side of the base plate; a guide bar on the top of the extension plate and the base plate; a conveyance part to move between a gasping position and a seating position on which a semiconductor storage container is seated by one upper side; and a power transmission unit of a power part to provide power to the conveyance part to move forwards or backwards. The stage for a load port according to the present invention significantly reduces production time and costs by simplifying the conveyance structure of a FOUP; and enables the FOUP as the semiconductor storage container to be accurately conveyed to the gasping position of a loading robot by improving the conveyance control efficiency of the FOUP.

Description

로드포트용 스테이지{Stage for loadport}Stage for load port {Stage for loadport}

본 발명은 로드포트용 스테이지에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 풉(FOUP)의 이송구조가 간소화되도록 하여 제조시간 및 제조비용을 크게 절감할 수 있고, 풉(FOUP)의 이송제어효율이 향상되도록 하여 반도체 수납용기인 풉(FOUP)을 적재로봇의 파지위치로 정확하게 이송할 수 있는 로드포트용 스테이지에 관한 것이다.
The present invention relates to a stage for a load port, and more particularly, to a FOUP transfer structure that can be simplified, thereby greatly reducing manufacturing time and manufacturing cost, and improving the transfer control efficiency of the FOUP The present invention relates to a stage for a load port capable of accurately transferring a FOUP, which is a semiconductor storage container, to a holding position of a loading robot.

일반적으로 반도체 가공 공정은 내부에 가공하고자 하는 반도체 자재가 수납된 반도체 수납용기, 즉 풉(FOUP)을 외부로부터 불활성 가스 환경 내에 위치하는 쉘프(shelf)로 이송하여 일정시간 적재하는 공정과, 쉘프(shelf)에 적재된 파드로부터 반도체 자재를 인출함과 아울러 반도체 가공 챔버로 이송하는 공정과, 반도체 가공 챔버로 이송된 반도체 자재를 가공하는 공정과, 반도체 가공 챔버로부터 가공된 반도체 자재를 파드 내부로 반송함과 아울러 쉘프(shelf)에 일정시간 적재하는 공정 및 쉘프(shelf)에 적재된 풉(FOUP)을 외부로 반출하는 공정으로 이루어진다.In general, a semiconductor processing process includes a step of transferring a semiconductor storage container containing a semiconductor material to be processed therein, that is, a FOUP, from outside to a shelf located in an inert gas environment, withdrawing a semiconductor material from a pad mounted on a shelf and transferring the semiconductor material to a semiconductor processing chamber, processing a semiconductor material transferred to the semiconductor processing chamber, and returning the semiconductor material processed from the semiconductor processing chamber to the inside of the pad And a process of loading the shelf in a shelf for a predetermined time and a process of taking out the FOUP loaded on the shelf to the outside.

여기서 풉(FOUP)을 쉘프(shelf)로 이송하거나 쉘프로(shelf)로부터 외부로 반출하는 공정은 로드포트에 의해 이루어지게 된다.
Here, the process of transferring the FOUP to the shelf or to the outside from the shelf is performed by the load port.

도1은 일반적인 로드포트의 사시도이고, 도2는 종래의 로드포트용 스테이지의 사시도이며, 도3은 종래의 로드포트용 스테이지가 동작되는 상태를 도시한 도면이다.FIG. 1 is a perspective view of a conventional load port, FIG. 2 is a perspective view of a conventional stage for a load port, and FIG. 3 is a diagram illustrating a state in which a conventional stage for a load port is operated.

도1 및 도2에서 보는 바와 같이 종래의 로드포트(100)는 쉘프(shelf)가 설치된 공간과 외부공간을 구획하고 일측에 개구(111)가 형성된 프레임부(110)와, 프레임의 후면 중 개구(111)와 대응되는 위치에 좌우방향으로 이동가능하게 설치되어 개구(111)를 개폐하는 도어(120)와, 외부공간 중 프레임부(110)의 개구(111) 하측에 설치되는 테이블(130)과, 테이블(130)의 상부에 전후방향으로 이동가능하게 설치되고 상면에 풉(FOUP)이 안착되는 스테이지(140)로 구성된다.As shown in FIGS. 1 and 2, the conventional load port 100 includes a frame 110 having a space defined by a shelf and an external space, an opening 111 formed at one side thereof, A door 120 installed to be movable in the lateral direction at a position corresponding to the door 111 and opening and closing the opening 111 and a table 130 installed below the opening 111 of the frame 110, And a stage 140 installed on the table 130 so as to be movable in forward and backward directions and having a FOUP mounted on the upper surface thereof.

여기서, 스테이지(140)는 쉘프(shelf)가 위치하는 공간 내에 설치, 즉 프레임부(110)의 후방에 설치되는 적재로봇이 상면에 안착된 풉(FOUP)을 용이하게 파지하여 쉘프(shelf)로 이송할 수 있도록 전후방향으로 이동되면서 풉(FOUP)을 적재로봇의 부근으로 이송하는 역할을 하는데, 이러한 스테이지(140)부는 테이블(130) 상에 설치되는 베이스플레이트(141)와, 베이스플레이트(141)의 상면에 전후방향으로 이동가능하게 설치되는 이동플레이트(142)와, 이동플레이트(142)의 상면에 전후방향으로 이동가능하게 설치되고 상면에 풉(FOUP)이 안착되는 안착플레이트(143) 및 베이스플레이트(141)의 후단부 일측에 설치되고 이동플레이트(142)와 안착플레이트(143)에 각각 연결되어 이동플레이트(142)와 안착플레이트(143)에 각각 전후이동력을 제공하는 한 쌍의 동력수단(144)으로 구성된다.Here, the stage 140 is installed in a space where the shelf is located, that is, a loading robot installed at the rear of the frame 110 easily grasps the FOUP that is seated on the upper surface, The stage 140 is provided with a base plate 141 installed on the table 130 and a base plate 141 mounted on the base plate 141 A mounting plate 143 which is installed on the upper surface of the moving plate 142 so as to be movable in the front and rear direction and on which a FOUP is mounted on the upper surface of the moving plate 142, A pair of power means provided on one side of the rear end of the base plate 141 and respectively connected to the moving plate 142 and the seating plate 143 to provide forward and backward motions to the moving plate 142 and the seating plate 143, (144) It is.

이에 종래의 로드포트(100)는 안착플레이트(143)의 상면에 풉(FOUP)이 안착되는 경우 도3에서 보는 바와 같이 이동플레이트(142)가 베이스플레이트(141)에서 전방으로 1차 이동되고, 안착플레이트(143)가 이동플레이트(142) 상에서 전방으로 2차 이동되어 안착플레이트(143)의 상면에 안착된 풉(FOUP)이 적재로봇 부근으로 이동됨으로써 적재로봇이 안착플레이트(143)의 상면에 안착된 풉(FOUP)을 용이하게 파지할 수 있게 된다.3, when the FOUP is seated on the upper surface of the seating plate 143, the conventional load port 100 is firstly moved forward by the moving plate 142 from the base plate 141, The FOUP mounted on the upper surface of the seating plate 143 is moved to the vicinity of the loading robot so that the loading robot 143 is moved on the upper surface of the seating plate 143 It is possible to easily grasp the FOUP that is seated.

그러나, 종래의 로드포트(100)용 스테이지(140)는 파드를 적재로봇 부근으로 이송하기 위해 이동플레이트(142) 및 안착플레이트(143)에 따른 2단 이송구조를 취하면서 그 구조가 복잡하게 형성되고, 이에 따라 제조시간이 현저하게 증대될 뿐 아니라 2단 이송구조를 위해 가이드봉, 동력수단(144) 및 동력전달구조가 추가적으로 소요되면서 제조비용 또한 크게 상승하는 문제점이 발생되었다.However, the conventional stage 140 for the load port 100 has a two-stage transfer structure according to the moving plate 142 and the seating plate 143 for transferring the pads to the vicinity of the loading robot, Thus, not only the manufacturing time is significantly increased, but also the guide rod, the power means 144 and the power transmission structure are additionally required for the two-stage transport structure, thereby increasing the manufacturing cost.

또한, 종래의 로드포트(100)용 스테이지(140)는 앞서 설명한 바와 같이 풉(FOUP)을 적재로봇 부근으로 이송하여 적재로봇이 풉(FOUP)을 용이하게 파지할 수 있도록 하기 위해 이동플레이트(142)가 베이스플레이트(141)에서 1차 이송되고, 안착플레이트(143)가 이동플레이트(142)에서 2차 이송되는 과정에서 기계적인 오차가 발생되어 적재로봇이 풉(FOUP)을 파지할 수 있는 파지위치로 풉(FOUP)을 정확하게 이동시킬 수 없는 문제점이 있었다.
The conventional stage 140 for the load port 100 is provided with a moving plate 142 for transferring the FOUP to the vicinity of the loading robot so that the loading robot can grip the FOUP easily, ) Is firstly transferred from the base plate 141 and a mechanical error is generated in the course of the secondary transfer of the seating plate 143 from the moving plate 142 so that the loading robot can grip the FOUP There is a problem that the FOUP can not be moved accurately to the position.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 풉(FOUP)의 이송구조가 간소화되도록 하여 제조시간 및 제조비용을 크게 절감할 수 있고, 풉(FOUP)의 이송제어효율이 향상되도록 하여 반도체 수납용기인 풉(FOUP)을 적재로봇의 파지위치로 정확하게 이송할 수 있는 로트포트용 스테이지를 제공함에 있다.
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems of the prior art, and it is an object of the present invention to simplify a transfer structure of a FOUP to greatly reduce manufacturing time and manufacturing cost, (FOUP), which is a semiconductor storage container, can be accurately transferred to the holding position of the loading robot in order to improve the transfer control efficiency.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일측면에 따르면, 반도체 수납용기가 적재로봇에 의해 불활성가스 환경 내에 위치하는 반도체 수납용기 적재소로 이송될 수 있도록 상기 반도체 수납용기를 전후방향으로 이송하는 로드포트용 스테이지에 있어서, 베이스플레이트와, 상기 베이스플레이트의 후단 일측으로부터 상기 베이스플레이트의 후방으로 연장형성되는 연장플레이트와, 상기 베이스플레이트와 상기 연장플레이트의 상면에 설치되고, 상기 연장플레이트의 상면 일측으로부터 상기 베이스플레이트의 선단방향으로 길이를 갖도록 형성되는 가이드바와, 상면 일측에 상기 반도체 수납용기가 안착되고, 저면 일측이 상기 가이드바의 일측에 결합되어 상기 가이드바를 따라 이동가능하게 설치되어 외부로부터 상면에 상기 반도체 수납용기가 안착되는 안착위치와, 상기 적재로봇이 상면에 안착된 상기 반도체 수납용기를 파지하는 파지위치 사이를 이동하는 이송부와, 상기 베이스플레이트의 선단부 일측에 설치되고, 일측이 상기 이송부에 연결되어 상기 이송부에 전후이동력을 제공하는 동력부 및 상기 베이스플레이트의 상면 일측에 설치되고, 일측이 상기 동력부와 상기 이송부의 일측에 연결되어 상기 동력부로부터 제공되는 전후이동력을 상기 이송부에 전달하는 동력전달수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 로드포트용 스테이지를 제공한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a semiconductor storage container including a semiconductor storage container and a load carrying the semiconductor storage container in a back and forth direction so that the semiconductor storage container can be transferred to a semiconductor storage container loading station located in an inert gas environment by a loading robot. And an extension plate provided on the upper surface of the base plate and the extension plate and extending from one side of the upper surface of the extension plate toward the rear side of the base plate, A guide bar formed to have a length in the direction of the tip end of the base plate, a semiconductor storage container mounted on one side of the upper surface, one side of the bottom surface being coupled to one side of the guide bar and movable along the guide bar, The above- And a gripping position for gripping the semiconductor storage container which is mounted on the upper surface of the loading robot, and a gripping portion which is provided on one side of the front end of the base plate and is connected to the feeding portion, And a power transmission unit that is installed on one side of the upper surface of the base plate and has one side connected to the power unit and one side of the transfer unit to transmit the forward and backward power provided from the power unit to the transfer unit, The present invention also provides a stage for a load port.

그리고, 상기 동력전달수단은 상기 가이드바와 상기 베이스플레이트의 상면 사이에 설치되는 것이 바람직하다.Preferably, the power transmission means is disposed between the guide bar and the upper surface of the base plate.

또한, 상기 이송부는 저면 일측이 상기 가이드바의 일측에 결합되어 상기 가이드바를 따라 전후이동되고, 상면에 상기 반도체 수납용기가 안착되는 안착플레이트 및 상기 안착플레이트의 상면 일측으로부터 상방으로 돌출되고, 상기 안착플레이트의 상면에 안착되는 상기 반도체 수납용기의 저면 일측에 삽입결합되는 결합돌기를 포함할 수 있다.The conveyance unit may include a seating plate having one side of the bottom surface thereof coupled to one side of the guide bar and being moved back and forth along the guide bar and having an upper surface on which the semiconductor storage container is seated and projecting upward from one side of the upper surface of the seating plate, And a coupling protrusion that is inserted and coupled to one side of the bottom surface of the semiconductor storage container that is seated on the upper surface of the plate.

아울러, 상기 안착플레이트는 저면 일측이 상기 가이드바의 일측에 결합되어 상기 가이드바를 따라 전후이동되는 이동플레이트와, 상기 이동플레이트의 상부에 결합되고, 상기 이동플레이트가 전후이동됨에 따라 동반 이동되며, 상면에 반도체 수납용기가 안착되는 지지플레이트를 포함하되, 상기 지지플레이트는 후단부가 상기 이동플레이트의 후단부로부터 후방으로 돌출형성되게 상기 이동플레이트의 상부에 결합되는 것이 바람직하다.
The mounting plate may include a moving plate having one side of the bottom surface thereof coupled to one side of the guide bar and moving back and forth along the guide bar, and an upper plate coupled to the upper side of the moving plate, And a support plate on which the semiconductor storage container is mounted, wherein the support plate is coupled to an upper portion of the moving plate so that a rear end thereof protrudes rearward from a rear end of the moving plate.

상기와 같은 본 발명에 따르면, 연장플레이트를 베이스플레이트의 후단으로부터 후방으로 연장형성하여 안착플레이트가 베이스플레이트 및 연장플레이트 상에서 전후이동되도록 함과 아울러 베이스플레이트의 상면 중 후단부에 위치한 동력부를 베이스플레이트의 선단 일측에 설치되도록 함으로써 풉(FOUP)의 이송구조가 간소화되어 제조시간 및 제조비용을 크게 절감할 수 있을 뿐 아니라 풉(FOUP)의 이송제어효율이 향상되도록 하여 반도체 수납용기인 풉(FOUP)을 적재로봇의 파지위치로 정확하게 이송할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention as described above, the extension plate is extended from the rear end of the base plate so that the seating plate is moved back and forth on the base plate and the extension plate, and the power unit located at the rear end of the upper surface of the base plate, (FOUP), which is a semiconductor storage container, can be manufactured in order to reduce the manufacturing time and manufacturing cost as well as to improve the transfer control efficiency of the FOUP. It is possible to accurately transfer the robot to the gripping position of the loading robot.

또한, 본 발명은 베이스플레이트의 상면에 동력전달수단을 설치하고, 가이드유닛을 동력전달수단의 상부에 위치하도록 하여 기존 동력전달수단 또는 가이드바가 설치되었던 설치공간 중 어느 하나의 설치공간을 확보함으로써 미리 설정된 로드포트의 규격 내에서 타 구성의 설치위치를 용이하게 설정할 수 있는 효과가 있다.
Further, in the present invention, the power transmission means is provided on the upper surface of the base plate, and the guide unit is positioned on the upper portion of the power transmission means, thereby securing an installation space for any of the existing power transmission means or the guide bar There is an effect that the installation position of the other components can be easily set within the specification of the set load port.

도1은 일반적인 로드포트의 사시도,
도2는 종래의 로드포트용 스테이지의 사시도,
도3은 종래의 로드포트용 스테이지가 동작되는 상태를 도시한 도면,
도4는 본 발명의 일실시예에 따른 로드포트용 스테이지의 사시도,
도5는 본 발명의 일실시예에 따른 로드포트용 스테이지의 분해사시도,
도6은 본 발명의 일실시예에 따른 로드포트용 스테이지에 풉(FOUP)이 안착되는 상태를 도시한 도면,
도7은 본 발명의 일실시예에 따른 안착플레이트가 파지위치로 이동되는 상태를 도시한 도면.1 is a perspective view of a typical load port,
2 is a perspective view of a conventional stage for a load port,
3 is a view showing a state in which a conventional stage for a load port is operated,
4 is a perspective view of a stage for a load port according to an embodiment of the present invention,
5 is an exploded perspective view of a stage for a load port according to an embodiment of the present invention,
6 is a view illustrating a state in which a FOUP is seated on a stage for a load port according to an embodiment of the present invention,
7 is a view showing a state in which a seating plate according to an embodiment of the present invention is moved to a holding position;

이하에서 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일실시예를 상세하게 설명하도록 한다.
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도4는 본 발명의 일실시예에 따른 로드포트용 스테이지의 사시도이고, 도5는 본 발명의 일실시예에 따른 로드포트용 스테이지의 분해사시도이다.FIG. 4 is a perspective view of a stage for a load port according to an embodiment of the present invention, and FIG. 5 is an exploded perspective view of a stage for a load port according to an embodiment of the present invention.

도4 및 도5에서 보는 바와 같이 본 발명의 일실시예에 따른 로드포트용 스테이지는 베이스플레이트(10)와, 연장플레이트(20)와, 가이드바(30)와, 이송부(40)와, 동력부(50) 및 동력전달수단(60)을 포함하여 구성된다.4 and 5, the stage for a load port according to an embodiment of the present invention includes a base plate 10, an extension plate 20, a guide bar 30, a transfer unit 40, (50) and a power transmission means (60).

베이스플레이트(10)는 대략 장방형상의 판상으로 형성되고, 로드포트의 프레임부(110) 전면 중 개구(111) 하측에 배치되어 후술하는 각 구성의 설치영역을 제공하는 역할을 한다.The base plate 10 is formed in a substantially rectangular plate shape and is disposed below the opening 111 in the front surface of the frame portion 110 of the load port to provide a mounting region having various configurations described later.

연장플레이트(20)는 대략 판상으로 형성되고, 베이스플레이트(10)의 후단의 일측으로부터 후방으로 연장형성되어 베이스플레이트(10)에 의해 제공되는 이송부(40)의 이송영역을 추가적으로 제공하는 역할을 한다.The extension plate 20 is formed in a substantially plate-like shape and serves to additionally provide a transfer area of the transfer section 40 provided by the base plate 10, extending from one side of the rear end of the base plate 10 .

다시 말하면, 연장플레이트(20)는 앞서 설명한 바와 같이 베이스플레이트(10)의 후단 일측으로부터 베이스플레이트(10)의 후방으로 연장형성됨에 따라 후술하는 가이드바(30)가 베이스플레이트(10)의 선단으로부터 연장플레이트(20)의 후단까지의 거리와 대응되는 길이로 형성될 수 있도록 함으로써 이송부(40)에 추가적인 이송영역을 제공하게 된다.In other words, as described above, the extension plate 20 is extended from the rear end side of the base plate 10 to the rear side of the base plate 10, so that the guide bar 30 to be described later is extended from the front end of the base plate 10 The length of the extension plate 20 can be set to a length corresponding to the distance to the rear end of the extension plate 20, thereby providing an additional transfer area to the transfer unit 40.

가이드바(30)는 대략 직선의 봉형상으로 형성되고, 양측단부가 각각 베이스플레이트(10)의 선단과, 연장플레이트(20)의 후단에 배치되도록, 베이스플레이트(10)와 연장플레이트(20)의 상부에 설치되며, 일측에 이송부(40)의 저면 일측에 결합되어 후술하는 동력부(50)에 의해 동력이 제공되어 이송부(40)가 이동되는 경우 이송부(40)의 이동방향을 안내하는 역할을 한다.The guide bar 30 is formed in a substantially straight bar shape and includes a base plate 10 and an extension plate 20 so that both end portions thereof are disposed at the front end of the base plate 10 and at the rear end of the extension plate 20, And is disposed at one side of the bottom of the transfer unit 40 and is powered by a power unit 50 to be described later and guides the moving direction of the transfer unit 40 when the transfer unit 40 is moved .

이와 같은 가이드바(30)는 당해 기술분야에서 통상의 지식을 갖는 자에게는 상용적으로 공급되는 것을 구입하여 사용할 수 있을 정도로 공지된 것임이 자명한 것으로 구체적인 설명은 생략하도록 한다.It is obvious that the guide bar 30 is commercially available to those having ordinary skill in the art, so that detailed explanation will be omitted.

이송부(40)는 저면 일측이 가이드바(30)의 일측에 전후이동가능하게 결합되는 안착플레이트(41)와, 안착플레이트(41)의 상면 일측으로부터 상방으로 돌출형성되는 적어도 하나의 결합돌기(42)를 포함하여 구성되며, 안착플레이트(41)의 상면에 반도체 수납용기인 풉(FOUP)을 적재로봇이 상면에 안착된 풉(FOUP)을 용이하게 파지할 수 있도록 풉(FOUP)을 이송하는 역할을 한다.The transfer unit 40 includes a mounting plate 41 whose one side is coupled to one side of the guide bar 30 so as to be movable forward and backward and at least one coupling projection 42 (FOUP), which is a semiconductor storage container, is loaded on the upper surface of the seating plate 41, and the FOUP is transported so that the loading robot can easily grasp a FOUP mounted on the upper surface of the loading robot .

안착플레이트(41)는 대략 플레이트 형상으로 형성되고 저면 일측에 가이의 일측에 전후방향으로 이동가능하게 결합되는 이동플레이트(41a)와, 이동플레이트(41a)의 상부 일측에 고정설치되는 지지플레이트(41b)를 포함하여 구성되며, 상면에 이송하고자 하는 풉(FOUP)이 안착되는 안착위치와, 적재로봇이 상면에 안착된 반도체 수납용기를 파지하는 파지위치 사이를 이동하면서 반도체 수납용기를 쉘프(shelf)방향으로 이송하는 역할을 한다.The seating plate 41 is formed in a substantially plate shape and has a moving plate 41a which is coupled to one side of the bottom face of the wing so as to be movable in forward and backward directions and a supporting plate 41b which is fixedly installed on one side of the upper side of the moving plate 41a The semiconductor storage container is shelfed while moving between a seating position where the FOUP to be transferred to the upper surface is seated and a holding position where the loading robot grips the semiconductor storage container seated on the upper surface, Direction.

여기서, 지지플레이트(41b)는 후단부가 이동플레이트(41b)의 후방으로 돌출되게 이동플레이트(41b)의 상면에 고정설치되는데, 이와 같이 지지플레이트(41b)가 이동플레이트(41a)의 후방으로 돌출되게 이동플레이트(41b)의 상면에 고정설치하는 이유는 안착플레이트(41b)가 베이스플레이트(10) 상에서 파지위치로 이동하는 경우 지지플레이트(41)의 상면에 안착된 파드가 적재로봇 방향으로 돌출되도록 함으로써 적재로봇이 풉(FOUP)을 보다 용이하게 파지할 수 있도록 하기 위함이다.The rear end of the support plate 41b is fixed to the upper surface of the movement plate 41b so as to protrude rearward of the movement plate 41b. The support plate 41b is projected rearward of the movement plate 41a, The reason why the fixing plate 41b is fixed to the upper surface of the moving plate 41b is that when the seating plate 41b moves to the gripping position on the base plate 10, the pad rested on the upper surface of the supporting plate 41 protrudes in the direction of the loading robot So that the loading robot can grip the FOUP more easily.

그리고, 지지플레이트(41b)는 파지위치에 위치하는 경우 후방에 위치한 적재로봇이 상면에 안착된 풉(FOUP)을 하방으로부터 상방으로 떠 받쳐들 수 있도록 후단 부 일측에 통과홈(41ba)이 형성된다.When the support plate 41b is positioned at the gripping position, a passage groove 41ba is formed at one side of the rear end so that the loading robot, which is located at the rear side, can support the FOUP mounted on the upper surface from the lower side .

결합돌기(42)는 지지플레이트(41b)의 상면 일측으로부터 상방으로 돌출형성되고, 반도체 수납용기인 풉(FOUP)이 지지플레이트(41b)의 상면에 안착되는 경우 지지플레이트(41b)의 상면에 안착된 반도체 수납용기의 안착위치를 고정하는 역할을 한다.The engaging projection 42 protrudes upward from one side of the upper surface of the supporting plate 41b and seats on the upper surface of the supporting plate 41b when the FOUP as a semiconductor storage container is seated on the upper surface of the supporting plate 41b And the fixing position of the semiconductor storage container is fixed.

동력부(50)는 베이스플레이트(10)의 선단부 일측에 수직방향으로 설치되고, 일측이 후술하는 동력전달수단(60)을 통해 안착플레이트(41)에 연결되어 안착플레이트(41)에 전후이동력을 제공하는 역할을 한다.The power section 50 is vertically provided on one side of the front end of the base plate 10 and one side of the power section 50 is connected to the seating plate 41 via a power transmitting means 60 to be described later, It serves to provide.

여기서, 동력부(50)는 모터가 사용될 수 있는데, 이러한 모터는 당해 기술분야에서 통상의 지식을 갖는 자에게는 상용적으로 공급되는 것을 구입하여 사용할 수 있을 정도로 공지된 것임이 자명한 것으로 구체적인 설명은 생략하도록 한다.Here, the power section 50 may be a motor, which is well known to those skilled in the art, and is commercially available. Omit it.

동력전달수단(60)은 일측이 동력부(50)에 연결되고, 다른 일측이 안착플레이트(41)에 연결되어 동력부(50)로부터 제공되는 동력을 안착플레이트(41)에 전달함으로써 안착플레이트(41)가 가이드바(30)를 따라 전후방향으로 이동되도록 하는 역할을 한다.One end of the power transmission means 60 is connected to the power section 50 and the other end of the power transmission means 60 is connected to the seating plate 41 to transmit the power provided from the power section 50 to the seating plate 41, 41 are moved in the forward and backward directions along the guide bars 30.

그리고, 동력전달수단(60)은 가이드바(30)와 베이스플레이트(10)의 상면 사이에 설치되는데, 이와 같이 동력전달수단(60)을 가이드바(30)와 베이스플레이트(10)의 상면 사이에 설치하여 동력전달수단(60)과 가이드바(30)를 적층구조로 형성하는 이유는 베이스플레이트(10) 상에서 기존 동력전달수단(60) 또는 가이드바(30)가 설치되었던 설치공간 중 어느 하나의 설치공간을 확보함으로써 미리 설정된 로드포트의 규격 내에서 타 구성의 설치위치를 용이하게 설정할 수 있도록 하기 위함이다.
The power transmission means 60 is disposed between the guide bar 30 and the upper surface of the base plate 10. The power transmission means 60 is disposed between the guide bar 30 and the upper surface of the base plate 10, The reason why the power transmission means 60 and the guide bar 30 are formed in a laminated structure is that the power transmission means 60 and the guide bar 30 are installed on the base plate 10 So that the mounting position of the other components can be easily set within the specification of the load port that is set in advance.

도6은 본 발명의 일실시예에 따른 로드포트용 스테이지에 풉(FOUP)이 안착되는 상태를 도시한 도면이고, 도7은 본 발명의 일실시예에 따른 안착플레이트가 파지위치로 이동되는 상태를 도시한 도면이다.FIG. 6 is a view illustrating a state in which a FOUP is seated on a stage for a load port according to an embodiment of the present invention. FIG. 7 is a view illustrating a state in which a seating plate according to an embodiment of the present invention is moved to a holding position Fig.

이와 같은 구성을 갖는 본 발명의 일실시예에 따른 로드포트용 스테이지의 동작을 첨부된 도6 및 도7을 참조하여 설명하면 다음과 같다.The operation of the stage for a load port according to one embodiment of the present invention having such a structure will be described with reference to FIGS. 6 and 7. FIG.

먼저, 도6에서 보는 바와 같이 안착플레이트(41)가 베이스 상부에 위치하는 안착위치에 위치하는 경우 외부에 구비된 이송로봇으로부터 이송하고자 하는 풉(FOUP)이 안착플레이트(41)의 상면에 안착된다.6, when the seating plate 41 is located at a seating position located above the base, a FOUP to be conveyed from a conveying robot provided outside is seated on the upper surface of the seating plate 41 .

이때, 지지플레이트(41b)의 상면에 안착된 파드의 저면 일측에 이송부(40)의 결합돌기(42)가 삽입되어 그 안착위치가 견고하게 고정된다.At this time, the engaging projection 42 of the transfer unit 40 is inserted into one side of the bottom surface of the pad, which is seated on the upper surface of the support plate 41b, and its seating position is firmly fixed.

이와 같이 풉(FOUP)이 안착플레이트(41)에 안착된 상태에서 동력부(50)가 구동되면, 동력부(50)로부터 발생되는 동력이 동력전달수단(60)을 통해 안착플레이트(41)로 전달되고, 전달된 동력에 의해 안착플레이트(41)가 안착플레이트(41)의 후방으로 이동하여 파지위치로 이동된다.When the power unit 50 is driven while the FOUP is seated on the seating plate 41, the power generated from the power unit 50 is transmitted to the seating plate 41 through the power transmitting unit 60 And the seating plate 41 is moved to the rear side of the seating plate 41 and moved to the holding position by the transmitted power.

이후, 적재로봇(미도시)이 파지위치에 위치한 안착플레이트(41) 상면에 안착된 풉(FOUP)을 파지하게 되는데, 본 발명의 일실시예에 따른 지지플레이트(41b)가 이동플레이트(41a)의 후방으로 돌출되게 이동플레이트(41a)의 상면에 안착되면서 지지플레이트(41b) 상에 안착된 풉(FOUP)이 보다 적재로봇(미도시)에 근접하게 되면서 적재로봇이 풉(FOUP)을 보다 용이하게 파지할 수 있게 된다.
The supporting plate 41b according to the embodiment of the present invention is moved to the moving plate 41a by the moving robot 41. Then, the loading robot 41 holds the FOUP mounted on the upper surface of the mounting plate 41, The FOUP mounted on the support plate 41b is closer to the loading robot (not shown) while being mounted on the upper surface of the moving plate 41a so as to protrude toward the rear of the loading plate 41a so that the loading robot can more easily perform the FOUP .

비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서 첨부된 특허청구의 범위는 본 발명의 요지에서 속하는 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.
Although the present invention has been described in connection with the above-mentioned preferred embodiments, it is possible to make various modifications and variations without departing from the spirit and scope of the invention. Accordingly, the appended claims are intended to cover such modifications or changes as fall within the scope of the invention.

1 : 로드포트용 스테이지 10 : 베이스플레이트
20 : 연장플레이트 30 : 가이드바
40 : 이송부 41 : 안착플레이트
41a : 이동플레이트 41b : 지지플레이트
41ba : 통과홈 42 : 결합돌기
50 : 동력부 60 : 동력전달수단1: stage 10 for the load port: base plate
20: extension plate 30: guide bar
40: conveying part 41: seating plate
41a: moving plate 41b: supporting plate
41ba: passing groove 42: engaging projection
50: power unit 60: power transmission means

Claims (4)

반도체 수납용기가 적재로봇에 의해 불활성가스 환경 내에 위치하는 반도체 수납용기 적재소로 이송될 수 있도록 상기 반도체 수납용기를 전후방향으로 이송하는 로드포트용 스테이지에 있어서,
베이스플레이트와;
상기 베이스플레이트의 후단 일측으로부터 상기 베이스플레이트의 후방으로 연장형성되는 연장플레이트와;
상기 베이스플레이트와 상기 연장플레이트의 상면에 설치되고, 상기 연장플레이트의 상면 일측으로부터 상기 베이스플레이트의 선단방향으로 길이를 갖도록 형성되는 가이드바와;
상면 일측에 상기 반도체 수납용기가 안착되고, 저면 일측이 상기 가이드바의 일측에 결합되어 상기 가이드바를 따라 이동가능하게 설치되어 외부로부터 상면에 상기 반도체 수납용기가 안착되는 안착위치와, 상기 적재로봇이 상면에 안착된 상기 반도체 수납용기를 파지하는 파지위치 사이를 이동하는 이송부와;
상기 베이스플레이트의 선단부 일측에 설치되고, 일측이 상기 이송부에 연결되어 상기 이송부에 전후이동력을 제공하는 동력부; 및
상기 베이스플레이트의 상면 일측에 설치되고, 일측이 상기 동력부와 상기 이송부의 일측에 연결되어 상기 동력부로부터 제공되는 전후이동력을 상기 이송부에 전달하는 동력전달수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 로드포트용 스테이지.
A stage for a load port for transferring the semiconductor storage container back and forth so that the semiconductor storage container can be transferred to a semiconductor storage container loading place located in an inert gas environment by a loading robot,
A base plate;
An extension plate extending from a rear end of the base plate to the rear of the base plate;
A guide bar provided on an upper surface of the base plate and the extension plate and extending from one side of the upper surface of the extension plate to a length in the direction of the tip of the base plate;
A seating position in which the semiconductor storage container is seated on one side of the top surface and one side of the bottom surface is coupled to one side of the guide bar so as to be movable along the guide bar and on which the semiconductor storage container is seated from the outside, And a gripping position for gripping the semiconductor storage container seated on the upper surface;
A power unit installed on one side of a front end of the base plate and having one side connected to the conveyance unit to provide forward and backward power to the conveyance unit; And
And a power transmitting unit installed on one side of the upper surface of the base plate and connected to one side of the power unit and the conveyance unit to transmit the forward and backward power provided from the power unit to the conveyance unit. stage.
제1항에 있어서,
상기 동력전달수단은 상기 가이드바와 상기 베이스플레이트의 상면 사이에 설치되는 것을 특징으로 하는 로드포트용 스테이지.
The method of claim 1,
And the power transmission means is installed between the guide bar and the upper surface of the base plate.
제1항에 있어서,
상기 이송부는
저면 일측이 상기 가이드바의 일측에 결합되어 상기 가이드바를 따라 전후이동되고, 상면에 상기 반도체 수납용기가 안착되는 안착플레이트; 및
상기 안착플레이트의 상면 일측으로부터 상방으로 돌출되고, 상기 안착플레이트의 상면에 안착되는 상기 반도체 수납용기의 저면 일측에 삽입결합되는 결합돌기를 포함하는 것을 특징으로 하는 로드포트용 스테이지.
The method of claim 1,
The conveying portion
A mounting plate on one side of which the bottom surface is coupled to one side of the guide bar and moved back and forth along the guide bar and on which the semiconductor storage container is seated; And
And a coupling protrusion protruded upward from one side of the upper surface of the seating plate and inserted and coupled to one side of the bottom surface of the semiconductor storage container which is seated on the upper surface of the seating plate.
제3항에 있어서,
상기 안착플레이트는
저면 일측이 상기 가이드바의 일측에 결합되어 상기 가이드바를 따라 전후이동되는 이동플레이트와;
상기 이동플레이트의 상부에 결합되고, 상기 이동플레이트가 전후이동됨에 따라 동반 이동되며, 상면에 반도체 수납용기가 안착되는 지지플레이트를 포함하되,
상기 지지플레이트는 후단부가 상기 이동플레이트의 후단부로부터 후방으로 돌출형성되게 상기 이동플레이트의 상부에 결합되는 것을 특징으로 하는 로드포트용 스테이지.The method of claim 3,
The seating plate
A moving plate coupled to one side of the guide bar at one side of the bottom and moving back and forth along the guide bar;
And a support plate coupled to an upper portion of the moving plate and moved together with the moving plate moved back and forth,
Wherein the support plate is coupled to an upper portion of the moving plate so that a rear end thereof protrudes rearward from a rear end of the moving plate.
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