KR102264857B1 - Unit for supporting cassette and vehicle having the same - Google Patents

Unit for supporting cassette and vehicle having the same Download PDF

Info

Publication number
KR102264857B1
KR102264857B1 KR1020190059652A KR20190059652A KR102264857B1 KR 102264857 B1 KR102264857 B1 KR 102264857B1 KR 1020190059652 A KR1020190059652 A KR 1020190059652A KR 20190059652 A KR20190059652 A KR 20190059652A KR 102264857 B1 KR102264857 B1 KR 102264857B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
cassette
support
axis direction
door
pair
Prior art date
Application number
KR1020190059652A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20200134079A (en
Inventor
서은호
김진성
성혁제
류재영
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020190059652A priority Critical patent/KR102264857B1/en
Publication of KR20200134079A publication Critical patent/KR20200134079A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102264857B1 publication Critical patent/KR102264857B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67712—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations the substrate being handled substantially vertically
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67751—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber vertical transfer of a single workpiece
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67757—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber vertical transfer of a batch of workpieces
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67772—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving removal of lid, door, cover

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)

Abstract

비히클의 카세트 지지 유닛은, 천장의 주행 레일을 따라 X축 방향으로 주행하며 하부면과 Y축 방향 일측면이 개방되는 비히클의 내부에 구비되며, 상기 비히클에 파지된 카세트의 도어의 하부에 배치되어 상기 도어의 낙하시 상기 도어를 지지하는 한 쌍의 제1 지지부재들 및 상기 비히클의 내부에서 상기 X축 방향 양측에 각각 배치되며, 상기 제1 지지부재들이 상기 도어를 지지하는 지지위치와 상기 카세트가 상기 비히클에 수용되도록 상기 지지위치로부터 후퇴한 후퇴 위치 사이에서 상기 제1 지지부재들을 상기 X축 방향을 따라 왕복 이동시키는 한 쌍의 구동부들을 포함할 수 있다.The cassette support unit of the vehicle travels in the X-axis direction along the running rail of the ceiling and is provided inside the vehicle in which the lower surface and one side in the Y-axis direction are opened, and is disposed under the door of the cassette held by the vehicle. A pair of first support members for supporting the door when the door is dropped and a pair of first support members are respectively disposed on both sides in the X-axis direction inside the vehicle, a support position at which the first support members support the door and the cassette and a pair of driving units for reciprocally moving the first support members in the X-axis direction between the retracted positions retracted from the support position so that the vehicle is accommodated in the vehicle.

Description

카세트 지지 유닛 및 이를 갖는 비히클{Unit for supporting cassette and vehicle having the same}Unit for supporting cassette and vehicle having the same

본 발명은 카세트 지지 유닛 및 이를 갖는 비히클에 관한 것으로, 보다 상세하게는 비히클에 파지된 카세트의 진동 및 낙하를 방지하기 위한 카세트 지지 유닛 및 이를 갖는 비히클에 관한 것이다.The present invention relates to a cassette support unit and a vehicle having the same, and more particularly, to a cassette support unit for preventing vibration and falling of a cassette held by the vehicle, and a vehicle having the same.

일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들은 연속적으로 배치되어 반도체 기판에 대해 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물을 카세트에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치로 제공되거나 상기 카세트를 이용하여 상기 각 반도체 공정 장치로부터 회수될 수 있다. In general, semiconductor processing apparatuses for manufacturing a semiconductor device are sequentially arranged to perform various processes on a semiconductor substrate. The object for performing the semiconductor device manufacturing process may be provided to each semiconductor processing apparatus in a state accommodated in the cassette, or may be recovered from each semiconductor processing apparatus using the cassette.

상기 카세트는 OHT(Overhead Hoist Transport)에 의해 이송된다. 상기 OHT는 반도체 공정 장치들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 주행 레일 및 상기 카세트를 파지하며 상기 주행 레일을 따라 주행하는 비히클을 포함한다. The cassette is transported by OHT (Overhead Hoist Transport). The OHT includes a traveling rail provided along a ceiling of a semiconductor manufacturing line in which semiconductor processing devices are continuously arranged, and a vehicle holding the cassette and traveling along the traveling rail.

상기 비히클이 주행함에 따라 상기 카세트에 진동이 발생할 수 있다. 상기 진동에 의해 상기 카세트의 도어가 분리되어 상기 비히클로부터 낙하할 수 있다. 상기 도어가 낙하함에 따라 상기 도어가 파손되거나 상기 도어가 제품을 손상 및 파손시킬 수 있다. As the vehicle travels, vibrations may occur in the cassette. The door of the cassette may be separated by the vibration and fall from the vehicle. As the door falls, the door may be damaged or the door may damage or damage the product.

본 발명은 카세트로부터 도어가 분리되더라도 상기 도어를 지지하며, 상기 도어의 분리를 감지할 수 있는 카세트 지지 유닛을 제공한다. The present invention provides a cassette support unit that supports the door even when the door is separated from the cassette and can detect the separation of the door.

또한, 본 발명은 상기 카세트 지지 유닛을 갖는 비히클을 제공한다. The present invention also provides a vehicle having the above cassette support unit.

본 발명에 따른 카세트 지지 유닛은, 천장의 주행 레일을 따라 X축 방향으로 주행하며 하부면과 Y축 방향 일측면이 개방되는 비히클의 내부에 구비되며, 상기 비히클에 파지된 카세트의 도어의 하부에 배치되어 상기 도어의 낙하시 상기 도어를 지지하는 한 쌍의 제1 지지부재들 및 상기 비히클의 내부에서 상기 X축 방향 양측에 각각 배치되며, 상기 제1 지지부재들이 상기 도어를 지지하는 지지위치와 상기 카세트가 상기 비히클에 수용되도록 상기 지지위치로부터 후퇴한 후퇴 위치 사이에서 상기 제1 지지부재들을 상기 X축 방향을 따라 왕복 이동시키는 한 쌍의 구동부들을 포함할 수 있다. The cassette support unit according to the present invention is provided inside a vehicle in which the lower surface and one side in the Y-axis direction are opened while traveling in the X-axis direction along the running rail of the ceiling, and located in the lower part of the door of the cassette held by the vehicle. A pair of first support members that are disposed to support the door when the door is dropped and are respectively disposed on both sides in the X-axis direction inside the vehicle, wherein the first support members support the door at a supporting position and and a pair of driving units for reciprocally moving the first support members along the X-axis direction between retracted positions retracted from the support position so that the cassette is accommodated in the vehicle.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 카세트 지지 유닛은, 상기 비히클의 내부에서 상기 X축 방향 양측에 각각 고정되며, 상기 구동부들이 각각 장착되는 한 쌍의 베이스 플레이트들과, 상기 베이스 플레이트들에 대해 상기 X축 방향을 따라 이동 가능하도록 상기 베이스 플레이트들에 각각 적층되어 결합되는 한 쌍의 이동 플레이트들 및 주동절이 상기 베이스 플레이트 및 상기 이동 플레이트에 각각 링크 결합되고, 종동절이 상기 베이스 플레이트에 링크 결합되고, 상기 주동절과 상기 종동절을 연결하는 연결봉의 단부에 상기 제1 지지부재들이 각각 고정되는 한 쌍의 링크 구조물을 더 포함하고, 상기 구동부들이 상기 이동 플레이트들을 각각 상기 X축 방향을 따라 왕복 이동시킴으로써 상기 제1 지지부재들을 상기 제1 지지위치와 상기 제1 후퇴 위치 사이를 이동시킬 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the cassette support unit is fixed to both sides in the X-axis direction inside the vehicle, and a pair of base plates to which the driving units are mounted, respectively, and the base plates. A pair of movable plates and a principal joint that are respectively stacked and coupled to the base plates so as to be movable along the X-axis direction are linked to the base plate and the movable plate, respectively, and a follower is linked to the base plate Further comprising a pair of link structures coupled to the first supporting members are respectively fixed to the ends of the connecting rods connecting the main and driven segments, wherein the driving units move the moving plates along the X-axis direction, respectively. By reciprocating, the first supporting members may be moved between the first supporting position and the first retracted position.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 카세트 지지 유닛은, 상기 비히클의 내부에 구비되며, 상기 비히클에 파지된 카세트의 상기 X축 방향 양측면 각각 고정하여 상기 카세트의 진동을 방지하는 한 쌍의 고정부재들을 더 포함하며, 상기 구동부들은 상기 고정부재들을 상기 카세트의 양측면을 고정하는 고정 위치와, 상기 카세트가 상기 비히클에 수용되도록 상기 고정 위치로부터 후퇴한 후퇴 위치 사이에서 상기 고정 부재들을 상기 X축 방향을 따라 왕복 이동시킬 수 있다. According to embodiments of the present invention, the cassette support unit is provided inside the vehicle, and a pair of fixings to prevent vibration of the cassette by fixing both sides of the cassette held by the vehicle in the X-axis direction, respectively. It further includes members, wherein the driving parts are configured to move the fixing members between a fixing position for fixing both sides of the cassette and a retracted position where the cassette is retracted from the fixing position so that the cassette is accommodated in the vehicle in the X-axis direction. can be reciprocated along the

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 구동부들은 상기 제1 지지부재들과 상기 고정 부재들을 동시에 왕복 이동시킬 수 있다. According to embodiments of the present invention, the driving units may reciprocate the first supporting members and the fixing members at the same time.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 카세트 지지 유닛은, 상기 고정 부재들의 하부면에 각각 고정되고, 상기 카세트의 하부에 배치되어 상기 카세트가 낙하시 상기 카세트의 하부면을 지지하는 한 쌍의 낙하 방지 부재들을 더 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the cassette support unit is fixed to the lower surfaces of the fixing members, respectively, and is disposed under the cassette to support the lower surface of the cassette when the cassette is dropped. It may further include fall prevention members.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 고정 부재들은 상기 이동 플레이트들에 각각 고정되고, 상기 구동부들은 상기 이동 플레이트들을 상기 X축 방향을 따라 이동시켜 상기 고정 부재들을 상기 왕복 이동시킬 수 있다. According to embodiments of the present invention, the fixing members may be fixed to the moving plates, respectively, and the driving units may move the moving plates in the X-axis direction to reciprocate the fixing members.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 이동 플레이트들을 각각 관통하여 상기 고정 부재들에 각각 고정되는 한 쌍의 고정 핀들에 의해 상기 이동 플레이트들과 상기 고정 부재들이 고정되며, 상기 카세트 지지 유닛은, 상기 고정 부재들이 상기 카세트와 접촉할 때 발생하는 충격을 감소시키기 위해 상기 이동 플레이트들과 상기 고정 부재들 사이에 상기 고정 핀들을 각각 감싸는 한 쌍의 코일 스프링들을 더 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the movable plates and the fixing members are fixed by a pair of fixing pins that pass through the movable plates and are respectively fixed to the fixing members, the cassette support unit, A pair of coil springs respectively surrounding the fixing pins between the moving plates and the fixing members may be further included in order to reduce an impact generated when the fixing members come into contact with the cassette.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 카세트 지지 유닛은, 상기 베이스 플레이트들에 구비되며, 상기 고정 부재들의 위치를 확인하기 위해 상기 이동 플레이트들의 위치를 감지하기 위한 다수의 위치 센서들을 더 포함할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the cassette support unit is provided on the base plates, and further includes a plurality of position sensors for detecting the positions of the moving plates to confirm the positions of the fixing members. can

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 고정 부재들과 상기 카세트 사이의 마찰력으로 인한 파티클 발생을 방지하기 위해 상기 고정 부재들은 저마찰계수를 갖는 물질로 이루어질 수 있다. According to an embodiment of the present invention, in order to prevent the generation of particles due to friction between the fixing members and the cassette, the fixing members may be made of a material having a low coefficient of friction.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 카세트 지지 유닛은, 상기 비히클의 내부에 구비되고, 상기 도어의 상부 전면에 배치되어 상기 도어의 상부가 상기 카세트로부터 분리될 때 상기 도어의 상부를 지지하는 제2 지지부재를 더 포함할 수 있다. According to embodiments of the present invention, the cassette support unit is provided inside the vehicle and is disposed on the upper front side of the door to support the upper part of the door when the upper part of the door is separated from the cassette. It may further include a second support member.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 카세트 지지 유닛은, 상기 비히클의 내부에서 상기 개방된 일측면의 상기 X축 방향 양측에 각각 구비되고, 상기 도어가 상기 카세트로부터 분리되는 것을 감지하는 한 쌍의 감지 센서들을 더 포함할 수 있다. According to embodiments of the present invention, the cassette support unit is provided on both sides of the open side of the vehicle in the X-axis direction, respectively, and a pair of detecting the separation of the door from the cassette. It may further include detection sensors of

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 도어의 하부가 상기 카세트로부터 분리되는 경우 및 상기 도어의 상부가 상기 카세트로부터 분리되는 경우를 동시에 감지하기 위해 상기 센서들은 서로 다른 높이에 배치될 수 있다. According to embodiments of the present invention, the sensors may be disposed at different heights to simultaneously detect when the lower part of the door is separated from the cassette and when the upper part of the door is separated from the cassette.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 한 쌍의 센서들은 발광 센서 및 수광 센서로 이루어질 수 있다. According to embodiments of the present invention, the pair of sensors may include a light emitting sensor and a light receiving sensor.

본 발명에 따른 비히클은, 천장의 주행 레일을 따라 X축 방향으로 주행하는 주행 유닛과, 상기 주행 유닛과 연결되고, 하부면과 Y축 방향 일측면이 개방되며 내부에 카세트를 파지하여 이송하는 이송 유닛 및 상기 이송 유닛의 내부 구비되며, 상기 카세트의 도어의 하부에 배치되어 상기 도어의 낙하시 상기 도어를 지지하는 한 쌍의 제1 지지부재들 및 상기 이송 유닛의 내부에서 상기 X축 방향 양측에 각각 배치되며, 상기 제1 지지부재들이 상기 도어를 지지하는 제1 지지위치와 상기 카세트가 상기 이송 유닛에 수용되도록 상기 제1 지지위치로부터 후퇴한 제1 후퇴 위치 사이에서 상기 제1 지지부재들을 상기 X축 방향을 따라 왕복 이동시키는 한 쌍의 구동부들로 이루어지는 카세트 지지 유닛을 포함할 수 있다. A vehicle according to the present invention includes a traveling unit traveling in an X-axis direction along a traveling rail of a ceiling, a traveling unit connected to the traveling unit, a lower surface and one side in the Y-axis direction are opened, and a cassette is transported by gripping the cassette therein A pair of first support members provided inside the unit and the transfer unit, disposed under the door of the cassette to support the door when the door is dropped, and on both sides in the X-axis direction inside the transfer unit each of the first supporting members is disposed between a first supporting position in which the first supporting members support the door and a first retracted position in which the cassette is retracted from the first supporting position so that the cassette is accommodated in the transfer unit. It may include a cassette support unit including a pair of driving units for reciprocating along the X-axis direction.

본 발명에 따른 카세트 지지 유닛 및 이를 갖는 비히클은 상기 제1 지지부재들과 상기 제2 지지부재를 이용하여 상기 카세트로부터 분리되는 도어를 지지할 수 있다. 따라서, 상기 도어의 낙하를 방지할 수 있고, 상기 도어의 낙하로 인한 상기 도어 및 제품의 손상이나 파손을 방지할 수 있다. A cassette support unit and a vehicle having the same according to the present invention can support a door separated from the cassette using the first support members and the second support members. Accordingly, it is possible to prevent the door from falling, and damage or damage to the door and the product due to the falling of the door can be prevented.

또한, 상기 감지 센서들을 이용하여 상기 카세트로부터 상기 도어가 분리되는 것을 감지할 수 있다. In addition, the separation of the door from the cassette may be detected using the detection sensors.

그리고, 상기 고정부재들이 상기 카세트의 측면을 고정하고, 상기 낙하 방지 부재들이 상기 카세트의 하부면을 지지함으로써 상기 카세트의 진동과 낙하를 방지할 수 있다. In addition, the fixing members fix the side surface of the cassette, and the fall prevention members support the lower surface of the cassette, thereby preventing vibration and dropping of the cassette.

한편, 상기 베이스 플레이트와 상기 이동 플레이트가 적층된 상태에서 구동부에 의해 상기 이동 플레이트가 상기 베이스 플레이트에 대해 수평 방향을 따라 이동 가능하다. 그러므로, 상기 하우징 내의 좁은 공간에서 상기 제1 지지부재들 및 상기 고정 부재들을 이동시킬 수 있다. Meanwhile, in a state in which the base plate and the moving plate are stacked, the moving plate is movable in a horizontal direction with respect to the base plate by a driving unit. Therefore, it is possible to move the first supporting members and the fixing members in a narrow space within the housing.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클을 설명하기 위한 정면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 카세트 지지 유닛을 설명하기 위한 평면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 이동 플레이트와 고정 부재의 연결을 설명하기 위한 확대도이다.
도 4는 도 1에 도시된 카세트 지지 유닛을 설명하기 위한 저면도이다.
도 5 및 6은 도 1에 도시된 카세트 지지 유닛의 동작을 설명하기 위한 평면도 및 저면도이다. 1 is a front view illustrating a vehicle according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a plan view illustrating the cassette support unit shown in FIG. 1 .
3 is an enlarged view for explaining the connection between the moving plate and the fixing member shown in FIG. 2 .
4 is a bottom view for explaining the cassette support unit shown in FIG.
5 and 6 are a plan view and a bottom view for explaining the operation of the cassette support unit shown in FIG.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Since the present invention can have various changes and can have various forms, specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to the specific disclosed form, it should be understood to include all modifications, equivalents and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing each figure, like reference numerals have been used for like elements. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are enlarged than the actual size for clarity of the present invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. Terms such as first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The above terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, a first component may be referred to as a second component, and similarly, a second component may also be referred to as a first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used in the present application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, terms such as “comprise” or “have” are intended to designate that a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification exists, but one or more other features It is to be understood that it does not preclude the possibility of the presence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical and scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related art, and should not be interpreted in an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in the present application. does not

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클을 설명하기 위한 정면도이다. 1 is a front view illustrating a vehicle according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 비히클(500)은 주행 유닛(100), 이송 유닛(200) 및 카세트 지지 유닛(300)을 갖는다. Referring to FIG. 1 , a vehicle 500 includes a traveling unit 100 , a transport unit 200 , and a cassette support unit 300 .

상기 주행 유닛(100)은 상기 주행 레일(10)을 따라 이동한다. 상기 주행 유닛(100)의 양 측면에 주행 롤러(110)가 구비된다. 상기 주행 롤러(110)는 별도의 구동부에 의해 회전한다. 따라서, 상기 비히클(500)이 상기 주행 레일(10)을 따라 주행한다. 예들 들면, 상기 비히클(500)은 X축 방향을 따라 이동할 수 있다.The traveling unit 100 moves along the traveling rail 10 . Driving rollers 110 are provided on both sides of the traveling unit 100 . The traveling roller 110 is rotated by a separate driving unit. Accordingly, the vehicle 500 travels along the traveling rail 10 . For example, the vehicle 500 may move along the X-axis direction.

한편, 상기 주행 유닛(100)은 상부면에 조향 롤러(미도시)를 구비한다. 상기 조향 롤러는 상기 주행 레일(10)의 상방에 구비되는 조향 레일(미도시)과 선택적으로 접촉할 수 있다. 상기 주행 레일(10)의 분기 지점에서 상기 비히클(500)의 주행 방향을 조절할 수 있다. On the other hand, the traveling unit 100 is provided with a steering roller (not shown) on the upper surface. The steering roller may selectively contact a steering rail (not shown) provided above the traveling rail 10 . A traveling direction of the vehicle 500 may be adjusted at a branch point of the traveling rail 10 .

상기 이송 유닛(200)은 상기 주행 유닛(100)과 연결되며, 내부에 카세트(20)를 파지하여 이송한다. The transfer unit 200 is connected to the traveling unit 100 and is transferred by gripping the cassette 20 therein.

상기 이송 유닛(200)은 하우징(210), 이동부(220), 승강부(230) 및 파지부(240)를 포함한다. The transfer unit 200 includes a housing 210 , a moving unit 220 , an elevating unit 230 , and a gripping unit 240 .

상기 하우징(210)은 상기 주행 유닛(100)이 하부면에 고정된다. 상기 하우징(210)은 상기 카세트(20)를 수용하기 위해 내부가 빈 형태를 갖는다. 또한, 상기 카세트(20)가 Y축 방향 및 Z축 방향을 따라 이동할 수 있도록 상기 하우징(210)은 하부면과 상기 Y축 방향 일측면이 개방될 수 있다. The housing 210 is fixed to the lower surface of the driving unit 100 . The housing 210 has an empty inside to accommodate the cassette 20 . In addition, the housing 210 may have a lower surface and one side of the housing 210 open in the Y-axis direction so that the cassette 20 can move in the Y-axis direction and the Z-axis direction.

상기 이동부(220)는 상기 하우징(210)의 내측 상부면에 구비된다. 상기 이동부(220)는 상기 승강부(230)를 상기 Y축 방향으로 수평 이동시킬 수 있다. 이때, 상기 승강부(230)는 상기 하우징(210)의 개방된 일측면을 통해 수평 이동할 수 있다. The moving part 220 is provided on the inner upper surface of the housing 210 . The moving unit 220 may horizontally move the lifting unit 230 in the Y-axis direction. In this case, the lifting unit 230 may move horizontally through one open side of the housing 210 .

상기 승강부(230)는 상기 이동부(220)의 하부면에 상기 Y축 방향으로 수평 이동 가능하도록 구비된다. 상기 승강부(230)는 벨트(232)를 권취하거나 권출하여 상기 파지부(232)를 승강시킬 수 있다.The lifting unit 230 is provided on the lower surface of the moving unit 220 to be horizontally movable in the Y-axis direction. The lifting unit 230 may take up or unwind the belt 232 to raise and lower the holding unit 232 .

상기 승강부(230)는 상기 파지부(240)를 고정하여 상기 Z축 방향을 따라 승강시킬 수 있다. The lifting unit 230 may be fixed to the holding unit 240 to be raised and lowered along the Z-axis direction.

상기 파지부(240)는 상기 벨트(232)의 단부에 고정되며, 상기 카세트(20)를 고정한다. The gripper 240 is fixed to the end of the belt 232 and fixes the cassette 20 .

상기 카세트(20)는 상기 이동부(220)에 의해 상기 X축 방향으로 이동하며, 상기 승강부(230)에 의해 승강할 수 있다. The cassette 20 is moved in the X-axis direction by the moving unit 220 , and can be raised and lowered by the lifting unit 230 .

상기 카세트 지지 유닛(300)은 상기 비히클(500)이 주행함에 따라 발생하는 상기 카세트(20)의 진동과 낙하를 방지한다. 또한, 상기 카세트 지지 유닛(300)은 상기 카세트(20)의 도어(22)가 상기 카세트(20)로부터 분리되어 낙하하는 것을 방지하고, 상기 도어(22)의 분리를 감지할 수 있다. The cassette support unit 300 prevents vibration and fall of the cassette 20 that occurs as the vehicle 500 travels. In addition, the cassette support unit 300 may prevent the door 22 of the cassette 20 from being separated from the cassette 20 and falling, and may detect the separation of the door 22 .

상기 카세트 지지 유닛(300)은 후술하는 제2 지지부재(420) 및 감지 센서들(430)을 제외하면 상기 하우징(210)의 내부의 상기 X축 방향 양측에 각각 구비될 수 있다. The cassette support unit 300 may be provided on both sides of the X-axis direction inside the housing 210 except for a second support member 420 and detection sensors 430 to be described later.

이하에서는 상기 제2 지지부재(420) 및 상기감지 센서들(430)을 제외하고, 상기 하우징(210)의 내부의 상기 X축 방향 일측에 구비되는 하나의 카세트 지지 유닛(300)을 기준으로 설명한다. Hereinafter, with the exception of the second support member 420 and the detection sensors 430 , one cassette support unit 300 provided on one side in the X-axis direction inside the housing 210 will be described. do.

도 2는 도 1에 도시된 카세트 지지 유닛을 설명하기 위한 평면도이고, 도 3은 도 2에 도시된 이동 플레이트와 고정 부재의 연결을 설명하기 위한 확대도이고, 도 4는 도 1에 도시된 카세트 지지 유닛을 설명하기 위한 저면도이고, 도 5 및 6은 도 1에 도시된 카세트 지지 유닛의 동작을 설명하기 위한 평면도 및 저면도이다. Figure 2 is a plan view for explaining the cassette support unit shown in Figure 1, Figure 3 is an enlarged view for explaining the connection of the moving plate and the fixing member shown in Figure 2, Figure 4 is the cassette shown in Figure 1 It is a bottom view for explaining the support unit, and FIGS. 5 and 6 are a plan view and a bottom view for explaining the operation of the cassette support unit shown in FIG. 1 .

도 2 내지 도 6을 추가로 참고하면, 상기 카세트 지지 유닛(300)은 고정 부재(310), 낙하 방지 부재(320), 상기 구동부(330)를 포함한다. 2 to 6 , the cassette support unit 300 includes a fixing member 310 , a fall prevention member 320 , and the driving unit 330 .

상기 고정 부재(310)는 상기 비히클(500)의 내부, 구체적으로 상기 하우징(210)의 내부에 구비된다. 상기 고정 부재(310)는 상기 파지부(240)에 파지된 상기 카세트(20)의 측면을 지지한다. 이때, 상기 고정 부재(310)는 상기 카세트(20)의 측면 하단부를 지지할 수 있다. 따라서, 상기 고정 부재(310)가 상기 카세트(20)를 측면을 지지하므로, 상기 카세트(20)의 진동을 방지할 수 있다. The fixing member 310 is provided inside the vehicle 500 , specifically, inside the housing 210 . The fixing member 310 supports the side of the cassette 20 gripped by the gripper 240 . In this case, the fixing member 310 may support the lower end of the side of the cassette 20 . Accordingly, since the fixing member 310 supports the side of the cassette 20 , vibration of the cassette 20 can be prevented.

일 예로, 상기 고정 부재(310)가 상기 카세트(20)의 측면 중앙을 지지할 수 있다. For example, the fixing member 310 may support the center of the side of the cassette 20 .

다른 예로, 자세히 도시되지는 않았지만, 상기 고정 부재(310)는 한 쌍이 구비되며, 상기 Y축 방향으로 이격되어 상기 카세트(20)의 측면 전후를 각각 지지할 수 있다. 상기 한 쌍의 고정 부재(310)들이 상기 Y축 방향으로 이격되므로, 상기 고정 부재(310)들 사이에 공간이 생긴다. 따라서, 상기 카세트(20)가 회전할 때 상기 고정 부재(310)들 사이를 지날 수 있다. 따라서, 상기 카세트(20)의 회전 반경을 증가시킬 수 있다. 즉, 동일한 위치에서 상기 고정 부재(310)가 상기 카세트(20)의 측면 중앙을 지지할 때보다 상기 고정 부재(310)가 상기 카세트(20)의 측면 전후를 각각 지지하는 경우, 상기 카세트(20)의 회전 반경을 증가시킬 수 있다. As another example, although not shown in detail, a pair of the fixing members 310 may be provided, and may be spaced apart in the Y-axis direction to support front and rear sides of the cassette 20 , respectively. Since the pair of fixing members 310 are spaced apart in the Y-axis direction, a space is created between the fixing members 310 . Accordingly, when the cassette 20 rotates, it may pass between the fixing members 310 . Accordingly, it is possible to increase the rotation radius of the cassette 20 . That is, when the fixing member 310 supports the front and rear sides of the cassette 20, respectively, than when the fixing member 310 supports the center of the side of the cassette 20 at the same position, the cassette 20 ) can be increased.

상기 한 쌍의 고정 부재(310)들이 상기 카세트(20)의 측면 전후를 각각 지지하는 경우, 상기 하우징(210)에 보다 큰 사이즈의 상기 카세트(20)를 수용하여 상기 고정 부재(310)와 간섭없이 회전시킬 수 있다. 따라서, 상기 비히클(500)은 보다 다양한 사이즈의 상기 카세트(20)를 수용하여 이송할 수 있다. When the pair of fixing members 310 respectively support the front and rear sides of the cassette 20 , the cassette 20 of a larger size is accommodated in the housing 210 to interfere with the fixing member 310 . It can be rotated without Accordingly, the vehicle 500 can accommodate and transport the cassette 20 of various sizes.

한편, 상기 고정 부재(310)는 저마찰계수를 갖는 물질로 이루어질 수 있다. 상기 물질의 예로는 테프론, 나일론 등을 들 수 있다. 따라서, 상기 고정 부재(310)들과 상기 카세트(20) 사이의 마찰력을 최소화할 수 있다. 그러므로, 상기 고정 부재(310)와 상기 카세트(20) 사이의 마찰력으로 인한 파티클 발생을 방지할 수 있다. Meanwhile, the fixing member 310 may be made of a material having a low coefficient of friction. Examples of the material include Teflon, nylon, and the like. Accordingly, the frictional force between the fixing members 310 and the cassette 20 may be minimized. Therefore, generation of particles due to friction between the fixing member 310 and the cassette 20 can be prevented.

상기 낙하 방지 부재(320)는 상기 고정 부재(310)의 하부면에 고정된다. 상기 낙하 방지 부재(320)는 상기 카세트(20)의 하부에 배치되어 상기 카세트(20)의 낙하시 상기 카세트(20)의 하부면을 지지한다. 따라서, 상기 카세트(20)가 상기 파지부(240)로부터 분리되더라도 상기 카세트(20)가 낙하하는 것을 방지할 수 있다. The fall prevention member 320 is fixed to the lower surface of the fixing member 310 . The fall prevention member 320 is disposed under the cassette 20 to support the lower surface of the cassette 20 when the cassette 20 is dropped. Accordingly, even when the cassette 20 is separated from the gripper 240 , it is possible to prevent the cassette 20 from falling.

상기 구동부(330)는 상기 고정 부재(310)를 고정 위치와 후퇴 위치 사이에서 왕복 이동시킨다. 예를 들면, 상기 구동부(330)는 상기 고정 부재(310)를 상기 X축 방향을 따라 이동시킨다. The driving unit 330 reciprocates the fixing member 310 between a fixed position and a retracted position. For example, the driving unit 330 moves the fixing member 310 in the X-axis direction.

상기 고정 위치는 상기 고정 부재(310)가 상기 카세트(20)의 측면을 고정하는 위치이다. 상기 후퇴 위치는 상기 카세트(20)가 승강을 통해 상기 하우징(210)에 수용되도록 상기 고정 부재(310)가 상기 고정 위치로부터 후퇴한 위치이다. The fixing position is a position at which the fixing member 310 fixes the side surface of the cassette 20 . The retracted position is a position at which the fixing member 310 is retracted from the fixing position so that the cassette 20 is accommodated in the housing 210 through lifting and lowering.

상기 낙하 방지 부재(320)는 상기 고정 부재(310)에 고정되므로, 상기 구동부(330)에 의해 상기 고정 부재(310)가 이동할 때 상기 낙하 방지 부재(320)도 같이 이동한다. Since the fall prevention member 320 is fixed to the fixing member 310 , when the fixing member 310 moves by the driving unit 330 , the fall prevention member 320 also moves.

상기 카세트 지지 유닛(300)은 베이스 플레이트(340), 이동 플레이트(350), 가이드 부재(360), 연결 부재(370)를 더 포함할 수 있다. The cassette support unit 300 may further include a base plate 340 , a moving plate 350 , a guide member 360 , and a connection member 370 .

상기 베이스 플레이트(340)는 상기 비히클(500)의 내부, 구체적으로 상기 하우징(210)의 내부에서 상기 X축 방향 일측 측면에 고정된다. The base plate 340 is fixed to one side surface in the X-axis direction inside the vehicle 500 , specifically, inside the housing 210 .

상기 이동 플레이트(350)는 상기 베이스 플레이트(340)에 대해 상기 X축 방향을 따라 이동 가능하도록 상기 베이스 플레이트(340)에 적층되어 결합된다. 상기 이동 플레이트(350)는 상기 베이스 플레이트(340)의 하부에 구비되거나 상기 베이스 플레이트(340)의 상부에 구비될 수 있다. The moving plate 350 is laminated and coupled to the base plate 340 so as to be movable along the X-axis direction with respect to the base plate 340 . The moving plate 350 may be provided under the base plate 340 or provided above the base plate 340 .

상기 가이드 부재(360)는 상기 베이스 플레이트(340)와 상기 이동 플레이트(350) 사이에 구비되며, 상기 이동 플레이트(350)의 상기 수평 이동을 가이드한다. 상기 가이드 부재(360)는 상기 베이스 플레이트(340)와 상기 이동 플레이트(350) 사이에서 상기 Y축 방향 양단에 각각 구비될 수 있다. 따라서, 상기 가이드 부재(360)가 상기 이동 플레이트(350)의 상기 X축 방향 이동을 안정적으로 가이드할 수 있다. 또한, 상기 가이드 부재(360)가 회전하는 상기 카세트(20)와 간섭되는 것을 방지할 수 있다. The guide member 360 is provided between the base plate 340 and the moving plate 350 , and guides the horizontal movement of the moving plate 350 . The guide member 360 may be provided at both ends in the Y-axis direction between the base plate 340 and the moving plate 350 , respectively. Accordingly, the guide member 360 may stably guide the movement of the moving plate 350 in the X-axis direction. In addition, it is possible to prevent the guide member 360 from interfering with the rotating cassette 20 .

상기 연결 부재(370)는 상기 이동 플레이트(350)와 상기 고정 부재(310)들을 연결한다. The connecting member 370 connects the moving plate 350 and the fixing member 310 to each other.

상기 연결 부재(370)는 고정 핀(372) 및 코일 스프링(374)을 포함한다. The connecting member 370 includes a fixing pin 372 and a coil spring 374 .

상기 고정 핀(372)은 상기 이동 플레이트(350)의 표면으로부터 돌출된 돌출부(352)를 관통하여 상기 고정 부재(310)에 고정된다. 이때 상기 고정 핀(372)은 돌출부(352)에 대해 이동 가능하도록 구비된다. 단, 상기 고정 핀(372)은 상기 고정 부재(310)에 고정된 단부와 반대되는 단부에 걸림턱이 형성된다. 그러므로, 상기 고정 핀(372)이 돌출부(352)로부터 상기 고정 부재(310)가 고정된 방향으로 이탈되는 것을 방지할 수 있다. The fixing pin 372 passes through the protrusion 352 protruding from the surface of the moving plate 350 and is fixed to the fixing member 310 . At this time, the fixing pin 372 is provided to be movable with respect to the protrusion 352 . However, the fixing pin 372 has a locking protrusion formed at an end opposite to the end fixed to the fixing member 310 . Therefore, it is possible to prevent the fixing pin 372 from being separated from the protrusion 352 in the fixing direction of the fixing member 310 .

상기 코일 스프링(374)은 상기 이동 플레이트(350)의 돌출부(352)와 상기 고정 부재(310) 사이에 상기 고정 핀(372)을 감싸도록 구비된다. 상기 고정 부재(310)가 상기 카세트(20)와 접촉할 때, 상기 고정 핀(372)이 돌출부(352)에 대해 이동하면서 상기 코일 스프링(374)이 수축할 수 있다. 따라서, 상기 코일 스프링(374)은 상기 고정 부재(310)가 상기 카세트(20)와 접촉할 때 발생하는 충격을 감소시킬 수 있다. The coil spring 374 is provided to surround the fixing pin 372 between the protrusion 352 of the moving plate 350 and the fixing member 310 . When the fixing member 310 comes into contact with the cassette 20 , the coil spring 374 may contract while the fixing pin 372 moves with respect to the protrusion 352 . Accordingly, the coil spring 374 may reduce an impact generated when the fixing member 310 comes into contact with the cassette 20 .

한편, 상기 구동부(330)는 상기 베이스 플레이트(340)에 장착되며, 상기 이동 플레이트(350)를 상기 X축 방향을 따라 이동시켜 상기 고정 부재(310)들을 상기 고정 위치와 상기 후퇴 위치 사이에서 왕복 이동시킨다. Meanwhile, the driving unit 330 is mounted on the base plate 340 and moves the moving plate 350 in the X-axis direction to reciprocate the fixing members 310 between the fixed position and the retracted position. move it

구체적으로, 상기 구동부(330)는 스텝 모터(332), 벨트(334), 볼 스크류(336), 연결 블록(338)을 포함한다. Specifically, the driving unit 330 includes a step motor 332 , a belt 334 , a ball screw 336 , and a connection block 338 .

상기 스텝 모터(332)는 상기 베이스 플레이트(340)에 장착되며, 상기 이동 플레이트(350)를 이동시키기 위한 회전력을 제공한다. 상기 스텝 모터(332)는 상기 이동 플레이트(350)의 이동 거리에 따라 일정한 각도만큼 단계적으로 회전할 수 있다. The step motor 332 is mounted on the base plate 340 and provides a rotational force for moving the moving plate 350 . The step motor 332 may rotate stepwise by a predetermined angle according to the moving distance of the moving plate 350 .

상기 벨트(334)를 모터(332)의 회전력을 상기 볼 스크류(336)로 전달할 수 있다. The belt 334 may transmit the rotational force of the motor 332 to the ball screw 336 .

상기 볼 스크류(336)는 상기 베이스 플레이트(340)의 상기 전후 방향 양단 중 어느 하나에 구비될 수 있다. 따라서, 상기 볼 스크류(336)가 회전하는 상기 카세트(20)와 간섭되는 것을 방지할 수 있다. The ball screw 336 may be provided at either end of the base plate 340 in the front-rear direction. Accordingly, it is possible to prevent the ball screw 336 from interfering with the rotating cassette 20 .

상기 볼 스크류(336)는 상기 벨트(334)를 통해 전달되는 회전력에 의해 스크류 축이 회전하고, 상기 스크류 축의 회전에 따라 너트가 직선 이동한다. In the ball screw 336 , the screw shaft rotates by the rotational force transmitted through the belt 334 , and the nut linearly moves according to the rotation of the screw shaft.

상기 연결 블록(338)은 상기 볼 스크류(336)의 너트와 상기 이동 플레이트(350)를 연결한다. 따라서, 상기 너트가 직선 이동에 따라 상기 이동 플레이트(350)도 상기 너트와 같이 직선 이동한다. The connecting block 338 connects the nut of the ball screw 336 and the moving plate 350 . Accordingly, as the nut moves in a straight line, the moving plate 350 also moves in a straight line like the nut.

한편, 상기 구동부(330)가 상기 베이스 플레이트(340)와 상기 이동 플레이트(350)가 적층된 상태에서 상기 베이스 플레이트(340)에 대해 상기 이동 플레이트(350)를 상기 X축 방향을 따라 이동시킬 수 있다면, 상기 구동부(330)는 다양한 형태로 변경될 수 있다. Meanwhile, the driving unit 330 may move the moving plate 350 in the X-axis direction with respect to the base plate 340 in a state in which the base plate 340 and the moving plate 350 are stacked. If there is, the driving unit 330 may be changed in various forms.

상기 베이스 플레이트(340)와 상기 이동 플레이트(350)가 적층된 상태에서 상기 구동부(330)가 상기 베이스 플레이트(340)에 대해 상기 이동 플레이트(350)를 상기 X축 방향을 따라 이동시킬 수 있다. 그러므로, 상기 하우징(210) 내의 좁은 공간에서 상기 고정 부재(310)를 이동시킬 수 있다. In a state in which the base plate 340 and the moving plate 350 are stacked, the driving unit 330 may move the moving plate 350 with respect to the base plate 340 in the X-axis direction. Therefore, the fixing member 310 may be moved in a narrow space within the housing 210 .

상기 카세트 지지 유닛(300)은 다수의 위치 센서(380)들을 더 포함할 수 있다. The cassette support unit 300 may further include a plurality of position sensors 380 .

상기 위치 센서(380)들은 상기 베이스 플레이트(340)에 상기 X축 방향을 따라 구비될 수 있다. 상기 카세트(20)의 사이즈가 달라지면, 상기 고정 부재(310)들의 고정 위치가 가변된다. 따라서, 상기 위치 센서(380)들은 상기 다수의 고정 위치들과 상기 후퇴 위치 사이의 간격만큼 이격될 수 있다. The position sensors 380 may be provided on the base plate 340 along the X-axis direction. When the size of the cassette 20 is changed, the fixing positions of the fixing members 310 are changed. Accordingly, the position sensors 380 may be spaced apart by an interval between the plurality of fixed positions and the retracted position.

상기 고정 부재(310)들은 상기 베이스 플레이트(340)로부터 상기 X축 방향으로 이격되어 있으므로, 상기 위치 센서(380)들이 상기 고정 부재(310)들을 직접 감지하기 어렵다. 따라서, 상기 위치 센서(380)들이 상기 이동 플레이트(350)의 위치를 감지하여 상기 고정 부재(310)들의 위치를 확인할 수 있다. Since the fixing members 310 are spaced apart from the base plate 340 in the X-axis direction, it is difficult for the position sensors 380 to directly sense the fixing members 310 . Accordingly, the position sensors 380 may detect the position of the moving plate 350 to confirm the positions of the fixing members 310 .

한편, 상기 위치 센서(380)들은 상기 연결 블록(338)의 위치를 감지하거나, 상기 가이드 부재(360)에서 슬라이더의 위치를 감지하여 상기 고정 부재(310)들의 위치를 확인할 수도 있다. Meanwhile, the position sensors 380 may detect the position of the connection block 338 or detect the position of the slider on the guide member 360 to confirm the positions of the fixing members 310 .

상기 위치 센서(380)들이 상기 고정 부재(310)들의 고정 위치들과 후퇴 위치를 정확하게 감지할 수 있도록 상기 베이스 플레이트(340)에 구비되는 경우, 상기 구동부(330)의 상기 스텝 모터(332)와 상기 위치 센서(380)들을 이용하여 여러 사이즈의 상기 카세트(20)를 지지할 수 있도록 카세트 지지 유닛(300)의 스트로크를 정확하게 구현할 수 있다. When the position sensors 380 are provided on the base plate 340 to accurately detect the fixed positions and the retracted positions of the fixing members 310 , the step motor 332 of the driving unit 330 and The stroke of the cassette support unit 300 can be accurately implemented to support the cassette 20 of various sizes using the position sensors 380 .

상기 카세트 지지 유닛(300)은 제1 지지부재(400) 및 링크 구조물(410)을 더 포함할 수 있다. The cassette support unit 300 may further include a first support member 400 and a link structure 410 .

상기 제1 지지부재(400)는 상기 하우징(210)의 내부에 구비되며, 상기 카세트(20)의 도어(22)의 하부에 배치될 수 있다. 상기 제1 지지부재(400)는 대략 갈고리 형상을 갖거나 걸림턱을 가질 수 있다. 상기 카세트(20)로부터 상기 도어(22)의 하부가 먼저 분리되어 낙하하는 경우, 상기 제1 지지부재(400)는 상기 도어(22)를 지지할 수 있다. The first support member 400 is provided inside the housing 210 and may be disposed under the door 22 of the cassette 20 . The first support member 400 may have a substantially hook shape or may have a locking protrusion. When the lower portion of the door 22 is first separated from the cassette 20 and falls, the first support member 400 may support the door 22 .

상기 제1 지지부재(400)가 갈고리 형상을 갖거나 상기 걸림턱을 가지므로, 상기 도어(22)가 상기 제1 지지부재(400)로부터 이탈하는 것을 방지할 수 있다. Since the first support member 400 has a hook shape or has the locking jaw, it is possible to prevent the door 22 from being separated from the first support member 400 .

따라서, 상기 도어(22)의 낙하를 방지할 수 있고, 상기 도어(22)의 낙하로 인한 손상이나 파손을 방지할 수 있다. Accordingly, it is possible to prevent the door 22 from falling, and damage or damage due to the falling of the door 22 can be prevented.

상기 구동부(330)는 상기 제1 지지부재(400)를 지지 위치와 후퇴 위치 사이에서 왕복 이동시킨다. 예를 들면, 상기 구동부(330)는 상기 제1 지지부재(400)를 상기 X축 방향을 따라 이동시킨다. The driving unit 330 reciprocates the first supporting member 400 between the supporting position and the retracted position. For example, the driving unit 330 moves the first support member 400 along the X-axis direction.

상기 지지 위치는 상기 제1 지지부재(400)가 상기 낙하하는 도어(22)를 지지하는 위치이다. 상기 후퇴 위치는 상기 카세트(20)가 승강을 통해 상기 하우징(210)에 수용되도록 상기 제1 지지부재(400)가 상기 지지 위치로부터 후퇴한 위치이다. The supporting position is a position at which the first supporting member 400 supports the falling door 22 . The retracted position is a position at which the first support member 400 is retracted from the supporting position so that the cassette 20 is accommodated in the housing 210 through elevating.

상기 링크 구조물(410)은 상기 제1 지지부재(400)를 왕복 이동을 위해 상기 제1 지지부재(400)를 상기 베이스 플레이트(340) 및 상기 이동 플레이트(350)에 연결한다. The link structure 410 connects the first support member 400 to the base plate 340 and the moving plate 350 for reciprocating movement of the first support member 400 .

상기 링크 구조물(410)은 대략 4절 링크 형태를 가지며, 주동절(412), 종동절(414) 및 연결봉(416)을 포함할 수 있다. The link structure 410 has an approximately four-bar linkage shape, and may include a main node 412 , a follower node 414 , and a connecting rod 416 .

상기 주동절(412)의 일단부는 상기 베이스 플레이트(340)에 회전 가능하도록 링크 결합된다. 상기 주동절(412)의 중단부는 상기 이동 플레이트(350)에 회전 가능하도록 링크 결합된다.One end of the main stem 412 is rotatably linked to the base plate 340 . The middle part of the main stem 412 is rotatably linked to the moving plate 350 .

상기 종동절(414)의 일단부는 상기 베이스 플레이트(340)에 회전 가능하도록 링크 결합된다.One end of the follower 414 is rotatably linked to the base plate 340 .

상기 연결봉(416)의 일단부가 상기 종동절(414)의 타단부와 회전 가능하도록 링크 결합된다. 상기 연결봉(416)의 중단부가 상기 주동절(412)의 타단부와 회전 가능하도록 링크 결합된다. 상기 연결봉(416)의 타단부에 상기 제1 지지부재(400)가 고정될 수 있다.One end of the connecting rod 416 is rotatably linked to the other end of the follower 414 . The middle part of the connecting rod 416 is rotatably linked with the other end of the main shaft 412 . The first support member 400 may be fixed to the other end of the connecting rod 416 .

상기 구동부(330)가 상기 베이스 플레이트(340)에 대해 상기 이동 플레이트(350)를 상기 X축 방향을 따라 왕복 이동시킴으로써 상기 링크 구조물(410)에 고정된 상기 제1 지지부재(400)가 상기 지지 위치와 상기 후퇴 위치 사이에서 왕복 이동할 수 있다. The first support member 400 fixed to the link structure 410 is supported by the driving unit 330 reciprocating the moving plate 350 with respect to the base plate 340 in the X-axis direction. It is capable of reciprocating between the position and the retracted position.

또한, 상기 구동부(330)에 상기 고정 부재(310), 상기 낙하 방지 부재(320) 및 상기 제1 지지부재(400)가 동시에 이동할 수 있다. In addition, the fixing member 310 , the fall prevention member 320 , and the first support member 400 may simultaneously move to the driving unit 330 .

상기 카세트 지지 유닛(300)은 상기 제2 지지부재(420) 및 상기 감지 센서들(430)을 더 포함할 수 있다. The cassette support unit 300 may further include the second support member 420 and the detection sensors 430 .

상기 제2 지지부재(420)는 상기 비히클(500)의 내부에 구비된다. 예를 들면, 상기 제2 지지부재(420)는 이동부(220)에 고정되며, 하방으로 연장할 수 있다. 따라서, 상기 제2 지지부재(420)는 상기 도어(22)의 상부 전면에 배치될 수 있다. The second support member 420 is provided inside the vehicle 500 . For example, the second support member 420 is fixed to the moving part 220 and may extend downward. Accordingly, the second support member 420 may be disposed on the upper front surface of the door 22 .

상기 제2 지지부재(420)는 상기 도어(22)와 이격될 수 있다. 따라서, 상기 제2 지지부재(420)는 상기 카세트(20)의 승강을 방해하지 않을 수 있다. The second support member 420 may be spaced apart from the door 22 . Accordingly, the second support member 420 may not interfere with the elevation of the cassette 20 .

상기 제2 지지부재(420)는 상기 카세트(20)로부터 상기 도어(22)의 상부가 먼저 분리될 때 상기 도어(22)의 상부를 지지한다. 따라서, 상기 도어(22)의 낙하를 방지할 수 있고, 상기 도어(22)의 낙하로 인한 손상이나 파손을 방지할 수 있다. The second support member 420 supports the upper portion of the door 22 when the upper portion of the door 22 is first separated from the cassette 20 . Accordingly, it is possible to prevent the door 22 from falling, and damage or damage due to the falling of the door 22 can be prevented.

상기 한 쌍의 감지 센서들(430)은 상기 비히클(500)의 내부, 구체적으로, 상기 하우징(210)에서 상기 개방된 일측면의 상기 X축 방향 양측에 각각 구비될 수 있다. 상기 감지 센서들(430)은 상기 도어(22)가 상기 카세트(20)로부터 분리되는 것을 감지할 수 있다. 또한, 상기 감지 센서들(430)은 상기 제1 지지부재(400) 및 상기 제2 지지부재(420)에 지지된 도어(22)를 감지할 수도 있다. The pair of detection sensors 430 may be provided inside the vehicle 500 , specifically, on both sides of the open side of the housing 210 in the X-axis direction. The detection sensors 430 may detect that the door 22 is separated from the cassette 20 . Also, the detection sensors 430 may detect the door 22 supported by the first support member 400 and the second support member 420 .

상기 감지 센서들(430)은 발광 센서(432) 및 수광 센서(434)를 포함할 수 있다. The detection sensors 430 may include a light emitting sensor 432 and a light receiving sensor 434 .

상기 발광 센서(432)는 상기 수광 센서(434)를 향해 광을 조사하고, 상기 수광 센서(434)는 상기 발광 센서(432)에서 조사된 광을 수신한다. 상기 수광 센서(434)의 수광 여부에 따라 상기 도어(22)의 분리 여부를 감지할 수 있다. The light emitting sensor 432 irradiates light toward the light receiving sensor 434 , and the light receiving sensor 434 receives the light irradiated from the light emitting sensor 432 . Whether or not the door 22 is separated may be detected according to whether the light receiving sensor 434 receives light.

상기 감지 센서들(430), 즉, 상기 발광 센서(432) 및 상기 수광 센서(434)는 서로 다른 높이에 배치될 수 있다. 따라서, 상기 발광 센서(432)가 상기 하우징(210)의 상기 개방된 일측면에서 사선 방향으로 상기 광을 조사할 수 있다. The detection sensors 430 , that is, the light emitting sensor 432 and the light receiving sensor 434 may be disposed at different heights. Accordingly, the light emitting sensor 432 may irradiate the light in an oblique direction from the open side of the housing 210 .

그러므로, 상기 감지 센서들(430)은 상기 도어(22)의 하부가 상기 카세트(20)로부터 분리되는 경우 및 상기 도어(22)의 상부가 상기 카세트(20)로부터 분리되는 경우를 동시에 감지할 수 있다. Therefore, the detection sensors 430 can simultaneously detect when the lower part of the door 22 is separated from the cassette 20 and when the upper part of the door 22 is separated from the cassette 20 . have.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 카세트 지지 유닛 및 이를 갖는 비히클은 상기 카세트의 진동과 낙하를 방지하고, 상기 도어의 낙하를 방지할 수 있다. 따라서, 상기 카세트의 이송 안정성을 향상시킬 수 있다. As described above, the cassette support unit and the vehicle having the same according to the present invention can prevent vibration and fall of the cassette and prevent the door from falling. Therefore, the transport stability of the cassette can be improved.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to the preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the following claims. You will understand that you can.

100 : 주행 유닛 110 : 주행 롤러
200 : 이송 유닛 210 : 하우징
220 : 이동부 230 : 승강부
240 : 파지부 300 : 카세트 지지 유닛
310 : 고정 부재 320 : 낙하 방지 부재
330 : 구동부 340 : 베이스 플레이트
350 : 이동 플레이트 360 : 가이드 부재
370 : 연결 부재 380 : 위치 센서
400 : 제1 지지부재 410 : 링크 구조물
420 : 제2 지지부재 430 : 감지 센서
500 : 비히클 10 : 주행 레일
20 : 카세트100: traveling unit 110: traveling roller
200: transfer unit 210: housing
220: moving unit 230: elevating unit
240: grip unit 300: cassette support unit
310: fixed member 320: fall prevention member
330: driving unit 340: base plate
350: moving plate 360: guide member
370: connection member 380: position sensor
400: first support member 410: link structure
420: second support member 430: detection sensor
500: vehicle 10: running rail
20: cassette

Claims (14)

천장의 주행 레일을 따라 X축 방향으로 주행하며 하부면과 Y축 방향 일측면이 개방되는 비히클의 내부에 구비되며, 상기 비히클에 파지된 카세트의 도어의 하부에 배치되어 상기 도어의 낙하시 상기 도어를 지지하는 한 쌍의 제1 지지부재들; 및
상기 비히클의 내부에서 상기 X축 방향 양측에 각각 배치되며, 상기 제1 지지부재들이 상기 도어를 지지하는 지지위치와 상기 카세트가 상기 비히클에 수용되도록 상기 지지위치로부터 후퇴한 후퇴 위치 사이에서 상기 제1 지지부재들을 상기 X축 방향을 따라 왕복 이동시키는 한 쌍의 구동부들을 포함하고,
상기 비히클의 내부에서 상기 X축 방향 양측에 각각 고정되며, 상기 구동부들이 각각 장착되는 한 쌍의 베이스 플레이트들;
상기 베이스 플레이트들에 대해 상기 X축 방향을 따라 이동 가능하도록 상기 베이스 플레이트들에 각각 적층되어 결합되는 한 쌍의 이동 플레이트들; 및
주동절이 상기 베이스 플레이트 및 상기 이동 플레이트에 각각 링크 결합되고, 종동절이 상기 베이스 플레이트에 링크 결합되고, 상기 주동절과 상기 종동절을 연결하는 연결봉의 단부에 상기 제1 지지부재들이 각각 고정되는 한 쌍의 링크 구조물을 더 포함하고,
상기 구동부들이 상기 이동 플레이트들을 상기 베이스 플레이트들에 대해 각각 상기 X축 방향을 따라 왕복 이동시킴으로써 상기 제1 지지부재들을 상기 지지위치와 상기 후퇴 위치 사이를 이동시키고,
상기 비히클의 내부에 구비되며, 상기 비히클에 파지된 카세트의 상기 X축 방향 양측면 각각 고정하여 상기 카세트의 진동을 방지하는 한 쌍의 고정부재들을 더 포함하며,
상기 고정 부재들은 상기 이동 플레이트들에 각각 고정되고,
상기 이동 플레이트들을 각각 관통하여 상기 고정 부재들에 각각 고정되는 한 쌍의 고정 핀들에 의해 상기 이동 플레이트들과 상기 고정 부재들이 고정되며,
상기 고정 부재들이 상기 카세트와 접촉할 때 발생하는 충격을 감소시키기 위해 상기 이동 플레이트들과 상기 고정 부재들 사이에 상기 고정 핀들을 각각 감싸는 한 쌍의 코일 스프링들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 지지 유닛. It runs along the running rail of the ceiling in the X-axis direction and is provided inside the vehicle in which the lower surface and one side in the Y-axis direction are opened, and is disposed under the door of the cassette held by the vehicle and the door is dropped when the door is dropped. A pair of first support members for supporting the; and
The first support members are respectively disposed on both sides of the X-axis direction inside the vehicle, and between a support position in which the first support members support the door and a retraction position in which the cassette is retracted from the support position so that the cassette is accommodated in the vehicle. A pair of driving units for reciprocating the support members along the X-axis direction,
a pair of base plates respectively fixed to both sides in the X-axis direction inside the vehicle and to which the driving units are mounted;
a pair of moving plates stacked and coupled to the base plates to be movable along the X-axis direction with respect to the base plates; and
As long as the main joint is link-coupled to the base plate and the moving plate, respectively, the follower is link-coupled to the base plate, and the first support members are respectively fixed to the ends of the connecting rods connecting the main joint and the driven joint. Further comprising a pair of link structures,
The driving units move the first supporting members between the supporting position and the retracted position by reciprocating the moving plates with respect to the base plates in the X-axis direction, respectively,
It is provided inside the vehicle and further comprises a pair of fixing members for preventing vibration of the cassette by fixing both sides of the cassette held in the vehicle in the X-axis direction, respectively,
The fixing members are respectively fixed to the moving plates,
The movable plates and the fixing members are fixed by a pair of fixing pins that pass through the movable plates and are respectively fixed to the fixing members,
Cassette support unit, characterized in that it further comprises a pair of coil springs respectively surrounding the fixing pins between the moving plates and the fixing members to reduce an impact generated when the fixing members come into contact with the cassette. . 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 구동부들은 상기 고정부재들을 상기 카세트의 양측면을 고정하는 고정 위치와, 상기 카세트가 상기 비히클에 수용되도록 상기 고정 위치로부터 후퇴한 후퇴 위치 사이에서 상기 고정 부재들을 상기 X축 방향을 따라 왕복 이동시키는 것을 특징으로 하는 카세트 지지 유닛. The X-axis direction of claim 1, wherein the driving units move the fixing members between a fixing position for fixing both side surfaces of the cassette and a retracted position where the cassette is retracted from the fixing position so that the cassette is accommodated in the vehicle. Cassette support unit, characterized in that the reciprocating movement along the. 제3항에 있어서, 상기 구동부들은 상기 제1 지지부재들과 상기 고정 부재들을 동시에 왕복 이동시키는 것을 특징으로 하는 카세트 지지 유닛.The cassette support unit according to claim 3, wherein the driving units reciprocate the first support members and the fixing members at the same time. 제3항에 있어서, 상기 고정 부재들의 하부면에 각각 고정되고, 상기 카세트의 하부에 배치되어 상기 카세트가 낙하시 상기 카세트의 하부면을 지지하는 한 쌍의 낙하 방지 부재들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 지지 유닛.4. The method of claim 3, wherein each of the fixing members is fixed to the lower surface, the lower portion of the cassette is further comprising a pair of anti-fall members to support the lower surface of the cassette when the cassette falls. Cassette support unit. 제3항에 있어서, 상기 구동부들은 상기 이동 플레이트들을 상기 X축 방향을 따라 이동시켜 상기 고정 부재들을 상기 왕복 이동시키는 것을 특징으로 하는 카세트 지지 유닛. The cassette support unit according to claim 3, wherein the driving units move the moving plates in the X-axis direction to reciprocate the fixing members. 삭제delete 제6항에 있어서, 상기 베이스 플레이트들에 구비되며, 상기 고정 부재들의 위치를 확인하기 위해 상기 이동 플레이트들의 위치를 감지하기 위한 다수의 위치 센서들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 지지 유닛. [Claim 7] The cassette support unit according to claim 6, further comprising a plurality of position sensors provided on the base plates to detect positions of the moving plates to confirm positions of the fixing members. 제3항에 있어서, 상기 고정 부재들과 상기 카세트 사이의 마찰력으로 인한 파티클 발생을 방지하기 위해 상기 고정 부재들은 저마찰계수를 갖는 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 카세트 지지 유닛. The cassette support unit according to claim 3, wherein the fixing members are made of a material having a low coefficient of friction in order to prevent generation of particles due to frictional force between the fixing members and the cassette. 제1항에 있어서, 상기 비히클의 내부에 구비되고, 상기 도어의 상부 전면에 배치되어 상기 도어의 상부가 상기 카세트로부터 분리될 때 상기 도어의 상부를 지지하는 제2 지지부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 지지 유닛. The method of claim 1, further comprising a second support member provided inside the vehicle and disposed on the upper front surface of the door to support the upper portion of the door when the upper portion of the door is separated from the cassette. Cassette support unit with 제10항에 있어서, 상기 비히클의 내부에서 상기 개방된 일측면의 상기 X축 방향 양측에 각각 구비되고, 상기 도어가 상기 카세트로부터 분리되는 것을 감지하는 한 쌍의 감지 센서들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 지지 유닛.The method according to claim 10, further comprising a pair of detection sensors provided on both sides of the open side of the vehicle in the X-axis direction to detect separation of the door from the cassette. Cassette support unit. 제11항에 있어서, 상기 도어의 하부가 상기 카세트로부터 분리되는 경우 및 상기 도어의 상부가 상기 카세트로부터 분리되는 경우를 동시에 감지하기 위해 상기 센서들은 서로 다른 높이에 배치되는 것을 특징으로 하는 카세트 지지 유닛. 12. The cassette support unit according to claim 11, wherein the sensors are disposed at different heights to simultaneously detect when the lower part of the door is separated from the cassette and when the upper part of the door is separated from the cassette. . 제12항에 있어서, 상기 한 쌍의 센서들은 발광 센서 및 수광 센서로 이루어지는 것을 특징으로 하는 카세트 지지 유닛. The cassette support unit according to claim 12, wherein the pair of sensors comprises a light emitting sensor and a light receiving sensor. 천장의 주행 레일을 따라 X축 방향으로 주행하는 주행 유닛:
상기 주행 유닛과 연결되고, 하부면과 Y축 방향 일측면이 개방되며 내부에 카세트를 파지하여 이송하는 이송 유닛: 및
상기 이송 유닛의 내부 구비되며, 상기 카세트의 도어의 하부에 배치되어 상기 도어의 낙하시 상기 도어를 지지하는 한 쌍의 제1 지지부재들 및 상기 이송 유닛의 내부에서 상기 X축 방향 양측에 각각 배치되며, 상기 제1 지지부재들이 상기 도어를 지지하는 지지위치와 상기 카세트가 상기 이송 유닛에 수용되도록 상기 지지위치로부터 후퇴한 후퇴 위치 사이에서 상기 제1 지지부재들을 상기 X축 방향을 따라 왕복 이동시키는 한 쌍의 구동부들로 이루어지는 카세트 지지 유닛을 포함하고,
상기 이송 유닛의 내부에서 상기 X축 방향 양측에 각각 고정되며, 상기 구동부들이 각각 장착되는 한 쌍의 베이스 플레이트들;
상기 베이스 플레이트들에 대해 상기 X축 방향을 따라 이동 가능하도록 상기 베이스 플레이트들에 각각 적층되어 결합되는 한 쌍의 이동 플레이트들; 및
주동절이 상기 베이스 플레이트 및 상기 이동 플레이트에 각각 링크 결합되고, 종동절이 상기 베이스 플레이트에 링크 결합되고, 상기 주동절과 상기 종동절을 연결하는 연결봉의 단부에 상기 제1 지지부재들이 각각 고정되는 한 쌍의 링크 구조물을 더 포함하고,
상기 구동부들이 상기 이동 플레이트들을 상기 베이스 플레이트들에 대해 각각 상기 X축 방향을 따라 왕복 이동시킴으로써 상기 제1 지지부재들을 상기 지지위치와 상기 후퇴 위치 사이를 이동시키고,
상기 이송 유닛의 내부에 구비되며, 상기 이송 유닛에 파지된 카세트의 상기 X축 방향 양측면 각각 고정하여 상기 카세트의 진동을 방지하는 한 쌍의 고정부재들을 더 포함하며,
상기 고정 부재들은 상기 이동 플레이트들에 각각 고정되고,
상기 이동 플레이트들을 각각 관통하여 상기 고정 부재들에 각각 고정되는 한 쌍의 고정 핀들에 의해 상기 이동 플레이트들과 상기 고정 부재들이 고정되며,
상기 고정 부재들이 상기 카세트와 접촉할 때 발생하는 충격을 감소시키기 위해 상기 이동 플레이트들과 상기 고정 부재들 사이에 상기 고정 핀들을 각각 감싸는 한 쌍의 코일 스프링들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클. Travel units traveling in the X-axis direction along the traveling rails on the ceiling:
A transfer unit connected to the traveling unit, the lower surface and one side in the Y-axis direction are opened, and the cassette is gripped and transferred therein: And
A pair of first support members provided inside the transfer unit, disposed under the door of the cassette to support the door when the door is dropped, and disposed on both sides in the X-axis direction inside the transfer unit and reciprocally moving the first support members along the X-axis direction between a support position in which the first support members support the door and a retracted position retracted from the support position so that the cassette is accommodated in the transfer unit. Comprising a cassette support unit consisting of a pair of driving units,
a pair of base plates respectively fixed to both sides in the X-axis direction inside the transfer unit and to which the driving units are mounted;
a pair of moving plates stacked and coupled to the base plates to be movable along the X-axis direction with respect to the base plates; and
As long as the main joint is link-coupled to the base plate and the moving plate, respectively, the follower joint is link-coupled to the base plate, and the first support members are respectively fixed to the ends of the connecting rods connecting the main joint and the driven joint. Further comprising a pair of link structures,
The driving units move the first supporting members between the supporting position and the retracted position by reciprocating the moving plates with respect to the base plates in the X-axis direction, respectively,
Further comprising a pair of fixing members provided inside the transfer unit and fixing both sides of the cassette held by the transfer unit in the X-axis direction to prevent vibration of the cassette,
The fixing members are respectively fixed to the moving plates,
The movable plates and the fixing members are fixed by a pair of fixing pins that pass through the movable plates and are respectively fixed to the fixing members,
and a pair of coil springs respectively surrounding the fixing pins between the moving plates and the fixing members to reduce an impact generated when the fixing members come into contact with the cassette.
KR1020190059652A 2019-05-21 2019-05-21 Unit for supporting cassette and vehicle having the same KR102264857B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190059652A KR102264857B1 (en) 2019-05-21 2019-05-21 Unit for supporting cassette and vehicle having the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190059652A KR102264857B1 (en) 2019-05-21 2019-05-21 Unit for supporting cassette and vehicle having the same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20200134079A KR20200134079A (en) 2020-12-01
KR102264857B1 true KR102264857B1 (en) 2021-06-14

Family

ID=73790599

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020190059652A KR102264857B1 (en) 2019-05-21 2019-05-21 Unit for supporting cassette and vehicle having the same

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102264857B1 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113097112B (en) * 2021-03-25 2024-05-17 北京北方华创微电子装备有限公司 Closed type film box
KR102630038B1 (en) * 2022-04-05 2024-01-25 시너스텍 주식회사 Falling Prevention unit for SMIF POD of OHT device

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018142811A1 (en) * 2017-02-06 2018-08-09 村田機械株式会社 Overhead conveyance vehicle

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003165687A (en) * 2001-11-30 2003-06-10 Murata Mach Ltd Ceiling conveying vehicle
JP5035415B2 (en) * 2008-05-22 2012-09-26 村田機械株式会社 Ceiling transport vehicle
JP6794946B2 (en) * 2017-07-11 2020-12-02 株式会社ダイフク Goods carrier

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018142811A1 (en) * 2017-02-06 2018-08-09 村田機械株式会社 Overhead conveyance vehicle

Also Published As

Publication number Publication date
KR20200134079A (en) 2020-12-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102202077B1 (en) Vehicle for Overhead Hoist Transport device
KR102289021B1 (en) Unit for supporting cassette and vehicle having the unit
JP5259693B2 (en) Workpiece transfer device
KR100740955B1 (en) Substrate transport and substrate transport method
KR102264857B1 (en) Unit for supporting cassette and vehicle having the same
KR101433516B1 (en) Apparatus and Method for transferring substrate and tray to transfer the substrate
CN110234582B (en) Overhead carrying vehicle
KR102184615B1 (en) Transport device
KR20210128784A (en) Unit for fixing cassette and vehicle having the same
WO2008024520A2 (en) Conveyor transfer system
KR20180127400A (en) Substrate transfer hand and robot
KR101725871B1 (en) Gripper unit for overhead hoist transport
KR101227722B1 (en) Apparatus for picking up semiconductor devices
KR101544285B1 (en) Apparatus for transferring substrate and apparatus for inspecting substrate including the same
JP5024337B2 (en) Transport system and storage device
KR102264860B1 (en) Hand unit, vehicle having the same, and method of fixing object using the same
KR20220091112A (en) Vehicle
KR101273607B1 (en) Tray transferring system
KR102247036B1 (en) Unit for supporting cassette and vehicle having the unit
KR101285988B1 (en) Prealigner
KR102597834B1 (en) Industrial robot
CN113035764B (en) Wafer centering device
KR102252735B1 (en) Hand unit and vehicle having the same
KR102119230B1 (en) Press appratus
KR19990024052A (en) ELCD cassette transportation transportation truck

Legal Events

Date Code Title Description
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
AMND Amendment
E90F Notification of reason for final refusal
AMND Amendment
X701 Decision to grant (after re-examination)
GRNT Written decision to grant