KR102289024B1 - Transport apparatus - Google Patents

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Abstract

이송 장치가 개시된다. 상기 이송 장치는, 이송 레일을 따라 이동 가능하도록 구성된 이송 모듈과, 상기 이송 모듈의 아래에 연결되며 자재의 픽앤플레이스를 위한 호이스트 모듈과, 상기 이송 모듈 및 상기 호이스트 모듈의 동작 제어를 위한 제어부를 포함한다. 상기 이송 모듈은, 상기 이송 레일 상에 배치되는 주행 휠들과, 상기 주행 휠들의 회전을 위한 구동 모터와, 상기 구동 모터를 동작시키기 위한 모터 구동부를 포함한다. 상기 제어부는 상기 이송 모듈의 주행 도중에 비상 정지가 요구되는 이벤트가 발생되는 경우 상기 모터 구동부에 비상 정지 신호를 제공하고, 상기 모터 구동부는 상기 구동 모터의 회전축에 역방향 토크가 인가되도록 구동 전류를 인가하여 상기 이송 모듈을 감속한다.A transfer device is disclosed. The transfer device includes a transfer module configured to be movable along a transfer rail, a hoist module connected below the transfer module for pick and place of materials, and a control unit for controlling the operation of the transfer module and the hoist module do. The transport module includes driving wheels disposed on the transport rail, a driving motor for rotating the driving wheels, and a motor driving unit for operating the driving motor. The control unit provides an emergency stop signal to the motor driving unit when an event requiring an emergency stop occurs during driving of the transfer module, and the motor driving unit applies a driving current so that a reverse torque is applied to the rotating shaft of the driving motor. Decelerate the transfer module.

Description

이송 장치{TRANSPORT APPARATUS}TRANSPORT APPARATUS

본 발명의 실시예들은 자재 이송을 위한 이송 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 자재 이송을 위해 이송 레일을 따라 이동 가능하게 구성되는 이송 차량을 포함하는 이송 장치에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to a conveying device for material conveying. More particularly, it relates to a transport device including a transport vehicle configured to be movable along a transport rail for material transport in a manufacturing process of a semiconductor device or a display device.

반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 반도체 웨이퍼, 반도체 스트립, 유리 기판, 디스플레이 패널 등과 같은 자재들은 OHT(Overhead Hoist Transport) 장치, RGV(Rail Guided Vehicle) 장치 등과 같은 무인 운반 시스템을 통해 이송될 수 있다. 특히, 상기와 같은 이송 장치들은 클린룸의 천장 또는 바닥에 설치된 이송 레일을 따라 이동 가능하게 구성된 이송 차량을 포함할 수 있으며, 상기 이송 차량의 운행 제어는 OCS(OHT Control Server) 장치와 같은 상위 제어 장치에 의해 제어될 수 있다.In the manufacturing process of a semiconductor device or display device, materials such as semiconductor wafers, semiconductor strips, glass substrates, display panels, etc. may be transported through an unmanned transport system such as an overhead hoist transport (OHT) device, a rail guided vehicle (RGV) device, etc. . In particular, the transfer devices as described above may include a transfer vehicle configured to be movable along a transfer rail installed on the ceiling or floor of a clean room, and the operation control of the transfer vehicle is a higher level control such as an OCS (OHT Control Server) device. It can be controlled by the device.

예를 들면, 반도체 장치의 제조를 위한 클린룸 내에는 자재 이송을 위한 이송 레일들이 천장 부위에 설치될 수 있으며, 상기 이송 레일들을 따라 복수의 이송 차량들이 이동 가능하게 배치될 수 있다. 상기 이송 차량은, 이송 레일을 따라 이동 가능하도록 구성된 이송 모듈과, 상기 이송 모듈의 아래에 연결되며 자재의 픽앤플레이스(pick and place)를 위한 호이스트 모듈과, 상기 이송 모듈 및 상기 호이스트 모듈의 동작 제어를 위한 제어부를 포함할 수 있다. 상기 이송 모듈은, 이송 레일 상에 위치되는 주행 휠들과, 상기 주행 휠들을 회전시키기 위한 구동 모터와, 상기 구동 모터를 동작시키기 위한 모터 구동부를 포함할 수 있으며, 상기 호이스트 모듈은, 상기 자재를 파지하기 위한 그리퍼들을 구비하는 핸드 유닛과, 상기 핸드 유닛을 수직 방향으로 이동시키기 위한 호이스트 유닛을 포함할 수 있다.For example, in a clean room for manufacturing a semiconductor device, transport rails for material transport may be installed on a ceiling, and a plurality of transport vehicles may be movably disposed along the transport rails. The transfer vehicle includes a transfer module configured to be movable along a transfer rail, a hoist module connected below the transfer module for pick and place of materials, and an operation control of the transfer module and the hoist module It may include a control unit for The transport module may include driving wheels positioned on a transport rail, a driving motor for rotating the driving wheels, and a motor driving unit for operating the driving motor, wherein the hoist module holds the material. It may include a hand unit having grippers for moving the hand unit, and a hoist unit for moving the hand unit in a vertical direction.

특히, 상기 이송 차량은 주행 방향으로 전방의 장애물을 검출하기 위한 장애물 검출 센서를 구비할 수 있으며, 상기 이송 차량의 주행 도중 전방에 장애물이 검출되는 경우 상기 제어부는 상기 장애물 검출 센서의 신호에 따라 상기 모터 구동부에 제어 신호를 제공하고 상기 모터 구동부는 상기 제어 신호에 따라 상기 구동 모터의 동작을 제어할 수 있다. 즉, 상기 이송 차량의 감속 제어는 상기 장애물 검출 센서의 신호에 기초하는 피드백 제어 방식으로 수행될 수 있다. 그러나, 상기 이송 차량의 급정지가 요구되는 돌발 상황이 발생하는 경우, 예를 들면, 상기 이송 차량의 전방에서 갑자기 고장 차량 등의 장애물이 검출되는 경우 상기 피드백 제어 방식의 감속 제어로는 상기 고장 차량과의 충돌 전에 상기 이송 차량을 급정지시키기 위한 시간이 부족할 수 있고, 또한 상기 장애물 검출 센서의 신호가 급격하게 변화됨에 따라 제어 시스템이 불안정해지고 과도한 진동이 발생될 수 있다. 결과적으로, 이송 차량들 사이의 충돌에 의한 손상 또는 시스템 불안정에 의한 진동에 기인하는 이송 차량의 손상이 야기될 수 있다.In particular, the transport vehicle may include an obstacle detection sensor for detecting an obstacle in the driving direction, and when an obstacle is detected in the front during the driving of the transport vehicle, the controller is configured to control the obstacle detection sensor according to the signal. A control signal may be provided to the motor driving unit, and the motor driving unit may control the operation of the driving motor according to the control signal. That is, the deceleration control of the transport vehicle may be performed in a feedback control method based on a signal of the obstacle detection sensor. However, when an unexpected situation requiring the sudden stop of the transfer vehicle occurs, for example, when an obstacle, such as a broken vehicle, is suddenly detected in front of the transfer vehicle, the deceleration control of the feedback control method includes the vehicle and the malfunctioning vehicle. There may be insufficient time to suddenly stop the transport vehicle before the collision, and as the signal of the obstacle detection sensor is rapidly changed, the control system may become unstable and excessive vibration may be generated. As a result, damage due to a collision between the transport vehicles or damage to the transport vehicle due to vibration due to system instability may be caused.

대한민국 등록특허공보 제10-1374665호 (등록일자 2014년 03월 10일)Republic of Korea Patent Publication No. 10-1374665 (Registration date March 10, 2014) 대한민국 등록특허공보 제10-1610209호 (등록일자 2016년 04월 01일)Republic of Korea Patent Publication No. 10-1610209 (Registration date April 01, 2016)

본 발명의 실시예들은 비상 정지가 요구되는 이벤트 발생되는 경우 이송 차량을 신속하게 정지시킬 수 있는 이송 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY Embodiments of the present invention have an object to provide a transfer device capable of quickly stopping a transfer vehicle when an event requiring an emergency stop occurs.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 이송 레일을 따라 이동 가능하도록 구성된 이송 모듈과 상기 이송 모듈의 아래에 연결되며 자재의 픽앤플레이스를 위한 호이스트 모듈 및 상기 이송 모듈과 상기 호이스트 모듈의 동작 제어를 위한 제어부를 포함하는 이송 장치에 있어서, 상기 이송 모듈은, 상기 이송 레일 상에 배치되는 주행 휠들과, 상기 주행 휠들의 회전을 위한 구동 모터와, 상기 구동 모터를 동작시키기 위한 모터 구동부를 포함할 수 있으며, 상기 제어부는 상기 이송 모듈의 주행 도중에 비상 정지가 요구되는 이벤트가 발생되는 경우 상기 모터 구동부에 비상 정지 신호를 제공하고, 상기 모터 구동부는 상기 구동 모터의 회전축에 역방향 토크가 인가되도록 구동 전류를 인가하여 상기 이송 모듈을 감속할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, a transfer module configured to be movable along a transfer rail and a hoist module connected below the transfer module and for pick and place of material, and a control unit for controlling the operation of the transfer module and the hoist module In a transport device comprising a, the transport module may include driving wheels disposed on the transport rail, a driving motor for rotating the driving wheels, and a motor driving unit for operating the driving motor, The control unit provides an emergency stop signal to the motor driving unit when an event requiring an emergency stop occurs during driving of the transfer module, and the motor driving unit applies a driving current so that a reverse torque is applied to the rotating shaft of the driving motor. The transfer module may be decelerated.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 모터 구동부는 상기 이송 모듈의 속도가 기 설정된 속도까지 감속된 후 상기 역방향 토크 발생을 위한 상기 구동 전류의 인가를 중지하고 상기 구동 모터의 동적 제동을 수행하여 상기 이송 모듈을 정지시킬 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the motor driving unit stops the application of the driving current for generating the reverse torque after the speed of the transfer module is reduced to a preset speed and performs dynamic braking of the driving motor to The transfer module can be stopped.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 모터 구동부는 상기 이송 모듈의 정지 후 상기 구동 모터와 연결된 전자 브레이크를 동작시켜 상기 이송 모듈의 정지 상태를 유지할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the motor driving unit may maintain a stopped state of the transfer module by operating an electromagnetic brake connected to the driving motor after the transfer module is stopped.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제어부는 상기 이송 모듈의 정지 후 상기 이송 모듈의 정지를 알리는 경보 신호를 발생시킬 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the control unit may generate an alarm signal informing that the transfer module is stopped after the transfer module is stopped.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 이송 모듈의 주행 방향으로 전방 장애물을 검출하기 위한 장애물 검출 센서를 더 포함할 수 있으며, 상기 제어부는 상기 장애물 검출 센서로부터 신호가 수신되지 않거나 비정상적인 신호가 수신되는 경우 상기 이벤트가 발생된 것으로 판단할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, it may further include an obstacle detection sensor for detecting a forward obstacle in the traveling direction of the transport module, wherein the control unit does not receive a signal from the obstacle detection sensor or an abnormal signal is received In this case, it may be determined that the event has occurred.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제어부는 상기 이송 모듈의 주행 도중에 상기 장애물 검출 센서로부터 기 설정된 거리보다 짧은 거리에서 장애물이 갑자기 검출되는 경우 상기 이벤트가 발생된 것으로 판단할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the controller may determine that the event has occurred when an obstacle is suddenly detected at a distance shorter than a preset distance from the obstacle detection sensor while the transport module is traveling.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 이송 모듈이 기 설정된 속도 이상으로 주행하는 동안 상기 장애물 검출 센서에 의해 장애물이 검출되는 상기 이벤트가 발생된 것으로 판단할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, it may be determined that the event in which an obstacle is detected by the obstacle detection sensor has occurred while the transfer module travels at a speed greater than or equal to a preset speed.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 모터 구동부는 상기 구동 모터의 회전축에 최대 역방향 토크가 인가되도록 구동 전류를 인가할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the motor driving unit may apply a driving current such that a maximum reverse torque is applied to a rotation shaft of the driving motor.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 비상 정지가 요구되는 돌발 상황에서 상기 구동 모터에 역방향 토크를 인가함으로써 상기 이송 차량을 기 설정된 속도까지 신속하게 감속할 수 있고, 이어서 상기 이송 차량의 역주행을 방지하기 위해 동적 제동을 통해 상기 이송 차량을 안정적으로 완전히 정지시킬 수 있다. 상기와 같은 이송 차량의 감속 제어는 장애물 검출 센서의 신호에 기초하는 종래의 피드백 제어 방식이 아니라 상기 이송 차량의 이동 속도에 기초하는 개루프 제어 방식으로 수행되므로 종래의 피드백 제어 방식에서 발생될 수 있는 시스템 불안정 및 진동 발생을 방지할 수 있으며 이를 통해 긴급 정지 상황에서 상기 이송 차량의 손상을 방지할 수 있다. 또한, 상기 구동 모터에 역방향 최대 토크를 인가함으로써 상기 이송 차량을 급정지시킬 수 있으므로 상기 이송 차량의 전방에서 갑자기 장애물이 검출되는 경우에도 상기 장애물과의 충돌을 방지할 수 있고 이를 통해 충돌에 의한 상기 이송 차량의 손상을 방지할 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, by applying a reverse torque to the drive motor in an unexpected situation requiring an emergency stop, the transfer vehicle can be rapidly decelerated to a preset speed, and then the transfer vehicle The transfer vehicle can be stably and completely stopped through dynamic braking to prevent reverse running. Since the deceleration control of the transport vehicle as described above is performed not by the conventional feedback control method based on the signal of the obstacle detection sensor, but by the open-loop control method based on the moving speed of the transfer vehicle, it can be generated in the conventional feedback control method. It is possible to prevent system instability and vibration, thereby preventing damage to the transport vehicle in an emergency stop situation. In addition, since the transfer vehicle can be suddenly stopped by applying the maximum torque in the reverse direction to the driving motor, collision with the obstacle can be prevented even when an obstacle is suddenly detected in front of the transfer vehicle. It can prevent damage to the vehicle.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 제어부와 구동 모터 및 모터 구동부의 동작을 설명하기 위한 블록도이다.1 is a schematic configuration diagram for explaining a transfer device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a block diagram illustrating operations of a control unit, a driving motor, and a motor driving unit illustrated in FIG. 1 .

이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention should not be construed as being limited to the embodiments described below and may be embodied in various other forms. The following examples are provided to fully convey the scope of the present invention to those skilled in the art, rather than to enable the present invention to be fully completed.

본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.In embodiments of the present invention, when an element is described as being disposed or connected to another element, the element may be directly disposed or connected to the other element, and other elements may be interposed therebetween. could be Alternatively, where one element is described as being directly disposed on or connected to another element, there cannot be another element between them. Although the terms first, second, third, etc. may be used to describe various items such as various elements, compositions, regions, layers and/or portions, the items are not limited by these terms. will not

본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.The terminology used in the embodiments of the present invention is only used for the purpose of describing specific embodiments, and is not intended to limit the present invention. In addition, unless otherwise limited, all terms including technical and scientific terms have the same meaning as understood by one of ordinary skill in the art of the present invention. The above terms, such as those defined in conventional dictionaries, shall be interpreted as having meanings consistent with their meanings in the context of the relevant art and description of the present invention, ideally or excessively outwardly intuitive, unless clearly defined. will not be interpreted.

본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.Embodiments of the present invention are described with reference to schematic diagrams of ideal embodiments of the present invention. Accordingly, variations from the shapes of the diagrams, eg, variations in manufacturing methods and/or tolerances, are those that can be fully expected. Accordingly, embodiments of the present invention are not to be described as being limited to the specific shapes of the areas described as diagrams, but rather to include deviations in the shapes, and the elements described in the drawings are entirely schematic and their shapes It is not intended to describe the precise shape of the elements, nor is it intended to limit the scope of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이며, 도 2는 도 1에 도시된 제어부와 구동 모터 및 모터 구동부의 동작을 설명하기 위한 블록도이다.1 is a schematic configuration diagram for explaining a transport apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a block diagram for explaining the operation of the control unit, the driving motor, and the motor driving unit shown in FIG. 1 .

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치(100)는 반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 자재(10)의 이송을 위해 사용될 수 있다. 상기 이송 장치(100)는 상기 제조 공정이 수행되는 클린룸의 천장 부위에 설치되는 이송 레일(102)과 상기 이송 레일(102)을 따라 이동 가능하도록 구성된 이송 차량(104)을 포함할 수 있다. 상기 이송 차량(104)은, 상기 이송 레일(102)을 따라 이동 가능하도록 구성된 이송 모듈(110)과, 상기 이송 모듈(110)의 아래에 현수 방식으로 연결되며 상기 자재(10)의 픽앤플레이스 동작을 위한 호이스트 모듈(130)과, 상기 이송 모듈(110) 및 상기 호이스트 모듈(130)의 동작 제어를 위한 제어부(150)를 포함할 수 있다.1 and 2 , a transport apparatus 100 according to an embodiment of the present invention may be used to transport a material 10 in a manufacturing process of a semiconductor device or a display device. The transfer device 100 may include a transfer rail 102 installed on a ceiling portion of a clean room in which the manufacturing process is performed, and a transfer vehicle 104 configured to be movable along the transfer rail 102 . The transfer vehicle 104 is connected to a transfer module 110 configured to be movable along the transfer rail 102 in a suspended manner under the transfer module 110 and performs a pick-and-place operation of the material 10 . It may include a hoist module 130 for, and a control unit 150 for controlling the operation of the transfer module 110 and the hoist module 130 .

상기 이송 모듈(110)은 상기 이송 레일(102) 상에 배치되는 전방 이송 유닛(112)과 후방 이송 유닛(114)을 포함할 수 있으며, 상기 전방 및 후방 이송 유닛들(112, 114)은 각각 주행 휠들(116)과 상기 주행 휠들(116)을 회전시키기 위한 구동 모터(118) 등을 포함할 수 있다. 상기 호이스트 모듈(130)은 상기 전방 및 후방 주행 유닛들(112, 114)의 하부에 회전축을 통해 현수 방식으로 연결될 수 있으며, 상기 자재(10)를 파지하기 위한 그리퍼들을 구비하는 핸드 유닛(132)과, 상기 핸드 유닛(132)을 수직 방향으로 이동시키기 위한 호이스트 유닛(134)을 포함할 수 있다. 도시되지는 않았으나, 상기 핸드 유닛(132)은 상기 자재(10)의 파지를 위해 상기 그리퍼들을 동작시키는 그리퍼 구동부를 구비할 수 있으며, 상기 호이스트 유닛(134)은 승강 벨트들을 이용하여 상기 핸드 유닛(132)을 수직 방향으로 이동시킬 수 있다.The transfer module 110 may include a front transfer unit 112 and a rear transfer unit 114 disposed on the transfer rail 102 , and the front and rear transfer units 112 and 114 are respectively It may include driving wheels 116 and a driving motor 118 for rotating the driving wheels 116 , and the like. The hoist module 130 may be connected to the lower portion of the front and rear traveling units 112 and 114 in a suspended manner through a rotating shaft, and a hand unit 132 having grippers for gripping the material 10 . And, it may include a hoist unit 134 for moving the hand unit 132 in the vertical direction. Although not shown, the hand unit 132 may include a gripper driving unit that operates the grippers to grip the material 10, and the hoist unit 134 uses elevating belts to operate the hand unit ( 132) can be moved in the vertical direction.

상기 이송 모듈(100)은 상기 구동 모터(118)를 동작시키기 위한 모터 구동부(120)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 이송 레일(102)을 따라 전원 공급 케이블(미도시)이 설치될 수 있으며, 상기 이송 모듈(110)은 상기 전원 공급 케이블로부터 무전 전력 전송 방식으로 전원을 제공받을 수 있다. 상기 이송 차량(104)의 운행 제어는 OCS(OHT Control Server) 장치와 같은 상위 제어 장치에 의해 제어될 수 있으며, 상기 제어부(150)는 상기 OCS 장치로부터 수신되는 주행 명령에 따라 상기 모터 구동부(120)에 제어 신호를 제공할 수 있다. 예를 들면, 상기 제어부(150)는 상기 자재(10)의 이송을 위해 상기 모터 구동부(120)에 상기 이송 모듈(110)의 주행을 위한 모션 프로파일을 제공할 수 있으며, 상기 모터 구동부(120)는 상기 모션 프로파일에 따라 상기 구동 모터(118)를 동작시킬 수 있다.The transfer module 100 may include a motor driving unit 120 for operating the driving motor 118 . In addition, a power supply cable (not shown) may be installed along the transport rail 102 , and the transport module 110 may receive power from the power supply cable in a wireless power transmission method. The operation control of the transport vehicle 104 may be controlled by a higher level control device such as an OHT Control Server (OCS) device, and the controller 150 may control the motor driving unit 120 according to a driving command received from the OCS device. ) can provide a control signal. For example, the control unit 150 may provide a motion profile for the driving of the transport module 110 to the motor driving unit 120 for transporting the material 10 , and the motor driving unit 120 . may operate the driving motor 118 according to the motion profile.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제어부(150)는 상기 이송 모듈(110)의 주행 도중에 비상 정지가 요구되는 이벤트가 발생되는 경우 상기 모터 구동부(120)에 비상 정지 신호를 제공할 수 있다. 예를 들면, 상기 제어부(150)는 상기 이송 모듈(110)의 주행 도중에 급정지가 요구되는 돌발 상황이 발생되는 경우 상기 모터 구동부(120)에 비상 정지 신호를 제공할 수 있으며, 상기 모터 구동부(120)는 상기 비상 정지 신호가 수신되는 경우 상기 구동 모터(118)의 회전축에 역방향 토크가 인가되도록 구동 전류를 인가하여 상기 이송 모듈(110)을 감속시킬 수 있으며 이를 통해 상기 이송 모듈(110)을 신속하게 정지시킬 수 있다. 특히, 상기와 같은 이송 모듈(110)의 감속 제어는 종래 기술에서와 같은 피드백 제어가 아니라 상기 이송 모듈(110)이 기 설정된 속도까지 감속되도록 하는 개루프(open loop) 제어 방식으로 수행될 수 있으며 이를 통해 상기 이송 모듈(110)을 신속하게 정지시킬 수 있고 아울러 피드백 제어에서 발생될 수 있는 시스템 불안정 상태를 제거할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the control unit 150 may provide an emergency stop signal to the motor driving unit 120 when an event requiring an emergency stop occurs while the transfer module 110 is traveling. For example, the control unit 150 may provide an emergency stop signal to the motor driving unit 120 when an unexpected situation requiring a sudden stop occurs while the transfer module 110 is traveling, and the motor driving unit 120 . ) can decelerate the transfer module 110 by applying a driving current so that a reverse torque is applied to the rotation shaft of the drive motor 118 when the emergency stop signal is received, and through this, the transfer module 110 can be quickly moved can be stopped. In particular, the deceleration control of the transfer module 110 as described above may be performed in an open loop control method such that the transfer module 110 decelerates to a preset speed, rather than a feedback control as in the prior art. Through this, it is possible to quickly stop the transfer module 110 and also to eliminate system instability that may occur in feedback control.

예를 들면, 상기와 같이 긴급 정지가 요구되는 이벤트가 발생되는 경우 상기 모터 구동부(120)는 상기 구동 모터(118)가 출력할 수 있는 최대 역방향 토크를 발생시키도록 구동 전류를 인가할 수 있으며, 이를 통해 상기 이송 모듈(110)을 기 설정된 속도까지 신속하게 정지시킬 수 있다. 특히, 상기 최대 역방향 토크가 상기 구동 모터(118)의 회전축에 지속적으로 인가되는 경우 상기 이송 모듈(110)이 정지 후 역방향으로 주행할 수 있으므로, 상기 최대 역방향 토크는 상기 이송 모듈(110)의 정지 이전 기 설정된 속도, 예를 들면, 약 0.1 내지 0.5 m/s 정도의 속도로 감속될 때까지 인가될 수 있으며, 이후 상기 모터 구동부(120)는 상기 구동 전류의 인가를 중지하고 상기 구동 모터(118)의 동적 제동(dynamic brake)을 수행하여 상기 이송 모듈(110)을 정지시킬 수 있다. 이를 위하여 상기 모터 구동부(120)는 동적 제동 회로를 구비할 수 있다.For example, when an event requiring an emergency stop occurs as described above, the motor driving unit 120 may apply a driving current to generate the maximum reverse torque that the driving motor 118 can output, Through this, the transfer module 110 can be quickly stopped up to a preset speed. In particular, when the maximum reverse torque is continuously applied to the rotation shaft of the driving motor 118 , the transfer module 110 can travel in the reverse direction after stopping, so the maximum reverse torque is the stop of the transfer module 110 . It may be applied until it is decelerated to a previously preset speed, for example, a speed of about 0.1 to 0.5 m/s, and then the motor driving unit 120 stops the application of the driving current and the driving motor 118 ) to stop the transfer module 110 by performing a dynamic brake. To this end, the motor driving unit 120 may include a dynamic braking circuit.

상기 구동 모터(118)는 상기 이송 모듈(110)의 이동 속도를 산출하기 위한 엔코더(미도시)를 포함할 수 있다. 상기 엔코더의 신호를 통해 상기 구동 모터(118)의 회전 속도가 산출될 수 있고 상기 구동 모터(118)의 회전 속도에 의해 상기 구동 휠들(116)의 회전 속도 및 상기 이송 모듈(110)의 이동 속도가 산출될 수 있다. 상기 모터 구동부(120)는 상기 엔코더의 신호 또는 상기 산출된 이송 모듈(110)의 이동 속도에 기초하여 상기 구동 전류의 인가를 중지시킬 수 있다. 또한, 상기 구동 모터(118)는 상기 회전축의 회전을 제동하는 전자 브레이크(미도시)를 구비할 수 있으며, 상기 이송 모듈(110)의 정지 후 상기 모터 구동부(120)는 상기 전자 브레이크를 동작시켜 상기 이송 모듈(110)의 정지 상태를 유지할 수 있다. 일 예로서, 상기 모터 구동부(120)는 상기 전자 브레이크에 인가되는 전원을 차단함으로써 상기 전자 브레이크를 동작시키고 이를 통해 상기 이송 모듈(110)의 정지 상태를 유지할 수 있다.The driving motor 118 may include an encoder (not shown) for calculating the moving speed of the transfer module 110 . The rotational speed of the driving motor 118 may be calculated through the signal of the encoder, and the rotational speed of the driving wheels 116 and the moving speed of the transfer module 110 by the rotational speed of the driving motor 118 . can be calculated. The motor driving unit 120 may stop the application of the driving current based on the encoder signal or the calculated moving speed of the transfer module 110 . In addition, the driving motor 118 may include an electromagnetic brake (not shown) that brakes the rotation of the rotating shaft, and after the transfer module 110 is stopped, the motor driving unit 120 operates the electromagnetic brake It is possible to maintain a stopped state of the transfer module 110 . As an example, the motor driving unit 120 may operate the electromagnetic brake by cutting off power applied to the electromagnetic brake, thereby maintaining the stop state of the transfer module 110 .

한편, 상기 이송 모듈(110)의 정지 후 상기 제어부(150)는 상기 이송 모듈(110)의 정지를 알리는 경보 신호를 발생시킬 수 있다. 예를 들면, 상기 제어부(150)는 상기 OCS 장치로 상기 이송 모듈(110)의 정지 상태를 알리는 경보 신호를 전송할 수 있으며, 상기 OCS 장치는 후속하는 이송 차량이 상기 정지된 이송 차량(104)과 충돌하는 것을 방지하기 위해 상기 후속하는 이송 차량의 이동을 중지시킬 수 있다.Meanwhile, after the transfer module 110 is stopped, the controller 150 may generate an alarm signal notifying the stop of the transfer module 110 . For example, the control unit 150 may transmit an alarm signal notifying the stop state of the transfer module 110 to the OCS device, and the OCS device determines whether a subsequent transfer vehicle is connected to the stopped transfer vehicle 104 . It is possible to stop the movement of the subsequent transport vehicle in order to avoid a collision.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 비상 정지가 요구되는 이벤트는 다양하게 발생될 수 있으며 상기와 같이 구동 모터(118)의 역방향 토크 인가를 통해 개루프 방식으로 상기 이송 모듈(110)을 급정지시킬 수 있으므로 급정지 상황에서의 상기 이송 차량(104) 손상을 방지할 수 있다. 예를 들면, 상기 이송 차량(104)은 주행 방향으로 전방 장애물을 검출하기 위한 장애물 검출 센서(170)를 구비할 수 있으며, 상기 제어부(150)는 상기 이송 모듈(110)의 주행 도중에 상기 장애물 검출 센서(170)로부터 신호가 수신되지 않거나 비정상적인 신호가 수신되는 경우 상기 이벤트가 발생된 것으로 판단할 수 있다. 즉, 상기 장애물 검출 센서(170)로부터 신호가 수신되지 않는 경우 상기 장애물 검출 센서(170)가 고장 상태인 것으로 판단될 수 있고, 또한 상기 장애물 검출 센서(170)로부터 설정된 범위를 벗어나는 비정상적인 신호가 수신되는 경우 상기 장애물 검출 센서(170)가 비정상적으로 동작하고 있는 것으로 판단될 수 있으므로, 이 경우 상기 이송 차량(104)을 긴급 정지시킬 필요가 있다.According to an embodiment of the present invention, the event requiring the emergency stop may occur in various ways, and as described above, the transfer module 110 can be suddenly stopped in an open-loop manner through the reverse torque application of the driving motor 118 . Therefore, it is possible to prevent damage to the transport vehicle 104 in a sudden stop situation. For example, the transport vehicle 104 may include an obstacle detection sensor 170 for detecting a forward obstacle in a driving direction, and the controller 150 detects the obstacle while the transport module 110 is traveling. When a signal is not received from the sensor 170 or an abnormal signal is received, it may be determined that the event has occurred. That is, when a signal is not received from the obstacle detection sensor 170 , it may be determined that the obstacle detection sensor 170 is in a malfunctioning state, and an abnormal signal outside the set range is received from the obstacle detection sensor 170 . In this case, it may be determined that the obstacle detection sensor 170 is operating abnormally, and in this case, it is necessary to urgently stop the transfer vehicle 104 .

다른 예로서, 상기 제어부(150)는 상기 이송 모듈(110)의 주행 도중에 상기 장애물 검출 센서(170)로부터 기 설정된 거리보다 짧은 거리에서 장애물이 갑자기 검출되는 경우 상기 이벤트가 발생된 것으로 판단할 수 있다. 구체적으로, 상기 장애물 검출 센서(170)의 검출 거리가 약 5 미터 정도로 설정된 경우 정상적인 경우라면 상기 이송 차량(104)의 주행 도중 약 5 미터 거리에서부터 장애물이 검출되어야 하지만, 상기 장애물 검출 센서(170)의 검출 방향, 검출 범위 등에 오류가 있거나 곡선 주행 경로에서 장애물, 예를 들면, 전방 주행 차량을 정상적으로 검출하지 못하는 경우, 상기 검출 거리보다 짧은 거리에서 갑자기 장애물이 주행 경로 상에 존재하는 것으로 인지될 수 있고, 이 경우 상기 이송 차량(104)을 긴급 정지시킬 필요가 있다.As another example, the controller 150 may determine that the event has occurred when an obstacle is suddenly detected at a distance shorter than a preset distance from the obstacle detection sensor 170 while the transport module 110 is traveling. . Specifically, when the detection distance of the obstacle detection sensor 170 is set to about 5 meters, in a normal case, the obstacle should be detected from a distance of about 5 meters while the transport vehicle 104 is running, but the obstacle detection sensor 170 If there is an error in the detection direction, detection range of In this case, it is necessary to urgently stop the transfer vehicle 104 .

또 다른 예로서, 상기 이송 모듈(110)이 기 설정된 속도 이상으로 주행하는 동안, 예를 들면, 상기 이송 모듈(110)이 최대 속도로 이동하는 동안, 상기 장애물 검출 센서(170)에 의해 갑자기 장애물이 검출되는 경우 상기 이벤트가 발생된 것으로 판단될 수 있다. 즉, 주행 경로 상에 다른 이송 차량이 없는 것으로 확인되어 상기 이송 차량(104)이 기 설정된 속도 이상으로 또는 최대 이동 속도로 이동하는 동안 예상치 못하게 주행 경로 전방에서 장애물이 검출되는 경우 긴급하게 상기 이송 차량(104)을 정지시킬 필요가 있다. 한편, 상기에서 비상 정지가 요구되는 이벤트의 예들이 설명되었으나, 비상 정지가 요구되는 이벤트는 상기 예들 이외에도 다양하게 발생될 수 있으므로 본 발명의 범위가 상기 예들에 의해 제한되지는 않을 것이다.As another example, while the transfer module 110 travels at a speed higher than a preset speed, for example, while the transfer module 110 moves at the maximum speed, the obstacle detection sensor 170 suddenly creates an obstacle. When this is detected, it may be determined that the event has occurred. That is, when it is confirmed that there is no other transport vehicle on the driving path and an obstacle is unexpectedly detected in front of the driving path while the transport vehicle 104 moves at a preset speed or higher or at the maximum moving speed, the transport vehicle urgently It is necessary to stop (104). On the other hand, although examples of the event requiring an emergency stop have been described above, the event requiring an emergency stop may occur in various ways other than the above examples, so the scope of the present invention will not be limited by the above examples.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 비상 정지가 요구되는 돌발 상황에서 상기 구동 모터(118)에 역방향 토크를 인가함으로써 상기 이송 차량(104)을 기 설정된 속도까지 신속하게 감속할 수 있고, 이어서 상기 이송 차량(104)의 역주행을 방지하기 위해 동적 제동을 통해 상기 이송 차량(104)을 안정적으로 완전히 정지시킬 수 있다. 상기와 같은 이송 차량(104)의 감속 제어는 장애물 검출 센서(170)의 신호에 기초하는 종래의 피드백 제어 방식이 아니라 상기 이송 차량(104)의 이동 속도에 기초하는 개루프 제어 방식으로 수행되므로 종래의 피드백 제어 방식에서 발생될 수 있는 시스템 불안정 및 진동 발생을 방지할 수 있으며 이를 통해 긴급 정지 상황에서 상기 이송 차량(104)의 손상을 방지할 수 있다. 또한, 상기 구동 모터(118)에 역방향 최대 토크를 인가함으로써 상기 이송 차량(104)을 신속하게 정지시킬 수 있으므로 상기 이송 차량(104)의 전방에서 갑자기 장애물이 검출되는 경우에도 상기 장애물과의 충돌을 방지할 수 있고 이를 통해 충돌에 의한 상기 이송 차량(104)의 손상을 방지할 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, by applying a reverse torque to the driving motor 118 in an unexpected situation requiring an emergency stop, the transfer vehicle 104 can be quickly decelerated to a preset speed, and , then it is possible to stably and completely stop the transfer vehicle 104 through dynamic braking in order to prevent the transfer vehicle 104 from running in reverse. Since the deceleration control of the transfer vehicle 104 as described above is performed by an open-loop control method based on the moving speed of the transfer vehicle 104 rather than the conventional feedback control method based on the signal of the obstacle detection sensor 170, conventionally It is possible to prevent system instability and generation of vibrations that may occur in the feedback control method of , thereby preventing damage to the transport vehicle 104 in an emergency stop situation. In addition, since the transfer vehicle 104 can be quickly stopped by applying the maximum reverse torque to the driving motor 118, collision with the obstacle can be prevented even when an obstacle is suddenly detected in front of the transfer vehicle 104. It is possible to prevent damage to the transport vehicle 104 due to a collision through this.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to the preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention within the scope without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the following claims. You will understand that there is

100 : 이송 장치 102 : 이송 레일
104 : 이송 차량 110 : 이송 모듈
112 : 전방 이송 유닛 114 : 후방 이송 유닛
116 : 주행 휠 118 : 구동 모터
120 : 모터 구동부 130 : 호이스트 모듈
132 : 핸드 유닛 134 : 호이스트 유닛
150 : 제어부 170 : 장애물 검출 센서100: transfer device 102: transfer rail
104: transport vehicle 110: transport module
112: front transfer unit 114: rear transfer unit
116: travel wheel 118: drive motor
120: motor driving unit 130: hoist module
132: hand unit 134: hoist unit
150: control unit 170: obstacle detection sensor

Claims (8)

이송 레일을 따라 이동 가능하도록 구성된 이송 모듈과 상기 이송 모듈의 아래에 연결되며 자재의 픽앤플레이스를 위한 호이스트 모듈 및 상기 이송 모듈과 상기 호이스트 모듈의 동작 제어를 위한 제어부를 포함하는 이송 장치에 있어서,
상기 이송 모듈은,
상기 이송 레일 상에 배치되는 주행 휠들과,
상기 주행 휠들의 회전을 위한 구동 모터와,
상기 구동 모터를 동작시키기 위한 모터 구동부를 포함하며,
상기 제어부는 상기 이송 모듈의 주행 도중에 비상 정지가 요구되는 이벤트가 발생되는 경우 상기 모터 구동부에 비상 정지 신호를 제공하고,
상기 모터 구동부는 상기 구동 모터의 회전축에 역방향 토크가 인가되도록 구동 전류를 인가하여 상기 이송 모듈을 기 설정된 속도까지 감속시킨 후 상기 역방향 토크 발생을 위한 상기 구동 전류의 인가를 중지하고 이어서 상기 구동 모터의 동적 제동을 수행하여 상기 이송 모듈을 정지시키는 것을 특징으로 하는 이송 장치.In a transfer device comprising a transfer module configured to be movable along a transfer rail and a hoist module connected below the transfer module for pick-and-place material, and a control unit for controlling the operation of the transfer module and the hoist module,
The transfer module is
running wheels disposed on the transport rail;
a driving motor for rotating the driving wheels;
A motor driving unit for operating the driving motor,
The control unit provides an emergency stop signal to the motor driving unit when an event requiring an emergency stop occurs while the transfer module is running,
The motor driving unit applies a driving current so that a reverse torque is applied to the rotation shaft of the driving motor to decelerate the transfer module to a preset speed, then stops the application of the driving current for generating the reverse torque, and then A transfer device, characterized in that by performing dynamic braking to stop the transfer module. 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 모터 구동부는 상기 이송 모듈의 정지 후 상기 구동 모터와 연결된 전자 브레이크를 동작시켜 상기 이송 모듈의 정지 상태를 유지하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The transfer apparatus according to claim 1, wherein the motor driving unit maintains a stopped state of the transfer module by operating an electromagnetic brake connected to the driving motor after the transfer module is stopped. 제1항에 있어서, 상기 제어부는 상기 이송 모듈의 정지 후 상기 이송 모듈의 정지를 알리는 경보 신호를 발생시키는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The transfer device according to claim 1, wherein the control unit generates an alarm signal notifying the stop of the transfer module after the transfer module is stopped. 제1항에 있어서, 상기 이송 모듈의 주행 방향으로 전방 장애물을 검출하기 위한 장애물 검출 센서를 더 포함하며,
상기 제어부는 상기 장애물 검출 센서로부터 신호가 수신되지 않거나 비정상적인 신호가 수신되는 경우 상기 이벤트가 발생된 것으로 판단하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.According to claim 1, further comprising an obstacle detection sensor for detecting a front obstacle in the traveling direction of the transport module,
The control unit transfer device, characterized in that when the signal is not received from the obstacle detection sensor or an abnormal signal is received, determining that the event has occurred. 제1항에 있어서, 상기 이송 모듈의 주행 방향으로 전방 장애물을 검출하기 위한 장애물 검출 센서를 더 포함하며,
상기 제어부는 상기 이송 모듈의 주행 도중에 상기 장애물 검출 센서로부터 기 설정된 거리보다 짧은 거리에서 장애물이 갑자기 검출되는 경우 상기 이벤트가 발생된 것으로 판단하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.According to claim 1, further comprising an obstacle detection sensor for detecting a front obstacle in the traveling direction of the transport module,
The controller determines that the event has occurred when an obstacle is suddenly detected at a distance shorter than a preset distance from the obstacle detection sensor while the transport module is traveling. 제1항에 있어서, 상기 이송 모듈의 주행 방향으로 전방 장애물을 검출하기 위한 장애물 검출 센서를 더 포함하며,
상기 제어부는 상기 이송 모듈이 기 설정된 속도 이상으로 주행하는 동안 상기 장애물 검출 센서에 의해 장애물이 검출되는 상기 이벤트가 발생된 것으로 판단하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.According to claim 1, further comprising an obstacle detection sensor for detecting a front obstacle in the traveling direction of the transport module,
The controller determines that the event in which an obstacle is detected by the obstacle detection sensor has occurred while the transport module travels at a speed greater than or equal to a preset speed. 제1항에 있어서, 상기 모터 구동부는 상기 구동 모터의 회전축에 최대 역방향 토크가 인가되도록 구동 전류를 인가하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The transport apparatus according to claim 1, wherein the motor driving unit applies a driving current such that a maximum reverse torque is applied to a rotation shaft of the driving motor.
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