KR102264858B1 - System and method of Apparatus for transferring a carrier - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 대상물 이송 시스템은, 주행 레일을 따라 주행하며 제1 포트의 대상물을 이송하기 위한 이송 유닛과, 바닥면을 따라 주행하며, 상기 이송 유닛이 주행 중 정체가 발생하는 경우 상기 이송 유닛으로부터 상기 대상물을 전달받아 이송하는 이동형 이송 포트 및 상기 이송 유닛의 정체 시간이 기 설정된 기준 시간을 초과하는 경우, 상기 이송 유닛이 상기 대상물을 상기 이동형 이송 포트로 전달하도록 상기 이송 유닛과 상기 이동형 이송 포트를 제어하는 제어 유닛을 포함할 수 있다. The object transport system according to the present invention includes a transport unit for transporting an object of a first port while traveling along a traveling rail, and driving along a floor surface, and from the transport unit when congestion occurs while the transport unit is traveling When the stagnant time of the movable transfer port and the transfer unit for receiving and transferring the object exceeds a preset reference time, the transfer unit and the movable transfer port so that the transfer unit transfers the object to the movable transfer port It may include a control unit for controlling.

Description

대상물 이송 시스템 및 방법{System and method of Apparatus for transferring a carrier}System and method of Apparatus for transferring a carrier

본 발명은 대상물 이송 시스템 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물을 이송하기 위한 대상물 이송 시스템 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a system and method for transporting an object, and more particularly, to a system and method for transporting an object for performing a semiconductor device manufacturing process.

일반적으로 반도체 공정 설비들은 연속적으로 배치되어 반도체 소자를 제조하기 위한 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물은 대상물 이송 시스템에 의해 이송된다. In general, semiconductor processing facilities are sequentially arranged to perform various processes for manufacturing a semiconductor device. An object for performing the semiconductor device manufacturing process is transferred by an object transfer system.

상기 대상물 이송 시스템은 상기 반도체 공정 설비들이 구비된 공간에 구비된 주행 레일을 따라 주행하는 이송 유닛 및 상기 이송 유닛의 주행과 상기 대상물의 이적재를 제어하는 제어 유닛을 포함한다. The object transfer system includes a transfer unit that travels along a traveling rail provided in a space in which the semiconductor processing facilities are provided, and a control unit that controls the movement of the transfer unit and the loading and unloading of the object.

상기 제어 유닛의 제어에 따라 상기 이송 유닛이 제1 포트의 상기 대상물을 제2 포트로 이송한다. 상기 이송 유닛이 상기 대상물을 이송하는 도중 상기 이송 유닛의 정체가 발생할 수 있다. 이 경우, 상기 정체가 해소된 후 상기 이송 유닛이 상기 대상물을 이송하게 된다. The transfer unit transfers the object from the first port to the second port under the control of the control unit. While the transfer unit transfers the object, congestion of the transfer unit may occur. In this case, after the congestion is resolved, the transfer unit transfers the object.

상기 정체로 인해 상기 대상물을 이송하는데 소요되는 시간이 늘어나고, 상기 대상물의 이송 효율이 저하될 수 있다. Due to the congestion, the time required to transport the object may increase, and the transfer efficiency of the object may be reduced.

본 발명은 이송 유닛의 정체시에 대상물을 신속하게 이송할 수 있는 대상물 이송 시스템 및 방법을 제공한다.The present invention provides an object transport system and method capable of quickly transporting an object when the transfer unit is stagnant.

본 발명에 따른 대상물 이송 시스템은, 주행 레일을 따라 주행하며 제1 포트의 대상물을 이송하기 위한 이송 유닛과, 바닥면을 따라 주행하며, 상기 이송 유닛이 주행 중 정체가 발생하는 경우 상기 이송 유닛으로부터 상기 대상물을 전달받아 이송하는 이동형 이송 포트 및 상기 이송 유닛의 정체 시간이 기 설정된 기준 시간을 초과하는 경우, 상기 이송 유닛이 상기 대상물을 상기 이동형 이송 포트로 전달하도록 상기 이송 유닛과 상기 이동형 이송 포트를 제어하는 제어 유닛을 포함할 수 있다. The object transport system according to the present invention includes a transport unit for transporting an object of a first port while traveling along a traveling rail, and driving along a floor surface, and from the transport unit when congestion occurs while the transport unit is traveling When the stagnant time of the movable transfer port and the transfer unit for receiving and transferring the object exceeds a preset reference time, the transfer unit and the movable transfer port so that the transfer unit transfers the object to the movable transfer port It may include a control unit for controlling.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제어 유닛은, 상기 이동형 이송 포트가 상기 대상물을 제2 포트로 이송하는데 소요되는 제1 시간과 상기 이동형 이송 포트가 상기 대상물을 정체 해제 위치에 있는 이송 유닛으로 전달하고 상기 이송 유닛이 상기 대상물을 상기 제2 포트로 이송하는데 소요되는 제2 시간을 비교하고, 상기 제1 시간과 상기 제2 시간 중 짧은 시간이 소요되는 경로를 따라 상기 대상물이 이송되도록 제어할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the control unit is configured to include a first time required for the movable transport port to transport the object to the second port and a transfer unit in which the movable transport port moves the object to a stationary release position. and comparing a second time required for the transfer unit to transfer the object to the second port, and control so that the object is transferred along a path that takes the shorter of the first time and the second time can do.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 이동형 이송 포트는, 상기 대상물을 지지하는 지지부 및 상기 지지부를 고정하며, 상기 바닥면을 따라 주행하는 주행부를 포함할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the movable transfer port may include a support for supporting the object and a traveling portion for fixing the support and traveling along the bottom surface.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 이동형 이송 포트는, 상기 지지부로 상기 대상물을 로딩하거나 상기 지지부의 대상물은 언로딩하기 위한 이송부를 더 포함할 수 있다. According to embodiments of the present invention, the movable transfer port may further include a transfer unit for loading the object to the support or unloading the object of the support portion.

본 발명에 따른 대상물 이송 방법은, 제1 이송 유닛이 주행 레일을 따라 주행하면서 제1 포트의 대상물을 이송하는 단계와, 상기 제1 이송 유닛의 정체 시간을 판단하는 단계 및 상기 정체 시간이 기 설정된 기준 시간을 초과하는 경우, 상기 제1 이송 유닛이 대상물을 바닥면을 따라 주행하는 이동형 이송 포트로 전달하는 단계를 포함할 수 있다. The object transfer method according to the present invention includes the steps of: transferring the object of a first port while a first transfer unit travels along a traveling rail; determining a stagnation time of the first transfer unit; If the reference time is exceeded, the first transfer unit may include transferring the object to a movable transfer port that travels along the floor surface.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 대상물 이송 방법은, 상기 정체 시간이 상기 기준 시간 이하인 경우, 상기 제1 이송 유닛이 상기 대상물을 상기 제2 포트로 이송하는 단계를 더 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the method for transferring the object may further include, when the stagnation time is equal to or less than the reference time, the first transfer unit transferring the object to the second port.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 대상물 이송 방법은, 상기 제1 이송 유닛이 상기 대상물을 상기 이동형 이송 포트로 전달하는 단계 이후에, 상기 이동형 이송 포트가 상기 대상물을 제2 포트로 이송하는데 소요되는 제1 시간과 상기 이동형 이송 포트가 상기 대상물을 정체 해제 위치에 있는 제2 이송 유닛으로 전달하고 상기 제2 이송 유닛이 상기 대상물을 상기 제2 포트로 이송하는데 소요되는 제2 시간을 비교하는 단계 및 상기 제1 시간이 상기 제2 시간과 같거나 상기 제2 시간보다 짧은 경우, 상기 이동형 이송 포트가 상기 대상물을 제2 포트로 이송하는 단계를 더 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, in the object transfer method, after the step of the first transfer unit transferring the object to the movable transfer port, the movable transfer port transfers the object to the second port. Comparing the first time taken and the second time it takes for the movable transfer port to transfer the object to the second transfer unit in the congestion release position and the second transfer unit to transfer the object to the second port and when the first time is equal to or shorter than the second time, the movable transfer port may further include the step of transferring the object to the second port.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 대상물 이송 방법은, 상기 제2 시간이 상기 제1 시간보다 짧은 경우, 상기 이동형 이송 포트가 상기 대상물을 정체 해제 위치에 있는 제2 이송 유닛으로 전달하는 단계 및 상기 제2 이송 유닛이 상기 대상물을 상기 제2 포트로 이송하는 단계를 더 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the method for transferring the object includes: when the second time period is shorter than the first time period, the movable transfer port transfers the object to a second transfer unit in a stagnant release position and transferring, by the second transfer unit, the object to the second port.

본 발명의 대상물 이송 시스템 및 방법에 따르면, 상기 제1 포트의 대상물을 이송하는 이송 유닛이 정체되더라도 상기 대상물을 상기 이동형 이송 포트로 전달하여 상기 제2 포트로 이송한다. According to the object transfer system and method of the present invention, even if the transfer unit for transferring the object in the first port is stopped, the object is transferred to the movable transfer port and transferred to the second port.

상기 이송 유닛의 정체시에도 상기 대상물을 신속하게 이송할 수 있고, 상기 대상물의 이송 효율이 향상될 수 있다. Even when the transfer unit is stagnant, the object can be transferred quickly, and the transfer efficiency of the object can be improved.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 시스템을 설명하기 위한 블록도이다.
도 2는 도 1에 도시된 이송 유닛과 이동형 이송 포트를 설명하기 위한 측면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 대상물 이송 시스템을 이용한 대상물 이송을 설명하기 위한 평면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 방법을 설명하기 위한 순서도이다. 1 is a block diagram for explaining an object transport system according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a side view for explaining the transfer unit and the movable transfer port shown in Figure 1;
3 is a plan view for explaining the object transfer using the object transfer system shown in FIG.
4 is a flowchart illustrating a method for transferring an object according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Since the present invention can have various changes and can have various forms, specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to the specific disclosed form, it should be understood to include all modifications, equivalents and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing each figure, like reference numerals have been used for like elements. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are enlarged than the actual size for clarity of the present invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. Terms such as first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The above terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, a first component may be referred to as a second component, and similarly, a second component may also be referred to as a first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used in the present application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, terms such as “comprise” or “have” are intended to designate that a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification exists, but one or more other features It is to be understood that it does not preclude the possibility of the presence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical and scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related art, and should not be interpreted in an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in the present application. does not

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 시스템을 설명하기 위한 블록도이고, 도 2는 도 1에 도시된 이송 유닛과 이동형 이송 포트를 설명하기 위한 측면도이며, 도 3은 도 1에 도시된 대상물 이송 시스템을 이용한 대상물 이송을 설명하기 위한 평면도이다. 1 is a block diagram for explaining an object transport system according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a side view for explaining the transport unit and the movable transport port shown in FIG. 1, FIG. 3 is shown in FIG. It is a plan view for explaining the object transfer using the object transfer system.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 상기 대상물 이송 시스템(400)은 이송 유닛(100), 이동형 이송 포트(200) 및 제어 유닛(300)을 포함할 수 있다. 1 to 3 , the object transport system 400 may include a transport unit 100 , a movable transport port 200 , and a control unit 300 .

상기 이송 유닛(100)은 주행 레일(10)을 따라 주행하며, 제1 포트(30)의 대상물(20)을 제2 포트(30)로 이송한다. The transfer unit 100 travels along the traveling rail 10 , and transfers the object 20 of the first port 30 to the second port 30 .

구체적으로, 상기 이송 유닛(100)은 주행부(110), 프레임부(120), 슬라이드부(130), 호이스트부(140) 및 핸드부(150)를 포함한다. Specifically, the transfer unit 100 includes a traveling unit 110 , a frame unit 120 , a slide unit 130 , a hoist unit 140 , and a hand unit 150 .

상기 주행부(110)는 상기 이송 유닛(100)을 상기 주행 레일(10)을 따라 이동시킨다. 상기 주행부(110)의 양 측면에 주행 롤러(112)가 구비된다. 상기 주행 롤러(112)는 별도의 구동부에 의해 회전한다. 따라서, 상기 이송 유닛(100)이 상기 주행 레일(10)을 따라 주행한다. 예를 들면, 상기 이송 유닛(100)은 X축 방향을 따라 이동할 수 있다.The traveling unit 110 moves the transfer unit 100 along the traveling rail 10 . Driving rollers 112 are provided on both sides of the traveling unit 110 . The traveling roller 112 is rotated by a separate driving unit. Accordingly, the transfer unit 100 travels along the traveling rail 10 . For example, the transfer unit 100 may move along the X-axis direction.

한편, 상기 주행부(110)는 상부면에 조향 롤러(미도시)를 구비한다. 상기 조향 롤러는 상기 주행 레일(10)의 상방에 구비되는 조향 레일(미도시)과 선택적으로 접촉할 수 있다. 상기 주행 레일(10)의 분기 지점에서 상기 이송 유닛(100)의 주행 방향을 조절할 수 있다. On the other hand, the driving unit 110 is provided with a steering roller (not shown) on the upper surface. The steering roller may selectively contact a steering rail (not shown) provided above the traveling rail 10 . The traveling direction of the transfer unit 100 may be adjusted at a branch point of the traveling rail 10 .

상기 프레임부(120)는 상기 주행부(110)가 하부면에 고정된다. 상기 프레임부(120)는 상기 캐리어(20)를 수용하기 위해 내부가 빈 형태를 갖는다. 또한, 상기 캐리어(20)가 Y축 방향 및 Z축 방향을 따라 이동할 수 있도록 상기 프레임부(120)는 하부면과 상기 Y축 방향 일측면이 개방될 수 있다. The frame part 120 is fixed to the lower surface of the traveling part 110 . The frame part 120 has an empty inside to accommodate the carrier 20 . In addition, the lower surface of the frame part 120 and one side of the Y-axis direction may be opened so that the carrier 20 can move along the Y-axis direction and the Z-axis direction.

상기 슬라이드부(130)는 상기 프레임부(120)의 내측 상부면에 구비된다. 상기 슬라이드부(130)는 상기 호이스트부(140)를 상기 Y축 방향으로 수평 이동시킬 수 있다. 이때, 상기 호이스트부(140)는 상기 프레임부(120)의 개방된 일측면을 통해 수평 이동할 수 있다. The slide part 130 is provided on the inner upper surface of the frame part 120 . The slide unit 130 may horizontally move the hoist unit 140 in the Y-axis direction. At this time, the hoist unit 140 may move horizontally through the open side of the frame unit 120 .

구체적으로, 상기 슬라이드부(130)는 가이드 레일, 이동 블록, 제1 고정 브래킷 및 제2 고정 브래킷을 포함할 수 있다. Specifically, the slide unit 130 may include a guide rail, a moving block, a first fixing bracket, and a second fixing bracket.

상기 가이드 레일은 상기 Y축 방향을 따라 배치된다. 상기 이동 블록은 상기 가이드 레일의 일측면에 상기 Y축 방향을 따라 이동 가능하도록 구비된다. 따라서, 상기 이동 블록은 상기 가이드 레일을 따라 상기 Y축 방향으로 이동할 수 있다. 예를 들면, 상기 가이드 레일 및 상기 이동 블록은 LM 가이드일 수 있다. The guide rail is disposed along the Y-axis direction. The moving block is provided on one side of the guide rail to be movable along the Y-axis direction. Accordingly, the moving block may move along the guide rail in the Y-axis direction. For example, the guide rail and the moving block may be an LM guide.

상기 제1 고정 브래킷은 상기 프레임부(120)의 내측 상부면에 고정된다. 상세하게 도시되지는 않았지만, 상기 제1 고정 브래킷은 상기 프레임부(120)와 나사(미도시)에 의해 고정될 수 있다. 또한, 상기 제1 고정 브래킷은 상기 가이드 레일을 고정한다. The first fixing bracket is fixed to the inner upper surface of the frame part 120 . Although not shown in detail, the first fixing bracket may be fixed by the frame part 120 and a screw (not shown). In addition, the first fixing bracket fixes the guide rail.

상기 제2 고정 브래킷은 상기 호이스트부(140)의 상부면에 고정된다. 상세하게 도시되지는 않았지만, 상기 제2 고정 브래킷은 상기 호이스트부(140)와 나사(미도시)에 의해 고정될 수 있다. 또한, 상기 제2 고정 브래킷은 상기 이동 블록과 결합된다. The second fixing bracket is fixed to the upper surface of the hoist unit 140 . Although not shown in detail, the second fixing bracket may be fixed by the hoist unit 140 and a screw (not shown). In addition, the second fixing bracket is coupled to the moving block.

한편, 상기 슬라이드 유닛(130)은 상기 호이스트 유닛(140)을 회전시킬 수 있다. Meanwhile, the slide unit 130 may rotate the hoist unit 140 .

상기 호이스트부(140)는 상기 슬라이드부(130)의 하부면에 상기 Y축 방향으로 수평 이동 가능하도록 구비된다. The hoist unit 140 is provided on the lower surface of the slide unit 130 to be horizontally movable in the Y-axis direction.

상기 호이스트부(140)는 상기 핸드부(150)를 고정하여 상기 Z축 방향을 따라 승강시킬 수 있다. 예를 들면, 상기 호이스트부(140)는 다수의 벨트(142)들로 상기 핸드부(150)를 고정한다. 상기 호이스트부(140)는 상기 벨트(142)들을 권취하거나 권출하여 상기 핸드부(150)를 승강시킬 수 있다.The hoist unit 140 may be raised and lowered along the Z-axis direction by fixing the hand unit 150 . For example, the hoist unit 140 fixes the hand unit 150 with a plurality of belts 142 . The hoist unit 140 may take up or unwind the belts 142 to elevate the hand unit 150 .

상기 핸드부(150)는 상기 벨트(142)의 단부에 고정된다. 상기 슬라이드부(130)는 상기 핸드부(150)를 상기 Y축 방향으로 이동시킬 수 있고, 상기 핸드부(150)를 회전시킬 수 있다. 상기 호이스트부(140)는 상기 핸드부(150)를 상기 Z축 방향으로 이동시킬 수 있다. 따라서, 상기 핸드부(150)는 상기 Y축 방향 및 상기 Z축 방향 이동 및 회전이 가능하다. The hand part 150 is fixed to the end of the belt 142 . The slide unit 130 may move the hand unit 150 in the Y-axis direction and may rotate the hand unit 150 . The hoist unit 140 may move the hand unit 150 in the Z-axis direction. Accordingly, the hand unit 150 can move and rotate in the Y-axis direction and the Z-axis direction.

자세히 도시되지는 않았지만, 상기 핸드 유닛(150)은 상기 대상물(20)을 파지하기 위한 그리퍼들과 상기 대상물(20)을 감지하기 위한 센서를 포함할 수 있다.Although not shown in detail, the hand unit 150 may include grippers for gripping the object 20 and a sensor for sensing the object 20 .

상기 대상물(20)은 상기 슬라이드 유닛(130)에 의해 상기 수평 방향으로 이동하며, 상기 호이스트 유닛(140)에 의해 승강할 수 있다. The object 20 is moved in the horizontal direction by the slide unit 130 , and can be raised and lowered by the hoist unit 140 .

상기 이동형 이송 포트(200)는 바닥면을 따라 주행하며, 상기 대상물(20)을 이송할 수 있다. 상기 이송 유닛(100)이 주행 중 장애 등으로 인해 정체가 발생하는 경우, 상기 이동형 이송 포트(200)는 상기 이송 유닛(100)으로부터 상기 대상물을 전달받아 상기 제2 포트(40)로 이송할 수 있다. The movable transport port 200 travels along the bottom surface, and can transport the object 20 . When the transfer unit 100 is jammed due to an obstacle while driving, the movable transfer port 200 receives the object from the transfer unit 100 and transfers it to the second port 40 . have.

구체적으로, 상기 이동형 이송 포트(200)는 지지부(210) 및 주행부(220)를 포함할 수 있다. Specifically, the movable transfer port 200 may include a support part 210 and a traveling part 220 .

상기 지지부(210)는 상기 이동형 이송 포트(200)의 상부면에 구비되며, 상기 대상물(20)을 지지한다. The support part 210 is provided on the upper surface of the movable transfer port 200 and supports the object 20 .

상기 주행부(220)는 상기 지지부(210)를 고정하며, 상기 이동형 이송 포트(200)를 상기 바닥면을 따라 이동시킨다. 상기 주행부(220)의 양 측면에 바퀴(222)가 구비된다. 상기 바퀴(222)는 별도의 구동부에 의해 회전한다. The traveling part 220 fixes the support part 210 and moves the movable transfer port 200 along the bottom surface. Wheels 222 are provided on both sides of the driving unit 220 . The wheel 222 is rotated by a separate driving unit.

상기 이동형 이송 포트(200)는 상기 이송 유닛(100)의 주행 경로를 따라 주행할 수 있다. 이와 달리, 상기 이동형 이송 포트(200)는 상기 이송 유닛(100)의 주행 경로와 무관하게 다양한 경로를 따라 주행할 수 있다.The movable transfer port 200 may travel along a travel path of the transfer unit 100 . Alternatively, the movable transfer port 200 may travel along various routes regardless of the travel route of the transfer unit 100 .

상기 이동형 이송 포트(200)는 이송부(230)를 더 포함할 수 있다. 상기 이송부(230)는 상기 지지부(210) 상에 배치되거나, 상기 지지부(210)의 일측에 배치될 수 있다. The movable transfer port 200 may further include a transfer unit 230 . The transfer part 230 may be disposed on the support part 210 or may be disposed on one side of the support part 210 .

상기 이송부(230)는 상기 지지부(210)로 상기 대상물(20)을 로딩하거나 상기 지지부(210)의 대상물(20)은 언로딩할 수 있다. 즉, 이송부(230)는 상기 지지부(210)와 상기 이송 유닛(100) 사이에서 상기 대상물(20)을 이송하거나, 상기 지지부(210)와 상기 제2 포트(40) 사이에서 상기 대상물(20)을 이송할 수 있다. The transfer unit 230 may load the object 20 into the support unit 210 or unload the object 20 of the support unit 210 . That is, the transfer unit 230 transfers the object 20 between the support unit 210 and the transfer unit 100 , or between the support unit 210 and the second port 40 , the object 20 . can be transported.

구체적으로, 상기 이송부(230)는 포크(232) 및 포크 구동부(234)를 포함할 수 있다. Specifically, the transfer unit 230 may include a fork 232 and a fork driving unit 234 .

상기 포크(232)는 수평 방향, 예를 들면, 상기 X축 방향 및 상기 Y축 방향으로 이동할 수 있다. 따라서, 상기 포크(232)는 상기 지지부(210)로 상기 대상물(20)을 로딩하거나 상기 지지부(210)의 대상물(20)은 언로딩할 수 있다.The fork 232 may move in a horizontal direction, for example, in the X-axis direction and the Y-axis direction. Accordingly, the fork 232 may load the object 20 into the support 210 or unload the object 20 of the support 210 .

상기 포크 구동부(234)는 상기 포크(232)를 상기 수평 방향으로 이동시킬 수 있고, 상기 포크(232)를 상기 Z축 방향으로 승강시킬 수 있다.The fork driving unit 234 may move the fork 232 in the horizontal direction and lift the fork 232 in the Z-axis direction.

이와 달리 상기 이송부(230)는 상기 X축 방향, 상기 Y축 방향 및 상기 Z축 방향으로 이동 및 회전이 가능한 로봇 암일 수 있다. Alternatively, the transfer unit 230 may be a robot arm capable of moving and rotating in the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction.

상기 제어 유닛(300)은 상기 이송 유닛(100) 및 상기 이동형 이송 포트(200)와 통신을 통해 연결되며, 상기 이송 유닛(100) 및 상기 이동형 이송 포트(200)의 동작을 제어할 수 있다. The control unit 300 is connected to the transfer unit 100 and the movable transfer port 200 through communication, and can control the operations of the transfer unit 100 and the movable transfer port 200 .

도 3에 도시된 바와 같이 제1 이송 유닛(100a)이 상기 대상물(20)을 상기 제1 포트(30)에서 상기 제2 포트(40)로 이송하는 도중에 상기 제1 이송 유닛(100a)의 정체가 발생하면, 상기 제어 유닛(300)은 상기 제1 이송 유닛(100a)으로부터 정체 시간에 대한 정보를 전달받는다.As shown in FIG. 3 , the first transfer unit 100a transfers the object 20 from the first port 30 to the second port 40 while the first transfer unit 100a is stagnant. , the control unit 300 receives information on the congestion time from the first transfer unit 100a.

상기 제1 이송 유닛(100a)의 정체 시간이 기 설정된 기준 시간을 초과하는 경우, 상기 제어 유닛(300)은 상기 제1 이송 유닛(100a)이 상기 대상물(20)을 상기 이동형 이송 포트(200)로 전달하도록 상기 이송 유닛(100)과 상기 이동형 이송 포트(200)를 제어한다. When the stagnation time of the first transfer unit 100a exceeds a preset reference time, the control unit 300 determines that the first transfer unit 100a transfers the object 20 to the movable transfer port 200 . Controls the transfer unit 100 and the movable transfer port 200 to transfer to.

구체적으로, 상기 이동형 이송 포트(200)가 상기 제1 이송 유닛(100a)의 하부로 이동한 후, 상기 제1 이송 유닛(100a)이 상기 대상물(10)을 상기 이동형 이송 포트(200)로 하강시켜 상기 대상물(20)을 전달할 수 있다. Specifically, after the movable transfer port 200 moves to the lower portion of the first transfer unit 100a, the first transfer unit 100a lowers the object 10 to the movable transfer port 200. to deliver the object 20 .

상기 제1 이송 유닛(100a)의 정체 시간이 상기 기준 시간과 같거나 짧은 경우, 상기 제어 유닛(300)은 상기 제1 이송 유닛(100a)이 상기 대상물(20)을 상기 제2 포트(40)로 직접 이송하도록 제어한다. When the stagnation time of the first transfer unit 100a is equal to or shorter than the reference time, the control unit 300 determines that the first transfer unit 100a transfers the object 20 to the second port 40 . control to transfer directly to

상기 대상물(20)이 상기 이동형 이송 포트(200)로 전달되면, 상기 제어 유닛(300)은, 상기 이동형 이송 포트(200)가 주행하여 상기 대상물(20)을 상기 제2 포트(40)로 이송하는데 소요되는 제1 시간과 상기 이동형 이송 포트(200)가 상기 대상물(20)을 정체 해제 위치에 있는 제2 이송 유닛(100b)으로 전달하고 상기 제2 이송 유닛(100b)이 상기 대상물(20)을 상기 제2 포트(40)로 이송하는데 소요되는 제2 시간을 비교하고, 상기 제1 시간과 상기 제2 시간 중 짧은 시간이 소요되는 경로를 따라 상기 대상물(20)이 이송되도록 제어한다. When the object 20 is transferred to the movable transfer port 200 , the control unit 300 moves the movable transfer port 200 to transfer the object 20 to the second port 40 . The first time it takes to do and the movable transfer port 200 transfers the object 20 to the second transfer unit 100b in the stagnant release position, and the second transfer unit 100b transfers the object 20 to the second transfer unit 100b. compares the second time required for transporting to the second port 40, and controls so that the object 20 is transported along a path that takes a shorter time between the first time and the second time.

상기 제어부(300)는 상기 이동형 이송 포트(200), 상기 제2 포트(40) 및 상기 제2 이송 유닛(100b)의 위치, 상기 이동형 이송 포트(200)의 이송 경로, 상기 제2 이송 유닛(100b)의 이송 경로 등을 이용하여 상기 제1 시간과 상기 제2 시간을 연산할 수 있다. The control unit 300 includes the position of the movable transfer port 200, the second port 40 and the second transfer unit 100b, the transfer path of the movable transfer port 200, the second transfer unit ( The first time and the second time may be calculated using the transfer path of 100b).

구체적으로, 상기 제1 시간이 상기 제2 시간과 같거나 상기 제2 시간보다 짧은 경우, 상기 이동형 이송 포트(200)가 상기 대상물(20)을 상기 제2 포트(40)로 이송할 수 있다. Specifically, when the first time is equal to or shorter than the second time, the movable transfer port 200 may transfer the object 20 to the second port 40 .

상기 제2 시간이 상기 제1 시간보다 짧은 경우, 상기 이동형 이송 포트(200)가 상기 대상물(20)을 상기 정체 해제 위치에 있는 제2 이송 유닛(100b)으로 전달한 후, 상기 제2 이송 유닛(100b)이 상기 대상물(20)을 상기 제2 포트(40)로 이송할 수 있다. When the second time period is shorter than the first time period, after the movable transfer port 200 transfers the object 20 to the second transfer unit 100b in the stagnant release position, the second transfer unit ( 100b) may transfer the object 20 to the second port 40 .

상기 제1 포트(30)의 대상물(20)을 이송하는 상기 이송 유닛(100)이 정체되더라도 상기 대상물(20)을 상기 이동형 이송 포트(200)로 전달하여 상기 제2 포트(40)로 이송할 수 있다. 따라서, 상기 대상물 이송 시스템(400)이 상기 대상물(20)을 신속하게 이송할 수 있고, 상기 대상물(20)의 이송 효율이 향상될 수 있다. Even if the transfer unit 100 for transferring the object 20 of the first port 30 is stopped, the object 20 is transferred to the movable transfer port 200 to be transferred to the second port 40 can Accordingly, the object transport system 400 can quickly transfer the object 20 , and the transfer efficiency of the object 20 can be improved.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 방법을 설명하기 위한 순서도이다. 4 is a flowchart illustrating a method for transferring an object according to an embodiment of the present invention.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 상기 대상물 이송 방법을 설명하면 다음과 같다. 1 to 4 , the method of transporting the object will be described as follows.

먼저 제1 이송 유닛(100a)이 주행 레일(10)을 따라 주행하면서 제1 포트(30)의 대상물(20)을 이송한다. (S110)First, the first transfer unit 100a transfers the object 20 of the first port 30 while traveling along the traveling rail 10 . (S110)

구체적으로, 상기 제1 이송 유닛(100a)이 상기 제1 포트(30)의 상방으로 이동하여 핸드 유닛(150)으로 상기 대상물(20)을 고정한 후, 상기 주행 레일(10)을 따라 주행한다. Specifically, the first transfer unit 100a moves upward of the first port 30 to fix the object 20 with the hand unit 150 , and then travels along the traveling rail 10 .

상기 대상물(20)을 이송하는 상기 제1 이송 유닛(100a)의 정체 시간을 판단한다. (S120)The stagnation time of the first transfer unit 100a for transferring the object 20 is determined. (S120)

상기 제1 이송 유닛(100a)의 정체 시간이 기 설정된 기준 시간과 같거나 상기 기준 시간 미만인 경우, 상기 정체 시간이 상대적으로 짧다. 따라서, 상기 제1 이송 유닛(100a)이 상기 대상물(20)을 상기 이동형 이송 포트(200)로 전달하지 않고 상기 대상물(20)을 상기 제2 포트(40)로 직접 이송한다. When the stagnation time of the first transfer unit 100a is equal to or less than the preset reference time, the stagnation time is relatively short. Accordingly, the first transfer unit 100a directly transfers the object 20 to the second port 40 without transferring the object 20 to the movable transfer port 200 .

상기 제1 이송 유닛(100a)의 상기 정체 시간이 기 설정된 기준 시간을 초과하는 경우, 상기 정체 시간이 상대적으로 길다. 상기 제1 이송 유닛(100a)이 상기 정체가 해소되기를 기다린 후 상기 대상물(20)을 이송하는 경우, 상기 대상물(20)의 이송이 지연될 수 있다. 따라서, 상기 제1 이송 유닛(100a)이 상기 대상물(20)을 상기 이동형 이송 포트(200)로 전달한다. (S140)When the stagnation time of the first transfer unit 100a exceeds a preset reference time, the stagnation time is relatively long. When the first transfer unit 100a transfers the object 20 after waiting for the congestion to be resolved, the transfer of the object 20 may be delayed. Accordingly, the first transfer unit 100a transfers the object 20 to the movable transfer port 200 . (S140)

구체적으로, 상기 이동형 이송 포트(200)가 상기 이송 유닛(100)의 하부로 이동한 후, 상기 이송 유닛(100)이 상기 대상물(10)을 상기 이동형 이송 포트(200)로 하강시켜 상기 대상물(20)을 전달할 수 있다. Specifically, after the movable transfer port 200 moves to the lower portion of the transfer unit 100, the transfer unit 100 lowers the object 10 to the movable transfer port 200 to the object ( 20) can be transmitted.

상기 이동형 이송 포트(200)는 바닥면을 따라 주행하므로, 상기 제1 이송 유닛(100a)의 정체와 상관없이 상기 대상물(20)을 이송할 수 있다. Since the movable transfer port 200 travels along the bottom surface, the object 20 can be transferred regardless of the stagnation of the first transfer unit 100a.

상기 대상물(20)이 상기 이동형 이송 포트(200)로 전달되면, 상기 이동형 이송 포트(200)가 주행하여 상기 대상물(20)을 상기 제2 포트(40)로 이송하는데 소요되는 제1 시간과 상기 이동형 이송 포트(200)가 상기 대상물(20)을 정체 해제 위치에 있는 제2 이송 유닛(100b)으로 전달하고 상기 제2 이송 유닛(100b)이 상기 대상물(20)을 상기 제2 포트(40)로 이송하는데 소요되는 제2 시간을 비교한다.(S150) When the object 20 is transferred to the movable transfer port 200, the first time required for the movable transfer port 200 to travel and transfer the object 20 to the second port 40 and the The movable transfer port 200 transfers the object 20 to the second transfer unit 100b in the stagnant release position, and the second transfer unit 100b transfers the object 20 to the second port 40 Compare the second time required to transfer to (S150)

상기 제1 시간과 상기 제2 시간은 상기 이동형 이송 포트(200), 상기 제2 포트(40) 및 상기 제2 이송 유닛(100b)의 위치, 상기 이동형 이송 포트(200)의 이송 경로, 상기 제2 이송 유닛(100b)의 이송 경로 등을 이용하여 산출될 수 있다. The first time and the second time are the positions of the movable transport port 200 , the second port 40 and the second transport unit 100b , the transport path of the movable transport port 200 , and the first 2 It may be calculated using a transfer path of the transfer unit 100b.

상기 제1 시간 및 상기 제2 시간의 비교는 상기 이동형 이송 포트(200)가 상기 대상물(20)을 이송하면서 이루어질 수도 있다. The comparison of the first time and the second time may be made while the movable transport port 200 transports the object 20 .

상기 제1 시간이 상기 제2 시간과 같거나 상기 제2 시간보다 짧은 경우, 상기 이동형 이송 포트(200)가 상기 대상물(20)을 상기 제2 포트(40)로 이송할 수 있다. (S160)When the first time is equal to or shorter than the second time, the movable transfer port 200 may transfer the object 20 to the second port 40 . (S160)

상기 제2 시간이 상기 제1 시간보다 짧은 경우, 상기 이동형 이송 포트(200)가 상기 대상물(20)을 상기 제2 이송 유닛(100b)으로 전달한다. (S170)When the second time period is shorter than the first time period, the movable transfer port 200 transfers the object 20 to the second transfer unit 100b. (S170)

이후, 상기 제2 이송 유닛(100a)이 상기 대상물(20)을 상기 제2 포트(40)로 이송할 수 있다. (S180)Thereafter, the second transfer unit 100a may transfer the object 20 to the second port 40 . (S180)

상기 제1 시간과 상기 제2 시간 중 짧은 시간이 소요되는 경로를 따라 상기 대상물(20)을 상기 제2 포트(40)로 이송하므로, 상기 대상물(20)을 상기 제2 포트(40)로 신속하게 이송할 수 있다. Since the object 20 is transferred to the second port 40 along a path that takes a shorter time between the first time and the second time, the object 20 is quickly transferred to the second port 40 . can be transported

상기 대상물 이송 방법에 따르면, 상기 제1 포트(30)의 대상물(20)을 이송하는 상기 제1 이송 유닛(100a)이 정체되더라도 상기 이동형 이송 포트(200)를 이용하여 상기 대상물을 상기 제2 포트(40)로 이송할 수 있다. 따라서, 상기 대상물 이송 방법을 이용하여 상기 대상물(20)을 신속하게 이송할 수 있고, 상기 대상물(20)의 이송 효율을 향상시킬 수 있다. According to the object transfer method, even if the first transfer unit 100a for transferring the object 20 of the first port 30 is stagnant, the object is transferred to the second port by using the movable transfer port 200 . It can be transferred to (40). Therefore, the object 20 can be quickly transferred using the object transfer method, and the transfer efficiency of the object 20 can be improved.

상술한 바와 같이, 본 발명의 대상물 이송 시스템 및 방법에 따르면 상기 이송 유닛이 정체되더라도 상기 이동형 이송 포트를 이용하여 상기 대상물을 신속하게 이송할 수 있다. 따라서, 상기 대상물의 이송 효율을 향상시킬 수 있다. As described above, according to the object transfer system and method of the present invention, even if the transfer unit is stagnant, it is possible to quickly transfer the object using the movable transfer port. Accordingly, it is possible to improve the transfer efficiency of the object.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to the preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the following claims. You will understand that you can.

10 : 주행 레일 20 : 대상물
30 : 제1 포트 40 : 제2 포트
100 : 이송 유닛 100a : 제1 이송 유닛
100b : 제2 이송 유닛 110 : 주행부
120 : 프레임부 130 : 슬라이드부
140 : 호이스트부 150 : 핸드부
200 : 이동형 이송 포트 210 : 지지부
220 : 주행부 230 : 이송부
232 : 포크 234 : 포크 구동부
300 : 제어 유닛 400 : 대상물 이송 시스템10: running rail 20: object
30: first port 40: second port
100: transfer unit 100a: first transfer unit
100b: second transfer unit 110: traveling unit
120: frame part 130: slide part
140: hoist part 150: hand part
200: movable transfer port 210: support
220: driving unit 230: transfer unit
232: fork 234: fork drive unit
300: control unit 400: object transport system

Claims (8)

주행 레일을 따라 주행하며 제1 포트의 대상물을 이송하기 위한 이송 유닛;
바닥면을 따라 주행하며, 상기 이송 유닛이 주행 중 정체가 발생하는 경우 상기 이송 유닛으로부터 상기 대상물을 전달받아 이송하는 이동형 이송 포트; 및
상기 이송 유닛의 정체 시간이 기 설정된 기준 시간을 초과하는 경우, 상기 이송 유닛이 상기 대상물을 상기 이동형 이송 포트로 전달하도록 상기 이송 유닛과 상기 이동형 이송 포트를 제어하는 제어 유닛을 포함하고,
상기 제어 유닛은, 상기 정체 시간이 상기 기준 시간 이하인 경우, 상기 이송 유닛이 상기 대상물을 제2 포트로 이송하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 대상물 이송 시스템.a conveying unit for traveling along the traveling rail and conveying the object of the first port;
a movable transport port that travels along the floor and receives and transports the object from the transport unit when congestion occurs while the transport unit is running; and
When the stagnant time of the transfer unit exceeds a preset reference time, the transfer unit includes a control unit for controlling the transfer unit and the movable transfer port to deliver the object to the mobile transfer port,
wherein the control unit controls the transfer unit to transfer the object to the second port when the stagnation time is equal to or less than the reference time. 제1항에 있어서, 상기 제어 유닛은, 상기 이동형 이송 포트가 상기 대상물을 제2 포트로 이송하는데 소요되는 제1 시간과 상기 이동형 이송 포트가 상기 대상물을 정체 해제 위치에 있는 이송 유닛으로 전달하고 상기 이송 유닛이 상기 대상물을 상기 제2 포트로 이송하는데 소요되는 제2 시간을 비교하고, 상기 제1 시간과 상기 제2 시간 중 짧은 시간이 소요되는 경로를 따라 상기 대상물이 이송되도록 제어하는 것을 특징으로 하는 대상물 이송 시스템. The method according to claim 1, wherein the control unit is configured to: a first time it takes for the movable transfer port to transfer the object to the second port and the mobile transfer port to transfer the object to the transfer unit in the stagnant release position, and Comparing a second time required for the transfer unit to transfer the object to the second port, and controlling the object to be transferred along a path that takes a shorter time among the first time and the second time object transport system. 제1항에 있어서, 상기 이동형 이송 포트는,
상기 대상물을 지지하는 지지부; 및
상기 지지부를 고정하며, 상기 바닥면을 따라 주행하는 주행부를 포함하는 것을 특징으로 하는 대상물 이송 시스템. According to claim 1, wherein the movable transfer port,
a support for supporting the object; and
The object transport system, characterized in that it includes a traveling part that fixes the support part and travels along the floor surface. 제3항에 있어서, 상기 이동형 이송 포트는,
상기 지지부로 상기 대상물을 로딩하거나 상기 지지부의 대상물은 언로딩하기 위한 이송부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 대상물 이송 시스템. According to claim 3, The movable transfer port,
The object transport system according to claim 1, further comprising a transfer unit for loading the object into the support or unloading the object from the support. 제1 이송 유닛이 주행 레일을 따라 주행하면서 제1 포트의 대상물을 이송하는 단계;
상기 제1 이송 유닛의 정체 시간을 판단하는 단계; 및
상기 정체 시간이 기 설정된 기준 시간을 초과하는 경우, 상기 제1 이송 유닛이 대상물을 바닥면을 따라 주행하는 이동형 이송 포트로 전달하는 단계를 포함하고,
상기 정체 시간이 상기 기준 시간 이하인 경우, 상기 제1 이송 유닛이 상기 대상물을 제2 포트로 이송하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 대상물 이송 방법. transferring the object of the first port while the first transfer unit travels along the traveling rail;
determining a stagnation time of the first transfer unit; and
When the stagnation time exceeds a preset reference time, the first transfer unit includes the step of transferring the object to a movable transfer port that travels along the floor,
When the stagnation time is equal to or less than the reference time, the method further comprising the step of transferring, by the first transfer unit, the object to a second port. 삭제delete 제5항에 있어서, 상기 제1 이송 유닛이 상기 대상물을 상기 이동형 이송 포트로 전달하는 단계 이후에,
상기 이동형 이송 포트가 상기 대상물을 제2 포트로 이송하는데 소요되는 제1 시간과 상기 이동형 이송 포트가 상기 대상물을 정체 해제 위치에 있는 제2 이송 유닛으로 전달하고 상기 제2 이송 유닛이 상기 대상물을 상기 제2 포트로 이송하는데 소요되는 제2 시간을 비교하는 단계; 및
상기 제1 시간이 상기 제2 시간과 같거나 상기 제2 시간보다 짧은 경우, 상기 이동형 이송 포트가 상기 대상물을 제2 포트로 이송하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 대상물 이송 방법. 6. The method of claim 5, wherein after the first transfer unit transfers the object to the movable transfer port,
a first time it takes for the movable transfer port to transfer the object to the second port and the movable transfer port transfers the object to a second transfer unit in the stagnant release position and the second transfer unit transfers the object to the second transfer unit comparing a second time required to transfer to a second port; and
When the first time period is equal to or shorter than the second time period, the moving object transfer method further comprising the step of transferring the object to the second port by the movable transfer port. 제7항에 있어서, 상기 제2 시간이 상기 제1 시간보다 짧은 경우, 상기 이동형 이송 포트가 상기 대상물을 정체 해제 위치에 있는 제2 이송 유닛으로 전달하는 단계; 및
상기 제2 이송 유닛이 상기 대상물을 상기 제2 포트로 이송하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 대상물 이송 방법. 8. The method of claim 7, further comprising: if the second time period is shorter than the first time period, the movable transfer port transferring the object to a second transfer unit in the stagnant release position; and
The method of transporting an object, characterized in that it further comprises the step of the second transfer unit transferring the object to the second port.
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