KR20220091112A - Vehicle - Google Patents

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KR20220091112A
KR20220091112A KR1020200182313A KR20200182313A KR20220091112A KR 20220091112 A KR20220091112 A KR 20220091112A KR 1020200182313 A KR1020200182313 A KR 1020200182313A KR 20200182313 A KR20200182313 A KR 20200182313A KR 20220091112 A KR20220091112 A KR 20220091112A
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cassette
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fixing member
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KR1020200182313A
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김인동
김성규
임창진
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세메스 주식회사
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Abstract

본 발명에 따른 비히클은, 천장의 주행 레일을 따라 제1 수평 방향을 따라 주행하는 주행 유닛과, 상기 주행 유닛에 고정되며, 내부가 빈 형태의 상기 프레임 유닛과, 상기 프레임 유닛의 내부에 구비되며, 상기 제1 수평 방향과 수직하는 제2 수평 방향을 따라 슬라이딩하는 슬라이드 유닛과, 상기 슬라이드 유닛의 하부에 구비되며 벨트를 권취하거나 권출하여 상기 벨트를 승강시키는 호이스트 유닛과, 상기 벨트의 일단부에 고정되는 회전 유닛 및 상기 회전 유닛에 회전 가능하도록 상기 회전 유닛에 결합되고, 일측에 개구부를 가지며 내부에 대상물이 수용된 카세트를 파지하는 핸드 유닛을 포함할 수 있다. The vehicle according to the present invention includes a traveling unit traveling in a first horizontal direction along a traveling rail of a ceiling, the frame unit fixed to the traveling unit, the frame unit having an empty interior, and provided inside the frame unit, , a slide unit sliding along a second horizontal direction perpendicular to the first horizontal direction, a hoist unit provided under the slide unit for winding or unwinding the belt to elevate the belt, and at one end of the belt It may include a fixed rotation unit and a hand unit coupled to the rotation unit so as to be rotatable to the rotation unit, having an opening at one side and holding a cassette in which an object is accommodated.

Description

비히클{Vehicle}vehicle {Vehicle}

본 발명은 비히클에 관한 것으로, 보다 상세하게는 주행 레일을 따라 주행하면서 대상물을 이송하는 비히클에 관한 것이다.The present invention relates to a vehicle, and more particularly, to a vehicle for transporting an object while traveling along a traveling rail.

일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들은 연속적으로 배치되어 반도체 기판에 대해 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물을 카세트에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치로 제공되거나 상기 카세트를 이용하여 상기 각 반도체 공정 장치로부터 회수될 수 있다. In general, semiconductor processing apparatuses for manufacturing a semiconductor device are sequentially arranged to perform various processes on a semiconductor substrate. The object for performing the semiconductor device manufacturing process may be provided to each semiconductor processing apparatus in a state accommodated in the cassette, or may be recovered from each semiconductor processing apparatus using the cassette.

상기 카세트는 천장 이송 장치(Overhead Hoist Transport device)에 의해 이송된다. 상기 천장 이송 장치는 반도체 공정 장치들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 주행 레일 및 상기 카세트를 파지하며 상기 주행 레일을 따라 주행하는 비히클을 포함한다. 예를 들면, 상기 비히클의 핸드 유닛이 상기 카세트를 파지한다. The cassette is transported by an overhead hoist transport device. The ceiling transport apparatus includes a traveling rail provided along a ceiling of a semiconductor manufacturing line in which semiconductor processing devices are continuously arranged, and a vehicle that grips the cassette and travels along the traveling rail. For example, a hand unit of the vehicle grips the cassette.

그러나, 상기 핸드 유닛이 상기 카세트와 정렬되지 않으면, 상기 핸드 유닛이 상기 카세트를 정확하게 파지할 수 없다. 또한, 상기 카세트에 수납된 상기 대상물이 외부로 이탈할 수 있다. However, if the hand unit is not aligned with the cassette, the hand unit cannot accurately grip the cassette. In addition, the object accommodated in the cassette may be detached to the outside.

본 발명은 핸드 유닛과 카세트를 정렬하고, 대상물이 상기 카세트로부터 이탈하는 것을 방지하는 비히클을 제공한다.The present invention provides a vehicle for aligning a hand unit and a cassette and preventing an object from dislodging the cassette.

본 발명에 따른 상기 비히클은, 천장의 주행 레일을 따라 제1 수평 방향을 따라 주행하는 주행 유닛과, 상기 주행 유닛에 고정되며, 내부가 빈 형태의 상기 프레임 유닛과, 상기 프레임 유닛의 내부에 구비되며, 상기 제1 수평 방향과 수직하는 제2 수평 방향을 따라 슬라이딩하는 슬라이드 유닛과, 상기 슬라이드 유닛의 하부에 구비되며 벨트를 권취하거나 권출하여 상기 벨트를 승강시키는 호이스트 유닛과, 상기 벨트의 일단부에 고정되는 회전 유닛 및 상기 회전 유닛에 회전 가능하도록 상기 회전 유닛에 결합되고, 일측에 개구부를 가지며 내부에 대상물이 수용된 카세트를 파지하는 핸드 유닛을 포함할 수 있다. The vehicle according to the present invention includes a traveling unit traveling in a first horizontal direction along a traveling rail of a ceiling, the frame unit fixed to the traveling unit and having an empty interior, and provided inside the frame unit a slide unit sliding along a second horizontal direction perpendicular to the first horizontal direction; a hoist unit provided under the slide unit for winding or unwinding the belt to elevate the belt; and one end of the belt It may include a rotation unit fixed to and a hand unit coupled to the rotation unit so as to be rotatable to the rotation unit, having an opening at one side and gripping a cassette in which an object is accommodated.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 핸드 유닛은, 상기 회전 유닛에 회전 가능하도록 결합되는 몸체와, 상기 몸체에 상기 제1 수평 방향을 따라 이동 가능하도록 구비되며, 상기 카세트의 상부면에 구비된 플랜지를 파지하는 그리퍼들 및 상기 몸체에 구비되며, 상기 그리퍼들이 상기 대상물들을 파지 또는 해제하도록 상기 그리퍼들을 왕복 이동시키는 제1 구동부를 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the hand unit, a body rotatably coupled to the rotation unit, is provided on the body to be movable in the first horizontal direction, and is provided on the upper surface of the cassette The grippers may include grippers for gripping the flange and a first driving unit provided on the body to reciprocate the grippers so that the grippers grip or release the objects.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 구동부는, 모터와, 상기 제1 수평 방향과 수직하는 제2 수평 방향을 따라 배치되며, 상기 모터에 의해 회전하는 스크류축과, 상기 스크류 축을 따라 상기 제2 수평 방향을 따라 이동하는 너트와, 상기 너트의 양측에 각각 구비되어 상기 너트와 같이 이동하고, 상기 제2 수평 방향과 경사지는 캠홀을 갖는 캠 부재들 및 상기 제1 수평 방향을 따라 이동 가능하도록 구비되며, 상기 캠 부재의 상기 캠홀에 삽입되는 캠 팔로우어를 가지며, 상기 그리퍼들이 각각 고정되는 이동 블록들을 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the first driving unit, a motor, is disposed along a second horizontal direction perpendicular to the first horizontal direction, and a screw shaft rotated by the motor, along the screw axis A nut moving in the second horizontal direction, cam members provided on both sides of the nut to move like the nut and having a cam hole inclined in the second horizontal direction, and to move in the first horizontal direction It is provided to be possible, has a cam follower inserted into the cam hole of the cam member, and may include moving blocks to which the grippers are fixed, respectively.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 핸드 유닛은, 상기 카세트의 상기 개구부를 개폐하여 상기 대상물이 상기 카세트로부터 이탈하는 것을 방지하는 이탈 방지부를 더 포함할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the hand unit may further include a separation preventing unit that opens and closes the opening of the cassette to prevent the object from being separated from the cassette.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 이탈 방지부는, 상기 캠 부재 중 어느 하나에 일단이 힌지 결합되는 링크와, 일단부가 상기 링크의 타단에 결합되고, 타단부가 회전축을 중심으로 회동되는 회동 부재 및 상기 회동 부재에 고정되며, 상기 회동 부재에 의해 상기 카세트의 상기 개구부를 개폐하여 이탈 방지 부재를 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the separation preventing unit includes a link having one end hinge-coupled to any one of the cam members, one end coupled to the other end of the link, and the other end rotating around a rotating shaft. It is fixed to the member and the rotation member, and may include a separation preventing member by opening and closing the opening of the cassette by the rotation member.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 핸드 유닛은, 상기 카세트를 정렬하기 위한 정렬부를 더 포함하고, 상기 정렬부는, 상기 수용 카세트의 상기 플랜지에 구비된 정렬홀에 삽입되는 정렬 돌기일 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the hand unit may further include an alignment unit for aligning the cassette, and the alignment unit may be an alignment protrusion inserted into an alignment hole provided in the flange of the accommodation cassette. .

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 비히클은, 상기 프레임 유닛의 내부에 상기 제1 수평 방향 양측에 각각 구비되며, 상기 카세트를 고정하여 상기 카세트의 진동을 방지하는 고정 유닛들을 더 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the vehicle may further include fixing units provided on both sides of the first horizontal direction inside the frame unit and fixing the cassette to prevent vibration of the cassette. have.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 각 고정 유닛은, 제1 높이에서 상기 프레임 유닛의 제1 수평 방향 일측에 구비되며, 상기 카세트의 제1 수평 방향 일측면을 고정하는 제1 고정 부재와, 상기 제1 높이보다 낮은 제2 높이에서 상기 프레임 유닛의 제1 수평 방향 일측에 구비되며, 상기 카세트의 제1 수평 방향 일측면을 고정하는 제2 고정 부재 및 상기 프레임 유닛의 제1 수평 방향 일측에 구비되며, 상기 제1 고정 부재와 상기 제2 고정 부재를 상기 프레임 유닛의 제1 수평 방향을 따라 왕복 이동시키는 제2 구동부를 포함할 수 있다. According to embodiments of the present invention, each of the fixing units is provided at a first horizontal direction on one side of the frame unit at a first height, and includes a first fixing member for fixing one side of the cassette in the first horizontal direction; , A second fixing member provided on one side of the first horizontal direction of the frame unit at a second height lower than the first height, and fixing one side of the first horizontal direction of the cassette, and a first side of the frame unit in the horizontal direction It may include a second driving unit provided in the first fixing member and the second fixing member to reciprocate in a first horizontal direction of the frame unit.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 프레임 유닛의 제1 수평 방향 일측에 구비되며, 상기 제2 구동부가 장착되는 베이스 플레이트와, 상기 제1 수평 방향을 따라 이동 가능하도록 상기 베이스 플레이트의 상부면에 구비되며, 상기 제1 고정 부재를 고정하며 제1 캠 팔로워를 갖는 제1 이동 플레이트와, 상기 베이스 플레이트의 상방에 배치되고, 상기 제1 캠 팔로워의 이동을 안내하는 제1 가이드 홈을 갖는 제1 슬라이드 캠과, 상기 제1 수평 방향을 따라 이동 가능하도록 상기 베이스 플레이트의 하부면에 구비되며, 상기 제2 고정 부재를 고정하며 제2 캠 팔로워를 갖는 제2 이동 플레이트 및 상기 베이스 플레이트의 하방에 배치되고, 상기 제2 캠 팔로워의 이동을 안내하는 제2 가이드 홈을 갖는 제2 슬라이드 캠을 포함하고, 상기 제2 구동부는 상기 제1 슬라이드 캠 및 제2 슬라이드 캠을 상기 제2 수평 방향을 따라 이동시켜 상기 제1 고정 부재 및 상기 제2 고정 부재를 상기 왕복 이동시킬 수 있다. According to one embodiment of the present invention, a base plate provided on one side of the first horizontal direction of the frame unit, to which the second driving unit is mounted, and an upper surface of the base plate to be movable in the first horizontal direction. is provided in the first moving plate fixed to the first fixing member and having a first cam follower, and is disposed above the base plate and has a first guide groove for guiding the movement of the first cam follower. 1 slide cam, a second movable plate provided on a lower surface of the base plate so as to be movable in the first horizontal direction and fixing the second fixing member and having a second cam follower, and a lower portion of the base plate and a second slide cam disposed and having a second guide groove for guiding movement of the second cam follower, wherein the second driving unit moves the first slide cam and the second slide cam along the second horizontal direction. By moving the first fixing member and the second fixing member may be reciprocally moved.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 고정 부재의 이동 거리가 상기 제2 고정 부재의 이동 거리보다 길도록 상기 제1 가이드 홈의 상기 제1 수평 방향 길이가 상기 제2 가이드 홈의 상기 제1 수평 방향 길이보다 길 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the first horizontal length of the first guide groove is the length of the second guide groove so that the movement distance of the first fixing member is longer than the movement distance of the second fixing member. It may be longer than the first horizontal direction.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 각 고정 유닛은, 상기 제1 및 제2 이동 플레이트들을 관통하여 상기 제1 및 제2 고정 부재들에 각각 고정되는 고정 핀들; 및 According to an embodiment of the present invention, each fixing unit may include fixing pins that pass through the first and second moving plates and are respectively fixed to the first and second fixing members; and

상기 제1 및 제2 고정 부재들이 상기 카세트와 접촉할 때 발생하는 충격을 감소시키기 위해 상기 제1 및 제2 이동 플레이트들과 상기 제1 및 제2 고정 부재들 사이에 상기 고정 핀들을 감싸도록 구비되는 코일 스프링들을 더 포함할 수 있다. Provided to surround the fixing pins between the first and second moving plates and the first and second fixing members to reduce an impact generated when the first and second fixing members come into contact with the cassette It may further include coil springs.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 각 고정 유닛은, 상기 제2 고정 부재의 하부면에 고정되고, 상기 카세트의 하부에 배치되어 상기 카세트가 낙하시 상기 카세트의 하부면을 지지하는 낙하 방지 부재를 더 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, each fixing unit is fixed to the lower surface of the second fixing member, and is disposed under the cassette to support the lower surface of the cassette when the cassette falls. It may further include a member.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 높이는 상기 핸드 유닛이 파지하는 상기 카세트 중 가장 작은 크기의 카세트의 하단보다 높고, 상기 제2 높이는 상기 핸드 유닛이 파지하는 상기 카세트 중 가장 큰 크기의 카세트의 하단보다 높을 수 있다. According to embodiments of the present invention, the first height is higher than the lower end of the smallest size cassette among the cassettes held by the hand unit, and the second height is the largest size among the cassettes held by the hand unit. It can be higher than the bottom of the cassette.

본 발명에 따른 상기 비히클은 상기 핸드 유닛에 상기 정렬부를 구비하므로, 상기 핸드 유닛과 상기 카세트를 정렬할 수 있다. 따라서, 상기 핸드 유닛이 상기 카세트를 안정적으로 파지할 수 있다. Since the vehicle according to the present invention has the alignment unit in the hand unit, the hand unit and the cassette can be aligned. Accordingly, the hand unit can stably grip the cassette.

또한 상기 비히클은 상기 이탈 방지부를 구비하므로, 상기 대상물이 상기 카세트로부터 이탈하는 것을 방지할 수 있다. In addition, since the vehicle is provided with the separation preventing unit, it is possible to prevent the object from being separated from the cassette.

그리고, 상기 비히클은 상기 제1 고정 부재와 상기 제2 고정 부재로 상기 카세트를 고정하므로, 상기 카세트가 진동하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 상기 카세트에 수용된 상기 대상물이 손상되는 것을 방지할 수 있다. In addition, since the vehicle fixes the cassette by the first fixing member and the second fixing member, it is possible to prevent the cassette from vibrating. Accordingly, it is possible to prevent the object accommodated in the cassette from being damaged.

도 1은 본 발명에 따른 비히클을 설명하기 위한 측면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 핸드 유닛을 설명하기 위한 확대도이다.
도 3은 도 1에 도시된 핸드 유닛을 설명하기 위한 평면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 이탈 방지부의 다른 예를 설명하기 위한 평면도이다.
도 5는 도 1에 도시된 고정 유닛을 설명하기 위한 측면도이다.
도 6은 도 5에 도시된 고정 유닛을 설명하기 위한 평면도이다.
도 7은 도 5에 도시된 고정 유닛을 설명하기 위한 배면도이다.
도 8은 도 5에 도시된 연결 부재를 설명하기 위한 확대도이다.1 is a side view for explaining a vehicle according to the present invention.
FIG. 2 is an enlarged view for explaining the hand unit shown in FIG. 1 .
3 is a plan view for explaining the hand unit shown in FIG.
4 is a plan view for explaining another example of the separation preventing unit shown in FIG. 1 .
FIG. 5 is a side view for explaining the fixing unit shown in FIG. 1 .
6 is a plan view for explaining the fixing unit shown in FIG.
FIG. 7 is a rear view illustrating the fixing unit shown in FIG. 5 .
FIG. 8 is an enlarged view for explaining the connection member shown in FIG. 5 .

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Since the present invention can have various changes and can have various forms, specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to the specific disclosed form, it should be understood to include all modifications, equivalents and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing each figure, like reference numerals have been used for like elements. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are enlarged than the actual size for clarity of the present invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. Terms such as first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The above terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, a first component may be referred to as a second component, and similarly, a second component may also be referred to as a first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used in the present application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, terms such as "comprise" or "have" are intended to designate that a feature, number, step, operation, component, part, or a combination thereof described in the specification exists, but one or more other features It is to be understood that it does not preclude the possibility of the presence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related art, and should not be interpreted in an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in the present application. does not

도 1은 본 발명에 따른 비히클을 설명하기 위한 측면도이다. 1 is a side view for explaining a vehicle according to the present invention.

도 1을 참조하면, 상기 비히클(100)은 천장에 구비된 주행 레일(10)을 따라 카세트(20)를 이송하기 위한 것으로, 주행 유닛(110), 프레임 유닛(120), 슬라이드 유닛(130), 호이스트 유닛(140), 회전 유닛(150), 핸드 유닛(200) 및 고정 유닛(300)을 포함할 수 있다. Referring to FIG. 1 , the vehicle 100 is for transporting the cassette 20 along the traveling rail 10 provided on the ceiling, and includes a traveling unit 110 , a frame unit 120 , and a slide unit 130 . , it may include a hoist unit 140 , a rotation unit 150 , a hand unit 200 , and a fixed unit 300 .

상기 카세트(20)는 내부에 대상물(30)을 수용한다. 일 예로, 상기 카세트(20)는 대략 중공의 정육면체 형상을 가질 수 있다. 상기 카세트(20)는 상기 대상물(30)을 이적재하기 위해 일측에 개구부를 구비한다. 또한, 상기 카세트(20)의 상부면에는 플랜지(21)가 구비된다. 상기 플랜지(21)의 상부면 중앙에는 정렬홈(22)이 구비된다. The cassette 20 accommodates the object 30 therein. For example, the cassette 20 may have a substantially hollow cube shape. The cassette 20 has an opening on one side for loading the object 30 . In addition, a flange 21 is provided on the upper surface of the cassette 20 . An alignment groove 22 is provided in the center of the upper surface of the flange 21 .

상기 대상물(30)은 상기 카세트(20)의 내부에 상하 방향, 즉 Z축 방향을 따라 적재될 수 있다. 상기 대상물(30)의 예로는 웨이퍼 링을 들 수 있다.The object 30 may be loaded into the cassette 20 in the vertical direction, that is, along the Z-axis direction. An example of the object 30 may be a wafer ring.

상기 주행 유닛(110)은 상기 비히클(100)을 상기 주행 레일(10)을 따라 이동시킨다. 상기 주행 유닛(110)의 양측면에 주행 롤러(112)가 구비된다. 상기 주행 롤러(112)는 별도의 구동부에 의해 회전한다. 따라서, 상기 비히클(100)이 상기 주행 레일(10)을 따라 주행한다. 예들 들면, 상기 비히클(100)은 제1 수평 방향, 즉, X축 방향을 따라 주행할 수 있다.The traveling unit 110 moves the vehicle 100 along the traveling rail 10 . Driving rollers 112 are provided on both sides of the traveling unit 110 . The traveling roller 112 is rotated by a separate driving unit. Accordingly, the vehicle 100 travels along the traveling rail 10 . For example, the vehicle 100 may travel in a first horizontal direction, that is, an X-axis direction.

한편, 상기 주행 유닛(110)은 상부면에 조향 롤러(미도시)를 구비한다. 상기 조향 롤러는 상기 주행 레일(10)의 상방에 구비되는 조향 레일(미도시)과 선택적으로 접촉할 수 있다. 상기 주행 레일(10)의 분기 지점에서 상기 비히클(100)의 주행 방향을 조절할 수 있다. On the other hand, the driving unit 110 is provided with a steering roller (not shown) on the upper surface. The steering roller may selectively contact a steering rail (not shown) provided above the traveling rail 10 . A traveling direction of the vehicle 100 may be adjusted at a branch point of the traveling rail 10 .

상기 프레임 유닛(120)은 상기 주행 유닛(110)의 하부면에 고정된다. 상기 프레임 유닛(120)은 상기 카세트(20)를 수용하기 위해 내부가 빈 형태를 갖는다. 또한, 상기 카세트(20)가 상기 제1 수평 방향과 수직하는 제2 수평 방향, 즉, Y축 방향 및 상기 Z축 방향을 따라 이동할 수 있도록 상기 프레임 유닛(120)은 하부면과 상기 Y축 방향 일측면이 개방될 수 있다. The frame unit 120 is fixed to the lower surface of the traveling unit 110 . The frame unit 120 has an empty inside to accommodate the cassette 20 . In addition, the frame unit 120 has a lower surface and the Y-axis direction so that the cassette 20 can move in a second horizontal direction perpendicular to the first horizontal direction, that is, the Y-axis direction and the Z-axis direction. One side may be open.

상기 슬라이드 유닛(130)은 상기 프레임 유닛(120)의 내측 상부면에 구비된다. 상기 슬라이드 유닛(130)은 상기 호이스트 유닛(140)을 상기 Y축 방향으로 수평 이동시킬 수 있다. 이때, 상기 호이스트 유닛(140)은 상기 프레임 유닛(120)의 개방된 일측면을 통해 수평 이동할 수 있다. 예를 들면, 상기 슬라이드 유닛(130)은 가이드 레일과 이동 블록을 포함할 수 있다. The slide unit 130 is provided on the inner upper surface of the frame unit 120 . The slide unit 130 may horizontally move the hoist unit 140 in the Y-axis direction. At this time, the hoist unit 140 may move horizontally through the open side of the frame unit 120 . For example, the slide unit 130 may include a guide rail and a moving block.

상기 호이스트 유닛(140)은 상기 슬라이드 유닛(130)의 하부면에 상기 Y축 방향으로 수평 이동 가능하도록 구비된다. The hoist unit 140 is provided on the lower surface of the slide unit 130 to be horizontally movable in the Y-axis direction.

상기 호이스트 유닛(140)은 상기 핸드 유닛(200)을 고정하여 상기 Z축 방향을 따라 승강시킬 수 있다. 예를 들면, 상기 호이스트 유닛(140)은 벨트(142)로 상기 핸드 유닛(200)을 고정한다. 상기 호이스트 유닛(140)은 상기 벨트(142)를 권취하거나 권출하여 상기 핸드 유닛(200)을 승강시킬 수 있다.The hoist unit 140 may be raised and lowered along the Z-axis direction by fixing the hand unit 200 . For example, the hoist unit 140 fixes the hand unit 200 with a belt 142 . The hoist unit 140 may take up or unwind the belt 142 to elevate the hand unit 200 .

상기 회전 유닛(150)은 상기 벨트(142)의 단부에 고정되며, 상기 핸드 유닛(200)을 회전시킨다. 예를 들면, 상기 회전 유닛(150)은 상기 Z축 방향으로 배치되는 회전축을 통해 상기 핸드 유닛(200)과 연결될 수 있다. 상기 회전 유닛(150)은 모터 및 상기 모터와 상기 회전축을 연결하는 기어들 또는 풀리들 및 벨트를 포함할 수 있다. 상기 회전 유닛(150)은 상기 회전축을 회전시킴으로써 상기 핸드 유닛(200)에 파지된 상기 카세트(20)의 방향을 조절할 수 있다. The rotation unit 150 is fixed to the end of the belt 142 and rotates the hand unit 200 . For example, the rotation unit 150 may be connected to the hand unit 200 through a rotation shaft disposed in the Z-axis direction. The rotation unit 150 may include a motor, gears or pulleys connecting the motor and the rotation shaft, and a belt. The rotation unit 150 may adjust the direction of the cassette 20 gripped by the hand unit 200 by rotating the rotation shaft.

상기 핸드 유닛(200)은 상기 회전 유닛(150)에 회전 가능하도록 연결되며, 상기 카세트(20)를 고정한다. The hand unit 200 is rotatably connected to the rotation unit 150 and fixes the cassette 20 .

상기 카세트(20)는 상기 슬라이드 유닛(130)에 의해 상기 수평 방향으로 이동하며, 상기 호이스트 유닛(140)에 의해 승강하며, 상기 회전 유닛(150)에 의해 회전할 수 있다. The cassette 20 may be moved in the horizontal direction by the slide unit 130 , may be lifted by the hoist unit 140 , and may be rotated by the rotation unit 150 .

도 2는 도 1에 도시된 핸드 유닛을 설명하기 위한 확대도이고, 도 3은 도 1에 도시된 핸드 유닛을 설명하기 위한 평면도이고, 도 4는 도 1에 도시된 이탈 방지부의 다른 예를 설명하기 위한 평면도이다. FIG. 2 is an enlarged view for explaining the hand unit shown in FIG. 1, FIG. 3 is a plan view for explaining the hand unit shown in FIG. 1, and FIG. 4 is another example of the escape prevention unit shown in FIG. This is a floor plan for

도 2 내지 도 4를 참조하면, 상기 핸드 유닛(200)은 몸체(210), 그리퍼들(220), 제1 구동부(230), 이탈 방지부(240) 및 정렬부(250)를 포함할 수 있다. 2 to 4 , the hand unit 200 may include a body 210 , grippers 220 , a first driving unit 230 , a separation preventing unit 240 , and an alignment unit 250 . have.

상기 몸체(210)는 상기 회전 유닛(150)에 회전 가능하도록 고정될 수 있다. 상기 몸체(210)는 대략 평판 형태를 가질 수 있다. The body 210 may be rotatably fixed to the rotation unit 150 . The body 210 may have a substantially flat plate shape.

상기 그리퍼들(220)은 상기 몸체(210)에 상기 X축 방향으로 이동 가능하도록 구비될 수 있다. 상기 그리퍼들(220)은 상기 카세트(20)의 상기 플랜지(21)를 파지할 수 있다.The grippers 220 may be provided on the body 210 to be movable in the X-axis direction. The grippers 220 may grip the flange 21 of the cassette 20 .

예를 들면, 상기 각 그리퍼들(220)에서 상기 카세트(20)를 파지하는 일단부와 반대되는 타단부가 상기 몸체(210)에 결합할 수 있다. For example, in each of the grippers 220 , the other end opposite to one end for gripping the cassette 20 may be coupled to the body 210 .

상기 제1 구동부(230)는 상기 몸체(210)에 구비되며, 상기 그리퍼들(220)들을 상기 X축 방향을 따라 이동시킬 수 있다. 따라서, 상기 그리퍼들(220)이 상기 카세트(20)를 파지하거나 상기 파지를 해제할 수 있다. The first driving unit 230 is provided on the body 210 , and may move the grippers 220 along the X-axis direction. Accordingly, the grippers 220 may grip the cassette 20 or release the grip.

상기 제1 구동부(230)는 모터(231), 스크류 축(232), 너트(233)와, 캠 부재들(234) 및 이동 블록들(236)을 포함할 수 있다.The first driving unit 230 may include a motor 231 , a screw shaft 232 , a nut 233 , cam members 234 , and moving blocks 236 .

상기 모터(231)는 상기 몸체(210)에 구비되어 상기 스크류 축(232)을 회전시킨다. The motor 231 is provided in the body 210 to rotate the screw shaft 232 .

상기 스크류 축(232)은 상기 모터(231)에 의해 회전한다. The screw shaft 232 is rotated by the motor 231 .

상기 너트(233)는 상기 스크류 축(232)에 나사 관통되어 상기 스크류 축(232)을 따라 상기 Y축 방향을 따라 왕복 이동한다. The nut 233 is screwed through the screw shaft 232 and reciprocates along the Y-axis direction along the screw shaft 232 .

상기 캠 부재들(234)은 상기 너트(233)의 각각 고정되며, 상기 너트(233)와 같이 상기 Y축 방향을 따라 이동한다. 상기 캠 부재들(234)에는 상기 Y축 방향과 경사지는 캠홀(235)이 구비된다. The cam members 234 are respectively fixed to the nut 233 and move along the Y-axis direction like the nut 233 . The cam members 234 are provided with cam holes 235 inclined in the Y-axis direction.

상기 이동 블록들(236)은 상기 몸체(210)에 상기 X축 방향을 따라 이동 가능하도록 구비된다. 상기 이동 블록들(236)에는 상기 캠 부재들(234)의 상기 캠홀(235)에 삽입되는 캠 팔로우어(236)가 구비된다. 또한, 상기 캠 부재들(234)에는 상기 그리퍼들(220)이 각각 고정된다.The moving blocks 236 are provided on the body 210 to be movable along the X-axis direction. The moving blocks 236 are provided with cam followers 236 inserted into the cam holes 235 of the cam members 234 . In addition, the grippers 220 are respectively fixed to the cam members 234 .

상기 몸체(210)와 상기 이동 블록들(236)들 사이에는 상기 이동 블록들(236)의 상기 X축 방향 이동을 가이드하기 위한 가이드 부재들(238)이 구비될 수 있다. Guide members 238 for guiding the movement of the moving blocks 236 in the X-axis direction may be provided between the body 210 and the moving blocks 236 .

상기 가이드 부재들(238)은 상기 몸체(210)에 상기 X축 방향을 따라 구비되는 가이드 레일들 및 상기 각 이동 블록들(236)에 고정되며 상기 가이드 레일들을 따라 이동하는 가이드 블록들을 포함할 수 있다. 따라서, 상기 이동 블록들(236)이 상기 X축 방향을 따라 안정적으로 이동할 수 있다. The guide members 238 may include guide rails provided on the body 210 along the X-axis direction and guide blocks fixed to the respective moving blocks 236 and moving along the guide rails. have. Accordingly, the moving blocks 236 may stably move along the X-axis direction.

상기 모터(231)가 상기 스크류 축(232)을 정회전 또는 역회전시키면, 상기 스크류 축(232)을 따라 상기 너트(233)가 상기 Y축 방향을 따라 왕복 이동한다. 또한, 상기 캠홀(235)을 따라 상기 캠 팔로우어(236) 및 상기 이동 블록들(236)이 상기 Y축 방향을 따라 왕복운동하고, 상기 그리퍼들(220)이 상기 X축 방향을 따라 왕복 이동하면서 상기 카세트(20)를 파지하거나 상기 파지를 해제할 수 있다.When the motor 231 rotates the screw shaft 232 forward or backward, the nut 233 reciprocates along the Y-axis direction along the screw shaft 232 . Also, the cam follower 236 and the moving blocks 236 reciprocate along the Y-axis direction along the cam hole 235, and the grippers 220 reciprocate along the X-axis direction. While holding the cassette 20, it is possible to release the holding.

한편, 상기 제1 구동부(230)는 상기 그리퍼들(220)을 상기 X축 방향을 따라 왕복 이동시킬 수 있으면 어느 것이나 무방하다. 다른 예로, 상기 제1 구동부(230)는 펌프와 실린더 등을 포함할 수도 있다. Meanwhile, the first driving unit 230 may be any as long as it can reciprocate the grippers 220 in the X-axis direction. As another example, the first driving unit 230 may include a pump and a cylinder.

상기 이탈 방지부(240)는 상기 카세트(20)의 상기 개구부를 개폐하여 상기 대상물(30)이 상기 카세트(20)로부터 이탈하는 것을 방지한다. The separation preventing unit 240 opens and closes the opening of the cassette 20 to prevent the object 30 from being separated from the cassette 20 .

상기 이탈 방지부(240)는 링크(241), 회동 부재(242) 및 이탈 방지 부재(244)를 포함할 수 있다. The separation preventing unit 240 may include a link 241 , a rotation member 242 , and a separation preventing member 244 .

상기 링크(241)는 일단이 상기 캠 부재들(234) 중 어느 하나에 힌지 결합된다. 상기 회동 부재(242)는 일단부가 상기 링크(241)의 타단에 결합되고, 타단부가 회전축(243)을 중심으로 회동된다. 상기 이탈 방지 부재(244)는 상기 회동 부재(242)에 고정되고, 상기 회동 부재(242)에 의해 상기 카세트(20)의 상기 개구부를 개폐하도록 회동된다. One end of the link 241 is hinged to any one of the cam members 234 . One end of the rotation member 242 is coupled to the other end of the link 241 , and the other end is rotated about the rotation shaft 243 . The separation preventing member 244 is fixed to the rotation member 242 , and is rotated to open and close the opening of the cassette 20 by the rotation member 242 .

상기 모터(231)에 의해 상기 캠 부재들(234)이 상기 Y축 방향으로 전진하면, 상기 링크(241)의 상기 일단이 전진하면서 상기 타단이 상기 회동 부재(242)의 상기 일단부를 밀어낸다. 상기 이탈 방지 부재(244)가 상기 카세트(20)에서 멀어지는 방향으로 정회동할 수 있다.When the cam members 234 advance in the Y-axis direction by the motor 231 , the one end of the link 241 advances while the other end pushes the one end of the rotation member 242 . The separation preventing member 244 may rotate forward in a direction away from the cassette 20 .

이와는 반대로, 상기 모터(231)에 의해 상기 캠 부재들(234)이 상기 Y축 방향으로 후진하면, 상기 링크(241)의 상기 일단이 후진하면서 상기 타단이 상기 회동 부재(242)의 상기 일단부를 끌어당긴다. 상기 이탈 방지 부재(244)가 상기 카세트(20)와 가까워지는 방향으로 역회동할 수 있다.Conversely, when the cam members 234 are moved backward in the Y-axis direction by the motor 231 , the one end of the link 241 moves backward while the other end is connected to the one end of the rotating member 242 . attract The separation preventing member 244 may reversely rotate in a direction closer to the cassette 20 .

상기 이탈 방지 부재(244)가 상기 카세트(20)의 상기 개구부를 차단하면, 상기 대상물(30)이 상기 카세트(20)에서 이탈하는 것을 방지할 수 있다. When the separation preventing member 244 blocks the opening of the cassette 20 , it is possible to prevent the object 30 from being separated from the cassette 20 .

한편, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 이탈 방지부(240)는 상기 그리퍼들(220)의 일측에 고정되는 이탈 방지 부재(245)일 수 있다. 상기 그리퍼들(220)이 상기 카세트(20)를 파지하면 상기 이탈 방지 부재(245)는 상기 카세트(20)의 상기 개구부를 차단한다. 상기 그리퍼들(220)이 상기 카세트(20)의 파지를 해제하면, 상기 이탈 방지 부재(245)는 상기 카세트(20)의 상기 개구부로부터 멀어지도록 이동한다. Meanwhile, as shown in FIG. 4 , the separation preventing part 240 may be a separation preventing member 245 fixed to one side of the grippers 220 . When the grippers 220 grip the cassette 20 , the separation preventing member 245 blocks the opening of the cassette 20 . When the grippers 220 release the grip of the cassette 20 , the separation preventing member 245 moves away from the opening of the cassette 20 .

상기 정렬부(250)는 상기 핸드 유닛(200)과 상기 카세트(20)를 정렬하기 위한 것으로, 정렬 돌기(251) 및 스프링(252)을 포함할 수 있다.The alignment unit 250 is for aligning the hand unit 200 and the cassette 20 , and may include an alignment protrusion 251 and a spring 252 .

상기 정렬 돌기(251)는 상기 몸체부(210)의 하부에 상기 몸체부(210)에 상기 Z축 방향으로 이동 가능하도록 구비된다. 상기 정렬 돌기(251)는 상기 카세트(20)의 상기 플랜지(21)에 구비된 상기 정렬홈(22)에 삽입된다. 상기 정렬 돌기(251)의 단부는 뾰족하거나 둥근 돌기일 수 있다. The alignment protrusion 251 is provided on the body portion 210 at a lower portion of the body portion 210 to be movable in the Z-axis direction. The alignment protrusion 251 is inserted into the alignment groove 22 provided in the flange 21 of the cassette 20 . An end of the alignment protrusion 251 may be a pointed or round protrusion.

상기 정렬 돌기(251)가 상기 정렬홈(22)에 삽입되면서 상기 핸드 유닛(200)과 상기 카세트(20)를 정렬할 수 있다. 따라서, 상기 핸드 유닛(200)이 상기 카세트(20)를 안정적으로 파지할 수 있다. As the alignment protrusion 251 is inserted into the alignment groove 22 , the hand unit 200 and the cassette 20 may be aligned. Accordingly, the hand unit 200 may stably hold the cassette 20 .

상기 스프링(252)은 상기 몸체부(210)와 상기 정렬 돌기(251) 사이에 상기 정렬 돌기(251)를 감싸도록 구비된다. 상기 스프링(252)은 상기 정렬 돌기(251)를 상기 몸체부(210)에 탄력적으로 지지시킬 수 있다. The spring 252 is provided to surround the alignment protrusion 251 between the body portion 210 and the alignment protrusion 251 . The spring 252 may elastically support the alignment protrusion 251 to the body 210 .

또한, 상기 정렬 돌기(251)가 상기 정렬홈(22)에 삽입될 때 상기 정렬 돌기(251)가 상승하면서 상기 스프링(252)이 수축할 수 있다. 따라서, 상기 스프링(252)은 상기 정렬 돌기(251)가 상기 정렬홈(22)에 삽입될 때 발생하는 충격을 감소시킬 수 있다. Also, when the alignment protrusion 251 is inserted into the alignment groove 22 , the spring 252 may contract while the alignment protrusion 251 rises. Accordingly, the spring 252 may reduce an impact generated when the alignment protrusion 251 is inserted into the alignment groove 22 .

그리고, 상기 정렬 돌기(251)가 상기 정렬홈(22)과 분리되면 상기 스프링(252)의 복원력에 의해 상기 정렬 돌기(251)가 원래 위치로 복귀할 수 있다. In addition, when the alignment protrusion 251 is separated from the alignment groove 22 , the alignment protrusion 251 may return to its original position by the restoring force of the spring 252 .

상기 고정 유닛(300)은 상기 비히클(100)이 주행함에 따라 발생하는 상기 카세트(20)의 진동과 낙하를 방지한다. The fixing unit 300 prevents vibration and fall of the cassette 20 that occurs as the vehicle 100 travels.

상기 고정 유닛(300)은 상기 하우징(210)의 내부의 상기 X축 방향 양측에 각각 구비될 수 있다. The fixing unit 300 may be provided on both sides of the X-axis direction inside the housing 210 .

이하에서는 상기 하우징(210)의 내부의 상기 X축 방향 일측에 구비되는 하나의 고정 유닛(300)을 기준으로 설명한다. Hereinafter, one fixing unit 300 provided on one side of the X-axis direction inside the housing 210 will be described as a reference.

도 5는 도 1에 도시된 고정 유닛을 설명하기 위한 측면도이고, 도 6은 도 5에 도시된 고정 유닛을 설명하기 위한 평면도이고, 도 7은 도 5에 도시된 고정 유닛을 설명하기 위한 배면도이고, 도 8은 도 5에 도시된 연결 부재를 설명하기 위한 확대도이다.Figure 5 is a side view for explaining the fixed unit shown in Figure 1, Figure 6 is a plan view for explaining the fixed unit shown in Figure 5, Figure 7 is a rear view for explaining the fixed unit shown in Figure 5 and FIG. 8 is an enlarged view for explaining the connection member shown in FIG. 5 .

도 5 내지 도 8을 추가로 참조하면, 상기 고정 유닛(300)은 제1 고정 부재(310), 제2 고정 부재(312) 및 상기 제2 구동부(320)를 포함한다. 상기 고정 유닛(300)은 상기 이탈 방지부(240)의 동작을 간섭하지 않도록 배치될 수 있다. 5 to 8 , the fixing unit 300 includes a first fixing member 310 , a second fixing member 312 , and the second driving unit 320 . The fixing unit 300 may be disposed so as not to interfere with the operation of the separation preventing unit 240 .

상기 제1 고정 부재(310)는 상기 비히클(100)의 내부, 구체적으로 상기 프레임 유닛(120)의 내부에 구비된다. 상기 제1 고정 부재(310)는 상기 핸드 유닛(200)에 파지된 상기 카세트(20)의 상기 X축 방향 일측면을 고정한다. 따라서, 상기 제1 고정 부재(310)가 상기 카세트(20)의 상기 일측면을 고정하므로, 상기 카세트(20)의 진동을 방지할 수 있다. The first fixing member 310 is provided inside the vehicle 100 , specifically, inside the frame unit 120 . The first fixing member 310 fixes one side of the cassette 20 held by the hand unit 200 in the X-axis direction. Accordingly, since the first fixing member 310 fixes the one side of the cassette 20 , vibration of the cassette 20 can be prevented.

상기 제1 고정 부재(310)는 상기 프레임 유닛(120) 내부의 제1 높이에 위치할 수 있다. The first fixing member 310 may be located at a first height inside the frame unit 120 .

상기 핸드 유닛(200)에 다양한 종류의 상기 카세트(20)가 파지되는 경우, 상기 제1 높이는 상기 핸드 유닛(200)에 파지된 상기 카세트(20) 중 가장 작은 크기의 상기 카세트(20)의 하단보다 높을 수 있다. 따라서, 상기 제1 고정 부재(310)가 가장 작은 크기의 상기 카세트(20)의 상기 X축 방향 일측면을 고정할 수 있다. When various types of the cassette 20 are gripped by the hand unit 200 , the first height is the lower end of the cassette 20 of the smallest size among the cassettes 20 gripped by the hand unit 200 . can be higher. Accordingly, the first fixing member 310 may fix one side of the cassette 20 in the X-axis direction of the smallest size.

상기 제2 고정 부재(312)도 상기 프레임 유닛(120)의 내부에 구비된다. 상기 제2 고정 부재(312)는 상기 핸드 유닛(200)에 파지된 상기 카세트(20)의 상기 X축 방향 일측면을 고정한다. 따라서, 상기 제1 고정 부재(310)가 상기 카세트(20)의 상기 일측면을 고정하므로, 상기 카세트(20)의 진동을 방지할 수 있다. The second fixing member 312 is also provided inside the frame unit 120 . The second fixing member 312 fixes one side of the cassette 20 held by the hand unit 200 in the X-axis direction. Accordingly, since the first fixing member 310 fixes the one side of the cassette 20 , vibration of the cassette 20 can be prevented.

상기 제2 고정 부재(312)는 상기 프레임 유닛(120) 내부의 제2 높이에 위치할 수 있다. 상기 제2 높이는 상기 제1 높이보다 낮을 수 있다. The second fixing member 312 may be located at a second height inside the frame unit 120 . The second height may be lower than the first height.

상기 제2 높이는 상기 비히클(100)이 파지하는 상기 카세트(20) 중 가장 큰 크기의 상기 카세트(20)의 하단보다 높을 수 있다. 따라서, 상기 제2 고정 부재(312)가 가장 큰 크기의 상기 카세트(20)의 상기 X축 방향 일측면을 고정할 수 있다. The second height may be higher than the lower end of the cassette 20 having the largest size among the cassettes 20 gripped by the vehicle 100 . Accordingly, the second fixing member 312 may fix one side of the cassette 20 in the X-axis direction of the largest size.

상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)가 서로 다른 높이에 위치하므로, 상기 핸드 유닛(200)에 파지된 상기 카세트(20)의 크기에 따라 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)가 동시에 상기 카세트(20)를 고정하거나, 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312) 중 어느 하나가 상기 카세트(20)를 고정할 수 있다. 따라서, 상기 비히클(100)에 다양한 크기의 상기 카세트(20)가 파지되더라도 상기 제1 고정 부재(310)와 상기 제2 고정 부재(312)가 상기 카세트(20)를 안정적으로 고정할 수 있다.Since the first fixing member 310 and the second fixing member 312 are located at different heights from each other, the first fixing member 310 depends on the size of the cassette 20 held by the hand unit 200 . ) and the second fixing member 312 fix the cassette 20 at the same time, or any one of the first fixing member 310 and the second fixing member 312 fixes the cassette 20 can Accordingly, even when the cassette 20 of various sizes is gripped by the vehicle 100 , the first fixing member 310 and the second fixing member 312 may stably fix the cassette 20 .

일 예로, 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)는 상기 카세트(20)의 상기 일측면 중앙을 지지할 수 있다. For example, the first fixing member 310 and the second fixing member 312 may support the center of the one side of the cassette 20 .

다른 예로, 자세히 도시되지는 않았지만, 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)는 각각 한 쌍이 구비되며, 상기 Y축 방향으로 이격되어 상기 카세트(20)의 상기 일측면 양단을 각각 지지할 수 있다. 상기 한 쌍의 제1 고정 부재(310)들 및 상기 한 쌍의 제2 고정 부재(312)들이 상기 Y축 방향으로 이격되므로, 상기 제1 고정 부재(310)들 사이 및 상기 제2 고정 부재(312)들 사이에 공간이 생긴다. 따라서, 상기 카세트(20)가 회전할 때 상기 제1 고정 부재(310)들 사이 및 상기 제2 고정 부재(312)들 사이를 지날 수 있다. 따라서, 상기 카세트(20)의 회전 반경을 증가시킬 수 있다. 즉, 동일한 위치에서 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)가 상기 카세트(20)의 일측면 중앙을 지지할 때보다 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)가 상기 카세트(20)의 일측면 양단을 각각 지지하는 경우, 상기 카세트(20)의 회전 반경을 증가시킬 수 있다. As another example, although not shown in detail, a pair of the first fixing member 310 and the second fixing member 312 are provided, respectively, and are spaced apart from each other in the Y-axis direction to both ends of the one side of the cassette 20 . can support each. Since the pair of first fixing members 310 and the pair of second fixing members 312 are spaced apart from each other in the Y-axis direction, between the first fixing members 310 and the second fixing member ( 312), a space is created between them. Accordingly, when the cassette 20 rotates, it may pass between the first fixing members 310 and between the second fixing members 312 . Accordingly, it is possible to increase the rotation radius of the cassette 20 . That is, when the first fixing member 310 and the second fixing member 312 support the center of one side of the cassette 20 at the same position, the first fixing member 310 and the second fixing member 310 and the second fixing member 312 are supported at the same position. When the member 312 supports both ends of one side of the cassette 20 , the rotation radius of the cassette 20 may be increased.

상기 한 쌍의 제1 고정 부재(310)들 및 상기 한 쌍의 제2 고정 부재(312)들이 상기 카세트(20)의 일측면 양단을 각각 지지하는 경우, 상기 프레임 유닛(120)에 보다 큰 사이즈의 상기 카세트(20)를 수용하여 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)와 간섭없이 회전시킬 수 있다. 따라서, 상기 비히클(100)은 보다 다양한 사이즈의 상기 카세트(20)를 수용하여 이송할 수 있다. When the pair of first fixing members 310 and the pair of second fixing members 312 each support both ends of one side of the cassette 20, the frame unit 120 has a larger size. of the cassette 20 can be accommodated and rotated without interfering with the first fixing member 310 and the second fixing member 312 . Accordingly, the vehicle 100 can accommodate and transport the cassette 20 of more various sizes.

한편, 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)는 저마찰계수를 갖는 물질로 이루어질 수 있다. 상기 물질의 예로는 테프론, 나일론 등을 들 수 있다. 따라서, 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)와 상기 카세트(20) 사이의 마찰력을 최소화할 수 있다. 그러므로, 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)와 상기 카세트(20) 사이의 마찰력으로 인한 파티클 발생을 방지할 수 있다. Meanwhile, the first fixing member 310 and the second fixing member 312 may be made of a material having a low coefficient of friction. Examples of the material include Teflon, nylon, and the like. Accordingly, the frictional force between the first fixing member 310 and the second fixing member 312 and the cassette 20 may be minimized. Therefore, generation of particles due to friction between the first fixing member 310 and the second fixing member 312 and the cassette 20 may be prevented.

상기 낙하 방지 부재(314)는 상기 제2 고정 부재(312)의 하부면에 고정된다. 상기 낙하 방지 부재(314)는 상기 카세트(20)의 하부에 배치되어 상기 카세트(20)의 낙하시 상기 카세트(20)의 하부면을 지지한다. 따라서, 상기 카세트(20)가 상기 핸드 유닛(200)으로부터 분리되더라도 상기 카세트(20)가 낙하하는 것을 방지할 수 있다. The fall prevention member 314 is fixed to the lower surface of the second fixing member 312 . The fall prevention member 314 is disposed under the cassette 20 to support a lower surface of the cassette 20 when the cassette 20 is dropped. Accordingly, even if the cassette 20 is separated from the hand unit 200, it is possible to prevent the cassette 20 from falling.

상기 낙하 방지 부재(314)도 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)와 마찬가지로 저마찰계수를 갖는 물질로 이루어질 수 있다.Like the first fixing member 310 and the second fixing member 312 , the fall prevention member 314 may be made of a material having a low coefficient of friction.

상기 제2 구동부(320)는 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)를 고정 위치와 후퇴 위치 사이에서 왕복 이동시킨다. 예를 들면, 상기 제2 구동부(320)는 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)를 상기 X축 방향을 따라 이동시킨다. The second driving unit 320 reciprocates the first fixing member 310 and the second fixing member 312 between a fixed position and a retracted position. For example, the second driving unit 320 moves the first fixing member 310 and the second fixing member 312 in the X-axis direction.

상기 고정 위치는 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)가 상기 카세트(20)의 일측면을 고정하는 위치이다. 상기 후퇴 위치는 상기 카세트(20)가 승강을 통해 상기 프레임 유닛(120)에 수용되도록 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)가 상기 고정 위치로부터 후퇴한 위치이다. The fixing position is a position at which the first fixing member 310 and the second fixing member 312 fix one side of the cassette 20 . The retracted position is a position at which the first fixing member 310 and the second fixing member 312 are retracted from the fixing position so that the cassette 20 is accommodated in the frame unit 120 through lifting and lowering.

상기 낙하 방지 부재(314)는 상기 제2 고정 부재(312)에 고정되므로, 상기 제2 구동부(320)에 의해 상기 제2 고정 부재(312)가 이동할 때 상기 낙하 방지 부재(314)도 같이 이동한다. Since the fall prevention member 314 is fixed to the second fixing member 312 , when the second fixing member 312 is moved by the second driving unit 320 , the fall prevention member 314 also moves. do.

상기 고정 유닛(300)은 베이스 플레이트(330), 제1 이동 플레이트(340), 제1 슬라이드 캠(350), 제2 이동 플레이트(360), 제2 슬라이드 캠(370) 및 연결 부재(380)를 더 포함할 수 있다. The fixing unit 300 includes a base plate 330 , a first moving plate 340 , a first slide cam 350 , a second moving plate 360 , a second slide cam 370 , and a connecting member 380 . may further include.

상기 베이스 플레이트(330)는 상기 비히클(100)의 내부, 구체적으로 상기 프레임 유닛(120)의 내부에서 상기 X축 방향 일측 측면에 고정된다. The base plate 330 is fixed to one side surface in the X-axis direction inside the vehicle 100 , specifically, inside the frame unit 120 .

상기 제1 이동 플레이트(340)는 상기 베이스 플레이트(330)에 대해 상기 X축 방향을 따라 이동 가능하도록 상기 베이스 플레이트(330)의 상부면에 적층되어 결합된다. The first moving plate 340 is laminated and coupled to the upper surface of the base plate 330 so as to be movable along the X-axis direction with respect to the base plate 330 .

상기 베이스 플레이트(330)와 상기 제1 이동 플레이트(340) 사이에는 제1 가이드 부재(342)가 구비될 수 있다. 상기 제1 가이드 부재(342)는 상기 제1 이동 플레이트(340)의 상기 X축 방향 이동을 가이드 한다. A first guide member 342 may be provided between the base plate 330 and the first moving plate 340 . The first guide member 342 guides the movement of the first moving plate 340 in the X-axis direction.

상기 제1 이동 플레이트(340)의 상부면에 제1 캠 팔로워(344)가 구비될 수 있다. A first cam follower 344 may be provided on an upper surface of the first moving plate 340 .

상기 제1 슬라이드 캠(350)은 상기 베이스 플레이트(330)의 상방에 구비된다. 상기 제1 슬라이드 캠(350)은 상기 제1 이동 플레이트(340)의 상방에 배치될 수 있다. 상기 제1 슬라이드 캠(350)은 제1 가이드 홈(352)이 구비된다. 상기 제1 가이드 홈(352)에 상기 제1 캠 팔로워(344)가 삽입되며, 상기 제1 가이드 홈(352)이 상기 제1 캠 팔로워(344)의 이동을 안내할 수 있다. The first slide cam 350 is provided above the base plate 330 . The first slide cam 350 may be disposed above the first moving plate 340 . The first slide cam 350 is provided with a first guide groove 352 . The first cam follower 344 may be inserted into the first guide groove 352 , and the first guide groove 352 may guide the movement of the first cam follower 344 .

상기 제1 캠 팔로워(344)가 상기 제1 가이드 홈(352)을 따라 이동함에 따라 상기 제1 이동 플레이트(340) 및 상기 제1 고정 부재(310)가 상기 X축 방향으로 이동할 수 있다. As the first cam follower 344 moves along the first guide groove 352 , the first moving plate 340 and the first fixing member 310 may move in the X-axis direction.

상기 제2 이동 플레이트(360)는 상기 베이스 플레이트(330)에 대해 상기 X축 방향을 따라 이동 가능하도록 상기 베이스 플레이트(330)의 하부면에 적층되어 결합된다. The second moving plate 360 is laminated and coupled to the lower surface of the base plate 330 so as to be movable along the X-axis direction with respect to the base plate 330 .

상기 베이스 플레이트(330)와 상기 제2 이동 플레이트(360) 사이에는 제2 가이드 부재(362)가 구비될 수 있다. 상기 제2 가이드 부재(362)는 상기 제2 이동 플레이트(360)의 상기 X축 방향 이동을 가이드 한다. A second guide member 362 may be provided between the base plate 330 and the second moving plate 360 . The second guide member 362 guides the movement of the second moving plate 360 in the X-axis direction.

상기 제2 이동 플레이트(360)의 하부면에 제2 캠 팔로워(364)가 구비될 수 있다. A second cam follower 364 may be provided on a lower surface of the second moving plate 360 .

상기 제2 슬라이드 캠(370)은 상기 베이스 플레이트(330)의 하방에 구비된다. 상기 제2 슬라이드 캠(370)은 상기 제2 이동 플레이트(360)의 하방에 배치될 수 있다. 상기 제2 슬라이드 캠(370)은 제2 가이드 홈(372)이 구비된다. 상기 제2 가이드 홈(372)에 상기 제2 캠 팔로워(364)가 삽입되며, 상기 제2 가이드 홈(372)이 상기 제2 캠 팔로워(364)의 이동을 안내할 수 있다. The second slide cam 370 is provided below the base plate 330 . The second slide cam 370 may be disposed below the second moving plate 360 . The second slide cam 370 is provided with a second guide groove 372 . The second cam follower 364 may be inserted into the second guide groove 372 , and the second guide groove 372 may guide the movement of the second cam follower 364 .

상기 제2 캠 팔로워(364)가 상기 제2 가이드 홈(372)을 따라 이동함에 따라 상기 제2 이동 플레이트(360), 상기 제2 고정 부재(312) 및 상기 낙하 방지 부재(314)가 상기 X축 방향으로 이동할 수 있다. As the second cam follower 364 moves along the second guide groove 372 , the second moving plate 360 , the second fixing member 312 , and the fall prevention member 314 move the X It can move in the axial direction.

상기 제1 가이드 홈(352)의 상기 X축 방향 길이가 상기 제2 가이드 홈(372)의 상기 X축 방향 길이보다 길 수 있다. 따라서, 상기 제1 고정 부재(310)의 상기 X축 방향의 이동 거리가 상기 제2 고정 부재(314)의 상기 X축 방향의 이동 거리보다 길 수 있다. A length of the first guide groove 352 in the X-axis direction may be longer than a length of the second guide groove 372 in the X-axis direction. Accordingly, the movement distance of the first fixing member 310 in the X-axis direction may be longer than the movement distance of the second fixing member 314 in the X-axis direction.

상기 제1 고정 부재(310)가 상기 제2 고정 부재(312)보다 높게 위치하므로, 상기 제1 고정 부재(310)의 상기 이동 거리가 상기 제2 고정 부재(312)의 상기 이동 거리보다 길어야 상기 핸드 유닛(200)에 파지된 상기 카세트(20)의 크기가 작더라도 상기 제1 고정 부재(310)가 상기 카세트(20)의 일측면을 고정할 수 있다. Since the first fixing member 310 is positioned higher than the second fixing member 312 , the moving distance of the first fixing member 310 must be longer than the moving distance of the second fixing member 312 . Even if the size of the cassette 20 held by the hand unit 200 is small, the first fixing member 310 may fix one side of the cassette 20 .

상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)의 상기 X축 방향의 이동 거리가 서로 다르므로, 상기 핸드 유닛(200)에 다양한 크기의 상기 카세트(20)가 파지되더라도 상기 제1 고정 부재(310)와 상기 제2 고정 부재(312) 중 어느 하나가 상기 카세트(20)를 안정적으로 고정할 수 있다. Since the moving distances in the X-axis direction of the first fixing member 310 and the second fixing member 312 are different from each other, even if the cassette 20 of various sizes is gripped by the hand unit 200, the Either one of the first fixing member 310 and the second fixing member 312 may stably fix the cassette 20 .

상기 연결 부재(380)는 상기 제1 이동 플레이트(340)와 상기 제1 고정 부재(310)를 연결한다. The connecting member 380 connects the first moving plate 340 and the first fixing member 310 .

상기 연결 부재(380)는 고정 핀(382) 및 코일 스프링(384)을 포함한다. The connecting member 380 includes a fixing pin 382 and a coil spring 384 .

상기 고정 핀(382)은 상기 제1 이동 플레이트(340)로부터 상방으로 돌출된 제1 돌출부(341)를 관통하여 상기 제1 고정 부재(310)에 고정된다. 이때 상기 고정 핀(382)은 상기 제1 돌출부(341)에 대해 이동 가능하도록 구비된다. 단, 상기 고정 핀(382)은 상기 제1 고정 부재(310)에 고정된 단부와 반대되는 단부에 걸림턱이 형성된다. 그러므로, 상기 고정 핀(382)이 제1 돌출부(341)로부터 상기 제1 고정 부재(310)가 고정된 방향으로 이탈되는 것을 방지할 수 있다. The fixing pin 382 is fixed to the first fixing member 310 by passing through the first protrusion 341 protruding upward from the first moving plate 340 . In this case, the fixing pin 382 is provided to be movable with respect to the first protrusion 341 . However, in the fixing pin 382 , a stopping protrusion is formed at an end opposite to the end fixed to the first fixing member 310 . Therefore, the fixing pin 382 can prevent the first fixing member 310 from being separated from the first protrusion 341 in the fixing direction.

상기 코일 스프링(384)은 상기 제1 이동 플레이트(340)의 상기 제1 돌출부(341)와 상기 제1 고정 부재(310) 사이에 상기 고정 핀(382)을 감싸도록 구비된다. 상기 제1 고정 부재(310)가 상기 카세트(20)와 접촉할 때, 상기 고정 핀(382)이 제1 돌출부(341)에 대해 이동하면서 상기 코일 스프링(384)이 수축할 수 있다. 따라서, 상기 코일 스프링(384)은 상기 제1 고정 부재(310)가 상기 카세트(20)와 접촉할 때 발생하는 충격을 감소시킬 수 있다. The coil spring 384 is provided to surround the fixing pin 382 between the first protrusion 341 of the first moving plate 340 and the first fixing member 310 . When the first fixing member 310 comes into contact with the cassette 20 , the coil spring 384 may contract while the fixing pin 382 moves with respect to the first protrusion 341 . Accordingly, the coil spring 384 may reduce an impact generated when the first fixing member 310 comes into contact with the cassette 20 .

또한, 상기 연결 부재(380)는 상기 제2 이동 플레이트(360) 및 상기 제2 고정 부재(312)를 각각 연결한다. In addition, the connecting member 380 connects the second moving plate 360 and the second fixing member 312 , respectively.

상기 고정 핀(382)은 상기 제2 이동 플레이트(360)로부터 상방으로 돌출된 제2 돌출부(361)를 관통하여 상기 제2 고정 부재(312)에 고정된다. 상기 코일 스프링(384)은 상기 제2 이동 플레이트(360)의 상기 제2 돌출부(361)와 상기 제2 고정 부재(312) 사이에 상기 고정 핀(382)을 감싸도록 구비된다.The fixing pin 382 is fixed to the second fixing member 312 through a second protrusion 361 protruding upward from the second moving plate 360 . The coil spring 384 is provided to surround the fixing pin 382 between the second protrusion 361 of the second moving plate 360 and the second fixing member 312 .

한편, 상기 제2 구동부(320)는 상기 베이스 플레이트(330)에 구비된다. 예를 들면, 상기 제2 구동부(320)는 상기 베이스 플레이트(330)의 하부면에 장착될 수 있다. 상기 제2 구동부(320)는 연결 부재(322)를 이용하여 상기 제1 슬라이드 캠(350) 및 상기 제2 슬라이드 캠(370)과 같이 연결될 수 있다. Meanwhile, the second driving unit 320 is provided on the base plate 330 . For example, the second driving unit 320 may be mounted on the lower surface of the base plate 330 . The second driving unit 320 may be connected to the first slide cam 350 and the second slide cam 370 using a connecting member 322 .

상기 제2 구동부(320)는 상기 제1 슬라이드 캠(350) 및 상기 제2 슬라이드 캠(370)을 상기 Y축 방향을 따라 이동시켜 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)를 상기 고정 위치와 상기 후퇴 위치 사이에서 왕복 이동시킨다. The second driving unit 320 moves the first slide cam 350 and the second slide cam 370 along the Y-axis direction to move the first and second fixing members 310 and 312 . ) to reciprocate between the fixed position and the retracted position.

상기 제2 구동부(320)는 상기 제1 슬라이드 캠(350) 및 상기 제2 슬라이드 캠(370)을 상기 Y축 방향을 따라 직선 왕복 운동시킬 수 있는 것이면 어느 것이나 무방하다. 예를 들면, 상기 제2 구동부(320)는 실린더, 볼 스크류 등일 수 있다. The second driving unit 320 may be any type capable of linearly reciprocating the first slide cam 350 and the second slide cam 370 in the Y-axis direction. For example, the second driving unit 320 may be a cylinder, a ball screw, or the like.

상기 베이스 플레이트(330)에 상기 제1 이동 플레이트(340), 상기 제1 슬라이드 캠(350), 상기 제2 이동 플레이트(360) 및 상기 제2 슬라이드 캠(370)이 적층된 구조를 가지므로, 상기 프레임 유닛(120) 내의 좁은 공간에서 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)를 이동시킬 수 있다. Since the first moving plate 340, the first slide cam 350, the second moving plate 360 and the second slide cam 370 are stacked on the base plate 330, The first fixing member 310 and the second fixing member 312 may be moved in a narrow space within the frame unit 120 .

상기 고정 유닛(300)은 다수의 위치 센서(390)들을 더 포함할 수 있다. The fixing unit 300 may further include a plurality of position sensors 390 .

상기 위치 센서(390)들은 상기 베이스 플레이트(330)에 구비되며, 제1 센서(392)들 및 제2 센서(394)를 포함할 수 있다. The position sensors 390 are provided on the base plate 330 , and may include first sensors 392 and second sensors 394 .

상기 제1 센서(392)들은 상기 베이스 플레이트(330)의 상부면에 상기 X축 방향을 따라 구비될 수 있다. 상기 카세트(20)의 사이즈가 달라지면, 상기 제1 고정 부재(310)들의 고정 위치가 가변된다. 따라서, 상기 제1 센서(392)들은 상기 다수의 고정 위치들과 상기 후퇴 위치 사이의 간격만큼 이격될 수 있다. The first sensors 392 may be provided on the upper surface of the base plate 330 in the X-axis direction. When the size of the cassette 20 is changed, the fixing positions of the first fixing members 310 are changed. Accordingly, the first sensors 392 may be spaced apart by an interval between the plurality of fixed positions and the retracted position.

상기 제1 고정 부재(310)의 이동에 따라 상기 제1 고정 부재(310)가 상기 베이스 플레이트(330)와 이격되므로, 상기 제1 센서(392)들이 상기 제1 고정 부재(310)를 직접 감지하기 어렵다. 따라서, 상기 제1 센서(392)들이 상기 제1 이동 플레이트(340)의 위치를 감지하여 상기 제1 고정 부재(310)의 위치를 확인할 수 있다. Since the first fixing member 310 is spaced apart from the base plate 330 according to the movement of the first fixing member 310 , the first sensors 392 directly sense the first fixing member 310 . hard to do Accordingly, the first sensors 392 may detect the position of the first moving plate 340 to confirm the position of the first fixing member 310 .

한편, 상기 제1 센서(392)들은 상기 제1 가이드 부재(342)에서 슬라이더의 위치를 감지하여 상기 제1 고정 부재(310)의 위치를 확인할 수도 있다. Meanwhile, the first sensors 392 may detect the position of the slider on the first guide member 342 to confirm the position of the first fixing member 310 .

상기 제2 센서(394)들은 상기 베이스 플레이트(330)의 하부면에 상기 X축 방향을 따라 구비될 수 있다. 상기 카세트(20)의 사이즈가 달라지면, 상기 제2 고정 부재(312)의 고정 위치가 가변된다. 따라서, 상기 제2 센서(394)들은 상기 다수의 고정 위치들과 상기 후퇴 위치 사이의 간격만큼 이격될 수 있다. The second sensors 394 may be provided on a lower surface of the base plate 330 in the X-axis direction. When the size of the cassette 20 is changed, the fixing position of the second fixing member 312 is changed. Accordingly, the second sensors 394 may be spaced apart by an interval between the plurality of fixed positions and the retracted position.

상기 제2 고정 부재(312)의 이동 거리가 상기 제1 고정 부재(310)의 이동 거리와 다르므로, 상기 제2 센서(394)들의 위치와 상기 제1 센서(392)들의 위치는 다를 수 있다. Since the moving distance of the second fixing member 312 is different from the moving distance of the first fixing member 310 , the positions of the second sensors 394 and the positions of the first sensors 392 may be different. .

상기 위치 센서(390)들이 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)의 고정 위치들과 후퇴 위치를 정확하게 감지할 수 있으므로, 상기 제2 구동부(320)와 상기 위치 센서(390)들을 이용하여 여러 사이즈의 상기 카세트(20)를 지지할 수 있도록 고정 유닛(300)의 동작을 정확하게 구현할 수 있다. Since the position sensors 390 can accurately detect the fixed positions and the retracted positions of the first fixing member 310 and the second fixing member 312 , the second driving unit 320 and the position sensor ( 390) can be used to accurately implement the operation of the fixing unit 300 to support the cassette 20 of various sizes.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 상기 비히클은 상기 핸드 유닛에 상기 정렬부를 구비하므로, 상기 핸드 유닛과 상기 카세트를 정렬할 수 있다. 따라서, 상기 핸드 유닛이 상기 카세트를 안정적으로 파지할 수 있다. As described above, in the vehicle according to the present invention, since the aligning unit is provided on the hand unit, the hand unit and the cassette can be aligned. Accordingly, the hand unit can stably grip the cassette.

또한 상기 비히클은 상기 이탈 방지부를 구비하므로, 상기 대상물이 상기 카세트로부터 이탈하는 것을 방지할 수 있다. In addition, since the vehicle is provided with the separation preventing unit, it is possible to prevent the object from being separated from the cassette.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to the preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the following claims. You will understand that you can.

100 : 비히클 110 : 주행 유닛
120 : 프레임 유닛 130 : 슬라이드 유닛
140 : 호이스트 유닛 200 : 핸드 유닛
210 : 몸체 220 : 그리퍼
230 : 제1 구동부 240 : 이탈 방지부
250 : 정렬부 300 : 고정 유닛
310 : 제1 고정 부재 312 : 제2 고정 부재
314 : 낙하 방지 부재 320 : 제2 구동부
330 : 베이스 플레이트 340 : 제1 이동 플레이트
350 : 제1 슬라이드 캠 360 : 제2 이동 플레이트
370 : 제2 슬라이드 캠 380 : 연결 부재
390 : 위치 센서 392 : 제1 센서
392 : 제2 센서 10 : 주행 레일
20 : 카세트 30 : 대상물100: vehicle 110: driving unit
120: frame unit 130: slide unit
140: hoist unit 200: hand unit
210: body 220: gripper
230: first driving unit 240: separation prevention unit
250: alignment unit 300: fixed unit
310: first fixing member 312: second fixing member
314: fall prevention member 320: second driving unit
330: base plate 340: first moving plate
350: first slide cam 360: second moving plate
370: second slide cam 380: connecting member
390: position sensor 392: first sensor
392: second sensor 10: traveling rail
20: cassette 30: object

Claims (13)

천장의 주행 레일을 따라 제1 수평 방향을 따라 주행하는 주행 유닛;
상기 주행 유닛에 고정되며, 내부가 빈 형태의 상기 프레임 유닛;
상기 프레임 유닛의 내부에 구비되며, 상기 제1 수평 방향과 수직하는 제2 수평 방향을 따라 슬라이딩하는 슬라이드 유닛;
상기 슬라이드 유닛의 하부에 구비되며 벨트를 권취하거나 권출하여 상기 벨트를 승강시키는 호이스트 유닛;
상기 벨트의 일단부에 고정되는 회전 유닛; 및
상기 회전 유닛에 회전 가능하도록 상기 회전 유닛에 결합되고, 일측에 개구부를 가지며 내부에 대상물이 수용된 카세트를 파지하는 핸드 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클. a traveling unit traveling in a first horizontal direction along a traveling rail of the ceiling;
the frame unit fixed to the traveling unit and having an empty inside;
a slide unit provided inside the frame unit and sliding along a second horizontal direction perpendicular to the first horizontal direction;
a hoist unit provided at a lower portion of the slide unit and elevating the belt by winding or unwinding the belt;
a rotation unit fixed to one end of the belt; and
and a hand unit coupled to the rotation unit so as to be rotatable to the rotation unit, having an opening at one side and holding a cassette in which an object is accommodated. 제1항에 있어서, 상기 핸드 유닛은,
상기 회전 유닛에 회전 가능하도록 결합되는 몸체;
상기 몸체에 상기 제1 수평 방향을 따라 이동 가능하도록 구비되며, 상기 카세트의 상부면에 구비된 플랜지를 파지하는 그리퍼들: 및
상기 몸체에 구비되며, 상기 그리퍼들이 상기 대상물들을 파지 또는 해제하도록 상기 그리퍼들을 왕복 이동시키는 제1 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클. According to claim 1, wherein the hand unit,
a body rotatably coupled to the rotation unit;
Grippers provided on the body to be movable in the first horizontal direction and gripping the flange provided on the upper surface of the cassette; And
and a first driving unit provided on the body and configured to reciprocate the grippers so that the grippers grip or release the objects. 제2항에 있어서, 상기 제1 구동부는,
모터;
상기 제1 수평 방향과 수직하는 제2 수평 방향을 따라 배치되며, 상기 모터에 의해 회전하는 스크류축;
상기 스크류 축을 따라 상기 제2 수평 방향을 따라 이동하는 너트;
상기 너트의 양측에 각각 구비되어 상기 너트와 같이 이동하고, 상기 제2 수평 방향과 경사지는 캠홀을 갖는 캠 부재들; 및
상기 제1 수평 방향을 따라 이동 가능하도록 구비되며, 상기 캠 부재의 상기 캠홀에 삽입되는 캠 팔로우어를 가지며, 상기 그리퍼들이 각각 고정되는 이동 블록들을 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클. According to claim 2, wherein the first driving unit,
motor;
a screw shaft disposed along a second horizontal direction perpendicular to the first horizontal direction and rotated by the motor;
a nut moving along the second horizontal direction along the screw axis;
cam members provided on both sides of the nut to move together with the nut and having cam holes inclined in the second horizontal direction; and
and moving blocks provided to be movable in the first horizontal direction, the cam follower being inserted into the cam hole of the cam member, and moving blocks to which the grippers are respectively fixed. 제3항에 있어서, 상기 핸드 유닛은, 상기 카세트의 상기 개구부를 개폐하여 상기 대상물이 상기 카세트로부터 이탈하는 것을 방지하는 이탈 방지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클.4. The vehicle according to claim 3, wherein the hand unit further comprises a separation preventing part that opens and closes the opening of the cassette to prevent the object from being separated from the cassette. 제4항에 있어서, 상기 이탈 방지부는,
상기 캠 부재 중 어느 하나에 일단이 힌지 결합되는 링크;
일단부가 상기 링크의 타단에 결합되고, 타단부가 회전축을 중심으로 회동되는 회동 부재; 및
상기 회동 부재에 고정되며, 상기 회동 부재에 의해 상기 카세트의 상기 개구부를 개폐하여 이탈 방지 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클.5. The method of claim 4, wherein the separation preventing unit,
a link having one end hinge-coupled to any one of the cam members;
a rotation member having one end coupled to the other end of the link, the other end being rotated about a rotation axis; and
and a separation preventing member fixed to the rotation member and opening and closing the opening of the cassette by the rotation member. 제1항에 있어서, 상기 핸드 유닛은, 상기 카세트를 정렬하기 위한 정렬부를 더 포함하고,
상기 정렬부는, 상기 수용 카세트의 상기 플랜지에 구비된 정렬홀에 삽입되는 정렬 돌기인 것을 특징으로 하는 비히클. The method of claim 1, wherein the hand unit further comprises an alignment unit for aligning the cassette,
The alignment unit, the vehicle, characterized in that the alignment projection inserted into the alignment hole provided in the flange of the accommodation cassette. 제1항에 있어서, 상기 프레임 유닛의 내부에서 상기 제1 수평 방향 양측에 각각 구비되며, 상기 카세트를 고정하여 상기 카세트의 진동을 방지하는 고정 유닛들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클.The vehicle according to claim 1, further comprising fixing units provided on both sides of the first horizontal direction inside the frame unit to prevent vibration of the cassette by fixing the cassette. 제7항에 있어서, 상기 각 고정 유닛은,
제1 높이에서 상기 프레임 유닛의 제1 수평 방향 일측에 구비되며, 상기 카세트의 제1 수평 방향 일측면을 고정하는 제1 고정 부재;
상기 제1 높이보다 낮은 제2 높이에서 상기 프레임 유닛의 제1 수평 방향 일측에 구비되며, 상기 카세트의 제1 수평 방향 일측면을 고정하는 제2 고정 부재; 및
상기 프레임 유닛의 제1 수평 방향 일측에 구비되며, 상기 제1 고정 부재와 상기 제2 고정 부재를 상기 프레임 유닛의 제1 수평 방향을 따라 왕복 이동시키는 제2 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클. The method of claim 7, wherein each fixing unit comprises:
a first fixing member provided on one side of the frame unit in a first horizontal direction at a first height and fixing one side of the cassette in a first horizontal direction;
a second fixing member provided on one side of the frame unit in a first horizontal direction at a second height lower than the first height and fixing one side of the cassette in the first horizontal direction; and
and a second driving unit provided on one side of the frame unit in a first horizontal direction and reciprocating the first fixing member and the second fixing member in the first horizontal direction of the frame unit. 제8항에 있어서, 상기 각 고정 유닛은,
상기 프레임 유닛의 제1 수평 방향 일측에 구비되며, 상기 제2 구동부가 장착되는 베이스 플레이트;
상기 제1 수평 방향을 따라 이동 가능하도록 상기 베이스 플레이트의 상부면에 구비되며, 상기 제1 고정 부재를 고정하며 제1 캠 팔로워를 갖는 제1 이동 플레이트;
상기 베이스 플레이트의 상방에 배치되고, 상기 제1 캠 팔로워의 이동을 안내하는 제1 가이드 홈을 갖는 제1 슬라이드 캠;
상기 제1 수평 방향을 따라 이동 가능하도록 상기 베이스 플레이트의 하부면에 구비되며, 상기 제2 고정 부재를 고정하며 제2 캠 팔로워를 갖는 제2 이동 플레이트; 및
상기 베이스 플레이트의 하방에 배치되고, 상기 제2 캠 팔로워의 이동을 안내하는 제2 가이드 홈을 갖는 제2 슬라이드 캠을 포함하고,
상기 제2 구동부는 상기 제1 슬라이드 캠 및 제2 슬라이드 캠을 상기 제2 수평 방향을 따라 이동시켜 상기 제1 고정 부재 및 상기 제2 고정 부재를 상기 왕복 이동시키는 것을 특징으로 하는 비히클. The method of claim 8, wherein each fixing unit comprises:
a base plate provided on one side of the first horizontal direction of the frame unit and on which the second driving unit is mounted;
a first moving plate provided on an upper surface of the base plate to be movable in the first horizontal direction, the first moving plate fixing the first fixing member, and having a first cam follower;
a first slide cam disposed above the base plate and having a first guide groove for guiding movement of the first cam follower;
a second moving plate provided on a lower surface of the base plate to be movable in the first horizontal direction, the second moving plate fixing the second fixing member, and having a second cam follower; and
and a second slide cam disposed below the base plate and having a second guide groove for guiding the movement of the second cam follower,
and the second driving unit moves the first slide cam and the second slide cam in the second horizontal direction to reciprocate the first fixing member and the second fixing member. 제9항에 있어서, 상기 제1 고정 부재의 이동 거리가 상기 제2 고정 부재의 이동 거리보다 길도록 상기 제1 가이드 홈의 상기 제1 수평 방향 길이가 상기 제2 가이드 홈의 상기 제1 수평 방향 길이보다 긴 것을 특징으로 하는 비히클. The first horizontal direction length of the first guide groove according to claim 9, wherein the first horizontal direction length of the first guide groove is such that a movement distance of the first fixing member is longer than a movement distance of the second fixing member. A vehicle characterized in that it is longer than the length. 제9항에 있어서, 상기 각 고정 유닛은,
상기 제1 및 제2 이동 플레이트들을 관통하여 상기 제1 및 제2 고정 부재들에 각각 고정되는 고정 핀들; 및
상기 제1 및 제2 고정 부재들이 상기 카세트와 접촉할 때 발생하는 충격을 감소시키기 위해 상기 제1 및 제2 이동 플레이트들과 상기 제1 및 제2 고정 부재들 사이에 상기 고정 핀들을 감싸도록 구비되는 코일 스프링들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클. 10. The method of claim 9, wherein each fixing unit,
fixing pins that pass through the first and second moving plates and are respectively fixed to the first and second fixing members; and
Provided to surround the fixing pins between the first and second moving plates and the first and second fixing members to reduce an impact generated when the first and second fixing members come into contact with the cassette Vehicle characterized in that it further comprises coil springs. 제8항에 있어서, 상기 각 고정 유닛은, 상기 제2 고정 부재의 하부면에 고정되고, 상기 카세트의 하부에 배치되어 상기 카세트가 낙하시 상기 카세트의 하부면을 지지하는 낙하 방지 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클.9. The method of claim 8, wherein each fixing unit, the second fixing member fixed to the lower surface, the lower portion of the cassette to support the lower surface of the cassette when the cassette falls further comprising a drop preventing member A vehicle characterized in that 제8항에 있어서, 상기 제1 높이는 상기 핸드 유닛이 파지하는 상기 카세트 중 가장 작은 크기의 카세트의 하단보다 높고,
상기 제2 높이는 상기 핸드 유닛이 파지하는 상기 카세트 중 가장 큰 크기의 카세트의 하단보다 높은 것을 특징으로 하는 비히클. The method of claim 8, wherein the first height is higher than the lower end of the smallest size of the cassette gripped by the hand unit,
The second height is higher than a lower end of a cassette having the largest size among the cassettes gripped by the hand unit.
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