JP4127138B2

JP4127138B2 - Transport system

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Publication number: JP4127138B2
Application number: JP2003194862A
Authority: JP
Inventors: 正直村田; 達雄椿
Original assignee: アシストテクノロジーズジャパン株式会社
Priority date: 2003-07-10
Filing date: 2003-07-10
Publication date: 2008-07-30
Anticipated expiration: 2023-07-10
Also published as: JP2005029319A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は複数の物品を収納可能な保管手段と、この保管手段に搬入又は搬出される物品を搭載して搬送する複数の走行台車と、この走行台車が走行して移動する走行路とを備える搬送システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、複数の物品を収納可能な保管手段と、この保管手段に搬入又は搬出される物品を搭載して搬送する複数の走行台車と、この走行台車が走行して移動する走行路とを備える搬送システムが知られている（例えば、特許文献１参照）。下記特許文献１に記載された搬送システムは、半導体処理工程間で半導体ウェハを搬送するためのものであり、閉ループを形成する本線（走行路）と、本線から分岐して対応するストッカ（保管手段）の近傍を通って再び本線に合流する側線（走行路）と、本線と側線との間で進路を切り替える切替手段とを備えたものである。そして、所定の搬送車（走行台車）を所定の側線に誘導することで対応するストッカに対して移載作業（搬出入作業）を行い、当該ストッカでの移載作業と関係のない搬送車については、側線へと誘導することなく本線上をそのまま進行させるものである。これにより、先行搬送車の移載作業による後続搬送車の停滞状態を抑制し、搬送システムの稼働率向上を図ることを目的としている。
【０００３】
【特許文献１】
特開平１１−１６９８４号公報（第３−４頁、第１図、第３図）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記特許文献１に記載の搬送システムにおいては、１つの保管手段（ストッカ）に対して複数の走行台車（搬送車）との間で搬出入処理を行う必要がある場合、順次１台ずつしか搬出入処理を行うことができず、後続の走行台車は先行の走行台車の処理が完了するまで停滞した状態となる。
【０００５】
本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、先行の走行台車の搬出入処理による後続の走行台車の停滞状態が発生することを抑制し、保管手段に対する搬出入処理能力の向上を図ることができる搬送システムを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、第１の発明に係る搬送システムは、複数の物品を収納可能で１つ以上配置される保管手段と、前記保管手段に搬入又は搬出される物品を搭載して搬送する複数の走行台車と、前記走行台車が走行移動可能であって、少なくとも１つの閉ループの軌道を形成する主走行路と、前記走行台車が走行移動可能であって、前記主走行路から分岐して前記保管手段近傍を通過するとともに前記主走行路に合流する分岐走行路と、前記主走行路及び前記分岐走行路に対応してそれぞれ１つ以上設けられるとともに前記保管手段にそれぞれ連結され、前記走行台車で搬送された物品が載置されて当該物品を前記保管手段に搬入する搬入手段と、前記主走行路及び前記分岐走行路に対応してそれぞれ１つ以上設けられるとともに前記保管手段にそれぞれ連結され、前記走行台車に搭載可能な位置まで前記保管手段から物品を搬出する搬出手段と、を備え、前記走行台車は、前記物品を保持する把持機構を有しており、前記搬入手段に対して前記物品を載置する場合は、前記把持機構に保持された前記物品を降下させて前記把持機構に保持された前記物品を開放して前記搬入手段への載置を完了させ、前記把持機構を巻き上げると共に、前記搬出手段から前記物品を搭載する場合は、前記物品を前記把持機構が降下して保持して巻き上げることで前記走行台車への搭載を行うことを特徴とする。
【０００７】
この構成によると、主走行路及び分岐走行路にそれぞれ対応する搬入手段及び搬出手段から物品の搬出入処理を行うことができる。このため、主走行路を走行する走行台車と分岐走行路を走行する走行台車とから、干渉することなく別々に同一の保管手段に対して搬出入処理を行うことができる。また、主走行路及び分岐走行路それぞれに搬入手段及び搬出手段がそれぞれ１つ以上対応して設けられているため、同一の走行路から同一の保管手段に対して搬入処理と搬出処理とを同時に行うことができる。したがって、先行の走行台車の搬出入処理による後続の走行台車の停滞状態が発生することを抑制し、保管手段に対する搬出入処理能力の向上を図ることができる。
【０００８】
第２の発明に係る搬送システムは、第１の発明において、前記１つ以上の搬入手段及び前記１つ以上の搬出手段は、いずれも互いに重なり合うことなく隣接して設けられ、前記搬入手段及び前記搬出手段が隣接して設置される間隔は、少なくとも前記走行台車の走行方向の長さ以上であることを特徴とする。
【０００９】
この構成によると、各搬出入手段の間で干渉が生じることもなく効率よく各搬出入手段を配置することができる。また、同一の保管手段に対して複数の走行台車との間で搬出入処理が行われる場合に、走行台車間での干渉が発生することもない。
【００１０】
第３の発明に係る搬送システムは、第１又は２の発明において、物品が搬入又は搬出される際、前記主走行路に対応して設けられた搬入手段又は搬出手段を介してよりも、前記分岐走行路に対応して設けられた搬入手段又は搬出手段を介して優先的に搬入又は搬出が行われるように、前記保管手段に物品を搬入又は前記保管手段から物品を搬出する搬入手段又は搬出手段を選択する搬出入選択手段を更に備えることを特徴とする。
【００１１】
この構成によると、主走行路に対応する搬出入手段よりも分岐走行路に対応する搬出入手段を介して優先的に搬出入処理が行われるため、主走行路が停滞状態になることを抑制することができる。第４の発明に係る搬送システムは、第１ないし３のいずれかの発明において、前記走行台車は、前記把持機構を下降させ、前記物品を前記搬入手段に載置させた後、前記把持機構を巻き上げない状態のままで前記搬出手段の位置まで前記走行台車を走行させ、前記搬出手段から前記把持機構で前記物品を保持して前記走行台車に搭載させることを特徴とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態について説明する。
【００１３】
（第１実施形態）
まず、本発明の第１の実施形態に係る搬送システムが適用される工場の概略について説明する。図１は、第１実施形態に係る搬送システム１が適用された工場１００を例示したレイアウト図である。この工場１００は、例えば、半導体処理工場であって、複数の半導体製造装置１５をそれぞれ備えるベイ１６（半導体処理工程を構成する点線で囲んだ領域）が複数備えられて構成されている。ベイ１６内の各半導体製造装置１５は、工程内軌道（主走行路）１２で連結されており、各工程内軌道１２は、分岐軌道１０を介して工程間軌道１１に連結されている。工程内軌道１２、工程間軌道１１、分岐軌道１０は、半導体（物品）を搬送する複数の走行台車１３が走行可能な走行路となっており、これらの走行路（１０、１１、１２）は工場の上方（天井側）に設置され、半導体が各走行台車１３に吊り下げられるように搭載されて搬送される。即ち、この工場には、ＯＨＴ（Over Head Hoist Transport）搬送システムが適用されている。また、半導体は、例えば、一般的にＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）と呼ばれるカセット（収納容器）内に複数枚収納された半導体ウェハであって、カセット単位で搬送される。そして、各半導体製造装置１５内で所定の処理が施されていく。
【００１４】
また、ベイ１６には、工程間（各ベイ１６間）と工程内（各ベイ１６内）とのインターフェースや、バッファーの目的で、複数のＦＯＵＰ（半導体ウェハを収納したＦＯＵＰ）２０を収納するストッカ（保管手段）１４が配置されている。ストッカ１４は、工程内軌道１２に連結されており、走行台車１３によって搬送されるＦＯＵＰ２０が搬入又は搬出される。なお、走行台車１３は、各軌道（１０、１１、１２）を一方向に走行してＦＯＵＰ２０を搬送し、ストッカ１４、半導体製造装置１５との間でＦＯＵＰ２０の受け渡しを行う。
【００１５】
以下、第１実施形態に係る搬送システム１について詳しく説明する。なお、当該搬送システム１は、ベイ１６単位で適用されているものとして捉えることもでき、また、工場１００全体として搬送システム１が適用されているものとして捉えることもできる。
【００１６】
図２は搬送システム１の要部を拡大して示す平面図であり、図３はそのIII−III線矢視断面図である。図２及び図３に示すように、搬送システム１は、ストッカ１４、走行台車１３、主走行路１２、分岐走行路１７、搬入装置１８、搬出装置１９、を備えている。
【００１７】
ストッカ１４は複数のＦＯＵＰ２０（半導体ウェハが収納されたＦＯＵＰ（物品））を収納可能な保管手段であって、搬送システム１につき１つ又は複数配置される。各ベイ１６に適用されている各搬送システム１においては、ストッカ１４が１つずつ配置されており、この各ストッカ１４に対して、ＦＯＵＰ２０の搬出入が行われる。ストッカ１４は、必ずしも、各ベイ１６に１つずつ備えられているものでなくてもよい。ストッカ１４内では、図示しないクレーンによってＦＯＵＰ２０の移動が行われ、各棚２３に収納される（図１参照）。なお、ストッカ１４の設置数は、少ないことが望まれるが、設置数が少ない程、ストッカ１台当たりの稼働率向上が要求されることになる。即ち、ストッカ１台当たりの単位時間当たりのＦＯＵＰ２０の搬出入可能回数をより増やすことが求められることになる。
【００１８】
走行台車１３は、ストッカ１４に搬入又は搬出されるＦＯＵＰ２０を搭載して搬送する。走行台車１３は、複数備えられており、工程間軌道１１及び各工程内軌道（主走行路）１２を移動して走行可能となっている。即ち、工場１００においては、複数のベイ１６にて、複数の走行台車１３が共有されるものとして構成されている。
【００１９】
主走行路１２は、工程内軌道１２によって構成されており、例えば、工場の天井から吊り下げられるようにして取り付けられている（図３参照）。そして、主走行路１２は、走行台車１３が走行移動可能であって、少なくとも１つの閉ループの軌道を形成している（図１では、各ベイ１６に１つの閉ループ軌道が形成されている場合を例示している）。走行台車１３は、主走行路１２に対して吊り下げられるようにして走行自在に支持される。
【００２０】
分岐走行路１７は、主走行路１２と同様に工場の天井から吊り下げられるようにして取り付けられており、主走行路１２から分岐してストッカ１４近傍を通過するとともに再び主走行路１２に合流している。そして、主走行路１２を走行する走行台車１３が主走行路１２と同様に走行移動可能となっている。分岐走行路１７が主走行路１２から分岐する分岐点には、走行路切換装置２４が設けられている。これにより、主走行路１２を走行してきた走行台車１３がそのまま主走行路１２を直進して走行するか、又は分岐走行路１７へと移動して走行するかを選択して切り換えることができるようになっている。なお、分岐走行路１７は、主走行路１２と同一の水平面内を走行するように設けられているが、必ずしもこのとおりでなくてもよく、主走行路１２が走行する水平面よりも上方或いは下方を走行するように設けられているものであってもよい。
【００２１】
搬入装置（搬入手段）１８は、主走行路１２及び分岐走行路１７に対応してそれぞれ１つ以上設けられるとともにストッカ１４にそれぞれ連結されている。図２の例では、分岐走行路１７に対応して搬入装置１８ａが、主走行路１２に対応して搬入装置１８ｂが、それぞれ設けられている場合を示している。そして、走行台車１３で搬送されたＦＯＵＰ２０が搬入装置１８に載置され、載置されたＦＯＵＰ２０が、この搬入装置１８によってストッカ１４に搬入される。即ち、搬入装置１８は、ＦＯＵＰ２０をストッカ１４に搬入する際の搬入ポートとしての機能を果たすものである。
【００２２】
走行台車１３から搬入装置１８に対してＦＯＵＰ２０を載置（移載）する場合は、まず、走行台車１３が搬入装置１８の直上まで移動してきて停止する。そして、走行台車１３の把持機構（図示せず）に保持されたＦＯＵＰ２０を降下させる。そして、ＦＯＵＰ２０の底面が搬入装置１８に接触したことを把持機構に装着されたセンサー（図示せず）で検知し、把持機構に保持されたＦＯＵＰを開放して、搬入装置１８への載置動作を完了する。載置動作が完了すると、把持機構は最上部まで巻き上げられ、走行台車１３が走行可能な状態となる。
【００２３】
搬出装置（搬出手段）１９は、主走行路１２及び分岐走行路１７に対応してそれぞれ１つ以上設けられるとともにストッカ１４にそれぞれ連結されている。図２の例では、分岐走行路１７に対応して搬出装置１９ａが、主走行路１２に対応して搬出装置１９ｂが、それぞれ設けられている場合を例示している。そして、走行台車１３に搭載可能な位置までストッカ１４からＦＯＵＰ２０を搬出する。即ち、搬出装置１９は、ＦＯＵＰ２０をストッカ１４から搬出する際の搬出ポートとしての機能を果たすものである。
【００２４】
搬出装置１９から走行台車１３にＦＯＵＰ２０を搭載（移載）する場合は、まず、走行台車１３が、搬出装置１９の直上まで移動してきて停止する。そして、走行台車１３で搭載可能な位置まで搬送装置１９によって移動されたＦＯＵＰ２０を、走行台車１３の把持機構が降下して保持して巻き上げられることで、走行台車１３への搭載動作が行われる。走行台車１３へのＦＯＵＰ２０の搭載動作が完了すると、走行台車１３は、走行を開始してＦＯＵＰ２０の搬送を行う。
【００２５】
各搬入装置（１８ａ、１８ｂ）及び各搬出装置（１９ａ、１９ｂ）は、図２に示すように、いずれも互いに重なり合うことなく隣接して設けられ、各搬出入装置（１８ａ、１８ｂ、１９ａ、１９ｂ）が隣接して設置される間隔（ピッチ）は、走行台車１３の走行方向の長さ以上に設定されている。即ち、各搬出入装置の幅Ｌは、各搬出入装置が設置されるピッチＷ以下の幅寸法となっており、また、ピッチＷは、走行台車１３の走行方向の長さＶ以上の長さ寸法となっている（図２参照）。
【００２６】
これにより、各搬出入装置の間で干渉が生じることもなく効率よく各搬出入装置を配置することができる。また、同一のストッカ１４に対して複数の走行台車１３との間で搬出入処理が行われる場合に、走行台車間の干渉が発生することもない。即ち、全ての搬出入装置（１８ａ、１８ｂ、１９ａ、１９ｂ）に同時に走行台車１３が停止して搬出入処理を行うことができる。
【００２７】
次に、搬入装置１８及び搬出装置１９の機構について、図４を参照しながら説明する。図４は、移載機構を含む同一の装置として構成される搬入装置１８及び搬出装置１９をＦＯＵＰ２０とともに示した斜視図である。ＦＯＵＰ２０には、走行台車１３で搬送される際に把持されるフランジ２１と、搬出入装置（１８、１９）に載置時に底面となる底板２２とが設けられている。底板２２には、後述のキネマティックピンと嵌合する嵌合穴が設けられている。キネマティックピンは、３個で１組の位置合わせピンであり、嵌合穴は、２組のキネマティックピンに対応して、内側と外側にそれぞれ１組ずつ設けられている。
【００２８】
搬出入装置（１８、１９）は、ポートテーブル２５、搬送テーブル２６を備えており、走行台車１３から移載されるＦＯＵＰ２０は、搬送テーブル２６の表面に設けられた内側の組のキネマティックピン３８によって位置合わせされて支持される。搬送テーブル２６は、テーブル軸２８とカム機構２９とを介してサポート軸３５に固定されている。サポート軸３５の両端はリニアスライダ３４に支持されており、サポート軸３５はさらにその一端をベルト３１に固定されている。ベルト３１は、プーリ３２、３２に取り付けられ、プーリ３２はベルト駆動モータ３３により駆動される。これにより、リニアスライダ３４はベルト３１の正逆回転運動に連動して、前後方向（図中矢印Ａ方向）に往復動を行う。そして、サポート軸３５に固定されているテーブル軸２８と一体となっている搬送テーブル２６もサポート軸３５とともにポートテーブル２５上をガイド溝２７に沿って前後方向に往復動を行う。
【００２９】
また、搬送テーブル２６は、カム機構２９によって図中矢印Ｂ方向に上下動が行われる。搬送テーブル２６は、ストッカ１４とは反対側（反ストッカ側）の位置Ｐ１において、走行台車１３からＦＯＵＰ２０が載置される時点では、ポートテーブル２５の面よりも低い高さ位置に保持されるが、ＦＯＵＰ２０の載置後（荷受後）は、カム機構２９を作動させてポートテーブル２５の面よりも高い位置に保持され、その後ストッカ１４側の位置Ｐ２に移動するまでの間、ポートテーブル２５の面よりも高い位置に保持される。そして、搬送テーブル２６が位置Ｐ２に到着後は、再びカム機構２９を作動させて搬送テーブル２６をポートテーブル２５の面よりも下側に降下させる。このとき、ＦＯＵＰ２０の底板２２は、ポートテーブル２５に設けられた切欠部３９の寸法よりも大きく形成されているため、底板２２と切欠部３９の縁部とが重なる状態となる。そして、ポートテーブル２５上に設けられた外側の組のキネマティックピン４０がＦＯＵＰ底板２２に設けられた外側の組用の嵌合穴と嵌合した状態で、ＦＯＵＰ２０がポートテーブル２５上に載置される。
【００３０】
搬送テーブル２６は、位置Ｐ２にＦＯＵＰを載置後、ポートテーブル２５の下面側に位置した状態で、そのまま位置Ｐ２から位置Ｐ１まで移動する。そして、ストッカ１４からスタッカクレーンのアーム３６が、ポートテーブル２５の下面側で位置Ｐ２まで伸びて進出する。進出後、アーム３６は、ポートテーブル２５に位置Ｐ２で載置されたＦＯＵＰ２０をすくい上げ、アーム３６に設けられた内側の組のキネマティックピン３７をＦＯＵＰ２０の対応する嵌合穴に嵌合させ、位置合わせした状態で持ち上げる。スタッカクレーン（図示せず）は、アーム３６にＦＯＵＰ２０を搭載した状態でストッカ１４内部の所定の収納棚２３までＦＯＵＰ２０を搬送し、棚内部に収納する。なお、上記説明は、走行台車１３が搬送してきたＦＯＵＰ２０をストッカ１４の内部に収納する場合の動作説明であり、ストッカ１４からＦＯＵＰ２０を取り出して走行台車１３に受け渡す場合は、上記説明とは逆の動作となる。
【００３１】
また、搬送システム１は、各走行台車１３によるＦＯＵＰの搬送動作を制御する搬送コントローラ４１を備えている。図５のブロック図に示すように、搬送コントローラ４１は、各半導体製造装置１５、各ストッカ１４、各走行台車１３、各位置検出手段４２、各走行路切換手段２４と通信可能に設けられている。ここで、位置検出手段４２は、各走行路（１０、１１、１２、１７）に沿った所定個所に複数配設され、各走行台車１３がその設置個所を通過したことを検出する。位置検出手段４２と、搬送コントローラ４１及び走行台車１３との間では、例えば赤外線等を用いて非接触で通信が行われる。各走行台車１３と搬送コントローラ４１との間でも同様の非接触での通信が行われる。また、各半導体製造装置１５、各ストッカ１４、各走行路切換装置２４は、搬送コントローラ４１と有線で通信可能に接続されている。
【００３２】
また、図６は、搬送コントローラ４１及び走行台車１３の構成を示すブロック図である。搬送コントローラ４１は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）４３、ＲＯＭ（Read Only Memory）４４、ＲＡＭ（Random Access Memory）４５、通信インターフェイス（Ｉ／Ｆ）４６を備えており、これらは、図示しないバスを介して相互に接続されている。ＲＯＭ４３は、読み出し専用の記憶装置であって、搬送コントローラ４１での処理を行うために用いられる各種プログラムが格納されている。ＣＰＵ４３は、受信した信号やＲＯＭ４３内の各種プログラム等に基づいて各種演算及び処理を行う。そして、通信Ｉ／Ｆ４６を介して走行台車１３等と通信を行う。ＲＡＭ４５は、読み出し・書き込み可能な揮発性記憶装置であって、ＣＰＵ４３での各種演算結果等が記憶される。これら、ハードウェア及びソフトウェアが組み合わされることによって、搬送コントローラ４１が構成される。
【００３３】
走行台車１３は、制御装置４７、駆動装置４８、通信Ｉ／Ｆ４９を備えており、通信Ｉ／Ｆ４９を介して搬送コントローラ４１から受信した指令に基づいて、制御装置４７によって駆動装置４８を制御して、ＦＯＵＰ２０の積み込み・積み降ろし動作、搬送動作等を行う。
【００３４】
また、搬送コントローラ４１は、各ＦＯＵＰ２０に収納された半導体の各半導体製造装置１５での処理状況、及び各ストッカ１４内での各ＦＯＵＰ２０の保管状況に関する情報を受信して、上位コンピュータ（図示せず）からの処理命令に基づいて、どのＦＯＵＰ２０をどのストッカ１４又はどの半導体製造装置１５に搬入又は搬出する必要があるかを判断する。そして、各位置検出手段４２及び各走行台車１３からの情報を受信して、各走行台車１３の現在位置を把握し、所定の走行台車１３を所定のストッカ１４又は半導体製造装置１５へと誘導するための指令を送信する。この指令は、各走行台車１３及び各走行路切換装置２４に対して送信される。各走行路切換装置２４は、主走行路１２と分岐走行路１７との分岐点だけでなく、主走行路１２と分岐軌道１０との分岐点、分岐軌道１０と工程間軌道１１との分岐点にも設けられており、所定の走行台車１３が所定の分岐点の上流側に到達した時点で、対応する走行路切換装置２４を切り換え、当該走行台車１３が所定の軌道を走行するように誘導する。
【００３５】
また、搬送コントローラ４１は、主走行路１２と分岐走行路１７との間の分岐点において主走行路１２と分岐走行路１７とのいずれかに走行台車１３を誘導する際、当該走行台車１３に、対応するストッカ１４での搬入又は搬出動作があるか否かに応じて適宜走行路切換装置２４が切換動作を行うように指令を送信する。即ち、搬送コントローラ４１は、所定のＦＯＵＰ２０が所定のストッカ１４に搬入又は搬出される際、主走行路１２に対応して設けられた搬入装置１８ｂ又は搬出装置１９ｂを介してよりも、分岐走行路１７に対応して設けられた搬入装置１８ａ又は搬出装置１９ａを介して優先的に搬入又は搬出が行われるように、当該ストッカ１４にＦＯＵＰ２０を搬入又は当該ストッカ１４からＦＯＵＰ２０を搬出する搬入装置１８又は搬出装置１９を選択する搬出入選択手段として構成されている。これにより、搬入装置１８ａ及び１８ｂがともに空き状態の場合、又、搬出装置１９ａ及び１９ｂがともに空き状態の場合、走行台車１３は、分岐走行路１７へと優先的に誘導されることになる。
【００３６】
搬送コントローラ４１が、上述した搬出入選択手段として機能することで、主走行路１２に対応する搬出入装置（１８ｂ、１９ｂ）よりも分岐走行路１７に対応する搬出入装置（１８ａ、１９ａ）を介して優先的に搬出入処理が行われるため、主走行路１２が停滞状態になることを抑制することができる。従って、ストッカ１４での搬出入処理を行っている走行台車１３が、そのストッカ１４での搬出入処理が行われない走行台車１３の走行の妨げとなることを抑制できる。
【００３７】
次に、搬送システム１における搬出入処理の手順について、具体的な搬出入処理の一例に基づいて説明する。なお、以下の説明例は、あくまで搬出入処理の手順の一例を示したものであり、この例に限らず、種々の組み合わせによる手順に基づいて搬出入処理を行うことができる。
【００３８】
この搬出入処理は、以下の手順に従って行われる（図２参照）。
(1)ＦＯＵＰ２０を搭載した走行台車１３ａ（１台目の走行台車）が、分岐走行路１７に誘導され、搬入装置１８ａの位置に到着して停止する。
(2)走行台車１３ａが搬入装置１８ａのポート上にＦＯＵＰ２０を降ろす。
(3)ＦＯＵＰ２０を搭載した走行台車１３ｂ（２台目の走行台車）が、主走行路１２に誘導され、搬入装置１８ｂの位置に到着して停止する。この時点で、ストッカ１４の前には、２台の走行台車１３が停止した状態となっている。
(4)走行台車１３ｂが搬入装置１８ｂのポート上にＦＯＵＰ２０を降ろす。
(5)走行台車１３ａが搬出装置１９ａの位置に移動する。
(6)走行台車１３ａが搬出装置１９ａのポート上に載置された状態にあるＦＯＵＰ２０を積み込む。
(7)走行台車１３ｂが搬出装置１９ｂの位置に移動する。
(8)図示しない３台目の走行台車１３が搬入装置１８ａの位置に到着して停止する。
(9)図示しない４台目の走行台車１３が搬入装置１８ｂの位置に到着して停止する。この時点で、ストッカ１４にアクセスしている走行台車１３の台数は、最大の４台となる。
(10)走行台車１３ｂが搬出装置１９ｂのポート上に載置された状態にあるＦＯＵＰ２０を積み込む。
(11)走行台車１３ａがＦＯＵＰ２０を積み終わり、搬出装置１９ａの位置から出発する。
(12)走行台車１３ｂがＦＯＵＰ２０を積み終わり、搬出装置１９ｂから出発する。
(13)以下、３台目、４台目の走行台車１３も、順次搬出装置１９ａ、１９ｂに移動してＦＯＵＰ２０を積み込み、搬出装置１９ａ、１９ｂから出発する。
【００３９】
なお、走行台車１３の動作としては、図７（ａ）のタイミングチャートに示すものが基本となる。即ち、走行台車１３が搬出入装置（１８、１９）の位置に到着すると、把持機構を下降させ（Ｔ１）、次いで、ＦＯＵＰ２０を載置又は保持して搬出入装置（１８、１９）との間で移載動作を行う（Ｔ２）。そして、把持機構を巻き上げて上昇させ（Ｔ３）、走行を開始する（Ｔ４）。しかし、走行台車１３は、図７（ｂ）に示すタイミングチャートに従って動作を行うこともできる。即ち、ＦＯＵＰ２０を下降させ（Ｔ１）、次いで、ＦＯＵＰ２０を搬入装置１８に載置する移載動作（Ｔ２）を行った後、把持機構を巻き上げない状態のままで搬出装置１９の位置まで走行して移動するシフト動作を行う（Ｔ５）。そして、搬出装置１９から把持機構でＦＯＵＰ２０を把持して走行台車１３に搭載する移載動作を行い（Ｔ６）、把持機構を巻き上げてＦＯＵＰ２０ごと上昇させ（Ｔ３）、搬送移動を開始する（Ｔ４）こともできる。
【００４０】
以上説明したように、搬送システム１においては、主走行路１２及び分岐走行路１７にそれぞれ対応する搬入装置１８及び搬出装置１９からＦＯＵＰ２０の搬出入処理を行うことができる。このため、主走行路１２を走行する走行台車１３と分岐走行路１７を走行する走行台車１３とから、干渉することなく別々に同一のストッカ１４に対して搬出入処理を行うことができる。また、主走行路１２及び分岐走行路１７それぞれに搬入装置１８及び搬出装置１９がそれぞれ１つ以上対応して設けられているため、同一の走行路（１２又は１７）から同一のストッカ１４に対して搬入処理と搬出処理とを同時に行うことができる。従って、先行の走行台車１３の搬出入処理により後続の走行台車１３の停滞状態が発生することを抑制し、ストッカ１４に対する搬出入処理能力の向上を図ることができる。なお、搬送システム１においては、同時に４台の走行台車１３がアクセスして搬出入処理を行うことができ、搬出入ポートが１箇所しか無い場合と単純に比較すると、４倍の処理能力を達成することができる。
【００４１】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態に係る搬送システム２について説明する。図８は、搬送システム２の要部を示す平面図であり、第１実施形態に係る搬送システム１における図２に対応する図である。搬送システム２は、搬送システム１と同様に、例えば図１に示す工場１００等に適用される。
【００４２】
搬送システム２は、搬送システム１と同様に構成されるため、図８において同一の符号を付して説明を割愛するが、搬送システム１とは、搬出入装置（１８、１９）の配置構成が異なっている。搬送システム１では、分岐走行路１７に対応する搬出入装置（１８ａ、１９ａ）が内側に配置され、主走行路１２に対応する搬出入装置（１８ｂ、１９ｂ）が外側に配置されていたが、搬送システム２では、交互に配置されている。即ち、主走行路１２に対応する搬入装置１８ｂの隣に分岐走行路１７に対応する搬入装置１８ａが配置され、搬入装置１８ａの隣に主走行路１２に対応する搬出装置１９ｂが配置され、搬出装置１９ｂの隣に分岐走行路１７に対応する搬出装置１９ａが配置されている。なお、搬送システム２においても、搬送システム１と同様に、Ｌ≦Ｗ≦Ｖの関係が成立するように、各搬出入装置が配設されている。
【００４３】
搬送システム２においても、搬送システム１と同様の作用効果を奏することができる。なお、優先して走行台車１３が誘導される分岐軌道１７に対応する搬入装置１８ａと搬出装置１８ｂとの間の距離を短くしたい要求があれば、搬送システム１を適用することが望ましく、当該要求が無ければ、搬送システム１と２とは、作用効果において全く差異は無い。
【００４４】
（第３実施形態）
次に、本発明の第３の実施形態に係る搬送システム３について説明する。図９は、搬送システム３の要部を示す平面図であり、第１実施形態に係る搬送システム１における図２に対応する図である。搬送システム３は、搬送システム１と同様に、例えば図１に示す工場１００等に適用される。
【００４５】
搬送システム３は、搬送システム１と同様に構成されるため、図９において同一の符号を付して説明を割愛するが、搬送システム１とは、配置される搬出入装置（１８、１９）の設置数が異なっている。搬送システム１では、搬出入装置は全部で４箇所に配置されているが、搬送システム１では、全部で８箇所に配置されている。即ち、分岐走行路１７に対応して搬入装置（１８ａ、１８ｂ）と搬出装置（１９ａ、１９ｂ）とが配置され、主走行路１２に対応して搬入装置（１８ｃ、１８ｄ）と搬出装置（１９ｃ、１９ｄ）とが配置されている。なお、搬送システム３においても、搬送システム１と同様に、Ｌ≦Ｗ≦Ｖの関係が成立するように、各搬出入装置が配設されている。
【００４６】
搬送システム３における搬出入処理の一例を示すと、例えば、次のようになる。
(1)ＦＯＵＰ２０を搭載した１台目の走行台車１３が、分岐走行路１７に誘導され、搬入装置１８ａの位置に到着して停止する。
(2)ＦＯＵＰ２０を搭載した２台目の走行台車１３が、分岐走行路１７に誘導され、搬入装置１８ｂの位置に到着して停止する。
(3)ＦＯＵＰ２０を搭載した３台目の走行台車１３が、主走行路１２に誘導され、搬入装置１８ｃの位置に到着して停止する。
(4)ＦＯＵＰ２０を搭載した４台目の走行台車１３が、主走行路１２に誘導され、搬入装置１８ｄの位置に到着して停止する。
(5)１台目の走行台車１３が搬入装置１８ａのポート上にＦＯＵＰ２０を降ろす。
(6)２台目の走行台車１３が搬入装置１８ｂのポート上にＦＯＵＰ２０を降ろす。
(7)３台目の走行台車１３が搬入装置１８ｃのポート上にＦＯＵＰ２０を降ろす。(8)４台目の走行台車１３が搬入装置１８ｄのポート上にＦＯＵＰ２０を降ろす。
(9)１台目の走行台車１３が搬出装置１９ａの位置に移動する。
(10)２台目の走行台車１３が搬出装置１９ｂの位置に移動する。
(11)３台目の走行台車１３が搬出装置１９ｃの位置に移動する。
(12)４台目の走行台車１３が搬出装置１９ｄの位置に移動する。
(13)１台目の走行台車１３が搬出装置１９ａのポート上のＦＯＵＰ２０を積む。
(14)２台目の走行台車１３が搬出装置１９ｂのポート上のＦＯＵＰ２０を積む。
(15)３台目の走行台車１３が搬出装置１９ｃのポート上のＦＯＵＰ２０を積む。
(16)４台目の走行台車１３が搬出装置１９ｄのポート上のＦＯＵＰ２０を積む。
(17)５台目の走行台車１３が搬入装置１８ａの位置に停止する。
(18)６台目の走行台車１３が搬入装置１８ｂの位置に停止する。
(19)７台目の走行台車１３が搬入装置１８ｃの位置に停止する。
(20)８台目の走行台車１３が搬入装置１８ｄの位置に停止する。この時点で、ストッカ１４にアクセスしている走行台車の台数は、最大の８台となる。
(21)ＦＯＵＰ２０を積み終わり、１台目から８台目までの各走行台車１３が、各搬出装置１９から逐次出発する。
【００４７】
以上説明した搬送システム３においても、搬送システム１と同様の作用効果を奏することができる。なお、搬送システム３においては、同時に８台の走行台車１３がアクセスして搬出入処理を行うことができ、搬出入ポートが１箇所しか無い場合と単純に比較すると、８倍の処理能力を達成することができる。
【００４８】
（第４実施形態）
次に、本発明の第４の実施形態に係る搬送システム４について説明する。図１０は、搬送システム４の要部を示す平面図であり、第１実施形態に係る搬送システム１における図２に対応する図である。搬送システム４は、搬送システム１と同様に、例えば図１に示す工場１００等に適用される。
【００４９】
搬送システム４は、搬送システム１と同様に構成されるため、図１０において同一の符号を付して説明を割愛するが、搬送システム１とは、分岐走行路１７が主走行路１２と平面視において重なるように設けられている点が異なる。図１１に、図１０のXI−XI線矢視断面を示すが、分岐走行路１７は、主走行路１２から下方に分岐した後、主走行路１２の略真下を通過し、最後は上方に向かって主走行路１２と合流するように延設されている。
【００５０】
図１０に示すように、搬送システム４においては、主走行路１２から分岐走行路１７が分岐する分岐点にはリフター構造の走行路切換装置５０が、分岐した分岐走行路１７が主走行路１２に合流する合流点には同じくリフター構造の走行路切換装置５１が、それぞれ設けられている。走行路切換装置５０によって、主走行路１２を走行してきた走行台車１３がそのまま主走行路１２を走行するか、又は分岐走行路１７へと移動して走行するかを切り換えることができるようになっている。また、走行路切換装置５１によって、分岐走行路１７を走行してきた走行台車１３を主走行路１２へと戻すことができる。
【００５１】
そして、搬入装置１８ａ及び搬出装置１９ａは、下方に位置している分岐走行路１７に対応して設けられ、搬入装置１８ｂ及び搬出装置１９ｂは上方に位置している主走行路１２に対応して設けられている。なお、搬送システム４においても、搬送システム１と同様に、Ｌ≦Ｗ≦Ｖの関係が成立するように、各搬出入装置が配設されている。この搬送システム４においても、搬送システム１と同様の作用効果を奏することができる。
【００５２】
以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な変更が可能なものである。例えば、次のように変更して実施することができる。
【００５３】
（１）搬送システムが適用される対象は、半導体処理工場でなくてもよく、種々の工場等において適用できる。また、搬送される物品は、ＦＯＵＰとともに搬送される半導体ウェハでなくてもよく、種々の物品を搬送するシステムにおいて適用できる。
【００５４】
（２）分岐走行路は、１本だけ分岐するものに限らず、段階的に複数本分岐するものであってもよい。例えば、主走行路から第１の分岐走行路が分岐した下流側で第２、第３の分岐走行路が分岐して、それぞれストッカ近傍を通過した後、下流側に向かって順番に異なる位置で主走行路に合流するものであってもよい。この場合、主走行路及び各分岐走行路には、搬入装置及び搬出装置がそれぞれ対応して設けられる。
【００５５】
（３）搬入装置及び搬出装置の設置数は、実施形態で説明したものに限らず、特許請求の範囲に記載した限りにおいて種々変更して設置することが可能である。また、搬送システム１〜３においても、主走行路及び搬出入装置を複数段構成とすることもできる。
【００５６】
【発明の効果】
以上説明したように、第１の発明によると、主走行路及び分岐走行路にそれぞれ対応する搬入手段及び搬出手段から物品の搬出入処理を行うことができる。このため、主走行路を走行する走行台車と分岐走行路を走行する走行台車とから、干渉することなく別々に同一の保管手段に対して搬出入処理を行うことができる。また、主走行路及び分岐走行路それぞれに搬入手段及び搬出手段がそれぞれ１つ以上対応して設けられているため、同一の走行路から同一の保管手段に対して搬入処理と搬出処理とを同時に行うことができる。したがって、先行の走行台車の搬出入処理による後続の走行台車の停滞状態が発生することを抑制し、保管手段に対する搬出入処理能力の向上を図ることができる。
【００５７】
第２の発明によると、各搬出入手段の間で干渉が生じることもなく効率よく各搬出入手段を配置することができる。また、同一の保管手段に対して複数の走行台車との間で搬出入処理が行われる場合に、走行台車間での干渉が発生することもない。
【００５８】
第３の発明によると、主走行路に対応する搬出入手段よりも分岐走行路に対応する搬出入手段を介して優先的に搬出入処理が行われるため、主走行路が停滞状態になることを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態に係る搬送システムが適用された工場を例示したレイアウト図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る搬送システムの要部を拡大して示す平面図である。
【図３】図２のIII−III線矢視断面図である。
【図４】図２に示す搬送システムにおける搬出入装置をＦＯＵＰとともに示した斜視図である。
【図５】図２に示す搬送システムにおいて各走行台車によるＦＯＵＰ搬送動作を制御する構成を示すブロック図である。
【図６】図５に示す搬送コントローラ及び走行台車の構成を示すブロック図である。
【図７】図３に示す走行台車の動作を説明するタイミングチャートである。
【図８】本発明の第２実施形態に係る搬送システムの要部を示す平面図である。
【図９】本発明の第３実施形態に係る搬送システムの要部を示す平面図である。
【図１０】本発明の第４実施形態に係る搬送システムの要部を示す平面図である。
【図１１】図１０のXI−XI線矢視断面図である。
【符号の説明】
１搬送システム
１２主走行路（工程内軌道）
１３走行台車
１４ストッカ（保管手段）
１７分岐走行路
１８、１８ａ、１８ｂ搬入装置（搬入手段）
１９、１９ａ、１９ｂ搬出装置（搬出手段）
２０ＦＯＵＰ（物品）[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention includes a storage unit that can store a plurality of articles, a plurality of traveling carriages that carry the articles that are carried into or out of the storage means, and a traveling path that the traveling carriage travels and moves. It relates to the transport system.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, transport provided with storage means capable of storing a plurality of articles, a plurality of traveling carriages carrying and transporting articles carried into or out of the storage means, and a traveling path on which the traveling carriage travels and moves A system is known (see, for example, Patent Document 1). The transfer system described in the following Patent Document 1 is for transferring a semiconductor wafer between semiconductor processing steps, and a main line (running path) that forms a closed loop and a corresponding stocker (storage means) branched from the main line. ) And a side line (traveling road) that merges with the main line again, and switching means for switching the course between the main line and the side line. Then, a transfer work (carrying-in / out work) is performed on a corresponding stocker by guiding a predetermined transport vehicle (travel carriage) to a predetermined side line, and the transport vehicle is not related to the transfer work in the stocker. Is to proceed as it is on the main line without being guided to the side line. Accordingly, an object of the present invention is to suppress the stagnation state of the succeeding transport vehicle due to the transfer operation of the preceding transport vehicle and to improve the operation rate of the transport system.
[0003]
[Patent Document 1]
Japanese Patent Laid-Open No. 11-16984 (page 3-4, FIGS. 1 and 3)
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the conveyance system described in Patent Document 1, when it is necessary to carry out / in / out processing with respect to one storage unit (stocker) with a plurality of traveling carriages (conveyance vehicles) one by one sequentially. Only the carry-in / out process can be performed, and the subsequent traveling carriage is in a stagnation state until the processing of the preceding traveling carriage is completed.
[0005]
The present invention has been made in view of the above circumstances, and suppresses the occurrence of a stagnation state of the following traveling carriage due to the carrying-in / out process of the preceding traveling carriage, thereby improving the carrying-in / out processing capacity with respect to the storage means. It is an object of the present invention to provide a transport system that can perform such a process.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
  To solve the above problem,First1Related to the inventionThe transport system is capable of storing a plurality of articles and storing at least one storage means, a plurality of traveling carriages carrying and transporting articles carried into or out of the storage means, and the traveling carriage can travel. The main traveling path forming at least one closed-loop track and the traveling carriage are travelable, branch from the main traveling path, pass through the vicinity of the storage means, and enter the main traveling path. One or more branch traveling paths to be merged, one or more corresponding to the main traveling path and the branch traveling path, respectively, and connected to the storage means, and the article transported by the traveling carriage is placed on the article. Each of which is provided corresponding to each of the main travel path and the branch travel path and is connected to the storage means, And a discharge means for unloading articles from said storage means to the mounting position capableThe traveling carriage has a gripping mechanism for holding the article, and when the article is placed on the carrying-in means, the article held by the gripping mechanism is lowered to hold the gripping mechanism. When the article held by the container is opened to complete the placement on the carry-in means, the gripping mechanism is wound up, and the article is mounted from the carry-out means, the gripping mechanism lowers the article. Hold and roll up to mount on the carriageIt is characterized by that.
[0007]
According to this configuration, it is possible to carry out an article carry-in / out process from the carry-in means and the carry-out means corresponding to the main travel path and the branch travel path, respectively. For this reason, it is possible to carry out the carry-in / out process separately for the same storage means without interference from the traveling vehicle traveling on the main traveling route and the traveling vehicle traveling on the branch traveling route. In addition, since one or more loading means and unloading means are provided corresponding to each of the main traveling path and the branch traveling path, the loading process and the unloading process are simultaneously performed on the same storage means from the same traveling path. It can be carried out. Therefore, it is possible to suppress the occurrence of a stagnation state of the subsequent traveling carriage due to the carrying-in / out process of the preceding traveling carriage, and to improve the carrying-in / out processing capacity for the storage unit.
[0008]
  First2Related to the inventionThe transport systemFirst1InventionThe one or more carry-in means and the one or more carry-out means are provided adjacent to each other without overlapping each other, and the interval at which the carry-in means and the carry-out means are installed adjacent to each other is at least the above It is more than the length of the traveling cart in the traveling direction.
[0009]
According to this configuration, each carry-in / out means can be efficiently arranged without causing interference between the carry-in / out means. Further, when carrying-in / out processing is performed with respect to the same storage means with a plurality of traveling carts, no interference occurs between the traveling carts.
[0010]
  First3Related to the inventionThe transport systemFirst1 or 2InventionIn the above, when the article is carried in or out, the carrying-in means or carrying-out means provided corresponding to the branch traveling path is provided rather than via the carrying-in means or carrying-out means provided corresponding to the main traveling path. And a loading / unloading selecting means for selecting an unloading means for unloading an article from the storing means or an unloading means so that the loading or unloading is preferentially performed via the storage means. .
[0011]
  According to this configuration, since the loading / unloading process is preferentially performed via the loading / unloading means corresponding to the branch traveling path rather than the loading / unloading means corresponding to the main traveling path, the main traveling path is prevented from being stagnant. can do.In a transport system according to a fourth invention, in any one of the first to third inventions, the traveling carriage lowers the gripping mechanism and places the article on the carrying-in means, and then moves the gripping mechanism. The traveling carriage is caused to travel to the position of the unloading means without being rolled up, and the article is held from the unloading means by the gripping mechanism and mounted on the traveling carriage.
[0012]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[0013]
(First embodiment)
First, an outline of a factory to which the conveyance system according to the first embodiment of the present invention is applied will be described. FIG. 1 is a layout diagram illustrating a factory 100 to which the transport system 1 according to the first embodiment is applied. The factory 100 is, for example, a semiconductor processing factory, and includes a plurality of bays 16 (regions surrounded by dotted lines constituting a semiconductor processing step) each including a plurality of semiconductor manufacturing apparatuses 15. Each semiconductor manufacturing device 15 in the bay 16 is connected by an in-process track (main travel path) 12, and each in-process track 12 is connected to an inter-process track 11 via a branch track 10. The intra-process track 12, the inter-process track 11, and the branch track 10 are travel paths on which a plurality of traveling carriages 13 that transport semiconductors (articles) can travel, and these travel paths (10, 11, 12) are It is installed above the factory (ceiling side), and the semiconductor is mounted and transported so as to be suspended from each traveling carriage 13. That is, an OHT (Over Head Hoist Transport) transport system is applied to this factory. The semiconductor is, for example, a semiconductor wafer stored in a plurality of cassettes (storage containers) generally called FOUP (Front Opening Unified Pod), and is transported in units of cassettes. Then, predetermined processing is performed in each semiconductor manufacturing apparatus 15.
[0014]
Also, the bay 16 is a stocker for storing a plurality of FOUPs (FOUPs containing semiconductor wafers) 20 for the purpose of interfacing between processes (between each bay 16) and within a process (within each bay 16) and for buffering. (Storage means) 14 is arranged. The stocker 14 is connected to the in-process track 12, and the FOUP 20 conveyed by the traveling carriage 13 is carried in or out. The traveling carriage 13 travels in one direction on each track (10, 11, 12), transports the FOUP 20, and delivers the FOUP 20 between the stocker 14 and the semiconductor manufacturing apparatus 15.
[0015]
Hereinafter, the conveyance system 1 according to the first embodiment will be described in detail. In addition, the said conveyance system 1 can also be understood as what is applied per bay 16 unit, and can also be understood as the thing to which the conveyance system 1 is applied as the factory 100 whole.
[0016]
2 is an enlarged plan view showing a main part of the transport system 1, and FIG. 3 is a sectional view taken along the line III-III. As shown in FIGS. 2 and 3, the transport system 1 includes a stocker 14, a traveling carriage 13, a main traveling path 12, a branch traveling path 17, a carry-in device 18, and a carry-out device 19.
[0017]
The stocker 14 is a storage means that can store a plurality of FOUPs 20 (FOUPs (articles) in which semiconductor wafers are stored), and one or a plurality of stockers 14 are arranged per transfer system 1. In each transport system 1 applied to each bay 16, one stocker 14 is arranged, and the FOUP 20 is carried into and out of each stocker 14. The stocker 14 is not necessarily provided for each bay 16. In the stocker 14, the FOUP 20 is moved by a crane (not shown) and stored in each shelf 23 (see FIG. 1). Although the number of stockers 14 to be installed is desired to be small, the smaller the number of installations, the higher the operating rate per stocker is required. That is, it is required to further increase the number of times the FOUP 20 can be carried in / out per unit time per stocker.
[0018]
The traveling carriage 13 carries the FOUP 20 that is carried into or out of the stocker 14 and carries it. A plurality of traveling carriages 13 are provided, and the traveling carriage 13 can travel by moving between the inter-process tracks 11 and the intra-process tracks (main traveling paths) 12. That is, the factory 100 is configured such that a plurality of traveling carriages 13 are shared by a plurality of bays 16.
[0019]
The main travel path 12 is constituted by an in-process track 12 and is attached, for example, so as to be suspended from a factory ceiling (see FIG. 3). The main traveling path 12 is configured such that the traveling carriage 13 can travel and form at least one closed loop track (in FIG. 1, a case where one closed loop track is formed in each bay 16. Illustrated). The traveling carriage 13 is supported so as to be able to travel so as to be suspended from the main traveling path 12.
[0020]
The branch travel path 17 is attached so as to be suspended from the factory ceiling like the main travel path 12, branches from the main travel path 12, passes through the vicinity of the stocker 14, and joins the main travel path 12 again. is doing. The traveling carriage 13 traveling on the main traveling path 12 can travel and move similarly to the main traveling path 12. A travel path switching device 24 is provided at a branch point where the branch travel path 17 branches from the main travel path 12. Thereby, it is possible to select and switch whether the traveling carriage 13 that has traveled on the main travel path 12 travels straight on the main travel path 12 as it is or moves to the branch travel path 17 to travel. It has become. The branch travel path 17 is provided so as to travel in the same horizontal plane as the main travel path 12, but this is not necessarily the case, and it may be above or below the horizontal plane on which the main travel path 12 travels. It may be provided so as to travel.
[0021]
One or more carry-in devices (carry-in means) 18 are provided corresponding to the main travel path 12 and the branch travel path 17 and are connected to the stocker 14 respectively. In the example of FIG. 2, a case where the carry-in device 18 a is provided corresponding to the branch travel path 17 and the carry-in device 18 b is provided corresponding to the main travel path 12 is illustrated. Then, the FOUP 20 transported by the traveling carriage 13 is placed on the carry-in device 18, and the placed FOUP 20 is carried into the stocker 14 by the carry-in device 18. That is, the carry-in device 18 functions as a carry-in port when carrying the FOUP 20 into the stocker 14.
[0022]
When the FOUP 20 is mounted (transferred) from the traveling carriage 13 to the carry-in device 18, first, the traveling carriage 13 moves to the position immediately above the carry-in device 18 and stops. Then, the FOUP 20 held by the gripping mechanism (not shown) of the traveling carriage 13 is lowered. Then, a sensor (not shown) attached to the gripping mechanism detects that the bottom surface of the FOUP 20 is in contact with the carry-in device 18, opens the FOUP held by the gripping mechanism, and places the FOUP 20 on the carry-in device 18. To complete. When the placement operation is completed, the gripping mechanism is wound up to the top, and the traveling carriage 13 is ready to travel.
[0023]
One or more unloading devices (unloading means) 19 are provided corresponding to the main traveling path 12 and the branch traveling path 17, and are connected to the stocker 14. In the example of FIG. 2, a case where an unloading device 19 a is provided corresponding to the branch traveling path 17 and an unloading device 19 b is provided corresponding to the main traveling path 12 is illustrated. Then, the FOUP 20 is unloaded from the stocker 14 to a position where it can be mounted on the traveling carriage 13. That is, the carry-out device 19 functions as a carry-out port when carrying out the FOUP 20 from the stocker 14.
[0024]
When the FOUP 20 is mounted (transferred) from the unloading device 19 to the traveling carriage 13, first, the traveling carriage 13 moves to the position immediately above the unloading apparatus 19 and stops. Then, the FOUP 20 that has been moved by the transport device 19 to a position where it can be mounted on the traveling carriage 13 is lowered and held up by the gripping mechanism of the traveling carriage 13 so that the mounting operation on the traveling carriage 13 is performed. When the operation of mounting the FOUP 20 on the traveling carriage 13 is completed, the traveling carriage 13 starts traveling and transports the FOUP 20.
[0025]
As shown in FIG. 2, each carry-in device (18a, 18b) and each carry-out device (19a, 19b) are provided adjacent to each other without overlapping each other, and each carry-in / load device (18a, 18b, 19a, 19b) is provided. ) Are installed adjacent to each other (pitch) is set to be longer than the length of the traveling carriage 13 in the traveling direction. That is, the width L of each loading / unloading device has a width dimension equal to or less than the pitch W at which each loading / unloading device is installed, and the pitch W is equal to or longer than the length V in the traveling direction of the traveling carriage 13. The dimensions are shown (see FIG. 2).
[0026]
Thereby, each carry-in / out apparatus can be efficiently arranged without causing interference between the carry-in / out apparatuses. Further, when carrying-in / out processing is performed with respect to the same stocker 14 with a plurality of traveling carts 13, interference between the traveling carts does not occur. That is, the traveling carriage 13 can be stopped simultaneously in all the loading / unloading devices (18a, 18b, 19a, 19b) and the loading / unloading process can be performed.
[0027]
Next, the mechanisms of the carry-in device 18 and the carry-out device 19 will be described with reference to FIG. FIG. 4 is a perspective view showing the carry-in device 18 and the carry-out device 19 configured as the same device including the transfer mechanism together with the FOUP 20. The FOUP 20 is provided with a flange 21 that is gripped when the trolley 13 is transported by the traveling carriage 13 and a bottom plate 22 that serves as a bottom surface when placed on the carry-in / out device (18, 19). The bottom plate 22 is provided with a fitting hole for fitting with a kinematic pin described later. Three kinematic pins are one set of alignment pins, and one set of fitting holes is provided on the inner side and the outer side corresponding to the two sets of kinematic pins.
[0028]
The carry-in / out device (18, 19) includes a port table 25 and a transport table 26, and the FOUP 20 transferred from the traveling carriage 13 is an inner set of kinematic pins 38 provided on the surface of the transport table 26. Aligned and supported by The transport table 26 is fixed to a support shaft 35 via a table shaft 28 and a cam mechanism 29. Both ends of the support shaft 35 are supported by the linear slider 34, and one end of the support shaft 35 is further fixed to the belt 31. The belt 31 is attached to pulleys 32 and 32, and the pulley 32 is driven by a belt drive motor 33. As a result, the linear slider 34 reciprocates in the front-rear direction (in the direction of arrow A in the figure) in conjunction with the forward / reverse rotational movement of the belt 31. The transport table 26 integrated with the table shaft 28 fixed to the support shaft 35 also reciprocates in the front-rear direction along the guide groove 27 on the port table 25 together with the support shaft 35.
[0029]
Further, the transfer table 26 is moved up and down in the direction of arrow B in the figure by the cam mechanism 29. The transport table 26 is held at a position lower than the surface of the port table 25 when the FOUP 20 is placed from the traveling carriage 13 at the position P1 opposite to the stocker 14 (on the side opposite to the stocker). After the FOUP 20 is placed (after receiving the cargo), the cam mechanism 29 is actuated to be held at a position higher than the surface of the port table 25 and then moved to the position P2 on the stocker 14 side. It is held at a position higher than the surface. Then, after the conveyance table 26 arrives at the position P2, the cam mechanism 29 is operated again to lower the conveyance table 26 below the surface of the port table 25. At this time, since the bottom plate 22 of the FOUP 20 is formed larger than the size of the notch 39 provided in the port table 25, the bottom plate 22 and the edge of the notch 39 are overlapped. The FOUP 20 is placed on the port table 25 in a state where the outer set kinematic pins 40 provided on the port table 25 are fitted in the outer set fitting holes provided on the FOUP bottom plate 22. Is done.
[0030]
After the FOUP is placed at the position P2, the transfer table 26 moves from the position P2 to the position P1 as it is positioned on the lower surface side of the port table 25. Then, the arm 36 of the stacker crane extends from the stocker 14 to the position P2 on the lower surface side of the port table 25 and advances. After advancement, the arm 36 scoops up the FOUP 20 placed on the port table 25 at the position P2, and the inner kinematic pins 37 provided on the arm 36 are fitted into the corresponding fitting holes of the FOUP 20, Lift together. A stacker crane (not shown) transports the FOUP 20 to a predetermined storage shelf 23 in the stocker 14 in a state where the FOUP 20 is mounted on the arm 36 and stores the FOUP 20 in the shelf. The above explanation is an operation explanation when the FOUP 20 conveyed by the traveling carriage 13 is housed in the stocker 14. When the FOUP 20 is taken out from the stocker 14 and delivered to the traveling carriage 13, it is the opposite of the above explanation. It becomes the operation.
[0031]
Further, the transport system 1 includes a transport controller 41 that controls the transport operation of the FOUP by each traveling carriage 13. As shown in the block diagram of FIG. 5, the transport controller 41 is provided so as to be able to communicate with each semiconductor manufacturing apparatus 15, each stocker 14, each traveling carriage 13, each position detection unit 42, and each traveling path switching unit 24. . Here, a plurality of the position detecting means 42 are provided at predetermined locations along each traveling path (10, 11, 12, 17), and detects that each traveling carriage 13 has passed the installation location. Communication between the position detection means 42, the transport controller 41 and the traveling carriage 13 is performed in a non-contact manner using, for example, infrared rays. The same non-contact communication is performed between each traveling carriage 13 and the transport controller 41. In addition, each semiconductor manufacturing apparatus 15, each stocker 14, and each travel path switching apparatus 24 are connected to the transport controller 41 so that they can communicate with each other by wire.
[0032]
FIG. 6 is a block diagram illustrating configurations of the transport controller 41 and the traveling carriage 13. The transport controller 41 includes a CPU (Central Processing Unit) 43, a ROM (Read Only Memory) 44, a RAM (Random Access Memory) 45, and a communication interface (I / F) 46, which are connected via a bus (not shown). Are connected to each other. The ROM 43 is a read-only storage device, and stores various programs used for processing in the transport controller 41. The CPU 43 performs various calculations and processes based on the received signals and various programs in the ROM 43. And it communicates with the traveling vehicle 13 etc. via communication I / F46. The RAM 45 is a readable / writable volatile storage device, and stores various calculation results in the CPU 43. The transport controller 41 is configured by combining these hardware and software.
[0033]
The traveling carriage 13 includes a control device 47, a drive device 48, and a communication I / F 49, and controls the drive device 48 by the control device 47 based on a command received from the transport controller 41 via the communication I / F 49. The FOUP 20 is loaded and unloaded, and transported.
[0034]
Further, the transport controller 41 receives information on the processing status of the semiconductors stored in each FOUP 20 in each semiconductor manufacturing apparatus 15 and the storage status of each FOUP 20 in each stocker 14 and receives a higher-level computer (not shown). ), It is determined which FOUP 20 needs to be carried into or out of which stocker 14 or which semiconductor manufacturing apparatus 15. And the information from each position detection means 42 and each traveling vehicle 13 is received, the present position of each traveling vehicle 13 is grasped, and the predetermined traveling vehicle 13 is guided to the predetermined stocker 14 or the semiconductor manufacturing apparatus 15. Send instructions for This command is transmitted to each traveling carriage 13 and each traveling path switching device 24. Each travel path switching device 24 is not only a branch point between the main travel path 12 and the branch travel path 17, but also a branch point between the main travel path 12 and the branch track 10, and a branch point between the branch track 10 and the inter-process track 11. And when the predetermined traveling vehicle 13 reaches the upstream side of the predetermined branch point, the corresponding traveling path switching device 24 is switched to guide the traveling vehicle 13 to travel on the predetermined track. To do.
[0035]
In addition, when the transport controller 41 guides the traveling carriage 13 to either the main traveling path 12 or the branch traveling path 17 at the branch point between the main traveling path 12 and the branch traveling path 17, The travel path switching device 24 transmits a command to appropriately perform the switching operation according to whether there is a loading or unloading operation at the corresponding stocker 14. That is, when the predetermined FOUP 20 is carried into or out of the predetermined stocker 14, the transport controller 41 has a branch travel path rather than via the carry-in device 18 b or the carry-out device 19 b provided corresponding to the main travel path 12. In order to carry in or carry out preferentially via the carry-in device 18a or the carry-out device 19a provided corresponding to 17, the carry-in device 18 carrying the FOUP 20 into the stocker 14 or carrying out the FOUP 20 from the stocker 14 or It is configured as a carry-in / out selection means for selecting the carry-out device 19. Thus, when both the carry-in devices 18a and 18b are vacant, and when both the carry-out devices 19a and 19b are vacant, the traveling carriage 13 is preferentially guided to the branch travel path 17.
[0036]
By the transport controller 41 functioning as the above-described loading / unloading selection means, the loading / unloading device (18a, 19a) corresponding to the branch traveling path 17 is more suitable than the loading / unloading apparatus (18b, 19b) corresponding to the main traveling path 12. Since the carry-in / out process is preferentially performed through the main travel path 12, it is possible to prevent the main travel path 12 from being stagnant. Therefore, it is possible to suppress the traveling carriage 13 that is carrying out the loading / unloading process in the stocker 14 from interfering with the traveling of the traveling carriage 13 that is not subjected to the loading / unloading process in the stocker 14.
[0037]
Next, the procedure of the carry-in / out process in the transport system 1 will be described based on an example of a specific carry-in / out process. Note that the following explanation example shows an example of the procedure of the carry-in / out process to the last, and the carry-in / out process can be performed based on a procedure by various combinations without being limited to this example.
[0038]
This carry-in / out process is performed according to the following procedure (see FIG. 2).
(1) The traveling carriage 13a (first traveling carriage) on which the FOUP 20 is mounted is guided to the branch traveling path 17, arrives at the position of the carry-in device 18a, and stops.
(2) The traveling carriage 13a lowers the FOUP 20 onto the port of the carry-in device 18a.
(3) The traveling vehicle 13b (second traveling vehicle) on which the FOUP 20 is mounted is guided to the main traveling path 12, arrives at the position of the carry-in device 18b, and stops. At this time, the two traveling carriages 13 are stopped before the stocker 14.
(4) The traveling carriage 13b lowers the FOUP 20 onto the port of the carry-in device 18b.
(5) The traveling carriage 13a moves to the position of the carry-out device 19a.
(6) The FOUP 20 in a state where the traveling carriage 13a is placed on the port of the carry-out device 19a is loaded.
(7) The traveling carriage 13b moves to the position of the carry-out device 19b.
(8) A third traveling carriage 13 (not shown) arrives at the position of the carry-in device 18a and stops.
(9) A fourth traveling carriage 13 (not shown) arrives at the position of the carry-in device 18b and stops. At this time, the maximum number of traveling carriages 13 accessing the stocker 14 is four.
(10) The FOUP 20 in a state where the traveling carriage 13b is placed on the port of the carry-out device 19b is loaded.
(11) The traveling carriage 13a finishes loading the FOUP 20, and starts from the position of the carry-out device 19a.
(12) The traveling carriage 13b finishes loading the FOUP 20 and starts from the carry-out device 19b.
(13) Hereinafter, the third and fourth traveling carriages 13 also sequentially move to the unloading devices 19a and 19b, load the FOUP 20, and depart from the unloading devices 19a and 19b.
[0039]
The operation of the traveling carriage 13 is basically the one shown in the timing chart of FIG. That is, when the traveling carriage 13 arrives at the position of the carry-in / out device (18, 19), the gripping mechanism is lowered (T1), and then the FOUP 20 is placed or held between the carry-in / out device (18, 19). The transfer operation is performed at (T2). Then, the gripping mechanism is rolled up and raised (T3), and running is started (T4). However, the traveling carriage 13 can also operate according to the timing chart shown in FIG. That is, the FOUP 20 is lowered (T1), and then the transfer operation (T2) for placing the FOUP 20 on the carry-in device 18 is performed, and then the gripping mechanism is not rolled up and travels to the position of the carry-out device 19 A moving shift operation is performed (T5). Then, a transfer operation for gripping the FOUP 20 from the carry-out device 19 with the gripping mechanism and mounting the FOUP 20 on the traveling carriage 13 is performed (T6), the gripping mechanism is wound up and raised together with the FOUP 20 (T3), and the transfer movement is started (T4). You can also.
[0040]
As described above, in the transport system 1, the carry-in / out process of the FOUP 20 can be performed from the carry-in device 18 and the carry-out device 19 corresponding to the main travel path 12 and the branch travel path 17, respectively. For this reason, it is possible to separately carry in and out the same stocker 14 from the traveling carriage 13 traveling along the main traveling path 12 and the traveling carriage 13 traveling along the branch traveling path 17 without interference. In addition, since one or more carry-in devices 18 and carry-out devices 19 are provided in each of the main travel path 12 and the branch travel path 17, the same travel path (12 or 17) is connected to the same stocker 14. The carry-in process and the carry-out process can be performed simultaneously. Accordingly, it is possible to suppress the occurrence of a stagnation state of the subsequent traveling carriage 13 due to the carrying-in / out process of the preceding traveling carriage 13 and to improve the carrying-in / out processing capacity with respect to the stocker 14. In the transport system 1, four traveling carts 13 can simultaneously access and carry out the loading / unloading process, and four times the processing capacity can be achieved compared with the case where there is only one loading / unloading port. can do.
[0041]
(Second Embodiment)
Next, a transport system 2 according to the second embodiment of the present invention will be described. FIG. 8 is a plan view showing a main part of the transport system 2, and corresponds to FIG. 2 in the transport system 1 according to the first embodiment. The transport system 2 is applied to, for example, the factory 100 shown in FIG.
[0042]
Since the transport system 2 is configured in the same manner as the transport system 1, the same reference numerals are used in FIG. 8 to omit the description. Is different. In the transport system 1, the carry-in / out device (18a, 19a) corresponding to the branch travel path 17 is arranged on the inner side, and the carry-in / out device (18b, 19b) corresponding to the main travel path 12 is arranged on the outer side. In the transport system 2, they are arranged alternately. That is, the carry-in device 18a corresponding to the branch travel route 17 is disposed next to the carry-in device 18b corresponding to the main travel route 12, and the carry-out device 19b corresponding to the main travel route 12 is disposed next to the carry-in device 18a. A carry-out device 19a corresponding to the branch travel path 17 is arranged next to the device 19b. In the transport system 2, similarly to the transport system 1, the carry-in / out devices are arranged so that the relationship of L ≦ W ≦ V is established.
[0043]
In the transport system 2 as well, the same effects as the transport system 1 can be obtained. If there is a request to shorten the distance between the carry-in device 18a and the carry-out device 18b corresponding to the branch track 17 to which the traveling carriage 13 is guided with priority, it is desirable to apply the transport system 1 and the request. If there is no, there is no difference in the effect between the transport systems 1 and 2.
[0044]
(Third embodiment)
Next, a transport system 3 according to the third embodiment of the present invention will be described. FIG. 9 is a plan view showing a main part of the transport system 3, and corresponds to FIG. 2 in the transport system 1 according to the first embodiment. The transport system 3 is applied to the factory 100 shown in FIG.
[0045]
Since the transport system 3 is configured in the same manner as the transport system 1, the same reference numerals in FIG. 9 are assigned and description thereof is omitted, but the transport system 1 is the same as that of the loading / unloading device (18, 19) arranged. The number of installations is different. In the transport system 1, the carry-in / out devices are arranged at four places in total, but in the transport system 1, they are arranged at eight places in total. That is, a carry-in device (18a, 18b) and a carry-out device (19a, 19b) are arranged corresponding to the branch travel path 17, and a carry-in device (18c, 18d) and a carry-out device (19c) are arranged corresponding to the main travel path 12. , 19d). In the transport system 3, similarly to the transport system 1, each carry-in / out device is arranged so that the relationship of L ≦ W ≦ V is established.
[0046]
An example of the carry-in / out process in the transport system 3 is as follows, for example.
(1) The first traveling carriage 13 equipped with the FOUP 20 is guided to the branch traveling path 17, arrives at the position of the carry-in device 18a, and stops.
(2) The second traveling carriage 13 carrying the FOUP 20 is guided to the branch traveling path 17 and arrives at the position of the carry-in device 18b and stops.
(3) The third traveling carriage 13 equipped with the FOUP 20 is guided to the main traveling path 12, arrives at the position of the carry-in device 18c, and stops.
(4) The fourth traveling carriage 13 on which the FOUP 20 is mounted is guided to the main traveling path 12, arrives at the position of the carry-in device 18d, and stops.
(5) The first traveling carriage 13 lowers the FOUP 20 onto the port of the carry-in device 18a.
(6) The second traveling carriage 13 lowers the FOUP 20 onto the port of the carry-in device 18b.
(7) The third traveling carriage 13 lowers the FOUP 20 onto the port of the carry-in device 18c. (8) The fourth traveling carriage 13 lowers the FOUP 20 onto the port of the carry-in device 18d.
(9) The first traveling carriage 13 moves to the position of the carry-out device 19a.
(10) The second traveling carriage 13 moves to the position of the carry-out device 19b.
(11) The third traveling carriage 13 moves to the position of the carry-out device 19c.
(12) The fourth traveling carriage 13 moves to the position of the carry-out device 19d.
(13) The first traveling carriage 13 loads the FOUP 20 on the port of the carry-out device 19a.
(14) The second traveling carriage 13 loads the FOUP 20 on the port of the carry-out device 19b.
(15) The third traveling carriage 13 loads the FOUP 20 on the port of the carry-out device 19c.
(16) The fourth traveling carriage 13 loads the FOUP 20 on the port of the carry-out device 19d.
(17) The fifth traveling carriage 13 stops at the position of the carry-in device 18a.
(18) The sixth traveling carriage 13 stops at the position of the carry-in device 18b.
(19) The seventh traveling carriage 13 stops at the position of the carry-in device 18c.
(20) The eighth traveling carriage 13 stops at the position of the carry-in device 18d. At this time, the maximum number of traveling carts accessing the stocker 14 is eight.
(21) After loading the FOUP 20, the first to eighth traveling carriages 13 sequentially depart from the carry-out devices 19.
[0047]
In the transport system 3 described above, the same operational effects as the transport system 1 can be obtained. In addition, in the transport system 3, eight traveling carriages 13 can simultaneously access and carry out the loading / unloading process, and achieve eight times the processing capacity compared to the case where there is only one loading / unloading port. can do.
[0048]
(Fourth embodiment)
Next, a transport system 4 according to the fourth embodiment of the present invention will be described. FIG. 10 is a plan view showing a main part of the transport system 4, and corresponds to FIG. 2 in the transport system 1 according to the first embodiment. The transport system 4 is applied to, for example, the factory 100 shown in FIG.
[0049]
Since the transport system 4 is configured in the same manner as the transport system 1, the same reference numerals are used in FIG. 10 to omit the description. The difference is that they are provided so as to overlap each other. FIG. 11 shows a cross-sectional view taken along the line XI-XI in FIG. 10. The branch travel path 17 branches downward from the main travel path 12, then passes substantially directly below the main travel path 12, and finally upwards. It extends so as to merge with the main traveling path 12.
[0050]
As shown in FIG. 10, in the conveyance system 4, a lift-structure travel path switching device 50 is provided at a branch point where the branch travel path 17 branches from the main travel path 12, and the branched branch travel path 17 is connected to the main travel path 12. Similarly, lifter-structured travel path switching devices 51 are respectively provided at the junctions where they join. With the travel path switching device 50, it is possible to switch whether the traveling carriage 13 traveling on the main travel path 12 travels on the main travel path 12 as it is or moves to the branch travel path 17 to travel. ing. Further, the traveling carriage 13 that has traveled on the branch traveling path 17 can be returned to the main traveling path 12 by the traveling path switching device 51.
[0051]
The carry-in device 18a and the carry-out device 19a are provided corresponding to the branch travel path 17 located below, and the carry-in device 18b and the carry-out device 19b correspond to the main travel path 12 located above. Is provided. In the transport system 4, similarly to the transport system 1, each carry-in / out device is arranged so that the relationship of L ≦ W ≦ V is established. In this transport system 4 as well, the same effects as the transport system 1 can be achieved.
[0052]
The preferred embodiments of the present invention have been described above. However, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made as long as they are described in the claims. For example, the following modifications can be made.
[0053]
(1) The object to which the transfer system is applied need not be a semiconductor processing factory, and can be applied to various factories. Further, the article to be conveyed does not have to be a semiconductor wafer conveyed with the FOUP, and can be applied to a system for conveying various articles.
[0054]
(2) The branch travel path is not limited to one branching, and may be a plurality of branches branching in stages. For example, the second and third branch travel paths branch on the downstream side where the first branch travel path branches from the main travel path, pass through the vicinity of the stocker, and then in different positions in order toward the downstream side. It may join the main travel path. In this case, a carry-in device and a carry-out device are provided corresponding to the main travel path and each branch travel path, respectively.
[0055]
(3) The number of installations of the carry-in device and the carry-out device is not limited to that described in the embodiment, and can be variously changed and installed as long as it is described in the claims. Moreover, also in the conveyance systems 1-3, a main travel path and a carrying in / out apparatus can also be made into a multistage structure.
[0056]
【The invention's effect】
  As explained above,FirstAccording to the first aspect of the invention, it is possible to carry out an article carry-in / out process from the carry-in means and the carry-out means corresponding to the main travel path and the branch travel path, respectively. For this reason, it is possible to carry out the carry-in / out process separately for the same storage means without interference from the traveling vehicle traveling on the main traveling route and the traveling vehicle traveling on the branch traveling route. In addition, since one or more loading means and unloading means are provided corresponding to each of the main traveling path and the branch traveling path, the loading process and the unloading process are simultaneously performed on the same storage means from the same traveling path. It can be carried out. Therefore, it is possible to suppress the occurrence of a stagnation state of the subsequent traveling carriage due to the carrying-in / out process of the preceding traveling carriage, and to improve the carrying-in / out processing capacity for the storage unit.
[0057]
  FirstAccording to the second aspect of the present invention, it is possible to efficiently arrange the carry-in / out means without causing interference between the carry-in / out means. Further, when carrying-in / out processing is performed with respect to the same storage means with a plurality of traveling carts, no interference occurs between the traveling carts.
[0058]
  FirstAccording to the third aspect of the invention, since the loading / unloading process is preferentially performed via the loading / unloading means corresponding to the branch traveling path rather than the loading / unloading means corresponding to the main traveling path, the main traveling path is in a stagnation state. Can be suppressed.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a layout diagram illustrating a factory to which a transfer system according to a first embodiment of the invention is applied.
FIG. 2 is an enlarged plan view showing a main part of the transport system according to the first embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view taken along line III-III in FIG.
4 is a perspective view showing a carry-in / out device in the transport system shown in FIG. 2 together with a FOUP. FIG.
5 is a block diagram showing a configuration for controlling a FOUP transfer operation by each traveling carriage in the transfer system shown in FIG. 2. FIG.
6 is a block diagram showing the configuration of a transport controller and a traveling carriage shown in FIG.
7 is a timing chart for explaining the operation of the traveling carriage shown in FIG. 3;
FIG. 8 is a plan view showing a main part of a transport system according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 9 is a plan view showing a main part of a transport system according to a third embodiment of the present invention.
FIG. 10 is a plan view showing a main part of a transport system according to a fourth embodiment of the present invention.
11 is a cross-sectional view taken along line XI-XI in FIG.
[Explanation of symbols]
1 Transport system
12 Main road (trajectory in process)
13 Traveling cart
14 Stocker (storage means)
17 branch road
18, 18a, 18b Loading device (loading means)
19, 19a, 19b Unloading device (unloading means)
20 FOUP (article)

Claims

Storage means capable of storing a plurality of articles and arranged one or more;
A plurality of traveling carts carrying and transporting articles carried in or out of the storage means;
A main travel path that is travelable by the travel carriage and forms at least one closed-loop track;
A branch traveling path that is travelable and travels, is branched from the main traveling path, passes near the storage means, and joins the main traveling path;
At least one corresponding to each of the main traveling path and the branched traveling path is provided and connected to the storage means, and an article conveyed by the traveling carriage is placed and the article is carried into the storage means. Carrying means;
One or more corresponding to the main traveling path and the branch traveling path and connected to the storage means, respectively, and an unloading means for unloading the article from the storage means to a position where it can be mounted on the traveling carriage;
With
The traveling carriage has a gripping mechanism for holding the article. When the article is placed on the carrying-in means, the article held by the gripping mechanism is lowered to the gripping mechanism. The held article is released to complete the placement on the carry-in means, the gripping mechanism is wound up, and when the article is mounted from the carry-out means, the gripping mechanism is lowered and held. There line to be incorporated in the traveling carriage by wind and,
When the article is carried in or out, it is not necessary to carry in through the carry-in means or carry-out means provided corresponding to the branch travel path, but via the carry-in means or carry-out means provided corresponding to the main travel path. A transport system further comprising a carry-in / out selection unit for carrying in an article into the storage means or carrying out an article from the storage means or selecting a carry-out means so as to be preferentially carried in or out. .

The traveling carriage moves the traveling carriage to the position of the unloading means without lowering the grasping mechanism after lowering the gripping mechanism and placing the article on the loading means, The conveyance system according to claim 1 , wherein the article is held by the gripping mechanism from means and mounted on the traveling carriage .