KR20190023531A - Transfer apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명의 실시예들은 물건 이송을 위한 이송 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반도체 제조 공정에서 기판 수납 용기와 같은 이송 대상물을 호이스트 모듈을 이용하여 이송하는 이송 장치에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to a transfer device for transferring articles. More particularly, the present invention relates to a transfer device for transferring a transfer object such as a substrate storage container using a hoist module in a semiconductor manufacturing process.
일반적으로, 반도체 또는 디스플레이 장치는 실리콘 웨이퍼 또는 유리 기판과 같은 기판에 대하여 일련의 제조 공정들을 반복적으로 수행함으로써 제조될 수 있다. 예를 들면, 상기 기판 상에 회로 패턴들을 형성하기 위하여 증착, 사진 식각, 산화, 이온 주입, 세정 등의 제조 공정들이 선택적 및/또는 반복적으로 수행될 수 있다.In general, a semiconductor or display device can be manufactured by repeatedly performing a series of manufacturing processes on a substrate such as a silicon wafer or a glass substrate. For example, fabrication processes such as deposition, photolithography, oxidation, ion implantation, cleaning, etc., may be selectively and / or repeatedly performed to form circuit patterns on the substrate.
상기와 같은 제조 공정들은 오염 방지를 위하여 청정도 관리가 이루어지는 클린룸 내에서 수행되며, 상기 제조 공정들 사이에서의 기판 이송은 카세트, 풉(FOUP) 등과 같은 기판 수납 용기를 이용하여 이루어질 수 있다. 예를 들면, 상기 기판 수납 용기는 RGV(Rail Guided Vehicle), OHT(Overhead Hoist Transport) 등과 같은 무인 반송 장치에 의해 상기 제조 공정들 사이에서 이송될 수 있다.Such manufacturing processes are performed in a clean room where cleanliness management is performed to prevent contamination. The substrate transfer between the manufacturing processes may be performed using a substrate storage container such as a cassette, a FOUP, or the like. For example, the substrate storage container may be transported between the manufacturing processes by an unmanned transport device such as an RGV (Rail Guided Vehicle), an OHT (Overhead Hoist Transport), or the like.
상기 OHT 장치는 주행 레일 상에서 이동 가능하게 구성된 주행 모듈과 상기 주행 모듈의 아래에 회전 가능하도록 현수된 호이스트 모듈을 포함할 수 있다. 상기 주행 모듈은 모터를 포함하는 구동부를 이용하여 구동 휠을 회전시킴으로써 상기 주행 레일 상에서 이동할 수 있다. 한편, 상기 반도체 제조 공정이 수행되는 복층의 클린룸들 사이에서 상기 호이스트 모듈의 층간 이동은 수직 방향으로 설치된 OHT 리프트를 이용하거나 낮은 경사도, 예를 들면, 약 6° 내지 8° 정도의 경사도를 갖는 경사 레일을 설치하고 상기 주행 모듈의 추진력을 이용하여 이루어질 수 있다. 또한, 상기 경사 레일은 같은 층 내에서 서로 다른 높이로 설치된 주행 레일들 사이에서의 이동에서도 사용될 수 있다.The OHT device may include a traveling module configured to be movable on a traveling rail and a hoist module suspended to be rotatable below the traveling module. The traveling module can be moved on the traveling rail by rotating the driving wheel using a driving part including a motor. Meanwhile, the interlayer movement of the hoist module between the clean rooms in which the semiconductor manufacturing process is performed may be performed using an OHT lift installed in a vertical direction or a low inclination, for example, an inclination of about 6 ° to 8 ° The inclination rail may be installed and the driving force of the traveling module may be used. The inclined rails can also be used for movement between running rails provided at different heights in the same layer.
그러나, 상기 OHT 리프트를 이용하는 경우 한 대씩만 이동이 가능하므로 이동 속도가 느리고, 상기 경사 레일 상에서 상기 주행 모듈의 자체 추진력을 이용하여 이동하는 경우 상승 및 하강 거리가 길고 또한 주행 모듈을 구성하는 모터의 추진력을 증가시켜야 하는 문제점이 있다.However, in the case of using the OHT lift, the moving speed is low because it is possible to move only one by one. When the OHT lift is moved on the inclined rail by using the own propulsion force of the traveling module, the upward and downward distances are long, There is a problem that the thrust must be increased.
본 발명의 실시예들은 호이스트 모듈을 이용하는 이송 장치에 있어서 서로 다른 높이의 주행 레일들 사이에서 이동 속도를 향상시키고 제조 비용을 절감할 수 있는 이송 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.It is an object of the present invention to provide a conveying apparatus which can improve the moving speed and reduce the manufacturing cost between traveling rails having different heights in a conveying apparatus using a hoist module.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 이송 장치는, 물건 이송을 위한 호이스트 모듈과, 상기 호이스트 모듈의 이동 경로를 제공하는 제1 주행 레일과, 상기 제1 주행 레일과 다른 높이에서 상기 호이스트 모듈의 이동 경로를 제공하는 제2 주행 레일과, 상기 제1 및 제2 주행 레일들 사이를 연결하는 경사 레일과, 상기 호이스트 모듈의 상부에 장착되며 상기 제1 및 제2 주행 레일들 및 상기 경사 레일 상에서 이동 가능하게 구성되는 주행 모듈과, 상기 호이스트 모듈을 상기 경사 레일을 따라 상승 또는 하강시키기 위한 승강 모듈을 포함할 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a conveying apparatus comprising: a hoist module for conveying objects; a first running rail for providing a moving path of the hoist module; A second running rail for providing a moving path of the hoist module, a slope rail connecting between the first and second running rails, and a slope rail mounted on the hoist module, the first and second running rails, A traveling module configured to be movable on an inclined rail, and an elevation module for elevating or lowering the hoist module along the inclined rail.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 승강 모듈은, 상기 경사 레일과 평행하게 구성되는 컨베이어와, 상기 컨베이어에 장착되며 상기 호이스트 모듈의 상승 또는 하강시 상기 호이스트 모듈 또는 상기 주행 모듈을 지지하는 서포트 유닛을 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the elevating module includes a conveyor configured to be parallel to the inclined rail, a support unit mounted on the conveyor and supporting the hoist module or the traveling module when the hoist module is lifted or lowered, . ≪ / RTI >
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 주행 모듈은 전방 주행 유닛과 후방 주행 유닛을 포함하며, 상기 호이스트 모듈의 상승시 상기 서포트 유닛은 상기 후방 주행 유닛의 후방 부위를 지지하고, 상기 호이스트 모듈의 하강시 상기 서포트 유닛은 상기 후방 주행 유닛의 전방 부위를 지지할 수 있다.According to the embodiments of the present invention, the traveling module includes a front driving unit and a rear driving unit, and when the hoist module is lifted, the support unit supports the rear portion of the rear driving unit, The support unit can support the front portion of the rear drive unit.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 서포트 유닛은 상기 호이스트 모듈의 상승 및 하강시 자중에 의한 회전을 방지하기 위해 상기 전방 및 후방 주행 유닛들을 상기 경사 레일 상에 밀착시키는 가압 부재를 더 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the support unit may further include an urging member for urging the front and rear running units on the sloped rail in order to prevent rotation due to self weight when the hoist module is lifted and lowered have.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 컨베이어는 상기 제1 주행 레일의 단부와 평행하게 연장하는 제1 연장부와 상기 제2 주행 레일의 단부와 평행하게 연장하는 제2 연장부를 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the conveyor may include a first extension extending parallel to an end of the first travel rail and a second extension extending parallel to an end of the second travel rail.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 승강 모듈은 상기 제1 연장부 또는 제2 연장부에서 상기 서포트 유닛을 수직 방향으로 이동시키는 구동부를 더 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the elevating module may further include a driving unit for moving the support unit in the vertical direction in the first extending unit or the second extending unit.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 이송 장치는, 상기 제1 연장부와 제2 연장부에 각각 인접하게 배치되며, 상기 제1 주행 레일의 단부 및 상기 제2 주행 레일의 단부 상에 위치된 호이스트 모듈을 검출하기 위한 센서들을 더 포함할 수 있다.According to the embodiments of the present invention, the conveying device is arranged adjacent to the first extending portion and the second extending portion, respectively, and the end portion of the first running rail and the end portion of the second running rail And may further include sensors for detecting the hoist module.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따른 이송 장치는, 물건 이송을 위한 호이스트 모듈과, 상기 호이스트 모듈의 이동 경로를 제공하는 제1 주행 레일과, 상기 제1 주행 레일과 다른 높이에서 상기 호이스트 모듈의 이동 경로를 제공하는 제2 주행 레일과, 상기 호이스트 모듈의 상부에 장착되며 상기 제1 및 제2 주행 레일들 상에서 이동 가능하게 구성되는 주행 모듈과, 상기 제1 주행 레일의 단부와 상기 제2 주행 레일의 단부 사이에서 상기 호이스트 모듈을 경사진 방향으로 상승 또는 하강시키기 위한 승강 모듈을 포함할 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a conveying apparatus comprising: a hoist module for conveying objects; a first running rail for providing a moving path of the hoist module; A traveling module mounted on the hoist module and configured to be movable on the first and second traveling rails; and a traveling module mounted on the upper part of the hoist module, And an elevation module for raising or lowering the hoist module in the inclined direction between the ends of the second travel rails.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 승강 모듈은, 상기 경사 레일과 평행하게 구성되는 컨베이어와, 상기 컨베이어에 장착되며 상기 호이스트 모듈의 상승 또는 하강시 상기 호이스트 모듈을 픽업하기 위한 픽업 유닛을 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the elevating module includes a conveyor configured to be parallel with the tilt rails, and a pick-up unit mounted on the conveyor and picking up the hoist module when the hoist module is lifted or lowered .
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 컨베이어는 상기 제1 주행 레일의 단부와 평행하게 연장하는 제1 연장부와 상기 제2 주행 레일의 단부와 평행하게 연장하는 제2 연장부를 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the conveyor may include a first extension extending parallel to an end of the first travel rail and a second extension extending parallel to an end of the second travel rail.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 이송 장치는 상기 제1 연장부와 제2 연장부에 각각 인접하게 배치되며, 상기 제1 주행 레일의 단부 및 상기 제2 주행 레일의 단부 상에 위치된 호이스트 모듈을 검출하기 위한 센서들을 더 포함할 수 있다.According to the embodiments of the present invention, the conveying device is disposed adjacent to the first extending portion and the second extending portion, respectively, and the end of the first running rail and the hoist located on the end of the second running rail And may further include sensors for detecting the module.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 호이스트 모듈은 수평 상태가 유지되도록 상기 픽업 유닛에 의해 현수된 상태에서 상기 컨베이어에 의해 상승 또는 하강될 수 있다.According to the embodiments of the present invention, the hoist module can be raised or lowered by the conveyor in a suspended state by the pick-up unit so that the horizontal state is maintained.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 이송 장치는, 물건 이송을 위한 호이스트 모듈과, 상기 호이스트 모듈의 이동 경로를 제공하는 제1 주행 레일과, 상기 제1 주행 레일과 다른 높이에서 상기 호이스트 모듈의 이동 경로를 제공하는 제2 주행 레일과, 상기 호이스트 모듈의 상부에 장착되며 상기 제1 및 제2 주행 레일들 상에서 이동 가능하게 구성되는 주행 모듈과, 상기 제1 주행 레일의 단부와 상기 제2 주행 레일의 단부 사이에서 상기 호이스트 모듈을 경사진 방향으로 상승 또는 하강시키기 위한 승강 모듈을 포함할 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, the conveying device includes a hoist module for conveying objects, a first running rail for providing a moving path of the hoist module, A traveling module mounted on an upper portion of the hoist module and configured to be movable on the first and second traveling rails; a second traveling rail provided on an end of the first traveling rail, And an elevation module for raising or lowering the hoist module in the inclined direction between the ends of the second traveling rail.
상기 승강 모듈은 상기 제1 및 제2 주행 레일들 사이를 연결하는 경사 레일을 따라 상기 호이스트 모듈을 상승 또는 하강시킬 수 있으며, 또한 이와 다르게 현수 방식으로 상기 호이스트 모듈을 상승 또는 하강시킬 수 있다. 특히, 상기 승강 모듈은 복수의 호이스트 모듈들을 연속적으로 이동시키기 위해 컨베이어 상에 복수의 서포트 유닛들 또는 복수의 픽업 유닛들을 장착할 수 있으며, 이에 따라 종래의 OHT 리프트보다 빠른 속도로 호이스트 모듈들을 층간 이동시킬 수 있다.The elevating module can raise or lower the hoist module along a slope rail connecting between the first and second running rails, or alternatively can raise or lower the hoist module in a suspended manner. In particular, the elevating module can mount a plurality of support units or a plurality of pick-up units on the conveyor to continuously move the plurality of hoist modules, thereby moving the hoist modules at a higher speed than the conventional OHT lift .
또한, 상기 승강 모듈은 컨베이어를 이용하여 상기 호이스트 모듈을 이동시킬 수 있다. 즉, 상기 주행 모듈 자체의 추진력을 이용하여 층간 이동하는 종래 기술과 비교하여 상기 주행 모듈의 추진력을 크게 상승시킬 필요가 없으므로 상기 이송 장치의 제조 비용이 크게 감소될 수 있다. 추가적으로, 종래 기술과 비교하여 상기 경사 레일의 경사도를 상대적으로 높게 구성할 수 있으므로 상기 호이스트 모듈들의 층간 이동 속도를 더욱 향상시킬 수 있다.Also, the hoist module can be moved using the conveyor. In other words, since the driving force of the traveling module is not required to be significantly increased as compared with the prior art in which the traveling module itself moves using the driving force, the manufacturing cost of the transportation device can be greatly reduced. In addition, since the inclination of the inclined rail can be relatively higher than that of the conventional art, the inter-layer moving speed of the hoist modules can be further improved.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 호이스트 모듈과 주행 모듈을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 3 내지 도 5는 도 1에 도시된 서포트 유닛과 주행 모듈의 결합 과정을 설명하기 위한 개략도들이다.
도 6 및 도 7은 도 1에 도시된 서포트 유닛과 주행 모듈의 결합 해제 과정을 설명하기 위한 개략도들이다.
도 8은 도 1에 도시된 호이스트 모듈의 하강을 설명하기 위한 개략도이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 10은 도 9에 도시된 픽업 유닛을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.FIG. 1 is a schematic diagram for explaining a conveying apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic diagram for explaining the hoist module and the traveling module shown in FIG. 1; FIG.
FIGS. 3 to 5 are schematic views for explaining a process of combining the support unit and the travel module shown in FIG. 1. FIG.
FIGS. 6 and 7 are schematic views for explaining a process of unlinking the support unit and the travel module shown in FIG. 1. FIG.
8 is a schematic view for explaining the descent of the hoist module shown in Fig.
FIG. 9 is a schematic structural view illustrating a transfer device according to another embodiment of the present invention.
Fig. 10 is a schematic diagram for explaining the pickup unit shown in Fig. 9. Fig.
이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention should not be construed as limited to the embodiments described below, but may be embodied in various other forms. The following examples are provided so that those skilled in the art can fully understand the scope of the present invention, rather than being provided so as to enable the present invention to be fully completed.
본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.In the embodiments of the present invention, when one element is described as being placed on or connected to another element, the element may be disposed or connected directly to the other element, . Alternatively, if one element is described as being placed directly on another element or connected, there can be no other element between them. The terms first, second, third, etc. may be used to describe various items such as various elements, compositions, regions, layers and / or portions, but the items are not limited by these terms .
본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.The terminology used in the embodiments of the present invention is used for the purpose of describing specific embodiments only, and is not intended to be limiting of the present invention. Furthermore, all terms including technical and scientific terms have the same meaning as will be understood by those skilled in the art having ordinary skill in the art, unless otherwise specified. These terms, such as those defined in conventional dictionaries, shall be construed to have meanings consistent with their meanings in the context of the related art and the description of the present invention, and are to be interpreted as being ideally or externally grossly intuitive It will not be interpreted.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.Embodiments of the present invention are described with reference to schematic illustrations of ideal embodiments of the present invention. Thus, changes from the shapes of the illustrations, e.g., changes in manufacturing methods and / or tolerances, are those that can be reasonably expected. Accordingly, the embodiments of the present invention should not be construed as being limited to the specific shapes of the regions described in the drawings, but include deviations in the shapes, and the elements described in the drawings are entirely schematic and their shapes Is not intended to describe the exact shape of the elements and is not intended to limit the scope of the invention.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이며, 도 2는 도 1에 도시된 호이스트 모듈과 주행 모듈을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.FIG. 1 is a schematic structural view for explaining a conveying apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic diagram for explaining a hoist module and a traveling module shown in FIG.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 물건 이송을 위한 이송 장치(100)는 반도체 또는 디스플레이 제조 공정에서 웨이퍼, 리드 프레임, 트레이, 글래스 기판 등과 같은 다양한 이송 대상물(10)을 호이스트를 이용하여 이송하기 위해 사용될 수 있다. 특히, 상기 이송 장치(100)는 물건 이송을 위한 호이스트 모듈(110)을 포함할 수 있으며, 상기 호이스트 모듈(110)은 상기 반도체 제조 공정이 수행되는 클린룸의 천장 부위에 배치된 주행 레일 상에서 이동 가능하게 구성될 수 있다.1 and 2, a
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 이송 장치(100)는, 상기 호이스트 모듈(110)의 이동 경로를 제공하는 제1 주행 레일(120)과, 상기 제1 주행 레일(120)과 다른 높이에서 상기 호이스트 모듈(110)의 이동 경로를 제공하는 제2 주행 레일(130)을 포함할 수 있다. 예를 들면, 복층으로 구성되는 클린룸들 내에서 하층에 제1 주행 레일(120)이 배치되고 상층에 제2 주행 레일(130)이 배치될 수 있으며, 상기와 다르게, 동일한 층 내에서 서로 다른 높이를 갖는 제1 주행 레일과 제2 주행 레일이 설치될 수 있다. 상기 이송 장치(100)는, 상기 호이스트 모듈(110)의 층간 이동 또는 서로 다른 높이를 갖는 레일들 사이에서의 이동을 위해 상기 제1 주행 레일(120)과 제2 주행 레일(130) 사이를 연결하는 경사 레일(125)과, 상기 호이스트 모듈(110)의 상부에 장착되며 상기 제1 및 제2 주행 레일들(120, 130) 및 상기 경사 레일(125) 상에서 이동 가능하게 구성되는 주행 모듈(140)을 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the conveying
상기 주행 모듈(140)은 전방 주행 유닛(142)과 후방 주행 유닛(144)을 포함할 수 있으며, 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 전방 및 후방 주행 유닛들(142, 144)은 모터와 같은 구동 기구를 이용하여 구동 휠들(146)을 회전시킴으로써 상기 제1 및 제2 주행 레일들(120, 130) 상에서 이동할 수 있다. 아울러, 상기 전방 및 후방 주행 유닛들(142, 144)은 회전축을 통해 상기 호이스트 모듈(110)의 상부에 각각 회전 가능하도록 장착될 수 있으며, 도시되지는 않았으나, 상기 전방 및 후방 주행 유닛들(142, 144)은, 곡선 경로와 직선 경로가 분기되는 지점에서 조향을 위한 조향 롤러들과, 주행 경로 이탈을 방지하기 위한 가이드 롤러들을 포함하여 다양한 요소들을 추가적으로 구비할 수 있다.The
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 이송 장치(100)는 층간 이동 또는 레일간 이동을 위해 상기 호이스트 모듈(110)을 상기 경사 레일(125)을 따라 상승 또는 하강시키기 위한 승강 모듈(150)을 포함할 수 있다. 일 예로서, 상기 승강 모듈(150)은 상기 호이스트 모듈(110)을 견인 방식으로 상기 경사 레일(125)을 따라 상승 또는 하강시킬 수 있다. 상기 승강 모듈(150)은, 상기 경사 레일(125)과 평행하게 배치되는 컨베이어(152)와, 상기 컨베이어(152)에 장착되며 상기 호이스트 모듈(110)의 상승 및 하강시 상기 호이스트 모듈(110) 또는 상기 주행 모듈(140)을 지지하는 서포트 유닛(160)을 포함할 수 있다. 특히, 상기 승강 모듈(150)은 상기 컨베이어(152)에 장착된 복수의 서포트 유닛들(160)을 포함할 수 있으며, 상기 복수의 서포트 유닛들(160)을 이용하여 복수의 호이스트 모듈들(110)을 연속적으로 상승 또는 하강시킬 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the
상기 컨베이어(152)는 상기 서포트 유닛(160)과 상기 주행 모듈(140)과의 결합 및 해제를 위한 제1 연장부(156)와 제2 연장부(158)를 구비할 수 있으며, 상기 서포트 유닛들(160)은 각각 구동부(170; 도 3 참조)에 의해 수직 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 예를 들면, 상기 컨베이어(152)는 도 1에 도시된 바와 같이 상기 경사 레일(125)과 평행하게 구성되는 경사부(154)와, 상기 제1 주행 레일(120)의 단부와 평행하게 구성되는 제1 연장부(156) 및 상기 제2 주행 레일(130)과 평행하게 구성되는 제2 연장부(158)를 구비할 수 있다. 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 제1 연장부(156)와 상기 경사부(154) 및 상기 제2 연장부(158) 사이에는 경로 변경을 위한 아이들 롤러들이 배치될 수 있다.The
도 3 내지 도 5는 도 1에 도시된 서포트 유닛과 주행 모듈의 결합 과정을 설명하기 위한 개략도들이며, 도 6 및 도 7은 도 1에 도시된 서포트 유닛과 주행 모듈의 결합 해제 과정을 설명하기 위한 개략도들이다.FIGS. 3 to 5 are schematic views for explaining a process of combining the support unit and the travel module shown in FIG. 1, and FIGS. 6 and 7 are views for explaining a process of unlinking the support unit and the travel module shown in FIG. These are schematic diagrams.
도 3 내지 도 5를 참조하면, 상기 호이스트 모듈(110)은 상기 주행 모듈(140)에 의해 상기 제1 주행 레일(120)의 단부 상으로 이동될 수 있으며, 상기 서포트 유닛(160)은 상기 컨베이어(152)에 의해 상기 제1 주행 레일(120)의 단부 상에 위치된 주행 모듈(110)의 상부에 위치될 수 있다.3 to 5, the hoist
상기 서포트 유닛(160)은 상기 호이스트 모듈(110)의 상승 또는 하강시 상기 주행 모듈(140)을 지지하기 위한 서포트 부재(162, 164)를 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 서포트 유닛(160)은 상기 호이스트 모듈(110)의 상승시 상기 후방 주행 유닛(144)의 후방 부위를 지지하기 위한 제1 서포트 부재(162)와 상기 호이스트 모듈(110)의 하강시 상기 후방 주행 유닛(144)의 전방 부위를 지지하기 위한 제2 서포트 부재(164)를 포함할 수 있다.The
상기 서포트 유닛(160)은 상기 구동부(170)에 의해 상기 제1 주행 레일(120)의 단부 상에 위치된 주행 모듈(110)을 향해 하강될 수 있다. 이때, 상기 제1 서포트 부재(162)와 제2 서포트 부재(164)는 상기 후방 주행 유닛(144)의 후방 부위와 전방 부위에 각각 인접하도록 하강될 수 있다.The
이어서, 도 5에 도시된 바와 같이 상기 컨베이어(152)의 동작에 의해 상기 후방 주행 유닛(144)의 후방 부위가 상기 제1 서포트 부재(162)에 의해 지지될 수 있으며, 이에 의해 상기 주행 모듈(140)과 상기 호이스트 모듈(110)이 상기 경사 레일(125)을 따라 상승될 수 있다. 이때, 상기 전방 및 후방 주행 유닛들(142, 144)의 구동 휠들은 아이들 상태로 전환될 수 있으며, 이에 따라 상기 전방 및 후방 주행 유닛들(142, 144)의 추진력이 아닌 상기 컨베이어(152)의 동작에 의한 상승이 이루어질 수 있다.5, the rear portion of the
또한, 상기 서포트 유닛(160)은 상기 호이스트 모듈(110)의 상승시 상기 호이스트 모듈(110)의 자중에 의해 상기 호이스트 모듈(110)이 회전되는 것을 방지하기 위하여 상기 전방 및 후방 주행 유닛들(142, 144)을 상기 경사 레일(125) 상에 밀착시키는 가압 부재(166)를 구비할 수 있다. 상기 가압 부재(166)는 상기 구동부(170)에 의해 상기 제1 및 제2 서포트 부재들(162, 164)과 함께 수직 방향으로 이동될 수 있다. 도시된 바에 의하면, 상기 가압 부재(166)가 매우 개략적으로 도시되고 있으나, 상기 가압 부재(166)는 상기 전방 및 후방 주행 유닛들(142, 144)의 구조에 따라 형상 변경이 가능하므로 상기 가압 부재(166)의 도시된 형상에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.In order to prevent the hoist
도 6에 도시된 바와 같이 상기 호이스트 모듈(110)이 상기 제2 주행 레일(130)의 단부 상에 도착된 후 도 7에 도시된 바와 같이 상기 서포트 유닛(160)이 상기 구동부(170)에 의해 상승될 수 있으며, 이에 따라 상기 서포트 유닛(160)과 상기 주행 모듈(140) 사이의 결합이 해제될 수 있다. 이어서, 상기 호이스트 모듈(110)은 상기 주행 모듈(140)의 추진력에 의해 상기 제2 주행 레일(130)을 따라 이동될 수 있다.6, after the hoist
한편, 도시되지는 않았으나, 상기 이송 장치(100)는 상기 제1 연장부(156) 및 제2 연장부(158)에 각각 인접하도록 배치되며 상기 제1 주행 레일(120)의 단부 및 상기 제2 주행 레일(130)의 단부 상에 위치된 호이스트 모듈(110)을 검출하기 위한 센서들(미도시)을 더 포함할 수 있다. 아울러, 상기 센서들에 의해 상기 호이스트 모듈(110)이 검출되는 경우 상기 호이스트 모듈(110)과 승강 모듈(150)의 동작을 제어하기 위한 제어부(미도시)를 더 포함할 수 있다.Although not shown in the drawing, the conveying
예를 들면, 상기 제1 주행 레일(120)의 단부 상에 상기 호이스트 모듈(110)이 도착된 경우 상기 센서에 의해 상기 호이스트 모듈(110)이 검출될 수 있으며, 상기 호이스트 모듈(110)은 상기 제1 주행 레일(120)의 단부 상에 일시 정지될 수 있으며, 상기 승강 모듈(150)은 상기 호이스트 모듈(110)이 상기 서포트 유닛(160)에 의해 지지되도록 상기 서포트 유닛(160)을 동작시킬 수 있다. 또한, 상기 호이스트 모듈(110)이 상기 승강 모듈(150)에 의해 상기 제2 주행 레일(130)의 단부 상에 도착된 경우 상기 센서에 의해 상기 호이스트 모듈(110)이 검출될 수 있으며, 상기 컨베이어(152)의 동작이 일시 정지될 수 있다. 이어서, 상기 서포트 유닛(160)과 상기 호이스트 모듈(110)의 결합이 해제될 수 있다. 상기 제어부는 상기 센서들의 신호값들에 따라 상기와 같이 호이스트 모듈(110)과 상기 승강 모듈(150)의 동작을 제어할 수 있다. The hoist
또한, 상기 제어부는 상기 제1 주행 레일(120) 및 제2 주행 레일(130) 상의 다른 호이스트 모듈들과의 충돌을 방지할 수 있도록 상기 호이스트 모듈(110) 및 상기 승강 모듈(150)의 동작을 제어할 수 있다.The controller may control the operation of the hoist
도 8은 도 1에 도시된 호이스트 모듈의 하강을 설명하기 위한 개략도이다.8 is a schematic view for explaining the descent of the hoist module shown in Fig.
도 8을 참조하면, 상기 서포트 유닛(160)은 상기 구동부(170)에 의해 상기 제2 주행 모듈(130)의 단부 상에 위치된 호이스트 모듈(110) 상의 주행 모듈(140)과 결합될 수 있다. 구체적으로, 상기 제1 서포트 부재(162)와 제2 서포트 부재(164)는 상기 구동부(170)에 의해 상기 후방 주행 유닛(144)의 후방 부위와 전방 부위에 각각 인접하도록 하강될 수 있으며, 상기 컨베이어 벨트(152)의 동작에 의해 상기 경사 레일(125) 상에서 하강될 수 있다. 이때, 상기 후방 주행 유닛(144)의 전방 부위가 상기 제2 서포트 부재(164)에 의해 지지될 수 있으며, 아울러 상기 가압 부재(166)에 의해 상기 전방 및 후방 주행 유닛들(142, 144)이 상기 경사 레일(125) 상에 밀착될 수 있다.8, the
한편, 상기에서는 상기 서포트 유닛(160)이 상기 주행 모듈(140)을 지지하고 있으나, 상기와 다르게 상기 호이스트 모듈(110)을 직접 지지하도록 구성될 수도 있다.Meanwhile, although the
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이며, 도 10은 도 9에 도시된 픽업 유닛을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.FIG. 9 is a schematic structural view for explaining a conveyance apparatus according to another embodiment of the present invention, and FIG. 10 is a schematic structural view for explaining the pick-up unit shown in FIG.
도 9 및 도 10을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송 장치(100)는, 물건 이송을 위한 호이스트 모듈(110)과, 상기 호이스트 모듈(110)의 이동 경로를 제공하는 제1 주행 레일(120)과, 상기 제1 주행 레일(120)과 다른 높이에서 상기 호이스트 모듈(110)의 이동 경로를 제공하는 제2 주행 레일(130)과, 상기 호이스트 모듈(110)의 상부에 장착되며 상기 제1 및 제2 주행 레일들(120, 130) 상에서 이동 가능하게 구성되는 주행 모듈(140)과, 상기 제1 주행 레일(120)의 단부와 상기 제2 주행 레일(130)의 단부 사이에서 상기 호이스트 모듈(110)을 경사진 방향으로 상승 또는 하강시키기 위한 승강 모듈(180)을 포함할 수 있다.9 and 10, a
상기 호이스트 모듈(110)과 상기 제1 및 제2 주행 레일들(120, 130) 및 상기 주행 모듈(140)은 도 1 및 도 2를 참조하여 기 설명된 바와 실질적으로 동일하므로 이들에 대한 추가적인 설명은 생략한다.1 and 2, the hoist
상기 승강 모듈(180)은, 도시된 바와 같이 경사진 방향으로 배치된 컨베이어(182)와, 상기 컨베이어(182)에 장착되며 상기 호이스트 모듈(110)의 상승 또는 하강시 상기 호이스트 모듈(110)을 픽업하기 위한 픽업 유닛(190)을 포함할 수 있다. 상기 컨베이어(182)는 도 1을 참조하여 기 설명된 바와 유사하게 상기 경사진 방향으로 연장하는 경사부(184)와, 상기 제1 주행 레일(120)과 평행하게 연장하는 제1 연장부(186)와 상기 제2 주행 레일(130)과 평행하게 연장하는 제2 연장부(188)를 포함할 수 있다.The lifting and lowering
상기 호이스트 모듈(110)은 상승 또는 하강시 수평 상태가 유지되도록 상기 픽업 유닛(190)에 의해 현수된 상태에서 상기 컨베이어(180)에 의해 이송될 수 있다. 예를 들면, 상기 픽업 유닛(190)은 상기 호이스트 모듈(110)을 픽업하기 위한 피커(192)를 포함할 수 있으며, 벨트(194) 등을 이용하는 호이스트 방식으로 상기 피커(192)를 상하 이동시킬 수 있다. 이때, 상기 피커(192)는 그리퍼 형태로 구성될 수 있으며, 상기 호이스트 모듈(110)에는 상기 피커(192)에 의한 파지가 가능하도록 걸림 부재(112)가 구비될 수 있다.The hoist
그러나, 상기 피커(192)와 걸림 부재(112)의 구성은 다양하게 변경 가능하므로 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다. 예를 들면, 상기 피커(192)는 후크 형태를 가질 수도 있으며, 상기 걸림 부재(112)는 상기 후크 형태의 피커(192)와 대응하도록 구성될 수 있다. 또한, 상기 픽업 유닛(190)은 상승 및 하강시 상기 호이스트 모듈(110)이 수평 상태로 유지되도록 하는 현수 방식이 구현되도록 다양한 형태로 구성될 수 있으므로 상기 픽업 유닛(190) 자체의 구성에 의해 본 발명의 범위가 제한되지도 않을 것이다.However, the configurations of the
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 이송 장치(100)는, 물건 이송을 위한 호이스트 모듈(110)과, 상기 호이스트 모듈(110)의 이동 경로를 제공하는 제1 주행 레일(120)과, 상기 제1 주행 레일(110)과 다른 높이에서 상기 호이스트 모듈(110)의 이동 경로를 제공하는 제2 주행 레일(120)과, 상기 호이스트 모듈(110)의 상부에 장착되며 상기 제1 및 제2 주행 레일들(110, 120) 상에서 이동 가능하게 구성되는 주행 모듈(140)과, 상기 제1 주행 레일(110)의 단부와 상기 제2 주행 레일(120)의 단부 사이에서 상기 호이스트 모듈(110)을 경사진 방향으로 상승 또는 하강시키기 위한 승강 모듈(150, 180)을 포함할 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, the
상기 승강 모듈(150, 180)은 상기 제1 및 제2 주행 레일들(110, 120) 사이를 연결하는 경사 레일(125)을 따라 상기 호이스트 모듈(110)을 상승 또는 하강시킬 수 있으며, 또한 이와 다르게 현수 방식으로 상기 호이스트 모듈(110)을 상승 또는 하강시킬 수 있다. 특히, 상기 승강 모듈(150, 180)은 복수의 호이스트 모듈들(110)을 연속적으로 이동시키기 위해 컨베이어(152, 182) 상에 복수의 서포트 유닛들(160) 또는 복수의 픽업 유닛들(190)을 장착할 수 있으며, 이에 따라 종래의 OHT 리프트보다 빠른 속도로 호이스트 모듈들(110)을 상기 제1 및 제2 주행 레일들(110, 120) 사이에서 이동시킬 수 있다.The hoist
또한, 상기 승강 모듈(150, 180)은 컨베이어(152, 182)를 이용하여 상기 호이스트 모듈(110)을 이동시킬 수 있다. 즉, 상기 주행 모듈(140) 자체의 추진력을 이용하여 층간 이동하는 종래 기술과 비교하여 상기 주행 모듈(140)의 추진력을 크게 상승시킬 필요가 없으므로 상기 이송 장치(100)의 제조 비용이 크게 감소될 수 있다. 추가적으로, 종래 기술과 비교하여 상기 경사 레일(125)의 경사도를 상대적으로 높게 구성할 수 있으므로 상기 호이스트 모듈들(110)의 층간 이동 속도를 더욱 향상시킬 수 있다.Also, the hoist
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as defined in the following claims. It will be understood.
100 : 이송 장치
110 : 호이스트 모듈
120 : 제1 주행 레일
125 : 경사 레일
130 : 제2 주행 레일
140 : 주행 모듈
142 : 전방 주행 유닛
144 : 후방 주행 유닛
146 : 구동 휠
150 : 승강 모듈
152 : 컨베이어
154 : 경사부
156 : 제1 연장부
158 : 제2 연장부
160 : 서포트 유닛
162 : 제1 서포트 부재
164 : 제2 서포트 부재
166 : 가압 부재
170 : 구동부
180 : 컨베이어
190 : 픽업 유닛
192 : 피커100: Feeding device 110: Hoist module
120: first running rail 125: inclined rail
130: second traveling rail 140: traveling module
142: front drive unit 144: rear drive unit
146: drive wheel 150: lift module
152: Conveyor 154:
156: first extension part 158: second extension part
160: Support unit 162: First support member
164: second support member 166: pressing member
170: Driving unit 180: Conveyor
190 pick-up
Claims (12)
상기 호이스트 모듈의 이동 경로를 제공하는 제1 주행 레일;
상기 제1 주행 레일과 다른 높이에서 상기 호이스트 모듈의 이동 경로를 제공하는 제2 주행 레일;
상기 제1 및 제2 주행 레일들 사이를 연결하는 경사 레일;
상기 호이스트 모듈의 상부에 장착되며 상기 제1 및 제2 주행 레일들 및 상기 경사 레일 상에서 이동 가능하게 구성되는 주행 모듈; 및
상기 호이스트 모듈을 상기 경사 레일을 따라 상승 또는 하강시키기 위한 승강 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.A hoist module for transporting goods;
A first running rail for providing a movement path of the hoist module;
A second travel rail for providing a travel path of the hoist module at a height different from that of the first travel rail;
An inclined rail connecting between the first and second running rails;
A traveling module mounted on the hoist module and configured to be movable on the first and second traveling rails and the inclined rail; And
And an elevation module for elevating or lowering the hoist module along the inclined rail.
상기 경사 레일과 평행하게 구성되는 컨베이어; 및
상기 컨베이어에 장착되며 상기 호이스트 모듈의 상승 또는 하강시 상기 호이스트 모듈 또는 상기 주행 모듈을 지지하는 서포트 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The elevator module of claim 1,
A conveyor configured parallel to the tilt rails; And
And a support unit mounted on the conveyor and supporting the hoist module or the traveling module when the hoist module is lifted or lowered.
상기 호이스트 모듈의 상승시 상기 서포트 유닛은 상기 후방 주행 유닛의 후방 부위를 지지하고,
상기 호이스트 모듈의 하강시 상기 서포트 유닛은 상기 후방 주행 유닛의 전방 부위를 지지하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.3. The hybrid vehicle according to claim 2, wherein the traveling module includes a front running unit and a rear running unit,
The support unit supports the rear portion of the rear drive unit when the hoist module is lifted,
And the support unit supports the front portion of the rear drive unit when the hoist module is lowered.
상기 호이스트 모듈의 이동 경로를 제공하는 제1 주행 레일;
상기 제1 주행 레일과 다른 높이에서 상기 호이스트 모듈의 이동 경로를 제공하는 제2 주행 레일;
상기 호이스트 모듈의 상부에 장착되며 상기 제1 및 제2 주행 레일들 상에서 이동 가능하게 구성되는 주행 모듈; 및
상기 제1 주행 레일의 단부와 상기 제2 주행 레일의 단부 사이에서 상기 호이스트 모듈을 경사진 방향으로 상승 또는 하강시키기 위한 승강 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.A hoist module for transporting goods;
A first running rail for providing a movement path of the hoist module;
A second travel rail for providing a travel path of the hoist module at a height different from that of the first travel rail;
A traveling module mounted on the hoist module and configured to be movable on the first and second traveling rails; And
And a lift module for raising or lowering the hoist module in an inclined direction between an end of the first running rail and an end of the second running rail.
상기 경사 레일과 평행하게 구성되는 컨베이어; 및
상기 컨베이어에 장착되며 상기 호이스트 모듈의 상승 또는 하강시 상기 호이스트 모듈을 픽업하기 위한 픽업 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The elevator system of claim 8,
A conveyor configured parallel to the tilt rails; And
And a pick-up unit mounted on the conveyor and picking up the hoist module when the hoist module is lifted or lowered.
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