KR102612257B1 - Horizontally articulated robot and manufacturing system - Google Patents

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KR102612257B1
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다모츠 구리바야시
도시미치 가자마
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니덱 인스트루먼츠 가부시키가이샤
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Abstract

3링크 아암형의 로봇의 이점을 손상시키지 않고, 상하 방향으로 보다 소형화하는 것이 가능한 수평 다관절 로봇을 제공한다.
3링크 아암형의 로봇인 수평 다관절 로봇(5)은, 핸드(14, 15)가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 아암(16)과, 아암(16)의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 아암 지지부(17)와, 아암 지지부(17)를 승강 가능하게 보유 지지하는 보유 지지부(18)를 구비하고 있고, 아암(16)은, 아암 지지부(17)에 연결되는 제1 아암부(24)와, 제1 아암부(24)의 선단측에 연결되는 제2 아암부(25)와, 제2 아암부(25)의 선단측에 연결되는 제3 아암부(26)를 구비하고 있다. 아암 지지부(17)는 보유 지지부(18)의 측면을 따라 승강 가능하게 되어 있고, 보유 지지부(18)의 상단면은, 아암 지지부(17)가 하한 위치까지 하강하고 있을 때에, 제1 아암부(24)의 기단부측 부분의 하면보다도 상측에 있으면서, 또한, 제3 아암부(26)의 하면보다도 하측에 있다.We provide a horizontal articulated robot that can be further miniaturized in the vertical direction without compromising the advantages of a three-link arm type robot.
The horizontal articulated robot 5, which is a three-link arm type robot, has an arm 16 in which the hands 14, 15 are rotatably connected to the distal end, and the proximal end of the arm 16 is rotatably connected. It is provided with an arm support part 17 and a holding part 18 that holds and supports the arm support part 17 so that the arm support part 17 can be raised and lowered, and the arm 16 is a first arm part 24 connected to the arm support part 17. and a second arm portion 25 connected to the distal end of the first arm portion 24, and a third arm portion 26 connected to the distal end of the second arm portion 25. The arm support portion 17 is capable of being raised and lowered along the side surface of the holding portion 18, and the upper end surface of the holding portion 18 is formed on the first arm portion ( It is located above the lower surface of the proximal end side portion of 24), and is also lower than the lower surface of the third arm portion 26.

Description

수평 다관절 로봇 및 제조 시스템{HORIZONTALLY ARTICULATED ROBOT AND MANUFACTURING SYSTEM}HORIZONTALLY ARTICULATED ROBOT AND MANUFACTURING SYSTEM}

본 발명은, 수평 방향으로 아암이 동작하는 수평 다관절 로봇에 관한 것이다. 또한, 본 발명은, 이 수평 다관절 로봇을 구비하는 반도체 제조 시스템 등의 제조 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a horizontal articulated robot whose arm moves in the horizontal direction. Furthermore, the present invention relates to a manufacturing system such as a semiconductor manufacturing system provided with this horizontal articulated robot.

종래, 반도체 웨이퍼를 반송하는 수평 다관절 로봇이 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조). 특허문헌 1에 기재된 수평 다관절 로봇은, 반도체 제조 시스템에 내장되어 사용되고 있다. 이 반도체 제조 시스템은, 반도체 웨이퍼 처리 장치와, 수평 다관절 로봇이 수용되는 로봇 수용부와, FOUP를 개폐하는 복수의 로드 포트를 구비하고 있다. 로봇 수용부는, 반도체 웨이퍼 처리 장치의 전방측에 배치되고, 복수의 로드 포트는, 로봇 수용부의 전방측에 배치되어 있다. 또한, 로봇 수용부는, 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 직사각 형상으로 되는 상자 형상으로 형성되어 있다. 구체적으로는, 상하 방향으로부터 보았을 때의 로봇 수용부의 형상은, 반도체 웨이퍼 처리 장치와 복수의 로드 포트의 대향 방향을 짧은 변의 방향으로 하는 가늘고 긴 직사각 형상으로 되어 있다.Conventionally, horizontal articulated robots that transport semiconductor wafers are known (for example, see Patent Document 1). The horizontal articulated robot described in Patent Document 1 is used by being incorporated into a semiconductor manufacturing system. This semiconductor manufacturing system includes a semiconductor wafer processing device, a robot housing unit that accommodates a horizontal articulated robot, and a plurality of load ports that open and close the FOUP. The robot accommodating portion is disposed on the front side of the semiconductor wafer processing device, and a plurality of load ports are disposed on the front side of the robot accommodating portion. Additionally, the robot accommodating portion is formed in a rectangular box shape when viewed from the top and bottom direction. Specifically, the shape of the robot accommodating portion when viewed from the vertical direction is an elongated rectangular shape with the short side direction facing the semiconductor wafer processing device and the plurality of load ports.

또한, 특허문헌 1에 기재된 수평 다관절 로봇은, 반도체 웨이퍼가 탑재되는 핸드와, 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 아암과, 아암의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 본체부를 구비하고 있다. 아암은, 본체부에 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 제1 아암부와, 제1 아암부의 선단측에 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 제2 아암부와, 제2 아암부의 선단측에 기단부측이 회동 가능하게 연결됨과 함께 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 제3 아암부로 구성되어 있다. 제1 아암부, 제2 아암부, 제3 아암부 및 핸드는, 하측부터 이 순서로 배치되어 있다.In addition, the horizontal articulated robot described in Patent Document 1 includes a hand on which a semiconductor wafer is mounted, an arm to which the hand is rotatably connected to the distal end, and a main body to which the proximal end of the arm is rotatably connected. The arm includes a first arm portion whose proximal end side is rotatably connected to the main body, a second arm portion whose proximal end side is rotatably connected to the distal end side of the first arm portion, and a proximal end side connected to the distal end side of the second arm portion. In addition to being rotatably connected, the hand is comprised of a third arm portion rotatably connected to the distal end side. The first arm, second arm, third arm, and hand are arranged in this order starting from the bottom.

또한, 특허문헌 1에 기재된 수평 다관절 로봇에서는, 본체부는, 하우징과, 하우징에 승강 가능하게 보유 지지되는 기둥 형상 부재를 구비하고 있다. 제1 아암부의 기단부측은, 기둥 형상 부재의 상단면에 회동 가능하게 연결되어 있고, 기둥 형상 부재의 상단면에 적재되어 있다. 하우징의 내부에는, 기둥 형상 부재와 함께 아암을 승강시키는 아암 승강 기구가 수용되어 있다. 기둥 형상 부재가 하한 위치까지 하강하면(즉, 아암이 하한까지 하강하면), 기둥 형상 부재는, 하우징의 내부에 수용된다. 또한, 기둥 형상 부재가 하한 위치까지 하강한 상태에서는, 제1 아암부의 기단부측 부분은, 하우징의 상단면의 상측에 배치되어 있다.In addition, in the horizontal articulated robot described in Patent Document 1, the main body portion is provided with a housing and a column-shaped member that is held by the housing so as to be capable of being raised and lowered. The proximal end side of the first arm portion is rotatably connected to the upper end surface of the columnar member and is mounted on the upper end surface of the columnar member. Inside the housing, an arm elevating mechanism for elevating the arm is accommodated together with a pillar-shaped member. When the columnar member is lowered to the lower limit position (that is, the arm is lowered to the lower limit), the columnar member is accommodated inside the housing. In addition, when the columnar member is lowered to the lower limit position, the proximal end side portion of the first arm portion is disposed above the upper end surface of the housing.

또한, 특허문헌 1에 기재된 수평 다관절 로봇은, 기둥 형상 부재에 대하여 제1 아암부 및 제2 아암부를 함께 회동시켜 제1 아암부와 제2 아암부를 포함하는 아암의 일부를 신축시키는 아암부 구동 기구와, 제2 아암부에 대하여 제3 아암부를 회동시키는 제3 아암부 회동 기구와, 제3 아암부에 대하여 핸드를 회동시키는 핸드 회동 기구를 구비하고 있다. 아암부 구동 기구는, 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 직사각 형상으로 되는 로봇 수용부의 길이 방향에 평행한 가상선 상을 제2 아암부와 제3 아암부의 연결부가 직선적으로 이동하도록, 제1 아암부 및 제2 아암부를 회동시킨다.In addition, the horizontal articulated robot described in Patent Document 1 rotates the first arm portion and the second arm portion together with respect to a pillar-shaped member, thereby expanding and contracting a portion of the arm including the first arm portion and the second arm portion. It is provided with a mechanism, a third arm rotation mechanism for rotating the third arm with respect to the second arm, and a hand rotation mechanism for rotating the hand with respect to the third arm. The arm drive mechanism is such that the connection portion of the second arm portion and the third arm portion moves linearly on an imaginary line parallel to the longitudinal direction of the robot accommodating portion, which has a rectangular shape when viewed from the vertical direction. and rotating the second arm.

특허문헌 1에 기재된 수평 다관절 로봇은, 3개의 아암부로 구성되는 아암을 구비함과 함께, 아암부 구동 기구와 제3 아암부 회동 기구와 핸드 회동 기구를 구비하는 소위 3링크 아암형의 로봇이다. 그로 인해, 이 수평 다관절 로봇에서는, 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 직사각 형상으로 되는 로봇 수용부의 길이 방향으로 수평 다관절 로봇의 본체부를 직선적으로 이동시키는 이동 기구가 설치되어 있지 않아도, 또한, 로봇 수용부의 짧은 방향의 폭이 좁아도, 로봇 수용부의 길이 방향에 있어서의 넓은 범위에서 핸드를 이동시켜 반도체 웨이퍼를 반송하는 것이 가능해진다.The horizontal articulated robot described in Patent Document 1 is a so-called three-link arm type robot that has an arm composed of three arm parts, as well as an arm drive mechanism, a third arm rotation mechanism, and a hand rotation mechanism. . Therefore, in this horizontal articulated robot, even if there is no movement mechanism installed to linearly move the main body of the horizontal articulated robot in the longitudinal direction of the robot housing portion, which has a rectangular shape when viewed from the up and down directions, the robot Even if the width in the short direction of the accommodating part is narrow, it becomes possible to transport a semiconductor wafer by moving the hand in a wide range in the longitudinal direction of the robot accommodating part.

일본 특허 공개 제2015-36186호 공보Japanese Patent Publication No. 2015-36186

특허문헌 1에 기재된 수평 다관절 로봇은 3링크 아암형의 로봇이기 때문에, 이 수평 다관절 로봇에는 상술한 이점이 있다. 한편, 시장에서는, 상하 방향으로 보다 소형화된 수평 다관절 로봇의 요구가 있고, 본원 발명자는, 수평 다관절 로봇의 이점을 손상시키지 않고, 상하 방향으로 보다 소형화하는 것이 가능한 수평 다관절 로봇의 구조를 검토하고 있다.Since the horizontal articulated robot described in Patent Document 1 is a three-link arm type robot, this horizontal articulated robot has the advantages described above. Meanwhile, in the market, there is a demand for a horizontal articulated robot that is more compact in the vertical direction, and the present inventor has developed a structure for a horizontal articulated robot that can be further miniaturized in the vertical direction without compromising the advantages of the horizontal articulated robot. We are reviewing it.

따라서, 본 발명의 과제는, 3링크 아암형의 로봇의 이점을 손상시키지 않고, 상하 방향으로 보다 소형화하는 것이 가능한 수평 다관절 로봇을 제공하는 데 있다. 또한, 본 발명의 과제는, 이러한 수평 다관절 로봇을 구비하는 제조 시스템을 제공하는 데 있다.Therefore, the object of the present invention is to provide a horizontal articulated robot that can be further miniaturized in the vertical direction without losing the advantages of the three-link arm type robot. Furthermore, the object of the present invention is to provide a manufacturing system including such a horizontal articulated robot.

상기한 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 수평 다관절 로봇은, 반송 대상물이 탑재되는 핸드와, 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 아암과, 아암의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 아암 지지부와, 아암 지지부를 승강 가능하게 보유 지지하는 보유 지지부와, 아암에 대하여 핸드를 회동시키는 핸드 구동 기구와, 아암을 구동하는 아암 구동 기구와, 보유 지지부에 대하여 아암 지지부를 승강시키는 아암 승강 기구를 구비하고, 아암은, 아암 지지부에 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 제1 아암부와, 제1 아암부의 선단측에 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 제2 아암부와, 제2 아암부의 선단측에 기단부측이 회동 가능하게 연결됨과 함께 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 제3 아암부를 구비하고, 아암 지지부와 제1 아암부와 제2 아암부와 제3 아암부와 핸드는, 하측부터 아암 지지부, 제1 아암부, 제2 아암부, 제3 아암부, 핸드의 순서로 배치되고, 아암 구동 기구는, 아암이 신축되도록 제1 아암부 및 제2 아암부를 함께 회동시키는 제1 구동 기구와, 제2 아암부에 대하여 제3 아암부를 회동시키는 제2 구동 기구를 구비하고, 아암 지지부는, 보유 지지부의 측면을 따라 승강 가능하게 되어 있고, 보유 지지부의 상단면은, 아암 지지부가 하한 위치까지 하강하고 있을 때에, 제1 아암부의 기단부측 부분의 하면보다도 상측에 있으면서, 또한, 제3 아암부의 하면보다도 하측에 있는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above problems, the horizontal articulated robot of the present invention includes a hand on which the transfer object is mounted, an arm to which the hand is rotatably connected to the distal end, and an arm support unit to which the proximal end of the arm is rotatably connected. and a holding portion that holds the arm support so that it can be raised and lowered, a hand drive mechanism that rotates the hand with respect to the arm, an arm driving mechanism that drives the arm, and an arm lifting mechanism that raises and lowers the arm support with respect to the holding portion. And, the arm includes a first arm portion whose proximal end side is rotatably connected to the arm support, a second arm portion whose proximal end side is rotatably connected to the distal end side of the first arm portion, and a distal end side of the second arm portion. The proximal end side is rotatably connected and the hand is provided with a third arm portion rotatably connected to the distal end side, and the arm support portion, the first arm portion, the second arm portion, the third arm portion, and the hand are formed from the lower side. The support part, the first arm part, the second arm part, the third arm part, and the hand are arranged in that order, and the arm drive mechanism includes a first drive mechanism that rotates the first arm part and the second arm part together so that the arm expands and contracts; , and a second drive mechanism that rotates the third arm with respect to the second arm, wherein the arm support is capable of being raised and lowered along the side surface of the holding, and the upper end of the holding is raised to the lower limit position of the arm supporting. When descending, it is located above the lower surface of the proximal end side of the first arm and is also lower than the lower surface of the third arm.

본 발명의 수평 다관절 로봇은, 제1 아암부의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 아암 지지부와, 아암 지지부를 승강 가능하게 보유 지지하는 보유 지지부를 구비하고 있고, 아암 지지부가 하한 위치까지 하강하고 있을 때에, 보유 지지부의 상단면은, 제1 아암부의 기단부측 부분의 하면보다도 상측에 있다. 즉, 본 발명에서는, 아암 지지부가 하한 위치까지 하강하고 있을 때에, 제1 아암부의 기단부측 부분의 하면은, 보유 지지부의 상단면보다도 하측에 있다. 그로 인해, 본 발명에서는, 특허문헌 1에 기재된 수평 다관절 로봇과 같이 기둥 형상 부재가 하한 위치까지 하강하고 있을 때에 기둥 형상 부재가 하우징의 내부에 수용됨과 함께 제1 아암부의 기단부측 부분이 하우징의 상단면의 상측에 배치되어 있는 경우와 비교하여, 수평 다관절 로봇의 높이를 낮추는 것이 가능해진다.The horizontal articulated robot of the present invention has an arm support portion to which the proximal end side of the first arm portion is rotatably connected, and a holding portion that holds the arm support portion so that it can be raised and lowered, and the arm support portion can be lowered to the lower limit position. At this time, the upper end surface of the holding portion is above the lower surface of the proximal end side portion of the first arm portion. That is, in the present invention, when the arm support part is lowered to the lower limit position, the lower surface of the proximal end side portion of the first arm part is lower than the upper end surface of the holding part. Therefore, in the present invention, as in the horizontal articulated robot described in Patent Document 1, when the columnar member is lowered to the lower limit position, the columnar member is accommodated inside the housing, and the proximal end side portion of the first arm portion is positioned at the bottom of the housing. Compared to the case where it is placed above the upper surface, it becomes possible to lower the height of the horizontal articulated robot.

또한, 본 발명의 수평 다관절 로봇에서는, 아암 지지부가 하한 위치까지 하강하고 있을 때에, 보유 지지부의 상단면이, 제3 아암부의 하면보다도 하측에 있기 때문에, 아암 지지부가 하한 위치까지 하강해도, 제2 아암부에 대하여 회동하는 제3 아암부는 보유 지지부와 간섭하지 않는다. 따라서, 본 발명에서는, 아암 지지부가 하한 위치까지 하강해도, 제2 구동 기구에 의해 제3 아암부를 넓은 범위에서 회동시키는 것이 가능해져, 그 결과, 본 발명의 수평 다관절 로봇은, 특허문헌 1에 기재된 수평 다관절 로봇과 마찬가지의 동작을 행하는 것이 가능해진다.Furthermore, in the horizontal articulated robot of the present invention, when the arm support part is lowered to the lower limit position, the upper end surface of the holding part is lower than the lower surface of the third arm part, so even if the arm support part is lowered to the lower limit position, The third arm portion rotating relative to the second arm portion does not interfere with the holding portion. Therefore, in the present invention, even if the arm support portion is lowered to the lower limit position, the third arm portion can be rotated in a wide range by the second drive mechanism. As a result, the horizontal articulated robot of the present invention has the It becomes possible to perform operations similar to those of the described horizontal articulated robot.

이와 같이 본 발명에서는, 수평 다관절 로봇의 높이를 낮추는 것이 가능해짐과 함께, 수평 다관절 로봇은, 특허문헌 1에 기재된 수평 다관절 로봇과 마찬가지의 동작을 행하는 것이 가능해진다. 즉, 본 발명의 수평 다관절 로봇에서는, 3링크 아암형의 로봇의 이점을 손상시키지 않고, 수평 다관절 로봇을 상하 방향으로 보다 소형화하는 것이 가능해진다.In this way, in the present invention, it becomes possible to lower the height of the horizontal articulated robot, and the horizontal articulated robot can perform the same movements as the horizontal articulated robot described in Patent Document 1. That is, in the horizontal articulated robot of the present invention, it becomes possible to further miniaturize the horizontal articulated robot in the vertical direction without losing the advantages of the three-link arm type robot.

본 발명에 있어서, 예를 들어 보유 지지부의 상단면은, 아암 지지부가 하한 위치까지 하강하고 있을 때에, 상하 방향에 있어서, 제2 아암부의 상면과 제2 아암부의 하면 사이에 있다. 이 경우에는, 아암 지지부가 하한 위치까지 하강하고 있을 때에, 제1 아암부의 상면과 제1 아암부의 기단부측 부분의 하면 사이에 보유 지지부의 상단면이 있는 경우와 비교하여, 수평 다관절 로봇의 높이를 보다 낮추는 것이 가능해진다.In the present invention, for example, the upper surface of the holding portion is between the upper surface of the second arm portion and the lower surface of the second arm portion in the vertical direction when the arm support portion is lowered to the lower limit position. In this case, when the arm support part is lowered to the lower limit position, the height of the horizontal articulated robot is compared to the case where the upper surface of the holding part is between the upper surface of the first arm part and the lower surface of the proximal end side portion of the first arm part. It becomes possible to lower it further.

본 발명의 수평 다관절 로봇은, 예를 들어 복수 층짜리로 구성됨과 함께 복수 층의 각 층에 복수 개 설치되는 처리 장치를 갖는 처리부를 구비하는 제조 시스템에 사용할 수 있고, 이 제조 시스템에서는, 수평 다관절 로봇은, 처리부의 각 층마다 설치되고 처리 장치에 대한 반송 대상물의 반입 및 반출을 행한다. 또한, 이 제조 시스템은, 반송 대상물이 수용되는 수용부와 수평 다관절 로봇이 수용부에 대하여 반송 대상물의 반입 및 반출을 행하는 것이 가능한 위치까지 수용부를 승강시키는 승강 기구를 갖는 승강 장치를 구비하고 있다.The horizontal articulated robot of the present invention can be used, for example, in a manufacturing system having a processing unit comprised of multiple floors and having a plurality of processing devices installed on each floor of the multiple floors. In this manufacturing system, the horizontal articulated robot The articulated robot is installed on each floor of the processing unit and carries out the loading and unloading of objects to be transported into and out of the processing device. In addition, this manufacturing system is provided with a lifting device having a receiving portion in which the conveying object is accommodated and a lifting mechanism that raises and lowers the accommodating portion to a position where the horizontal articulated robot can carry out the loading and unloading of the conveying object with respect to the accommodating portion. .

이 제조 시스템은, 처리부의 각 층마다 설치되고 처리 장치에 대한 반송 대상물의 반입 및 반출을 행하는 수평 다관절 로봇을 구비함과 함께, 반송 대상물이 수용되는 수용부와, 수평 다관절 로봇이 수용부에 대하여 반송 대상물의 반입 및 반출을 행하는 것이 가능한 위치까지 수용부를 승강시키는 승강 기구를 갖는 승강 장치를 구비하고 있다. 그로 인해, 이 제조 시스템에서는, 수평 다관절 로봇의 높이가 낮아도, 처리부의 각 층마다 설치되는 수평 다관절 로봇에 의해, 복수 층의 각 층에 설치된 복수의 처리 장치에 대한 반송 대상물의 반입 및 반출을 적절하게 행하는 것이 가능해짐과 함께, 승강 장치에 의해, 높이가 상이한 복수의 층에 걸치도록 반송 대상물을 승강시키는 것이 가능해진다.This manufacturing system is equipped with a horizontal articulated robot installed on each floor of the processing unit and carries out the loading and unloading of the transport object into and out of the processing device, a receiving part in which the transport object is stored, and a horizontal articulated robot in the receiving part. In contrast, a lifting device having a lifting mechanism for raising and lowering the receiving unit to a position where the carrying object can be loaded and unloaded is provided. Therefore, in this manufacturing system, even if the height of the horizontal articulated robot is low, the horizontal articulated robot installed on each floor of the processing unit carries out transport objects into and out of the plurality of processing devices installed on each floor of the plurality of floors. It becomes possible to perform this appropriately, and the lifting device makes it possible to elevate and lower the conveyed object so that it spans multiple layers of different heights.

본 발명에 있어서, 예를 들어 처리부는, 2층짜리로 구성되고, 수평 다관절 로봇은, 처리부의 1층과 처리부의 2층 각각에 1대씩 설치되고, 승강 장치는, 처리부의 1층에 설치되는 수평 다관절 로봇이 반송 대상물의 반입 및 반출을 행하는 것이 가능한 위치에서 고정됨과 함께 반송 대상물이 수용되는 제2 수용부를 구비하고, 수용부는, 제2 수용부의 상측에 배치되고, 승강 기구는, 처리부의 1층과 처리부의 2층 사이에서 수용부를 승강시킨다. 이 경우에는, 처리부의 1층에 설치되는 복수의 처리 장치와 제2 수용부 사이에서 반송 대상물을 반송하는 것과 동시에, 처리부의 2층에 설치되는 복수의 처리 장치와 수용부 사이에서 반송 대상물을 반송하는 것이 가능해진다. 따라서, 제조 시스템의 생산성을 높이는 것이 가능해진다.In the present invention, for example, the processing unit is composed of two floors, one horizontal articulated robot is installed on each of the first floor of the processing unit and the second floor of the processing unit, and the lifting device is installed on the first floor of the processing unit. The horizontal articulated robot is fixed at a position capable of loading and unloading the object to be transported and has a second accommodating part in which the object to be transported is accommodated. The accommodating part is disposed above the second accommodating part, and the lifting mechanism is a processing part. The receiving unit is raised and lowered between the first floor of the processing unit and the second floor of the processing unit. In this case, the conveyed object is transported between a plurality of processing devices installed on the first floor of the processing section and the second storage section, and at the same time, the conveyed object is transported between a plurality of processing devices installed on the second floor of the processing section and the receiving section. It becomes possible to do so. Therefore, it becomes possible to increase the productivity of the manufacturing system.

본 발명의 제조 시스템에서는, 보유 지지부의 측면이 처리부에 고정되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 보유 지지부의 저면이 처리부의 각 층의 바닥면에 고정되어 있는 경우와 비교하여, 상하 방향에 있어서의 보유 지지부의 길이를 짧게 하는 것이 가능해진다. 따라서, 수평 다관절 로봇을 상하 방향으로 보다 소형화하는 것이 가능해진다.In the manufacturing system of the present invention, it is preferable that the side surface of the holding portion is fixed to the processing portion. With this configuration, it becomes possible to shorten the length of the holding portion in the vertical direction compared to the case where the bottom surface of the holding portion is fixed to the bottom surface of each layer of the processing section. Therefore, it becomes possible to further miniaturize the horizontal articulated robot in the vertical direction.

이상과 같이, 본 발명의 수평 다관절 로봇에서는, 3링크 아암형의 로봇의 이점을 손상시키지 않고, 수평 다관절 로봇을 상하 방향으로 보다 소형화하는 것이 가능해진다. 또한, 본 발명의 제조 시스템에서는, 수평 다관절 로봇의 높이가 낮아도, 처리부의 각 층마다 설치되는 수평 다관절 로봇에 의해, 복수 층의 각 층에 설치된 복수의 처리 장치에 대한 반송 대상물의 반입 및 반출을 적절하게 행하는 것이 가능해짐과 함께, 승강 장치에 의해, 높이가 상이한 복수의 층에 걸치도록 반송 대상물을 승강시키는 것이 가능해진다.As described above, in the horizontal articulated robot of the present invention, it becomes possible to further miniaturize the horizontal articulated robot in the vertical direction without losing the advantages of the three-link arm type robot. In addition, in the manufacturing system of the present invention, even if the height of the horizontal articulated robot is low, the horizontal articulated robot installed on each floor of the processing unit carries out transport objects to the plurality of processing devices installed on each floor of the plurality of floors. In addition to making it possible to properly carry out unloading, the lifting device makes it possible to elevate and lower the conveyed object so that it spans a plurality of floors with different heights.

도 1은 본 발명의 실시 형태에 관한 제조 시스템의 개략 구성을 정면측으로부터 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 도 1에 도시하는 제조 시스템의 개략 구성을 상측으로부터 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 도 1에 도시하는 수평 다관절 로봇의 측면도이다.
도 4는 도 3에 도시하는 수평 다관절 로봇의, 아암 지지부가 상승한 상태의 측면도이다.
도 5는 도 3에 도시하는 수평 다관절 로봇의 평면도이다.
도 6은 도 3에 도시하는 보유 지지부의 내부의 구조를 설명하기 위한 개략도이다.
도 7은 도 3에 도시하는 보유 지지부의 내부의 구조를 설명하기 위한 단면도이다.
도 8은 도 2의 E-E 방향으로부터 승강 장치를 도시하는 도면이다.
도 9는 도 2의 F-F 방향으로부터 승강 장치를 도시하는 도면이다.
도 10은 도 8에 도시하는 수용부의 구성을 상측으로부터 설명하기 위한 도면이다.1 is a diagram for explaining the schematic configuration of a manufacturing system according to an embodiment of the present invention from the front side.
FIG. 2 is a diagram for explaining the schematic configuration of the manufacturing system shown in FIG. 1 from above.
FIG. 3 is a side view of the horizontal articulated robot shown in FIG. 1.
FIG. 4 is a side view of the horizontal articulated robot shown in FIG. 3 with the arm support portion raised.
FIG. 5 is a plan view of the horizontal articulated robot shown in FIG. 3.
FIG. 6 is a schematic diagram for explaining the internal structure of the holding portion shown in FIG. 3.
FIG. 7 is a cross-sectional view for explaining the internal structure of the holding portion shown in FIG. 3.
FIG. 8 is a diagram showing the lifting device from the EE direction of FIG. 2.
FIG. 9 is a diagram showing the lifting device from the FF direction of FIG. 2.
FIG. 10 is a diagram for explaining the configuration of the accommodating portion shown in FIG. 8 from above.

이하, 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시 형태를 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention will be described with reference to the drawings.

(제조 시스템의 전체 구성)(Full configuration of manufacturing system)

도 1은, 본 발명의 실시 형태에 관한 제조 시스템(1)의 개략 구성을 정면측으로부터 설명하기 위한 도면이다. 도 2는, 도 1에 도시하는 제조 시스템(1)의 개략 구성을 상측으로부터 설명하기 위한 도면이다.1 is a diagram for explaining the schematic configuration of a manufacturing system 1 according to an embodiment of the present invention from the front side. FIG. 2 is a diagram for explaining the schematic configuration of the manufacturing system 1 shown in FIG. 1 from above.

본 형태의 제조 시스템(1)은, 반도체를 제조하기 위한 반도체 제조 시스템이다. 이 제조 시스템(1)은, 반도체 웨이퍼(2)(이하, 「웨이퍼(2)」라고 함)에 대하여 소정의 처리를 실행하는 복수의 처리 장치(3)를 갖는 처리부(4)를 구비하고 있다. 처리부(4)는 복수 층짜리로 구성됨과 함께 복수 층의 각 층에 처리 장치(3)가 복수 개 설치되어 있다. 또한, 제조 시스템(1)은, 처리부(4)의 각 층마다 설치되고 처리 장치(3)에 대한 웨이퍼(2)의 반입 및 반출을 행하는 수평 다관절 로봇(5)(이하, 「로봇(5)」이라고 함)을 구비하고 있다. 본 형태의 웨이퍼(2)는 로봇(5)에 의해 반송되는 반송 대상물이다.The manufacturing system 1 of this form is a semiconductor manufacturing system for manufacturing semiconductors. This manufacturing system 1 is provided with a processing unit 4 having a plurality of processing devices 3 that perform predetermined processing on a semiconductor wafer 2 (hereinafter referred to as “wafer 2”). . The processing unit 4 is composed of multiple floors, and a plurality of processing devices 3 are installed on each floor of the multiple floors. Additionally, the manufacturing system 1 includes a horizontal articulated robot 5 (hereinafter referred to as “robot 5”), which is installed on each floor of the processing unit 4 and carries out loading and unloading of the wafer 2 into and out of the processing device 3. )”). The wafer 2 of this form is a transport object transported by the robot 5.

이하의 설명에서는, 상하 방향에 직교하는 도 1 등의 X 방향을 「좌우 방향」이라 하고, 상하 방향 및 좌우 방향에 직교하는 도 1 등의 Y 방향을 「전후 방향」이라 한다. 또한, 좌우 방향 중 X1 방향측을 「우」측이라 하고 그 반대측인 X2 방향측을 「좌」측이라 하고, 전후 방향 중 Y1 방향측을 「전방」측이라 하고 그 반대측인 Y2 방향측을 「후방(뒤)」측이라 한다.In the following description, the In addition, the X1 direction side among the left and right directions is called the "right" side, the opposite side, the It is called the “rear” side.

본 형태의 처리부(4)는 도 1에 도시한 바와 같이, 2층짜리로 구성되어 있다. 처리부(4)의 1층과 처리부(4)의 2층 각각에는, 로봇(5)이 1대씩 설치되어 있다. 즉, 로봇(5)은, 처리부(4)의 내부에 설치되어 있다. 또한, 처리부(4)의 1층과 2층 각각에는, 예를 들어 6개의 처리 장치(3)가 설치되어 있다. 구체적으로는, 도 2에 도시한 바와 같이, 처리부(4)의 1층과 2층 각각에는, 좌우 방향으로 인접 배치되는 3개의 처리 장치(3)가 전후 방향에 있어서 소정의 간격을 둔 상태에서 2개소에 설치되어 있다. 또한, 각 처리 장치(3)는 웨이퍼(2)가 적재되는 웨이퍼 적재부(6)를 구비하고 있다.As shown in FIG. 1, the processing unit 4 of this form is comprised of two stories. One robot 5 is installed on each of the first floor of the processing unit 4 and the second floor of the processing unit 4. That is, the robot 5 is installed inside the processing unit 4. Additionally, for example, six processing devices 3 are installed on each of the first and second floors of the processing unit 4. Specifically, as shown in FIG. 2, on each of the first and second floors of the processing unit 4, three processing devices 3 are arranged adjacent to each other in the left and right directions at a predetermined distance in the front and rear directions. It is installed in two locations. Additionally, each processing device 3 is provided with a wafer loading section 6 on which wafers 2 are loaded.

로봇(5)은, 처리부(4)의 1층과 2층 각각에 있어서, 전방측에 배치되는 3개의 처리 장치(3)와, 후방측에 배치되는 3개의 처리 장치(3) 사이에 설치되어 있다. 또한, 로봇(5)은, 처리부(4)의 1층과 2층 각각에 있어서, 좌우 방향에 있어서의 처리부(4)의 중심 위치에 설치되어 있다. 처리부(4)의 1층과 2층 각각에는, 로봇(5)을 고정하기 위한 고정 프레임(7)이 설치되어 있고, 로봇(5)은 고정 프레임(7)에 고정되어 있다.The robot 5 is installed between three processing devices 3 located on the front side and three processing devices 3 located on the rear side, on each of the first and second floors of the processing unit 4. there is. Additionally, the robot 5 is installed at the center position of the processing unit 4 in the left and right directions on each of the first and second floors of the processing unit 4. A fixing frame 7 for fixing the robot 5 is installed on each of the first and second floors of the processing unit 4, and the robot 5 is fixed to the fixing frame 7.

또한, 제조 시스템(1)은, 복수의 웨이퍼(2)가 수용되는 2개의 수용부(10, 11)를 갖는 승강 장치(12)를 구비하고 있다. 승강 장치(12)는 처리부(4)의 내부의 우단부측에 설치되어 있다. 또한, 승강 장치(12)는 전후 방향에 있어서, 로봇(5)과 대략 동일 위치에 배치되어 있다. 이 승강 장치(12)는 고정 프레임(7)에 고정되어 있다. 또한, 제조 시스템(1)은, 상하 방향으로부터 보았을 때에, 좌우 방향에 있어서 로봇(5)과의 사이에 승강 장치(12)를 끼우도록 배치되는 수평 다관절 로봇(13)(이하, 「로봇(13)」이라고 함)을 구비하고 있다. 로봇(13)은, 처리부(4)의 외부에 설치됨과 함께, 전후 방향에 있어서, 승강 장치(12)와 대략 동일 위치에 배치되어 있다. 또한, 도 2에서는, 로봇(13)의 도시를 생략하였다.Additionally, the manufacturing system 1 is provided with a lifting device 12 having two accommodating portions 10 and 11 in which a plurality of wafers 2 are accommodated. The lifting device 12 is installed on the right end side of the inside of the processing unit 4. Additionally, the lifting device 12 is arranged at approximately the same position as the robot 5 in the front-back direction. This lifting device 12 is fixed to the fixed frame 7. Additionally, the manufacturing system 1 includes a horizontal articulated robot 13 (hereinafter referred to as “robot ( 13)”). The robot 13 is installed outside the processing unit 4 and is arranged at approximately the same position as the lifting device 12 in the front-back direction. Additionally, in FIG. 2, the robot 13 is omitted.

(수평 다관절 로봇의 구성)(Configuration of horizontal articulated robot)

도 3은, 도 1에 도시하는 로봇(5)의 측면도이다. 도 4는, 도 3에 도시하는 로봇(5)의, 아암 지지부(17)가 상승한 상태의 측면도이다. 도 5는, 도 3에 도시하는 로봇(5)의 평면도이다. 도 6은, 도 3에 도시하는 보유 지지부(18)의 내부의 구조를 설명하기 위한 개략도이다. 도 7은, 도 3에 도시하는 보유 지지부(18)의 내부의 구조를 설명하기 위한 단면도이다.FIG. 3 is a side view of the robot 5 shown in FIG. 1. FIG. 4 is a side view of the robot 5 shown in FIG. 3 with the arm support portion 17 raised. FIG. 5 is a top view of the robot 5 shown in FIG. 3. FIG. 6 is a schematic diagram for explaining the internal structure of the holding portion 18 shown in FIG. 3. FIG. 7 is a cross-sectional view for explaining the internal structure of the holding portion 18 shown in FIG. 3.

로봇(5)은, 3링크 아암형의 로봇이다. 이 로봇(5)은, 웨이퍼(2)가 탑재되는 2개의 핸드(14, 15)와, 핸드(14, 15)가 선단측에 회동 가능하게 연결됨과 함께 수평 방향으로 동작하는 아암(16)과, 아암(16)의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 아암 지지부(17)와, 아암 지지부(17)를 승강 가능하게 보유 지지하는 보유 지지부(18)를 구비하고 있다. 또한, 로봇(5)은, 아암(16)에 대하여 핸드(14, 15)를 회동시키는 핸드 구동 기구(19)와, 아암(16)을 구동하는 아암 구동 기구(20)를 구비하고 있다(도 3 참조). 또한, 로봇(5)은, 보유 지지부(18)에 대하여 아암 지지부(17)를 승강시키는 아암 승강 기구(21)를 구비하고 있다(도 6, 도 7 참조).The robot 5 is a three-link arm type robot. This robot 5 includes two hands 14 and 15 on which the wafer 2 is mounted, and an arm 16 in which the hands 14 and 15 are rotatably connected to the front end and operates in the horizontal direction. , the proximal end side of the arm 16 is provided with an arm support part 17 that is rotatably connected, and a holding part 18 that holds the arm support part 17 so that it can be raised and lowered. Additionally, the robot 5 is equipped with a hand drive mechanism 19 that rotates the hands 14 and 15 with respect to the arm 16 and an arm drive mechanism 20 that drives the arm 16 (Figure 3). Additionally, the robot 5 is provided with an arm lifting mechanism 21 that raises and lowers the arm support part 17 with respect to the holding part 18 (see FIGS. 6 and 7).

아암(16)은, 아암 지지부(17)에 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 제1 아암부(24)와, 제1 아암부(24)의 선단측에 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 제2 아암부(25)와, 제2 아암부(25)의 선단측에 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 제3 아암부(26)로 구성되어 있다. 즉, 아암(16)은, 서로 상대 회동 가능하게 연결되는 3개의 아암부를 구비하고 있다. 제1 아암부(24), 제2 아암부(25) 및 제3 아암부(26)는 중공 형상으로 형성되어 있다. 아암 지지부(17)와 제1 아암부(24)와 제2 아암부(25)와 제3 아암부(26)는, 상하 방향에 있어서, 하측부터 이 순서로 배치되어 있다.The arm 16 includes a first arm portion 24 whose proximal end side is rotatably connected to the arm support portion 17, and a second arm portion whose proximal end side is rotatably connected to the distal end of the first arm portion 24. It is composed of an arm portion (25) and a third arm portion (26) whose proximal end side is rotatably connected to the distal end side of the second arm portion (25). That is, the arm 16 is provided with three arm parts connected to each other so that relative rotation is possible. The first arm portion 24, the second arm portion 25, and the third arm portion 26 are formed in a hollow shape. The arm support portion 17, the first arm portion 24, the second arm portion 25, and the third arm portion 26 are arranged in this order from the bottom in the vertical direction.

핸드(14, 15)는 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 대략 Y 형상으로 되도록 형성되어 있다. 핸드(14, 15)는 핸드(14)의 기단부측 부분과 핸드(15)의 기단부측 부분이 상하 방향으로 겹치도록 배치되어 있다. 또한, 핸드(14)가 상측에 배치되고, 핸드(15)가 하측에 배치되어 있다. 핸드(14, 15)의 기단부측 부분은, 제3 아암부(26)의 선단측에 회동 가능하게 연결되어 있다. 핸드(14, 15)의 선단측 부분의 상면은, 웨이퍼(2)가 탑재되는 탑재면으로 되어 있으며, 핸드(14, 15)의 선단측 부분의 상면에는, 1매의 웨이퍼(2)가 탑재된다. 핸드(14, 15)는, 제3 아암부(26)보다도 상측에 배치되어 있다.The hands 14 and 15 are formed to have a substantially Y shape when viewed from the vertical direction. The hands 14 and 15 are arranged so that the proximal end side portion of the hand 14 and the proximal end side portion of the hand 15 overlap in the vertical direction. Additionally, the hand 14 is placed on the upper side, and the hand 15 is placed on the lower side. The proximal end side portions of the hands 14 and 15 are rotatably connected to the distal end side of the third arm portion 26. The upper surface of the distal end portion of the hands 14 and 15 serves as a mounting surface on which the wafer 2 is mounted, and one wafer 2 is mounted on the upper surface of the distal end portion of the hands 14 and 15. do. The hands 14 and 15 are disposed above the third arm portion 26.

또한, 도 2에서는, 핸드(15)의 도시를 생략하였다. 또한, 본 형태의 로봇(5)의 동작 시에는, 핸드(14)와 핸드(15)가 상하 방향으로 겹칠 경우도 있지만, 대부분의 경우, 핸드(14)와 핸드(15)는, 상하 방향으로 겹쳐 있지 않다. 예를 들어, 도 2의 이점쇄선으로 나타낸 바와 같이, 핸드(14)가 처리 장치(3) 내에 인입하고 있을 때에는, 핸드(15)는 아암 지지부(17)측으로 회전하고 있으며, 처리 장치(3) 내에 들어와 있지 않다. 이때의 핸드(14)에 대한 핸드(15)의 회전 각도는, 예를 들어 120°내지 150°이다.Additionally, in FIG. 2, the hand 15 is omitted. In addition, when operating the robot 5 of this form, the hand 14 and the hand 15 may overlap in the vertical direction, but in most cases, the hand 14 and the hand 15 overlap in the vertical direction. There is no overlap. For example, as shown by the two-dot chain line in FIG. 2, when the hand 14 is inserted into the processing device 3, the hand 15 is rotating toward the arm support portion 17, and the processing device 3 It's not inside. At this time, the rotation angle of the hand 15 with respect to the hand 14 is, for example, 120° to 150°.

보유 지지부(18)는 대략 직육면체의 상자 형상으로 형성되어 있다. 보유 지지부(18)의 상단면 및 하단면은, 상하 방향에 직교하는 평면으로 되어 있다. 또한, 보유 지지부(18)의 전후의 양측면은, 전후 방향에 직교하는 평면으로 되어 있고, 보유 지지부(18)의 좌우의 양측면은, 좌우 방향에 직교하는 평면으로 되어 있다. 상술한 바와 같이, 로봇(5)은, 처리부(4)의 고정 프레임(7)에 고정되어 있다. 본 형태에서는, 보유 지지부(18)의 전방측면이 고정 프레임(7)에 고정되어 있다. 즉, 보유 지지부(18)의 전방측면이 처리부(4)에 고정되어 있다.The holding portion 18 is formed in a substantially rectangular box shape. The upper and lower surfaces of the holding portion 18 are planes perpendicular to the vertical direction. In addition, both front and rear surfaces of the holding portion 18 are planes perpendicular to the front-to-back direction, and both left and right sides of the holding portion 18 are planes perpendicular to the left and right directions. As described above, the robot 5 is fixed to the fixing frame 7 of the processing unit 4. In this form, the front side of the holding portion 18 is fixed to the fixed frame 7. That is, the front side of the holding portion 18 is fixed to the processing portion 4.

아암 지지부(17)는 대략 직육면체의 상자 형상으로 형성되어 있다. 아암 지지부(17)의 상단면 및 하단면은, 상하 방향에 직교하는 평면으로 되어 있다. 또한, 아암 지지부(17)의 전후의 양측면은, 전후 방향에 직교하는 평면으로 되어 있고, 아암 지지부(17)의 좌우의 양측면은, 좌우 방향에 직교하는 평면으로 되어 있다. 제1 아암부(24)의 기단부측은, 아암 지지부(17)의 상단면에 회동 가능하게 연결되어 있다. 아암 지지부(17)는 보유 지지부(18)의 후방측에 배치되어 있고, 아암 지지부(17)와 보유 지지부(18)는 전후 방향에 있어서 어긋나 있다. 또한, 아암 지지부(17)는 보유 지지부(18)의 후방측면을 따라 승강 가능하게 되어 있다. 아암 지지부(17)의 높이(상하 방향의 길이)는, 보유 지지부(18)의 높이(상하 방향의 길이)보다도 낮게 되어 있다.The arm support portion 17 is formed in a substantially rectangular box shape. The upper and lower surfaces of the arm support portion 17 are planes perpendicular to the vertical direction. In addition, both front and rear surfaces of the arm support portion 17 are planes perpendicular to the front and rear directions, and both left and right sides of the arm support portion 17 are planes perpendicular to the left and right directions. The proximal end side of the first arm portion 24 is rotatably connected to the upper end surface of the arm support portion 17. The arm support portion 17 is disposed on the rear side of the holding portion 18, and the arm supporting portion 17 and the holding portion 18 are shifted in the front-back direction. Additionally, the arm support portion 17 is capable of being raised and lowered along the rear side of the holding portion 18. The height (length in the vertical direction) of the arm support portion 17 is lower than the height (length in the vertical direction) of the holding portion 18.

아암 구동 기구(20)는 도 3에 도시한 바와 같이, 아암(16)이 신축되도록 제1 아암부(24) 및 제2 아암부(25)를 함께 회동시키는 제1 구동 기구(27)와, 제2 아암부(25)에 대하여 제3 아암부(26)를 회동시키는 제2 구동 기구(28)를 구비하고 있다. 제1 구동 기구(27)는 모터(30)와, 모터(30)의 동력을 감속하여 제1 아암부(24)로 전달하기 위한 감속기(31)와, 모터(30)의 동력을 감속하여 제2 아암부(25)로 전달하기 위한 감속기(32)를 구비하고 있다. 제2 구동 기구(28)는 모터(33)와, 모터(33)의 동력을 감속하여 제3 아암부(26)로 전달하기 위한 감속기(34)를 구비하고 있다. 또한, 제1 구동 기구(27)는 좌우 방향에 평행한 가상선 상을 제2 아암부(25)와 제3 아암부(26)의 연결부가 직선적으로 이동하도록, 제1 아암부(24) 및 제2 아암부(25)를 회동시킨다.As shown in FIG. 3, the arm drive mechanism 20 includes a first drive mechanism 27 that rotates the first arm portion 24 and the second arm portion 25 together so that the arm 16 expands and contracts; It is provided with a second drive mechanism (28) that rotates the third arm portion (26) with respect to the second arm portion (25). The first drive mechanism 27 includes a motor 30, a reducer 31 for reducing the power of the motor 30 and transmitting it to the first arm 24, and a reducer 31 for reducing the power of the motor 30 to transmit it to the first arm 24. 2 It is provided with a reducer (32) for transmitting it to the arm part (25). The second drive mechanism 28 includes a motor 33 and a reducer 34 for reducing the power of the motor 33 and transmitting it to the third arm 26. In addition, the first drive mechanism 27 is configured to move the first arm portion 24 and the third arm portion 26 so that the connection portion of the second arm portion 25 and the third arm portion 26 moves linearly on an imaginary line parallel to the left and right directions. The second arm portion 25 is rotated.

모터(30)는 아암 지지부(17)의 내부에 배치되어 있다. 감속기(31)는 아암 지지부(17)와 제1 아암부(24)를 연결하는 관절부를 구성하고 있다. 감속기(32)는 제1 아암부(24)와 제2 아암부(25)를 연결하는 관절부를 구성하고 있다. 모터(30)와 감속기(31)는, 도시를 생략한 풀리 및 벨트를 개재하여 연결되고, 모터(30)와 감속기(32)는, 도시를 생략한 풀리 및 벨트 등을 개재하여 연결되어 있다. 모터(33)는 제2 아암부(25)의 내부에 배치되어 있다. 감속기(34)는 제2 아암부(25)와 제3 아암부(26)를 연결하는 관절부를 구성하고 있다. 모터(33)와 감속기(34)는, 도시를 생략한 기어열을 개재하여 연결되어 있다.The motor 30 is disposed inside the arm support portion 17. The reducer 31 constitutes a joint portion connecting the arm support portion 17 and the first arm portion 24. The reducer 32 constitutes a joint portion connecting the first arm portion 24 and the second arm portion 25. The motor 30 and the reducer 31 are connected via a pulley and belt not shown, and the motor 30 and the reducer 32 are connected via a pulley and belt not shown. The motor 33 is disposed inside the second arm portion 25. The reducer 34 constitutes a joint portion connecting the second arm portion 25 and the third arm portion 26. The motor 33 and the reducer 34 are connected via a gear train not shown.

핸드 구동 기구(19)는 모터(35)와, 모터(35)의 동력을 감속하여 핸드(14)로 전달하기 위한 감속기(36)와, 모터(37)와, 모터(37)의 동력을 감속하여 핸드(15)로 전달하기 위한 감속기(38)를 구비하고 있다. 모터(35, 37) 및 감속기(36, 38)는 제3 아암부(26)의 내부에 배치되어 있다. 핸드(14)의 기단부측과 감속기(36)는, 도시를 생략한 풀리 및 벨트를 개재하여 연결되고, 핸드(15)의 기단부측과 감속기(38)는, 도시를 생략한 풀리 및 벨트를 개재하여 연결되어 있다.The hand drive mechanism 19 includes a motor 35, a reducer 36 for reducing the power of the motor 35 and transmitting it to the hand 14, a motor 37, and a reducer 36 for reducing the power of the motor 37. It is equipped with a reducer 38 to transmit it to the hand 15. Motors 35 and 37 and reducers 36 and 38 are disposed inside the third arm portion 26. The proximal end side of the hand 14 and the reducer 36 are connected via a pulley and belt not shown, and the proximal end side of the hand 15 and the reducer 38 are connected via a pulley and belt not shown. It is connected.

아암 승강 기구(21)는 도 6, 도 7에 도시한 바와 같이, 상하 방향을 축방향으로 하여 배치되는 볼 나사(39)와, 볼 나사(39)를 회전시키는 모터(40)와, 볼 나사(39)에 걸림 결합하는 너트 부재(41)와, 아암 지지부(17)를 상하 방향으로 안내하는 가이드 레일(42) 및 가이드 블록(43)을 구비하고 있다. 이 아암 승강 기구(21)는 보유 지지부(18)의 내부에 배치되어 있다.As shown in FIGS. 6 and 7, the arm lifting mechanism 21 includes a ball screw 39 arranged with the vertical direction as the axial direction, a motor 40 that rotates the ball screw 39, and a ball screw. It is provided with a nut member 41 that engages with 39, a guide rail 42 and a guide block 43 that guide the arm support portion 17 in the vertical direction. This arm lifting mechanism 21 is disposed inside the holding portion 18.

볼 나사(39)는 보유 지지부(18)의 일부를 구성하는 프레임(44)에 회전 가능하게 보유 지지되어 있다. 볼 나사(39)의 하단측에는, 풀리(45)가 고정되어 있다. 모터(40)는 프레임(44)에 고정되어 있다. 모터(40)의 출력축에는 풀리(46)가 고정되어 있다. 풀리(45)와 풀리(46)에는 벨트(47)가 걸쳐져 있다. 가이드 레일(42)은 프레임(44)에 고정되어 있다. 가이드 레일(42)은, 가이드 레일(42)의 길이 방향과 상하 방향이 일치하도록 배치되어 있다. 또한, 본 형태에서는, 프레임(44)의 좌우의 양단측의 2개소에 가이드 레일(42)이 고정되어 있다.The ball screw 39 is rotatably held by a frame 44 constituting a part of the holding portion 18. A pulley 45 is fixed to the lower end of the ball screw 39. The motor 40 is fixed to the frame 44. A pulley 46 is fixed to the output shaft of the motor 40. A belt 47 is stretched between the pulley 45 and the pulley 46. The guide rail 42 is fixed to the frame 44. The guide rail 42 is arranged so that the longitudinal direction of the guide rail 42 coincides with the vertical direction. Additionally, in this form, the guide rails 42 are fixed at two locations on both left and right ends of the frame 44.

너트 부재(41)는 아암 지지부(17)의 전방측면에 고정되는 고정 부재(48)(도 7 참조)에 고정되어 있다. 가이드 블록(43)도 고정 부재(48)에 고정되어 있다. 고정 부재(48)에는, 후방측으로 돌출된 돌출부(48a)가 형성되어 있고, 돌출부(48a)의 후단면이 아암 지지부(17)의 전방측면에 고정되어 있다. 고정 부재(48)는 보유 지지부(18)의 일부를 구성하는 커버(49)에 덮여 있다. 커버(49)에는, 돌출부(48a)가 배치되는 슬릿 형상의 배치 구멍(49a)이 형성되어 있다.The nut member 41 is fixed to a fixing member 48 (see FIG. 7) fixed to the front side of the arm support portion 17. The guide block 43 is also fixed to the fixing member 48. The fixing member 48 is formed with a protrusion 48a that protrudes rearward, and the rear end surface of the protrusion 48a is fixed to the front side of the arm support portion 17. The fixing member 48 is covered with a cover 49 constituting a part of the holding portion 18. The cover 49 is formed with a slit-shaped arrangement hole 49a where the protrusion 48a is placed.

아암 승강 기구(21)는 도 3에 도시하는 아암 지지부(17)의 하한 위치와 도 4에 도시하는 아암 지지부(17)의 상한 위치 사이에서 아암 지지부(17)를 승강시킨다. 아암 지지부(17)가 하한 위치까지 하강하고 있을 때에는, 도 3에 도시한 바와 같이, 보유 지지부(18)의 상단면은, 제1 아암부(24)의 하면보다도 상측에 있다. 구체적으로는, 보유 지지부(18)의 상단면은, 아암 지지부(17)의 상단면에 회동 가능하게 연결되는 제1 아암부(24)의 기단부측 부분의 하면보다도 상측에 있다.The arm lifting mechanism 21 raises and lowers the arm support part 17 between the lower limit position of the arm support part 17 shown in FIG. 3 and the upper limit position of the arm support part 17 shown in FIG. 4 . When the arm support portion 17 is lowered to the lower limit position, the upper end surface of the holding portion 18 is higher than the lower surface of the first arm portion 24, as shown in FIG. 3 . Specifically, the upper end surface of the holding portion 18 is located above the lower surface of the proximal end side portion of the first arm portion 24 that is rotatably connected to the upper end surface of the arm supporting portion 17.

또한, 아암 지지부(17)가 하한 위치까지 하강하고 있을 때에는, 보유 지지부(18)의 상단면은, 제3 아암부(26)의 하면보다도 하측에 있다. 본 형태에서는, 아암 지지부(17)가 하한 위치까지 하강하고 있을 때에, 보유 지지부(18)의 상단면은, 제2 아암부(25)의 상면보다도 약간 하측에 있다. 즉, 아암 지지부(17)가 하한 위치까지 하강하고 있을 때에, 보유 지지부(18)의 상단면은, 상하 방향에 있어서, 제2 아암부(25)의 상면과 제2 아암부(25)의 하면 사이에 있다.Additionally, when the arm support portion 17 is lowered to the lower limit position, the upper end surface of the holding portion 18 is lower than the lower surface of the third arm portion 26. In this form, when the arm support part 17 is lowered to the lower limit position, the upper end surface of the holding part 18 is slightly lower than the upper surface of the second arm part 25. That is, when the arm support portion 17 is lowered to the lower limit position, the upper end surface of the holding portion 18 is aligned with the upper surface of the second arm portion 25 and the lower surface of the second arm portion 25 in the vertical direction. It's in between.

로봇(13)은, 도 1에 도시한 바와 같이, 웨이퍼(2)가 탑재되는 2개의 핸드(52, 53)와, 핸드(52)가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 아암(54)과, 핸드(53)가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 아암(55)과, 아암(54, 55)의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 아암 지지부(56)와, 아암 지지부(56)를 승강 가능하게 보유 지지하는 본체부(57)를 구비하고 있다. 핸드(52, 53)에는, 복수매의 웨이퍼(2)가 탑재 가능하게 되어 있다.As shown in FIG. 1, the robot 13 includes two hands 52 and 53 on which the wafer 2 is mounted, and an arm 54 to which the hand 52 is rotatably connected to the distal end, An arm 55 to which the hand 53 is rotatably connected to the distal end, an arm support 56 to which the proximal ends of the arms 54 and 55 are rotatably connected, and the arm support 56 to be raised and lowered. It is provided with a main body portion 57 for holding and supporting. A plurality of wafers 2 can be mounted on the hands 52 and 53.

또한, 로봇(13)은, 아암(54)에 대하여 핸드(52)를 회동시키는 핸드 구동 기구(도시 생략)와, 아암(55)에 대하여 핸드(53)를 회동시키는 핸드 구동 기구(도시 생략)와, 아암(54)을 구동하는 아암 구동 기구(도시 생략)와, 아암(55)을 구동하는 아암 구동 기구(도시 생략)와, 본체부(57)에 대하여 아암 지지부(56)를 회동시키는 아암 지지부 구동 기구(도시 생략)와, 본체부(57)에 대하여 아암 지지부(56)를 승강시키는 아암 승강 기구(도시 생략)를 구비하고 있다.Additionally, the robot 13 includes a hand drive mechanism (not shown) that rotates the hand 52 about the arm 54 and a hand drive mechanism (not shown) that rotates the hand 53 about the arm 55. and an arm drive mechanism (not shown) that drives the arm 54, an arm drive mechanism (not shown) that drives the arm 55, and an arm that rotates the arm support portion 56 with respect to the main body portion 57. It is provided with a support drive mechanism (not shown) and an arm elevating mechanism (not shown) that raises and lowers the arm support part 56 with respect to the main body part 57.

상술한 바와 같이, 로봇(13)은, 상하 방향으로부터 보았을 때에, 좌우 방향에 있어서 로봇(5)과의 사이에 승강 장치(12)를 끼우도록 배치되어 있다. 구체적으로는, 로봇(13)은, 도 1에 도시한 바와 같이, 좌우 방향에 있어서, 처리부(4)의 1층에 설치되는 로봇(5)과의 사이에 승강 장치(12)를 끼우도록 배치되어 있다. 이 로봇(13)은, 수용부(10, 11)에 대한 웨이퍼(2)의 반입 및 반출을 행한다.As described above, the robot 13 is arranged so that the lifting device 12 is sandwiched between the robot 5 and the robot 5 in the left and right directions when viewed from the up and down directions. Specifically, as shown in FIG. 1, the robot 13 is arranged so that the lifting device 12 is sandwiched between the robot 5 installed on the first floor of the processing unit 4 in the left and right directions. It is done. This robot 13 carries out loading and unloading of wafers 2 into and out of the receiving units 10 and 11 .

(승강 장치의 구성)(Configuration of lifting device)

도 8은, 도 2의 E-E 방향으로부터 승강 장치(12)를 도시하는 도면이다. 도 9는, 도 2의 F-F 방향으로부터 승강 장치(12)를 도시하는 도면이다. 도 10은, 도 8에 도시하는 수용부(10)의 구성을 상측으로부터 설명하기 위한 도면이다.FIG. 8 is a diagram showing the lifting device 12 from the E-E direction in FIG. 2. FIG. 9 is a diagram showing the lifting device 12 from the direction F-F in FIG. 2. FIG. 10 is a diagram for explaining the configuration of the accommodating portion 10 shown in FIG. 8 from above.

승강 장치(12)는 상술한 수용부(10, 11) 외에, 수용부(10)를 승강 가능하게 보유 지지하는 기둥 형상의 기둥 형상 부재(60)와, 기둥 형상 부재(60)에 대하여 수용부(10)를 승강시키는 승강 기구(61)를 구비하고 있다. 수용부(10)와 수용부(11)는, 상하 방향으로 겹쳐 있다. 또한, 수용부(10)는 수용부(11)의 상측에 배치되어 있다.In addition to the accommodating parts 10 and 11 described above, the lifting device 12 includes a pillar-shaped member 60 that holds the accommodating part 10 so as to be able to lift it, and a receiving part with respect to the pillar-shaped member 60. It is provided with a lifting mechanism 61 that raises and lowers (10). The accommodating part 10 and the accommodating part 11 overlap in the vertical direction. Additionally, the accommodating part 10 is disposed above the accommodating part 11.

기둥 형상 부재(60)는 상하 방향으로 가늘고 긴 대략 사각 기둥 형상으로 형성되어 있다. 또한, 기둥 형상 부재(60)는 중공 형상으로 형성되어 있다. 기둥 형상 부재(60)의 상단면 및 하단면은, 상하 방향에 직교하는 평면으로 되어 있다. 또한, 기둥 형상 부재(60)의 전후의 양측면은, 전후 방향에 직교하는 평면으로 되어 있고, 기둥 형상 부재(60)의 좌우의 양측면은, 좌우 방향에 직교하는 평면으로 되어 있다. 상술한 바와 같이, 승강 장치(12)는 처리부(4)의 고정 프레임(7)에 고정되어 있다. 본 형태에서는, 기둥 형상 부재(60)의 전방측면이 고정 프레임(7)에 고정되어 있다.The pillar-shaped member 60 is formed into a substantially square pillar shape that is elongated in the vertical direction. Additionally, the pillar-shaped member 60 is formed in a hollow shape. The upper and lower surfaces of the columnar member 60 are planes perpendicular to the vertical direction. Additionally, both front and rear surfaces of the columnar member 60 are planes perpendicular to the front-to-back direction, and both left and right sides of the columnar member 60 are planes perpendicular to the left and right directions. As described above, the lifting device 12 is fixed to the fixing frame 7 of the processing unit 4. In this form, the front side of the pillar-shaped member 60 is fixed to the fixed frame 7.

수용부(10)는 기둥 형상 부재(60)의 후방측에 배치되어 있고, 기둥 형상 부재(60)의 후방측면을 따라 승강 가능하게 되어 있다. 수용부(10)에는, 복수매의 웨이퍼(2)가 상하 방향으로 겹친 상태에서 수용 가능하게 되어 있다. 상하 방향에 있어서, 수용부(10)에 수용되는 복수매의 웨이퍼(2) 각각의 사이에는, 일정한 간극이 형성되어 있다. 수용부(10)에는, 예를 들어 10매의 웨이퍼(2)가 수용 가능하게 되어 있다. 수용부(10)는 사각통 형상으로 형성되는 프레임(62)과, 복수매의 웨이퍼(2) 각각이 적재되는 복수의 적재부(63)(도 10 참조)와, 수용부(10)에 수용된 복수매의 웨이퍼(2)를 함께 파지하는 웨이퍼 파지 기구(64)(도 10 참조)를 구비하고 있다.The receiving portion 10 is disposed on the rear side of the columnar member 60 and can be raised and lowered along the rear side of the columnar member 60. The accommodating portion 10 can accommodate a plurality of wafers 2 in an overlapping state in the vertical direction. In the vertical direction, a certain gap is formed between each of the plurality of wafers 2 accommodated in the receiving portion 10. The storage unit 10 can accommodate, for example, 10 wafers 2. The receiving portion 10 includes a frame 62 formed in the shape of a rectangular cylinder, a plurality of loading portions 63 (see FIG. 10) on which a plurality of wafers 2 are each loaded, and a plurality of wafers 2 accommodated in the receiving portion 10. It is provided with a wafer holding mechanism 64 (see FIG. 10) that holds a plurality of wafers 2 together.

프레임(62)은, 사각통 형상으로 형성되는 프레임(62)의 축방향과 좌우 방향이 일치하도록 배치되어 있고, 프레임(62)의 좌우의 양단은 개구되어 있다. 적재부(63)는 프레임(62)의 내주면으로부터 전후 방향의 내측을 향하여 돌출되도록 프레임(62)에 고정되는 4개의 적재판(65)에 의해 구성되어 있다. 적재판(65)은 프레임(62)의 전방측면부(62a)의 좌우의 양단측의 2개소와, 프레임(62)의 후방측면부(62b)의 좌우의 양단측의 2개소에 고정되어 있다. 적재판(65) 위에는, 적재부(63)에 적재되는 웨이퍼(2)를 위치 결정하기 위한 위치 결정 부재(66)가 고정되어 있다. 위치 결정 부재(66)에는, 웨이퍼(2)의 외주면에 맞닿는 맞닿음벽부(66a)가 상측을 향하여 솟아오르듯이 형성되어 있다.The frame 62 is arranged so that the axial direction of the frame 62, which is formed in a rectangular cylinder shape, coincides with the left and right directions, and both left and right ends of the frame 62 are open. The loading portion 63 is comprised of four loading plates 65 fixed to the frame 62 so as to protrude from the inner peripheral surface of the frame 62 inward in the front-back direction. The loading plate 65 is fixed at two locations on both left and right ends of the front side portion 62a of the frame 62 and at two locations on both left and right ends of the rear side portion 62b of the frame 62. A positioning member 66 for positioning the wafer 2 loaded on the loading unit 63 is fixed on the loading plate 65 . In the positioning member 66, an abutting wall portion 66a abutting the outer peripheral surface of the wafer 2 is formed so as to rise upward.

웨이퍼 파지 기구(64)는 복수의 적재부(63)에 적재되는 복수매의 웨이퍼(2)에 전방측으로부터 접촉하여, 후방측에 배치되는 위치 결정 부재(66)의 맞닿음벽부(66a)에 웨이퍼(2)를 압박하는 압박 부재(67)와, 압박 부재(67)를 전후 방향으로 이동시키는 구동원(68)을 구비하고 있다. 구동원(68)은, 예를 들어 에어 실린더이며, 수용부(10)의 일부를 구성하는 고정 부재(69)에 고정되어 있다. 고정 부재(69)에는, 프레임(62)의 전방측면부(62a)도 고정되어 있다.The wafer holding mechanism 64 contacts the plurality of wafers 2 loaded on the plurality of loading units 63 from the front side, and contacts the abutting wall portion 66a of the positioning member 66 disposed on the rear side. It is provided with a pressing member 67 that presses the wafer 2 and a drive source 68 that moves the pressing member 67 in the front-back direction. The drive source 68 is, for example, an air cylinder, and is fixed to a fixing member 69 that constitutes a part of the accommodating portion 10. The front side portion 62a of the frame 62 is also fixed to the fixing member 69.

본 형태에서는, 압박 부재(67)가 전방측으로 퇴피한 상태에서, 복수의 적재부(63)의 각각에 웨이퍼(2)가 적재된다. 또한, 복수의 적재부(63)의 각각에 웨이퍼(2)가 적재된 상태에서, 구동원(68)이 기동하여 압박 부재(67)가 후방측으로 이동하면, 복수의 적재부(63)에 적재된 복수매의 웨이퍼(2)가, 후방측에 배치되는 위치 결정 부재(66)와 압박 부재(67)에 의해 일괄적으로 파지된다. 웨이퍼 파지 기구(64)는 수용부(10)가 승강할 때에 적재부(63)에 적재된 웨이퍼(2)가 적재부(63)로부터 빠져서 낙하하는 일이 없도록, 수용부(10)가 승강할 때에 웨이퍼(2)를 파지한다.In this form, the wafer 2 is loaded on each of the plurality of loading units 63 with the pressing member 67 retracted toward the front side. In addition, in a state where the wafer 2 is loaded on each of the plurality of loading units 63, when the drive source 68 is activated and the pressing member 67 moves rearward, the wafers 2 loaded on the plurality of loading units 63 are A plurality of wafers 2 are collectively held by a positioning member 66 and a pressing member 67 disposed on the rear side. The wafer holding mechanism 64 moves the receiving unit 10 up and down so that the wafer 2 loaded on the loading unit 63 does not fall out of the loading unit 63 when the receiving unit 10 moves up and down. The wafer 2 is held at this time.

수용부(11)는 수용부(10)의 프레임(62)과 거의 마찬가지로 형성되는 프레임과, 수용부(10)의 적재부(63)와 거의 마찬가지로 형성되는 복수의 적재부를 구비하고 있고, 수용부(11)에는, 복수매의 웨이퍼(2)(예를 들어, 10매의 웨이퍼(2))가 상하 방향으로 겹친 상태에서 수용 가능하게 되어 있다. 단, 수용부(11)는 웨이퍼 파지 기구(64)에 상당하는 웨이퍼(2)의 파지 기구를 구비하고 있지 않다. 도 9에 도시한 바와 같이, 수용부(11)는 기둥 형상 부재(60)의 후방측에 배치되어 있다. 또한, 수용부(11)는 고정 부재(71)를 개재하여 기둥 형상 부재(60)의 하단측에 고정되어 있다.The accommodating part 11 has a frame formed almost similarly to the frame 62 of the accommodating part 10, and a plurality of loading parts formed almost similarly to the loading part 63 of the accommodating part 10. In (11), a plurality of wafers 2 (for example, 10 wafers 2) can be accommodated in a state where they are overlapped in the vertical direction. However, the receiving portion 11 is not provided with a holding mechanism for the wafer 2 corresponding to the wafer holding mechanism 64 . As shown in FIG. 9 , the receiving portion 11 is disposed on the rear side of the pillar-shaped member 60. Additionally, the receiving portion 11 is fixed to the lower end of the pillar-shaped member 60 via a fixing member 71.

수용부(11)는 상하 방향에 있어서, 처리부(4)의 1층에 설치되는 로봇(5)의 핸드(14, 15)와 거의 동일 위치에서 기둥 형상 부재(60)에 고정되어 있다(도 1 참조). 즉, 수용부(11)는 처리부(4)의 1층에 설치되는 로봇(5)이 수용부(11)에 대하여 웨이퍼(2)의 반입 및 반출을 행하는 것이 가능한 위치에서 고정되어 있다. 또한, 로봇(13)은, 수용부(11)에 대한 웨이퍼(2)의 반입 및 반출이 가능해지는 위치에 설치되어 있다. 본 형태의 수용부(11)는 제2 수용부이다.The receiving portion 11 is fixed to the column-shaped member 60 at substantially the same position as the hands 14 and 15 of the robot 5 installed on the first floor of the processing portion 4 in the vertical direction (Fig. 1 reference). That is, the accommodating unit 11 is fixed at a position where the robot 5 installed on the first floor of the processing unit 4 can load and unload the wafer 2 into and out of the accommodating unit 11 . Additionally, the robot 13 is installed at a position where loading and unloading of the wafer 2 into and out of the storage unit 11 is possible. The accommodating part 11 of this form is the second accommodating part.

승강 기구(61)는 상하 방향을 축방향으로 하여 배치되는 볼 나사(72)와, 볼 나사(72)를 회전시키는 모터(73)와, 볼 나사(72)에 걸림 결합하는 너트 부재(74)와, 수용부(10)를 상하 방향으로 안내하는 가이드 레일(75)을 구비하고 있다. 이 승강 기구(61)는 기둥 형상 부재(60)의 내부에 배치되어 있다. 볼 나사(72)는 기둥 형상 부재(60)에 회전 가능하게 보유 지지되어 있다. 모터(73)는 기둥 형상 부재(60)의 내부의 하단측에 고정되어 있다. 볼 나사(72)의 하단측과 모터(73)의 출력축은, 예를 들어 커플링을 개재하여 연결되어 있다.The lifting mechanism 61 includes a ball screw 72 arranged with the vertical direction axially, a motor 73 that rotates the ball screw 72, and a nut member 74 engaged with the ball screw 72. And, it is provided with a guide rail 75 that guides the receiving part 10 in the vertical direction. This lifting mechanism 61 is arranged inside the pillar-shaped member 60. The ball screw 72 is rotatably held by the column-shaped member 60. The motor 73 is fixed to the inner lower end of the pillar-shaped member 60. The lower end of the ball screw 72 and the output shaft of the motor 73 are connected via, for example, a coupling.

도 8에 도시한 바와 같이, 가이드 레일(75)은, 가이드 레일(75)의 길이 방향과 상하 방향이 일치하도록 기둥 형상 부재(60)에 고정되어 있다. 또한, 본 형태에서는, 좌우 방향으로 소정의 간격을 벌린 상태에서 2개의 가이드 레일(75)이 배치되어 있다. 너트 부재(74)는 고정 부재(69)에 고정되어 있고, 고정 부재(69)를 개재하여 수용부(10)의 프레임(62)에 설치되어 있다. 또한, 고정 부재(69)에는, 가이드 레일(75)에 걸림 결합하는 가이드 블록(도시 생략)이 고정되어 있다.As shown in FIG. 8, the guide rail 75 is fixed to the column-shaped member 60 so that the longitudinal direction of the guide rail 75 and the vertical direction coincide. Additionally, in this form, two guide rails 75 are arranged at a predetermined distance in the left and right directions. The nut member 74 is fixed to the fixing member 69 and is installed on the frame 62 of the receiving portion 10 via the fixing member 69. Additionally, a guide block (not shown) that engages the guide rail 75 is fixed to the fixing member 69 .

승강 기구(61)는 도 9의 실선 및 도 8에 도시하는 수용부(10)의 상한 위치와, 도 9의 이점쇄선으로 나타내는 수용부(10)의 하한 위치 사이에서 수용부(10)를 승강시킨다. 구체적으로는, 승강 기구(61)는 처리부(4)의 1층과 2층 사이에서 수용부(10)를 승강시킨다. 수용부(10)가 상한 위치까지 상승하고 있을 때에는, 수용부(10)는 상하 방향에 있어서, 처리부(4)의 2층에 설치되는 로봇(5)의 핸드(14, 15)와 거의 동일 위치에 배치되어 있고, 이때에는, 처리부(4)의 2층에 설치되는 로봇(5)은, 수용부(10)에 대하여 웨이퍼(2)의 반입 및 반출을 행하는 것이 가능하게 되어 있다. 즉, 승강 기구(61)는 처리부(4)의 2층에 설치되는 로봇(5)이 수용부(10)에 대하여 웨이퍼(2)의 반입 및 반출을 행하는 것이 가능한 위치까지 수용부(10)를 승강시킨다.The lifting mechanism 61 raises and lowers the accommodating part 10 between the upper limit position of the accommodating part 10 shown in the solid line in FIG. 9 and FIG. 8 and the lower limit position of the accommodating part 10 shown in the two-dot chain line in FIG. 9. I order it. Specifically, the lifting mechanism 61 raises and lowers the accommodation unit 10 between the first and second floors of the processing unit 4. When the accommodating part 10 is raised to the upper limit position, the accommodating part 10 is at approximately the same position in the vertical direction as the hands 14 and 15 of the robot 5 installed on the second floor of the processing part 4. It is arranged in, and at this time, the robot 5 installed on the second floor of the processing unit 4 is capable of loading and unloading the wafer 2 into and out of the storage unit 10 . That is, the lifting mechanism 61 moves the receiving unit 10 to a position where the robot 5 installed on the second floor of the processing unit 4 can load and unload the wafer 2 into and out of the receiving unit 10. Elevate.

수용부(10)가 하한 위치까지 하강하고 있을 때에는, 수용부(10)는 수용부(11)의 바로 위에 있다. 또한, 이때에는, 아암 지지부(56)가 상한 위치에 배치되어 있는 로봇(13)이 수용부(10)에 대하여 웨이퍼(2)의 반입 및 반출을 행하는 것이 가능하게 되어 있다. 즉, 승강 기구(61)는 로봇(13)이 수용부(10)에 대하여 웨이퍼(2)의 반입 및 반출을 행하는 것이 가능한 위치까지 수용부(10)를 승강시킨다.When the accommodating part 10 is lowered to the lower limit position, the accommodating part 10 is immediately above the accommodating part 11. Also, at this time, the robot 13 with the arm support portion 56 disposed at the upper limit position is capable of loading and unloading the wafer 2 into and out of the receiving portion 10 . That is, the lifting mechanism 61 elevates the receiving unit 10 to a position where the robot 13 can load and unload the wafer 2 into and out of the receiving unit 10 .

(제조 시스템의 개략 동작)(Schematic operation of the manufacturing system)

제조 시스템(1)에서는, 로봇(13)의 우측에 복수매의 웨이퍼(2)가 수용되는 카세트(도시 생략)가 배치되어 있고, 로봇(13)은, 이 카세트와 수용부(10, 11) 사이에서 웨이퍼(2)를 반송한다. 로봇(13)이 수용부(10)에 대한 웨이퍼(2)의 반입이나 반출을 행할 때에는, 수용부(10)가 하한 위치까지 하강하고 있다. 처리부(4)의 2층에 설치되는 로봇(5)은, 처리부(4)의 2층에 설치되는 처리 장치(3)와 수용부(10) 사이에서 웨이퍼(2)를 반송한다. 이때에는, 수용부(10)는 상한 위치까지 상승하고 있다. 처리부(4)의 1층에 설치되는 로봇(5)은, 처리부(4)의 1층에 설치되는 처리 장치(3)와 수용부(11) 사이에서 웨이퍼(2)를 반송한다.In the manufacturing system 1, a cassette (not shown) accommodating a plurality of wafers 2 is disposed on the right side of the robot 13, and the robot 13 holds the cassette and the accommodating portions 10 and 11. The wafer 2 is transported between the two. When the robot 13 loads or unloads the wafer 2 into or out of the accommodating unit 10, the accommodating unit 10 is lowered to the lower limit position. The robot 5 installed on the second floor of the processing unit 4 transports the wafer 2 between the processing device 3 installed on the second floor of the processing unit 4 and the receiving unit 10 . At this time, the receiving portion 10 is rising to the upper limit position. The robot 5 installed on the first floor of the processing unit 4 transports the wafer 2 between the processing device 3 installed on the first floor of the processing unit 4 and the receiving unit 11 .

(본 형태의 주된 효과)(main effect of this form)

이상 설명한 바와 같이, 본 형태에서는, 로봇(5)의 아암 지지부(17)가 하한 위치까지 하강하고 있을 때에, 보유 지지부(18)의 상단면은, 도 3에 도시한 바와 같이, 제1 아암부(24)의 기단부측 부분의 하면보다도 상측에 있다. 즉, 본 형태에서는, 아암 지지부(17)가 하한 위치까지 하강하고 있을 때에, 제1 아암부(24)의 기단부측 부분의 하면이 보유 지지부(18)의 상단면보다도 하측에 있다. 그로 인해, 본 형태에서는, 특허문헌 1에 기재된 수평 다관절 로봇과 같이, 예를 들어 아암 지지부(17)가 하한 위치까지 하강했을 때에 아암 지지부(17)가 보유 지지부(18)의 내부에 수용됨과 함께 제1 아암부(24)의 기단부측 부분이 보유 지지부(18)의 상단면의 상측에 배치되어 있는 경우와 비교하여, 로봇(5)의 높이를 낮추는 것이 가능해진다.As explained above, in this form, when the arm support portion 17 of the robot 5 is lowered to the lower limit position, the upper end surface of the holding portion 18 is the first arm portion, as shown in FIG. 3. It is located above the lower surface of the proximal end portion of (24). That is, in this form, when the arm support portion 17 is lowered to the lower limit position, the lower surface of the proximal end side portion of the first arm portion 24 is lower than the upper end surface of the holding portion 18. Therefore, in this form, like the horizontal articulated robot described in Patent Document 1, for example, when the arm support portion 17 is lowered to the lower limit position, the arm support portion 17 is accommodated inside the holding portion 18. Additionally, compared to the case where the proximal end side portion of the first arm portion 24 is disposed above the upper end surface of the holding portion 18, it becomes possible to lower the height of the robot 5.

또한, 본 형태에서는, 아암 지지부(17)가 하한 위치까지 하강하고 있을 때에, 보유 지지부(18)의 상단면은, 제3 아암부(26)의 하면보다도 하측에 있다. 즉, 본 형태에서는, 아암 지지부(17)가 하한 위치까지 하강하고 있을 때에, 제3 아암부(26)의 하면은, 보유 지지부(18)의 상단면보다도 상측에 있다. 그로 인해, 본 형태에서는, 아암 지지부(17)가 하한 위치까지 하강하였어도, 제2 아암부(25)에 대하여 회동하는 제3 아암부(26)는 보유 지지부(18)와 간섭하지 않는다. 따라서, 본 형태에서는, 아암 지지부(17)가 하한 위치까지 하강하였어도, 예를 들어 도 2의 파선으로 나타내는 위치에 제3 아암부(26)를 회동시켜, 보유 지지부(18)의 전방측에 배치되는 처리 장치(3)에 대한 웨이퍼(2)의 반입 및 반출을 행하는 것이 가능해진다. 즉, 본 형태에서는, 아암 지지부(17)가 하한 위치까지 하강하였어도, 제2 구동 기구(28)에 의해 제3 아암부(26)를 넓은 범위에서 회동시키는 것이 가능해져, 그 결과, 로봇(5)은, 특허문헌 1에 기재된 수평 다관절 로봇과 마찬가지의 동작을 행하는 것이 가능해진다.In addition, in this form, when the arm support part 17 is lowered to the lower limit position, the upper end surface of the holding part 18 is lower than the lower surface of the third arm part 26. That is, in this form, when the arm support part 17 is lowered to the lower limit position, the lower surface of the third arm part 26 is above the upper end surface of the holding part 18. Therefore, in this form, even if the arm support part 17 is lowered to the lower limit position, the third arm part 26 rotating with respect to the second arm part 25 does not interfere with the holding part 18. Therefore, in this embodiment, even if the arm support part 17 is lowered to the lower limit position, the third arm part 26 is rotated to the position indicated by the broken line in FIG. 2, for example, and is placed on the front side of the holding part 18. It becomes possible to carry out loading and unloading of the wafer 2 into and out of the processing device 3 . That is, in this form, even if the arm support portion 17 is lowered to the lower limit position, the third arm portion 26 can be rotated in a wide range by the second drive mechanism 28, and as a result, the robot 5 ), it is possible to perform the same operation as the horizontal articulated robot described in Patent Document 1.

이와 같이 본 형태에서는, 로봇(5)의 높이를 낮추는 것이 가능해짐과 함께, 로봇(5)은, 특허문헌 1에 기재된 수평 다관절 로봇과 마찬가지의 동작을 행하는 것이 가능해진다. 즉, 본 형태의 로봇(5)에서는, 3링크 아암형의 로봇의 이점을 손상시키지 않고, 로봇(5)을 상하 방향으로 보다 소형화하는 것이 가능해진다. 또한, 본 형태에서는, 로봇(5)을 상하 방향으로 소형화하는 것이 가능해지기 때문에, 처리부(4)의 각 층의 높이를 낮추는 것이 가능해진다.In this way, in this form, the height of the robot 5 can be lowered, and the robot 5 can perform operations similar to those of the horizontal articulated robot described in Patent Document 1. That is, in the robot 5 of this form, it is possible to further miniaturize the robot 5 in the vertical direction without losing the advantages of the three-link arm type robot. Additionally, in this form, it becomes possible to miniaturize the robot 5 in the vertical direction, making it possible to lower the height of each layer of the processing unit 4.

또한, 본 형태에서는, 보유 지지부(18)의 전방측면이 처리부(4)의 고정 프레임(7)에 고정되어 있기 때문에, 보유 지지부(18)의 저면이 처리부(4)의 각 층 바닥면에 고정되어 있는 경우와 비교하여, 상하 방향에 있어서의 보유 지지부(18)의 길이를 짧게 하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 형태에서는, 로봇(5)을 상하 방향으로 보다 소형화하는 것이 가능해진다.In addition, in this form, since the front side of the holding part 18 is fixed to the fixing frame 7 of the processing unit 4, the bottom surface of the holding part 18 is fixed to the bottom surface of each layer of the processing unit 4. Compared to the case in which it is used, it becomes possible to shorten the length of the holding portion 18 in the vertical direction. Therefore, in this form, it becomes possible to further miniaturize the robot 5 in the vertical direction.

본 형태에서는, 처리부(4)의 1층과 처리부(4)의 2층 각각에 로봇(5)이 설치되어 있다. 또한, 본 형태에서는, 수용부(11)는 처리부(4)의 1층에 설치되는 로봇(5)이 수용부(11)에 대하여 웨이퍼(2)의 반입 및 반출을 행하는 것이 가능한 위치에서 고정되고, 승강 기구(61)는 처리부(4)의 2층에 설치되는 로봇(5)이 수용부(10)에 대하여 웨이퍼(2)의 반입 및 반출을 행하는 것이 가능한 위치까지 수용부(10)를 승강시키고 있다.In this form, the robot 5 is installed on the first floor of the processing unit 4 and the second floor of the processing unit 4, respectively. In addition, in this form, the storage unit 11 is fixed at a position where the robot 5 installed on the first floor of the processing unit 4 can load and unload the wafer 2 into and out of the storage unit 11. , the lifting mechanism 61 lifts and lowers the receiving unit 10 to a position where the robot 5 installed on the second floor of the processing unit 4 can load and unload the wafer 2 into and out of the receiving unit 10. I am ordering it.

그로 인해, 본 형태에서는, 로봇(5)의 높이를 낮추어 로봇(5)의 구성을 간소화해도, 처리부(4)의 1층 및 2층의 각각에 설치되는 로봇(5)에 의해, 각 층에 설치된 복수의 처리 장치(3)에 대한 웨이퍼(2)의 반입 및 반출을 적절하게 행하는 것이 가능해진다. 또한, 본 형태에서는, 처리부(4)의 1층에 설치되는 처리 장치(3)와 수용부(11) 사이에서 웨이퍼(2)를 반송하는 것과 동시에, 처리부(4)의 2층에 설치되는 처리 장치(3)와 수용부(10) 사이에서 웨이퍼(2)를 반송하는 것이 가능해지기 때문에, 제조 시스템(1)의 생산성을 높이는 것이 가능해진다.Therefore, in this form, even if the configuration of the robot 5 is simplified by lowering the height of the robot 5, the robot 5 installed on each of the first and second floors of the processing unit 4 allows the robot 5 to be installed on each floor. It becomes possible to properly carry out loading and unloading of wafers 2 into and out of the plurality of processing devices 3 installed. In addition, in this form, the wafer 2 is transported between the processing device 3 installed on the first floor of the processing unit 4 and the receiving unit 11, and the processing unit 4 is installed on the second floor of the processing unit 4. Since it becomes possible to transport the wafer 2 between the device 3 and the receiving unit 10, it becomes possible to increase the productivity of the manufacturing system 1.

본 형태에서는, 승강 기구(61)는 처리부(4)의 1층과 2층 사이에서 수용부(10)를 승강시키고 있다. 그로 인해, 본 형태에서는, 로봇(5)의 높이를 낮추어 로봇(5)의 구성을 간소화해도, 승강 기구(61)에 의해, 처리부(4)의 1층과 2층에 걸치도록 웨이퍼(2)를 승강시키는 것이 가능해진다. 또한, 본 형태에서는, 승강 기구(61)가, 처리부(4)의 1층과 2층 사이에서 수용부(10)를 승강시키고 있기 때문에, 로봇(13)의 높이를 낮추어 로봇(13)의 구성을 간소화해도, 로봇(13)에 의해 수용부(10)에 대한 웨이퍼(2)의 반입 및 반출을 행하는 것이 가능해진다.In this form, the lifting mechanism 61 raises and lowers the accommodation unit 10 between the first and second floors of the processing unit 4. Therefore, in this form, even if the height of the robot 5 is lowered and the configuration of the robot 5 is simplified, the wafer 2 is lifted so as to span the first and second floors of the processing unit 4 by the lifting mechanism 61. It becomes possible to elevate. In addition, in this form, since the lifting mechanism 61 raises and lowers the accommodation unit 10 between the first and second floors of the processing unit 4, the height of the robot 13 is lowered and the configuration of the robot 13 is improved. Even if simplified, it becomes possible to carry out the loading and unloading of the wafer 2 into and out of the storage unit 10 by the robot 13.

(다른 실시 형태)(Other Embodiments)

상술한 형태는, 본 발명의 적합한 형태의 일례이기는 하지만 이것에 한정되는 것은 아니며 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에서 다양한 변형 실시가 가능하다.Although the above-described form is an example of a suitable form of the present invention, it is not limited to this, and various modifications and implementations are possible without changing the gist of the present invention.

상술한 형태에서는, 수용부(11)는 기둥 형상 부재(60)에 고정되고, 수용부(11)의 상측에 배치되는 수용부(10)는 처리부(4)의 1층과 2층 사이에서 승강 가능하게 되어 있다. 이 밖에도 예를 들어, 수용부(11)의 상측에 배치되는 수용부(10)가 기둥 형상 부재(60)에 고정되고, 수용부(11)가 처리부(4)의 1층과 2층 사이에서 승강 가능하게 되어 있어도 된다. 이 경우에는, 수용부(10)는 처리부(4)의 2층에 설치되는 로봇(5)이 수용부(10)에 대하여 웨이퍼(2)의 반입 및 반출을 행하는 것이 가능한 위치에서 고정되어 있다. 또한, 이 경우에는, 로봇(13)은, 좌우 방향에 있어서, 처리부(4)의 2층에 설치되는 로봇(5)과의 사이에 승강 장치(12)를 끼우도록 배치되어 있다. 즉, 이 경우에는, 로봇(13)은, 처리부(4)의 2층과 동일한 높이로 배치되어 있다. 또한, 이 경우의 수용부(10)는 제2 수용부이다.In the above-described form, the accommodating part 11 is fixed to the pillar-shaped member 60, and the accommodating part 10 disposed above the accommodating part 11 is raised and lowered between the first and second floors of the processing unit 4. It is possible. In addition, for example, the accommodating part 10 disposed above the accommodating part 11 is fixed to the pillar-shaped member 60, and the accommodating part 11 is placed between the first and second floors of the processing part 4. It may be possible to go up and down. In this case, the accommodating unit 10 is fixed at a position where the robot 5 installed on the second floor of the processing unit 4 can load and unload the wafer 2 into and out of the accommodating unit 10 . Additionally, in this case, the robot 13 is arranged so that the lifting device 12 is sandwiched between the robot 5 installed on the second floor of the processing unit 4 in the left and right directions. That is, in this case, the robot 13 is arranged at the same height as the second floor of the processing unit 4. Additionally, the accommodating part 10 in this case is the second accommodating part.

상술한 형태에서는, 승강 장치(12)는 수용부(11)를 구비하고 있지만, 승강 장치(12)는 수용부(11)를 구비하고 있지 않아도 된다. 이 경우에는, 승강 기구(61)는 처리부(4)의 2층에 설치되는 로봇(5)이 수용부(10)에 대하여 웨이퍼(2)의 반입 및 반출을 행하는 것이 가능한 위치와, 처리부(4)의 1층에 설치되는 로봇(5)이 수용부(10)에 대하여 웨이퍼(2)의 반입 및 반출을 행하는 것이 가능한 위치 사이에서 수용부(10)를 승강시킨다. 이 경우에는, 예를 들어 처리부(4)의 1층에 설치되는 처리 장치(3)로 처리된 후의 웨이퍼(2)를 수용부(10)에 수용하고, 처리부(4)의 2층에 직접 반송하는 것이 가능해진다.In the above-described form, the lifting device 12 is provided with the accommodating portion 11, but the lifting device 12 does not need to be provided with the accommodating portion 11. In this case, the lifting mechanism 61 has a position at which the robot 5 installed on the second floor of the processing unit 4 can load and unload the wafer 2 into and out of the receiving unit 10, and the processing unit 4 ) The robot 5 installed on the first floor of the storage unit 10 lifts and lowers the storage unit 10 between positions where wafers 2 can be loaded and unloaded. In this case, for example, the wafer 2 after being processed by the processing device 3 installed on the first floor of the processing section 4 is accommodated in the receiving section 10 and directly transferred to the second floor of the processing section 4. It becomes possible to do so.

상술한 형태에서는, 처리부(4)는 2층짜리로 구성되어 있지만, 처리부(4)는 1층짜리로 구성되어도 된다. 이 경우에는, 승강 장치(12)가 불필요해진다. 또한, 처리부(4)는 3층짜리 이상으로 구성되어도 된다. 예를 들어, 처리부(4)는 3층짜리로 구성되어도 된다. 이 경우에는, 예를 들어 승강 장치(12)는 수용부(10, 11) 외에, 처리부(4)의 1층과 3층 사이에서 승강 가능한 수용부를 구비함과 함께, 승강 기구(61) 외에, 이 수용부를 처리부(4)의 1층과 3층 사이에서 승강시키는 승강 기구를 구비하고 있다.In the above-described form, the processing unit 4 is comprised of a two-story building, but the processing section 4 may be comprised of a one-story building. In this case, the lifting device 12 becomes unnecessary. Additionally, the processing unit 4 may be composed of three or more stories. For example, the processing unit 4 may be configured as a three-story building. In this case, for example, the lifting device 12 includes, in addition to the accommodation units 10 and 11, an accommodation unit capable of being raised and lowered between the first and third floors of the processing unit 4, and, in addition to the lifting mechanism 61, This receiving unit is provided with a lifting mechanism that raises and lowers it between the first and third floors of the processing unit (4).

또한, 처리부(4)가 3층짜리로 구성되는 경우에는, 승강 기구(61)에 의해, 처리부(4)의 1층과 3층 사이에서 수용부(10)를 승강시켜도 된다. 즉, 처리부(4)의 2층에 설치되는 로봇(5)이 수용부(10)에 대하여 웨이퍼(2)의 반입 및 반출을 행하는 것이 가능한 위치와, 처리부(4)의 3층에 설치되는 로봇(5)이 수용부(10)에 대하여 웨이퍼(2)의 반입 및 반출을 행하는 것이 가능한 위치에 수용부(10)를 승강시켜도 된다. 또한, 처리부(4)가 3층짜리로 구성되는 경우에는, 수용부(10)가 고정되고, 처리부(4)의 1층과 2층 사이에서 수용부(11)가 승강함과 함께, 승강 장치(12)는 처리부(4)의 2층과 3층 사이에서 승강하는 수용부를 구비하고 있어도 된다.Additionally, when the processing unit 4 is comprised of three stories, the accommodation unit 10 may be raised and lowered between the first and third floors of the processing unit 4 using the lifting mechanism 61 . That is, the position where the robot 5 installed on the second floor of the processing unit 4 can carry out the loading and unloading of the wafer 2 with respect to the receiving unit 10, and the robot installed on the third floor of the processing unit 4 (5) The accommodating part 10 may be raised and lowered to a position where the wafer 2 can be loaded into and unloaded from the accommodating part 10 . In addition, when the processing unit 4 is composed of three stories, the accommodation unit 10 is fixed, the accommodation unit 11 is raised and lowered between the first and second floors of the processing unit 4, and the lifting device (12) may be provided with a receiving section that goes up and down between the second and third floors of the processing section (4).

상술한 형태에서는, 아암 지지부(17)가 하한 위치까지 하강하고 있을 때에, 보유 지지부(18)의 상단면은, 상하 방향에 있어서, 제2 아암부(25)의 상면과 제2 아암부(25)의 하면 사이에 있다. 이 밖에도 예를 들어, 아암 지지부(17)가 하한 위치까지 하강하고 있을 때에, 보유 지지부(18)의 상단면은, 상하 방향에 있어서, 제1 아암부(24)의 상면과 제1 아암부(24)의 기단부측 부분의 하면 사이에 있어도 된다. 또한, 상술한 형태에서는, 보유 지지부(18)의 전방측면이 처리부(4)의 고정 프레임(7)에 고정되어 있지만, 보유 지지부(18)의 저면이 처리부(4)의 각 층 바닥면에 고정되어도 된다. 또한, 상술한 형태에서는, 제3 아암부(26)의 선단측에 2개의 핸드(14, 15)가 설치되어 있지만, 제3 아암부(26)의 선단측에 설치되는 핸드는 1개여도 된다.In the form described above, when the arm support portion 17 is lowered to the lower limit position, the upper end surface of the holding portion 18 is aligned with the upper surface of the second arm portion 25 in the vertical direction. ) is located between the lower surfaces of the In addition, for example, when the arm support portion 17 is lowered to the lower limit position, the upper end surface of the holding portion 18 is aligned with the upper surface of the first arm portion 24 in the vertical direction and the first arm portion ( It may be located between the lower surfaces of the proximal end portion of 24). In addition, in the above-described form, the front side of the holding portion 18 is fixed to the fixing frame 7 of the processing section 4, but the bottom surface of the holding section 18 is fixed to the bottom surface of each layer of the processing section 4. It's okay. In addition, in the above-described form, two hands 14, 15 are provided on the distal end side of the third arm portion 26, but only one hand may be provided on the distal end side of the third arm portion 26. .

상술한 형태에서는, 처리부(4)의 1층과 2층 각각에 6개의 처리 장치(3)가 설치되어 있지만, 처리부(4)의 1층과 2층 각각에 5개 이하 또는 7개 이상의 처리 장치(3)가 설치되어도 된다. 또한, 상술한 형태에서는, 로봇(5)의 전후의 양측에 처리 장치(3)가 배치되어 있지만, 로봇(5)의 전후의 일방측에만 처리 장치(3)가 배치되어도 된다. 또한, 상술한 형태에서는, 제조 시스템(1)은, 반도체를 제조하기 위한 반도체 제조 시스템이지만, 제조 시스템(1)은, 반도체 이외의 것을 제조하는 시스템이어도 된다. 즉, 로봇(5)은, 예를 들어 유리 기판 등의 웨이퍼(2) 이외의 반송 대상물을 반송해도 된다.In the above-described form, six processing devices 3 are installed on each of the first and second floors of the processing section 4, but there are no more than five or seven processing devices on each of the first and second floors of the processing section 4. (3) may be installed. In addition, in the above-described form, the processing device 3 is disposed on both sides before and after the robot 5, but the processing device 3 may be disposed only on one side before and after the robot 5. In addition, in the form described above, the manufacturing system 1 is a semiconductor manufacturing system for manufacturing semiconductors, but the manufacturing system 1 may be a system for manufacturing things other than semiconductors. That is, the robot 5 may transport objects other than the wafer 2, such as a glass substrate.

1: 제조 시스템
2: 웨이퍼(반도체 웨이퍼, 반송 대상물)
3: 처리 장치
4: 처리부
5: 로봇(수평 다관절 로봇)
10: 수용부
11: 수용부(제2 수용부)
12: 승강 장치
14, 15: 핸드
16: 아암
17: 아암 지지부
18: 보유 지지부
19: 핸드 구동 기구
20: 아암 구동 기구
21: 아암 승강 기구
24: 제1 아암부
25: 제2 아암부
26: 제3 아암부
27: 제1 구동 기구
28: 제2 구동 기구
61: 승강 기구1: Manufacturing system
2: Wafer (semiconductor wafer, object to be transported)
3: Processing unit
4: Processing unit
5: Robot (horizontal articulated robot)
10: Receiving part
11: Receiving part (second receiving part)
12: lifting device
14, 15: Hand
16: arm
17: arm support
18: holding support
19: Hand driven mechanism
20: Arm driving mechanism
21: arm lifting mechanism
24: first arm portion
25: second arm portion
26: Third arm part
27: first driving mechanism
28: second driving mechanism
61: lifting mechanism

Claims (5)

반송 대상물이 탑재되는 핸드와, 상기 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 아암과, 상기 아암의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 아암 지지부와, 상기 아암 지지부를 승강 가능하게 보유 지지하는 보유 지지부와, 상기 아암에 대하여 상기 핸드를 회동시키는 핸드 구동 기구와, 상기 아암을 구동하는 아암 구동 기구와, 상기 보유 지지부에 대하여 상기 아암 지지부를 승강시키는 아암 승강 기구를 구비하고,
상기 아암은, 상기 아암 지지부에 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 제1 아암부와, 상기 제1 아암부의 선단측에 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 제2 아암부와, 상기 제2 아암부의 선단측에 기단부측이 회동 가능하게 연결됨과 함께 상기 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 제3 아암부를 구비하고,
상기 아암 지지부와 상기 제1 아암부와 상기 제2 아암부와 상기 제3 아암부와 상기 핸드는, 하측부터 상기 아암 지지부, 상기 제1 아암부, 상기 제2 아암부, 상기 제3 아암부, 상기 핸드의 순서로 배치되고,
상기 아암 구동 기구는, 상기 아암이 신축되도록 상기 제1 아암부 및 상기 제2 아암부를 함께 회동시키는 제1 구동 기구와, 상기 제2 아암부에 대하여 상기 제3 아암부를 회동시키는 제2 구동 기구를 구비하고,
상기 아암 지지부는, 상기 보유 지지부의 측면을 따라 승강 가능하게 되어 있고,
상기 보유 지지부의 상단면은, 상기 아암 지지부가 하한 위치까지 하강하고 있을 때에, 상기 제1 아암부의 기단부측 부분의 하면보다도 상측에 있으면서, 또한, 상기 제3 아암부의 하면보다도 하측에 있는 것을 특징으로 하는, 수평 다관절 로봇.A hand on which the conveyed object is mounted, an arm to which the hand is rotatably connected to a distal end side, an arm support portion to which a proximal end side of the arm is rotatably connected, and a holding portion to support the arm support portion so as to be able to raise and lower it; , a hand drive mechanism that rotates the hand with respect to the arm, an arm drive mechanism that drives the arm, and an arm lift mechanism that raises and lowers the arm support portion with respect to the holding portion,
The arm includes a first arm portion whose proximal end side is rotatably connected to the arm support portion, a second arm portion whose proximal end side is rotatably connected to a distal end side of the first arm portion, and a distal end of the second arm portion. A third arm portion is rotatably connected to the proximal end side and the hand is rotatably connected to the distal end side,
The arm support portion, the first arm portion, the second arm portion, the third arm portion, and the hand include, from the bottom, the arm support portion, the first arm portion, the second arm portion, and the third arm portion, Arranged in the order of the hands,
The arm driving mechanism includes a first driving mechanism that rotates the first arm portion and the second arm portion together so that the arm expands and contracts, and a second driving mechanism that rotates the third arm portion with respect to the second arm portion. Equipped with
The arm support portion is capable of being raised and lowered along a side surface of the holding portion,
The upper end surface of the holding portion is located above the lower surface of the proximal end side portion of the first arm portion when the arm support portion is lowered to the lower limit position, and is also lower than the lower surface of the third arm portion. A horizontal articulated robot. 제1항에 있어서,
상기 보유 지지부의 상단면은, 상기 아암 지지부가 하한 위치까지 하강하고 있을 때에, 상하 방향에 있어서, 상기 제2 아암부의 상면과 상기 제2 아암부의 하면 사이에 있는 것을 특징으로 하는, 수평 다관절 로봇.According to paragraph 1,
The horizontal articulated robot is characterized in that the upper surface of the holding portion is between the upper surface of the second arm portion and the lower surface of the second arm portion in the vertical direction when the arm support portion is lowered to the lower limit position. . 복수 층짜리로 구성됨과 함께 복수 층의 각 층에 복수 개 설치되는 처리 장치를 갖는 처리부와,
상기 처리부의 각 층마다 설치되고 상기 처리 장치에 대한 반송 대상물의 반입 및 반출을 행하는 제1항 또는 제2항에 기재된 수평 다관절 로봇과,
상기 반송 대상물이 수용되는 수용부와 상기 수평 다관절 로봇이 상기 수용부에 대하여 상기 반송 대상물의 반입 및 반출을 행하는 것이 가능한 위치까지 상기 수용부를 승강시키는 승강 기구를 갖는 승강 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는, 제조 시스템.A processing unit composed of multiple floors and having a plurality of processing devices installed on each floor of the multiple floors,
A horizontal articulated robot according to claim 1 or 2, which is installed on each floor of the processing unit and carries out loading and unloading of objects to be transported into and out of the processing device;
characterized by comprising a lifting device having a receiving unit in which the transport object is accommodated and a lifting mechanism that raises and lowers the receiving unit to a position where the horizontal articulated robot can carry out the loading and unloading of the transport object with respect to the receiving unit. manufacturing system. 제3항에 있어서,
상기 처리부는, 2층짜리로 구성되고,
상기 수평 다관절 로봇은, 상기 처리부의 1층과 상기 처리부의 2층 각각에 1대씩 설치되고,
상기 승강 장치는, 상기 처리부의 1층에 설치되는 상기 수평 다관절 로봇이 상기 반송 대상물의 반입 및 반출을 행하는 것이 가능한 위치에서 고정됨과 함께 상기 반송 대상물이 수용되는 제2 수용부를 구비하고,
상기 수용부는, 상기 제2 수용부의 상측에 배치되고,
상기 승강 기구는, 상기 처리부의 1층과 상기 처리부의 2층 사이에서 상기 수용부를 승강시키는 것을 특징으로 하는, 제조 시스템.According to paragraph 3,
The processing unit consists of a two-story building,
One horizontal articulated robot is installed on each of the first floor of the processing unit and the second floor of the processing unit,
The lifting device is fixed at a position where the horizontal articulated robot installed on the first floor of the processing unit can carry out the loading and unloading of the conveying object, and has a second storage portion in which the conveying object is accommodated,
The accommodating part is disposed above the second accommodating part,
The manufacturing system is characterized in that the lifting mechanism raises and lowers the accommodation unit between the first floor of the processing unit and the second floor of the processing unit. 제3항에 있어서,
상기 보유 지지부의 측면이 상기 처리부에 고정되어 있는 것을 특징으로 하는, 제조 시스템.According to paragraph 3,
A manufacturing system, characterized in that a side of the holding portion is fixed to the processing portion.
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