KR20220057013A - Overhead hoist transport apparatus and control method thereof - Google Patents

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KR20220057013A KR1020200141785A KR20200141785A KR20220057013A KR 20220057013 A KR20220057013 A KR 20220057013A KR 1020200141785 A KR1020200141785 A KR 1020200141785A KR 20200141785 A KR20200141785 A KR 20200141785A KR 20220057013 A KR20220057013 A KR 20220057013A
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Abstract

Disclosed are an overhead hoist transport apparatus and a control method thereof, which can reduce vibration. The overhead hoist transport apparatus comprises: a running module configured to be moved along a running rail; a hoist module connected to a lower portion of the running module to lift a material to be lifted; first and second vibration sensors to detect the vibration of the material; and a vibration control unit controlling operations of the running module and the hoist module to reduce the vibration of the material based on signals of the first and second vibration sensors. The first and second vibration sensors are mounted on an upper and a lower portion of the material to remove the rotary vibration component of the material with respect to a horizontal axis passing through the center of gravity of the material.

Description

오버헤드 호이스트 이송 장치 및 그 제어 방법{Overhead hoist transport apparatus and control method thereof}Overhead hoist transport apparatus and control method thereof

본 발명의 실시예들은 오버헤드 호이스트 이송(Overhead hoist transport; OHT) 장치(이하, ‘OHT 장치’라 한다) 및 그 제어 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반도체 장치의 제조 공정에서 자재의 이송을 위해 사용되는 OHT 장치 및 그 제어 방법에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to an overhead hoist transport (OHT) device (hereinafter referred to as an 'OHT device') and a control method thereof. More particularly, it relates to an OHT device and a method for controlling the same used for transferring a material in a manufacturing process of a semiconductor device.

반도체 장치의 제조 공정에서 반도체 웨이퍼, 인쇄회로기판, 등과 같은 자재들은 OHT 장치, RGV(Rail Guided Vehicle) 장치, AGV(Automatic Guided Vehicle) 장치 등과 같은 무인 운반 시스템을 통해 이송될 수 있다. 특히, 상기 OHT 장치는 클린룸의 천장에 설치된 주행 레일을 따라 이동 가능하게 구성된 이송 차량을 포함할 수 있다.In a semiconductor device manufacturing process, materials such as semiconductor wafers, printed circuit boards, and the like may be transported through an unmanned transport system such as an OHT device, a Rail Guided Vehicle (RGV) device, or an Automatic Guided Vehicle (AGV) device. In particular, the OHT device may include a transport vehicle configured to be movable along a traveling rail installed on the ceiling of the clean room.

예를 들면, 반도체 장치의 제조를 위한 클린룸 내에는 자재 이송을 위한 주행 레일이 천장 부위에 설치될 수 있으며, 상기 주행 레일을 따라 복수의 이송 차량들이 이동 가능하게 배치될 수 있다. 상기 이송 차량은 상기 주행 레일을 따라 이동 가능하도록 구성되는 주행 모듈과 상기 주행 모듈의 하부에 연결되며 상기 자재의 승강을 위한 호이스트 모듈을 포함할 수 있다.For example, in a clean room for manufacturing a semiconductor device, a traveling rail for material conveying may be installed on a ceiling, and a plurality of conveying vehicles may be movably disposed along the traveling rail. The transport vehicle may include a driving module configured to be movable along the driving rail and a hoist module connected to a lower portion of the driving module for lifting and lowering the material.

한편, 상기 이송 차량이 상기 주행 레일을 따라 이동하는 동안 상기 주행 레일의 상태 또는 상기 이송 차량의 주행 상태에 따라 진동이 발생될 수 있으며, 상기 진동은 상기 자재의 손상을 유발할 수 있으므로 이에 대한 방지 대책이 요구되고 있다.Meanwhile, while the transport vehicle moves along the driving rail, vibration may be generated depending on the state of the driving rail or the driving state of the transport vehicle, and the vibration may cause damage to the material. this is being requested

대한민국 공개특허공보 제10-2018-0119967호 (공개일자 2018년 11월 05일)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2018-0119967 (published on November 05, 2018) 대한민국 공개특허공보 제10-2019-0011979호 (공개일자 2019년 02월 08일)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2019-0011979 (published on February 08, 2019)

본 발명의 실시예들은 자재의 진동을 감소시킬 수 있는 OHT 장치와 그 제어 방법을 제공하는데 목적이 있다.An object of the present invention is to provide an OHT device capable of reducing vibration of a material and a method for controlling the same.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 OHT 장치는, 주행 레일을 따라 이동 가능하도록 구성된 주행 모듈과, 상기 주행 모듈의 하부에 연결되며 이송하고자 하는 자재의 승강을 위한 호이스트 모듈과, 상기 자재의 진동을 검출하기 위한 제1 및 제2 진동 센서들과, 상기 제1 및 제2 진동 센서들의 신호에 기초하여 상기 자재의 진동을 감쇠하기 위해 상기 주행 모듈 및 상기 호이스트 모듈의 동작을 제어하는 진동 제어부를 포함할 수 있으며, 상기 제1 및 제2 진동 센서들은 상기 자재의 무게 중심을 통과하는 수평축에 대한 상기 자재의 회전 진동 성분이 제거되도록 상기 자재의 상부 및 하부에 각각 장착될 수 있다.The OHT device according to an aspect of the present invention for achieving the above object includes a traveling module configured to be movable along a traveling rail, a hoist module connected to a lower portion of the traveling module for lifting and lowering of a material to be transported, and the First and second vibration sensors for detecting the vibration of the material, and controlling the operation of the traveling module and the hoist module to damp the vibration of the material based on the signals of the first and second vibration sensors It may include a vibration control unit, the first and second vibration sensors may be respectively mounted on the upper and lower parts of the material so that the rotational vibration component of the material with respect to a horizontal axis passing through the center of gravity of the material is removed.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 제1 및 제2 진동 센서들은 상기 자재의 무게 중심을 통과하는 수직축에 대한 상기 자재의 회전 진동 성분이 제거되도록 상기 자재의 전방 부위 및 후방 부위에 각각 장착될 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the first and second vibration sensors are respectively mounted on the front portion and the rear portion of the material so that the rotational vibration component of the material with respect to a vertical axis passing through the center of gravity of the material is removed. can be

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 제1 진동 센서는 상기 자재의 일측 모서리 부위들 중 하나에 장착되고, 상기 제2 진동 센서는 상기 자재의 무게 중심을 기준으로 상기 제1 진동 센서에 대향하도록 상기 자재의 타측 모서리 부위에 장착될 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the first vibration sensor is mounted on one of the corner portions of one side of the material, and the second vibration sensor faces the first vibration sensor with respect to the center of gravity of the material It may be mounted on the other edge of the material to do so.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 제1 진동 센서는 상기 자재의 전면 모서리 부위들 중 하나에 장착되고, 상기 제2 진동 센서는 상기 자재의 무게 중심을 기준으로 상기 제1 진동 센서에 대향하도록 상기 자재의 후면 모서리 부위에 장착될 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the first vibration sensor is mounted on one of the front edge portions of the material, and the second vibration sensor faces the first vibration sensor based on the center of gravity of the material It may be mounted on the rear edge of the material to do so.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 진동 제어부는 상기 주행 모듈의 전후 방향으로 상기 자재의 진동을 감쇠시키기 위하여 상기 주행 모듈을 전후 방향으로 이동시킬 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the vibration control unit may move the traveling module in the front-rear direction in order to damp the vibration of the material in the front-rear direction of the traveling module.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 진동 제어부는 수직 방향으로 상기 자재의 진동을 감쇠시키기 위하여 상기 호이스트 모듈을 이용하여 상기 자재를 수직 방향으로 이동시킬 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the vibration control unit may move the material in the vertical direction by using the hoist module in order to damp the vibration of the material in the vertical direction.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 호이스트 모듈은, 상기 자재의 승강을 위한 호이스트 유닛과, 상기 호이스트 유닛을 상기 주행 모듈의 전후 방향에 대하여 수직하는 좌우 방향으로 이동시키기 위한 슬라이드 유닛을 포함하며, 상기 진동 제어부는 상기 좌우 방향으로 상기 자재의 진동을 감쇠시키기 위하여 상기 슬라이드 유닛을 이용하여 상기 호이스트 유닛을 상기 좌우 방향으로 이동시킬 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the hoist module includes a hoist unit for lifting and lowering the material, and a slide unit for moving the hoist unit in a left-right direction perpendicular to the front-rear direction of the traveling module, , The vibration control unit may move the hoist unit in the left-right direction by using the slide unit in order to damp the vibration of the material in the left-right direction.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따르면, 주행 레일을 따라 이동 가능하도록 구성된 주행 모듈 및 상기 주행 모듈의 하부에 연결되며 이송하고자 하는 자재의 승강을 위한 호이스트 모듈을 포함하는 OHT 장치의 제어 방법에 있어서, 상기 방법은, 상기 자재의 진동을 검출하기 위한 제1 및 제2 센서들을 상기 자재에 장착하는 단계와, 상기 제1 및 제2 진동 센서들의 신호에 기초하여 상기 자재의 진동을 감쇠하기 위해 상기 주행 모듈 및 상기 호이스트 모듈의 동작을 제어하는 단계를 포함할 수 있으며, 상기 자재의 무게 중심을 통과하는 수평축에 대한 상기 자재의 회전 진동 성분을 제거하기 위하여 상기 자재의 상부 및 하부에 상기 제1 및 제2 진동 센서들을 각각 장착할 수 있다.According to another aspect of the present invention for achieving the above object, a driving module configured to be movable along a traveling rail and a hoist module connected to a lower portion of the traveling module for lifting and lowering a material to be transported. Control of an OHT device In a method, the method comprises the steps of: mounting first and second sensors for detecting vibration of the material to the material; and damping the vibration of the material based on signals from the first and second vibration sensors It may include the step of controlling the operation of the traveling module and the hoist module to do so, in order to remove the rotational vibration component of the material with respect to a horizontal axis passing through the center of gravity of the material, the upper and lower parts of the material The first and second vibration sensors may be respectively mounted.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 방법에 있어서, 상기 자재의 무게 중심을 통과하는 수직축에 대한 상기 자재의 회전 진동 성분을 제거하기 위하여 상기 자재의 전방 부위 및 후방 부위에 상기 제1 및 제2 진동 센서들을 각각 장착할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, in the method, the first and second parts are placed on the front portion and the rear portion of the material to eliminate rotational vibration components of the material with respect to a vertical axis passing through the center of gravity of the material. Two vibration sensors can be installed separately.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 방법에 있어서, 상기 자재의 일측 모서리 부위들 중 하나에 상기 제1 진동 센서를 장착하고, 상기 자재의 무게 중심을 기준으로 상기 제1 진동 센서에 대향하도록 상기 자재의 타측 모서리 부위에 상기 제2 진동 센서를 장착할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, in the method, the first vibration sensor is mounted on one of the corner portions of one side of the material, and to face the first vibration sensor with respect to the center of gravity of the material The second vibration sensor may be mounted on the other edge of the material.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 방법에 있어서, 상기 자재의 전면 모서리 부위들 중 하나에 상기 제1 진동 센서를 장착하고, 상기 자재의 무게 중심을 기준으로 상기 제1 진동 센서에 대향하도록 상기 자재의 후면 모서리 부위에 상기 제2 진동 센서를 장착할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, in the method, the first vibration sensor is mounted on one of the front edge portions of the material, so as to face the first vibration sensor with respect to the center of gravity of the material The second vibration sensor may be mounted on the rear edge of the material.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 주행 모듈 및 상기 호이스트 모듈의 동작을 제어하는 단계에서, 상기 제1 진동 센서의 신호와 상기 제2 진동 센서의 신호를 합성하여 상기 자재의 회전 진동 성분이 제거된 합성 신호값을 산출하고 상기 합성 신호값에 기초하여 상기 주행 모듈 및 상기 호이스트 모듈의 동작을 제어할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, in the step of controlling the operation of the driving module and the hoist module, the signal of the first vibration sensor and the signal of the second vibration sensor are synthesized so that the rotational vibration component of the material is The removed synthesized signal value may be calculated, and operations of the driving module and the hoist module may be controlled based on the synthesized signal value.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 진동 제어부는 상기 제1 진동 센서의 신호와 상기 제2 진동 센서의 신호를 합성하여 회전 진동 성분을 제거할 수 있으며, 이를 통해 상기 자재의 전후 방향과 수직 방향 및 좌우 방향 진동을 보다 효과적으로 제거할 수 있다. 또한, 상기 제1 및 제2 진동 센서들이 상기 자재에 직접 장착되므로 상기 자재의 진동을 보다 정확하게 측정할 수 있다. 결과적으로, 상기 자재의 이송 과정 또는 정지 상태에서의 자재 진동을 충분히 제거할 수 있으며, 이를 통해 상기 자재의 손상을 충분히 방지할 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, the vibration control unit may remove the rotational vibration component by synthesizing the signal of the first vibration sensor and the signal of the second vibration sensor, and through this, the front and rear of the material The directional and vertical direction and left and right direction vibration can be removed more effectively. In addition, since the first and second vibration sensors are directly mounted on the material, the vibration of the material can be measured more accurately. As a result, it is possible to sufficiently remove the vibration of the material in the process of transporting the material or in a stationary state, thereby sufficiently preventing damage to the material.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 OHT 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 이송 차량의 호이스트 모듈을 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 전방 모터와 후방 모터의 동작 제어를 위한 모션 제어기를 설명하는 블록도이다.
도 4 및 도 5는 도 1에 도시된 자재의 회전 진동 성분을 설명하기 위한 개략도들이다.1 is a schematic side view for explaining an OHT device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic front view for explaining a hoist module of the transport vehicle shown in FIG. 1 .
FIG. 3 is a block diagram illustrating a motion controller for controlling operations of the front motor and the rear motor shown in FIG. 1 .
4 and 5 are schematic diagrams for explaining the rotational vibration component of the material shown in FIG.

이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention should not be construed as being limited to the embodiments described below and may be embodied in various other forms. The following examples are provided to sufficiently convey the scope of the present invention to those skilled in the art, rather than being provided so that the present invention can be completely completed.

본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.In embodiments of the present invention, when an element is described as being disposed or connected to another element, the element may be directly disposed or connected to the other element, and other elements may be interposed therebetween. it might be Conversely, when one element is described as being directly disposed on or connected to another element, there cannot be another element between them. Although the terms first, second, third, etc. may be used to describe various items such as various elements, compositions, regions, layers and/or portions, the items are not limited by these terms. will not

본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.The terminology used in the embodiments of the present invention is only used for the purpose of describing specific embodiments, and is not intended to limit the present invention. Further, unless otherwise limited, all terms including technical and scientific terms have the same meaning as understood by one of ordinary skill in the art of the present invention. The above terms, such as those defined in ordinary dictionaries, shall be interpreted to have meanings consistent with their meanings in the context of the related art and description of the present invention, ideally or excessively outwardly intuitive, unless clearly defined. will not be interpreted.

본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.Embodiments of the present invention are described with reference to schematic diagrams of ideal embodiments of the present invention. Accordingly, changes from the shapes of the diagrams, eg, changes in manufacturing methods and/or tolerances, are those that can be fully expected. Accordingly, the embodiments of the present invention are not to be described as being limited to the specific shapes of the areas described as diagrams, but rather to include deviations in the shapes, and the elements described in the drawings are purely schematic and their shapes It is not intended to describe the precise shape of the elements, nor is it intended to limit the scope of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 OHT 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 이송 차량의 호이스트 모듈을 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.Figure 1 is a schematic side view for explaining an OHT device according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a schematic front view for explaining the hoist module of the transport vehicle shown in Figure 1 .

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 OHT 장치(100)는 반도체 장치의 제조를 위한 클린룸 내에서 반도체 웨이퍼, 인쇄회로기판 등의 자재(10)를 이송하기 위해 사용될 수 있다. 일 예로서, 상기 OHT 장치(100)는 반도체 웨이퍼들의 수납을 위한 FOUP(Front Opening Unified Pod)과 같은 용기(10)의 이송을 위해 사용될 수 있다.1 and 2 , the OHT device 100 according to an embodiment of the present invention is used to transport materials 10 such as semiconductor wafers and printed circuit boards in a clean room for manufacturing a semiconductor device. can As an example, the OHT device 100 may be used to transport the container 10 such as a Front Opening Unified Pod (FOUP) for accommodating semiconductor wafers.

상기 OHT 장치(100)는 상기 클린룸의 천장 부위에 설치되는 주행 레일(102)과 상기 주행 레일(102) 상에서 이동 가능하게 구성되는 이송 차량(104)을 포함할 수 있다. 상기 이송 차량(104)은 상기 주행 레일(102) 상에서 이동 가능하도록 구성되는 주행 모듈(110)과, 상기 주행 모듈(110)의 하부에 연결되며 이송하고자 하는 자재(10)의 승강을 위한 호이스트 모듈(140)을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 주행 모듈(110)은 전방 주행 유닛(120)과 후방 주행 유닛(130)을 포함할 수 있으며, 상기 전방 및 후방 주행 유닛들(120, 130)의 하부에 상기 호이스트 모듈(140)이 연결될 수 있다.The OHT device 100 may include a traveling rail 102 installed on the ceiling of the clean room and a transfer vehicle 104 configured to be movable on the traveling rail 102 . The transport vehicle 104 includes a driving module 110 configured to be movable on the traveling rail 102 , and a hoist module connected to a lower portion of the driving module 110 for lifting and lowering the material 10 to be transported. (140). For example, the driving module 110 may include a front driving unit 120 and a rear driving unit 130 , and the hoist module 140 is located below the front and rear driving units 120 and 130 . ) can be connected.

상기 전방 주행 유닛(120)은 전방 휠들(122)과 상기 전방 휠들(122)을 회전시키기 위한 전방 모터(124) 및 상기 전방 모터(124)에 구동 전류를 인가하기 위한 전방 서보 드라이브(128; 도 3 참조)를 포함할 수 있다. 상기 후방 주행 유닛(130)은 후방 휠들(132)과 상기 후방 휠들(132)을 회전시키기 위한 후방 모터(134) 및 상기 후방 모터(134)에 구동 전류를 인가하기 위한 후방 서보 드라이브(138; 도 3 참조)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 전방 및 후방 주행 유닛들(120, 130)은 상기 전방 및 후방 모터들(124, 134)의 회전수를 측정하기 위한 전방 엔코더(126)와 후방 엔코더(136)를 각각 포함할 수 있다.The front driving unit 120 includes front wheels 122 and a front motor 124 for rotating the front wheels 122 and a front servo drive 128 for applying a driving current to the front motor 124 (Fig. 3) may be included. The rear driving unit 130 includes rear wheels 132 and a rear motor 134 for rotating the rear wheels 132 and a rear servo drive 138 for applying a driving current to the rear motor 134 (Fig. 3) may be included. In addition, the front and rear driving units 120 and 130 may include a front encoder 126 and a rear encoder 136 for measuring the number of revolutions of the front and rear motors 124 and 134 , respectively. .

상기 호이스트 모듈(140)은 상기 전방 및 후방 주행 유닛들(120, 130)의 하부에 연결되며 상기 자재(10)를 수납하기 위한 내부 공간을 갖는 하우징(142)과, 상기 하우징(142) 내에 장착되며 상기 자재(10)의 승강을 위한 호이스트 유닛(144)과, 상기 주행 모듈(110)의 전후 방향에 대하여 수직하는 좌우 방향으로 상기 호이스트 유닛(144)을 이동시키기 위한 슬라이드 유닛(148)을 포함할 수 있다. 상기 호이스트 유닛(144)은 상기 자재(10)를 파지하기 위한 핸드 유닛(146)을 포함할 수 있으며 승강 벨트(미도시)를 이용하여 상기 핸드 유닛(146)을 수직 방향으로 이동시킬 수 있다.The hoist module 140 is connected to the lower portions of the front and rear traveling units 120 and 130 and includes a housing 142 having an internal space for accommodating the material 10 and mounted in the housing 142 . and a hoist unit 144 for lifting and lowering the material 10, and a slide unit 148 for moving the hoist unit 144 in the left and right directions perpendicular to the front-rear direction of the traveling module 110. can do. The hoist unit 144 may include a hand unit 146 for gripping the material 10 and may vertically move the hand unit 146 using a lifting belt (not shown).

상세히 도시되지는 않았으나, 상기 호이스트 유닛(144)은 상기 승강 벨트가 권취되는 풀리와 상기 풀리를 회전시키기 위한 호이스트 모터와, 상기 호이스트 모터에 구동 전류를 인가하기 위한 제2 서보 드라이브와, 상기 제2 서보 드라이브에 토크 지령을 제공하기 위한 제2 모션 제어기를 포함할 수 있다. 상기 슬라이드 유닛(148)은 상기 호이스트 유닛(144)을 상기 좌우 방향으로 이동시키기 위한 구동력을 제공하는 슬라이드 모터와, 상기 슬라이드 모터에 구동 전류를 인가하기 위한 제3 서보 드라이브와, 상기 제3 서보 드라이브에 토크 지령을 제공하기 위한 제3 모션 제어기를 포함할 수 있다. 또한, 상기 슬라이드 유닛(148)은 상기 구동력을 전달하기 위하여 랙과 피니언 또는 타이밍 벨트 등을 포함하는 동력 전달 기구를 구비할 수 있다.Although not shown in detail, the hoist unit 144 includes a pulley around which the elevating belt is wound, a hoist motor for rotating the pulley, a second servo drive for applying a driving current to the hoist motor, and the second and a second motion controller for providing a torque command to the servo drive. The slide unit 148 includes a slide motor providing a driving force for moving the hoist unit 144 in the left and right directions, a third servo drive for applying a driving current to the slide motor, and the third servo drive and a third motion controller for providing a torque command to the . Also, the slide unit 148 may include a power transmission mechanism including a rack and a pinion or a timing belt to transmit the driving force.

도 3은 도 1에 도시된 전방 모터와 후방 모터의 동작 제어를 위한 모션 제어기를 설명하는 블록도이다.FIG. 3 is a block diagram illustrating a motion controller for controlling operations of the front motor and the rear motor shown in FIG. 1 .

도 3을 참조하면, 상기 전방 모터(124)와 후방 모터(134)의 동작은 모션 제어기(150)에 의해 제어될 수 있다. 상기 모션 제어기(150)는 OCS(OHT Control System) 장치와 같은 상위 제어기로부터 제공되는 위치 지령을 이용하여 상기 전방 및 후방 모터들(124, 134)의 동작 제어를 위한 속도 프로파일을 생성하며, 상기 속도 프로파일을 이용하여 상기 전방 및 후방 모터들(124, 134)의 위치 제어 및 속도 제어를 수행하고, 아울러 상기 전방 및 후방 서보 드라이브들(128, 138)에 토크 지령을 제공할 수 있다. 상기 전방 및 후방 서보 드라이브들(128, 138)은 상기 토크 지령에 따라 상기 전방 및 후방 모터들(124, 134)에 구동 전류를 인가할 수 있으며, 상기 구동 전류에 대한 피드백 제어를 수행할 수 있다.Referring to FIG. 3 , the operations of the front motor 124 and the rear motor 134 may be controlled by the motion controller 150 . The motion controller 150 generates a speed profile for controlling the operation of the front and rear motors 124 and 134 using a position command provided from a higher-level controller such as an OHT Control System (OCS) device, and the speed The profile may be used to control the position and speed of the front and rear motors 124 and 134 , and also provide torque commands to the front and rear servo drives 128 and 138 . The front and rear servo drives 128 and 138 may apply a driving current to the front and rear motors 124 and 134 according to the torque command, and may perform feedback control on the driving current. .

한편, 상기 모션 제어기(150)는 상기 전방 엔코더(126) 또는 후방 엔코더(136)의 신호에 기초하여 상기 전방 및 후방 모터들(124, 134)의 동작을 피드백 방식으로 제어할 수 있다. 예를 들면, 상기 모션 제어기(150)는 상기 전방 및 후방 엔코더들(126, 136) 중에서 어느 하나를 선택하고 상기 선택된 엔코더(126 또는 136)로부터 수신되는 신호에 기초하여 상기 전방 및 후방 모터들(124, 134)의 동작을 피드백 방식으로 제어할 수 있다.Meanwhile, the motion controller 150 may control the operations of the front and rear motors 124 and 134 in a feedback manner based on a signal from the front encoder 126 or the rear encoder 136 . For example, the motion controller 150 selects any one of the front and rear encoders 126 and 136, and based on a signal received from the selected encoder 126 or 136, the front and rear motors ( 124 and 134) may be controlled in a feedback manner.

예를 들면, 상기 이송 차량(104)이 가속하는 경우 관성에 의해 상기 전방 휠들(122)에 인가되는 하중이 상기 후방 휠들(132)에 인가되는 하중보다 클 수 있다. 결과적으로, 상기 전방 휠들(122)의 접지력이 상기 후방 휠들(132)의 접지력에 비하여 증가될 수 있고, 이에 의해 상기 전방 휠들(122)이 상기 후방 휠들(132)에 비하여 슬립 현상 즉 상기 주행 레일(102) 상에서 상기 전방 휠들(122)이 미끄러지는 현상이 감소될 수 있으므로, 상기 모션 제어기(150)는 상기 전방 엔코더(126)의 신호에 기초하여 상기 전방 및 후방 모터들(124, 134)의 동작을 피드백 방식으로 제어할 수 있다. 또한, 상기 이송 차량(104)이 상기 주행 레일(102)의 오르막 구간에서 상향 이동하는 경우에도 상기 이송 차량(102)의 자중에 의해 상기 전방 휠들(122)에 인가되는 하중이 증가될 수 있으므로 상기 모션 제어기(150)는 상기 전방 엔코더(126)의 신호에 기초하여 상기 전방 및 후방 모터들(124, 134)의 동작을 피드백 방식으로 제어할 수 있다.For example, when the transfer vehicle 104 accelerates, a load applied to the front wheels 122 due to inertia may be greater than a load applied to the rear wheels 132 . As a result, the gripping force of the front wheels 122 may be increased compared to the gripping force of the rear wheels 132 , whereby the front wheels 122 may slip compared to the rear wheels 132 , that is, the driving rail. Since the sliding phenomenon of the front wheels 122 on 102 can be reduced, the motion controller 150 controls the front and rear motors 124 and 134 based on the signal of the front encoder 126 . The operation can be controlled in a feedback manner. In addition, even when the transfer vehicle 104 moves upward in the uphill section of the traveling rail 102 , the load applied to the front wheels 122 may be increased by the weight of the transfer vehicle 102 , so that the The motion controller 150 may control the operations of the front and rear motors 124 and 134 in a feedback manner based on the signal of the front encoder 126 .

상기와 다르게, 상기 이송 차량(104)이 감속하는 경우 관성에 의해 상기 후방 휠들(132)에 인가되는 하중이 상기 전방 휠들(122)에 인가되는 하중보다 클 수 있다. 결과적으로, 상기 후방 휠들(132)의 접지력이 상기 전방 휠들(122)의 접지력에 비하여 증가될 수 있고, 이에 의해 상기 후방 휠들(132)이 상기 전방 휠들(122)에 비하여 슬립 현상 즉 상기 주행 레일(102) 상에서 상기 후방 휠들(132)이 미끄러지는 현상이 감소될 수 있으므로, 상기 모션 제어기(150)는 상기 후방 엔코더(136)의 신호에 기초하여 상기 전방 및 후방 모터들(124, 134)의 동작을 피드백 방식으로 제어할 수 있다. 또한, 상기 이송 차량(104)이 상기 주행 레일(102)의 내리막 구간에서 하향 이동하는 경우에도 상기 이송 차량(104)의 자중에 의해 상기 후방 휠들(132)에 인가되는 하중이 증가될 수 있으므로 상기 모션 제어기(150)는 상기 후방 엔코더(136)의 신호에 기초하여 상기 전방 및 후방 모터들(124, 134)의 동작을 피드백 방식으로 제어할 수 있다.Unlike the above, when the transfer vehicle 104 decelerates, a load applied to the rear wheels 132 due to inertia may be greater than a load applied to the front wheels 122 . As a result, the gripping force of the rear wheels 132 may be increased compared to the gripping force of the front wheels 122 , whereby the rear wheels 132 may slip compared to the front wheels 122 , that is, the driving rail. Since the sliding phenomenon of the rear wheels 132 on 102 can be reduced, the motion controller 150 controls the front and rear motors 124 and 134 based on the signal of the rear encoder 136 . The operation can be controlled in a feedback manner. In addition, even when the transfer vehicle 104 moves downward in the downhill section of the traveling rail 102 , the load applied to the rear wheels 132 may be increased by the weight of the transfer vehicle 104 . The motion controller 150 may control the operations of the front and rear motors 124 and 134 in a feedback manner based on the signal of the rear encoder 136 .

한편, 상기 이송 차량(104)이 등속을 유지하는 경우 상기 전방 휠들(122)에 인가되는 하중과 상기 후방 휠들(132)에 인가되는 하중이 크게 차이가 없으므로 상기 모션 제어기(150)는 상기 전방 및 후방 엔코더들(126, 136) 중에서 어떤 것을 사용하더라도 무방할 것이다. 예를 들면, 상기 모션 제어기(150)는 상기 등속 구간에서 상기 전방 엔코더 신호(126)를 이용하여 상기 전방 및 후방 모터들(124, 134)의 동작을 피드백 방식으로 제어할 수 있다.On the other hand, since the load applied to the front wheels 122 and the load applied to the rear wheels 132 are not significantly different when the transfer vehicle 104 maintains the constant velocity, the motion controller 150 controls the front and Any of the rear encoders 126 and 136 may be used. For example, the motion controller 150 may control the operations of the front and rear motors 124 and 134 in a feedback manner using the front encoder signal 126 in the constant velocity section.

상기와 같이 전방 및 후방 휠들(122, 132) 중에서 상대적으로 슬립 현상이 작은 휠들(122 또는 132)과 연결된 모터(124 또는 134)의 회전수에 기초하여 상기 전방 및 후방 모터들(124, 134)의 동작을 제어함으로써 상기 전방 휠들(122) 및/또는 후방 휠들(132)의 슬립 현상에 의해 발생될 수 있는 상기 이송 차량(104)의 진동을 크게 감소시킬 수 있다.As described above, based on the rotation speed of the motor 124 or 134 connected to the wheels 122 or 132 having a relatively small slip phenomenon among the front and rear wheels 122 and 132, the front and rear motors 124 and 134 Vibration of the transport vehicle 104 that may be caused by the slip phenomenon of the front wheels 122 and/or the rear wheels 132 may be greatly reduced by controlling the operation of .

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 OHT 장치(100)는 상기 자재(10)의 진동을 검출하기 위한 제1 및 제2 진동 센서들(160, 162)과, 상기 제1 및 제2 진동 센서들(160, 162)의 신호에 기초하여 상기 자재(10)의 진동을 감쇠하기 위해 상기 주행 모듈(110) 및 상기 호이스트 모듈(140)의 동작을 제어하는 진동 제어부(170)를 포함할 수 있다. 일 예로서, 상기 제1 및 제2 진동 센서들(160, 162)로는 중력 센서 또는 가속도 센서가 사용될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the OHT device 100 includes first and second vibration sensors 160 and 162 for detecting the vibration of the material 10, and the first and second vibration sensors It may include a vibration control unit 170 for controlling the operation of the driving module 110 and the hoist module 140 in order to attenuate the vibration of the material 10 based on the signals of the 160 and 162 . . As an example, a gravity sensor or an acceleration sensor may be used as the first and second vibration sensors 160 and 162 .

상기 진동 제어부(170)는 상기 주행 모듈(110)의 전후 방향으로 상기 자재(10)의 진동을 감쇠시키기 위하여 상기 주행 모듈(110)을 전후 방향으로 이동시킬 수 있다. 또한, 상기 진동 제어부(170)는 수직 방향으로 상기 자재(10)의 진동을 감쇠시키기 위하여 상기 호이스트 모듈(140)을 이용하여 상기 자재(10)를 수직 방향으로 이동시킬 수 있으며, 상기 좌우 방향으로 상기 자재(10)의 진동을 감쇠시키기 위하여 상기 슬라이드 유닛(148)을 이용하여 상기 자재(10)를 상기 좌우 방향으로 이동시킬 수 있다.The vibration control unit 170 may move the traveling module 110 in the front-rear direction in order to damp the vibration of the material 10 in the front-rear direction of the traveling module 110 . In addition, the vibration control unit 170 can move the material 10 in the vertical direction by using the hoist module 140 to damp the vibration of the material 10 in the vertical direction, and in the left and right direction. In order to damp the vibration of the material 10 , the material 10 may be moved in the left and right directions using the slide unit 148 .

그러나, 상기 주행 모듈(110)이 이동하는 동안 또는 정지하는 경우 관성에 의해 상기 자재(10)의 회전 진동이 발생될 수 있으며, 상기 자재(10)의 회전 진동은 상기 주행 모듈(110)과 호이스트 모듈(140)을 이용하는 진동 감쇠로는 제거하기가 어려운 문제점이 있다. 특히, 상기 제1 및 제2 진동 센서들(160, 162)의 신호에 회전 진동 성분이 포함되어 있는 경우 오히려 전후 방향과 수직 방향 및 좌우 방향의 진동을 감쇠하는데 방해가 될 수 있으므로 상기 제1 및 제2 진동 센서들(160, 162)의 신호로부터 상기 회전 진동 성분을 제거하는 것이 바람직하다.However, when the traveling module 110 is moved or stopped, rotational vibration of the material 10 may be generated due to inertia, and the rotational vibration of the material 10 is generated by the traveling module 110 and the hoist. Vibration damping using the module 140 has a problem that is difficult to remove. In particular, when a rotational vibration component is included in the signals of the first and second vibration sensors 160 and 162, it may interfere with damping vibrations in the front-rear direction, the vertical direction, and the left-right direction. It is preferable to remove the rotational vibration component from the signals of the second vibration sensors 160 and 162 .

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제1 및 제2 진동 센서들(160, 162)은 상기 자재(10)의 무게 중심을 통과하는 수평축(Horizontal axis; 미도시)에 대한 상기 자재(10)의 회전 진동 성분이 제거될 수 있도록 상기 자재(10)의 상부 및 하부에 각각 장착될 수 있다. 또한, 상기 제1 및 제2 진동 센서들(160, 162)은 상기 자재(10)의 무게 중심을 통과하는 수직축(Vertical axis; 미도시)에 대한 상기 자재(10)의 회전 진동 성분이 제거될 수 있도록 상기 자재(10)의 전방 부위 및 후방 부위에 각각 장착될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the first and second vibration sensors 160 and 162 are the material 10 with respect to a horizontal axis (not shown) passing through the center of gravity of the material 10 . It may be respectively mounted on the upper and lower portions of the material 10 so that the rotational vibration component of the can be removed. In addition, the first and second vibration sensors 160 and 162 have a rotational vibration component of the material 10 with respect to a vertical axis (not shown) passing through the center of gravity of the material 10 to be removed. It may be mounted on the front portion and the rear portion of the material 10, respectively.

예를 들면, 상기 제1 진동 센서(160)는 도 1에 도시된 바와 같이 상기 자재(10)의 일측 모서리 부위들 중 하나에 장착되고, 상기 제2 진동 센서(162)는 상기 자재(10)의 무게 중심을 기준으로 상기 제1 진동 센서(160)에 대향하도록 상기 자재(10)의 타측 모서리 부위들 중 하나에 장착될 수 있다. 구체적으로, 도시된 바와 같이, 상기 제1 진동 센서(160)는 상기 자재(10)의 제1 측면의 전방 상부 모서리 부위에 장착될 수 있으며, 상기 제2 진동 센서(162)는 상기 제1 측면에 대향하는 상기 자재(10)의 제2 측면의 후방 하부 모서리 부위에 장착될 수 있다.For example, the first vibration sensor 160 is mounted on one of the corner portions of one side of the material 10 as shown in FIG. 1 , and the second vibration sensor 162 is the material 10 . It may be mounted on one of the corners of the other side of the material 10 to face the first vibration sensor 160 based on the center of gravity of the. Specifically, as shown, the first vibration sensor 160 may be mounted on the front upper edge portion of the first side of the material 10, and the second vibration sensor 162 is the first side surface. It may be mounted on the rear lower edge portion of the second side of the material 10 opposite to the .

다른 예로서, 도시되지는 않았으나, 상기 제1 진동 센서(160)는 상기 자재(10)의 전면 모서리 부위들 중 하나에 장착되고, 상기 제2 진동 센서(162)는 상기 자재(10)의 무게 중심을 기준으로 상기 제1 진동 센서(160)에 대향하도록 상기 자재(10)의 후면 모서리 부위들 중 하나에 장착될 수 있다.As another example, although not shown, the first vibration sensor 160 is mounted on one of the front edge portions of the material 10 , and the second vibration sensor 162 is the weight of the material 10 . It may be mounted on one of the rear edge portions of the material 10 to face the first vibration sensor 160 with respect to the center.

도 4 및 도 5는 도 1에 도시된 자재의 회전 진동 성분을 설명하기 위한 개략도들이다.4 and 5 are schematic diagrams for explaining the rotational vibration component of the material shown in FIG.

도 4 및 도 5를 참조하면, 상기 이송 차량(104)의 주행 도중 또는 정지한 상태에서 진동이 발생되는 경우, 일 예로서, 도 4에 도시된 바와 같이, 반시계 방향으로 상기 자재(10)의 회전 진동이 발생되는 경우, 상기 제1 진동 센서(160)에는 수직 상방으로의 회전 진동 성분이 검출되고, 상기 제2 진동 센서(162)에는 수직 하방으로의 회전 진동 성분이 검출될 수 있다. 상기와 반대로, 도 5에 도시된 바와 같이, 시계 방향으로 상기 자재(10)의 회전 진동이 발생되는 경우, 상기 제1 진동 센서(160)에는 수직 하방으로의 회전 진동 성분이 검출되고, 상기 제2 진동 센서(162)에는 수직 상방으로의 회전 진동 성분이 검출될 수 있다.Referring to FIGS. 4 and 5 , when vibration is generated while the transport vehicle 104 is traveling or in a stopped state, as an example, as shown in FIG. 4 , the material 10 in a counterclockwise direction. When rotational vibration of is generated, a vertical upward rotational vibration component may be detected by the first vibration sensor 160 , and a vertical downward rotational vibration component may be detected by the second vibration sensor 162 . Contrary to the above, as shown in FIG. 5 , when rotational vibration of the material 10 is generated in the clockwise direction, a vertical downward rotational vibration component is detected in the first vibration sensor 160 , and the second 2 The vibration sensor 162 may detect a vertical upward rotational vibration component.

상기 진동 제어부(170)는 상기 제1 진동 센서(160)의 신호와 상기 제2 진동 센서(162)의 신호를 합산하여 평균값을 산출함으로써 상기 자재(10)의 회전 진동 성분을 제거할 수 있다. 즉, 상기 제1 진동 센서(160)의 신호와 상기 제2 진동 센서(162)의 신호를 합산할 경우 상기 회전 진동 성분들은 서로 상쇄되어 제거될 수 있으며, 아울러 상기와 같은 신호 합성에 의해 노이즈 성분이 감소될 수 있다.The vibration control unit 170 may remove the rotational vibration component of the material 10 by summing the signal of the first vibration sensor 160 and the signal of the second vibration sensor 162 to calculate an average value. That is, when the signal of the first vibration sensor 160 and the signal of the second vibration sensor 162 are summed, the rotational vibration components can be canceled and removed, and also the noise component by the signal synthesis as described above. This can be reduced.

상기와 같은 방법으로 상기 진동 제어부(170)는 상기 자재(10)의 전후 방향과 수직 방향 및 좌우 방향 진동 성분들을 제어하기 위한 신호값들을 획득할 수 있으며, 이에 기초하여 상기 주행 모듈(110)과 호이스트 유닛(144) 및 슬라이드 유닛(148)의 동작을 제어할 수 있다.In the same way as described above, the vibration control unit 170 may acquire signal values for controlling the vibration components in the front-rear direction, the vertical direction, and the left-right direction of the material 10 , and based on this, the driving module 110 and The operation of the hoist unit 144 and the slide unit 148 can be controlled.

예를 들면, 도 3에 도시된 바와 같이 상기 진동 제어부(170)는 상기 자재(10)의 전후 방향 진동 성분에 대한 합성 신호값을 산출하고, 상기 산출된 전후 방향 합성 신호값에 기초하여 상기 자재(10)의 전후 방향 진동 감쇠를 위한 제1 제어 신호를 상기 모션 제어기(150)로 제공할 수 있으며, 상기 모션 제어기(150)는 상기 제1 제어 신호에 기초하여 상기 전방 서보 드라이브(128)와 후방 서보 드라이브(138)에 토크 지령을 제공할 수 있다.For example, as shown in FIG. 3 , the vibration control unit 170 calculates a synthesized signal value for the forward and backward vibration components of the material 10 , and based on the calculated forward and backward direction synthesis signal value, the material A first control signal for damping vibration in the forward and backward directions of (10) may be provided to the motion controller 150, and the motion controller 150 is configured with the front servo drive 128 and the front servo drive 128 based on the first control signal. A torque command may be provided to the rear servo drive 138 .

또한, 도시되지는 않았으나, 상기와 유사한 방법으로, 상기 진동 제어부(170)는 상기 자재(10)의 수직 방향 및 좌우 방향 진동 성분들에 대한 합성 신호값들을 산출하고, 상기 산출된 수직 방향 및 좌우 방향 합성 신호값들에 기초하여 상기 자재(10)의 수직 방향 및 좌우 방향 진동 감쇠를 위한 제2 제어 신호와 제3 제어 신호를 상기 제2 모션 제어기와 제3 모션 제어기에 각각 제공할 수 있으며, 상기 제2 모션 제어기와 제3 모션 제어기는 상기 제2 제어 신호와 제3 제어 신호에 기초하여 상기 제2 서보 드라이브와 제3 서보 드라이브에 토크 지령들을 각각 제공할 수 있다.In addition, although not shown, in a method similar to the above, the vibration control unit 170 calculates synthesized signal values for the vibration components in the vertical direction and left and right directions of the material 10 , and calculates the calculated vertical and left and right directions. It is possible to provide a second control signal and a third control signal for damping vibration in the vertical direction and left and right directions of the material 10 to the second motion controller and the third motion controller, respectively, based on the direction synthesis signal values, The second motion controller and the third motion controller may provide torque commands to the second servo drive and the third servo drive, respectively, based on the second control signal and the third control signal.

한편, 상기 진동 제어부(170)가 상기 제1 및 제2 진동 센서들(160, 162)의 신호들을 수신할 수 있도록 상기 제1 및 제2 진동 센서들(160, 162)은 무선 송신부를 각각 구비할 수 있으며, 상기 진동 제어부(170)는 무선 수신부를 구비할 수 있다. 즉, 상기 진동 제어부(170)와 상기 제1 및 제2 진동 센서들(160, 162)은 무선 통신 방식으로 상호간 신호 전달이 가능하도록 구성될 수 있다.Meanwhile, the first and second vibration sensors 160 and 162 each include a wireless transmitter so that the vibration control unit 170 can receive signals from the first and second vibration sensors 160 and 162 . and the vibration control unit 170 may include a wireless receiver. That is, the vibration control unit 170 and the first and second vibration sensors 160 and 162 may be configured to transmit signals to each other through a wireless communication method.

상기와 다르게, 상기 진동 제어부(170)와 상기 제1 및 제2 진동 센서들(160, 162)은 유선 통신 방식으로 상호간 신호 전달이 가능하도록 구성될 수도 있다. 일 예로서, 상기 자재(10), 예를 들면, 상기 용기의 상부에는 상기 핸드 유닛(146)에 의한 파지를 위해 플랜지가 구비될 수 있고, 상기 핸드 유닛(146)은 상기 플랜지를 파지하기 위한 그리퍼를 구비할 수 있으며, 상기 플랜지와 상기 그리퍼에는 신호 전달을 위한 접속 부재들(미도시)이 각각 구비될 수 있다. 상기 제1 및 제2 진동 센서들(160, 162)은 신호선들을 통해 상기 플랜지에 구비되는 접속 부재와 연결될 수 있으며, 상기 진동 제어부(170)는 신호선들을 통해 상기 그리퍼에 구비되는 접속 부재와 연결될 수 있다. 상기 접속 부재들은 상기 그리퍼에 의해 상기 플랜지가 파지되는 경우 서로 접속되도록 구성될 수 있으며, 이에 의해 상기 진동 제어부(170)와 상기 제1 및 제2 진동 센서들(160, 162)이 서로 통신 가능하도록 연결될 수 있다.Unlike the above, the vibration control unit 170 and the first and second vibration sensors 160 and 162 may be configured to transmit signals to each other through a wired communication method. As an example, a flange may be provided on the upper portion of the material 10 , for example, the container, for gripping by the hand unit 146 , and the hand unit 146 may be configured to grip the flange. A gripper may be provided, and connection members (not shown) for transmitting a signal may be provided to the flange and the gripper, respectively. The first and second vibration sensors 160 and 162 may be connected to a connection member provided in the flange through signal lines, and the vibration control unit 170 may be connected to a connection member provided in the gripper through signal lines. there is. The connecting members may be configured to be connected to each other when the flange is gripped by the gripper, thereby allowing the vibration control unit 170 and the first and second vibration sensors 160 and 162 to communicate with each other. can be connected

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 진동 제어부(170)는 상기 제1 진동 센서(160)의 신호와 상기 제2 진동 센서(162)의 신호를 합성하여 회전 진동 성분을 제거할 수 있으며, 이를 통해 상기 자재(10)의 전후 방향과 수직 방향 및 좌우 방향 진동을 보다 효과적으로 제거할 수 있다. 또한, 상기 제1 및 제2 진동 센서들(160, 162)이 상기 자재(10)에 직접 장착되므로 상기 자재(10)의 진동을 보다 정확하게 측정할 수 있다. 결과적으로, 상기 자재(10)의 이송 과정 또는 정지 상태에서의 자재(10) 진동을 충분히 제거할 수 있으며, 이를 통해 상기 자재(10)의 손상을 충분히 방지할 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, the vibration control unit 170 synthesizes the signal of the first vibration sensor 160 and the signal of the second vibration sensor 162 to remove the rotational vibration component. Through this, it is possible to more effectively remove the vibration in the front-rear direction, the vertical direction, and the left-right direction of the material 10 . In addition, since the first and second vibration sensors 160 and 162 are directly mounted on the material 10 , the vibration of the material 10 can be measured more accurately. As a result, it is possible to sufficiently remove the vibration of the material 10 in the process of transporting the material 10 or in a stationary state, thereby sufficiently preventing damage to the material 10 .

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention within the scope without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the following claims. You will understand that there is

10 : 자재 100 : OHT 장치
102 : 주행 레일 104 : 이송 차량
110 : 주행 모듈 120 : 전방 주행 유닛
122 : 전방 휠 124 : 전방 모터
126 : 전방 엔코더 128 : 전방 서보 드라이브
130 : 후방 주행 유닛 132 : 후방 휠
134 : 후방 모터 136 : 후방 엔코더
138 : 후방 서보 드라이브 140 : 호이스트 모듈
142 : 하우징 144 : 호이스트 유닛
146 : 핸드 유닛 148 : 슬라이드 유닛
150 : 모션 제어기 160 : 제1 진동 센서
162 : 제2 진동 센서 170 : 진동 제어부10: material 100: OHT device
102: running rail 104: transport vehicle
110: driving module 120: front driving unit
122: front wheel 124: front motor
126: front encoder 128: front servo drive
130: rear driving unit 132: rear wheel
134: rear motor 136: rear encoder
138: rear servo drive 140: hoist module
142: housing 144: hoist unit
146: hand unit 148: slide unit
150: motion controller 160: first vibration sensor
162: second vibration sensor 170: vibration control unit

Claims (12)

주행 레일을 따라 이동 가능하도록 구성된 주행 모듈;
상기 주행 모듈의 하부에 연결되며 이송하고자 하는 자재의 승강을 위한 호이스트 모듈;
상기 자재의 진동을 검출하기 위한 제1 및 제2 진동 센서들; 및
상기 제1 및 제2 진동 센서들의 신호에 기초하여 상기 자재의 진동을 감쇠하기 위해 상기 주행 모듈 및 상기 호이스트 모듈의 동작을 제어하는 진동 제어부를 포함하며,
상기 제1 및 제2 진동 센서들은 상기 자재의 무게 중심을 통과하는 수평축에 대한 상기 자재의 회전 진동 성분이 제거되도록 상기 자재의 상부 및 하부에 각각 장착되는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송 장치.a driving module configured to be movable along the driving rail;
a hoist module connected to the lower portion of the traveling module and for lifting and lowering a material to be transported;
first and second vibration sensors for detecting vibration of the material; and
And a vibration control unit for controlling the operation of the driving module and the hoist module to damp the vibration of the material based on the signals of the first and second vibration sensors,
The first and second vibration sensors are mounted on the upper and lower parts of the material, respectively, so that rotational vibration components of the material with respect to a horizontal axis passing through the center of gravity of the material are removed. 제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 진동 센서들은 상기 자재의 무게 중심을 통과하는 수직축에 대한 상기 자재의 회전 진동 성분이 제거되도록 상기 자재의 전방 부위 및 후방 부위에 각각 장착되는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송 장치.According to claim 1, wherein the first and second vibration sensors are respectively mounted on the front portion and the rear portion of the material so that the rotational vibration component of the material with respect to a vertical axis passing through the center of gravity of the material is removed. overhead hoist transfer device. 제2항에 있어서, 상기 제1 진동 센서는 상기 자재의 일측 모서리 부위들 중 하나에 장착되고, 상기 제2 진동 센서는 상기 자재의 중심을 기준으로 상기 제1 진동 센서에 대향하도록 상기 자재의 타측 모서리 부위에 장착되는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송 장치.According to claim 2, wherein the first vibration sensor is mounted on one of the corner portions of one side of the material, the second vibration sensor is the other side of the material to face the first vibration sensor with respect to the center of the material An overhead hoist transfer device, characterized in that it is mounted on the corner. 제2항에 있어서, 상기 제1 진동 센서는 상기 자재의 전면 모서리 부위들 중 하나에 장착되고, 상기 제2 진동 센서는 상기 자재의 중심을 기준으로 상기 제1 진동 센서에 대향하도록 상기 자재의 후면 모서리 부위에 장착되는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송 장치.According to claim 2, wherein the first vibration sensor is mounted on one of the front edge portions of the material, the second vibration sensor is a rear surface of the material to face the first vibration sensor with respect to the center of the material An overhead hoist transfer device, characterized in that it is mounted on the corner. 제1항에 있어서, 상기 진동 제어부는 상기 주행 모듈의 전후 방향으로 상기 자재의 진동을 감쇠시키기 위하여 상기 주행 모듈을 전후 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송 장치.The overhead hoist transport device according to claim 1, wherein the vibration control unit moves the traveling module in the front-rear direction in order to damp the vibration of the material in the front-rear direction of the traveling module. 제1항에 있어서, 상기 진동 제어부는 수직 방향으로 상기 자재의 진동을 감쇠시키기 위하여 상기 호이스트 모듈을 이용하여 상기 자재를 수직 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송 장치.The overhead hoist conveying apparatus according to claim 1, wherein the vibration control unit moves the material in the vertical direction by using the hoist module to damp the vibration of the material in the vertical direction. 제1항에 있어서, 상기 호이스트 모듈은,
상기 자재의 승강을 위한 호이스트 유닛과,
상기 호이스트 유닛을 상기 주행 모듈의 전후 방향에 대하여 수직하는 좌우 방향으로 이동시키기 위한 슬라이드 유닛을 포함하며,
상기 진동 제어부는 상기 좌우 방향으로 상기 자재의 진동을 감쇠시키기 위하여 상기 슬라이드 유닛을 이용하여 상기 호이스트 유닛을 상기 좌우 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송 장치.According to claim 1, wherein the hoist module,
a hoist unit for lifting and lowering the material;
and a slide unit for moving the hoist unit in a left-right direction perpendicular to the front-rear direction of the traveling module,
The vibration control unit is an overhead hoist transfer device, characterized in that for moving the hoist unit in the left and right direction by using the slide unit in order to damp the vibration of the material in the left and right direction. 주행 레일을 따라 이동 가능하도록 구성된 주행 모듈 및 상기 주행 모듈의 하부에 연결되며 이송하고자 하는 자재의 승강을 위한 호이스트 모듈을 포함하는 오버헤드 호이스트 이송 장치의 제어 방법에 있어서,
상기 자재의 진동을 검출하기 위한 제1 및 제2 센서들을 상기 자재에 장착하는 단계; 및
상기 제1 및 제2 진동 센서들의 신호에 기초하여 상기 자재의 진동을 감쇠하기 위해 상기 주행 모듈 및 상기 호이스트 모듈의 동작을 제어하는 단계를 포함하되,
상기 자재의 무게 중심을 통과하는 수평축에 대한 상기 자재의 회전 진동 성분을 제거하기 위하여 상기 자재의 상부 및 하부에 상기 제1 및 제2 진동 센서들을 각각 장착하는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송 장치의 제어 방법.In the control method of an overhead hoist transfer device comprising: a traveling module configured to be movable along a traveling rail; and a hoist module connected to a lower portion of the traveling module for elevating a material to be conveyed, the method comprising:
mounting first and second sensors for detecting vibration of the material to the material; and
Comprising the step of controlling the operation of the driving module and the hoist module to damp the vibration of the material based on the signals of the first and second vibration sensors,
In order to remove the rotational vibration component of the material with respect to a horizontal axis passing through the center of gravity of the material, the first and second vibration sensors are respectively mounted on the upper and lower portions of the material. control method. 제8항에 있어서, 상기 자재의 무게 중심을 통과하는 수직축에 대한 상기 자재의 회전 진동 성분을 제거하기 위하여 상기 자재의 전방 부위 및 후방 부위에 상기 제1 및 제2 진동 센서들을 각각 장착하는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송 장치의 제어 방법.9. The method of claim 8, wherein the first and second vibration sensors are respectively mounted on the front and rear portions of the material in order to eliminate rotational vibration components of the material with respect to a vertical axis passing through the center of gravity of the material. A control method of an overhead hoist transfer device. 제9항에 있어서, 상기 자재의 일측 모서리 부위들 중 하나에 상기 제1 진동 센서를 장착하고, 상기 자재의 중심을 기준으로 상기 제1 진동 센서에 대향하도록 상기 자재의 타측 모서리 부위에 상기 제2 진동 센서를 장착하는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송 장치의 제어 방법.The method according to claim 9, wherein the first vibration sensor is mounted on one of the corner portions of the material, and the second vibration sensor is mounted on the other corner portion of the material to face the first vibration sensor with respect to the center of the material. A control method of an overhead hoist transfer device, characterized in that mounting a vibration sensor. 제9항에 있어서, 상기 자재의 전면 모서리 부위들 중 하나에 상기 제1 진동 센서를 장착하고, 상기 자재의 중심을 기준으로 상기 제1 진동 센서에 대향하도록 상기 자재의 후면 모서리 부위에 상기 제2 진동 센서를 장착하는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송 장치의 제어 방법.The method according to claim 9, wherein the first vibration sensor is mounted on one of the front edge portions of the material, and the second vibration sensor is mounted on the rear edge portion of the material to face the first vibration sensor with respect to the center of the material. A control method of an overhead hoist transfer device, characterized in that mounting a vibration sensor. 제8항에 있어서, 상기 주행 모듈 및 상기 호이스트 모듈의 동작을 제어하는 단계에서,
상기 제1 진동 센서의 신호와 상기 제2 진동 센서의 신호를 합성하여 상기 자재의 회전 진동 성분이 제거된 합성 신호값을 산출하고 상기 합성 신호값에 기초하여 상기 주행 모듈 및 상기 호이스트 모듈의 동작을 제어하는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송 장치의 제어 방법.According to claim 8, In the step of controlling the operation of the driving module and the hoist module,
The signal of the first vibration sensor and the signal of the second vibration sensor are synthesized to calculate a synthesized signal value from which the rotational vibration component of the material is removed, and based on the synthesized signal value, the operation of the driving module and the hoist module is performed Control method of an overhead hoist transfer device, characterized in that for controlling.
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