KR20210069373A - Apparatus for transporting carrier and system for transporting carrier with the apparatus - Google Patents

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Abstract

Provided are a carrier transfer device and a carrier transfer system with the same which can reduce vibration generated in case of stop by applying multi-stage deceleration such as two-stage deceleration and the like in case of stop. The carrier transfer system comprises: a first carrier transfer device for transporting a carrier in which a plurality of substrates are accommodated; a second carrier transfer device positioned on a movement path of the first carrier transfer device; and a transfer body control device for controlling the first carrier transfer device and the second carrier transfer device. The first carrier transfer device decelerates at a deceleration smaller than an average deceleration in a final deceleration section among a plurality of deceleration sections when the first carrier transfer device stops to prevent a collision with the second carrier transfer device.

Description

캐리어 이송 장치 및 이를 구비하는 캐리어 이송 시스템 {Apparatus for transporting carrier and system for transporting carrier with the apparatus}Carrier transport device and carrier transport system having the same {Apparatus for transporting carrier and system for transporting carrier with the apparatus}

본 발명은 캐리어를 이송하는 장치 및 이를 구비하는 시스템에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 웨이퍼와 같은 기판이 수납된 캐리어를 이송하는 장치 및 이를 구비하는 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for transporting a carrier and a system having the same. More particularly, it relates to an apparatus for transporting a carrier in which a substrate such as a wafer is accommodated, and a system having the same.

웨이퍼(wafer)는 반도체 소자 제조 라인을 구비한 클린 룸(clean room) 내에서 다양한 공정을 거쳐 제조될 수 있다. 이때 웨이퍼는 FOUP(Front Opening Unified Pod)에 수납되어, 클린 룸의 천장에 배치되는 OHT(Overhead Hoist Transport)를 통해 각각의 공정이 수행되는 설비로 반송될 수 있다.A wafer may be manufactured through various processes in a clean room equipped with a semiconductor device manufacturing line. At this time, the wafer may be accommodated in a Front Opening Unified Pod (FOUP) and transported to a facility where each process is performed through an Overhead Hoist Transport (OHT) disposed on the ceiling of the clean room.

한국공개특허 제10-2019-0023531호 (공개일: 2019.03.08.)Korean Patent Publication No. 10-2019-0023531 (published date: 2019.03.08.)

OHT의 주행 성능 중 가장 눈에 띄는 항목은 정지 성능이다. 그런데, OHT는 토크에 비해 무게가 무겁기 때문에, 비선형 특성이 강한 측면이 있다. 따라서 OHT가 정지 완료 후에 출렁이는 모습을 쉽게 확인할 수 있다.The most notable item of OHT's driving performance is its stopping performance. However, OHT has a strong non-linear characteristic because it has a heavy weight compared to the torque. Therefore, it is easy to see how the OHT fluctuates after the stop is completed.

OHT의 이러한 정지시 출렁임은 캐리어에 수납된 웨이퍼에도 충격을 주기 때문에, 웨이퍼가 손상되는 문제를 야기할 수 있다.Since the oscillation when the OHT is stopped also impacts the wafer accommodated in the carrier, it may cause a problem that the wafer is damaged.

본 발명에서 해결하고자 하는 과제는, 정지할 때에 2단 감속 등의 다단 감속을 적용하여 정지함으로써 정지시 발생되는 진동을 개선할 수 있는 캐리어 이송 장치를 제공하는 것이다.An object to be solved by the present invention is to provide a carrier transport device capable of improving vibration generated during stop by applying multi-stage deceleration such as two-stage deceleration when stopping to stop.

또한 본 발명에서 해결하고자 하는 과제는, 정지할 때에 2단 감속 등의 다단 감속을 적용하여 정지함으로써 정지시 발생되는 진동을 개선할 수 있는 캐리어 이송 장치를 구비하는 캐리어 이송 시스템을 제공하는 것이다.In addition, the problem to be solved by the present invention is to provide a carrier transport system having a carrier transport device capable of improving vibration generated during stopping by applying multi-stage deceleration, such as two-stage deceleration, when stopping.

본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems of the present invention are not limited to the problems mentioned above, and other problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 캐리어 이송 시스템의 일 면(aspect)은, 복수 개의 기판이 수납된 캐리어를 운반하는 제1 캐리어 이송 장치; 상기 제1 캐리어 이송 장치의 이동 경로 상에 위치하는 제2 캐리어 이송 장치; 및 상기 제1 캐리어 이송 장치 및 상기 제2 캐리어 이송 장치를 제어하는 이송체 제어 장치를 포함하며, 상기 제1 캐리어 이송 장치는 상기 제2 캐리어 이송 장치와의 충돌을 방지하기 위해 정지할 때, 복수 개의 감속 구간 중 최종 감속 구간에서 평균 감속도보다 작은 감속도로 감속한다.One aspect of the carrier transport system of the present invention for achieving the above object includes: a first carrier transport device for transporting a carrier in which a plurality of substrates are accommodated; a second carrier transport device positioned on a movement path of the first carrier transport device; and a transport control device for controlling the first carrier transport device and the second carrier transport device, wherein the first carrier transport device stops to prevent collision with the second carrier transport device. In the last deceleration section among the four deceleration sections, it decelerates at a deceleration rate smaller than the average deceleration rate.

상기 이송체 제어 장치는 상기 제1 캐리어 이송 장치와 상기 제2 캐리어 이송 장치 간 거리 정보를 기초로 상기 제1 캐리어 이송 장치의 평균 감속도를 산출하며, 각각의 감속 구간에 대해 구간별 감속도를 조절하여, 상기 최종 감속 구간에서의 감속도가 상기 평균 감속도보다 작은 값을 가지도록 할 수 있다.The conveying body control device calculates the average deceleration of the first carrier conveying device based on the distance information between the first carrier conveying device and the second carrier conveying device, and determines the deceleration for each section for each deceleration section. By adjusting, the deceleration in the final deceleration section may have a value smaller than the average deceleration.

상기 이송체 제어 장치는 상기 제1 캐리어 이송 장치 및 상기 제2 캐리어 이송 장치에 이동 경로를 제공하는 레일 상에 설치되는 복수 개의 위치 측정 센서를 이용하여 상기 제1 캐리어 이송 장치와 상기 제2 캐리어 이송 장치 간 거리 정보를 측정하거나, 상기 제1 캐리어 이송 장치에 설치되는 거리 측정 센서를 이용하여 상기 제1 캐리어 이송 장치와 상기 제2 캐리어 이송 장치 간 거리 정보를 측정할 수 있다.The transport body control device transports the first carrier transport device and the second carrier using a plurality of position measurement sensors installed on rails that provide movement paths to the first carrier transport device and the second carrier transport device. Distance information between devices may be measured, or distance information between the first carrier transport device and the second carrier transport device may be measured using a distance measuring sensor installed in the first carrier transport device.

상기 이송체 제어 장치는 계단형 커브 형태와 ㄴ자형 커브 형태 중 어느 하나의 커브 형태를 이용하여 상기 구간별 감속도를 조절할 수 있다.The transport body control device may adjust the deceleration for each section by using any one of a step-shaped curve shape and an L-shaped curve shape.

상기 이송체 제어 장치는 상기 제1 캐리어 이송 장치의 위치 정보, 상기 제1 캐리어 이송 장치의 속도 정보, 상기 제2 캐리어 이송 장치의 위치 정보 및 상기 제2 캐리어 이송 장치의 속도 정보를 기초로 상기 제1 캐리어 이송 장치와 상기 제2 캐리어 이송 장치 간 충돌 가능성을 판단하며, 상기 제1 캐리어 이송 장치는 상기 제2 캐리어 이송 장치와 충돌 가능성이 있는 것으로 판단되는 경우 상기 최종 감속 구간에서 상기 평균 감속도보다 작은 감속도로 감속할 수 있다.The transport body control device is configured to control the second carrier based on the position information of the first carrier transport device, the speed information of the first carrier transport device, the position information of the second carrier transport device, and the speed information of the second carrier transport device. The first carrier transport device and the second carrier transport device determine the possibility of collision, and when it is determined that the first carrier transport device and the second carrier transport device have a possibility of collision, the average deceleration rate is higher than It can be decelerated with a small deceleration.

상기 이송체 제어 장치는 상기 제1 캐리어 이송 장치 및 상기 제2 캐리어 이송 장치에 이동 경로를 제공하는 레일 상에 설치되는 복수 개의 속도 측정 센서를 이용하여 상기 제1 캐리어 이송 장치의 속도 정보 및 상기 제2 캐리어 이송 장치의 속도 정보를 측정하거나, 상기 제1 캐리어 이송 장치 및 상기 제2 캐리어 이송 장치 각각에 설치되는 속도 측정 센서를 이용하여 상기 제1 캐리어 이송 장치의 속도 정보 및 상기 제2 캐리어 이송 장치의 속도 정보를 측정할 수 있다.The transport body control device includes speed information of the first carrier transport device and the second carrier transport device using a plurality of speed measuring sensors installed on a rail that provides a movement path to the first carrier transport device and the second carrier transport device. 2 Measuring the speed information of the carrier transport device, or using the speed measuring sensor installed in each of the first carrier transport device and the second carrier transport device, the speed information of the first carrier transport device and the second carrier transport device speed information can be measured.

상기 제1 캐리어 이송 장치는 상기 제2 캐리어 이송 장치보다 속도가 빠른 경우 상기 최종 감속 구간에서 상기 평균 감속도보다 작은 감속도로 감속할 수 있다.When the speed of the first carrier transport device is higher than that of the second carrier transport device, the first carrier transport device may decelerate at a deceleration smaller than the average deceleration in the final deceleration section.

상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 캐리어 이송 장치의 일 면은, 복수 개의 기판이 수납된 캐리어를 운반하는 것으로서, 이동 경로 상에 다른 이송 장치가 위치하고, 상기 다른 이송 장치와의 충돌을 방지하기 위해 정지할 때, 복수 개의 감속 구간 중 최종 감속 구간에서 평균 감속도보다 작은 감속도로 감속한다.One side of the carrier transport device of the present invention for achieving the above object is to transport a carrier in which a plurality of substrates are accommodated, and another transport device is located on the movement path, and in order to prevent a collision with the other transport device When stopping, it decelerates at a deceleration smaller than the average deceleration in the last deceleration section among a plurality of deceleration sections.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.The details of other embodiments are included in the detailed description and drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 이송 시스템의 내부 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 이송 시스템을 구성하는 캐리어 이송 장치의 내부 구조를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 이송 시스템을 구성하는 캐리어 이송 장치의 설치 형태를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 이송 시스템의 진동 개선을 위한 작동 방법을 순차적으로 설명하는 흐름도이다.
도 5는 도 4의 S410 단계를 부연 설명하기 위한 제1 예시도이다.
도 6은 도 4의 S410 단계를 부연 설명하기 위한 제2 예시도이다.
도 7은 도 4의 S440 단계를 부연 설명하기 위한 제1 예시도이다.
도 8은 도 4의 S440 단계를 부연 설명하기 위한 제2 예시도이다.
도 9는 종래 기술과 본 실시예 간 성능 차이를 비교하여 보여주는 제1 예시도이다.
도 10은 종래 기술과 본 실시예 간 성능 차이를 비교하여 보여주는 제2 예시도이다.1 is a diagram schematically illustrating an internal configuration of a carrier transport system according to an embodiment of the present invention.
2 is a diagram schematically illustrating an internal structure of a carrier transport apparatus constituting a carrier transport system according to an embodiment of the present invention.
3 is a diagram schematically illustrating an installation form of a carrier transport apparatus constituting a carrier transport system according to an embodiment of the present invention.
4 is a flowchart sequentially illustrating an operation method for improving vibration of a carrier transport system according to an embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a first exemplary diagram for further explaining step S410 of FIG. 4 .
FIG. 6 is a second exemplary diagram for further explaining step S410 of FIG. 4 .
FIG. 7 is a first exemplary diagram for further explaining step S440 of FIG. 4 .
FIG. 8 is a second exemplary diagram for further explaining step S440 of FIG. 4 .
9 is a first exemplary diagram showing a comparison of the performance difference between the prior art and the present embodiment.
10 is a second exemplary diagram showing a comparison of the performance difference between the prior art and the present embodiment.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 게시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 게시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Advantages and features of the present invention, and a method for achieving them will become apparent with reference to the embodiments described below in detail in conjunction with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments published below, but may be implemented in various different forms, only these embodiments make the publication of the present invention complete, and common knowledge in the technical field to which the present invention pertains It is provided to fully inform the possessor of the scope of the invention, and the present invention is only defined by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout.

소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "위(on)" 또는 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 또는 층의 바로 위뿐만 아니라 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 반면, 소자가 "직접 위(directly on)" 또는 "바로 위"로 지칭되는 것은 중간에 다른 소자 또는 층을 개재하지 않은 것을 나타낸다.Reference to an element or layer “on” or “on” another element or layer includes not only directly on the other element or layer, but also with intervening other layers or elements. include all On the other hand, reference to an element "directly on" or "immediately on" indicates that no intervening element or layer is interposed.

공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 소자를 뒤집을 경우, 다른 소자의 "아래(below)" 또는 "아래(beneath)"로 기술된 소자는 다른 소자의 "위(above)"에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다. 소자는 다른 방향으로도 배향될 수 있고, 이에 따라 공간적으로 상대적인 용어들은 배향에 따라 해석될 수 있다.Spatially relative terms "below", "beneath", "lower", "above", "upper", etc. It can be used to easily describe a correlation between an element or components and other elements or components. Spatially relative terms should be understood as terms including different orientations of the device during use or operation in addition to the orientation shown in the drawings. For example, if an element shown in the figures is turned over, an element described as "beneath" or "beneath" another element may be placed "above" the other element. Accordingly, the exemplary term “below” may include both directions below and above. The device may also be oriented in other orientations, and thus spatially relative terms may be interpreted according to orientation.

비록 제1, 제2 등이 다양한 소자, 구성요소 및/또는 섹션들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자, 구성요소 및/또는 섹션들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자, 구성요소 또는 섹션들을 다른 소자, 구성요소 또는 섹션들과 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 소자, 제1 구성요소 또는 제1 섹션은 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 소자, 제2 구성요소 또는 제2 섹션일 수도 있음은 물론이다.Although first, second, etc. are used to describe various elements, components, and/or sections, it should be understood that these elements, components, and/or sections are not limited by these terms. These terms are only used to distinguish one element, component, or sections from another. Accordingly, it goes without saying that the first element, the first element, or the first section mentioned below may be the second element, the second element, or the second section within the spirit of the present invention.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.The terminology used herein is for the purpose of describing the embodiments and is not intended to limit the present invention. As used herein, the singular also includes the plural unless specifically stated otherwise in the phrase. As used herein, "comprises" and/or "comprising" refers to the presence of one or more other components, steps, operations and/or elements mentioned. or addition is not excluded.

다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.Unless otherwise defined, all terms (including technical and scientific terms) used herein may be used with the meaning commonly understood by those of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. In addition, terms defined in a commonly used dictionary are not to be interpreted ideally or excessively unless clearly defined in particular.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어 도면 부호에 상관없이 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 참조번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, and in the description with reference to the accompanying drawings, the same or corresponding components are given the same reference numbers regardless of the reference numerals and overlapped therewith. A description will be omitted.

본 발명은 2단 감속 등의 다단 감속을 이용하여 정지하여 정지시 발생되는 진동을 개선할 수 있는 캐리어 이송 장치 및 이를 구비하는 캐리어 이송 시스템에 관한 것이다. 이하에서는 도면 등을 참조하여 본 발명을 자세하게 설명하기로 한다.The present invention relates to a carrier conveying apparatus capable of improving vibration generated during stopping by stopping using multi-stage deceleration such as two-stage deceleration, and a carrier conveying system having the same. Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to drawings and the like.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 이송 시스템의 내부 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.1 is a diagram schematically illustrating an internal configuration of a carrier transport system according to an embodiment of the present invention.

도 1에 따르면, 캐리어 이송 시스템(100)은 캐리어 이송 장치(110), 이송체 제어 장치(120) 및 데이터베이스(130)를 포함하여 구성될 수 있다. 이러한 캐리어 이송 시스템(100)은 물류 자동화 서비스에 적용될 수 있다.Referring to FIG. 1 , a carrier transport system 100 may include a carrier transport device 110 , a transport body control device 120 , and a database 130 . Such a carrier transport system 100 may be applied to a logistics automation service.

캐리어 이송 장치(110)는 캐리어(carrier)를 목적지까지 운반하는 것이다. 이러한 캐리어 이송 장치(110)는 레일(rail) 상을 주행하여 캐리어를 목적지까지 운반할 수 있다. 캐리어 이송 장치(110)는 캐리어 이송 시스템(100) 내에 복수 개 설치될 수 있다.The carrier transport device 110 transports a carrier to a destination. The carrier transport device 110 may transport the carrier to a destination by traveling on a rail. A plurality of carrier transport devices 110 may be installed in the carrier transport system 100 .

캐리어 이송 장치(110)는 클린 룸(clean room) 내에 배치되어 캐리어를 목적지까지 운반할 수 있다. 이 경우, 캐리어 이송 장치(110)는 클린 룸의 천장(ceiling)에 설치되는 레일 상을 주행하여, 캐리어를 반도체 소자 제조 공정이 수행되는 각종 설비(예를 들어, 식각 챔버(etching chamber), 세정 챔버(cleaning chamber) 등과 같은 공정 챔버(process chamber))로 운반할 수 있다. 캐리어 이송 장치(110)는 예를 들어, OHT(Overhead Hoist Transport)로 구현될 수 있다.The carrier transport device 110 may be disposed in a clean room to transport the carrier to a destination. In this case, the carrier transport device 110 travels on a rail installed on the ceiling of the clean room, and transports the carrier to various facilities (eg, an etching chamber) in which a semiconductor device manufacturing process is performed. a process chamber, such as a cleaning chamber, etc.). The carrier transport apparatus 110 may be implemented as, for example, an overhead hoist transport (OHT).

캐리어 이송 장치(110)가 캐리어를 반도체 제조 공정이 수행되는 각종 설비로 운반하는 경우, 캐리어는 복수 개의 기판(예를 들어, 웨이퍼(wafer))이 수납된 것일 수 있다. 캐리어는 예를 들어, FOUP(Front Opening Unified Pod)으로 구현될 수 있다.When the carrier transport apparatus 110 transports a carrier to various facilities in which a semiconductor manufacturing process is performed, the carrier may be a plurality of substrates (eg, wafers) accommodated therein. The carrier may be implemented as, for example, a Front Opening Unified Pod (FOUP).

캐리어 이송 장치(110)는 이송체 제어 장치(120)의 제어에 따라 캐리어를 목적지까지 운반할 수 있다. 이 경우, 캐리어 이송 장치(110)는 이송체 제어 장치(120)로부터 수신되는 정보를 바탕으로 캐리어를 목적지까지 이송할 수 있다. 캐리어 이송 장치(110)는 이송체 제어 장치(120)로부터 소정의 정보를 수신하기 위해 이송체 제어 장치(120)와 통신할 수 있는 통신 모듈을 구비할 수 있다.The carrier transport device 110 may transport the carrier to a destination under the control of the transport body control device 120 . In this case, the carrier transport device 110 may transport the carrier to the destination based on the information received from the transport body control device 120 . The carrier transport device 110 may include a communication module capable of communicating with the transport body control device 120 to receive predetermined information from the transport body control device 120 .

캐리어 이송 장치(110)는 이송체 제어 장치(120)와 무선으로 통신하여 이송체 제어 장치(120)로부터 정보를 수신할 수 있다. 그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 캐리어 이송 장치(110)는 이송체 제어 장치(120)와 유선으로 연결되어 유선 신호를 통해 이송체 제어 장치(120)로부터 정보를 수신하는 것도 가능하다.The carrier transport device 110 may receive information from the transport body control device 120 by wirelessly communicating with the transport body control device 120 . However, the present embodiment is not limited thereto. The carrier transport device 110 is connected to the transport body control device 120 by wire, and it is also possible to receive information from the transport body control device 120 through a wired signal.

한편, 캐리어 이송 장치(110)는 이송체 제어 장치(120)의 통제를 받지 않고, 자율적으로 구동되는 것도 가능하다. 이 경우, 복수 개의 캐리어 이송 장치(110a, 110b, …, 110n)는 레일(321, 322) 상에서 충돌하지 않도록 상호 통신 가능하게 구현될 수 있다.On the other hand, the carrier transport device 110 is not controlled by the transport body control device 120, it is also possible to be driven autonomously. In this case, the plurality of carrier transport devices (110a, 110b, ..., 110n) may be implemented to communicate with each other so as not to collide on the rails (321, 322).

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 이송 시스템을 구성하는 캐리어 이송 장치의 내부 구조를 개략적으로 도시한 도면이다. 그리고 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 이송 시스템을 구성하는 캐리어 이송 장치의 설치 형태를 개략적으로 도시한 도면이다.2 is a diagram schematically illustrating an internal structure of a carrier transport apparatus constituting a carrier transport system according to an embodiment of the present invention. And Figure 3 is a view schematically showing the installation form of the carrier transport apparatus constituting the carrier transport system according to an embodiment of the present invention.

도 2 및 도 3에 따르면, 캐리어 이송 장치(110)는 몸체부(210), 구동 제어부(220), 구동 휠(driving wheel; 230) 및 가이드 휠(guide wheel; 240)을 포함하여 구성될 수 있다.2 and 3 , the carrier transport device 110 may include a body portion 210 , a driving control unit 220 , a driving wheel 230 and a guide wheel 240 . have.

몸체부(210)는 캐리어(310)를 다음 공정이 수행되는 설비까지 이송시키기 위해 캐리어(310)를 파지(gripping)한 후 클린 룸의 천장 부근까지 상승시킬 수 있다. 몸체부(210)는 이를 위해 구동 제어부(220)의 하부에 설치될 수 있으며, 파지부(211)와 승강부(212)를 포함하여 구성될 수 있다.The body 210 may grip the carrier 310 in order to transport the carrier 310 to the facility where the next process is performed, and then raise it to the vicinity of the ceiling of the clean room. The body 210 may be installed under the driving control unit 220 for this purpose, and may include a gripping unit 211 and an elevating unit 212 .

파지부(211)는 캐리어(310)를 파지하는 것이다. 이러한 파지부(211)는 승강부(212)에 의해 캐리어(310)가 위치한 방향으로 하강되어, 캐리어 이송 장치(110)의 아래쪽 방향에 위치하는 캐리어(310)를 파지할 수 있다. 파지부(211)는 예를 들어, 핸드 그립퍼(hand gripper)로 구현될 수 있다.The gripper 211 grips the carrier 310 . The holding unit 211 may be lowered in the direction in which the carrier 310 is located by the lifting unit 212 to hold the carrier 310 located in the downward direction of the carrier transport device 110 . The gripper 211 may be implemented as, for example, a hand gripper.

승강부(212)는 파지부(211)를 캐리어(310)가 위치한 방향으로 하강시켜 파지부(211)가 캐리어(310)를 파지할 수 있도록 하는 것이다. 이러한 승강부(212)는 파지부(211)에 의해 캐리어(310)가 파지되면, 캐리어(310)를 파지한 파지부(211)를 클린 룸의 천장 쪽으로 상승시킬 수 있다.The lifting unit 212 lowers the holding unit 211 in the direction in which the carrier 310 is located so that the holding unit 211 can hold the carrier 310 . When the carrier 310 is gripped by the gripper 211 , the lifter 212 may lift the gripper 211 that grips the carrier 310 toward the ceiling of the clean room.

캐리어(310)는 파지부(211)에 의해 파지된 후 승강부(212)에 의해 클린 룸의 천장 쪽으로 상승되며, 이 상태로 다음 공정이 수행되는 설비까지 반송될 수 있다. 승강부(212)는 캐리어 이송 장치(110)가 목적지에 도달하면, 캐리어(310)를 하강시켜 캐리어(310)를 다음 공정이 수행되는 설비로 전달할 수 있다. 승강부(212)는 예를 들어, 호이스트(hoist)로 구현될 수 있다.After the carrier 310 is gripped by the gripper 211 , the carrier 310 is raised toward the ceiling of the clean room by the lifter 212 , and in this state, it can be transported to the facility where the next process is performed. When the carrier transport device 110 reaches the destination, the lifting unit 212 lowers the carrier 310 to deliver the carrier 310 to the facility where the next process is performed. The lifting unit 212 may be implemented as, for example, a hoist.

한편, 캐리어 이송 장치(110)는 캐리어(310)를 적재한(loading) 후에 반도체 소자 제조 공정이 수행되는 각종 설비로 이송하는 것도 가능하다. 이 경우, 몸체부(210)는 파지부(211) 대신 수납부(미도시)를 구비할 수 있다.On the other hand, the carrier transport apparatus 110 may be transported to various facilities in which the semiconductor device manufacturing process is performed after loading the carrier 310 . In this case, the body portion 210 may include a receiving portion (not shown) instead of the gripping portion 211 .

수납부는 캐리어(310)가 수납되는 공간을 제공하는 것이다. 이러한 수납부는 상부면이 개방되어 있는 바구니(basket) 형태로 형성될 수 있다. 그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 수납부는 측면에 개폐 가능한 도어가 설치되어 있는 캐비닛(cabinet) 형태로 형성되는 것도 가능하다.The accommodating part provides a space in which the carrier 310 is accommodated. The accommodating part may be formed in the form of a basket having an open upper surface. However, the present embodiment is not limited thereto. The receiving unit may be formed in the form of a cabinet having an openable and openable door installed on the side thereof.

구동 제어부(220)는 레일(321, 322)을 따라 이동하는 구동 휠(230)을 제어하는 것이다. 이러한 구동 제어부(220)는 양측면을 통해 한 쌍의 구동 휠(230)과 결합되며, 하부면을 통해 몸체부(210)와 결합될 수 있다. 구동 제어부(220)는 하부에 위치하는 몸체부(210)를 지지하는 역할도 할 수 있다.The driving control unit 220 controls the driving wheel 230 moving along the rails 321 and 322 . The driving control unit 220 may be coupled to a pair of driving wheels 230 through both side surfaces, and may be coupled to the body portion 210 through a lower side surface. The driving control unit 220 may also serve to support the body portion 210 positioned below.

구동 제어부(220)는 구동 모터(미도시), 구동 축(미도시), 속도 조절부(미도시) 등을 포함하여 구성될 수 있다.The driving control unit 220 may include a driving motor (not shown), a driving shaft (not shown), and a speed adjusting unit (not shown).

구동 모터는 구동력을 생성하는 것이다.A driving motor is to generate a driving force.

구동 축은 구동 모터에 의해 생성된 구동력을 구동 휠(230)에 전달하는 것이다.The driving shaft transmits the driving force generated by the driving motor to the driving wheel 230 .

속도 조절부는 구동 휠(230)의 회전 속도를 조절하는 것이다.The speed adjusting unit adjusts the rotation speed of the driving wheel 230 .

구동 제어부(220)는 구동 모터, 구동 축 등을 통해 구동 휠(230)에 구동력을 제공할 수 있으며, 속도 조절부 등을 통해 구동 휠(230)의 회전 속도를 제어할 수 있다.The driving control unit 220 may provide a driving force to the driving wheel 230 through a driving motor, a driving shaft, or the like, and may control the rotational speed of the driving wheel 230 through a speed adjusting unit or the like.

구동 휠(230)은 구동 제어부(220)로부터 제공되는 구동력을 이용하여 레일(321, 322) 상에서 회전하는 것이다. 구동 휠(230)은 이를 위해 구동 제어부(220)의 양측면에 적어도 한 쌍 설치될 수 있다.The driving wheel 230 rotates on the rails 321 and 322 using a driving force provided from the driving control unit 220 . At least one pair of driving wheels 230 may be installed on both sides of the driving control unit 220 for this purpose.

가이드 휠(240)은 캐리어 이송 장치(110)가 레일(321, 322) 상에서 주행할 때 레일(321, 322)로부터 이탈되는 것을 방지하기 위한 것이다. 가이드 휠(240)은 이를 위해 구동 제어부(220)의 하부면 양측에 구동 휠(230)에 수직 방향으로 적어도 한 쌍 설치될 수 있다.The guide wheel 240 is for preventing the carrier transport device 110 from being separated from the rails 321 and 322 when traveling on the rails 321 and 322 . For this purpose, at least one pair of guide wheels 240 may be installed on both sides of the lower surface of the driving control unit 220 in a vertical direction to the driving wheel 230 .

레일 조립체는 캐리어 이송 장치(110)에 이동 경로를 제공하기 위한 것이다. 이러한 레일 조립체는 레일(321, 322) 및 레일 지지부(330)를 포함하여 구성될 수 있다.The rail assembly is for providing a movement path to the carrier transport device 110 . Such a rail assembly may include rails 321 and 322 and a rail support 330 .

레일(321, 322)은 캐리어 이송 장치(110)가 이동할 수 있는 경로를 제공하는 것이다. 이러한 레일(321, 322)은 반도체 소자를 제조하는 제조 라인이 구비되는 클린 룸의 천장에 설치될 수 있다.The rails 321 and 322 provide a path through which the carrier transport device 110 can move. The rails 321 and 322 may be installed on the ceiling of a clean room in which a manufacturing line for manufacturing a semiconductor device is provided.

클린 룸의 천장에는 레일(321, 322)과 함께 레일 지지부(330)가 설치될 수 있다. 이때 레일(321, 322)은 클린 룸의 천장에 고정되는 레일 지지부(330)의 양측에 각각 결합되어 한 쌍으로 구비될 수 있다.The rail support 330 may be installed together with the rails 321 and 322 on the ceiling of the clean room. At this time, the rails 321 and 322 may be provided as a pair by being respectively coupled to both sides of the rail support 330 fixed to the ceiling of the clean room.

레일(321, 322)은 클린 룸 내의 레이아웃(layout)에 따라 직선 구간, 곡선 구간, 경사 구간, 분기 구간, 교차로 구간 등 다양한 형태의 구간이 혼재되어 형성될 수 있다. 그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 레일(321, 322)은 단일 형태의 구간(예를 들어, 직선 구간)만으로 형성되는 것도 가능하다.The rails 321 and 322 may be formed by mixing various types of sections, such as a straight section, a curved section, an inclined section, a branch section, and an intersection section, according to a layout in the clean room. However, the present embodiment is not limited thereto. The rails 321 and 322 may be formed only in a single section (eg, a straight section).

레일 지지부(330)는 클린 룸의 천장에 설치되어 레일(321, 322)을 지지하는 것이다. 이러한 레일 지지부(330)는 캡(cap) 형태, 예를 들어 ∩ 형태 또는 Π 형태로 형성될 수 있다.The rail support 330 is installed on the ceiling of the clean room to support the rails 321 and 322 . The rail support 330 may be formed in a cap shape, for example, a ∩ shape or a Π shape.

캐리어 이송 장치(110)는 케이블 고정부(미도시), 보정부(미도시) 등을 더 포함할 수 있다.The carrier transport device 110 may further include a cable fixing unit (not shown), a correction unit (not shown), and the like.

케이블 고정부는 레일(321, 322)의 아래에 배치되는 케이블을 고정하는 것이다. 이러한 케이블 고정부는 예를 들어, 리츠 와이어 지지 부재(litz wire supporter)로 구현될 수 있다.The cable fixing part is to fix the cable disposed under the rails 321 and 322 . Such a cable fixing unit may be implemented as, for example, a litz wire supporter.

보정부는 캐리어(310)를 목적지까지 이송시킬 때에 캐리어(310)의 위치를 보정하는 것이다. 이러한 보정부는 몸체부(210)와 구동 제어부(220) 사이에 배치되어, 캐리어(310)의 위치를 보정할 수 있다.The correction unit corrects the position of the carrier 310 when the carrier 310 is transported to the destination. Such a correction unit may be disposed between the body portion 210 and the driving control unit 220 to correct the position of the carrier 310 .

보정부는 슬라이더(slider)와 로테이터(rotator)를 포함하여 구성될 수 있다.The compensator may include a slider and a rotator.

슬라이더는 캐리어(310)를 이동시키는 것이다. 이러한 슬라이더는 구동 제어부(220)의 하부면에 설치될 수 있다. 슬라이더는 캐리어(310)를 상측 방향, 하측 방향, 좌측 방향, 우측 방향 등으로 이동시킬 수 있다.The slider moves the carrier 310 . Such a slider may be installed on the lower surface of the driving control unit 220 . The slider may move the carrier 310 in an upward direction, a downward direction, a left direction, a right direction, and the like.

로테이터는 캐리어(310)를 회전시키는 것이다. 이러한 로테이터는 슬라이터의 하부면에 설치될 수 있다. 로테이터는 캐리어(310)를 시계 방향, 반시계 방향 등으로 회전시킬 수 있다.The rotator rotates the carrier 310 . Such a rotator may be installed on the lower surface of the slider. The rotator may rotate the carrier 310 in a clockwise direction, a counterclockwise direction, or the like.

다시 도 1을 참조하여 설명한다.It will be described again with reference to FIG. 1 .

이송체 제어 장치(120)는 복수 개의 캐리어 이송 장치(110a, 110b, …, 110n)를 제어하는 것이다. 이러한 이송체 제어 장치(120)는 복수 개의 캐리어 이송 장치(110a, 110b, …, 110n)가 목적지(예를 들어, 반도체 제조 공정이 수행되는 각종 설비)까지 캐리어를 안전하게 운반할 수 있도록, 복수 개의 캐리어 이송 장치(110a, 110b, …, 110n)를 제어할 수 있다.The conveying body control device 120 controls a plurality of carrier conveying devices 110a, 110b, ..., 110n. Such a transport control device 120 is a plurality of carrier transport devices (110a, 110b, ..., 110n) to safely transport the carrier to the destination (eg, various facilities in which the semiconductor manufacturing process is performed), It is possible to control the carrier transport devices (110a, 110b, ..., 110n).

이송체 제어 장치(120)는 복수 개의 캐리어 이송 장치(110a, 110b, …, 110n)를 제어하거나(예를 들어, 가속 명령, 감속 명령, 정지 명령 등), 복수 개의 캐리어 이송 장치(110a, 110b, …, 110n)에 소정의 정보를 제공하기 위해(예를 들어, 목적지까지의 경로 정보 제공 등), 복수 개의 캐리어 이송 장치(110a, 110b, …, 110n)와 유선/무선 통신을 할 수 있다. 이송체 제어 장치(120)는 이를 위해 복수 개의 캐리어 이송 장치(110a, 110b, …, 110n)와 통신할 수 있는 유선/무선 통신 모듈을 구비할 수 있다.The transport body control device 120 controls a plurality of carrier transport devices 110a, 110b, ..., 110n (eg, an acceleration command, a deceleration command, a stop command, etc.), or a plurality of carrier transport devices 110a, 110b , ..., 110n) in order to provide predetermined information (for example, providing route information to a destination, etc.), a plurality of carrier transport apparatuses (110a, 110b, ..., 110n) and wired / wireless communication can be done . The transfer body control device 120 may include a wired/wireless communication module capable of communicating with a plurality of carrier transport devices 110a, 110b, ..., 110n for this purpose.

이송체 제어 장치(120)는 복수 개의 캐리어 이송 장치(110a, 110b, …, 110n)를 제어하기 위해 복수 개의 캐리어 이송 장치(110a, 110b, …, 110n)의 위치를 인식할 수 있다.The transport body control device 120 may recognize the positions of the plurality of carrier transport devices 110a, 110b, …, 110n in order to control the plurality of carrier transport devices 110a, 110b, ..., 110n.

이송체 제어 장치(120)는 레일(321, 322) 상에 설치되어 있는 다수 개의 센서를 이용하여 복수 개의 캐리어 이송 장치(110a, 110b, …, 110n)의 위치를 인식할 수 있다. 이 경우, 이송체 제어 장치(120)는 해당 센서의 식별 정보(예를 들어, 일련 번호(serial number)), 해당 센서의 위치 정보(예를 들어, (x, y) 등의 좌표 정보), 해당 센서를 통과한 캐리어 이송 장치(100)의 식별 정보 등을 이용하여 복수 개의 캐리어 이송 장치(110a, 110b, …, 110n)의 위치를 인식할 수 있다.The conveying body control apparatus 120 may recognize the positions of the plurality of carrier conveying apparatuses 110a, 110b, ..., 110n using a plurality of sensors installed on the rails 321 and 322 . In this case, the vehicle control device 120 includes identification information (eg, serial number) of the corresponding sensor, location information of the corresponding sensor (eg, coordinate information such as (x, y)), It is possible to recognize the positions of the plurality of carrier transport devices (110a, 110b, ..., 110n) by using the identification information of the carrier transport device 100 passed through the sensor.

그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 이송체 제어 장치(120)는 복수 개의 캐리어 이송 장치(110a, 110b, …, 110n)와 통신하여 얻은 정보를 바탕으로 복수 개의 캐리어 이송 장치(110a, 110b, …, 110n)의 위치를 인식하는 것도 가능하다. 이 경우, 복수 개의 캐리어 이송 장치(110a, 110b, …, 110n)는 자체적으로 자신의 위치를 인식할 수 있다.However, the present embodiment is not limited thereto. Transfer body control device 120 is based on the information obtained by communicating with the plurality of carrier transfer devices (110a, 110b, ..., 110n) to recognize the position of the plurality of carrier transfer devices (110a, 110b, ..., 110n) is also It is possible. In this case, the plurality of carrier transport devices (110a, 110b, ..., 110n) can recognize its own position.

이송체 제어 장치(120)는 복수 개의 캐리어 이송 장치(110a, 110b, …, 110n)에 소정의 정보를 제공하거나, 복수 개의 캐리어 이송 장치(110a, 110b, …, 110n)를 제어하기 위해, 연산 기능을 갖춘 프로세서가 탑재된 컴퓨터로 구현될 수 있다.The conveying body control device 120 provides predetermined information to the plurality of carrier conveying devices 110a, 110b, ..., 110n, or to control the plurality of carrier conveying devices 110a, 110b, ..., 110n, an operation It can be implemented as a computer equipped with a processor with the function.

데이터베이스(130)는 이송체 제어 장치(120)가 복수 개의 캐리어 이송 장치(110a, 110b, …, 110n)를 제어하는 데에 필요한 정보를 저장하는 것이다. 이러한 데이터베이스(130)는 이송체 제어 장치(120)가 필요로 하는 정보를 제공하기 위해, 이송체 제어 장치(120)와 유선/무선으로 연결될 수 있다.The database 130 is to store information necessary for the transport control device 120 to control the plurality of carrier transport devices 110a, 110b, ..., 110n. The database 130 may be connected to the transport control device 120 by wire/wireless in order to provide information required by the transport control device 120 .

데이터베이스(130)는 이송체 제어 장치(120)에 필요 정보를 제공하기 위해, 이송체 제어 장치(120)의 내부에 메모리 형태로 설치될 수 있다. 그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 데이터베이스(130)는 이송체 제어 장치(120)의 외부에 별도로 설치되는 것도 가능하다.The database 130 may be installed in the form of a memory inside the transport control device 120 to provide necessary information to the transport control device 120 . However, the present embodiment is not limited thereto. The database 130 may be separately installed outside of the transfer body control device 120 .

다음으로, 캐리어 이송 장치(110)가 2단 감속 등의 다단 감속을 이용하여 정지하여, 정지시 발생되는 진동을 개선하는 방법에 대하여 설명한다.Next, a method for improving the vibration generated when the carrier transport device 110 stops using multi-stage deceleration such as two-stage deceleration and the like will be described.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 이송 시스템의 진동 개선을 위한 작동 방법을 순차적으로 설명하는 흐름도이다. 이하 설명은 도 4를 참조한다.4 is a flowchart sequentially illustrating an operation method for improving vibration of a carrier transport system according to an embodiment of the present invention. The following description refers to FIG. 4 .

제2 캐리어 이송 장치(110b)는 제1 캐리어 이송 장치(110a)의 경로 상 전방에 위치하는 것이다. 본 실시예에서는 제1 캐리어 이송 장치(110a)와 제2 캐리어 이송 장치(110b) 간 충돌 가능성이 있는 경우, 제1 캐리어 이송 장치(110a)와 제2 캐리어 이송 장치(110b) 간 충돌을 방지하기 위해 제1 캐리어 이송 장치(110a)의 속도를 감속하는 경우에 대하여 설명한다.The second carrier transport device 110b is positioned in front of the path of the first carrier transport device 110a. In this embodiment, when there is a possibility of collision between the first carrier transport device 110a and the second carrier transport device 110b, to prevent collision between the first carrier transport device 110a and the second carrier transport device 110b A case of decelerating the speed of the first carrier transport device 110a will be described.

먼저, 이송체 제어 장치(120)는 제1 캐리어 이송 장치(110a)와 제2 캐리어 이송 장치(110b) 간 거리 정보를 측정한다(S410).First, the conveying body control device 120 measures distance information between the first carrier conveying apparatus 110a and the second carrier conveying apparatus 110b (S410).

이송체 제어 장치(120)는 도 5에 도시된 바와 같이 레일(321, 322) 상에 설치되어 있는 다수 개의 위치 측정 센서(510)를 이용하여 제1 캐리어 이송 장치(110a)와 제2 캐리어 이송 장치(110b) 간 거리를 측정할 수 있다. 이 경우, 이송체 제어 장치(120)는 다수 개의 위치 측정 센서(510)를 이용하여 제1 캐리어 이송 장치(110a)와 제2 캐리어 이송 장치(110b)의 위치를 인식한 후, 제1 캐리어 이송 장치(110a)의 위치 정보와 제2 캐리어 이송 장치(110b)의 위치 정보를 기초로 제1 캐리어 이송 장치(110a)와 제2 캐리어 이송 장치(110b) 간 거리 정보를 측정할 수 있다. 도 5는 도 4의 S410 단계를 부연 설명하기 위한 제1 예시도이다.As shown in FIG. 5 , the transport body control device 120 transfers the first carrier transport device 110a and the second carrier using a plurality of position measuring sensors 510 installed on the rails 321 and 322 . The distance between the devices 110b may be measured. In this case, the transfer body control device 120 recognizes the positions of the first carrier transfer device 110a and the second carrier transfer device 110b using a plurality of position measuring sensors 510, and then transfers the first carrier. Distance information between the first carrier transport device 110a and the second carrier transport device 110b may be measured based on the location information of the device 110a and the location information of the second carrier transport device 110b. FIG. 5 is a first exemplary diagram for further explaining step S410 of FIG. 4 .

그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 이송체 제어 장치(120)는 도 6에 도시된 바와 같이 제1 캐리어 이송 장치(110a)에 설치되어 있는 거리 측정 센서(520)를 이용하여 제1 캐리어 이송 장치(110a)와 제2 캐리어 이송 장치(110b) 간 거리 정보를 측정하는 것도 가능하다. 도 6은 도 4의 S410 단계를 부연 설명하기 위한 제2 예시도이다.However, the present embodiment is not limited thereto. As shown in FIG. 6 , the conveying body control device 120 uses a distance measuring sensor 520 installed in the first carrier conveying device 110a to provide a first carrier conveying device 110a and a second carrier conveying device. It is also possible to measure distance information between (110b). FIG. 6 is a second exemplary diagram for further explaining step S410 of FIG. 4 .

이후, 이송체 제어 장치(120)는 제1 캐리어 이송 장치(110a)와 제2 캐리어 이송 장치(110b) 간 거리 정보를 기초로 제2 캐리어 이송 장치(110b)와의 충돌을 회피하기 위한 제1 캐리어 이송 장치(110a)의 평균 감속도 정보를 산출한다(S420).Thereafter, the transport body control device 120 is a first carrier for avoiding collision with the second carrier transport device 110b based on the distance information between the first carrier transport device 110a and the second carrier transport device 110b. Average deceleration information of the transfer device 110a is calculated (S420).

이후, 이송체 제어 장치(120)는 제1 캐리어 이송 장치(110a)와 제2 캐리어 이송 장치(110b) 간 거리를 복수 개의 구간으로 분할한다(S430). 이송체 제어 장치(120)는 예를 들어, 제1 캐리어 이송 장치(110a)와 제2 캐리어 이송 장치(110b) 간 거리를 네 개의 구간으로 분할할 수 있다.Thereafter, the conveying body control device 120 divides the distance between the first carrier conveying apparatus 110a and the second carrier conveying apparatus 110b into a plurality of sections (S430). The transport body control device 120 may divide the distance between the first carrier transport device 110a and the second carrier transport device 110b into four sections, for example.

이후, 이송체 제어 장치(120)는 마지막 구간에서의 제1 캐리어 이송 장치(110a)의 감속도가 평균 감속도보다 작은 값을 가지도록 제1 캐리어 이송 장치(110a)의 구간별 감속도 정보를 조절한다(S440).Thereafter, the conveying body control device 120 receives the deceleration information for each section of the first carrier conveying apparatus 110a so that the deceleration of the first carrier conveying apparatus 110a in the last section has a value smaller than the average deceleration. Adjust (S440).

이송체 제어 장치(120)는 마지막 구간에서의 제1 캐리어 이송 장치(110a)의 감속도가 평균 감속도보다 작은 값을 가지도록 하기 위해, 제1 캐리어 이송 장치(110a)의 구간별 감속도 정보를 계단형 커브(curve) 형태로 조절할 수 있다.The conveying body control device 120 determines the deceleration information for each section of the first carrier conveying device 110a so that the deceleration of the first carrier conveying device 110a in the last section has a value smaller than the average deceleration. can be adjusted in the form of a stepped curve.

이송체 제어 장치(120)는 예를 들어, 제1 캐리어 이송 장치(110a)와 제2 캐리어 이송 장치(110b) 간 거리를 제1 구간(610), 제2 구간(620), 제3 구간(630) 및 제4 구간(640)으로 분할하는 경우, 도 7에 도시된 바와 같이 제1 구간(610) 내지 제3 구간(630)에서의 감속도(650)를 평균 감속도(660)보다 큰 값을 가지도록 하고, 제4 구간(640)에서의 감속도(670)가 평균 감속도(660)보다 작은 값을 가지도록 할 수 있다. 도 7은 도 4의 S440 단계를 부연 설명하기 위한 제1 예시도이다.The conveying body control device 120 is, for example, the distance between the first carrier conveying device 110a and the second carrier conveying device 110b in the first section 610, the second section 620, the third section ( 630 ) and the fourth section 640 , as shown in FIG. 7 , the deceleration 650 in the first section 610 to the third section 630 is greater than the average deceleration 660 . value, and the deceleration 670 in the fourth section 640 may have a smaller value than the average deceleration 660 . FIG. 7 is a first exemplary diagram for further explaining step S440 of FIG. 4 .

그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 이송체 제어 장치(120)는 마지막 구간에서의 제1 캐리어 이송 장치(110a)의 감속도가 평균 감속도보다 작은 값을 가지도록 하기 위해, 제1 캐리어 이송 장치(110a)의 구간별 감속도 정보를 ㄴ자형 커브 형태로 조절하는 것도 가능하다.However, the present embodiment is not limited thereto. The conveying body control device 120 determines the deceleration information for each section of the first carrier conveying device 110a so that the deceleration of the first carrier conveying device 110a in the last section has a value smaller than the average deceleration. It is also possible to adjust in the form of an L-shaped curve.

이송체 제어 장치(120)는 예를 들어, 제1 캐리어 이송 장치(110a)와 제2 캐리어 이송 장치(110b) 간 거리를 제1 구간(610), 제2 구간(620), 제3 구간(630) 및 제4 구간(640)으로 분할하는 경우, 도 8에 도시된 바와 같이 제1 구간(610) 내지 제3 구간(630)에서의 감속도(650)를 평균 감속도(660)보다 큰 값을 가지도록 하고, 제4 구간(640)에서의 감속도(670)가 평균 감속도(660)보다 작은 값을 가지도록 할 수 있다. 도 8은 도 4의 S440 단계를 부연 설명하기 위한 제2 예시도이다.The conveying body control device 120 is, for example, the distance between the first carrier conveying device 110a and the second carrier conveying device 110b in the first section 610, the second section 620, the third section ( 630 ) and the fourth section 640 , the deceleration 650 in the first section 610 to the third section 630 is greater than the average deceleration 660 as shown in FIG. 8 . value, and the deceleration 670 in the fourth section 640 may have a smaller value than the average deceleration 660 . FIG. 8 is a second exemplary diagram for further explaining step S440 of FIG. 4 .

이후, 이송체 제어 장치(120)는 구간별 감속도 정보를 기초로 제1 캐리어 이송 장치(110a)의 감속도를 제어한다(S450).Thereafter, the conveying body control device 120 controls the deceleration of the first carrier conveying device 110a based on the deceleration information for each section (S450).

본 발명은 캐리어 이송 장치(110)의 정지시 다단 감속(예를 들어, 2단 감속)을 적용하여 정지시 진동 개선을 위한 것이다. 본 발명은 이를 위해 정지 단계에서 낮은 감속도로 정지하여 부드러운 정지(soft stop)를 구현할 수 있다. 또한 본 발명은 캐리어 이송 장치(110)의 정지시 낮은 감속도를 사용하여 감속시 저크(jerk)를 최소화(minimize)하여 캐리어 이송 장치(110)의 정지 성능(performance)를 개선할 수 있다.The present invention is for improving vibration at the stop by applying multi-stage deceleration (eg, two-stage deceleration) when the carrier transport device 110 is stopped. For this purpose, the present invention can implement a soft stop by stopping at a low deceleration in the stopping step. In addition, the present invention can improve the stopping performance of the carrier transport device 110 by using a low deceleration when the carrier transport device 110 is stopped to minimize jerk during deceleration.

최근 진동 관련 개선 요구가 커짐에 따라, 진동 개선을 위한 다양한 연구가 시도되고 있다. 본 발명은 도 9에 도시된 바와 같이 캐리어 이송 장치(110)가 주행하다가 최종 정지시 기존 감속도(720)보다 낮은 감속도(710)를 사용하여(즉, 마지막 정지시 감속도를 크게 낮추어) 캐리어 이송 장치(110)의 반송량(Tack Time)에 대한 영향을 최소화하면서, 정지시 발생하는 진동을 최소화할 수 있다. 도 9는 종래 기술과 본 실시예 간 성능 차이를 비교하여 보여주는 제1 예시도이다.Recently, as the demand for improvement related to vibration has increased, various studies for improving vibration have been attempted. As shown in FIG. 9, the present invention uses a lower deceleration 710 than the existing deceleration 720 at the time of the final stop while the carrier transport device 110 travels (that is, by significantly lowering the deceleration at the last stop) While minimizing the influence on the transport amount (Tack Time) of the carrier transport device 110, it is possible to minimize the vibration generated during the stop. 9 is a first exemplary diagram showing a comparison of the performance difference between the prior art and the present embodiment.

또한 시뮬레이션을 통해, 마지막 정지시 감속도를 조정함으로써, 도 10에 도시된 바와 같이 본 실시예에 따른 저크 피크(jerk peak)(730)를 기존의 저크 피크(740)보다 낮춤으로써, 저크 양을 크게 감소시킬 수 있음을 알 수 있다. 또한 실험을 통해 정지시 진동(oscillation)이 감소하는 것을 확인할 수 있다. 도 10은 종래 기술과 본 실시예 간 성능 차이를 비교하여 보여주는 제2 예시도이다.Also through simulation, by adjusting the deceleration at the last stop, as shown in FIG. 10 , the jerk peak 730 according to this embodiment is lower than the conventional jerk peak 740, the jerk amount is reduced It can be seen that it can be greatly reduced. In addition, it can be confirmed through the experiment that the oscillation is reduced when stopped. 10 is a second exemplary diagram showing a comparison of the performance difference between the prior art and the present embodiment.

한편, 본 실시예에서는 제1 캐리어 이송 장치(110a)와 제2 캐리어 이송 장치(110b) 간 충돌 가능성이 있는 경우, 제1 캐리어 이송 장치(110a)의 속도를 감속할 수 있다.On the other hand, in the present embodiment, when there is a possibility of collision between the first carrier transport device 110a and the second carrier transport device 110b, the speed of the first carrier transport device 110a may be reduced.

이 경우, 이송체 제어 장치(120)는 제1 캐리어 이송 장치(110a)의 위치 정보, 제1 캐리어 이송 장치(110a)의 속도 정보, 제2 캐리어 이송 장치(110b)의 위치 정보, 제2 캐리어 이송 장치(110b)의 속도 정보 등을 기초로 제1 캐리어 이송 장치(110a)와 제2 캐리어 이송 장치(110b) 간 충돌 가능성을 판단할 수 있다.In this case, the conveying body control device 120 includes position information of the first carrier conveying apparatus 110a, speed information of the first carrier conveying apparatus 110a, position information of the second carrier conveying apparatus 110b, and the second carrier. It is possible to determine the possibility of collision between the first carrier transport device 110a and the second carrier transport device 110b based on the speed information of the transport device 110b.

이송체 제어 장치(120)는 레일(321, 322) 상에 설치되어 있는 속도 측정 센서를 이용하여 제1 캐리어 이송 장치(110a)의 속도 정보, 제2 캐리어 이송 장치(110b)의 속도 정보 등을 측정할 수 있으며, 각각의 캐리어 이송 장치(110a, 110b)에 탑재되는 속도 측정 센서를 이용하여 제1 캐리어 이송 장치(110a)의 속도 정보, 제2 캐리어 이송 장치(110b)의 속도 정보 등을 측정하는 것도 가능하다.The conveying body control device 120 uses the speed measuring sensor installed on the rails 321 and 322 to obtain speed information of the first carrier conveying device 110a, speed information of the second carrier conveying device 110b, and the like. can be measured, and the speed information of the first carrier transport device 110a, the speed information of the second carrier transport device 110b, etc. are measured using a speed measuring sensor mounted on each of the carrier transport devices 110a and 110b. It is also possible to

한편, 이송체 제어 장치(120)는 제1 캐리어 이송 장치(110a)의 속도가 제2 캐리어 이송 장치(110b)의 속도보다 빠른 경우, 제1 캐리어 이송 장치(110a)와 제2 캐리어 이송 장치(110b) 간 충돌 가능성이 있는 것으로 판단하는 것도 가능하다.On the other hand, when the speed of the first carrier transport device 110a is faster than the speed of the second carrier transport device 110b, the transport body control device 120 includes the first carrier transport device 110a and the second carrier transport device ( 110b), it is also possible to determine that there is a possibility of a collision between them.

이상과 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.Although embodiments of the present invention have been described with reference to the above and the accompanying drawings, those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains can practice the present invention in other specific forms without changing its technical spirit or essential features. You will understand that there is Therefore, it should be understood that the embodiments described above are illustrative in all respects and not restrictive.

100: 캐리어 이송 시스템 110, 110a, 110b, ..., 110n: 캐리어 이송 장치
120: 이송체 제어 장치 130: 데이터베이스
210: 몸체부 220: 구동 제어부
230: 구동 휠 240: 가이드 휠
310: 캐리어 321, 322: 레일
330: 레일 지지부 510: 위치 측정 센서
520: 거리 측정 센서 610: 제1 구간
620: 제2 구간 630: 제3 구간
640: 제4 구간 650: 제1 구간 내지 제3 구간에서의 감속도
660: 평균 감속도 670: 제4 구간에서의 감속도100: carrier transport system 110, 110a, 110b, ..., 110n: carrier transport device
120: transport control device 130: database
210: body 220: drive control unit
230: drive wheel 240: guide wheel
310: carrier 321, 322: rail
330: rail support 510: position sensor
520: distance measuring sensor 610: first section
620: second section 630: third section
640: fourth section 650: deceleration in first to third sections
660: average deceleration 670: deceleration in the fourth section

Claims (8)

복수 개의 기판이 수납된 캐리어를 운반하는 제1 캐리어 이송 장치;
상기 제1 캐리어 이송 장치의 이동 경로 상에 위치하는 제2 캐리어 이송 장치; 및
상기 제1 캐리어 이송 장치 및 상기 제2 캐리어 이송 장치를 제어하는 이송체 제어 장치를 포함하며,
상기 제1 캐리어 이송 장치는 상기 제2 캐리어 이송 장치와의 충돌을 방지하기 위해 정지할 때, 복수 개의 감속 구간 중 최종 감속 구간에서 평균 감속도보다 작은 감속도로 감속하는 캐리어 이송 시스템.a first carrier transport device for transporting a carrier in which a plurality of substrates are accommodated;
a second carrier transport device positioned on a movement path of the first carrier transport device; and
and a transport control device for controlling the first carrier transport device and the second carrier transport device,
When the first carrier transport device stops to prevent collision with the second carrier transport device, the carrier transport system decelerates at a deceleration smaller than the average deceleration in a final deceleration section among a plurality of deceleration sections. 제 1 항에 있어서,
상기 이송체 제어 장치는 상기 제1 캐리어 이송 장치와 상기 제2 캐리어 이송 장치 간 거리 정보를 기초로 상기 제1 캐리어 이송 장치의 평균 감속도를 산출하며, 각각의 감속 구간에 대해 구간별 감속도를 조절하여, 상기 최종 감속 구간에서의 감속도가 상기 평균 감속도보다 작은 값을 가지도록 하는 캐리어 이송 시스템.The method of claim 1,
The conveying body control device calculates an average deceleration of the first carrier conveying apparatus based on distance information between the first carrier conveying apparatus and the second carrier conveying apparatus, and determines the deceleration for each section for each deceleration section. A carrier transport system for adjusting the deceleration in the final deceleration section to have a value smaller than the average deceleration. 제 2 항에 있어서,
상기 이송체 제어 장치는 상기 제1 캐리어 이송 장치 및 상기 제2 캐리어 이송 장치에 이동 경로를 제공하는 레일 상에 설치되는 복수 개의 위치 측정 센서를 이용하여 상기 제1 캐리어 이송 장치와 상기 제2 캐리어 이송 장치 간 거리 정보를 측정하거나, 상기 제1 캐리어 이송 장치에 설치되는 거리 측정 센서를 이용하여 상기 제1 캐리어 이송 장치와 상기 제2 캐리어 이송 장치 간 거리 정보를 측정하는 캐리어 이송 시스템.3. The method of claim 2,
The transport body control device transports the first carrier transport device and the second carrier using a plurality of position measurement sensors installed on rails that provide movement paths to the first carrier transport device and the second carrier transport device. A carrier transport system for measuring distance information between devices, or measuring distance information between the first carrier transport device and the second carrier transport device using a distance measuring sensor installed in the first carrier transport device. 제 2 항에 있어서,
상기 이송체 제어 장치는 계단형 커브 형태와 ㄴ자형 커브 형태 중 어느 하나의 커브 형태를 이용하여 상기 구간별 감속도를 조절하는 캐리어 이송 시스템.3. The method of claim 2,
The carrier transport system controls the deceleration for each section by using any one of a step-shaped curve shape and a L-shaped curve shape in the transport body control device. 제 1 항에 있어서,
상기 이송체 제어 장치는 상기 제1 캐리어 이송 장치의 위치 정보, 상기 제1 캐리어 이송 장치의 속도 정보, 상기 제2 캐리어 이송 장치의 위치 정보 및 상기 제2 캐리어 이송 장치의 속도 정보를 기초로 상기 제1 캐리어 이송 장치와 상기 제2 캐리어 이송 장치 간 충돌 가능성을 판단하며,
상기 제1 캐리어 이송 장치는 상기 제2 캐리어 이송 장치와 충돌 가능성이 있는 것으로 판단되는 경우 상기 최종 감속 구간에서 상기 평균 감속도보다 작은 감속도로 감속하는 캐리어 이송 시스템.The method of claim 1,
The transport body control device is configured to control the second carrier based on the position information of the first carrier transport device, the speed information of the first carrier transport device, the position information of the second carrier transport device, and the speed information of the second carrier transport device. 1 Determining the possibility of collision between the carrier transport device and the second carrier transport device,
When it is determined that the first carrier transport device and the second carrier transport device are likely to collide, the carrier transport system decelerates at a deceleration smaller than the average deceleration in the final deceleration section. 제 5 항에 있어서,
상기 이송체 제어 장치는 상기 제1 캐리어 이송 장치 및 상기 제2 캐리어 이송 장치에 이동 경로를 제공하는 레일 상에 설치되는 복수 개의 속도 측정 센서를 이용하여 상기 제1 캐리어 이송 장치의 속도 정보 및 상기 제2 캐리어 이송 장치의 속도 정보를 측정하거나, 상기 제1 캐리어 이송 장치 및 상기 제2 캐리어 이송 장치 각각에 설치되는 속도 측정 센서를 이용하여 상기 제1 캐리어 이송 장치의 속도 정보 및 상기 제2 캐리어 이송 장치의 속도 정보를 측정하는 캐리어 이송 시스템.6. The method of claim 5,
The transport body control device includes speed information of the first carrier transport device and the second carrier transport device using a plurality of velocity measuring sensors installed on a rail that provides a movement path to the first carrier transport device and the second carrier transport device. 2 Measuring the speed information of the carrier transport device, or using the speed measuring sensor installed in each of the first carrier transport device and the second carrier transport device, the speed information of the first carrier transport device and the second carrier transport device Carrier conveying system that measures the speed information of 제 1 항에 있어서,
상기 제1 캐리어 이송 장치는 상기 제2 캐리어 이송 장치보다 속도가 빠른 경우 상기 최종 감속 구간에서 상기 평균 감속도보다 작은 감속도로 감속하는 캐리어 이송 시스템.The method of claim 1,
When the first carrier transport device is faster than the second carrier transport device, the carrier transport system decelerates at a deceleration smaller than the average deceleration in the final deceleration section. 복수 개의 기판이 수납된 캐리어를 운반하는 것으로서,
이동 경로 상에 다른 이송 장치가 위치하고, 상기 다른 이송 장치와의 충돌을 방지하기 위해 정지할 때, 복수 개의 감속 구간 중 최종 감속 구간에서 평균 감속도보다 작은 감속도로 감속하는 캐리어 이송 장치.As transporting a carrier in which a plurality of substrates are accommodated,
A carrier transport device that decelerates at a deceleration smaller than the average deceleration in a final deceleration section among a plurality of deceleration sections when another transport device is located on a moving path and stops to prevent collision with the other transport device
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