KR102630038B1 - Falling Prevention unit for SMIF POD of OHT device - Google Patents

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Abstract

본 발명은 OHT 장치에서 웨이퍼 캐리어의 낙하를 방지하기 위한 것으로, 웨이퍼 캐리어 중 SMIF 포드의 이송 중에 흔들림이나 낙하 없이 안정적으로 제품 이송을 가능하게 하는 OHT 장치의 SMIF 포드용 낙하 방지 유닛에 관한 것이다.
이와 같은 목적을 해결하기 위해 본 발명은; OHT 장치에 결합되며, 상기 OHT 장치를 통해 운반되는 SMIF 포드(11)의 받침공간(s)을 제공하는 프레임 부재(100)와; 상기 받침공간(s)의 양측에서 한 쌍의 받침대(210)가 직선 이동 가능하게 마련되며, 상기 한 쌍의 받침대(210)의 직선 이동을 통해 상기 받침공간(s)에 위치된 SMIF 포드(11)의 받침 기능을 수행하는 받침 부재(200);를 포함하여 구성된다.The present invention is intended to prevent the wafer carrier from falling in an OHT device, and relates to a drop prevention unit for the SMIF pod of the OHT device that enables stable product transfer without shaking or falling during the transfer of the SMIF pod among the wafer carriers.
In order to solve this purpose, the present invention; A frame member (100) coupled to the OHT device and providing a support space (s) for the SMIF pod (11) transported through the OHT device; A pair of pedestals 210 are provided on both sides of the pedestal space s to enable linear movement, and the SMIF pod 11 is positioned in the pedestal space s through the linear movement of the pair of pedestals 210. ) and a support member 200 that performs the support function.

Description

OHT 장치의 SMIF 포드용 낙하 방지 유닛{Falling Prevention unit for SMIF POD of OHT device}Falling Prevention unit for SMIF POD of OHT device}

본 발명은 OHT 장치에서 웨이퍼 캐리어의 낙하를 방지하기 위한 것으로, 웨이퍼 캐리어 중 SMIF 포드의 이송 과정에서 흔들림이나 낙하 없이 안정적으로 제품 이송을 가능하게 하는 OHT 장치의 SMIF 포드용 낙하 방지 유닛에 관한 것이다.The present invention is intended to prevent the wafer carrier from falling in an OHT device, and relates to a drop prevention unit for the SMIF pod of the OHT device that enables stable product transfer without shaking or falling during the transfer process of the SMIF pod among the wafer carriers.

일반적으로, 반도체 제작을 위한 웨이퍼(Wafer)는 반도체 제작까지 수많은 공정을 진행함으로 웨이퍼의 대량 운반 및 안정적인 운반을 위해 OHT(Overhead Hoist Transport) 장치를 활용하고 있다.In general, wafers for semiconductor production undergo numerous processes until semiconductor production, and an OHT (Overhead Hoist Transport) device is utilized for mass transportation and stable transportation of wafers.

이러한 OHT 장치는 반도체 제조 공정 사이를 천장에 설치된 레일을 통해 이동이 가능하고, 이를 통해 웨이퍼가 적재되는 오픈 카세트, FOUP, FOSB, SMIF 포드 등의 웨이퍼 캐리어를 각 공정별로 운반시킬 수 있다.This OHT device can be moved between semiconductor manufacturing processes through rails installed on the ceiling, and through this, wafer carriers such as open cassettes, FOUP, FOSB, and SMIF pods on which wafers are loaded can be transported for each process.

예를 들어, 한국등록특허공보 제10-2167259호를 살펴보면, 천장을 따라 구비되는 이송 레일과 결합하여 풉을 이송할 수 있도록 하는 OHT 장치에 관한 것으로, 상기 OHT 장치는 풉의 양측에 배치되는 측면부재를 구비하고, 상기 측면부재의 내측에는 상기 풉의 도어를 향해 작동하여 상기 도어가 개방되는 것을 방지하는 도어 지지부가 구비된 것을 특징으로 하는 풉 도어의 개방을 방지하는 OHT 장치가 제시되어 있다.For example, looking at Korean Patent Publication No. 10-2167259, it relates to an OHT device that allows the foop to be transported in combination with a transfer rail provided along the ceiling, and the OHT device is arranged on both sides of the foop. An OHT device for preventing the opening of a foop door is provided, which includes a door support portion on the inside of the side member that operates toward the door of the foop to prevent the door from opening.

한편 종래에는 OHT 장치로 웨이퍼 캐리어를 운반하는 중에 이동 중 진동 발생 등으로 웨이퍼 캐리어가 낙하되어 파손될 수 있는 불안요소가 있어 이를 방지하기 위해 OHT 장치에 웨이퍼 캐리어의 낙하를 방지할 수 있는 구조가 필요하다.Meanwhile, in the past, while transporting a wafer carrier to an OHT device, there is an element of instability in which the wafer carrier may fall and be damaged due to vibration during movement. To prevent this, a structure that can prevent the wafer carrier from falling is needed in the OHT device. .

그러나 종래에 적용된 낙하 방지 구조는 웨이퍼 캐리어를 지지하기 위해 이동하는 스트로크에 한계가 있고, 이에 따라 FOUP, FOSB 등 보다 상대적으로 사이즈가 작은 SMIF 포드에 대응하기 어려운 문제점이 있었다.However, the drop prevention structure applied in the related art has a limit to the stroke that moves to support the wafer carrier, and thus has a problem in responding to SMIF pods that are relatively smaller in size than FOUP and FOSB.

한국등록특허공보 제10-2167259호(등록일:2020.10.13)Korean Patent Publication No. 10-2167259 (registration date: 2020.10.13)

본 발명은 종래의 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, OHT 장치를 통해 운반되는 SMIF 포드 전용의 낙하 방지 유닛을 제공하는데, SMIF 포드의 하단부 양방향에서 직선 방향으로 이동 작동하는 한 쌍의 받침대가 받침 역할을 하도록 구성함으로써, 사이즈가 작은 SMIP 포드에 대한 낙하 방지를 용이하게 수행하도록 하는데 그 목적이 있다.The present invention is intended to solve the conventional problems and provides a fall prevention unit exclusively for SMIF pods transported through an OHT device, wherein a pair of supports that move in a straight direction in both directions at the bottom of the SMIF pod serve as a support. By configuring it, the purpose is to easily perform drop prevention for small-sized SMIP pods.

또한, 본 발명은 낙하 방지 유닛에 댐퍼를 적용시켜 구성함으로써, SMIP 포드의 진동 발생 등에 의해 좌우로 흔들리는 움직임을 방지하도록 하는데 그 목적이 있다.In addition, the purpose of the present invention is to prevent left and right shaking caused by vibration of the SMIP pod by applying a damper to the fall prevention unit.

이와 같은 목적을 해결하기 위해 본 발명은;In order to solve this purpose, the present invention;

OHT 장치에 결합되며, 상기 OHT 장치를 통해 운반되는 SMIF 포드의 받침공간을 제공하는 본체 부재와;A body member coupled to the OHT device and providing a support space for the SMIF pod transported through the OHT device;

상기 받침공간의 양측에서 한 쌍의 받침대가 직선 이동 가능하게 마련되며, 상기 한 쌍의 받침대의 직선 이동을 통해 상기 받침공간에 위치된 SMIF 포드의 받침 기능을 수행하는 받침 부재;를 포함하여 구성된 것을 OHT 장치의 SMIF 포드용 낙하 방지 유닛을 제공한다.A pair of stands are provided on both sides of the support space to be able to move linearly, and a support member that performs a support function of the SMIF pod located in the support space through linear movement of the pair of supports. We provide a drop prevention unit for the SMIF pod of OHT devices.

이러한 본 발명에 따르면, 웨이퍼 캐리어 중 사이즈가 상대적으로 작은 SMIP 포드에 대한 낙하 방지를 용이하게 수행 가능한 효과가 있고, SMIP 포드의 진동 발생 등에 의해 좌우로 흔들리는 움직임을 효율적으로 억제시킬 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, it is possible to easily prevent a SMIP pod, which is relatively small in size among wafer carriers, from falling, and can effectively suppress left and right shaking caused by vibration of the SMIP pod. .

도 1은 본 발명에 따른 OHT 장치의 SMIF 포드용 낙하 방지 유닛의 전체 구성도.
도 2는 도 1의 낙하 방지 유닛의 사시도.
도 3은 도 1의 낙하 방지 유닛의 평면도.
도 4는 본 발명에 따른 OHT 장치의 SMIF 포드용 낙하 방지 유닛의 실시 예시도이다.1 is an overall configuration diagram of a drop prevention unit for a SMIF pod of an OHT device according to the present invention.
Figure 2 is a perspective view of the fall prevention unit of Figure 1;
Figure 3 is a plan view of the fall prevention unit of Figure 1;
Figure 4 is an exemplary embodiment of a fall prevention unit for a SMIF pod of an OHT device according to the present invention.

본 발명에 따른 OHT 장치의 SMIF 포드용 낙하 방지 유닛을 첨부된 도면을 참고로 하여 이하 상세히 기술되는 실시 예들에 의해 그 특징들을 이해할 수 있을 것이다.The features of the fall prevention unit for the SMIF pod of the OHT device according to the present invention can be understood through embodiments described in detail below with reference to the attached drawings.

한편, 실시 예를 설명함에 있어 본 발명이 속하거나 속하지 아니한 기술분야에서 광범위하게 널리 알려져 사용되고 있는 구성요소에 대해서는 이에 대한 상세한 설명은 생략하도록 하며, 이는 불필요한 설명을 생략함과 더불어 이에 따른 본 발명의 요지를 더욱 명확하게 전달하기 위함이다.Meanwhile, in describing the embodiments, detailed descriptions of components that are widely known and used in the technical field to which the present invention belongs or not are omitted. This not only omits unnecessary descriptions, but also omits the contents of the present invention accordingly. This is to convey the point more clearly.

이하, 도 1 내지 도 3은 본 발명의 OHT 장치의 SMIF 포드용 낙하 방지 유닛의 각 구성을 설명하기 위한 도면이다.Hereinafter, Figures 1 to 3 are diagrams for explaining each configuration of the drop prevention unit for the SMIF pod of the OHT device of the present invention.

이에 따른 OHT 장치의 SMIF 포드용 낙하 방지 유닛(1)을 개략적으로 살펴보면, SMIF 포드(11)의 받침공간(s)을 제공하는 프레임 부재(100); 한 쌍의 받침대(210)를 통해 SMIF 포드(11)의 받침 기능을 수행하는 받침 부재(200);를 포함하여 구성된다.Briefly looking at the fall prevention unit 1 for the SMIF pod of the OHT device, it includes a frame member 100 that provides a support space s for the SMIF pod 11; It is configured to include a support member 200 that performs a support function of the SMIF pod 11 through a pair of supports 210.

먼저, 상기 프레임 부재(100)는;First, the frame member 100 is;

OHT 장치(10)에 결합되며, 상기 OHT 장치(10)를 통해 운반되는 SMIF 포드(11)의 받침공간(s)을 제공하는 것이다.It is coupled to the OHT device 10 and provides a support space (s) for the SMIF pod 11 transported through the OHT device 10.

한편, 프레임 부재(100)를 통해 본 발명의 낙하 방지 유닛(1)이 OHT 장치(10)에 설치될 수 있고, 프레임 부재(100)는 OHT 장치(10)의 이적재를 위한 공간 하단에 설치되면 프레임 부재(100)의 받침공간(s)이 OHT 장치(10)의 하단에 개구부 형태로 형성될 수 있다.Meanwhile, the fall prevention unit 1 of the present invention can be installed in the OHT device 10 through the frame member 100, and the frame member 100 is installed at the bottom of the space for loading and unloading the OHT device 10. When this happens, the support space s of the frame member 100 may be formed in the form of an opening at the bottom of the OHT device 10.

또한, 상기 프레임 부재(100)는 한 쌍의 받침대(210) 일측 끝단부에 연결되며, 상기 한 쌍의 받침대(210)에 동력을 제공하는 구동부(110);를 더 포함한다.In addition, the frame member 100 is connected to one end of a pair of pedestals 210 and further includes a driving unit 110 that provides power to the pair of pedestals 210.

여기서, 상기 구동부(110)는 양측에 한 쌍의 구동축(111a)이 각각 마련된 모터(111); 상기 한 쌍의 구동축(111a)에 연결되는 한 쌍의 스크류(112); 및 상기 한 쌍의 스크류(112)가 회전하면 전후 이동하면서 직선 이동력을 상기 한 쌍의 받침대(210)에 전달시키는 한 쌍의 스크류가이드(113);로 구성된다.Here, the driving unit 110 includes a motor 111 provided with a pair of driving shafts 111a on both sides; A pair of screws (112) connected to the pair of drive shafts (111a); And a pair of screw guides 113 that move back and forth when the pair of screws 112 rotate and transmit linear movement force to the pair of pedestals 210.

상기 모터(111)는, 양측에 한 쌍의 구동축(111a)이 각각 구비된 스테핑모터이며, 제1지지대(114)의 내측 중앙에 결합된다.The motor 111 is a stepping motor equipped with a pair of drive shafts 111a on both sides, and is coupled to the inner center of the first support 114.

상기 한 쌍의 스크류(112)는, 모터(111)의 양측에 구비된 한 쌍의 구동축(111a)에 각각 연결된 상태에서 제1지지대(114)에 회전 가능하게 결합되고, 스크류(112)의 외주에는 나선이 형성되며, 구동축(111a)의 작동으로 스크류(112)의 나선이 회전하게 된다.The pair of screws 112 are rotatably coupled to the first support 114 while each connected to a pair of drive shafts 111a provided on both sides of the motor 111, and the outer circumference of the screw 112 A helix is formed, and the helix of the screw 112 rotates due to the operation of the drive shaft 111a.

이때, 스크류(112)는 받침공간(s) 내에서 받침대(210)가 이동하는 스트로크에 대응한 길이를 갖는다.At this time, the screw 112 has a length corresponding to the stroke with which the pedestal 210 moves within the pedestal space s.

상기 한 쌍의 스크류가이드(113)는, 한 쌍의 스크류(112)에 각각 관통 결합된 상태에서 한 쌍의 받침대(210) 끝단에 결합되어 구동부(110)의 동력을 받침대(210)에 전달시킬 수 있도록 하고, 스크류가이드(113)는 스크류(112)가 끼워지는 구멍 내주에 나선이 형성되면서 스크류(112)의 회전에 대응하여 나선을 따라 전후 이동하게 된다.The pair of screw guides 113 are coupled to the ends of a pair of pedestals 210 while being respectively penetratingly coupled to a pair of screws 112 to transmit the power of the driving unit 110 to the pedestals 210. The screw guide 113 moves back and forth along the spiral in response to the rotation of the screw 112 as a spiral is formed around the inside of the hole into which the screw 112 is inserted.

또한, 상기 프레임 부재(100)는 상기 구동부(110)의 타측으로 한 쌍의 받침대(210) 끝단부에 연결되며, 상기 한 쌍의 받침대(210)의 이동을 지지하는 가이드부(120);를 더 포함한다.In addition, the frame member 100 is connected to the end of a pair of pedestals 210 on the other side of the driving unit 110, and includes a guide part 120 that supports the movement of the pair of pedestals 210. Includes more.

여기서, 상기 가이드부(120)는 한 쌍의 받침대(210)가 직선 이동하는 방향으로 구비되는 가이드봉(121); 및 상기 한 쌍의 받침대(210)에 각각 연결된 상태에서 상기 가이드봉(121)에 관통 결합되며, 상기 한 쌍의 받침대(210)의 이동에 대응하여 가이드봉(121)을 따라 이동하는 한 쌍의 가이드부시(122);를 더 포함한다.Here, the guide unit 120 includes a guide rod 121 provided in the direction in which the pair of supports 210 moves in a straight line; And a pair of penetrating couplings to the guide rod 121 while each connected to the pair of pedestals 210 and moving along the guide rod 121 in response to the movement of the pair of pedestals 210. It further includes a guide bush (122).

상기 가이드봉(121)은, 제2지지대(123)의 내측에 길이방향으로 한 쌍의 받침대(210)가 직선 이동하는 측에 결합된다.The guide rod 121 is coupled to the inner side of the second support 123 along which a pair of supports 210 move linearly in the longitudinal direction.

상기 가이드부시(122)는, 가이드봉(121)에 관통 결합된 상태에서 한 쌍의 받침대(210) 끝단에 각각 결합되며, 한 쌍의 받침대(210)가 직선 이동하면 가이드부시(122)가 가이드봉(121)을 따라 직선 이동하면서 지지 기능을 한다.The guide bush 122 is coupled to each end of a pair of pedestals 210 while penetratingly coupled to the guide rod 121. When the pair of pedestals 210 move in a straight line, the guide bush 122 guides the guide bush 122. It functions as a support while moving straight along the rod 121.

이 경우 프레임 부재(100)는 OHT 장치(10)의 제어환경에서 작동할 수 있으며, 낙하 방지 기능이 필요하면 모터(111)가 작동하면서 한 쌍의 스크류(112)가 회전하고, 한 쌍의 스크류가이드(113)가 스크류(112)의 나선을 따라 전후 이동하면서 한 쌍의 받침대(210) 이동 작동하게 되며, 모터(111)의 회전 방향에 대응하여 한 쌍의 받침대(210)가 이동하는 방향이 전환되고, 가이드부(120)는 한 쌍의 받침대(210)가 직선 이동하면 이를 안정적으로 지지한다.In this case, the frame member 100 can operate in the control environment of the OHT device 10, and when a fall prevention function is required, the motor 111 operates and a pair of screws 112 rotates, and the pair of screws 112 rotates. As the guide 113 moves back and forth along the spiral of the screw 112, the pair of stands 210 move and operate, and the direction in which the pair of stands 210 moves corresponds to the rotation direction of the motor 111. Switched, the guide unit 120 stably supports the pair of supports 210 when they move in a straight line.

그리고, 상기 받침 부재(200)는;And, the support member 200 is;

상기 받침공간(s)의 양측에서 한 쌍의 받침대(210)가 직선 이동 가능하게 마련되며, 상기 한 쌍의 받침대(210)를 통해 상기 받침공간(s)에 위치된 SMIF 포드(11)의 받침 기능을 한다.A pair of stands 210 are provided on both sides of the support space s to be able to move linearly, and the support of the SMIF pod 11 located in the support space s is provided through the pair of stands 210. It functions.

한편, 받침 부재(200)는 받침공간(s)에 위치한 SMIF 포드(11)에 대한 받침 기능으로 OHT 장치(10)를 통해 운반되는 SMIF 포드(11)의 낙하 방지를 수행한다.Meanwhile, the support member 200 functions as a support for the SMIF pod 11 located in the support space s and prevents the SMIF pod 11 transported through the OHT device 10 from falling.

또한, 상기 받침 부재(200)는 받침공간(s)의 양측에 서로 대향되어 직선 이동하면서 상기 받침공간(s)을 열거나 닫는 한 쌍의 받침대(210);를 더 포함한다.In addition, the support member 200 further includes a pair of supports 210 on both sides of the support space s that face each other and move in a straight line to open or close the support space s.

한 쌍의 받침대(210)는 받침공간(s)의 양측으로 서로 대향된 위치에 양단이 구동부(110) 및 가이드부(120)에 각각 연결되어 마련된다.A pair of pedestals 210 are provided at opposing positions on both sides of the pedestal space s, with both ends connected to the driving unit 110 and the guide unit 120, respectively.

또한, 상기 받침 부재(200)는 한 쌍의 받침대(210)가 SMIF 포드(11)의 받침 기능을 수행하는 중 상기 SMIF 포드(11)에 탄성 지지되어 완충 기능을 하는 댐퍼(220);를 더 포함한다.In addition, the support member 200 includes a damper 220 that is elastically supported on the SMIF pod 11 and serves as a shock absorber while the pair of supports 210 performs the support function of the SMIF pod 11. Includes.

상기 댐퍼(220)는 각 받침대(210)에 2개씩 총 4개의 댐퍼(220)가 한 쌍의 받침대(210)에 구비될 수 있고, 댐퍼(220)는 받침대(210)가 SMIF 포드(11)를 지지하는 방향으로 탄성력이 작용하도록 하여 SMIF 포드(11)의 하부 측방향으로 댐퍼(220)가 밀착되어 탄성 지지되게 한다.The dampers 220 may be provided on a pair of pedestals 210, with a total of 4 dampers 220, 2 on each pedestal 210, and the dampers 220 may be configured such that the pedestal 210 is connected to the SMIF pod 11. The elastic force acts in the supporting direction so that the damper 220 is closely adhered to the lower side of the SMIF pod 11 and is elastically supported.

여기서, 상기 댐퍼(220)는 받침대(210)에 힌지 결합되는 제1암(221); 상기 제1암(221)의 끝단에 힌지 결합되는 제2암(222); 상기 제2암(222)의 끝단에 결합되어 SMIF 포드(11)에 지지되는 완충부(223); 및 상기 완충부(223)를 SMIF 포드(11)에 탄성 지지되게 탄성력을 제공하는 스프링(224);으로 구성된다.Here, the damper 220 includes a first arm 221 hinged to the pedestal 210; a second arm (222) hinged to the end of the first arm (221); A buffer portion 223 coupled to the end of the second arm 222 and supported on the SMIF pod 11; and a spring 224 that provides elastic force to elastically support the buffer unit 223 to the SMIF pod 11.

상기 제1암(221)은, 받침대(210) 상단에 일측이 힌지 결합되어 힌지를 중심으로 회전 작동하는 것이다.The first arm 221 is hinged on one side to the top of the pedestal 210 and rotates around the hinge.

이때, 제1암(221)의 선단 하부로 스토퍼(221a)가 결합되는데, 스토퍼(221a)는 탄성력에 의해 댐퍼(220)가 결합 위치에서 이탈하는 것을 방지하도록 하며, 이에 따라 댐퍼(220)는 스토퍼(221a)가 받침대(210)에 지지되는 위치까지 전진할 수 있다.At this time, the stopper 221a is coupled to the lower end of the first arm 221. The stopper 221a prevents the damper 220 from leaving the coupled position due to elastic force, and thus the damper 220 The stopper 221a may advance to a position where it is supported on the pedestal 210.

상기 제2암(222)은, 제1암(221)의 선단에 일측이 힌지 결합되어 힌지를 중심으로 회전 작동하는 것이다.The second arm 222 is hinged on one side to the tip of the first arm 221 and rotates around the hinge.

상기 완충부(223)는, 제2암(222)의 선단에 축 결합되며, 우레탄, 고무 등의 탄력을 갖는 재질로 제작되고, 완충부(223)는 SMIF 포드(11)의 측면에 밀착 지지되는 부분이다.The buffer unit 223 is axially coupled to the tip of the second arm 222 and is made of an elastic material such as urethane or rubber. The buffer unit 223 is closely attached to the side of the SMIF pod 11. This is the part that works.

상기 스프링(224)은, 제1암(221)의 힌지 결합 측에 받침대(210) 사이에서 탄성력이 작용하도록 끼워지며, 스프링(224)의 탄성력은 SMIF 포드(11)를 지지하는 방향으로 작용하게 한다.The spring 224 is inserted to exert an elastic force between the pedestals 210 on the hinged side of the first arm 221, and the elastic force of the spring 224 acts in a direction to support the SMIF pod 11. do.

이 경우 상술한 댐퍼(220)의 실시 예에 의해 OHT 장치(10)로 SMIF 포드(11)를 운반 하는 중에 다수의 댐퍼(220)가 SMIF 포드(11)의 양측 방향에 탄성력에 의해 밀착 지지되고, 이때 운반 중 발생하는 진동 등에 의한 흔들림을 댐퍼(220)가 효율적으로 완충시켜 억제할 수 있게 된다.In this case, while transporting the SMIF pod 11 to the OHT device 10 according to the above-described embodiment of the damper 220, a plurality of dampers 220 are closely supported by elastic force on both sides of the SMIF pod 11. , At this time, the damper 220 can effectively cushion and suppress shaking caused by vibration that occurs during transportation.

이하, 도 4 본 발명에 따른 OHT 장치의 SMIF 포드용 낙하 방지 유닛의 실시 예시도이다.Hereinafter, Figure 4 is an exemplary embodiment of a fall prevention unit for a SMIF pod of an OHT device according to the present invention.

전술한 구조로 이루어진 낙하 방지 유닛(1)은 도 4의 (a)와 같이 받침공간(s)의 바깥쪽으로 열리는 직선 이동 작동을 하거나, 도 4의 (b)와 같이 구동부(110)의 작동에 대응하여 받침공간(s) 안쪽으로 닫히는 직선 이동 작동을 하며, 받침공간(s)에 SMIF 포드(11)가 위치되면 한 쌍의 받침대(210)가 받침공간(s) 안쪽으로 이동 하면서 SMIF 포드(11) 하단부에 대한 받침 기능으로 낙하 방지를 수행한다.The fall prevention unit 1 having the above-described structure performs a linear movement operation that opens outward of the support space s as shown in (a) of FIG. 4, or operates in the operation of the driving unit 110 as shown in (b) of FIG. 4. In response, a linear movement operation is performed to close inside the support space (s), and when the SMIF pod (11) is located in the support space (s), a pair of supports (210) move inside the support space (s) and the SMIF pod ( 11) The support function for the lower part prevents falling.

예컨대 본 발명의 낙하 방지 유닛(1)은 상술한 바와 같이 OHT 장치(10)의 개구부에 해당하는 받침공간(s) 전체적으로 직선 이동이 가능하여 한 쌍의 받침대(210)가 SMIF 포드(11)의 받침 기능에 의한 낙하 방지를 수행할 수 있고, 이를 통해 사이즈가 작은 SMIF 포드(11)에 대한 낙하 방지를 용이하게 수행하게 된다.For example, as described above, the fall prevention unit 1 of the present invention is capable of linear movement throughout the support space s corresponding to the opening of the OHT device 10, so that a pair of supports 210 are connected to the SMIF pod 11. Fall prevention can be performed using the support function, and through this, fall prevention for the small SMIF pod 11 can be easily performed.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명은 특정의 바람직한 실시 예를 예시한 설명과 도면으로 표현 하였으나, 여기서 사용하는 용어들은 본 발명을 용이하게 설명하기 위함으로 이 용어들에 대한 의미 한정이나, 특허청구범위에 기재된 범위를 제한하기 위함이 아니며,As described above, the present invention has been expressed through descriptions and drawings illustrating specific preferred embodiments, but the terms used herein are intended to easily describe the present invention, but the meaning of these terms is limited, and the meaning of the terms is not limited to the scope of the patent claims. It is not intended to limit the scope described,

본 발명은 상기한 실시 예에 따른 특허청구범위에 의해 나타난 발명의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자의 수준에서 발명을 용이하게 실시하기 위해 다양하게 변경 및 개조, 수정 등이 가능할 수 있음을 누구나 쉽게 알 수 있을 것이다.The present invention is made in various ways in order to easily implement the invention at the level of those skilled in the art in the technical field to which the invention pertains, without departing from the spirit and scope of the invention as indicated by the claims according to the above-described embodiments. Anyone can easily see that changes, modifications, modifications, etc. may be possible.

1; 낙하 방지 유닛 100; 프레임 부재
110; 구동부 111; 모터
112; 스크류 113; 스크류가이드
114; 제1지지대 120; 가이드부
121; 가이드봉 122; 가이드부시
123; 제2지지대 200; 받침 부재
210; 받침대 220; 댐퍼
221; 제1암 222; 제2암
223; 완충부 224; 스프링One; Fall protection unit 100; frame member
110; driving unit 111; motor
112; screw 113; screw guide
114; first support 120; Guide department
121; Guide rod 122; guide bush
123; second support 200; support member
210; pedestal 220; damper
221; 1st cancer 222; 2nd cancer
223; buffer part 224; spring

Claims (5)

OHT 장치(10)에 결합되며, 상기 OHT 장치(10)를 통해 운반되는 SMIF 포드(11)의 받침공간(s)을 제공하는 프레임 부재(100)와;
상기 받침공간(s)의 양측에서 한 쌍의 받침대(210)가 직선 이동 가능하게 마련되며, 상기 한 쌍의 받침대(210)의 직선 이동을 통해 상기 받침공간(s)에 위치된 SMIF 포드(11)의 받침 기능을 수행하는 받침 부재(200);를 포함하여 구성되고,
상기 프레임 부재(100)는 한 쌍의 받침대(210) 일측 끝단부에 연결되며, 상기 한 쌍의 받침대(210)에 동력을 제공하는 구동부(110); 및
상기 구동부(110)의 타측으로 한 쌍의 받침대(210)의 끝단부에 연결되며, 상기 한 쌍의 받침대(210)의 이동을 지지하는 가이드부(120);를 더 포함하며,
상기 구동부(110)는 양측에 한 쌍의 구동축(111a)이 각각 마련된 모터(111);
상기 한 쌍의 구동축(111a)에 연결되는 한 쌍의 스크류(112); 및
상기 한 쌍의 스크류(112)가 회전하면 전후 이동하면서 직선 이동력을 상기 한 쌍의 받침대(210)에 전달시키는 한 쌍의 스크류가이드(113);를 더 포함한 것을 특징으로 하는 OHT 장치의 SMIF 포드용 낙하 방지 유닛.A frame member 100 coupled to the OHT device 10 and providing a support space s for the SMIF pod 11 transported through the OHT device 10;
A pair of pedestals 210 are provided on both sides of the pedestal space s to enable linear movement, and the SMIF pod 11 is positioned in the pedestal space s through the linear movement of the pair of pedestals 210. ) is configured to include a support member 200 that performs the support function,
The frame member 100 is connected to one end of a pair of pedestals 210, and includes a driving unit 110 that provides power to the pair of pedestals 210; and
It further includes a guide part 120 connected to the end of the pair of pedestals 210 on the other side of the driving unit 110 and supporting the movement of the pair of pedestals 210,
The driving unit 110 includes a motor 111 provided with a pair of driving shafts 111a on both sides;
A pair of screws (112) connected to the pair of drive shafts (111a); and
The SMIF pod of the OHT device further includes a pair of screw guides (113) that move back and forth when the pair of screws (112) rotate and transmit linear movement force to the pair of pedestals (210). Drop prevention unit. 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 가이드부(120)는 한 쌍의 받침대(210)가 직선 이동하는 방향으로 구비되는 가이드봉(121); 및
상기 한 쌍의 받침대(210)에 각각 연결된 상태에서 상기 가이드봉(121)에 관통 결합되며, 상기 한 쌍의 받침대(210)의 이동에 대응하여 가이드봉(121)을 따라 이동하는 한 쌍의 가이드부시(122);를 더 포함한 OHT 장치의 SMIF 포드용 낙하 방지 유닛.According to paragraph 1,
The guide unit 120 includes a guide rod 121 provided in the direction in which the pair of supports 210 moves in a straight line; and
A pair of guides that are penetrated and coupled to the guide rod 121 while respectively connected to the pair of pedestals 210 and move along the guide rod 121 in response to the movement of the pair of pedestals 210. A drop prevention unit for the SMIF pod of an OHT device further including a bush (122). 제1항에 있어서,
상기 받침 부재(200)는 한 쌍의 받침대(210)가 SMIF 포드(11)의 받침 기능을 수행하는 중 상기 SMIF 포드(11)에 탄성 지지되어 완충 기능을 하는 댐퍼(220);를 더 포함한 OHT 장치의 SMIF 포드용 낙하 방지 유닛.According to paragraph 1,
The support member 200 includes a damper 220 that elastically supports the SMIF pod 11 and performs a buffering function while the pair of supports 210 performs the support function of the SMIF pod 11. Drop protection unit for the device's SMIF pod.
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