KR20220039359A - Transfer apparatus - Google Patents

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KR20220039359A
KR20220039359A KR1020200122394A KR20200122394A KR20220039359A KR 20220039359 A KR20220039359 A KR 20220039359A KR 1020200122394 A KR1020200122394 A KR 1020200122394A KR 20200122394 A KR20200122394 A KR 20200122394A KR 20220039359 A KR20220039359 A KR 20220039359A
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이준범
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Abstract

Disclosed is a transfer device. The transfer device comprises: a transfer vehicle comprising a plurality of driving wheels to be driven along a preset movement path, a driving motor that rotates the driving wheels, and a rotary encoder that measures a rotation amount of the driving motor; a linear encoder that measures a moving distance of the transfer vehicle; and a motion controller that controls an operation of the transfer vehicle so that the transfer vehicle moves toward a target position, controls the operation of the transfer vehicle, in a first section up to the preset position before arrival at the target position, based on a signal of the rotary encoder, and controls the operation of the transfer vehicle, in a second section from the preset position to the target position, based on a signal of the linear encoder. Therefore, the present invention is capable of greatly reducing a transfer time.

Description

이송 장치{TRANSFER APPARATUS}transfer unit {TRANSFER APPARATUS}

본 발명의 실시예들은 자재 이송을 위한 이송 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 자재 이송을 위해 이송 레일을 따라 이동 가능하게 구성되는 이송 차량을 포함하는 이송 장치에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to a conveying device for material conveying. More particularly, it relates to a transport device including a transport vehicle configured to be movable along a transport rail for material transport in a manufacturing process of a semiconductor device or a display device.

반도체 장치의 제조 공정에서 반도체 웨이퍼, 반도체 스트립, 등과 같은 자재들은 OHT(Overhead Hoist Transport) 장치, RGV(Rail Guided Vehicle) 장치, AGV(Automatic Guided Vehicle) 등과 같은 무인 운반 시스템을 통해 이송될 수 있다. 또한, 반도체 장치의 제조를 위한 클린룸 내에는 자재 보관을 위한 선반들을 구비하는 보관 장치, 예를 들면, 스토커(Stocker) 설비가 구비될 수 있으며, 상기 보관 장치 내에는 상기 자재의 보관을 위한 이송 장치가 구비될 수 있다.In the manufacturing process of a semiconductor device, materials such as semiconductor wafers, semiconductor strips, etc. may be transported through an unmanned transport system such as an overhead hoist transport (OHT) device, a rail guided vehicle (RGV) device, and an automatic guided vehicle (AGV). In addition, a storage device having shelves for material storage, for example, a stocker facility, may be provided in the clean room for manufacturing the semiconductor device, and a transfer for storage of the material may be provided in the storage device. A device may be provided.

상기 이송 장치는 상기 자재들이 수납된 용기를 수직 방향으로 이동시키기 위한 리프트 모듈과, 상기 리프트 모듈을 제1 수평 방향, 예를 들면, X축 방향으로 이동시키기 위한 수평 이송 모듈과, 상기 리프트 모듈에 의해 수직 방향으로 이동되며 제2 수평 방향, 예를 들면, Y축 방향으로 상기 용기를 선반에 보관하거나 상기 선반으로부터 상기 용기를 인출하기 위한 캐리지 모듈을 포함할 수 있다.The transfer device includes a lift module for moving the container in which the materials are accommodated in a vertical direction, a horizontal transfer module for moving the lift module in a first horizontal direction, for example, an X-axis direction, and the lift module. It is moved in the vertical direction by the second horizontal direction, for example, the Y-axis direction may include a carriage module for storing the container on the shelf or for taking out the container from the shelf.

상기 수평 이송 모듈은 모터와 볼 스크루 또는 랙과 피니언 등을 이용하여 구성되는 구동 유닛과 수평 방향 이동을 안내하기 위한 가이드 기구 등을 포함할 수 있다. 그러나, 상기와 같은 구동 유닛의 구성을 통해서는 상기 수평 방향으로의 이동 속도를 증가시키는데 한계가 있으며, 아울러 파티클 발생과 같은 문제점이 있을 수 있다. 이에 따라, 새로운 형태의 이송 장치에 대한 요구가 지속적으로 제기되고 있다.The horizontal transfer module may include a driving unit configured using a motor and a ball screw or a rack and a pinion, and a guide mechanism for guiding horizontal movement. However, there is a limit to increasing the moving speed in the horizontal direction through the configuration of the driving unit as described above, and there may be problems such as generation of particles. Accordingly, there is a continuous demand for a new type of transfer device.

본 발명의 실시예들은 이동 속도를 증가시킬 수 있으며 아울러 정확한 위치 제어를 가능하게 하는 새로운 형태의 이송 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.An object of the present invention is to provide a new type of transport device capable of increasing a moving speed and enabling accurate position control.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 이송 장치는, 기 설정된 이동 경로를 따라 주행 가능하도록 복수의 구동 휠들과 상기 구동 휠들을 회전시키기 위한 구동 모터 및 상기 구동 모터의 회전수를 측정하기 위한 로터리 엔코더를 포함하는 이송 차량과, 상기 이송 차량의 이동 거리를 측정하기 위한 리니어 엔코더와, 상기 이송 차량이 목표 위치를 향해 이동하도록 상기 이송 차량의 동작을 제어하되, 상기 목표 위치 도착 전 기 설정된 위치까지의 제1 구간에서는 상기 로터리 엔코더의 신호에 기초하여 상기 이송 차량의 동작을 제어하고, 상기 기 설정된 위치로부터 상기 목표 위치까지의 제2 구간에서는 상기 리니어 엔코더의 신호에 기초하여 상기 이송 차량의 동작을 제어하는 모션 제어기를 포함할 수 있다.A transport device according to an aspect of the present invention for achieving the above object includes a plurality of driving wheels and a driving motor for rotating the driving wheels so as to be able to travel along a preset movement path, and measuring the number of revolutions of the driving motor A transfer vehicle comprising a rotary encoder for In the first section to the position, the operation of the transport vehicle is controlled based on the signal of the rotary encoder, and in the second section from the preset position to the target position, based on the signal of the linear encoder, the It may include a motion controller to control the motion.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 리니어 엔코더는, 상기 이동 경로를 따라 연장하는 리니어 스케일과, 상기 이송 차량에 장착되며 상기 리니어 스케일로부터 상기 이송 차량의 이동 거리를 검출하기 위한 센서를 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the linear encoder may include a linear scale extending along the movement path, and a sensor mounted on the transfer vehicle for detecting a movement distance of the transfer vehicle from the linear scale. can

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 이송 장치는, 상기 이동 경로를 따라 평행하게 연장하며 상기 구동 휠들이 놓여지는 이송 레일들을 더 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the transport device may further include transport rails extending in parallel along the movement path and on which the drive wheels are placed.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 이송 장치는, 상기 이송 차량 상에 배치되며 자재를 수직 방향으로 이동시키기 위한 리프트 모듈과, 상기 리프트 모듈에 의해 수직 방향으로 이동되며 상기 자재를 수평 방향으로 이동시키기 위한 캐리지 모듈을 더 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the transport device includes a lift module disposed on the transport vehicle and configured to move a material in a vertical direction, and is vertically moved by the lift module to move the material in a horizontal direction. It may further include a carriage module for moving.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 모션 제어기는, 상기 기 설정된 위치에 도달하기 위한 제1 속도 지령을 상기 이송 차량에 제공하고 상기 로터리 엔코더의 신호에 기초하여 상기 이송 차량의 동작을 피드백 제어할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the motion controller provides a first speed command for reaching the preset position to the transfer vehicle and feedback-controls the operation of the transfer vehicle based on a signal of the rotary encoder can do.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 모션 제어기는, 상기 로터리 엔코더의 신호에 의해 상기 이송 차량이 상기 기 설정된 위치에 도달된 것으로 판단되는 경우 상기 리니어 엔코더의 신호에 기초하여 상기 이송 차량의 실제 위치를 산출하고, 상기 실제 위치로부터 상기 목표 위치에 도달하기 위한 제2 속도 지령을 상기 이송 차량에 제공하며 상기 리니어 엔코더의 신호에 기초하여 상기 이송 차량의 동작을 피드백 제어할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, when it is determined that the transfer vehicle has reached the preset position by the signal of the rotary encoder, the motion controller may be configured to actually move the transfer vehicle based on the signal of the linear encoder A position may be calculated, a second speed command for reaching the target position from the actual position may be provided to the transfer vehicle, and an operation of the transfer vehicle may be feedback-controlled based on a signal from the linear encoder.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 구동 휠들의 슬립 현상에 의해 상기 로터리 엔코더의 신호에 기초하여 산출된 상기 이송 차량의 위치와 상기 이송 차량의 실제 위치 사이에 거리 오차가 있는 경우, 상기 제2 속도 지령은 상기 실제 위치로부터 상기 기 설정된 위치까지 상기 이송 차량을 등속 주행시키는 등속 구간을 가질 수 있다.According to some embodiments of the present invention, when there is a distance error between the position of the transfer vehicle calculated based on the signal of the rotary encoder due to the slip phenomenon of the driving wheels and the actual position of the transfer vehicle, the second 2 The speed command may have a constant speed section in which the transfer vehicle travels at a constant speed from the actual position to the preset position.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 제1 속도 지령은, 상기 이송 차량이 출발 위치로부터 출발하여 기 설정된 속도에 도달하기까지의 가속 구간과, 상기 기 설정된 속도를 유지하는 등속 구간과, 상기 목표 위치에서 정지하기 위해 상기 이송 차량을 감속시키는 감속 구간을 포함하며, 상기 기 설정된 위치는 상기 감속 구간 내에 있을 수 있다.According to some embodiments of the present disclosure, the first speed command includes an acceleration section from the starting position of the transfer vehicle until reaching a preset speed, a constant speed section maintaining the preset speed, and the and a deceleration section in which the transfer vehicle is decelerated to stop at a target position, and the preset position may be within the deceleration section.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따른 이송 장치는, 기 설정된 이동 경로를 따라 주행 가능하도록 복수의 구동 휠들과 상기 구동 휠들을 회전시키기 위한 구동 모터 및 상기 구동 모터의 회전수를 측정하기 위한 로터리 엔코더를 포함하는 이송 차량과, 상기 이송 차량의 이동 거리를 측정하기 위한 리니어 엔코더와, 상기 이송 차량이 목표 위치를 향해 이동하도록 상기 이송 차량의 동작을 제어하되, 상기 목표 위치 도착 전 기 설정된 위치까지의 제1 구간에서는 상기 로터리 엔코더의 신호에 기초하여 상기 이송 차량의 동작을 제어하고, 이어서 기 설정된 시간 동안 상기 로터리 엔코더와 상기 리니어 엔코더의 신호들에 기초하여 산출된 제3 신호에 기초하여 상기 이송 차량의 동작을 제어하며, 상기 기 설정된 시간 이후 상기 목표 위치까지의 제2 구간에서는 상기 리니어 엔코더의 신호에 기초하여 상기 이송 차량의 동작을 제어하는 모션 제어기를 포함할 수 있다.A transport device according to another aspect of the present invention for achieving the above object is to measure a plurality of driving wheels and a driving motor for rotating the driving wheels and the number of rotations of the driving motor so as to be able to travel along a preset movement path A transfer vehicle comprising a rotary encoder for In the first section up to the position, the operation of the transfer vehicle is controlled based on the signal of the rotary encoder, and then for a preset time based on the third signal calculated based on the signals of the rotary encoder and the linear encoder and a motion controller that controls the operation of the transfer vehicle and controls the operation of the transfer vehicle based on the signal of the linear encoder in a second section from the preset time to the target position.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 모션 제어기는 상기 제3 신호를 산출함에 있어서 상기 기 설정된 시간 동안 상기 로터리 엔코더의 신호 부분은 점차 감소시키고 상기 리니어 엔코더의 신호 부분은 점차 증가시킬 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the motion controller may gradually decrease the signal portion of the rotary encoder and gradually increase the signal portion of the linear encoder for the preset time in calculating the third signal.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 이송 차량이 상기 목표 지점에 도착하기 전 상기 이송 차량의 동작 제어를 상기 리니어 엔코더에 의해 측정되는 실제 위치에 기초하여 수행할 수 있으며, 이에 따라 상기 이송 차량의 위치 제어가 보다 정확하게 이루어질 수 있다. 특히, 상기 이송 차량이 상기 감속 구간에서 충분히 감속된 후 상기 리니어 엔코더 신호를 이용할 수 있으며, 이에 따라 상기 리니어 엔코더의 성능이 다소 낮은 경우, 예를 들면, 신호 지연이 다소 큰 경우에도 상기 이송 차량의 위치 제어를 충분히 정확하게 수행할 수 있다. 결과적으로, 저사양의 리니어 엔코더를 사용할 수 있으며, 이에 따라 상기 이송 장치의 제조 비용이 크게 절감될 수 있다. 아울러, 종래 기술과 다르게 이송 차량을 이용함으로써 상기 자재의 이송에 소요되는 시간을 크게 단축시킬 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, before the transfer vehicle arrives at the target point, operation control of the transfer vehicle may be performed based on the actual position measured by the linear encoder, and accordingly Position control of the transfer vehicle may be more accurately performed. In particular, the linear encoder signal can be used after the transfer vehicle is sufficiently decelerated in the deceleration section, and accordingly, when the performance of the linear encoder is somewhat low, for example, even when the signal delay is rather large, the transfer vehicle Position control can be performed accurately enough. As a result, it is possible to use a low-spec linear encoder, and accordingly, the manufacturing cost of the transfer device can be greatly reduced. In addition, by using a transport vehicle unlike the prior art, the time required for transporting the material can be greatly reduced.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 이송 차량 및 리니어 엔코더를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 용기의 보관을 위한 자재 보관 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 4 내지 도 6은 도 1에 도시된 모션 제어기에 의한 이송 차량의 위치 제어 방법을 설명하기 위한 개략적인 블록도이다.
도 7은 도 1에 도시된 모션 제어기에 의해 제어되는 이송 차량의 속도와 이동 거리를 설명하기 위한 그래프이다.
도 8은 도 1에 도시된 모션 제어기에 의해 제어되는 이송 차량의 속도와 이동 거리의 다른 예를 설명하기 위한 그래프이다.1 is a schematic front view for explaining a transfer device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic plan view illustrating the transfer vehicle and the linear encoder shown in FIG. 1 .
3 is a schematic plan view for explaining a material storage device for storage of the container shown in FIG. 1 .
4 to 6 are schematic block diagrams for explaining a method of controlling the position of the transport vehicle by the motion controller shown in FIG. 1 .
FIG. 7 is a graph for explaining the speed and moving distance of the transport vehicle controlled by the motion controller shown in FIG. 1 .
FIG. 8 is a graph for explaining another example of the speed and movement distance of the transport vehicle controlled by the motion controller shown in FIG. 1 .

이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention should not be construed as being limited to the embodiments described below and may be embodied in various other forms. The following examples are provided to sufficiently convey the scope of the present invention to those skilled in the art, rather than being provided so that the present invention can be completely completed.

본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.In embodiments of the present invention, when an element is described as being disposed or connected to another element, the element may be directly disposed or connected to the other element, and other elements may be interposed therebetween. it might be Conversely, when one element is described as being directly disposed on or connected to another element, there cannot be another element between them. Although the terms first, second, third, etc. may be used to describe various items such as various elements, compositions, regions, layers and/or portions, the items are not limited by these terms. will not

본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.The terminology used in the embodiments of the present invention is only used for the purpose of describing specific embodiments, and is not intended to limit the present invention. Further, unless otherwise limited, all terms including technical and scientific terms have the same meaning as understood by one of ordinary skill in the art of the present invention. The above terms, such as those defined in ordinary dictionaries, shall be interpreted as having meanings consistent with their meanings in the context of the related art and description of the present invention, ideally or excessively outwardly intuitive, unless clearly defined. will not be interpreted.

본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.Embodiments of the present invention are described with reference to schematic diagrams of ideal embodiments of the present invention. Accordingly, changes from the shapes of the diagrams, eg, changes in manufacturing methods and/or tolerances, are those that can be fully expected. Accordingly, the embodiments of the present invention are not to be described as being limited to the specific shapes of the areas described as diagrams, but rather to include deviations in the shapes, and the elements described in the drawings are purely schematic and their shapes It is not intended to describe the precise shape of the elements, nor is it intended to limit the scope of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 정면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 이송 차량 및 리니어 엔코더를 설명하기 위한 개략적인 평면도이며, 도 3은 도 1에 도시된 용기의 보관을 위한 자재 보관 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.Figure 1 is a schematic front view for explaining a transfer device according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a schematic plan view for explaining the transfer vehicle and the linear encoder shown in Figure 1, Figure 3 is in Figure 1 It is a schematic plan view for explaining a material storage device for storage of the illustrated container.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치(100)는 반도체 장치의 제조 공정에서 자재(10)의 이송을 위해 사용될 수 있다. 일 예로서, 상기 이송 장치(100)는 웨이퍼들의 수납을 위한 용기(10), 예를 들면, FOUP(Front Opening Unified Pod) 또는 FOSB(Front Opening Supply Box)의 이송을 위해 사용될 수 있다. 또한, 일 예로서, 상기 이송 장치(100)는 자재 보관 장치(20), 예를 들면, 스토커 설비의 선반(22)으로 상기 용기(10)를 이송하거나 상기 선반(22)으로부터 상기 용기(10)를 반출하기 위해 사용될 수 있다.1 to 3 , a transport apparatus 100 according to an embodiment of the present invention may be used to transport a material 10 in a semiconductor device manufacturing process. As an example, the transfer device 100 may be used for transferring the container 10 for accommodating wafers, for example, a Front Opening Unified Pod (FOUP) or a Front Opening Supply Box (FOSB). Also, as an example, the transport device 100 transports the container 10 to the shelf 22 of a material storage device 20 , for example, a stocker facility, or transfers the container 10 from the shelf 22 . ) can be used to export

상기 자재 보관 장치(20)는 제1 수평 방향, 예를 들면, X축 방향으로 배열되고 수직 방향으로 적층되는 2열의 선반들(22)을 구비할 수 있으며, 상기 이송 장치(100)는 상기 선반들(22) 사이에서 상기 제1 수평 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 이송 장치(100)는 기 설정된 이동 경로를 따라 주행 가능하도록 구성된 이송 차량(110)을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 이송 장치(100)는 상기 제1 수평 방향으로 평행하게 연장하는 이송 레일들(102)을 포함할 수 있으며, 상기 이송 차량(110)은, 상기 이송 레일들(102) 상에 놓여지는 복수의 구동 휠들(120 및 130)과 상기 구동 휠들(120 및 130)을 회전시키기 위한 구동 모터(122 및 132)를 포함할 수 있다.The material storage device 20 may include two rows of shelves 22 arranged in a first horizontal direction, for example, an X-axis direction and stacked in a vertical direction, and the transport device 100 is the shelf It may be configured to be movable in the first horizontal direction between the 22 . According to an embodiment of the present invention, the transfer device 100 may include a transfer vehicle 110 configured to be travelable along a preset movement path. For example, the transfer device 100 may include transfer rails 102 extending in parallel in the first horizontal direction, and the transfer vehicle 110 is disposed on the transfer rails 102 . It may include a plurality of driving wheels 120 and 130 placed therein and driving motors 122 and 132 for rotating the driving wheels 120 and 130 .

특히, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 이송 차량(110)은 전방 구동 모터(122)와 상기 전방 구동 모터(122)에 의해 회전되는 전방 구동 휠들(120) 및 상기 전방 구동 모터(122)의 회전수를 측정하기 위한 전방 로터리 엔코더(124)를 포함할 수 있으며, 또한 후방 구동 모터(132)와 상기 후방 구동 모터(132)에 의해 회전되는 후방 구동 휠들(130) 및 상기 후방 구동 모터(132)의 회전수를 측정하기 위한 후방 로터리 엔코더(134)를 포함할 수 있다.In particular, as shown in FIGS. 2 and 3 , the transport vehicle 110 includes a front drive motor 122 and front drive wheels 120 rotated by the front drive motor 122 and the front drive motor ( It may include a front rotary encoder 124 for measuring the number of revolutions of 122, and also the rear drive motor 132 and the rear drive wheels 130 rotated by the rear drive motor 132 and the rear drive A rear rotary encoder 134 for measuring the number of rotations of the motor 132 may be included.

상기 이송 차량(100)의 상부에는 상기 용기(10)를 수직 방향으로 이동시키기 위한 리프트 모듈(160)이 장착될 수 있으며, 상기 리프트 모듈(160)에는 상기 용기(10)를 수평 방향으로 이동시키기 위한 캐리지 모듈(170)이 장착될 수 있다. 즉, 상기 리프트 모듈(160)은 상기 캐리지 모듈(170)을 수직 방향으로 이동시킬 수 있으며, 상기 캐리지 모듈(170)은 제2 수평 방향, 예를 들면, Y축 방향으로 상기 용기(10)를 상기 선반(22) 상으로 이동시키거나 상기 선반(22)으로부터 상기 용기(10)를 반출하기 위한 캐리지 로봇(172)을 구비할 수 있다. A lift module 160 for moving the container 10 in a vertical direction may be mounted on the upper portion of the transport vehicle 100 , and the lift module 160 is configured to move the container 10 in a horizontal direction. For the carriage module 170 may be mounted. That is, the lift module 160 can move the carriage module 170 in a vertical direction, and the carriage module 170 moves the container 10 in a second horizontal direction, for example, the Y-axis direction. A carriage robot 172 for moving on the shelf 22 or for unloading the container 10 from the shelf 22 may be provided.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 이송 장치(100)는 상기 이송 차량(110)의 이동 거리를 측정하기 위한 리니어 엔코더(140)를 포함할 수 있다. 일 예로서, 상기 리니어 엔코더(140)는 상기 이동 경로를 따라 즉 상기 이송 레일들(102)과 평행하게 연장하는 리니어 스케일(142)과, 상기 이송 차량(110)에 장착되며 상기 리니어 스케일(142)로부터 상기 이송 차량(110)의 이동 거리를 검출하기 위한 센서(144)를 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the transfer device 100 may include a linear encoder 140 for measuring the moving distance of the transfer vehicle 110 . As an example, the linear encoder 140 includes a linear scale 142 extending along the movement path, that is, in parallel with the transfer rails 102 , and the linear scale 142 mounted on the transfer vehicle 110 . ) may include a sensor 144 for detecting the moving distance of the transfer vehicle 110 from.

특히, 상기 이송 장치(100)는 상기 이송 차량(110)의 속도 및 위치 제어를 위한 모션 제어기(150)를 포함할 수 있다. 상기 모션 제어기(150)는 상기 이송 차량(110)이 출발 위치로부터 목표 위치를 향해 이동하도록 상기 이송 차량(110)의 동작을 제어할 수 있다. 일 예로서, 상기 모션 제어기(150)는 상기 출발 위치로부터 상기 목표 위치를 향하여 이동 가능하도록 속도 지령, 예를 들면, 모션 프로파일을 생성하여 상기 이송 차량(110)에 제공할 수 있으며, 또한 상기 전방 및 후방 로터리 엔코더들(124 및 134) 중 어느 하나 또는 상기 리니어 엔코더(140)의 신호에 기초하여 상기 이송 차량(110)의 동작을 피드백 방식으로 제어할 수 있다.In particular, the transfer device 100 may include a motion controller 150 for controlling the speed and position of the transfer vehicle 110 . The motion controller 150 may control the operation of the transport vehicle 110 so that the transport vehicle 110 moves from a starting position toward a target position. As an example, the motion controller 150 may generate a speed command, for example, a motion profile, and provide it to the transport vehicle 110 so as to be able to move from the starting position toward the target position, and and based on a signal from any one of the rear rotary encoders 124 and 134 or the linear encoder 140 , the operation of the transport vehicle 110 may be controlled in a feedback manner.

도 4 내지 도 6은 도 1에 도시된 모션 제어기에 의한 이송 차량의 위치 제어 방법을 설명하기 위한 개략적인 블록도이고, 도 7은 도 1에 도시된 모션 제어기에 의해 제어되는 이송 차량의 속도와 이동 거리를 설명하기 위한 그래프이다.4 to 6 are schematic block diagrams for explaining a method of controlling the position of the transport vehicle by the motion controller shown in FIG. 1 , and FIG. 7 is a speed of the transport vehicle controlled by the motion controller shown in FIG. 1 and FIG. It is a graph to explain the moving distance.

도 4 내지 도 7을 참조하면, 상기 이송 차량(110)은 상기 전방 구동 모터(122)에 구동 전류를 제공하기 위한 전방 서보팩(126)과, 상기 후방 구동 모터(132)에 구동 전류를 제공하기 위한 후방 서보팩(136)을 포함할 수 있으며, 상기 전방 서보팩(126)과 상기 후방 서보팩(134)은 상기 속도 지령에 따라 상기 전방 구동 모터(122)와 후방 구동 모터(132)에 각각 구동 전류를 인가할 수 있다. 특히, 상기 전방 서보팩(126)은 상기 전방 로터리 엔코더(124)의 신호에 기초하여 상기 전방 구동 모터(122)에 인가되는 구동 전류를 피드백 방식으로 제어할 수 있으며, 상기 후방 서보팩(134)은 상기 후방 로터리 엔코더(134)의 신호에 기초하여 상기 후방 구동 모터(132)에 인가되는 구동 전류를 피드백 방식으로 제어할 수 있다.4 to 7 , the transfer vehicle 110 provides a front SERVOPACK 126 for providing a driving current to the front driving motor 122 and a driving current for the rear driving motor 132 . may include a rear SERVOPACK 136 for Each driving current may be applied. In particular, the front SERVOPACK 126 may control the driving current applied to the front driving motor 122 in a feedback manner based on the signal of the front rotary encoder 124 , and the rear SERVOPACK 134 . may control the driving current applied to the rear drive motor 132 in a feedback manner based on the signal of the rear rotary encoder 134 .

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 모션 제어기(150)는, 상기 이송 차량(110)이 목표 위치를 향해 이동하도록 상기 이송 차량(110)의 동작을 제어할 수 있으며, 특히, 상기 출발 위치로부터 상기 목표 위치 도착 전 기 설정된 위치까지의 제1 구간에서는 상기 전방 및 후방 로터리 엔코더들(124 및 134) 중 어느 하나, 일 예로서, 도 4에 도시된 바와 같이, 전방 로터리 엔코더(124)의 신호에 기초하여 상기 이송 차량(110)의 동작을 제어하고, 상기 기 설정된 위치로부터 상기 목표 위치까지의 제2 구간에서는 상기 리니어 엔코더(140)의 신호에 기초하여 상기 이송 차량(110)의 동작을 제어할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the motion controller 150 may control the operation of the transfer vehicle 110 so that the transfer vehicle 110 moves toward a target position, and in particular, from the starting position. In the first section to the preset position before arrival at the target position, any one of the front and rear rotary encoders 124 and 134, for example, as shown in FIG. 4, the signal of the front rotary encoder 124 controls the operation of the transfer vehicle 110 based on can do.

상기 모션 제어기(150)는 상기 기 설정된 위치에 도달하기 위한 제1 속도 지령(152), 예를 들면, 제1 모션 프로파일을 생성하여 상기 이송 차량(110)에 제공할 수 있으며, 일 예로서, 상기 전방 로터리 엔코더(124)의 신호에 기초하여 상기 제1 구간에서 상기 이송 차량(110)의 동작, 예를 들면, 상기 이송 차량(110)의 속도를 제어할 수 있다. 또한, 상기 모션 제어기(150)는 상기 전방 로터리 엔코더(124)의 신호에 의해 상기 이송 차량(110)이 상기 기 설정된 위치에 도달된 것으로 판단되는 경우 상기 리니어 엔코더(140)의 신호에 기초하여 상기 이송 차량(110)의 실제 위치를 산출할 수 있다. 일 예로서, 상기 이송 차량(110)이 상기 기 설정된 위치까지 이동하는 동안 상기 구동 휠들(120 및 130)에 슬립 현상 즉 상기 이송 레일들(102) 상에서 상기 구동 휠들(120 및 130)이 미끄러지는 현상이 발생된 경우 상기 전방 로터리 엔코더(124)의 신호에 기초하여 상기 이송 차량(110)이 상기 기 설정된 위치에 도달된 것으로 판단되더라도 실제로는 상기 기 설정된 위치에 도달되지 못할 수 있다.The motion controller 150 may generate a first speed command 152 for reaching the preset position, for example, generate a first motion profile and provide it to the transport vehicle 110, as an example, An operation of the transfer vehicle 110 , for example, the speed of the transfer vehicle 110 in the first section, may be controlled based on the signal of the front rotary encoder 124 . In addition, when it is determined that the transfer vehicle 110 has reached the preset position by the signal of the front rotary encoder 124 , the motion controller 150 is configured based on the signal of the linear encoder 140 . The actual position of the transport vehicle 110 may be calculated. As an example, a slip phenomenon on the driving wheels 120 and 130, that is, the sliding of the driving wheels 120 and 130 on the transport rails 102 while the transport vehicle 110 moves to the preset position When the phenomenon occurs, even if it is determined that the transfer vehicle 110 has reached the preset position based on the signal of the front rotary encoder 124, it may not actually reach the preset position.

도 6에 도시된 바와 같이, 상기 모션 제어기(150)는 상기 리니어 엔코더(140)를 이용하여 상기 이송 차량(110)의 실제 위치를 산출한 후, 상기 실제 위치로부터 상기 목표 위치에 도달하기 위한 제2 속도 지령(154), 예를 들면, 제2 모션 프로파일을 생성하여 상기 이송 차량(110)에 제공할 수 있다. 또한, 상기 모션 제어기(150)는 상기 이송 차량(110)이 상기 실제 위치에서 상기 목표 위치까지 이동하는 동안 상기 리니어 엔코더(140)의 신호에 기초하여 상기 이송 차량(110)의 동작, 예를 들면, 상기 이송 차량(110)의 속도를 제어할 수 있다.As shown in FIG. 6 , the motion controller 150 calculates the actual position of the transfer vehicle 110 by using the linear encoder 140 and then uses the first to reach the target position from the actual position. A second speed command 154 , for example, a second motion profile may be generated and provided to the transport vehicle 110 . In addition, the motion controller 150 controls the operation of the transfer vehicle 110, for example, based on the signal of the linear encoder 140 while the transfer vehicle 110 moves from the actual position to the target position. , it is possible to control the speed of the transfer vehicle 110 .

한편, 상기 제1 속도 지령(152)은, 상기 이송 차량(110)이 상기 출발 위치로부터 출발하여 기 설정된 속도에 도달하기까지의 가속 구간(152A)과, 상기 기 설정된 속도를 유지하는 등속 구간(152B)과, 상기 목표 위치에서 정지하기 위해 상기 이송 차량(110)을 감속시키는 감속 구간(152C)을 포함할 수 있으며, 상기 기 설정된 위치는 상기 감속 구간(152C) 내에 위치되도록 설정될 수 있다. 즉, 상기 모션 제어기(150)는 상기 이송 차량(110)이 상기 목표 위치에 근접하는 경우 상기 이송 차량(110)의 실제 위치를 검출하기 위해 상기 리니어 엔코더(140)의 신호를 이용할 수 있다.On the other hand, the first speed command 152 includes an acceleration section 152A until the transfer vehicle 110 reaches a preset speed starting from the starting position, and a constant speed section maintaining the preset speed ( 152B) and a deceleration section 152C for decelerating the transfer vehicle 110 to stop at the target position, and the preset position may be set to be located within the deceleration section 152C. That is, when the transfer vehicle 110 approaches the target position, the motion controller 150 may use the signal of the linear encoder 140 to detect the actual position of the transfer vehicle 110 .

특히, 상기 구동 휠들(120 및 130)의 슬립 현상에 의해 상기 전방 로터리 엔코더(124)의 신호에 기초하여 산출된 상기 이송 차량(110)의 위치와 상기 리니어 엔코더(140)의 신호에 기초하여 산출된 상기 이송 차량(110)의 실제 위치 사이에 거리 오차가 있는 경우, 상기 제2 속도 지령(154)은 상기 실제 위치로부터 상기 기 설정된 위치까지 상기 이송 차량(110)을 등속 주행시키는 제2 등속 구간(154A)을 가질 수 있다. 즉, 상기 이송 차량(110)은 상기 감속 구간(152C)에서 감속하는 도중에 상기 기 설정된 위치에 도달된 것으로 판단될 수 있고, 이어서 상기 거리 오차를 제거하기 위하여 상기 제2 등속 구간(154A)에서 등속 주행할 수 있다. 아울러, 상기 제2 속도 지령(154)은 상기 이송 차량(110)이 상기 거리 오차를 제거한 후 즉 상기 이송 차량(110)이 상기 기 설정된 위치에 실제로 도달된 후 상기 목표 위치에서 정지할 수 있도록 제2 감속 구간(154B)을 가질 수 있다. 즉, 상기 이송 차량(110)은 상기 거리 오차가 제거된 후 다시 감속하여 상기 목표 위치에 도착될 수 있다.In particular, the position of the transfer vehicle 110 calculated based on the signal of the front rotary encoder 124 due to the slip phenomenon of the driving wheels 120 and 130 and the signal of the linear encoder 140 . If there is a distance error between the actual positions of the transfer vehicle 110 , the second speed command 154 is a second constant speed section in which the transfer vehicle 110 travels at a constant speed from the actual position to the preset position. (154A). That is, it may be determined that the transfer vehicle 110 has reached the preset position while decelerating in the deceleration section 152C, and then has a constant speed in the second constant speed section 154A to remove the distance error. can drive In addition, the second speed command 154 is a second speed command so that the transport vehicle 110 can stop at the target position after the distance error is removed, that is, after the transport vehicle 110 actually reaches the preset position. It may have two deceleration sections 154B. That is, after the distance error is removed, the transport vehicle 110 may decelerate again to arrive at the target position.

한편, 상기 모션 제어기(150)는 상기 제1 구간에서 상기 전방 로터리 엔코더(124)와 상기 후방 로터리 엔코더(134)를 선택적으로 사용할 수 있다. 상기 모션 제어기(150)는 상기 가속 구간(150A)에서 도 5에 도시된 바와 같이 후방 로터리 엔코더(134)의 신호를 이용하여 상기 이송 차량(110)의 동작, 예를 들면, 상기 이송 차량(110)의 속도를 피드백 방식으로 제어할 수 있다. 이는 상기 가속 구간(152A)에서 관성에 의해 상기 전방 구동 휠들(120)보다는 후방 구동 휠들(130)에 더 큰 하중이 인가될 수 있으며, 이에 의해 상기 후방 구동 휠들(130)의 슬립 현상이 감소되기 때문이다.Meanwhile, the motion controller 150 may selectively use the front rotary encoder 124 and the rear rotary encoder 134 in the first section. The motion controller 150 uses the signal of the rear rotary encoder 134 as shown in FIG. 5 in the acceleration section 150A to operate the transfer vehicle 110, for example, the transfer vehicle 110 ) can be controlled in a feedback manner. This is because a greater load may be applied to the rear drive wheels 130 than to the front drive wheels 120 due to inertia in the acceleration section 152A, whereby the slip phenomenon of the rear drive wheels 130 is reduced. Because.

상기 등속 구간(152B)에서는 상기 전방 구동 휠들(120)과 후방 구동 휠들(130)에 인가되는 하중이 유사할 수 있으므로 상기 전방 및 후방 로터리 엔코더들(124 및 134) 중에서 어떤 것을 사용해도 큰 차이가 없을 수 있다. 다만, 상기 감속 구간(152C)에서는 관성에 의해 가속 구간(152A)과 반대로 상기 후방 구동 휠들(130)보다 전방 구동 휠들(120)에 더 큰 하중이 인가될 수 있으므로 상기 모션 제어기(150)는 도 4에 도시된 바와 같이 상기 전방 로터리 엔코더(124)의 신호를 이용하여 상기 이송 차량(110)의 동작을 제어할 수 있다.In the constant velocity section 152B, since the loads applied to the front driving wheels 120 and the rear driving wheels 130 may be similar, there is no significant difference using any of the front and rear rotary encoders 124 and 134. there may not be However, in the deceleration section 152C, a greater load can be applied to the front drive wheels 120 than the rear drive wheels 130 as opposed to the acceleration section 152A due to inertia, so the motion controller 150 is As illustrated in FIG. 4 , the operation of the transfer vehicle 110 may be controlled using the signal of the front rotary encoder 124 .

예를 들면, 상기 모션 제어기(150)는 상기 가속 구간(152A)과 상기 등속 구간(152B)에서 상기 후방 로터리 엔코더(134) 신호에 기초하여 상기 이송 차량(110)의 속도를 피드백 방식으로 제어할 수 있으며, 상기 감속 구간(152C)에서 상기 전방 로터리 엔코더(124) 신호에 기초하여 상기 이송 차량(110)의 속도를 피드백 방식으로 제어할 수 있다. 상기와 다르게, 상기 모션 제어기(150)는 상기 가속 구간(152A)에서 상기 후방 로터리 엔코더(134) 신호에 기초하여 상기 이송 차량(110)의 속도를 피드백 방식으로 제어할 수 있으며, 상기 등속 구간(152B)과 상기 감속 구간(152C)에서 상기 전방 로터리 엔코더(124) 신호에 기초하여 상기 이송 차량(110)의 속도를 피드백 방식으로 제어할 수 있다.For example, the motion controller 150 controls the speed of the transport vehicle 110 in a feedback manner based on the rear rotary encoder 134 signal in the acceleration section 152A and the constant speed section 152B. In the deceleration section 152C, the speed of the transfer vehicle 110 may be controlled in a feedback manner based on the signal of the front rotary encoder 124 . Differently from the above, the motion controller 150 may control the speed of the transport vehicle 110 in a feedback manner based on the rear rotary encoder 134 signal in the acceleration section 152A, and the constant speed section ( 152B) and in the deceleration section 152C, the speed of the transport vehicle 110 may be controlled in a feedback manner based on the signal of the front rotary encoder 124 .

도 8은 도 1에 도시된 모션 제어기에 의해 제어되는 이송 차량의 속도와 이동 거리의 다른 예를 설명하기 위한 그래프이다.FIG. 8 is a graph for explaining another example of the speed and moving distance of the transport vehicle controlled by the motion controller shown in FIG. 1 .

도 8은 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 모션 제어기(150)는 상기 목표 위치에 도착되기 전 기 설정된 위치까지의 제1 구간에서는 상기 전방 또는 후방 로터리 엔코더(124 또는 134)의 신호에 기초하여 상기 이송 차량(110)의 동작을 제어할 수 있으며, 이어서 기 설정된 시간 동안 상기 전방 또는 후방 로터리 엔코더(124 또는 134)와 상기 리니어 엔코더(140)의 신호들에 기초하여 산출된 제3 신호에 기초하여 상기 이송 차량(110)의 동작을 제어할 수 있고, 상기 기 설정된 시간 이후 상기 목표 위치까지의 제2 구간에서는 상기 리니어 엔코더(140)의 신호에 기초하여 상기 이송 차량(110)의 동작을 제어할 수 있다. 즉, 상기 모션 제어기(150)는 상기 출발 위치로부터 목표 위치까지 상기 이송 차량(110)의 속도와 위치를 제어하기 위하여 상기 전방 또는 후방 로터리 엔코더(124 또는 134) 신호에 기초하는 가속 구간(156A)과 등속 구간(156B) 및 감속 구간(156C), 상기 제3 신호에 기초하는 신호 조정 구간(156D), 그리고 상기 리니어 엔코더(140) 신호에 기초하는 제2 감속 구간(156E)을 포함하는 속도 지령(156)을 제공할 수 있다.Referring to Figure 8, according to another embodiment of the present invention, the motion controller 150 is the front or rear rotary encoder 124 or 134 in the first section up to the preset position before arriving at the target position. It is possible to control the operation of the transport vehicle 110 based on the signal, and then, for a preset time, the first calculated based on the signals of the front or rear rotary encoder 124 or 134 and the linear encoder 140 . It is possible to control the operation of the transfer vehicle 110 based on 3 signals, and in the second section to the target position after the preset time, based on the signal of the linear encoder 140 , the transfer vehicle 110 operation can be controlled. That is, the motion controller 150 controls the speed and position of the transfer vehicle 110 from the starting position to the target position. The acceleration section 156A based on the front or rear rotary encoder 124 or 134 signal. A speed command including an over-constant speed section 156B and a deceleration section 156C, a signal adjustment section 156D based on the third signal, and a second deceleration section 156E based on the linear encoder 140 signal (156) can be provided.

특히, 상기 모션 제어기(150)는 상기 제3 신호를 산출함에 있어서, 상기 기 설정된 시간 동안 상기 전방 또는 후방 로터리 엔코더(124 또는 134)의 신호 부분은 점차 감소시키고 상기 리니어 엔코더(140)의 신호 부분은 점차 증가시킬 수 있다. 예를 들면, 상기 전방 또는 후방 로터리 엔코더(124 또는 134)의 신호에 제1 가중치를 적용하고, 상기 리니어 엔코더(140)의 신호에 제2 가중치를 적용하여, 상기 이송 차량(110)의 피드백 제어를 위해 사용되는 신호를 상기 전방 또는 후방 로터리 엔코더(124 또는 134) 신호에서 상기 리니어 엔코더(140) 신호로 변경할 수 있다. 구체적으로, 상기 제1 가중치를 ‘1’에서 ‘0’까지 점차 감소시키고 상기 제2 가중치를 ‘0’에서 ‘1’까지 점차 증가시킬 수 있으며, 이를 통해 상기 모션 제어기(150)로 제공되는 신호를 상기 전방 또는 후방 엔코더(124 또는 134) 신호로부터 상기 리니어 엔코더(140) 신호로 변경할 수 있다.In particular, in calculating the third signal, the motion controller 150 gradually decreases the signal portion of the front or rear rotary encoder 124 or 134 for the preset time and the signal portion of the linear encoder 140 . can be gradually increased. For example, by applying a first weight to the signal of the front or rear rotary encoder 124 or 134 and applying a second weight to the signal of the linear encoder 140, feedback control of the transfer vehicle 110 A signal used for ? may be changed from the signal of the front or rear rotary encoder 124 or 134 to the signal of the linear encoder 140 . Specifically, the first weight may be gradually decreased from '1' to '0' and the second weight may be gradually increased from '0' to '1', and through this, the signal provided to the motion controller 150 can be changed from the front or rear encoder 124 or 134 signal to the linear encoder 140 signal.

결과적으로, 상기 전방 또는 후방 구동 휠들(120 또는 130)에 슬립 현상이 발생되어 상기 전방 또는 후방 로터리 엔코더(124 또는 134) 신호에 기초하여 산출된 상기 이송 차량(110)의 위치가 실제 위치와 다른 경우에도 상기와 같이 전방 또는 후방 로터리 엔코더(124 또는 134) 신호에서 상기 리니어 엔코더(140) 신호로 변경함으로써 상기 이송 차량(110)의 위치를 보다 정확하게 제어할 수 있다.As a result, a slip phenomenon occurs in the front or rear driving wheels 120 or 130 so that the position of the transfer vehicle 110 calculated based on the signal of the front or rear rotary encoder 124 or 134 is different from the actual position. Even in this case, the position of the transport vehicle 110 can be more accurately controlled by changing the signal from the front or rear rotary encoder 124 or 134 to the signal from the linear encoder 140 as described above.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 이송 차량(110)이 상기 목표 지점에 도착하기 전 상기 이송 차량(110)의 동작 제어를 상기 리니어 엔코더(140)에 의해 측정되는 실제 위치에 기초하여 수행할 수 있으며, 이에 따라 상기 이송 차량(110)의 위치 제어가 보다 정확하게 이루어질 수 있다. 특히, 상기 이송 차량(110)이 상기 감속 구간(152C)에서 충분히 감속된 후 상기 리니어 엔코더(140) 신호를 이용할 수 있으며, 이에 따라 상기 리니어 엔코더(140)의 성능이 다소 낮은 경우, 예를 들면, 신호 지연이 다소 큰 경우에도 상기 이송 차량(110)의 위치 제어를 충분히 정확하게 수행할 수 있다. 결과적으로, 저사양의 리니어 엔코더(140)를 사용할 수 있으며, 이에 따라 상기 이송 장치(100)의 제조 비용이 크게 절감될 수 있다. 아울러, 종래 기술과 다르게 이송 차량(110)을 이용함으로써 상기 용기(10)의 이송에 소요되는 시간을 크게 단축시킬 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, before the transfer vehicle 110 arrives at the target point, the operation control of the transfer vehicle 110 is transferred to the actual position measured by the linear encoder 140 . Based on this, the position control of the transfer vehicle 110 may be performed more accurately. In particular, after the transfer vehicle 110 is sufficiently decelerated in the deceleration section 152C, the linear encoder 140 signal can be used, and accordingly, when the performance of the linear encoder 140 is somewhat low, for example , the position control of the transfer vehicle 110 can be performed accurately enough even when the signal delay is rather large. As a result, it is possible to use the low-spec linear encoder 140 , and accordingly, the manufacturing cost of the transfer device 100 can be greatly reduced. In addition, unlike the prior art, by using the transport vehicle 110 , the time required for transporting the container 10 can be greatly reduced.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention within the scope without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the following claims. You will understand that there is

10 : 자재 100 : 이송 장치
102 : 주행 레일 110 : 이송 차량
120 : 전방 구동 휠 122 : 전방 구동 모터
124 : 전방 로터리 엔코더 126 : 전방 서보팩
130 : 후방 구동 휠 132 : 후방 구동 모터
134 : 후방 로터리 엔코더 136 : 후방 서보팩
140 : 리니어 엔코더 142 : 리니어 스케일
144 : 센서 150 : 모션 제어기10: material 100: conveying device
102: running rail 110: transport vehicle
120: front drive wheel 122: front drive motor
124: front rotary encoder 126: front servo pack
130: rear drive wheel 132: rear drive motor
134: rear rotary encoder 136: rear servo pack
140: linear encoder 142: linear scale
144: sensor 150: motion controller

Claims (10)

기 설정된 이동 경로를 따라 주행 가능하도록 복수의 구동 휠들과 상기 구동 휠들을 회전시키기 위한 구동 모터 및 상기 구동 모터의 회전수를 측정하기 위한 로터리 엔코더를 포함하는 이송 차량;
상기 이송 차량의 이동 거리를 측정하기 위한 리니어 엔코더; 및
상기 이송 차량이 목표 위치를 향해 이동하도록 상기 이송 차량의 동작을 제어하되, 상기 목표 위치 도착 전 기 설정된 위치까지의 제1 구간에서는 상기 로터리 엔코더의 신호에 기초하여 상기 이송 차량의 동작을 제어하고, 상기 기 설정된 위치로부터 상기 목표 위치까지의 제2 구간에서는 상기 리니어 엔코더의 신호에 기초하여 상기 이송 차량의 동작을 제어하는 모션 제어기를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.a transport vehicle including a plurality of driving wheels, a driving motor for rotating the driving wheels, and a rotary encoder for measuring the number of revolutions of the driving motor so as to be travelable along a preset movement path;
a linear encoder for measuring the moving distance of the transport vehicle; and
Controls the operation of the transfer vehicle so that the transfer vehicle moves toward the target position, but controls the operation of the transfer vehicle based on the signal of the rotary encoder in the first section up to the position set before arrival at the target position, and a motion controller for controlling the operation of the transport vehicle based on the signal of the linear encoder in a second section from the preset position to the target position. 제1항에 있어서, 상기 리니어 엔코더는, 상기 이동 경로를 따라 연장하는 리니어 스케일과, 상기 이송 차량에 장착되며 상기 리니어 스케일로부터 상기 이송 차량의 이동 거리를 검출하기 위한 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The method according to claim 1, wherein the linear encoder comprises a linear scale extending along the movement path and a sensor mounted on the transfer vehicle for detecting a movement distance of the transfer vehicle from the linear scale. transport device. 제1항에 있어서, 상기 이동 경로를 따라 평행하게 연장하며 상기 구동 휠들이 놓여지는 이송 레일들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The transport device according to claim 1, further comprising transport rails extending parallel along the travel path and on which the drive wheels rest. 제1항에 있어서, 상기 이송 차량 상에 배치되며 자재를 수직 방향으로 이동시키기 위한 리프트 모듈과,
상기 리프트 모듈에 의해 수직 방향으로 이동되며 상기 자재를 수평 방향으로 이동시키기 위한 캐리지 모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The method according to claim 1, further comprising: a lift module disposed on the transport vehicle and configured to move a material in a vertical direction;
The transport device is moved in a vertical direction by the lift module and further comprises a carriage module for moving the material in a horizontal direction. 제1항에 있어서, 상기 모션 제어기는,
상기 기 설정된 위치에 도달하기 위한 제1 속도 지령을 상기 이송 차량에 제공하고 상기 로터리 엔코더의 신호에 기초하여 상기 이송 차량의 동작을 피드백 제어하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.According to claim 1, wherein the motion controller,
The transfer device according to claim 1, wherein a first speed command for reaching the preset position is provided to the transfer vehicle and feedback control of an operation of the transfer vehicle is performed based on a signal of the rotary encoder. 제5항에 있어서, 상기 모션 제어기는,
상기 로터리 엔코더의 신호에 의해 상기 이송 차량이 상기 기 설정된 위치에 도달된 것으로 판단되는 경우 상기 리니어 엔코더의 신호에 기초하여 상기 이송 차량의 실제 위치를 산출하고,
상기 실제 위치로부터 상기 목표 위치에 도달하기 위한 제2 속도 지령을 상기 이송 차량에 제공하며 상기 리니어 엔코더의 신호에 기초하여 상기 이송 차량의 동작을 피드백 제어하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.According to claim 5, wherein the motion controller,
When it is determined that the transfer vehicle has reached the preset position by the signal of the rotary encoder, the actual position of the transfer vehicle is calculated based on the signal of the linear encoder,
and providing a second speed command for reaching the target position from the actual position to the transfer vehicle and feedback-controlling the operation of the transfer vehicle based on a signal from the linear encoder. 제6항에 있어서, 상기 구동 휠들의 슬립 현상에 의해 상기 로터리 엔코더의 신호에 기초하여 산출된 상기 이송 차량의 위치와 상기 이송 차량의 실제 위치 사이에 거리 오차가 있는 경우,
상기 제2 속도 지령은 상기 실제 위치로부터 상기 기 설정된 위치까지 상기 이송 차량을 등속 주행시키는 등속 구간을 갖는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The method according to claim 6, wherein when there is a distance error between the position of the transfer vehicle calculated based on the signal of the rotary encoder due to the slip phenomenon of the driving wheels and the actual position of the transfer vehicle,
The second speed command is a transport device, characterized in that it has a constant velocity section for driving the transport vehicle at a constant speed from the actual position to the preset position. 제5항에 있어서, 상기 제1 속도 지령은,
상기 이송 차량이 출발 위치로부터 출발하여 기 설정된 속도에 도달하기까지의 가속 구간과,
상기 기 설정된 속도를 유지하는 등속 구간과,
상기 목표 위치에서 정지하기 위해 상기 이송 차량을 감속시키는 감속 구간을 포함하며,
상기 기 설정된 위치는 상기 감속 구간 내에 있는 것을 특징으로 하는 이송 장치.According to claim 5, The first speed command,
an acceleration section from the starting position of the transfer vehicle until reaching a preset speed;
a constant speed section maintaining the preset speed;
and a deceleration section for decelerating the transport vehicle to stop at the target position,
The preset position is a transfer device, characterized in that within the deceleration section. 기 설정된 이동 경로를 따라 주행 가능하도록 복수의 구동 휠들과 상기 구동 휠들을 회전시키기 위한 구동 모터 및 상기 구동 모터의 회전수를 측정하기 위한 로터리 엔코더를 포함하는 이송 차량;
상기 이송 차량의 이동 거리를 측정하기 위한 리니어 엔코더; 및
상기 이송 차량이 목표 위치를 향해 이동하도록 상기 이송 차량의 동작을 제어하되, 상기 목표 위치 도착 전 기 설정된 위치까지의 제1 구간에서는 상기 로터리 엔코더의 신호에 기초하여 상기 이송 차량의 동작을 제어하고, 이어서 기 설정된 시간 동안 상기 로터리 엔코더와 상기 리니어 엔코더의 신호들에 기초하여 산출된 제3 신호에 기초하여 상기 이송 차량의 동작을 제어하며, 상기 기 설정된 시간 이후 상기 목표 위치까지의 제2 구간에서는 상기 리니어 엔코더의 신호에 기초하여 상기 이송 차량의 동작을 제어하는 모션 제어기를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.a transport vehicle including a plurality of driving wheels, a driving motor for rotating the driving wheels, and a rotary encoder for measuring the number of revolutions of the driving motor so as to be travelable along a preset movement path;
a linear encoder for measuring the moving distance of the transport vehicle; and
Controls the operation of the transfer vehicle so that the transfer vehicle moves toward the target position, but controls the operation of the transfer vehicle based on the signal of the rotary encoder in the first section up to the position set before arrival at the target position, Then, for a preset time, the operation of the transport vehicle is controlled based on a third signal calculated based on signals of the rotary encoder and the linear encoder, and after the preset time, in a second section to the target position, the and a motion controller for controlling an operation of the transport vehicle based on a signal from a linear encoder. 제9항에 있어서, 상기 모션 제어기는 상기 제3 신호를 산출함에 있어서 상기 기 설정된 시간 동안 상기 로터리 엔코더의 신호 부분은 점차 감소시키고 상기 리니어 엔코더의 신호 부분은 점차 증가시키는 것을 특징으로 하는 이송 장치.10. The transport apparatus according to claim 9, wherein the motion controller gradually decreases the signal portion of the rotary encoder and gradually increases the signal portion of the linear encoder during the preset time in calculating the third signal.
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