JPWO2007004551A1 - Container transport device and container transport system - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 58
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 122
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 8
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims description 7
- 230000032258 transport Effects 0.000 abstract description 148
- 238000012545 processing Methods 0.000 abstract description 57
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 description 12
- 230000008569 process Effects 0.000 description 10
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 6
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 5
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 2
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000009191 jumping Effects 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67769—Storage means
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/0093—Programme-controlled manipulators co-operating with conveyor means
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/07—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for semiconductor wafers Not used, see H01L21/677
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
- B65G2201/02—Articles
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
- B65G2201/02—Articles
- B65G2201/0297—Wafer cassette
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
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- Power Engineering (AREA)
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Abstract
処理装置の処理速度や配置構成等に応じてコンテナを好適に搬送できるコンテナ搬送装置及びコンテナ搬送システムを提供する。本願発明のコンテナ搬送システムは、内部に基板を収納するコンテナを搬送するものであって、保持した前記コンテナを昇降動作する昇降手段、及び、直線移動手段を備える搬送ロボットと、少なくとも1つのコンテナを載置する載置台と、からなるコンテナ搬送装置を複数備える。Provided are a container transport device and a container transport system capable of transporting a container suitably in accordance with the processing speed and arrangement configuration of the processing device. A container transport system according to the present invention transports a container that accommodates a substrate therein, and includes a lifting robot that moves the held container up and down, a transport robot that includes a linear moving unit, and at least one container. A plurality of container transport devices each including a mounting table to be mounted are provided.
Description
本発明は、高清浄な環境下で搬送され処理される基板等を収納するコンテナの搬送装置及び搬送システムに関するものである。 The present invention relates to a container transport apparatus and a transport system for storing substrates and the like that are transported and processed in a highly clean environment.
一般に、LCDや半導体ウエハ等の基板は塵埃を嫌うため、その製造は高清浄な環境、いわゆるクリーンルームで行われる。このような製造工場では、薄膜形成前洗浄工程、薄膜形成工程、レジスト工程等の各種処理を行う複数の処理装置間で基板を運搬する必要があり、その搬送手段としてFOUP(Front Opening Unified Pod)とよばれるコンテナが用いられている。このコンテナは、内部の棚段上に25枚の基板を収納することができ、工場内を走行する自動搬送車(AGV(Automatic Guided Vehicle))、若しくは、工場の天井に敷設されたレールにつり下げられてモノレールのように走行するOHT(Overhead Hoist Transfer)で運搬される。 In general, since substrates such as LCDs and semiconductor wafers do not like dust, their production is performed in a highly clean environment, so-called clean room. In such a manufacturing factory, it is necessary to transport a substrate between a plurality of processing apparatuses that perform various processes such as a cleaning process before forming a thin film, a thin film forming process, and a resist process, and FOUP (Front Opening Unified Pod) is used as a transporting means. A so-called container is used. This container can store 25 substrates on the internal shelf, and is suspended on an automatic guided vehicle (AGV) that runs in the factory, or on a rail laid on the factory ceiling. It is transported by OHT (Overhead Hoist Transfer) that is lowered and travels like a monorail.
各処理装置にはコンテナ載置台が備えられており、このコンテナ載置台と例えばAGVとの間でのコンテナの受け渡しは、処理装置若しくはAGVに備えられたロボット(ローダ・アンローダ)により行われている。また、コンテナ載置台上のコンテナから各処理装置への基板の搬送は、公知のスカラ型ロボットを用いて基板一枚毎に行われている。 Each processing apparatus is provided with a container mounting table, and delivery of the container between the container mounting table and, for example, AGV is performed by a robot (loader / unloader) provided in the processing apparatus or AGV. . Further, the transfer of the substrate from the container on the container mounting table to each processing apparatus is performed for each substrate using a known SCARA robot.
従来のコンテナ搬送装置の一例として、例えば特許文献1に記載のものがある。特許文献1に開示されているコンテナ搬送装置を、図11を参照して以下に説明する。このコンテナ搬送装置は、基板を収納したコンテナ110をロードするコンテナローダA1と、処理完了基板を収納するコンテナ110をアンロードするコンテナアンローダA2との間において、コンテナローダA1で空になったコンテナ110を移動、及び昇降動作させるコンテナ横行搬送ベース111を備えることで、複数のコンテナ110をロード/アンロードすることができ、コンテナ受け渡しのためにAGVを待たせることなく走行させることができる。
As an example of a conventional container transfer device, there is one described in
近年は、必要なだけの少数の基板をコンテナ内に収納して生産ラインに流すことで、在庫を減らすことが望まれるようになってきている。この場合には、処理装置による処理時間が短くなるため、処理装置の前面にコンテナを載置しておけるようにコンテナ搬送装置を構成することで、待ち時間を発生させることなく処理装置に基板を供給することができる。これに対し、処理時間の長い処理装置の場合には、AGVから複数のコンテナを受け取って一時的に貯蔵できるようにコンテナ搬送装置を構成しておくことで、AGVを効率的に稼動させることができる。 In recent years, it has been desired to reduce inventory by storing as few substrates as necessary in a container and flowing them to a production line. In this case, since the processing time by the processing apparatus is shortened, by configuring the container transport device so that the container can be placed on the front surface of the processing apparatus, the substrate is placed on the processing apparatus without causing a waiting time. Can be supplied. On the other hand, in the case of a processing apparatus having a long processing time, the AGV can be operated efficiently by configuring the container transport apparatus so that a plurality of containers can be received from the AGV and temporarily stored. it can.
しかしながら、特許文献1のコンテナ搬送装置では、コンテナローダA1とコンテナアンローダA2との間に基板ロード用スタンドS1、バッファスタンドSB、及び基板アンロード用スタンドS2が1列に配設されており、所定の処理装置は基板ロード用スタンドS1と基板アンロード用スタンドS2の後方に配置される必要がある。そのため、隣接する処理装置間の間隔を大きくする必要がある等の、各装置の配置に大きな制約があるといった課題がある。
However, in the container transport device of
また、コンテナをコンテナローダA1まで搬送したり、コンテナアンローダA2からコンテナを回収したりするのにAGVを用いる場合には、工場内を自由に走行可能なAGVとコンテナ搬送装置とを同期して動作させる必要があるため、コンテナ搬送に係わるすべての装置を一括して制御しなければならないといった課題がある。さらにAGVは、コンテナローダA1あるいはコンテナアンローダA2にコンテナを搬送したり回収したりするだけでなく、コンテナローダA1とコンテナアンローダA2との間でも移動する必要があり、AGVの移動範囲が広範囲となって、作業者の安全領域を確保するのが困難になる。 When AGV is used to transport the container to the container loader A1 or to recover the container from the container unloader A2, the AGV that can freely travel in the factory and the container transport device operate in synchronization. Therefore, there is a problem that all devices related to container transportation must be controlled collectively. Further, the AGV not only transports and collects the container to the container loader A1 or the container unloader A2, but also needs to move between the container loader A1 and the container unloader A2, so that the movement range of the AGV becomes wide. As a result, it is difficult to secure a safe area for the worker.
一方、コンテナの運搬にOHTを用いる場合には、OHTが工場の天井部に取り付けられるため、その取り付け作業やメンテナンス作業等が困難になる。また、OHTの駆動部分と走行用のレールを処理装置等の上方に備えるため、上方から塵埃が降ってきてクリーンルームの清浄度が低下してしまうといった不具合も生じている。さらに、走行用のレールが工場内を循環するように配置されていることから、工場内のレイアウト変更や増設等の場合には、レールを敷き直すことが極めて困難となる。 On the other hand, when an OHT is used for transporting a container, the OHT is attached to the ceiling of the factory, so that the installation work, maintenance work, and the like are difficult. In addition, since the OHT drive part and the traveling rail are provided above the processing device or the like, there is a problem that dust falls from above and the cleanliness of the clean room is lowered. Furthermore, since the traveling rails are arranged so as to circulate in the factory, it is extremely difficult to relay the rails when the layout is changed or expanded in the factory.
さらに、従来のコンテナ搬送装置では、その配置や構成が上記の通り大きく制約されることから、処理時間の短い処理装置に待ち時間が発生したり、処理時間の長い処理装置の前でAGVが長時間待たされたりするといった事態が発生しており、生産工程の遅延が生じるといった課題もあった。 Furthermore, since the arrangement and configuration of conventional container transport devices are greatly restricted as described above, a waiting time occurs in a processing device with a short processing time, or AGV is long in front of a processing device with a long processing time. There has been a problem that a situation such as waiting for a time has occurred and the production process is delayed.
そこで、本発明はこれらの問題を解決するためになされたものであり、処理装置の処理速度や配置構成等に応じてコンテナを好適に搬送できるコンテナ搬送装置及びコンテナ搬送システムを提供することを目的とする。 Therefore, the present invention has been made to solve these problems, and it is an object of the present invention to provide a container transport device and a container transport system that can transport a container suitably in accordance with the processing speed and arrangement configuration of the processing device. And
本発明のコンテナ搬送装置の第1の態様は、内部に基板を収納するコンテナを搬送するコンテナ搬送装置であって、前記コンテナを上下に昇降させる昇降手段と前後に移動させる直線移動手段とを有する搬送ロボットと、前記コンテナを1つ以上載置可能な載置台と、を備えることを特徴とする。 A first aspect of the container transport device of the present invention is a container transport device for transporting a container that accommodates a substrate therein, and has a lifting / lowering means for moving the container up and down and a linear moving means for moving the container back and forth. It is characterized by comprising a transfer robot and a mounting table on which one or more of the containers can be mounted.
本発明のコンテナ搬送装置の他の態様は、前記直線移動手段が、前記コンテナを保持して垂直面内で回動するアーム体を備え、前記アーム体を回動させることで前記コンテナを前後に移動させることを特徴とする。 In another aspect of the container transport device of the present invention, the linear moving means includes an arm body that holds the container and rotates in a vertical plane, and the container is moved back and forth by rotating the arm body. It is made to move.
本発明のコンテナ搬送装置の他の態様は、前記アーム体が、2本のアームと、前記2本のアームのそれぞれの一方端を連結する連結部とを備え、前記一方のアームの他方端が固定され、前記他方のアームの他方端に前記コンテナが保持され、前記連結部を中心に前記2本のアームを逆方向に回動させることで前記コンテナを前後に移動させることを特徴とする。 In another aspect of the container transport device of the present invention, the arm body includes two arms and a connecting portion that connects one end of each of the two arms, and the other end of the one arm is The container is fixed, the container is held at the other end of the other arm, and the container is moved back and forth by rotating the two arms in opposite directions around the connecting portion.
本発明のコンテナ搬送装置の他の態様は、前記2本のアームがそれぞれ2本の連結部材で構成され、前記連結部が相互に嵌合された2つの歯車を内包した回動伝達手段であって、一方の前記アームを構成するいずれか一方の前記連結部材と、他方の前記アームを構成するいずれか一方の前記連結部材とが、それぞれ前記2つの歯車のそれぞれに連結されていることを特徴とする。 Another aspect of the container transport device according to the present invention is a rotation transmission means in which the two arms are each composed of two connecting members, and the connecting portion includes two gears fitted to each other. Then, one of the connecting members constituting one of the arms and one of the connecting members constituting the other arm are respectively connected to the two gears. And
本発明のコンテナ搬送装置の他の態様は、前記歯車に連結された前記連結部材のいずれか一方を回動させるためのモータをさらに備えることを特徴とする。 Another aspect of the container transport device of the present invention is characterized by further comprising a motor for rotating any one of the connecting members connected to the gear.
本発明のコンテナ搬送装置の他の態様は、前記昇降手段が、前記直線移動手段が固定された可動部材と、回動することで前記可動部材を上下に昇降させるネジ軸とを備え、前記ネジ軸を回動させることで前記直線移動手段に保持された前記コンテナを上下に昇降させることを特徴とする。 In another aspect of the container transport device of the present invention, the elevating means includes a movable member to which the linear moving means is fixed, and a screw shaft that moves the movable member up and down by rotating. The container held by the linear moving means is moved up and down by rotating a shaft.
本発明のコンテナ搬送装置の他の態様は、前記ネジ軸を回動させるためのモータをさらに備えることを特徴とする。 Another aspect of the container transport device of the present invention is characterized by further comprising a motor for rotating the screw shaft.
本発明のコンテナ搬送装置の他の態様は、前記昇降手段が、前記コンテナの高さ以上に昇降可能に構成されていることを特徴とする。 Another aspect of the container transport device of the present invention is characterized in that the elevating means is configured to be movable up and down above the height of the container.
本発明のコンテナ搬送装置の他の態様は、前記コンテナを水平方向に回動可能な回動手段をさらに備えることを特徴とする。 Another aspect of the container transport device of the present invention is characterized by further comprising a rotating means capable of rotating the container in the horizontal direction.
本発明のコンテナ搬送装置の他の態様は、1台の前記搬送ロボットと、2台以上の前記載置台とを備え、前記1台の搬送ロボットが前記載置台のすべてに前記コンテナを搬送可能に構成されていることを特徴とする。 Another aspect of the container transport device of the present invention includes one transport robot and two or more mounting tables, and the one transport robot can transport the container to all of the mounting tables. It is configured.
本発明のコンテナ搬送システムの第1の態様は、上記いずれかの態様のコンテナ搬送装置を直線方向、または前記直線方向に垂直な方向に、相互に隣接して複数台備え、前記コンテナ搬送装置に備えられた前記搬送ロボットにより、少なくとも隣接する前記コンテナ搬送装置との間で前記コンテナの搬送が可能であることを特徴とする。 According to a first aspect of the container transport system of the present invention, a plurality of container transport apparatuses according to any one of the above aspects are provided adjacent to each other in a linear direction or a direction perpendicular to the linear direction. The container can be transported to at least the adjacent container transport device by the transport robot provided.
本発明のコンテナ搬送システムの他の態様は、前記複数のコンテナ搬送装置が、同期して動作していることを特徴とする。 Another aspect of the container transport system of the present invention is characterized in that the plurality of container transport devices operate in synchronization.
本発明によれば、処理装置の処理速度や配置構成等に応じてコンテナを好適に搬送できるコンテナ搬送装置及びコンテナ搬送システムを提供することができる。本発明のコンテナ搬送装置は、垂直方向と水平方向にコンテナを搬送可能な搬送ロボットを備えることから、隣接する装置の載置台にコンテナを容易に搬送させることが可能となる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the container conveying apparatus and container conveying system which can convey a container suitably according to the processing speed, arrangement | positioning structure, etc. of a processing apparatus can be provided. Since the container transport device of the present invention includes the transport robot that can transport the container in the vertical direction and the horizontal direction, the container can be easily transported to the mounting table of the adjacent device.
また、本発明のコンテナ搬送システムによれば、処理装置の配置構成や処理速度等に対応して本発明のコンテナ搬送装置を柔軟に組み合わせることで、処理装置の効率を大幅に高めることが可能となる。また、生産ラインのレイアウト変更や増設にも容易に対応することができる。 Further, according to the container transport system of the present invention, it is possible to greatly increase the efficiency of the processing apparatus by flexibly combining the container transport apparatus of the present invention in accordance with the arrangement configuration and processing speed of the processing apparatus. Become. In addition, it is possible to easily cope with production line layout changes and expansions.
1 コンテナ搬送装置
2 搬送ロボット
3 コンテナ
4 載置台
5 基板搬送装置
7 処理装置
8 ロードポート
9 ステージ
10 昇降手段
11 筐体
12 直動案内手段
13 ネジ軸
14 モータ
15 可動部材
16 第一アーム
17 第二アーム
18 アーム体
19 プーリ
20 軸受け
21 ベルト
22 回動軸
23 コンテナ保持手段
24 第一連結部材
25 第二連結部材
26 回動伝達手段
28 筐体
29 第三連結部材
30 第四連結部材
31 回転支軸
32 歯車
33 保持手段の筐体
34 ロータリーアクチュエータ
35 回動支軸
36 連結部材
37 保持部材
40 AGV
110 コンテナ
111 コンテナ横行搬送ベースDESCRIPTION OF
110
本発明のコンテナ搬送装置及びコンテナ搬送システムは、高い清浄環境下(クリーンルーム等)で物品を移動・処理する工程に適用可能であり、以下では電子部品であるLCDの基板を搬送する例を用いて本発明のコンテナ搬送装置及びコンテナ搬送システムを説明する。 The container transfer device and the container transfer system of the present invention can be applied to a process of moving and processing an article in a high clean environment (clean room or the like). Hereinafter, an example of transferring an LCD substrate as an electronic component will be used. A container transfer device and a container transfer system of the present invention will be described.
図1は、本発明の好ましい実施の形態におけるコンテナ搬送装置及びコンテナ搬送システムを示す斜視図である。本実施形態のコンテナ搬送システム100は、8台のコンテナ搬送装置1(1a〜1h)を組み合わせて構成されている。各コンテナ搬送装置1は、搬送ロボット2(2a〜2h)とコンテナ3を載置するための載置台4(4a〜4h)を備えている。
FIG. 1 is a perspective view showing a container transport device and a container transport system in a preferred embodiment of the present invention. The container transport system 100 of the present embodiment is configured by combining eight container transport devices 1 (1a to 1h). Each
コンテナ搬送システム100の後方には、コンテナ3内に収納された基板を各種処理装置7に搬送するための基板搬送装置5(5a、5b)が配設されている。基板搬送装置5には、搬送ロボット2で運搬されたコンテナ3を載置するためのステージ9と、コンテナ3の蓋を開錠する(図示しない)機構とを有するロードポート8(8a、8b)が備えられている。本実施形態のコンテナ搬送システム100では、基板搬送装置5aの前方にコンテナ搬送装置1c〜1eが、また基板搬送装置5bの前方にコンテナ搬送装置1f〜1hが、それぞれ縦向き(基板搬送装置5の正面に対し直角の向き)に並列して置かれており、さらにコンテナ搬送装置1c〜1eの前方にコンテナ搬送装置1aが、またコンテナ搬送装置1f〜1hの前方にコンテナ搬送装置1bが、それぞれ横向きに縦列して置かれている。
Behind the container transport system 100, a substrate transport device 5 (5a, 5b) for transporting a substrate stored in the
コンテナ搬送装置1a〜1hを上記のように配設することにより、搬送ロボット2a、2bはコンテナ3を載置台4a、4bの横方向(長手方向)に移動させることができ、搬送ロボット2c〜2hはコンテナ3を載置台4a、4bと基板搬送装置5との間で移動させることができる。搬送ロボット2aは、並列する搬送ロボット2b〜2eが保持できる位置までコンテナ3を移動させることができ、同様に搬送ロボット2bは、並列する搬送ロボット2f〜hが保持できる位置までコンテナ3を移動させることができる。
By disposing the
さらに、搬送ロボット2a、2bは、例えばそれぞれの載置台4a、4bの端部付近に停止したAGVからコンテナ3を搬送するのに用いることも可能である。従って、AGVに搬送ロボットを備える必要がなくなるため、AGVの載置台を広くしてより多くのコンテナを搬送できるようにすることが可能となる。
Furthermore, the
つぎに、搬送ロボット2の内部構造の一実施例を、図2に示す断面図を用いて説明する。搬送ロボット2は、載置台4の横に設置された昇降手段10とアーム体18とから構成されている。昇降手段10は、コンテナ搬送装置1の筐体11に取り付けられた直動案内手段12と、筐体11の下部に取り付けられたモータ14aと、モータ14aに連結されたネジ軸13と、ネジ軸13の回動によって昇降動作する可動部材15とから構成されている。モータ14aの回動によってネジ軸13が回動し、これにより可動部材15が昇降する構造となっている。
Next, an embodiment of the internal structure of the
また、アーム体18は、第一アーム16と第二アーム17とを有しており、第一アーム16の一方端が可動部材15に固定されたモータ14bに連結されている。また、モータ14と同心状に可動部材15に固定されたプーリ19aを備えている。第一アーム16の他方端付近には、軸受け20を介して回動可能にプーリ19bが備えられており、プーリ19aとプーリ19bとの間にベルト21aが掛けられている。第二アーム17の一方端はプーリ19bの回動軸22(連結部)に固定されており、第二アーム17の内部には、第一アーム16と同様にプーリ19c、19dとベルト21bが備えられている。プーリ19cは回動可能に第二アーム17に取り付けられており、第二アーム19の他方端付近に回動可能に取り付けられたプーリ19dは、保持手段23に固定されている。保持手段23は、プーリ19dの回動に従って軸受け20を介して第二アーム17に対して回動可能となっている。
The
上記構成のアーム体18では、モータ14bの回動によって第一アーム16が回転し、それとともにベルト21aがプーリ19aを逆方向に移動し、これによりプーリ19bがモータ14bの回転とは逆方向に回転する。プーリ19bの径はプーリ19aの径の半分に設定されており、プーリ19bはモータ14bの回転の2倍だけ逆方向に回転する。これにより、第二アーム17は、第一アーム16とは逆方向に2倍回転することになる。同様の構成でプーリ19c、19d、及びベルト21bが連結されることで、コンテナ保持手段23を水平に維持することが可能となる。
In the
搬送ロボット2に備えられたアーム体18の別の実施例を、図3に示す斜視図を用いて以下に説明する。可動部材15には、第一連結部材24と第二連結部材25の各一方端が、それぞれ回動可能に取り付けられている。また、第一連結部材24と第二連結部材25の他方端には回動伝達手段26(連結部)が取り付けられている。連結部材24、25、可動部材15、及び回動伝達手段26の筐体28とでリンク機構が形成されており、可動部材15に取り付けられたモータ14の作動により第一連結部材24が回動し、これに連動して他の部材も回動する。同様にして、第三連結部材29、第四連結部材30、回動伝達手段26、及びカセット保持手段23とでリンク機構が形成されており、第一連結部材24に連動して回動するように構成されている。
Another embodiment of the
図4は、図3に示した回動伝達手段26の構造を示す断面図である。連結部材24、25、29、30の回動支軸31a〜31dは、軸受け20を介して回動可能に回動伝達手段26に取り付けられている。回動支軸31aと31dの先端には歯車32a、32bが備えられており、両者が互いに嵌合することで、第一連結部材24の回動が第四連結部材30に逆回転方向の同じ速度で伝達される。これにより、モータ14を回動させることで連結部材24、25と連結部材29、30とを相対的に逆方向に回動させることができ、これに伴ってカセット保持手段23を、図3の図面上左右に移動させることができる。
FIG. 4 is a cross-sectional view showing the structure of the rotation transmitting means 26 shown in FIG. The
上記の通り、搬送ロボット2は、鉛直面内で回動可能なアーム体18を備えることで、コンテナ3を直線状に移動させるようにすることができることから、作業者がアーム体18の移動範囲を回避して作業することが容易となり、作業の安全領域を容易に確保することができる。
As described above, since the
搬送ロボット2に備えられたコンテナ保持手段23の一実施例を、図5を用いて以下に説明する。例えば第二アーム17の先端に取り付けられたコンテナ保持手段23は、その筐体33上にロータリーアクチュエータ34(本実施例では、エアシリンダにより支軸が回動可能となるエアアクチュエータ)が取り付けられており、その回動支軸35には連結部材36の中央部が固設されている。連結部材36は、2枚の部材が回動可能に連結されて構成されており、その両端には保持部材37a、37bの一方端が回動可能に連結されている。この保持部材37a、37bは、筐体33に回動可能に取り付けられおり、ロータリーアクチュエータ34の作動により、筐体33に固定された部分を支点に回動することができる。これにより、保持部材37a、37bの他方端同士が接近したり離れたりすることで、コンテナ3を保持することが可能となる。
An example of the container holding means 23 provided in the
つぎに、本発明のコンテナ搬送装置を複数配設して構成される本発明のコンテナ搬送システムについて、コンテナ搬送装置が好適に配置された実施例を図面を用いて以下に説明する。 Next, an embodiment in which the container transport device is suitably arranged will be described below with reference to the drawings with respect to the container transport system of the present invention configured by arranging a plurality of container transport devices of the present invention.
図6は、コンテナ搬送装置1の配置を図1に示したコンテナ搬送システム100と同様の構成とした実施例の平面図である。すなわち、前面に縦列して配置されたコンテナ搬送装置1a、1b等で、コンテナ3を横方向(図上上下方向)に移動させることが可能となり、コンテナ搬送装置1a、1bと基板搬送装置5との間に縦方向に配置されたコンテナ搬送装置1で、コンテナ3をコンテナ搬送装置1a、1bと基板搬送装置5との間で移動させることが可能となる。
FIG. 6 is a plan view of an embodiment in which the arrangement of the
本発明のコンテナ搬送装置及びコンテナ搬送システムの別の実施例を図7に示す。図7に示すコンテナ搬送システムでは、図6に示したコンテナ搬送装置1の載置台4がすべて2つ以上のコンテナ3を載置できるのに対して、本実施例では1つのみ載置できるコンテナ搬送装置1kを備えている。また、コンテナ搬送装置1cに隣接して配設されたコンテナ搬送装置1i、1jの端部付近には、AGV40が停止しており、AGV上に載置されているコンテナ3xを保持して載置台4i、4jへと搬送することができる。
FIG. 7 shows another embodiment of the container transport device and the container transport system of the present invention. In the container transport system shown in FIG. 7, all the mounting tables 4 of the
本実施例のコンテナ搬送装置1jには3台の搬送ロボット2が備えられており、またAGV40も複数のコンテナ3を載置できる載置台を有している。これにより、3台の搬送ロボット2を用いて、AGV40とコンテナ搬送装置1i、1jとの間で、複数のコンテナ3を同時に受け渡しすることが可能となる。本発明のコンテナ搬送装置1が搬送ロボット2を備えていることから、AGV40が搬送ロボットを備える必要がなくなり、AGV40に複数のコンテナ3を載置できる載置台を備えるようにすることができる。なお、コンテナ搬送措置1の載置台4を一時貯蔵できるように内部をミニエンバイロメント(より高清浄な環境)とすることもできる。
The container transfer apparatus 1j of this embodiment is provided with three
本発明のコンテナ搬送装置1は、昇降手段と直線移動手段を有する搬送ロボット2を備えていることから、載置台4上に複数のコンテナ3が載置されている場合でも、並んだ順にコンテナ3を搬送させる必要は必ずしもなく、例えば図8に示すように、コンテナ3の搬送する順番を変更することも可能である。図8に示す側面図では、載置台4上に2つのコンテナ3aと3bが載置されており、ロードポート8側のコンテナ3aよりコンテナ3bが優先してロードポートへ搬送される場合の手順を示している。
Since the
図8(a)は、搬送ロボット2がコンテナ3bの上部を保持した状態を示している。図8(b)は、昇降手段10を作動させてコンテナ3bを持ちあげた状態を示している。図8(c)は、アーム体18を作動させて、ロードポート8のステージ9の上方にコンテナ3bを移動した状態を示している。図8(d)は、昇降手段10を作動させてコンテナ3bを降下し、ステージ9上に載置した状態を示している。
FIG. 8A shows a state where the
上記のように、コンテナ3の搬送する順番を変更することが可能となることから、基板の製造工程において、後から製造ラインに投入されたコンテナ3を、先に投入されたコンテナ3を追い越して先に処理させることが可能となることから、各種処理を迅速に行えるようにすることが可能となる。
As described above, it is possible to change the order in which the
また、本発明のコンテナ搬送装置1によれば、昇降手段と直線移動手段を用いることで、例えば図9に示すように、複数のコンテナ3を載置台4上に積み重ねて載置させることも可能である。あるいは、積み重ねて載置された複数のコンテナ3を、上部のコンテナ3から順に搬送させることも可能である。
Moreover, according to the
本発明のコンテナ搬送装置1のさらに別の実施形態を図10に示す。本実施形態のコンテナ搬送装置1は、搬送ロボット2と、搬送ロボット2を挟んで両側に2台の載置台4を備えている。本実施例の搬送ロボット2は、昇降手段と直線移動手段に加えて、さらにコンテナ3を水平方向に回転可能な回動手段を備えている。
FIG. 10 shows still another embodiment of the
図10に示す実施例では、コンテナ搬送装置1を挟んで両側に3台ずつの基板搬送装置5が配設されている。2台の載置台4はそれぞれ、3台ずつの基板搬送装置5と対向してコンテナ3を受け渡しできるだけの長さを有している。本発明のコンテナ搬送装置を図10のように構成することにより、1台の搬送ロボット2で、6台の基板搬送装置5と載置台4との間でコンテナ3を搬送させることが可能となる。
In the embodiment shown in FIG. 10, three
上記説明のように、本発明のコンテナ搬送装置は、載置台と少なくとも1つの搬送ロボットとからなり、クリーンルームの床上に複数のコンテナ搬送装置を併設することで生産ラインのレイアウト変更や増設に容易に対応でき、メンテナンス作業も容易に行うことができる。また、コンテナ内に少量の基板を収容して多量のコンテナを生産ラインに流した場合でも、AGVを待たせることなく各種処理装置にコンテナを搬送させることができる。 As described above, the container transfer device of the present invention is composed of a mounting table and at least one transfer robot, and can easily change the layout of production lines or increase the number of container transfer devices on the floor of a clean room. It can be handled and maintenance work can be easily performed. Further, even when a small amount of substrates are accommodated in the container and a large amount of container is flowed to the production line, the container can be transported to various processing apparatuses without waiting for the AGV.
なお、本発明のコンテナ搬送装置では、可動部分をシールすることで、塵埃の発生を低減させることは容易に可能である。 In addition, in the container conveying apparatus of this invention, it is possible to reduce generation | occurrence | production of dust by sealing a movable part easily.
なお、本実施の形態における記述は、本発明に係るコンテナ搬送装置及びコンテナ搬送システムの一例を示すものであり、これに限定されるものではない。本実施の形態におけるコンテナ搬送装置及びコンテナ搬送システムの細部構成及び詳細な動作等に関しては、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。 In addition, the description in this Embodiment shows an example of the container conveying apparatus and container conveying system which concern on this invention, and is not limited to this. The detailed configuration and detailed operation of the container transport device and the container transport system in the present embodiment can be changed as appropriate without departing from the spirit of the present invention.
本明細書は、2005年7月1日出願の特願2005−193804に基づく。この内容はすべてここに含めておく。 This specification is based on Japanese Patent Application No. 2005-193804 filed on July 1, 2005. All this content is included here.
この発明は、移動及び処理が高い清浄環境の下で実施される必要がある物品のいずれにも容易に適用できる。
The present invention is readily applicable to any article that needs to be implemented in a clean environment where movement and processing are high.
【0001】
技術分野
[0001]
本発明は、高清浄な環境下で搬送され処理される基板等を収納するコンテナの搬送システムに関するものである。
背景技術
[0002]
一般に、LCDや半導体ウエハ等の基板は塵埃を嫌うため、その製造は高清浄な環境、いわゆるクリーンルームで行われる。このような製造工場では、薄膜形成前洗浄工程、薄膜形成工程、レジスト工程等の各種処理を行う複数の処理装置間で基板を運搬する必要があり、その搬送手段としてFOUP(Front Opening Unified Pod)とよばれるコンテナが用いられている。このコンテナは、内部の棚段上に25枚の基板を収納することができ、工場内を走行する自動搬送車(AGV(Automatic Guided Vehicle))、若しくは、工場の天井に敷設されたレールにつり下げられてモノレールのように走行するOHT(Overhead Hoist Transfer)で運搬される。
[0003]
各処理装置にはコンテナ載置台が備えられており、このコンテナ載置台と例えばAGVとの間でのコンテナの受け渡しは、処理装置若しくはAGVに備えられたロボット(ローダ・アンローダ)により行われている。また、コンテナ載置台上のコンテナから各処理装置への基板の搬送は、公知のスカラ型ロボットを用いて基板一枚毎に行われている。
[0004]
従来のコンテナ搬送装置の一例として、例えば特許文献1に記載のものがある。特許文献1に開示されているコンテナ搬送装置を、図11を参照して以下に説明する。このコンテナ搬送装置は、基板を収納したコンテナ110をロードするコンテナローダA1と、処理完了基板を収納するコンテナ110をアンロードするコンテナアンローダA2との間において、コンテナローダA1で空になったコンテナ110を移動、及び昇降動作させるコンテナ横行搬送ベース111を備えることで、複数のコンテナ110をロード/アンロードすることができ、コンテナ受け渡しのためにAGVを待たせることなく走行させることができる。[0001]
Technical field [0001]
The present invention relates to a container transport system for storing substrates and the like that are transported and processed in a highly clean environment.
Background art [0002]
In general, since substrates such as LCDs and semiconductor wafers do not like dust, their production is performed in a highly clean environment, so-called clean room. In such a manufacturing factory, it is necessary to transport the substrate between a plurality of processing apparatuses that perform various processes such as a cleaning process before forming a thin film, a thin film forming process, and a resist process, and FOUP (Front Opening Unified Pod) is used as the transport means. A so-called container is used. This container can store 25 substrates on the internal shelf, and is suspended on an automatic guided vehicle (AGV) that runs in the factory, or on a rail laid on the ceiling of the factory. It is transported by OHT (Overhead Hoist Transfer) that is lowered and travels like a monorail.
[0003]
Each processing apparatus is provided with a container mounting table, and delivery of the container between the container mounting table and, for example, AGV is performed by a robot (loader / unloader) provided in the processing apparatus or AGV. . Further, the transfer of the substrate from the container on the container mounting table to each processing apparatus is performed for each substrate using a known SCARA robot.
[0004]
As an example of a conventional container transfer device, there is one described in
【0003】
走行用のレールが工場内を循環するように配置されていることから、工場内のレイアウト変更や増設等の場合には、レールを敷き直すことが極めて困難となる。
[0010]
さらに、従来のコンテナ搬送装置では、その配置や構成が上記の通り大きく制約されることから、処理時間の短い処理装置に待ち時間が発生したり、処理時間の長い処理装置の前でAGVが長時間待たされたりするといった事態が発生しており、生産工程の遅延が生じるといった課題もあった。
[0011]
そこで、本発明はこれらの問題を解決するためになされたものであり、処理装置の処理速度や配置構成等に応じてコンテナを好適に搬送できるコンテナ搬送システムを提供することを目的とする。
課題を解決するための手段
[0012]
本発明のコンテナ搬送システムの第1の態様は、内部に基板を収納するコンテナを所定の受渡し位置と基板処理装置との間で搬送するコンテナ搬送システムであって、前記コンテナを垂直方向に昇降させる昇降手段と水平な1方向に移動させる直線移動手段とを具備した搬送ロボットと、前記コンテナを1以上載置可能な載置台と、を備えたコンテナ搬送装置を一構成単位とし、前記コンテナ搬送装置を縦方向又は横方向に隣接させて複数配列し、前記搬送ロボットのそれぞれが、少なくとも隣接する前記コンテナ搬送装置の前記載置台まで前記コンテナを搬送することができ、前記複数のコンテナ搬送装置を同期させて隣接する前記コンテナ搬送装置間で前記コンテナを順次搬送することで、前記受渡し位置と前記基板処理装置との間で前記コンテナを搬送可能に構成されていることを特徴とする。
[0013]
本発明のコンテナ搬送システムの他の態様は、前記コンテナをいずれかの前記コンテナ搬送装置の載置台上に一時留置きし、別の前記コンテナを別の前記コンテナ搬送装置を用いて搬送させることで、コンテナの搬送順序を入れ替え可能に構成されていることを特徴とする。
[0014]
本発明のコンテナ搬送システムの他の態様は、前記載置台上に前記コンテナが1以上載置された前記コンテナ搬送装置の前記搬送ロボットを用いて、別の前記コンテナを上昇及び直線移動させて前記コンテナを飛び越えさせることで、前記コンテナの搬送順序を入れ替え可能に構成されていることを特徴とする。
[0015]
本発明のコンテナ搬送システムの他の態様は、前記搬送ロボットは、前記載置台上に前記コンテナを2以上積み重ね可能な高さまで上昇できる昇降手段を具備していることを特徴とする。
[0016][0003]
Since the traveling rails are arranged so as to circulate in the factory, it is extremely difficult to relay the rails when the layout is changed or expanded in the factory.
[0010]
Furthermore, since the arrangement and configuration of conventional container transport devices are greatly restricted as described above, a waiting time occurs in a processing device with a short processing time, or AGV is long in front of a processing device with a long processing time. There has been a problem that a situation such as waiting for a time has occurred and the production process is delayed.
[0011]
Accordingly, the present invention has been made to solve these problems, and an object of the present invention is to provide a container transport system that can transport a container suitably according to the processing speed, the arrangement configuration, and the like of the processing apparatus.
Means for Solving the Problems [0012]
A first aspect of the container transport system according to the present invention is a container transport system for transporting a container storing a substrate therein between a predetermined delivery position and a substrate processing apparatus, and raising and lowering the container in a vertical direction. A container transport device comprising a transport robot having a lifting and lowering means and a linear moving means for moving in one horizontal direction and a mounting table on which one or more containers can be placed, is used as one unit, and the container transport device Are arranged adjacent to each other in the vertical direction or the horizontal direction, and each of the transfer robots can transfer the container to at least the placement table of the adjacent container transfer device, and the plurality of container transfer devices are synchronized. The container is sequentially transported between the container transport apparatuses adjacent to each other, so that the front position is transferred between the delivery position and the substrate processing apparatus. Characterized in that it is configured to be conveyed containers.
[0013]
In another aspect of the container transport system of the present invention, the container is temporarily placed on a mounting table of any of the container transport devices, and another container is transported using another container transport device. The container transportation order is configured to be interchangeable.
[0014]
According to another aspect of the container transport system of the present invention, another container is lifted and linearly moved using the transport robot of the container transport device in which one or more of the containers are placed on the mounting table. It is characterized in that the container transport order can be changed by jumping over the containers.
[0015]
Another aspect of the container transport system according to the present invention is characterized in that the transport robot includes elevating means capable of ascending to a height at which two or more containers can be stacked on the mounting table.
[0016]
【0004】
[0017]
[0018]
[0019]
[0020]
[0021]
[0022]
[0023]
発明の効果
[0024]
本発明によれば、処理装置の処理速度や配置構成等に応じてコンテナを好適に搬送できるコンテナ搬送システムを提供することができる。本発 明のコンテナ搬送システムは、垂直方向と水平方向にコンテナを搬送可能な搬送ロボッ トを備えることから、隣接する装置の載置台にコンテナを容易に搬送させることが可能となる。
[0025]
また、本発明のコンテナ搬送システムによれば、処理装置の配置構成や処理速度[0004]
[0017]
[0018]
[0019]
[0020]
[0021]
[0022]
[0023]
Effect of the Invention [0024]
ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the container conveyance system which can convey a container suitably according to the processing speed, arrangement | positioning structure, etc. of a processing apparatus can be provided. Since the container transport system of the present invention includes a transport robot that can transport containers in the vertical and horizontal directions, the container can be easily transported to the mounting table of the adjacent device.
[0025]
Further, according to the container transport system of the present invention, the arrangement configuration and the processing speed of the processing apparatus.
【0005】
等に対応してコンテナ搬送装置を柔軟に組み合わせることで、処理装置の効率を大幅に高めることが可能となる。また、生産ラインのレイアウト変更や増設にも 容易に対応することができる。
図面の簡単な説明
[0026]
[図1]本発明のコンテナ搬送システムの一実施例を示す斜視図である。
[図2]搬送ロボットの一実施例を示す断面図である。
[図3]搬送ロボットの別の実施例を示す斜視図である。
[図4]搬送ロボットの別の実施例の回動伝達手段を示す断面図である。
[図5]搬送ロボットの保持手段を示す側面図である。
[図6]本発明のコンテナ搬送システムの一実施例を示す平面図である。
[図7]本発明のコンテナ搬送システムの別の実施例を示す平面図である。
[図8]搬送ロボットの動作を示す側面図である。
[図9]積み重ねられたコンテナが搬送ロボットにより搬送される状態を示す側面図である。
[図10]本発明のコンテナ搬送システムのさらに別の実施例を示す平面図である。
[図11]従来のコンテナ搬送装置を示す側面図である。
符号の説明
[0027]
1 コンテナ搬送装置
2 搬送ロボット
3 コンテナ
4 載置台
5 基板搬送装置
7 処理装置
8 ロードポート
9 ステージ[0005]
It is possible to significantly increase the efficiency of the processing apparatus by flexibly combining the container transfer apparatuses corresponding to the above. In addition, it is easy to respond to production line layout changes and expansions.
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS [0026]
FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a container transport system of the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view showing an embodiment of a transfer robot.
FIG. 3 is a perspective view showing another embodiment of the transfer robot.
FIG. 4 is a cross-sectional view showing rotation transmission means of another embodiment of the transfer robot.
FIG. 5 is a side view showing holding means of the transfer robot.
FIG. 6 is a plan view showing an embodiment of the container transport system of the present invention.
FIG. 7 is a plan view showing another embodiment of the container transport system of the present invention.
FIG. 8 is a side view showing the operation of the transfer robot.
FIG. 9 is a side view showing a state in which stacked containers are transported by a transport robot.
FIG. 10 is a plan view showing still another embodiment of the container transport system of the present invention.
FIG. 11 is a side view showing a conventional container transport device.
Explanation of symbols [0027]
DESCRIPTION OF
【0007】
100 コンテナ搬送システム
110 コンテナ
111 コンテナ横行搬送ベース
発明を実施するための最良の形態
[0028]
本発明のコンテナ搬送システムは、高い清浄環境下(クリー ンルーム等)で物品を移動・処理する工程に適用可能であり、以下では電子部品で あるLCDの基板を搬送する例を用いて本発明のコンテナ搬 送システムを説明する。
[0029]
図1は、本発明の好ましい実施の形態におけるコンテナ搬送システムを示す斜視図である。本実施形態のコンテナ搬送システム100は、8台のコンテナ搬送装置1(1a〜1h)を組み合わせて構成されている。各コンテナ搬送装置1は、搬送ロボット2(2a〜2h)とコンテナ3を載置するための載置台4(4a〜4h)を備えている。
[0030]
コンテナ搬送システム100の後方には、コンテナ3内に収納された基板を各種処理装置7に搬送するための基板搬送装置5(5a、5b)が配設されている。基板搬送装置5には、搬送ロボット2で運搬されたコンテナ3を載置するためのステージ9と、コンテナ3の蓋を開錠する(図示しない)機構とを有するロードポート8(8a、8b)が備えられている。本実施形態のコンテナ搬送システム100では、基板搬送装置5aの前方にコンテナ搬送装置1c〜1eが、また基板搬送装置5bの前方にコンテナ搬送装置1f〜1hが、それぞれ縦向き(基板搬送装置5の正面に対し直角の向き)に並列して置かれており、さらにコンテナ搬送装置1c〜1eの前方にコンテナ搬送装置1aが、またコンテナ搬送装置1f〜1hの前方にコンテナ搬送装置1bが、それぞれ横向きに縦列して置かれている。
[0031]
コンテナ搬送装置1a〜1hを上記のように配設することにより、搬送ロボット2a、2bはコンテナ3を載置台4a、4bの横方向(長手方向)に移動させることができ、搬送ロボット2c〜2hはコンテナ3を載置台4a、4bと基板搬送装置5との間で移動させることができる。搬送ロボット2aは、並列する搬送ロボット2b〜2eが保持できる位置までコンテナ3を移動させることができ、同様に搬送ロボット2bは、並列する搬送ロボット2f〜hが保持できる位置までコンテナ3を移動させることができる。[0007]
100
The container transport system of the present invention can be applied to a process of moving and processing articles in a highly clean environment (clean room, etc.). Hereinafter, an example of transporting an LCD substrate, which is an electronic component, will be used. Describe the container transport system.
[0029]
FIG. 1 is a perspective view showing a container transport system according to a preferred embodiment of the present invention. The container transport system 100 of the present embodiment is configured by combining eight container transport devices 1 (1a to 1h). Each
[0030]
Behind the container transport system 100, a substrate transport device 5 (5a, 5b) for transporting a substrate stored in the
[0031]
By disposing the
【0010】
れおり、ロータリーアクチュエータ34の作動により、筐体33に固定された部分を支点に回動することができる。これにより、保持部材37a、37bの他方端同士が接近したり離れたりすることで、コンテナ3を保持することが可能となる。
[0040]
つぎに、コンテナ搬送装置を複数配設して構成される本発明のコンテナ搬送システムについて、コンテナ搬送装置が好適に配置された実施例を図面を用いて以下に説明する。
[0041]
図6は、コンテナ搬送装置1の配置を図1に示したコンテナ搬送システム100と同様の構成とした実施例の平面図である。すなわち、前面に縦列して配置されたコンテナ搬送装置1a、1b等で、コンテナ3を横方向(図上上下方向)に移動させることが可能となり、コンテナ搬送装置1a、1bと基板搬送装置5との間に縦方向に配置されたコンテナ搬送装置1で、コンテナ3をコンテナ搬送装置1a、1bと基板搬送装置5との間で移動させることが可能となる。
[0042]
本発明のコンテナ搬送システムの別の実施例を図7に示す。図7に示すコンテナ搬送システムでは、図6に示したコンテナ搬送装置1の載置台4 がすべて2つ以上のコンテナ3を載置できるのに対して、本実施例では1つのみ載置できるコンテナ搬送装置1kを備えている。また、コンテナ搬送装置1cに隣接して配 設されたコンテナ搬送装置1i、1jの端部付近には、AGV40が停止しており、AGV 上に載置されているコンテナ3xを保持して載置台4i、4jへと搬送することができる。
[0043]
本実施例のコンテナ搬送装置1jには3台の搬送ロボット2が備えられており、またAGV40も複数のコンテナ3を載置できる載置台を有している。これにより、3台の搬送ロボット2を用いて、AGV40とコンテナ搬送装置1i、1jとの間で、複数のコンテナ3を同時に受け渡しすることが可能となる。コンテナ搬送装置1が搬送ロボット2を備えていることから、AGV40が搬送ロボットを備える必要がなくなり、AGV40に複数のコンテナ3を載置できる載置台を備えるようにすることができる。なお、コンテナ搬送措置1の載置台4を一時貯蔵できるように内部をミニエンバイロメント(より高清浄な環境)とすることもできる。
[0044]
コンテナ搬送装置1は、昇降手段と直線移動手段を有する搬送ロボット2 を備えていることから、載置台4上に複数のコンテナ3が載置されている場合でも、並んだ順[0010]
Thus, by the operation of the
[0040]
Next, an example in which the container transfer device is suitably arranged will be described below with reference to the drawings with respect to the container transfer system of the present invention configured by arranging a plurality of container transfer devices.
[0041]
FIG. 6 is a plan view of an embodiment in which the arrangement of the
[0042]
Another embodiment of the container transport system of the present invention is shown in FIG. In the container transport system shown in FIG. 7, the mounting table 4 of the
[0043]
The container transfer apparatus 1j of this embodiment is provided with three
[0044]
Since the
【0011】
にコンテナ3を搬送させる必要は必ずしもなく、例えば図8に示すように、コンテナ3の搬送する順番を変更することも可能である。図8に示す側面図では、載置台4上に2つのコンテナ3aと3bが載置されており、ロードポート8側のコンテナ3aよりコンテナ3bが優先してロードポートへ搬送される場合の手順を示している。
[0045]
図8(a)は、搬送ロボット2がコンテナ3bの上部を保持した状態を示している。図8(b)は、昇降手段10を作動させてコンテナ3bを持ちあげた状態を示している。図8(c)は、アーム体18を作動させて、ロードポート8のステージ9の上方にコンテナ3bを移動した状態を示している。図8(d)は、昇降手段10を作動させてコンテナ3bを降下し、ステージ9上に載置した状態を示している。
[0046]
上記のように、コンテナ3の搬送する順番を変更することが可能となることから、基板の製造工程において、後から製造ラインに投入されたコンテナ3を、先に投入されたコンテナ3を追い越して先に処理させることが可能となることから、各種処理を迅速に行えるようにすることが可能となる。
[0047]
また、コンテナ搬送装置1によれば、昇降手段と直線移動手段を用いることで、例えば図9に示すように、複数のコンテナ3を載置台4上に積み重ねて載置させることも可能である。あるいは、積み重ねて載置された複数のコンテナ3を、上部のコンテナ3から順に搬送させることも可能である。
[0048]
本発明のコンテナ搬送システムのさらに別の実施形態を図10に示す。本実施形態のコンテナ搬送システムは、搬送ロボット2と、搬送ロボット2を挟んで両側に2台の載置台4を備えている。本実施例の搬送ロボット2は、昇降手段と直線移動手段に加えて、さらにコンテナ3を水平方向に回転可能な回動手段を備えている。
[0049]
図10に示す実施例では、コンテナ搬送システムを挟んで両側に3台ずつの基板搬送装置5が配設されている。2台の載置台4はそれぞれ、3台ずつの基板搬送装置5と対向してコンテナ3を受け渡しできるだけの長さを有している。本発明のコンテナ搬送システムを図10のように構成することにより、1台の搬送ロボット2で、6台の基板搬送装置5と載置台4との間でコンテナ3を搬送させることが可能となる。
[0050]
上記説明のように、本発明のコンテナ搬送システムは、載置台と少なくとも1つの搬送ロボットとからなるコンテナ搬送装置を、クリーンルームの床上に複数併設すること[0011]
It is not always necessary to transport the
[0045]
FIG. 8A shows a state where the
[0046]
As described above, it is possible to change the order in which the
[0047]
Moreover, according to the
[0048]
Yet another embodiment of the container transport system of the present invention is shown in FIG. The container transfer system of this embodiment includes a
[0049]
In the embodiment shown in FIG. 10, three
[0050]
As described above, the container transport system according to the present invention includes a plurality of container transport devices each including a mounting table and at least one transport robot on the floor of a clean room.
【0012】
で生産ラインのレイアウト変更や増設に容易に対応でき、メンテナンス作業も容易に行うことができる。また、コンテナ内に少量の基板を収容して多量のコンテナを生産ラインに流した場合でも、AGVを待たせることなく各種処理装置にコンテナを搬送させることができる。
[0051]
なお、本発明のコンテナ搬送システムでは、可動部分をシールすることで、塵埃の発生を低減させることは容易に可能である。
[0052]
なお、本実施の形態における記述は、本発明に係るコンテ ナ搬送システムの一例を示すものであり、これに限定されるものではない。本実施の形態におけるコンテナ搬送システムの細部構成及び詳細な 動作等に関しては、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
[0053]
本明細書は、2005年7月1日出願の特願2005−193804に基づく。この内容はすべてここに含めておく。
産業上の利用可能性
[0054]
この発明は、移動及び処理が高い清浄環境の下で実施される必要がある物品のいずれにも容易に適用できる。[0012]
This makes it easy to adapt to production line layout changes and expansions and to perform maintenance work easily. Further, even when a small amount of substrates are accommodated in the container and a large amount of container is flowed to the production line, the container can be transported to various processing apparatuses without waiting for the AGV.
[0051]
In addition, in the container conveyance system of this invention, it is possible to reduce generation | occurrence | production of dust easily by sealing a movable part.
[0052]
Note that the description in the present embodiment shows an example of the container transport system according to the present invention, and the present invention is not limited to this. The detailed configuration and detailed operation of the container transport system in the present embodiment can be appropriately changed without departing from the spirit of the present invention.
[0053]
This specification is based on Japanese Patent Application No. 2005-193804 filed on July 1, 2005. All this content is included here.
Industrial applicability [0054]
The present invention is readily applicable to any article that needs to be implemented in a clean environment where movement and processing are high.
Claims (12)
前記コンテナを上下に昇降させる昇降手段と前後に移動させる直線移動手段とを有する搬送ロボットと、
前記コンテナを1つ以上載置可能な載置台と、を備える
ことを特徴とするコンテナ搬送装置。
A container transfer device for transferring a container for storing a substrate therein,
A transport robot having lifting means for moving the container up and down and linear movement means for moving the container back and forth;
A container transport device, comprising: a mounting table on which one or more of the containers can be mounted.
前記アーム体を回動させることで前記コンテナを前後に移動させる
ことを特徴とする請求項1に記載のコンテナ搬送装置。The linear moving means includes an arm body that holds the container and rotates in a vertical plane,
The container transport device according to claim 1, wherein the container is moved back and forth by rotating the arm body.
前記一方のアームの他方端が固定され、前記他方のアームの他方端に前記コンテナが保持され、
前記連結部を中心に前記2本のアームを逆方向に回動させることで前記コンテナを前後に移動させる
ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のコンテナ搬送装置。The arm body includes two arms and a connecting portion that connects one end of each of the two arms,
The other end of the one arm is fixed, and the container is held on the other end of the other arm,
3. The container transport device according to claim 1, wherein the container is moved back and forth by rotating the two arms in opposite directions around the connecting portion.
ことを特徴とする請求項3に記載のコンテナ搬送装置。Each of the two arms is composed of two connecting members, and the rotation transmitting means includes two gears in which the connecting portions are fitted to each other. The container transport device according to claim 3, wherein the connecting member and any one of the connecting members constituting the other arm are respectively connected to the two gears.
ことを特徴とする請求項4に記載のコンテナ搬送装置。The container transport device according to claim 4, further comprising a motor for rotating any one of the connecting members connected to the gear.
前記ネジ軸を回動させることで前記直線移動手段に保持された前記コンテナを上下に昇降させる
ことを特徴とする請求項1に記載のコンテナ搬送装置。The elevating means includes a movable member to which the linear moving means is fixed, and a screw shaft that moves the movable member up and down by rotating,
The container transport device according to claim 1, wherein the container held by the linear moving means is moved up and down by rotating the screw shaft.
ことを特徴とする請求項6に記載のコンテナ搬送装置。The container transport device according to claim 6, further comprising a motor for rotating the screw shaft.
ことを特徴とする請求項1又は請求項6又は請求項7に記載のコンテナ搬送装置。The container conveying device according to claim 1, wherein the elevating unit is configured to be able to move up and down beyond a height of the container.
ことを特徴とする請求項1に記載のコンテナ搬送装置。The container transport device according to claim 1, further comprising a rotation unit capable of rotating the container in a horizontal direction.
前記1台の搬送ロボットが前記載置台のすべてに前記コンテナを搬送可能に構成されている
ことを特徴とする請求項1から請求項9のいずれか1項に記載のコンテナ搬送装置。Including one transfer robot and two or more mounting tables,
The container transfer device according to any one of claims 1 to 9, wherein the one transfer robot is configured to be able to transfer the container to all of the mounting tables.
前記コンテナ搬送装置に備えられた前記搬送ロボットにより、少なくとも隣接する前記コンテナ搬送装置との間で前記コンテナの搬送が可能である
ことを特徴とするコンテナ搬送システム。A plurality of container transport devices according to any one of claims 1 to 10 are provided adjacent to each other in a linear direction or in a direction perpendicular to the linear direction,
The container transport system characterized in that the container can be transported between at least the adjacent container transport devices by the transport robot provided in the container transport device.
ことを特徴とする請求項11に記載のコンテナ搬送システム。The container transport system according to claim 11, wherein the plurality of container transport devices operate in synchronization.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005193804 | 2005-07-01 | ||
JP2005193804 | 2005-07-01 | ||
PCT/JP2006/313084 WO2007004551A1 (en) | 2005-07-01 | 2006-06-30 | Container transporting apparatus and container transporting system |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2007004551A1 true JPWO2007004551A1 (en) | 2009-01-29 |
JP4615015B2 JP4615015B2 (en) | 2011-01-19 |
Family
ID=37604416
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007524021A Active JP4615015B2 (en) | 2005-07-01 | 2006-06-30 | Container transport system |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4615015B2 (en) |
KR (1) | KR100991609B1 (en) |
CN (1) | CN100578750C (en) |
WO (1) | WO2007004551A1 (en) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8915692B2 (en) | 2008-02-21 | 2014-12-23 | Harvest Automation, Inc. | Adaptable container handling system |
US9147173B2 (en) | 2011-10-31 | 2015-09-29 | Harvest Automation, Inc. | Methods and systems for automated transportation of items between variable endpoints |
US8676425B2 (en) | 2011-11-02 | 2014-03-18 | Harvest Automation, Inc. | Methods and systems for maintenance and other processing of container-grown plants using autonomous mobile robots |
US8937410B2 (en) | 2012-01-17 | 2015-01-20 | Harvest Automation, Inc. | Emergency stop method and system for autonomous mobile robots |
JP5860083B2 (en) | 2014-03-04 | 2016-02-16 | ファナック株式会社 | Container transfer device using robot hand |
ES2655798T3 (en) | 2014-12-08 | 2018-02-21 | Agfa Nv | System to reduce ablation waste |
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- 2006-06-30 CN CN200680017729A patent/CN100578750C/en active Active
- 2006-06-30 WO PCT/JP2006/313084 patent/WO2007004551A1/en active Application Filing
- 2006-06-30 JP JP2007524021A patent/JP4615015B2/en active Active
- 2006-06-30 KR KR1020077028573A patent/KR100991609B1/en active IP Right Grant
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4615015B2 (en) | 2011-01-19 |
WO2007004551A1 (en) | 2007-01-11 |
KR100991609B1 (en) | 2010-11-04 |
CN100578750C (en) | 2010-01-06 |
KR20080016614A (en) | 2008-02-21 |
CN101180719A (en) | 2008-05-14 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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