KR102246806B1 - Apparatus for transferring a carrier - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 캐리어 이송 장치는, 캐리어가 수납되며 수직 및 수평 이동이 가능한 하우징과 상기 캐리어를 상기 하우징 내부로 반입 및 반출하는 포크부를 구비하고, 주행 레일을 따라 주행하며 상기 캐리어들을 이송하는 이송 유닛 및 상기 주행 레일의 양측 중 적어도 일측에 구비되며, 상기 이송 유닛에 의해 이송된 캐리어를 수납하기 위해 다단 형태로 배열되는 선반들을 갖는 버퍼 유닛을 포함할 수 있다. The carrier transfer device according to the present invention includes a housing in which a carrier is accommodated and is capable of vertical and horizontal movement, and a fork portion for carrying in and out of the carrier into the housing, and a transfer unit for transporting the carriers while traveling along a traveling rail. And a buffer unit provided on at least one side of both sides of the traveling rail and having shelves arranged in a multi-stage shape to accommodate the carrier transferred by the transfer unit.

Description

캐리어 이송 장치{Apparatus for transferring a carrier}Carrier transfer device {Apparatus for transferring a carrier}

본 발명은 캐리어 이송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 제조 라인에서 캐리어를 이송하는 캐리어 이송 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a carrier conveying device, and more particularly, to a carrier conveying device for conveying a carrier in a semiconductor manufacturing line.

일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들은 연속적으로 배치되어 반도체 기판에 대해 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물은 캐리어에 수납된 상태로 캐리어 이송 장치에 의해 이송된다. 상기 캐리어 이송 장치는 상기 캐리어를 상기 반도체 공정 장치의 로드 포트로 이송하거나, 상기 캐리어들을 보관하는 스토커의 포트로 이송할 수 있다. In general, semiconductor processing apparatuses for manufacturing semiconductor devices are continuously arranged to perform various processes on a semiconductor substrate. The object for performing the semiconductor device manufacturing process is transferred by a carrier transfer device while being accommodated in a carrier. The carrier transfer device may transfer the carrier to a load port of the semiconductor processing device or a stocker port that stores the carriers.

상기 스토커로 이송된 상기 캐리어는 로봇에 의해 상기 포트에서 선반에 이송되어 적재된다. 상기 캐리어를 상기 캐리어의 선반에 적재하기까지 과정이 복잡하고 많은 시간이 소요된다. The carrier transferred to the stocker is transferred and loaded from the port to the shelf by the robot. The process of loading the carrier on the shelf of the carrier is complicated and takes a lot of time.

본 발명은 캐리어를 신속하게 적재할 수 있는 캐리어 이송 장치를 제공한다.The present invention provides a carrier conveying device capable of rapidly loading a carrier.

본 발명에 따른 캐리어 이송 장치는, 캐리어가 수납되며 수직 및 수평 이동이 가능한 하우징과 상기 캐리어를 상기 하우징 내부로 반입 및 반출하는 포크부를 구비하고, 주행 레일을 따라 주행하며 상기 캐리어들을 이송하는 이송 유닛 및 상기 주행 레일의 양측 중 적어도 일측에 구비되며, 상기 이송 유닛에 의해 이송된 캐리어를 수납하기 위해 다단 형태로 배열되는 선반들을 갖는 버퍼 유닛을 포함할 수 있다. The carrier transfer device according to the present invention includes a housing in which a carrier is accommodated and is capable of vertical and horizontal movement, and a fork portion for carrying in and out of the carrier into the housing, and a transfer unit for transporting the carriers while traveling along a traveling rail. And a buffer unit provided on at least one side of both sides of the traveling rail and having shelves arranged in a multi-stage shape to accommodate the carrier transferred by the transfer unit.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 캐리어 이송 장치는, 상기 하우징에 구비되며, 상기 캐리어의 유무에 상관없이 상기 하우징의 무게 중심이 상기 하우징의 중앙에 위치하도록 상기 하우징의 무게 중심을 조절하는 무게 중심 조절부를 더 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the carrier transfer device is provided in the housing, and adjusts the center of gravity of the housing so that the center of gravity of the housing is located at the center of the housing regardless of the presence or absence of the carrier. It may further include a center of gravity adjustment.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 무게 중심 조절부는, 상기 하우징에 구비되며, 상기 캐리어의 유무에 따라 변화하는 상기 하우징의 기울기를 감지하는 기울기 센서와, 상기 하우징에 수평 방향으로 이동 가능하도록 구비되는 상기 질량체 및 상기 질량체와 연결되며, 상기 기울기 센서의 감지 결과에 따라 상기 수평 방향을 따라 상기 질량체를 이동시켜 상기 질량체의 위치를 변경시키는 질량체 구동부를 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the center of gravity adjustment unit is provided in the housing, a tilt sensor that senses a tilt of the housing that changes according to the presence or absence of the carrier, and the housing to be movable in a horizontal direction. It may include a mass body driving unit connected to the provided mass body and the mass body, and moving the mass body along the horizontal direction according to a detection result of the inclination sensor to change the position of the mass body.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 포크부는, 상기 하우징의 내부에 상기 버퍼 유닛을 향해 이동 가능하도록 구비되며, 상기 하우징과 상기 버퍼 유닛의 선반들 사이에서 상기 캐리어를 이송하는 포크 및 상기 하우징의 내부에 상기 포크와 연결되도록 구비되고, 상기 포크를 상기 버퍼 유닛을 향해 이동시키는 포크 구동부를 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the fork portion is provided to be movable toward the buffer unit inside the housing, the fork transferring the carrier between the housing and shelves of the buffer unit, and the housing It may include a fork driving unit provided to be connected to the fork in the interior of the fork to move the fork toward the buffer unit.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 하우징은 상기 포크부가 상기 버퍼 유닛의 선반을 향하도록 회전 가능할 수 있다. According to embodiments of the present invention, the housing may be rotatable so that the fork portion faces the shelf of the buffer unit.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 버퍼 유닛은 상기 각 선반들의 내측면에 구비되고, 상기 각 선반이 빈 상태인지를 감지하기 위한 제1 반사판을 더 포함하고, 상기 이송 유닛은, 상기 하우징에 구비되며, 상기 제1 반사판을 향해 광을 조사하고 상기 제1 반사판으로부터 반사되는 광의 수신 여부에 따라 상기 각 선반이 빈 상태인지를 감지하기 위한 제1 광센서를 더 포함할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the buffer unit further includes a first reflecting plate provided on the inner surfaces of each of the shelves and detecting whether each of the shelves is empty, and the transfer unit includes the housing And a first optical sensor for irradiating light toward the first reflecting plate and detecting whether each shelf is empty according to whether or not the light reflected from the first reflecting plate is received.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 버퍼 유닛은, 상기 각 선반들의 내측면에 구비되고, 상기 각 선반들의 내부에서 상기 포크의 위치를 감지하기 위한 제2 반사판을 더 포함하고, 상기 이송 유닛은, 상기 포크부에 구비되며, 상기 제2 반사판을 향해 광을 조사하고 상기 제2 반사판으로부터 반사되는 광의 수신 여부에 따라 상기 포크부를 정렬하기 위한 제2 광센서를 더 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the buffer unit further includes a second reflecting plate provided on inner surfaces of each of the shelves and for detecting a position of the fork within the respective shelves, and the transfer unit May further include a second optical sensor provided in the fork portion and configured to irradiate light toward the second reflecting plate and align the fork portion according to whether or not light reflected from the second reflecting plate is received.

본 발명에 따른 캐리어 이송 장치에서 상기 이송 유닛이 상기 버퍼 유닛의 선반들에 다수의 상기 캐리어들을 적재할 수 있다. 상기 캐리어들을 적재하는 과정이 단순하고 상기 캐리어들의 적재에 소요되는 시간을 단축할 수 있다. In the carrier transport apparatus according to the present invention, the transport unit may load a plurality of the carriers on the shelves of the buffer unit. The process of loading the carriers is simple, and the time required for loading the carriers can be shortened.

상기 이송 유닛이 상기 하우징과 상기 포크부를 가지므로, 상기 캐리어를 상기 다단 형태로 배열되는 선반들로 용이하게 적재할 수 있다. Since the transfer unit has the housing and the fork portion, the carrier can be easily loaded onto the shelves arranged in the multi-stage shape.

상기 캐리어 이송 장치는 상기 무게 중심 조절부가 상기 하우징의 무게 중심을 조절한다. 따라서, 상기 캐리어의 유무에 상관없이 상기 하우징의 무게 중심이 상기 하우징의 중앙에 위치할 수 있다. In the carrier transport device, the center of gravity adjustment unit adjusts the center of gravity of the housing. Therefore, regardless of the presence or absence of the carrier, the center of gravity of the housing may be located at the center of the housing.

상기 하우징의 무게 중심이 상기 하우징의 중앙에 위치하므로, 상기 하우징의 기울어짐을 방지할 수 있다. 따라서, 상기 포크부가 상기 버퍼 유닛의 선반을 향하도록 상기 하우징을 안정적으로 회전시킬 수 있다. Since the center of gravity of the housing is located at the center of the housing, it is possible to prevent the housing from tilting. Accordingly, the housing can be stably rotated so that the fork portion faces the shelf of the buffer unit.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 이송 장치를 설명하기 위한 정면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 이송 유닛을 설명하기 위한 정면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 무게 중심 조절부를 설명하기 위한 평면도이다.1 is a front view for explaining a carrier transport apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a front view for explaining the transfer unit shown in FIG. 1.
3 is a plan view for explaining the center of gravity adjusting unit shown in FIG. 2.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the present invention, various modifications may be made and various forms may be applied, and specific embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to a specific form disclosed, it should be understood to include all changes, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing each drawing, similar reference numerals have been used for similar elements. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are shown to be enlarged than the actual size for clarity of the present invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. Terms such as first and second may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The above terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another component. For example, without departing from the scope of the present invention, a first element may be referred to as a second element, and similarly, a second element may be referred to as a first element.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used in the present application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In the present application, terms such as "comprise" or "have" are intended to designate the presence of features, numbers, steps, actions, components, parts, or combinations thereof described in the specification, but one or more other features. It is to be understood that the presence or addition of elements or numbers, steps, actions, components, parts, or combinations thereof, does not preclude in advance the possibility of being added.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. Unless otherwise defined, all terms used herein including technical or scientific terms have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. Terms as defined in a commonly used dictionary should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related technology, and should not be interpreted as an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in the present application. Does not.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 이송 장치를 설명하기 위한 정면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 이송 유닛을 설명하기 위한 정면도이고, 도 3은 도 2에 도시된 무게 중심 조절부를 설명하기 위한 평면도이다.1 is a front view for explaining a carrier transport device according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a front view for explaining the transport unit shown in Figure 1, Figure 3 is a center of gravity control unit shown in Figure 2 It is a plan view for explanation.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 상기 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 이송 장치(300)는 반도체 제조 공정에서 대상물의 운반을 위해 사용되는 캐리어(20)를 이송한다. 1 to 3, the carrier transport apparatus 300 according to an embodiment of the present invention transports a carrier 20 used for transporting an object in a semiconductor manufacturing process.

상기 캐리어 이송 장치(300)는 반도체 제조 공정 라인에 설치된 주행 레일(10)을 따라 주행하면서 상기 캐리어(20)를 후속 공정을 위한 반도체 공정 장치로 이송하는 이송 유닛(100)과, 상기 캐리어(20)를 상기 반도체 공정 장치로 이송하는 과정에서 상기 캐리어(20)를 임시 수납하기 위한 버퍼 유닛(200)을 포함할 수 있다.The carrier transfer device 300 includes a transfer unit 100 for transporting the carrier 20 to a semiconductor process device for a subsequent process while traveling along a traveling rail 10 installed on a semiconductor manufacturing process line, and the carrier 20 A buffer unit 200 for temporarily storing the carrier 20 may be included in the process of transferring) to the semiconductor processing apparatus.

구체적으로, 상기 이송 유닛(100)은, 주행부(110), 프레임부(120), 슬라이드부(130), 호이스트부(140), 하우징(150), 포크부(160) 및 무게 중심 정렬부(170)를 포함한다. Specifically, the transfer unit 100, the driving unit 110, the frame unit 120, the slide unit 130, the hoist unit 140, the housing 150, the fork unit 160 and the center of gravity alignment unit Includes 170.

상기 주행부(110)는 상기 이송 유닛(100)을 상기 주행 레일(10)을 따라 이동시킨다. 상기 주행부(110)의 양 측면에 주행 롤러(112)가 구비된다. 상기 주행 롤러(112)는 별도의 구동부에 의해 회전한다. 따라서, 상기 이송 유닛(100)이 상기 주행 레일(10)을 따라 주행한다. 예를 들면, 상기 이송 유닛(100)은 X축 방향을 따라 이동할 수 있다.The traveling unit 110 moves the transfer unit 100 along the traveling rail 10. Travel rollers 112 are provided on both sides of the driving part 110. The traveling roller 112 is rotated by a separate driving unit. Accordingly, the transfer unit 100 travels along the travel rail 10. For example, the transfer unit 100 may move along the X-axis direction.

한편, 상기 주행부(110)는 상부면에 조향 롤러(미도시)를 구비한다. 상기 조향 롤러는 상기 주행 레일(10)의 상방에 구비되는 조향 레일(미도시)과 선택적으로 접촉할 수 있다. 상기 주행 레일(10)의 분기 지점에서 상기 이송 유닛(100)의 주행 방향을 조절할 수 있다. On the other hand, the driving unit 110 is provided with a steering roller (not shown) on the upper surface. The steering roller may selectively contact a steering rail (not shown) provided above the travel rail 10. The traveling direction of the transfer unit 100 may be adjusted at a branch point of the traveling rail 10.

상기 프레임부(120)는 상기 주행부(110)가 하부면에 고정된다. 상기 프레임부(120)는 상기 캐리어(20)를 수용하기 위해 내부가 빈 형태를 갖는다. 또한, 상기 캐리어(20)가 Y축 방향 및 Z축 방향을 따라 이동할 수 있도록 상기 프레임부(120)는 하부면과 상기 Y축 방향 일측면 또는 양측면이 개방될 수 있다. In the frame part 120, the driving part 110 is fixed to a lower surface. The frame part 120 has an empty shape to accommodate the carrier 20. In addition, the frame unit 120 may have a lower surface and one or both sides of the frame unit 120 open so that the carrier 20 can move along the Y-axis direction and the Z-axis direction.

상기 슬라이드부(130)는 상기 프레임부(120)의 내측 상부면에 구비된다. 상기 슬라이드부(130)는 상기 호이스트부(140)를 상기 Y축 방향으로 수평 이동시킬 수 있다. 이때, 상기 호이스트부(140)는 상기 프레임부(120)의 개방된 일측면을 통해 수평 이동할 수 있다. The slide part 130 is provided on an inner upper surface of the frame part 120. The slide part 130 may horizontally move the hoist part 140 in the Y-axis direction. At this time, the hoist part 140 may horizontally move through the open side of the frame part 120.

구체적으로, 상기 슬라이드부(130)는 가이드 레일, 이동 블록, 제1 고정 브래킷 및 제2 고정 브래킷을 포함할 수 있다. Specifically, the slide unit 130 may include a guide rail, a moving block, a first fixing bracket, and a second fixing bracket.

상기 가이드 레일은 상기 Y축 방향을 따라 배치된다. 상기 이동 블록은 상기 가이드 레일의 일측면에 상기 Y축 방향을 따라 이동 가능하도록 구비된다. 따라서, 상기 이동 블록은 상기 가이드 레일을 따라 상기 Y축 방향으로 이동할 수 있다. 예를 들면, 상기 가이드 레일 및 상기 이동 블록은 LM 가이드일 수 있다. The guide rail is disposed along the Y-axis direction. The moving block is provided on one side of the guide rail so as to be movable along the Y-axis direction. Accordingly, the moving block may move in the Y-axis direction along the guide rail. For example, the guide rail and the movable block may be an LM guide.

상기 제1 고정 브래킷은 상기 프레임부(120)의 내측 상부면에 고정된다. 상세하게 도시되지는 않았지만, 상기 제1 고정 브래킷은 상기 프레임부(120)와 나사(미도시)에 의해 고정될 수 있다. 또한, 상기 제1 고정 브래킷은 상기 가이드 레일을 고정한다. The first fixing bracket is fixed to the inner upper surface of the frame part 120. Although not shown in detail, the first fixing bracket may be fixed by the frame unit 120 and screws (not shown). In addition, the first fixing bracket fixes the guide rail.

상기 제2 고정 브래킷은 상기 호이스트부(140)의 상부면에 고정된다. 상세하게 도시되지는 않았지만, 상기 제2 고정 브래킷은 상기 호이스트부(140)와 나사(미도시)에 의해 고정될 수 있다. 또한, 상기 제2 고정 브래킷은 상기 이동 블록과 결합된다. The second fixing bracket is fixed to the upper surface of the hoist part 140. Although not shown in detail, the second fixing bracket may be fixed by the hoist part 140 and screws (not shown). In addition, the second fixing bracket is coupled to the movable block.

한편, 상기 슬라이드 유닛(130)은 상기 호이스트 유닛(140)을 회전시킬 수 있다. Meanwhile, the slide unit 130 may rotate the hoist unit 140.

상기 호이스트부(140)는 상기 슬라이드부(130)의 하부면에 상기 Y축 방향으로 수평 이동 가능하도록 구비된다. The hoist part 140 is provided on a lower surface of the slide part 130 to be horizontally movable in the Y-axis direction.

상기 호이스트부(140)는 상기 하우징(150)을 고정하여 상기 Z축 방향을 따라 승강시킬 수 있다. 예를 들면, 상기 호이스트부(140)는 다수의 벨트(142)들로 상기 하우징(150)을 고정한다. 상기 호이스트부(140)는 상기 벨트(142)들을 권취하거나 권출하여 상기 하우징(150)을 승강시킬 수 있다.The hoist part 140 may fix the housing 150 and move it up and down along the Z-axis direction. For example, the hoist part 140 fixes the housing 150 with a plurality of belts 142. The hoist part 140 may wind up or unwind the belts 142 to raise and lower the housing 150.

상기 하우징(150)은 상기 벨트(142)의 단부에 고정된다. 상기 하우징(150)은 상기 캐리어(20) 및 상기 포크부(160)를 수용하기 위해 내부가 빈 형태를 갖는다. 또한, 상기 포크부(160)가 상기 캐리어(20)를 상기 Y축 방향을 따라 이동할 수 있도록 상기 하우징(150)은 상기 Y축 방향 일측면이 개방될 수 있다. The housing 150 is fixed to the end of the belt 142. The housing 150 has an empty interior to accommodate the carrier 20 and the fork unit 160. In addition, one side surface of the housing 150 in the Y-axis direction may be opened so that the fork unit 160 can move the carrier 20 along the Y-axis direction.

상기 슬라이드부(130)는 상기 하우징(150)을 상기 Y축 방향으로 이동시킬 수 있고, 상기 하우징(150)을 회전시킬 수 있다. 상기 호이스트부(140)는 상기 하우징(150)을 상기 Z축 방향으로 이동시킬 수 있다. 따라서, 상기 하우징(150)은 상기 Y축 방향 및 상기 Z축 방향 이동 및 회전이 가능하다. The slide unit 130 may move the housing 150 in the Y-axis direction and rotate the housing 150. The hoist part 140 may move the housing 150 in the Z-axis direction. Accordingly, the housing 150 is capable of moving and rotating in the Y-axis direction and the Z-axis direction.

상기 하우징(150)의 회전에 따라 상기 포크부(160)가 상기 버퍼 유닛(200)을 향할 수 있다. As the housing 150 rotates, the fork portion 160 may face the buffer unit 200.

상기 포크부(160)는 상기 하우징(150)의 내부에 구비된다. 상기 포크부(160)는 상기 캐리어(20)를 상기 Y축 방향으로 반입 및 반출한다 .따라서, 상기 포크부(160)는 상기 하우징(150)과 상기 버퍼 유닛(200) 간에 상기 캐리어(20)를 이송할 수 있다. 즉, 상기 포크부(160)는 상기 캐리어(20)를 상기 하우징(150)으로부터 상기 버퍼 유닛(200)으로 반출하고, 상기 버퍼 유닛(200)으로부터 상기 캐리어(20)를 상기 하우징(150)으로 반입한다.The fork unit 160 is provided inside the housing 150. The fork unit 160 carries the carrier 20 in and out of the Y-axis direction. Accordingly, the fork unit 160 is the carrier 20 between the housing 150 and the buffer unit 200. Can be transported. That is, the fork unit 160 carries the carrier 20 out of the housing 150 to the buffer unit 200, and transfers the carrier 20 from the buffer unit 200 to the housing 150. Bring in.

상기 포크부(160)는 포크(162) 및 포크 구동부(164)를 포함할 수 있다. The fork unit 160 may include a fork 162 and a fork driving unit 164.

상기 포크(162)는 상기 하우징(150)의 내부에 배치되며, 상기 버퍼 유닛(200)을 향해 이동 가능하도록 구비된다. 즉, 상기 포크(162)는 상기 Y축 방향으로 이동할 수 있다. 따라서, 상기 포크(162)는 상기 캐리어(20)를 상기 버퍼 유닛(200)으로 반입하거나, 상기 버퍼 유닛(200)으로부터 상기 캐리어(20)를 반출할 수 있다. The fork 162 is disposed inside the housing 150 and is provided to be movable toward the buffer unit 200. That is, the fork 162 may move in the Y-axis direction. Accordingly, the fork 162 may carry the carrier 20 into the buffer unit 200 or may take the carrier 20 out of the buffer unit 200.

상기 포크 구동부(164)는 상기 하우징(150)의 내부에 배치되며, 상기 포크(162)를 상기 버퍼 유닛(200)을 향해 이동시킬 수 있다. 즉, 상기 포크 구동부(164)는 상기 포트(162)를 상기 Y축 방향으로 이동시킬 수 있다. The fork driving part 164 is disposed inside the housing 150 and may move the fork 162 toward the buffer unit 200. That is, the fork driving part 164 may move the port 162 in the Y-axis direction.

상기 무게 중심 조절부(170)는 상기 하우징(150)에 구비되며, 상기 하우징(150)의 무게 중심을 조절한다. The center of gravity adjustment unit 170 is provided in the housing 150 and adjusts the center of gravity of the housing 150.

상기 하우징(150)에 상기 캐리어(20)가 수납되지 않은 경우와 상기 하우징(150)에 상기 캐리어(20)가 수납된 경우에 따라 상기 하우징(150)의 무게 중심이 달라진다. 이 경우, 상기 하우징(150)의 무게 중심이 상기 하우징(150)의 중앙에 위치하기 어렵다. 상기 하우징(150)의 무게 중심이 상기 하우징(150)의 중앙에 위치하지 않고 편심되는 경우, 상기 벨트들(142)에 일정한 하중이 가해지지 않는다. 따라서, 상기 하우징(150)이 수평 상태를 유지하기 어렵다. The center of gravity of the housing 150 varies depending on the case where the carrier 20 is not accommodated in the housing 150 and the case where the carrier 20 is accommodated in the housing 150. In this case, it is difficult for the center of gravity of the housing 150 to be located at the center of the housing 150. When the center of gravity of the housing 150 is not located at the center of the housing 150 and is eccentric, a constant load is not applied to the belts 142. Therefore, it is difficult to maintain the housing 150 in a horizontal state.

구체적으로, 상기 무게 중심 조절부(170)는 기울기 센서(172), 질량체(174) 및 질량체 구동부(176)를 포함할 수 있다. Specifically, the center of gravity adjustment unit 170 may include a tilt sensor 172, a mass body 174, and a mass body driving unit 176.

상기 기울기 센서(172)는 상기 하우징(150)의 상부면에 구비되며, 상기 캐리어(20)의 수납 여부에 따라 변화하는 상기 하우징(150)의 기울기를 감지한다. 상기 기울기 센서(172)는 상기 하우징(150)의 상부면 중앙 부위에 하나가 구비되거나, 상기 하우징(150)의 상부면을 이루는 네 변의 중앙 부위에 각각 구비되거나, 상기 하우징(150)의 상부면 중앙 부위 및 상기 하우징(150)의 상부면을 이루는 네 변의 중앙 부위에 각각 구비될 수 있다. The tilt sensor 172 is provided on the upper surface of the housing 150 and detects a tilt of the housing 150 that changes depending on whether the carrier 20 is accommodated. One of the inclination sensors 172 is provided at the center of the upper surface of the housing 150, or is provided at the center of the four sides of the upper surface of the housing 150, respectively, or the upper surface of the housing 150 It may be provided at the central portion and the central portion of the four sides forming the upper surface of the housing 150, respectively.

상기 질량체(174)는 상기 하우징(150)의 상부면에 수평 방향으로 이동 가능하도록 구비될 수 있다. 예를 들면, 상기 질량체(174)는 상기 Y축 방향으로 이동 가능하도록 구비될 수 있다. 도시되지는 않았지만, 상기 질량체(174)는 상기 X축 방향 및 상기 Y축 방향으로 이동 가능하도록 구비될 수 있다. The mass body 174 may be provided on an upper surface of the housing 150 to be movable in a horizontal direction. For example, the mass body 174 may be provided to be movable in the Y-axis direction. Although not shown, the mass body 174 may be provided to be movable in the X-axis direction and the Y-axis direction.

상기 질량체 구동부(176)는 상기 질량체(174)와 연결되며, 상기 기울기 센서(172)의 감지 결과에 따라 상기 수평 방향을 따라 상기 질량체(174)를 이동시켜 상기 질량체(174)의 위치를 변경시킬 수 있다. The mass body driving unit 176 is connected to the mass body 174 and moves the mass body 174 along the horizontal direction according to the detection result of the tilt sensor 172 to change the position of the mass body 174. I can.

상기 질량체(174) 및 상기 질량체 구동부(176)는 단수로 구비되거나 복수로 구비될 수 있다. The mass body 174 and the mass body drive unit 176 may be provided in a single number or may be provided in plural.

상기 무게 중심 조절부(170)는 상기 캐리어(20)의 수납 여부에 상관없이 상기 하우징(150)의 무게 중심이 상기 하우징(150)의 중앙에 위치하도록 조절할 수 있다. 상기 하우징(150)의 무게 중심이 상기 하우징(150)의 중앙에 위치하므로, 상기 벨트들(142)에 일정한 하중이 가해져 상기 하우징(150)이 수평 상태를 유지할 수 있다. The center of gravity adjustment unit 170 may adjust the center of gravity of the housing 150 to be located at the center of the housing 150 regardless of whether the carrier 20 is accommodated. Since the center of gravity of the housing 150 is located at the center of the housing 150, a constant load is applied to the belts 142 so that the housing 150 can maintain a horizontal state.

상기 하우징(150)이 수평 상태를 유지하므로, 상기 하우징(150)이 회전할 때 상기 프레임부(120)와 충돌하지 않고 안정적으로 회전할 수 있다. Since the housing 150 maintains a horizontal state, when the housing 150 rotates, it can stably rotate without colliding with the frame unit 120.

상기 버퍼 유닛(200)은 상기 주행 레일(10)의 양측 중 적어도 일측에 구비되어 천장에 고정되며, 상기 이송 유닛(100)에 의해 이송된 캐리어(20)를 수납할 수 있다. 상기 버퍼 유닛(200)은 상기 이송 유닛(100)에 의해 이송되는 상기 캐리어(20)를 임시 보관할 수 있다. 예를 들어, 상기 반도체 공정 장치의 로드 포트에 캐리어(20)가 적재되어 있는 경우, 상기 이송 유닛(100)은 상기 캐리어(20)를 상기 버퍼 유닛(200)으로 이송할 수 있다.The buffer unit 200 may be provided on at least one of both sides of the traveling rail 10 and fixed to the ceiling, and may accommodate the carrier 20 transferred by the transfer unit 100. The buffer unit 200 may temporarily store the carrier 20 transferred by the transfer unit 100. For example, when the carrier 20 is loaded in the load port of the semiconductor processing apparatus, the transfer unit 100 may transfer the carrier 20 to the buffer unit 200.

상기 버퍼 유닛(200)은 다수의 선반들(210) 및 지지프레임들(220)을 포함할 수 있다. The buffer unit 200 may include a plurality of shelves 210 and support frames 220.

상기 선반들(210)은 다수의 캐리어(20)들을 수납하기 위해 다단 형태로 배열될 수 있다. 예를 들면 선반들(210)은 상기 Z축 방향을 따라 배열될 수 있다. The shelves 210 may be arranged in a multi-stage shape to accommodate a plurality of carriers 20. For example, the shelves 210 may be arranged along the Z-axis direction.

자세히 도시되지는 않았지만, 상기 캐리어(20)들을 추가로 적재하기 위해 상기 선반들(210)은 상기 Z축 방향 및 상기 X축 방향을 따라 배열될 수도 있다. Although not shown in detail, the shelves 210 may be arranged along the Z-axis direction and the X-axis direction to additionally load the carriers 20.

상기 선반들(210)은 상기 캐리어(20)의 출입을 위해 상기 Y축 방향 측면이 개방될 수 있다. 상기 이송 유닛(100)은 상기 선반들(210)의 개방된 측면을 상기 하우징(150)에 수납된 캐리어(20)를 상기 선반들(210)에 적재하고, 상기 선반들(210)의 개방된 측면을 통해 상기 선반들(210)에 수납된 캐리어(20)를 상기 하우징(150)으로 반출한다.The sides of the shelves 210 in the Y-axis direction may be opened for access of the carrier 20. The transfer unit 100 loads the carrier 20 accommodated in the housing 150 with the open side of the shelves 210 on the shelves 210, and the open side of the shelves 210 The carrier 20 accommodated in the shelves 210 is carried out to the housing 150 through the side surface.

상기 각 선반들(210)의 바닥면에는 상기 한 쌍의 지지 프레임(220)이 구비될 수 있다. 상기 지지 프레임들(220)은 서로 이격되어 마주하게 위치하며, 상기 각 선반들(210)에 수납된 상기 캐리어(20)를 지지할 수 있다. 특히, 상기 지지 프레임들(220)은 상기 이송 유닛(100)의 포크부(160)가 상기 캐리어(20)를 상기 선반들(210)에 용이하게 적재 및 반출할 수 있도록 상기 캐리어(20)를 상기 선반들(210)의 바닥면으로부터 이격시켜 지지한다.The pair of support frames 220 may be provided on the bottom surface of each of the shelves 210. The support frames 220 are spaced apart from each other to face each other, and may support the carrier 20 accommodated in each of the shelves 210. In particular, the support frames 220 include the carrier 20 so that the fork portion 160 of the transfer unit 100 can easily load and unload the carrier 20 on the shelves 210. It is supported by being spaced apart from the bottom surface of the shelves 210.

상기 캐리어 이송 장치(300)는 상기 각 선반들(210)이 빈 상태인지를 감지하기 위한 캐리어 감지부를 더 포함할 수 있다. The carrier transfer device 300 may further include a carrier detector for detecting whether each of the shelves 210 is empty.

상기 캐리어 감지부는 광을 반사할 수 있는 제1 광센서(180) 및 제1 반사판(230)을 포함할 수 있다. The carrier sensing unit may include a first photosensor 180 and a first reflector 230 capable of reflecting light.

상기 제1 광센서(180)는 상기 이송 유닛(100)에 구비될 수 있다. 구체적으로, 상기 제1 와(182)는 상기 하우징(150)에 구비될 수 있다. The first photosensor 180 may be provided in the transfer unit 100. Specifically, the first wad 182 may be provided in the housing 150.

상기 제1 반사판(230)은 상기 버퍼 유닛(200)에 구비될 수 있다. 구체적으로, 상기 제1 반사판(230)은 상기 각 선반들(210)에서 개방된 측면과 반대되는 측면에 각각 구비되며, 상기 측면과 수평하게 배치될 수 있다. The first reflector 230 may be provided in the buffer unit 200. Specifically, the first reflecting plate 230 is provided on a side opposite to an open side of each of the shelves 210, and may be disposed horizontally with the side.

상기 하우징(150)이 상기 각 선반들(210) 중 어느 하나와 동일한 높이에 위치한 상태에서 상기 제1 광센서(180)가 상기 제1 반사판(230)을 향해 광을 조사하고, 상기 제1 반사판(230)으로부터 반사되는 광의 수신 여부에 따라 상기 각 선반들(210)이 빈 상태인지를 감지할 수 있다.In a state in which the housing 150 is positioned at the same height as any one of the shelves 210, the first optical sensor 180 irradiates light toward the first reflector 230, and the first reflector Depending on whether or not the light reflected from 230 is received, it may be detected whether each of the shelves 210 is empty.

상기 캐리어 이송 장치(300)는 상기 포크부(160)가 상기 캐리어(20)를 상기 선반들(210)로 적재 및 상기 선반들(210)로부터 반출시 상기 포크(162)의 위치를 가이드하기 위한 포크 얼라인부를 더 포함할 수 있다. The carrier transfer device 300 is used to guide the position of the fork 162 when the fork unit 160 loads the carrier 20 onto the shelves 210 and carries out from the shelves 210 It may further include a fork alignment unit.

상기 캐리어(20)를 상기 선반들(210)에 적재하는 경우, 상기 캐리어(20)는 상기 포크(162)에 적재된 상태로 상기 선반들(210) 내부로 삽입되어 상기 지지 프레임들(220) 상에 적재된다. 또한, 상기 캐리어(20)를 상기 선반들(210)로부터 반출시, 상기 포크(162)가 상기 선반들(210) 내부로 삽입된 후 상기 지지 프레임(220)에 적재된 상기 캐리어(20)를 픽업하여 상기 하우징(150)으로 이송한다.When the carrier 20 is loaded on the shelves 210, the carrier 20 is inserted into the shelves 210 while being loaded on the fork 162, so that the support frames 220 Is loaded on top. In addition, when the carrier 20 is taken out from the shelves 210, the fork 162 is inserted into the shelves 210 and then the carrier 20 loaded on the support frame 220 is removed. It is picked up and transferred to the housing 150.

상기 캐리어(20)가 상기 포크(162)에 지지되어 상기 선반들(210)로 반입 또는 반출되므로, 상기 포크부(162)가 상기 선반들(210) 내부에서 정위치에 위치되지 못할 경우 상기 캐리어(20)가 상기 포크(162) 또는 상기 지지 프레임들(220) 상에 정상적으로 적재되지 않을 수 있다. 이로 인해, 상기 캐리어(20)가 이송 과정에서 파손될 수 있다.Since the carrier 20 is supported by the fork 162 and carried into or out of the shelves 210, the carrier 20 is not positioned in the correct position inside the shelves 210 20 may not be normally loaded on the fork 162 or the support frames 220. Due to this, the carrier 20 may be damaged during the transfer process.

상기 포크 얼라인부는 광을 반사할 수 있는 제2 광센서(182) 및 제2 반사판(240)을 포함할 수 있다. The fork alignment unit may include a second optical sensor 182 and a second reflector 240 capable of reflecting light.

상기 제2 와(182)는 상기 이송 유닛(100)에 구비될 수 있다. 구체적으로, 상기 제2 와(182)는 상기 포크(162)의 하부면에 구비될 수 있다. The second wire 182 may be provided in the transfer unit 100. Specifically, the second blade 182 may be provided on the lower surface of the fork 162.

상기 제2 반사판(240)은 상기 버퍼 유닛(200)에 구비될 수 있다. 구체적으로, 상기 제2 반사판(240)은 상기 각 선반들(210)의 상기 바닥면에 각각 구비되며, 상기 바닥면과 수평하게 배치될 수 있다. The second reflector 240 may be provided in the buffer unit 200. Specifically, the second reflecting plate 240 is provided on the bottom surface of each of the shelves 210, and may be disposed horizontally with the bottom surface.

상기 포크(162)가 상기 각 선반들(210)의 내부에 위치한 상태에서 상기 제2 광센서(182)가 상기 제2 반사판(240)을 향해 광을 조사하고, 상기 제2 반사판(240)으로부터 반사되는 광의 수신 여부에 따라 상기 포크(162)를 정렬할 수 있다.With the fork 162 located inside each of the shelves 210, the second optical sensor 182 irradiates light toward the second reflector 240, and from the second reflector 240 The forks 162 may be aligned according to whether or not reflected light is received.

상술한 바와 같이, 상기 버퍼 유닛(200)은 상기 선반들(210)의 다단 형태로 배열되므로, 상기 버퍼 유닛(200)에 다수의 캐리어(20)들을 수납할 수 있다. 상기 캐리어(20)들을 적재하는 과정이 단순하고 상기 캐리어(20)들의 적재에 소요되는 시간을 단축할 수 있으므로, 상기 캐리어 이송 장치(300)의 이송 효율을 향상시킬 수 있다. As described above, since the buffer unit 200 is arranged in a multi-stage shape of the shelves 210, a plurality of carriers 20 may be accommodated in the buffer unit 200. Since the process of loading the carriers 20 is simple and the time required for loading the carriers 20 can be shortened, the transfer efficiency of the carrier transfer device 300 can be improved.

상기 캐리어 이송 장치(300)는 상기 무게 중심 조절부(170)가 상기 하우징(150)의 무게 중심을 조절하여 상기 캐리어(20)의 유무에 상관없이 상기 하우징(150)의 무게 중심이 상기 하우징(150)의 중앙에 위치할 수 있다. 따라서, 상기 하우징(150)이 기울어지지 않고 수평 상태를 유지할 수 있으며, 상기 포크부(160)가 상기 버퍼 유닛(200)의 선반들(210)을 향하도록 상기 하우징(150)을 안정적으로 회전시킬 수 있다. In the carrier transfer device 300, the center of gravity adjustment unit 170 adjusts the center of gravity of the housing 150 so that the center of gravity of the housing 150 is the housing ( 150) can be located in the center. Accordingly, the housing 150 can be maintained in a horizontal state without inclining, and the housing 150 can be stably rotated so that the fork unit 160 faces the shelves 210 of the buffer unit 200. I can.

상기 캐리어 이송 장치(300)는 상기 캐리어 감지부를 이용하여 상기 선반들(210)이 빈 상태인지를 감지할 수 있다. 따라서, 상기 캐리어(20)의 신속한 이송과 함께 상기 캐리어 이송 장치(300)의 효율을 향상시킬 수 있다.The carrier transfer device 300 may detect whether the shelves 210 are empty using the carrier detector. Accordingly, it is possible to improve the efficiency of the carrier transfer device 300 together with the rapid transfer of the carrier 20.

상기 캐리어 이송 장치(300)는 상기 포크 얼라인부를 이용하여 상기 각 선반들(210) 내부에서 상기 포크(162)를 정렬할 수 있다. 따라서, 상기 캐리어(20)의 안전한 반입 및 반출을 도모할 수 있다.The carrier transfer device 300 may align the forks 162 within the shelves 210 by using the fork aligning part. Therefore, it is possible to achieve a safe carry-in and carry-out of the carrier 20.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 상기 캐리어 이송 장치는 상기 버퍼 유닛에 다수의 캐리어들을 수납할 수 있다. 상기 캐리어들을 적재하는 과정이 단순하고 상기 캐리어들의 적재에 소요되는 시간을 단축할 수 있으므로, 상기 캐리어 이송 장치의 이송 효율을 향상시킬 수 있다. As described above, the carrier transport apparatus according to the present invention may accommodate a plurality of carriers in the buffer unit. Since the process of loading the carriers is simple and the time required for loading the carriers can be shortened, the transfer efficiency of the carrier transfer device can be improved.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art will be able to variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention described in the following claims. You will understand that you can.

10 : 주행 레일 20 : 캐리어
100 : 이송 유닛 110 : 주행부
120 : 프레임부 130 : 슬라이드부
140 : 호이스트부 150 : 하우징
160 : 포크부 162 : 포크
164 : 포크 구동부 170 : 무게 중심 조절부
172 : 기울기 센서 174 : 질량체
176 : 질량체 구동부 180 : 제1 광센서
182 : 제2 광센서 200 : 버퍼 유닛
210 : 선반 220 : 지지프레임
230 : 제1 반사판 240 : 제2 반사판
300 : 캐리어 이송 장치10: travel rail 20: carrier
100: transfer unit 110: travel unit
120: frame part 130: slide part
140: hoist part 150: housing
160: fork portion 162: fork
164: fork driving unit 170: center of gravity adjustment unit
172: inclination sensor 174: mass
176: mass drive unit 180: first optical sensor
182: second optical sensor 200: buffer unit
210: shelf 220: support frame
230: first reflector 240: second reflector
300: carrier conveying device

Claims (7)

캐리어가 수납되며 수직 및 수평 이동이 가능한 하우징과 상기 캐리어를 상기 하우징 내부로 반입 및 반출하는 포크부를 구비하고, 주행 레일을 따라 주행하며 상기 캐리어들을 이송하는 이송 유닛; 및
상기 주행 레일의 양측 중 적어도 일측에 구비되며, 상기 이송 유닛에 의해 이송된 캐리어를 수납하기 위해 다단 형태로 배열되는 선반들을 갖는 버퍼 유닛을 포함하고,
상기 하우징에 구비되며, 상기 캐리어의 유무에 상관없이 상기 하우징의 무게 중심이 상기 하우징의 중앙에 위치하도록 상기 하우징의 무게 중심을 조절하는 무게 중심 조절부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 장치.A transport unit having a housing in which a carrier is accommodated and capable of vertical and horizontal movement and a fork part for carrying in and out of the carrier into and out of the housing, and traveling along a traveling rail and transferring the carriers; And
It is provided on at least one side of both sides of the traveling rail, and includes a buffer unit having shelves arranged in a multi-stage shape to accommodate the carrier transferred by the transfer unit,
And a center of gravity adjustment unit provided in the housing and configured to adjust the center of gravity of the housing such that the center of gravity of the housing is located at the center of the housing, regardless of the presence or absence of the carrier. 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 무게 중심 조절부는,
상기 하우징에 구비되며, 상기 캐리어의 유무에 따라 변화하는 상기 하우징의 기울기를 감지하는 기울기 센서;
상기 하우징에 수평 방향으로 이동 가능하도록 구비되는 질량체; 및
상기 질량체와 연결되며, 상기 기울기 센서의 감지 결과에 따라 상기 수평 방향을 따라 상기 질량체를 이동시켜 상기 질량체의 위치를 변경시키는 질량체 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 장치. The method of claim 1, wherein the center of gravity adjustment unit,
A tilt sensor provided in the housing and detecting a tilt of the housing that changes according to the presence or absence of the carrier;
A mass body provided to be movable in a horizontal direction in the housing; And
And a mass body driving unit connected to the mass body and configured to change a position of the mass body by moving the mass body along the horizontal direction according to a detection result of the tilt sensor. 제1항에 있어서, 상기 포크부는,
상기 하우징의 내부에 상기 버퍼 유닛을 향해 이동 가능하도록 구비되며, 상기 하우징과 상기 버퍼 유닛의 선반들 사이에서 상기 캐리어를 이송하는 포크; 및
상기 하우징의 내부에 상기 포크와 연결되도록 구비되고, 상기 포크를 상기 버퍼 유닛을 향해 이동시키는 포크 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 장치. The method of claim 1, wherein the fork portion,
A fork provided to be movable toward the buffer unit in the housing and transferring the carrier between the housing and shelves of the buffer unit; And
And a fork driving part provided to be connected to the fork in the housing and moving the fork toward the buffer unit. 제4항에 있어서, 상기 하우징은 상기 포크부가 상기 버퍼 유닛의 선반을 향하도록 회전 가능한 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 장치. The carrier transport apparatus according to claim 4, wherein the housing is rotatable so that the fork portion faces the shelf of the buffer unit. 제4항에 있어서, 상기 버퍼 유닛은 상기 각 선반들의 내측면에 구비되고, 상기 각 선반이 빈 상태인지를 감지하기 위한 제1 반사판을 더 포함하고,
상기 이송 유닛은, 상기 하우징에 구비되며, 상기 제1 반사판을 향해 광을 조사하고 상기 제1 반사판으로부터 반사되는 광의 수신 여부에 따라 상기 각 선반이 빈 상태인지를 감지하기 위한 제1 광센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 장치.According to claim 4, The buffer unit is provided on the inner surface of each of the shelves, further comprising a first reflector for detecting whether the respective shelves are empty,
The transfer unit further includes a first optical sensor provided in the housing and configured to irradiate light toward the first reflecting plate and detect whether each shelf is empty according to whether or not the light reflected from the first reflecting plate is received. Carrier transport device comprising a. 제4항에 있어서, 상기 버퍼 유닛은, 상기 각 선반들의 내측면에 구비되고, 상기 각 선반들의 내부에서 상기 포크의 위치를 감지하기 위한 제2 반사판을 더 포함하고,
상기 이송 유닛은, 상기 포크부에 구비되며, 상기 제2 반사판을 향해 광을 조사하고 상기 제2 반사판으로부터 반사되는 광의 수신 여부에 따라 상기 포크부를 정렬하기 위한 제2 광센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 장치.The method of claim 4, wherein the buffer unit further comprises a second reflecting plate provided on inner surfaces of each of the shelves, and configured to detect a position of the fork within each of the shelves,
The transfer unit further comprises a second optical sensor provided on the fork portion and configured to irradiate light toward the second reflecting plate and align the fork portion according to whether or not the light reflected from the second reflecting plate is received. Carrier conveying device.
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