KR20210158241A - Guiding structure of hoist unit and apparatus for transferring carriers having the same - Google Patents

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임혁순
이정석
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세메스 주식회사
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Abstract

A guide structure of a hoist unit may comprise: a plurality of guide beams extending in a vertical direction to correspond to the four corners of the hoist unit for lifting and lowering a carrier in a vehicle that travels along traveling rail and transports the carrier; and guide roller units, provided at each of the four corners of the hoist unit, each having guide rollers for guiding the lifting and lowering of the hoist unit while in contact with the beams to prevent shaking of the hoist unit.

Description

호이스트 유닛의 가이드 구조물 및 이를 갖는 캐리어 이송 장치{Guiding structure of hoist unit and apparatus for transferring carriers having the same}Guide structure of a hoist unit and a carrier transfer device having the same

본 발명은 호이스트 유닛의 가이드 구조물 및 이를 갖는 캐리어 이송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 캐리어를 승강시키는 호이스트 유닛을 가이드하는 호이스트 유닛의 가이드 구조물 및 이를 갖는 캐리어 이송 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a guide structure of a hoist unit and a carrier transport device having the same, and more particularly, to a guide structure of a hoist unit for guiding a hoist unit for elevating a carrier and a carrier transport device having the same.

반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 반도체 기판, 인쇄회로기판, 레티클 등의 대상물은 캐리어에 수납된 상태로 비히클에 의해 이송될 수 있다. 상기 캐리어들은 상기 대상물에 따라 풉(FOUP), 포스비(FOSB), 매거진, 레티클 포드 등 다양한 종류가 있다. In a manufacturing process of a semiconductor device or a display device, an object such as a semiconductor substrate, a printed circuit board, or a reticle may be transported by a vehicle while being accommodated in a carrier. There are various types of the carriers, such as FOUP, FOSB, magazine, and reticle pod depending on the object.

상기 비히클은 상기 캐리어를 이적재하기 위해 호이스트 유닛으로 상기 캐리어를 승강시킨다. 상기 호이스트 유닛이 벨트 타입이므로, 상기 캐리어를 승강할 때 상기 호이스트 유닛에서 흔들림이 발생한다. 따라서 상기 비히클이 상기 캐리어를 정확한 위치로 이적재하기 어렵다.The vehicle raises and lowers the carrier with a hoist unit for loading and unloading the carrier. Since the hoist unit is a belt type, shaking occurs in the hoist unit when the carrier is raised and lowered. Therefore, it is difficult for the vehicle to load the carrier to an accurate position.

본 발명은 호이스트 유닛의 흔들림을 방지하는 호이스트 유닛의 가이드 구조물을 제공한다. The present invention provides a guide structure of the hoist unit to prevent the shaking of the hoist unit.

본 발명은 상기 가이드 구조물을 갖는 캐리어 이송 장치를 제공한다. The present invention provides a carrier transport device having the guide structure.

본 발명에 따른 호이스트 유닛의 가이드 구조물은, 주행 레일을 따라 주행하며 캐리어를 이송하는 비히클에서 상기 캐리어를 승강시키기 위한 호이스트 유닛의 네 모서리들에 대응하도록 상하 방향을 따라 연장하는 다수의 가이드 빔들 및 상기 호이스트 유닛의 상기 네 모서리에 각각 구비되며, 상기 호이스트 유닛의 흔들림을 방지하기 위해 상기 빔들과 접촉한 상태로 상기 호이스트 유닛의 승강을 가이드하기 위한 가이드 롤러를 각각 갖는 가이드 롤러 유닛들을 포함할 수 있다. The guide structure of the hoist unit according to the present invention includes a plurality of guide beams extending in the vertical direction to correspond to the four corners of the hoist unit for elevating the carrier in a vehicle that travels along a traveling rail and transports the carrier, and the It may include guide roller units each provided at the four corners of the hoist unit, each having guide rollers for guiding the lifting and lowering of the hoist unit in a state in contact with the beams to prevent shaking of the hoist unit.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 가이드 롤러 유닛들은 상기 호이스트 유닛에서 복수의 벨트들의 단부에 고정되어 승강하는 승강 플레이트의 네 모서리에 구비될 수 있다. According to embodiments of the present invention, the guide roller units may be provided at the four corners of the lifting plate fixed to the ends of the plurality of belts in the hoist unit.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 각 가이드 롤러 유닛들은 하나의 가이드 롤러를 가지며, 상기 가이드 롤러는 상기 가이드 빔과 1점 접촉할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, each of the guide roller units has one guide roller, and the guide roller may be in one-point contact with the guide beam.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 가이드 빔들에서 상기 가이드 롤러와 접촉하는 접촉면은 상기 호이스트 유닛의 네 변과 일정 각도로 경사질 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the contact surface in contact with the guide roller in the guide beams may be inclined at a predetermined angle with the four sides of the hoist unit.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 각 가이드 롤러 유닛들은 한 쌍의 가이드 롤러들을 가지며, 상기 가이드 롤러들은 상기 가이드 빔과 2점 접촉할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, each of the guide roller units has a pair of guide rollers, the guide rollers may be in two-point contact with the guide beam.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 비히클의 주행시 상기 비히클과 충돌하는 것을 방지하기 위해 상기 가이드 빔들의 상단은 상기 비히클의 하단보다 낮은 높이에 위치할 수 있다. According to embodiments of the present invention, upper ends of the guide beams may be positioned at a lower height than lower ends of the vehicle in order to prevent collision with the vehicle while the vehicle is traveling.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 호이스트 유닛이 하강하면서 상기 가이드 롤러들이 상기 가이드 빔들과 접촉할 때 상기 가이드 롤러들이 상기 가이드 빔들의 상단면에 걸리는 것을 방지하기 위해 상기 가이드 빔들에서 상기 가이드 롤러와 접촉하는 접촉면들의 상단은 상기 가이드 빔들의 중심을 향해 경사질 수 있다. According to one embodiment of the present invention, in order to prevent the guide rollers from being caught on the upper surfaces of the guide beams when the guide rollers come into contact with the guide beams while the hoist unit is lowered, the guide rollers in the guide beams The upper ends of the contact surfaces in contact with may be inclined toward the center of the guide beams.

본 발명에 따른 캐리어 이송 장치는, 캐리어를 보관하기 위한 복수의 선반들을 갖는 스토커와, 주행 레일을 따라 주행하도록 구비되는 주행 유닛, 상기 주행 유닛에 연결되며, 승강 가능하도록 구비되는 호이스트 유닛, 상기 호이스트 유닛에 상기 선반들을 향해 이동 가능하도록 구비되는 슬라이드 유닛 및 상기 캐리어를 고정하는 핸드 유닛을 포함하며 상기 캐리어를 이송하고 상기 선반들에 이적재하는 비히클 및 상기 호이스트 유닛의 흔들림을 방지하기 위해 상기 호이스트 유닛을 가이드하는 가이드 구조물을 포함하고, 상기 가이드 구조물은, 상기 비히클에서 상기 호이스트 유닛의 네 모서리들에 대응하도록 상하 방향을 따라 연장하는 다수의 가이드 빔들 및 상기 호이스트 유닛의 상기 네 모서리에 각각 구비되며, 상기 빔들과 접촉한 상태로 상기 호이스트 유닛의 승강을 가이드하기 위한 가이드 롤러를 각각 갖는 가이드 롤러 유닛들을 포함할 수 있다.Carrier transport apparatus according to the present invention, a stocker having a plurality of shelves for storing a carrier, a traveling unit provided to travel along a traveling rail, a hoist unit connected to the traveling unit and provided to be lifted, the hoist The hoist unit includes a slide unit provided in the unit to be movable toward the shelves and a hand unit for fixing the carrier, the vehicle transporting the carrier and loading on the shelves, and the hoist unit to prevent shaking of the hoist unit including a guide structure for guiding the It may include guide roller units each having a guide roller for guiding the lifting and lowering of the hoist unit in a state in contact with the beams.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 비히클은, 상기 슬라이드 유닛에 구비되며, 상기 캐리어를 상기 선반에 이적재하기 위해 상기 핸드 유닛을 승강시키는 승강 유닛을 더 포함할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the vehicle may further include an elevating unit provided in the slide unit and elevating the hand unit in order to load the carrier onto the shelf.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 슬라이드 유닛과 충돌하는 것을 방지하기 위해 상기 가이드 빔들은 상기 선반들 사이에 배치될 수 있다. According to embodiments of the present invention, the guide beams may be disposed between the shelves to prevent collision with the slide unit.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 가이드 롤러 유닛들은 상기 호이스트 유닛에서 복수의 벨트들의 단부에 고정되어 승강하는 승강 플레이트의 네 모서리에 구비될 수 있다. According to embodiments of the present invention, the guide roller units may be provided at the four corners of the lifting plate fixed to the ends of the plurality of belts in the hoist unit.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 각 가이드 롤러 유닛들은 하나의 가이드 롤러를 가지며, 상기 가이드 롤러는 상기 가이드 빔과 1점 접촉할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, each of the guide roller units has one guide roller, and the guide roller may be in one-point contact with the guide beam.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 가이드 빔들에서 상기 가이드 롤러와 접촉하는 접촉면은 상기 호이스트 유닛의 네 변과 일정 각도로 경사질 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the contact surface in contact with the guide roller in the guide beams may be inclined at a predetermined angle with the four sides of the hoist unit.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 각 가이드 롤러 유닛들은 한 쌍의 가이드 롤러들을 가지며, 상기 가이드 롤러들은 상기 가이드 빔과 2점 접촉할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, each of the guide roller units has a pair of guide rollers, the guide rollers may be in two-point contact with the guide beam.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 비히클의 주행시 상기 비히클과 충돌하는 것을 방지하기 위해 상기 가이드 빔들의 상단은 상기 비히클의 하단보다 낮은 높이에 위치할 수 있다. According to embodiments of the present invention, upper ends of the guide beams may be positioned at a lower height than lower ends of the vehicle in order to prevent collision with the vehicle while the vehicle is traveling.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 호이스트 유닛이 하강하면서 상기 가이드 롤러들이 상기 가이드 빔들과 접촉할 때 상기 가이드 롤러들이 상기 가이드 빔들의 상단면에 걸리는 것을 방지하기 위해 상기 가이드 빔들에서 상기 가이드 롤러와 접촉하는 접촉면들의 상단은 상기 가이드 빔들의 중심을 향해 경사질 수 있다. According to one embodiment of the present invention, in order to prevent the guide rollers from being caught on the upper surfaces of the guide beams when the guide rollers come into contact with the guide beams while the hoist unit is lowered, the guide rollers in the guide beams The upper ends of the contact surfaces in contact with may be inclined toward the center of the guide beams.

본 발명에 따르면, 상기 호이스트 유닛이 승강할 때 상기 가이드 빔들과 상기 가이드 롤러 유닛들을 이용하여 상기 호이스트 유닛의 상기 승강 플레이트의 승강을 가이드할 수 있다. 상기 호이스트 유닛이 가이드되므로, 상기 호이스트 유닛의 흔들림을 방지할 수 있고, 상기 캐리어들의 이적재가 안정적으로 이루어질 수 있다. According to the present invention, when the hoist unit is lifted, it is possible to guide the elevation of the elevation plate of the hoist unit by using the guide beams and the guide roller units. Since the hoist unit is guided, it is possible to prevent shaking of the hoist unit, and the transfer and loading of the carriers can be made stably.

상기 가이드 빔들에서 상기 가이드 롤러와 접촉하는 접촉면은 상기 호이스트 유닛의 네 변과 일정 각도로 경사지므로, 상기 가이드 빔들과 상기 가이드 롤러의 접촉이 해제되는 것을 방지할 수 있다. 따라서 상기 가이드 구조물이 상기 호이스 유닛을 안정적으로 가이드할 수 있다. Since the contact surfaces in the guide beams contacting the guide rollers are inclined at a predetermined angle to the four sides of the hoist unit, it is possible to prevent the guide beams from contacting the guide rollers from being released. Accordingly, the guide structure may stably guide the hoist unit.

상기 가이드 빔들에서 상기 가이드 롤러와 접촉하는 접촉면들의 상단은 상기 호이스트 유닛과 멀어지는 방향으로 경사진다. 상기 호이스트 유닛이 하강하면서 상기 가이드 롤러들이 상기 가이드 빔들과 접촉할 때 상기 가이드 롤러들이 상기 가이드 빔들의 상단면에 걸리는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 상기 호이스트 유닛이 원활하게 승강할 수 있다. The upper ends of the contact surfaces in contact with the guide roller in the guide beams are inclined in a direction away from the hoist unit. It is possible to prevent the guide rollers from being caught on the upper surfaces of the guide beams when the guide rollers come into contact with the guide beams while the hoist unit is lowered. Accordingly, the hoist unit can be moved up and down smoothly.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 이송 장치를 설명하기 위한 측면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 비히클을 설명하기 위한 측면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 스토커 및 가이드 구조물을 설명하기 위한 평면도이다.
도 4는 도 3에 도시된 가이드 구조물을 설명하기 위한 평면도이다.
도 5 및 도 6은 도 4에 도시된 가이드 구조물의 다른 예를 설명하기 위한 평면도들이다.
도 7 내지 도 10은 도 1에 도시된 캐리어 이송 장치를 이용한 캐리어 이적재를 설명하기 위한 측면도들이다.1 is a side view for explaining a carrier transport apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a side view for explaining the vehicle shown in FIG. 1 .
3 is a plan view for explaining the stocker and guide structure shown in FIG. 1 .
4 is a plan view for explaining the guide structure shown in FIG. 3 .
5 and 6 are plan views for explaining another example of the guide structure shown in FIG.
7 to 10 are side views for explaining a carrier transfer using the carrier transport device shown in FIG. 1 .

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Since the present invention can have various changes and can have various forms, specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to the specific disclosed form, it should be understood to include all modifications, equivalents and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing each figure, like reference numerals have been used for like elements. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are enlarged than the actual size for clarity of the present invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. Terms such as first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The above terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, a first component may be referred to as a second component, and similarly, a second component may also be referred to as a first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used in the present application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, terms such as "comprise" or "have" are intended to designate that a feature, number, step, operation, component, part, or a combination thereof described in the specification exists, but one or more other features It is to be understood that it does not preclude the possibility of the presence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical and scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related art, and should not be interpreted in an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in the present application. does not

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 이송 장치를 설명하기 위한 측면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 비히클을 설명하기 위한 측면도이고, 도 3은 도 1에 도시된 스토커 및 가이드 구조물을 설명하기 위한 평면도이고, 도 4는 도 3에 도시된 가이드 구조물을 설명하기 위한 평면도이고, 도 5 및 도 6은 도 4에 도시된 가이드 구조물의 다른 예를 설명하기 위한 평면도들이다. Figure 1 is a side view for explaining a carrier transport apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a side view for explaining the vehicle shown in Figure 1, Figure 3 is a stocker and guide structure shown in Figure 1 It is a plan view for explanation, FIG. 4 is a plan view for explaining the guide structure shown in FIG. 3 , and FIGS. 5 and 6 are plan views for explaining another example of the guide structure shown in FIG. 4 .

도 1 내지 도 6을 참조하면, 캐리어 이송 장치(400)는 스토커(100), 비히클(200) 및 가이드 구조물(300)을 포함할 수 있다. 1 to 6 , the carrier transport apparatus 400 may include a stocker 100 , a vehicle 200 , and a guide structure 300 .

상기 스토커(100)는 캐리어(10)들을 보관하기 위한 것으로, 다수의 선반(110)들 및 반사부(120)들을 포함할 수 있다. The stocker 100 is for storing the carriers 10 , and may include a plurality of shelves 110 and reflectors 120 .

상기 스토커(100)는 상기 비히클(200)이 주행하는 주행 레일(20)에 인접하도록 배치된다. 상기 스토커(100)는 지면(30)에 놓여지거나 천장(40)에 고정될 수 있다. The stocker 100 is disposed adjacent to the traveling rail 20 on which the vehicle 200 travels. The stocker 100 may be placed on the ground 30 or fixed to the ceiling 40 .

상기 캐리어(10)는 대상물(미도시)이 수용할 수 있다. 상기 대상물의 예로는 반도체 기판, 인쇄회로기판, 레티클 등을 들 수 있다. 상기 캐리어(10)의 예로는 풉(FOUP), 포스비(FOSB), 매거진, 레티클 포드 등을 들 수 있다.The carrier 10 can accommodate an object (not shown). Examples of the object include a semiconductor substrate, a printed circuit board, a reticle, and the like. Examples of the carrier 10 include a FOUP, a FOSB, a magazine, and a reticle pod.

상기 선반(110)들은 상기 캐리어(10)들을 보관하기 위한 것으로, 좌우 방향 및 상하 방향으로 배열되며, 상기 캐리어(10)들을 각각 지지할 수 있다. 예를 들면, 상기 선반(110)들은 각각 대략 평판 형태를 가지며, 상기 캐리어들(10)의 하부면을 각각 지지한다. The shelves 110 are for storing the carriers 10, are arranged in the left-right direction and the vertical direction, and can support the carriers 10, respectively. For example, each of the shelves 110 has a substantially flat plate shape, and supports the lower surfaces of the carriers 10 , respectively.

도 1에 도시된 바와 같이 상기 선반들(110)들 상기 좌우 방향으로 2열로 배열될 수 있다. 이와 달리 상기 선반들(110)들 상기 좌우 방향으로 1열로 배열될 수 있다.As shown in FIG. 1 , the shelves 110 may be arranged in two rows in the left and right directions. Alternatively, the shelves 110 may be arranged in one row in the left-right direction.

상기 스토커(100)는 상기 각 선반(110)들의 후면에 반사부(120)들을 더 포함할 수 있다. The stocker 100 may further include reflection units 120 on the rear surface of each shelf 110 .

상기 반사부(120)들은 상기 각 선반(110)들의 후면 중앙에 배치되거나, 상기 각 선반(110)에 상기 캐리어(10)가 적재된 상태에서 노출되도록 상기 각 선반(110)들의 후면 일측에 배치될 수 있다. The reflectors 120 are disposed at the center of the rear surface of each shelf 110 , or disposed on one rear side of each shelf 110 to be exposed in a state in which the carrier 10 is loaded on each shelf 110 . can be

상기 비히클(200)은 상기 캐리어(10)들을 이송하며 상기 캐리어(10)들을 상기 선반(110)들로 이적재하기 위한 것으로, 주행 유닛(210), 프레임 유닛(220), 회전 유닛(230), 호이스트 유닛(240), 슬라이드 유닛(250), 승강 유닛(260) 및 핸드 유닛(270)을 포함할 수 있다.The vehicle 200 transports the carriers 10 and is for loading and unloading the carriers 10 onto the shelves 110 , and includes a traveling unit 210 , a frame unit 220 , and a rotation unit 230 . , it may include a hoist unit 240 , a slide unit 250 , a lifting unit 260 and a hand unit 270 .

상기 주행 유닛(210)은 상기 비히클(100)을 상기 주행 레일(20)을 따라 이동시킨다. 상기 주행 유닛(210)의 양측면에 주행 롤러(211)가 구비된다. 상기 주행 롤러(211)는 별도의 구동부에 의해 회전한다. 따라서, 상기 비히클(100)이 상기 주행 레일(20)을 따라 주행한다. 예들 들면, 상기 비히클(100)은 상기 스토커(100)에 인접한 영역에서는 상기 좌우 방향을 따라 이동할 수 있다.The traveling unit 210 moves the vehicle 100 along the traveling rail 20 . Driving rollers 211 are provided on both sides of the traveling unit 210 . The traveling roller 211 is rotated by a separate driving unit. Accordingly, the vehicle 100 travels along the traveling rail 20 . For example, the vehicle 100 may move in the left-right direction in an area adjacent to the stocker 100 .

한편, 상기 주행 유닛(210)은 상부면에 조향 롤러(미도시)를 구비한다. 상기 조향 롤러는 상기 주행 레일(20)의 상방에 구비되는 조향 레일(미도시)과 선택적으로 접촉할 수 있다. 상기 주행 레일(20)의 분기 지점에서 상기 비히클(100)의 주행 방향을 조절할 수 있다. On the other hand, the driving unit 210 is provided with a steering roller (not shown) on the upper surface. The steering roller may selectively contact a steering rail (not shown) provided above the traveling rail 20 . A traveling direction of the vehicle 100 may be adjusted at a branch point of the traveling rail 20 .

상기 프레임 유닛(220)은 상기 주행 유닛(210)의 하부면에 고정되며, 상기 회전 유닛(230), 상기 호이스트 유닛(240), 상기 슬라이드 유닛(250), 상기 승강 유닛(260) 및 상기 핸드 유닛(270)을 지지할 수 있다. The frame unit 220 is fixed to the lower surface of the traveling unit 210 , and the rotation unit 230 , the hoist unit 240 , the slide unit 250 , the lifting unit 260 and the hand The unit 270 may be supported.

상기 회전 유닛(230)은 상기 프레임 유닛(220)의 하부면에 구비되며, 상기 프레임 유닛(220)에 대해 상기 상하 방향을 중심축으로 회전할 수 있다. The rotation unit 230 is provided on the lower surface of the frame unit 220 , and may rotate with respect to the frame unit 220 in the vertical direction as a central axis.

자세히 도시되지는 않았지만, 상기 회전 유닛(230)은 상기 회전 유닛(230)을 회전시키기 위한 회전 구동부를 구비할 수 있다. Although not shown in detail, the rotation unit 230 may include a rotation driving unit for rotating the rotation unit 230 .

일 예로서, 상기 회전 구동부는 모터 및 타이밍 벨트와 풀리들 또는 모터 및 기어를 포함하는 동력 전달 장치를 이용하여 구성될 수 있다.As an example, the rotation driving unit may be configured using a power transmission device including a motor and a timing belt and pulleys or a motor and a gear.

상기 회전 유닛(230)이 회전함에 따라 상기 핸드 유닛(270)에 고정된 상기 캐리어(10)의 방향을 변경할 수 있다. 따라서, 상기 캐리어(10)의 이적재 방향을 조절할 수 있다. As the rotation unit 230 rotates, the direction of the carrier 10 fixed to the hand unit 270 may be changed. Accordingly, the loading direction of the carrier 10 can be adjusted.

상기 호이스트 유닛(240)은 상기 회전 유닛(230)의 하부면에 구비되며, 상기 슬라이드 유닛(250)을 승강시킨다. The hoist unit 240 is provided on the lower surface of the rotation unit 230 and elevates the slide unit 250 .

구체적으로, 상기 호이스트 유닛(240)은 상기 슬라이드 유닛(250)과 연결되며 승강하는 승강 플레이트(241), 상기 승강 플레이트(241)와 연결되는 복수의 벨트(243)들 및 상기 벨트(243)들을 권취하거나 권출하여 상기 슬라이드 유닛(250)을 승강시키는 승강 구동부(245)를 포함할 수 있다. Specifically, the hoist unit 240 is connected to the slide unit 250 and elevating the lifting plate 241, a plurality of belts 243 and the belts 243 connected to the lifting plate 241. It may include an elevating driving unit 245 for elevating the slide unit 250 by winding or unwinding.

상기 승강 플레이트(241)는 대략 사각 평판 형태를 가질 수 있다. The lifting plate 241 may have a substantially rectangular plate shape.

상기 승강 구동부는 모터 및 타이밍 벨트와 풀리들을 포함하는 동력 전달 장치를 이용하여 구성될 수 있다.The lift driving unit may be configured using a motor and a power transmission device including a timing belt and pulleys.

상기 슬라이드 유닛(250)은 상기 호이스트 유닛(240), 구체적으로, 상기 승강 플레이트(241)에 상기 선반(110)들을 향해 이동 가능하도록 구비된다. 즉, 상기 슬라이드 유닛(250)은 상기 전후 방향으로 이동 가능하도록 구비될 수 있다. The slide unit 250 is provided on the hoist unit 240 , specifically, the lifting plate 241 to be movable toward the shelves 110 . That is, the slide unit 250 may be provided to be movable in the front-rear direction.

자세히 도시되지는 않았지만, 상기 슬라이드 유닛(250)은 상기 슬라이드 유닛(250)을 상기 전후 방향으로 이동시키기 위한 전후 구동부를 포함할 수 있다. Although not shown in detail, the slide unit 250 may include a front-rear driving unit for moving the slide unit 250 in the front-rear direction.

상기 전후 구동부는 모터 및 타이밍 벨트와 풀리들을 포함하는 동력 전달 장치를 이용하여 구성될 수 있다.The front/rear driving unit may be configured using a motor and a power transmission device including a timing belt and pulleys.

상기 승강 플레이트(241)와 상기 슬라이드 유닛(250) 사이에는 LM 가이드가 각각 구비되어 상기 슬라이드 유닛(250)의 상기 전후 방향 이동을 가이드할 수 있다. LM guides may be provided between the lifting plate 241 and the slide unit 250 , respectively, to guide the forward and backward movement of the slide unit 250 .

상기 승강 유닛(260)은 상기 핸드 유닛(270)을 상기 상하 방향을 따라 승강시킨다. 따라서, 상기 핸드 유닛(270)이 상기 캐리어(10)를 상기 선반(110)에 안착하거나, 상기 캐리어(10)를 상기 선반(110)으로부터 들어 올릴 수 있다. The lifting unit 260 raises and lowers the hand unit 270 in the vertical direction. Accordingly, the hand unit 270 may seat the carrier 10 on the shelf 110 or lift the carrier 10 from the shelf 110 .

상기 승강 유닛(260)은 상기 핸드 유닛(270)을 승강하기 위해 볼스크류 및 회전 모터, 리니어 모터, 실린더 등을 포함할 수 있다. The elevating unit 260 may include a ball screw, a rotary motor, a linear motor, a cylinder, and the like to elevate the hand unit 270 .

상기 핸드 유닛(270)은 상기 캐리어(10)를 고정한다. 상기 핸드 유닛(270)은 포크인 것이 바람직하나, 그리퍼(Gripper)나 로봇암일 수도 있다. The hand unit 270 fixes the carrier 10 . The hand unit 270 is preferably a fork, but may be a gripper or a robot arm.

일 예로, 상기 캐리어(10)가 상기 풉(FOUP)이나 상기 레티클 포드인 경우, 상기 핸드 유닛(270)은 상기 풉(FOUP)이나 상기 레티클 포드에 구비된 플랜지를 고정할 수 있다. For example, when the carrier 10 is the FOUP or the reticle pod, the hand unit 270 may fix a flange provided in the FOUP or the reticle pod.

이와 달리 상기 캐리어(10)가 상기 포스비(FOSB)나 상기 매거진인 경우, 상기 핸드 유닛(270)은 상기 포스비(FOSB)나 상기 매거진의 하부면을 고정할 수 있다. On the other hand, when the carrier 10 is the FOSB or the magazine, the hand unit 270 may fix the lower surface of the FOSB or the magazine.

상기 캐리어(10)는 상기 호이스트 유닛(240)에 의해 승강하고, 상기 슬라이드 유닛(250)에 의해 상기 전후 방향으로 이동하므로, 상기 캐리어(10)가 상기 선반(110)들에 직접 이적재될 수 있다. The carrier 10 is lifted by the hoist unit 240 and moved in the front-rear direction by the slide unit 250 , so that the carrier 10 can be directly loaded onto the shelves 110 . have.

또한, 상기 캐리어(10)는 상기 회전 유닛(230)에 의해 회전하므로, 상기 캐리어(10)는 제1 열 또는 제2 열의 상기 선반(110)들에 용이하게 이적재될 수 있다. In addition, since the carrier 10 is rotated by the rotation unit 230 , the carrier 10 can be easily loaded onto the shelves 110 in the first row or the second row.

따라서, 상기 캐리어 이송 장치(300)는 상기 캐리어(10)들을 상기 선반(110)들에 신속하게 이적재할 수 있다. Accordingly, the carrier transport apparatus 300 can quickly transfer the carriers 10 to the shelves 110 .

자세히 도시되지는 않았지만, 상기 각 선반(110)에는 상기 캐리어(10)의 적재 여부를 감지할 수 있는 센서가 구비되고, 상기 센서로부터 상기 선반(110)들의 상기 캐리어 적재 여부에 대한 정보를 획득할 수 있다. Although not shown in detail, each shelf 110 is provided with a sensor capable of detecting whether the carrier 10 is loaded, and information on whether the carrier 10 is loaded on the shelves 110 is obtained from the sensor. can

상기 각 선반(110) 또는 상기 비히클(200)에는 상기 캐리어(10)에 표시된 인식 부호를 확인하기 위한 리더기가 구비되고, 상기 리더로부터 상기 선반(110)들에 적재된 상기 캐리어(10)에 대한 정보를 획득할 수 있다. Each shelf 110 or the vehicle 200 is provided with a reader for confirming the identification code displayed on the carrier 10, and the reader for the carrier 10 loaded on the shelves 110 information can be obtained.

상기 정보에 따라 상기 비히클(200)이 상기 캐리어(10)들을 이적재하므로, 상기 캐리어(10)들의 이적재 공정에 대한 정확성을 향상시킬 수 있다. Since the vehicle 200 transfers and loads the carriers 10 according to the information, it is possible to improve the accuracy of the transfer and load process of the carriers 10 .

상기 비히클(200)은 티칭용 센서(280)를 더 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 티칭용 센서(280)는 상기 핸드 유닛(270)에 구비될 수 있다. The vehicle 200 may further include a sensor 280 for teaching. For example, the teaching sensor 280 may be provided in the hand unit 270 .

상기 핸드 유닛(270)이 상기 각 선반(110)들과 마주한 상태에서 상기 티칭용 센서(280)는 상기 반사부(120)들을 향해 광을 조사하고, 상기 반사부(120)들에서 반사되는 반사광을 수신하여 상기 각 선반(110)들의 위치를 티칭할 수 있다. In a state where the hand unit 270 faces each of the shelves 110 , the teaching sensor 280 irradiates light toward the reflection units 120 , and the reflected light reflected from the reflection units 120 . can be received to teach the positions of the respective shelves 110 .

상기 비히클(200)의 주행 및 상기 호이스트 유닛(240)의 승강에 따라 상기 반사부(120)들과 상기 티칭용 센서(280)를 이용하여 상기 각 선반(110)들의 위치를 모두 티칭할 수 있다. 그러므로, 상기 각 선반(110)들의 티칭 결과를 이용하여 상기 비히클(200)이 상기 캐리어(10)들을 상기 선반(110)들에 안정적으로 적재하거나, 상기 선반(110)들로부터 상기 캐리어(10)들을 안정적으로 이재할 수 있다. According to the driving of the vehicle 200 and the elevation of the hoist unit 240, all positions of the shelves 110 can be taught using the reflectors 120 and the teaching sensor 280. . Therefore, the vehicle 200 stably loads the carriers 10 on the shelves 110 using the teaching result of each shelf 110 , or the carrier 10 from the shelves 110 . can be transferred stably.

상기 가이드 구조물(300)은 상기 호이스트 유닛(240)의 승강을 가이드하기 위한 것으로, 다수의 가이드 빔(310)들 및 가이드 롤러 유닛(320)들을 포함할 수 있다. The guide structure 300 is for guiding the elevation of the hoist unit 240 , and may include a plurality of guide beams 310 and guide roller units 320 .

상기 가이드 빔(310)들은 상기 상하 방향을 따라 연장하며, 상기 호이스트 유닛(240)의 네 모서리에 대응하도록 구비될 수 있다. The guide beams 310 may extend along the vertical direction and may be provided to correspond to the four corners of the hoist unit 240 .

구체적으로, 대략 사각 평판 형태를 가지며, 상기 벨트(243)들에 고정되어 승강하는 상기 승강 플레이트(241)의 네 모서리와 대응하도록 상기 가이드 빔(310)들이 배치될 수 있다. Specifically, the guide beams 310 may be arranged to correspond to the four corners of the lifting plate 241 having a substantially rectangular flat plate shape and being fixed to the belts 243 and ascending and descending.

상기 가이드 빔(310)들의 상단은 상기 비히클(200)의 하단보다 낮은 높이에 위치할 수 있다. 상기 비히클(200)이 상기 주행 레일(20)을 따라 주행하더라도 상기 비히클(200)이 상기 가이드 빔(310)들과 충돌하는 것을 방지할 수 있다. The upper ends of the guide beams 310 may be positioned at a lower height than the lower ends of the vehicle 200 . Even when the vehicle 200 travels along the traveling rail 20 , it is possible to prevent the vehicle 200 from colliding with the guide beams 310 .

또한, 상기 가이드 빔(310)들은 상기 좌우 방향을 따라 서로 이격되도록 배치된다. 이때, 상기 가이드 빔(310)들은 상기 좌우 방향으로 배열된 상기 선반(110)들 사이에 배치될 수 있다. 따라서, 상기 가이드 빔(310)들이 상기 선반(110)들을 가로막지 않는다. 상기 캐리어(10)의 이적재를 위해 상기 슬라이드 유닛(250)이 상기 전후 방향으로 이동하더라도 상기 슬라이드 유닛(250)과 상기 가이드 빔(310)들이 충돌하는 것을 방지할 수 있다. In addition, the guide beams 310 are disposed to be spaced apart from each other in the left and right directions. In this case, the guide beams 310 may be disposed between the shelves 110 arranged in the left and right directions. Accordingly, the guide beams 310 do not block the shelves 110 . Even if the slide unit 250 moves in the front-rear direction for the transfer and loading of the carrier 10 , the slide unit 250 and the guide beam 310 may be prevented from colliding.

상기 가이드 롤러 유닛(320)들은 상기 호이스트 유닛(240)의 네 모서리 부위, 구체적으로, 상기 승강 플레이트(241)의 상기 네 모서리 부위에 각각 구비될 수 있다. The guide roller units 320 may be provided at each of the four corners of the hoist unit 240 , specifically, at the four corners of the lifting plate 241 .

상기 각 가이드 롤러 유닛(320)은 가이드 블록(321) 및 가이드 롤러(323)를 포함할 수 있다. Each of the guide roller units 320 may include a guide block 321 and a guide roller 323 .

상기 가이드 블록(321)은 상기 승강 플레이트(241)의 상기 네 모서리 부위에 각각 고정될 수 있다. The guide block 321 may be fixed to each of the four corners of the lifting plate 241 .

상기 가이드 롤러(323)는 상기 가이드 블록(321)의 단부에 회전 가능하도록 구비되어 상기 가이드 빔(310)들과 접촉할 수 있다. The guide roller 323 may be rotatably provided at an end of the guide block 321 to contact the guide beams 310 .

상기 가이드 롤러(323)들이 상기 가이드 빔(310)들과 접촉한 상태로 상기 승강 플레이트(241)의 승강을 가이드할 수 있다. 따라서, 상기 승강 플레이트(241)가 승강하더라도 상기 승강 플레이트(241) 및 상기 승강 플레이트(241)에 연결된 상기 슬라이드 유닛(250)이 흔들리는 것을 방지할 수 있다. The guide rollers 323 may guide the elevation of the elevation plate 241 while in contact with the guide beams 310 . Accordingly, even when the lifting plate 241 is lifted, it is possible to prevent the lifting plate 241 and the slide unit 250 connected to the lifting plate 241 from shaking.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 각 가이드 롤러 유닛(320)들은 하나의 가이드 롤러(323)를 가지며, 상기 가이드 롤러(323)는 상기 가이드 빔(310)과 1점 접촉할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, each of the guide roller units 320 has one guide roller 323 , and the guide roller 323 may contact the guide beam 310 at one point.

도 4에 도시된 바와 같이 상기 가이드 빔(310)들에서 상기 가이드 롤러(323)와 접촉하는 접촉면(311)은 상기 호이스트 유닛(240)의 상기 승강 플레이트(241)의 상기 네 변들과 일정 각도로 경사질 수 있다. 상기 각도는 약 30 내지 60도 인 것이 바람직하며, 상기 각도는 보다 상세하게는 45도 일 수 있다. As shown in FIG. 4 , in the guide beams 310 , the contact surface 311 in contact with the guide roller 323 is at a predetermined angle with the four sides of the lifting plate 241 of the hoist unit 240 . can be inclined The angle is preferably about 30 to 60 degrees, the angle may be more specifically 45 degrees.

상기 접촉면(311)이 상기 승강 플레이트(241)의 상기 네 변들과 일정 각도로 경사지므로, 상기 승강 플레이트(241)가 상기 좌우 방향 및 상기 전후 방향으로 흔들리더라도 상기 가이드 빔(310)들이 상기 가이드 롤러 유닛(320)들을 안정적으로 지지할 수 있다. 또한, 상기 가이드 롤러 유닛(320)들이 상기 가이드 빔(310)들로부터 이탈하는 것도 방지할 수 있다. Since the contact surface 311 is inclined with the four sides of the lifting plate 241 at a predetermined angle, even if the lifting plate 241 is shaken in the left-right direction and the front-rear direction, the guide beams 310 move the guide The roller units 320 may be stably supported. Also, it is possible to prevent the guide roller units 320 from being separated from the guide beams 310 .

도 5에 도시된 바와 같이 상기 접촉면(311)은 상기 승강 플레이트(241)의 상기 네 변들과 수직하거나 평행할 수 있다. 이때, 네 개의 상기 가이드 롤러(323)와 접촉하는 네 개의 접촉면(311)들 중 두 개는 상기 좌우 방향에 위치하고, 나머지 두 개는 상기 전후 방향에 위치할 수 있다. 따라서, 상기 승강 플레이트(241)가 상기 좌우 방향 및 상기 전후 방향으로 흔들리더라도 상기 가이드 빔(310)들이 상기 가이드 롤러 유닛(320)들을 안정적으로 지지할 수 있다. 또한, 상기 가이드 롤러 유닛(320)들이 상기 가이드 빔(310)들로부터 이탈하는 것도 방지할 수 있다. As shown in FIG. 5 , the contact surface 311 may be perpendicular to or parallel to the four sides of the lifting plate 241 . In this case, two of the four contact surfaces 311 contacting the four guide rollers 323 may be located in the left-right direction, and the other two may be located in the front-rear direction. Accordingly, even when the lifting plate 241 shakes in the left-right direction and the front-rear direction, the guide beams 310 may stably support the guide roller units 320 . Also, it is possible to prevent the guide roller units 320 from being separated from the guide beams 310 .

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 각 가이드 롤러 유닛(320)들은 한 쌍의 가이드 롤러(323)들을 가지며, 상기 가이드 롤러(323)들은 상기 가이드 빔(310)과 2점 접촉할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, each of the guide roller units 320 has a pair of guide rollers 323 , and the guide rollers 323 may make two-point contact with the guide beam 310 .

도 6을 참조하면, 상기 각 가이드 빔(310)들에서 상기 접촉면(311)들은 상기 승강 플레이트(241)의 상기 네 변들과 수직하거나 평행할 수 있다. 또한, 상기 한 쌍의 가이드 롤러(323)들이 상기 각 가이드 빔(310)들에서 두 개의 접촉면(311)들과 접촉할 수 있다. 이때, 상기 두 개의 접촉면(311)들은 상기 좌우 방향 및 상기 전후 방향으로 각각 위치할 수 있다. 따라서, 상기 승강 플레이트(241)가 상기 좌우 방향 및 상기 전후 방향으로 흔들리더라도 상기 가이드 빔(310)들이 상기 가이드 롤러 유닛(320)들을 안정적으로 지지할 수 있다. 또한, 상기 가이드 롤러 유닛(320)들이 상기 가이드 빔(310)들로부터 이탈하는 것도 방지할 수 있다. Referring to FIG. 6 , in each of the guide beams 310 , the contact surfaces 311 may be perpendicular to or parallel to the four sides of the lifting plate 241 . In addition, the pair of guide rollers 323 may contact the two contact surfaces 311 of each of the guide beams 310 . In this case, the two contact surfaces 311 may be respectively positioned in the left-right direction and the front-rear direction. Accordingly, even when the lifting plate 241 shakes in the left-right direction and the front-rear direction, the guide beams 310 may stably support the guide roller units 320 . Also, it is possible to prevent the guide roller units 320 from being separated from the guide beams 310 .

한편, 도 1에 도시된 바와 같이 상기 가이드 빔(310)들에서 상기 가이드 롤러(323)와 접촉하는 상기 접촉면(311)들의 상단은 상기 각 가이드 빔(310)들의 중심을 향해 경사질 수 있다. Meanwhile, as shown in FIG. 1 , upper ends of the contact surfaces 311 in contact with the guide roller 323 of the guide beams 310 may be inclined toward the center of each of the guide beams 310 .

상기 호이스트 유닛(340)의 상기 승강 플레이트(341)가 하강하면서 상기 가이드 롤러(323)들이 상기 경사를 따라 상기 가이드 빔(310)들의 상기 접촉면(311)들과 원활하게 접촉할 수 있다. 또한, 상기 가이드 롤러(323)들이 상기 가이드 빔(310)들과 접촉할 때 상기 가이드 롤러(323)들이 상기 가이드 빔(310)들의 상단면에 걸리는 것을 방지할 수 있다. As the elevating plate 341 of the hoist unit 340 descends, the guide rollers 323 may smoothly contact the contact surfaces 311 of the guide beams 310 along the inclination. In addition, when the guide rollers 323 come into contact with the guide beams 310 , it is possible to prevent the guide rollers 323 from being caught on the top surfaces of the guide beams 310 .

상기 가이드 구조물(300)은 상기 호이스트 유닛(240)을 가이드하여 상기 호이스트 유닛(240)의 흔들림을 방지할 수 있다. 상기 호이스트 유닛(240)에 연결된 상기 슬라이드 유닛(250) 및 상기 핸드 유닛(270)의 흔들림도 방지할 수 있다. 따라서, 상기 비히클(200)이 상기 캐리어(10)들을 안정적이고 정확하게 이적재할 수 있다. The guide structure 300 may guide the hoist unit 240 to prevent the hoist unit 240 from shaking. It is possible to prevent shaking of the slide unit 250 and the hand unit 270 connected to the hoist unit 240 . Accordingly, the vehicle 200 can stably and accurately load the carriers 10 .

도 7 내지 도 10은 도 1에 도시된 캐리어 이송 장치를 이용한 캐리어 이적재를 설명하기 위한 측면도들이다.7 to 10 are side views for explaining a carrier transfer using the carrier transfer device shown in FIG. 1 .

도 7을 참조하면, 주행 레일(20)을 따라 주행하며 캐리어(10)를 이송하는 비히클(200)에서 호이스트 유닛(240)이 핸드 유닛(270)과 슬라이드 유닛(250)을 하강시킨다. Referring to FIG. 7 , the hoist unit 240 lowers the hand unit 270 and the slide unit 250 in the vehicle 200 that travels along the traveling rail 20 and transports the carrier 10 .

구체적으로, 상기 비히클(200)이 스토커(100)와 인접하면, 주행 유닛(210)이 정지한다. 이후, 상기 호이스트 유닛(240)이 상기 핸드 유닛(270)과 상기 슬라이드 유닛(250)을 하강시킨다. Specifically, when the vehicle 200 is adjacent to the stocker 100 , the traveling unit 210 stops. Thereafter, the hoist unit 240 lowers the hand unit 270 and the slide unit 250 .

상기 호이스트 유닛(240)의 승강 플레이트(241)가 가이드 빔(310)들과 가이드 롤러 유닛(320)들을 포함하는 가이드 구조물(300)에 의해 가이드되면서 하강할 수 있다. 따라서, 상기 핸드 유닛(270)과 상기 슬라이드 유닛(250)을 흔들림 없이 하강시킬 수 있다. The lifting plate 241 of the hoist unit 240 may descend while being guided by the guide structure 300 including the guide beams 310 and the guide roller units 320 . Accordingly, the hand unit 270 and the slide unit 250 can be lowered without shaking.

상기 핸드 유닛(270)에 고정된 상기 캐리어(10)의 방향이 상기 선반(110)들의 방향과 반대인 경우, 회전 유닛(230)을 회전시켜 상기 캐리어(10)의 방향을 상기 선반(110)들의 방향과 일치시킬 수 있다. 상기 캐리어(10)의 방향을 상기 선반(110)들의 방향과 일치시킨 후 핸드 유닛(270)과 상기 슬라이드 유닛(250)을 하강시킬 수 있다. When the direction of the carrier 10 fixed to the hand unit 270 is opposite to the direction of the shelves 110 , the rotation unit 230 is rotated to change the direction of the carrier 10 to the shelf 110 . can be aligned with their direction. After aligning the direction of the carrier 10 with the direction of the shelves 110 , the hand unit 270 and the slide unit 250 may be lowered.

도 8을 참조하면, 상기 캐리어(10)를 상기 선반(110)들에 이적재하기 위해 상기 슬라이드 유닛(250)을 상기 선반(110)들을 향해 이동시킨다. Referring to FIG. 8 , the slide unit 250 is moved toward the shelves 110 in order to load the carrier 10 onto the shelves 110 .

구체적으로, 상기 슬라이드 유닛(250)이 상기 선반들(110)을 향해 전후 방향으로 이동함에 따라 승강 유닛(260) 및 상기 핸드 유닛(270)을 상기 선반(110)들을 향해 상기 전후 방향을 따라 이동시킬 수 있다. Specifically, as the slide unit 250 moves in the front-rear direction toward the shelves 110 , the lifting unit 260 and the hand unit 270 move toward the shelves 110 in the front-rear direction. can do it

이후, 상기 승강 유닛(260)으로 상기 핸드 유닛(270)을 승강시켜 상기 캐리어(10)를 상기 캐리어(10)를 이적재하고자 하는 상기 선반(110)에 이적재할 수 있다.Thereafter, the hand unit 270 may be lifted by the lifting unit 260 to load the carrier 10 onto the shelf 110 on which the carrier 10 is to be transferred.

구체적으로, 상기 승강 유닛(260)은 상기 핸드 유닛(270)을 상기 상하 방향을 따라 승강시킨다. 따라서, 상기 핸드 유닛(270)이 상기 캐리어(10)를 상기 선반(110)에 안착하거나, 상기 캐리어(10)를 상기 선반(110)으로부터 들어 올릴 수 있다. Specifically, the lifting unit 260 raises and lowers the hand unit 270 in the vertical direction. Accordingly, the hand unit 270 may seat the carrier 10 on the shelf 110 or lift the carrier 10 from the shelf 110 .

상기 가이드 구조물(300)이 상기 승강 플레이트(241)를 안정적으로 가이드하므로, 상기 캐리어(10)를 상기 선반(110)들에 안정적이고 정확하게 이적재할 수 있다.Since the guide structure 300 stably guides the lifting plate 241 , the carrier 10 can be stably and accurately loaded onto the shelves 110 .

도 9를 참조하면, 상기 핸드 유닛(270)과 함께 상기 슬라이드 유닛(250)을 상기 선반(110)들로부터 멀어지도록 상기 전후 방향으로 이동시킨다. Referring to FIG. 9 , the slide unit 250 together with the hand unit 270 is moved in the front-rear direction to move away from the shelves 110 .

구체적으로, 상기 슬라이드 유닛(250)은 상기 승강 유닛(260) 및 상기 핸드 유닛(270)을 상기 선반(110)들로부터 멀어지도록 상기 전후 방향을 따라 이동시킬 수 있다. Specifically, the slide unit 250 may move the lifting unit 260 and the hand unit 270 in the front-rear direction to move away from the shelves 110 .

도 10을 참조하면, 상기 호이스트 유닛(240)으로 상기 핸드 유닛(270)과 상기 슬라이드 유닛(250)을 상승시킬 수 있다. Referring to FIG. 10 , the hand unit 270 and the slide unit 250 may be raised by the hoist unit 240 .

구체적으로, 상기 호이스트 유닛(240)이 상기 핸드 유닛(270)과 상기 슬라이드 유닛(250)을 상승시켜 프레임 유닛(220)의 내부에 위치시킨다. Specifically, the hoist unit 240 raises the hand unit 270 and the slide unit 250 to be positioned inside the frame unit 220 .

상기 승강 플레이트(241)가 상기 가이드 구조물(300)에 의해 가이드되면서 상승하므로, 상기 핸드 유닛(270)과 상기 슬라이드 유닛(250)을 흔들림 없이 상승시킬 수 있다. Since the lifting plate 241 rises while being guided by the guide structure 300 , the hand unit 270 and the slide unit 250 can be raised without shaking.

이후, 상기 비히클(200)이 상기 주행 레일(20)을 따라 주행할 수 있다. Thereafter, the vehicle 200 may travel along the traveling rail 20 .

상술한 바와 같이, 상기 호이스트 유닛이 승강할 때 상기 가이드 빔들과 상기 가이드 롤러 유닛들을 이용하여 상기 호이스트 유닛의 상기 승강 플레이트의 승강을 가이드할 수 있다. 상기 호이스트 유닛이 가이드되므로, 상기 호이스트 유닛의 흔들림을 방지할 수 있고, 상기 캐리어들의 이적재가 안정적으로 이루어질 수 있다. As described above, when the hoist unit is elevating, it is possible to guide the elevating of the elevating plate of the hoist unit by using the guide beams and the guide roller units. Since the hoist unit is guided, it is possible to prevent shaking of the hoist unit, and the transfer and loading of the carriers can be made stably.

상기 가이드 빔들에서 상기 가이드 롤러와 접촉하는 접촉면은 상기 호이스트 유닛의 네 변과 일정 각도로 경사지므로, 상기 가이드 빔들과 상기 가이드 롤러의 접촉이 해제되는 것을 방지할 수 있다. 따라서 상기 가이드 구조물이 상기 호이스 유닛을 안정적으로 가이드할 수 있다. Since the contact surfaces in the guide beams contacting the guide rollers are inclined at a predetermined angle to the four sides of the hoist unit, it is possible to prevent the guide beams from contacting the guide rollers from being released. Accordingly, the guide structure may stably guide the hoist unit.

상기 가이드 빔들에서 상기 가이드 롤러와 접촉하는 접촉면들의 상단은 상기 호이스트 유닛과 멀어지는 방향으로 경사진다. 상기 호이스트 유닛이 하강하면서 상기 가이드 롤러들이 상기 가이드 빔들과 접촉할 때 상기 가이드 롤러들이 상기 가이드 빔들의 상단면에 걸리는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 상기 호이스트 유닛이 원활하게 승강할 수 있다. The upper ends of the contact surfaces in contact with the guide roller in the guide beams are inclined in a direction away from the hoist unit. It is possible to prevent the guide rollers from being caught on the upper surfaces of the guide beams when the guide rollers come into contact with the guide beams while the hoist unit is lowered. Accordingly, the hoist unit can be moved up and down smoothly.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to the preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention within the scope without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the following claims. You will understand that you can.

100 : 스토커 110 : 선반
120 : 반사부 200 : 비히클
210 : 주행 유닛 220 : 프레임 유닛
230 : 회전 유닛 240 : 호이스트 유닛
241 : 승강 플레이트 243 : 벨트
245 : 승강 구동부 250 : 슬라이드 유닛
260 : 승강 유닛 270 : 핸드 유닛
280 : 티칭용 센서 300 : 가이드 구조물
310 : 가이드 빔 311 : 접촉면
320 : 가이드 롤러 유닛 321 : 가이드 블록
323 : 가이드 레일 400 : 캐리어 이송 장치
10 : 캐리어 20 : 주행 레일
30 : 지면 40 : 천장100: stocker 110: shelf
120: reflector 200: vehicle
210: driving unit 220: frame unit
230: rotating unit 240: hoist unit
241: lifting plate 243: belt
245: lift driving unit 250: slide unit
260: lifting unit 270: hand unit
280: sensor for teaching 300: guide structure
310: guide beam 311: contact surface
320: guide roller unit 321: guide block
323: guide rail 400: carrier transport device
10: carrier 20: running rail
30: ground 40: ceiling

Claims (16)

주행 레일을 따라 주행하며 캐리어를 이송하는 비히클에서 상기 캐리어를 승강시키기 위한 호이스트 유닛의 네 모서리들에 대응하도록 상하 방향을 따라 연장하는 다수의 가이드 빔들; 및
상기 호이스트 유닛의 상기 네 모서리에 각각 구비되며, 상기 호이스트 유닛의 흔들림을 방지하기 위해 상기 빔들과 접촉한 상태로 상기 호이스트 유닛의 승강을 가이드하기 위한 가이드 롤러를 각각 갖는 가이드 롤러 유닛들을 포함하는 것을 특징으로 하는 호이스트 유닛의 가이드 구조물.A plurality of guide beams running along the traveling rail and extending in the vertical direction to correspond to the four corners of the hoist unit for elevating the carrier in the vehicle for transporting the carrier; and
Guide roller units provided at each of the four corners of the hoist unit, each having guide rollers for guiding the lifting and lowering of the hoist unit while in contact with the beams to prevent shaking of the hoist unit The guide structure of the hoist unit. 제1항에 있어서, 상기 가이드 롤러 유닛들은 상기 호이스트 유닛에서 복수의 벨트들의 단부에 고정되어 승강하는 승강 플레이트의 네 모서리에 구비되는 것을 특징으로 하는 호이스트 유닛의 가이드 구조물. According to claim 1, wherein the guide roller units are the guide structure of the hoist unit, characterized in that provided at the four corners of the elevating plate fixed to the ends of the plurality of belts in the hoist unit. 제1항에 있어서, 상기 각 가이드 롤러 유닛들은 하나의 가이드 롤러를 가지며, 상기 가이드 롤러는 상기 가이드 빔과 1점 접촉하는 것을 특징으로 하는 호이스트 유닛의 가이드 구조물.The guide structure of claim 1, wherein each of the guide roller units has one guide roller, and the guide roller is in one-point contact with the guide beam. 제3항에 있어서, 상기 가이드 빔들에서 상기 가이드 롤러와 접촉하는 접촉면은 상기 호이스트 유닛의 네 변과 일정 각도로 경사지는 것을 특징으로 하는 호이스트 유닛의 가이드 구조물.[4] The guide structure of claim 3, wherein a contact surface of the guide beams in contact with the guide roller is inclined at a predetermined angle with four sides of the hoist unit. 제1항에 있어서, 상기 각 가이드 롤러 유닛들은 한 쌍의 가이드 롤러들을 가지며, 상기 가이드 롤러들은 상기 가이드 빔과 2점 접촉하는 것을 특징으로 하는 호이스트 유닛의 가이드 구조물.The guide structure of claim 1, wherein each of the guide roller units has a pair of guide rollers, and the guide rollers are in two-point contact with the guide beam. 제1항에 있어서, 상기 비히클의 주행시 상기 비히클과 충돌하는 것을 방지하기 위해 상기 가이드 빔들의 상단은 상기 비히클의 하단보다 낮은 높이에 위치하는 것을 특징으로 하는 호이스트 유닛의 가이드 구조물.The guide structure of claim 1, wherein upper ends of the guide beams are positioned at a lower height than lower ends of the vehicle to prevent collision with the vehicle while the vehicle is traveling. 제6항에 있어서, 상기 호이스트 유닛이 하강하면서 상기 가이드 롤러들이 상기 가이드 빔들과 접촉할 때 상기 가이드 롤러들이 상기 가이드 빔들의 상단면에 걸리는 것을 방지하기 위해 상기 가이드 빔들에서 상기 가이드 롤러와 접촉하는 접촉면들의 상단은 상기 가이드 빔들의 중심을 향해 경사지는 것을 특징으로 하는 호이스트 유닛의 가이드 구조물. 7. The contact surface according to claim 6, wherein the guide rollers are in contact with the guide rollers in the guide beams to prevent the guide rollers from jamming the top surfaces of the guide beams when the guide rollers come into contact with the guide beams while the hoist unit is lowered. The upper end of the guide structure of the hoist unit, characterized in that inclined toward the center of the guide beams. 캐리어를 보관하기 위한 복수의 선반들을 갖는 스토커;
주행 레일을 따라 주행하도록 구비되는 주행 유닛, 상기 주행 유닛에 연결되며, 승강 가능하도록 구비되는 호이스트 유닛, 상기 호이스트 유닛에 상기 선반들을 향해 이동 가능하도록 구비되는 슬라이드 유닛 및 상기 캐리어를 고정하는 핸드 유닛을 포함하며 상기 캐리어를 이송하고 상기 선반들에 이적재하는 비히클; 및
상기 호이스트 유닛의 흔들림을 방지하기 위해 상기 호이스트 유닛을 가이드하는 가이드 구조물을 포함하고,
상기 가이드 구조물은,
상기 비히클에서 상기 호이스트 유닛의 네 모서리들에 대응하도록 상하 방향을 따라 연장하는 다수의 가이드 빔들; 및
상기 호이스트 유닛의 상기 네 모서리에 각각 구비되며, 상기 빔들과 접촉한 상태로 상기 호이스트 유닛의 승강을 가이드하기 위한 가이드 롤러를 각각 갖는 가이드 롤러 유닛들을 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 장치.a stocker having a plurality of shelves for storing carriers;
A traveling unit provided to travel along a traveling rail, a hoist unit connected to the traveling unit and provided to be able to ascend and descend, a slide unit provided to the hoist unit to move toward the shelves, and a hand unit for fixing the carrier a vehicle for transporting the carrier and loading the carrier onto the shelves; and
Including a guide structure for guiding the hoist unit to prevent the shaking of the hoist unit,
The guide structure is
a plurality of guide beams extending in the vertical direction to correspond to the four corners of the hoist unit in the vehicle; and
Carrier conveying apparatus comprising guide roller units provided at each of the four corners of the hoist unit and each having guide rollers for guiding the lifting and lowering of the hoist unit in contact with the beams. 제8항에 있어서, 상기 비히클은, 상기 슬라이드 유닛에 구비되며, 상기 캐리어를 상기 선반에 이적재하기 위해 상기 핸드 유닛을 승강시키는 승강 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 장치. The carrier transport apparatus of claim 8, wherein the vehicle further comprises a lifting unit provided on the slide unit and configured to raise and lower the hand unit in order to load the carrier onto the shelf. 제8항에 있어서, 상기 슬라이드 유닛과 충돌하는 것을 방지하기 위해 상기 가이드 빔들은 상기 선반들 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 장치. 9. A carrier transport apparatus according to claim 8, characterized in that the guide beams are arranged between the shelves to avoid colliding with the slide unit. 제8항에 있어서, 상기 가이드 롤러 유닛들은 상기 호이스트 유닛에서 복수의 벨트들의 단부에 고정되어 승강하는 승강 플레이트의 네 모서리에 구비되는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 장치. [Claim 9] The carrier conveying apparatus according to claim 8, wherein the guide roller units are provided at four corners of the elevating plate fixed to the ends of the plurality of belts in the hoist unit. 제8항에 있어서, 상기 각 가이드 롤러 유닛들은 하나의 가이드 롤러를 가지며, 상기 가이드 롤러는 상기 가이드 빔과 1점 접촉하는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 장치.The carrier conveying apparatus according to claim 8, wherein each of the guide roller units has one guide roller, and the guide roller is in one-point contact with the guide beam. 제12항에 있어서, 상기 가이드 빔들에서 상기 가이드 롤러와 접촉하는 접촉면은 상기 호이스트 유닛의 네 변과 일정 각도로 경사지는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 장치.[Claim 13] The carrier transport apparatus according to claim 12, wherein a contact surface of the guide beams in contact with the guide roller is inclined at a predetermined angle with four sides of the hoist unit. 제8항에 있어서, 상기 각 가이드 롤러 유닛들은 한 쌍의 가이드 롤러들을 가지며, 상기 가이드 롤러들은 상기 가이드 빔과 2점 접촉하는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 장치.The carrier conveying apparatus according to claim 8, wherein each of the guide roller units has a pair of guide rollers, and the guide rollers are in two-point contact with the guide beam. 제8항에 있어서, 상기 비히클의 주행시 상기 비히클과 충돌하는 것을 방지하기 위해 상기 가이드 빔들의 상단은 상기 비히클의 하단보다 낮은 높이에 위치하는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 장치.9. The carrier transport apparatus according to claim 8, wherein upper ends of the guide beams are positioned at a lower height than lower ends of the vehicle to prevent collision with the vehicle when the vehicle is traveling. 제15항에 있어서, 상기 호이스트 유닛이 하강하면서 상기 가이드 롤러들이 상기 가이드 빔들과 접촉할 때 상기 가이드 롤러들이 상기 가이드 빔들의 상단면에 걸리는 것을 방지하기 위해 상기 가이드 빔들에서 상기 가이드 롤러와 접촉하는 접촉면들의 상단은 상기 가이드 빔들의 중심을 향해 경사지는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 장치. 16. The contact surface of claim 15, wherein the guide rollers contact the guide rollers in the guide beams to prevent the guide rollers from jamming the top surfaces of the guide beams when the guide rollers come into contact with the guide beams while the hoist unit is lowered. The upper ends of the carrier transport device, characterized in that inclined toward the center of the guide beams.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102407466B1 (en) * 2022-02-24 2022-06-14 엠리그 주식회사 Test device for battery

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